DE2436536A1 - DEVICE FOR ACOUSTOOPTIC MODULATING OF LIGHT - Google Patents

DEVICE FOR ACOUSTOOPTIC MODULATING OF LIGHT

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    • G02F1/332Acousto-optical deflection devices comprising a plurality of transducers on the same crystal surface, e.g. multi-channel Bragg cell

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Description

Vorrichtung zum akustooptischen Modulieren von LichtDevice for acousto-optic modulation of light

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sum akustooptischen Modulieren von Licht, mit einer Quelle für monochromatisches Licht, mit einem Block aus akustooptischem Material, der im Abstand zueinander verlaufende Oberflächen aufweist, von denen ©ine als Eintrittsfläche für das von.der Lichtquelle her einfallende Licht vorgesehen ist, und der eine weitere Oberfläche aufweist? die mit einem piezoelektrischen Wandler gekuppelt, ist, der in Abhängigkeit von sugeführten elektrischen Signalen akustische Wellen im-Innern des akustooptischen Materials erzeugt.The invention relates to a device for acousto-optic modulation of light, with a source of monochromatic light Light, with a block of acousto-optic material that is im Has spaced apart surfaces, of which © ine as an entry surface for the incident from the light source Light is provided, and the one more surface having? which is coupled to a piezoelectric transducer, the acoustic depending on suggested electrical signals Waves generated inside the acousto-optic material.

Vorrichtungen α bei denen Licht und aku~" stische Wellen in der Weise zusammenwirken,, daß ein Liehtbündel durch Beugung in. verschiedene Positionen gebracht wird, _ .sind bereits bekannt und können bei fortlaufend betreibbaren Attfzeiehnungs"- Wiedergabe- oder ÄfotastsYstemen sur Anwendung gebracht werden» . ^- ■ Α devices in which light and AKU ~ "STIC waves interact in such a manner ,, that a Liehtbündel is brought by bending in different positions _ .are already known and can be operated at continuously Attfzeiehnungs." - are brought playback or ÄfotastsYstemen application sur ». ^ - ■

Bei den bekannten Vorrichtungen kommen aeMrere verschiedene Arten von Licht= Diffraktoren oder Deflektoren zur Anwendung, die nach verschiedenen physikalische» Grundprinzipien arbeiten. Die Betriebseigenschaften solcher Vorrichtungen werden normalerweise dadurch gekennzeichnet g daB die Anzahl der auflösbaren Punkte.oder Lagen der Lichtbündel CSesamfcabfcastwinkel geteilt durch den Beugungswinkel des- atas-treteadea Bünde Is J angegeben, wird, . daß die Zugriffszeit. Cdi© Seit. eal® benötigt wird, um den Lichtfleck oder das Llchtbfindel'iia die nächste oder eine andere bestimmte Stellung zu bewegenJ- abgegeben wird und daß der optische Wirkungsgrad (das Verhältnis zwischen der optischen Leistung ia dem Lichtfleck bei der betreffenden Lage des Bündels rad der Leistung des einfallenden LdLchtbündels) angegeben . wird» Solche Deflektoren kösmera mechanisch wirkend sein, beispielsweise Vielfaeetteraspiegol,? dl© so gelagert sind,, daßIn the known devices, different types of light = diffractors or deflectors are used, which work according to different physical »basic principles. The operational characteristics of such devices are typically characterized by the number of resolvable g DAB Punkte.oder positions of the light beam divided by the diffraction angle CSesamfcabfcastwinkel DES ATAS treteadea frets Is J specified,. that the access time. Cdi © Since. e al® is required to move the light spot or the lightbindel'iia to the next or another specific position and that the optical efficiency (the ratio between the optical power ia the light spot at the relevant position of the bundle rad the power of the incident light bundle). will »Such deflectors kösmera be mechanically acting, for example Vielfaeetteraspiegol ,? dl © are stored so that

sie mit verhältnismäßig hoher Drehzahl In Drehung versetzt werden können,oder Galvanometerspiegel, Derartige Deflektoren können zwar innerhalb verhältnismäßig kurzer Zeit ein Lichtbündel in eine Vielzahl von Positionen bewegen, die Betriebssicherheit, ist jedoch für eine praktische Anwendung bei hochauflösenden Systemen völlig ungenügend« Drehbare Spiegel ermöglichen zwar kurze Äbtastzeiten, sind jedoch nur mit hohen Kosten in ein zugeordnetes System einzufügen. Galvanometer sind demgegenüber zwar verhältnismäßig billig, weisen jedoch eis© 'so iaacpAfotastzeit auf, so. ά&Β ein solcher Deflektor für άί& meisten Änwendungs'zwecka zu langsam ist.They can be set in rotation at a relatively high speed, or galvanometer mirrors. Such deflectors can indeed move a light beam into a large number of positions within a relatively short time, but operational reliability is completely inadequate for practical use in high-resolution systems short scanning times, however, can only be inserted into an associated system at high cost. Galvanometers, in contrast, are relatively cheap, but they have an ice cycle time, see above. ά & Β such a deflector for άί & most Änwendungs'zwecka is too slow.

Es sind aw ar auch bereits Vorrichtungen eier eingangs genannten Art mit !üieht^meeharnisetisR Deflektoren bekannt« Diese. Vorrichtungen _ befriedigen, jedoch ebenfalls nicht in vollem Maße. Akusto-optisch' arbeitend® Vorrichtungen dieser Art weisen nämlich dem'Machteil auf,, daßfwenn sie.ein ausreichend hohes Auflösungsvermögen besitzen, die Abtastzeit zu lang ist, um diese Vorrichtungen in schnell arbeitenden Bildaufzeichnungs- und Wiedergabesystemeri verwenden zu können« So ist beispielsweise äine hoeliSTaflöseiiGs derartige Vorrichtung bekannt geworden, die ähr IcSOG Punkte oäer Bünäelsteliurgen ermöglicht, jedoch gugriffsseit von 64 Mikrosekunden benötigt» Sin weiterer Kaehteil ciiessr bekannten Vorrichtungen ist,. das* ΐτβηη sie auf eine kiiiTse-Ipgriffsseit ausgelegt werden;, sie reicht gleichzeitig ein© a?isreichend hohe Auflösung mehr bieten» So ist beispielsweise* _ eise weitere? im Handel erhältliche derartige Vorrichttmo; bekannt, bei öer zwar die Zugriffs seit nur 10,6 MikrosekiaiidsR beträgt s bei der jedoch die Auflösung nur ungefähr 775 Punkte beträgt« Bei diesen bekannten Vorrichtungen kommt aiisfc noch der Nachteil hinzu, daß kein ausreichender ttnd konstanter Wirkungsgrad der Beugung über den vollen Ab-3,enk-bereioh erhalten wird ur>.d daß diese Vorrichtungen keinenThere are already devices of the type mentioned at the beginning with mechanical deflectors known. These. Devices _ satisfy, but also not fully. Acousto-optically 'arbeitend® devices of this type have namely dem'Machteil on ,, that if f sie.ein have sufficient high resolution, the scan time is too long to be able to use these devices in fast-working image recording and Wiedergabesystemeri "So For example, a hoel-release device of this type has become known, which enables approximately IcSOG points of oäer Bünäelsteliurgen, but requires access for 64 microseconds. the * ΐτβηη they are laid out on a kiiiTse-Ipgriffsseit ;, they are sufficient at the same time offer a sufficiently high resolution more »So, for example, * _ is further? commercially available such devices; known in Oer although the access since only 10.6 MikrosekiaiidsR s at the but the resolution is only about 775 points, "comes In these known devices aiisfc nor the disadvantage added that no sufficient ttnd constant diffraction efficiency over the entire waste 3, enk-bereioh is obtained ur> .d that these devices do not

optimalen Kompromiß· zwischen Wirkungsgrad und Auflösungs-optimal compromise between efficiency and resolution

Bekanntlich können Lichtwellen durch Tonwellen gebeugt werden, wodurch bewirkt wird, daß die Lichtwellen um einen bestimmten Winkel oder um bestimmte Winkel abgelenkt werden, je nach Frequenzcharakteristik der Schallwellen»"Je nach Änwendungsfall können die Schallwellen amplitudenmoduliert oder fre- quenzrooduliert seino Wenn die Schall-Wellenfronten in solcher Richtung gegen di@ Licht=-Wellenfronten hin gesandt werden, daß der Winkel zwischen den Wellenfronten die Bragg"sehe Be-.dingung erfüllt,dann wirken die sich fortpflanzenden Schallwellen SO; als ob sie bewegte Spiegel wären» Daher verhalten sich bei gegebenem Frequen'zverhältnis die Einfallswinkel und die Beugung des Lichts so, als handelte es sich um eine gewöhnliche Spiegelung» Bei ebenen Schall·= und Licht-Wellen fronten läßt sich, wenn keine Verstellung der relativen Lagen des Lichtbündels vorgenommen wird, die Bragg5sehe Reflexionsbedingung bei den bekannten Vorrichtung©» nur über einen beschränkten Schallfrequenzbereich erfüllen, doh„ nur über einen beschränkten Frequenzbereich wird ein nutzbarer Bragg9scher ' Reflexionswinkel erhalten. Es ist auch bekannt,- daß bei den bekannten derartigen Vorrichtungen, wenn sie eine gute Auflösung erbringen sollen, Beschränkungen hinsichtlich den hierbei möglichen Äbtast- oder Äblenkgesehwindigkeiten, den erforderlichen Frequenzbereichen und der höchstmöglichen öffnungs-As is known, light waves are diffracted by sound waves, thereby causing the light waves are deflected by a certain angle or at certain angle, depending on the frequency characteristic of the sound waves "" Depending on Änwendungsfall the sound waves may be amplitude-modulated or frequency-quenzrooduliert o If the sound Wavefronts are sent towards di @ light = wavefronts in such a direction that the angle between the wavefronts fulfills the Bragg condition, then the propagating sound waves act SO; as if they were moving mirrors »Therefore, with a given frequency ratio, the angle of incidence and the diffraction of light behave as if it were an ordinary reflection relative positions of the light beam is made, the Bragg 5 see reflection condition in the known apparatus © »fulfill only over a limited sound frequency range, d o h" only over a limited frequency range is obtained a usable Bragg 9 shear 'angle of reflection. It is also known - that in the known devices of this type, if they are to provide a good resolution, restrictions with regard to the scanning or deflection speeds possible here, the required frequency ranges and the highest possible opening

der in Rede steheaden Art su schaffen·, die gegenüber dan bekannten derartigen Vorriehtungen- einen besseren Kompromiß zwischen Zugriffs^eit und 'Auflösungsvermöge» bietet, d.h. ein möglichst hohes Auflösungsvermögen bei sehr kurser Zugriffs-of the kind under discussion · to create those known to us such arrangements - a better compromise between accessibility and 'resolving power', i.e. a the highest possible resolution with very short access

Bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art ist diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Block aus ak us toop ti schein Material so geformt ist, daß er an einem Ende eine Stufenreihe mit zueinander parallelen Stufen bildet, die über Stufenflächen miteinander verbunden sind, und daß an jeder Stufe ein gesonderter Wandler angebracht ist. Dadurch, daß hierbei mehrere gesonderte Wandler in abgestufter Anordnung an dem Block aus akustooptischem Material angeordnet sind, wird im Betrieb eine zusammengesetzte Schallwellenfront erzeugt, die in einem solchen Winkel gegen die Lichtwellenfront fortschreitet, daß die Bragg1sehe Reflexionsbedingung über einen großen Bandbreitenbereich erfüllt kann.In a device of the type mentioned, this object is achieved according to the invention in that the block of ak us toop ti apparent material is shaped so that it forms a step row with mutually parallel steps at one end, which are connected to each other via step surfaces, and that a separate converter is attached to each stage. Because several separate transducers are arranged in a stepped arrangement on the block of acousto-optical material, a composite sound wave front is generated during operation, which advances at such an angle to the light wave front that the Bragg 1 see reflection condition can be fulfilled over a large bandwidth range.

Dadurch wird, wie sich gezeigt hat, ein außerordentlich hohes Auflösungsvermögen bei äußerst kurzer Zugriffszeit erreicht. Darüberhinaus ergibt sich ein verbesserter Wirkungsgrad über eine große Bandbreite, d.h. einen großen Frequenzbereich. Außerdem lassen sich gegenüber den bekannten Vorrichtungen größere Ablenkwinkel erreichen.As has been shown, this makes an extraordinarily high one Resolving power achieved with extremely short access time. In addition, there is an improved efficiency a large bandwidth, i.e. a large frequency range. aside from that larger deflection angles can be achieved compared to the known devices.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht eine Auflösung von zumindest 1.500 Punkteioder Positionen des Bündels bei einem Beugungswirkungsgrad von zumindest 10 % über die gesamte Bandbreite. Das Zeit-Bandbreiten-Produkt beträgt 1.665. Jedoch geht, wenn bei linearer Abtastung mit einer Rücklaufzeit von 10 % gearbeitet wird, die effektive Auflösung auf 1.500 Positionen zurück. Die Vorrichtung arbeitet bei einer niedrigen Leistungsdichte und läßt sich auch mit hohem Leistungspegel betreiben, wenn ein erhöhter Wirkungsgrad der Beugung erreicht werden soll.The device according to the invention enables a resolution of at least 1,500 points or positions of the bundle in one Diffraction efficiency of at least 10% over the entire bandwidth. The time-bandwidth product is 1,665. However, if a ramp-down time of 10% is used with linear scanning, the effective resolution is 1,500 Positions back. The device operates at a low power density and can also be operated at a high power level if the diffraction efficiency is increased should be achieved.

Daß für eine derartige Vorrichtung ein Bedarf besteht, liegt auf der Hand, weil eine derartige Vorrichtung für Bildaufzeichnungs- und/oder -Wiedergabesysteme hohen Auflösungsvermögens anwendbar ist, was bei den bekannten· derartigen Vorrich-There is a need for such a device obvious, because such a device for image recording and / or playback systems of high resolution can be used, which is the case with the known devices of this type.

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tungen nicht der Fall ist. Wie bereits oben erwähnt, ermöglichen bekannte derartige Vorrichtungen eine Auflösung von ungefähr 775 Positionen des Lichtbündels oder weniger bei einer Rücklauf zeit von 10 Mikrosekunden oder mehr. Bei eLner anderen, bekannten Vorrichtung wird, zwar eine Auflösung von 1600 Punkten erreicht. Hierbei ist jedoch eine Rücklaufzeit von 64 Mikrosekunden erforderlich. Keine dieser bekannten Vorrichtungen kann in einem hochauflösenden Aufzeichnungs- oder Wiedergabesystem Anwendung finden, da hierbei zumindest 1500 Bündelpositionen bei einer Rücklaufzeit von 14 Mikrosekunden oder weniger gegeben sein müssen.is not the case. As mentioned above, known devices of this type allow a resolution of approximately 775 positions of the light beam or less with a return time of 10 microseconds or more. With other people known device is achieved, although a resolution of 1600 points. However, there is a flyback time of 64 microseconds necessary. None of these known devices can be used in a high resolution recording or playback system Are used because here at least 1500 bundle positions with a return time of 14 microseconds or less must be given.

Der Block aus akustooptischem Material kann bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung aus Bleimolybdat gefertigt sein, an dessen einer Seite oder Oberfläche eine Reihe piezoelektrischer Wandler angekittet ist. Die akustischen Wellen, die die Wandler aussenden, verändern den Brechungsindex im Bereich der öffnung des Blocks und beugen einen Teil des einfallenden Lichts um einen WinkelThe block of acousto-optical material can be used in the inventive Device made of lead molybdate, on one side or surface of which a series of piezoelectric transducers is cemented. The acoustic waves that the transducers emit change the refractive index in the area of the opening of the block and bend some of the incident light at an angle

V 'V '

wobei A die Wellenlänge des einfallenden Lichts im Vakuum, f die Frequenz der akustischen Welle und ν die Geschwindigkeit der akustischen Welle bedeuten. Um einen Betrieb über eine große Bandbreite zu erreichen, ist es erforderlich, die Richtung der Fortpflanzung der akustischen Welle, so zu steuern, daß die Bragg'sche Bedingung wenigstens, an-, nähernd erfüllt wird.Dies wird bei der Stufenreihe der erfindungsgemäßen Vorrichtung dadurch erreicht, daß jede Stufe eine bestimmte Stufenbreite und Stufenhöhe aufweist, die mit der Wellenlänge der akustischen Welle bei der Nennfrequenz in Beziehung steht, d.h. bei der Frequenz, für die die betref-where A is the wavelength of the incident light in a vacuum, f is the frequency of the acoustic wave and ν is the speed of the acoustic wave. In order to achieve operation over a large bandwidth, it is necessary to determine the direction of the acoustic propagation Wave, to be controlled in such a way that Bragg's condition at least, an-, This is achieved in the series of stages of the device according to the invention in that each stage has one has a certain step width and step height which correspond to the wavelength of the acoustic wave at the nominal frequency in Relationship, i.e. at the frequency for which the

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fende Vorrichtung ausgelegt ist. Wie unten ins Einzelne gehend näher erläutert werden wird, läßt sich durch die besondere abgestufte Anordnung der Wandler an dem Block aus akustooptischem Material eine Vorrichtung schaffen, die für schnelle, hochauflösende Bildaufzeichnungs- und -Wiedergabesysteme anwendbar ist.fende device is designed. As detailed below Will be explained in more detail, can be made by the special graduated arrangement of the transducers on the block of acousto-optical Material to provide a device applicable to high-speed, high-definition image recording and playback systems is.

Soweit hier die Ausdrücke "Licht" und "Schall" gebraucht sind, sollen diese Aufdrücke Licht und Schall in weitestem Sinne umfassen. D.h. mit "Licht" sind sowohl gewöhnliche elektromagnetische Wellen im sichtbaren Spektrum gemeint als auch elektromagnetische Strahlung bei Wellenlängen oberhalb oder unterhalb des sichtbaren Spektralbereichs. Mit "Schall" (und "akustisch") ist jedwede sich fortpflanzende physikalische oder mechanische Wellenenergie gemeint, nicht nur diejenige im hörbaren Bereich, sondern auch solche Schwingungen, die Frequenzen besitzen, wie sie beispielsweise bei Radiowellen im UKW-Bereich oder VHF-und/oder UHF-Bereich üblich sind. Mit "Zugriffszeit11 ist die Zeit gemeint, die verstreichen muß, bis eine ausgesandte Schallwelle bei der betreffenden Frequenz in dem akustooptischen Material voll zur Wirkung kommt. Der Ausdruck "Abtastzeit" bezieht sich aif die Zeit, die verstreicht, bis das Lichtbündel eine ganze Abtastlinie bei liearer Abtastung abgetastet hat. Der Ausdruck "Rücklaufzeit" bezieht sich auf die Zeit, die verstreicht, bis das Bündel vom Ende der abgetasteten Linie wieder zur Ausgangsstellung zurückkehrt. Diese Zeit kann als der Zugriffszeit äquivalent angesehen werden.As far as the terms "light" and "sound" are used here, these terms are intended to encompass light and sound in the broadest sense. In other words, “light” means both normal electromagnetic waves in the visible spectrum and electromagnetic radiation at wavelengths above or below the visible spectral range. "Sound" (and "acoustic") means any propagating physical or mechanical wave energy, not only that in the audible range, but also those vibrations that have frequencies such as those found in radio waves in the VHF range or VHF and / or UHF range are common. By "access time 11" is meant the time that must elapse before a transmitted sound wave at the relevant frequency is fully effective in the acousto-optic material. The term "scanning time" refers to the time that elapses until the light beam covers an entire scanning line The term "flyback time" refers to the time it takes for the bundle to return to the home position from the end of the scanned line and this time can be considered to be equivalent to the access time.

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Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung im einzel nen erläutert. .:.■;·.·.The invention is explained in detail below with reference to the drawing nen explained. .:. ■; ·. ·.

Es zeigenShow it

Fig. 1 eine schematisiert gezeichnete perspektivische Ansicht eines optischen Abtastsystems . mit einem Licht-Deflektor;Fig. 1 is a schematically drawn perspective View of an optical scanning system. with a light deflector;

; Fig. 2 eine.-:schematisiert gezeichnete perspektivi- ' : sehe Ansicht eines, bevorzugten Ausführungs-. beisp^els eines akusto-optischen Deflektors;; Fig. 2 shows a -: schematically drawn perspective - ' : see view of a preferred embodiment. example of an acousto-optic deflector;

Fig. 3 eine schematisiert gezeichnete Skizze derFig. 3 is a schematically drawn sketch of the

dem Deflektor gemäß Fig. 2 zugeordneten elek-. ;■· trischen Schaltung;the deflector according to FIG. 2 associated elek-. ; ■ · tric circuit;

Fig; 4 und 5 vergrößert und teils aufgeschnitten ' ' und abgebrochen; gezeichnete DraufsichtenFig; 4 and 5 enlarged and partly cut open and broken off; drawn top views

auf den- Deflektor gemäß Fig. 2 und "- :-..■■ ■■■■■■".- 'S -■' ' · - ■ Fig. 6 eine abgebrochen gezeichnete Draμfsichton the deflector according to FIG. 2 and "-: - .. ■■ ■■■■■■" .- 'S - ■' '· - ■ Fig. 6 a broken-off drawn top view

auf den.jnit Wärmesenken versehenen Deflektor.on the deflector provided with heat sinks.

In? Fig. 1 1st ein typisehejs optisches Sys tent für eindimensionale Abtastung gezeigti Bei diesem optischen System ist ein Laser 10 als Quelle für monochromatisches Licht vorgesehen; Sphärische Linsen 11 und 12 ziehen das Lichtbündel auseinander bzw. kollimieren das Bündel des aus dem Laser austretenden Lichts. Eine zylindrische Linse 13 fokussiert das Bündel in einer Linie im zentralen Bereich eines als Ganzes mit 14 bezeichneten Deflektors. Es wird daher die ganze Breite der Öffnung des Deflektors 14 ausgenutzt, jedoch ist nur eine geringeIn? 1 shows a typical optical system for one-dimensional scanning. In this optical system, a laser 10 is provided as a source for monochromatic light; Spherical lenses 11 and 12 pull the light bundle apart or collimate the bundle of the light emerging from the laser. A cylindrical lens 13 focuses the bundle in a line in the central area of a deflector designated as a whole by 14. The entire width of the opening of the deflector 14 is therefore used, but only a small one

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Höhe (der öffnung) erforderlich, so daß für die Strahlbeugung ein erhöhter Wirkungsgrad erhalten wird, bezogen auf eine gegebene Wandler-Eingangsleistung. Eine zweite zylindrische Linse 15 dient dazu, um das aus dem Deflektor 14 austretende Bündel wieder in ein kollimiertes Bündel überzuführen. Dieses kollimierte Lichtbündel wird dann durch eine Linse 16 auf eine bildempfangende oder informationsempfangende Ebene 17 geworfen. In der Ebene 17 ist mit S der Bereich der Lagen des Bündels oder das Ausmaß der Ablenkung bezeichnet, wenn die Frequenz über den vollen Frequenzbereich variiert wird. Mit Z ist auf der anderen Seite die Lage des ungebeugten Lichtbündels nullter Ordnung in der gleichen Ebene angegeben. Ein solches System kann als ein Aufzeichnungs- oder ein Wiedergabesystem benutzt werden. Im ersten Fall kann ein lichtempfindliches Material, z.B. ein photographisches oder elektrophotographisches Material in der Ebene 17 angeordnet und in x- und/oder y-Richtung und synchron mit der Ablenkbewegung des abgelenkten Bündels mittels einer geeigneten Einrichtung verschoben werden, so daß ein Aufzeichnungssystem erhalten wird. Im zweiten Fall kann eine geeignete visuelle Wiedergabeeinrichtung in der Ebene 17 angeordnet sein, beispielsweise ein Fernsehbildschirm, ein Wiedergabeschirm und dergleichen. Im letzteren Fall können, wiederum je nach Verwendungszweck, weitere Elemente und/oder elektrische Schaltungen erforderlich sein, um ein komplettes System zu erhalten. Das oben aufgezeigte optische System ist unempfindlich gegenüber Aberrationen der zylindrischen Linsen. Andere mögliche optische Systeme, die von kürzerer Länge sein und eine andere Anordnung von Linsen, Prismen oder Spiegeln aufweisen können, können ebenfalls zur Anwendung kommen, um das gleiche Ergebnis zu erzielen. Eine in nähere Einzelheiten gehende Beschreibung des Deflektors an sich erfolgt nachstehend.Height (of the opening) required so that an increased efficiency is obtained for the beam diffraction, based on a given converter input power. A second cylindrical lens 15 is used to convert the bundle emerging from the deflector 14 back into a collimated bundle. This collimated light beam is then thrown through a lens 16 onto an image-receiving or information-receiving plane 17. In plane 17, S denotes the area of the positions of the beam or the extent of the deflection when the frequency is varied over the full frequency range. On the other hand, Z indicates the position of the undiffracted light beam of the zeroth order in the same plane. Such a system can be used as a recording or a playback system. In the first case, a photosensitive material, for example a photographic or electrophotographic material, can be arranged in the plane 17 and displaced in the x and / or y direction and in synchronism with the deflection movement of the deflected beam by means of a suitable device, so that a recording system is obtained . In the second case, a suitable visual display device can be arranged in the plane 17, for example a television screen, a display screen and the like. In the latter case, again depending on the intended use, further elements and / or electrical circuits may be required in order to obtain a complete system. The optical system shown above is insensitive to aberrations of the cylindrical lenses. Other possible optical systems, which may be of shorter length and have a different arrangement of lenses, prisms or mirrors, can also be used to achieve the same result. A more detailed description of the deflector itself is given below.

Wie aus Fig. 2 zu ersehen ist, besteht der Deflektor 14 aus einem rechteckigen Block 20 aus akustooptischem Material, wobei an jeder Stufe 23 (Fig. 4) einer an einer SeitenflächeAs can be seen from Fig. 2, the deflector 14 consists of a rectangular block 20 of acousto-optic material, each step 23 (Fig. 4) one on a side surface

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24 ausgebildeten Stufenreihe 22 des Blockes 20 ein piezoelektrischer Wandler 21 angekittet ist. Die akustische Welle, die von jedem der Wandler 21 ausgesandt wird, verursacht eine Änderung des Brechungsindex des Blockes 20 über, den Bereich der Öffnung in Abhängigkeit von der Anzahl der Stufen 23.24 formed step row 22 of the block 20 is a piezoelectric Converter 21 is cemented. The acoustic wave emitted from each of the transducers 21 causes a Change in the refractive index of the block 20 over the area of the opening depending on the number of steps 23.

Jede dieser akustischen Wellen beugt einen Teil des beleuchtenden Lichts um einen Winkel θ = Α—,,worin Λ-Each of these acoustic waves diffracts part of the illuminating light by an angle θ = Α - ,, where Λ-

die Wellenlänge des beleuchtenden Lichts im Vakuum, f die Frequenz der akustischen Welle und ν die Geschwindigkeit der akustischen Welle bedeuten. Um ein Arbeiten über eine große Bandbreite oder einen großen Frequenzbereich zu erhalten, ist es erforderlich, die Richtung der Fortpflanzung der akustischen Welle so zu steuern, daß die Bragg'sche Bedingung annähernd erfüllt ist. Eine Methode, die geeignet ist, um dies zu erreichen, ist in Fig. 2 und,in nähere Einzelheiten gehend, in Fig. 4 "und 5 gezeigt.is the wavelength of the illuminating light in a vacuum, f is the frequency of the acoustic wave and ν is the speed of the mean acoustic wave. To get a work over a large bandwidth or a large frequency range is it is necessary to control the direction of propagation of the acoustic wave so that the Bragg condition approximates is satisfied. One method suitable for accomplishing this is shown in FIG. 2 and, in greater detail, in FIG 4 "and 5 shown.

Unter Bezug auf die Fig. 2, 4 und 5 sei bemerkt, daß die aus den Stufen 23 gebildete Stufenreihe 22 in den akustooptisehen Block 20 eingeschnitten ist. Jede der Stufen 23 weist eine Breite D und eine Höhe P_a_/2 auf, worin P eine ganze Zahl größer als Null und ^a. die Wellenlänge der akustischen Welle bei der Nennfrequenz f bedeuten, d.h. der Frequenz , auf die die Konstruktion ausgelegt wurde. Bei Frequenzen, die größer oder kleiner sind als diese Frequenz fA strahlt jeder der Wandler 21 eine Welle ab, die sich senkrecht zur Oberfläche des Wandlers fortpflanzt. Es ergibt sich dadurch eine zusammengesetzte, gestufte We Ilen front,'die in ihrer Wirkung einer einzelnen Welle entspricht, die in einem Winkel fortschreitet. Ist das Verhältnis der Breite D zu der Höhe richtig gewählt, dann wird durch diesen Ausbreitungswinkel die Bragg'sche Bedingung näherungsweise erfüllt, so daß ein Betrieb über eine ausgedehnte Bandbreite oder einen vergrößerten Frequenzbereich ■ermöglicht wird. Noch bedeutender ist der Umstand, daß bei einer richtigen Auslegung der Stufenreihe ein Betrieb überWith reference to FIGS. 2, 4 and 5, it should be noted that the series of steps 22 formed from the steps 23 is cut into the acousto-optic block 20. Each of the steps 23 has a width D and a height P_a_ / 2, where P is an integer greater than zero and ^ a. mean the wavelength of the acoustic wave at the nominal frequency f, ie the frequency for which the construction was designed. At frequencies that are greater or less than this frequency f A , each of the transducers 21 emits a wave which is propagated perpendicular to the surface of the transducer. The result is a composite, stepped wave front, which corresponds in its effect to a single wave which advances at an angle. If the ratio of the width D to the height is chosen correctly, the Bragg's condition is approximately fulfilled by this angle of propagation, so that operation over an extended bandwidth or an enlarged frequency range is made possible. Even more important is the fact that, with a correct design of the series of stages, an operation over

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spezielle Frequenzbereiche bei einer größeren Gesamtlänge L der Stufenreihe ermöglicht wird, als dies sonst möglich wäre.special frequency ranges is made possible with a greater total length L of the step series than would otherwise be possible.

Für den Wirkungsgrad der Beugung ergibt sich:The following results for the diffraction efficiency:

Π = sinΠ = sin

hierbei isthere is

χ = fTχ = fT

2 fe J— 2 fe J—

L2nv2 L2nv 2

y = f L -^~2 2nvy = f L - ^ ~ 2 2nv

L2P L PL 2 PLP

(f - f) + 0.443 A (f - f) + 0.443 A

0.4430.443

SIn(TTy) "j Nsin Ory/N)J SIn (TTy) "y Nsin Ory / N) J

2 Λ 1/22 Λ 1/2

1 P (f-fA>1 P (f - f A>

LfA + 2D ff,LfA + 2D ff,

Bei den obigen Gleichungen ist f| das Verhältnis zwischen der optischen Leistung im gebeugten Bündel und der Leistung im auffallenden Bündel.In the above equations, f | the relationship between the optical performance in the diffracted bundle and the performance in the incident bundle.

M2 ist die Gütezahl des akustooptisehen Materials n6p2/yv3, wobei f die Dichte und ρ die photoelastische Konstante des Materials ist. L ist die Gesamtlänge der Stufenreihe, P, ist die effektive akustische Leistungsdichte in dem ablenkenden Medium. T ist die Breite jedes Wandlers, die normalerweise etwas kleiner als die Stufenbreite ist, n der Brechungsindex des akustooptischen Mediums, ν die Geschwindigkeit der akustischen Welle, D die Stufenbreite und P die ganze Zahl, die angibt, wie viele halbe Wellenlängen die Stufenhöhe bei der Frequenz f beträgt.M 2 is the figure of merit of the acoustooptic material n 6 p 2 / yv 3 , where f is the density and ρ is the photoelastic constant of the material. L is the total length of the row of steps, P is the effective acoustic power density in the deflecting medium. T is the width of each transducer, which is usually slightly smaller than the step width, n the refractive index of the acousto-optic medium, ν the speed of the acoustic wave, D the step width and P the integer indicating how many half-wavelengths the step height at the Frequency is f.

Bei der Aufstellung der obigen Ausdrücke wurde angenommen, daß der Lichteinfallswinkel größer gewählt ist als der Winkel, der bei der Nennfrequenz f. ein Ausgangsmaximum ergibt. Indem ein Winkel gewählt wird, der bei fA eine um 3dB geringere Empfind-When setting up the above expressions, it was assumed that the angle of incidence of light is selected to be greater than the angle which results in an output maximum at the nominal frequency f. By choosing an angle that at f A is 3 dB lower

509808/0797509808/0797

lichkeit ergibt, läßt sich die durchschnittliche 3dB-Bandbreite, um den Faktor Y? erweitern.the average 3dB bandwidth, by the factor Y? expand.

Aus den obigen Gleichungen kann auch gezeigt werden, daß bei einer gegebenen Bandbreite Δ £ = kf , worin k die E in ze Ib an db rei te der Stufenreihe bedeutet, sich für die größte mögliche Länge der Stufenreihe ergibt:From the above equations it can also be shown that at a given bandwidth Δ £ = kf, where k rei the E in ze Ib at db te of the series of steps means that the greatest possible length of the series of steps results:

L = 7.1 nv2 / k2fA 2.L = 7.1 nv 2 / k 2 f A 2 .

Damit die größte 3dB-Frequenz der einzelnen Elemente größer als die obere 3dB-Frequenz der Stufenreihe ist, ergibt sich für den Parameter P:So that the largest 3 dB frequency of the individual elements is greater than is the upper 3 dB frequency of the step series, the following results for the parameter P:

P =P =

1 k < 1.31 k <1.3

2 k < 0.752 k <0.75

3 k <" 0.5 .3 k <"0.5.

Hiernach ergibt sich für die Anzahl der Stufen:The following results for the number of levels:

N = 6.6/Pk2 N = 6.6 / Pk 2

Der richtige Lichteinfallswinkel, gemessen außerhalb des Mediums, beträgt:The correct angle of incidence of light, measured outside the medium, is:

Die wirksame akustische Leistungsdichte P, ist nicht gleich der elektrischen ,den Wandlern 21 zugefüh'rten Leistung, da etwas an Leistung wegen Reflexion aufgrund elektrischer und mechanischer Impedanz-Fehlanpassüng, durch Streuung in den Wandlern, den Elektroden und Kittschichten und in dem akustooptischen Medium an sich verlorengeht. Diese Erscheinungen wurdenThe effective acoustic power density P i is not equal to the electrical power supplied to the transducers 21, there some performance due to reflection due to electrical and mechanical impedance mismatch, due to scattering in the transducers, the electrodes and cement layers and in the acousto-optic Medium is lost in itself. These appearances were

509 808/0797509 808/0797

— 1 *) — - 1 *) -

2^365362 ^ 36536

berechnet und wurden bei der Gesamtauslegung berücksichtigt.calculated and taken into account in the overall design.

Es ist wichtig, daß das beleuchtende Bündel den richtigen Durchmesser und die richtige Lage in der öffnung des Deflektors 14 aufweist- Der Effekt der akustischen Dämpfung in dem ablenkenden Medium bewirkt, daß das Zentrum des Gauß1sehen Laserbündels gegen die Wandler hin verschoben wird und daß dadurch das ausgehende Strahlenbündel nicht mehr zentriert ist und die fokussierte Punktbreite vergrößert wird, was das Auflösungsvermögen herabsetzt. Obgleich dieses Verschieben des Bündels bereits bekannt geworden ist, ist bislang weder eine Lehre noch ein Vorschlag bekannt worden, wie man hier Abhilfe schaffen könnte. Es sei bemerkt, daß durch absichtliches Verschieben des beleuchtenden Bündels gegen die Reihe der Wandler hin der Wirkungsgrad der Beugung auf Kosten der Auflösung vergrößert werden kann und daß, was noch wichtiger ist, durch Verschieben des Bündels von der Reihe der Wandler weg die Auflösung auf Kosten des Wirkungsgrads verbessert v/erden kann. Bei einer bestimmten Verschiebung:It is important that the illuminating beam the correct diameter and their correct position in the mouth of the deflector 14 aufweist- The effect of the acoustic attenuation in the deflecting medium causes the center of the Gaussian 1 see the laser beam is moved against the transducer back and that as a result, the outgoing beam is no longer centered and the focused spot width is enlarged, which reduces the resolution. Although this shifting of the bundle has already become known, so far neither a teaching nor a suggestion has been made as to how this could be remedied. It should be noted that by intentionally moving the illuminating beam towards the row of transducers, diffraction efficiency can be increased at the expense of resolution and, more importantly, by moving the beam away from the row of transducers, resolution can be increased the efficiency can be improved. At a certain shift:

Sc /A = B(D/A)2/69.5 ,S c / A = B (D / A) 2 /69.5,

sc die Verschiebung des Zentrums, s c the shift of the center,

worin A die Breite der öffnung,/d den Durchmesser des Laser-where A is the width of the opening, / d is the diameter of the laser

bündeis bei einem Strahlungspegel \on 1/e und B die akustische Dämpfung über den Bereich der öffnung in Dezibel bedeuten, ist das ausgehende Bündel zentriert und die Auflösung entspricht derjenigen eines zentrierten Bündels ohne Dämpfung. Es läßt sich zeigen, daß für die meisten Anwendungszwecke die optimale Konstruktionsbedingung D/A = 1 beträgt, so daß also der Durchmesser des Laserbündels der Öffnungsbreite entspricht und für die Verschiebung gilt:Bundle with a radiation level of 1 / e and B the acoustic Attenuation over the area of the opening in decibels means the outgoing bundle is centered and the resolution corresponds that of a centered bundle without attenuation. It can be shown that for most purposes the optimal construction condition is D / A = 1, so that the diameter of the laser beam corresponds to the opening width and the following applies to the shift:

(S - Sc)A = 0.15,
worin S die Verschiebung ist.
(S - Sc) A = 0.15,
where S is the displacement.

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Bei solcher Wahl des Bünde,ldurchmessers und der Verschiebung ist die Auflösung nur geringfügig schlechter als für den Fall ohne Dämpfung (die Raumfrequenz, bei der die normierte Modu-.lations-Ubertragungsfunktion auf 1/e abgesunken ist, beträgt ungefähr 95 % des Werts, der sich ohne Dämpfung und ohne Verschiebung ergibt), und die Wirkung der Dämpfung der akustischen Welle beträgt P/2 Dezibel. Eine solche Auslegung kann bis zu Werten der Dämpfung benutzt werden, die über den Bereich der öffnung 2OdB betragen; jenseits solcher Dämpfungswerte beginnt die. Auflösung abzufallen.With such a choice of collar, oil diameter and displacement the resolution is only slightly worse than for the case without attenuation (the spatial frequency at which the normalized modulation transfer function has dropped to 1 / e, is approximately 95% of the value that is without attenuation and without displacement results), and the effect of damping the acoustic wave is P / 2 decibels. Such an interpretation can can be used up to values of the attenuation which amount to 2OdB over the area of the opening; beyond such attenuation values begins the. Resolution to fall off.

Es wird nun wiederum auf die Fig. 2 bis 5 Bezug genommen. Der Deflektor 14 ist vorzugsweise aus Bleimolybdat gefertigt. Dieses Material ist derzeit der wichtigste und nützlichste der in den letzten Jahren für akustooptische Verwendung im sichtbaren Lichtbereich entwickelten Werkstoffe. Dieser StoffReference is now again made to FIGS. 2 to 5. The deflector 14 is preferably made from lead molybdate. This material is currently the most important and most useful of those in recent years for acousto-optic use in materials developed in the visible light range. This stuff

— 18 ·- 18

hat eine hohe Gütezahl IL· = 35,8 χ 10 cgs-Einheiten, hat eine hohe Transparenz im sichtbaren Bereich, eine geringehas a high figure of merit IL · = 35.8 χ 10 cgs units, has a high transparency in the visible range, a low one

akustische Dämpfung (11 dB/cm-GHz ) und ist nicht wasserlöslich.acoustic attenuation (11 dB / cm-GHz) and is not soluble in water.

Zwar sind andere Stoffe·mit höheren M_-Werten bekannt. Bleimolybdat ist jedoch von äQen diesen Materialien, soweit sie in guter optischer Qualität für.eine Verwendung mit sichtbarem Licht leicht erhältlich sind, der am meisten zufriedenstellende Werkstoff. Der Block 20 wird zugeschnitten und seine Eintrittsfläche 25 und seine Austrittsfläche 26 werden optisch poliert. Die Achsen des Blocks 20 an sich können in vielfältiger Weise angeordnet sein. Wenn die longitudinale akustische Welle sich in der Richtung der c-Achse fortpflanzt, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, dann verläuft in diesem Falle die optische Welle längs der b-Achse und polarisiert längs der a-Achse,oder die optische Welle verläuft längs der C-Achse und polarisiert .längs der b-Achse. In den letzteren Fällen ist die GütezahlOther substances with higher M_ values are known. Lead molybdate, however, from eq en these materials, they are readily available in good optical quality für.eine using visible light, the most satisfactory material. The block 20 is cut to size and its entry surface 25 and its exit surface 26 are optically polished. The axes of the block 20 per se can be arranged in a variety of ways. In this case, when the longitudinal acoustic wave propagates in the c-axis direction as shown in Fig. 2, the optical wave travels along the b-axis and polarizes along the a-axis, or the optical wave travels along the C-axis and polarized along the b-axis. In the latter cases the figure of merit is

— ι ft
kleiner, M2 = 24 χ 10. cgs-Einheiten. Dieser Schnitt ergibt
- ι ft
smaller, M 2 = 24 χ 10. cgs units. This cut results

zwar einen geringeren Wirkungsgrad, kann jedoch einfacher hergestellt werden, v/eil der Kristall eine normal zu der c-Achse verlaufende Spaltungsebene aufweist.Although it is less efficient, it can be manufactured more easily because the crystal is normal to the c-axis having running cleavage plane.

509808/0797509808/0797

2^365362 ^ 36536

Die Stufen 23 werden in die Seitenfläche 24 des Blocks 20 eingeschnitten, der am gegenüberliegenden Ende 2 7 und an seinen oberen und unteren Flächen 28 bzw. 29 fein geschliffen wird. Ein akustooptischer Absorber 30 aus Blei, Aluminium oder aus einem Epoxyharz, das mit Wolframpulver versehen ist, um eine akustische Impedanz zu erreichen, die im wesentlichen gleich groß ist wie die des Bleimolybdats, ist mit dem Ende 27 verkittet. Der Absorber 30 wird angewendet, um zu verhindern, daß die akustischen Wellen reflektiert werden, die im Inneren des Blocks 20 durch die Wandler 21 erzeugt werden. Mittels eines Epoxyharzes oder eines anderen Klebstoffs sind Platten 31 und 32 aus Aluminium oder Kupfer mit der oberen und der unteren Fläche 28 bzw. 29 verkittet. Diese Platten 31 und 32 dienen als Wärmesenken und können außerdem zur Lagerung des Deflektors 14 dienen oder können zusammen mit Platten 33 und 34 auch dazu dienen, um den Deflektor 14, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, in dem zugehörigen System isoliert anzuordnen, falls es erforderlich ist. In dem letzteren Fall wären die Platten 33 und 34 aus isolierendem Werkstoff gefertigt.The steps 23 are cut into the side surface 24 of the block 20 which is finely ground at the opposite end 27 and on its upper and lower surfaces 28 and 29, respectively. An acousto-optical absorber 30 made of lead, aluminum or an epoxy resin, which is provided with tungsten powder in order to achieve an acoustic impedance which is substantially the same as that of the lead molybdate, is cemented to the end 27. The absorber 30 is used to prevent the acoustic waves generated inside the block 20 by the transducers 21 from being reflected. Panels 31 and 32 of aluminum or copper are cemented to the top and bottom surfaces 28 and 29, respectively, by means of an epoxy resin or other adhesive. These plates 31 and 32 serve as heat sinks and can also serve to support the deflector 14 or, together with plates 33 and 34, can also serve to arrange the deflector 14, as shown in FIG. 2, in an insulated manner in the associated system, if necessary. In the latter case the plates 33 and 34 would be made of insulating material.

Jede der Stufen der Stufenreihe 22 ist mit einem Wandler 21 versehen, der in Form einer rechteckigen Platte ausgebildet ist und vorzugsweise aus Lithiumniobat besteht, einem bekannten Wandlerwerkstoff, der in guter Qualität leicht erhältlich ist. Dieses Wandlermaterial weist einen hohen elektromechanischen Kopplungsfaktor (0,49) auf, wenn es als 35 Y-Schnitt zugeschnitten ist und weist eine akustische Impedanz auf, die derjenigen von Bleimolybdat gut angepaßt ist (34,8 bzw. 26). Außerdem weist Lithiumniobat eine niedrige Dielektrizitätskonstante (39) auf.Each of the steps of the step series 22 is provided with a transducer 21 which is designed in the form of a rectangular plate and preferably consists of lithium niobate, a known transducer material which is easily available in good quality. This transducer material has a high electromechanical coupling factor (0.49) when cut as a 35 Y-cut and has an acoustic impedance that is well matched to that of lead molybdate (34.8 and 26, respectively). Lithium niobate also has a low dielectric constant (39).

Mit jeder Stufe 23 der Stufenreihe 22 ist ein Wandler 21 mittels einer Klebstoffschicht 35 aus Indium verkittet. Klebetechniken unter Verwendung von Indium sind bekannt. Die Verwendung von Indium oder einem anderen metallischen Klebemittel ist erforderlich, um eine gute Impedanzanpassung undWith each stage 23 of the series of stages 22 is a converter 21 by means an adhesive layer 35 made of indium cemented. Bonding techniques using indium are known. The usage of indium or some other metallic adhesive is required to have a good impedance match as well

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eine gute akustische übertragung - zu erhalten. Jedoch würde die hohe akustische Dämpfung von Indium, würde man diese nicht kompensieren, den Wirkungsgrad der Beugung des Systems bei hohen Frequenzen unannehmbar herabsetzen.. Außerdem wird die Freiluft-Resonartζfrequenz eines Wandlers auf einen niedrigeren Wert herabgesetzt, wenn der Wandler mit einem anderen Medium verkittet wird. Aus diesen Gründen sind die Wandler 21 dünner geschnitten/als es für eine Resonanz bei der Nennfrequenz des Deflektors 14 erforderlich ist. Indem auf diese Weise die Empfindlichkeit der Wandler 21 um etwa 30 % in Richtung auf höhere Frequenzen hin verschoben·'wird, kann die bei höheren Frequenzen gegebene höhere Empfindlichkeit dazu benutzt werden, um die erhöhte Dämpfung der Klebstoffschicht 35 aus Indium zu kompensieren. Dadurch wird eine flachere Kurve der mit dem Wirkungsgrad der Ablenkung in Beziehung'stehenden Gesamtempfindliehkeit erhalten.- : ' -.··.·-a good acoustic transmission - to get. However would the high acoustic damping of indium, you wouldn't compensate, degrade the diffraction efficiency of the system at high frequencies unacceptably. In addition, the Open-air resonance frequency of a converter to a lower one Decreased value when the converter is using a different medium is cemented. For these reasons, the transducers 21 are thinner cut / as it is for a resonance at the nominal frequency of the Deflector 14 is required. By doing this the sensitivity of the transducer 21 by about 30% in the direction of higher frequencies can be shifted towards higher frequencies Frequencies given higher sensitivity are used to increase the attenuation of the adhesive layer 35 made of indium to compensate. This creates a flatter curve of the overall sensitivity related to the deflection efficiency obtain.- : ' -.··.·-

Die numerischen Parameter eines. .Ausführungsbeispiels eines Deflektors der oben beschriebenen Art sind folgende:The numeric parameters of a. .Example of an Deflectors of the type described above are the following:

Bleimolybdat: M- ='36 χ 10 cgs-Einheiten (akustische Fort- ■-■■-■ ·■■■■-■-,' pflanzungsrichtung längs derLead molybdate: M- = '36 χ 10 cgs units (acoustic propagation ■ - ■■ - ■ · ■■■■ - ■ -, 'direction of planting along the

- " ' c-Achse) V '·— '3 "f 75 mm/t(.s ·- "'c-axis) V' · - '3 " f 75 mm / t (.s ·

η =2,27 bei Wellenlänge 0,64^m.η = 2.27 at a wavelength of 0.64 ^ m.

Reihe der Wandler;· f^ = 175 MHz
'' L =1,81 cm
Row of transducers; · f ^ = 175 MHz
'' L = 1.81 cm

N = 6 Wandler
P = 2
N = 6 converters
P = 2

Af = 125 MHz Af = 125 MHz

2
P, = 0,5 w/cm
2
P, = 0.5 w / cm

5 0 9 8 0 8/07975 0 9 8 0 8/0797

Wandler: Stärke 15,6 <i.m (Resonanzfrequenz 236 MHz) Klebstoff: Indium, 5 <<.m oder von geringerer Stärke. Optischer Wirkungsgrad: 10 % oder mehr über die volle Bandbreite, 25 % am Scheitelpunkt.Transducer: strength 15.6 <i.m (resonance frequency 236 MHz) Adhesive: indium, 5 <<. M or less thick. Optical efficiency: 10% or more over the full bandwidth, 25% at the apex.

Die zugehörige elektrische Schaltung und die Verbindungen zwischen den Wandlern sind in den Fig. 3 bis 5 gezeigt. Als Spannungsquelle, die einen vorbestimmten Frequenzbereich zur Verfügung stellt, kann ein Oszillator 36 vorgesehen sein, dem ein Transformator 37 zugeordnet ist, der in Fig. 3 schematisiert angedeutet ist, so daß eine als Ganzes mit 38 bezeichnete Oszillatoreinheit gebildet wird. Die Wandler 21 sind durch Leitungen 40 in Reihe mit der Oszillatoreinheit 38 geschaltet. Die Leitungen 40 sind, wie es in Fig. 4 gezeigt ist, abwechselnd an Stufenflächen 39 angeordnet. Die Leitungen 40 verbinden die Klebstoffschichten 35 aus Indium, die die Wandler 21 mit der jeweils zugeordneten Stufe 2 3 verkitten. Alternativ können die Wandler 21 jedoch auch dadurch miteinander verbunden sein, daß, wie es in Fig. 5 gezeigt ist, die Flächen 28 undThe associated electrical circuit and the connections between the transducers are shown in Figs. As a voltage source, which have a predetermined frequency range available represents, an oscillator 36 can be provided to which a transformer 37 is assigned, which is shown schematically in FIG. 3 is indicated, so that an oscillator unit designated as a whole by 38 is formed. The transducers 21 are through Lines 40 connected in series with the oscillator unit 38. The lines 40 are, as shown in Fig. 4, alternate arranged on step surfaces 39. The lines 40 connect the adhesive layers 35 made of indium, which the transducers 21 cement with the respectively assigned level 2 3. Alternatively, however, the transducers 21 can also be connected to one another in this way be that, as shown in Fig. 5, the surfaces 28 and

29 des Blocks 20 mit Verbindungsschichten 41 beschichtet sind, die als Dünnfilmschichten ausgebildet sind, anstatt eine Verbindung längs der Stufenflächen vorzusehen (wie es Fig. 4 am Beispiel der Leitungen 40 zeigt). Wenn die letztgenannte alternative Lösung zur Anwendung kommt, sind die .als Wärmesenken dienenden Platten 31 und 32 in der Weise kurz zugeschnitten, daß die Verbindungsschichten 41 frei bleiben und dadurch die Klebstoffschichten 35 nicht miteinander kurz geschlossen werden können. Die Wandler 21 sind gegensinnig gepolt und strahlen phasengleich, obgleich sie in Reihe geschaltet sind. Daher wechselt die Richtung des elektrischen Feldes. Der Transformator 37 paßt die Impedanz der Wandler 21 an diejenige der Oszillatoreinheit 38 oder der Energiequelle und der Übertragungsleitungen an. Ein Teil des Transformators wirkt als Induktivität, um die statische Kapazität der Wandler 21 bei der29 of the block 20 are coated with connecting layers 41, which are formed as thin film layers rather than a compound to be provided along the step surfaces (as shown in FIG. 4 using the example of the lines 40). If the latter alternative Solution is used, the plates 31 and 32 serving as heat sinks are cut short in such a way that that the connecting layers 41 remain free and thereby the adhesive layers 35 are not short-circuited with one another can. The transducers 21 are polarized in opposite directions and radiate in phase, although they are connected in series. Therefore changes the direction of the electric field. The transformer 37 matches the impedance of the transducer 21 to that of the Oscillator unit 38 or the power source and transmission lines at. Part of the transformer acts as an inductance, to the static capacity of the transducer 21 in the

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Nennfrequenz f derselben zu neutralisieren.To neutralize the nominal frequency f of the same.

In Fig. 6 sind die äußeren elektrischen Anschlüsse gezeigt, die so ausgebildet sind, daß sie in Verbindung mit dem akustooptischen Deflektor 14 Wärmesenken bilden. Bei dieser Anordnung ist ein Block 45 aus isolierendem Werkstoff in der Nähe der Seitenfläche 2 4 des Blocks 20 auf geeignete Weise mit den Platten 31, 32 oder 33, 34 .verbunden. Der Block 45 aus isolierendem Werkstoff trägt eine Anzahl von Stäben 46 und 50, von denen jeder an einem Ende 47 gefiedert ist und mit seinem anderen Ende 48 einen'zugeordneten Wandler 21 berührt, wenn der Block 45 an der Seitenfläche 24 angebracht ist. Die Stäbe können aus Aluminium, Kupfer oder Messing sein, einen rechteckigen oder runden Querschnitt aufweisen und sind geschwärzt,· so daß sie eine gute Abstrahlung aufweisen. Solche Stäbe oder gefiederten Elemente können auch an anderen Oberflächen des Deflektors 14 angebracht werden, wenn sie nur als Wärmesenken Anwendung finden, ausgenommen die Eintrittsfläche und die Austrittsfläche.25 bzw. 26. ',In Fig. 6 the external electrical connections are shown, which are designed to form heat sinks in conjunction with the acousto-optic deflector 14. With this arrangement is a block 45 of insulating material near the side surface 2 4 of the block 20 in a suitable manner with the plates 31, 32 or 33, 34 connected. The block 45 of insulating material carries a number of rods 46 and 50, from each of which is feathered at one end 47 and touches an associated transducer 21 with its other end 48, if the block 45 is attached to the side surface 24. The rods can be made of aluminum, copper or brass, a rectangular one or round cross-section and are blackened so that they have good radiation. Such bars or Feathered elements can also be attached to other surfaces of the deflector 14 if they are only used as heat sinks Apply, except for the entry surface and the exit surface. 25 or 26. ',

Wie aus den Fig. 3 und 6 zu ersehen ist, sind die Stäbe 46 mit dem Transformator 37 über Leitungen 51 und 52 verbunden. Die Stäbe 50 dienen, da sie zusammenhängende Stücke mit zwei im Abstand voneinander befindlichen Enden 48a bilden, auch als Verbindungsleitungen, die benachbarte Wandler 21 miteinander verbinden. Die Stäbe dienen daher sowohl zur Reihenschaltung der Wandler 21 als auch als Wärmesenken.As can be seen from FIGS. 3 and 6, the bars 46 are connected to the transformer 37 via lines 51 and 52. The rods 50 also serve as they form contiguous pieces with two spaced apart ends 48a as connecting lines, the adjacent transducers 21 to each other associate. The rods therefore serve both to connect the transducers 21 in series and as heat sinks.

Im Betrieb erzeugt der Laser 10 ein kleines Bündel monochromatischen Lichts, das durch das optische System der Linsen^ 11, 12 und 13 als schmaler Lichtschlitz innerhalb des Deflekors fokussiert wird. Tatsächlich wird das Bündel im Mittelpunkt oder in der Mittelebene des Deflektors 14 fokussiert.«, DieIn operation, the laser 10 produces a small monochromatic beam Light that passes through the optical system of the lenses ^ 11, 12 and 13 as a narrow slit of light within the deflector is focused. In fact, the bundle is focused in the center or in the median plane of the deflector 14. «, Die

Oszillatoreinheit 38 ist über den Transformator 37 mit jedem der Wandler 21 in Reihe geschaltet. Bei der vorbestimmten akustischen Frequenz f strahlt jeder Wandler eine Welle der entsprechenden Fequenz von der Seitenfläche 2 4 gegen das gegenüberliegende Ende 27 ab. Die Reihe der von jedem Wandler 21 abgestrahlten Wellen ist phasenverschoben. Daher wird durch die Stufenreihe 22 der Wandler eine zusammengesetzte Wellenfront erzeugt. Der eingeschlossene Winkel zwischen dieser zusammengesetzten Wellenfront und dem einfallenden Licht ändert sich mit der Frequenz f in der Weise, daß die Bragg1sehe Bedingung über den Frequenzbereich Λ f des Deflektors eingehalten wird. Bei der Änderung der Frequenz über den gesamten Frequenzbereich verschiebt sich die Wellenfront und der eingeschlossene Winkel ändert sich, so daß sich das austretende Licht um einen Winkel bewegt, der für Äufzeichnungs- oder Abtastzwecke nutzbar ist. Dieser Winkel ergibt, wie oben beschrieben, ztunindest 1500 verschiedene Lagen des Bündels.The oscillator unit 38 is connected in series with each of the converters 21 via the transformer 37. At the predetermined acoustic frequency f, each transducer emits a wave of the corresponding frequency from the side surface 2 4 towards the opposite end 27. The series of waves radiated from each transducer 21 is out of phase. A composite wavefront is therefore generated by the step series 22 of the transducers. The included angle between this composite wavefront and the incident light changes with the frequency f in such a way that the Bragg 1 see condition is maintained over the frequency range Λ f of the deflector. When the frequency is changed over the entire frequency range, the wavefront shifts and the included angle changes, so that the exiting light moves through an angle which can be used for recording or scanning purposes. As described above, this angle results in at least 1500 different positions of the bundle.

Die hier beschriebene Einrichtung dient zum Ablenken eines monochromatischen Lichtbündels eines Lasers in zumindest 1500 auflösbare Lagen mit einer Rücklaufzeit von 13,3h see, wobei ein Wirkungsgrad der Beugung über den vollen Frequenzbereich oder die gesamte Bandbreite von irindestens 10 % gewährleistet ist. Das Zeit-Bandbreiten-Produkt beträgt 1665. Bei Anwendung für die Linearabtastung mit einer Rücklaufzeit von 10 % wird jedoch die effektive Auflösung auf 1500 Bündellagen oder Punkte reduziert. Die Einrichtung arbeitet mitThe device described here is used to deflect a monochromatic light beam of a laser in at least 1500 resolvable layers with a return time of 13.3h see, with a diffraction efficiency over the full frequency range or the entire range of at least 10% guaranteed is. The time-bandwidth product is 1665. When used for linear scanning with a flyback time however, from 10% the effective resolution is reduced to 1500 bundle layers or points. The facility works with

einer niedrigen Leistungsdichte von O,5w/cm . Bei guter Ausbildung der Wärmesenken kann mit hohem Leistungspegel gearbeitet werden, um einen höheren Wirkungsgrad der Beugung zu bekommen. Die aufgezeigte Gesamtausiegung, bei der eine absichtlich nicht zentrierte Beleuchten g mit einsm Bündel geeigneter Form vorcjenommen wird, um einen optimalen Kompromißa low power density of 0.5 w / cm. With good training the heat sinks can be operated at high power levels to achieve higher diffraction efficiency receive. The overall weighing shown, in which one intentionally off-center lighting g with a suitable bundle Form is made in order to find an optimal compromise

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aus Auflösungsvermögen und Wirkungsgrad zu erhalten,, ist gegenüber den vom Stand der Technik vermittelten Lehren neuartig. Auch die Verwendung von Wandlern hoher Frequenz, die eine höhere Frequenz*verarbeiten können, als es der der Konstruktionsauslegung entsprechenden Nennfrequenz der Einrichtung entspricht, ergibt eine Kompensierung der Dämpfung in den einzelnen Klebstoffschichten, die dazu erforderlich sind, das akustooptische Element an sich zusammenzuhalten.to obtain from resolving power and efficiency, is novel compared to the teachings conveyed by the prior art. Also the use of high frequency converters, that can process a higher frequency * than the the nominal frequency of the construction design Device, results in a compensation of the attenuation in the individual adhesive layers, which are necessary for to hold the acousto-optic element together.

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Claims (1)

- 20 Patentansprüche - 20 claims [1.J Vorrichtung zum akustooptischen Modulieren von Licht/ mit einer Quelle für monochromatisches Licht, mit einem Block aus akustooptischem Material, der im Abstand zueinander verlaufende Oberflächen aufweist, von denen eine als Eintrittsfläche für das von der Lichtquelle her einfallende Licht vorgesehen ist,und der eine weitere Oberfläche aufv/eist, die mit einem piezoelektrischen Wandler gekuppelt ist, der in Abhängigkeit von zugeführten elektrischen Signalen akustische Wellen im Innern des akustooptischen Materials erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß der Block(20) aus akustooptischem Material so geformt ist, daß er an einem Ende eine Stufenreihe (22) mit zueinander parallelen Stufen (23) bildet, die über Stufenflächen(39) miteinander verbunden sind, und daß an jeder Stufe (23) ein gesonderter Wandler (21) angebracht ist.[1.J Device for acousto-optic modulation of light / with a source for monochromatic light, with a block of acousto-optic material which has surfaces running at a distance from one another, one of which is provided as an entry surface for the light incident from the light source, and which has a further surface which is coupled to a piezoelectric transducer which, in response to supplied electrical signals, generates acoustic waves inside the acousto-optic material, characterized in that the block (20) of acousto-optic material is shaped to be at one end a row of steps (22) with mutually parallel steps (23) which are connected to one another via step surfaces (39), and that a separate transducer ( 21 ) is attached to each step (23). 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandler (2X) im wesentlichen rechteckförmig ausgebildet und mit den über die Stufenflächen (39) miteinander verbundenen Oberflächen der Stufen (23) verkittet sind und daß die Wandler (21) elektrisch miteinander in Reihe geschaltet und mit einer elektrischen Oszillatoreinheit (38) ,verbunden sind, so daß die Wandler (21) phasengleich akustische Wellen abstrahlen, um eine zusammengesetzte Wellenfront zu bilden.2. Device according to claim 1, characterized in that the transformer (2X) is formed substantially rectangular in shape and are cemented to the interconnected via the step faces (39) surfaces of the steps (23) and that the transducer (21) electrically connected in series and connected to an electrical oscillator unit (38), so that the transducers (21) emit acoustic waves in phase to form a composite wave front. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß3. Apparatus according to claim 2, characterized in that die über die Stufenflächen (39) miteinander verbundenen Oberflächen der Stufen (2 3) im wesentlichen .senkrecht zu den Stufenflächen (39) verlaufen. _the surfaces connected to one another via the step surfaces (39) of the stages (2 3) essentially. perpendicular to the Step surfaces (39) run. _ .4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß am der Stufenreihe (22) entgegengesetzten Ende.4. Device according to one of Claims 1 to 3, characterized in that that at the end of the row of steps (22) opposite (27) des Blocks (20) ein Absorber (30) zum Absorbieren und Zerstreuen der durch den Block (20) hindurchgelaufenen akustischen Wellen vorgesehen ist.(27) of the block (20) an absorber (30) for absorbing and dispersing those which have passed through the block (20) acoustic waves is provided. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Absorber (30) im wesentlichen die gleiche akustische Impedanz aufweist wie das akustooptische Material des Blocks (20) ..5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the absorber (30) has essentially the same acoustic Has impedance like the acousto-optic material of the Blocks (20) .. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß, Eintrittsfläche (25) und Austrittsfläche6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that that, entry surface (25) and exit surface (26) ausgenommen, an mindestens.einer Oberfläche des Blocks (20) ein Wärmesenke (31, 32, 46, 50) für die Abfuhr von durch die Fortpflanzung der akustischen Wellen erzeugter Wärme vorgesehen ist. ■(26) except on at least one surface of the Blocks (20) a heat sink (31, 32, 46, 50) for the removal of generated by the propagation of acoustic waves Heat is provided. ■ 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Block (20) aus akustooptischein Material auf einem Träger (31 bis 34) angebracht ist.7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that that the acousto-optic block (20) is mounted in material on a support (31 to 34). 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine mit der Lichtquelle (10) zusammenwirkende optische Einrichtung vorgesehen ist, die eine erste zylindrische Linse (13) zum Fokussieren des Lichts in einer schmalen geraden Linie innerhalb des akustooptischen Materials und eine zweite zylindrische Linse (15) aufweist, um das aus dem akustooptischen Material austretende Licht wieder zu.einem breiteren Lichtbündel aufzuspreizen.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that that one with the light source (10) cooperating optical device is provided, which is a first cylindrical lens (13) for focusing the light in a narrow straight line within the acousto-optic material and a second cylindrical lens (15) to recirculate the light emerging from the acousto-optic material to spread a wider beam of light. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Lichtbündel der Lichtquelle (10) relativ zur Eintrittsfläche (25) des Blocks (20) gegenüber der zentrierten Lage verschoben ist, um den Wirkungsgrad und die Auflösung des akustooptischen Materials zu verbessern, und daß das Bündel9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that that the light beam of the light source (10) relative to the entrance surface (25) of the block (20) opposite the centered Position is shifted to improve the efficiency and resolution of the acousto-optic material, and that the beam . auf die Eintrittsfläche (25) in einem solchen Winkel auf-. fällt, daß die Bragg1sehe Bedingung erfüllt ist.. on the entry surface (25) at such an angle. falls that the Bragg 1 see condition is met. 509808/0797509808/0797 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß als akustooptisches Material Bleimolybdat vorgesehen ist und daß die Wandler (21) aus Lithiumniobat gefertigt sind.10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that that lead molybdate is provided as acousto-optical material and that the transducer (21) is made of lithium niobate are made. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke des Lithiumniobats der Wandler (21) ungefähr IS1Gt^m beträgt und daß das Lithiumniobat mittels einer Schicht aus Indium, deren Stärke nicht mehr als 5^ m beträgt, mit dem akustooptischen Material verkittet ist.11. The device according to claim 10, characterized in that the thickness of the lithium niobate of the transducer (21) is approximately IS 1 Gt ^ m and that the lithium niobate by means of a layer of indium, the thickness of which is not more than 5 ^ m, with the acousto-optical Material is cemented. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Resonanzfrequenz der Wandler (21) höher ist als eine vorbestimmte Nennfrequenz der Vorrichtung.12. Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that that the resonance frequency of the transducer (21) is higher than a predetermined nominal frequency of the device. 13i Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe der Stufen (2 3) mit der in halben Wellenlängen ausgedrückten Nennfrequenz in einem ganzzahligen Verhältnis steht.13i device according to claim 12, characterized in that the height of the steps (2 3) with the nominal frequency expressed in half wavelengths in an integer Relationship stands. 14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Stufenreihe (22^ sechs Stufen (23) aufweist. .14. Device according to one of claims 1 to 13, characterized in that that the series of steps (22 ^ six steps (23) having. . 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer vorbestimmten Nennfrequenz der Vorrichtung in der Größenordnung von ungefähr 175 Megahertz die Resonanzfrequenz eier piezoelektrischen V7andler ungefähr 236 Megahertz beträgt.15. Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that that at a predetermined nominal frequency of the device on the order of about 175 megahertz the resonance frequency of a piezoelectric transducer approximately 236 megahertz. 509808/0797509808/0797
DE19742436536 1973-07-30 1974-07-29 Device for acousto-optic module cleaning by Ucht Expired DE2436536C3 (en)

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US38385073 1973-07-30
US383850A US3869197A (en) 1973-07-30 1973-07-30 Light-deflecting system for effecting bragg diffraction over a wide bandwidth

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DE2436536A1 true DE2436536A1 (en) 1975-02-20
DE2436536B2 DE2436536B2 (en) 1976-10-28
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3001621A1 (en) * 1979-01-19 1980-07-24 Nissan Motor DEVICE FOR PERCEIVING OBSTACLES FOR VEHICLES

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US3869197A (en) 1975-03-04
CA1020659A (en) 1977-11-08
GB1478362A (en) 1977-06-29
FR2239693B1 (en) 1979-04-06
DE2436536B2 (en) 1976-10-28
FR2239693A1 (en) 1975-02-28

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