DE19804594A1

DE19804594A1 - Electronic component semiconductor mounting tray for transportation and testing during manufacture

Info

Publication number: DE19804594A1
Application number: DE1998104594
Authority: DE
Inventors: Alfred Gottlieb; Stefan Paulus
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1998-02-05
Filing date: 1998-02-05
Publication date: 1999-08-19

Abstract

A transport device or tray with several receptacles (1) for accommodating individual electronic components (2), includes a transponder (6) which contains read-out data for identifying the tray and/or its contents. The transponder (6) is mounted in one (5) of the receptacles and can be retrieved intact from this receptacle. The transponder is more specifically placed in a housing (8) which corresponds to the standardised housing (SDJ) of the component (2).

Description

Die Erfindung liegt auf dem Gebiet des Transports, insbeson dere bei der Fertigung und Prüfung, von sensiblen Bauteilen, vor allem in der Halbleiterfertigung.The invention is in the field of transportation, in particular in the manufacture and testing of sensitive components, especially in semiconductor manufacturing.

Dazu werden z. B. auch als Trays bezeichnete tablettförmige Transportvorrichtungen mit einzelnen Nestern oder Aufnahmen verwendet, die zur individuellen, geschützten und definierten Aufnahme der zu transportierenden Bauteile dienen. Um die je weilige Transportvorrichtung und damit die einzelnen Bautei le, zum Beispiel während des Fertigungsprozesses, verfolgen, identifizieren und somit logistisch zuordnen zu können, ist die Verwendung von mitgeführten Datenspeichern bzw. Datensen dern vorteilhaft.For this, z. B. also called tray-shaped Transport devices with individual nests or receptacles used for individual, protected and defined Take up the components to be transported. To the ever because of the transport device and thus the individual components le, for example during the manufacturing process, identify and thus logistically assign, is the use of carried data storage or data advantageous.

Derartige Datensender/Datenspeicher werden auch als Transpon der bezeichnet. Üblicherweise werden in den Speicherbereich eines derartigen Transponders auslesbare Daten eingeschrie ben, die bedarfsweise von einem mit dem Transponder korre spondierenden Sende-/Empfangsgerät ausgelesen werden können. Die dazu transponderseitig notwendige Energie kann von dem Sende-/Empfangsgerät in Form elektromagnetischer Strahlung an den Transponder übertragen werden. Der Transponder sendet daraufhin seinen Speicherinhalt zurück.Such data transmitters / data memories are also called transposes the designated. Usually in the memory area readable data of such a transponder ben, if necessary by a correct with the transponder sponding transceiver can be read out. The energy required for this on the transponder side can be obtained from the Transceiver in the form of electromagnetic radiation the transponder are transmitted. The transponder sends then its memory content back.

Aus der älteren Patentanmeldung mit dem amtlichen Aktenzei chen 197 45 228.0 ist eine Transportvorrichtung der einlei tend beschriebenen Art bekannt, bei der der Transponder fest in die Transportvorrichtung integriert ist, beispielsweise indem der Transponder in dem Tray-Rahmen durch Einkleben, Vergießen oder Kleben fixiert ist. Dadurch verteuert sich je doch der Gesamtaufwand für eine derartige Transportvorrich tung. From the earlier patent application with the official Aktenzei Chen 197 45 228.0 a transport device of the type described is known in which the transponder is firmly integrated into the transport device, for example by the transponder being fixed in the tray frame by gluing, casting or gluing . As a result, the total cost of such a transport device becomes more expensive.

Dies erscheint unter betriebswirtschaftlichen Gesichtspunkten nicht immer befriedigend, weil diese vergleichsweise kosten intensive Transportvorrichtung auch in den Phasen eines Transport- oder Lagerprozesses verwendet werden muß, in denen es auf die Leistungsmerkmale des Transponders überhaupt nicht ankommt. Im übrigen erfordert die bekannte Transportvorrich tung, daß vor der Lieferung der Bauteile beispielsweise an Kunden diese in eine nicht mit einem Transponder bestückte Transportvorrichtung umgelagert werden müssen, um die trans ponderbestückte Transportvorrichtung für einen erneuten Transportprozeß in der Fertigungs- oder Prüflinie verwenden zu können.This appears from a business point of view not always satisfactory because they cost comparatively intensive transport device even in the phases of a Transport or storage process must be used in which it doesn't affect the performance of the transponder at all arrives. For the rest, the known transport device requires tion that, for example, before the delivery of the components Customers put them in a not equipped with a transponder Transport device must be relocated to the trans ponder-equipped transport device for a new one Use transport process in the production or inspection line can.

Die Aufgabe der Erfindung besteht daher in der Schaffung ei ner Transportvorrichtung mit mehreren Aufnahmen für elektro nische Bauteile und mit einem Transponder, die bei reduzier ten Kosten ein größeres Maß an Flexibilität ermöglicht.The object of the invention is therefore to create egg ner transport device with multiple receptacles for electro components and with a transponder that allows a greater degree of flexibility.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Trans portvorrichtung mit mehreren Aufnahmen für einzelne elektro nische Bauelemente mit einem Transponder, der auslesbare Da ten zur Identifizierung der Transportvorrichtung und/oder de ren Inhalts enthält, wobei der Transponder in eine der Auf nahmen eingebracht ist und bedarfsweise aus dieser zerstö rungsfrei wieder entnehmbar ist.This object is achieved by a trans port device with multiple receptacles for single electro African components with a transponder, the readable Da to identify the transport device and / or de contains content, the transponder in one of the on is introduced and, if necessary, destroy it is removable again.

Ein wesentlicher Aspekt der erfindungsgemäßen Transportvor richtung besteht darin, daß der jeweilige Transponder nicht unlösbar der jeweiligen Vorrichtung (z. B. dem Tray) zugeord net ist, sondern bedarfsweise äußerst einfach von der Trans portvorrichtung getrennt und anderweitig verwendet werden kann. Der Transponder ermöglicht somit bei erheblich erhöhter produktiver Auslastung eine logistische Zuordnung der Vor richtung bzw. der transportierten Bauteile. Durch die in den Transponder eingespeicherten und aus diesem bedarfsweise aus lesbaren Daten können nicht nur die Bauteile bzw. die jewei lige Transportvorrichtung zuverlässig identifiziert werden, sondern auch eine übergeordnete Zuordnung beispielsweise zu verschiedenen Fertigungslosen sichergestellt werden.An essential aspect of the transport device according to the invention direction is that the respective transponder is not non-detachably assigned to the respective device (e.g. the tray) net, but if necessary extremely simple from the Trans port device separated and used otherwise can. The transponder thus allows for significantly increased productive utilization a logistical assignment of the pre direction or the transported components. By in the Transponder stored and from this if necessary Readable data can not only the components or the respective reliable transport device can be reliably identified, but also a higher-level assignment, for example various production lots can be ensured.

Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Transportvor richtung besteht somit darin, daß der jeweilige Transponder jederzeit für andere Trays, Lose oder Prozeßbereiche einge setzt oder ausgetauscht werden kann. Ein weiterer ganz erheb licher Vorteil besteht darin, daß für die Produktion/Prüfung einerseits und für die anschließende Lagerung oder Ausliefe rung zum Kunden andererseits dieselbe Transportvorrichtung verwendet werden kann, wobei der Transponder zu gegebener Zeit zuvor entfernt wird. Die Notwendigkeit, zwei unter schiedliche Transportvorrichtungen (Trays) für die Produktion einerseits und die Lagerhaltung bzw. Lieferung andererseits vorzuhalten, entfällt daher. Daraus resultieren auch Kosten einsparungen, indem die Qualifikation, Betreuung von Änderun gen usw. nur noch für eine einzige Transportvorrichtungsart erforderlich ist. Ein weiterer wirtschaftlicher Vorteil bei Verwendung erfindungsgemäßer Transportvorrichtungen ergibt sich dadurch, daß insgesamt weniger Transponder erforderlich sind. Es müssen nämlich nur jeweils die Transportvorrichtun gen mit einem Transponder versehen sein, die tatsächlich in der jeweiligen Fertigungs- oder Prüflinie produktiv sind. Sind z. B. Trays im Lager oder zur Inspektion, wird der je weilige Transponder entnommen und für andere derzeit produk tive Trays verwendet.A major advantage of the Transportvor invention direction is thus that the respective transponder at any time for other trays, lots or process areas sets or can be replaced. Another very significant licher advantage is that for production / testing on the one hand and for subsequent storage or delivery the same transport device to the customer can be used, the transponder to given Time is removed. The need to take two under various transport devices (trays) for production on the one hand and warehousing or delivery on the other to be held available is therefore not necessary. This also results in costs savings by qualifying, managing change conditions etc. only for a single type of transport device is required. Another economic advantage at Use of transport devices according to the invention results the fact that fewer transponders are required overall are. Only the transport devices have to be used gen with a transponder that are actually in of the respective production or test line are productive. Are z. B. trays in the warehouse or for inspection, each some transponders removed and currently in production for others tive trays used.

Eine hinsichtlich der Handhabung und der gegebenenfalls auto matischen Bestückung der jeweiligen Aufnahme mit dem Trans ponder vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß der Transponder in einem Gehäuse untergebracht ist, das dem standardisierten Gehäuse der Bauteile entspricht. Dies hat außerdem den Vorteil, daß der Transponder gegebenenfalls durch auf die Bauteilgehäuse abgestimmte Halteelemente sicher und zuverlässig in seiner Aufnahme gehalten werden kann.One in terms of handling and, if necessary, auto the trans ponder advantageous embodiment of the invention provides that the transponder is housed in a housing that corresponds to the standardized housing of the components. This also has the advantage that the transponder, if necessary through holding elements matched to the component housing and can be held reliably in its recording.

Ebenfalls hinsichtlich einer automatisierten Bestückung der Aufnahmen ist es vorteilhaft, wenn der Transponder in eine Aufnahme eingesetzt ist, die sich an einer vorbestimmten Po sition der Aufnahmevorrichtung befindet.Also with regard to an automated assembly of the It is advantageous if the transponder is in a recording Recording is used, which is located at a predetermined bottom sition of the cradle is located.

Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vor gesehen, daß in dem Transponder frei programmierbare Daten gespeichert sind. Dies erhöht die Flexibilität der erfin dungsgemäßen Vorrichtung dadurch weiter, daß zu jedem Ferti gungszeitpunkt Daten gelesen, geändert oder ergänzt werden können. Dadurch kann zum Beispiel die Transportvorrichtung über eine im Transponder gespeicherte Identnummer in einem neuen Los mit aufgenommen werden, wobei die Identnummer neben produktspezifischen Angaben (beispielsweise Speicherkapazität der Bausteine) auch einen Standortschlüssel und weitere pro duktbezogene Informationen enthalten kann.According to an advantageous development of the invention is before seen that freely programmable data in the transponder are saved. This increases the flexibility of the inventor device according to the invention further characterized in that for each ferti When data is read, changed or supplemented can. This allows, for example, the transport device via an ID number stored in the transponder in one new lot can be included, with the identification number next to product-specific information (e.g. storage capacity the building blocks) also a location key and other pro may contain product-related information.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines figürlich darge stellten Ausführungsbeispiels weiter erläutert.The invention is illustrated below with the aid of a figure presented embodiment explained further.

Die Figur zeigt eine erfindungsgemäße Transportvorrichtung, die tablettförmig ausgestaltet ist (Tray) und mehrere Aufnah men aufweist. In jede Aufnahme 1 ist ein einzelnes elektroni sches Bauteil einsetzbar. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist die in der Figur gezeigte Transportvorrichtung nur mit wenigen Bauteilen 2 bestückt gezeigt. An einer bestimmten Po sition der Transportvorrichtung - nämlich in die Aufnahme 5 - ist (wie schematisch und stark vergrößert dargestellt) ein Gehäuse 6 eingebracht. Das Gehäuse enthält einen Transponder 7. Der Transponder 7 ist in an sich bekannter, z. B. eingangs und in der DE 197 45 228.0 beschriebener Weise aufgebaut und enthält eine schematisch angedeutete Sende- und Empfangsspule 8. The figure shows a transport device according to the invention, which is designed in the form of a tray (tray) and has several receptacles. In each receptacle 1 , a single electronic component can be used. For the sake of clarity, the transport device shown in the figure is shown equipped with only a few components 2 . At a certain position of the transport device - namely in the receptacle 5 - a housing 6 is (as shown schematically and greatly enlarged). The housing contains a transponder 7 . The transponder 7 is known per se, for. B. initially and described in DE 197 45 228.0 and contains a schematically indicated transmission and reception coil 8 .

Die Spule 8 dient einerseits zur Aufnahme von Energie, die von einem externen, nicht dargestellten Sende-/Empfangsgerät abgestrahlt wird. Die so empfangene Energie wird im Transpon der umgesetzt und zum Auslesen und Senden von in dem Trans ponder gespeicherten Daten D verwendet. Das Transponderprin zip ist an sich bekannt und muß daher nicht weiter erläutert werden.The coil 8 serves on the one hand to absorb energy that is emitted by an external transceiver, not shown. The energy received in this way is implemented in the transponder and used for reading and sending data D stored in the transponder. The transponder principle zip is known per se and therefore need not be explained further.

Die in dem Transponder gespeicherten Daten D dienen zur Iden tifizierung der Transportvorrichtung und zur Spezifizierung der in den Aufnahmen 1 enthaltenen Bauteile 2. Dies erfolgt üblicherweise mit einer den Bauteilen zugeordneten Identnum mer, die beispielsweise die Produktart, Varianten oder Prüf bedingungen repräsentieren kann. Mit Hilfe des Transponders läßt sich der Bauteilfluß beispielsweise in der Halbleiter fertigung verfolgen und eine logistische Zuordnung der Bau teile beispielsweise zu bestimmten Losen realisieren.The data D stored in the transponder serve to identify the transport device and to specify the components 2 contained in the receptacles 1 . This is usually done with an ident number assigned to the components, which can represent, for example, the product type, variants or test conditions. With the help of the transponder, the component flow can be tracked, for example, in semiconductor production and a logistical assignment of the components can be realized, for example, for specific lots.

Der Transponder 7 ist in einem standardisierten Gehäuse SOJ untergebracht, das den SOJ-Gehäusen der Bauteile 2 ent spricht.The transponder 7 is housed in a standardized housing SOJ, which speaks the SOJ housings of the components 2 ent.

In einer alternativen Ausgestaltung kann der Transponder 7' mit seiner Spule 8' auch in einem Gehäuse 6' angeordnet sein, das beispielsweise die Form eines standardisierten TSOP-(Thin Small Outline Package)-Gehäuses hat, wenn vorzugsweise auch die Bauteile 2 ein entsprechendes TSOP-Gehäuse aufweisen. Dieser Transponder 7' kann anstelle des Transponders 7 in der definierten Position der Aufnahme 5 eingebracht sein und/oder auch in einer anderen definierten Aufnahme 10 abgelegt sein. Vorzugsweise sind die Datenspeicher der Transponder 7, 7' frei mit Codes beschreibbar, so daß während des Transportpro zesses bedarfsweise der Speicherinhalt geändert werden kann. Selbstverständlich können auch andere Gehäusetypen (beispielsweise QFP [Quad Flad Package] oder SO) vorgesehen werden. Sofern das Transpondergehäuse den Gehäusen der Bau teile entspricht, kann der Transponder in gleicher Weise wie die Bauteile in der jeweiligen Aufnahme 5, 10 festgelegt und gesichert werden.In an alternative embodiment, the transponder 7 'with its coil 8 ' can also be arranged in a housing 6 'which, for example, has the form of a standardized TSOP (Thin Small Outline Package) housing, if preferably the components 2 also have a corresponding TSOP -Have housing. This transponder 7 'can be inserted in the defined position of the receptacle 5 instead of the transponder 7 and / or can also be stored in another defined receptacle 10 . Preferably, the data memories of the transponders 7 , 7 'can be freely written with codes, so that the memory content can be changed if necessary during the transport process. Of course, other types of housings (for example QFP [Quad Flad Package] or SO) can also be provided. If the transponder housing corresponds to the housing of the construction parts, the transponder can be fixed and secured in the same way as the components in the respective receptacle 5 , 10 .

Der Transponder 7 wird wie ein Bauteil 2 in die Aufnahme 5 eingelegt und kann jederzeit aus dieser auch wieder entnommen werden, um beispielsweise Verwendung in anderen Transportvor richtungen (Trays), Losen oder Prozeßbereichen zu finden. Die Verwendung von Transpondern mit frei programmierbaren Codes erhöht die Flexibilität der Transportvorrichtung erheblich. Nachdem die Bauteile die Fertigungs- oder Prüfphasen durch laufen haben, bei denen ein Transponder notwendig oder vor teilhaft ist, können die Bauteile 2 in dem Tray verbleiben, während der Transponder leicht entfernt werden kann. Die Not wendigkeit unterschiedliche Trays für die Produktion und Prü fung einerseits und anschließenden Transport oder Lagerung andererseits entfällt. Auch bei Funktionsstörungen des Trans ponders oder bei Beschädigungen der übrigen Transportvorrich tung ist ein jeweiliger Austausch der defekten Komponente problemlos unter Weiterverwendung der funktionstüchtigen Kom ponenten möglich. Insgesamt vermindert sich die Anzahl be reitzuhaltender Transponder erheblich, weil die Transportvor richtung nur so lange mit einem Transponder bestückt sein kann, wie die Leistungsmerkmale des Transponders benötigt werden, das heißt, so lange der Transponder tatsächlich pro duktiv ist.The transponder 7 is inserted like a component 2 in the receptacle 5 and can also be removed from it at any time, for example for use in other transport devices (trays), lots or process areas. The use of transponders with freely programmable codes considerably increases the flexibility of the transport device. After the components have gone through the manufacturing or testing phases in which a transponder is necessary or before, the components 2 can remain in the tray while the transponder can be easily removed. The need for different trays for production and testing on the one hand and subsequent transport or storage on the other hand is eliminated. Even in the event of malfunctions in the trans ponder or in the event of damage to the other transport devices, it is possible to replace the defective component without any problem while using the functional components. Overall, the number of transponders to be maintained is reduced considerably because the Transportvor device can only be equipped with a transponder as long as the performance features of the transponder are required, that is, as long as the transponder is actually productive.

Selbstverständlich kann der Aufnahmebereich der Transportvor richtung in Abweichung von dem dargestellten Beispiel auch anders gestaltet oder geformt sein, z. B. zur sequentiellen Aufnahme der Bauteile.Of course, the reception area can be used for transport direction in deviation from the example shown be designed or shaped differently, e.g. B. for sequential Recording the components.

Claims

1. Transport device with several receptacles ( 1 ) for a single electronic component ( 2 )
with a transponder ( 6 ) which contains readable data (D) for identifying the transport device and / or its content,
wherein the transponder ( 6 ) is placed in one of the receptacles ( 5 ) and, if necessary, can be removed from it without destroying it.

2. Device according to claim 1, characterized in that the transponder ( 6 ) is housed in a housing ( 8 ) which speaks the standardized housing (SOJ) of the components ( 2 ) ent.

3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the transponder ( 6 ) is inserted into a receptacle ( 5 ) which is located at a predetermined position of the receptacle.

4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that in the transponder ( 6 ) freely programmable data (D) are saved.