DE19640674C2 - Verfahren zur Ermittlung und Korrektur der maschinenbedingten Meßfehler eines Koordinatenmeßgerätes von nicht kartesischem und/oder nichtstarrem Aufbau - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung der maschinenbedingten Meßfehler eines Koordinatenmeßgerä­ tes mit nichtstarrem und/oder nichtkartesischem Aufbau mit drei bis Sechs Gelenkbeinen, wobei mindestens drei Gelenk­ beine gelenkig und längenverstellbar sind.

Bei einem nichtkartesischen Aufbau des Koordinatenmeß­ gerätes kann der Tastkopf beispielsweise über allseitig drehbare Gelenkstücke mit dem das auszumessende Werkstück oder dergleichen tragenden Tisch verbunden sein (DE-OS 44 03 901 A1) oder aber auch von meßbar ausfahrbaren und/oder allseitig drehbaren Beinen getragen werden, zum Beispiel in Hexapodenbauweise (DE-Patentanmeldung 195 34 535.5).

Unter einem nichtstarren Aufbau eines Koordinatenmeß­ gerätes wird verstanden, daß die geometrischen Abweichungen bei der Bewegung des Tastkopfes längs einer Achse von der Position der anderen Achsen abhängig sind. Derartige Abwei­ chungen können auch bei Koordinatenmeßgeräten auftreten, bei denen der Tastkopf in den kartesischen Koordinatenrich­ tungen bewegbar ist.

Bei den bekannten Koordinatenmeßgeräten, bei denen der Tastkopf in den drei kartesischen Koordinatenrichtungen be­ wegbar ist, wird nach einem bekannten Verfahren die spezi­ fizierte Genauigkeit mit Hilfe einer Geometriekorrektur er­ reicht, bei der die Abweichungen der Maßstäbe in den karte­ sischen Koordinatenrichtungen und der die Geometrie bestim­ menden Elemente gemessen, rechnerisch bestimmt und ermit­ telt werden. Bei derartigen Koordinatenmeßgeräten sind ei­ nerseits die Maßstabsabweichungen zu ermitteln und zu spei­ chern, ferner die auftretenden rotatorischen Abweichungen in jeder Koordinatenrichtung und schließlich die Gerad­ heitsabweichungen. Dies sind insgesamt 18 Meßlinien, längs denen Fehler zu ermitteln sind. Hinzu kommen noch drei mög­ liche Winkelabweichungen der kartesischen Koordinatenrich­ tungen zueinander.

Bei der Aufnahme dieser Abweichungen mit optischen Mitteln wird bei einem solchen Koordinatenmeßgerät jeweils entlang einer Achse nahezu geradlinig verfahren, wobei mit optischen Aufbauten die rotatorischen Geradheits- und Po­ sitionsabweichungen der Meßwerte in einem vorbestimmten Ra­ ster aufgenommen werden. Hierfür werden üblicherweise Laser-Interferometer verwendet, für einige Komponenten auch Laser-Kreisel oder weitere Geräte. Bei verringerten Genau­ igkeitsansprüchen hinsichtlich der zu ermittelnden maschi­ nenbedingten Meßfehler kann auch ein Laser-Doppler-Meßgerät eingesetzt werden.

Mit den ermittelten Abweichungen werden dann mit Hilfe eines Modells des Koordinatenmeßgerätes korrigierte Koordi­ naten von Antastpunkten berechnet. Dieses Modell setzt in der Regel, abgesehen von thermischen oder dynamischen Kor­ rekturen, eine fiktive starre Meßmaschine voraus, das heißt, die Abweichungen entlang einer Achse, zum Beispiel der X-Achse, dürfen nicht von der Position der weiteren Achsen, nämlich der Y- und der Z-Achse, bei der Aufnahme der Korrekturwerte abhängen.

Ist der mechanische Aufbau des Koordinatenmeßgerätes nicht in genügender Näherung starr oder nicht kartesisch, beispielsweise bei einem Koordinatenmeßgerät, bei dem der Tastkopf von Gelenkarmen getragen wird, können weit mehr als drei Meßlinien für die Ermittlung der maschinenbeding­ ten Meßfehler erforderlich sein.

Darüber hinaus ist es möglich, je nach Aufbau des Ko­ ordinatenmeßgerätes und je nach Größe der zu korrigierenden Abweichungen, daß bei einem nichtstarren oder nichtkartesi­ schen Koordinatenmeßgerät ohne Korrektur die optischen Auf­ nahmemittel nicht genügend genau geradlinig geführt werden können, so daß Meßfehler oder Unterbrechungen des Strahls der optischen Aufnahmemittel die Folge sind.

Eine Ermittlung der maschinenbedingten Meßfehler bei derartigen Geräten nach der eingangs genannten Methode ist daher nicht mehr praktikabel.

Nach dem Stand der Technik ist es bei Koordinatenmeß­ geräten, bei denen der Tastkopf in den kartesischen Koordi­ natenrichtungen verschiebbar ist, weiterhin bekannt, die Meßfehler mit Hilfe eines Prüfkörpers bekannter Geometrie zu ermitteln, indem einzelne Punkte dieses Prüfkörpers an­ getastet werden und die Abweichungen vom Soll-Wert bestimmt und festgehalten werden. Hierfür können die Kugeln von Ku­ gelplatten, die Löcher von Lochplatten, die Kugelbuchsen von Kugelbuchsenplatten oder ähnliche Elemente der Prüfkör­ per dienen. Diese Prüfkörper erlauben die Messung der Ab­ weichungen an vielen Orten im Meßvolumen, die nicht auf we­ nige gerade Meßlinien beschränkt sind. Diese Prüfkörper ha­ ben jedoch den Nachteil, daß sie im Meßbereich nur ein re­ lativ grobes Raster für die Meßfehlerermittlung ermögli­ chen, da im Meßvolumen nur einzelne Punkte angetastet wer­ den können, welche in einem relativ groben Rasterabstand zueinander liegen, was durch den kleinstmöglichen Kugel- oder Lochabstand der Prüfkörper bedingt ist. Der Kugel- oder Lochabstand bei derartigen Prüfkörpern beträgt übli­ cherweise circa 60 bis 150 mm.

Überträgt man dieses Verfahren auf ein Gerät mit einem nicht in den kartesischen Koordinatenrichtungen verschieb­ baren Tastkopf, dann kann man also nur mit einem relativ groben Raster die maschinenbedingten Meßfehler ermitteln.

Gemäß dem Stand der Technik (DE 19 51 8268 A1) ist ein Verfahren zur Korrektur der Maschinenbiegung bekannt. Gemäß dieser Druckschrift ist jedoch kein Verfahren beschrieben, welches sich ohne weiteres auf allgemeine nichtkartesische Aufbauten übertragen lassen würde.

Weiterhin ist gemäß dem Stand der Technik (Information der Firma Heidenhain: NC-Längenmeßsysteme, Mai 92; Seite 9) bekannt, Maßstabsabweichungen zu bestimmen. Gemäß dieser Druckschrift ist jedoch nur bekannt, ausschließlich Maß­ stabsabweichungen zu bestimmen. Weitere Fehler, die bei­ spielsweise von den Antriebsspindeln herrühren, können gemäß dieser Druckschrift nicht erfaßt und korrigiert wer­ den.

Zum Stand der Technik (DE 44 03 901 A1) gehört weiter­ hin eine Methode zum Eichen eines manuellen Gelenkarm-Koor­ dinatenmeßgerätes. Gemäß dieser Druckschrift ist jedoch nur ein einstufiges Aufnahmeverfahren für Geometriefehler gezeigt. Dieses zum Stand der Technik gehörende Verfahren hat den Nachteil, daß es nur bei Koordinatenmeßgeräten mit Abweichungen im Bereich von mehr als einhundert Mikrometern ausreichend ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Ermittlungsverfahren für die Meßfehler bei einem Koordinatenmeßgerät anzugeben, das von nichtkartesischem und/oder nichtstarrem Aufbau ist mit drei bis sechs Gelenkbeinen, wobei mindestens drei Gelenkbeine gelenkig und längenverstellbar sind, bei dem die Fehler der kleinräumigen Abweichungen in einfacher Weise ermittelt werden können und die Fehler der großräu­ migen Abweichungen, soweit sie ins Gewicht fallen, also nicht vernachlässigbar klein sind, ebenfalls in vertretba­ rem Rahmen und darüber hinaus in einem selbsttätigen Meß­ lauf ermittelbar sind.

Unter kleinräumigen Abweichungen werden Abweichungen verstanden, welche in Bereichen variieren, die weitaus kleiner als die Abmessungen des Meßvolumens sind, zum Beispiel verursacht durch Positionsabweichungen der Maßstabsstriche.

Unter großräumigen Abweichungen werden Fehler verstanden, welche in Bereichen variieren, die von ähnlicher Größe wie das Meßvolumen sind, zum Beispiel Abweichungen, die durch die gewichtsbedingte Durchbiegung eines Maschinenbettes entstehen.

Die Ermittlung der kleinräumigen Abweichungen ge­ schieht durch den Schritt a) des Anspruches 1. Denn es wurde gefunden, daß diese Fehler in erster Linie in fehlerhaften Ausfahrlängen beispielsweise der Beine eines Koordinatenmeßgerätes in Hexapodenbauweise liegen. Diese Meßfehler lassen sich leicht und darüber hinaus unabhängig von dem Koordinatenmeßgerät vor dem Einbau der Beine in das Gerät ermitteln, entweder durch Vergleich der Ausfahrlän­ genwerte mit einem Vergleichsmaßstab oder auf andere be­ kannte Weise, etwa auf einer Vorrichtung, auf der jedes Bein separat aufgespannt wird und die Längenmeßabweichung bei der Bestimmung des Abstandes der beiden Anlenkpunkte aufgenommen wird. Insbesondere bei einer serienmäßigen Herstellung der Beine ist dies ein äußerst wirtschaftliches Verfahren.

Für die Ermittlung der großräumigen Abweichungen genügt dann als weiterer Schritt b) des Anspruches 1 die an sich bekannte Prüfkörpermethode. Es kann hierzu somit eine Kugelplatte beispielsweise auf einem Drehtisch angeordnet werden, um diese in bestimmte Winkelstellungen zu fahren, und die Kugeln als Meßkörperelemente können in jeder Dreh­ stellung mit Hilfe des Tasters des Koordinatenmeßgerätes und auch aus unterschiedlichen Richtungen angefahren wer­ den. Die so ermittelten Meßfehler können in bekannter Weise abgespeichert werden.

Um hierbei das Meßvolumen vorteilhaft zu erfassen, kann der Prüfkörper, nachfolgend der Einfachheit halber als Kugelplatte bezeichnet, in vertikaler Richtung auf dem Drehtisch angeordnet werden und in verschiedenen Winkel­ stellungen ausgemessen werden und anschließend längs eines Radius auf dem Drehtisch in bestimmte Positionen parallel zu sich selbst verschoben werden, um erneut ausgemessen zu werden. Hierfür genügen wenige Verschiebestellungen der Ku­ gelplatte.

Es kann grundsätzlich aber auch eine derartige Kugel­ platte ohne Verwendung eines Drehtisches auf dem Tisch ei­ nes Koordinatenmeßgerätes üblicher Bauart nacheinander in drei Stellungen derart angeordnet werden, daß die Kugel­ platte in diesen drei Stellungen die Raumecke eines Würfels oder Quaders verkörpert. Aus einer dieser Stellungen heraus wird dann zusätzlich die Kugelplatte in Intervallen ver­ schoben. In jeder dieser Stellungen werden die Kugeln ange­ fahren und ausgemessen, so daß man im Meßvolumen eine Viel­ zahl von Korrekturwerten erhält.

Gemäß Schritt c) des Anspruches 1 werden aus denen gemäß Schritt a) und Schritt b) gemessenen Abweichungen Korrekturwerte ermittelt, die beim Betrieb des Koordina­ tenmeßgerätes zur Korrektur der Meßwerte verwendet werden.

Die Maßstabkorrektur, welche bei einem Koordinatenmeß­ gerät, beispielsweise in Hexapodenbauweise (DE-Patentanmel­ dung 195 34 535.5), auf die Beine beschränkt ist, erfor­ dert, je nach Qualität von Maßstab und Führung des Gebers, ein feines Raster bei der Korrektur, wie es bei der Aufnahme der Abweichungen mit einem Laser-Interferometer möglich ist. Nicht reproduzierbare Fehler etwa durch Unrundheit von Kugellagerelementen für die Beine, können konstruktiv gering gehalten werden, beispielsweise durch Vorsehen von Luftlagern.

Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung ist der, daß die maßstabgerechte Ermittlung der Länge der Beine und ihrer Meßfehler, welche als kleinräumige Abweichungen in die Messung eingehen, außerhalb des Gerätes vorgenommen werden kann, das heißt auf einem separaten Prüfstand, beispielsweise unter Verwendung eines Laser-Interfero­ meters, was insbesondere bei einer Serienfertigung der Beine gleicher Abmessungen vorteilhaft ist.

Wird ein Drehtisch verwendet, können auch die Abwei­ chungen des Drehtisches bei Verdrehung um Winkelintervalle auf einem separaten Prüfstand ermittelt werden.

Nach der Endmontage des Koordinatenmeßgerätes erfolgt die Eingabe der Korrekturdaten für die Längenabweichung der Beine und gegebenenfalls der Korrektur für die Abweichungen des Drehtisches.

Die Genauigkeit des der Erfindung zugrunde liegenden Koordinatenmeßgerätes reicht jetzt bereits aus, um An­ tastungen an vorbestimmten Raumpunkten durchzuführen.

Durch Aufspannen einer Kugelplatte auf einem Drehtisch in senkrechter Lage, Messung der Abweichungen der Kugelpo­ sitionen in mehreren Drehlagen und in mehreren durch die Vorrichtung eingestellten Antastrichtungen kann jede Kugel unter mehreren verschiedenen Winkelstellungen und Neigungen der Plattform angetastet werden.

Anschließend wird die Kugelplatte vorteilhaft waage­ recht auf dem Drehtisch aufgespannt und in mehreren Höhen­ lagen wiederum ausgemessen. Grundsätzlich genügen hierzu zwei Höhenlagen. Durch Eingabe dieser beiden letztgenannten gemessenen Abweichungen können die Modellparameter oder die Abweichungen im Raumraster ermittelt werden. Der Aufwand der Korrektur beschränkt sich damit auf sechs Längenmessun­ gen, wenn der den Tastkopf tragende Körper nach einer Hexapodenbauart von sechs Beinen getragen wird, ferner auf ein dreimaliges Auf- und Umspannen der Kugelplatte.

Für die Ausmessung der Kugeln der Kugelplatte folgen dann mehrere hundert bis einige tausend Kugelmessungen, welche jedoch automatisch, zum Beispiel über Nacht, in ei­ nem Meßlauf durchgeführt werden können.

Der Aufwand für die Aufnahme der geometrischen Abwei­ chungen des Koordinatenmeßgerätes wird durch das erfin­ dungsgemäße Verfahren zeitlich auf die Hälfte und mehr re­ duziert.

Die erfindungsgemäße Ermittlung der maschinenbedingten Meßfehler zeigt den weiteren Vorteil, daß dann, wenn das Koordinatenmeßgerät umgestellt wird, das heißt an einen an­ deren Ort transportiert wird, oder in einer anderen Orien­ tierung, beispielsweise hängend, angeordnet wird, es nur erforderlich ist, die Fehler der großräumigen Bereiche mit­ tels eines Prüfkörpers neu auszumessen, da die Fehler in den kleinräumigen Bereichen von einer Ortsumstellung des Gerätes unberührt bleiben. Die Meßfehlerermittlung wird damit zeitlich sehr stark reduziert.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran­ sprüchen entnommen werden.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er­ findung dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 ein Koordinatenmeßgerät nach einer Hexa­ podenbauart;

Fig. 2 eine Einzelheit der Fig. 1;

Fig. 3 ein Gerät zur Messung der Ausfahrlänge der Beine;

Fig. 4 ein Verfahren zur Ermittlung der Lage von Rasterpunkten in einem vorgegebenen Meßvo­ lumen.

Gemäß Fig. 1 sind auf einer Grundplatte (1) in den Be­ reichen A', B' und C' jeweils die Endpunkte von Beinen (2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f) paarweise in Kugelgelenken drehbar angeordnet. Die Enden der Beine sind in den Punkten A", B", C" an einem Körper (4) mittels Kugelgelenken angelenkt. Der Körper (4) bildet ein Dreieck mit den Seiten (35a, 35b, 35c).

Um die Beinlängen beim Ausfahren zu ermitteln, ist, wie für das Bein (2a) in Fig. 2 gezeigt, dieses als Zylin­ der (26) ausgebildet, in dem ein Kolben (27) beispielsweise mit Hilfe eines über eine Leitung (30) zugeführten Druck­ mittels verschiebbar ist. An der Kolbenstange (28) des Kol­ bens (27) ist ein Zeiger (32, 33) befestigt, mit dem die Ausfahrlänge des Beines (2a) auf einem mit dem Zylinder (26) verbundenen Maßstab (31) abgelesen werden kann. Die Enden des Beines (2a) sind mittels Kugelgelenken (25, 29) an der Grundplatte (1) und am Körper (4) drehbar gelagert.

Zur Ermittlung der Meßfehler beim Ausfahren eines Bei­ nes werden die Ausfahrlängen vor dem Einbau des Beines in das Koordinatenmeßgerät auf einem Prüfstand gemäß Fig. 3 ermittelt. Jedes Bein, beispielsweise das Bein (2a), wird hierzu an einem Ende mit seiner Kolbenstange (28) in einem Körper (51) über ein Gelenk (50) gelagert. Der Körper (51) ist auf einem Schlitten (52) angeordnet, der längs Führun­ gen (53) in Richtung des Pfeiles (54) verschiebbar ist.

Das andere Ende des Beines ist über ein Gelenk (55) mit einem an der Grundplatte (56) fest angeordneten Körper (57) ortsfest gelagert.

Die Ausfahrlänge der Kolbenstange wird auf dem Maßstab (31) mit Hilfe des Zeiger (32) (in Fig. 3 nicht darge­ stellt) angezeigt (siehe hierzu Fig. 2) Längs den Führungen (53) ist ein Vergleichsmaßstab (58) angeordnet.

Zur Prüfung der Ausfahrlänge des Beines (2a) wird der Schlitten (52) in den Führungen (53) in Richtung des Pfei­ les (54) verschoben und Fehlerabweichungen hinsichtlich der Längenverschiebung für jedes Bein (2a bis 2f) mit Bezug auf den Maßstab (31) mit Hilfe des Vergleichsmaßstabes (58) er­ mittelt. Anschließend werden die Beine in das Koordinaten­ meßgerät nach Fig. 1 eingebaut.

Zur Ermittlung der großräumigen Abweichungen ist gemäß Fig. 4 auf einer Grundplatte (40) längs Führungen (41) eine Kugelplatte (42) in Richtung des Pfeiles (43) verschiebbar. Die Positionen der Kugeln (44) auf der Platte sind bekannt. Durch Antasten der Kugeln mit Hilfe des Tasters (6a), der seinerseits von einem Tastkopf (6) getragen wird, der wie­ derum über einen Ausleger (5) mit dem Körper (4) verbunden ist (Fig. 1), können in jeder Verschiebestellung der Platte (42) die Kugeln (44) der Platte angetastet werden und so eine Vielzahl von Meßpunkten in einem durch die Kugelplatte (42) und ihre Verschiebungsgröße bestimmten Meßvolumen auch unter unterschiedlichen Antastrichtungen der einzelnen Ku­ geln festgelegt werden. Die Verschiebung der Kugelplatte (42) erfolgt vorteilhaft meßbar mit Hilfe einer von einem Motor (46) angetriebenen Spindel (45), wobei eine grobe Bestimmung der Position der Kugelplatte (42) erforderlich ist. Die genaue Bestimmung der Position der Kugelplatte (42) erfolgt nachträglich durch Vergleich mit einer nachfolgenden Messung, bei der die Kugelplatte (42) so angeordnet ist, daß eine ihrer Dimensionen in der ursprünglichen Verschieberichtung liegt.

Bezugszahlen

1

Grundplatte

2

a,

2

b,

2

c,

2

d,

2

e,

2

f Beine

4

Körper

5

Ausleger

6

Tastkopf

6

a Taster

25

Kugelgelenk

26

Zylinder

27

Kolben

28

Kolbenstange

29

Kugelgelenk

30

Leitung

31

Maßstab

32

,

33

Zeiger

35

a,

35

b,

35

c Seiten des Körpers (

4

)

40

Grundplatte

41

Führungen

42

Kugelplatte

43

Pfeil

44

Kugeln

45

Spindel

46

Motor

50

Gelenk

51

Körper

52

Schlitten

53

Führungen

54

Pfeil

55

Gelenk

56

Grundplatte

57

Körper

58

Vergleichsmaßstab
A', B', C' Bereiche
A", B", C" Bereiche

Claims (21)

1. Verfahren zur Ermittlung und Korrektur der maschi­ nenbedingten Meßfehler eines Koordinatenmeßgerätes von nichtkartesischem und/oder nichtstarrem Aufbau mit drei bis sechs Gelenkbeinen, wobei mindestens drei Gelenkbeine gelenkig und längenverstellbar sind, wobei

• a) die kleinräumig variierenden Abweichungen durch Bestimmung der Fehler der Ausfahrlängen der Beine des Koordinatenmeßgerätes vor dem Einbau der Beine in das Koordinatenmeßgerät unabhängig von diesem ermittelt und gespeichert werden,
• b) die großräumig variierenden Abweichungen mit Hilfe eines Prüfkörpers im Koordinatenmeßgerät für eine Vielzahl von Meßpunkten im Meßvolumen ermittelt und gespeichert werden und
• c) aus denen gemäß Schritt a) und Schritt b) gemessenen Abweichungen Korrekturwerte ermittelt werden, die beim Betrieb des Koordinatenmeßgerätes zur Korrektur der Meßwerte verwendet werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung der großräumigen Abweichungen ein Prüf­ körper bekannter Abmessungen mit wenigstens zwei Antastele­ menten in dem Koordinatenmeßgerät angeordnet wird und in mehreren Stellungen des Prüfkörpers an einer Vielzahl von Meßpunkten angefahren wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bekannten Meßpunkte des Prüfkörpers in mehreren Tastkopfausrichtungen angefahren werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Prüfkörper eine Kugelplatte, Lochplatte, Kugelbuch­ senplatte oder dergleichen verwendet wird.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugeln der Kugelplatte, die Löcher der Lochplatte, die Kugelbuchsen der Kugelbuchsenplatte oder dergleichen in wenigstens drei Lageanordnungen der Platte im Koordinaten­ meßgerät angefahren werden, und die Lagen der Platte den zusammenstoßenden Flächen einer Ecke eines Würfels oder Quaders entsprechen.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte in einer der Lageanordnungen parallel zu sich selbst um Intervallstrecken verschoben wird und in je­ der Verschiebestellung die Kugeln, Löcher, Kugelbuchsen oder dergleichen der Platte angefahren werden.

7. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugelplatte, Lochplatte, Kugelbuchsenplatte oder dergleichen auf einem Drehtisch des Koordinatenmeßgerätes in stehender Lage angeordnet und in Winkelintervallen ge­ dreht wird und das Anfahren der Kugeln, Löcher, Kugel­ buchsen oder dergleichen in jeder Drehstellung der Platte erfolgt.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte in einer Drehstellung parallel zu sich selbst um Intervallstrecken verschoben wird und ihre Ele­ mente (Kugeln, Löcher, Kugelbuchsen oder dergleichen) in jeder Stellung angefahren werden.

9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte in stehender Lage auf dem Drehtisch angeord­ net wird, daß nach Anfahren ihrer Elemente in verschiedenen Drehstellungen die Platte liegend auf dem Drehtisch ange­ ordnet wird und ihre Elemente in dieser Stellung der Platte erneut angefahren werden, daß anschließend die Platte parallel zu sich selbst verschoben wird und in wenigstens einer zweiten Parallelstellung die Elemente der Platte ein weiteres Mal angefahren werden.

10. Verfahren nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beim Anfahren der Elemente des Prüfkörpers erhaltenen Meßwerte gespeichert werden.

11. Verfahren nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlung der maschinenbedingten Meßfehler durch Anfahren der Elemente des Prüfkörpers und Verlagerung des Prüfkör­ pers in einem selbsttätigen Meßlauf erfolgt.

12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Ermittlung der Beinlängenfehler in den ver­ schiedenen Ausfahrstellungen der Beine ein Laserstrahl-In­ terferometer verwendet wird.

13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Ermittlung der Beinlängenfehler in den ver­ schiedenen Ausfahrstellungen der Beine ein Vergleichsmaß­ stab verwendet wird.

14. Verfahren nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verringerung der stochastischen Effekte Mehrfachmessungen durchgeführt werden mit gleichen oder leicht versetzten Positionen der anzufahrenden Elemente gegenüber den Grundmessungen.

15. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Beine mit­ tels Kugelgelenken an der Grundplatte sowie an dem den Tastkopf tragenden Körper angelenkt sind, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Erfassung der Mittelpunkte der Kugel­ gelenke mit Hilfe eines auf Meßfehler geprüften Koordi­ natenmeßgerätes erfolgt.

16. Verfahren nach Anspruch 2 unter Verwendung eines Drehtisches, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehtisch auf dem Tisch eines Koordinatenmeßgerätes angeordnet wird und der Prüfkörper auf dem Drehtisch.

17. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem Umbau des Koordinatenmeßgerätes oder nach einer Umstellung des Koordinatenmeßgerätes an einen anderen Aufstellungsort und/oder mit einer anderen Orientierung die ermittelten kleinräumigen Abweichungen übernommen werden und die großräumigen Abweichungen durch Ausmessung eines Prüfkörpers neu ermittelt werden.

18. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Korrektur der maschinenbedingten Meßfehler in einem ersten Schritt die kleinräumig variierenden Abweichungen und in einem zweiten Schritt die großräumig variierenden Abweichungen korrigiert werden.

19. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß aus den gemessenen großräumig variierenden Abweichungen die Parameter eines kinematischen Modells des Koordinaten­ meßgerätes berechnet, gespeichert und bei der Korrektur verwertet werden.

20. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß aus den gemessenen großräumig variierenden Abweichungen die Abweichungen in einem Raumraster des Meßvolumens berechnet, gespeichert und bei der Korrektur verwertet werden.

21. Verfahren nach Anspruch 19 oder 20, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die gemessenen Abweichungen, die Parame­ ter des kinematischen Modells und/oder die Abweichungen im Raumraster in einem dem Koordinatenmeßgerät zugeordneten Speicher gespeichert werden.