DE19547419A1 - Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure - Google Patents

Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure

Info

Publication number
DE19547419A1
DE19547419A1 DE1995147419 DE19547419A DE19547419A1 DE 19547419 A1 DE19547419 A1 DE 19547419A1 DE 1995147419 DE1995147419 DE 1995147419 DE 19547419 A DE19547419 A DE 19547419A DE 19547419 A1 DE19547419 A1 DE 19547419A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
gas
determination
absolute
determined
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE1995147419
Other languages
German (de)
Inventor
Bley Werner Grose
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG filed Critical Leybold AG
Priority to DE1995147419 priority Critical patent/DE19547419A1/en
Publication of DE19547419A1 publication Critical patent/DE19547419A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02—Analysing fluids
    • G01N29/032—Analysing fluids by measuring attenuation of acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02—Analysing fluids
    • G01N29/036—Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/01—Indexing codes associated with the measuring variable
    • G01N2291/014—Resonance or resonant frequency
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/01—Indexing codes associated with the measuring variable
    • G01N2291/015—Attenuation, scattering
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/021—Gases
    • G01N2291/0212—Binary gases
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028—Material parameters
    • G01N2291/02845—Humidity, wetness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

The method includes firstly the prodn. of a graph, with a resonator found on an increased temp. The points respectively correspond to a first pair of values, consisting of measured values of the amplitude alteration and the frequency alteration. Also a second pair of values, consisting of the absolute pressure and the mass number (m). The concn. of the gas components is determined from the absolute pressure, the average mass number and the known mass numbers of the two gases. In the event of a damp gas being found in the gas thinned chamber, the determination of the concn. of the two gas components includes the determining of the absolute humidity (steam partial pressure, in which the determined absolute pressure is multiplied with the determined concn. of the steam).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestim­ mung der Konzentration der Gase eines zweikomponentigen Gasgemisches bei einem unterhalb des Atmosphärendruckes liegenden Druck.The invention relates to a method for determining measurement of the concentration of the gases of a two-component Gas mixture at a below atmospheric pressure lying pressure.

In einer älteren, nicht vorveröffentlichten Patentanmel­ dung wird ein Verfahren zur Absolutdruckmessung in einem gasverdünntem Raum beschrieben, bei welchem die Reso­ nanzfrequenz eines mechanischen Resonators gemessen und zur Bestimmung des Absolutdruckes ausgewertet wird. Die Durchführung dieses Verfahrens erfolgt in der Weise, daß der Resonator bezüglich der Temperatur des gasverdünnten Raumes auf Übertemperatur gebracht wird, daß in Abhän­ gigkeit von einem veränderlichen Absolutdruck (pa) als erstem Parameter und von der veränderlichen mittleren Massenzahl <m< von nacheinander im Raum befindlichen Ga­ sen als zweitem Parameter ein Kennlinienfeld der gemes­ senen Resonanzfrequenzen (f) und Schwingungsamplituden (A) ermittelt wird und daß daraus eine gasartunabhängige Zuordnung von jeweils aktuell gemessenen Werten der Re­ sonanfrequenz (f) und der Schwingungsamplitude (A) zum jeweils in dem gasverdünnten Raum herrschenden Absolut­ druck (pa) ermittelt wird. In an older, unpublished patent application a method for absolute pressure measurement in one gas-diluted room in which the Reso frequency of a mechanical resonator measured and is evaluated to determine the absolute pressure. The This procedure is carried out in such a way that the resonator with respect to the temperature of the gas diluted Room is brought to overtemperature, that in depend ability of a variable absolute pressure (pa) as first parameter and the variable mean Mass number <m <of Ga in the room one after the other As a second parameter, a characteristic field of the measured its resonance frequencies (f) and vibration amplitudes (A) is determined and that it is a gas type independent Allocation of currently measured values of Re sonanfrequenz (f) and the vibration amplitude (A) to absolute prevailing in the gas-diluted room pressure (pa) is determined.  

In dem nach diesem Verfahren entstehenden Kennlinien­ feld, welches mathematisch beschrieben und/oder gra­ phisch dargestellt wird, entspricht jeder Punkt einem Wertepaar, bestehend aus den gemessenen Werten der Fre­ quenzänderung und der Amplitudenänderung, sowie dem je­ weils herrschenden Absolutdruck. Dadurch ist es möglich, aktuell gemessenen Werten der Amplitudenänderung und der Frequenzänderung mit Hilfe des einmal ermittelten Kenn­ linienfeldes dem jeweils herrschenden Absolutdruck zuzu­ ordnen. Der besondere Vorteil dieses Verfahren zur Be­ stimmung des Absolutdruckes besteht darin, daß es gas­ artunabhängig ist.In the characteristic curves created by this method field which is described mathematically and / or gra each point corresponds to one Pair of values, consisting of the measured values of Fre frequency change and the amplitude change, as well as the because absolute pressure prevails. This makes it possible currently measured values of the amplitude change and the Frequency change using the once determined characteristic line field to the prevailing absolute pressure organize. The particular advantage of this method for loading Absolute pressure is that it is gas is independent of species.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, neben der gasartunabhängigen Bestimmung des Absolut­ druckes auch noch eine Konzentrationsbestimmung von im gasverdünnten Raum sich befindenden Gaskomponenten zu ermöglichen.The present invention is based on the object in addition to the determination of the absolute independent of the gas type pressure also a concentration determination of im gas-diluted space to existing gas components enable.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß jeder Punkt des nach dem oben erwähnten Verfahren ermittelten Kenn­ linienfeldes zwei Wertepaaren entspricht, und zwar zum einen den gemessenen Werten der Amplitudenänderung und Frequenzänderung und zum anderen dem Absolutdruck und der mittleren Massenzahl <m< der im gasverdünnten Raum befindlichen Gase (und nicht dem Absolutdruck allein). Dieses gilt insbesondere für den Bereich des Kennlinien­ feldes, in dem die Amplitudenänderung und - noch mehr - die Frequenzänderung relativ stark von der Massenzahl der im gasverdünnten Raum befindlichen Gase abhängt.The invention is based on the knowledge that every point of the characteristic determined according to the above-mentioned method line field corresponds to two pairs of values, namely to one of the measured values of the amplitude change and Frequency change and on the other hand the absolute pressure and the average mass number <m <that in the gas-diluted room gases (and not the absolute pressure alone). This applies in particular to the area of the characteristic curves field in which the amplitude change and - even more - the frequency change relatively strongly from the mass number depends on the gases in the gas-diluted room.

Unter der Voraussetzung, daß sich im gasverdünnten Raum ein zweikomponentiges Gasgemisch mit bekannten Massen­ zahlen befindet, kann deren Konzentration bestimmt wer­ den, indem mit Hilfe des Kennlinienfeldes zunächst die mittlere Massenzahl <m< beim herrschenden Druck ermit­ telt und anhand der bekannten Massenzahlen der reinen Gase die Konzentration der Komponenten des zweikomponen­ tigen Gasgemisches bestimmt wird. Dieses Verfahren zur Konzentrationsbestimmung ist insbesondere dann von Be­ deutung, wenn sich im gasverdünnten Raum ein feuchtes Gas befindet, das heißt, ein Gasgemisch, bestehend aus einem Gas und einem nicht bekannten Wasserdampfanteil. Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens können die Konzentrationen der Gaskomponente und der Wasserdampf­ komponente sehr genau ermittelt werden.Provided that in the gas-diluted room a two-component gas mixture with known masses numbers, their concentration can be determined by who by first using the characteristic field average mass number <m <given the prevailing pressure telt and based on the known mass numbers of the pure  Gases the concentration of the components of the two-component term gas mixture is determined. This procedure for Concentration determination is especially from Be interpretation if there is a damp room in the gas-diluted room Gas is located, that is, a gas mixture consisting of a gas and an unknown amount of water vapor. With the aid of the method according to the invention, the Concentrations of the gas component and the water vapor component can be determined very precisely.

Vorteilhaft ist weiterhin, daß auch der Partialdruck der im Gasgemisch vorhandenen Komponenten angegeben werden kann. Dieses geschieht durch Multiplikation des mit Hilfe des Kennlinienfeldes ermittelten Absolutdruckes mit der jeweiligen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ermittelten Konzentration.It is also advantageous that the partial pressure of the components present in the gas mixture can be specified can. This is done by multiplying the Absolute pressure determined using the characteristic field with the respective according to the inventive method determined concentration.

Schließlich ist es möglich, auch die relative Feuchte ϕ oder den Taupunkt τ eines Wasserdampf-/Gas-Gemisches an­ zugeben. ϕ ist gegeben durch die FormelFinally, it is also possible to use the relative humidity ϕ or the dew point τ of a water vapor / gas mixture admit. ϕ is given by the formula

p: Partialdruck H₂O
PSätt(T): Sättigungsdruck H₂O bei der Temperatur Tp: partial pressure H₂O
P Saturation (T): Saturation pressure H₂O at temperature T.

Dabei wird die Tatsache ausgenutzt, daß sich der Chip mit dem mechanischen Resonator auf einer bekannten Tem­ peratur befindet. Wenn der gemessene Partialdruck p des Wasserdampfes mit dem Sättigungsdampfdruck pSätt bei der herrschenden Temperatur T ins Verhältnis gesetzt wird, so erhält man die relative Feuchte ϕ. Die Temperatur T ist aus der Chiptemperatur bekannt, die zur Temperaturkompensation der Anordnung gemessen werden muß (temperaturabhängiger Chipwiderstand).This takes advantage of the fact that the chip with the mechanical resonator is at a known temperature. If the measured partial pressure p of the water vapor is compared with the saturation vapor pressure p Satur at the prevailing temperature T, the relative humidity ϕ is obtained. The temperature T is known from the chip temperature, which must be measured for temperature compensation of the arrangement (temperature-dependent chip resistance).

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand der Figur und eines Beispieles erläutert werden.Further advantages and details of the invention are intended be explained with reference to the figure and an example.

Die Figur zeigt das nach der älteren Patentanmeldung er­ mittelte Kennlinienfeld, das nach dem eingangs beschrie­ benen Verfahren erstellt wird und die Ableitung des Ab­ solutdruckes aus Frequenz- und Amplitudenänderungs-Mes­ sungen ermöglicht. Wegen der Abhängigkeit dieser Messun­ gen von der Masse der im verdünnten Raum befindlichen Gase ist es weiterhin möglich, Konzentrationen zu ermit­ teln. Diese Möglichkeit soll anhand eines Beispiels er­ läutert werden.The figure shows that after the earlier patent application averaged characteristic field, which was described after the beginning is created and the derivation of the Ab solutdruckes from frequency and amplitude change measurements solutions. Because of the dependence of this measurement of the mass of those in the diluted space It is still possible for gases to determine concentrations teln. This possibility should be based on an example to be refined.

Bei diesem Beispiel wird davon ausgegangen, daß sich im gasverdünnten Raum ein feuchtes Gas befindet, dessen Massenzahlen m₁ (Gaskomponente) und m₂ (Wasserdampf-kom­ ponente), so daß sich die H2O-Konzentration CH2O ergibt nachIn this example it is assumed that there is a moist gas in the gas-diluted room, the mass numbers of which are m 1 (gas component) and m 2 (water vapor component), so that the H 2 O concentration results in C H2O

<m< = 18·CH₂O + (1-CH₂O)·28<m <= 18 · C H₂O + (1-C H₂O ) · 28

Im Beispiel ergibt sich mit <m< = 25 also CH₂O = 0,3 oder 30%. Bei dem Druck von 10⁴ Pa beträgt damit der Partialdruck von WasserdampfIn the example, <m <= 25 thus gives CH₂O = 0.3 or 30%. At a pressure of 10⁴ Pa this is Partial pressure of water vapor

pH₂O = CH₂O·ptot = 0,3·10⁴ Pa = 3·10³Pap H₂O = C H₂O · p tot = 0.3 · 10⁴ Pa = 3 · 10³Pa

Es sei nun beispielsweise die Gastemperatur (gemessen mit einem temperaturabhängigen Chipwiderstand oder mit einem zweiten Schwingelement) ϑgas = 30°C. Dann kann aus einer Sattdampftabelle (die z. B. im Speicher eines Mikroprozessors abgelegt ist) ein Sätti­ gungswasserdampfdruck von 42 mbar = 4,2·10³ Pa entnommen werden. Die relative Feuchte ϕ ist dannFor example, let's say the gas temperature (measured with a temperature-dependent chip resistor or with a second oscillating element) ϑ gas = 30 ° C. Then a saturated steam pressure of 42 mbar = 4.2 · 10³ Pa can be taken from a saturated steam table (e.g. stored in the memory of a microprocessor). The relative humidity ϕ is then

Umgekehrt kann natürlich auch der Taupunkt τ angegeben werden: für pH₂O = 3·10³Pa entnimmt man der Sättigungs­ dampfdrucktabelle τ = 24°C.Conversely, the dew point τ can of course also be specified become: for pH₂O = 3 · 10³Pa one takes the saturation vapor pressure table τ = 24 ° C.

Claims (4)

1. Verfahren zur Bestimmung der Konzentration der Gase eines zweikomponentigen Gasgemisches bei einem un­ terhalb des Atmosphärendruckes liegenden Druck, da­ durch gekennzeichnet, daß zunächst mit einem auf erhöhter Temperatur befindlichen Resonator ein Kennlinienfeld erstellt wird, dessen Punkte jeweils einem ersten Wertepaar, bestehend aus gemessenen Werten der Amplitudenänderung und der Frequenzände­ rung, sowie einem zweiten Wertepaar, bestehend aus dem Absolutdruck und der mittleren Massenzahl, <m< entsprechen, und daß aus dem Absolutdruck, der mittleren Massenzahl <m< und den bekannten Massen­ zahlen der beiden Gase die Konzentration der Gas­ komponenten bestimmt wird.1. A method for determining the concentration of the gases of a two-component gas mixture at a pressure below un atmospheric pressure, characterized in that a characteristic field is first created with a resonator at an elevated temperature, the points of which each have a first pair of values consisting of measured values the change in amplitude and frequency change, and a second pair of values consisting of the absolute pressure and the mean mass number, <m <, and that from the absolute pressure, the mean mass number <m <and the known masses of the two gases, the concentration of the gas components is determined. 2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß sich für den Fall, daß sich im gasverdünnten Raum ein feuchtes Gas befindet, an die Bestimmung der Konzentration der beiden Gaskomponenten die Be­ stimmung der absoluten Feuchte (Wasserdampfpartialdruck) anschließt, indem der er­ mittelte Absolutdruck mit der ermittelten Konzen­ tration des Wasserdampfes multipliziert wird. 2. The method according to claim I, characterized in that that in the event that gas-diluted Room is a humid gas, to the determination the concentration of the two gas components absolute humidity (Water vapor partial pressure) connects by the averaged absolute pressure with the determined concentration tration of water vapor is multiplied.   3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich an die Bestimmung der absoluten Feuchte die Bestimmung der relativen Feuchte anschließt, indem die Gastemperatur mit einem temperaturabhän­ gigen Chipwiderstand oder mit einem zweiten Schwingelement gemessen, der zugehörige Sättigungs­ dampfdruck aus einer Dampfdrucktabelle entnommen und die relative feuchte als Quotient aus tatsäch­ lichem Wasserdampfpartialdruck und Sättigungsdampf­ druck bestimmt wird.3. The method according to claim 2, characterized in that that adhere to the determination of absolute humidity the determination of the relative humidity follows, by the gas temperature with a temperature dependent common chip resistance or with a second Vibrating element measured, the associated saturation steam pressure taken from a steam pressure table and the relative humidity as a quotient from actual water vapor partial pressure and saturation vapor pressure is determined. 4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich an die Bestimmung der absoluten Feuchte die Bestimmung des Taupunktes anschließt, indem zum gemessenen Wasserdampfpartialdruck die Temperatur für denselben Sättigungsdampfdruck aus einer Dampf­ drucktabelle entnommen wird.4. The method according to claim 2, characterized in that adhere to the determination of absolute humidity the determination of the dew point then follows by measured water vapor partial pressure the temperature for the same saturation vapor pressure from a vapor print table is taken.
DE1995147419 1995-12-19 1995-12-19 Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure Withdrawn DE19547419A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1995147419 DE19547419A1 (en) 1995-12-19 1995-12-19 Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1995147419 DE19547419A1 (en) 1995-12-19 1995-12-19 Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19547419A1 true DE19547419A1 (en) 1997-06-26

Family

ID=7780557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1995147419 Withdrawn DE19547419A1 (en) 1995-12-19 1995-12-19 Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19547419A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1963809A1 (en) * 2005-12-22 2008-09-03 Endress+Hauser GmbH+Co. KG Method and device for determining at least one measurable variable of a medium

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1032360A1 (en) * 1981-12-10 1983-07-30 Предприятие П/Я Х-5332 Gas concentration measuring method
EP0416160A1 (en) * 1988-03-14 1991-03-13 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus for measuring the partial pressure of gases or vapours
EP0477648A1 (en) * 1990-09-28 1992-04-01 BASF Aktiengesellschaft Surface wave gas detector
US5235844A (en) * 1991-10-23 1993-08-17 Niagara Mohawk Power Corporation Multiple gas property sensor
DE4319997A1 (en) * 1993-06-17 1994-12-22 Seiler Andreas Interferometer type device for the quantitative detection of a gas type and device for the detection of a vapor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1032360A1 (en) * 1981-12-10 1983-07-30 Предприятие П/Я Х-5332 Gas concentration measuring method
EP0416160A1 (en) * 1988-03-14 1991-03-13 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus for measuring the partial pressure of gases or vapours
EP0477648A1 (en) * 1990-09-28 1992-04-01 BASF Aktiengesellschaft Surface wave gas detector
US5235844A (en) * 1991-10-23 1993-08-17 Niagara Mohawk Power Corporation Multiple gas property sensor
DE4319997A1 (en) * 1993-06-17 1994-12-22 Seiler Andreas Interferometer type device for the quantitative detection of a gas type and device for the detection of a vapor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1963809A1 (en) * 2005-12-22 2008-09-03 Endress+Hauser GmbH+Co. KG Method and device for determining at least one measurable variable of a medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102009028022A1 (en) Method for determining and / or monitoring at least one physical process variable of a medium
DE29918193U1 (en) Device for determining the depth of sleep
EP1963809A1 (en) Method and device for determining at least one measurable variable of a medium
DE19547419A1 (en) Determining concn. of gases of two component gas mixture with pressure lying below atmospheric pressure
Volkmer et al. Influence of heat pressure steaming (HPS) on the mechanical and physical properties of common oak wood
DE19757296A1 (en) Method for determining and compensating the transfer function of a measuring device, in particular a spectrum analyzer
Kubojima et al. Effect of shear deflection on bending properties of compressed wood
DE1458422A1 (en) Process for producing a non-aging special deep-drawing steel sheet
WO1993021515A1 (en) Process and device for measuring the concentration of a detector gas in a measuring gas containing an interfering gas
DE19823193A1 (en) Natural gas density determination
EP0445509A1 (en) Multipurpose domestic paper
DE102020124887A1 (en) &#34;Engine System with Switched Engine&#34;
EP0183062B1 (en) Method and apparatus for examining the filling gas of insulating glass sheets
DE2835444C2 (en) Process for obtaining a display and control signal for the carbon level in the gas carburization of iron parts
DE2814576A1 (en) Vibration mode analysis for vehicle structural components - involves eigen frequency stimulation, local amplitude measurement, and arithmetic processing
DD290718A5 (en) ACOUSTIC MEASURING PROCEDURE FOR SPATIALLY LIMITED GAS CONCENTRATIONS
DE863368C (en) Beat buzzer
DE3248534C2 (en) Electromagnetic defectoscope
DE3017580A1 (en) Ultrasonic absorption measuring system - uses change of electromechanical oscillators during change of absorption material spacing to oscillator
DD248193A1 (en) METHOD FOR ASSESSING THE COOKING STATE OF FOODSTUFFS
DE102007047153A1 (en) Humidity sensor for detecting water content in e.g. organic solvent, has resonator element and sensor layer coupled together in manner such that resonant frequency of resonator element depends on amount of water absorbed by sensor layer
EP0703310B1 (en) Process for decatizing a textile fabric
DE951479C (en) Sound-absorbing clothing for space delimiting surfaces
EP0347883A2 (en) Process and device for balancing rotating parts
DD161274A3 (en) Device for the detection of gas concentrations

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee