TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Liquid- bzw. im Folgenden stets Flüssigkeits-Appliziereinheit genannt und eine Flüssigkeits-Appliziervorrichtung und bezieht sich auf eine Flüssigkeits-Appliziereinheit sowie eine Flüssigkeits-Appliziervorrichtung jeweils für die Aufbringung eines Flüssigmaterials auf einen Gegenstand unter Verwendung einer Appliziernadel.The present invention relates to a liquid or hereafter always referred to liquid Appliziereinheit and a liquid-Appliziervorrichtung and relates to a liquid-Appliziereinheit and a liquid Appliziervorrichtung each for the application of a liquid material to an object using an applicator needle.
STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART
Die Technologie der gedruckten Schaltelektronik hat sich rapide entwickelt, gemäß der ein dünner Schaltkreis, wie etwa ein RFID-Etikett, durch ein Druck(Applizier)-Verfahren aufgebracht wird. In der Technologie der gedruckten Schaltungselektronik besteht eine Option in der Verwendung einer Appliziernadel, da eine dünne Aufbringung unter Verwendung eines breiten Bereichs von Viskositäten durchgeführt werden kann.The technology of printed circuit electronics has developed rapidly, according to which a thin circuit, such as an RFID tag, is applied by a printing (applying) method. In printed circuit electronics technology, one option is to use an applicator needle because thin deposition can be accomplished using a wide range of viscosities.
Ein beispielhaftes Verfahren für die Durchführung einer dünnen Aufbringung unter Verwendung einer Appliziernadel ist ein Verfahren zur Durchführung einer feinen Aufbringung unter Verwendung einer Appliziereinheit, wie sie in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2015-112576 (Patentliteratur 1) beschrieben ist. In dieser Appliziereinheit ist ein flüssiges Material in einem Behälter für flüssiges Material gespeichert. In dem Behälter für flüssiges Material sind oberhalb und unterhalb eines Innenraums, in welchem das Flüssigmaterial gespeichert wird, zwei Öffnungen ausgebildet. Die beiden Öffnungen verbinden den Innenraum mit der Außenseite und eine Appliziernadel kann dorthin eingesetzt werden.An exemplary method of performing a thin application using an applicator needle is a method of performing a fine application using an applicator unit as described in U.S. Pat Japanese Laid-Open Publication No. 2015-112576 (Patent Literature 1). In this application unit, a liquid material is stored in a container for liquid material. In the liquid material container, two openings are formed above and below an inner space in which the liquid material is stored. The two openings connect the interior with the outside and an applicator needle can be used there.
Die Appliziereinheit ist vorgesehen, dass sie zwischen einem ersten Zustand, in welchem die Nadelspitze der Appliziernadel in das Flüssigmaterial innerhalb des Behälters eintaucht, das heißt einem Zustand, in welchem die Appliziernadel in lediglich die obere Öffnung eingesteckt ist, und einem zweiten Zustand umgeschaltet wird, in welchem die Appliziernadel nach unten relativ zum Flüssigmaterial-Behälter vorsteht, so dass das Flüssigmaterial auf den Zielgegenstand aufgebracht werden kann, das heißt einen Zustand, in welchem die Appliziernadel in sowohl die obere Öffnung und die untere Öffnung eingesteckt ist. Die Appliziereinheit kann auch ein viskoses Flüssigmaterial einschließlich Metallpulver applizieren.The applicator unit is provided to switch between a first state in which the needle tip of the applicator needle is immersed in the liquid material inside the container, that is, a state in which the applicator needle is inserted in only the upper opening, and a second state, in which the applicator needle protrudes downwardly relative to the liquid material container, so that the liquid material can be applied to the target object, that is, a state in which the applicator needle is inserted into both the upper opening and the lower opening. The application unit may also apply a viscous liquid material including metal powder.
LISTE ENTGEGENHALTUNGLIST OF CONSERVATION
PATENTLITERATURPatent Literature
PTL 1: Japanische Offenlegungsschrift Nr. 2015-112576 PTL 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2015-112576
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION
TECHNISCHES PROBLEMTECHNICAL PROBLEM
Wenn allerdings ein derart hochviskoses Liquidmaterial sehr häufig kontinuierlich mit der konventionellen Appliziereinheit aufgebracht wird, d.h., wenn der Schaltvorgang zwischen den oben beschriebenen Zuständen kontinuierlich vielfach durchgeführt wird, bildet sich eine Ansammlung von Flüssigmaterial auf einem ringförmigen Bereich um die untere Öffnung in einer äußeren Umfangsfläche (untere Fläche) des Flüssigmaterial-Behälters sowie auf einem unteren Abschnitt der unteren Öffnung.However, when such a high-viscosity liquid material is applied very frequently continuously with the conventional application unit, that is, when the switching operation is continuously performed many times between the above-described conditions, an accumulation of liquid material is formed on an annular area around the lower opening in an outer peripheral surface (FIG. lower surface) of the liquid material container and on a lower portion of the lower opening.
Beispielsweise verklebt sich ein Teil des Flüssig- bzw. Liquidmaterials auf der Appliziernadel auf den ringförmigen Bereich, und das Flüssigmaterial verbreitet sich auf dem ringförmigen Bereich und dem unteren Abschnitt der unteren Öffnung, die durch den ringförmigen Bereich umgeben wird. Darüber hinaus strömt ein Teil des in dem Flüssigmaterial-Behälter aufgenommenen Flüssigmaterials zum ringförmigen Bereich des Flüssigmaterial-Behälters über die innere Umfangsfläche der unteren Öffnung und verteilt sich. Als Folge davon bildet sich eine Ansammlung von Flüssigmaterial.For example, a part of the liquid material on the applicator needle sticks to the annular area, and the liquid material spreads on the annular area and the lower portion of the lower opening surrounded by the annular area. In addition, a part of the liquid material accommodated in the liquid material container flows to the annular portion of the liquid material container via the inner peripheral surface of the lower opening and spreads. As a result, an accumulation of liquid material is formed.
In der Appliziereinheit kann eine Ansammlung von Flüssigmaterial als eine Zuführquelle für das liquide Material auf die Appliziernadel dienen. Beim Schaltvorgang, beispielsweise vom ersten Zustand zum zweiten Zustand, wird die Appliziernadel in eine Ansammlung des Flüssigmaterials eingetaucht. Somit wird eine Menge an Flüssigmaterial auf der Appliziernadel im zweiten Zustand geändert abhängig von einer Menge an Ansammlung des Flüssigmaterials. Als Folge davon wird beim vielfachen Applizieren des Flüssigmaterials in kontinuierlicher Weise eine Menge des Flüssigmaterials, das auf den Zielgegenstand aufgebracht werden soll, geändert abhängig von der Anzahl der Appliziervorgänge, was nachteilhaft ist.In the applicator unit, an accumulation of liquid material may serve as a source of supply of the liquid material to the applicator needle. During the switching operation, for example from the first state to the second state, the applicator needle is immersed in a collection of the liquid material. Thus, an amount of liquid material on the applicator needle in the second state is changed depending on an amount of accumulation of the liquid material. As a result, when the liquid material is applied plural times in a continuous manner, an amount of the liquid material to be applied to the target object is changed depending on the number of application processes, which is disadvantageous.
Die vorliegende Erfindung ist geschaffen, um das oben stehende Problem zu lösen. Eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Appliziereinheit für Flüssigkeit und eine Flüssigkeits-Appliziervorrichtung zu schaffen, in welcher jeweils eine Änderung in einer Aufbringmenge eines hochviskosen Flüssigmaterials bei einem vielfachen Aufbringen des hochviskosen Flüssigmaterials verhindert wird im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit und einer Flüssigkeits-Appliziervorrichtung.The present invention is made to solve the above problem. A main object of the present invention is to provide a liquid applying apparatus and a liquid applying apparatus in which a change in an application amount of a high-viscosity liquid material in a multiple application of the high-viscosity liquid material is prevented as compared with a conventional one Liquid Applicator and a liquid applicator.
LÖSUNG DER AUFGABENSTELLUNGSOLUTION OF THE TASK
Eine Liquid- bzw. Flüssigkeits-Appliziereinheit nach Maßgabe der vorliegenden Erfindung ist eine Flüssigkeits-Appliziereinheit für das Applizieren eines liquiden Materials auf eine Fläche eines Zielgegenstands unter Verwendung einer Appliziernadel und beinhaltet: die Appliziernadel; einen Behälter für Flüssigmaterial, der konfiguriert ist, um das Flüssigmaterial zu speichern; und eine Antriebseinheit, die für eine Aufwärts- und Abwärtsbewegung der Appliziernadel relativ zum Flüssigmaterial-Behälter ausgebildet ist. Der Flüssigmaterial-Behälter ist mit einem Raum zur Speicherung des Flüssigmaterials versehen und weist eine erste Öffnung und eine zweite Öffnung auf, jeweils für das Einführen der Appliziernadel in den Raum. Die erste Öffnung ist unterhalb des Raums in einer Schwerkraftrichtung ausgebildet. Die zweite Öffnung ist gegenüberliegend zur ersten Öffnung unter Zwischenschaltung des Raumes zwischen der ersten Öffnung und der zweiten Öffnung ausgebildet. Der Behälter für das Flüssigmaterial beinhaltet eine wasserabweisende Schicht, die ausgebildet ist, dass diese sich mindestens von einer inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung zu einem Teilbereich erstreckt, der die erste Öffnung in einer äußeren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters umgibt.A liquid applicator unit according to the present invention is a liquid applicator unit for applying a liquid material to a surface of a target object using an applicator needle and includes: the applicator needle; a liquid material container configured to store the liquid material; and a drive unit configured for upward and downward movement of the applicator needle relative to the liquid material container. The liquid material container is provided with a space for storing the liquid material and has a first opening and a second opening, respectively for the insertion of the Appliziernadel in the room. The first opening is formed below the space in a gravity direction. The second opening is formed opposite to the first opening with the interposition of the space between the first opening and the second opening. The container for the liquid material includes a water-repellent layer that is formed to extend from at least an inner peripheral surface of the first opening to a portion surrounding the first opening in an outer peripheral surface of the liquid material container.
VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNGADVANTAGEOUS EFFECTS OF THE INVENTION
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Flüssigkeits-Appliziereinheit und eine Flüssigkeits-Appliziervorrichtung geschaffen werden, bei der jeweils eine Änderung in einer Menge der Applizierung eines hochviskosen Liquidmaterials bei vielfacher Applizierung des hochviskosen Flüssigmaterials in kontinuierlicher Weise unterdrückt wird im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit und Flüssigkeits-Appliziervorrichtung.According to the present invention, there can be provided a liquid applying unit and a liquid applying apparatus in which a change in an amount of application of a high-viscosity liquid material with multiple application of the high-viscosity liquid material is continuously suppressed in comparison with a conventional liquid applying unit and liquid applicator.
Figurenlistelist of figures
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1 ist eine Seitenansicht zur Darstellung einer Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß einem Ausführungsbeispiel. 1 is a side view illustrating a liquid-Appliziereinheit according to an embodiment.
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2 ist eine Vorderansicht zur Darstellung der Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß diesem Ausführungsbeispiel. 2 Fig. 10 is a front view showing the liquid applying unit according to this embodiment.
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3 ist ein Teilschnitt zur Darstellung eines Flüssigmaterial-Behälters der Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß dem Ausführungsbeispiel. 3 is a partial section showing a liquid material container of the liquid-Appliziereinheit according to the embodiment.
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4 ist eine vergrößerte Teilansicht eines Bereichs IV in 3. 4 is an enlarged partial view of an area IV in 3 ,
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5 ist eine Draufsicht, wenn der Behälter der Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel von unten angesehen wird. 5 FIG. 11 is a plan view when the container of the liquid applying unit according to the present embodiment is viewed from below. FIG.
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6 ist ein Teilschnitt zur Darstellung des Flüssigmaterial-Behälters der Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. 6 is a partial section showing the liquid material container of the liquid-Appliziereinheit according to the present embodiment.
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7 ist eine perspektivische Ansicht eines Gesamtaufbaus einer Beschichtungsvorrichtung nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. 7 FIG. 15 is a perspective view of an entire structure of a coating apparatus according to the present embodiment. FIG.
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8 ist eine Teilschnittansicht einer Modifikation des Behälters des vorliegenden Ausführungsbeispiels. 8th Fig. 10 is a partial sectional view of a modification of the container of the present embodiment.
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9 ist eine perspektivische Ansicht zur Darstellung einer weiteren Modifikation des Flüssigmaterial-Behälters der Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. 9 FIG. 15 is a perspective view showing another modification of the liquid material container of the liquid applying unit according to the present embodiment. FIG.
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELEDESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS
Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben. Hierbei ist festzuhalten, dass in den unten beschriebenen Zeichnungen dieselben oder entsprechenden Teile dasselbe Bezugszeichen aufweisen und nicht in wiederholter Weise beschrieben werden.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that in the drawings described below, the same or corresponding parts have the same reference numerals and will not be described repeatedly.
[Aufbau der Liquid-Appliziereinheit][Structure of Liquid Applicator Unit]
Unter Bezugnahme auf die 1 bis 6 ist eine Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel derart konfiguriert, um unter Verwendung einer Appliziernadel 1 ein Liquidmaterial auf eine Fläche eines Substrats 140 (siehe 3) aufzubringen, welches als ein Zielgegenstand dient. Die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 kann im Wesentlichen beinhalten eine Appliziernadel 1, einen Servomotor 2, einen Basisabschnitt 3, einen Behälter für Flüssigmaterial 5 und einen Halteabschnitt 4 für den Behälter.With reference to the 1 to 6 is a liquid applicator unit 100 according to the present embodiment, configured to use an applicator needle 1 a liquid material on a surface of a substrate 140 (please refer 3 ), which serves as a target object. The liquid application unit 100 can essentially involve an applicator needle 1 , a servomotor 2 , a base section 3 , a container for liquid material 5 and a holding section 4 for the container.
Die Appliziernadel 1 weist das eine Ende und das andere Ende (Nadelspitze 1E gemäß 3 und 6) auf. Die Nadelspitze 1E der Appliziernadel 1 kann jede beliebige Form, wie etwa eine Konusform, aufweisen. Ein Abschnitt (Abschnitt 1B gemäß den 3 und 6) der Appliziernadel 1 weist das eine Ende mit einem Außendurchmesser größer als der Außendurchmesser eines Abschnitts (Abschnitt 1A gemäß 3 und 6) der Appliziernadel 1 mit dem anderen Ende auf. Das eine Ende der Appliziernadel 1 ist mit einem unten beschriebenen Folgeelement 7 verbunden (ein Appliziernadelhalter 11, ein Appliziernadelhalter-Aufnahmeabschnitt 12, einen Fixierabschnitt 13 für den Appliziernadelhalter, einen nockengekoppelten Abschnitt 15 und ein Lager 16).The applicator needle 1 has one end and the other end (needle point 1E according to 3 and 6 ) on. The needle point 1E the applicator needle 1 may be any shape, such as a cone shape. A section (section 1B according to the 3 and 6 ) of the applicator needle 1 has the one end with an outer diameter larger than the outer diameter of a portion (section 1A according to 3 and 6 ) of the applicator needle 1 with the other end up. One end of the applicator needle 1 is with a follower element described below 7 connected (an applicator needle holder 11 , an applicator needle holder receiving section 12 , one fixing 13 for the applicator needle holder, a cam-coupled section 15 and a warehouse 16 ).
Die Appliziernadel 1 ist vorgesehen, dass sie zusammen mit dem Folgeelement 7 längs einer Schwerkraftrichtung durch den Servomotor 2 bewegbar ist. Durch Antrieb des Servomotors 2 kann die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 zwischen einem ersten Zustand und einem zweiten Zustand gewechselt werden. Im ersten Zustand ist die Nadelspitze 1E der Appliziernadel 1 im Flüssigmaterial-Behälter 5 aufgenommen, wohingegen im zweiten Zustand die Nadelspitze 1E der Appliziernadel 1 in Kontakt mit der Oberfläche des Substrats 140 gebracht werden kann. Die Schwerkraftrichtung ist beispielsweise eine Richtung längs einer Achsenrichtung der Appliziernadel 1 und ist eine Richtung der Schwerkraft (Z-Achsenrichtung in 1), zum Beispiel. Beide 1 und 2 zeigen die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 im ersten Zustand.The applicator needle 1 is provided that they together with the follower element 7 along a direction of gravity through the servomotor 2 is movable. By driving the servomotor 2 can the liquid application unit 100 be changed between a first state and a second state. In the first state is the needle point 1E the applicator needle 1 in the liquid material container 5 whereas in the second state the needle point 1E the applicator needle 1 in contact with the surface of the substrate 140 can be brought. The direction of gravity is, for example, a direction along an axis direction of the application needle 1 and is a direction of gravity (Z-axis direction in FIG 1 ), for example. Both 1 and 2 show the liquid application unit 100 in the first state.
Insbesondere ist die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 vorgesehen, um unter Verwendung des Nockenelements 6 und des Folgeelements 7 die Drehbewegung des Servomotors 2 in eine Bewegung (Aufwärts- und Abwärtsbewegung) der Appliziernadel 1 in die Schwerkraftrichtung umzuwandeln. Der Servomotor 2 hat einen Drehabschnitt 21, der sich um eine sich in der Schwerkraftrichtung erstreckende Achse drehen kann. Das Nockenelement 6 ist mit dem Drehabschnitt 21 verbunden. Das Nockenelement 6 ist um die Drehachse des Servomotors 2 drehbar. Die obere Fläche (Oberfläche an der Seite des Servomotors 2) des Nockenelements 6 dient als eine Nockenfläche 6A. Die Nockenfläche 6A ist in Kontakt mit der äußeren Umfangsfläche eines Außenrings des Lagers 16 des Folgeelements 7.In particular, the liquid application unit 100 provided to using the cam member 6 and the follower 7 the rotational movement of the servomotor 2 in a movement (upward and downward movement) of the applicator needle 1 to transform in the direction of gravity. The servomotor 2 has a rotary section 21 which can rotate about an axis extending in the direction of gravity. The cam element 6 is with the rotary section 21 connected. The cam element 6 is about the axis of rotation of the servomotor 2 rotatable. The upper surface (surface on the side of the servomotor 2 ) of the cam element 6 serves as a cam surface 6A , The cam surface 6A is in contact with the outer peripheral surface of an outer ring of the bearing 16 of the follower 7 ,
Der Basisabschnitt 3 hält die Appliziernadel 1, das Folgeelement 7, den Servomotor 2 und den Behälterhalteabschnitt 4. Der Basisabschnitt 3 beinhaltet einen Führungsabschnitt 33, der so gestaltet ist, so dass er die Bewegung des Folgeelements in die Schwerkraftrichtung führt und eine Bewegung in Richtungen anders als in die Schwerkraftrichtung unterbindet. Der Behälterhalteabschnitt 4 ist mit einem untersten Abschnitt des Basisabschnitts 3 verbunden.The base section 3 holds the applicator needle 1 , the follower element 7 , the servomotor 2 and the container holding section 4 , The base section 3 includes a guide section 33 which is designed to guide the movement of the follower in the direction of gravity and to prevent movement in directions other than the direction of gravity. The container holding section 4 is at a lowermost portion of the base section 3 connected.
Der Behälterhalteabschnitt 4 hält den Flüssigmaterial-Behälter 5. Der Behälterhalteabschnitt 4 beinhaltet beispielsweise einen Magneten und hält den Behälter 5 unter Verwendung der durch den Magneten erzeugten Magnetkraft.The container holding section 4 holds the liquid material container 5 , The container holding section 4 includes, for example, a magnet and holds the container 5 using the magnetic force generated by the magnet.
Im Behälter 5 für das flüssige Material ist ein Raum 50 für die Aufnahme eines flüssigen Materials L (siehe 3) ausgebildet. Wie aus den 3 und 6 hervorgeht, ist der Bodenabschnitt des Flüssigmaterial-Behälters 5 mit einer ersten Öffnung 51 versehen, welche den unteren Endabschnitt des Raums 50 mit der Außenseite verbindet. Der obere Abschnitt des Flüssigmaterial-Behälters 5 ist mit einer zweiten Öffnung 52 versehen, die den oberen Endabschnitt des Raums 50 mit der Außenseite verbindet. Sowohl die erste Öffnung 51 wie auch die zweite Öffnung 52 können beliebiger Form sein, insbesondere eine kreisförmige Form aufweisen. Die erste Öffnung 51 und die zweite Öffnung 52 sind so vorgesehen, dass sie sich miteinander in Schwerpunktrichtung überlappen. Die Öffnungsachse der ersten Öffnung 51 und die Öffnungsachse der zweiten Öffnung 52 überlappen beispielsweise einander in der Schwerpunktrichtung. Die innere Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 ist ausgebildet, so dass sie sich längs der Schwerkraftrichtung beispielsweise erstreckt. Festzuhalten ist, dass der Raum 50 innenseitig mit einer dritten Öffnung 53 beispielsweise versehen ist, die mit der ersten Öffnung 51 und der zweiten Öffnung 52 verknüpft ist. 3 zeigt die Appliziernadel 1 und den Flüssigmaterial-Behälter 5 der Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 in dem oben beschriebenen ersten Zustand. 6 zeigt die Appliziernadel 1 und den Behälter 5 der Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 in dem oben beschriebenen zweiten Zustand.In the container 5 for the liquid material is a space 50 for the absorption of a liquid material L (please refer 3 ) educated. Like from the 3 and 6 is apparent, the bottom portion of the liquid material container 5 with a first opening 51 provided, which is the lower end of the room 50 connects with the outside. The upper section of the liquid material container 5 is with a second opening 52 provided the upper end of the room 50 connects with the outside. Both the first opening 51 as well as the second opening 52 may be of any shape, in particular having a circular shape. The first opening 51 and the second opening 52 are provided so that they overlap one another in the direction of gravity. The opening axis of the first opening 51 and the opening axis of the second opening 52 For example, they overlap each other in the direction of gravity. The inner peripheral surface of the first opening 51 is formed so that it extends along the direction of gravity, for example. Hold on is that the room 50 inside with a third opening 53 For example, provided with the first opening 51 and the second opening 52 is linked. 3 shows the applicator needle 1 and the liquid material container 5 the liquid application unit 100 in the first state described above. 6 shows the applicator needle 1 and the container 5 the liquid application unit 100 in the second state described above.
Wie in den 3 und 4 dargestellt ist, beinhaltet der Flüssigmaterial-Container 5 Folgendes: einen Wandabschnitt 54, der an der äußeren Umfangsfläche ausgebildet ist und die erste Öffnung 51 umgibt; und einen Vorsprung 55, der nach unten relativ zum Wandabschnitt 54 vorspringt. Bei Ansicht des Flüssigmaterial-Behälters 5 in Draufsicht von unten in Schwerkraftrichtung ist sowohl der Wandabschnitt 54 und der Vorsprung 55 beispielsweise ringförmig um die Öffnungsachse der ersten Öffnung 51 ausgebildet. Festzuhalten ist, dass das Flüssigmaterial L in 4 nicht dargestellt ist.As in the 3 and 4 is shown, includes the liquid material container 5 Following: a wall section 54 formed on the outer peripheral surface and the first opening 51 surrounds; and a lead 55 pointing downwards relative to the wall section 54 projects. When viewing the liquid material container 5 in plan view from below in the direction of gravity is both the wall section 54 and the lead 55 for example, annular around the opening axis of the first opening 51 educated. It should be noted that the liquid material L in 4 not shown.
Wie in den 3 und 4 dargestellt ist, ist der innere Umfangsendabschnitt des Wandabschnitts 54 in der beschriebenen Draufsicht mit dem unteren Ende der ersten Öffnung 51 verbunden. Der äußere Umfangsendabschnitt des Wandabschnitts 54 in der oben beschriebenen Draufsicht ist mit dem oberen Ende (Wurzelabschnitt) des Vorsprungs 55 verbunden. Der Wandabschnitt 54 hat eine erste Fläche 54A und eine zweite Fläche 54B als eine untere Fläche, die auf die Fläche des Substrats 140 zuweist, die als Zielgegenstand dient. Die erste Fläche 54A ist derart ausgebildet, dass sie sich in eine Richtung beispielsweise erstreckt, die die Schwerkraftrichtung und die horizontale Richtung kreuzt. Die zweite Fläche 54B ist beispielsweise derart ausgebildet, dass sie sich längs der horizontalen Richtung erstreckt. Der innere Umfangsabschnitt des Wandabschnitts 54 ist beispielsweise mit dem unteren Ende der ersten Öffnung 51 verbunden, die die erste Fläche 54A aufweist. Der äußere Umfangsabschnitt des Wandabschnitts 54 ist beispielsweise mit dem Vorsprung 55, der die zweite Fläche 54B aufweist, verbunden. Beispielsweise ist ein kleinerer Winkel ausgebildet zwischen der ersten Fläche 54A des Wandabschnitts 54 und der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51, und zwar mehr als 0° und weniger als 90°, und ist beispielsweise mehr als oder gleich bis 30° und weniger als oder gleich 60°. Die Breite der ersten Fläche 54A in einer radialen Richtung mit der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51, die als eine Mittelachse dient, ist beispielsweise mehr als oder gleich 0,05 mm und weniger als oder gleich 1 mm, wie etwa 0,2 mm. Die Breite der zweiten Fläche 54B in der radialen Richtung ist beispielsweise mehr als oder gleich 0,05 mm und weniger als oder gleich 1 mm, wie etwa ungefähr 0,2 mm.As in the 3 and 4 is shown, the inner peripheral end portion of the wall portion 54 in the described plan view with the lower end of the first opening 51 connected. The outer peripheral end portion of the wall portion 54 in the plan view described above is with the upper end (root portion) of the projection 55 connected. The wall section 54 has a first surface 54A and a second area 54B as a bottom surface that faces the surface of the substrate 140 assigns, which serves as a target object. The first area 54A is formed so as to extend in a direction crossing, for example, the direction of gravity and the horizontal direction. The second area 54B For example, it is formed so as to extend along the horizontal direction. The inner peripheral portion of the wall portion 54 is for example with the lower end of the first opening 51 connected to the first surface 54A having. The outer peripheral portion of the wall portion 54 is for example with the lead 55 . the second surface 54B has connected. For example, a smaller angle is formed between the first surface 54A of the wall section 54 and the opening axis of the first opening 51 , more than 0 ° and less than 90 °, and is, for example, more than or equal to 30 ° and less than or equal to 60 °. The width of the first surface 54A in a radial direction with the opening axis of the first opening 51 For example, serving as a center axis is more than or equal to 0.05 mm and less than or equal to 1 mm, such as 0.2 mm. The width of the second surface 54B in the radial direction, for example, more than or equal to 0.05 mm and less than or equal to 1 mm, such as about 0.2 mm.
Wie aus den 3 und 4 hervorgeht, ist der innere Umfangsendabschnitt des Vorsprungs 55 in der oben beschriebenen Draufsicht mit dem äußeren Umfangsendabschnitt des Wandabschnitts 54 verbunden. Der Vorsprung 55 ist so ausgebildet, dass er den Wandabschnitt 54 umgibt. Der Vorsprung 55 beinhaltet: eine obere Endfläche 55T, die sich längs der horizontalen Richtung erstreckt; und eine Seitenfläche 55S, die sich längs der Schwerkraftrichtung erstreckt, was beispielshalber vorgesehen ist. Der innere Umfangsendabschnitt der oberen Fläche 55T ist mit dem unteren Ende der Seitenfläche 55S verbunden. Die obere Fläche 55T ist die unterste Fläche in der äußeren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5, was beispielhaft ist. Die Seitenfläche 55S ist nahe der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51, relativ zu den anderen Seitenflächen, die mit der oberen Fläche 55T verbunden sind, was beispielhaft ist. Das obere Ende der Seitenfläche 55S ist mit dem äußeren Umfangsendabschnitt der zweiten Fläche des Wandabschnitts 54 verbunden. Das heißt, die erste Fläche 54A und die zweite Fläche 54B des Wandabschnitts 54 und die Seitenfläche 55S und die obere Fläche 55T des Vorsprungs 55 sind in dieser Reihe in der radialen Richtung mit der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51 verbunden, die als die Mittelachse dient. Jede der ersten Fläche 54A und der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 und der Seitenfläche 55S und der oberen Fläche 55T des Vorsprungs 55 ist beispielsweise eine ebene Fläche, obgleich jede von diesen auch eine gekrümmte Fläche aufweisen kann. Die Höhe des Vorsprungs 55 relativ zur zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 ist beispielsweise mehr als oder gleich 0,05 mm und weniger als oder gleich 1 mm, wie etwa 0,1 mm. Die Breite des Vorsprungs 55 in der radialen Richtung bezüglich der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51, die als die Mittelachse dient, ist beispielsweise mehr als oder gleich 0,05 mm und weniger als oder gleich 1 mm, wie etwa ungefähr 0,1 mm.Like from the 3 and 4 is apparent, the inner peripheral end portion of the projection 55 in the plan view described above with the outer peripheral end portion of the wall portion 54 connected. The lead 55 is designed to be the wall section 54 surrounds. The lead 55 includes: an upper end surface 55T extending along the horizontal direction; and a side surface 55S which extends along the direction of gravity, which is provided by way of example. The inner peripheral end portion of the upper surface 55T is at the bottom of the side surface 55S connected. The upper surface 55T is the lowest surface in the outer peripheral surface of the liquid material container 5 which is exemplary. The side surface 55S is near the opening axis of the first opening 51 , relative to the other side surfaces that coincide with the upper surface 55T are connected, which is exemplary. The upper end of the side surface 55S is with the outer peripheral end portion of the second surface of the wall portion 54 connected. That is, the first surface 54A and the second surface 54B of the wall section 54 and the side surface 55S and the upper surface 55T of the projection 55 are in this row in the radial direction with the opening axis of the first opening 51 connected, which serves as the central axis. Each of the first surface 54A and the second surface 54B of the wall section 54 and the side surface 55S and the upper surface 55T of the projection 55 is, for example, a flat surface, although each of these may also have a curved surface. The height of the projection 55 relative to the second surface 54B of the wall section 54 For example, it is greater than or equal to 0.05 mm and less than or equal to 1 mm, such as 0.1 mm. The width of the projection 55 in the radial direction with respect to the opening axis of the first opening 51 For example, serving as the center axis is more than or equal to 0.05 mm and less than or equal to 1 mm, such as about 0.1 mm.
Der Container 5 für Flüssigmaterial beinhaltet eine wasserabweisende Schicht 9, die ausgebildet ist, dass sich diese von der inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 zu einem Teilbereich erstreckt, welcher die erste Öffnung 51 in der äußeren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Containers 5 umgibt. Die Teilregion beinhaltet eine erste Fläche 54A und zweite Fläche 54B des Wandabschnitts 54 und Seitenfläche 55B und obere Fläche 55T des Vorsprungs 55. Das heißt, die wasserabweisende Schicht 9 ist ausgebildet, um die innere Umfangsfläche der ersten Öffnung 51, der ersten Fläche 54A und der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 und der Seitenfläche 55S und der oberen Fläche 55T des Vorsprungs 55 zu bedecken. Die wasserabweisende Schicht 9 hat eine höhere Wasserabweisungsfähigkeit als der Behälter 5 für das Flüssigmaterial. Als Material für wasserabweisende Schicht 9 kann ein beliebiges Material verwendet werden, solange das Material eine Wasserabweisung höherer als die eines Materials des Behälters 5 für das Flüssigmaterial beinhaltet. Ein exemplarisches Material für die wasserabweisende Schicht 9 ist ein Fluor-basiertes Harz. Ein Kontaktwinkel der wasserabweisenden Schicht 9 relativ zu Wasser ist größer als 0°. Vorzugsweise ist der Kontaktwinkel der wasserabweisenden Lage 9 relativ zu Wasser mehr als oder gleich 45°.The container 5 for liquid material includes a water-repellent layer 9 formed to extend from the inner peripheral surface of the first opening 51 extends to a portion which the first opening 51 in the outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounds. The subregion includes a first surface 54A and second surface 54B of the wall section 54 and side surface 55B and upper surface 55T of the projection 55 , That is, the water-repellent layer 9 is formed around the inner peripheral surface of the first opening 51 , the first surface 54A and the second surface 54B of the wall section 54 and the side surface 55S and the upper surface 55T of the projection 55 to cover. The water-repellent layer 9 has a higher water repellency than the container 5 for the liquid material. As a material for a water-repellent layer 9 Any material can be used as long as the material has a water repellency higher than that of a material of the container 5 for the liquid material. An exemplary material for the water-repellent layer 9 is a fluorine-based resin. A contact angle of the water-repellent layer 9 relative to water is greater than 0 °. Preferably, the contact angle of the water-repellent layer 9 relative to water more than or equal to 45 °.
Die wasserabweisende Schicht 9 kann durch ein beliebiges Verfahren ausgebildet werden. Beispielsweise ist die wasserabweisende Schicht 9 gebildet durch Schichtung eines Fluor-basierten Harz-Beschichtungsmaterials, und zwar teilweise auf der äußeren Umfangsfläche und der Innenumfangsfläche des Materials für das Flüssigmaterial. Beispielsweise wird zuerst eine Folienmaske auf sowohl der äußeren Umfangsfläche und der inneren Umfangsfläche des Behälters 5 für das Flüssigmaterial ausgebildet, so dass eine Öffnung nur an einem Bereich erfolgt, in welchem eine wasserabweisende Schicht 9 ausgebildet ist und dabei die anderen Bereiche abgedeckt sind. Als nächstes wird das Fluor-basierte harzförmige Beschichtungsmaterial zur Gänze auf jede der äußeren Umfangsfläche und der inneren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 ausgebildet. Als nächstes wird die Folienmaske abgenommen und von jeder der äußeren Umfangsfläche und der inneren Umfangsfläche des Behälters 5 entfernt, wodurch die die Folienmaske bildende Beschichtungslage entfernt wird. Auf diese Weise wird die wasserabweisende Schicht 9 ausgebildet. Festzuhalten ist, dass die wasserabweisende Schicht 9 durch ein Plasmaverarbeitungsverfahren beispielsweise hergestellt sein kann. In diesem Fall wird ein Fluor-basiertes Gas als ein Prozessgas beispielsweise verwendet.The water-repellent layer 9 can be formed by any method. For example, the water-repellent layer 9 formed by laminating a fluorine-based resin coating material partially on the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the material for the liquid material. For example, first, a film mask is formed on both the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the container 5 formed for the liquid material, so that an opening takes place only at a region in which a water-repellent layer 9 is formed while the other areas are covered. Next, the fluorine-based resinous coating material becomes wholly on each of the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the liquid material container 5 educated. Next, the film mask is removed and from each of the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the container 5 removed, whereby the film layer forming the coating layer is removed. In this way, the water-repellent layer 9 educated. It should be noted that the water-repellent layer 9 can be made by a plasma processing method, for example. In this case, a fluorine-based gas is used as a process gas, for example.
Der Behälter 5 für das Flüssigmaterial ist derart vorgesehen, dass dann, wenn sich die erste Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 im ersten Zustand befindet, die untere Fläche des Flüssigmaterials L, welches im Container 5 gespeichert ist, sich in Kontakt mit der wasserabweisenden Schicht 9 befindet, die auf der ersten Fläche 54A des Wandabschnitts 54 ausgebildet ist, was beispielhaft ist.The container 5 for the liquid material is provided such that, when the first liquid application unit 100 located in the first state, the lower surface of the liquid material L which is in the container 5 is stored, in contact with the water-repellent layer 9 located, the on the first surface 54A of the wall section 54 is formed, which is exemplary.
Die Öffnungsgröße der ersten Öffnung 51 ist größer oder gleich dem Außendurchmesser des Abschnitts 1 A der Appliziernadel 1 und ist geringer als der Außendurchmesser des Abschnitts 1B. Die Öffnungsgröße der zweiten Öffnung 52 ist größer als der Außendurchmesser des Abschnitts 1B der Appliziernadel 1, was als Beispiel dient. Entsprechend kann der Abschnitt 1A der Appliziernadel 1 in die erste Öffnung 51 eingesteckt werden. Der Abschnitt 1B der Appliziernadel 1 kann in die zweite Öffnung 52 eingesteckt, jedoch nicht in die erste Öffnung 51 eingesteckt werden.The opening size of the first opening 51 is greater than or equal to the outer diameter of the section 1 A the applicator needle 1 and is less than the outer diameter of the section 1B , The opening size of the second opening 52 is greater than the outer diameter of the section 1B the applicator needle 1 which serves as an example. Accordingly, the section 1A the applicator needle 1 in the first opening 51 be plugged in. The section 1B the applicator needle 1 can in the second opening 52 plugged in, but not in the first opening 51 be plugged in.
Das Folgeelement 7 beinhaltet einen Halter 11 für die Appliziernadel, einen Aufnahmeabschnitt 12 für den Appliziernadelhalter, einen Fixierabschnitt 13 für den Appliziernadelhalter, einen nockengekoppelten Abschnitt 15 und ein Lager 16. Die Bewegung des Folgeelements 7 in die Richtung anders als die Schwerpunktrichtung, wie etwa die Bewegung in der oben beschriebenen Querrichtung, wird durch den Führungsabschnitt 33 verhindert. Die Bewegung des Folgeelements in Richtungen anders als die Schwerkraftrichtung, wie etwa die Richtung in der oben beschriebenen Querrichtung, wird durch den Führungsabschnitt 33 gemäß obiger Beschreibung des Halteabschnitts 4 des Containers in der Schwerpunktrichtung verhindert.The follower element 7 includes a holder 11 for the applicator needle, a receiving section 12 for the applicator needle holder, a fixing section 13 for the applicator needle holder, a cam-coupled section 15 and a warehouse 16 , The movement of the follower element 7 in the direction other than the gravity direction, such as the movement in the above-described transverse direction, is transmitted through the guide portion 33 prevented. The movement of the follower in directions other than the direction of gravity, such as the direction in the above-described transverse direction, becomes through the guide portion 33 according to the above description of the holding section 4 prevents the container in the direction of gravity.
Der Halter 11 für die Appliziernadel 1 hält die Appliziernadel 1 in der oben beschriebenen Weise. Der Halter 11 der Appliziernadel ist gegenüber dem Aufnahmeabschnitt 12 für den Appliziemadelhalter lösbar aufgenommen. Der Aufnahmeabschnitt 12 für den Appliziemadelhalter ist mit einem Fixierabschnitt 13 für den Appliziemadelhalter befestigt. Der nockengekoppelte Abschnitt 15 ist an dem Fixierabschnitt 13 für den Appliziemadelhalter befestigt und an einem nicht dargestellten Innenring des Lagers 16. Der innere Ring des Lagers 16 ist an einem Abschnitt des nockengekoppelten Abschnitts 15 oberhalb seines Abschnitts fixiert, der mit dem Fixierabschnitt 13 des Appliziernadelhalters in der Schwerkraftrichtung verbunden ist, was als Beispiel dient. Der Außenring des Lagers 16 ist verschiebbar mit dem Nockenelement 6 verbunden (wobei Details später noch beschrieben werden). Die äußere Umfangsfläche des Außenrings des Lagers 16 ist eine Gleitfläche, die verschieblich in Kontakt mit der Nockenfläche 6A steht.The holder 11 for the applicator needle 1 holds the applicator needle 1 in the manner described above. The holder 11 the Appliziernadel is opposite the receiving portion 12 detachably received for the Appliziemadelhalter. The recording section 12 for the Appliziemadelhalter is with a fixing 13 attached to the applicator needle holder. The cam coupled section 15 is at the fixing section 13 fastened for the Appliziemadelhalter and on an inner ring of the bearing, not shown 16 , The inner ring of the bearing 16 is at a portion of the cam-coupled portion 15 fixed above its section, with the fixing section 13 of the Appliziernadelhalters in the direction of gravity is connected, which serves as an example. The outer ring of the bearing 16 is displaceable with the cam element 6 connected (details will be described later). The outer peripheral surface of the outer ring of the bearing 16 is a sliding surface that is slidably in contact with the cam surface 6A stands.
Die Nockenfläche 6A ist ausgebildet, das sie ringförmig um die äußere Umfangsfläche des mittleren Abschnitts ist und weist die Form einer Schräge 6A auf, so dass ein Abstand zur unteren Fläche (Fläche an der Seite der Appliziernadel 1) des Nockenelements 6 variiert wird. Beispielsweise beinhaltet die Nockenfläche 6A: einen oberen flachen Endbereich, in welchem ein Abstand von der unteren Fläche des Nockenelements 6 am größten ist; einen unteren flachen Endbereich, welcher so angeordnet ist, dass er mit Abstand sich weg vom oberen flachen Endbereich befindet und bei dem der Abstand von der unteren Fläche des Nockenelements 6 am kleinsten ist; und einen Schrägabschnitt, der eine Verbindung zwischen dem oberen flachen Endbereich und dem unteren flachen Endbereich darstellt. Der obere flache Endbereich ist ein Bereich in Kontakt mit der äußeren Umfangsfläche des Lagers 16 gemäß den 1 und 2.The cam surface 6A is formed so that it is annular around the outer peripheral surface of the central portion and has the shape of a slope 6A on, leaving a distance to the lower surface (area on the side of the applicator needle 1 ) of the cam element 6 is varied. For example, the cam surface includes 6A an upper flat end portion in which a distance from the lower surface of the cam member 6 is greatest; a lower flat end portion arranged so as to be spaced away from the upper flat end portion and at a distance from the lower surface of the cam member 6 is smallest; and a slant portion that communicates between the upper flat end portion and the lower flat end portion. The upper flat end portion is an area in contact with the outer peripheral surface of the bearing 16 according to the 1 and 2 ,
Ein Abschnitt 8, welcher eine Zugkraft aufbringt, beinhaltet einen ersten Abschnitt 81, einen zweiten Abschnitt 82 und einen elastischen Abschnitt 83. Der elastische Abschnitt 83 hat ein Ende und ein anderes Ende. Das eine Ende des elastischen Abschnitts 83 ist mit dem ersten Abschnitt 81 befestigt und das andere Ende des elastischen Abschnitts 83 ist mit dem zweiten Abschnitt 82 befestigt. Der erste Abschnitt 81 ist mit dem Basisabschnitt 3 fest. Der zweite Abschnitt 82 ist mit dem Appliziernadelhalter-Fixierabschnitt 13 oberhalb des ersten Abschnitts 81 befestigt.A section 8th , which applies a tensile force, includes a first section 81 , a second section 82 and an elastic section 83 , The elastic section 83 has an end and another end. The one end of the elastic section 83 is with the first section 81 attached and the other end of the elastic section 83 is with the second section 82 attached. The first paragraph 81 is with the base section 3 firmly. The second section 82 is with the Appliziernadelhalter-Fixierabschnitt 13 above the first section 81 attached.
Der elastische Abschnitt 83 ist vorgesehen, dass er elastisch zwischen dem einen Ende und dem anderen Ende deformierbar ist. Der elastische Abschnitt 83 ist beispielsweise eine Feder. In dem ersten Zustand und dem zweiten Zustand ist der elastische Abschnitt 83 vorgesehen, um das Folgeelement mit der Abwärtskraft in der Schwerkraftrichtung zu führen. Die durch den elastischen Abschnitt 83 aufgebrachte Kraft wirkt auf das Lager 16 über den zweiten Abschnitt 82, den Fixierabschnitt 13 für den Appliziernadelhalter und den nockengekoppelten Abschnitt 15. Im Falle des ersten und des zweiten Zustands ist ein Aufbringabschnitt 8 für eine Zugspannung vorgesehen, um einen Status aufrechtzuerhalten, in welchem das Lager 16 gegen die Nockenfläche 6A des Nockenelements 6 gedrückt ist. Ein Abstand zwischen dem ersten Abschnitt 81 und dem zweiten Abschnitt 82 in der Schwerkraftrichtung kann durch einen Einstellabschnitt 84 geändert werden. Der Einstellabschnitt 84 ist vorgesehen, um eine Kraftgröße zu ändern, die durch den elastischen Abschnitt 83 auf das Lager 16 aufgebracht wird.The elastic section 83 is provided that it is elastically deformable between the one end and the other end. The elastic section 83 is for example a spring. In the first state and the second state, the elastic portion 83 provided to guide the follower element with the downward force in the direction of gravity. The through the elastic section 83 applied force acts on the bearing 16 over the second section 82 , the fixing section 13 for the applicator needle holder and the cam-coupled section 15 , In the case of the first and second states, there is an application section 8th for a tension to maintain a status in which the bearing 16 against the cam surface 6A of the cam element 6 is pressed. A distance between the first section 81 and the second section 82 in the direction of gravity can by a setting section 84 be changed. The adjustment section 84 is intended to change a force magnitude through the elastic section 83 on the camp 16 is applied.
[Aufbau der Flüssigkeits-Appliziervorrichtung][Structure of Liquid Applicator]
Eine Flüssigkeits-Appliziervorrichtung 200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 gemäß obiger Beschreibung. Die Flüssigkeits-Appliziervorrichtung 200 beinhaltet eine Flüssigkeits-Appliziereinheit 100, ein optisches Beobachtungssystem 110, eine CCD-Kamera 111, die mit dem optischen Beobachtungssystem 110 verbunden ist, einen Z-Achsen-Tisch 120, einen X-Achsen-Tisch 121, einen Y-Achsen-Tisch 122, eine Basis 123 und eine Steuerung 130.A liquid applicator 200 According to the present embodiment, a liquid applying unit includes 100 as described above. The liquid applicator 200 includes a liquid applicator unit 100 , an optical observation system 110 , a CCD camera 111 connected to the optical observation system 110 connected to a Z-axis table 120 , an X-axis table 121 , a Y Axis table 122 , One Base 123 and a controller 130 ,
Das optische Beobachtungssystem 110 ist vorgesehen, um eine Applizierposition auf dem Substrat 140 zu beachten, welches als Zielgegenstand dient, auf welches das Flüssigmaterial aufgebracht wird. Die CCD-Kamera 111 des optischen Beobachtungssystems 110 wandelt ein betrachtetes Bild in ein elektrisches Signal. Die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 und das optische Beobachtungssystem 110 sind auf einem beweglichen Körper des Z-Achsen-Tisches 120 angeordnet. Demzufolge werden die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 und das optische Beobachtungssystem 110 durch den Z-Achsen-Tisch 120 beweglich in Z-Achsen-Richtung gemäß 7 aufgenommen. Der Z-Achsen-Tisch 120 ist auf einem beweglichen Körper des X-Achsen-Tisches 121 angeordnet. Demzufolge ist der Z-Achsen-Tisch 120 durch den X-Achsen-Tisch 121 beweglich in der X-Achsen-Richtung gemäß 7 aufgenommen. Das als Zielgegenstand dienende Substrat 140 ist auf dem beweglichen Körper des Y-Achsen-Tisches 122 installiert. Demzufolge ist das Substrat 140, welches als Zielgegenstand dient, durch den in der Y-Achsen-Richtung gemäß 7 bewegbaren Y-Achsen-Tisch 122 aufgenommen. Der Y-Achsen-Tisch 122 ist auf der oberen Fläche der Basis 123 angeordnet. Der Y-Achsen-Tisch 122 ist derart vorgesehen, dass das als der Zielgegenstand dienende Substrat 140 darauf montiert werden kann. Der Y-Achsen-Tisch 122 ist in der Y-Achsen-Richtung bewegbar ausgebildet. Festzuhalten ist, dass die Z-Achsen-Richtung gemäß 7 eine Richtung längs der Schwerkraftrichtung ist.The optical observation system 110 is provided to an application position on the substrate 140 which serves as the target object to which the liquid material is applied. The CCD camera 111 of the optical observation system 110 converts a viewed image into an electrical signal. The liquid application unit 100 and the optical observation system 110 are on a moving body of the Z-axis table 120 arranged. As a result, the liquid applying unit becomes 100 and the optical observation system 110 through the Z-axis table 120 movable in Z-axis direction according to 7 added. The Z-axis table 120 is on a moving body of the X-axis table 121 arranged. As a result, the Z-axis table is 120 through the X-axis table 121 movable in the X-axis direction according to 7 added. The target serving as a substrate 140 is on the moving body of the Y-axis table 122 Installed. As a result, the substrate is 140 , which serves as a target object, by the in the Y-axis direction according to 7 movable Y-axis table 122 added. The Y-axis table 122 is on the top surface of the base 123 arranged. The Y-axis table 122 is provided such that the substrate serving as the target object 140 can be mounted on it. The Y-axis table 122 is formed movable in the Y-axis direction. It should be noted that the Z-axis direction according to 7 is a direction along the direction of gravity.
Die Steuerung 130 beinhaltet ein Bedienungspanel 132, einen Monitor 132 und einen Steuerungscomputer 133. Die Steuerung 130 steuert die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100, das optische Beobachtungssystem 110, den Z-Achsen-Tisch 120, den X-Achsen-Tisch 121 und den Y-Achsen-Tisch 122. Das Bedienungspanel 131 wird verwendet, um eine Steuerung auf den Steuerungscomputer 133 zu geben. Der Monitor 132 zeigt die Bilddaten, die durch die CCD-Kamera 111 des optischen Beobachtungssystems 110 konvertiert werden und zeigt den Datenausgang vom Steuerungscomputer 133.The control 130 includes a control panel 132 , a monitor 132 and a control computer 133 , The control 130 controls the liquid application unit 100 , the optical observation system 110 , the Z-axis table 120 , the X-axis table 121 and the Y-axis table 122 , The control panel 131 is used to control the control computer 133 to give. The display 132 shows the image data by the CCD camera 111 of the optical observation system 110 converts and displays the data output from the control computer 133 ,
[Flüssigkeits-Applizierverfahren][Liquid Applizierverfahren]
Als nächstes wird ein Flüssigkeits-Applizierverfahren unter Verwendung der Flüssigkeits-Appliziervorrichtung 200 beschrieben. In dem Flüssigkeits-Applizierverfahren werden der X-Achsen-Tisch 121, der Y-Achsen-Tisch 122 und der Z-Achsen-Tisch 120 derart bewegt, dass eine erste Applizierposition der Applizierpositionen im Substrat 140, welches als Zielgegenstand dient, gerade unterhalb des optischen Beobachtungssystems 110 angeordnet ist. Die Applizierposition des Substrats 140 wird durch das optische Beobachtungssystem 110 beobachtet und wird dann bestimmt. Das Substrat 140 wird durch den X-Achsen-Tisch 121, den Y-Achsen-Tisch 122 und den Z-Achsen-Tisch 120 derart bewegt, dass die auf diese Weise bestimmte Applizierposition gerade unterhalb der Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 sich befindet. Die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 befindet sich zu dieser Gelegenheit in dem oben beschriebenen ersten Zustand. Dann wird die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 in den oben beschriebenen zweiten Zustand bei der bestimmten Applizierposition verbracht, wodurch das flüssige Material auf die Applizierposition des Substrats 140 gebracht wird. Dann wird die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 in den ersten Zustand wieder zurückgebracht. Ferner wird das Substrat 140 durch den X-Achsen-Tisch 121, den Y-Achsen-Tisch 122 und den Z-Achsen-Tisch 120 derart bewegt, dass die nächste Applizierposition sich gerade unterhalb der Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 befindet. Nach Beendigung der Bewegung wird die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 in den zweiten Zustand verbracht, wodurch das Flüssigmaterial auf die Applizierposition des Substrats 140 aufgebracht wird. Jeder dieser Schritte kann kontinuierlich in wiederholter Weise durchgeführt werden. Als Resultat hiervon wird gemäß diesem Flüssigkeits-Applizierverfahren nach Maßgabe der vorliegenden Erfindung ein vorbestimmtes Schaltkreismuster auf die obere Fläche des Substrats 440 in einer kurzen Zeit ausgebildet.Next, a liquid applying method using the liquid applying apparatus will be described 200 described. In the liquid application method, the X-axis table 121 , the Y-axis table 122 and the Z-axis table 120 moves such that a first application position of the Applizierpositionen in the substrate 140 , which serves as a target object, just below the optical observation system 110 is arranged. The application position of the substrate 140 is through the optical observation system 110 is observed and then determined. The substrate 140 is through the X-axis table 121 , the Y-axis table 122 and the Z-axis table 120 moved so that the application position determined in this way just below the liquid Appliziereinheit 100 located. The liquid application unit 100 is on this occasion in the first state described above. Then the liquid application unit becomes 100 in the above-described second state at the specific application position, whereby the liquid material on the application position of the substrate 140 is brought. Then the liquid application unit becomes 100 brought back to the first state. Further, the substrate becomes 140 through the X-axis table 121 , the Y-axis table 122 and the Z-axis table 120 moved so that the next application position just below the liquid application unit 100 located. Upon completion of the movement, the liquid application unit becomes 100 spent in the second state, whereby the liquid material to the application position of the substrate 140 is applied. Each of these steps can be performed continuously in a repetitive manner. As a result, according to this liquid applying method according to the present invention, a predetermined circuit pattern is applied to the upper surface of the substrate 440 trained in a short time.
[Funktion und Effekt][Function and effect]
Eine Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist eine Flüssigkeits-Appliziereinheit für die Aufbringung eines flüssigen Materials auf eine Fläche eines Zielgegenstands unter Verwendung einer Appliziernadel 1. Die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 beinhaltet: eine Appliziernadel 1; einen Behälter 5 für Flüssigmaterial, der konfiguriert ist, um das Flüssigmaterial L aufzunehmen; und eine Antriebseinheit 2 für eine Auf- und Abwärtsbewegung der Appliziernadel 1 relativ zum Flüssigmaterial-Behälter 5. Der Flüssigmaterial-Behälter 5 ist mit einem Raum 50 für die Speicherung von Flüssigmaterial L versehen und ist mit einer ersten Öffnung 51 und einer zweiten Öffnung 52 ausgerichtet, jeweils für das Einsetzen der Appliziernadel 1 in den Raum 50. Die erste Öffnung 51 ist unterhalb des Raums 50 in einer Schwerkraftrichtung ausgebildet. Die zweite Öffnung 52 ist der ersten Öffnung 51 bezüglich des Raums 50 gegenüberliegend angeordnet unter Zwischenschaltung des Raums zwischen der ersten Öffnung 51 und der zweiten Öffnung 52. Der Flüssigmaterial-Behälter 5 beinhaltet eine wasserabweisende Lage 9, die sich von einer inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 zu einem Teilbereich erstreckt, welcher die erste Öffnung 51 in einer äußeren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Containers 5 umgibt.A liquid applicator unit 100 According to the present embodiment, there is a liquid applying unit for applying a liquid material to an area of a target object using an applicator needle 1 , The liquid application unit 100 includes: an applicator needle 1 ; a container 5 for liquid material configured to handle the liquid material L record; and a drive unit 2 for an upward and downward movement of the applicator needle 1 relative to the liquid material container 5 , The liquid material container 5 is with a room 50 for the storage of liquid material L provided and is with a first opening 51 and a second opening 52 aligned, each for the insertion of the applicator needle 1 in the room 50 , The first opening 51 is below the room 50 formed in a direction of gravity. The second opening 52 is the first opening 51 with respect to the room 50 arranged opposite with the interposition of the space between the first opening 51 and the second opening 52 , The liquid material container 5 includes a water repellent layer 9 extending from an inner peripheral surface of the first opening 51 extends to a portion which the first opening 51 in an outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounds.
Eine Bahn von Flüssigmaterial L, ausgehend vom Raum 50 des Flüssigmaterial-Behälters 5 auf die äußere Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 und eine Bahn von Flüssigmaterial L, die sich auf die äußere Umfangsfläche des Behälters 5 für das Flüssigmaterial über die Appliziernadel 1 ausbreitet, werden zwischen der inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 und dem die erste Öffnung 51 umgebenden Teilbereich in der äußeren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 ausgebildet. In der Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 ist die wasserabweisende Schicht ausgebildet, dass sie sich zwischen der inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 und dem die erste Öffnung 51 in der äußeren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 umgebenden Teilbereich erstreckt. Somit ist es weniger wahrscheinlich, dass sich das Flüssigmaterial L auf die äußere Umfangsfläche (beispielsweise erste Fläche 54A und zweite Fläche 54B des Wandabschnitts 54) des Flüssigmaterial-Behälters 5 ausbreitet im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit. Demgemäß wird auch nach einer vielfachen Aufbringung von Flüssigmaterial L im ersten Zustand und dem zweiten Zustand keine Ansammlung von Flüssigmaterial L auf der zweiten Fläche 54B in der Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 ausgebildet, mit dem Resultat, dass ein Zustand im Wesentlichen vergleichbar zum ersten Zustand gemäß 3 eintritt und der zweite Zustand gemäß 6 aufrechterhalten werden kann. Somit ist es weniger wahrscheinlich, dass in einer Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 eine Ansammlung von Flüssigmaterial L auf beispielsweise der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 benachbart der ersten Öffnung im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit erfolgt, wodurch die Ansammlung von flüssigem Material L weniger wahrscheinlich ist, dass sie groß wird. Infolgedessen wird mit einer Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 eine Änderung in der Menge der Aufbringung von hochviskosem Flüssigmaterial L bei kontinuierlicher vielfacher Aufbringung von Flüssigmaterial L unterdrückt im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit.A web of liquid material L , starting from the room 50 of the liquid material container 5 on the outer peripheral surface of the liquid material container 5 and a web of liquid material L that rest on the outer peripheral surface of the container 5 for the liquid material over the applicator needle 1 are spread between the inner peripheral surface of the first opening 51 and the first opening 51 surrounding portion in the outer peripheral surface of the liquid material container 5 educated. In the liquid application unit 100 the water-repellent layer is formed so as to be between the inner circumferential surface of the first opening 51 and the first opening 51 in the outer peripheral surface of the liquid material container 5 surrounding partial area extends. Thus, it is less likely that the liquid material L on the outer peripheral surface (for example, first surface 54A and second surface 54B of the wall section 54 ) of the liquid material container 5 spreads compared to a conventional liquid application unit. Accordingly, even after a multiple application of liquid material L in the first state and the second state no accumulation of liquid material L on the second surface 54B in the liquid application unit 100 formed, with the result that a state substantially similar to the first state according to 3 entry and the second state according to 6 can be maintained. Thus, it is less likely that in a liquid application unit 100 a collection of liquid material L on, for example, the second surface 54B of the wall section 54 adjacent to the first opening as compared to a conventional liquid applicator unit, whereby the accumulation of liquid material L it is less likely that she will grow up. As a result, using a liquid application unit 100 a change in the amount of application of highly viscous liquid material L with continuous multiple application of liquid material L suppressed compared to a conventional liquid application unit.
In der oben beschriebenen Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 beinhaltet ein Flüssigmaterial-Behälter 5: einen Wandabschnitt 54, der auf der äußeren Umfangsfläche ausgebildet ist und die erste Öffnung 51 umgibt; und einen Vorsprung 55, der so ausgebildet ist, dass er den Wandabschnitt 54 umgibt und nach unten relativ zum Wandabschnitt 54 vorspringt. Der Teilbereich weist auf: eine erste Fläche 54A und eine zweite Fläche 54B des Wandabschnitts 54, eine erste Fläche 54A und zweite Fläche 54B, die auf eine Fläche eines Substrats 140 weisen, welches als Zielgegenstand dient; eine obere Fläche 55T des Vorsprungs 55; und eine Seitenfläche 55S des Vorsprungs 55, eine Seitenfläche 55S, welche die obere Fläche 55T des Vorsprungs 55 mit der ersten Fläche 54A verbindet und der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54. In anderen Worten ist die wasserabweisende Schicht 9 so ausgebildet, dass sie sich von der inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 zur ersten Fläche 54A und der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54, der Seitenfläche 55S des Vorsprungs 55 und der oberen Fläche 55T des Vorsprungs 55 erstreckt.In the above-described liquid application unit 100 includes a liquid material container 5 : a wall section 54 formed on the outer peripheral surface and the first opening 51 surrounds; and a lead 55 which is designed to be the wall section 54 surrounds and down relative to the wall section 54 projects. The subarea has: a first surface 54A and a second area 54B of the wall section 54 , a first area 54A and second surface 54B pointing to an area of a substrate 140 pointing, which serves as a target object; an upper surface 55T of the projection 55 ; and a side surface 55S of the projection 55 , a side surface 55S which the upper surface 55T of the projection 55 with the first surface 54A connects and the second surface 54B of the wall section 54 , In other words, the water-repellent layer 9 designed to extend from the inner peripheral surface of the first opening 51 to the first area 54A and the second surface 54B of the wall section 54 , the side surface 55S of the projection 55 and the upper surface 55T of the projection 55 extends.
Auf diese Weise ist es sogar unwahrscheinlich, falls sich Flüssigmaterial L auf die Seitenfläche 54B des Wandabschnitts 54 des Flüssigmaterial-Containers 5 verbreitet, dass sich Flüssigmaterial L auf die Seitenfläche 55S und die obere Fläche 55T des Vorsprungs 55 ausbreitet. Infolgedessen ist es bei einer Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 weniger wahrscheinlich, dass sich eine Ansammlung von Flüssigmaterial L auf der zweiten Fläche 54B im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit ausbildet, und es ist weniger wahrscheinlich, dass sich eine Ansammlung von Flüssigmaterial L in einer kontinuierlichen Weise auf der ersten Fläche 54A, der zweiten Fläche 54B, der Seitenfläche 55S und der oberen Fläche 55T ausbildet. Infolgedessen wird in einer Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 eine Änderung in der Menge der Aufbringung eines hochviskosen Flüssigmaterials L bei Aufbringung von Flüssigmaterial L in kontinuierlicher und vielfacher Weise, unterdrückt im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit.In this way, it is even unlikely if liquid material L on the side surface 54B of the wall section 54 of the liquid material container 5 spread that liquid material L on the side surface 55S and the upper surface 55T of the projection 55 spreads. As a result, it is in a liquid application unit 100 less likely to get a build up of liquid material L on the second surface 54B Compared to a conventional liquid applicator unit, it is less likely to accumulate liquid material L in a continuous manner on the first surface 54A , the second surface 54B , the side surface 55S and the upper surface 55T formed. As a result, in a liquid application unit 100 a change in the amount of application of a high-viscosity liquid material L when applying liquid material L in a continuous and multiple manner, suppressed compared to a conventional liquid application unit.
[Modifikation][Modification]
Die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann den folgenden Aufbau haben, was als Beispiel dient.The liquid application unit 100 According to the present embodiment may have the following structure, which serves as an example.
Gemäß 8 muss ein Flüssigmaterial-Behälter 5 nicht den Vorsprung 55 aufweisen. In einem solchen Flüssigmaterial-Container 5 wird eine zweite Fläche 54B des Wandabschnitts 54 so ausgebildet, dass sie breiter ist als im Flüssigmaterial-Behälter 5 gemäß den 3 bis 6 in der radialen Richtung bezüglich der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51, die als Mittelachse dient. Die Breite der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 in der radialen Richtung mit der Öffnungsachse der ersten Öffnung 51 als Mittelachse ist beispielsweise größer als oder gleich 0,1 mm und weniger als oder gleich 2 mm, wie etwa ungefähr 0,2 mm.According to 8th must be a liquid material container 5 not the lead 55 respectively. In such a liquid material container 5 becomes a second surface 54B of the wall section 54 designed so that it is wider than in the liquid material container 5 according to the 3 to 6 in the radial direction with respect to the opening axis of the first opening 51 which serves as a central axis. The width of the second surface 54B of the wall section 54 in the radial direction with the opening axis of the first opening 51 as center axis, for example, is greater than or equal to 0.1 mm and less than or equal to 2 mm, such as about 0.2 mm.
Auch auf diese Weise wird die wasserabweisende Schicht 9 ausgebildet, dass sie sich von der inneren Umfangsfläche der ersten Öffnung 51 zur ersten Fläche 54A und der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 erstreckt. Deshalb ist es auch bei einer solchen Modifikation einer Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 weniger wahrscheinlich, dass sich eine Ansammlung von Flüssigmaterial L auf der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 benachbart der ersten Öffnung 51 bildet im Vergleich zu einer konventionellen Flüssigkeits-Appliziereinheit, wodurch es weniger wahrscheinlich ist, dass es zu einer großen Ansammlung von Flüssigmaterial L kommt. Als Resultat ist festzuhalten, dass die Modifikation gemäß 8 denselben Effekt wie die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 aufweist.Also in this way, the water-repellent layer 9 formed to extend from the inner peripheral surface of the first opening 51 to the first area 54A and the second surface 54B of the wall section 54 extends. Therefore, it is also in such a modification of a liquid-Appliziereinheit 100 less likely that yourself a collection of liquid material L on the second surface 54B of the wall section 54 adjacent the first opening 51 Compared to a conventional liquid application unit, it is less likely to cause a large accumulation of liquid material L comes. As a result, it should be noted that the modification according to 8th the same effect as the liquid application unit 100 having.
Gemäß 9 kann die wasserabweisende Lage 9 auf der gesamten Fläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 ausgebildet sein. Die gesamte Fläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 beinhaltet die äußere Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 und die innere Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5. Die innere Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Behälters 5 weist die inneren Umfangsflächen der ersten Öffnung 51 und der zweiten Öffnung 52 und die auf den Raum 50 weisende Fläche auf. Auch bei einer solchen Modifikation einer Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 wird eine wasserabweisende Lage 9 auf der zweiten Fläche 54B des Wandabschnitts 54 benachbart der ersten Öffnung 51 ausgebildet, wodurch es weniger wahrscheinlich ist, dass ein Ansammlung von Flüssigmaterial L auf der zweiten Fläche 54B stattfindet. Infolgedessen kann die aus 9 ersichtliche Modifikation denselben Effekt wie die vorhergehende Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 aufweisen. Ferner kann die wasserabweisende Lage 9 in der Modifikation in einfacherer Weise ausgebildet werden als die wasserabweisende Lage 9 in der vorhergehenden Flüssigkeits-Appliziereinheit 100. Die wasserabweisende Lage 9 in der Modifikation kann ohne Ausbildung einer Folienmaske auf jeder der äußeren Umfangsfläche und der inneren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Containers 5 erfolgen. Infolgedessen werden die Herstellungskosten der Flüssigkeits-Appliziereinheit gemäß dieser Modifikation der vorhergehenden Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 reduziert.According to 9 can the water-repellent position 9 on the entire surface of the liquid material container 5 be educated. The entire surface of the liquid material container 5 includes the outer peripheral surface of the liquid material container 5 and the inner peripheral surface of the liquid material container 5 , The inner peripheral surface of the liquid material container 5 has the inner peripheral surfaces of the first opening 51 and the second opening 52 and those on the room 50 pointing surface. Also in such a modification of a liquid-Appliziereinheit 100 becomes a water repellent layer 9 on the second surface 54B of the wall section 54 adjacent the first opening 51 formed, which makes it less likely that an accumulation of liquid material L on the second surface 54B takes place. As a result, the off 9 apparent modification the same effect as the previous liquid application unit 100 respectively. Furthermore, the water-repellent layer 9 be formed in the modification in a simpler manner than the water-repellent layer 9 in the previous liquid application unit 100 , The water-repellent layer 9 in the modification, without forming a film mask on each of the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the liquid material container 5 respectively. As a result, the manufacturing cost of the liquid applying unit according to this modification becomes the previous liquid applying unit 100 reduced.
Festzuhalten ist, dass die wasserabweisende Lage 9 durch Modifikation des Materials der äußeren Umfangsfläche oder der inneren Umfangsfläche des Flüssigmaterial-Containers 5 ausgebildet sein kann, was als Beispiel dient.It should be noted that the water-repellent layer 9 by modifying the material of the outer peripheral surface or the inner peripheral surface of the liquid material container 5 can be trained, which serves as an example.
Darüber hinaus ist es im vorliegenden Ausführungsbeispiel gemäß obiger Beschreibung illustriert worden, dass ein Schaltkreismuster auf einem Substrat 140 unter Verwendung der Flüssigkeits-Appliziervorrichtung 200 ausgebildet wird; allerdings ist die vorliegende Erfindung darauf nicht eingeschränkt. Das heißt, die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 und die Flüssigkeits-Appliziervorrichtung 200, welche die Flüssigkeits-Appliziereinheit 100 beinhaltet, kann nach Maßgabe der Erfindung in geeigneter Weise auch für den Zweck einer stabilen Aufbringung eines sehr geringen Betrags von Flüssigmaterial verwendet werden, wie etwa: Anwendung eines leitenden Materials bei Herstellung eines Quarzresonators; Anwendung eines Katalysatormaterials für einen MEMS(Mikroelektrisches mechanisches System)-Gassensor; und Anwendung auf ein Klebemittel für eine LED (lichtemittierende Diode).Moreover, in the present embodiment, as described above, it has been illustrated that a circuit pattern on a substrate 140 using the liquid applicator 200 is trained; however, the present invention is not limited thereto. That is, the liquid application unit 100 and the liquid applicator 200 containing the liquid application unit 100 may suitably be used in accordance with the invention also for the purpose of stably applying a very small amount of liquid material, such as: application of a conductive material in the manufacture of a quartz resonator; Application of a catalyst material for a MEMS (micro-electrical mechanical system) gas sensor; and application to an adhesive for an LED (light emitting diode).
Die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele sind rein illustrativ und in keiner Weise beschränkend. Der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird hauptsächlich durch die Merkmale der Ansprüche gegenüber den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen definiert und beinhaltet allerdings alle Modifikationen innerhalb des Schutzumfangs und der Bedeutung äquivalenter Merkmale der Ansprüche.The embodiments described herein are merely illustrative and not restrictive in any way. The scope of the present invention is defined primarily by the features of the claims over the embodiments described above and includes all modifications within the scope and meaning equivalent features of the claims.
INDUSTRIELLE ANWENDBARKEITINDUSTRIAL APPLICABILITY
Die vorliegende Erfindung ist insbesondere vorteilhaft anwendbar für eine Flüssigkeits-Appliziereinheit mit einem Flüssigmaterial-Behälter, in welchem ein hochviskoses Flüssigmaterial gespeichert wird, und auf eine Flüssigmaterial-Aufbringungsvorrichtung mit der Flüssigkeits-Appliziereinheit.The present invention is particularly advantageously applicable to a liquid application unit having a liquid material container in which a high-viscosity liquid material is stored, and to a liquid material application device having the liquid application unit.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
1: Appliziernadel; 1A, 1B: Abschnitt; 1E: Nadelspitze; 2: Servomotor (Antriebseinheit); 3: Basisabschnitt; 4: Behälterhalteabschnitt; 5: Flüssigmaterial-Behälter; 6: Nockenelement; 7: Folgeelement; 8: Abschnitt für die Aufbringung von Zugkraft; 9: wasserabweisende Lage; 11: Appliziernadelhalter; 12: Appliziernadelhalter-Aufnahmeabschnitt; 13: Appliziernadelhalter-Fixierabschnitt; 15: nockengekoppelter Abschnitt; 16: Lager; 21: Drehabschnitt; 33: Führungsabschnitt; 34: Einstellabschnitt; 50: Raum; 51: erste Öffnung; 52: zweite Öffnung; 53: dritte Öffnung; 54: Wandabschnitt; 54A: erste Fläche; 54B: zweite Fläche; 55: Vorsprung; 55S: Seitenfläche; 55T: obere Fläche; 81: erster Abschnitt; 82: zweiter Abschnitt; 83: elastischer Abschnitt; 100: Flüssigkeits-Appliziereinheit; 110: optisches Beobachtungssystem; 111: Kamera; 120: Z-Achsen-Tisch; 121: X-Achsen-Tisch; 122: Y-Achsen-Tisch; 123: Basis; 130: Steuerung; 131: Betriebspanel; 132: Monitor; 133: Steuerungscomputer; 140: Substrat; 200: Flüssigkeits-Appliziervorrichtung.1: applicator needle; 1A, 1B: section; 1E: needle point; 2: servo motor (drive unit); 3: basic section; 4: container holding section; 5: liquid material container; 6: cam element; 7: follower element; 8: section for the application of traction; 9: water-repellent layer; 11: Applicator needle holder; 12: applicator needle holder receiving section; 13: application needle holder fixing section; 15: cam-coupled section; 16: bearings; 21: rotary section; 33: guide section; 34: setting section; 50: room; 51: first opening; 52: second opening; 53: third opening; 54: wall section; 54A: first surface; 54B: second surface; 55: lead; 55S: side surface; 55T: upper surface; 81: first section; 82: second section; 83: elastic section; 100: liquid applying unit; 110: optical observation system; 111: camera; 120: Z-axis table; 121: X-axis table; 122: Y-axis table; 123: base; 130: control; 131: operation panel; 132: monitor; 133: control computer; 140: substrate; 200: liquid applicator.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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JP 2015112576 [0003, 0005]JP 2015112576 [0003, 0005]
