DE10321102A1 - Splitting device for light rays - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Aufteilungsvorrichtung für Lichtstrahlen, umfassend mindestens ein Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28), das einen ersten Anteil eines aufzuteilenden Lichtstrahles (6, 19, 26, 31) reflektiert und einen zweiten Anteil des Lichtstrahls (6, 19, 26, 31) hindurchtreten lassen kann, derart, dass der Lichtstrahl (6, 19, 26, 31) in mindestens zwei Anteile aufgeteilt wird, wobei die Aufteilungsvorrichtung weiterhin mindestens ein Polarisationsdrehmittel (3, 4, 16, 17, 18, 23, 24, 25, 29, 30) umfasst, das die Polarisation des aufzuteilenden Lichtstrahls (6, 19, 26, 31) drehen kann, und wobei das mindestens eine Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) als polarisationsselektives Strahlteilermittel ausgeführt ist.The present invention relates to a splitting device for light beams, comprising at least one beam splitter means (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) that contains a first portion of a light beam (6, 19, 26, 31) ) reflected and a second portion of the light beam (6, 19, 26, 31) can pass through such that the light beam (6, 19, 26, 31) is divided into at least two portions, the splitting device further comprising at least one polarization rotation means ( 3, 4, 16, 17, 18, 23, 24, 25, 29, 30) which can rotate the polarization of the light beam to be split (6, 19, 26, 31), and wherein the at least one beam splitter means (1, 2 , 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) is designed as a polarization-selective beam splitter.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Aufteilungsvorrichtung für Lichtstrahlen umfassend mindestens ein Strahlteilermittel, das einen ersten Anteil eines aufzuteilenden Lichtstrahles reflektieren und einen zweiten Anteil des Lichtstrahls hindurchtreten lassen kann, derart, dass der Lichtstrahl in mindestens zwei Anteile aufgeteilt wird.The The present invention relates to a light beam splitting device comprising at least one beam splitter means having a first portion of a reflect light beam to be split and a second portion of the light beam can pass through such that the light beam is divided into at least two parts.

Aufteilungsvorrichtungen der vorgenannten Art sind aus dem Stand der Technik als sogenannte Strahlteiler hinlänglich bekannt. Als Strahlteiler kann beispielsweise ein teildurchlässiger Spiegel dienen, der insbesondere unter einem Winkel von 45° zum aufzuteilenden Lichtstrahl angeordnet sein kann. Der teildurchlässige Spiegel kann mit einer oder mehreren Schichten eines Dielektrikums beschichtet sein, so dass für eine bestimmte Wellenlänge ein ungefähr vorgebbarer Anteil des aufzuteilenden Lichtstrahls reflektiert und im Wesentlichen der Rest durch den Spiegel transmittiert wird. Als nachteilig bei derartigen Strahlteilern erweist sich, dass in der Praxis das Reflektionsvermögen nur auf etwa ± 5 % den gewünschten Vorgaben entspricht. Das hat für die entsprechende Vorgabe der Intensitäten des reflektierten beziehungsweise transmittierten Teilstrahls zur Folge, dass diese um beispielsweise etwa 10 schwanken. Wenn ein aufzuteilender Lichtstrahl nicht nur in zwei sondern in vier Teilstrahlen aufgeteilt werden soll, müssen zu diesem Zwecke zwei oder drei Strahlteiler verwendet werden, so dass die Intensitäten der Teilstrahlen erheblich von den gewünschten Intensitäten abweichen können. Dies erweist sich beispielsweise dann als nachteilig, wenn mit einem aufzuteilenden Laserstrahl mehrere Löcher gleichzeitig in ein Werkstück gebohrt werden sollen. Wenn die einzelnen Teilstrahlen hinsichtlich ihrer Intensität deutlich unterschiedlich sind, ergibt sich nur ein äußerst unbefriedigendes Arbeitsergebnis. Ähnliches gilt für weitere Anwendungsbereiche wie das gleichzeitige Beschriften, Markieren, Hartlöten, Schweißen oder Strukturieren von Materialien, medizinische Anwendungen oder die Drucktechnik.spreading means of the aforementioned type are known as beam splitters from the prior art adequately known. A partially transparent mirror can be used as a beam splitter, for example serve, in particular at an angle of 45 ° to be divided Light beam can be arranged. The semi-transparent mirror can with a or several layers of a dielectric can be coated, so that for a certain wavelength an approximately definable Portion of the light beam to be split reflects and essentially the rest is transmitted through the mirror. As a disadvantage at Such beam splitters prove that in practice the reflectivity only to about ± 5 % the wished Meets specifications. That has for the corresponding specification of the intensities of the reflected or transmitted partial beam that this for example fluctuate about 10. If not only a beam of light to be split to be divided into two but into four partial beams, must be For this purpose two or three beam splitters are used, so that the intensities of the partial beams deviate considerably from the desired intensities can. This proves to be disadvantageous, for example, if it is to be shared with one Laser beam several holes into a workpiece at the same time should be drilled. If the individual beams with regard to their intensity clearly differ, there is only an extremely unsatisfactory work result. The same applies for further Areas of application such as simultaneous labeling, marking, Brazing, Welding or structuring of materials, medical applications or printing technology.

Daher ist das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Problem die Schaffung einer Aufteilungsvorrichtung der eingangs genannten Art, mit der ein Lichtstrahl in Teilstrahlen aufteilbar ist, deren Intensitätsverhältnis genauer vorgebbar ist.Therefore is the problem underlying the present invention Creation of a distribution device of the type mentioned at the beginning, with which a light beam can be divided into partial beams, the intensity ratio of which is more precise can be specified.

Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass die Aufteilungsvorrichtung weiterhin mindestens ein Polarisationsdrehmittel umfasst, das die Polarisation des aufzuteilenden Lichtstrahls drehen kann, wobei das mindestens eine Strahlteilermittel als polarisationsselektives Strahlteilermittel ausgeführt ist. In der Regel werden aufzuteilende Lichtstrahlen von Lasern erzeugt, so dass die aufzuteilenden Lichtstrahlen zumeist zumindest teilweise linear polarisiert sein werden. Das Strahlteilermittel gemäß der vorliegenden Erfindung bietet die Möglichkeit, den aufzuteilenden Lichtstrahl in Abhängigkeit von der Richtung der Linearpolarisation des Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen aufzuteilen. Insbesondere werden dabei die beiden Teilstrahlen zumindest teilweise eine zueinander senkrechte Linearpolarisation aufweisen. Durch vorherige Drehung der Linearpolarisation des aufzuteilenden Lichtstrahls kann daher erfindungsgemäß das Intensitätsverhältnis der beiden Teilstrahlen zueinander eingestellt werden. Es bietet sich daher die Möglichkeit, die Intensitäten der mindestens zwei Teilstrahlen zu messen und in Abhängigkeit von den gemessenen Intensitäten die Einstellung des Polarisationsdrehmittels derart zu ändern, dass das gemessene Intensitätsverhältnis dem zu erreichenden Intensitätsverhältnis entspricht. Beispielsweise kann auf diese Weise erreicht werden, dass die mindestens zwei Teilstrahlen eine im Wesentlichen gleiche Intensität aufweisen. Derartige Teilstrahlen können somit beispielsweise für das simultane Bohren mehrerer Löcher in ein Werkstück verwendet werden.This according to the invention achieved that the splitting device continues at least one Polarization rotating means comprises the polarization of the to be divided Can rotate light beam, the at least one beam splitter means as polarization-selective beam splitter means is executed. Usually, light beams to be split are generated by lasers, so that the light beams to be split mostly at least partially will be linearly polarized. The beam splitter means according to the present Invention offers the possibility of split light beam depending on the direction of the To split the linear polarization of the light beam into two partial beams. In particular, the two partial beams at least partially become one linear polarization perpendicular to each other. By previous Rotation of the linear polarization of the light beam to be split can therefore according to the invention the intensity ratio of the two partial beams can be adjusted to each other. It offers hence the opportunity the intensities the at least two partial beams to measure and depending from the measured intensities change the setting of the polarization rotating means such that the measured intensity ratio corresponds to the intensity ratio to be achieved. For example, it can be achieved in this way that the minimum two partial beams have essentially the same intensity. Such partial beams can thus for example for the simultaneous drilling of several holes used in a workpiece become.

Insbesondere kann das mindestens eine Strahlteilermittel derart ausgebildet sein, dass ein Anteil des aufzuteilenden Lichtstrahls mit einer ersten Linearpolarisation im Wesentlichen reflektiert wird, wohingegen ein Anteil des aufzuteilenden Lichtstrahls mit einer zu der ersten im Wesentlichen senkrechten zweiten Linearpolarisation im Wesentlichen transmittiert wird. Eine derartige Ausführungsform eines Strahlteilermittels lässt sich vergleichsweise einfach realisieren und bietet den Vorteil, dass dabei die Teilstrahlen des aufgeteilten Lichtstrahls unter einem vergleichsweise großen Winkel auseinander laufen, so dass sie problemlos weiter verarbeitet werden können.In particular the at least one beam splitter means can be designed in such a way that a portion of the light beam to be split with a first Linear polarization is essentially reflected, whereas a portion of the light beam to be split with one to the first essentially perpendicular second linear polarization is essentially transmitted becomes. Such an embodiment of a beam splitter means is comparatively easy to implement and offers the advantage that the partial beams of the split light beam below a comparatively large one The angles diverge so that they can be processed easily can be.

Alternativ könnte das Strahlteilermittel beispielsweise derart ausgebildet sein, dass mindestens zwei Anteile des aufzuteilenden Lichtstrahls unter einem Winkel zueinander oder gegeneinander versetzt transmittiert werden. Beispielsweise könnte für ein derartiges Strahlteilermittel ein doppelbrechendes Material verwendet werden.alternative could the beam splitter means can be designed, for example, in such a way that at least two parts of the light beam to be split under one Angles are transmitted to each other or offset from each other. For example for such a Beam splitter means a birefringent material can be used.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst die Aufteilungsvorrichtung ein erstes Strahlteilermittel und mindestens ein zweites Strahlteilermittel, die den aufzuteilenden Lichtstrahl in mindestens drei Anteile aufteilen können. Durch das Vorsehen von zwei oder mehr Strahlteilermitteln kann der aufzuteilende Lichtstrahl in eine größere Anzahl von Anteilen aufgeteilt werden. Auf diese Weise kann mittels eines einzigen Laserstrahls eine Mehrzahl von Löchern gleichzeitig in ein Werkstück gebohrt werden.According to one preferred embodiment of the In the present invention, the splitting device comprises a first one Beam splitter means and at least one second beam splitter means, that can divide the light beam to be divided into at least three parts. By the provision of two or more beam splitter means can be the one to be divided Light beam in a larger number be divided by shares. In this way, by means of a single laser beam drilled a plurality of holes simultaneously in a workpiece become.

Erfindungsgemäß kann vorgesehen sein, dass das mindestens eine Strahlteilermittel hinsichtlich des Strahlengangs hinter dem ersten Strahlteilermittel angeordnet ist, so dass ein von diesem reflektierter Teilstrahl und/oder ein von diesem transmittierter Teilstrahl in mindestens zwei Anteile aufgeteilt werden kann. Es bieten sich somit zumindest zwei unterschiedliche Anordnungsmöglichkeiten an. Zum Einen können sämtliche Strahlteilermittel derart hintereinander angeordnet werden, dass beispielsweise jeweils immer der durch das Strahlteilermittel hindurchgetretene und nicht reflektierte Teilstrahl in jeweils zwei weitere Teilstrahlen aufgeteilt wird. Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, sowohl den reflektierten als auch den transmittierten Teilstrahl durch ein zusätzliches Strahlteilermittel in zwei Teilstrahlen aufzuteilen. Entsprechend besteht natürlich auch die Möglichkeit bei unter einem Winkel zueinander durch das Strahlteilermittel transmittierten Teilstrahlen einen jeden dieser Teilstrahlen durch zusätzliche Strahlteilermittel weiter aufzuteilen.According to the invention, that the at least one beam splitter means is arranged behind the first beam splitter means with respect to the beam path, so that a partial beam reflected by it and / or a partial beam transmitted by the latter can be divided into at least two parts. There are at least two different arrangement options. On the one hand, all of the beam splitting means can be arranged one behind the other such that, for example, the partial beam that has passed through the beam splitting means and is not reflected is always divided into two further partial beams. Alternatively, there is the possibility of splitting both the reflected and the transmitted partial beam into two partial beams by means of an additional beam splitter. Correspondingly, there is of course also the possibility of further dividing each of these partial beams by additional beam splitting means in the case of partial beams transmitted through the beam splitting means at an angle to one another.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfasst die Aufteilungsvorrichtung ein erstes Polarisationsdrehmittel für die Drehung der Polarisation des aufzuteilenden Lichtstrahls und mindestens ein zweites Polarisationsdrehmittel für die Drehung der Polarisation der bereits aufgeteilten Teilstrahlen. Auf diese Weise lassen sich auch bei der Aufteilung des Lichtstrahles in mehr als zwei Teilstrahlen die Intensitätsverhältnisse der einzelnen Teilstrahlen vergleichsweise einfach einstellen, weil insbesondere hierbei die Aufteilungsvorrichtung derart gestaltet ist, dass durch Einstellung des mindestens einen Polarisationsdrehmittels, beziehungsweise der mindestens zwei Polarisationsdrehmittel, das Verhältnis der Intensitäten der aus der Aufteilungsvorrichtung austretenden Teilstrahlen vorgegeben werden kann. Dies hat seinen Grund darin, dass ein jedes der polarisationsselektiven Strahlteilermittel in Abhängigkeit von der Polarisation des auf die Eintrittsfläche des Strahlteilermittels auftreffenden Lichts einen entsprechend großen Anteil beispielsweise reflektiert und einen entsprechend großen Anteil transmittiert. Insbesondere bei linearpolarisiertem Licht wird bei einer bestimmten Ausrichtung des Polarisationsvektors die Intensität des reflektierten Anteils genau der Intensität des transmittierten Anteils entsprechen. Wenn durch die Polarisationsdrehmittel der Polarisationsvektor des linearpolarisierten aufzuteilenden Lichts gedreht wird, wird dementsprechend das Verhältnis der Intensität des reflektierten Anteils zu der Intensität des transmittierten Anteils verändert.According to one preferred embodiment of the In the present invention, the splitting device comprises a first one Rotation means for polarization the rotation of the polarization of the light beam to be split and at least one second polarization rotating means for rotating the polarization of the partial beams already split. This way also when dividing the light beam into more than two partial beams the intensity ratios of the individual partial beams is comparatively easy to set because in particular in this case the distribution device is designed in this way is that by adjusting the at least one polarization rotating means, or the at least two polarization rotating means, the relationship of intensities of the partial beams emerging from the splitting device can be. This is because each of the polarization selective Beam splitter means depending on the polarization of the beam splitter means on the entrance surface incident light reflects a correspondingly large proportion, for example and a correspondingly large one Share transmitted. Especially with linear polarized light is at a certain orientation of the polarization vector intensity of the reflected part exactly the intensity of the transmitted part correspond. If the polarization rotation means the polarization vector of the linearly polarized light to be split is rotated accordingly the ratio the intensity of the reflected portion to the intensity of the transmitted portion changed.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist das mindestens eine Strahlteilermittel als polarisationsselektiver teildurchlässiger Spiegel ausgebildet. Ein derartiger polarisationsselektiver teildurchlässiger Spiegel kann insbesondere eine Beschichtung mit einer oder mehreren dielektrischen Schichten aufweisen, so dass Licht einer vorgegebenen Wellenlänge und einer vorgegebenen Linearpolarisation bei Auftreffen unter einem bestimmten Winkel auf die Eintrittsfläche des teildurchlässigen Spiegels in einen reflektierten und einen transmittierten Anteil aufgeteilt werden, deren Intensitäten ein vorgegebenes Verhältnis zueinander aufweisen.According to one preferred embodiment of the present invention is the at least one beam splitter means formed as a polarization-selective partially transparent mirror. Such a polarization-selective partially transparent mirror can in particular be a coating with one or more dielectric Have layers so that light of a predetermined wavelength and a given linear polarization when hitting below a certain one Angle on the entry surface of the partially permeable Mirror into a reflected and a transmitted part be divided, the intensities of which have a predetermined relationship to one another.

Insbesondere ist hierbei die Normale der Eintrittsfläche des polarisationsselektiven teildurchlässigen Spiegels unter einem Winkel zu dem aufzuteilenden Lichtstrahl ausgerichtet, der im Wesentlichen dem Brewsterwinkel des Materials des teildurchlässigen Spiegels entspricht. Bei diesem Winkel ergibt sich insbesondere der Vorteil, dass der transmittierte Anteil bei dem Austritt aus dem teildurchlässigen Spiegel keine Verluste erfährt.In particular is the normal of the entrance surface of the polarization selective partially transmitting Mirror aligned at an angle to the light beam to be split, which is essentially the Brewster angle of the material of the semitransparent mirror equivalent. At this angle there is in particular the advantage that the transmitted portion exits the semi-transparent mirror experiences no losses.

Alternativ dazu kann auch die Normale der Eintrittsfläche des polarisationsselektiven teildurchlässigen Spiegels unter einem Winkel von 45° zu dem aufzuteilenden Lichtstrahl ausgerichtet sein. Ein Winkel von 45° kann unter Umständen deshalb von Vorteil sein, weil in diesem Fall der reflektierte Lichtstrahl zu dem aufzuteilenden Lichtstrahl einen Winkel von 90° ausbildet.alternative this can also be the normal of the entry surface of the polarization selective partially transmitting Mirror at an angle of 45 ° to the light beam to be split be aligned. An angle of 45 ° can therefore under certain circumstances be advantageous because in this case the reflected light beam forms an angle of 90 ° to the light beam to be split.

Erfindungsgemäß kann insbesondere dabei vorgesehen sein, dass die Austrittsfläche des teildurchlässigen Spiegels entspiegelt ist, insbesondere mit einer reflektionsvermindernden Beschichtung versehen ist. Für den Fall, dass der teildurchlässige Spiegel nicht unter dem Brewsterwinkel angeordnet ist, kann durch die Entspiegelung verhindert werden, dass der transmittierte Lichtstrahl bei dem Verlassen des teildurchlässigen Spiegels Verluste erfährt.According to the invention, in particular it should be provided that the exit surface of the partially transparent mirror is anti-reflective, in particular with a reflection-reducing Coating is provided. For in the event that the semitransparent mirror is not arranged under the Brewster angle, can be due to the anti-reflective coating be prevented that the transmitted light beam when leaving the partially transmitting Spiegel experiences losses.

Gemäß einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist das mindestens eine Strahlteilermittel als Polarisationswürfel ausgebildet. Polarisationswürfel sind hinlänglich bekannt und bieten eine effektive Möglichkeit, einen Lichtstrahl in zwei Teilstrahlen aufzuteilen, deren Linearpolarisation senkrecht zueinander orientiert ist. Weiterhin bietet die Aufteilung durch einen Polarisationswürfel den Vorteil, dass der aufzuteilende Lichtstrahl und der reflektierte Teilstrahl sowie der reflektierte und der transmittierte Teilstrahl jeweils einen Winkel von 90° miteinander einschließen.According to one alternative embodiment of the present invention is the at least one beam splitter means as a polarization cube educated. polarizing cube are adequate known and provide an effective way to get a beam of light to be divided into two partial beams, the linear polarization of which is perpendicular is oriented towards each other. The division also offers a polarization cube the advantage that the light beam to be split and the reflected Partial beam as well as the reflected and the transmitted partial beam each an angle of 90 ° lock in.

Erfindungsgemäß kann weiterhin vorgesehen sein, dass das mindestens eine Polarisationsdrehmittel als Halbwellenlängenplättchen ausgebildet ist. Ein Halbwellenlängenplättchen besteht beispielsweise aus doppelbrechendem Material wie zum Beispiel Quarz und stellt eine einfache und zuverlässige Möglichkeit der Drehung der Linearpolarisation eines Lichtstrahls dar. Durch Drehung des Plättchens um die Ausbreitungsrichtung lässt sich der Drehwinkel der Polarisation und damit das Teilungsverhältnis an dem Strahlteilermittel einstellen. Alternativ dazu können zwei Viertelwellenlängenplättchen oder aber auch Kompensatoren wie beispielsweise Babinetkompensatoren verwendet werden. Als Polarisationsdrehmittel können alternativ dazu auch optisch aktive Materialien geeigneter Dicke verwendet werden. Hierbei ist der Drehwinkel durch die Materialdicke fest vorgegeben.According to the invention, it can further be provided that the at least one polarization rotating means is designed as a half-wave plate. A half-wave plate consists, for example, of birefringent material such as quartz and represents a simple and reliable possibility of rotating the linear polarization of a light beam. By rotating the plate around the direction of propagation, the angle of rotation of the polarization and thus the division ratio on the beam splitter means. Alternatively, two quarter-wave plates or compensators such as Babinet compensators can be used. Alternatively, optically active materials of suitable thickness can also be used as the polarization rotating means. The angle of rotation is fixed by the material thickness.

Für un- oder teilpolarisiertes Licht lässt sich die Polarisationsrichtung naturgemäß nur bedingt einstellen. Ein erstes Polarisieren des Strahlteilermittels erzeugt hieraus aber polarisierte Teilstrahlen, die wie oben beschrieben weiter aufgeteilt werden können. Unpolarisiertes Licht wird am ersten Strahlteilermittel in nahezu gleich intensive Teilstrahlen aufgeteilt. Für teilpolarisiertes Licht lässt sich mit einem Polarisationsdrehmittel vor dem ersten polarisierenden Strahlteilermittel die Polarisationsrichtung und damit das Teilungsverhältnis in einem durch den Polarisationsgrad bestimmten Bereich einstellen. Insbesondere können auf diese Weise gleich intensive Teilstrahlen erzeugt werden.For un- or partially polarized light leaves the direction of polarization naturally occurs only to a limited extent. On first polarization of the beam splitter produces from this polarized partial beams, which are further divided as described above can be. Unpolarized light is almost at the first beam splitter equally divided beams. For partially polarized light with a polarization rotating means in front of the first polarizing beam splitter means the polarization direction and thus the division ratio in set a range determined by the degree of polarization. In particular can In this way, equally intense partial beams are generated.

Erfindungsgemäß kann vorgesehen sein, dass Mittel für die Einkopplung der Teilstrahlen in Lichtleitfasern vorgesehen sind.According to the invention can be provided be that means for the coupling of the partial beams into optical fibers is provided.

Erfindungsgemäß kann weiterhin vorgesehen sein, dass das mindestens eine Strahlteilermittel und das mindestens eine Polarisationsdrehmittel in einem Bauteil realisiert sind. Beispielsweise kann die Austrittsfläche des Polarisationsdrehmittels mit einer polarisationsselektiven Beschichtung versehen sein, die als Strahlteiler wirkt. Auf diese Weise kann der Fertigungsaufwand minimiert werden.According to the invention can continue be provided that the at least one beam splitter and which realizes at least one polarization rotation means in one component are. For example, the exit surface of the polarization rotating means be provided with a polarization-selective coating that acts as a beam splitter. In this way, the manufacturing effort be minimized.

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigenFurther Features and advantages of the present invention will become clear based on the following description of preferred exemplary embodiments with reference to the attached pictures. Show in it

1 eine schematische Seitenansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung; 1 is a schematic side view of a first embodiment of a splitting device according to the invention;

2 eine schematische Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung; 2 a schematic side view of a second embodiment of a splitting device according to the invention;

3 eine schematische Seitenansicht einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung; 3 is a schematic side view of a third embodiment of a splitting device according to the invention;

4 eine schematische Seitenansicht einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung. 4 is a schematic side view of a fourth embodiment of a splitting device according to the invention.

Aus 1 ist ersichtlich, dass die darin abgebildete Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung zwei Strahlteilermittel 1, 2 und zwei Polarisationsdrehmittel 3, 4 umfasst. Die Strahlteilermittel 1, 2 sind derart ausgebildet, dass sie polarisationsselektiv auf sie einfallendes Licht reflektieren beziehungsweise hindurchtreten lassen. Die Strahlteilermittel 1, 2 können beispielsweise als polarisationsselektive teildurchlässige Spiegel, insbesondere mit einer entsprechenden dielektrischen Beschichtung, oder als Polarisationswürfel ausgebildet sein. Die Polarisationsdrehmittel 3, 4 können beispielsweise als Halbwellenlängenplättchen, optisch aktive Kristalle oder als Kompensatoren oder dergleichen ausgebildet sein.Out 1 it can be seen that the embodiment of a splitting device according to the invention depicted therein has two beam splitter means 1 . 2 and two polarization rotators 3 . 4 includes. The beam splitter means 1 . 2 are designed in such a way that they reflect or pass light incident on them in a polarization-selective manner. The beam splitter means 1 . 2 can be designed, for example, as polarization-selective, partially transparent mirrors, in particular with a corresponding dielectric coating, or as polarization cubes. The polarization rotation means 3 . 4 can be designed, for example, as half-wave plates, optically active crystals or as compensators or the like.

Bei der in 1 abgebildeten Ausführungsform soll der aus einer Glasfaser 5 austretende Lichtstrahl 6 in einzelne Teilstrahlen 6a, 6c, 6d aufgespalten werden, die beispielsweise eine gleichgroße Intensität aufweisen. Zu diesem Zweck wird der aus der Glasfaser 5 austretende Lichtstrahl 6 beispielsweise von einer Linse 7 kollimiert.At the in 1 The embodiment shown is that of a glass fiber 5 emerging light beam 6 into individual partial beams 6a . 6c . 6d are split up, for example, have the same intensity. For this purpose, the fiberglass 5 emerging light beam 6 for example from a lens 7 collimated.

Der aus der Lichtleitfaser 5 austretende Lichtstrahl 6 kann bei dem in 1 abgebildeten Ausführungsbeispiel zumindest teilweise linear polarisiert sein. Dies wird in der Regel dann der Fall sein, wenn der Lichtstrahl 6 von einem Laser erzeugt wird und die Polarisation in der Lichtleitfaser 5 beibehalten wird. Der kollimierte Lichtstrahl 6 tritt nach Hindurchtritt durch die Linse 7 durch das erste Polarisationsdrehmittel 3 hindurch. Durch dieses Polarisationsdrehmittel 3 kann die zumindest teilweise Linearpolarisation des Lichtstrahles 6 beliebig gedreht werden.The one from the optical fiber 5 emerging light beam 6 can in the 1 illustrated embodiment may be at least partially linearly polarized. This will usually be the case when the light beam 6 is generated by a laser and the polarization in the optical fiber 5 is maintained. The collimated beam of light 6 occurs after passing through the lens 7 through the first polarization rotating means 3 therethrough. By this polarization rotating means 3 can the at least partial linear polarization of the light beam 6 can be rotated as required.

Nach Hindurchtritt durch das erste Polarisationsdrehmittel 3 trifft der aufzuteilende Lichtstrahl 6 auf das erste Strahlteilermittel 1. Dieses ist in dem abgebildeten Ausführungsbeispiel so ausgerichtet, dass der Winkel zwischen dem Lot auf der Eintrittsfläche und dem auf dieser Eintrittsfläche auftreffenden Lichtstrahl 6 etwa dem Brewsterwinkel des Materials des ersten Strahlteilermittels 1 entspricht. Dies sind bei dem in 1 abgebildeten Ausführungsbeispiel etwa 56°. An der Eintrittsfläche des ersten Strahlteilermittels 1 wird ein Anteil des Lichtstrahles 6 reflektiert in einen Teilstrahl 6a. Ein anderer Anteil des Lichtstrahles 6, der eine zu dem reflektierten Anteil senkrechte Linearpolarisation aufweist, tritt durch das erste Strahlteilermittel 1 hindurch und verlässt dieses als Teilstrahl 6b. Aufgrund der Anordnung des Strahlteilermittels 1 unter dem Brewsterwinkel ergeben sich bei dem Austritt des Teilstrahls 6b keine Reflektionsverluste.After passing through the first polarization rotating means 3 hits the beam of light to be split 6 on the first beam splitter means 1 , In the exemplary embodiment shown, this is aligned such that the angle between the solder on the entry surface and the light beam incident on this entry surface 6 approximately the Brewster angle of the material of the first beam splitter means 1 equivalent. These are in the 1 illustrated embodiment about 56 °. At the entry surface of the first beam splitter 1 becomes a portion of the light beam 6 reflected in a partial beam 6a , Another part of the light beam 6 , which has a linear polarization perpendicular to the reflected portion, passes through the first beam splitter means 1 through and leaves it as a partial jet 6b , Due to the arrangement of the beam splitter means 1 at the Brewster angle result when the partial jet emerges 6b no reflection losses.

Der reflektierte Teilstrahl 6a kann durch eine weitere Linse 8 in eine Glasfaser 11 eingekoppelt werden. Der durch das erste Strahlerteilermittel 1 hindurchgetretene Teilstrahl 6b tritt durch das zweite Polarisationsdrehmittel 4 hindurch und trifft daran anschließend auf das zweite Strahlteilermittel 2. Das zweite Strahlteilermittel 2 ist wie das erste Strahlteilermittel 1 derart angeordnet, dass der Teilstrahl 6b unter einem Brewsterwinkel auf die Eintrittsfläche des zweiten Strahlteilermittels 2 auftrifft. Entsprechend wird ein erster Anteil des Teilstrahles 6b in einen reflektierten Teilstrahl 6c überführt und ein zweiter Anteil, der zu dem ersten Anteil eine um 90° gedrehte Linearpolarisation aufweist, tritt als Teilstrahl 6d durch das zweite Strahlteilermittel 2 hindurch. Der Teilstrahl 6d erfährt wiederum aufgrund der Ausrichtung unter dem Brewsterwinkel keine Verluste bei dem Austritt aus dem zweiten Strahlteilermittel 2.The reflected partial beam 6a can through another lens 8th into a glass fiber 11 be coupled. That by the first radiator splitter means 1 partial beam passed through 6b passes through the second butt larisa tion rotating medium 4 and then hits the second beam splitter means 2 , The second beam splitter 2 is like the first beam splitter 1 arranged such that the partial beam 6b at a Brewster angle on the entry surface of the second beam splitter 2 incident. A first portion of the partial beam is correspondingly 6b into a reflected partial beam 6c transferred and a second component, which has a linear polarization rotated by 90 ° to the first component, occurs as a partial beam 6d through the second beam splitter means 2 therethrough. The partial beam 6d again experiences no losses when exiting the second beam splitter due to the alignment at the Brewster angle 2 ,

Die Teilstrahlen 6c und 6d können durch weitere Linsen 9, 10 in weitere Glasfasern 12, 13 eingekoppelt werden.The partial beams 6c and 6d can through more lenses 9 . 10 in other glass fibers 12 . 13 be coupled.

Durch entsprechende Drehung der Polarisationsdrehmittel 3, 4 kann bei linearpolarisiertem aufzuteilendem Lichtstrahl 6 beispielsweise erreicht werden, dass die Intensitäten der Teilstrahlen 6a, 6c, 6d gleich groß sind. Weiterhin können die Intensitäten der Teilstrahlen 6a, 6c, 6d durch entsprechende Einstellungen der Polarisationsdrehmittel 3, 4 in beliebige Verhältnisse zueinander gesetzt werden. Beispielsweise kann erreicht werden, dass die Intensitäten der Teilstrahlen 6c, 6d gleich groß sind, wohingegen die Intensität des Teilstrahls 6a so groß ist wie die Intensität der Teilstrahlen 6c, 6d zusammen.By rotating the polarization means accordingly 3 . 4 can with linearly polarized light beam to be split 6 For example, the intensities of the partial beams can be achieved 6a . 6c . 6d are the same size. Furthermore, the intensities of the partial beams 6a . 6c . 6d by appropriate settings of the polarization rotation means 3 . 4 be placed in any relation to each other. For example, the intensities of the partial beams can be achieved 6c . 6d are the same size, whereas the intensity of the partial beam 6a is as large as the intensity of the partial beams 6c . 6d together.

Erfindungsgemäß besteht weiterhin die Möglichkeit, mehrere zusätzliche Polarisationsdrehmittel und Strahlteilermittel in Strahlrichtung hinter dem zweiten Strahlteilermittel 2 in den Teilstrahl 6d und entsprechende aus diesem hervorgehende Teilstrahlen einzusetzen. Weiterhin besteht auch die Möglichkeit, in die Teilstrahlen 6a und 6c weitere Polarisationsdrehmittel und Strahlteilermittel einzubringen. Dies ist insbesondere dann sinnvoll, wenn der aufzuteilende Lichtstrahl 6 nicht oder nur wenig linear polarisiert ist, wie das bei Multimodefasern häufig der Fall ist. Dann kann durch Einstellung des Polarisationsdrehmittels 3 keine Veränderung des Verhältnisses der Intensitäten der Teilstrahlen 6a und 6b herbeigeführt werden, weil diese dann in der Regel gleich intensiv sind. In diesem Fall ist insbesondere eine Anordnung sinnvoll, wie sie nachfolgend zu 3 beschrieben wird.According to the invention there is also the possibility of a plurality of additional polarization rotating means and beam splitting means in the beam direction behind the second beam splitting means 2 in the partial beam 6d and to use corresponding partial beams resulting from this. There is also the option of entering the partial beams 6a and 6c to introduce further polarization rotating means and beam splitter means. This is particularly useful when the light beam to be split 6 is not or only slightly linearly polarized, as is often the case with multimode fibers. Then you can adjust the polarization rotation 3 no change in the ratio of the intensities of the partial beams 6a and 6b be brought about because these are then usually equally intense. In this case, an arrangement is particularly useful as follows 3 is described.

Aus 2 ist eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung ersichtlich, bei der drei Strahlteilermittel 13, 14, 15 und drei Polarisationsdrehmittel 16, 17, 18 vorgesehen sind. Diese Strahlteilermittel 13, 14, 15 dienen zur Aufteilung eines Lichtstrahls 19, der in dem abgebildeten Ausführungsbeispiel als kollimierter Laserstrahl ausgebildet ist. Nach Hindurchtritt durch das erste Polarisationsdrehmittel 16 wird der Laserstrahl 19 durch das erste Strahlteilermittel 13 in zwei Teilstrahlen 19a, 19b aufgeteilt. Die Aufteilung geschieht dabei analog zur Aufteilung des Lichtstrahles 6 in die Teilstrahlen 6a und 6b durch das erste Strahlteilermittel 1 gemäß 1. Insbesondere sind bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 2 auch die Strahlteilermittel 13, 14, 15 unter einem Brewsterwinkel zu den einfallenden Lichtstrahlen 19 beziehungsweise Teilstrahlen 19b, 19d ausgerichtet.Out 2 A further embodiment of a splitting device according to the invention can be seen, in which three beam splitter means 13 . 14 . 15 and three polarization rotators 16 . 17 . 18 are provided. This beam splitter means 13 . 14 . 15 serve to split a light beam 19 , which is designed as a collimated laser beam in the illustrated embodiment. After passing through the first polarization rotating means 16 becomes the laser beam 19 through the first beam splitter means 13 in two partial beams 19a . 19b divided up. The division takes place analogously to the division of the light beam 6 into the partial beams 6a and 6b through the first beam splitter means 1 according to 1 , In particular, in the exemplary embodiment according to 2 also the beam splitter means 13 . 14 . 15 at a Brewster angle to the incident light rays 19 or partial beams 19b . 19d aligned.

Der durch das erste Strahlteilermittel 13 hindurchgetretene Teilstrahl 19b tritt durch das zweite Polarisationsdrehmittel 17 und wird daran anschließend von dem zweiten Strahlteilermittel 14 in zwei Teilstrahlen 19c und 19d aufgespalten. Der durch das zweite Strahlteilermittel 14 hindurchgetretene Teilstrahl 19d tritt durch das dritte Polarisationsdrehmittel 18 und wird daran anschließend von dem dritten Strahlteilermittel 15 in zwei Teilstrahlen 19e, 19f aufgeteilt.That by the first beam splitter means 13 partial beam passed through 19b passes through the second polarization rotating means 17 and is then followed by the second beam splitter means 14 in two partial beams 19c and 19d split. That by the second beam splitter means 14 partial beam passed through 19d passes through the third polarization rotating means 18 and is then followed by the third beam splitter means 15 in two partial beams 19e . 19f divided up.

Es besteht wiederum die Möglichkeit, durch entsprechende Einstellung der Polarisationsdrehmittel 16, 17, 18 die Intensitätsverhältnisse der Teilstrahlen 19a, 19c, 19e, 19f zueinander beliebig zu wählen. Beispielsweise besteht insbesondere die Möglichkeit, die Intensitäten der Teilstrahlen 19a, 19c, 19e, 19f sämtlich gleich groß zu wählen.There is again the possibility of adjusting the polarization rotation means accordingly 16 . 17 . 18 the intensity ratios of the partial beams 19a . 19c . 19e . 19f to choose each other arbitrarily. For example, there is the possibility, in particular, of the intensities of the partial beams 19a . 19c . 19e . 19f to choose all the same size.

Erfindungsgemäß besteht natürlich die Möglichkeit, bei der Ausführungsform gemäß 2 in den einzelnen Teilstrahlen, beispielsweise in dem Teilstrahl 19f ein weiteres Polarisationsdrehmittel und ein weiteres Strahlteilermittel anzuordnen, so dass der Teilstrahl 19f wiederum in zwei Teilstrahlen aufgeteilt wird. Insbesondere besteht die Möglichkeit, beliebig viele Polarisationsdrehmittel und Strahlteilermittel hintereinander anzuordnen, so dass der Lichtstrahl 19 in beliebig viele Teilstrahlen aufgeteilt werden kann.According to the invention there is of course the possibility in the embodiment according to 2 in the individual partial beams, for example in the partial beam 19f to arrange a further polarization rotation means and a further beam splitter means so that the partial beam 19f is again divided into two partial beams. In particular, there is the possibility of arranging any number of polarization rotating means and beam splitting means one behind the other, so that the light beam 19 can be divided into any number of beams.

In 3 ist ein Ausführungsbeispiel abgebildet, das im Wesentlichen dem Ausführungsbeispiel gemäß 2 entspricht. Auch hier sind beispielhaft drei Strahlteilermittel 20, 21, 22 und drei Polarisationsdrehmittel 23, 24, 25 vorgesehen. In dem Ausführungsbeispiel in 3 soll ebenfalls ein kollimierter Laserstrahl 26 in einzelne Teilstrahlen 26c, 26d, 26e, 26f aufgeteilt werden. An dem ersten Strahlteilermittel 20 findet eine Aufteilung in einen reflektierten Teilstrahl 26a und in einen transmittierten Teilstrahl 26b statt. Im Unterschied zu dem Ausführungsbeispiel gemäß 2 sind jedoch bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 sowohl in dem Strahlengang des reflektierten Teilstrahls 26a als auch in dem Strahlengang des transmittierten Teilstrahls 26b jeweils ein Polarisationsdrehmittel 24, 25 und ein Strahlteilermittel 21, 22 vorgesehen. Auf diese Weise wird der reflektierte Teilstrahl 26a in zwei Teilstrahlen 26c, 26d aufgeteilt, wohingegen der transmittierte Teilstrahl 26b in zwei Teilstrahlen 26e und 26f aufgeteilt wird.In 3 An exemplary embodiment is depicted which essentially corresponds to the exemplary embodiment 2 equivalent. Three beam splitter means are also exemplary here 20 . 21 . 22 and three polarization rotators 23 . 24 . 25 intended. In the embodiment in 3 is also said to be a collimated laser beam 26 into individual partial beams 26c . 26d . 26e . 26f be divided. At the first beam splitter 20 finds a division into a reflected partial beam 26a and into a transmitted partial beam 26b instead of. In contrast to the exemplary embodiment according to 2 are however in accordance with the embodiment 3 both in the beam path of the reflected partial beam 26a as well as in the beam path of the transmitted partial beam 26b one polarization rotation means each 24 . 25 and a beam splitter 21 . 22 intended. In this way, the reflected partial beam 26a in two partial beams 26c . 26d divided, whereas the transmitted partial beam 26b in two partial beams 26e and 26f is divided.

Eine derartige Anordnung erweist sich insbesondere bei einem nicht polarisierten aufzuteilenden Lichtstrahl 26 als vorteilhaft. In diesem Fall sind die Intensitäten der von dem ersten Strahlteilermittel 20 aufgeteilten Teilstrahlen 26a, 26b gleich groß, weil das Licht einer ersten Linearpolarisation reflektiert wird und das Licht einer dazu senkrechten zweiten Linearpolarisation transmittiert wird, und weil gleichzeitig das unpolarisierte Licht von diesen beiden willkürlich herausgegriffenen Linearpolarisationen gleichgroße Anteile umfasst. Durch die entsprechende Einstellung des zweiten Polarisationsdrehmittels 24 und des dritten Polarisationsdrehmittels 25 lassen sich trotzdem noch die Intensitäten der Teilstrahlen 26c, 26d, 26e, 26f entsprechend zueinander einstellen.Such an arrangement proves particularly in the case of a non-polarized light beam to be split 26 as beneficial. In this case, the intensities are those of the first beam splitter means 20 split beams 26a . 26b the same size because the light from a first linear polarization is reflected and the light from a second linear polarization perpendicular to it is transmitted, and because at the same time the unpolarized light from these two arbitrarily picked linear polarizations comprises equally large portions. By the corresponding setting of the second polarization rotary means 24 and the third polarization rotating means 25 can still be the intensities of the partial beams 26c . 26d . 26e . 26f adjust accordingly to each other.

Es besteht erfindungsgemäß durchaus die Möglichkeit, zusätzlich zu den in 3 abgebildeten Strahlteilermitteln 20, 21, 22 beziehungsweise zusätzlich zu den in 3 abgebildeten Polarisationsdrehmitteln 23, 24, 25 zusätzliche Strahlteilermittel und Polarisationsdrehmittel in den einzelnen Teilstrahlen 26c, 26d, 26e, 26f anzuordnen, um diese unter Umständen weiter aufzuteilen. Weiterhin besteht natürlich auch die Möglichkeit, eine in 3 abgebildete Anordnung für aus einer Lichtleitfaser austretende zu kollimierende Lichtstrahlen entsprechend der Ausführungsform gemäß 1 zu verwenden.According to the invention, there is quite the possibility, in addition to the in 3 shown beam splitter means 20 . 21 . 22 or in addition to those in 3 shown polarization rotating means 23 . 24 . 25 additional beam splitter means and polarization rotating means in the individual partial beams 26c . 26d . 26e . 26f to order to divide them up under certain circumstances. Of course, there is also the option of adding a 3 Arrangement shown for light beams emerging from an optical fiber to be collimated according to the embodiment according to 1 to use.

In 4 ist eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufteilungsvorrichtung abgebildet, die beispielhaft zwei Strahlteilermittel 27, 28 und zwei Polarisationsdrehmittel 29, 30 umfasst. Diese teilen zusammen einen beispielsweise als kollimierten Laserstrahl ausgeführten Lichtstrahl 31 in Teilstrahlen 31a, 31c, 31d auf. Im Unterschied zu den Ausführungsformen gemäß 1 bis 3 sind bei der Ausführungsform gemäß 4 die Strahlteilermittel 27, 28 jedoch nicht unter einem Brewsterwinkel zu dem einfallenden Lichtstrahl 31 beziehungsweise 31b ausgerichtet, sondern unter einem Winkel von 45°. Dieser Winkel kann aufgrund der jeweils erfolgenden Reflektion der reflektierten Steilstrahlen 31a, 31c unter einem Winkel von 90° für verschiedene Anwendungen Vorteile bieten. Um Verluste der durch die Strahlteilermittel 27, 28 hindurchtretenden Teilstrahlen 31b, 31d bei dem Austritt zu verhindern, können bei einer derartigen Anordnung die in 4 auf der rechten Seite angeordneten Austrittsflächen der Strahlteilermittel 27, 28 entspiegelt sein, beispielsweise durch eine entsprechende reflexionsvermindernde Beschichtung.In 4 An embodiment of a splitting device according to the invention is shown, which exemplarily has two beam splitter means 27 . 28 and two polarization rotators 29 . 30 includes. These together share a light beam, for example a collimated laser beam 31 in partial beams 31a . 31c . 31d on. In contrast to the embodiments according to 1 to 3 are in accordance with the embodiment 4 the beam splitter means 27 . 28 but not at a Brewster angle to the incident light beam 31 respectively 31b aligned, but at an angle of 45 °. This angle can be due to the reflection of the reflected steep rays 31a . 31c offer advantages at an angle of 90 ° for various applications. To losses caused by the beam splitter means 27 . 28 partial beams passing through 31b . 31d prevent at the exit, with such an arrangement, the in 4 exit surfaces of the beam splitter means arranged on the right side 27 . 28 be anti-reflective, for example by a corresponding anti-reflective coating.

Es besteht erfindungsgemäß natürlich die Möglichkeit, auch bei den Ausführungsformen gemäß 1 bis 3 oder bei den im Zusammenhang mit 1 bis 3 beschriebenen Variationen die Strahlteilermittel 1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22 unter einem Winkel von 45° zu den einfallenden Lichtstrahlen beziehungsweise Teilstrahlen oder auch unter einem beliebigen anderen Winkel anzuordnen.According to the invention, there is of course the possibility, also in the embodiments according to 1 to 3 or at those related to 1 to 3 Variations described the beam splitter means 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 to be arranged at an angle of 45 ° to the incident light beams or partial beams or at any other angle.

Claims (16)

Aufteilungsvorrichtung für Lichtstrahlen umfassend mindestens ein Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28), das einen ersten Anteil eines aufzuteilenden Lichtstrahles (6, 19, 26, 31) reflektieren und einen zweiten Anteil des Lichtstrahls (6, 19, 26, 31) hindurchtreten lassen kann, derart, dass der Lichtstrahl (6, 19, 26, 31) in mindestens zwei Anteile aufgeteilt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufteilungsvorrichtung weiterhin mindestens ein Polarisationsdrehmittel (3, 4, 16, 17, 18, 23, 24, 25, 29, 30) umfasst, das die Polarisation des aufzuteilenden Lichtstrahls (6, 19, 26, 31) drehen kann, wobei das mindestens eine Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) als polarisationsselektives Strahlteilermittel ausgeführt ist.Splitting device for light beams comprising at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ), which is a first portion of a light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) reflect and a second portion of the light beam ( 6 . 19 . 26 . 31 ) can pass through such that the light beam ( 6 . 19 . 26 . 31 ) is divided into at least two parts, characterized in that the dividing device furthermore has at least one polarization rotating means ( 3 . 4 . 16 . 17 . 18 . 23 . 24 . 25 . 29 . 30 ) which comprises the polarization of the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) can rotate, the at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ) is designed as a polarization-selective beam splitter. Aufteilungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) derart ausgebildet ist, dass ein Anteil des aufzuteilenden Lichtstrahles (6, 19, 26, 31) mit einer ersten Linearpolarisation im Wesentlichen reflektiert wird, wohingegen ein Anteil des aufzuteilenden Lichtstrahles (6, 19, 26, 31) mit einer zu der ersten im Wesentlichen senkrechten zweiten Linearpolarisation im Wesentlichen transmittiert wird.Splitting device according to claim 1, characterized in that the at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ) is designed such that a portion of the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) is essentially reflected with a first linear polarization, whereas a portion of the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) is transmitted with a second linear polarization that is essentially perpendicular to the first. Aufteilungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) derart ausgebildet ist, dass mindestens zwei Anteile des aufzuteilenden Lichtstrahls (6, 19, 26, 31) unter einem Winkel zueinander oder gegeneinander versetzt transmittiert werden, vorzugsweise unter Verwendung eines doppelbrechenden Materials für das mindestens eine Strahlteilermittel (1 , 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28).Splitting device according to claim 1, characterized in that the at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ) is designed such that at least two parts of the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) are transmitted at an angle to one another or offset from one another, preferably using a birefringent material for the at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ). Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufteilungsvorrichtung, ein erster Strahlteilermittel (1, 13, 20, 27) und mindestens ein zweites Strahlteilermittel (2, 14, 15, 21, 22, 28) umfasst, die den aufzuteilenden Lichtstrahl (6, 19, 26, 31) in mindestens drei Anteile aufteilen können.Splitting device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the splitting device, a first beam splitter means ( 1 . 13 . 20 . 27 ) and at least a second beam splitter means ( 2 . 14 . 15 . 21 . 22 . 28 ) comprising the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) can be divided into at least three parts. Aufteilungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine zweite Strahlteilermittel (2, 14, 15, 21, 22, 28) hinsichtlich des Strahlengangs hinter dem ersten Strahlteilermittel (1, 13, 20, 27) angeordnet ist, so dass ein von diesem reflektierter Teilstrahl (6a, 19a, 26a, 31a) und/oder ein von diesem transmittierter Teilstrahl (6b, 19b, 26b, 31b) in mindestens zwei Anteile aufgeteilt werden kann.Splitting device according to claim 4, characterized in that the at least one second beam splitter means ( 2 . 14 . 15 . 21 . 22 . 28 ) with regard to the beam path behind the first beam splitter means ( 1 . 13 . 20 . 27 ) is arranged so that a partial beam reflected by it ( 6a . 19a . 26a . 31a ) and / or a partial beam transmitted by it ( 6b . 19b . 26b . 31b ) in at least two types parts can be divided. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufteilungsvorrichtung ein erstes Polarisationsdrehmittel (3, 16, 23, 29) für die Drehung der Polarisation des aufzuteilenden Lichtstrahls (6, 19, 26, 31) und mindestens ein zweites Polarisationsdrehmittel (4, 17, 18, 24, 25, 30) für die Drehung der Polarisation der bereits aufgeteilten Teilstrahlen (6a, 6b, 19b, 19d, 26a, 26b, 31b) umfasst.Splitting device according to one of claims 4 or 5, characterized in that the splitting device comprises a first polarization rotating means ( 3 . 16 . 23 . 29 ) for the rotation of the polarization of the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) and at least a second polarization rotating means ( 4 . 17 . 18 . 24 . 25 . 30 ) for the rotation of the polarization of the partial beams already split ( 6a . 6b . 19b . 19d . 26a . 26b . 31b ) includes. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufteilungsvorrichtung derart gestaltet ist, dass durch Einstellung des mindestens einen Polarisationsdrehmittels (3, 4, 16, 17, 18, 23, 24, 25, 29, 30) das Verhältnis der Intensitäten der aus der Aufteilungsvorrichtung austretenden Teilstrahlen (6a, 6c, 6d, 19a, 19c, 19e, 19f, 26c, 26d, 26e, 26f, 31a, 31c, 31d) vorgegeben werden kann.Distribution device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the distribution device is designed such that by adjusting the at least one polarization rotating means ( 3 . 4 . 16 . 17 . 18 . 23 . 24 . 25 . 29 . 30 ) the ratio of the intensities of the partial beams emerging from the splitting device ( 6a . 6c . 6d . 19a . 19c . 19e . 19f . 26c . 26d . 26e . 26f . 31a . 31c . 31d ) can be specified. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 2, 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Strahlteilermittel (1 , 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) als polarisationsselektiver teildurchlässiger Spiegel ausgebildet ist.Splitting device according to one of claims 1, 2, 4 to 7, characterized in that the at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ) is designed as a polarization-selective partially transparent mirror. Aufteilungsvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Normale der Eintrittsfläche des polarisationsselektiven teildurchlässigen Spiegels unter einem Winkel zu dem aufzuteilenden Lichtstrahl (6, 19, 26, 31) ausgerichtet ist, der im Wesentlichen dem Brewsterwinkel des Materials des teildurchlässigen Spiegels entspricht.Splitting device according to claim 8, characterized in that the normal of the entry surface of the polarization-selective partially transparent mirror at an angle to the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) is aligned, which essentially corresponds to the Brewster angle of the material of the partially transparent mirror. Aufteilungsvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Normale der Eintrittsfläche des polarisationsselektiven teildurchlässigen Spiegels unter einem Winkel von 45° zu dem aufzuteilenden Lichtstrahl (6, 19, 26, 31) ausgerichtet ist.Splitting device according to claim 8, characterized in that the normal of the entry surface of the polarization-selective partially transparent mirror at an angle of 45 ° to the light beam to be split ( 6 . 19 . 26 . 31 ) is aligned. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Austrittsfläche des teildurchlässigen Spiegels entspiegelt ist, insbesondere mit einer reflektionsvermindernden Beschichtung versehen ist.Splitting device according to one of claims 7 to 10, characterized in that the exit surface of the semitransparent mirror is anti-reflective, in particular with a reflection-reducing Coating is provided. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 , 2, 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Strahlteilermittel (1, 2, 13, 14, 15, 20, 21, 22, 27, 28) als Polarisationswürfel ausgebildet ist.Splitting device according to one of claims 1, 2, 4 to 7, characterized in that the at least one beam splitter means ( 1 . 2 . 13 . 14 . 15 . 20 . 21 . 22 . 27 . 28 ) is designed as a polarization cube. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Polarisationsdrehmittel (3, 4, 16, 17, 18, 23, 24, 25, 29, 30) als Halbwellenlängenplättchen ausgebildet ist.Splitting device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the at least one polarization rotating means ( 3 . 4 . 16 . 17 . 18 . 23 . 24 . 25 . 29 . 30 ) is designed as a half-wave plate. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Polarisationsdrehmittel (3, 4, 16, 17, 18, 23, 24, 25, 29, 30) als optisch aktives Material geeigneter Dicke ausgebildet ist.Splitting device according to one of claims 1 to 13, characterized in that the at least one polarization rotation means ( 3 . 4 . 16 . 17 . 18 . 23 . 24 . 25 . 29 . 30 ) is designed as an optically active material of suitable thickness. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel für die Einkopplung der Teilstrahlen (6a, 6c, 6d) in Leichtleitfasern (11, 12, 13) vorgesehen sind.Splitting device according to one of claims 1 to 14, characterized in that means for coupling the partial beams ( 6a . 6c . 6d ) in light fibers ( 11 . 12 . 13 ) are provided. Aufteilungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Strahlteilermittel und das mindestens eine Polarisationsdrehmittel in einem Bauteil realisiert sind.Splitting device according to one of claims 1 to 15, characterized in that the at least one beam splitter means and realizes the at least one polarization rotating means in one component are.
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