DE102017114622A1 - Method for producing a sliding surface - Google Patents

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DE102017114622A1 DE102017114622.9A DE102017114622A DE102017114622A1 DE 102017114622 A1 DE102017114622 A1 DE 102017114622A1 DE 102017114622 A DE102017114622 A DE 102017114622A DE 102017114622 A1 DE102017114622 A1 DE 102017114622A1
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Gleitfläche (1) an einem Maschinenelement (2), wobei die Gleitfläche (1) des Maschinenelements (2) für einen gleitenden Kontakt mit mindestens einem weiteren Maschinenelement vorgesehen ist, wobei zunächst zumindest teilweise eine Beschichtung (4) auf eine Oberfläche des Maschinenelements (2) aufgebracht wird, wobei danach zumindest teilweise eine Oberflächenstruktur (3) zur Reibungsreduzierung mittels einer mechanischen Oberflächenbehandlung auf der Beschichtung (4) ausgebildet wird, wobei die Oberflächenstruktur (3) eine Vielzahl von Vertiefungen (7) umfasst, die durch eine Entfernung von Mikropartikeln aus der Beschichtung (4) mittels der mechanischen Oberflächenbehandlung ausgebildet werden, und wobei die Oberflächenstruktur (3) der Beschichtung (4) mit einer Spitzenzahl RPc von höchstens 160 mm-1 ausgebildet wird. Ferner betrifft die Erfindung auch ein Maschinenelement (2) mit einer Gleitfläche (1), die nach dem vorgenannten Verfahren ausgebildet ist.

Figure DE102017114622A1_0000
The invention relates to a method for producing a sliding surface (1) on a machine element (2), wherein the sliding surface (1) of the machine element (2) is provided for sliding contact with at least one further machine element, at least partially a coating (4 ) is applied to a surface of the machine element (2), wherein thereafter at least partially a surface structure (3) for friction reduction by means of a mechanical surface treatment on the coating (4) is formed, wherein the surface structure (3) comprises a plurality of recesses (7) which are formed by removing microparticles from the coating (4) by means of the mechanical surface treatment, and wherein the surface structure (3) of the coating (4) is formed with a peak number RPc of at most 160 mm -1 . Furthermore, the invention also relates to a machine element (2) with a sliding surface (1), which is formed according to the aforementioned method.
Figure DE102017114622A1_0000

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Gleitfläche an einem Maschinenelement. Ferner betrifft die Erfindung auch ein Maschinenelement mit einer derart hergestellten Gleitfläche.The invention relates to a method for producing a sliding surface on a machine element. Furthermore, the invention also relates to a machine element with a sliding surface produced in this way.

Die DE 10 2011 076 410 A1 offenbart ein Maschinenelement mit einer Oberfläche, die einer Wälz- oder Gleitbelastung ausgesetzt ist. Die Oberfläche ist durch eine Beschichtung gebildet und weist eine isotrope Struktur auf. Ferner beschreibt das genannte Dokument ein Verfahren zur Bearbeitung einer Oberfläche eines Maschinenelements, die einer Wälz- oder Gleitbelastung ausgesetzt ist. Auf die Oberfläche wird eine Beschichtung im PVD-Verfahren aufgebracht und die Oberfläche wird durch ein geometrisch nicht definiertes spanabhebendes Verfahren derart bearbeitet, dass sie eine isotrope Struktur erhält.The DE 10 2011 076 410 A1 discloses a machine element having a surface which is subjected to a rolling or sliding load. The surface is formed by a coating and has an isotropic structure. Further, said document describes a method of machining a surface of a machine element which is subjected to a rolling or sliding load. A coating is applied to the surface in the PVD process and the surface is machined by a geometrically undefined machining process so as to obtain an isotropic structure.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Herstellung einer Gleitfläche an einem Maschinenelement sowie ein Maschinenelement hinsichtlich der Robustheit und der Dauerfestigkeit weiterzuentwickeln.The object of the present invention is to further develop a method for producing a sliding surface on a machine element as well as a machine element in terms of robustness and fatigue strength.

Diese Aufgabe wird ausgehend von den Ansprüchen 1 und 4 gelöst. Die hierauf bezogenen, abhängigen Ansprüche geben vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung wieder.This object is achieved on the basis of claims 1 and 4. The dependent claims related thereto give advantageous developments of the invention.

Im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Gleitfläche an einem Maschinenelement wird zunächst zumindest teilweise eine Beschichtung auf eine Oberfläche des Maschinenelements aufgebracht, wobei danach zumindest teilweise eine Oberflächenstruktur zur Steigerung der Robustheit und Dauerfestigkeit mittels einer mechanischen Oberflächenbehandlung auf der Beschichtung ausgebildet wird, wobei die Oberflächenstruktur eine Vielzahl von Vertiefungen umfasst, die durch eine Entfernung von Mikropartikeln aus der Beschichtung mittels der mechanischen Oberflächenbehandlung ausgebildet werden, und wobei die Oberflächenstruktur der Beschichtung mit einer Spitzenzahl RPc von höchstens 160 mm-1 ausgebildet wird. In the context of the method according to the invention for producing a sliding surface on a machine element, at least partially a coating is first applied to a surface of the machine element, after which at least partially a surface structure for increasing the robustness and fatigue strength is formed on the coating by means of a mechanical surface treatment, wherein the surface structure comprises a plurality of recesses formed by removing microparticles from the coating by the mechanical surface treatment, and wherein the surface structure of the coating is formed with a peak number RPc of at most 160 mm -1 .

Die Spitzenzahl wird mittels eines Tastschnittgeräts nach ISO 3274 bestimmt, wobei bei der Ermittlung der Spitzenzahl RPC die im Stahl-Eisen-Prüfblatt SEP 1940 angegebene Vorgehensweise zur Anwendung kommt. Unter der Spitzenzahl ist die Anzahl an Profilelementen pro Längeneinheit zu verstehen, die ein eingestelltes oberes Schnittniveau überschreiten und nachfolgend ein unteres Schnittniveau unterschreiten. Ein Profilelement ist dabei eine Profilerhebung auf der Oberfläche der Beschichtung mit einer benachbarten Vertiefung. Mit anderen Worten beträgt die Anzahl an Profilerhebungen, die das eingestellte obere Schnittniveau überschreiten und nachfolgend das eingestellte untere Schnittniveau unterschreiten, höchstens 160/mm. Durch das mechanische Entfernen der Mikropartikel, die in der Oberfläche der Beschichtung eingebunden sind und zumindest teilweise aus der Oberfläche herausstehen, kann durch das beschriebene Verfahren die Spitzenzahl reduziert werden. Die Oberflächenstruktur korreliert daher mit dem messbaren Wert der Spitzenzahl.The number of tips is determined by means of a stylus instrument in accordance with ISO 3274, whereby the procedure specified in the Steel Iron Test Sheet SEP 1940 is used to determine the peak number RPC. The number of tips should be understood to mean the number of profile elements per unit length that exceed a set upper cutting level and subsequently fall below a lower cutting level. A profile element is a profile elevation on the surface of the coating with an adjacent recess. In other words, the number of profile elevations exceeding the set upper cut level and below the set lower cut level, at the most, is 160 / mm. By the mechanical removal of the microparticles, which are integrated in the surface of the coating and at least partially protrude from the surface, the number of tips can be reduced by the described method. The surface structure therefore correlates with the measurable value of the peak number.

Mit anderen Worten findet unmittelbar nach der Beschichtung der Oberfläche des Maschinenelements die Erzeugung der Oberflächenstruktur mittels der mechanischen Oberflächenbehandlung durch die Entfernung von Mikropartikeln aus der Oberfläche der Beschichtung statt.In other words, immediately after the coating of the surface of the machine element, the generation of the surface structure by means of the mechanical surface treatment takes place by the removal of microparticles from the surface of the coating.

Vorzugsweise wird die Oberflächenstruktur mittels Bürsten auf der Beschichtung ausgebildet. Dabei werden die an der Oberfläche befindlichen Mikropartikel beziehungsweise Droplets, die zufällig verteilt an der Oberfläche der Beschichtung ausgebildet sind, während der mechanischen Oberflächenbehandlung aus der Oberfläche der Beschichtung herausgelöst, wobei die Mikropartikel jeweilige Vertiefungen in der Beschichtung hinterlassen. Durch diesen Prozess wird die Anzahl von Droplets auf der Oberfläche der Beschichtung reduziert und die Anzahl der somit hinterlassenen Vertiefungen erhöht. Während des Betriebes des Maschinenelements kann sich ein Schmiermittel in den Vertiefungen ansammeln und somit den Schmierfilmaufbau in der Gleitfläche zwischen den Kontaktpartnern optimieren. Mit anderen Worten dienen die Vertiefungen als Schmiermittelreservoir. Dadurch wird eine Mangelschmierung in der Gleitfläche verhindert, wodurch der Verschleiß der Beschichtung in der Gleitfläche reduziert wird. Ferner wird durch die geringe Anzahl an Droplets in der Oberfläche die Robustheit des Maschinenelements gesteigert und somit die Dauerfestigkeit der Beschichtung verbessert.Preferably, the surface structure is formed by brushing on the coating. In the process, the microparticles or droplets on the surface, which are formed randomly distributed on the surface of the coating, are dissolved out of the surface of the coating during the mechanical surface treatment, the microparticles leaving respective depressions in the coating. This process reduces the number of droplets on the surface of the coating and increases the number of wells left thus. During operation of the machine element, a lubricant may accumulate in the recesses and thus optimize the lubricating film structure in the sliding surface between the contact partners. In other words, the depressions serve as a lubricant reservoir. As a result, a lack of lubrication in the sliding surface is prevented, whereby the wear of the coating is reduced in the sliding surface. Furthermore, the small number of droplets in the surface increases the robustness of the machine element and thus improves the fatigue strength of the coating.

Vorzugsweise ist das Werkzeug zur mechanischen Oberflächenbehandlung der Beschichtung als partikelbesetztes Filament ausgebildet, welches ein gleichmäßiges Bürsten der beschichteten Oberfläche ermöglicht. Durch eine ausreichende Zufuhr von Kühlschmiermittel beim Bürsten wird sichergestellt, dass ein Abtrag von Material, insbesondere ein Abtrag von Droplets, ausschließlich mechanisch erfolgt und aufgrund der niedrigen Temperatur keine chemische Reaktion zwischen dem Werkzeug und dem Werkstück stattfindet.Preferably, the tool for mechanical surface treatment of the coating is formed as a particle-occupied filament, which allows a uniform brushing of the coated surface. A sufficient supply of cooling lubricant during brushing ensures that material removal, in particular removal of droplets, takes place exclusively mechanically and, due to the low temperature, no chemical reaction takes place between the tool and the workpiece.

Die Beschichtung des Maschinenelements kann ferner einer alternativen mechanischen Oberflächenbehandlung zur Bildung der Oberflächenstruktur unterzogen werden, bei der die Mikropartikel mechanisch, insbesondere spanabhebend, von der Oberfläche der Beschichtung abgetragen werden. Es ist ferner denkbar die Oberflächenbehandlung zur Bildung der Oberflächenstruktur optisch mittels eines Lasers durchzuführen.The coating of the machine element may also be subjected to an alternative mechanical surface treatment to form the surface structure in which the microparticles are mechanically, in particular machined, removed from the Surface of the coating to be removed. It is also conceivable to optically perform the surface treatment to form the surface structure by means of a laser.

Insbesondere ist das Maschinenelement als Tassenstößel ausgebildet. Das Maschinenelement ist dazu vorgesehen, vorzugsweise einen Gleit-Wälz-Kontakt zu dem weiteren Maschinenelement aufzuweisen. Ferner kann das Maschinenelement auch als hebelartiger Nockenfolger für ein Ventiltriebsystem einer Brennkraftmaschine oder als Komponente einer Pumpe ausgebildet sein.In particular, the machine element is designed as a bucket tappet. The machine element is intended to preferably have a sliding-rolling contact with the further machine element. Furthermore, the machine element can also be designed as a lever-like cam follower for a valve train system of an internal combustion engine or as a component of a pump.

Die Oberflächenstruktur ist vorzugsweise auf einer Tassenstößelstirnfläche ausgebildet. Dabei sind die erzeugten Vertiefungen zumindest teilweise zufällig verteilt auf der Beschichtung ausgebildet. Mit anderen Worten ist die Oberflächenstruktur eine stochastische Oberflächenstruktur beziehungsweise eine unregelmäßige Oberflächenstruktur, die gekennzeichnet ist durch eine unregelmäßige statistische Verteilung der Vertiefungen an der Oberfläche der Beschichtung, wobei die Vertiefungen untereinander wiederum in Abstand, Form und Größe variieren können. Ergänzend kann eine Oberflächenstruktur mit den Vertiefungen zumindest teilweise stochastisch verteilt auf der Tassenstößelmantelfläche ausgebildet sein.The surface structure is preferably formed on a bucket tappet end face. In this case, the recesses produced are formed at least partially randomly distributed on the coating. In other words, the surface structure is a stochastic surface structure or an irregular surface structure, which is characterized by an irregular statistical distribution of the depressions on the surface of the coating, wherein the depressions with each other in turn may vary in distance, shape and size. In addition, a surface structure with the recesses may be at least partially stochastically distributed on the bucket tappet jacket surface.

Unter dem Ausdruck „zumindest teilweise“ ist zu verstehen, dass die Beschichtung und die Oberflächenstruktur zumindest an einem Teil der Oberfläche des Maschinenelements ausgebildet sind. Ferner ist es aber auch denkbar, dass die Oberflächenstruktur und die Beschichtung an der gesamten Oberfläche des Maschinenelements ausgebildet sind.The term "at least partially" is to be understood that the coating and the surface structure are formed at least on a part of the surface of the machine element. Furthermore, it is also conceivable that the surface structure and the coating are formed on the entire surface of the machine element.

Vorzugsweise wird die Beschichtung durch ein PVD- oder PACVD- oder CVD-Verfahren zumindest teilweise auf die Oberfläche des Maschinenelements aufgebracht. Mit anderen Worten wird die Beschichtung nach einem Verfahren gemäß PVD (Physical Vapour Deposition) oder PACVD (Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition) oder CVD (Chemical Vapour Deposition) aufgebracht. Im PVD-Verfahren werden Partikel beispielsweise durch Sputtern aus einem Targetmaterial herausgelöst und in einem Plasma auf die Oberfläche des Maschinenelements transportiert. Bei dem CVD-Verfahren erfolgt die Schichtabscheidung an der erhitzten Oberfläche des Maschinenelements aufgrund einer chemischen Reaktion aus einer Gasphase. Ferner erfolgt beim PACVD-Verfahren die Schichtabscheidung beispielsweise über eine Plasmaanregung eines kohlenwasserstoffhaltigen Gases.Preferably, the coating is at least partially applied to the surface of the machine element by a PVD or PACVD or CVD process. In other words, the coating is applied by a method according to PVD (Physical Vapor Deposition) or PACVD (Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition) or CVD (Chemical Vapor Deposition). In the PVD process, for example, particles are removed by sputtering from a target material and transported in a plasma onto the surface of the machine element. In the CVD process, the film deposition occurs on the heated surface of the machine element due to a chemical reaction from a gaseous phase. Furthermore, in the PACVD process, the layer deposition takes place, for example, via a plasma excitation of a hydrocarbon-containing gas.

Bevorzugt ist die Beschichtung zumindest teilweise aus amorphen Kohlenstoff ausgebildet. Amorpher Kohlenstoff ist ferner unter der Bezeichnung DLC (Diamond Like Carbon) oder diamantähnlicher Kohlenstoff bekannt. Vorzugsweise ist die Beschichtung zumindest teilweise aus tetraedrischem wasserstofffreiem amorphem Kohlenstoff (ta-C) ausgebildet. DLC weist eine vergleichsweise hohe Härte, eine hohe chemische Resistenz und Abriebfestigkeit sowie einen niedrigen Reibkoeffizient auf. Bei den Mikropartikeln, oder Droplets, in der Beschichtung handelt es sich insbesondere um Kohlenstoffpartikel. Die Droplets können eine Größe von einigen 100nm bis zu einigen 10µm aufweisen. In Abhängigkeit der Größe können die Droplets sowohl aus Graphit bestehen. Die Droplets können aber auch zumindest teilweise in DLC umgewandelte Partikel sein.Preferably, the coating is at least partially formed of amorphous carbon. Amorphous carbon is also known by the name DLC (Diamond Like Carbon) or diamond-like carbon. Preferably, the coating is at least partially formed of tetrahedral hydrogen-free amorphous carbon (ta-C). DLC has a comparatively high hardness, a high chemical resistance and abrasion resistance as well as a low friction coefficient. The microparticles, or droplets, in the coating are in particular carbon particles. The droplets can range in size from a few 100nm to a few 10μm. Depending on the size, the droplets may consist of both graphite. However, the droplets may also be at least partially DLC-converted particles.

Unter einer Beschichtung ist ein Schichtsystem mit mindestens einer Schicht zu verstehen. Insbesondere können auch mehrere Schichten zumindest teilweise übereinander und/oder nebeneinander ausgebildet sein.A coating is to be understood as a layer system having at least one layer. In particular, several layers can also be formed at least partially one above the other and / or next to one another.

Weitere die Erfindung verbessernde Maßnahmen werden nachstehend gemeinsam mit der Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der drei Figuren näher dargestellt. Es zeigen

  • 1 eine schematische Perspektivdarstellung eines erfindungsgemäßen Maschinenelements,
  • 2 eine schematische Teilschnittdarstellung zur Veranschaulichung des Aufbaus einer Gleitfläche des erfindungsgemäßen Maschinenelements gemäß 1 vor einer mechanischen Oberflächenbehandlung, und
  • 3 eine schematische Teilschnittdarstellung zur Veranschaulichung des Aufbaus der Gleitfläche des erfindungsgemäßen Maschinenelements gemäß 1 nach der mechanischen Oberflächenbehandlung.
Further measures improving the invention will be described in more detail below together with the description of a preferred embodiment of the invention with reference to the three figures. Show it
  • 1 a schematic perspective view of a machine element according to the invention,
  • 2 a schematic partial sectional view for illustrating the structure of a sliding surface of the machine element according to the invention according to 1 before a mechanical surface treatment, and
  • 3 a schematic partial sectional view for illustrating the structure of the sliding surface of the machine element according to the invention according to 1 after the mechanical surface treatment.

Gemäß 1 weist ein erfindungsgemäßes - hier nur teilweise dargestelltes - Maschinenelement 2 eine Gleitfläche 1 auf, die für einen gleitenden Kontakt mit mindestens einem weiteren - hier nicht dargestellten - Maschinenelement vorgesehen ist. Das Maschinenelement 2 ist vorliegend als Tassenstößel ausgebildet. Eine Tassenstößelstirnfläche 6 weist zur Steigerung der Robustheit und Dauerfestigkeit eine Beschichtung 4 aus amorphem Kohlenstoff sowie eine in 3 gezeigte Oberflächenstruktur 3 an der Beschichtung 4 auf. Ergänzend kann ferner eine Tassenstößelmantelfläche 5 zur Steigerung der Robustheit und Dauerfestigkeit die Beschichtung 4 aus amorphem Kohlenstoff sowie die Oberflächenstruktur 3 an der Beschichtung 4 aufweisen.According to 1 has an inventive - only partially shown - machine element 2 a sliding surface 1 on, which is provided for a sliding contact with at least one further - not shown here - machine element. The machine element 2 is presently designed as a bucket tappet. A bucket tappet face 6 has a coating to increase the robustness and fatigue strength 4 made of amorphous carbon and an in 3 surface structure shown 3 on the coating 4 on. In addition, a bucket tappet jacket surface can also be added 5 To increase the robustness and fatigue resistance of the coating 4 made of amorphous carbon as well as the surface structure 3 on the coating 4 exhibit.

In 2 ist der Aufbau der Gleitfläche 1 des Maschinenelements 2 vor einer mechanischen Oberflächenbehandlung dargestellt. Zur Herstellung der Gleitfläche 1 wird zunächst die Beschichtung 4 auf eine Oberfläche des Maschinenelements 2 aufgebracht, wobei die Beschichtung 4 durch ein CVD-Verfahren auf die Oberfläche des Maschinenelements 2 aufgebracht wird. Die Beschichtung 4 ist aus tetraedrischem wasserstofffreiem amorphem Kohlenstoff ausgebildet. Die Beschichtung 4 weist dabei eine Vielzahl von zufällig verteilten, in der Beschichtung 4 eingebundenen Mikropartikel 8 auf, die während der Beschichtung des Maschinenelements 2 ausgeschieden sind. Die Mikropartikel 8 können sowohl innerhalb der Beschichtung 4 oder aber an der Oberfläche der Beschichtung 4 ausgeschieden und eingebunden sein, wobei die Mikropartikel an der Oberfläche der Beschichtung 4 ferner aus der Oberfläche zumindest teilweise herausragen können.In 2 is the structure of the sliding surface 1 of the machine element 2 presented before a mechanical surface treatment. For the production of the sliding surface 1 First, the coating 4 on a surface of the machine element 2 applied, the coating 4 by a CVD method on the surface of the machine element 2 is applied. The coating 4 is made of tetrahedral hydrogen-free amorphous carbon. The coating 4 has a variety of randomly distributed, in the coating 4 integrated microparticles 8th on, during the coating of the machine element 2 have left. The microparticles 8th can both within the coating 4 or on the surface of the coating 4 be excreted and bound, with the microparticles on the surface of the coating 4 Furthermore, at least partially protrude from the surface.

Nach 3 wird in einem nachfolgenden Schritt die Beschichtung 4 zur Steigerung der Robustheit und Dauerfestigkeit mechanisch oberflächenbehandelt, wobei die Oberflächenstruktur 3 vorliegend mittels Bürsten erzeugt wird. Dabei werden die Mikropartikel 8 von der Oberfläche der Beschichtung 4 abgetragen und hinterlassen eine Vielzahl von Vertiefungen 7. Die Oberflächenstruktur 3 der Beschichtung 4 weist nach der mechanischen Oberflächenbehandlung eine Spitzenzahl RPc von höchstens 160 mm-1 auf. Die Vertiefungen 7 dienen während des Betriebes als Schmiermittelreservoir, wodurch ein Schmiermittelaufbau in der Gleitfläche 1 optimiert wird. Ferner wird durch die Entfernung der Mikropartikel 8 aus der Oberfläche der Beschichtung 8 die Robustheit und die Dauerfestigkeit der Beschichtung 4 verbessert. Ferner wird der Schichtverschleiß in der Gleitfläche 1 minimiert.To 3 becomes the coating in a subsequent step 4 To increase the robustness and fatigue resistance mechanically surface-treated, the surface structure 3 in the present case is produced by brushes. This will be the microparticles 8th from the surface of the coating 4 worn away and leave a variety of depressions 7 , The surface structure 3 the coating 4 has a peak number RPc of at most after the mechanical surface treatment 160 mm -1 . The wells 7 serve during operation as a lubricant reservoir, whereby a lubricant structure in the sliding surface 1 is optimized. Further, by the removal of the microparticles 8th from the surface of the coating 8th the robustness and fatigue resistance of the coating 4 improved. Furthermore, the layer wear in the sliding surface 1 minimized.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Gleitflächesliding surface
22
Maschinenelementmachine element
33
Oberflächenstruktursurface structure
44
Beschichtungcoating
55
TassenstößelmantelflächeTappets lateral surface
66
TassenstößelstirnflächeTappets face
77
Vertiefungdeepening
88th
Mikropartikelmicroparticles

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 102011076410 A1 [0002]DE 102011076410 A1 [0002]

Claims (7)

Verfahren zur Herstellung einer Gleitfläche (1) an einem Maschinenelement (2), wobei die Gleitfläche (1) des Maschinenelements (2) für einen gleitenden Kontakt mit mindestens einem weiteren Maschinenelement vorgesehen ist, wobei zunächst zumindest teilweise eine Beschichtung (4) auf eine Oberfläche des Maschinenelements (2) aufgebracht wird, wobei danach zumindest teilweise eine Oberflächenstruktur (3) zur Steigerung der Robustheit und Dauerfestigkeit mittels einer mechanischen Oberflächenbehandlung auf der Beschichtung (4) ausgebildet wird, wobei die Oberflächenstruktur (3) eine Vielzahl von Vertiefungen (7) umfasst, die durch eine Entfernung von Mikropartikeln (8) aus der Beschichtung (4) mittels der mechanischen Oberflächenbehandlung ausgebildet werden, und wobei die Oberflächenstruktur (3) der Beschichtung (4) mit einer Spitzenzahl RPc von höchstens 160 mm-1 ausgebildet wird.A method for producing a sliding surface (1) on a machine element (2), wherein the sliding surface (1) of the machine element (2) is provided for sliding contact with at least one further machine element, wherein first at least partially a coating (4) on a surface of the machine element (2) is applied, after which at least partially a surface structure (3) for increasing the robustness and fatigue strength by means of a mechanical surface treatment on the coating (4) is formed, wherein the surface structure (3) comprises a plurality of recesses (7) which are formed by removing microparticles (8) from the coating (4) by means of the mechanical surface treatment, and wherein the surface structure (3) of the coating (4) is formed with a peak number RPc of at most 160 mm -1 . Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (4) durch ein PVD- oder PACVD- oder CVD-Verfahren zumindest teilweise auf die Oberfläche des Maschinenelements (2) aufgebracht wird.Method according to Claim 2 , characterized in that the coating (4) by a PVD or PACVD or CVD method is at least partially applied to the surface of the machine element (2). Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenstruktur (3) mittels Bürsten auf der Beschichtung (4) ausgebildet wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the surface structure (3) by means of brushes on the coating (4) is formed. Maschinenelement (2), umfassend eine Gleitfläche (1), die für einen gleitenden Kontakt mit mindestens einem weiteren Maschinenelement vorgesehen ist, wobei die Gleitfläche (1) zumindest teilweise eine Beschichtung (4) und zumindest teilweise eine Oberflächenstruktur (3) auf der Beschichtung (4) aufweist, wobei die Oberflächenstruktur (3) eine Vielzahl von Vertiefungen (7) umfasst, die durch ein Entfernen von Mikropartikeln aus der Beschichtung (4) mittels einer mechanischen Oberflächenbehandlung ausgebildet sind, und wobei die Oberflächenstruktur (3) der Beschichtung (4) eine Spitzenzahl RPc von höchstens 160 mm-1 aufweist.Machine element (2) comprising a sliding surface (1) which is provided for sliding contact with at least one further machine element, wherein the sliding surface (1) at least partially a coating (4) and at least partially a surface structure (3) on the coating ( 4), wherein the surface structure (3) comprises a plurality of depressions (7) which are formed by removing microparticles from the coating (4) by means of a mechanical surface treatment, and wherein the surface structure (3) of the coating (4) has a peak number RPc of at most 160 mm -1 . Maschinenelement (2) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (4) zumindest teilweise aus amorphem Kohlenstoff ausgebildet ist.Machine element (2) after Claim 4 , characterized in that the coating (4) is formed at least partially of amorphous carbon. Maschinenelement (2) nach einem der Ansprüche 4 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (4) zumindest teilweise aus tetraedrischem wasserstofffreiem amorphem Kohlenstoff ausgebildet ist.Machine element (2) according to one of Claims 4 to 5 , characterized in that the coating (4) is at least partially formed of tetrahedral hydrogen-free amorphous carbon. Maschinenelement (2) nach Anspruch 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Maschinenelement (2) als Tassenstößel ausgebildet ist.Machine element (2) after Claim 4 to 6 , characterized in that the machine element (2) is designed as a bucket tappet.
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