DE102014213218A1 - Sensor with sacrificial anode - Google Patents

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DE102014213218A1
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Pending
Application number
DE102014213218.5A
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German (de)
Inventor
Jakob Schillinger
Dietmar Huber
Stefan Günthner
Thomas Fischer
Lothar Biebricher
Michael Schulmeister
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Continental Automotive Technologies GmbH
Original Assignee
Continental Teves AG and Co OHG
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Priority to PCT/EP2015/064415 priority patent/WO2016005201A1/en
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor (14) zum Erfassen eines von einer zu messenden physikalischen Größe (16) abhängigen physikalischen Geberfeldes (32, 38), umfassend: – einen Leadframe (48) mit einer Bestückinsel (58), einer Schnittstelle (54) und wenigstens einer von der Schnittstelle (54) zur Bestückinsel (58) führenden Leiterbahn (62), – eine auf der Bestückinsel (58) des Leadframes (48) getragene Sensorschaltung (46) zum Erfassen des Geberfeldes (32, 38) und zum Ausgeben eines vom Geberfeld (32, 38) abhängigen Sensorsignals (26, 28) über die Schnittstelle (54), und – einen Bonddraht (50) zum Kontaktieren der Sensorschaltung (46) mit der Leiterbahn (62) des Leadframes (48), – eine elektrisch an die Leiterbahn (62) des Leadframes (48) angebundene Kontaktierschicht (56) zum elektrischen Anbinden des Bonddrahtes (50) an den Leadframe (48), und – eine auf der Leiterbahn (62) des Leadframes (48) getragene Zwischenschicht (64), auf der von der Leiterbahn (62) des Leadframes (48) gesehen die Kontaktierschicht (56) getragen ist, wobei die Zwischenschicht (64) eine Elektronegativität aufweist, die größer ist, als eine Elektronegativität der Kontaktierschicht (56) und des Leadframes (48).The invention relates to a sensor (14) for detecting a physical encoder field (32, 38) dependent on a physical variable (16) to be measured, comprising: - a leadframe (48) with a placement island (58), an interface (54) and at least one of the interface (54) to the Bestückinsel (58) leading conductor track (62), - on the Bestückinsel (58) of the lead frame (48) carried sensor circuit (46) for detecting the encoder field (32, 38) and for outputting a from the encoder field (32, 38) dependent sensor signal (26, 28) via the interface (54), and - a bonding wire (50) for contacting the sensor circuit (46) with the conductor track (62) of the leadframe (48), - an electrical contacting layer (56) connected to the conductor track (62) of the leadframe (48) for electrically connecting the bonding wire (50) to the leadframe (48), and - an intermediate layer (64) carried on the conductor track (62) of the leadframe (48) , on which of the conductor track (62) of the leadf 48), wherein the intermediate layer (64) has an electronegativity which is greater than an electronegativity of the contacting layer (56) and of the leadframe (48).

Description

Die Erfindung betrifft einen Sensor zum Erfassen eines von einer zu messenden physikalischen Größe abhängigen physikalischen Geberfeldes.The invention relates to a sensor for detecting a dependent of a physical quantity to be measured physical encoder field.

Aus der WO 2010 / 037 810 A1 ist ein Sensor mit einer Sensorschaltung bekannt, die eingerichtet ist, über ein von einer zu messenden physikalischen Größe abhängiges physikalisches Geberfeld ein von der zu messenden physikalischen Größe abhängiges Sensorsignal auszugeben.From the WO 2010/037 810 A1 a sensor with a sensor circuit is known, which is set up to output a dependent of a physical quantity to be measured physical encoder field dependent on the physical quantity to be measured sensor signal.

Es ist Aufgabe der Erfindung, derartige Sensoren zu verbessern.It is an object of the invention to improve such sensors.

Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.The object is solved by the features of the independent claims. Preferred developments are the subject of the dependent claims.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung umfasst ein Sensor zum Erfassen eines von einer zu messenden physikalischen Größe abhängigen physikalischen Geberfeldes einen Leadframe mit einer Bestückinsel, einer Schnittstelle und wenigstens einer von der Schnittstelle zur Bestückinsel führenden Leiterbahn, eine auf der Bestückinsel des Leadframes getragene Sensorschaltung zum Erfassen des Geberfeldes und zum Ausgeben eines vom Geberfeld abhängigen Sensorsignals über die Schnittstelle, und einen Bonddraht zum Kontaktieren der Sensorschaltung mit der Leiterbahn des Leadframes, eine elektrisch an die Leiterbahn des Leadframes angebundene Kontaktierschicht zum elektrischen Anbinden des Bonddrahtes an den Leadframe und eine auf der Leiterbahn des Leadframes getragene Zwischenschicht, auf der von der Leiterbahn des Leadframes gesehen die Kontaktierschicht getragen ist, wobei die Zwischenschicht eine Elektronegativität aufweist, die größer ist, als eine Elektronegativität der Kontaktierschicht und des Leadframes.According to one aspect of the invention, a sensor for detecting a physical encoder field dependent on a physical variable to be measured comprises a leadframe with a placement island, an interface and at least one conductor track leading from the interface to the placement island, a sensor circuit carried on the placement island of the leadframe for detecting the Encoder field and for outputting a sensor field dependent on the sensor signal via the interface, and a bonding wire for contacting the sensor circuit with the conductor track of the leadframe, an electrically connected to the conductor track of the leadframe contacting layer for electrically connecting the bonding wire to the leadframe and one on the conductor track of the leadframe supported intermediate layer, on the seen from the conductor track of the lead frame, the contacting layer is supported, wherein the intermediate layer has an electronegativity, which is greater than an electronegativity of Kontaktierschi and the leadframe.

Dem angegebenen Sensor liegt die Überlegung zugrunde, dass die Kontaktierschicht beim elektrischen Anschließen der Sensorschaltung an die Leiterbahn des Leadframes über einen Bonddraht als Verbindungselement notwendig ist, eine ausreichend hohe mechanische Festigkeit des Bonddrahtes auf dem Leadframe sicherzustellen, damit dieser sich im Nachhinein nicht wieder vom Leadframe löst und die elektrische Verbindung zwischen Sensorschaltung und Leiterbahn unterbrochen wird.The specified sensor is based on the consideration that the contacting layer is necessary when electrically connecting the sensor circuit to the conductor track of the leadframe via a bonding wire as a connecting element to ensure a sufficiently high mechanical strength of the bonding wire on the leadframe, so that it does not come back from the leadframe in hindsight solves and the electrical connection between the sensor circuit and conductor is interrupted.

Der Leadframe sollte dabei resistent gegen bestimmte zu erwartende Umweltbelastungen, wie kontaminierte Flüssigkeiten oder Gase ausgelegt sein. So könnte es in einem Fahrzeug beispielsweise notwendig sein, den Leadframe beständig gegenüber mit Schwefel kontaminierten Flüssigkeiten oder Gasen auszulegen. Dies hat jedoch den Nachteil, dass der Leadframe in seiner Elektronegativität nicht vollständig unabhängig gegenüber der Kontaktierschicht ausgebildet werden kann. Deshalb könnte die Kontaktierschicht bei in den Sensor eindringender mit Schwefel kontaminierter Feuchtigkeit durch Umwandlung in Sulfide oder anderer Schwefelverbindungen zerstört werden, was dann einen Ausfall des Sensors nach sich ziehen würde, weil der mechanische und folglich auch der elektrische Kontakt zwischen Bonddraht und Leiterbahn des Leadframes unterbricht.The leadframe should be resistant to certain expected environmental impacts such as contaminated liquids or gases. For example, in a vehicle, it may be necessary to have the leadframe resistant to sulfur contaminated liquids or gases. However, this has the disadvantage that the leadframe in its electronegativity can not be formed completely independently of the contacting layer. Therefore, if contact with sulfur-contaminated moisture penetrates into the sensor, the contacting layer could be destroyed by conversion to sulfides or other sulfur compounds, which would then result in failure of the sensor because the mechanical and thus electrical contact between the bonding wire and leadframe of the leadframe interrupts ,

Hier greift der angegebene Sensor mit der Überlegung an, die Kontaktierschicht über eine Opferanodenschicht in Form der Zwischenschicht vom Leadframe zu entkoppeln. Mit dieser Opferanodenschicht sind die chemischen Eigenschaften der Kontaktierschicht unabhängig vom Material des Leadframes. Die Opferanodenschicht weist in dem Verbund die größte Elektronegativität auf und wird somit von der eindringenden Feuchtigkeit als erstes angegriffen. Die Kontaktierschicht bleibt dann länger erhalten, wodurch die Lebensdauer des Sensors spürbar gesteigert werden kann.Here, the specified sensor attacks with the consideration of decoupling the contacting layer via a sacrificial anode layer in the form of the intermediate layer from the leadframe. With this sacrificial anode layer, the chemical properties of the contacting layer are independent of the material of the leadframe. The sacrificial anodic layer has the greatest electronegativity in the composite and is thus the first to be attacked by the penetrating moisture. The contacting layer then remains longer, whereby the life of the sensor can be noticeably increased.

Die Elektronegativität der Kontaktierschicht kann dann völlig frei gewählt werden, also auch kleiner als die Elektronegativität des Leadframes.The electronegativity of the contacting layer can then be chosen completely freely, ie also smaller than the electronegativity of the leadframe.

In einer besonderen Weiterbildung umfasst der angegebene Sensor eine wenigstens die Zwischenschicht und die Kontaktierschicht auf der Leiterbahn einhüllende Schmutzmasse. Diese Schutzmasse soll den Sensor vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise der oben genannten Feuchtigkeit schützen. Mechanische Überbeanspruchungen, die beispielweise durch Temperaturwechsel und/oder Zugbeanspruchungen auf die Leiterbahn des Leadframes bedingt sein können, können zu einem Aufbrechen der Verbindung zwischen Schutzmasse und Leadframe führen, so dass sich zwischen dem Leadframe und der Schutzmasse ein Spalt ausbildet, der das Kontaktierpin für die zuvor erwähnte Flüssigkeit nach außen hin exponiert. Die als Opferanode wirkende Zwischenschicht schützt dabei jedoch die Kontaktierschicht und stellt eine ausreichend lange Lebensdauer dieser sicher.In a particular embodiment, the specified sensor comprises a dirt mass enveloping at least the intermediate layer and the contacting layer on the conductor track. This protective compound is to protect the sensor from environmental influences, such as the above-mentioned moisture. Mechanical overloading, which may be caused by temperature changes and / or tensile stresses on the conductor track of the lead frame, for example, can lead to a break in the connection between the protective ground and leadframe, so that forms a gap between the leadframe and the protective ground, the Kontaktierpin for previously mentioned liquid exposed to the outside. The intermediate layer acting as a sacrificial anode, however, protects the contacting layer and ensures a sufficiently long service life thereof.

Die als Opferanode wirkende Zwischenschicht sollte dabei zumindest in dem Bereich eine möglichst große Oberfläche aufweisen werden, in dem die eindringende am Wahrscheinlichsten auftritt. Aus diesem Grund kragt die Zwischenschicht in einer besonderen Weiterbildung des angegebenen Sensors wenigstens teilweise vor die Kontaktierschicht, um diese möglichst große Oberfläche sicherzustellen.The intermediate layer acting as a sacrificial anode should at least in this area have as large a surface as possible, in which the penetrating most likely occurs. For this reason, in a particular development of the specified sensor, the intermediate layer at least partially protrudes in front of the contacting layer in order to ensure the largest possible surface area.

In einer bevorzugten Weiterbildung kann die Zwischenschicht in einer Schnittebene zwischen der Zwischenschicht und der Kontaktierschicht gesehen flächig alternativ oder zusätzlich wenigstens genauso groß ausgebildet sein, wie die Kontaktierschicht. Damit ist sichergestellt, dass zunächst auch tatsächlich die Zwischenschicht von der eindringenden Feuchtigkeit angegriffen, bevor die eindringende Feuchtigkeit die Kontaktierschicht angreift. In a preferred development, the intermediate layer seen in a sectional plane between the intermediate layer and the contacting layer may alternatively or additionally be formed at least as large as the contacting layer. This ensures that initially the intermediate layer is actually attacked by the penetrating moisture before the penetrating moisture attacks the contacting layer.

In einer besonders bevorzugten Weiterbildung sollte die Zwischenschicht in einer Schnittebene zwischen der Zwischenschicht und der Kontaktierschicht gesehen aber flächig größer ausgebildet sein, als die Kontaktierschicht, weil eine entsprechend große Opferschichtfläche eine erhöhte Reaktionsfläche und damit einen verbesserten Schutz der Kontaktierschicht bietet.In a particularly preferred development, the intermediate layer should be seen in a sectional plane between the intermediate layer and the Kontaktierschicht but formed larger surface than the Kontaktierschicht, because a correspondingly large sacrificial layer surface provides an increased reaction surface and thus improved protection of Kontaktierschicht.

In einer anderen Weiterbildung des angegebenen Sensors ist die Zwischenschicht normal zu einer Schnittebene zwischen der Zwischenschicht und der Kontaktierschicht gesehen dünner ausgebildet, als die Kontaktierschicht, wodurch der angegebene Sensor sehr bauraumsparend ausgeführt wird.In another embodiment of the specified sensor, the intermediate layer is formed thinner seen normal to a sectional plane between the intermediate layer and the Kontaktierschicht, as the Kontaktierschicht, whereby the specified sensor is designed to save space.

Als Material kann für Kontaktierschicht Silber, für den Leadframe eine Kupferlegierung oder eine Eisen-Nickel-Legierung und für die Zwischenschicht Kupfer gewählt werden.The material used may be silver for the contact layer, a copper alloy or an iron-nickel alloy for the leadframe, and copper for the intermediate layer.

Der angegebene Sensor kann ein Airbag-Beschleunigungssensor, ein Raddrehzahlsensor oder ein Inertialsensor für ein Fahrzeug sein.The indicated sensor may be an airbag acceleration sensor, a wheel speed sensor or an inertial sensor for a vehicle.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst ein Fahrzeug einen angegebenen Sensor.In accordance with another aspect of the invention, a vehicle includes a specified sensor.

Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden, wobei:The above-described characteristics, features and advantages of this invention, as well as the manner in which they are achieved, will become clearer and more clearly understood in connection with the following description of the embodiments, which will be described in connection with the drawings, wherein:

1 eine schematische Ansicht eines Fahrzeuges mit einer Fahrdynamikregelung, 1 a schematic view of a vehicle with a vehicle dynamics control,

2 einen schematische Darstellung eines Inertialsensors in dem Fahrzeug der 1, 2 a schematic representation of an inertial sensor in the vehicle of 1 .

3 eine Ausführung des Inertialsensors der 2 in einer schematischen Schnittdarstellung, 3 an embodiment of the inertial sensor of 2 in a schematic sectional view,

4 der Inertialsensor der 3 auf einer Leiterplatte in einer schematischen Seitenansicht, und 4 the inertial sensor of the 3 on a circuit board in a schematic side view, and

5 einen Ausschnitt aus dem Inertialsensor der 4 zeigen. 5 a section of the inertial sensor of 4 demonstrate.

In den Figuren werden gleiche technische Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen und nur einmal beschrieben.In the figures, the same technical elements are provided with the same reference numerals and described only once.

Es wird auf 1 Bezug genommen, die eine schematische Ansicht eines Fahrzeuges 2 mit einer an sich bekannten Fahrdynamikregelung zeigt. Details zu dieser Fahrdynamikregelung können beispielsweise der DE 10 2011 080 789 A1 entnommen werden.It will open 1 Reference is made to a schematic view of a vehicle 2 with a known vehicle dynamics control shows. Details of this driving dynamics control, for example, the DE 10 2011 080 789 A1 be removed.

Das Fahrzeug 2 umfasst ein Chassis 4 und vier Räder 6. Jedes Rad 6 kann über eine ortsfest am Chassis 4 befestigte Bremse 8 gegenüber dem Chassis 4 verlangsamt werden, um eine Bewegung des Fahrzeuges 2 auf einer nicht weiter dargestellten Straße zu verlangsamen.The vehicle 2 includes a chassis 4 and four wheels 6 , Every bike 6 Can be fixed on the chassis 4 fixed brake 8th opposite the chassis 4 slowed down to a movement of the vehicle 2 to slow down on a road, not shown.

Dabei kann es in einer dem Fachmann bekannten Weise passieren, dass das die Räder 6 des Fahrzeugs 2 ihre Bodenhaftung verlieren und sich das Fahrzeug 2 sogar von einer beispielsweise über ein nicht weiter gezeigtes Lenkrad vorgegebenen Trajektorie durch Untersteuern oder Übersteuern wegbewegt. Dies wird durch an sich bekannte Regelkreise wie ABS (Antiblockiersystem) und ESP (elektronisches Stabilitätsprogramm) vermieden.It may happen in a manner known to those skilled in the art that the wheels 6 of the vehicle 2 lose their grip and get the vehicle 2 even moved away from a given example by a steering wheel not shown steering trajectory by understeer or oversteer. This is avoided by known control circuits such as ABS (antilock braking system) and ESP (electronic stability program).

In der vorliegenden Ausführung weist das Fahrzeug 2 dafür Drehzahlsensoren 10 an den Rädern 6 auf, die eine Drehzahl 12 der Räder 6 erfassen. Ferner weist das Fahrzeug 2 einen Inertialsensor 14 auf, der nachstehend Fahrdynamidaten 16 genannte Inertialdaten des Fahrzeuges 2 erfasst die beispielsweise eine Nickrate, eine Wankrate, eine Gierrate, eine Querbeschleunigung, eine Längsbeschleunigung und/oder eine Vertikalbeschleunigung des Fahrzeuges 2 umfassen können.In the present embodiment, the vehicle 2 for speed sensors 10 at the wheels 6 on that one speed 12 the wheels 6 to capture. Further, the vehicle points 2 an inertial sensor 14 on, the below driving dynamics data 16 called inertial data of the vehicle 2 detects, for example, a pitch rate, a roll rate, a yaw rate, a lateral acceleration, a longitudinal acceleration and / or a vertical acceleration of the vehicle 2 may include.

Basierend auf den erfassten Drehzahlen 12 und Fahrdynamikdaten 16 kann ein Regler 18 in einer dem Fachmann bekannten Weise bestimmen, ob das Fahrzeug 2 auf der Fahrbahn rutscht oder sogar von der oben genannten vorgegebenen Trajektorie abweicht und entsprechen mit einem an sich bekannten Reglerausgangssignal 20 darauf reagieren. Das Reglerausgangssignal 20 kann dann von einer Stelleinrichtung 22 verwendet werden, um mittels Stellsignalen 24 Stellglieder, wie die Bremsen 8 anzusteuern, die auf das Rutschen und die Abweichung von der vorgegebenen Trajektorie in an sich bekannter Weise reagieren.Based on the recorded speeds 12 and vehicle dynamics data 16 can be a regulator 18 in a manner known to those skilled determine whether the vehicle 2 slips on the road or even deviates from the above-mentioned predetermined trajectory and correspond with a known controller output signal 20 to react to that. The regulator output signal 20 can then be from a control device 22 to be used by means of actuating signals 24 Actuators, like the brakes 8th to drive, which respond to the slippage and the deviation from the given trajectory in a conventional manner.

Der Regler 18 kann beispielsweise in eine an sich bekannte Motorsteuerung des Fahrzeuges 2 integriert sein. Auch können der Regler 18 und die Stelleinrichtung 22 als eine gemeinsame Regeleinrichtung ausgebildet und optional in die zuvor genannte Motorsteuerung integriert sein.The regulator 18 For example, in a known motor control of the vehicle 2 be integrated. Also, the controller can 18 and the actuator 22 as a common Control device formed and optionally be integrated into the aforementioned engine control.

Um die nachstehenden Erklärungen zu vereinfachen soll in nicht einschränkender davon ausgegangen werden, dass der Inertialsensor 14 als Fahrdynamikdaten 16 die in 2 angedeutete Querbeschleunigung 26 auf das Fahrzeug sowie die Gierrate 28 erfasst, mit der sich das Fahrzeuges 2 um seine Hochachse dreht, weil diese im Rahmen des zuvor genannten Stabilitätsprogrammes in der Regel zum Einsatz kommen.In order to simplify the following explanations, it should be understood in a non-limiting manner that the inertial sensor 14 as driving dynamics data 16 in the 2 indicated lateral acceleration 26 on the vehicle as well as the yaw rate 28 captured, with which the vehicle 2 turns around its vertical axis because they are usually used in the aforementioned stability program.

Zwar wird die Erfindung anhand des Inertialsensors 14 näher erläutert, jedoch kann die Erfindung auf beliebige Sensoren, wie beispielsweise die genannten Drehzahlsensoren 10 angewendet werden.Although the invention is based on the inertial sensor 14 explained in more detail, however, the invention to any sensors, such as the aforementioned speed sensors 10 be applied.

Nachstehend wird das ein mögliches Prinzip für den Inertialsensors 14 anhand von 2 und 3 näher erläutert.Below this becomes a possible principle for the inertial sensor 14 based on 2 and 3 explained in more detail.

Zur Erfassung der Querbeschleunigung 26 ist in dem Inertialsensor 14 ein Querbeschleunigungsmessaufnehmer 30 angeordnet. Der Querbeschleunigungsmessaufnehmer 30 ist einem physikalischen Geberfeld in Form eines Zentrifugalkraftfeldes 32 ausgesetzt, das auf den Querbeschleunigungsmessaufnehmer 30 wirkt und mit der zu erfassenden Querbeschleunigung 26 auf das Fahrzeug 2 beschleunigt. Die erfasste Querbeschleunigung 26 wird anschließend an eine Signalaufbereitungsschaltung 34 ausgegeben.For detecting the lateral acceleration 26 is in the inertial sensor 14 a lateral accelerometer 30 arranged. The lateral accelerometer 30 is a physical donor field in the form of a centrifugal force field 32 exposed to the lateral accelerometer 30 acts and with the lateral acceleration to be detected 26 on the vehicle 2 accelerated. The detected lateral acceleration 26 is then connected to a signal conditioning circuit 34 output.

Zur Erfassung der Gierrate 28 ist in dem Inertialsensor 14 ein Coriolisbeschleunigungsmessaufnehmer 36 angeordnet. Der Coriolisbeschleunigungsmessaufnehmer 36 ist einem physikalischen Geberfeld in Form eines Corioliskraftfeldes 38 ausgesetzt. Als Antwort auf das Corioliskraftfeld 38 gibt der Coriolisbeschleunigungsmessaufnehmer 36 ein Gebersignal 40 aus, das dann in einer gegebenenfalls noch zum Coriolisbeschleunigungsmessaufnehmer 36 dazugehörenden Auswerteeinrichtung 42 in die Gierrate 28 umgerechnet werden kann. Ein Beispiel, wie die Gierrate 28 basierend auf einem Corioliskraftfeld 38 erfasst werden kann, ist in der Druckschrift DE 10 2010 002 796 A1 beschrieben, weshalb hier der Kürze halber darauf verzichtet werden soll. Auch die erfasste Gierrate 28 wird an die Signalaufbereitungsschaltung 34 ausgegeben.For detecting the yaw rate 28 is in the inertial sensor 14 a Coriolis accelerometer 36 arranged. The Coriolis accelerometer 36 is a physical encoder field in the form of a Coriolis force field 38 exposed. In response to the Coriolis force field 38 gives the Coriolis accelerometer 36 a transmitter signal 40 out, then in an optionally still to Coriolisbeschleunigungsmessaufnehmer 36 associated evaluation device 42 in the yaw rate 28 can be converted. An example, like the yaw rate 28 based on a Coriolis force field 38 can be detected is in the document DE 10 2010 002 796 A1 described why it should be omitted here for the sake of brevity. Also the detected yaw rate 28 is sent to the signal conditioning circuit 34 output.

In der Signalaufbereitungsschaltung 34 können die so erfasste Querbeschleunigung 26 und Gierrate 28 nachbearbeitet werden, um beispielsweise den Rauschbandabstand zu mindern und die Signalstärke zu erhöhen. Die so aufbereitete Querbeschleunigung 26 und Gierrate 28 kann dann an eine Schnittstelle 44 ausgegeben werden, die dann die beiden erfassten Signale als Fahrdynamikdaten 16 an den Regler 18 sendet. Diese Schnittstelle 44 könnte beispielsweise basierend auf dem PSI5-Standard oder dem CAN-Standard aufgebaut sein.In the signal conditioning circuit 34 can the thus detected lateral acceleration 26 and yaw rate 28 be reworked, for example, to reduce the noise band gap and to increase the signal strength. The thus processed lateral acceleration 26 and yaw rate 28 can then go to an interface 44 output, then the two detected signals as driving dynamics data 16 to the controller 18 sends. This interface 44 could for example be based on the PSI5 standard or the CAN standard.

Im Rahmen der vorliegenden Ausführung bilden die beiden Messaufnehmer 30, 36 und die Signalaufbereitungsschaltung 34 eine Sensorschaltung 46 aus, die auf einem als Leadframe 48 ausgeführten Schaltungsträger getragen und verschaltet ist. Gegebenenfalls nicht auf dem Leadframe 48 realisierbare Verschaltungen können hier über elektrische Leitungen in Form von Bonddrähten 50 realisiert werden. Die Schnittstelle 44 kann in die Signalaufbereitungsschaltung 34 integriert und als anwendungsspezifische integrierte Schaltung, nachstehend ASIC 34 (engl: application-specific integrated circuit) genannt, ausgebildet sein. In the present embodiment, the two sensors form 30 . 36 and the signal conditioning circuit 34 a sensor circuit 46 out on a as a leadframe 48 worn circuit carrier is carried and interconnected. If necessary, not on the leadframe 48 realizable interconnections can here via electrical wires in the form of bonding wires 50 will be realized. the interface 44 can in the signal conditioning circuit 34 integrated and as an application-specific integrated circuit, hereafter ASIC 34 (Engl.: Application-specific integrated circuit) called trained.

Die Sensorschaltung 46 kann ferner von einem mechanischen Entkopplungsmaterial 51, auch Globetop-Masse 51 genannt, in Form eines Silikonmaterials umhüllt sein, das wiederum gemeinsam in einer als Spritzpressmaterial 52 ausgebildeten Schutzmasse 52, wie beispielsweise einem Duroplast in Form eines Epoxidharzes 52 verkapselt sein kann.The sensor circuit 46 may also be of a mechanical decoupling material 51 , also Globetop-mass 51 be enveloped in the form of a silicone material, which in turn together in a as injection molding material 52 trained protection mass 52 , such as a thermoset in the form of an epoxy resin 52 can be encapsulated.

Schließlich ragen vom Inertialsensor 14 entsprechende Kontaktmöglichkeiten, wie in 2 gezeigte Beinchen zur elektrischen Kontaktierung mit einem Schaltkreis wie beispielsweise des Reglers 18 ab, die als Schnittstelle 54 zu einem nicht gezeigten Kabel, Stecker oder übergeordneten Schaltkreis verwendet werden kann.Finally, stand out from the inertial sensor 14 appropriate contact options, as in 2 shown legs for making electrical contact with a circuit such as the regulator 18 starting as the interface 54 to a cable, plug or parent circuit, not shown, can be used.

Es wird auf 4 und 5 Bezug genommen, in denen eine Weiterbildung des Inertialsensors 14 gezeigt ist.It will open 4 and 5 Reference is made in which a development of the inertial sensor 14 is shown.

Im Rahmen der vorliegenden Ausführungen ist die gesamte Sensorschaltung 46 als ein einziger Block dargestellt, um die nachfolgenden Darstellungen zu vereinfachen.In the context of the present embodiments, the entire sensor circuit 46 as a single block to simplify the following illustrations.

Die Kontaktierung der Sensorschaltung 46 sowie der Bonddrähte 50 auf dem Leadframe 48 erfolgt im Rahmen der vorliegenden Ausführung über eine Kontaktierschicht 56. Diese kann beispielsweise aus Silber ausgebildet sein. Sind die Bonddrähte 50 aus Gold gefertigt, so stellt die Silber-Kontaktierschicht 56 eine beständige elektrische und mechanische Verbindung der Bonddrähte 50 auf dem Leadframe 48 sicher.The contacting of the sensor circuit 46 and the bonding wires 50 on the leadframe 48 takes place in the context of the present embodiment via a contact layer 56 , This can be formed, for example, of silver. Are the bonding wires 50 made of gold, so does the silver bonding layer 56 a stable electrical and mechanical connection of the bonding wires 50 on the leadframe 48 for sure.

Die Sensorschaltung 46 kann demgegenüber auf der Silber-Kontaktierschicht 56 über eine Kontaktkleberschicht 58 mechanisch gehalten und elektrisch kontaktiert sein.The sensor circuit 46 in contrast, on the silver contact layer 56 via a contact adhesive layer 58 mechanically held and electrically contacted.

Um den Leadframe 48 und insbesondere die Schnittstelle 54 vor Witterungserscheinungen und anderen äußeren Einflüssen zu schützen, sollte der Leadframe 48 aus einem Material gefertigt sein, das diesen äußeren Einflüssen stand hält. Erfahrungsgemäß wird der Inertialsensor 14 im Einsatz in dem oben genannten Fahrzeug 2 in der Regel schwefelhaltigen Flüssigkeiten oder Gasen ausgesetzt. Diesen schwefelhaltigen Flüssigkeiten oder Gasen muss der Leadframe 48 standhalten können und darf sich nicht zersetzen. Daher wird der Leadframe 48 vorwiegend aus Kupferlegierungen oder Eisen-Nickel-Legierungen gefertigt, die durch die schwefelhaltigen Gase und Flüssigkeiten nicht angegriffen werden können. To the leadframe 48 and especially the interface 54 To protect against weathering and other external influences, the leadframe should 48 be made of a material that withstands these external influences. Experience has shown that the inertial sensor 14 in use in the above vehicle 2 usually exposed to sulphurous liquids or gases. These sulphurous liquids or gases must be the leadframe 48 can withstand and must not decompose. Therefore, the leadframe becomes 48 mainly made of copper alloys or iron-nickel alloys that can not be attacked by the sulfur-containing gases and liquids.

Derartigen Legierungen gegenüber weist das Silber der Kontaktierschicht 56 jedoch eine größere Elektronegativität auf, was dazu führt, dass die schwefelhaltigen Gase und Flüssigkeiten das Silber der Kontaktierschicht 56 in Silbersulfide oder andere Schwefelverbindungen umwandeln können, wodurch der elektrische Kontakt des Bonddrahtes 50 mit dem Leadframe zerstört wird. Insbesondere kann dies eintreten, wenn durch mechanische Überanspruchung, z.B. infolge von Temperaturwechsel oder Zugkräfte auf den Leadframe 48, die Schutzmasse 52 bricht und ein Spalt 60 zwischen Leadframe 48 und Schutzmasse 52 entsteht. In diesem Spalt 60 kann mit Schwefel kontaminierte Flüssigkeit zu der Bondstelle 62 vordringen, an der der Bonddraht 50 auf der Silber-Kontaktierschicht 56 elektrisch kontaktiert ist.The silver of the contacting layer faces such alloys 56 However, a greater electronegativity, which causes the sulfur-containing gases and liquids, the silver of the contacting layer 56 into silver sulfides or other sulfur compounds, whereby the electrical contact of the bonding wire 50 destroyed with the leadframe. In particular, this can occur if due to mechanical over-utilization, eg as a result of temperature changes or tensile forces on the leadframe 48 , the protective compound 52 breaks and a gap 60 between lead frame 48 and protective measures 52 arises. In this gap 60 can sulfur contaminated liquid to the bonding site 62 penetrate, where the bonding wire 50 on the silver contact layer 56 electrically contacted.

Um dies zu vermeiden wird im Rahmen der vorliegenden Ausführung vorgeschlagen, zwischen die Silber-Kontaktierschicht 56 und den Leadframe 48 eine Zwischenschicht 64 einzubringen, die als Opferanode vor der Silber-Kontaktierschicht 56 angegriffen wird. Dazu muss die Zwischenschicht 64 eine Elektronegativität aufweisen, die größer ist als die Elektronegativität des Leadframes 48 und der Silber-Kontaktierschicht 56 ist. Dies wird im Rahmen der zuvor genannten Materialen dadurch erreicht, wenn die Zwischenschicht 64 als Kupferschicht ausgebildet wird. Die Zwischenschicht 64 entkoppelt so den Leadframe 48 von der Silber-Kontaktierschicht 56 und erlaubt es die chemischen Eigenschaften des Leadframes an in den Sensor eindringende kontaminierte Gase und Flüssigkeiten anzupassen ohne auf die Silber-Kontaktierschicht 56 Rücksicht zu nehmen.To avoid this, it is proposed in the context of the present embodiment, between the silver contacting layer 56 and the leadframe 48 an intermediate layer 64 as a sacrificial anode in front of the silver contact layer 56 is attacked. This requires the intermediate layer 64 have an electronegativity that is greater than the electronegativity of the leadframe 48 and the silver contact layer 56 is. This is achieved in the context of the aforementioned materials characterized when the intermediate layer 64 is formed as a copper layer. The intermediate layer 64 decoupled the leadframe 48 from the silver contact layer 56 and allows the chemical properties of the leadframe to be matched to contaminated gases and liquids entering the sensor without relying on the silver contacting layer 56 To take consideration.

Wie in 5 anhand eines Ausschnittes 66 aus der 4 gezeigt, sollte die Zwischenschicht 64 dabei gegenüber der Silber-Kontaktierschicht 56 eine Auskragung 68 aufweisen, im Rahmen derer die Zwischenschicht 64 in einer Draufsicht auf die Silber-Kontaktierschicht 56 von dieser hervorspringt. Diese Auskragung 68 kann bereichsweise ausgebildet sein, sie kann jedoch auch vollumfänglich um die Silber-Kontaktierschicht 56 verlaufen, wie in 5 dargestellt. Auf diese wird die Oberfläche 70 der Zwischenschicht 64, die parallel zur Schnittebene 72 zwischen der Silber-Kontaktierschicht 56 und der Zwischenschicht 64 liegt, größer ausgebildet, als die entsprechende Oberfläche der Silber-Kontaktierschicht 56, wodurch eine größere chemische Reaktionsfläche bereitgestellt wird, mit der die als Opferanode ausgebildete Zwischenschicht 56 wirken kann. Die Auskragung 68 sollte dabei wenigstens so breit sein, wie eine Schichtdicke 74 der Silber-Kontaktierschicht.As in 5 on the basis of a section 66 from the 4 shown, the intermediate layer should be 64 in this case with respect to the silver contacting layer 56 a cantilever 68 in the context of which the intermediate layer 64 in a plan view of the silver contacting layer 56 jumps out of this. This overhang 68 may be formed in some areas, but it may also be completely around the silver contacting layer 56 run, as in 5 shown. This is the surface 70 the intermediate layer 64 parallel to the cutting plane 72 between the silver contact layer 56 and the intermediate layer 64 is formed larger than the corresponding surface of the silver-contacting layer 56 , whereby a larger chemical reaction surface is provided, with the formed as a sacrificial anode intermediate layer 56 can work. The cantilever 68 should be at least as wide as a layer thickness 74 the silver contact layer.

Andererseits kann jedoch eine Schichtdicke 76 der Zwischenschicht 64 dünner ausgebildet sein, als die entsprechende Schichtdicke 74 der Silber-Kontaktierschicht 56.On the other hand, however, a layer thickness 76 the intermediate layer 64 be thinner than the corresponding layer thickness 74 the silver contact layer 56 ,

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Claims (10)

Sensor (14) zum Erfassen eines von einer zu messenden physikalischen Größe (16) abhängigen physikalischen Geberfeldes (32, 38), umfassend: – einen Leadframe (48) mit einer Bestückinsel (58), einer Schnittstelle (54) und wenigstens einer von der Schnittstelle (54) zur Bestückinsel (58) führenden Leiterbahn (62), – eine auf der Bestückinsel (58) des Leadframes (48) getragene Sensorschaltung (46) zum Erfassen des Geberfeldes (32, 38) und zum Ausgeben eines vom Geberfeld (32, 38) abhängigen Sensorsignals (26, 28) über die Schnittstelle (54), und – einen Bonddraht (50) zum Kontaktieren der Sensorschaltung (46) mit der Leiterbahn (62) des Leadframes (48), – eine elektrisch an die Leiterbahn (62) des Leadframes (48) angebundene Kontaktierschicht (56) zum elektrischen Anbinden des Bonddrahtes (50) an den Leadframe (48), und – eine auf der Leiterbahn (62) des Leadframes (48) getragene Zwischenschicht (64), auf der von der Leiterbahn (62) des Leadframes (48) gesehen die Kontaktierschicht (56) getragen ist, wobei die Zwischenschicht (64) eine Elektronegativität aufweist, die größer ist, als eine Elektronegativität der Kontaktierschicht (56) und des Leadframes (48).Sensor ( 14 ) for detecting a physical quantity to be measured ( 16 ) dependent physical encoder field ( 32 . 38 ), comprising: a leadframe ( 48 ) with a placement island ( 58 ), an interface ( 54 ) and at least one of the interface ( 54 ) to the placement island ( 58 ) leading track ( 62 ), - one on the Bestückinsel ( 58 ) of the leadframe ( 48 ) worn sensor circuit ( 46 ) for detecting the encoder field ( 32 . 38 ) and for issuing one from the donor field ( 32 . 38 ) dependent sensor signal ( 26 . 28 ) via the interface ( 54 ), and - a bonding wire ( 50 ) for contacting the sensor circuit ( 46 ) with the conductor track ( 62 ) of the leadframe ( 48 ), - one electrically to the conductor track ( 62 ) of the leadframe ( 48 ) bonded contacting layer ( 56 ) for electrically connecting the bonding wire ( 50 ) to the leadframe ( 48 ), and - one on the track ( 62 ) of the leadframe ( 48 ) supported intermediate layer ( 64 ), on the of the conductor track ( 62 ) of the leadframe ( 48 ) seen the contacting layer ( 56 ), wherein the intermediate layer ( 64 ) has an electronegativity which is greater than an electronegativity of the contacting layer ( 56 ) and the leadframe ( 48 ). Sensor (14) nach Anspruch 1, wobei die Elektronegativität der Kontaktierschicht (56) kleiner ist, als die Elektronegativität des Leadframes (48).Sensor ( 14 ) according to claim 1, wherein the electronegativity of the contacting layer ( 56 ) is smaller than the electronegativity of the leadframe ( 48 ). Sensor (14) nach Anspruch 1 oder 2, umfassend eine wenigstens die Zwischenschicht (64) und die Kontaktierschicht (56) auf der Leiterbahn einhüllende Schmutzmasse (52).Sensor ( 14 ) according to claim 1 or 2, comprising at least the intermediate layer ( 64 ) and the contacting layer ( 56 ) on the track enveloping soil ( 52 ). Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Zwischenschicht (64) wenigstens teilweise vor die Kontaktierschicht (56) kragt (68).Sensor ( 14 ) according to any one of the preceding claims, wherein the intermediate layer ( 64 ) at least partially in front of the contacting layer ( 56 ) ( 68 ). Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Zwischenschicht (64) in einer Schnittebene (72) zwischen der Zwischenschicht (64) und der Kontaktierschicht (56) gesehen flächig wenigstens genauso groß ausgebildet ist, wie die Kontaktierschicht (56).Sensor ( 14 ) according to any one of the preceding claims, wherein the intermediate layer ( 64 ) in a sectional plane ( 72 ) between the intermediate layer ( 64 ) and the contacting layer ( 56 ) is formed at least as large area as the contact layer ( 56 ). Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Zwischenschicht (64) in einer Schnittebene (72) zwischen der Zwischenschicht (64) und der Kontaktierschicht (56) gesehen flächig größer (70) ausgebildet ist, als die Kontaktierschicht (56).Sensor ( 14 ) according to any one of the preceding claims, wherein the intermediate layer ( 64 ) in a sectional plane ( 72 ) between the intermediate layer ( 64 ) and the contacting layer ( 56 ) seen larger ( 70 ) is formed, as the contacting layer ( 56 ). Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Zwischenschicht (64) normal zu einer Schnittebene (72) zwischen der Zwischenschicht (64) und der Kontaktierschicht (56) gesehen dünner ausgebildet ist, als die Kontaktierschicht (56).Sensor ( 14 ) according to any one of the preceding claims, wherein the intermediate layer ( 64 ) normal to a section plane ( 72 ) between the intermediate layer ( 64 ) and the contacting layer ( 56 ) seen thinner than the Kontaktierschicht ( 56 ). Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Kontaktierschicht (56) eine Silberschicht ist.Sensor ( 14 ) according to one of the preceding claims, wherein the contacting layer ( 56 ) is a silver layer. Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Leadframe (48) aus einem Material mit einer Kupferlegierung oder einer Eisen-Nickel-Legierung gebildet ist.Sensor ( 14 ) according to one of the preceding claims, wherein the leadframe ( 48 ) is formed of a material having a copper alloy or an iron-nickel alloy. Sensor (14) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Zwischenschicht (64) eine Kupferschicht ist.Sensor ( 14 ) according to any one of the preceding claims, wherein the intermediate layer ( 64 ) is a copper layer.
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