DE102013219213A1 - Process chamber for a chemical reaction coating process and method for coating an optical object by means of a chemical reaction coating process - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Prozesskammer (10) für einen chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess zum Beschichten von mindestens einem zu beschichtenden optischen Objekt (22). Die Prozesskammer (10) umfasst dabei eine Kammerwandung (18), die einen Prozessraum (16) zumindest zum Teil einschließt, mindestens eine Durchführöffnung (26; 34), um zumindest einen Prekursor (28a; 28b) und/oder ein Spülgas (29) durch die Durchführöffnung (26; 34) durchzuführen. Weiterhin weist die Prozesskammer (10) zumindest ein erstes Prozesskammerelement (12; 14) auf, welches einen ersten Teil der Kammerwandung (18) bereitstellt Das erste Prozesskammerelement (12; 14) ist derart ausgebildet, dass das mindestens eine zu beschichtende optische Objekt (22) derart am zumindest einen ersten Prozesskammerelement (12; 14) anordenbar ist, dass das mindestens eine optische Objekt (22) selbst einen zweiten Teil der Kammerwandung (18) bildet.The invention relates to a process chamber (10) for a chemical reaction coating process for coating at least one optical object (22) to be coated. The process chamber (10) comprises a chamber wall (18) which at least partially encloses a process space (16), at least one through-opening (26; 34), around at least one precursor (28a; 28b) and / or a purge gas (29). through the passage opening (26, 34). The first process chamber element (12; ) can be arranged on the at least one first process chamber element (12; 14) such that the at least one optical object (22) itself forms a second part of the chamber wall (18).
Description
Technisches Gebiet Technical area
Die Erfindung geht aus von einer Prozesskammer für einen chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und einem Verfahren zum Beschichten eines zu beschichtenden optischen Objekts mittels eines chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 14. The invention is based on a process chamber for a chemical reaction coating process according to the preamble of
Stand der Technik State of the art
Zur Effizienzsteigerung von Leuchten ist der Einsatz von Reflektoren mit hochreflektierenden Beschichtungen aus z.B. Silber angedacht. Nachteil dieser hochreflektierenden Schichten ist allerdings deren Instabilität an Umgebungsluft, so dass ohne eine zusätzliche Schutzschicht der Reflexionsgrad mit der Zeit schnell abfällt. Da diese Schutzschichten selbst nur sehr wenig absorbieren dürfen aber gleichzeitig eine sehr dichte Barriereschicht gegenüber der Umgebung haben sollten und außerdem eine sehr hohe Gleichmäßigkeit auch bei größeren Aspektverhältnissen der Reflektoren, kommen sogenannte chemische Reaktionsbeschichtungen wie z.B. CVD(Chemical Vapor Deposition)-Beschichtungen oder ALD(Atomic Layer Deposition bzw. Atomlagenabscheidung)-Beschichtungen zum Einsatz. Der Stand der Technik umfasst für produktionstechnisch relevante Stückzahlen im Wesentlichen sogenannte Batch-Prozesse. Hierbei werden in eine Prozesskammer eine Vielzahl an zu beschichtender Teile gebracht. Im Falle der ALD-Beschichtung wird im Anschluss dann die Prozesskammer für jede atomare Beschichtungslage mit den entsprechenden Prekursoren geflutet und zwischenzeitlich ausgepumt/geflutet, so dass sich die entsprechenden Prekursoren lediglich als Adsorbate auf der Beschichtungsfläche treffen. Dies ist insbesondere deswegen wichtig, weil ein Zusammentreffen in der Gasphase zu Partikeln und Beschichtungsfehlern führen kann. Der Nachteil dieser Batch-Prozesse ist der sehr hohe Zeitaufwand, der hohe Materialaufwand und die oftmals eingeschränkte Zuverlässigkeit, insbesondere bei ungünstigen Strömungsverhältnissen und Toträumen. Aber auch CVD-Verfahren ohne ständig abwechselnde Gaszusammensetzung finden Anwendung. To increase the efficiency of luminaires, the use of reflectors with highly reflective coatings of e.g. Silver thought. Disadvantage of these highly reflective layers, however, is their instability in ambient air, so that without an additional protective layer, the reflectance drops rapidly over time. Since these protective layers are allowed to absorb only very little but at the same time should have a very dense barrier layer to the environment and also a very high uniformity even with larger aspect ratios of the reflectors, so-called chemical reaction coatings such as e.g. CVD (Chemical Vapor Deposition) coatings or ALD (Atomic Layer Deposition) coatings are used. The state of the art essentially comprises so-called batch processes for production-relevant quantities. Here, a large number of parts to be coated are placed in a process chamber. In the case of the ALD coating, the process chamber is then flooded with the corresponding precursors for each atomic coating layer and, in the meantime, purged / flooded, so that the corresponding precursors only meet as adsorbates on the coating surface. This is particularly important because a collision in the gas phase can lead to particles and coating defects. The disadvantage of these batch processes is the very high expenditure of time, the high cost of materials and the often limited reliability, especially in unfavorable flow conditions and dead spaces. But also CVD processes without constantly alternating gas composition are used.
Darstellung der Erfindung Presentation of the invention
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Prozesskammer und ein Verfahren zum Beschichten mindestens eines zu beschichtenden optischen Objekts bereitzustellen, mittels welchen eine Beschichtung von optischen Objekten auf möglichst effiziente Weise möglich ist. The object of the present invention is to provide a process chamber and a method for coating at least one optical object to be coated, by means of which a coating of optical objects is possible in the most efficient way possible.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Prozesskammer mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und einem Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 14. Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen. This object is achieved by a process chamber having the features of
Die erfindungsgemäße Prozesskammer für einen chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess zum Beschichten von mindestens einem zu beschichtenden optischen Objekt umfasst eine Kammerwandung, die einen Prozessraum zumindest zum Teil einschließt. Weiterhin umfasst die Prozesskammer mindestens eine Durchführöffnung, die dazu ausgebildet ist, zumindest einen Prekursor und/oder ein Spülgas durch die Durchführöffnung durchzuführen. Des Weiteren weist die Prozesskammer zumindest ein erstes Prozesskammerelement auf, welches einen ersten Teil der Kammerwandung bereitstellt. Dabei ist das zumindest eine erste Prozesskammerelement derart ausgebildet, dass das mindestens eine zu beschichtende optische Objekt derart zumindest am zumindest einen ersten Prozesskammerelement anordenbar ist, dass das mindestens eine optische Objekt selbst einen zweiten Teil der Kammerwandung bildet. The process chamber according to the invention for a chemical reaction coating process for coating at least one optical object to be coated comprises a chamber wall which at least partially encloses a process space. Furthermore, the process chamber comprises at least one passage opening, which is designed to carry out at least one precursor and / or a purge gas through the passage opening. Furthermore, the process chamber has at least one first process chamber element, which provides a first part of the chamber wall. In this case, the at least one first process chamber element is designed such that the at least one optical object to be coated can be arranged at least on at least one first process chamber element such that the at least one optical object itself forms a second part of the chamber wall.
Unter einem optischen Objekt kann vorzugsweise ein Reflektor verstanden werden, aber auch Linsen, dichroitische Spiegel, Interferenzfilter, usw.. Gerade bei optischen Objekten kommen ALD-Verfahren zum Einsatz, da gerade bei optischen Objekten, falls eine Beschichtung dieser erforderlich ist, eine hohe Gleichmäßigkeit der Beschichtungen relevant ist für die Gewährleistung guter optischer Eigenschaften. An optical object may preferably be understood to be a reflector, but also lenses, dichroic mirrors, interference filters, etc. Especially in the case of optical objects, ALD methods are used, since in the case of optical objects, if a coating of these is required, a high degree of uniformity is required the coatings is relevant for ensuring good optical properties.
Daher ist es weiterhin eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung, wenn die Prozesskammer für einen als Atomlagenabscheidungsprozess ausgestalteten chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess ausgebildet ist. Die im Folglenden genannten Vorteile und Ausgestaltungen gelten jedoch nicht nur für ALD-Verfahren sondern auch für andere chemische Reaktionsbeschichtungsverfahren, wie z.B. CVD-Verfahren. Therefore, it is furthermore an advantageous embodiment of the invention if the process chamber is designed for a chemical reaction coating process designed as an atomic layer deposition process. However, the advantages and refinements recited below apply not only to ALD processes but also to other chemical reaction coating processes, e.g. CVD method.
Durch die Ausbildung des ersten Prozesskammerelements derart, dass das mindestens eine optische Objekt so am Prozesskammerelement angeordnet werden kann, dass dieses selbst einen Teil der Kammerwandung bildet, ist es auf besonders vorteilhafte Weise möglich, Toträume in der Prozesskammer zu reduzieren und sogar ganz zu vermeiden. Diese Reduktion oder Vermeidung der Toträume, d.h. ungenutztem Prozessvolumen, ermöglicht somit auch eine Volumenreduktion des Prozessvolumens. Das verringerte Volumen und die Vermeidung von Toträumen ermöglichen wiederum eine deutlich schnellere, zuverlässige und somit effektivere Beschichtung von optischen Objekten. Insbesondere können die Spülphasen dadurch deutlich kürzer ausgestaltet werden, um sicherzustellen, dass sich keine Prekursorrückstände im Prozessraum befinden, die eine Partikelbildung in der Gasphase verursachen. Zudem wird durch ein verringertes Volumen auch weniger Spülgas und auch eine geringere Menge eines jeweiligen Prekursors benötigt, wodurch sich weiterhin Kosten einsparen lassen. Gerade bei Al2O3-Beschichtungen, die für Reflektorbeschichtungen gebräuchlich sind, wird als ein Prekursor TMA (Trimethylaluminium) verwendet, was vergleichsweise teuer ist. Weiterhin ist es bei solchen Verfahren unvermeidlich, dass auch die Prozesskammerinnenwände mitbeschichtet werden. Durch die Nutzung der optischen Objekte als Teil der Kammerwandung selbst, kann auch hierdurch zusätzlich an Prekursoren und somit an Kosten gespart werden. Durch ein reduziertes Volumen, insbesondere bei gleichbleibender Anzahl zu beschichtender Objekte, können zudem deutlich günstigere Strömungsverhältnisse der Gase/Gasgemische, d.h. des Spülgases, der Prekursoren und des Gemisches aus Spülgas und einem jeweiligen Prekursor, geschaffen werden. By forming the first process chamber element such that the at least one optical object can be arranged on the process chamber element such that it itself forms part of the chamber wall, it is possible in a particularly advantageous manner to reduce dead spaces in the process chamber and even completely avoid them. This reduction or avoidance of the dead spaces, ie unused process volume, thus also enables a volume reduction of the process volume. The reduced volume and the avoidance of dead spaces in turn allow a much faster, reliable and therefore more effective Coating of optical objects. In particular, the rinsing phases can thereby be made significantly shorter, in order to ensure that there are no precursor residues in the process space which cause particle formation in the gas phase. In addition, a reduced volume and less purge gas and a smaller amount of a respective Prekursors needed, which can continue to save costs. Especially with Al 2 O 3 coatings, which are common for reflector coatings, TMA (trimethylaluminum) is used as a precursor, which is comparatively expensive. Furthermore, it is inevitable in such processes that the process chamber inner walls are also coated. By using the optical objects as part of the chamber wall itself, this can also be saved in addition to precursors and thus costs. By a reduced volume, in particular with a constant number of objects to be coated, also significantly more favorable flow conditions of the gases / gas mixtures, ie the purge gas, the precursors and the mixture of purge gas and a respective precursor can be created.
Die Durchführöffnung zur Durchführung des mindestens einen Prekursors und/oder des Spülgases, kann dabei als Eingansöffnung ausgebildet sein, um den mindestens einen Prekursor und/oder das Spülgas in die Prozesskammer einzuführen, und/oder als Ausgangsöffnung ausgebildet sein zum ausführen des mindestens einen Prekursors und/oder des Spülgases. Dabei kann die Durchführöffnung auch gleichzeitig als Ein- und Ausgangsöffnung ausgebildet sein, z.B. um den zumindest einen Prekursor und/oder das Spülgas aus der Prozesskammer auszuführen und gleichzeitig in eine weitere Prozesskammer einzuführen. Darüber hinaus kann die Prozesskammer so ausgebildet sein, dass bei einer Anordnung des zumindest einen optischen Elements am ersten Prozesskammerelement der Prozessraum vom ersten Prozesskammerelement und dem mindestens einen optischen Element eingeschlossen wird. Die Prozesskammer kann aber auch weitere Prozesskammerelemente aufweisen, so dass bei einer Anordnung des mindestens einen optischen Elements am ersten Prozesskammerelement der Prozessraum vom ersten und den weiteren Prozesskammerelementen eingeschlossen, und insbesondere auch vom mindestens einen optischen Element, eingeschlossen wird. Weiterhin kann die Prozesskammer öffenbar ausgebildet sein, um das mindestens eine optische Element in die Prozesskammer einzubringen. Die Prozesskammer kann aber auch mit mindestens einer Öffnung ausgebildet sein, um an dieser das mindestens eine optische Element anzuordnen, so dass dieses den zweiten Teil der Kammerwandung bildet. The passage opening for the passage of the at least one precursor and / or the purge gas may be formed as an inlet opening to introduce the at least one precursor and / or the purge gas in the process chamber, and / or be designed as an output port for executing the at least one Prekursors and / or the purge gas. In this case, the passage opening may also be formed simultaneously as an inlet and outlet opening, e.g. to execute the at least one precursor and / or the purge gas from the process chamber and at the same time introduce it into a further process chamber. In addition, the process chamber may be configured so that when the at least one optical element is arranged on the first process chamber element, the process space is enclosed by the first process chamber element and the at least one optical element. However, the process chamber may also have further process chamber elements, so that when the at least one optical element is arranged on the first process chamber element, the process space enclosed by the first and the further process chamber elements, and in particular also by the at least one optical element, is enclosed. Furthermore, the process chamber can be designed to be openable in order to introduce the at least one optical element into the process chamber. However, the process chamber can also be formed with at least one opening in order to arrange the at least one optical element thereon so that it forms the second part of the chamber wall.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist das erste Prozesskammerelement eine zumindest einen Teil des Prozessraums begrenzende erste Kammerelementoberfläche auf, wobei zumindest ein Bereich der ersten Kammerelementoberfläche mit einer dreidimensionalen Struktur korrespondierend zu einer dreidimensionalen Objektoberfläche des zu beschichtenden optischen Objekts ausgebildet ist. In an advantageous embodiment of the invention, the first process chamber element has a first chamber element surface bounding at least part of the process space, wherein at least a region of the first chamber element surface having a three-dimensional structure is formed corresponding to a three-dimensional object surface of the optical object to be coated.
Durch die Ausbildung der ersten Kammerelementoberfläche mit einer dreidimensionalen Struktur lässt sich diese so an ein zu beschichtendes Objekt und insbesondere dessen Objektoberfläche anpassen, so dass eine weitere Reduktion des Gesamtvolumens des Prozessraums bewirkt werden kann. Zudem können durch diese Anpassung ebenfalls Toträume vermieden und das Strömungsverhalten verbessert werden. By forming the first chamber element surface with a three-dimensional structure, it can be adapted to an object to be coated and in particular its object surface, so that a further reduction of the total volume of the process space can be effected. In addition, this adjustment can also avoid dead spaces and the flow behavior can be improved.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die erste Kammerelementoberfläche eine Mehrzahl an Bereichen auf, welche jeweils eine dreidimensionale Struktur aufweisen korrespondierend zu dreidimensionalen Objektoberflächen von einer Mehrzahl an zu beschichtenden optischen Objekten. In a further advantageous embodiment of the invention, the first chamber element surface on a plurality of areas, each having a three-dimensional structure corresponding to three-dimensional object surfaces of a plurality of to be coated optical objects.
Dies ist besonders vorteilhaft, wenn große Stückzahlen an optischen Objekten zu beschichten sind. Die Anordnung kann beispielsweise rasterförmig sein, z.B. mit einer Mehrzahl an Zeilen und Spalten mit Bereichen mit einer dreidimensionalen Struktur der ersten Kammerelementoberfläche. Dabei ist es möglich die dreidimensionalen Strukturen identisch auszubilden, was es ermöglicht eine Mehrzahl an gleichartig ausgebildeten optischen Objekten zu beschichten. Die dreidimensionalen Strukturen können aber auch unterschiedlich ausgebildet sein, um somit unterschiedlich ausgebildete optische Objekte zu beschichten. This is particularly advantageous when large numbers of optical objects are to be coated. The arrangement may, for example, be grid-shaped, e.g. with a plurality of rows and columns with regions having a three-dimensional structure of the first chamber element surface. In this case, it is possible to form the three-dimensional structures identically, which makes it possible to coat a plurality of identically designed optical objects. However, the three-dimensional structures can also be designed differently, so as to coat differently formed optical objects.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die dreidimensionale Struktur des zumindest einen Bereichs der ersten Kammerelementoberfläche derart korrespondierend zu einer dreidimensionalen Objektoberfläche eines zu beschichtenden optischen Objekts ausgebildet, dass das zu beschichtende optische Objekt derart in die Prozesskammer einbringbar ist, dass zumindest ein Teil der Objektoberfläche des zu beschichtenden optischen Objekts im zumindest einen Bereich der ersten Kammerelementoberfläche des ersten Prozesskammerelements formschlüssig an der ersten Kammerelementoberfläche anliegt. In a further advantageous embodiment of the invention, the three-dimensional structure of the at least one region of the first chamber element surface is formed corresponding to a three-dimensional object surface of an optical object to be coated such that the optical object to be coated can be introduced into the process chamber such that at least a portion of the object surface the optical object to be coated bears in a form-fitting manner against the first chamber element surface in at least one region of the first chamber element surface of the first process chamber element.
Somit bildet das zu beschichtende optische Objekt selbst mit einem Teil seiner Objektoberfläche, insbesondere mit dem zu beschichtenden Teil seiner Oberfläche einen Teil der Innenwandung bzw. Begrenzungsfläche des Prozessraums. Das zu beschichtende Objekt wird sozusagen in die Kammerwandung im Prozessraum integriert bzw. zumindest ein Teil der Innenbegrenzungsfläche des Prozessraums kann so auf vorteilhafte Weise mit zu beschichtende Objekten verkleidet werden. Auch durch diese Ausgestaltung können keine Toträume zwischen den Objekten und einer Kammerwandoberfläche bzw. der ersten Kammerelementoberfläche entstehen, was auf vorteilhafte Weise eine deutlich schnellere Durchführung eines Beschichtungszyklus ermöglicht. Weiterhin wird durch diese Einbettungsmöglichkeit der optischen Objekte in das erste Prozesskammerelement die Bestückung der Prozesskammer mit optischen Objekten und deren Austausch erleichtert. Besonders vorteilhaft ist dies vor allem bei Reflektoren als zu beschichtende optische Objekte. Diese sind üblicherweise relativ dünnwandig mit einer reflektierenden Seite, welche beschichtet werden soll, und einer nicht reflektierenden bzw. nicht zu beschichtenden Seite ausgebildet, beanspruchen daher selbst nicht viel Volumen und ermöglichen auf vorteilhafte Weise eine Einbettung in die Kammerwand durch die formschlüssige Anlage der nicht zu beschichtenden Seite an der ersten Kammerelementoberfläche. Der Prozessraum kann somit z.B. als korrespondierend zur Reflektorgeometrie ausgebildetes durchströmbares Rohr ausgebildet sein, wobei die Reflektoren an den Rohrwänden selbst anliegen bzw. diese zum Teil selbst bilden. Thus, the optical object to be coated forms a part of the inner wall even with a part of its object surface, in particular with the part of its surface to be coated. Boundary surface of the process space. The object to be coated is, as it were, integrated into the chamber wall in the process space or at least part of the inner boundary surface of the process space can be advantageously covered with objects to be coated. Even with this configuration, no dead spaces can arise between the objects and a chamber wall surface or the first chamber element surface, which advantageously makes it possible to carry out a coating cycle much more quickly. Furthermore, the embedding of the process chamber with optical objects and their replacement is facilitated by this embedding possibility of the optical objects in the first process chamber element. This is particularly advantageous, especially in the case of reflectors, as optical objects to be coated. These are usually relatively thin-walled with a reflective side, which is to be coated, and formed a non-reflective or non-coated side, therefore claim themselves not much volume and advantageously allow embedding in the chamber wall by the positive engagement of not too coating side on the first chamber element surface. The process space can thus be designed, for example, as a flow-through pipe designed to correspond to the reflector geometry, the reflectors resting against the pipe walls themselves or forming part of them themselves.
Weiterhin kann das erste Prozesskammerelement zumindest zum Teil aus einem derartigen ersten, insbesondere elastisch reversibel deformierbaren, Material gebildet sein, dass das erste Prozesskammerelement bei einer Anordnung eines zu beschichtenden optischen Objekts im zumindest einen Bereich der ersten Kammerelementoberfläche zu einer formschlüssigen Anlage an einem Teil der Objektoberfläche des zu beschichtenden optischen Objekts verformbar ist. Furthermore, the first process chamber element can be formed at least in part from such a first, in particular elastically reversibly deformable material, that the first process chamber element in an arrangement of an optical object to be coated in at least a portion of the first chamber element surface to a form-fitting contact with a part of the object surface of the optical object to be coated is deformable.
Durch eine derartige Ausbildung des ersten Prozesskammerelements kann sichergestellt werden, dass nicht ungewollt Prekursoren zwischen die erste Kammerelementoberfläche und den anliegenden Teil der Objektoberfläche dringen kann. Auch diese Ausbildung macht einen Beschichtungsvorgang im Hinblick auf eine ungewollte Partikelbildung in der Gasphase zuverlässiger, wodurch sich eine wiederum schnellere Durchführung des Beschichtungsverfahrens bereitstellen lässt. Weiterhin können die Objekte durch die elastisch deformierbare Ausbildung des ersten Prozesskammerelements unter etwas Druckkraft in die korrespondierend ausgebildeten Strukturen der ersten Kammerelementoberfläche eingepresst bzw. eingedrückt werden, wodurch gleichzeitig auch eine stabile Halterung der Objekte bereitgestellt werden kann, so dass die Objekte während des Beschichtungsprozesses nicht verrutschen oder sich anderweitig bewegen können. Der vorteilhafte Formschluss ist somit auch für die Dauer des gesamten Beschichtungsprozesses gewährleistet. Such a design of the first process chamber element can ensure that precursors can not unintentionally penetrate between the first chamber element surface and the adjacent part of the object surface. This embodiment also makes a coating process with regard to unwanted particle formation in the gas phase more reliable, which in turn makes it possible to provide a faster implementation of the coating method. Furthermore, the objects can be pressed or pressed into the correspondingly formed structures of the first chamber element surface by the elastically deformable formation of the first process chamber element, whereby at the same time a stable support of the objects can be provided, so that the objects do not slip during the coating process or can move elsewhere. The advantageous fit is thus ensured for the duration of the entire coating process.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die Prozesskammer ein zweites Prozesskammerelement auf, das derart am ersten Prozesskammerelement anordenbar ist, dass das erste Prozesskammerelement und das zweite Prozesskammerelement bei einer Anordnung aneinander den Prozessraum einschließen. In a further advantageous embodiment of the invention, the process chamber has a second process chamber element that can be arranged on the first process chamber element in such a way that the first process chamber element and the second process chamber element enclose the process space in an arrangement with one another.
Vorteilhafter Weise kann der Prozessraum von nur zwei separat ausgebildeten Komponenten, nämlich dem ersten und dem zweiten Prozesskammerelement, eingeschlossen werden. Dabei können auch Dichtelemente, insbesondere zwischen den Anlageflächen der beiden Prozesskammerelemente, zum Abdichten des Prozessraums vorgesehen sein. Dies stellt eine besonders einfache und kostengünstige Ausbildung der Prozesskammer dar. Advantageously, the process space can be enclosed by only two separately formed components, namely the first and the second process chamber element. In this case, sealing elements, in particular between the contact surfaces of the two process chamber elements, may be provided for sealing the process space. This represents a particularly simple and cost-effective design of the process chamber.
Dabei stellt das zweite Prozesskammerelement bevorzugt einen dritten Teil der Kammerwandung bereit und weist eine zweite Kammerelementoberfläche auf, wobei zumindest ein Bereich der zweiten Kammerelementoberfläche mit einer dreidimensionalen Struktur ausgebildet ist. Die Oberfläche des zweiten Kammerelements kann so auf vorteilhafte Weise entweder ebenfalls dazu genutzt werden, um daran optische Objekte mit korrespondierender Geometrie formschlüssig anzulegen bzw. einzubetten oder sie kann beispielsweise auch als Füllkörper dienen, um das Volumen des Prozessraums weiter zu minimieren. Beides führt dazu, dass das Gesamtvolumen des Prozessraums zusätzlich noch verringert oder besser genutzt werden kann, was eine noch effizientere und schnellere Beschichtung der zu beschichtenden Objekte erlaubt. In this case, the second process chamber element preferably provides a third part of the chamber wall and has a second chamber element surface, wherein at least a portion of the second chamber element surface is formed with a three-dimensional structure. The surface of the second chamber element can thus advantageously also be used to form-fit or embed optical objects of corresponding geometry thereon or it can also serve as a filler, for example, in order to further minimize the volume of the process space. Both result in the fact that the total volume of the process space can be further reduced or better used, which allows an even more efficient and faster coating of the objects to be coated.
Beispielsweise kann das zweite Prozesskammerelement als ein weiteres erstes Prozesskammerelement ausgebildet sein, insbesondere so, dass die Struktur der zweiten Kammerelementoberfläche des als weiteres erstes Prozesskammerelement ausgebildeten zweiten Prozesskammerelements identisch zur Struktur der ersten Kammerelementoberfläche des ersten Prozesskammerelements ausgebildet ist. For example, the second process chamber element may be formed as a further first process chamber element, in particular such that the structure of the second chamber element surface of the second process chamber element formed as a further first process chamber element is identical to the structure of the first chamber element surface of the first process chamber element.
Damit lassen sich eine Vielzahl, insbesondere identisch ausgebildeter, optischer Objekte sowohl an der ersten und an der zweiten Kammerelementoberfläche anordnen, wodurch der Prozessraum effektiv genutzt werden kann. So lassen sich z.B. auch in das zweite Kammerelement Reflektoren so einbetten, so dass deren zu beschichtende Objektoberflächen gleichzeitig auch einen Teil der Begrenzungsfläche des Prozessraums bilden. Diese Möglichkeit der besonders effektiven Auskleidung der Innenraumfläche des Prozessraums hat zudem noch, wie bereits erwähnt, einen weiteren Vorteil. Im Stand der Technik werden die durch die Prozessraumwände gegebenen Begrenzungsflächen des Prozessraums mit beschichtet, was einen unnötigen Verbrauch an Prekursoren darstellt. Hier wird es bewerkstelligt, dass die Begrenzungsfläche des Prozessraums, die unnötigerweise mitbeschichtet wird, äußerst klein gehalten werden kann. Dadurch lassen sich also wieder teure Prekursoren einsparen und so ein Kostenvorteil erzielen. Thus, a plurality, in particular identically formed, optical objects can be arranged both on the first and on the second chamber element surface, whereby the process space can be used effectively. Thus, for example, reflectors can also be embedded in the second chamber element so that their object surfaces to be coated simultaneously form part of the boundary surface of the process space. This possibility of particularly effective lining of the interior surface of the process room also has, as already mentioned, another advantage. In the prior art, the boundary surfaces of the process space given by the process space walls are also coated, which represents an unnecessary consumption of precursors. Here it is accomplished that the boundary surface of the process space, which is unnecessarily co-coated, can be kept extremely small. Thus, expensive precursors can be saved again and thus achieve a cost advantage.
Bei einer Ausgestaltung der Erfindung ist die dreidimensionale Struktur der zweiten Kammerelementoberfläche derart korrespondierend zur dreidimensionalen Struktur der ersten Kammerelementoberfläche ausgebildet, dass bei einer Anordnung des ersten Prozesskammerelements am zweiten Prozesskammerelement ein Spalt zwischen der ersten Kammerelementoberfläche und der zweiten Kammerelementoberfläche mit einer maximalen vorgegebenen Spaltbreite ausgebildet ist. In one embodiment of the invention, the three-dimensional structure of the second chamber element surface is formed corresponding to the three-dimensional structure of the first chamber element surface, that when the first process chamber element is arranged on the second process chamber element, a gap is formed between the first chamber element surface and the second chamber element surface with a maximum predetermined gap width.
Insbesondere sollte die Spaltbreite über die Kammerelementoberflächen hinweg nicht stark variieren, also eine Variation kleiner/gleich einem vorgegebenen Wert aufweisen. Dies ist besonders vorteilhaft bei einer Beschichtung von Reflektoren als optische Objekte, da Reflektoren üblicherweise ebenfalls dünnwandig mit einer nahezu konstanten Wandstärke ausgebildet sind, und sich so bei einer Anordnung eines derartigen Reflektors an der ersten Kammerelementoberfläche ein Spalt zwischen der zu beschichtenden Reflektoroberfläche und der zweiten Kammerelementoberfläche mit nahezu konstanter Spaltbreite ergibt. Dies verbessert auf vorteilhafte Weise die Strömungseigenschaften des Prozessraums beim Durchströmen mit den Gasen/Gasgemischen. Die Ausbildung des Spaltes sollte sich dabei zumindest über einen zusammenhängenden Bereich der ersten Kammerelementoberfläche erstrecken, welcher die Bereiche mit der dreidimensionalen Struktur der erste Kammerelementoberfläche aufweist. In particular, the gap width across the chamber element surfaces should not vary greatly, ie have a variation smaller than or equal to a predetermined value. This is particularly advantageous in the case of a coating of reflectors as optical objects, since reflectors are usually also thin-walled with an almost constant wall thickness, and thus, with an arrangement of such a reflector on the first chamber element surface, a gap between the reflector surface to be coated and the second chamber element surface results in almost constant gap width. This advantageously improves the flow properties of the process space when flowing through the gases / gas mixtures. The formation of the gap should extend at least over a contiguous region of the first chamber element surface, which has the regions with the three-dimensional structure of the first chamber element surface.
Das zweite Kammerelement kann bei dieser Ausbildung z.B. als Füllkörper dienen und reduziert durch die Ausbildung der dreidimensionalen Struktur derart korrespondierend zur dreidimensionalen Struktur der ersten Kammerelementoberfläche das Volumen des Prozessraums auf ein Minimum, d.h. auf nur einen Spalt, durch den das Gas/Gasgemisch definiert durchströmen kann. Dabei sind Spaltbreiten zwischen einem an der ersten Kammerelementoberfläche angeordnetem optischen Objekt, insbesondere Reflektor, und der zweiten Kammerelementoberfläche im Millimeterbereich, insbesondere sogar im Mikrometerbereich realisierbar, beispielsweise zwischen 200 m und 5 mm, insbesondere zwischen 200 m und 1 mm. Durch die dadurch ermöglichte enorme Reduktion des Volumens des Prozessraums lässt sich der Beschichtungsprozess überaus schnell ausgestalten und gleichzeitig zuverlässig, d.h. ohne ungewollte Ungleichmäßigkeiten in der Beschichtung in Kauf nehmen zu müssen. Im Falle einer Anordnung des mindestens einen optischen Objekts am ersten Prozesskammerelement so, dass das optische Objekt selbst einen Teil der Kammerwandung bildet, ohne dabei in das erste Prozesskammerelement formschlüssig eingebettet zu sein, und insbesondere auch ohne die Notwendigkeit eine Vorsehens eines zweiten Prozesskammerelements, kann auch das erste Prozesskammerelement in gleicher Weise als Füllkörper ausgebildet sein, wie zum zweiten Prozesskammerelement beschrieben. The second chamber member may be used in this embodiment e.g. serve as a packing and, by forming the three-dimensional structure corresponding to the three-dimensional structure of the first chamber element surface, reduces the volume of the process space to a minimum, i. to only one gap through which the gas / gas mixture can flow through defined. In this case, gap widths between an optical object arranged on the first chamber element surface, in particular a reflector, and the second chamber element surface can be implemented in the millimeter range, in particular even in the micrometer range, for example between 200 m and 5 mm, in particular between 200 m and 1 mm. As a result of the enormous reduction in the volume of the process space made possible by this, the coating process can be designed very quickly and at the same time reliably, i. without having to accept unwanted unevenness in the coating. In the case of an arrangement of the at least one optical object on the first process chamber element such that the optical object itself forms a part of the chamber wall, without being embedded in a form-fitting manner in the first process chamber element, and in particular also without the need for providing a second process chamber element, can also the first process chamber element may be formed in the same way as a filler, as described for the second process chamber element.
Gleichzeitig bedeutet eine Volumenreduktion auch eine enorme Vereinfachung bei der Ausgestaltung bzw. Ausbildung der Prozesskammer selbst. Beispielsweise lässt sich durch das geringere Prozessvolumen der Heizaufwand deutlich verringern, insbesondere da durch das geringere Prozessvolumen auch eine geringere Menge an Spülgasen benötigt wird und somit eine geringere Masse zu heizen ist. At the same time, a volume reduction also means a tremendous simplification in the configuration or design of the process chamber itself. For example, the lower process volume can significantly reduce the heating effort, in particular because the smaller process volume also requires a smaller amount of purge gases and thus less mass heat is.
Dabei ist das zweite Prozesskammerelement bevorzugt aus einem vom ersten Material verschiedenen zweiten Material gebildet, insbesondere einem nicht elastischen und/oder nicht deformierbaren Material. Damit kann im Falle einer Ausbildung des zweiten Prozesskammerelements als Füllkörper dieser möglichst starr ausgebildet werden, so dass sich ein definierter Spalt mit sehr geringer Spaltbreite realisieren lässt ohne Gefahr zu laufen dass sich die Spaltbreite im Laufe des Beschichtungsverfahrens verändert und/oder der Spalt verschließt und/oder den Durchfluss des Gases/Gasgemisches behindert oder verhindert. In this case, the second process chamber element is preferably formed from a second material different from the first material, in particular a non-elastic and / or non-deformable material. Thus, in the case of an embodiment of the second process chamber element, it can be made as rigid as possible, so that a defined gap with a very small gap width can be realized without running the risk of the gap width changing during the coating process and / or the gap closing and / or or obstructs or prevents the flow of the gas / gas mixture.
Bei einer Ausbildung des zweiten Prozesskammerelements als Füllkörper ist die dreidimensionale Struktur bevorzugt im zumindest einen Bereich der zweiten Kammerelementoberfläche als Negativ-Form der dreidimensionalen Struktur im zumindest einen Bereich der ersten Kammerelementoberfläche ausgebildet, insbesondere mit einer um einen Streckungsfaktor veränderten Größe. Auf diese Weise lässt sich vor allem bei einer Beschichtung von Reflektoren und deren Anordnung an der ersten Kammerelementoberfläche auf vorteilhafte Weise ein definierte Spalt zwischen der Reflektoroberfläche und der zweiten Kammerelementoberfläche realisieren. Der Füllkörper ist auf diese Weise besonderes gut an die Geometrie der ersten Kammerelementoberfläche und somit auch an die Geometrie daran angeordneter Reflektoren angepasst. Es entsteht somit ein mehrdimensionaler Spalt zwischen der Reflektoroberfläche und dem Füllkörper. Im Prinzip werden so der Reflektor und der Füllkörper zu einem komplexen Rohr, das mit den Prekursoren und dem Spülgas durchströmt wird. Durch die effektive Durchströmung des entstehenden Gasraums können Reaktionen der Prekursoren in der Gasphase wirkungsvoll verhindert werden. Auch werden eventuell doch erzeugte Partikel leicht im Gasstrom mitgerissen und abgesaugt, was eine Akkumulation, wie sie bei Batchreaktoren auftreten kann, effektiv verhindert. In an embodiment of the second process chamber element as a packing, the three-dimensional structure is preferably formed in at least one area of the second chamber element surface as a negative shape of the three-dimensional structure in at least one area of the first chamber element surface, in particular with a variable which has been changed by an extension factor. In this way, a defined gap between the reflector surface and the second chamber element surface can be realized in an advantageous manner, especially when coating reflectors and their arrangement on the first chamber element surface. The filler is adapted in this way particularly well to the geometry of the first chamber element surface and thus also to the geometry arranged thereon reflectors. This results in a multi-dimensional gap between the reflector surface and the filler. In principle, so the reflector and the filler to a complex tube, which flows through the precursors and the purge gas becomes. Due to the effective flow through the resulting gas space, reactions of the precursors in the gas phase can be effectively prevented. Also possibly generated particles are easily entrained in the gas stream and sucked, which effectively prevents accumulation, as can occur in batch reactors.
Bei einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist das erste Prozesskammerelement mindestens eine Eingangsöffnung und/oder Ausgangsöffnung auf, die derart in der ersten Kammerelementoberfläche mündet, dass sie vom mindestens einen Bereich der ersten Kammerelementoberfläche umschlossen ist. In a further embodiment of the invention, the first process chamber element has at least one inlet opening and / or outlet opening which opens into the first chamber element surface such that it is enclosed by the at least one area of the first chamber element surface.
Durch diese Ausbildung kann ein gezieltes Entlangströmen des Gases/Gasgemisches an der zu beschichtenden Objektoberfläche des optischen Objekts ermöglicht werden. Diese Ausbildung ist dabei besonderes bei Reflektoren als optische Elemente vorteilhaft, da diese oft mit einer derartigen Geometrie ausgebildet sind, dass sie mit der reflektierenden Seite eine Lichtquelle umschließen. In einem zentralen Bereich des Reflektors, z.B. da, wo üblicherweise die Lichtquelle angeordnet wird, oder in einem Bereich, von dem die Lichtquelle in ihrer Abstrahlungsrichtung abgewandt ist und somit nicht zu Reflexion von Licht verwendet wird, kann eine Durchgangsöffnung in den Reflektoren vorgesehen werden. Diese können also so an der ersten Kammerelementoberfläche im Bereich mit der dreidimensionalen Struktur angeordnet werden, so dass die Eingangsöffnung direkt in die Durchgangsöffnung in den Reflektoren mündet und entlang der Reflektoroberfläche entlang strömt. Eine besonders vorteilhafte definierte Strömung lässt sich dabei vor Allem in Kombination mit der Ausbildung des zweiten Prozesskammerelements als Füllkörper erreichen. So kann das Gas/Gasgemisch definiert entlang der zu beschichtenden Oberflächen geleitet werden, wodurch sich das Verfahren noch schneller ausgestalten lässt. Through this design, a targeted flow along the gas / gas mixture can be made possible on the object surface of the optical object to be coated. This design is particularly advantageous in reflectors as optical elements, since they are often formed with such a geometry that they enclose a light source with the reflective side. In a central region of the reflector, e.g. where usually the light source is arranged, or in a region from which the light source is turned away in its emission direction and thus is not used for reflection of light, a through hole may be provided in the reflectors. These can thus be arranged on the first chamber element surface in the area with the three-dimensional structure, so that the inlet opening opens directly into the passage opening in the reflectors and flows along the reflector surface. A particularly advantageous defined flow can be achieved in particular as a filler in combination with the formation of the second process chamber element. This allows the gas / gas mixture to be guided in a defined manner along the surfaces to be coated, which makes the process even faster.
Derartige Prozesskammerelemente, wie das erste und/oder das zweite Prozesskammerelement, können dabei in der Weise korrespondierend zu einem oder mehreren zu beschichtenden optischen Objekten bereitgestellt werden, indem zunächst Informationen über die geometrische Ausbildung des zumindest einen zu beschichtenden Objekts bereitgestellt werden und das erste und/oder zweite Prozesskammerelement in Abhängigkeit der bereitgestellten Informationen mit einer geometrischen Formgebung korrespondierend zur geometrischen Ausbildung des zumindest einen zu beschichtenden Objekts ausgebildet wird, z.B. so, dass zumindest ein Teil der Kammerelementoberfläche des zumindest einen ersten und/oder zweiten Prozesskammerelements als Negativ-Form, ggf. mit verändertem Streckungsfaktor, von zumindest einem Teil einer Objektoberfläche einer Seite des zumindest einen zu beschichtenden Objekts ausgebildet ist. Such process chamber elements, such as the first and / or the second process chamber element, can be provided in a manner corresponding to one or more optical objects to be coated, by first providing information about the geometric design of the at least one object to be coated and / or the first and / or. or second process chamber element is formed depending on the information provided with a geometric shape corresponding to the geometric configuration of the at least one object to be coated, for example such that at least part of the chamber element surface of the at least one first and / or second process chamber element is formed as a negative mold, possibly with a modified stretching factor, of at least part of an object surface of one side of the at least one object to be coated.
Die Informationen über die geometrische Ausbildung des zu beschichtenden Objekts können z.B. als erste Daten bereitgestellt werden, wobei aus den ersten Daten zweite Daten für die geometrische Formgebung des zumindest einen ersten Prozesskammerelements ermittelt werden und das zumindest eine erste und/oder zweite Prozesskammerelement unter Verwendung der zweiten Daten ausgebildet wird. The information about the geometric shape of the object to be coated may be e.g. are provided as the first data, wherein from the first data second data for the geometric shape of the at least one first process chamber element are determined and the at least one first and / or second process chamber element is formed using the second data.
Besonders vorteilhaft für eine derartige Ausbildung sind dabei Verfahren, wie z.B. Rapid-Prototyping, insbesondere 3D-Printing, oder auch andere Verfahren wie z.B. Spritzgussverfahren und dergleichen. Dabei kann das erste und/oder zweite Prozesskammerelement gemäß diesen Verfahren sowohl als Matrixelement als auch als Füllkörper ausgebildet werden. Particularly advantageous for such a design are methods such as e.g. Rapid prototyping, especially 3D printing, or other methods such. Injection molding and the like. In this case, the first and / or second process chamber element can be formed according to these methods both as a matrix element and as a filler.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren zum Beschichten mindestens eines zu beschichtenden optischen Objekts mittels eines chemischen Reaktionsbeschichtungsprozess wird das mindestens eine zu beschichtende optische Objekt bereitgestellt. Weiterhin wird eine Prozesskammer bereitgestellt mit einer Kammerwandung, die einen Prozessraum zumindest zum Teil einschließt, wobei die Kammerwandung zumindest ein erstes Prozesskammerelement aufweist, welches einen ersten Teil der Kammerwandung bereitstellt. Des Weiteren wird das mindestens eine zu beschichtende Objekt zumindest zum Teil in den Prozessraum eingebracht und danach der Prozessraum mit mindestens einem Prekursor und/oder einem Spülgas durchströmt. Dabei wird der mindestens eine Prekursor und/oder das Spülgas zum Durchströmen des Prozessraums durch mindestens eine Durchführöffnung in der Kammerwandung des Prozessraums durchgeführt. Dabei wird das zu beschichtende optische Objekt derart zumindest am ersten Prozesskammerelement angeordnet, dass das optische Objekt selbst einen zweiten Teil der Kammerwandung bildet. In the method according to the invention for coating at least one optical object to be coated by means of a chemical reaction coating process, the at least one optical object to be coated is provided. Furthermore, a process chamber is provided with a chamber wall which at least partially encloses a process space, wherein the chamber wall has at least a first process chamber element which provides a first part of the chamber wall. Furthermore, the at least one object to be coated is at least partially introduced into the process space and thereafter the process space flows through at least one precursor and / or one purge gas. In this case, the at least one precursor and / or the purge gas for flowing through the process space is performed by at least one passage opening in the chamber wall of the process space. In this case, the optical object to be coated is arranged at least on the first process chamber element such that the optical object itself forms a second part of the chamber wall.
Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Verfahrens wird als chemischer Reaktionsbeschichtungsprozess ein Atomlagenabscheidungsprozess durchgeführt wird, wobei beim Durchströmen des Prozessraums mit mindestens einem Prekursor und/oder einem Spülgas der Prozessraum abwechselnd und um ein vorgebbares Zeitintervall zeitlich beabstandet mit zumindest zwei verschiedenen Prekursoren durchströmt wird und weiterhin wird dabei zumindest während des vorgebbaren Zeitintervalls der Prozessraum mit einem Spülgas durchströmt. In a preferred embodiment of the method according to the invention, an atomic layer deposition process is carried out as a chemical reaction coating process, wherein the process space flows through the process space with at least one precursor and / or a purge gas alternately and spaced apart by a predeterminable time interval with at least two different precursors and continues to be In this case, at least during the predetermined time interval, the process space flows through a purge gas.
Die für die erfindungsgemäße Prozesskammer und ihre Ausgestaltungen genannten Merkmale, Merkmalskombinationen und deren Vorteile gelten in gleicher Weise, soweit anwendbar, auch für das erfindungsgemäße Verfahren und seine Ausgestaltungen. Weiterhin ermöglichen die für die erfindungsgemäße Prozesskammer und ihre Ausgestaltungen genannten gegenständlichen Merkmale die Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens durch weitere Verfahrensschritte. The features, feature combinations and their advantages mentioned for the process chamber according to the invention and its embodiments apply in the same way, as far as applicable, also for the method according to the invention and its embodiments. Furthermore, the subject features mentioned for the process chamber according to the invention and its embodiments enable the development of the method according to the invention by further method steps.
Die erfindungsgemäße Ausführung der Prozesskammer kann auch für nicht abwechselnde Gasströmungen genutzt werden. Für diesen Fall wird die Kammer für sogenannte CVD-Beschichtungen verwendet. The inventive design of the process chamber can also be used for non-alternating gas flows. In this case, the chamber is used for so-called CVD coatings.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen sowie anhand der Zeichnungen. Further advantages, features and details of the invention will become apparent from the following description of preferred embodiments and from the drawings.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen Brief description of the drawings
Im Folgenden soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Figuren zeigen: In the following, the invention will be explained in more detail with reference to exemplary embodiments. The figures show:
Bevorzugte Ausführung der Erfindung Preferred embodiment of the invention
Die Materialien des Matrixelements
Des Weiteren weist die Prozesskammer
Zur Abführung der Prekursoren
Durch diese Anordnung der Eingangsöffnungen
Darüber hinaus ist auch die Verwendung weiterer Prekursoren möglich. Z.B. kann als Zwischenschicht zwischen den einzelnen Aluminiumoxidschichten eine organische Schicht, wie beispielsweise aus Alucon vorgesehen sein. Eine derartige Schicht lässt sich mittels TMA und Ethylenglycol als Prekursoren erzeugen. Durch eine derartige Zwischenschicht, insbesondere zwischen einer Mehrzahl an Aluminiumoxidschichten, lässt sich auf vorteilhafte Weise die Flexibilität der Gesamtbeschichtung erhöhen. Insbesondere sind, je nachdem welches Schichtmaterial erzeugt werden soll, eine Vielzahl an Prekursoren aus dem Stand der Technik bekannt. In addition, the use of additional precursors is possible. For example, may be provided as an intermediate layer between the individual aluminum oxide layers, an organic layer, such as Alucon. Such a layer can be produced by means of TMA and ethylene glycol as precursors. Such an intermediate layer, in particular between a plurality of aluminum oxide layers, advantageously increases the flexibility of the overall coating. In particular, depending on which layer material is to be produced, a plurality of precursors known from the prior art.
Wie an dem Diagramm zu erkennen ist, kann ein ALD-Zyklus in z.B. 3 Sekunden durchgeführt werden, was erst durch die Erfindung ermöglicht wird. Die Zeitvorteile gegenüber dem bisher bekannten Stand der Technik sind dabei enorm. Wird beispielsweise eine erfindungsgemäße Prozesskammer als Matrix von 10 mal 10 Reflektoren aufgebaut und 100 ALD-Zyklen benötigt, um die Beschichtung der Reflektoren zu erzeugen, können die 100 Reflektoren in einer Zeit von ca. 5 Minuten beschichtet werden. Dies stellt eine um mindestens einen Faktor 60 kürzere Zeitdauer dar als im Stand der Technik möglich. As can be seen from the diagram, an ALD cycle in e.g. 3 seconds are performed, which is only possible by the invention. The time advantages over the previously known state of the art are enormous. If, for example, a process chamber according to the invention is constructed as a matrix of 10 by 10 reflectors and 100 ALD cycles are required to produce the coating of the reflectors, the 100 reflectors can be coated in a time of approximately 5 minutes. This represents a time period shorter by at least a factor of 60 than is possible in the prior art.
Ein weiterer Unterschied bei der dargestellten Ausführungsvariante ist noch, dass ein Hohlraumelement
Die hier in
Weiterhin kann die Prozesskammer
Alternativ oder zusätzlich kann es vorgesehen sein, dass die Reflektoren
Für den Fall, dass beispielweise beide Seiten der Reflektoren
Zusammenfassend wird durch die vorliegende Erfindung ein deutlich geringerer Gas- und Prekursorverbrauch bei gleichzeitig deutlich erhöhter Produktionsmenge ermöglicht. Außerdem ist durch die zuverlässigere Vermeidung von Toträumen mit einer deutlich höheren Prozesszuverlässigkeit zu rechen. In summary, the present invention enables a significantly lower gas and precursor consumption while at the same time significantly increasing the production volume. In addition, the more reliable avoidance of dead spaces results in a significantly higher process reliability.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |