DE102013210736A1 - Device for determining the position of mechanical elements - Google Patents

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    • G01B11/272Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ermitteln der Lage eines ersten mechanischen Elements (10, 110) und eines zweiten mechanischen Elements (14, 110) zueinander, mit einer ersten Messeinheit (18) zum Ansetzen an das erste mechanische Element (10, 110) und einer zweiten Messeinheit (22) zum Ansetzen an das zweite mechanische Element (14, 110) sowie einer Auswerteinheit (24) mittels Laser, Maussensor und gegebenenfalls einem Reflektor.The invention relates to a device for determining the position of a first mechanical element (10, 110) and a second mechanical element (14, 110) relative to one another, with a first measuring unit (18) for attachment to the first mechanical element (10, 110) and a second measuring unit (22) for attachment to the second mechanical element (14, 110) and an evaluation unit (24) by means of a laser, mouse sensor and optionally a reflector.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ermitteln der Lage eines ersten und eines zweiten mechanischen Elements zueinander, mit einer ersten Messeinheit zum Ansetzen an das erste mechanische Element und einer zweiten Messeinheit zum Ansetzen an das zweite mechanische Element sowie einer Auswerteeinheit.The invention relates to a device for determining the position of a first and a second mechanical element to each other, with a first measuring unit for attachment to the first mechanical element and a second measuring unit for attachment to the second mechanical element and an evaluation unit.

Eine solche Vorrichtung kann beispielsweise zum Ermitteln der Ausrichtung von zwei Wellen zueinander ausgebildet sein.Such a device can be designed, for example, to determine the alignment of two shafts with respect to one another.

Typischerweise weist bei solchen Ausrichtmessvorrichtungen mindestens einer der beiden Messeinheiten eine Lichtquelle zum Erzeugen eines Lichtstrahls auf, dessen Auftreffpunkt auf einem oder mehreren Detektoren an der anderen Messeinheit oder auf einem Detektor an der mit der Lichtquelle versehenen Messeinheit ermittelt wird, wobei im letzteren Fall die andere Messeinheit den Lichtstrahl zurückreflektiert. Typischerweise wird zum Ermitteln der Ausrichtung der Wellen zueinander die Lage des Auftreffpunkts des Lichtstrahls in mehreren Rotationswinkel-Positionen ermittelt, wozu die Messeinheiten entlang der Umfangsfläche verschoben werden oder die Wellen mit den Messeinheiten gedreht werden.Typically, in such Ausrichtmessvorrichtungen at least one of the two measuring units on a light source for generating a light beam whose impact point is determined on one or more detectors on the other measuring unit or on a detector on the measuring unit provided with the light source, in the latter case, the other measuring unit the light beam reflected back. Typically, to determine the orientation of the waves relative to one another, the position of the point of incidence of the light beam is determined in a plurality of rotational angle positions, for which purpose the measuring units are displaced along the circumferential surface or the shafts are rotated by the measuring units.

In der DE 33 20 163 A1 und der DE 39 11 307 A1 sind Wellenausrichtungs-Messvorrichtungen beschrieben, bei welchen die erste Messeinheit einen Lichtstrahl aussendet, der von einem Spiegelprisma der zweiten Messeinheit auf einen optischen Detektor der ersten Messeinheit zurückreflektiert wird.In the DE 33 20 163 A1 and the DE 39 11 307 A1 Shaft alignment measuring devices are described in which the first measuring unit emits a light beam, which is reflected back from a mirror prism of the second measuring unit to an optical detector of the first measuring unit.

In der DE 33 35 336 A1 ist eine Wellenausrichtungs-Messvorrichtung beschrieben, bei welcher sowohl die erste als auch die zweite Messeinheit jeweils einen Lichtstrahl aussenden und einen optischen Detektor aufweisen, wobei der Lichtstrahl jeweils auf den Detektor der anderen Messeinheit gerichtet wird.In the DE 33 35 336 A1 a shaft alignment measuring apparatus is described, in which both the first and the second measuring unit each emit a light beam and having an optical detector, wherein the light beam is respectively directed to the detector of the other measuring unit.

Aus der DE 38 14 466 A1 ist eine Wellenausrichtungs-Messvorrichtung bekannt, bei welcher die erste Messeinheit einen Lichtstrahl aussendet, der auf zwei in axialer Richtung hintereinander angeordnete optische Detektoren der zweiten Messeinheit fällt.From the DE 38 14 466 A1 a shaft alignment measuring device is known in which the first measuring unit emits a light beam which falls on two in the axial direction successively arranged optical detectors of the second measuring unit.

Aus der WO 03/067187 A1 ist eine Wellenausrichtungs-Messvorrichtung bekannt, bei welcher die erste Messeinheit einen fächerförmigen Strahl aussendet, der auf zwei in axialer Richtung hintereinander angeordnete optische Detektoren der zweiten Messeinheit fällt.From the WO 03/067187 A1 a shaft alignment measuring device is known in which the first measuring unit emits a fan-shaped beam which falls on two in the axial direction successively arranged optical detectors of the second measuring unit.

Aus der WO 00/28275 A1 ist eine Wellenausrichtungs-Messvorrichtung bekannt, bei welcher zwei Messeinheiten an jeweils eine Stirnseite der beiden Wellen angebracht werden, wobei die erste Messeinheit einen fächerförmigen Lichtstrahl aussendet, der drei in einer Ebene der zweiten Messvorrichtung angeordnete Markierungsstifte seitlich trifft.From the WO 00/28275 A1 a shaft alignment measuring device is known, in which two measuring units are attached to one end face of the two shafts, wherein the first measuring unit emits a fan-shaped light beam, the three arranged in a plane of the second measuring device marking pins laterally hits.

In der EP 0 962 746 A2 ist eine Wellenausrichtungs-Messvorrichtung beschrieben, bei welcher die erste Einheit eine Quelle für einen Lichtstrahl in einer ersten Farbe, einen Strahlteiler sowie einen farbempfindlichen CCD-Detektor aufweist und die zweite Einheit eine Quelle für einen Lichtstrahl in einer zweiten Farbe sowie einen Farbteiler (farbselektiver Strahlteiler) enthält, welcher die erste Farbe reflektiert und die zweite Farbe transmittiert, wobei die Lichtquelle der zweiten Einheit von der ersten Einheit aus gesehen hinter dem Farbteiler angeordnet ist und die Lichtquelle der ersten Einheit von der zweiten Einheit aus gesehen hinter dem Strahlteiler angeordnet ist.In the EP 0 962 746 A2 a shaft alignment measuring apparatus is described, wherein the first unit comprises a source of a light beam in a first color, a beam splitter and a color-sensitive CCD detector and the second unit comprises a source of a light beam in a second color and a color splitter (color-selective beam splitter ) which reflects the first color and transmits the second color, the light source of the second unit being disposed behind the color divider as viewed from the first unit and the light source of the first unit being disposed behind the beam splitter, as viewed from the second unit.

Als gemeinsames Merkmal der bisher gewürdigten Wellenausrichtungs-Messvorrichtungen ist festzustellen, dass jeweils der Auftreffpunkt eines Lichtstrahls auf einer Detektorfläche ermittelt und ausgewertet wird.As a common feature of the shaft alignment measuring devices appreciated so far, it should be noted that in each case the point of impact of a light beam on a detector surface is determined and evaluated.

Aus der DE 40 41 723 A1 ist eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines Messpunkts relativ zu einem Bezugspunkt zur Steuerung oder Kontrolle des Vortriebs einer Bohrung bekannt, welche mehrere Messstationen aufweist, die in der Bohrung bzw. am Bohrkopf angeordnet sind und jeweils eine Kamera mit einer Markierung aufweisen, wobei jede Kamera die Markierung der benachbarten Kamera bzw. Messstation aufnimmt.From the DE 40 41 723 A1 a device is known for determining the position of a measuring point relative to a reference point for controlling or advancing the drilling of a bore, which has a plurality of measuring stations which are arranged in the bore or on the drill head and each have a camera with a marking, each camera marks the adjacent camera or measuring station.

Aus der WO 2010/042039 A1 ist eine Wellenausrichtungsmessvorrichtung bekannt, bei welcher jede der beiden Messeinheiten mit einer in einem Gehäuse angeordneten Kamera versehen ist, wobei die der anderen Einheit zugewandte Gehäuseseite mit einem optischen Muster versehen ist, welches von der gegenüberliegende Kamera aufgenommen wird. Die mit dem Muster versehene Gehäuseseite ist dabei jeweils mit einer Öffnung versehen, durch welche das gegenüberliegende Muster abgebildet wird. Bei einer alternativen Ausführung ist eine der beiden Einheiten nur mit einer Kamera, nicht aber mit einem Muster versehen, während die andere Einheit keine Kamera aufweist, jedoch mit einem dreidimensionalen Muster versehen ist.From the WO 2010/042039 A1 For example, a shaft alignment measuring apparatus is known, in which each of the two measuring units is provided with a camera arranged in a housing, wherein the housing side facing the other unit is provided with an optical pattern which is picked up by the opposite camera. The patterned housing side is in each case provided with an opening through which the opposite pattern is imaged. In an alternative embodiment, one of the two units is provided with only one camera, but not with a pattern, while the other unit has no camera but is provided with a three-dimensional pattern.

Ferner kann eine Vorrichtung der eingangs genannten Art statt zum Wellenausrichten für die Ermittlung der Geradheit bzw. Ebenheit eines Objekts, z. B. einer Schiene oder einer Bodenfläche verwendet werden. Gemäß einer weiteren Alternative kann eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zur Vermessung der Lage von Körpern bezüglich einer Referenzachse verwendet werden, z. B. zur Vermessung von zylindrischen Hohlkörpern bezüglich einer zentralen Symmetrie-Achse, wie sie beispielsweise in der EP 0 543 971 B1 beschrieben ist.Furthermore, can a device of the type mentioned instead of the shaft alignment for the determination of the straightness or flatness of an object, for. B. a rail or a floor surface can be used. According to a further alternative, a device of the type mentioned above for measuring the position of bodies with respect to a reference axis can be used, for. B. for the measurement of cylindrical hollow bodies with respect to a central axis of symmetry, as for example in the EP 0 543 971 B1 is described.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zum Ermitteln der Lage von zwei mechanischen Elementen zueinander zu schaffen, die besonders einfach und kostengünstig ausgebildet ist.It is an object of the present invention to provide a device for determining the position of two mechanical elements to each other, which is particularly simple and inexpensive.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1.This object is achieved by a device according to claim 1.

Bei der erfindungsgemäßen Lösung ist vorteilhaft, dass dadurch, dass die Auswertungseinheit ausgebildet ist, um aus einem Vergleich von mindestens einem von dem Detektor aufgenommenen Bild mit der Soll-Helligkeitsverteilung des Strahlenbündels die Position des Detektors bezüglich des Strahlenbündels zu erfassen, wenn der Detektor nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des Strahlenbündels an der Position des Detektors beleuchtet wird, um daraus die Lage der beiden Messeinheiten zueinander zu erfassen, ein relativ kleiner Detektor mit einer relativ geringen Zahl von Pixeln verwendet werden kann, wodurch die Detektorkosten reduziert werden können und aufgrund der relativ geringen Pixelanzahl auch die Auswertung vereinfacht werden kann.In the case of the solution according to the invention, it is advantageous that the evaluation unit is designed to detect the position of the detector relative to the beam bundle from a comparison of at least one image recorded by the detector with the desired brightness distribution of the beam bundle, if the detector only uses a portion of the cross-sectional area of the beam is illuminated at the position of the detector to detect the position of the two measuring units to each other, a relatively small detector with a relatively small number of pixels can be used, whereby the detector costs can be reduced and due to the relative small number of pixels, the evaluation can be simplified.

Beispielsweise können dadurch Bildsensoren als Detektor verwendet werden, wie sie bei optischen Computermäusen verwendet werden und entsprechend kostengünstig verfügbar sind.For example, this makes it possible to use image sensors as detectors, as used in optical computer mice, and to be available at relatively low cost.

Vorzugsweise ist die Vorrichtung zum Ermitteln der Ausrichtung von Wellen zueinander ausgebildet, wobei die erste Messeinheit zum Ansetzen an eine Umfangsfläche der ersten Welle und die zweite Messeinheit zum Ansetzen an eine Umfangsfläche der zweiten Welle ausgebildet ist. Die Vorrichtung kann alternativ jedoch auch zum Ermitteln der Geradheit eines Körpers ausgebildet sein, wobei es sich bei dem ersten und zweiten mechanischen Element dann um Teile eines gemeinsamen Körpers handelt. Gemäß einer weiteren Alternative kann die Vorrichtung zum Ermitteln der Lage eines Körpers bezüglich einer Referenzachse ausgebildet sein; z. B. zur Ermittlung der Lage der Krümmungsmittelachse eines kreiszylindrischen Hohlkörpers bezüglich einer durch die Mittelachse eines anderen Körpers vorgegeben Referenzachse (solche Vermessungen sind beispielsweise bei der Montage von Turbinen erforderlich).Preferably, the device for determining the alignment of shafts to each other is formed, wherein the first measuring unit is designed for attachment to a peripheral surface of the first shaft and the second measuring unit for attachment to a peripheral surface of the second shaft. However, the device may alternatively be designed to determine the straightness of a body, wherein the first and second mechanical elements are then parts of a common body. According to a further alternative, the device may be designed to determine the position of a body relative to a reference axis; z. B. for determining the position of the center axis of curvature of a circular cylindrical hollow body with respect to a predetermined by the central axis of another body reference axis (such surveys are required for example in the assembly of turbines).

Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.Preferred embodiments of the invention will become apparent from the dependent claims.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung beispielhaft näher erläutert. Dabei zeigen:In the following the invention will be described by way of example with reference to the accompanying drawings. Showing:

1 eine schematische seitliche Ansicht eines ersten Beispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 1 a schematic side view of a first example of a device according to the invention;

2 eine Ansicht wie 1, wobei ein abgewandeltes Beispiel dargestellt ist; 2 a view like 1 showing a modified example;

3 eine Ansicht wie 1, wobei ein weiteres abgewandeltes Beispiel dargestellt ist; 3 a view like 1 showing another modified example;

4 eine Ansicht wie 1, wobei eine Abwandlung des Beispiels von 1 dargestellt ist; 4 a view like 1 , wherein a modification of the example of 1 is shown;

5 eine Ansicht wie 2, wobei eine Abwandlung des Beispiels von 2 dargestellt ist; 5 a view like 2 , wherein a modification of the example of 2 is shown;

6 ein Beispiel eine Helligkeitsverteilung eines von einer erfindungsgemäßen Vorrichtung erzeugten Strahlenbündels in kurzem Abstand von der Lichtquelle (oben) und in größerem Abstand von der Lichtquelle (unten); 6 an example of a brightness distribution of a radiation beam generated by a device according to the invention at a short distance from the light source (above) and at a greater distance from the light source (bottom);

7 ein anderes Beispiel für eine Helligkeitsverteilung eines von einer erfindungsgemäßen Vorrichtung erzeugten Strahlenbündels; 7 another example of a brightness distribution of a radiation beam generated by a device according to the invention;

8 ein weiteres Beispiel für die Helligkeitsverteilung eines von einer erfindungsgemäßen Vorrichtung erzeugten Strahlenbündels; 8th a further example of the brightness distribution of a radiation beam generated by a device according to the invention;

9 eine schematische Ansicht eines aus mehreren Einzelbildern des Detektors einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zusammengesetzten Gesamtbilds; 9 a schematic view of a composite of several individual images of the detector of a device according to the invention overall image;

10 ein Beispiel für einen Detektor einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer vorgeschalteten Optik zum Anpassen der scheinbaren Größe des Detektors; und 10 an example of a detector of a device according to the invention with an upstream optics for adjusting the apparent size of the detector; and

11 eine Ansicht wie 1, wobei jedoch eine Anwendung der Messeinheiten von 1 für eine Geradheitsmessung statt für eine Wellenausrichtung gezeigt ist. 11 a view like 1 However, an application of the measuring units of 1 is shown for a straightness measurement instead of a shaft alignment.

In 1 ist ein erstes Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Ermittlung der Ausrichtung einer ersten Welle 10 einer Maschine 12 und einer zweiten Welle 14 einer Maschine 16 zueinander gezeigt. Die Vorrichtung umfasst eine erste Messeinheit 18, die ein Element 20 zum Ansetzen an eine Umfangsfläche der ersten Welle 10 aufweist, sowie eine zweite Messeinheit 22, die ein Element 20 zum Ansetzen an eine Umfangsfläche der zweiten Welle 14 aufweist. Ferner umfasst die Vorrichtung eine Auswerteeinheit 24, die im Beispiel von 1 als Teil der zweiten Messeinheit 22 dargestellt ist, jedoch auch als Teil eines externen Geräts implementiert sein könnte. Die beiden Wellen 10 und 14 sind möglichst fluchtend hintereinander bezüglich einer Referenz-Achse 26 angeordnet, wobei die Vorrichtung mit den beiden Messeinheiten 18, 22 dazu dient, einen eventuellen Winkelversatz und/oder Parallelversatz bezüglich der Referenz-Achse 26 bzw. relativ zueinander zu bestimmen. Die Vorrichtung umfasst typischerweise auch Mittel zum Anzeigen des Ergebnisses bzgl. Winkelversatz bzw. Parallelversatz (in den Figuren nicht dargestellt).In 1 is a first example of a device according to the invention for determining the orientation of a first wave 10 a machine 12 and a second wave 14 a machine 16 shown to each other. The device comprises a first measuring unit 18 that is an element 20 for attachment to a peripheral surface of the first shaft 10 and a second measuring unit 22 that is an element 20 for attachment to a peripheral surface of the second shaft 14 having. Furthermore, the device comprises an evaluation unit 24 that in the example of 1 when Part of the second measuring unit 22 but could also be implemented as part of an external device. The two waves 10 and 14 are as aligned as possible with respect to a reference axis 26 arranged, the device with the two measuring units 18 . 22 serves to a possible angular offset and / or parallel offset with respect to the reference axis 26 or relative to each other to determine. The device also typically includes means for displaying the result of angular misalignment (not shown in the figures).

Im Beispiel von 1 ist die erste Messeinheit 18 mit Mitteln zum Erzeugen eines divergenten Strahlenbündels 28 mit einer vorgegebenen Sollhelligkeitsverteilung versehen, die eine Lichtquelle 30 und ein optische Anordnung 32 aufweisen, wobei das Licht der Lichtquelle 30 auf und durch die optische Anordnung 32 fällt. Bei der Lichtquelle 30 kann es sich um eine Laserdiode, beispielsweise eine Multimode-Laserdiode, Multibeam-Laserdiode oder eine VCSEL-Laserdiode, oder um eine LED handeln. Die optische Anordnung 32 kann ein lichtbrechendes Element zur Erzeugung eines Brechungsmusters, ein lichtbeugendes Element zur Erzeugung eines Beugungsmusters und/oder einen Graufilter zur Erzeugung eines Absorptionsmusters aufweisen. Insbesondere kann die Anordnung 32 ein sogenanntes diffraktives optisches Element aufweisen. Bei der Helligkeitsverteilung des divergenten Strahlenbündels 28 kann es sich beispielsweise um ein Gaußprofil, wie in 6 veranschaulicht, oder ein ringförmiges Profil, wie in 7 veranschaulicht („donut mode”), handeln. Ein Beispiel für eine gaußförmige Helligkeitsverteilung der einzelnen Strahlenbündel-Querschnitte 38' bei Verwendung einer Multibeam-Laserdiode ist in 8 gezeigt.In the example of 1 is the first measuring unit 18 with means for generating a divergent beam 28 provided with a predetermined Sollbelligkeitsverteilung, which is a light source 30 and an optical arrangement 32 have, wherein the light of the light source 30 on and through the optical arrangement 32 falls. At the light source 30 it can be a laser diode, for example a multimode laser diode, multibeam laser diode or a VCSEL laser diode, or an LED. The optical arrangement 32 may comprise a refractive element for generating a refractive pattern, a diffractive element for generating a diffraction pattern and / or a gray filter for producing an absorption pattern. In particular, the arrangement 32 have a so-called diffractive optical element. In the brightness distribution of the divergent beam 28 For example, it may be a Gaussian profile, as in 6 illustrated, or an annular profile, as in 7 illustrates ("donut mode") act. An example of a Gaussian brightness distribution of the individual beam cross sections 38 ' when using a multibeam laser diode is in 8th shown.

Im Beispiel von 1 weist die zweite Messeinheit 22 einen Detektor 34 auf, der als zweiachsiger optischer Detektor ausgebildet ist und so dimensioniert ist, dass er beim typischen Einsatz der beiden Messeinheiten 18, 22 nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des Strahlenbündels 28 an der Position des Detektors 34 beleuchtet wird. Vorzugsweise wird der Detektor 34, bei der laut Spezifikation maximalen Distanz zwischen den Messeinheiten 18, 22, mit weniger als 50% der Querschnittsfläche des Strahlenbündels an der Position des Detektors 34 beleuchtet. Aufgrund der Divergenz des Strahlenbündels 28 hängt dabei der Grad der seitlichen Überstrahlung des Detektors vom Abstand der beiden Messeinheiten 18, 22 ab, wobei bei geringerem Abstand die Überstrahlung weniger stark ausgeprägt ist, d. h. bei geringeren Abständen wird der Detektor 34 mit einem größeren Anteil der Strahlenbündel-Querschnittsfläche beleuchtet als bei größerem Abstand (dies ist in 6 beispielhaft veranschaulicht, wobei die einzelnen Bilder mit 36 und die Strahlenbündel-Querschnittsfläche mit 38 bezeichnet sind; im rechten oberen Teil von 6 ist ein geringerer und im unteren Teil ein größerer Abstand der Messeinheiten 18, 22 mit entsprechend der Strahldivergenz größerem Strahlquerschnitt 38 veranschaulicht; oben links ist in 6 eine verkleinerte Darstellung des unteren Teils von 6 gezeigt, worin die Verschiebung in x-Richtung und in y-Richtung zwischen zwei Detektorpositionen 36, 36' gezeigt ist). Die Divergenz des Strahlenbündels beträgt vorzugsweise mindestens 1 Grad.In the example of 1 indicates the second measuring unit 22 a detector 34 on, which is designed as a biaxial optical detector and is dimensioned so that it is the typical use of the two measuring units 18 . 22 only with a part of the cross-sectional area of the beam 28 at the position of the detector 34 is illuminated. Preferably, the detector becomes 34 , according to specification maximum distance between the measuring units 18 . 22 , with less than 50% of the cross-sectional area of the beam at the position of the detector 34 illuminated. Due to the divergence of the beam 28 The degree of lateral over-radiation of the detector depends on the distance between the two measuring units 18 . 22 from, at a shorter distance the over-radiation is less pronounced, ie at smaller distances, the detector 34 illuminated with a larger proportion of the beam cross-sectional area than at a greater distance (this is in 6 exemplified, wherein the individual images with 36 and the beam cross-sectional area with 38 are designated; in the upper right part of 6 is a lesser and in the lower part a greater distance of the measuring units 18 . 22 with according to the beam divergence larger beam cross section 38 illustrated; top left is in 6 a reduced representation of the lower part of 6 in which the displacement in the x-direction and in the y-direction between two detector positions 36 . 36 ' is shown). The divergence of the beam is preferably at least 1 degree.

Vorzugsweise weist der Detektor 34 entlang jeder der beiden Achsen zwischen 16 und 64 Pixel auf, wobei die Pixel vorzugsweise eine Größe von 20 bis 80 μm haben. Beispielsweise kann es sich bei dem Detektor 34 um einen Bildsensor handeln, wie er bei optischen Computermäusen verwendet wird; solche Sensoren sind besonders kostengünstig erhältlich. Ein geeigneter Sensor ist beispielsweise unter der Typenbezeichnung ADNS3080 von der Firma Avago Technologies erhältlich. Wenn der Sensor beispielsweise 30×30 Pixel bei einer Pixelgröße von 60 μm aufweist, ergibt sich eine Sensorabmessung von etwa 2×2 mm.Preferably, the detector has 34 along each of the two axes between 16 and 64 pixels, the pixels preferably having a size of 20 to 80 μm. For example, the detector may be 34 to act on an image sensor, as used in optical computer mice; Such sensors are available at particularly low cost. A suitable sensor is available, for example, under the type designation ADNS3080 from Avago Technologies. By way of example, if the sensor has 30 × 30 pixels with a pixel size of 60 μm, the result is a sensor dimension of approximately 2 × 2 mm.

Der Detektor 34 dient dazu, eine Abfolge von Bildern aufzunehmen, welche der Auswerteeinheit 24 zugeführt werden. Beispielsweise kann der Detektor 34 ausgebildet sein, um pro Sekunde mehrere 1000 Bilder aufzunehmen.The detector 34 serves to record a sequence of images which the evaluation unit 24 be supplied. For example, the detector 34 be formed to take several 1000 images per second.

Die Auswerteeinheit 24 ist ausgebildet, um aus einem Vergleich der von dem Detektor 34 aufgenommenen Bilder mit der Soll-Helligkeitsverteilung des Strahlenbündels 28 die jeweilige Position des Detektors 34 bezüglich des Strahlenbündels 28 bei der Aufnahme des Bilds zu erfassen. Daraus kann dann die Lage der beiden Messeinheiten 18, 22 relativ zueinander erfasst werden. Dies ist beispielhaft in den 6 und 7 veranschaulicht, wo eine Abfolge von Bildpositionen 36 innerhalb der Helligkeitsverteilung bzw. Querschnittsfläche 38 des Strahlenbündels 28 gezeigt ist.The evaluation unit 24 is designed to be compared to that of the detector 34 taken pictures with the desired brightness distribution of the beam 28 the respective position of the detector 34 with respect to the beam 28 when capturing the image. This can then be the location of the two measuring units 18 . 22 be detected relative to each other. This is exemplary in the 6 and 7 illustrates where a sequence of image positions 36 within the brightness distribution or cross-sectional area 38 of the beam 28 is shown.

Die Position des jeweiligen vom Detektor aufgenommenen Bilds bezüglich des Strahlenbündels 28 wird vorzugsweise dadurch ermittelt, dass die Korrelation zwischen dem Bild und der Soll-Helligkeitsverteilung des Strahlenbündels 28 ermittelt bzw. maximiert wird, d. h. das jeweilige Bild wird solange bezüglich der Soll-Helligkeitsverteilung verschoben, bis die Korrelation maximal wird. Bei der Auswertung können Fourier- oder Laplace-Transformationen verwendet werden. Grundsätzlich kann bei der Auswertung der Bilder auch eine Datenreduktion mittels (Merkmals-)Vektorbildung und/oder Momentenbildung erfolgen. Insbesondere kann die Spurverfolgung, d. h. die Verfolgung der Lageverschiebung von einem Bild zum nächsten, durch Bildung von Verschiebungsvektoren erfolgen. Eine Verbesserung der Genauigkeit der Positionsermittlung kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass mehrere von Detektor aufgenommene Bilder zu einem Gesamtbild zusammengesetzt werden (ein solches zusammengesetztes Bild ist in 9 bei 36' veranschaulicht), welches mit der Soll-Helligkeitsverteilung verglichen wird, um die Position der einzelnen Bilder – und damit die Position des Detektors 34 bei der Aufnahme des jeweiligen Bilds – bezüglich des Strahlenbündels 28 zu ermitteln. Die Ermittlung eines Gesamtbilds aus kleineren Einzelaufnahmen ist in der digitalen Fotografie unter dem Begriff ”Stitching” bekannt.The position of the respective image taken by the detector with respect to the beam 28 is preferably determined by the correlation between the image and the desired brightness distribution of the beam 28 is determined or maximized, that is, the respective image is shifted with respect to the target brightness distribution until the correlation becomes maximum. Fourier or Laplace transforms can be used in the evaluation. Basically, in the evaluation of the images, a data reduction by means of (feature) vector formation and / or torque formation can take place. In particular, the tracking, ie the tracking of the positional shift from one image to the next, by formation of Displacement vectors take place. An improvement in the accuracy of the position determination can be effected, for example, by combining a plurality of images recorded by the detector into an overall image (such a composite image is shown in FIG 9 at 36 ' illustrated), which is compared with the desired brightness distribution to the position of the individual images - and thus the position of the detector 34 when taking the respective image - with respect to the beam 28 to investigate. The determination of an overall picture from smaller single shots is known in digital photography as "stitching".

Aus dem Vergleich der Größe einer Struktur in einem Bild mit der Größe der entsprechenden Struktur in der Soll-Helligkeitsverteilung kann der Abstand zwischen der ersten Messeinheit 18 und der zweiten Messeinheit 22 abgeschätzt werden. Aus der Winkellage einer Struktur in dem Bild im Vergleich zur Winkellage entsprechenden Struktur in der Sollhelligkeitsverteilung kann die Verdrehung zwischen der ersten Messeinheit 18 und der zweiten Messeinheit 22 abgeschätzt werden (d. h. die Verdrehung um die longitudinale Achse des Strahlenbündels 28).From the comparison of the size of a structure in an image with the size of the corresponding structure in the target brightness distribution, the distance between the first measuring unit 18 and the second measuring unit 22 be estimated. From the angular position of a structure in the image compared to the angular position corresponding structure in the Sollbelligkeitsverteilung can the rotation between the first measuring unit 18 and the second measuring unit 22 be estimated (ie the rotation about the longitudinal axis of the beam 28 ).

Ferner kann bei der Auswertung der vom Detektor 34 aufgenommenen Bilder 36 eine Reihe der von dem Detektor aufgenommenen Bilder gebildet werden, die dann einer Autokorrelationsanalyse unterzogen wird (d. h. die Reihe der Bilder bildet sozusagen das Signal, welches einer Autokorrelationsanalyse unterzogen wird).Furthermore, in the evaluation of the detector 34 taken pictures 36 a series of the images taken by the detector are formed, which is then subjected to an autocorrelation analysis (ie the series of images forms the signal which is subjected to an autocorrelation analysis, so to speak).

Ferner kann bei der Auswertung der Bilder eine Fehlerausgleichsrechnung durchgeführt werden. So ist es typischerweise bekannt, entlang welcher Positionskurve sich die Bilder im Laufe der Messung verlagern sollten, wobei das gewünschte Messergebnis als Parameter der Verlagerungskurve dargestellt werden kann. Beispielsweise ergibt sich bei der Messung der Wellenausrichtung gemäß 1 eine Ellipse, entlang welcher sich die Position des Detektors 34 bezüglich des Strahlenbündels 28 verlagern sollte, wenn die beiden Messeinheiten 18, 22 im Umschlagverfahren entlang der Umfangsfläche der Wellen 10, 14 um die Achse 26 gedreht werden, wobei die Wellenfehlausrichtung durch die Form der Ellipse wiedergespiegelt wird. Durch Fehlerausgleichsrechnung bezüglich der erwarteten Verlagerungskurve können dann die entsprechenden Kurvenparameter aus den Messdaten ermittelt werden. Ein solches Verfahren ist beispielsweise in der DE 39 11 307 A1 beschrieben. Die Fehlerausgleichsrechnung kann beispielsweise durch Minimieren der Fehlerquadrate erfolgen.Furthermore, an error compensation calculation can be carried out during the evaluation of the images. Thus, it is typically known along which position curve the images should shift in the course of the measurement, wherein the desired measurement result can be represented as a parameter of the displacement curve. For example, results in the measurement of the shaft alignment according to 1 an ellipse along which the position of the detector 34 with respect to the beam 28 Should shift if the two measurement units 18 . 22 in the Umschlagverfahren along the peripheral surface of the waves 10 . 14 around the axis 26 are rotated, the wave misalignment being reflected by the shape of the ellipse. By error compensation calculation with respect to the expected displacement curve then the corresponding curve parameters can be determined from the measured data. Such a method is for example in the DE 39 11 307 A1 described. The error compensation calculation can be done for example by minimizing the error squares.

Die Auswertung der Bilder kann beispielsweise dadurch vereinfacht werden, dass dem Detektor 34 ein optischer Filter, beispielsweise ein Graufilter vorgeschaltet wird (ein solcher Filter ist in 1 mit 40 angedeutet). Dadurch kann beispielsweise eine Multiplikation bei der Gewichtung der Bildpunkte ersetzt bzw. eingespart werden.The evaluation of the images can for example be simplified by the fact that the detector 34 an optical filter, for example a gray filter is connected upstream (such a filter is in 1 With 40 indicated). As a result, for example, a multiplication in the weighting of the pixels can be replaced or saved.

Die Auswertung der Bilder kann auch so gestaltet sein, dass die von der Auswerteeinheit 24 benötigten Rechenleistungen, Programme und/oder Daten in einer sogenannten Cloud, d. h. auf einem externen Internetserver, bereitgestellt werden, vorzugsweise kostenpflichtig.The evaluation of the images can also be designed in such a way that those of the evaluation unit 24 required computing services, programs and / or data in a so-called cloud, ie provided on an external Internet server, preferably with costs.

Wie in 10 schematisch dargestellt ist, kann an dem Detektor eine sphärische oder zylindrische Optik vorgesehen sein, die dem Detektor 34 vorgeschaltet ist, um die scheinbare Größe des Detektors bezüglich des Strahlenbündels 28, d. h. die Abmessungen der Helligkeitsverteilung des Strahlenbündels 28 an der Stelle des Detektors 34, anzupassen. Die Optik 42 wirkt dabei als eine Art Lupe. Die scheinbare Größe des Detektors 34 ist in 10 mit 34' angedeutet. Dabei bildet die Optik 42 einen Teil derjenigen Messeinheit 18, 22, welche den Detektor 34 aufweist (im Beispiel von 1 ist dies die zweite Messeinheit 22).As in 10 is shown schematically, may be provided on the detector, a spherical or cylindrical optics, the detector 34 is preceded by the apparent size of the detector with respect to the beam 28 , ie the dimensions of the brightness distribution of the beam 28 at the location of the detector 34 to adapt. The optics 42 acts as a kind of magnifying glass. The apparent size of the detector 34 is in 10 With 34 ' indicated. This forms the optics 42 a part of that measuring unit 18 . 22 which the detector 34 has (in the example of 1 this is the second measuring unit 22 ).

Im Beispiel von 1 bildet der Detektor 34 einen Teil der zweiten Messeinheit 22, wobei das Strahlenbündel 28 ohne Zwischenschaltung eines strahlablenkenden Elements direkt auf den Detektor 34 fällt, allerdings gegebenenfalls unter Vorschaltung von Elementen wie dem Graufilter 40 und der Optik 42. Eine Abwandlung des Prinzips von 2 ist in 4 gezeigt, wo die zweite Messeinheit 22 zusätzlich mit einer zweiten Lichtquelle 130 und einer zweiten optischen Anordnung 132 zum Erzeugen eines zweiten Strahlenbündels 128 versehen ist, welches auf die erste Messeinheit 18 gerichtet ist, die zusätzlich mit einem zweiten Detektor 134 in der Art des Detektors 34 versehen ist. Der zweite Detektor 134 dient dazu, die Position des zweiten Detektors 134 anhand der von dem zweiten Detektor 134 aufgenommenen Bilder bezüglich der Soll-Helligkeitsverteilung des zweiten Strahlenbündels 128 zu ermitteln. Zu diesem Zweck werden die von dem zweiten Detektor 134 gewonnenen Bilddaten zusammen mit denjenigen des (ersten) Detektors 34 der Auswerteeinheit 24 zugeführt. Das zweite Strahlenbündel 128 ist dabei vorzugsweise in analoger Weise wie das erste Strahlenbündel 28 ausgebildet, wobei der zweite Detektor 134 in ähnlicher Weise wie der erste Detektor 34 überstrahlt wird, d. h. der zweite Detektor 134 wird nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des zweiten Strahlenbündels 128 an der Position des zweiten Detektors 134 beleuchtet.In the example of 1 forms the detector 34 a part of the second measuring unit 22 , where the ray bundle 28 without the interposition of a beam deflecting element directly on the detector 34 falls, but possibly with upstream of elements such as the gray filter 40 and the optics 42 , A modification of the principle of 2 is in 4 shown where the second measuring unit 22 additionally with a second light source 130 and a second optical arrangement 132 for generating a second beam 128 which is on the first measuring unit 18 is directed, in addition to a second detector 134 in the manner of the detector 34 is provided. The second detector 134 serves to the position of the second detector 134 on the basis of the second detector 134 recorded images with respect to the desired brightness distribution of the second beam 128 to investigate. For this purpose, those of the second detector 134 obtained image data together with those of the (first) detector 34 the evaluation unit 24 fed. The second beam 128 is preferably in an analogous manner as the first beam 28 formed, wherein the second detector 134 in a similar way to the first detector 34 is outshone, ie the second detector 134 is only with a part of the cross-sectional area of the second beam 128 at the position of the second detector 134 illuminated.

Durch das Vorsehen eines zweiten Strahlenbündels 128 und eines zweiten Detektors 134 können entsprechend zusätzliche Freiheitsgrade bei der Orientierung der beiden Messeinheiten 18, 22 relativ zueinander bestimmt werden. Ferner kann dadurch auch die Genauigkeit erhöht werden kann, z. B. bei der Bestimmung des Abstands zwischen den beiden Messeinheiten 18, 22.By the provision of a second beam 128 and a second detector 134 Accordingly, additional degrees of freedom in the orientation of the two measuring units 18 . 22 be determined relative to each other. Furthermore, it can also the accuracy can be increased, z. B. in the determination of the distance between the two measuring units 18 . 22 ,

Eine andere Abwandlung des Beispiels von 1 ist in 2 gezeigt, wobei der Detektor 34 statt in der zweiten Messeinheit 22 zusammen mit der Lichtquelle 30 und der optischen Anordnung 32 in der ersten Messeinheit 18 angeordnet ist. Die zweite Messeinheit 22 ist in diesem Fall mit einem Strahlumlenkelement 44 versehen, welches das von der Lichtquelle 30 und der optischen Anordnung 32 erzeugte Lichtbündel 28 auf die erste Messeinheit 18 bzw. dem dort angeordneten Detektor 34 richtet. Das Strahlumlenkelement 44 kann beispielsweise als Spiegel, als Dachkantprisma oder als Trippelprisma ausgebildet sein. Bei dem in 2 gezeigten Beispiel fällt das vom Strahlumlenkelement 44 umgelenkte Strahlenbündel ohne Zwischenschaltung eines Strahlteilers direkt auf den Detektor 34 (dem allerdings wie in 1 bestimmte Elemente vorgeschaltet sein können), wobei der Detektor 34 exzentrisch bezüglich der Lichtquelle 30 bzw. der optischen Anordnung 32 angeordnet ist.Another variation of the example of 1 is in 2 shown, the detector 34 instead of the second measuring unit 22 together with the light source 30 and the optical arrangement 32 in the first measuring unit 18 is arranged. The second measuring unit 22 is in this case with a Strahlumlenkelement 44 provided by the light source 30 and the optical arrangement 32 generated light bundles 28 on the first measuring unit 18 or the detector arranged there 34 directed. The beam deflection element 44 For example, it can be designed as a mirror, as a roof prism or as a triple prism. At the in 2 example shown that falls from the Strahlumlenkelement 44 deflected beams without the interposition of a beam splitter directly to the detector 34 (which, however, like in 1 certain elements can be arranged upstream), wherein the detector 34 eccentric with respect to the light source 30 or the optical arrangement 32 is arranged.

In 3 ist eine Abwandlung des Beispiels von 22 gezeigt, wobei ein Strahlteiler 46 im Bereich des Strahlenbündels 28 vorgesehen ist, um das vom Strahlumlenkelement 44 umgelenkte Strahlenbündel 28 auf dem Detektor 34 abzulenken.In 3 is a modification of the example of 22 shown, with a beam splitter 46 in the area of the beam 28 is provided to that of the Strahlumlenkelement 44 deflected beams 28 on the detector 34 distract.

In 5 ist eine Abwandlung des Beispiels von 2 gezeigt, bei welchem ähnlich wie in 4 eine zweite Lichtquelle 130, eine zweite optische Anordnung 132 zur Erzeugung eines zweiten Strahlenbündels 128 sowie ein zweiter Detektor 134 vorgesehen sind. Dabei sind beide Lichtquellen 30, 130, beide optische Anordnungen 32, 132 und beide Detektoren 34, 134 als Teil der ersten Messeinheit 18 ausgebildet, während die zweite Messeinheit 22 zusätzlich zu dem Umlenkelement 44 zum Umlenken des (ersten) Strahlenbündels 28 ein zweites Umlenkelement 144 zum Umlenken des zweiten Strahlenbündels 128 auf den zweiten Detektor 134 aufweist. Das zweite Strahlenbündel 128 und die entsprechende Anordnung der zugehörigen Komponenten 130, 132, 134 und 144 ist dabei um 90° um die Längsachse 26 bezüglich der entsprechenden Anordnung des ersten Strahlenbündels 28 gedreht.In 5 is a modification of the example of 2 shown in which similar as in 4 a second light source 130 , a second optical arrangement 132 for generating a second beam 128 and a second detector 134 are provided. Both are light sources 30 . 130 , both optical arrangements 32 . 132 and both detectors 34 . 134 as part of the first measuring unit 18 formed while the second measuring unit 22 in addition to the deflecting element 44 for redirecting the (first) beam 28 a second deflecting element 144 for deflecting the second beam 128 to the second detector 134 having. The second beam 128 and the corresponding arrangement of the associated components 130 . 132 . 134 and 144 is at 90 ° about the longitudinal axis 26 with respect to the corresponding arrangement of the first beam 28 turned.

Es versteht sich, dass nicht nur die Anordnung gemäß 2 sondern auch die Anordnung gemäß 3 mit Strahlteiler in analoger Weise zu den 4 und 5 mit zwei Strahlenbündeln 28, 128 ausgebildet sein kann.It is understood that not only the arrangement according to 2 but also the arrangement according to 3 with beam splitter in an analogous way to the 4 and 5 with two beams 28 . 128 can be trained.

Vorzugsweise sind die Ausführungsformen mit Stahlumlenkelement, wie sie beispielsweise in 2, 3 und 5 gezeigt sind, so ausgebildet, dass die Vorrichtung insgesamt eine Autokollimatoranordnung bildet (eine Autokollimatoranordnung zur Winkelmessung ist beispielweise in DE 103 27 939 A1 beschrieben).Preferably, the embodiments with Stahlumlenkelement, as used for example in 2 . 3 and 5 are shown formed so that the apparatus as a whole forms an autocollimator arrangement (an autocollimator arrangement for angle measurement is, for example, in US Pat DE 103 27 939 A1 described).

Grundsätzlich kann bei allen Ausführungsformen die Auswertung der Bilder dergestalt erfolgen, dass zusätzlich zu einer Basisauswertung, der jedes einzelne Bild unterzogen wird, ein Teil der Bilder, z. B. jedes zehnte Bild, einer zusätzlichen aufwendigeren Bildverarbeitung unterzogen bzw. zugeführt wird. Dabei kann es sich beispielsweise um das oben bereits erwähnte Zusammensetzen von Bildern zu einem größeren Bild mittels Stitching handeln.In principle, in all embodiments, the evaluation of the images can take place such that, in addition to a basic evaluation, which is subjected to each individual image, a part of the images, for. B. every tenth image, subjected to an additional complex image processing or supplied. This may be, for example, the above-mentioned composition of images to a larger image by stitching.

Eine weitere Abwandlung der Vorrichtung von 1 ist in 11 gezeigt. Während die Vorrichtung in 1 zur Ermittlung der Ausrichtung der Wellen 10, 14 ausgebildet ist, ist die Vorrichtung von 11 für die Ermittlung der Geradheit eines Körpers 110 ausgebildet. Dabei weisen die Messeinheiten 18, 22 statt der Elemente 20 zum Ansetzen die jeweilige Umfangsfläche der Wellen 10, 14 Elemente 120 zum flächigen formschlüssigen Ansetzen an eine zu vermessende Fläche 111 des Körpers 110 auf. Geradheitsabweichungen der Fläche 111 führen dabei zu Verkippung bzw. Verdrehung der Messeinheiten 18, 22 relativ zueinander, was zu einer entsprechenden Verschiebung der Abbildungen der optischen Muster auf dem Detektor 32 führt, woraus die entsprechenden Geradheitsabweichungen der Fläche 111 ermittelt werden können. Die Messeinheiten können über die Fläche 111 verschoben werden, um die ganze Fläche auszumessen.Another variation of the device of 1 is in 11 shown. While the device is in 1 to determine the orientation of the waves 10 . 14 is formed, the device of 11 for determining the straightness of a body 110 educated. This is shown by the measuring units 18 . 22 instead of the elements 20 for attaching the respective peripheral surface of the waves 10 . 14 elements 120 for flat form-fitting attachment to a surface to be measured 111 of the body 110 on. Straightness deviations of the surface 111 lead to tilting or rotation of the measuring units 18 . 22 relative to each other, resulting in a corresponding displacement of the images of the optical patterns on the detector 32 leads, from which the corresponding straightness deviations of the surface 111 can be determined. The measurement units can be over the area 111 be moved to measure the whole area.

Die Vorrichtung ist darüber hinaus durch folgende Punkte gekennzeichnet:

  • 1. Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Teil der zweiten Messeinheit bildet und das Strahlenbündel ohne Zwischenschaltung eines strahlablenkenden Elements direkt auf den Detektor fällt.
  • 2. Vorrichtung gemäß Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Messeinheit Mittel zum Erzeugen eines zweiten divergenten Strahlenbündels mit einer vorgegebenen Soll-Helligkeitsverteilung aufweist, wobei die erste Messeinheit einen zweiten zweiachsigen optischen Detektor aufweist, und wobei die Auswertungseinheit ausgebildet ist, um bei der Erfassung der Lage der beiden Messeinheiten zueinander aus einem Vergleich von mindestens einem von dem zweiten Detektor aufgenommenen Bild mit der Soll-Helligkeitsverteilung des zweiten Strahlenbündels die Position des zweiten Detektors bezüglich des zweiten Strahlenbündels zu erfassen, wenn der zweite Detektor nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des zweiten Strahlenbündels an der Position des zweiten Detektors beleuchtet wird.
  • 3. Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor einen Teil der ersten Messeinheit bildet, wobei die zweite Messeinheit ein Strahlumlenkelement aufweist, um das Strahlenbündel auf den Detektor zu richten.
  • 4. Vorrichtung gemäß Punkt 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlumlenkelement (44) als Spiegel, als Dachkantprisma oder als Tripelprisma ausgebildet ist.
  • 5. Vorrichtung gemäß Punkt 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das vom Strahlumlenkelement umgelenkte Strahlenbündel ohne Zwischenschaltung eines Strahlteilers direkt auf den Detektor fällt.
  • 6. Vorrichtung gemäß Punkt 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Messeinheit einen Strahlteiler aufweist, um das vom Strahlumlenkelement umgelenkte Strahlenbündel auf den Detektor abzulenken.
  • 7. Vorrichtung gemäß einem der Punkte 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlumlenkelement so ausgebildet und angeordnet ist, dass die Vorrichtung eine Autokollimatoranordnung bildet.
  • 8. Vorrichtung gemäß einem der Punkte 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Messeinheit Mittel zum Erzeugen eines zweiten divergenten Strahlenbündels mit einer vorgegebenen Soll-Helligkeitsverteilung sowie einen zweiten zweiachsigen optischen Detektor aufweist, und die Auswertungseinheit ausgebildet ist, um bei der Erfassung der Lage der beiden Messeinheiten zueinander aus einem Vergleich von mindestens einem von dem zweiten Detektor aufgenommenen Bild mit der Soll-Helligkeitsverteilung des zweiten Strahlenbündels die Position des zweiten Detektors bezüglich des zweiten Strahlenbündels zu erfassen, wenn der zweite Detektor nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des zweiten Strahlenbündels an der Position des zweiten Detektors beleuchtet wird, und wobei die zweite Messeinheit ein zweites Strahlumlenkelement aufweist, um das zweite Lichtbündel auf den zweiten Detektor zu richten.
  • 9. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Punkte, dadurch gekennzeichnet, dass dem Detektor ein optischer Filter vorgeschaltet ist, um die Auswertung der Bilder zu vereinfachen.
  • 10. Vorrichtung gemäß Punkt 9, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Filter um einen Graufilter handelt.
  • 11. Verwendung einer Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Punkte, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des Strahlenbündels an der Position des Detektors beleuchtet wird.
  • 12. Verwendung gemäß Punkt 11, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Auswertung der von dem Detektor aufgenommenen Bild(er) eine Datenreduktion mittels Vektorbildung und/oder Momentenbildung erfolgt.
  • 13. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 und 12, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere von dem Detektor aufgenommene Bilder mittels eines Stitching-Verfahrens zu einem Gesamtbild zusammengesetzt werden, welches mit der Soll-Helligkeitsverteilung verglichen wird, um die Positionen der einzelnen Bilder – und damit die Position des Detektors bei Aufnahme des jeweiligen Bilds – bezüglich des Strahlenbündels zu bestimmen.
  • 14. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass eine Korrelation zwischen jedem von dem Detektor aufgenommenen Bild mit der Soll-Helligkeitsverteilung ermittelt wird, um die Position des Detektors bezüglich des Strahlenbündels zu ermitteln.
  • 15. Verwendung gemäß Punkt 14, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Korrelationsermittlung Fourier- oder Laplace-Transformationen verwendet werden.
  • 16. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass aus der Größe einer Struktur in dem Bild durch Vergleich mit der Soll-Helligkeitsverteilung der Abstand zwischen der ersten Messeinheit und der zweiten Messeinheit abgeschätzt wird.
  • 17. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass aus der Winkellage einer Struktur in dem Bild durch Vergleich mit der Soll-Helligkeitsverteilung eine Verdrehung zwischen der ersten Messeinheit und der zweiten Messeinheit abgeschätzt wird.
  • 18. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Auswertung der von dem Detektor aufgenommenen Bilder eine Reihe der von dem Detektor aufgenommenen Bilder gebildet wird, die einer Autokorrelationsanalyse unterzogen wird.
  • 19. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Auswertung der von dem Detektor aufgenommenen Bilder eine Fehlerausgleichsrechnung bezüglich einer erwarteten Verlagerungskurve der beiden Messeinheiten zueinander durchgeführt wird.
  • 20. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass von der Auswerteeinheit verwendete Programme und/oder Daten auf einem externen Internet-Server, vorzugsweise kostenpflichtig, bereitgestellt werden.
  • 21. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem ersten und/oder zweiten mechanischen Element um ein Maschinenelement handelt.
  • 22. Verwendung gemäß Punkt 21, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem ersten Maschinenelement um eine erste Welle und bei dem zweiten Maschinenelement um eine zweite Welle handelt, wobei die erste Messeinheit zum Ansetzen an eine Umfangsfläche der ersten Welle und die zweite Messeinheit zum Ansetzen an eine Umfangsfläche der zweiten Welle ausgebildet ist, und wobei die Auswerteeinheit aus mehreren sequentiell in unterschiedlichen Positionen der ersten und zweiten Messeinheit, die unterschiedlichen Rotationswinkelpositionen der Wellen entsprechen, aufgenommenen Bildern des Detektors die Ausrichtung der Wellen zueinander ermittelt.
  • 23. Verwendung gemäß Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und zweite Messeinheit entlang der Umfangsrichtung der jeweiligen Welle verschoben wird.
  • 24. Verwendung gemäß Punkt 21, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei ersten und zweiten mechanischen Element um Teile eines gemeinsamen Körpers handelt.
  • 25. Verwendung gemäß Punkt 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zum Ermitteln der Geradheit des Körpers verwendet wird.
  • 26. Verwendung gemäß einem der Punkte 11 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor mit weniger als 50% der Querschnittsfläche des Strahlenbündels an der Position des Detektors beleuchtet wird.
The device is further characterized by the following points:
  • 1. Device, characterized in that the detector forms part of the second measuring unit and the beam falls directly on the detector without the interposition of a beam deflecting element.
  • 2. Device according to item 1, characterized in that the second measuring unit comprises means for generating a second divergent beam having a predetermined target brightness distribution, wherein the first measuring unit comprises a second biaxial optical detector, and wherein the evaluation unit is designed to be in the Detecting the position of the two measuring units to each other from a comparison of at least one recorded by the second detector image with the target brightness distribution of the second beam to detect the position of the second detector with respect to the second beam when the second detector only with a part of the cross-sectional area of the second beam is illuminated at the position of the second detector.
  • 3. Device, characterized in that the detector forms part of the first measuring unit, wherein the second measuring unit comprises a beam deflection element for directing the beam onto the detector.
  • 4. Device according to item 3, characterized in that the Strahlumlenkelement ( 44 ) is designed as a mirror, as a roof prism or as a triple prism.
  • 5. The device according to item 3 or 4, characterized in that the deflected by Strahlumlenkelement beam without the interposition of a beam splitter falls directly on the detector.
  • 6. The device according to item 3 or 4, characterized in that the first measuring unit comprises a beam splitter to deflect the deflected by Strahlumlenkelement beam to the detector.
  • 7. Device according to one of the points 3 to 6, characterized in that the Strahlumlenkelement is formed and arranged so that the device forms an autocollimator assembly.
  • 8. Device according to one of the points 3 to 7, characterized in that the first measuring unit comprises means for generating a second divergent beam having a predetermined target brightness distribution and a second biaxial optical detector, and the evaluation unit is adapted to the detection of the Position of the two measuring units to each other from a comparison of at least one recorded by the second detector image with the target brightness distribution of the second beam to detect the position of the second detector with respect to the second beam, when the second detector only with a part of the cross-sectional area of the second beam is illuminated at the position of the second detector, and wherein the second measuring unit has a second Strahlumlenkelement to direct the second light beam to the second detector.
  • 9. Device according to one of the preceding points, characterized in that the detector is preceded by an optical filter in order to simplify the evaluation of the images.
  • 10. The device according to item 9, characterized in that it is the filter is a gray filter.
  • 11. Use of a device according to one of the preceding points, characterized in that the detector is illuminated only with a part of the cross-sectional area of the beam at the position of the detector.
  • 12. Use according to item 11, characterized in that in the evaluation of the image taken by the detector (s), a data reduction takes place by means of vector formation and / or torque formation.
  • 13. Use according to any one of items 11 and 12, characterized in that a plurality of images taken by the detector are stitched together to form an overall image which is compared with the desired brightness distribution to the positions of the individual images - and thus the position of the detector when taking the respective image - to determine the beam.
  • 14. Use according to any one of items 11 to 13, characterized in that a correlation between each recorded by the detector image with the target brightness distribution is determined to determine the position of the detector with respect to the radiation beam.
  • 15. Use according to item 14, characterized in that Fourier or Laplace transformations are used in the correlation determination.
  • 16. Use according to any one of items 11 to 15, characterized in that from the size of a structure in the image by comparison with the target brightness distribution, the distance between the first measuring unit and the second measuring unit is estimated.
  • 17. Use according to any one of items 11 to 16, characterized in that from the angular position of a structure in the image by comparison with the desired brightness distribution, a rotation between the first measuring unit and the second measuring unit is estimated.
  • 18. Use according to any one of items 11 to 17, characterized in that, in the evaluation of the images taken by the detector, a series of the images taken by the detector is formed, which is subjected to an autocorrelation analysis.
  • 19. Use according to any one of items 11 to 18, characterized in that in the evaluation of the images taken by the detector an error compensation calculation with respect to an expected displacement curve of the two measuring units is performed to each other.
  • 20. Use according to any one of items 11 to 19, characterized in that programs and / or data used by the evaluation unit are provided on an external Internet server, preferably at a charge.
  • 21. Use according to any one of items 11 to 20, characterized in that it is the first and / or second mechanical element is a machine element.
  • 22. Use according to item 21, characterized in that it is the first machine element is a first shaft and the second machine element is a second shaft, wherein the first measuring unit for attachment to a peripheral surface of the first shaft and the second measuring unit for attachment to one Peripheral surface of the second shaft is formed, and wherein the evaluation of a plurality of sequentially recorded in different positions of the first and second measuring unit, the different rotational angular positions of the waves, taken pictures of the detector determines the alignment of the waves to each other.
  • 23. Use according to claim 22, characterized in that the first and second measuring unit is displaced along the circumferential direction of the respective shaft.
  • 24. Use according to item 21, characterized in that the first and second mechanical elements are parts of a common body.
  • 25. Use according to item 24, characterized in that the device is used to determine the straightness of the body.
  • 26. Use according to any one of items 11 to 25, characterized in that the detector is illuminated with less than 50% of the cross-sectional area of the beam at the position of the detector.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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  • DE 10327939 A1 [0051] DE 10327939 A1 [0051]

Claims (10)

Vorrichtung zum Ermitteln der Lage zweier mechanischer Elemente zueinander, mit einer ersten Messeinheit (18) zum Ansetzen an ein erstes mechanisches Element (10, 110), einer zweiten Messeinheit (22) zum Ansetzen an ein zweites mechanisches Element (14, 110), sowie einer Auswerteeinheit (24), wobei die erste Messeinheit Mittel (30, 32) zum Erzeugen eines divergenten Strahlenbündels mit (28) einer vorgegebenen Soll-Helligkeitsverteilung aufweist, wobei die Vorrichtung einen zweiachsigen optischen Detektor (34) als Teil der ersten oder der zweiten Messeinheit aufweist, wobei die Auswertungseinheit ausgebildet ist, um aus einem Vergleich von mindestens einem von dem Detektor aufgenommenen Bild (36) mit der Soll-Helligkeitsverteilung (38) des Strahlenbündels die Position des Detektors bezüglich des Strahlenbündels zu ermitteln, um daraus die Lage der beiden Messeinheiten zueinander zu ermitteln, wenn der Detektor nur mit einem Teil der Querschnittsfläche des Strahlenbündels an der Position des Detektors beleuchtet wird.Device for determining the position of two mechanical elements with each other, with a first measuring unit ( 18 ) for attachment to a first mechanical element ( 10 . 110 ), a second measuring unit ( 22 ) for attachment to a second mechanical element ( 14 . 110 ), as well as an evaluation unit ( 24 ), wherein the first measuring unit means ( 30 . 32 ) for generating a divergent beam with ( 28 ) has a predetermined target brightness distribution, the apparatus comprising a biaxial optical detector ( 34 ) as part of the first or the second measuring unit, wherein the evaluation unit is designed to detect from a comparison of at least one image recorded by the detector ( 36 ) with the desired brightness distribution ( 38 ) of the radiation beam to determine the position of the detector with respect to the beam in order to determine the position of the two measuring units to each other when the detector is illuminated only with a part of the cross-sectional area of the beam at the position of the detector. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (34, 134) entlang jeder der beiden Achsen zwischen 16 und 64 Pixel aufweist.Device according to claim 1, characterized in that the detector ( 34 . 134 ) along each of the two axes between 16 and 64 pixels. Vorrichtung gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Pixel eine Größe von 20 bis 80 μm aufweisen.Apparatus according to claim 2, characterized in that the pixels have a size of 20 to 80 microns. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Helligkeitsverteilung (38) des Strahlenbündels (28, 128) einem Gaußprofil oder einem ringförmigen Profil entspricht.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the brightness distribution ( 38 ) of the beam ( 28 . 128 ) corresponds to a Gaussian profile or an annular profile. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (30, 32, 130, 132) zum Erzeugen des Strahlenbündels (28, 128) eine Laserdiode, insbesondere eine Multimode-Laserdiode, VCSEL-Laserdiode oder eine Multibeam-Laserdiode, oder LED's sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 30 . 32 . 130 . 132 ) for generating the beam ( 28 . 128 ) are a laser diode, in particular a multimode laser diode, VCSEL laser diode or a multi-beam laser diode, or LED's are. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (30, 32, 130, 132) zum Erzeugen des Strahlenbündels (28, 128) einen Graufilter zur Erzeugung eines Absorptionsmusters aufweisen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 30 . 32 . 130 . 132 ) for generating the beam ( 28 . 128 ) have a gray filter for producing an absorption pattern. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (30, 32, 130, 132) zum Erzeugen des Strahlenbündels (28, 128) ein lichtbrechendes Element zur Erzeugung eines Brechungsmusters und/oder ein lichtbeugendes Element zur Erzeugung eines Beugungsmusters aufweisen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 30 . 32 . 130 . 132 ) for generating the beam ( 28 . 128 ) comprise a refractive element for generating a refractive pattern and / or a diffractive element for producing a diffraction pattern. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (30, 32, 130, 132) zum Erzeugen des Strahlenbündels (28, 128) ein diffraktives optisches Element aufweisen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means ( 30 . 32 . 130 . 132 ) for generating the beam ( 28 . 128 ) have a diffractive optical element. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Detektor (34, 134) eine sphärische oder zylindrische Optik (42) angeordnet ist, die dem Detektor vorgeschaltet ist, um die scheinbare Größe des Detektors bezüglich des Strahlenbündels anzupassen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that on the detector ( 34 . 134 ) has a spherical or cylindrical appearance ( 42 ) arranged upstream of the detector to adjust the apparent size of the detector with respect to the beam. Vorrichtung gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik (42) Teil derjenigen Messeinheit bildet (18, 22), welche den Detektor (34, 134) aufweist.Device according to claim 9, characterized in that the optics ( 42 ) Forms part of the measuring unit ( 18 . 22 ), which the detector ( 34 . 134 ) having.
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