DE102012103984A1 - Method for determining features of a measurement object - Google Patents

Method for determining features of a measurement object Download PDF

Info

Publication number
DE102012103984A1
DE102012103984A1 DE102012103984A DE102012103984A DE102012103984A1 DE 102012103984 A1 DE102012103984 A1 DE 102012103984A1 DE 102012103984 A DE102012103984 A DE 102012103984A DE 102012103984 A DE102012103984 A DE 102012103984A DE 102012103984 A1 DE102012103984 A1 DE 102012103984A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rotation
axis
relative positions
angle
measurement object
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102012103984A
Other languages
German (de)
Inventor
Auf Nichtnennung Antrag
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Werth Messtechnik GmbH
Original Assignee
Werth Messtechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Werth Messtechnik GmbH filed Critical Werth Messtechnik GmbH
Priority to DE102012103984A priority Critical patent/DE102012103984A1/en
Priority to PCT/EP2013/059149 priority patent/WO2013167461A1/en
Priority to EP13724746.6A priority patent/EP2847579A1/en
Publication of DE102012103984A1 publication Critical patent/DE102012103984A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/40—Imaging
    • G01N2223/419—Imaging computed tomograph

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Computertomografie-Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt, bei dem das auf einer mechanischen Drehachse befestigte Messobjekt in mehreren Relativpositionen bezüglich der Sensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle und 2-dimensionalen Detektor, jeweils in mehreren Drehstellungen um eine Drehachse von der Strahlung der Strahlungsquelle durchstrahlt wird und jeweils zugehörige 2D-Durchstrahlungsbilder aufgenommen werden, wobei die Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen jeweils zu einem resultierenden Durchstrahlungsbild zusammengesetzt werden, die bezüglich des jeweiligen Startdrehwinkels der verschiedenen Relativpositionen bei der gleichen Drehstellung aufgenommen worden, und aus den resultierenden Durchstrahlungsbildern mittels Rekonstruktion 3-dimensionale Volumeninformationen im Voxelformat (sogenanntes Voxelvolumen) berechnet werden, wobei in diesem Voxelvolumen Daten zur lokalen Strahlabsorption enthalten sind, wobei vorzugsweise aus den Voxeldaten, im Bereich der Materialübergänge, Oberflächenpunkte generiert werden. Zur Vermeidung von Messfehlern bei den computertomografischen Messungen von Messobjekten in mehreren Relativpositionen zwischen Messobjekt und Röntgensensorik wird vorgeschlagen, dass die unterschiedlichen Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle (Brennfleck) und der Drehachse gleich bleibt.The invention relates to a computed tomography method for the dimensional determination of features on a measurement object, wherein the measured object mounted on a mechanical axis of rotation in several relative positions with respect to the sensor system, at least consisting of radiation source and 2-dimensional detector, each in a plurality of rotational positions about a Rotational axis is irradiated by the radiation of the radiation source and each associated 2D radiographic images are taken, the radiographic images from the different relative positions are each assembled into a resulting radiographic image, which were taken with respect to the respective starting rotational angle of the various relative positions at the same rotational position, and from the resulting radiographic images by reconstruction 3-dimensional volume information in voxel format (so-called voxel volume) are calculated, in which voxel volume data to the local St Rahlabsorption are included, wherein preferably from the voxel data, in the region of the material transitions, surface points are generated. To avoid measurement errors in the computed tomographic measurements of measurement objects in several relative positions between the measurement object and the X-ray sensor, it is proposed that the different relative positions are selected so that the distance between the focal point of the radiation source (focal spot) and the rotation axis remains the same.

Description

Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an Messobjekten mit Computertomografieverfahren, bei denen das Messobjekt in mehreren Relativpositionen gemessen wird.The present invention describes a method for the dimensional determination of features on measurement objects with computed tomography methods, in which the measurement object is measured in a plurality of relative positions.

Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Computertomografie-Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt, bei dem das auf einer Drehachse befestigte Messobjekt in mehreren Relativpositionen bezüglich der Sensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle und 2-dimensionalen Detektor, jeweils in mehreren Drehstellungen von der Strahlung der Strahlungsquelle durchstrahlt wird und jeweils zugehörige 2D-Durchstrahlungsbilder aufgenommen werden, wobei die Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen jeweils zu einem resultierenden Durchstrahlungsbild zusammengesetzt werden, die bezüglich des jeweiligen Startdrehwinkels der verschiedenen Relativpositionen bei der gleichen Drehstellung aufgenommen worden, und aus den resultierenden Durchstrahlungsbildern mittels Rekonstruktion 3-dimensionale Volumeninformationen im Voxelformat (so genanntes Voxelvolumen) berechnet werden, wobei in diesem Voxelvolumen Daten zur lokalen Strahlabsorption enthalten sind, wobei vorzugsweise aus den Voxeldaten, im Bereich der Materialübergänge, Oberflächenpunkte generiert werden,In particular, the invention relates to a computed tomography method for the dimensional determination of features on a measurement object, wherein the mounted on a rotation axis measurement object in several relative positions with respect to the sensor system, at least consisting of radiation source and 2-dimensional detector, each in several rotational positions of the Radiation of the radiation source is irradiated and respectively associated 2D radiographic images are taken, the radiographic images from the different relative positions are each assembled into a resulting radiographic image, which was taken with respect to the respective starting rotational angle of the various relative positions at the same rotational position, and from the resulting radiographic images by means of Reconstruction 3-dimensional volume information in voxel format (so-called voxel volume) can be calculated, where in this voxel volume data for local beam absorption en are maintained, wherein surface points are preferably generated from the voxel data, in the area of the material transitions,

Um Messobjekte komplett mit Computertomografie zu messen, die größer als der Messbereich des Computertomografen in der jeweils gewählten Vergrößerungseinstellung sind, existieren Verfahren, bei denen das Messobjekt in mehreren Teilmessungen jeweils nur teilweise erfasst wird. Es wird dabei unterschieden zwischen Verfahren, bei denen das Messobjekt in Richtung der Drehachse oder rechtwinkelig zur Drehachse, größere Abmessungen als der Messbereich des Computertomografen aufweist. Zudem kann entweder das Messobjekt bezüglich der Strahlungsquelle und des Detektors bewegt werden oder nur der Detektor wird bewegt, um einen virtuell vergrößerten Detektor zu erhalten. Die Verfahren werden dabei auch kombiniert.In order to measure measuring objects completely with computer tomography, which are larger than the measuring range of the computer tomograph in the respectively selected magnification setting, there are methods in which the measuring object is only partially detected in several partial measurements. A distinction is made between methods in which the measurement object in the direction of the axis of rotation or at right angles to the axis of rotation has larger dimensions than the measuring range of the computer tomograph. In addition, either the measurement object with respect to the radiation source and the detector can be moved or only the detector is moved to obtain a virtually enlarged detector. The procedures are also combined.

Erstreckt sich das Messobjekt lediglich in Richtung der Drehachse des Computertomografen über den Messbereich des Computertomografen hinaus, so werden mehrere Teilmessungen durchgeführt, zwischen denen das Messobjekt entlang der Drehachse verschoben wird. Hierbei verlässt das Messobjekt den Messbereich rechtwinkelig zur Drehachse in keiner der Drehstellungen. Hierdurch ist es möglich, die Teilmessungen getrennt voneinander auszuwerten, indem die jeweils zugeordneten Durchstrahlungsbilder rekonstruiert werden und Teil-Voxelvolumen berechnet werden. Die Voxelvolumen können im Anschluss zusammengesetzt werden und es kann eine gemeinsame Bestimmung von Oberflächenpunkten anhand von z. B. Schwellwertverfahren durchgeführt werden. Alternativ können auch Oberflächenpunkte an den Teilvolumen bestimmt werden. Das Verfahren ist auch durch Verschieben des Detektors entlang einer Parallelen zur Drehachsrichtung bekannt.If the measurement object only extends beyond the measuring range of the computer tomograph in the direction of the axis of rotation of the computer tomograph, several partial measurements are carried out between which the measurement object is displaced along the axis of rotation. In this case, the measuring object leaves the measuring range perpendicular to the axis of rotation in any of the rotational positions. This makes it possible to evaluate the partial measurements separately from one another by reconstructing the respectively assigned radiographic images and calculating partial voxel volumes. The voxel volumes can then be assembled together and it can be a common determination of surface points based on z. B. Threshold method can be performed. Alternatively, surface points on the sub-volume can also be determined. The method is also known by moving the detector along a parallel to the axis of rotation axis.

Die in den Teilmessungen ermittelten Durchstrahlungsbilder können alternativ auch je Drehstellung zu resultierenden Durchstrahlungsbildern zusammengefasst werden. Die Rekonstruktion erfolgt dann an den zusammengesetzten Satz von Durchstrahlungsbildern. Hierbei ist jedoch zu beachten, dass sich die Vergrößerung der Abbildung verändert. Eine notwendige Korrektur der Durchstrahlungsbilder vor dem Zusammenfassen war bislang nicht bekannt, wodurch Messabweichungen entstehen.The radiographic images determined in the partial measurements can alternatively also be combined to resulting radiographic images per rotary position. The reconstruction then takes place on the composite set of transmission images. However, it should be noted that the magnification of the image changes. A necessary correction of the radiographic images before combining was not yet known, which results in measurement deviations.

Verlässt das Messobjekt rechtwinkelig zur Drehachse in zumindest einer Drehstellung den Messbereich des Computertomografen, ist das Messobjekt also quer zur Drehachse breiter als der Messbereich des Computertomografen, so werden mehrere Teilmessungen durchgeführt, bei denen das Messobjekt rechtwinkelig zur Drehachse und gleichzeitig in einer Ebene parallel zur Detektorebene verschoben wird. Bei dieser Vorgehensweise können nur die den jeweiligen Drehstellungen entsprechenden, zusammengefassten bzw. zusammengesetzten Durchstrahlungsbilder rekonstruiert werden. Es treten dabei wiederum Vergrößerungsänderungen und perspektivische Verzerrungen auf. Das Verfahren ist auch durch Verschieben des Detektors senkrecht zur Drehachsrichtung in der Detektorebene bekannt.If the measurement object leaves the measuring area of the computer tomograph at right angles to the rotation axis in at least one rotational position, the measurement object is wider than the measurement area of the computer tomograph transversely to the rotation axis, then several partial measurements are carried out in which the measurement object is perpendicular to the rotation axis and simultaneously in a plane parallel to the detector plane is moved. In this procedure, only the corresponding rotational positions corresponding, combined or composite radiographic images can be reconstructed. Again, magnification changes and perspective distortions occur. The method is also known by moving the detector perpendicular to the rotational axis direction in the detector plane.

Bei den bekannten Verfahren wird das Messobjekt demnach in seiner Höhe und/oder seiner Breite abgerastert. Hierbei erfolgt eine Verschiebung des Messobjektes bezüglich der Sensorik immer in einer Ebene parallel zur Detektorebene. Hierdurch ändert sich das den Abbildungsmaßstab beschreibende Verhältnis aus dem Abstand Detektor – Fokuspunkt der Röntgenquelle zu Messobjekt – Fokuspunkt der Röntgenquelle. Die hierdurch auftretenden Messfehler werden bislang nicht korrigiert und führen damit zu der Bestimmung falscher Maße am Messobjekt. Zudem ergeben sich durch die veränderten Auftreffrichtungen der Strahlung auf den Detektor in den unterschiedlichen Relativpositionen perspektivische Verzerrungen. Die jeweils dem gleichen Winkel entsprechenden Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen werden durch beide Effekte nicht richtig zusammengesetzt.In the known method, the measurement object is therefore scanned in its height and / or its width. Here, a displacement of the measurement object with respect to the sensor always takes place in a plane parallel to the detector plane. As a result, the ratio describing the imaging scale changes from the distance detector-focus point of the X-ray source to the measurement object-focal point of the X-ray source. The measurement errors that occur as a result are not yet corrected and thus lead to the determination of incorrect dimensions on the measurement object. In addition, due to the changed directions of impact of the radiation on the detector, perspective distortions result in the different relative positions. The transmission images corresponding to the same angle from the different relative positions are not correctly combined by the two effects.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Vermeidung von Messfehlern bei den computertomografischen Messungen von Messobjekten in mehreren Relativpositionen zwischen Messobjekt und Röntgensensorik.Object of the present invention is the avoidance of measurement errors in the computed tomographic measurements of DUTs in several relative positions between the measurement object and the X-ray sensor system.

Zur Lösung der Aufgabe sieht die Erfindung insbesondere vor, dass die unterschiedlichen Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle (Brennfleck) und der Drehachse gleich bleibt.To solve the problem, the invention provides in particular that the different relative positions are chosen so that the distance between the focal point of the radiation source (focal spot) and the axis of rotation remains the same.

Insbesondere sieht die Erfindung vor, dass sich die unterschiedlichen Relativpositionen auf einer Kreisbahn um den Fokuspunkt der Strahlungsquelle und in einer Ebene befinden, deren Normalenvektor parallel zur Richtung der Drehachse steht.In particular, the invention provides that the different relative positions are on a circular path around the focal point of the radiation source and in a plane whose normal vector is parallel to the direction of the axis of rotation.

Ein weiterer Vorschlag der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass jeweils benachbarte Relativpositionen so gewählt werden, dass ein Teil des Messobjektes in einigen der Drehstellungen in jeweils beiden Relativpositionen erfasst wird, also ein Überlappungsbereich existiert.Another proposal of the invention is characterized in that each adjacent relative positions are selected so that a part of the measurement object is detected in some of the rotational positions in each case two relative positions, so an overlap area exists.

Insbesondere ist vorgesehen, dass bei Veränderung der Relativposition auf einer Kreisbahn der feststehende Teil der Drehachse nicht verdreht wird und der drehbare Teil der Drehachse zusammen mit dem Messobjekt zur Festlegung des Startdrehwinkels um den Winkel der veränderten Kreisbahnposition gedreht wird.In particular, it is provided that when changing the relative position on a circular path, the fixed part of the rotation axis is not rotated and the rotatable part of the rotation axis is rotated together with the measurement object for determining the start rotation angle by the angle of the changed orbit position.

Bei der Bewegung der Drehachse an die neue Position wird zunächst die gesamte Ache (unterer Teil, der fest mit dem KMG bzw. den translatorischen Achsen des KMGs befestigt ist, und oberer Teil, also drehbarer Drehteller mit Messobjekt) samt Messobjekt NUR translatorisch verschoben. Anschließend führt die Drehachse (also der Drehteller) eine Drehbewegung aus, um das Messobjekt in die Startwinkelstellung zu drehen. Gleichwirkend könnte auch die gesamte Drehachse um den Brennfleck rotiert werden.When the axis of rotation is moved to the new position, the entire axis (lower part, which is firmly fastened to the CMM or the translational axes of the CMM, and the upper part, that is to say rotatable turntable with measurement object) together with the measurement object is ONLY translationally displaced. Subsequently, the axis of rotation (that is, the turntable) executes a rotational movement in order to turn the measurement object into the starting angle position. Equally effective, the entire axis of rotation could be rotated around the focal spot.

Die Erfindung zeichnet sich des Weiteren dadurch aus, dass die jeweiligen Drehstellungen in den verschiedenen Relativpositionen in ihrem Startwinkel so festgelegt werden, dass der Einfallswinkel des das Messobjekt erfassenden Bereiches der Messstrahlung im Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt, das Messobjekt im Überlappungsbereich also in der gleichen Richtung durchstrahlt wird, insbesondere der Startdrehwinkel also um den Winkel verändert wird, um den die Drehachse um den Brennfleck bewegt wurde.The invention is further characterized in that the respective rotational positions in the different relative positions are set in their starting angle so that the angle of incidence of the measuring object detecting area of the measuring radiation remains the same in relation to the Meßobjektkoordinatensystem, the measurement object in the overlapping region in the same Direction is irradiated, in particular the start rotation angle is thus changed by the angle by which the axis of rotation was moved around the focal spot.

Ziel ist es, dass das Messobjekt in der neuen Lage im Übergangsbereich in der Startdrehstellung so angeordnet ist, dass es in gleicher Richtung durchstrahlt wird, wie bei der Messung in der ersten Lage. Ansonsten könnten die Durchstrahlungsbilder nicht zusammengesetzt werden. Der Übergangsbereich erzeugt also idealer Weise in beiden Relativstellungen das gleiche Durchstrahlungsbild (bzw. Teil des Durchstrahlungsbildes). Das Vereinen der Durchstrahlungsbilder könnte sodann auch mittels Stitching erfolgen. Dies ist aber dann nicht nötig, wenn die Postionen und Drehstellungen bekannt sind.The aim is that the measurement object is arranged in the new position in the transition region in the starting rotational position so that it is irradiated in the same direction, as in the measurement in the first position. Otherwise the radiographic images could not be put together. The transition region thus ideally produces the same radiographic image (or part of the radiographic image) in both relative positions. The combining of the radiographs could then also be done by stitching. But this is not necessary if the positions and rotational positions are known.

Ein erfindungsgemäßer Gedanke sieht des Weiteren vor, dass in allen Relativpositionen die jeweils weiteren Drehstellungen bezüglich des jeweiligen Startwinkels gleich eingestellt werden, vorzugsweise die Drehwinkelschrittweite konstant ist.An inventive concept further provides that in each relative position, the respective further rotational positions are set equal with respect to the respective starting angle, preferably the rotational angle increment is constant.

Die Erfindung sieht auch vor, dass die durch Veränderung des Startwinkels und/oder durch die Relativbewegung des Messobjektes auf einer Kreisbahn entstehenden perspektivischen Verzerrungen der Abbildung auf dem Strahlendetektor korrigiert werden, vorzugsweise durch Resampling-Verfahren am jeweiligen Durchstrahlungsbild und/oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion.The invention also provides that the perspective distortions of the image on the radiation detector resulting from a change in the starting angle and / or by the relative movement of the measurement object on a circular path are corrected, preferably by resampling methods on the respective radiographic image and / or by consideration during the reconstruction ,

Insbesondere wird aufgrund der Erfindung vorgeschlagen, dass die verschiedenen Relativpositionen auf einer Kreisbahn um den Fokuspunkt der Strahlungsquelle angeordnet sind, welche sich in einer Ebene befindet, die durch die Drehachse und die direkte Verbindung zwischen Detektormittelpunkt und Strahlungsquelle aufgespannt wird.In particular, it is proposed on the basis of the invention that the various relative positions are arranged on a circular path around the focal point of the radiation source, which is located in a plane which is spanned by the axis of rotation and the direct connection between detector center and radiation source.

Ein weiterer hervorzuhebender Gedanke der Erfindung sieht vor, dass bei Veränderung der Relativposition auf einer Kreisbahn die gesamte Drehachse entsprechend der Kreisbahnposition verkippt wird und der drehbare Teil der Drehachse zusammen mit dem Messobjekt zur Festlegung des Startdrehwinkels in der Drehstellung verbleibt.Another idea to be emphasized of the invention provides that when changing the relative position on a circular path the entire axis of rotation is tilted according to the circular path position and the rotatable part of the axis of rotation remains together with the measurement object for determining the starting rotational angle in the rotational position.

Insbesondere ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse in den verschiedenen Relativpositionen so in der Ebene aus Drehachse und Verbindung zwischen Detektormitte und Strahlungsquelle verkippt wird, dass der Einfallswinkel des das Messobjekt erfassenden Bereiches der Messstrahlung im Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt, das Messobjekt im Überlappungsbereich also in der gleichen Richtung durchstrahlt wird.In particular, the invention is characterized in that the axis of rotation is tilted in the different relative positions in the plane of rotation axis and connection between the detector center and radiation source, that the angle of incidence of the measuring object detecting the area of the measuring radiation remains the same with respect to the Meßobjektkoordinatensystem, the measurement object in Overlap area is thus irradiated in the same direction.

Bevorzugterweise ist nach Erfindung vorgesehen, dass die durch Veränderung des Startwinkels und/oder durch die Relativbewegung des Messobjektes auf einer Kreisbahn entstehenden perspektivischen Verzerrungen der Abbildung auf dem Strahlendetektor korrigiert werden, vorzugsweise durch die Neigung der Drehachse und/oder durch Resampling am jeweiligen Durchstrahlungsbild und/oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion.Preferably, it is provided according to the invention that the perspective distortions of the image on the radiation detector resulting from a change in the starting angle and / or by the relative movement of the measurement object on a circular path are corrected, preferably by the inclination of the axis of rotation and / or by resampling on the respective radiographic image and / or by consideration in the reconstruction.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Lehre wird für alle Teilmessungen mit dem gleichen Abbildungsmaßstab gearbeitet. Vorzugsweise werden perspektivische Verzerrungen korrigiert. Due to the teaching according to the invention, work is carried out for all partial measurements with the same magnification. Preferably, perspective distortions are corrected.

Erfindungsgemäß wird die Relativposition zwischen Messobjekt und Röntgensensorik für alle Teilmessungen so eingestellt, dass der gleiche Abbildungsmaßstab vorliegt. Dies wird erreicht, indem die Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle und dem Messobjekt stets gleich ist. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass die Relativpositionen auf Kreisbahnen um den Fokuspunkt eingestellt werden.According to the invention, the relative position between the measurement object and the X-ray sensor system is set for all partial measurements such that the same imaging scale is present. This is achieved by selecting the relative positions so that the distance between the focal point of the radiation source and the measurement object is always the same. For this purpose, provision is made in particular for the relative positions to be set on circular paths around the focal point.

Besonders zu beachten ist, dass das Messobjekt nach der Relativverschiebung vor der Strahlungsquelle einen geänderten Drehwinkel einnimmt. Dieser muss durch Drehen des Messobjektes mit der Drehachse so korrigiert werden, dass der Start-Drehwinkel für die mehreren Drehstellungen in der Form angepasst wird, dass die Strahlungsrichtung bezüglich des Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt. Außerdem entstehen perspektivische Verzerrungen auf dem Strahlendetektor, weil sich zumindest Teile des Messobjektes nach der Relativverschiebung in einer veränderten Relativlage zum Detektor befinden und somit die sodann das Messobjekt durchstrahlenden Teilstrahlen in einem anderen Winkel auf den Detektor auftreffen. Diese Verzerrungen werden erfindungsgemäß durch Re-Sampling-Verfahren der Durchstrahlungsbilder korrigiert, da die Größe der Verzerrungen aufgrund des bekannten Start-Winkels bekannt ist, und/oder durch die Berücksichtigung der Verzerrung während des Rekonstruktionsalgorithmus.It should be noted in particular that the measured object assumes a changed angle of rotation after the relative displacement in front of the radiation source. This must be corrected by rotating the measurement object with the rotation axis in such a way that the start rotation angle for the several rotation positions is adapted in such a way that the radiation direction with respect to the measurement object coordinate system remains the same. In addition, perspective distortions arise on the radiation detector, because at least parts of the measurement object are located after the relative displacement in an altered relative position to the detector and thus impinge the then passing through the measurement object partial beams at a different angle to the detector. According to the invention, these distortions are corrected by re-sampling the radiographic images, since the size of the distortions is known on the basis of the known starting angle, and / or by taking account of the distortion during the reconstruction algorithm.

Werden die verschiedenen Relativpositionen nahezu entlang einer Parallelen zur Drehachsrichtung eingenommen, wird erfindungsgemäß die Drehachse mit dem Messobjekt selbst so verkippt, dass wiederum der Einfallswinkel der Messstrahlung, die das Messobjekt erfasst, in Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt. Auch in diesem Fall werden die perspektivischen Verzerrungen durch Re-Sampling am Durchstrahlungsbild oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion korrigiert.If the various relative positions are assumed to be almost along a line parallel to the axis of rotation, according to the invention the axis of rotation is tilted with the measurement object itself so that the angle of incidence of the measurement radiation which detects the measurement object remains the same with respect to the measurement object coordinate system. In this case too, the perspective distortions are corrected by re-sampling on the radiographic image or by taking account of the reconstruction.

Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen – für sich und/oder in Kombination –, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.For more details, advantages and features of the invention will become apparent not only from the claims, the features to be taken these features - alone and / or in combination - but also from the following description of the drawing to be taken preferred embodiments.

Es zeigen:Show it:

1 eine Anordnung eines Messobjektes in einer ersten Relativposition in Bezug auf eine Röntgensensorik und 1 an arrangement of a measured object in a first relative position with respect to an X-ray sensor and

2 eine Anordnung eines Messobjektes in einer zweiten Relativposition in Bezug auf die Röntgensensorik. 2 an arrangement of a measurement object in a second relative position with respect to the X-ray sensor system.

1 zeigt eine Anordnung eines Messobjektes 1 in einer ersten Relativposition bezüglich einer Röntgensensorik 2, umfassend eine Strahlungsquelle, wie Röntgenquelle mit Fokuspunkt bzw. Brennfleck 3, und einem Detektor 4. Das Messobjekt 1 – auch Bauteil genannt – ist um eine Drehachse 5 drehbar, die in Draufsicht dargestellt ist. Das Bauteil 1 ist fest auf dem drehbaren Teil der Drehachse 5 befestigt. In der dargestellten ersten Relativstellung beträgt der Winkel 6 zwischen der Verbindung zwischen Mitte 7 des Detektors 4 und dem Brennfleck 3 und der Verbindung zwischen der Drehachsmitte 5 und dem Brennfleck 3 null Grad. Teile des Messobjektes 1 ragen in zumindest einigen der Drehstellungen um die Drehachse 5 aus dem durch den Detektor 4 erfassbaren Bereich, begrenzt durch die Ränder 8 und 9 des in die Zeichenebene projizierten Strahlungsbereiches, heraus. Es kann daher nur der einfach schraffierte Bereich 10 des Messobjekts 1 erfasst und gemessen werden. Der nicht schraffierte Bereich kann nicht gemessen werden. Doppelt schraffiert sind die Übergangs- bzw. Überlappungsbereiche 11 und 12 des Messobjekts 1 dargestellt, die in weiteren Relativstellungen zusammen mit den in 1 nicht schraffierten Bereichen gemessen werden. Der Übergangsbereich 11 wird in der in 2 dargestellten zweiten Relativposition erneut erfasst und gemessen. 1 shows an arrangement of a measured object 1 in a first relative position with respect to an X-ray sensor 2 comprising a radiation source, such as a focal point X-ray source 3 , and a detector 4 , The measurement object 1 - Also called component - is about a rotation axis 5 rotatable, which is shown in plan view. The component 1 is fixed on the rotatable part of the rotation axis 5 attached. In the illustrated first relative position, the angle is 6 between the connection between middle 7 of the detector 4 and the focal spot 3 and the connection between the rotary axle center 5 and the focal spot 3 Zero degrees. Parts of the measurement object 1 protrude in at least some of the rotational positions about the axis of rotation 5 from the through the detector 4 detectable area, bounded by the edges 8th and 9 of the projected in the plane of the beam area, out. It can therefore only the simple hatched area 10 of the measurement object 1 recorded and measured. The non-hatched area can not be measured. Double hatched are the transitional or overlapping areas 11 and 12 of the measurement object 1 shown in other relative positions together with in 1 non-hatched areas are measured. The transition area 11 will be in the in 2 again detected and measured shown second relative position.

In 1 wird der Übergangsbereich 11 beispielhaft in dieser ersten Drehstellung um die Drehachse 5, also die Drehstellung des Startwinkels, zum Beispiel von dem Strahlenbündel 13 unter dem Winkel 14 durchstrahlt. Das Strahlenbündel 13 trifft dabei im Winkel 15 auf den Detektor 4 auf.In 1 becomes the transition area 11 exemplary in this first rotational position about the axis of rotation 5 , So the rotational position of the starting angle, for example, of the beam 13 under the angle 14 irradiated. The ray bundle 13 meets in the angle 15 on the detector 4 on.

Erfindungsgemäß erfolgen weitere Messungen zur Bestimmung weiterer Bereiche des Messobjektes 1 in zumindest einer weiteren Relativposition der Drehachse 5 und des Messobjektes 1. Hierzu werden die Drehachse 5 und das Messobjekt 1 auf einer Kreisbahn 16 um den Brennfleck 3 verschoben. In dem in 1 dargestellten Beispiel befindet sich diese Kreisbahn in der Zeichenebene, also in einer Ebene, deren Normalenvektor parallel zur Richtung der Drehachse 5 steht. Dies ist ein Spezialfall der Forderung des konstanten Abstandes zwischen Fokuspunkt der Strahlungsquelle (Brennfleck 3) und der Drehachse 5.According to the invention, further measurements are carried out to determine further regions of the measurement object 1 in at least one further relative position of the axis of rotation 5 and the measured object 1 , For this purpose, the rotation axis 5 and the measurement object 1 on a circular path 16 around the focal spot 3 postponed. In the in 1 example shown, this circular path is in the plane of the drawing, ie in a plane whose normal vector is parallel to the direction of the axis of rotation 5 stands. This is a special case of the requirement of the constant distance between the focal point of the radiation source (focal spot 3 ) and the axis of rotation 5 ,

2 zeigt eine Anordnung für eine zweite Messung, bei der das Messobjekt 1 um die Drehachse 5 in einer zweiten Relativposition bezüglich der Röntgensensorik 2 auf der Kreisbahn 16 verschoben angeordnet ist. Der Winkel 6' zeigt den dabei veränderten Winkel zwischen der Verbindung zwischen Detektormitte 7 und Brennfleck 3 und der Verbindung zwischen dem Drehachse 5 und dem Brennfleck 3. 2 zeigt dabei das Messobjekt 1 im nun veränderten Startwinkel für die verschiedenen Drehstellungen um die Drehachse 5 zur computertomografischen Messung, wobei der Startwinkel genau um den Winkel 6' verändert wurde. Zumindest in dieser Startwinkelstellung wird wiederum der Überlappungsbereich 11 durch die Messstrahlung erfasst, und zwar beispielhaft durch das Strahlenbündel 13', wiederum unter dem gleichen Winkel 14 wie in der ersten Relativposition zwischen Messobjekt und Röntgensensorik. 2 shows an arrangement for a second measurement in which the measurement object 1 around the axis of rotation 5 in a second relative position with respect to the X-ray sensor system 2 on the circular path 16 is arranged shifted. The angle 6 ' shows the changed angle between the connection between the middle of the detector 7 and focal spot 3 and the connection between the axis of rotation 5 and the focal spot 3 , 2 shows the measurement object 1 in the now changed starting angle for the different rotational positions around the axis of rotation 5 for computer tomographic measurement, where the starting angle is exactly the angle 6 ' was changed. At least in this starting angle position, in turn, the overlap area 11 detected by the measuring radiation, for example by the beam 13 ' , again at the same angle 14 as in the first relative position between the measurement object and the X-ray sensor system.

Hierdurch wird gewährleistet, dass das Messobjekt 1 in der Startwinkelposition in gleichen Messobjektbereichen in gleicher Richtung durchstrahlt wird und damit die Durchstrahlungslänge jeweils gleich ist und dass die jeweils dem gleichen Winkel entsprechenden Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen richtig zusammengesetzt werden. Das Strahlenbündel 13' trifft jedoch nun im veränderten Winkel 15' auf den Detektor 4. Hierdurch kommt es zu perspektivischen Verzerrungen der Durchstrahlungsbilder. Diese werden erfindungsgemäß durch die bekannten Winkel 15 und 15' korrigiert, und die Durchstrahlungbilder entsprechend geresampelt bzw. wird die Verzerrung in der Rekonstruktion berücksichtigt.This ensures that the measurement object 1 is irradiated in the same direction in the starting angle position in the same measuring object areas and thus the transmission length is the same in each case, and that the transmission images corresponding in each case to the same angle from the various relative positions are correctly combined. The ray bundle 13 ' However, it now hits the changed angle 15 ' on the detector 4 , This leads to perspective distortions of the radiographic images. These are inventively by the known angle 15 and 15 ' corrected, and the Durchstrahlbilder appropriately sampled or the distortion is taken into account in the reconstruction.

Um das gesamte Messobjekt 1 computertomografisch zu erfassen, sind gegebenenfalls Messungen in weiteren Relativstellungen des Messobjektes 1 und der Drehachse 5 durch Verschiebung entlang der Kreisbahn 16 notwendig. Analog zu dem in 2 erläuterten Vorgehen wird beispielsweise bei entgegengesetzter Bewegung um den Winkel 6' auf der Kreisbahn 16 der Überlappungsbereich 12 des Messobjektes 1 erfasst. Auch hierbei wird der Startdrehwinkel wiederum so eingestellt, dass die Durchstrahlung, in diesem Fall durch das Strahlenbündel 17, wieder in der gleichen Richtung erfolgt.To the entire measurement object 1 If necessary, measurements in further relative positions of the measurement object are to be detected by computer tomography 1 and the axis of rotation 5 by shifting along the circular path 16 necessary. Analogous to the in 2 explained procedure is, for example, with opposite movement around the angle 6 ' on the circular path 16 the overlap area 12 of the measured object 1 detected. Again, the start rotation angle is again set so that the transmission, in this case by the beam 17 , again in the same direction.

Ein analoges Vorgehen erfolgt bei der Verschiebung der Drehachse mit dem Messobjekt entlang einer Kreisbahn, welche sich in einer Ebene befindet, die aus der Drehachse und der direkten Verbindung zwischen Detektormittelpunkt und Strahlungsquelle (Brennfleck) gebildet wird. Im Gegensatz zu den Darstellungen in 1 und 2 verläuft die Drehachse parallel zur längeren, dargestellten Körperkante des Messobjektes 1 und in der Zeichnungsebene, und das Messobjekt ist mittig über der Drehachse angeordnet. Grundlegend können aber die 1 und 2 zur Verdeutlichung herangezogen werden. In der zweiten Relativposition entsprechend 2 erfolgt dann aber keine Anpassung des Startdrehwinkels, sondern die Drehachse wird gemeinsam mit dem Messobjekt in der Zeichnungsebene gekippt.An analogous procedure takes place during the displacement of the axis of rotation with the measuring object along a circular path, which is located in a plane which is formed from the axis of rotation and the direct connection between detector center and radiation source (focal spot). In contrast to the representations in 1 and 2 the axis of rotation runs parallel to the longer, shown body edge of the measurement object 1 and in the plane of the drawing, and the measurement object is centered above the rotation axis. Basically, but the 1 and 2 be used for clarification. In the second relative position accordingly 2 But then takes place no adjustment of the starting rotation angle, but the rotation axis is tilted together with the measurement object in the drawing plane.

Claims (11)

Computertomografie-Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt, bei dem das auf einer Drehachse befestigte Messobjekt in mehreren Relativpositionen bezüglich der Sensorik, zumindest bestehend aus Strahlungsquelle und 2-dimensionalen Detektor, jeweils in mehreren Drehstellungen von der Strahlung der Strahlungsquelle durchstrahlt wird und jeweils zugehörige 2D-Durchstrahlungsbilder aufgenommen werden, wobei die Durchstrahlungsbilder aus den verschiedenen Relativpositionen jeweils zu einem resultierenden Durchstrahlungsbild zusammengesetzt werden, die bezüglich des jeweiligen Startdrehwinkels der verschiedenen Relativpositionen bei der gleichen Drehstellung aufgenommen worden, und aus den resultierenden Durchstrahlungsbildern mittels Rekonstruktion 3-dimensionale Volumeninformationen im Voxelformat (so genanntes Voxelvolumen) berechnet werden, wobei in diesem Voxelvolumen Daten zur lokalen Strahlabsorption enthalten sind, wobei vorzugsweise aus den Voxeldaten, im Bereich der Materialübergänge, Oberflächenpunkte generiert werden, dadurch gekennzeichnet, dass die unterschiedlichen Relativpositionen so gewählt werden, dass der Abstand zwischen dem Fokuspunkt der Strahlungsquelle (Brennfleck) und der Drehachse gleich bleibt.Computed tomography method for the dimensional determination of features on a measurement object, wherein the measured object mounted on a rotation axis in several relative positions with respect to the sensor, at least consisting of radiation source and 2-dimensional detector, in each case in several rotational positions of the radiation of the radiation source is irradiated and respectively associated 2D radiographic images are recorded, wherein the radiographic images from the different relative positions are each assembled into a resulting radiographic image taken with respect to the respective starting rotational angle of the various relative positions at the same rotational position, and from the resulting radiographic images by reconstruction 3-dimensional volume information in voxel format (so-called voxel volume) are calculated, wherein in this voxel volume data for local beam absorption are included, preferably from the Voxelda surface points are generated in the area of the material transitions, characterized in that the different relative positions are selected so that the distance between the focal point of the radiation source (focal spot) and the axis of rotation remains the same. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die unterschiedlichen Relativpositionen auf einer Kreisbahn um den Fokuspunkt der Strahlungsquelle und in einer Ebene befinden, deren Normalenvektor parallel zur Richtung der Drehachse steht.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the different relative positions are located on a circular path around the focal point of the radiation source and in a plane whose normal vector is parallel to the direction of the axis of rotation. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils benachbarte Relativpositionen so gewählt werden, dass ein Teil des Messobjektes in einigen der Drehstellungen in jeweils beiden Relativpositionen erfasst wird, also ein Überlappungsbereich existiert.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that each adjacent relative positions are selected so that a part of the measurement object is detected in some of the rotational positions in each of the two relative positions, ie an overlap region exists. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei Veränderung der Relativposition auf einer Kreisbahn der feststehende Teil der Drehachse nicht verdreht wird und der drehbare Teil der Drehachse zusammen mit dem Messobjekt zur Festlegung des Startdrehwinkels um den Winkel der veränderten Kreisbahnposition gedreht wird.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that when changing the relative position on a circular path of the fixed part of the rotation axis is not rotated and the rotatable part of the rotation axis is rotated together with the measurement object for determining the starting rotation angle by the angle of the changed orbit position. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweiligen Drehstellungen in den verschiedenen Relativpositionen in ihrem Startwinkel so festgelegt werden, dass der Einfallswinkel des das Messobjekt erfassenden Bereiches der Messstrahlung im Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt, das Messobjekt im Überlappungsbereich also in der gleichen Richtung durchstrahlt wird, insbesondere der Startdrehwinkel also um den Winkel verändert wird, um den die Drehachse um den Brennfleck bewegt wurde.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the respective rotational positions in the various Relative positions are set in their starting angle so that the angle of incidence of the measuring object detecting range of the measuring radiation remains the same in relation to the measuring object coordinate system, the measured object is thus irradiated in the overlapping area in the same direction, in particular the starting rotation angle is changed by the angle to the the axis of rotation was moved around the focal spot. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in allen Relativpositionen die jeweils weiteren Drehstellungen bezüglich des jeweiligen Startwinkels gleich eingestellt werden, vorzugsweise die Drehwinkelschrittweite konstant ist.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that in all relative positions, the respective further rotational positions are set equal with respect to the respective starting angle, preferably the rotational angle increment is constant. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die durch Veränderung des Startwinkels und/oder durch die Relativbewegung des Messobjektes auf einer Kreisbahn entstehenden perspektivischen Verzerrungen der Abbildung auf dem Strahlendetektor korrigiert werden, vorzugsweise durch Resampling-Verfahren am jeweiligen Durchstrahlungsbild und/oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the perspective distortions of the image on the radiation detector resulting from a change in the starting angle and / or by the relative movement of the measurement object on a circular path are corrected, preferably by resampling methods on the respective radiographic image and / or by consideration in the reconstruction. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die verschiedenen Relativpositionen auf einer Kreisbahn um den Fokuspunkt der Strahlungsquelle angeordnet sind, welche sich in einer Ebene befindet, die durch die Drehachse und die direkte Verbindung zwischen Detektormittelpunkt und Strahlungsquelle aufgespannt wird.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the various relative positions are arranged on a circular path about the focal point of the radiation source, which is located in a plane which is spanned by the axis of rotation and the direct connection between detector center and radiation source. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei Veränderung der Relativposition auf einer Kreisbahn die gesamte Drehachse entsprechend der Kreisbahnposition verkippt wird und der drehbare Teil der Drehachse zusammen mit dem Messobjekt zur Festlegung des Startdrehwinkels in der Drehstellung verbleibt.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that when changing the relative position on a circular path, the entire axis of rotation is tilted according to the orbit position and the rotatable part of the axis of rotation remains together with the measurement object for determining the starting rotational angle in the rotational position. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse in den verschiedenen Relativpositionen so in der Ebene aus Drehachse und Verbindung zwischen Detektormitte und Strahlungsquelle verkippt wird, dass der Einfallswinkel des das Messobjekt erfassenden Bereiches der Messstrahlung im Bezug auf das Messobjektkoordinatensystem gleich bleibt, das Messobjekt im Überlappungsbereich also in der gleichen Richtung durchstrahlt wird.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the axis of rotation is tilted in the different relative positions in the plane of rotation axis and connection between the detector center and radiation source, that the angle of incidence of the measuring object detecting area of the measuring radiation remains the same with respect to the measuring object coordinate system , the measurement object is thus irradiated in the overlapping area in the same direction. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die durch Veränderung des Startwinkels und/oder durch die Relativbewegung des Messobjektes auf einer Kreisbahn entstehenden perspektivischen Verzerrungen der Abbildung auf dem Strahlendetektor korrigiert werden, vorzugsweise durch die Neigung der Drehachse und/oder durch Resampling am jeweiligen Durchstrahlungsbild und/oder durch Berücksichtigung bei der Rekonstruktion.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the resulting by changing the starting angle and / or by the relative movement of the measurement object on a circular path perspective distortions of the image on the radiation detector are corrected, preferably by the inclination of the axis of rotation and / or by resampling on the respective radiographic image and / or by consideration during the reconstruction.
DE102012103984A 2012-05-07 2012-05-07 Method for determining features of a measurement object Withdrawn DE102012103984A1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012103984A DE102012103984A1 (en) 2012-05-07 2012-05-07 Method for determining features of a measurement object
PCT/EP2013/059149 WO2013167461A1 (en) 2012-05-07 2013-05-02 Method for determining features of a measurement object
EP13724746.6A EP2847579A1 (en) 2012-05-07 2013-05-02 Method for determining features of a measurement object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012103984A DE102012103984A1 (en) 2012-05-07 2012-05-07 Method for determining features of a measurement object

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102012103984A1 true DE102012103984A1 (en) 2013-11-07

Family

ID=48485112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102012103984A Withdrawn DE102012103984A1 (en) 2012-05-07 2012-05-07 Method for determining features of a measurement object

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2847579A1 (en)
DE (1) DE102012103984A1 (en)
WO (1) WO2013167461A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111279149A (en) * 2017-10-27 2020-06-12 蒂阿马公司 Method and device for measuring the dimensions of empty glass containers travelling in a flow line by means of X-rays

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015101378A1 (en) 2014-01-30 2015-07-30 Werth Messtechnik Gmbh Apparatus and method for measuring characteristics of workpieces with computed tomography
FR3073043B1 (en) * 2017-10-27 2019-11-15 Tiama METHOD AND INSTALLATION FOR ONLINE DIMENSIONAL CONTROL OF MANUFACTURED OBJECTS
US11604152B2 (en) * 2019-10-09 2023-03-14 Baker Hughes Oilfield Operations Llc Fast industrial computed tomography for large objects

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5119408A (en) * 1990-10-31 1992-06-02 General Electric Company Rotate/rotate method and apparatus for computed tomography x-ray inspection of large objects
EP2915488B1 (en) * 2002-03-19 2019-06-05 Medtronic Navigation, Inc. Computer tomography with a detector following the movement of a pivotable x-ray source
DE102005036527B4 (en) * 2005-08-03 2008-05-21 Yxlon International X-Ray Gmbh X-ray CT test system and CT method for testing objects
DE102006041033B4 (en) * 2006-09-01 2017-01-19 Siemens Healthcare Gmbh Method for reconstructing a three-dimensional image volume
DE102006046692B3 (en) * 2006-09-29 2008-02-14 Siemens Ag X-ray image recording of non-central image area involves rotating support about axis through focus prior to each recording for non-central position so central ray of x-ray beam passes through center of region of interest during recording

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111279149A (en) * 2017-10-27 2020-06-12 蒂阿马公司 Method and device for measuring the dimensions of empty glass containers travelling in a flow line by means of X-rays
CN111279149B (en) * 2017-10-27 2022-08-30 蒂阿马公司 Method and device for measuring the dimensions of empty glass containers travelling in a flow line by means of X-rays

Also Published As

Publication number Publication date
EP2847579A1 (en) 2015-03-18
WO2013167461A1 (en) 2013-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102013109843A1 (en) Method and device for correcting computed tomography measurements with a coordinate measuring machine
DE102005048891B4 (en) Calibrating a computed tomography system by using angularly offset foci with fanned-open X-ray beams to irradiate oppositely situated detectors, assigning X-ray beam per angle of rotation of gantry, and coordinating measured values
EP2263075B1 (en) Method for the tomographic measurement of mechanical workpieces
DE102010000473A1 (en) Method for measuring an object
DE19615456A1 (en) Process for the detection and correction of image distortions in computer tomography
DE112006003039T5 (en) Method and arrangement for X-ray imaging
DE102006054591A1 (en) System and method for reconstructing a scan-in-line scan image
DE3546233A1 (en) METHOD AND ARRANGEMENT FOR CORRECTING A SHIFTING OF THE CENTER OF ROTATION OF A COMPUTER TOMOGRAPHY SYSTEM WITH A ROTATING FOCUS BUNDLE
EP2637564A1 (en) Measurement arrangement for a computer tomograph
WO2012130755A1 (en) Method and device for correcting artefacts during x-ray imagery, especially computer tomography, with a moving modulator field
DE102006041850B4 (en) CT method for checking objects of different sizes
DE102005009817B4 (en) A shadow mask for an X-ray detector, computed tomography apparatus, comprising a shadow mask and method for adjusting a shadow mask
DE102012103984A1 (en) Method for determining features of a measurement object
DE102013203541A1 (en) X-ray CT scan and dual source CT system
DE102006022104B4 (en) Device for the three-dimensional measurement of a solid
EP2616763A2 (en) Method for measuring the profile geometry of curved, in particular cylindrical bodies
DE102006022103B4 (en) Method for measuring a solid
DE2609925A1 (en) ARRANGEMENT FOR DETERMINING THE SPATIAL DISTRIBUTION OF THE ABSORPTION OF A BODY
DE102014116595A1 (en) Device and method for using multiple detectors in the dimensional measurement with a computed tomography sensor
DE102007023925B4 (en) Method, apparatus and arrangement for compensating the effects of focal spot migration when taking X-ray projection images
EP1000408B1 (en) Computer tomagraphy method with helical scanning of an examination area
DE3021757C2 (en)
DE2920051C2 (en) X-ray device for determining the absorption distribution in a flat examination area
DE102014113977A1 (en) Method for determining at least one parameter in the dimensional measurement with a computed tomography sensor
DE102013222386A1 (en) Method and CT System for Topogram Scanning

Legal Events

Date Code Title Description
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination