DE102005021985A1 - Sound generation and emission method for cleaning articles immersed in fluid involves generating signals that are modulated according to frequency or intensity - Google Patents

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Abstract

A generator (2) produces frequency-dependent signals that are transmitted to at least one sound generator (4) that emits sound waves to fluid (6) in which articles e.g. wafer (7) are immersed. The fluid may be an aqueous solution, condensed gases or gas solution mixtures. The signals are modulated based on the frequency or intensity.

Description

Technisches GebietTechnical area

Die Erfindung bezieht sich auf das Reinigen von Materialen mit Schall. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Reinigen von Materialien in der Waferprozessierung.The This invention relates to the cleaning of materials with sound. In particular, the invention relates to a method as well an apparatus for cleaning materials in wafer processing.

Stand der TechnikState of the art

Für die Materialreinigung sind unter anderem Ultraschallsysteme bekannt. Sie arbeiten im Kilo- und Megahertzbereich. Sie werden dafür eingesetzt, Verunreinigungen in Bereichen zu entfernen, in denen mechanische System allenfalls geringe oder keine Erfolge erzielen können. Dabei werden definierte Frequenzen verwendet, die durch entstehende Resonanzen die Materialien entfernen.For the material cleaning Among other ultrasound systems are known. They work in the kilo and Megahertz range. You will for it used to remove contaminants in areas where Mechanical system achieve little or no success at best can. In this case, defined frequencies are used, which are created by Resonances remove the materials.

Ferner finden solche Ultraschallsysteme Anwendung, um störende Blasen und/oder Gaspolster in gasförmigen Lösungsgemischen zu entfernen.Further Such ultrasound systems find application to annoying bubbles and / or gas cushion in gaseous solution mixtures to remove.

Durch eine definierte Auswahl von Frequenzen ist es ausführbar, dass die Reinigungswirkung entsprechend verbessert wird. Ebenfalls ist es möglich, das Prozessergebnis des Reinigungsvorgangs durch geometrische Anordnung des Schallgebers, die unterschiedliche Wahl eines Generators zur Erzeugung von Signalen, die an den Schallgeber übermittelt werden, sowie durch ausgewählte Flüssigkeiten zu verbessern.By a defined selection of frequencies makes it executable that the cleaning effect is improved accordingly. Also is it is possible the process result of the cleaning process by geometric arrangement of the sounder, the different choice of a generator for Generation of signals that are transmitted to the sounder, as well as by selected liquids to improve.

Es zeigte sich jedoch der Nachteil, dass kleine Strukturen durch diese Art der Bearbeitung zerstört werden. Dies wird dadurch bewirkt, dass bei der Beschallung Interferenzen entstehen, die zyklisch wiederkehrend sind und dadurch aufgrund entstehender Resonanzen Strukturzerstörung bewirken. Die Strukturzerstörungen zeigen sich besonders im Bereich der Halbleitertechnologie, da hier mikrofeine Strukturen vorliegen, die ungewollt beschädigt werden. Um diesem Nachteil entgegenzuwirken, wird in der Regel vorgeschlagen, die Zeit, die zur Reinigung aufgewendet wird, zu verlängern, um eine sogenannte Inhomogenität der entstehenden Referenzmuster über die Zeit zu bewirken. Bei gleichen Rahmenbedingungen für den Reinigungsprozess bleibt jedoch der Nachteil, dass die Dauer des Reinigungsprozesses erheblich verlängert wird. Ferner können in allen Fällen zyklisch wiederkehrende Interferenzen unterschiedlicher Intensitäten entstehen, die zu einer Abnahme des Wirkungsgrads des Reinigungsprozesses sowie trotzdem zu Beschädigungen des zu reinigenden Materials führen.It However, the disadvantage was that small structures through this Type of processing destroyed become. This is caused by interference in the sound arise that are cyclically recurring and therefore due resulting resonances cause structural destruction. The structural destruction show Especially in the field of semiconductor technology, since here are microfine structures present, the unintentionally damaged become. In order to counteract this disadvantage, it is generally suggested To extend the time spent on cleaning a so-called inhomogeneity the resulting reference pattern to make the time. With the same basic conditions for the cleaning process However, the disadvantage remains that the duration of the cleaning process considerably extended becomes. Furthermore, can in all cases cyclically recurring interferences of different intensities arise which leads to a decrease in the efficiency of the cleaning process as well anyway to damage lead the material to be cleaned.

In der US 6,538,360 werden ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens vorgeschlagen, mittels dem über Beschallung Reinigungsprozesse durchgeführt werden können. Um einen höheren Wirkungsgrad des Reinigungsprozesses zu erzielen, wird der an sich vorgegebene Frequenzverlauf moduliert. Jedoch verbleibt der Nachteil der Entstehung stationärer Interferenzen, die zur Beschädigung des zu reinigenden Materials führen.In the US 6,538,360 For example, a method and a device for carrying out the method are proposed by means of which cleaning processes can be carried out by sonication. In order to achieve a higher efficiency of the cleaning process, the inherent frequency response is modulated. However, the disadvantage of the formation of stationary interference, which leads to damage of the material to be cleaned remains.

Aufgabe der ErfindungObject of the invention

Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Vermeidung der bei der Reinigungswirkung entstehenden Zerstörungen zu vermeiden.The The object of the invention is to avoid the cleaning effect resulting destruction to avoid.

Lösung der AufgabeSolution of the task

Der erfindungswesentliche Gedanke besteht darin, ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer stochastisch modulierten Schallsteuerung vorzuschlagen, so dass zumindest ein großer Anteil von alternierenden Frequenzerscheinungen vermieden wird.Of the Thought essential to the invention is a method and a device for applying the method according to the invention with a stochastic to propose modulated sound control, so that at least one greater Proportion of alternating frequency phenomena is avoided.

Somit werden erfindungsgemäß ein Verfahren gemäß Anspruch 1 sowie eine Vorrichtung gemäß Anspruch 4 vorgeschlagen.Consequently become a method according to the invention according to claim 1 and a device according to claim 4 proposed.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Einer der wesentlichen Vorteile der Erfindung besteht darin, dass insbesondere stationäre Interferenzen vermieden werden, wodurch Beschädigungen an den zu reinigenden Materialien vermieden werden. Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, dass die an sich entstehenden Interferenzen delokalisiert werden. Die Realisierung erfolgt durch eine stochastische Modulation des Generators bzw. des Schallgebers, so dass die einzelnen Interferenzmuster entzerrt werden, in dem sie zeitlich und räumlich in unterschiedlichen Intensitäten entstehen.one The main advantages of the invention is that in particular stationary Interference is avoided, causing damage to be cleaned Materials are avoided. According to the invention, this is achieved by that the resulting interferences are delocalized. The realization is done by a stochastic modulation of the Generator or the sounder, so that the individual interference pattern be equalized in that they temporally and spatially in different intensities arise.

Eine alternative Ausführung besteht darin, dass anstelle eines durch einen Zufallsgenerator erzeugten Frequenzbereichs eine Ansteuerung des Schallgebers über Daten aus einer Datenbank erfolgt, wobei die Daten selbst über einen Zufallsgenerator erzeugt werden.A alternative design is that instead of one by a random number generator generated frequency range control of the sounder via data is done from a database, the data itself via a Random generator can be generated.

Bei beiden Ausführungen zeichnen sich das Verfahren und die Vorrichtung, mit der das Verfahren durchzuführen ist, dadurch aus, dass eine nicht konstante bzw. nicht stationäre Modulation erfolgt, wobei die Werteparameter Frequenz und Intensität oder wahlweise einer der beiden Werteparameter per Zufall erzeugt werden.In both embodiments, the method and the device with which the method is to be carried out, characterized in that a non-constant or non-stationary modulation takes place, wherein the value parameters frequency and intensity or alternatively one of the two value parameters are generated by chance.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt in der Herstellung. Zum Erreichen eines besseren Reinigungsergebnisses ohne Verlängerung der besagten Prozesszeit sind keine weiteren Schallgeber oder Generatoren notwendig, so dass es auch nicht erforderlich ist, jeden einzelnen Schallgeber unterschiedlich anzusteuern, wodurch erhebliche Herstellungskosten eingespart werden können.One Another advantage of the invention is in the production. To reach a better cleaning result without extension of the said process time No further sound generators or generators are necessary, so that It also does not require every single sounder different to drive, whereby significant manufacturing costs can be saved can.

Vorteilhafterweise können Generator und Schallgeber ein Bauteil bilden.advantageously, can Generator and sounder form a component.

Das Verfahren selbst ist an keinen Frequenzbereich gebunden, so dass das Verfahren auf den jeweiligen Reinigungsprozess optimal einstellbar ist.The Method itself is not bound to any frequency range, so that the process can be optimally adjusted to the respective cleaning process is.

Das Verfahren kann überall dort eingesetzt werden, bei dem stationäre Interferenzen zu einer Zerstörung, Schädigung, Inhomogenität oder zu einem abnehmenden Wirkungsgrad in Bezug auf den Reinigungsprozess führen.The Procedure can be anywhere where stationary interference destroys, damages, inhomogeneity or to a decreasing efficiency with respect to the cleaning process to lead.

Zeichnungendrawings

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung; 1 a schematic representation of the device according to the invention;

2 ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Frequenzverlaufs mit stochastischer Modulation; 2 an embodiment of the frequency response according to the invention with stochastic modulation;

3a, b einen schematischen Vergleich eines Frequenzsystems, wie es gemäß dem Stand der Technik angewendet wird (3a), mit einem Frequenzsystem (3b) gemäß der vorliegenden Erfindung. 3a , b is a schematic comparison of a frequency system as used in the prior art ( 3a ), with a frequency system ( 3b ) according to the present invention.

Beschreibung eines AusführungsbeispielsDescription of an embodiment

In 1 ist schematisch die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Sie besteht aus einer Steuerung in der Ausbildung eines Generators 2 zur Erzeugung eines frequenzabhängigen Signals 3, das an einen Schallgeber 4 weitergeleitet wird. Der Schallgeber 4 weist die Eigenschaft auf, das bereitgestellte Signal 3 in ein Schallsignal 5 umzuwandeln und in eine Flüssigkeit 6, wie beispielsweise eine wässrige Lösung, einzukoppeln. Das zu reinigende Material, in der 1 als Wafer 7 dargestellt, ist in der Flüssigkeit 6 gelagert.In 1 is schematically the device according to the invention 1 shown for carrying out the method according to the invention. It consists of a controller in the training of a generator 2 for generating a frequency-dependent signal 3 to a sounder 4 is forwarded. The sounder 4 has the property, the signal provided 3 in a sound signal 5 to transform and into a liquid 6 , such as an aqueous solution, couple. The material to be cleaned, in the 1 as a wafer 7 is shown in the liquid 6 stored.

Aufgrund des eingekoppelten Schallsignals, das beispielsweise die Frequenzen gemäß 2 aufweist, erfolgt der Reinigungsprozess.Due to the coupled-in sound signal, for example, the frequencies according to 2 has, the cleaning process takes place.

In 3 ist eine Gegenüberstellung eines Frequenzsystems gemäß dem Stand der Technik und der Erfindung dargestellt. In den 3a und 3b sind auf der Abszisse jeweils die Zeit und auf der Ordinate die Intensität dargestellt. Bei definierten Frequenzen entstehen (3a) stationäre Interferenzen, die zur Beschädigung des zu reinigenden Materials führen.In 3 a comparison of a frequency system according to the prior art and the invention is shown. In the 3a and 3b the abscissa shows the time and the ordinate the intensity. At defined frequencies arise ( 3a ) stationary interference, which leads to damage of the material to be cleaned.

Hingegen werden bei modulierten Frequenzen, wie aus 3b ersichtlich, zumindest keine stationären eindeutigen Interferenzen entstehen, wobei das hier dargestellte Frequenzsystem beispielsweise durch die Erzeugung eines Frequenzspektrums herstellbar ist. Hieraus ist ersichtlich, dass aufgrund keiner wiederkehrenden Frequenz eine unmittelbare stationäre Interferenz entstehen kann.On the other hand, at modulated frequencies, such as 3b can be seen, at least no stationary unambiguous interference, the frequency system shown here can be produced, for example, by generating a frequency spectrum. From this it can be seen that due to no recurring frequency an immediate stationary interference can arise.

11
Vorrichtungcontraption
22
Generatorgenerator
33
Signalsignal
44
Schallgebersounder
55
Schallsignalsound signal
66
Flüssigkeitliquid
77
Waferwafer

Claims (4)

Verfahren zum Erzeugen und Aussenden von Schallwellen zum Reinigen und/oder Bearbeiten von Gegenständen in Flüssigkeiten, wie wässrigen Lösungen, kondensierten Gasen oder Gas-Lösungsgemischen, wobei Generatoren zur Erzeugung von frequenzabhängigen Signalen vorgesehen sind, die zur Einkopplung in die Flüssigkeiten an mindestens einen Schallgeber weitergeleitet werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Signale (3) in Abhängigkeit der Frequenz und/oder Intensität zufallsorientiert moduliert werden.A method for generating and emitting sound waves for cleaning and / or processing of objects in liquids, such as aqueous solutions, condensed gases or mixed gas mixtures, wherein generators for generating frequency-dependent signals are provided, which are forwarded for coupling into the fluids to at least one sound generator characterized in that the signals ( 3 ) are modulated randomly depending on the frequency and / or intensity. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzeugung der Signale (3) ein Zufallsgenerator verwendet wird.Method according to Claim 1, characterized in that for generating the signals ( 3 ) a random number generator is used. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Generatoren (2) alle Varianten zur Generierung von Modulationsreihen mit dem Ziel der nicht konstanten stochastikartigen Frequenzgenerierung erzeugen.Method according to claim 1, characterized in that the generators ( 2 ) generate all variants for the generation of modulation series with the goal of non-constant stochastic frequency generation. Vorrichtung zum Erzeugen und Aussenden von Schallwellen zum Reinigen und/oder Bearbeiten von Gegenständen in Flüssigkeiten, wie wässrigen Lösungen, kondensierten Gasen oder Gas-Lösungsgemischen, wobei Generatoren zur Erzeugung von frequenzabhängigen Signalen vorgesehen sind, die zur Einkopplung in die Flüssigkeiten an mindestens einen Schallgeber weitergeleitet werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Signale (3) in Abhängigkeit der Frequenz und/oder Intensität zufallsorientiert moduliert werdenDevice for generating and emitting sound waves for cleaning and / or processing of objects in liquids, such as aqueous solutions, condensed gases or gas solution Generators for generating frequency-dependent signals are provided, which are forwarded for coupling into the liquids to at least one sound generator, characterized in that the signals ( 3 ) are modulated randomly depending on the frequency and / or intensity
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112009002186B4 (en) * 2008-09-09 2016-03-03 Mitsubishi Electric Corp. Ultrasonic generator and device for its attachment

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US5834871A (en) * 1996-08-05 1998-11-10 Puskas; William L. Apparatus and methods for cleaning and/or processing delicate parts

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