DE102004026357B4 - Device and method for measuring an object - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung zum Messen eines Objektes (3) umfassend ein Koordinatenmessgerät mit zumindest einer das Objekt messenden taktilen und/oder optischen Sensorik (8, 9) sowie einer das Objekt messenden Röntgensensorik (7), dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik (7) entsprechend der taktilen und/oder der optischen Sensorik (8, 9) als weitere Sensorik in dem Koordinatenmessgerät positionierbar ist, dass gleichwertig zur taktilen und/oder optischen Sensorik (8, 9) die Röntgensensorik (7) angeordnet ist, dass die Röntgensensorik (7) mit der optischen Sensorik (8) auf einer gemeinsamen mechanischen Achse (5) angeordnet ist, dass die Röntgensensorik (7) und die weitere Sensorik (8, 9) ein gemeinsames Koordinatensystem haben, und dass aus den mit der Röntgensensorik (7) ermittelten Messpunkten sowie den taktil ermittelten Messpunkten und / oder den optisch ermittelten Messpunkten eine gemeinsame Punktwolke zur weiteren Auswertung erzeugbar ist.Device for measuring an object (3) comprising a coordinate measuring machine with at least one tactile and/or optical sensor system (8, 9) measuring the object and an X-ray sensor system (7) measuring the object, characterized in that the X-ray sensor system (7) according to the tactile and/or the optical sensors (8, 9) can be positioned as additional sensors in the coordinate measuring machine, that the X-ray sensors (7) are arranged equivalent to the tactile and/or optical sensors (8, 9), that the X-ray sensors (7) with the optical sensor system (8) is arranged on a common mechanical axis (5), that the X-ray sensor system (7) and the other sensors (8, 9) have a common coordinate system, and that from the measuring points determined with the X-ray sensor system (7) and the tactilely determined measuring points and / or the optically determined measuring points a common point cloud can be generated for further evaluation.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Messen eines Objektes umfassend ein Koordinatenmessgerät mit zumindest einer das Objekt messenden taktilen und/oder optischen Sensorik sowie einer das Objekt messenden Röntgensensorik. Ferner bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum Messen eines Objektes umfassend ein Koordinatenmessgerät mit zumindest einer das Objekt messenden taktilen Sensorik und/oder optischen Sensorik sowie einer das Objekt messenden Röntgensensorik.The invention relates to a device for measuring an object, comprising a coordinate measuring machine with at least one tactile and/or optical sensor system measuring the object and an X-ray sensor system measuring the object. Furthermore, the invention relates to a method for measuring an object, comprising a coordinate measuring machine with at least one tactile sensor system and/or optical sensor system measuring the object and an X-ray sensor system measuring the object.

Zum Messen der Geometrie von Werkstücken sind Koordinatenmessgeräte mit verschiedenen Sensoren bekannt. Als solche Sensoren werden optische und taktile Sensoren beschrieben (DE.Z.: Die Bibliothek der Technik, Bd. 248). Ebenfalls ist der Einsatz von Computer-Tomographen zur Bestimmung von Werkstückgeometrien insbesondere von Fehlstellen bekannt. So wird in der DE 103 31 419 A1 eine Kombination beider Geräte beschrieben. Hierbei ist ein Computer-Tomograph fest am Grundaufbau des Koordinatenmessgerätes befestigt. Dabei wird mittels klassischer Koordinatenmesstechnik-Sensorik die Position des Messobjektes bestimmt und hierauf folgend in den Messbereich des Computer-Tomographen positioniert.Coordinate measuring devices with various sensors are known for measuring the geometry of workpieces. Optical and tactile sensors are described as such sensors (DE.Z.: Die Bibliothek der Technik, Vol. 248). The use of computer tomographs to determine workpiece geometries, in particular defects, is also known. So will in the DE 103 31 419 A1 a combination of both devices is described. A computer tomograph is firmly attached to the basic structure of the coordinate measuring machine. The position of the measuring object is determined using classic coordinate measuring technology sensors and then positioned in the measuring range of the computer tomograph.

Beim beschriebenen Stand der Technik finden verschiedene Aufgabenstellungen keine Beachtung. Ungelöst bleibt zum Beispiel das Problem, dass die Messobjekte eine größere Ausdehnung aufweisen können als der Messbereich des Computer-Tomographen. Da dieser starr am Grundaufbau des Koordinatenmessgerätes befestigt ist, ist ein Zusammensetzen mehrerer Computertomographie-Aufnahmen nicht möglich.In the prior art described, various tasks are not considered. For example, the problem that the measurement objects can be larger than the measurement range of the computer tomograph remains unsolved. Since this is rigidly attached to the basic structure of the coordinate measuring machine, it is not possible to combine several computed tomography recordings.

Darüber hinaus weisen Computer-Tomographen üblicherweise eine relativ grobe Messunsicherheit in der Größenordnung von 10 µm oder mehr auf. Die alleinige Messung des Messobjektes mit dem Computer-Tomographen - wie in der DE 103 31 419 A1 beschrieben - ist somit zur vollständigen Lösung der geometrischen Messaufgaben an üblichen Zeichnungsteilen nicht ausreichend. Ein weiteres Problem besteht darin, die geometrische Kalibrierung der Computer-Tomographen vorzunehmen. Da die Eigenschaften der tomographischen Messung stark von den Eigenschaften des Messobjektes selbst abhängen, ist dies nur schwer global an Messnormalen durchzuführen.In addition, computer tomographs usually have a relatively large measurement uncertainty of the order of 10 μm or more. The sole measurement of the measurement object with the computer tomograph - as in the DE 103 31 419 A1 described - is therefore not sufficient for the complete solution of the geometric measuring tasks on usual drawing parts. A further problem consists in carrying out the geometric calibration of the computer tomographs. Since the properties of the tomographic measurement depend heavily on the properties of the measurement object itself, this is difficult to carry out globally on measurement standards.

Der DE 100 01 239 A1 sind ein Messgerät und ein Verfahren zum Vermessen von Strukturen auf einem Substrat zu entnehmen. Neben einem optischen Messsystem ist auch ein nichtoptisches Messsystem vorgesehen, wobei Strukturen im nm-Bereich gemessen werden sollen.Of the DE 100 01 239 A1 a measuring device and a method for measuring structures on a substrate can be found. In addition to an optical measuring system, a non-optical measuring system is also provided, with structures in the nm range being to be measured.

Ein Röntgenstrahleninspektionssystem zum Überprüfen von Flugzeugbauteilen ist der US 2003 / 0 043 964 A1 zu entnehmen. Um die Position des Sensors zu erfassen, gelangt das Triangulationsverfahren zum Einsatz.An x-ray inspection system for checking aircraft components can be found in US 2003/0 043 964 A1. The triangulation method is used to determine the position of the sensor.

Um große Bauteile zu messen, wird nach der EP 0 504 691 A2 eine Mess- und Verarbeitungsstation vorgeschlagen, die auswechselbare Tastköpfe enthält.To measure large components, after the EP 0 504 691 A2 proposed a measuring and processing station that contains interchangeable probes.

Ein Multisensormesskopf für Koordinatenmessgeräte wird in der DE 44 45 331 A1 beschrieben.A multi-sensor measuring head for coordinate measuring machines is DE 44 45 331 A1 described.

Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zu Grunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art so weiterzubilden, dass auch Messobjekte größerer Ausdehnung problemlos gemessen werden können. Auch soll eine im Vergleich zum Stand der Technik höhere Messsicherheit erzielbar sein. Ferner soll auf einfache Weise eine geometrische Kalibrierung der Röntgensensorik (Computer-Tomographen) ermöglicht werden.The present invention is based on the problem of further developing a device and a method of the type mentioned at the outset in such a way that measurement objects of greater dimensions can also be measured without any problems. It should also be possible to achieve greater measurement reliability compared to the prior art. Furthermore, a geometric calibration of the X-ray sensor system (computer tomograph) should be made possible in a simple manner.

Zur Lösung des Problems sieht die Erfindung im Wesentlichen vor, dass die Röntgensensorik entsprechend der taktilen Sensorik und/oder der optischen Sensorik in dem Koordinatenmessgerät positionierbar ist, dass gleichwertig zur taktilen und/oder optischen Sensorik die Röntgensensorik angeordnet ist, dass die Röntgensensorik mit der optischen Sensorik auf einer gemeinsamen mechanischen Achse angeordnet ist, dass die Röntgensensorik und die weitere Sensorik ein gemeinsames Koordinatensystem haben, und dass aus den mit der Röntgensensorik ermittelten Messpunkten sowie den taktil ermittelten Messpunkten und / oder den optisch ermittelten Messpunkten eine gemeinsame Punktwolke zur weiteren Auswertung erzeugbar ist.To solve the problem, the invention essentially provides that the x-ray sensor system can be positioned in the coordinate measuring machine in accordance with the tactile sensor system and/or the optical sensor system, that the x-ray sensor system is arranged equivalent to the tactile and/or optical sensor system, that the x-ray sensor system can be combined with the optical sensor system is arranged on a common mechanical axis, that the X-ray sensor system and the other sensors have a common coordinate system, and that a common point cloud for further evaluation can be generated from the measuring points determined with the X-ray sensor system and the tactilely determined measuring points and/or the optically determined measuring points .

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Röntgensensorik (Computer-Tomograph) nicht lediglich fest am Koordinatenmessgerät angebaut wird, sondern als Sensorik vollständig in das Koordinatenmessgerät integriert wird. Hierzu werden Sender und Empfänger des Computer-Tomographen so im Koordinatenmessgerät angeordnet, wie dies üblicherweise bei Durchlichtbeleuchtung und Bildverarbeitungssensorik realisiert wird. Röntgenempfänger und Bildverarbeitungssensorik oder auch mechanischer Taster können auf einer gemeinsamen mechanischen Achse beweglich angeordnet sein. Gleichfalls ist es möglich für jede Sensorik separate Achsen einzusetzen. Die jeweiligen Strahlungsquellen für Licht- und Röntgenstrahlung sind der jeweiligen Sensorik gegenüber angeordnet.According to the invention, it is provided that the X-ray sensor system (computer tomograph) is not only permanently attached to the coordinate measuring machine, but is completely integrated into the coordinate measuring machine as a sensor system. For this purpose, the transmitter and receiver of the computer tomograph are arranged in the coordinate measuring machine in the way that is usually implemented with transmitted light illumination and image processing sensors. X-ray receivers and image processing sensors or also mechanical sensors can be movably arranged on a common mechanical axis. It is also possible to use separate axes for each sensor system. The respective radiation sources for light and X-ray radiation are arranged opposite the respective sensors.

Durch den erfindungsgemäßen Aufbau ist es möglich, mehrere Ausschnitte des Messobjektes nacheinander durch die bekannten Verfahren der Tomographie (Drehen des Teiles und Aufnehmen von mehreren Durchstrahlungsbildern) zu erfassen. Anschließend kann für die gesamte Menge der zusammengesetzten Durchstrahlungsbilder die 3D-Konstruktion erfolgen. Es ist somit möglich größere Messobjekte als durch das Sehfeld des Tomographen bedingt zu messen.The construction according to the invention makes it possible to acquire several sections of the measurement object one after the other using the known methods of tomography (rotating the part and taking several radiographs). The 3D construction can then be carried out for the entire set of composite radiographs. It is thus possible to measure larger measurement objects than required by the field of view of the tomograph.

Es werden erfindungsgemäß mehrere tomographische Bilder unter Einbeziehung des Koordinatenmessgerätes bzw. des Koordinatensystems des Messgerätes aneinander gereiht.According to the invention, several tomographic images are lined up, including the coordinate measuring device or the coordinate system of the measuring device.

Darüber hinaus ist es möglich, genauer zu messende Merkmale des Messobjektes in traditioneller Weise mit den Sensoriken des Multisensor-Koordinatenmessgerätes (taktil-optisch) zu messen. Röntgensensorik und Bildverarbeitungssensorik und taktile Sensorik messen wie bei Multisensor-Koordinatenmessgeräten üblich in einem gemeinsamen Koordinatensystem, sodass die Messergebnisse direkt zueinander in Bezug gesetzt werden können. Bei dem gegebenen Aufbau ist es nun möglich, die Kalibrierung der Messungen mit der Röntgensensorik nach dem Tomographie-Prinzip direkt an den Messobjekten selbst durchzuführen. Hierdurch werden ausgezeichnete Punkte des Messobjektes mit der taktilen oder optischen Sensorik des Koordinatenmessgerätes in bekannter Genauigkeit gemessen. Diese Punkte werden bei der Auswertung der Berechnung der 3D-Rekonstruktion des Computer-Tomographen berücksichtigt, um die geometrische Kalibrierung dieses Rekonstruktionsprozesses durchzuführen.In addition, it is possible to measure features of the measurement object that are to be measured more precisely in the traditional way with the sensors of the multi-sensor coordinate measuring machine (tactile-optical). X-ray sensors, image processing sensors and tactile sensors measure in a common coordinate system, as is usual with multi-sensor coordinate measuring machines, so that the measurement results can be directly related to one another. With the given structure, it is now possible to carry out the calibration of the measurements with the X-ray sensors according to the tomography principle directly on the measurement objects themselves. In this way, marked points of the measurement object are measured with the tactile or optical sensors of the coordinate measuring machine with known accuracy. These points are taken into account when evaluating the calculation of the 3D reconstruction of the computer tomograph in order to carry out the geometric calibration of this reconstruction process.

Bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sind den Unteransprüche bzw. den nebengeordneten Verfahrensansprüchen zu entnehmen.Preferred developments of the invention can be found in the dependent claims and the independent method claims.

Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels.Further details, advantages and features of the invention also result from the following description of a preferred exemplary embodiment.

In der einzigen Figur ist prinzipiell ein Koordinatenmessgerät für den kombinierten Einsatz von Röntgensensorik und optischer und taktiler Sensorik dargestellt. Auf einer X-Achse 1 ist ein Drehtisch 2 angeordnet. Auf diesem befindet sich ein Messobjekt 3 und kann somit um die Drehachse 2 rotiert werden und in X-Richtung durch die Achse 1 verschoben Auf einem Y-Schieber 4 sind zwei Z-Achsen 5 und 6 angeordnet. Auf der Z-Achse 5 befindet sich ein Empfänger 7 für Röntgenstrahlung und eine Bildverarbeitungssensorik 8. Auf der Z-Achse 6 befindet sich zusätzlich eine taktile Sensorik 9. Gegenüber der Röntgensensorik 7 ist eine Röntgenquelle 10 angeordnet, die wahlweise in Y-Richtung bewegbar oder fest angebracht sein kann. Gegenüber der Bildverarbeitungssensorik 8 befindet sich eine Durchlichtquelle 11. Die Koordinatenachsen sind so ausgelegt, dass die auf dem Koordinatenmessgerät installierten Sensoriken jeweils den gesamten Messbereich auf dem Drehtisch 2 überdecken können.In the single figure, a coordinate measuring machine for the combined use of X-ray sensors and optical and tactile sensors is shown in principle. A rotary table 2 is arranged on an X-axis 1 . A measurement object 3 is located on this and can thus be rotated about the axis of rotation 2 and displaced in the X-direction by the axis 1. Two Z-axes 5 and 6 are arranged on a Y-slide 4. A receiver 7 for X-rays and an image processing sensor system 8 are located on the Z-axis 5. There is also a tactile sensor system 9 on the Z-axis 6. An X-ray source 10 is arranged opposite the X-ray sensor system 7, which can be moved in the Y direction or can be firmly attached. A transmitted light source 11 is located opposite the image processing sensor system 8 . The coordinate axes are designed in such a way that the sensors installed on the coordinate measuring machine can each cover the entire measuring range on the turntable 2 .

Claims (28)

Vorrichtung zum Messen eines Objektes (3) umfassend ein Koordinatenmessgerät mit zumindest einer das Objekt messenden taktilen und/oder optischen Sensorik (8, 9) sowie einer das Objekt messenden Röntgensensorik (7), dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik (7) entsprechend der taktilen und/oder der optischen Sensorik (8, 9) als weitere Sensorik in dem Koordinatenmessgerät positionierbar ist, dass gleichwertig zur taktilen und/oder optischen Sensorik (8, 9) die Röntgensensorik (7) angeordnet ist, dass die Röntgensensorik (7) mit der optischen Sensorik (8) auf einer gemeinsamen mechanischen Achse (5) angeordnet ist, dass die Röntgensensorik (7) und die weitere Sensorik (8, 9) ein gemeinsames Koordinatensystem haben, und dass aus den mit der Röntgensensorik (7) ermittelten Messpunkten sowie den taktil ermittelten Messpunkten und / oder den optisch ermittelten Messpunkten eine gemeinsame Punktwolke zur weiteren Auswertung erzeugbar ist.Device for measuring an object (3) comprising a coordinate measuring machine with at least one tactile and/or optical sensor system (8, 9) measuring the object and an X-ray sensor system (7) measuring the object, characterized in that the X-ray sensor system (7) corresponds to the tactile and/or the optical sensors (8, 9) can be positioned as additional sensors in the coordinate measuring machine, that the X-ray sensors (7) are arranged equivalent to the tactile and/or optical sensors (8, 9), that the X-ray sensors (7) with the optical sensor system (8) is arranged on a common mechanical axis (5), that the X-ray sensor system (7) and the other sensors (8, 9) have a common coordinate system, and that from the measuring points determined with the X-ray sensor system (7) and the tactilely determined measuring points and / or the optically determined measuring points a common point cloud can be generated for further evaluation. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7) als auch die taktile und/oder die optische Sensorik (8, 9) ein gemeinsames Messvolumen abdecken.device after claim 1 , characterized in that both the X-ray sensor system (7) and the tactile and/or the optical sensor system (8, 9) cover a common measuring volume. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Koordinatenmessgerät mindestens mit einer zur Arbeitsrichtung der Röntgensensorik (7) und/oder der optischen Sensorik, wie Bildverarbeitungssensorik (8), und/oder der taktilen Sensorik (9) senkrechten Drehachse (1) ausgestattet ist.device after claim 1 , characterized in that the coordinate measuring machine is equipped with at least one axis of rotation (1) perpendicular to the working direction of the X-ray sensors (7) and/or the optical sensors, such as image processing sensors (8) and/or the tactile sensors (9). Vorrichtung nach zumindest Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (1) um eine lotrechte bzw. vertikal verlaufende Achse rotiert.device after at least claim 3 , characterized in that the axis of rotation (1) rotates about a perpendicular or vertical axis. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanische Achse für die optische Sensorik (8) und/oder die Röntgensensorik (7) horizontal und/oder senkrecht zur Drehachse (1) ausgerichtet ist.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the mechanical axis for the optical sensor system (8) and/or the X-ray sensor system (7) is aligned horizontally and/or perpendicularly to the axis of rotation (1). Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquellen (10, 11) für die Röntgensensorik (7) und/oder optische Sensorik (8) synchron mit der zugeordneten Sensorik bewegbar sind.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the radiation sources (10, 11) for the X-ray sensors (7) and/or optical sensors (8) syn can be moved synchronously with the associated sensors. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (10) für die Röntgensensorik (7) im Koordinatensystem des Koordinatenmessgerätes fest angeordnet ist.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the radiation source (10) for the X-ray sensor system (7) is fixed in the coordinate system of the coordinate measuring device. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7) als auch optische Sensorik (8) und/oder taktile Sensorik (9) in mindestens einer Achse (5, 6) zum Objekt (3) verstellbar angeordnet sind.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that X-ray sensors (7) as well as optical sensors (8) and/or tactile sensors (9) are arranged to be adjustable in at least one axis (5, 6) to the object (3). Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7) als auch optische Sensorik (8) und/oder taktile Sensorik (9) in mindestens zwei Achsen (4, 5, 6) zum Objekt (3) verstellbar angeordnet sind.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that X-ray sensors (7) as well as optical sensors (8) and/or tactile sensors (9) are arranged to be adjustable in at least two axes (4, 5, 6) relative to the object (3). are. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7) als auch optische Sensorik (8) und/oder taktile Sensorik (9) in mindestens drei Achsen (1, 4, 5, 6) zum Objekt (3) verstellbar angeordnet sind.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that X-ray sensors (7) as well as optical sensors (8) and/or tactile sensors (9) in at least three axes (1, 4, 5, 6) to the object (3) are arranged adjustable. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine weitere Sensorik (8, 9) mit der Röntgensensorik (7) gemeinsam verstellbar angeordnet ist.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that at least one further sensor system (8, 9) is arranged to be adjustable together with the X-ray sensor system (7). Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine automatische Messbereichsanpassung durch Verstellen des Abstandes zwischen Röntgensensorik (7) und Strahlungsquelle (10) erfolgt.Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the measuring range is automatically adjusted by adjusting the distance between the X-ray sensor system (7) and the radiation source (10). Verfahren zum Messen eines Objektes (3) umfassend ein Koordinatenmessgerät mit zumindest einer das Objekt messenden taktilen und/oder optischen Sensorik (8, 9) sowie einer das Objekt messenden Röntgensensorik (7), dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgensensorik (7) entsprechend der taktilen und/oder der optischen Sensorik (8, 9) als weitere Sensorik in dem Koordinatenmessgerät positioniert wird, dass gleichwertig zu der taktilen und/oder der optischen Sensorik (8, 9) die Röntgensensorik (7) angeordnet wird, dass die Röntgensensorik (7) mit der optischen Sensorik (8) auf einer gemeinsamen mechanischen Achse angeordnet wird, dass die Röntgensensorik (7) und die weitere Sensorik (8, 9) in einem gemeinsamen Koordinatensystem messen, und aus den mit der Röntgensensorik (7) ermittelten Messpunkten sowie den taktil ermittelten Messpunkten und / oder den optisch ermittelten Messpunkten eine gemeinsame Punktwolke zur weiteren Auswertung erzeugt wird.Method for measuring an object (3) comprising a coordinate measuring machine with at least one tactile and/or optical sensor system (8, 9) measuring the object and an X-ray sensor system (7) measuring the object, characterized in that the X-ray sensor system (7) according to the tactile and/or the optical sensor system (8, 9) is positioned as a further sensor system in the coordinate measuring machine, that the X-ray sensor system (7) is arranged equivalent to the tactile and/or the optical sensor system (8, 9), that the X-ray sensor system (7) is arranged with the optical sensors (8) on a common mechanical axis, that the X-ray sensors (7) and the other sensors (8, 9) measure in a common coordinate system, and from the measuring points determined with the X-ray sensors (7) and the tactile determined measuring points and / or the optically determined measuring points a common point cloud is generated for further evaluation. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Röntgensensorik (7) und die taktile Sensorik (9) und/oder die optische Sensorik (8) ein gemeinsames Messvolumen abgedeckt wird.procedure after Claim 13 , characterized in that a common measuring volume is covered by the X-ray sensor system (7) and the tactile sensor system (9) and/or the optical sensor system (8). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 und 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Koordinatenmessgerät mindestens mit einer zur Arbeitsrichtung der Röntgensensorik (7) und/oder der optischen Sensorik, wie Bildverarbeitungssensorik (8), und/oder der taktilen Sensorik (9) senkrechten Drehachse (1) ausgestattet wird.Process according to at least one of Claims 13 and 14 , characterized in that the coordinate measuring machine is equipped with at least one axis of rotation (1) perpendicular to the working direction of the X-ray sensors (7) and/or the optical sensors, such as image processing sensors (8) and/or the tactile sensors (9). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (1) um eine lotrechte bzw. vertikal verlaufende Achse gedreht wird.Method according to at least one of Claims 13 until 15 , characterized in that the axis of rotation (1) is rotated about a perpendicular or vertical axis. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanische Achse für die optische Sensorik (8) und/oder die Röntgensensorik (7) horizontal und/oder senkrecht zur Drehachse (1) ausgerichtet wird.Method according to at least one of Claims 13 until 16 , characterized in that the mechanical axis for the optical sensor system (8) and/or the X-ray sensor system (7) is aligned horizontally and/or perpendicularly to the axis of rotation (1). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquellen (10, 11) für die Röntgensensorik (7) und/oder die optische Sensorik (8) synchron mit der zugeordneten Sensorik bewegt werden.Method according to at least one of Claims 13 until 17 , characterized in that the radiation sources (10, 11) for the X-ray sensor system (7) and/or the optical sensor system (8) are moved synchronously with the assigned sensor system. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (10) für die Röntgensensorik (7) im Koordinatensystem des Koordinatenmessgerätes fest angeordnet wird.Method according to at least one of Claims 13 until 18 , characterized in that the radiation source (10) for the X-ray sensors (7) is fixed in the coordinate system of the coordinate measuring machine. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Röntgensensorik (7) als auch die optische Sensorik (8) und/oder die taktile Sensorik (9) in mindestens einer Achse (5, 6) zum Objekt (3) verstellbar angeordnet werden.Process according to at least one of Claims 13 until 19 , characterized in that both the X-ray sensor system (7) and the optical sensor system (8) and/or the tactile sensor system (9) can be arranged in at least one axis (5, 6) relative to the object (3). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7) als auch optische Sensorik (8) und/oder taktile Sensorik (9) in mindestens zwei Achsen (4, 5, 6) zum Objekt (3) verstellbar angeordnet werden.Method according to at least one of Claims 13 until 20 , characterized in that X-ray sensors (7) as well as optical sensors (8) and/or tactile sensors (9) are adjustable in at least two axes (4, 5, 6) relative to the object (3). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl Röntgensensorik (7) als auch optische Sensorik (8) und/oder taktile Sensorik (9) in mindestens drei Achsen (1, 4, 5, 6) zum Objekt (3) verstellbar angeordnet werden.Method according to at least one of claims 19 until 21 , characterized , that X-ray sensors (7) as well as optical sensors (8) and/or tactile sensors (9) are adjustable in at least three axes (1, 4, 5, 6) relative to the object (3). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine weitere Sensorik (8, 9) mit der Röntgensensorik (7) gemeinsam verstellbar angeordnet wird.Method according to at least one of Claims 13 until 22 , characterized in that at least one further sensor system (8, 9) is arranged with the x-ray sensor system (7) so that it can be adjusted together. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass eine automatische Messbereichsanpassung durch Verstellen des Abstandes zwischen Röntgensensorik (7) und Strahlungsquelle (10) erfolgt.Method according to at least one of Claims 13 until 23 , characterized in that the measuring range is automatically adjusted by adjusting the distance between the X-ray sensor system (7) and the radiation source (10). Verfahren zum Kalibrieren von Röntgensensoren (7) in Koordinatenmessgeräten nach einem der Ansprüche 13 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass ausgezeichnete Punkte der zu messenden Objekte (3) selbst mit taktiler oder optischer Sensorik (8, 9) gemessen werden und hieraus Geometriemerkmale, wie Durchmesserabstände oder Ähnliches, ermittelt werden, die nach Bestimmung der gleichen Parameter mit der Röntgensensorik (7) zur Kalibrierung der Röntgensensorik herangezogen werden.Method for calibrating X-ray sensors (7) in coordinate measuring machines according to one of Claims 13 until 24 , characterized in that marked points of the objects (3) to be measured are themselves measured with tactile or optical sensors (8, 9) and from this geometric features, such as diameter distances or the like, are determined, which after determining the same parameters with the X-ray sensors (7 ) can be used to calibrate the X-ray sensors. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die taktilen und/oder optischen Messergebnissen zu den ausgezeichneten Punkten bereits bei der Berechnung der 3D-Rekonstruktion des Tomographie-Verfahrens berücksichtigt werden.Method according to at least one of Claims 13 until 25 , characterized in that the tactile and/or optical measurement results for the marked points are already taken into account when calculating the 3D reconstruction of the tomography method. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass Messpunkte alternativ mit taktiler Sensorik (9), optischer Sensorik (8) oder Röntgensensorik (7) erfasst in einem gemeinsamen Koordinatensystem ausgewertet werden.Method according to at least one of Claims 13 until 26 , characterized in that measuring points are evaluated alternatively with tactile sensors (9), optical sensors (8) or X-ray sensors (7) in a common coordinate system. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13 bis 27, dadurch gekennzeichnet. dass Geometriemerkmale, wie Durchmesser und Abstand, aus kombiniert mit Röntgensensorik (7), optischer Sensorik (8) oder taktiler Sensorik (9) gemessenen Punkten berechnet werden.Method according to at least one of Claims 13 until 27 , marked by . that geometric features such as diameter and distance are calculated from points measured in combination with X-ray sensors (7), optical sensors (8) or tactile sensors (9).
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