DE102004011026A1 - Adaptive optical element with a polymer actuator - Google Patents
Adaptive optical element with a polymer actuator Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004011026A1 DE102004011026A1 DE102004011026A DE102004011026A DE102004011026A1 DE 102004011026 A1 DE102004011026 A1 DE 102004011026A1 DE 102004011026 A DE102004011026 A DE 102004011026A DE 102004011026 A DE102004011026 A DE 102004011026A DE 102004011026 A1 DE102004011026 A1 DE 102004011026A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- polymer
- electrodes
- polymer actuator
- optical element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0875—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/12—Fluid-filled or evacuated lenses
- G02B3/14—Fluid-filled or evacuated lenses of variable focal length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein adaptives, optisches Element, welches z. B. als Bikonvexlinse ausgeführt sein kann. Das Element wird durch einen Polymeraktor (11), bestehend aus einer elektroaktiven Polymerlage (12) und Schichtelektroden (14a, 14b), gebildet. Durch Beaufschlagung der Schichtelektroden (14a, 14b) mit unterschiedlichen Spannungen (U¶1¶, U¶2¶, U¶3¶) kann erfindungsgemäß ein Gradient in der Feldstärke des die Verformung der Polymerlage (12) beeinflussenden elektrischen Feldes erzeugt werden, wodurch nahezu beliebige Verformungszustände wie z. B. die dargestellte Bikonvexlinse erzeugt werden können. Ein Gradient in der Feldstärke lässt sich alternativ auch dadurch erzeugen, dass die Polymerlage (12) bereits im unverformten Zustand eine lokal sich verändernde Dicke aufweist.The invention relates to an adaptive optical element, which z. B. can be designed as a biconvex lens. The element is formed by a polymer actuator (11) consisting of an electroactive polymer layer (12) and layer electrodes (14a, 14b). By applying the layer electrodes (14a, 14b) with different voltages (U¶1¶, U¶2¶, U¶3¶), a gradient in the field strength of the electric field influencing the deformation of the polymer layer (12) can be generated according to the invention almost any deformation conditions such. B. the illustrated biconvex lens can be generated. A gradient in the field strength can alternatively also be produced by the fact that the polymer layer (12) already has a locally varying thickness in the undeformed state.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein adaptives optisches Element, aufweisend einen Polymeraktor mit mindestens einer insbesondere elektroaktiven Polymerlage, an die sich beidseitig jeweils eine Elektrodenlage anschließt.The The invention relates to an adaptive optical element comprising a polymer actuator having at least one in particular electroactive polymer layer, on each of which an electrode layer adjoins on both sides.
Ein adaptives optisches Element wird beispielsweise von Ron Pelrine u. a. in „Smart structures and materials 2001" herausgegeben durch Proceedings of SPIE, Vol 4329 (2001), Seiten 335 bis 349 beschrieben. Dieser Veröffentlichung gemäß kann eine adaptive Optik durch Membranaktoren erzeugt werden, bei denen die Membran als elektroaktives Polymer ausgeführt ist. Wird über an die sich beidseitig an die elektroaktive Polymerlage anschließenden Elektrodenlagen ein elektrisches Feld in der Polymerlage aufgebaut, so ist die Membran bestrebt, ihre Fläche zu vergrößern. Durch eine ringförmige Einspannung der Membran kann erreicht werden, dass die Flächenvergrößerung der Polymerlage in eine Durchbiegung derselben umgewandelt wird, so dass hierdurch ein durch die Membran geleiteter optischer Strahlengang beeinflusst wird. Zu diesem Zweck müssen die Polymerlage sowie die Elektrodenlagen transparent für das durchzuleitende Licht ausgeführt sein. Als transparente Elektrodenmaterialien können beispielsweise Graphitgele, Elektrolytgele oder auch dünne Metallschichten zum Einsatz kommen.One The adaptive optical element is exemplified by Ron Pelrine u. a. in "Smart Structures and Materials 2001 " by Proceedings of SPIE, Vol 4329 (2001), pages 335 to 349. This publication According to a can adaptive optics are produced by membrane actuators in which the Membrane is designed as an electroactive polymer. Will over to the on both sides of the electroactive polymer layer subsequent electrode layers built up an electric field in the polymer layer, so is the membrane striving for their area to enlarge. By an annular Tightening of the membrane can be achieved that the surface enlargement of the Polymer layer is transformed into a deflection of the same, so that thereby an optical beam path guided through the membrane being affected. For this purpose, the polymer layer as well the electrode layers transparent to the transmitted light be executed. As transparent electrode materials, for example graphite gels, Electrolyte gels or thin ones Metal layers are used.
Als Polymerlage für den Polymeraktor können Elastomere wie z. B. Silikon verwendet werden. Hierdurch lässt sich ein elektrostatischer Elastomeraktor erzeugen, bei dem die Verformung der Polymerlage aufgrund der gegenseitigen Anziehung der Elektrodenlagen bei Vorliegen eines elektrischen Feldes erfolgt. Die Polymerlage kann jedoch auch aus einem elektroaktiven Polymer wie z. B. PMMA (Polymethyl Methacrylate) bestehen. Bei elektroaktiven Polymeren wird die Verformung aufgrund der Anziehung der Elektrodenlagen zusätzlich durch eine aktive Verformung des elektroaktiven Polymers im elektrischen Feld unterstützt. Weitere Materialien für die Polymerlage können durch Mischungen der genannten Materialien untereinander oder mit anderen Materialien erhalten werden.When Polymer layer for the polymer actuator can Elastomers such. As silicone can be used. This is possible produce an electrostatic elastomer actuator, wherein the deformation the polymer layer due to the mutual attraction of the electrode layers occurs in the presence of an electric field. The polymer layer However, it can also be made of an electroactive polymer such. PMMA (Polymethyl methacrylates) exist. For electroactive polymers the deformation is additionally due to the attraction of the electrode layers an active deformation of the electroactive polymer in the electrical Field supported. Other materials for the polymer layer can by mixtures of said materials with each other or with other materials are obtained.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein adaptives optisches Element mit einem Polymeraktor anzugeben, mit dem das optische Element adaptiv an vergleichsweise viele optische Anwendungsfälle angepasst werden kann.The The object of the invention is an adaptive optical element with a polymer actuator, with which the optical element adaptively comparatively many optical applications can be adapted.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass mindestens eine der Elektrodenlagen in Schichtelektroden aufgeteilt ist, derart, dass mittels der Schichtelektroden ein elektrisches Feld mit lokal sich verändernder Feldstärke erzeugbar ist. Die Aufteilung der Elektrodenlagen in Schichtelektroden kann durch eine geeignete Strukturierung der Elektrodenlage erfolgen. Z. B. kann bei einer Bedampfung der Polymerlage mit einem Metall vor diesem Beschichtungsvorgang eine Maskierung der Polymerlage vorgenommen werden. Die einzelnen Schichtelektroden sind vorteilhaft dazu geeignet, beispielsweise durch Anlagen unterschiedlicher Spannungen einen Feldstärkegradienten in dem in der Polymerlage gebildeten elektrischen Feld zu erzeugen. Hierdurch kann der Grad der Verformung der Polymerlage, welcher von dem elektrischen Feld direkt abhängig ist, lokal beeinflusst werden, so dass sich die Gestalt des Polymeraktors gezielt ändern lässt. Beispielsweise könnte durch asymmetrische Verformung eines Sta pelaktors ein Prisma mit variablem Winkel der Prismenflächen geschaffen werden.These Task is inventively characterized solved, that at least one of the electrode layers is divided into layer electrodes is such that by means of the layer electrodes an electric Field with locally changing field strength can be generated. The division of the electrode layers into layer electrodes can be done by a suitable structuring of the electrode layer. For example, in a vapor deposition of the polymer layer with a metal before this coating process, a masking of the polymer layer be made. The individual layer electrodes are advantageous suitable, for example, by systems of different voltages a field strength gradient in the electric field formed in the polymer layer. hereby the degree of deformation of the polymer layer, which of the electrical Field directly dependent is to be influenced locally, so that the shape of the polymer actuator change specifically leaves. For example could by asymmetric deformation of a Sta pelaktors a prism with variable angle of the prism surfaces be created.
Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die zur selben Elektrodenlage gehörenden Schichtelektroden elektrisch in Reihe geschaltet sind. Durch die Reihenschaltung der Schichtelektroden kann in Richtung der Reihenschaltung in den Schichtelektroden ein vom elektrischen Widerstand der Schichtelektroden und den dazwischenliegenden Verbindungen abhängiger Spannungsabfall erzeugt werden, so dass vorteilhaft auch die durch die Schichtelektroden erzeugten elektrischen Einzelfelder in ihrer Feldstärke abnehmen. Durch eine geeignete geometrische Aufteilung der betreffenden Elektrodenlage in Schichtelektroden lässt sich damit eine Feldstärkenverteilung des auf die Polymerlage wirkenden elektrischen Gesamtfeldes erzeugen, die an den Anwendungsfall des adaptiven optischen Elementes angepasst sein kann.According to one Embodiment of the invention is provided that the same Electrode layer belonging Layer electrodes are electrically connected in series. By the Series connection of the layer electrodes can in the direction of series connection in the layer electrodes on the electrical resistance of the layer electrodes and the intervening connections dependent voltage drop generated be, so that advantageously also through the layer electrodes lose electrical field generated in their field strength. By a suitable geometric distribution of the relevant electrode layer leaves in layer electrodes thus a field strength distribution of the total electric field acting on the polymer layer, adapted to the application of the adaptive optical element can be.
Gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass zumindest ein Teil der Schichtelektroden unabhängig voneinander kontaktierbar sind. Damit kann vorteilhafterweise an jede der Schichtelektroden ein anderes Potential angelegt werden, wodurch sich das adaptive optische Element optimal an die Anforderungen des Anwendungsfalles anpassen lässt. Insbesondere können durch einen Kalibriervorgang Fertigungsungenauigkeiten aus der Herstellung des Polymeraktors dadurch ausgeglichen werden, dass ein Kalibrierungspotential an der Schichtelektrode gerade zum Ausgleich der durch die Fertigungsungenauigkeiten bewirkten geometrischen Abweichungen vom Sollwert führt.According to one Another embodiment of the invention is provided that at least a portion of the layer electrodes independently contactable are. This can advantageously to each of the layer electrodes another potential can be applied, resulting in the adaptive optimally adapt the optical element to the requirements of the application leaves. In particular, you can by a calibration process manufacturing inaccuracies from the production of the polymer actuator are compensated by a calibration potential at the layer electrode just to compensate for the manufacturing inaccuracies caused geometric deviations from the setpoint.
Für bestimmte Anwendungsfälle ist es besonders vorteilhaft, wenn die zur selben Elektrodenlage gehörenden Schichtelektro den auf konzentrischen Ringen angeordnet sind. Dabei können die Schichtelektroden beispielsweise jeweils Ringe bilden, die auf den konzentrischen Kreisen liegen. Diese Ringe können jedoch ihrerseits wiederum in Ringsegmente aufgeteilt werden. Mit einer zentralsymmetrischen Anordnung der Schichtelektroden auf konzentrischen Kreisringen lässt sich beispielsweise das optische Element vorteilhaft als Linse verwenden, wobei der Polymeraktor dann transparent ausgeführt sein muss. Mittels der Schichtelektroden lässt sich die Linsenkrümmung direkt beeinflussen, so dass abhängig vom angelegten Potential die Brennweite der Linse stufenlos einstellbar ist. Weiterhin lassen sich optische Abbildungsfehler korrigieren (z. B. Astigmatismus).For certain applications, it is particularly advantageous if the layer electrodes belonging to the same electrode layer are arranged on concentric rings. The layer electrodes may, for example, each form rings which lie on the concentric circles. The However, these rings can in turn be divided into ring segments. With a centrally symmetrical arrangement of the layer electrodes on concentric circular rings, for example, the optical element can advantageously be used as a lens, wherein the polymer actuator must then be made transparent. By means of the layer electrodes, the lens curvature can be influenced directly, so that the focal length of the lens is infinitely adjustable depending on the applied potential. Furthermore, optical aberrations can be corrected (eg astigmatism).
Eine alternative Lösung der oben genannten Aufgabe sieht vor, dass die Polymerlage eine lokal sich verändernde Dicke aufweist, derart, dass mittels der Elektrodenlage ein elektrisches Feld mit lokal sich verändernder Feldstärke erzeugbar ist. Durch die Herstellung der Polymerlage mit lokal sich verändernder Dicke wird vorteilhaft erreicht, dass auch bei einer Anordnung der Elektrodenlagen ohne Aufteilung in einzelne Schichtelektroden ein elektrisches Feld mit lokal sich verändernder Feldstärke in der Polymerlage erzeugt wird, da der Abstand der sich beidseits der Polymerlage befindenden Elektrodenlagen abhängig von der Polymerlagendicke verringert oder vergrößert. Je geringer nämlich der Abstand zwischen den Elektrodenlagen wird, desto stärker ist das zwischen den Elektrodenlagen befindliche elektrische Feld bei jeweils gleichem an den Elektrodenlagen anliegenden Potential. Damit lässt sich beispielsweise bei einer linsenförmig gekrümmten Polymerlage durch Variation des an den Elektrodenlagen anliegenden Potentials die Linsenkrümmung verstärken oder abschwächen.A alternative solution the above object provides that the polymer layer a locally changing Has thickness, such that by means of the electrode layer, an electric Field with locally changing field strength can be generated. By making the polymer layer with locally itself changing Thickness is advantageously achieved that even with an arrangement of Electrode layers without division into individual layer electrodes electric field with locally changing field strength in the Polymer layer is generated, since the distance of both sides of the Polymer layer located electrode layers depending on the polymer layer thickness reduced or enlarged. ever lower namely the distance between the electrode layers becomes the stronger the electric field located between the electrode layers in each case the same potential applied to the electrode layers. In order to let yourself for example, in a lenticular shape curved Polymer layer by variation of the voltage applied to the electrode layers Potentials the lens curvature reinforce or weaken.
Gemäß einer Ausgestaltung beider alternativen Erfindungslösungen ist vorgesehen, dass der Polymeraktor auf einer starren, ebenen Unterlage wie z. B. einer Glasplatte montiert ist. Hierdurch lässt sich vorteilhaft eine Seite des Polymerakors mit hoher Präzision herstellen, wobei die Unterlage das optische Element gleichzeitig stabilisiert. Durch Anlegen eines Potentials an die Elektrodenlagen bzw. Schichtelektroden kann dann beispielsweise die Krümmung der freien Fläche der Polymerlage beeinflusst werden, wobei durch die ebene Bezugsfläche auf der anderen Seite des Polymeraktors die für optische Elemente geforderte Präzision erreicht wird.According to one Embodiment of both alternative invention solutions is provided that the polymer actuator on a rigid, flat surface such. B. one Glass plate is mounted. This can be advantageously a page of the Polymerakor with high precision manufacture, wherein the pad the optical element simultaneously stabilized. By applying a potential to the electrode layers or layer electrodes can then, for example, the curvature of the free area be influenced by the polymer layer, wherein by the flat reference surface the other side of the polymer actuator required for optical elements precision is reached.
Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der Polymeraktor eine kreisförmige Grundfläche aufweist. Hierdurch ist dieser besonders für optische Elemente mit zentralsymmetrischer Geometrie geeignet. Alternativ könnte der Polymeraktor selbstverständlich auch andere Grundflächen aufweisen, wenn die zugehörigen optischen Elemente beispielsweise zylindrische oder linienhafte Geometrien aufweisen sollen.Farther it is advantageous if the polymer actuator has a circular base area. hereby this one is especially for optical elements with centrally symmetric geometry suitable. alternative could the polymer actuator, of course, too other surfaces have, if the associated optical elements, for example, cylindrical or linear Should have geometries.
Außerdem besteht vorteilhaft die Möglichkeit, dass auf den Polymeraktor eine Reflektionsschicht aufgebracht ist. Hierdurch wird als optisches Element ein Spiegel erhalten, wobei die Gestaltänderung des Polymeraktors zur Beeinflussung der Spiegelkrümmung verwendet werden kann.There is also advantageous the possibility in that a reflection layer is applied to the polymer actuator. As a result, a mirror is obtained as an optical element, wherein the shape change the polymer actuator used to influence the mirror curvature can be.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnung beschrieben. Hierbei zeigenFurther Details of the invention are described below with reference to the drawing described. Show here
Ein
adaptives optisches Element gemäß
In
den folgenden Figuren sind jeweils entsprechende Elemente mit den
gleichen Bezugszeichen versehen und werden nur insoweit nochmals
erläutert,
wie sich Abweichungen zur
Bei
dem Polymeraktor gemäß
Der
Polymeraktor
Das
optische Element gemäß
Dies
lässt sich
dadurch erklären,
dass durch die feste Verbindung zwischen der Glasplatte
Der
Polymeraktor
Das
optische Element gemäß
Das
optische Element gemäß
Claims (8)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004011026A DE102004011026A1 (en) | 2004-03-04 | 2004-03-04 | Adaptive optical element with a polymer actuator |
PCT/DE2005/000380 WO2005085930A1 (en) | 2004-03-04 | 2005-03-02 | Adaptive optical element comprising a polymer actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004011026A DE102004011026A1 (en) | 2004-03-04 | 2004-03-04 | Adaptive optical element with a polymer actuator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004011026A1 true DE102004011026A1 (en) | 2005-09-29 |
Family
ID=34894998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004011026A Withdrawn DE102004011026A1 (en) | 2004-03-04 | 2004-03-04 | Adaptive optical element with a polymer actuator |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102004011026A1 (en) |
WO (1) | WO2005085930A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008054779A1 (en) | 2008-02-25 | 2009-08-27 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection exposure system for use in microlithography for production of semiconductor components, has optical element statically deformable by force effect, where electrostatic force field acts between subelements of optical element |
DE102015226173A1 (en) * | 2015-12-21 | 2017-06-22 | Robert Bosch Gmbh | Optical imaging system with a deformable due to electrical and / or magnetic forces lens |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1816493A1 (en) * | 2006-02-07 | 2007-08-08 | ETH Zürich | Tunable diffraction grating |
US8936404B2 (en) * | 2006-05-09 | 2015-01-20 | Alcatel Lucent | Method, apparatus and system for self-aligning components, sub-assemblies and assemblies |
NO326372B1 (en) | 2006-09-21 | 2008-11-17 | Polight As | Polymer Lens |
WO2008044937A1 (en) | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Ignis Display As | Design of compact adjustable lens |
KR101360545B1 (en) | 2006-10-11 | 2014-02-10 | 포라이트 에이에스 | Method for manufacturing adjustable lens |
JP5362587B2 (en) | 2007-02-12 | 2013-12-11 | ポライト エイエス | Flexible lens assembly with variable focal length |
EP2250431B1 (en) * | 2008-02-05 | 2015-10-28 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Lighting device with reflective electroactive polymer actuator |
CN106324728B (en) | 2008-07-11 | 2018-09-04 | 珀莱特公司 | Method and apparatus for reducing the fuel factor in compact adjustable optical lens |
WO2010015093A1 (en) | 2008-08-08 | 2010-02-11 | Optotune Ag | Electroactive optical device |
US7969645B2 (en) | 2009-02-27 | 2011-06-28 | Sony Ericsson Mobile Communications Ab | Variable lens |
US8699141B2 (en) | 2009-03-13 | 2014-04-15 | Knowles Electronics, Llc | Lens assembly apparatus and method |
US8659835B2 (en) | 2009-03-13 | 2014-02-25 | Optotune Ag | Lens systems and method |
EP2239600A1 (en) | 2010-06-02 | 2010-10-13 | Optotune AG | Adjustable optical lens |
EP2614542B1 (en) * | 2010-09-09 | 2017-07-19 | Philips Lighting Holding B.V. | Adjustable reflector based on an electroactive polymer actuator |
JP2014500522A (en) | 2010-10-26 | 2014-01-09 | オプトチューン アクチエンゲゼルシャフト | Variable focus lens with two liquid chambers |
WO2013093740A1 (en) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Optical device with a polymer actuator |
EP3364227A4 (en) * | 2015-10-13 | 2019-06-05 | The University Of Tokyo | Light beam position control device |
DE102016216365A1 (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-01 | Robert Bosch Gmbh | transducer means |
CN109983394A (en) * | 2016-11-21 | 2019-07-05 | 皇家飞利浦有限公司 | Beam treatment equipment |
CN111033321B (en) * | 2017-06-30 | 2022-10-18 | 珀莱特股份有限公司 | Lens assembly for optical image stabilization and focus adjustment |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55101903A (en) * | 1979-01-31 | 1980-08-04 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Variable curvature mirror |
JPS568101A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-27 | Hitachi Ltd | Electro-optical lens |
JPS57139719A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | High molecular lens of variable focal length |
JPS6015625A (en) * | 1983-07-07 | 1985-01-26 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Waveguide type optical deflecting element |
DE3842199A1 (en) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Electronic Werke Deutschland | Refractor (refracting telescope) having variable refractive behaviour |
WO1997009746A1 (en) * | 1995-09-07 | 1997-03-13 | National Aeronautics & Space Administration | Thermally stable, piezoelectric and pyroelectric polymeric substrates and method relating thereto |
US5873154A (en) * | 1996-10-17 | 1999-02-23 | Nokia Mobile Phones Limited | Method for fabricating a resonator having an acoustic mirror |
WO2002059674A1 (en) * | 2001-01-25 | 2002-08-01 | Aoptix Technologies, Inc. | Deformable curvature mirror |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4529620A (en) * | 1984-01-30 | 1985-07-16 | New York Institute Of Technology | Method of making deformable light modulator structure |
US7405884B2 (en) * | 2000-12-21 | 2008-07-29 | Olympus Corporation | Optical apparatus |
FI20010917A (en) * | 2001-05-03 | 2002-11-04 | Nokia Corp | Electrically reconfigurable optical devices and methods for their formation |
-
2004
- 2004-03-04 DE DE102004011026A patent/DE102004011026A1/en not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-03-02 WO PCT/DE2005/000380 patent/WO2005085930A1/en active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55101903A (en) * | 1979-01-31 | 1980-08-04 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Variable curvature mirror |
JPS568101A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-27 | Hitachi Ltd | Electro-optical lens |
JPS57139719A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | High molecular lens of variable focal length |
JPS6015625A (en) * | 1983-07-07 | 1985-01-26 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Waveguide type optical deflecting element |
DE3842199A1 (en) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Electronic Werke Deutschland | Refractor (refracting telescope) having variable refractive behaviour |
WO1997009746A1 (en) * | 1995-09-07 | 1997-03-13 | National Aeronautics & Space Administration | Thermally stable, piezoelectric and pyroelectric polymeric substrates and method relating thereto |
US5873154A (en) * | 1996-10-17 | 1999-02-23 | Nokia Mobile Phones Limited | Method for fabricating a resonator having an acoustic mirror |
WO2002059674A1 (en) * | 2001-01-25 | 2002-08-01 | Aoptix Technologies, Inc. | Deformable curvature mirror |
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
JP 55101903 A (abstract) * |
JP 56008101 A (abstract) * |
JP 57139719 A (abstract) * |
JP 60015625 A (abstract) * |
PELRINE R. et al.: Applications of Dielectric Elastomer Actuators, Proceedings of SPIE, Vol. 4329 (2001) S. 335-349 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008054779A1 (en) | 2008-02-25 | 2009-08-27 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection exposure system for use in microlithography for production of semiconductor components, has optical element statically deformable by force effect, where electrostatic force field acts between subelements of optical element |
DE102015226173A1 (en) * | 2015-12-21 | 2017-06-22 | Robert Bosch Gmbh | Optical imaging system with a deformable due to electrical and / or magnetic forces lens |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005085930A1 (en) | 2005-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2005085930A1 (en) | Adaptive optical element comprising a polymer actuator | |
DE102012007359B3 (en) | Immersion objective and light microscope | |
DE102008063223B3 (en) | Monolithic optical socket | |
DE102007014640B4 (en) | microscope objective | |
DE102006049425A1 (en) | Liquid zoom lens comprises autofocus lens system and zoom lens system comprising insulating liquid layer between two electrolyte layers, lens being mounted between insulating layer and one electrolyte layer | |
EP1577693A2 (en) | Objective comprising at least one optical element | |
EP1846782A1 (en) | Variable lens | |
EP1667612B1 (en) | Focusable artificial lens for an eye | |
EP2984032B1 (en) | Electrostatic actuator and method for the production thereof | |
DE102010028111A1 (en) | Micromechanical element | |
DE102007030579B4 (en) | Lateral adjustable socket for optical elements | |
DE102019101717B3 (en) | Actuator | |
WO2013007744A1 (en) | Light module with controllable light guidance | |
DE102018218637B3 (en) | Electroactive polymer actuator device | |
WO2020012016A1 (en) | Device for changing an optical property in areas and method for providing the same | |
DE102013013402A1 (en) | Bending element arrangement and their use | |
DE102013109605B3 (en) | Optical assembly of monolithic frame, has adjustable screw that is fed by through hole in outer ring and nut portion that is connected by second bar with inner ring | |
EP1384273B1 (en) | Device for transmitting an excursion of an actuator | |
DE102013225364A1 (en) | Comb drive with a pivotable mirror element | |
DE2922742C2 (en) | Highly opened, six-unit Gaussian lens for a camera | |
DE102011053566A1 (en) | Lens device for lighting system utilized in motor vehicle, has force application sections arranged on respective sides of lens, and adjusting elements arranged at respective force application sections for deforming lens | |
EP1350137B1 (en) | Optical compensation element | |
DE102011113980A1 (en) | Lens system with variable refraction strength | |
WO2005088353A1 (en) | Electrically controllable lens device, headlight and illuminating device | |
DE10322239A1 (en) | Blazed diffractive optical element and projection lens with such an element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |