DE10147138B4 - Method for integrating imperfect semiconductor memory devices in data processing devices - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Integration mindestens einer imperfekten Halbleiterspeichereinrichtung (1) mit funktionstüchtigen (14) und fehlerhaften (15) Speicherzellen in eine Datenverarbeitungsvorrichtung (2), wobei der Halbleiterspeichereinrichtung (1) ein Arbeitsadressenbereich (5) zugeordnet ist, bei dem
durch einen programmierbaren Adressdekoder (23) in der Halbleiterspeichereinrichtung (1) die funktionsfähigen Speicherzellen (14) so sortiert werden, dass im Arbeitsadressenbereich (5) jeweils mindestens ein durchgängig fehlerfreier Adressenbereich (17) und mindestens ein Fehleradressenbereich (10) entsteht;
eine Information über den Fehleradressenbereich (10) in einem Fehlerspeicher (7) abgelegt wird;
eine Befehlsbearbeitungseinheit (8) der Datenverarbeitungsvorrichtung (2) eine Pipeline-Struktur (11) und eine Adressenbearbeitungseinheit (12) aufweist und durch die Adressenbearbeitungseinheit (12) vor einem Zugriff auf eine Adresse im Arbeitsadressenbereich (5) die in einem durch die Pipeline-Struktur (11) geschobenen Steuerbefehl (13) enthaltene Zugriffsadresse (20) daraufhin geprüft wird, ob die Zugriffsadresse (20) im Fehleradressenbereich (10) liegt; und
bei Vorliegen eines solchen Zugriffs die Zugriffsadresse (20) in eine Ersatzadresse (21) umkodiert wird, bevor der Steuerbefehl...
Method for integrating at least one imperfect semiconductor memory device (1) with functional (14) and faulty (15) memory cells into a data processing device (2), wherein the semiconductor memory device (1) is assigned a working address area (5) in which
the functional memory cells (14) are sorted by a programmable address decoder (23) in the semiconductor memory device (1) such that at least one consistently error-free address area (17) and at least one error address area (10) are formed in the working address area (5);
an information about the error address area (10) is stored in a fault memory (7);
a command processing unit (8) of the data processing device (2) has a pipeline structure (11) and an address processing unit (12) and by the address processing unit (12) before accessing an address in the work address area (5) in one through the pipeline structure (11) access control address (13) contained access address (20) is checked to see whether the access address (20) in the error address area (10); and
in the presence of such access, the access address (20) is recoded into a spare address (21) before the control command ...

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Integration mindestens einer funktionsfähige und fehlerhafte Speicherzellen aufweisenden (im Folgenden imperfekten) Halbleiterspeichereinrichtung in eine Datenverarbeitungsvorrichtung, sowie eine Halbleiterspeichereinrichtung zur Verwendung in einem solchen Verfahren.The The invention relates to a method for integrating at least one featured and defective memory cells (hereinafter imperfect) Semiconductor memory device in a data processing device, and a semiconductor memory device for use in a such procedures.

Bei der Herstellung heute gängiger Halbleiterspeichereinrichtungen führt die große Anzahl einzelner Speicherzellen in der Halbleiterspeichereinrichtung in Verbindung mit einem anspruchsvollen Fertigungsprozess zu hohen Ausbeuteverlusten.at the production today more common Semiconductor memory devices carry the large number of individual memory cells in the semiconductor memory device in conjunction with a demanding manufacturing process too high yield losses.

Den Ausbeuteverlusten wird heute mit verschiedenen Redundanzkonzepten begegnet, mit denen nach Außen eine fehlerfreie Halbleiterspeichereinrichtung emuliert wird, etwa durch redundante Speicherzellen, die über optisch oder elektrisch programmierbare Verbindungseinrichtungen (Fuses, Antifuses) fehlerhafte Speicherzellen ersetzen.The Yield losses today with various redundancy concepts encountered with those to the outside an error-free semiconductor memory device is emulated, such as by redundant memory cells, which are optically or electrically programmable connection devices (fuses, antifuses) faulty Replace memory cells.

Redundanzkonzepte, die auf optisch programmierbaren Verbindungseinrichtungen beruhen, sind bisher nur auf Waferebene einsetzbar. Die Wirkung bleibt auf den Ersatz auf Waferebene identifizierbarer fehlerhafter Speicherzellen beschränkt.Redundancy concepts, which are based on optically programmable connection means are previously only usable at wafer level. The effect remains on the Replacement at wafer level of identifiable defective memory cells limited.

Redundanzkonzepten mit elektrisch programmierbaren Verbindungseinrichtungen steht ein erhöhter Fertigungsaufwand entgegen, wenn zum Beispiel Fertigungsschritte außerhalb oder zusätzlich zu einem Standardfertigungsprozess der Halbleiterspeichereinrichtung notwendig sind.redundancy concepts With electrically programmable connection devices is an increased production costs contrary if, for example, manufacturing steps outside or in addition to a standard manufacturing process of the semiconductor memory device necessary.

Die gängigen Redundanzkonzepte sind in ihrer Wirkung immer beschränkt, da in der Halbleiterspeichereinrichtung nur begrenzter Platz für redundante Speicherzellen und für zum Aktivieren der redundanten Speicherzellen benötigte Verbindungs- und Logikeinrichtungen zur Verfügung steht. Sie reichen nicht aus, wenn die Anzahl der fehlerhaften Speicherzellen sehr groß ist oder die fehlerhaften Speicherzellen in ungünstig gebündelten Gruppierungen auftreten.The common Redundancy concepts are always limited in their effect, since in the semiconductor memory device only limited space for redundant Memory cells and for connection required to activate the redundant memory cells and logic facilities available stands. They are not enough if the number of faulty memory cells is very big or the faulty memory cells occur in unfavorably bundled groupings.

Zudem steigt mit steigender Inanspruchnahme von Redundanzstrukturen die Wahrscheinlichkeit, dass diese selbst Fehler aufweisen.moreover increases as the use of redundancy structures increases Probability that they themselves have errors.

Insgesamt bleibt die Wirkung bisheriger Redundanzkonzepte beschränkt. Sie erhöhen die Fertigungsausbeute nur unzureichend, obwohl die absolute Anzahl fehlerhafter Speicherzellen im Verhältnis zur Gesamtzahl der in der Halbleiterspeichereinrichtung befindlichen Speicherzellen gering ist.All in all the effect of previous redundancy concepts remains limited. she increase the manufacturing yield is insufficient, although the absolute number defective memory cells in relation to the total number of in the semiconductor memory device located memory cells low is.

Eine anhaltend steigende Integration mit einer sich weiter erhöhenden Gesamtzahl von Speicherzellen pro Halbleiterspeichereinrichtung und zunehmend komplexere Fertigungsprozesse lassen eine weiter sinkende Fertigungsausbeute an nach außen fehlerfreien Halbleiterspeichereinrichtungen erwarten.A continued increasing integration with a further increase in total number of memory cells per semiconductor memory device and increasingly more complex manufacturing processes allow a further decrease in production yield to the outside expect error-free semiconductor memory devices.

Bei der Fertigung nach Außen fehlerfrei erscheinender Halbleiterspeichereinrichtungen fallen in großer Zahl nahezu fehlerfreie (im Folgenden imperfekte) Halbleiterspeichereinrichtungen mit einer im Verhältnis zur Gesamtzahl der Speicherzellen sehr geringen Zahl von fehlerhaften, irreparablen Speicherzellen an. Da gängige Datenverarbeitungsvorrichtungen, die Halbleiterspeichereinrichtungen nutzen, bisher immer fehlerfreie Halbleiterspeichereinrichtungen voraussetzen, sind solche imperfekten Halbleiterspeichereinrichtungen gegenwärtig unbrauchbar.at the production to the outside fall without error semiconductor memory devices fall in big Number of nearly perfect (hereinafter imperfect) semiconductor memory devices with one in proportion to the total number of memory cells very small number of faulty, irreparable memory cells. Because common data processing devices, the semiconductor memory devices use, so far always error-free Semiconductor memory devices are such imperfect semiconductor memory devices currently unusable.

Aus der US 4,939,694 ist ein Speichersystem bekannt, bei dem mit Hilfe einer Fehlerkorrektureinheit im Betrieb einer Datenverarbeitungsvorrichtung jeder Speicherzugriff auf dessen Gültigkeit überprüft und gegebenenfalls korrigiert wird. Dabei wird unter Verwendung eines Adresseninterpreters ein Zugriff auf als dauerhaft fehlerhaft erkannte Speicherzellen verhindert, indem ein Speicherzugriff auf eine Adresse einer als defekt erkannten Speicherzelle auf die Adresse einer funktionstüchtigen Speicherzelle umkodiert wird. Der Adresseninterpreter greift dabei bei jedem Speicherzugriff auf eine Ersatzadressentabelle zurück.From the US 4,939,694 a memory system is known in which, with the aid of an error correction unit in the operation of a data processing device, each memory access is checked for its validity and corrected if necessary. Using an address interpreter, access to memory cells identified as permanently faulty is prevented by recoding a memory access to an address of a memory cell identified as defective to the address of a functional memory cell. The address interpreter uses a substitute address table for each memory access.

Gemäß einem in der US 5,835,430 beschriebenen Verfahren wird der Adressenbereich eines elektrisch programmierbaren Halbleiterspeicherelements in Blöcke gegliedert und jedem Block eine Statusinformation innerhalb des Halbleiterbauelements zugeordnet. Die Statusinformation wird innerhalb einer Tabelle in einer Weise sortiert, dass nach außen hin ein zusammenhängender, fortlaufend adressierbarer fehlerfreier Speicherbereich entsteht.According to one in the US 5,835,430 described method, the address range of an electrically programmable semiconductor memory element is divided into blocks and associated with each block status information within the semiconductor device. The status information is sorted within a table in such a way that a contiguous, continuously addressable, error-free memory area results to the outside.

Die US 6,163,490 bezieht sich auf eine Halbleiterspeichereinrichtung bzw. auf ein Speichermodul, bei dem Adressenabschnitte mit solchen Adressen, die fehlerhaften Speicherzellen zugeordnet sind, an das Ende des Adressenbereichs umkodiert werden. Eine imperfekte Halbleiterspeichereinrichtung, weist in der Folge einen zusammenhängenden Adressenbereich fehlerfreier Speicherzellen auf und wirkt nach außen wie eine fehlerfreie perfekte Halbleiterspeichereinrichtung bzw. ein fehlerfreies Speichermodul mit reduziertem Adressenbereich.The US 6,163,490 refers to a semiconductor memory device or to a memory module in which address sections with such addresses, which are assigned to defective memory cells, are recoded to the end of the address area. An imperfect semiconductor memory device has a contiguous address area of error-free memory cells as a consequence and acts to the outside like a faultless perfect semiconductor memory device or a faultless memory module with a reduced address area.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, mit dem Halbleiterspeichereinrichtungen, die fehlerhafte und nicht durch funktionsfähige Speicherzellen vollständig ersetzbare Speicherzellen aufweisen, in Datenverarbeitungsvorrichtungen integriert werden können. Es ist ebenfalls Aufgabe der Erfindung eine Anordnung auf einer Halbleiterspeichereinrichtung zur Verfügung zu stellen, mittels der die Halbleiterspeichereinrichtung für ein solches Verfahren ertüchtigt werden kann.It is therefore an object of the invention to provide a method, with the semiconductor memory devices, the faulty and non-functional memory cells completely he have settable memory cells, can be integrated into data processing devices. It is also an object of the invention to provide an arrangement on a semiconductor memory device by means of which the semiconductor memory device can be improved for such a method.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst. Eine Halbleiterspeichereinrichtung, die ein solches Verfahren ermöglicht, ist im Patentanspruch 4 angegeben. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich jeweils aus den Unteransprüchen.These Task is in a method of the type mentioned by solved specified in claim 1 features. A semiconductor memory device, which allows such a procedure is specified in claim 4. Advantageous developments The invention will become apparent from the dependent claims.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren zur Integration von fehlerbehafteten Halbleiterspeichereinrichtungen in Datenverarbeitungsvorrichtungen werden also in den Halbleiterspeichereinrichtungen, denen jeweils ein Arbeitsadressenbereich zugeordnet ist, Adressen fehlerhafter Speicherzellen ermittelt und als Fehleradressen in einem nichtflüchtigen Fehlerspeicher abgelegt.At the inventive method for the integration of faulty semiconductor memory devices in data processing devices are thus in the semiconductor memory devices, each of which is assigned a work address area, addresses faulty memory cells determined and as error addresses in a non-volatile one Error memory stored.

Anschließend werden die Halbleiterspeichereinrichtungen und der Fehlerspeicher in die Datenverarbeitungsvorrichtung eingebaut. Die Datenverarbeitungsvorrichtung liest aus dem Fehlerspeicher die Fehleradressen aus. In der Folge wird vor jedem Zugriff der Datenverarbeitungsvorrichtung in den Arbeitsadressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung durch eine Ablaufsteuerung in der Datenverarbeitungsvorrichtung geprüft, ob ein Zugriff auf eine der Fehleradressen bevorsteht. Steht ein solcher Zugriff bevor, wird er in geeigneter Weise auf eine Ersatzadresse umkodiert, bevor der eigentliche Speicherzugriff erfolgt. Das Umkodieren von bevorstehenden Zugriffen auf Fehleradressen zu Ersatzadressen kann in der Datenverarbeitungsvorrichtung über verschiedene Mechanismen erfolgen, etwa über eine Fail-Table oder mittels Interrupt.Then be the semiconductor memory devices and the fault memory in the Data processing device installed. The data processing device reads out the error addresses from the error memory. Subsequently is before each access of the data processing device in the Work address area of the semiconductor memory device by a Sequence control in the data processing device checked if a Access to one of the error addresses is imminent. Is such a Access before, he is suitably to a replacement address recoded before the actual memory access occurs. The recoding from impending access to error addresses to substitute addresses can in the data processing device via various mechanisms done, about one Fail-Table or via interrupt.

Es wird ausgenutzt, dass gängige Datenverarbeitungsvorrichtungen Befehlsbearbeitungseinheiten mit Pipeline-Strukturen aufweisen.It is exploited that common Data processing devices Command processing units with Have pipeline structures.

Dabei steht in der Pipeline-Struktur der Befehlsbearbeitungseinheit der Datenverarbeitungsvorrichtung eine Gruppe aufeinander folgender Steuerbefehle an, wobei der gerade an einem Kopfende der Pipeline stehende Steuerbefehl ausgeführt wird und die in der Pipeline folgenden Steuerbefehle bereits einer Vorbearbeitung unterworfen werden, etwa durch eine branch processing unit (BPU).there is in the pipeline structure of the command processing unit Data processing device a group of consecutive Control commands, which is currently at a head of the pipeline standing control command executed and the next in the pipeline control commands already one Preprocessing be subjected, such as by a branch processing unit (BPU).

In ähnlicher Weise werden gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren Teile der Steuerbefehle, die Adressen im Arbeitsadressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung enthalten, durch eine Adressenbearbeitungseinheit innerhalb der Befehlsbearbeitungseinheit geprüft und bearbeitet.In similar Way are according to the method of the invention Parts of the control commands, the addresses in the work address area the semiconductor memory device by an address processing unit checked and edited within the command processing unit.

Dabei kann die Prüfung beispielsweise für alle Fehleradressen gleichzeitig mit parallel geschaltenen Komparatoreinrichtungen erfolgen, deren Vergleichsregister zuvor mit den Fehleradressen geladen werden.there can the exam for example for all Error addresses simultaneously with parallel switched comparator devices be done, the comparison register before with the error addresses getting charged.

Mit steigender Zahl von fehlerhaften Speicherzellen steigt bei dieser Realisierung der Aufwand für die Prüfung einer Adresse aus der Befehlsbearbeitungseinheit gegen alle Fehleradressen.With increasing number of faulty memory cells increases at this Realization of the effort for the exam an address from the command processing unit against all error addresses.

In vorteilhafter Weise wird der Aufwand an dieser Stelle, also die Anzahl der Vergleiche, beschränkt, indem innerhalb des Arbeitsadressenbereichs der Halbleiterspeichereinrichtung mindestens ein durchgängig fehlerfreier (im Folgenden linearisierter) Adressenbereich und außerhalb der fehlerfreien Adressenbereiche mindestens ein Fehleradressenbereich geschaffen wird.In Advantageously, the effort at this point, so the Number of comparisons, limited, within the working address range of the semiconductor memory device at least one throughout error-free (in the following linearized) address range and outside the error-free address areas at least one error address area is created.

Je nach Anordnung der Halbleiterspeichereinrichtungen (seriell oder parallel) ist dann für eine Halbleiterspeichereinrichtung bzw. eine Gruppe von Halbleiterspeichereinrichtungen nur noch bestenfalls ein Vergleichsvorgang notwendig, um zu prüfen, ob die Adresse des Speicherzugriffs innerhalb oder außerhalb eines Fehleradressenbereichs der Halbleiterspeichereinrichtung liegt. Ein Abstand (Offset) der Adresse des Zugriffs zu einer untersten Adresse eines Fehleradressenbereichs der Halbleiterspeichereinrichtung kann dann als Zeiger in einen Ersatzspeicherraum dienen, der an anderer Stelle in Abhängigkeit von einem Gesamtfehleradressenbereich in der Datenverarbeitungsvorrichtung zu diesem Zweck reserviert wird.ever after arrangement of the semiconductor memory devices (serial or parallel) is then for a semiconductor memory device or a group of semiconductor memory devices Only at best a comparison process necessary to check whether the Address of the memory access inside or outside an error address area the semiconductor memory device is located. A distance (offset) of the address access to a lowermost address of an error address range the semiconductor memory device can then be used as a pointer in a Replacement storage space serving elsewhere depending on from a total error address area in the data processing apparatus reserved for this purpose.

Sind die Halbleiterspeichereinrichtungen DRAMs (dynamic random access memories) und auf Speichermodulen angeordnet, dann werden die Fehleradressen bevorzugterweise in dem auf dem Speichermodul befindlichen EEPROM (electrically erasable programmable read only memory) abgelegt.are the semiconductor memory devices DRAMs (dynamic random access memories) and arranged on memory modules, then the error addresses preferably in the EEPROM located on the memory module (electrically erasable programmable read only memory).

Es kann aber auch in der Halbleiterspeichereinrichtung selbst ein nichtflüchtiger Speicherbereich zur Aufnahme der Fehleradressen geschaffen werden, entweder im Adressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung oder etwa in einem über einen speziellen Mode zugänglichen, nichtflüchtigen Registersatz der Halbleiterspeichereinrichtung.It but can also in the semiconductor memory device itself a non-volatile Memory area are created for recording the error addresses, either in the address range of the semiconductor memory device or about in one a special fashion accessible, nonvolatile Register set of the semiconductor memory device.

Sollen in einer imperfekten Halbleiterspeichereinrichtung durchgängig fehlerfreie, linearisierte Adressenbereich ge schaffen werden, dann ist dazu ein programmierbarer Adressdecoder erforderlich, der es ermöglicht, interne, mit den Speicherzellen verbundene Adressenleitungen in geeigneter Weise mit externen, mit Anschlusseinrichtungen der Halbleiterspeichereinrichtung verbundenen, Adressenleitungen zu verknüpfen.If imperfect, linearized address areas are to be created consistently in an imperfect semiconductor memory device, then a programmable address decoder is required for this, which makes it possible to suitably address internal address lines connected to the memory cells with external, connected to terminal devices of the semiconductor memory device to connect address lines.

Diese Verknüpfung kann durch eine Variation gängiger Redundanzkonzepte dadurch erfolgen, dass aus einem Vorrat an redundanten Speicherzellen, sich durch fehlerhafte Speicherzellen ergebenden Lücken in einem Standardspeicherzellenfeld ausgehend von einer unteren Adresse aus aufgefüllt werden, soweit der Vorrat an redundanten Speicherzellen reicht. Der Unterschied zu bestehenden Redundanzkonzepten besteht dabei darin, dass eben nicht zwangsläufig jede fehlerhafte Speicherzelle ersetzt werden muss, um eine verkehrsfähige Halbleiterspeichereinrichtung zu erhalten, sondern die Halbleiterspeichereinrichtung eben in jedem Fall verkehrsfähig ist und dabei eine Speichergröße aufweist, die sich aus der obersten Adresse ergibt, bis zu der ein durchgängig fehlerfreier Adressenraum geschaffen wurde.These shortcut can be more common by a variation Redundancy concepts take place in that from a supply of redundant Memory cells resulting from faulty memory cells Gaps in a standard memory cell array starting from a lower one Address from being filled up, as far as the supply of redundant memory cells. The difference existing redundancy concepts consists in that just not inevitably Each defective memory cell must be replaced to a trafficable semiconductor memory device but the semiconductor memory device just in each Case marketable is and has a memory size, which results from the uppermost address, up to a consistently error-free Address space was created.

Nachteilig an einer solchen Konzeption eines programmierbaren Adressendekoders ist, dass entweder eine hohe Zahl an redundanten Speicherzellen vorgesehen werden oder eine relativ große Speichereinbuße in der Halbleiterspeichereinrichtung in Kauf genommen werden muss.adversely on such a conception of a programmable address decoder is that either a high number of redundant memory cells be provided or a relatively large memory loss in the Semiconductor memory device must be accepted.

In seiner bevorzugten Ausführungsform kodiert der Adressendekoder das Standardspeicherzellenfeld in einer Weise um, dass Adressen defekter Speicherzellen durch funktionsfähige Speicherzellen aus dem Standardspeicherzellenfeld selbst ersetzt werden. Dabei wird bei der Programmierung des Adressendekoders dafür Sorge getragen, dass ein oder mehrere durchgängig fehlerfreie Adressenbereiche im Arbeitsadressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung entstehen. Im Unterschied zur ersten Lösung, bei der die Zahl von redundanten Speicherzel len und damit auch die Zahl ersetzbarer fehlerhafter Speicherzellen begrenzt ist, stehen bei dieser Lösung alle sich auf der Halbleiterspeichereinrichtung befindenden Speicherzellen für ein Umkodieren zur Verfügung. Nachteilig ist der gegenüber der ersten Lösung komplexer vorzusehende Adressendekoder.In its preferred embodiment The address decoder encodes the standard memory cell array in one Way around that addresses defective memory cells by functioning memory cells off the standard memory cell array itself will be replaced. It will during the programming of the address decoder, ensure that one or several throughout error-free address areas in the working address area of the semiconductor memory device arise. Unlike the first solution, where the number of redundant Speicherzel len and thus the number of replaceable erroneous Memory cells is limited in this solution are all located on the semiconductor memory device Memory cells for a transcoding available. The disadvantage is the opposite the first solution complex address decoder to be provided.

Die Programmierung des Adressendekoders erfolgt in Abhängigkeit von während eines Prüfzyklus ermittelten Fehleradressen in bevorzugter Weise über optische Fuses und Antifuses als programmierbare Verbindungseinrichtungen. Diese Art der Programmierung ist mit den in der Halbleiterprozesstechnik üblichen Mitteln in besonders zuverlässiger Weise realisierbar.The Programming of the address decoder is dependent from during a test cycle determined Error addresses in a preferred manner via optical fuses and antifuses as programmable connection devices. This type of programming is with the usual in the semiconductor processing technology means in particular reliable way realizable.

In besonders bevorzugter Weise werden dabei Fuses vorgesehen, die sich auch nach einem Hänsen der Halbleiterspeichereinrichtung programmieren lassen. In diesem Fall kann die Programmierung des Adressendekoders am Ende von Zuverlässigkeitstests erfolgen oder verändert werden. Damit lässt sich die Gesamtausbeute an imperfekten Halbleiterspeichereinrichtungen mit durchgängig fehlerfreien Adressenbereichen erhöhen.In in a particularly preferred manner, fuses are provided which are themselves even after a hänsen program the semiconductor memory device. In this Case may be the programming of the address decoder at the end of reliability tests done or changed become. Leave it the overall yield of imperfect semiconductor memory devices with consistent Increase error-free address ranges.

Ebenso ist eine Optimierung der Ausbeute bezüglich verschiedener Spezifikationsmerkmale möglich. Beispielsweise kann durch Ersatz von langsameren Speicherzellen durch schnellere Speicherzellen durch den programmierbaren Adressendekoder eine höhere Ausbeute an schneller spezifizierten Halbleiterspeichereinrichtungen erzielt werden.As well Optimization of the yield is possible with respect to different specification features. For example can be faster by replacing slower memory cells Memory cells through the programmable address decoder a higher yield achieved at faster specified semiconductor memory devices become.

Genauso ist es auf diese Weise möglich, durch Ersatz von Speicherzellen mit geringerer Retention Performance durch Speicherzellen höherer Retention Performance die Ausbeute an Halbleiterspeichereinrichtungen mit geringeren Refresh-Raten zu erhöhen.Just like that is it possible in this way, by Replacement of memory cells with lower retention performance by Memory cells of higher retention Performance the yield of semiconductor memory devices with to increase lower refresh rates.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert, wobei für einander entsprechende Komponenten die gleichen Bezugszeichen verwendet werden. Zur Erhöhung der Übersichtlichkeit wurde die Darstellung auf für die Erläuterung der Erfindung wesentliche Komponenten beschränkt. Es zeigen:following the invention is explained in more detail with reference to the drawings, wherein for each other corresponding components the same reference numerals are used. To increase the clarity was the presentation on for the explanation limited essential components of the invention. Show it:

1 eine schematische Darstellung des Verfahrens nach einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, 1 a schematic representation of the method according to a first embodiment of the invention,

2 eine schematische Darstellung des Verfahrens nach einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, 2 a schematic representation of the method according to a second embodiment of the invention,

Anhand von 1 wird das erfindungsgemäße Verfahren in einem Ausführungsbeispiel erläutert, wobei eine dargestellte Halbleiterspeichereinrichtung 1 in einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung vorliegt.Based on 1 the method according to the invention is explained in an exemplary embodiment, wherein an illustrated semiconductor memory device 1 is present in a preferred embodiment of the invention.

Die Halbleiterspeichereinrichtung 1 ist in eine Datenverarbeitungsvorrichtung 2 integriert. Das erfindungsgemäße Verfahren erfordert in der dargestellten Ausführungsform zudem eine Befehlsbearbeitungseinheit 8 mit einer Pipeline-Struktur 11 für auszuführende Steuerbefehle 13. Die Steuerbefehle 13 werden durch die Pipeline-Struktur 11 geschoben, wobei sie vor ihre eigentlichen Ausführung bearbeitet werden können.The semiconductor memory device 1 is in a data processing device 2 integrated. The inventive method also requires in the illustrated embodiment, a command processing unit 8th with a pipeline structure 11 for control commands to be executed 13 , The control commands 13 be through the pipeline structure 11 pushed, where they can be edited before their actual execution.

Die Halbleiterspeichereinrichtung 1 weist in einem einem Arbeitsadressenbereich 5 zugeordneten Standardspeicherzellenfeld 6 funktionsfähige Speicherzellen 14 und Fehleradressen 9 zugeordnete fehlerhafte Speicherzellen 15 auf. Dabei bezeichnet Speicherzelle im Folgenden eine gemeinsam adressierbare Gruppe von Speicherelementen.The semiconductor memory device 1 indicates in a work address area 5 associated standard memory cell array 6 functional memory cells 14 and error addresses 9 associated defective memory cells 15 on. In the following, memory cell designates a jointly addressable group of memory elements.

Mit den Speicherzellen 14, 15 sind interne Adressenleitungen 24 verbunden. Ein Steuer- und Adressenbus 26 der Datenverarbeitungsvorrichtung 2 ist mit Anschlusseinrichtungen 22 der Halbleiterspeichereinrichtung 1 verbunden. Innerhalb der Halbleiterspeichereinrichtung 1 führen externe Adressenleitungen 25 zu den Anschlusseinrichtungen 22.With the memory cells 14 . 15 are internal address lines 24 connected. A control and address bus 26 the data processing device 2 is with connection devices 22 the semiconductor memory device 1 connected. Within the semiconductor memory device 1 lead external address lines 25 to the connection devices 22 ,

Im dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Halbleiterspeichereinrichtung 1 einen programmierbaren Adressendekoder 23 auf. Der Adressendekoder 23 ordnet die internen Adressenleitungen 24 den externen Adressenleitungen 25 in einer Weise zu, dass innerhalb des Arbeitsadressenbereichs 5 der Halbleiterspeichereinrichtung 1 ein durchgängig fehlerfreier Adressenbereich 17 und ein Fehleradressenraum 10 entsteht.In the illustrated embodiment, the semiconductor memory device 1 a programmable address decoder 23 on. The address decoder 23 arranges the internal address lines 24 the external address lines 25 in a way to that within the work address area 5 the semiconductor memory device 1 a consistently error-free address range 17 and an error address space 10 arises.

Dabei kann der Fehleradressenraum 10 durchaus auch funktionsfähige Speicherzellen 14 enthalten, die sich etwa durch begrenzte Resourcen des Adressendekoders 23 nicht zum durchgängig fehlerfreien Adressenbereich 17 hinzufügen lassen.In this case, the error address space 10 also functional memory cells 14 contained, for example, by limited resources of the address decoder 23 not the consistently error-free address range 17 add.

Zur vereinfachten Darstellung wird in der Figur lediglich ein einziger durchgängig funktionsfähiger Adressenbereich 17 gezeigt. Es sind aber auch, etwa bedingt durch begrenzte Resourcen des Adressendekoders 23, Lösungen mit mehreren jeweils durchgängig fehlerfreien Adressenbereichen 17 möglich.To simplify the illustration, only a single, consistently functioning address area is shown in the figure 17 shown. But there are also, for example due to limited resources of the address decoder 23 , Solutions with several consistently error-free address ranges 17 possible.

Die Fehleradressen 9 oder die Fehleradressenbereiche 10 sind in einem Fehlerspeicher 7 nichtflüchtig abgelegt. In diesem Beispiel befindet sich der Fehlerspeicher 7 außerhalb der Halbleiterspeichereinrichtung 1 zusammen mit ihr auf einem Speichermodul 19.The error addresses 9 or the error address ranges 10 are in a fault memory 7 stored non-volatile. This example contains the error memory 7 outside the semiconductor memory device 1 along with her on a memory module 19 ,

Ferner ist im Beispiel ein Ersatzspeicher 16 außerhalb der Halbleiterspeichereinrichtung 1 vorgesehen. Der Ersatzspeicher 16 kann sich aber auch in der Halbleiterspeichereinrichtung 1 selbst befinden. Der Ersatzspeicher 16 ist wie die Halbleiterspeichereinrichtung 1 an einen Datenbus 18 und den Steuer- und Adressenbus 26 angeschlossen.Furthermore, in the example, a spare memory 16 outside the semiconductor memory device 1 intended. The spare memory 16 but can also be in the semiconductor memory device 1 yourself. The spare memory 16 is like the semiconductor memory device 1 to a data bus 18 and the control and address bus 26 connected.

Gemäß dem Ausführungsbeispiel für das erfindungsgemäße Verfahren weist die Halbleiterspeichereinrichtung 1 also feh lerhafte Speicherzellen 15 auf. Durch den programmierbaren Adressendekoder 23 werden funktionsfähige Speicherzellen 14 der Halbleiterspeichereinrichtung 1 so sortiert, dass für eine Adressierung über den Steuer- und Adressenbus 26 ein durchgängig fehlerfreier Adressenbereich 17 entsteht.According to the exemplary embodiment of the method according to the invention, the semiconductor memory device 1 So erroneous memory cells 15 on. Through the programmable address decoder 23 become functional memory cells 14 the semiconductor memory device 1 sorted so that for addressing via the control and address bus 26 a consistently error-free address range 17 arises.

Die Information über den Fehleradressenbereich 10 wird am Ende eines Prüfzyklus für das Speichermodul 19 in einem Fehlerspeicher 7 abgelegt.The information about the error address area 10 will be at the end of a test cycle for the memory module 19 in a fault memory 7 stored.

Mit dem Inhalt des Fehlerspeichers 7 werden in einer Adressenbearbeitungseinheit 12 innerhalb der Befehlsbearbeitungseinheit 8 der Datenverarbeitungsvorrichtung 2 Vergleichsregister einer Komparatoreinrichtung 3 geladen.With the contents of the error memory 7 be in an address processing unit 12 within the command processing unit 8th the data processing device 2 Comparison register of a comparator device 3 loaded.

Danach werden alle durch die Pipeline-Struktur 11 der Befehlsbearbeitungseinheit 8 geschobenen Steuerbefehle 13 daraufhin geprüft, ob die Steuerbefehle 13 Speicherzugriffe (Zugriffsadressen) 20 in den Arbeitsadressenbereich 5 der Halbleiterspeichereinrichtung 1 enthalten.After that, all through the pipeline structure 11 the command processing unit 8th pushed control commands 13 then checked to see if the control commands 13 Memory accesses (access addresses) 20 in the work address area 5 the semiconductor memory device 1 contain.

Liegt ein solcher Zugriff vor, dann wird die Zugriffsadresse 20 in der Komparatoreinrichtung 3 daraufhin geprüft, ob sie in einem Fehleradressenbereich 10 enthalten ist. Liegt die Zugriffsadresse 20 in einem Fehleradressenbereich 10, so wird sie in der Folge in einer Umkodiereinrichtung 4 auf ei ne Ersatzadresse 21 umkodiert. Die Ersatzadresse 21 ersetzt in der Folge im Steuerbefehl 13 die Adresse 20.If such an access exists, then the access address becomes 20 in the comparator device 3 then checked if they are in an error address range 10 is included. Is the access address 20 in an error address area 10 , so it is in a sequence in a recoding 4 to a replacement address 21 recoded. The replacement address 21 replaced in the sequence in the control command 13 the address 20 ,

2 zeigt ein Speichermodul 19 mit vier Halbleiterspeichereinrichtungen 1a, 1b, 1c, 1d. Jede dieser Halbleiterspeichereinrichtungen 1a1d stellt für einen in diesem Beispiel insgesamt 64 bit breiten Datenbus 18 einen 16 bit breiten Datenbus 27a27d zur Verfügung. 2 shows a memory module 19 with four semiconductor memory devices 1a . 1b . 1c . 1d , Each of these semiconductor memory devices 1a - 1d represents for a 64 bit wide data bus in this example 18 a 16 bit wide data bus 27a - 27d to disposal.

Keine der auf 228 Speicherstellen spezifizierten Halbleiterspeichereinrichtungen 1a1d weist tatsächlich den spezifizierten Adressenbereich auf. Tatsächlich weist die Halbleiterspeichereinrichtung 1a einen um a, 1b einen um b, 1c einen um c und 1d einen um d verringerten, aber hinsichtlich einer Adressierung über einen Steuer- und Adressenbus 26 jeweils durchgängig funktionsfähigen Adressenbereich 17a17d auf. Insgesamt kann bei c > a > b > d nur ein Adressenbereich 228-c adressiert werden, da die vier Halbleiterspeichereinrichtungen 1a1d in diesem Beispiel parallel adressiert werden.None of the semiconductor memory devices specified on 2 28 memory locations 1a - 1d actually has the specified address range. In fact, the semiconductor memory device has 1a one at a, 1b one to b, 1c one to c and 1d one reduced by d, but with respect to addressing via a control and address bus 26 each consistently functional address range 17a - 17d on. Overall, with c>a>b> d only one address range 2 28 -c can be addressed, since the four semiconductor memory devices 1a - 1d addressed in parallel in this example.

Der Wert für c oder 228–c kann in dem ebenfalls auf dem Speichermodul 19 befindlichen Fehlerspeicher 7 abgelegt werden.The value for c or 2 28 -c may also be in the memory module 19 located fault memory 7 be filed.

Eine Ablaufsteuerung in der Datenverarbeitungsvorrichtung 1 liest diesen Wert aus und lädt damit eines von mehreren Vergleichsregistern einer Komparatoreinrichtung 3, die in einer Pipeline-Struktur 11 einer Befehlsausführungseinheit 8 der Datenverarbeitungsvorrichtung 2 aufeinander folgende Steuerbefehle 13 hinsichtlich von in den Speicherbefehlen 13 enthaltenen Adressen überwacht.A flow control in the data processing device 1 reads this value, thereby loading one of several comparison registers of a comparator device 3 that are in a pipeline structure 11 a command execution unit 8th the data processing device 2 successive control commands 13 in terms of in the store commands 13 monitored addresses.

11
HalbleiterspeichereinrichtungSemiconductor memory device
22
DatenverarbeitungsvorrichtungData processing device
33
Komparatoreinrichtungcomparator
44
Umkodiereinrichtungrecoding
55
ArbeitsadressenbereichWork address range
66
StandardspeicherzellenbereichStandard memory cell area
77
Fehlerspeichererror memory
88th
BefehlsbearbeitungseinheitCommand processing unit
99
Fehleradresseerror address
1010
FehleradressenbereichError address range
1111
Pipeline-StrukturPipelined
1212
AdressenbearbeitungseinheitAddress processing unit
1313
Steuerbefehlcommand
1414
funktionsfähige Speicherzellefunctional memory cell
1515
fehlerhafte Speicherzelleerroneous memory cell
1616
Ersatzspeicherspare memory
1717
durchgängig fehlerfreier Adressenbereichconsistently error-free address area
1818
Datenbusbus
1919
Speichermodulmemory module
2020
(Zugriffs-)Adresse(Access) address
2121
Ersatzadressealternate address
2222
Anschlusseinrichtungconnecting device
2323
programmierbarer Adressendekoderprogrammable address decoder
2424
interne Adressenleitunginternal address line
2525
externe Adressenleitungexternal address line
2626
Steuer- und AdressenbusTax- and address bus
27a–d27a-d
16-bit Datenbus16-bit bus
aa
Anzahl der Adressen in einem Fehleradressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung 1a Number of addresses in an error address area of the semiconductor memory device 1a
bb
Anzahl der Adressen in einem Fehleradressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung 1b Number of addresses in an error address area of the semiconductor memory device 1b
cc
Anzahl der Adressen in einem Fehleradressenbereich der Halbleiterspeichereinrichtung 1c Number of addresses in an error address area of the semiconductor memory device 1c
dd
Anzahl der Adressen in einem Fehleradressenbereichnumber the addresses in an error address range

Claims (8)

Verfahren zur Integration mindestens einer imperfekten Halbleiterspeichereinrichtung (1) mit funktionstüchtigen (14) und fehlerhaften (15) Speicherzellen in eine Datenverarbeitungsvorrichtung (2), wobei der Halbleiterspeichereinrichtung (1) ein Arbeitsadressenbereich (5) zugeordnet ist, bei dem durch einen programmierbaren Adressdekoder (23) in der Halbleiterspeichereinrichtung (1) die funktionsfähigen Speicherzellen (14) so sortiert werden, dass im Arbeitsadressenbereich (5) jeweils mindestens ein durchgängig fehlerfreier Adressenbereich (17) und mindestens ein Fehleradressenbereich (10) entsteht; eine Information über den Fehleradressenbereich (10) in einem Fehlerspeicher (7) abgelegt wird; eine Befehlsbearbeitungseinheit (8) der Datenverarbeitungsvorrichtung (2) eine Pipeline-Struktur (11) und eine Adressenbearbeitungseinheit (12) aufweist und durch die Adressenbearbeitungseinheit (12) vor einem Zugriff auf eine Adresse im Arbeitsadressenbereich (5) die in einem durch die Pipeline-Struktur (11) geschobenen Steuerbefehl (13) enthaltene Zugriffsadresse (20) daraufhin geprüft wird, ob die Zugriffsadresse (20) im Fehleradressenbereich (10) liegt; und bei Vorliegen eines solchen Zugriffs die Zugriffsadresse (20) in eine Ersatzadresse (21) umkodiert wird, bevor der Steuerbefehl (13) ausgeführt wird.Method for integrating at least one imperfect semiconductor memory device ( 1 ) with functional ( 14 ) and faulty ( 15 ) Memory cells in a data processing device ( 2 ), wherein the semiconductor memory device ( 1 ) a work address area ( 5 ), in which by a programmable address decoder ( 23 ) in the semiconductor memory device ( 1 ) the functional memory cells ( 14 ) so that in the work address area ( 5 ) at least one consistently error-free address range ( 17 ) and at least one error address area ( 10 ) arises; an information about the error address area ( 10 ) in a fault memory ( 7 ) is filed; a command processing unit ( 8th ) of the data processing device ( 2 ) a pipeline structure ( 11 ) and an address processing unit ( 12 ) and by the address processing unit ( 12 ) before accessing an address in the work address area ( 5 ) in one through the pipeline structure ( 11 ) pushed control command ( 13 ) contained access address ( 20 ) is checked to see if the access address ( 20 ) in the error address area ( 10 ) lies; and in the presence of such access, the access address ( 20 ) into a replacement address ( 21 ) is recoded before the control command ( 13 ) is performed. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils mindestens eine Halbleiterspeichereinrichtung (1) auf einem eine nichtflüchtige Speichereinrichtung aufweisenden Speichermodul (19) vorgesehen wird, die Fehleradres senbereiche (10) im Verlauf eines Prüfzyklus des Speichermoduls (19) in der nichtflüchtigen Speichereinrichtung abgespeichert werden und diese als Fehlerspeicher (7) benutzt wird.Method according to claim 1, characterized in that in each case at least one semiconductor memory device ( 1 ) on a non-volatile memory device having memory module ( 19 ), the error address ranges ( 10 ) in the course of a test cycle of the memory module ( 19 ) are stored in the non-volatile memory device and used as fault memory ( 7 ) is used. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in der Halbleiterspeichereinrichtung (1) nichtflüchtige Speicherzellen als Fehlerspeicher (7) vorgesehen werden und die Fehleradressenbereiche (10) im Verlauf eines Prüfzyklus der Halbleiterspeichereinrichtung (1) in den nichtflüchtigen Speicherzellen abgespeichert werden.Method according to claim 1, characterized in that in the semiconductor memory device ( 1 ) nonvolatile memory cells as fault memory ( 7 ) and the error address ranges ( 10 ) in the course of a test cycle of the semiconductor memory device ( 1 ) are stored in the nonvolatile memory cells. Halbleiterspeichereinrichtung zur Verwendung in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3 mit funktionsfähigen (14) und fehlerhaften (15) Speicherzellen, mit Anschlusseinrichtungen (22) verbundenen externen Adressenleitungen (25), mit den Speicherzellen (14, 15) verbundenen internen Adressenleitungen (24), einen programmierbaren Adressendekoder (23), der die internen Adressenleitungen (24) funktionsfähiger Speicherzellen (14) in einer Weise den externen Adressenleitungen (25) zuordnet, dass mindestens ein durchgängiger Adressenbereich (17) aus funktionsfähigen Speicherzellen (14) gebildet wird, nichtflüchtigen Speicherzellen als Fehlerspeicher (7) zur Speicherung der Fehleradressenbereiche; und einer Befehlsbearbeitungseinheit (8), die eine Pipelinestruktur (11) und eine Adressenbearbeitungseinheit (12) aufweist, wobei durch die Adressenbearbeitungseinheit (12) eine in einem durch die Pipeline-Struktur (11) geschobenen Steuerbefehl (13) enthaltene Zugriffsadresse (20) daraufhin prüfbar ist, ob die Zugriffsadresse (20) im Fehleradressenbereich (10) liegt und, bei Vorliegen eines solchen Zugriffs, die Zugriffsadresse (20) vor Ausführung des Steuerbefehls (13) in die Ersatzadresse (21) umkodierbar ist.Semiconductor memory device for use in a method according to one of claims 1 to 3 with functional ( 14 ) and faulty ( 15 ) Memory cells, with connection devices ( 22 ) connected external address lines ( 25 ), with the memory cells ( 14 . 15 ) connected internal address lines ( 24 ), a programmable address decoder ( 23 ), the internal address lines ( 24 ) functional memory cells ( 14 ) in a manner to the external address lines ( 25 ) assigns at least one continuous address range ( 17 ) of functional memory cells ( 14 ), nonvolatile memory cells as fault memory ( 7 ) for storing the error address ranges; and a command processing unit ( 8th ), which has a pipeline structure ( 11 ) and an address processing unit ( 12 ), wherein by the address processing unit ( 12 ) one in one through the pipeline structure ( 11 ) pushed control command ( 13 ) contained access address ( 20 ) can be checked as to whether the access address ( 20 ) in the error address area ( 10 ) and, if such access is available, the access address ( 20 ) before execution of the control command ( 13 ) into the substitute address ( 21 ) is recodable. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch redundante Speicherzellen, deren interne Adressenleitungen (24) durch den programmierbaren Adressendekoder (23) auf die Adressen fehlerhafter Speicherzellen (15) im Arbeitsadressenbereich (5) eines Standardspeicherzellenfeldes (6) umkodierbar sind, so dass die Halbleiterspeichereinrichtung (1) mindes tens einen durchgängigen Adressenbereich (17) mit funktionsfähigen Speicherzellen (14) aufweist.Semiconductor memory device according to claim 4, characterized by redundant memory cells whose internal address lines ( 24 ) by the programmable address decoder ( 23 ) to the addresses of defective memory cells ( 15 ) in the work address area ( 5 ) of a standard memory cell array ( 6 ) are re-encodable, so that the semiconductor memory device ( 1 ) at least one continuous address range ( 17 ) with functional memory cells ( 14 ) having. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass durch den programmierbaren Adressendekoder (23) fehlerhafte Speicherzellen (15) in einem Standardspeicherzellenfeld (6) durch funktionsfähige Speicherzellen (14) aus dem Standardspeicherzellenfeld (6) ersetzbar sind, so dass die Halbleiterspeichereinrichtung (1) mindestens einen durchgängigen Adressenbereich (17) mit funktionsfähigen Speicherzellen (14) aufweist.Semiconductor memory device according to one of claims 4 or 5, characterized in that by the programmable address decoder ( 23 ) faulty memory cells ( 15 ) in a standard memory cell array ( 6 ) by functional memory cells ( 14 ) from the standard memory cell array ( 6 ) are replaceable, so that the semiconductor memory device ( 1 ) at least one continuous address range ( 17 ) with functional memory cells ( 14 ) having. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, gekennzeichnet durch optisch programmierbare Verbindungseinrichtungen, mittels derer der Adressendekoder (23) abhängig von einem Prüfergebnis, das die Fehleradressen (9) ermittelt, programmierbar ist.Semiconductor memory device according to one of Claims 4 to 6, characterized by optically programmable connection devices by means of which the address decoder ( 23 ) depending on a test result that the error addresses ( 9 ), is programmable. Speichermodul mit – einem Grundsubstrat – auf dem Grundsubstrat ausgebildetem Steuer- und Adressenbus (26) und einem Datenbus (18) und – mit an den Datenbus (18) und den Steuer- und Adressenbus (26) angeschlossenen Halbleiterspeichereinrichtungen (1) dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterspeichereinrichtungen (1) als Halbleiterspeichereinrichtungen nach einem der Ansprüche 4 bis 7 ausgebildet sind.Memory module having - a base substrate - on the base substrate formed control and address bus ( 26 ) and a data bus ( 18 ) and - to the data bus ( 18 ) and the control and address bus ( 26 ) connected semiconductor memory devices ( 1 ), characterized in that the semiconductor memory devices ( 1 ) are formed as semiconductor memory devices according to one of claims 4 to 7.
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