DE10121126A1 - Identifikationsträger und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Abstract

Es wird ein Identifikationsträger vorgeschlagen mit zumindest einem Substrat (11); auf dem eine Transpondereinheit (34) mit einem Chip (31) und eine mit dem Chip kontaktierte Antenne (22) angeordnet sind. Der Identifikationsträger umfasst weiterhin einen Abbildungsträger, insbesondere einen Hologrammträger mit einer holographischen Abbildung. Die Antenne und der Abbildungsträger sind unter Verwendung einer Metallfolie ausgebildet.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Identifikationsträger mit zumin­ dest einem Substrat, auf dem eine Transpondereinheit, umfassend einen Chip und eine mit dem Chip kontaktierte Antenne, sowie ein Abbil­ dungsträger, insbesondere ein Hologrammträger mit einer holographi­ schen Abbildung, angeordnet sind, wobei die Antenne ebenso wie der Abbildungsträger unter Verwendung einer Metallfolie ausgebildet sind. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Identifikationsträgers.

Identifikationsträger, insbesondere als Identifikationskarten ausgebildete Identifikationsträger, die eine elektronische Identifikation mittels der Erfassung von auf einem Chip gespeicherten Identifikationsdaten und eine optische Identifikation mittels Überprüfung eines auf dem Identifi­ kationsträger abgebildeten Hologramms ermöglichen, entsprechen dem Stand der Technik. Zur Abbildung des Hologramms auf dem Identifikationsträger werden üblicherweise Aluminiumfolien als Hologrammträger verwendet, die auf einem Substrat angeordnet sind und das im Prägever­ fahren von einer Hologrammplatte übertragene Hologramm aufweisen.

Zur Ausbildung sogenannter kontaktloser Karten oder Labels, die eine kontaktlose Übertragung der auf einem Chip gespeicherten Identifikati­ onsdaten zu einem Lesegerät ermöglichen, entspricht es dem Stand der Technik, eine Transpondereinheit mit einem Chip und einer mit dem Chip kontaktierte Antenne auf dem Substrat anzuordnen, wobei die in der Regel als Spule ausgebildete Antenne durch einen auf dem Substrat verlegten Drahtleiter oder in Ätztechnik aus einer metallisierten Folie gebildet wird.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Identifi­ kationsträger vorzuschlagen, der sowohl eine optische Identifikation als auch eine elektronische Identifikation ermöglicht und darüber hinaus einfach herstellbar ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Identifikationsträger gelöst, der die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist.

Bei dem erfindungsgemäßen Identifikationsträger dient eine Metallfolie sowohl zur Ausbildung der Antenne als auch zur Ausbildung des Abbil­ dungsträgers.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Metallfolie zur Ausbildung der Antenne und die Metallfolie zur Ausbildung des Abbildungsträgers ihrer Art nach gleich sind. Hierdurch wird eine vereinfachte Herstellung des erfindungsgemäßen Identifikationsträgers ermöglicht, da beispielsweise nur noch Metallfolien mit einer Aluminiumbeschichtung bereitgestellt werden müssen.

Eine besonders weitgehende Vereinfachung des Herstellungsverfahrens sowie eine damit verbundene Vereinfachung des Aufbaus des Identifika­ tionsträgers wird möglich, wenn die Metallfolie zur Ausbildung der Antenne identisch ist mit der Metallfolie zur Ausbildung des Abbil­ dungsträgers. Hierdurch muß nur noch eine Metallfolie zur Ausbildung des Abbildungsträgers und der Antenne bereitgehalten werden. Daraus ergeben sich sowohl Vereinfachungen im Bereich der Logistik als auch im Bereich der Herstellung.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Identifikationsträger auf einer Seite des Substrats mit der Metallfolie versehen ist, die sowohl zur Ausbildung des Abbildungsträgers als auch zur Ausbildung der Antenne dient. Dabei kann etwa das Hologramm separat und neben der Antenne ausgebildet sein, oder das Hologramm kann innerhalb einer spulenförmig ausgebildeten Antenne, also von der Spule bzw. von der Antenne der Transpondereinheit umgeben ausgebildet sein.

Darüber hinaus ist es möglich, dass die Antenne und der Abbildungsträ­ ger auf einer gegenüberliegenden Seite des Substrats ausgebildet sind, beispielsweise um die zur Ausbildung der Antenne grundsätzlich zur Verfügung stehenden Oberfläche des Substrats nicht durch die Anordnung des Hologramms auf derselben Oberfläche zu reduzieren.

Es kann sich auch als vorteilhaft erweisen, die Antenne auf dem Identifi­ kationsträger mehrteilig auszubilden, wobei ein Antennenteil auf dersel­ ben Seite des Substrats wie der Abbildungsträger und ein anderer Anten­ nenteil auf der dem Abbildungsträger gegenüberliegenden Seite des Substrats ausgebildet ist. Hierdurch ergibt sich die Möglichkeit, die Antenne bei Bedarf besonders leistungsstark auszubilden, ohne auf eine Oberfläche des Substrats beschränkt zu sein.

Eine weitere Beeinflussung der Charakteristik der die Antenne und den Chip umfassenden Transpondereinheit lässt sich erreichen, wenn das Substrat mehrteilig mit übereinander angeordneten Teilsubstraten ausgebildet ist, wobei der Abildungsträger auf einem Teilsubstrat und die Antenne oder zumindest ein Antennenteil auf einem anderen Teilsubstrat ausgebildet ist.

Insbesondere in Abhängigkeit von der gewünschten Frequenz des den Chip und die Antenne umfassenden Schwingkreises kann die Antenne spulenförmig oder auch als Dipol ausgebildet sein.

Zur weiteren Beeinflussung des Frequenzverhaltens des den Chip und die Antenne umfassenden Schwingkreises kann es sich als vorteilhaft erwei­ sen, den Abbildungsträger zumindest anteilig zur Ausbildung eines elektronischen Schaltungselements zu verwenden.

Beispielsweise kann der Abbildungsträger zur Ausbildung der Antenne, insbesondere zur Ausbildung eines Antennenteils verwendet werden, was besonders dann vorteilhaft ist, wenn die Antenne als Antennenspule ausgebildet ist.

Auch ist es möglich, den Abbildungsträger zur Ausbildung eines Konden­ satorelements zu verwenden.

Um gegebenenfalls die Ausbildung größerer zusammenhängender Metall­ flächen zu verhindern, die das elektromagnetische Feld der Antenne bzw. ein definiertes Frequenzverhalten des den Chip und die Spule umfassen­ den Schwingkreises negativ beeinflussen könnten, kann es sich als vorteilhaft erweisen, die Abbildungsstruktur mit einer Flächenstruktur zur Aufteilung der Metallfläche des Hologrammträgers in voneinander isolierte Metallteilflächen zu überlagern.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist die Merkmale des Anspruchs 11 auf.

Vorteilhafte Varianten des Verfahrens sind Gegenstand der nachfolgen­ den Unteransprüche.

Eine Verwendung von Natriumhydroxid als Ätzmittel oder Ätzmittelbe­ standteil erweist sich insbesondere dann als vorteilhaft, wenn die Metall­ beschichtung der Metallfolie aus Aluminium oder einer Aluminiumlegie­ rung gebildet ist.

Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen des Identifikations­ trägers unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Identifikationsträger in Seitenansicht mit Dar­ stellung eines Substrats und einer auf dem Substrat an­ geordneten Metallfolie;

Fig. 2 den in Fig. 1 dargestellten Identifikationsträger in Draufsicht;

Fig. 3 eine Unteransicht des in Fig. 2 dargestellten Identifi­ kationsträgers mit einem auf der Unterseite des Sub­ strats angeordneten Chipmodul;

Fig. 4 eine weitere Ausführungsform eines Identifikationsträ­ gers mit übereinander angeordneten Teilsubstraten;

Fig. 5 eine weitere Ausführungsform eines Identifikationsträ­ gers in Draufsicht mit einem teilweise als Kondensa­ torelement ausgebildeten Hologrammträger;

Fig. 6 eine weitere Ausführungsform eines Identifikationsträ­ gers in Draufsicht mit einem gerasterten Hologramm­ träger;

Fig. 7 eine Metallfolienbahn.

Fig. 1 zeigt einen Identifikationsträger 10 in einer Seitenansicht mit einem Substrat 11, das auf seiner Oberseite 33 mit einer metallisierten Folie oder Metallfolie 12 versehen ist. Je nach Art der Metallfolie 12 kann es sich bei dem Substrat 11 um ein hinsichtlich seiner Materialeigenschaften leitendes oder dielektrisches Substrat handeln. Für den Fall, dass es sich bei der Metallfolie 12 um einen polymeren Träger 13 (beispielsweise eine PET-Folie) handelt, der lediglich mit einer metalli­ schen Beschichtung 14 versehen ist, muss das Substrat 11 nicht notwen­ digerweise dielektrisch ausgeführt sein.

Darüber hinaus kann es sich bei dem in Fig. 1 beispielhaft dargestellten Identifikationsträger 10 um einen Identifikationsträger im Kartenformat, also im üblichen Format sogenannter Identifikationskarten, handeln oder beispielsweise auch um ein Identifikationslabel, das sich von einer Identifikationskarte im Wesentlichen durch seine flexiblere Ausgestal­ tung unterscheidet, die wesentlich durch die Wahl des Materials und der Dicke des Substrats 11 bestimmt wird.

Darüber hinaus ist festzustellen, dass der in Fig. 1 beispielhaft darge­ stellte Identifikationsträger 10 nicht das eigentliche Endprodukt darstel­ len muss, sondern auch neben den in Fig. 1 dargestellten Schichten weitere Schichten, insbesondere obere und untere Abdeckschichten, die insbesondere im Fall der Ausbildung des Identifikationsträgers als Identifikationslabel mit einer Haftbeschichtung versehen sein können, ergänzt sein kann.

Fig. 2 zeigt den Identifikationsträger 10 mit der im vorliegenden Fall die sichtbare Oberfläche des Identifikationsträgers 10 bildenden Metallfolie 12. Die Metallfolie 12 weist zwei nebeneinander liegend angeordnete Bereiche, nämlich einen Hologrammbereich 16 und einen Antennenbe­ reich 17, auf. Im Hologrammbereich 16 bildet die Metallfolie 12 einen Hologrammträger 18, der eine auf an sich bekannte Art und Weise, beispielsweise durch einen Prägevorgang auf die Metallbeschichtung 14 übertragene holographische Abbildung, also ein Hologramm 20, aufweist.

Der dem Hologrammbereich 16 benachbarte Antennenbereich 17 der Metallfolie 12 weist eine beispielsweise durch eine Ätztechnik aus der Metallbeschichtung 14 der Metallfolie 12 erzeugte Antennenspule 22 auf, die an ihren Spulenenden mit Kontaktbereichen 23, 24 versehen ist, welche im vorliegenden Fall als Durchkontaktierungen ausgebildet sind und eine elektrische Verbindung zu einer Unterseite 30 des Substrats 11 bilden (Fig. 3).

Zur Erzeugung der in Fig. 2 dargestellten Antennenspule 22 eignet sich in besonderer Weise eine kombinierte Druck-/Ätztechnik, bei der mittels eines Druckvorgangs im Antennenbereich 17 der Metallfolie 12 ein Ätzmittel auf die Metallbeschichtung 14 aufgebracht wird und dadurch die Metallbeschichtung 18 mit Ausnahme der die Antennenspule 22 definierenden Bereiche vom Folienträger 13 der Metallfolie 12 entfernt wird.

Fig. 7 zeigt zur näheren Erläuterung eine Möglichkeit der Herstellung der in Fig. 2 dargestellten Metallfolie 12 aus einer Metallfolienbahn 25 mit einer Vielzahl kontinuierlich ineinander übergehend angeordneter Folien­ segmente 26, die nach Durchtrennung der Metallfolienbahn 25 längs in Fig. 7 mit strichpunktiertem Linienverlauf angedeuteten Trennlinien 27 zur Ausbildung vereinzelter Metallfolien 12 dienen.

Die Metallfolienbahn 25 weist in Bahnrichtung 28 jeweils hintereinander liegend angeordnete Hologrammbereiche 16 und Antennenbereiche 17 auf, die im vorliegenden Fall links und rechts einer Bahnmittellinie 29 angeordnet sind. Die in Bahnrichtung 28 hintereinander liegende Anord­ nung der Hologrammbereiche 16 und der Antennenbereiche 17 ermöglicht eine kontinuierliche Erzeugung des Hologramms 20 im Hologrammbe­ reich 16 und der Antennenspule 22 im Antennenbereich 17 bei in Bahn­ richtung 28 vorwärtsbewegter Metallfolienbahn 25. Dabei kann die Vorwärtsbewegung der Metallfolienbahn 25 insbesondere getaktet erfol­ gen, derart, dass an den mit I, II und III bezeichneten Stationen der getakteten Vorwärtsbewegung zunächst eine Bedruckung des Antennenbe­ reichs 17 der Metallfolienbahn 25 mit Ätzmittel (Station I), anschließend eine Reinigung bzw. Spülung zur Entfernung des Ätzmittels zusammen mit den abgelösten Bereichen der Metallbeschichtung 14 (Station II) und schließlich eine Trocknung des Antennenbereichs 17 der Metallfolien­ bahn 25 (Station III) erfolgt.

Parallel zur Erzeugung der Antennenspule 22 in den Antennenbereichen 17 der Metallfolienbahn 25 kann beispielsweise durch eine umlaufende Prägewalze die holographische Abbildung, also das Hologramm 20, auf die Hologrammbereiche 16 der Metallfolienbahn 25 übertragen werden.

Zur Ausbildung des in Fig. 2 dargestellten Identifikationsträgers 10 kann die mit den Hologrammen 20 in den Hologrammbereichen 16 und den Antennenspulen 22 in den Antennenbereichen 17 versehene Metallfolien­ bahn 25 mit einer hier nicht näher dargestellten Substratbahn zusammen­ geführt, laminiert und anschließend längs der Trennlinien 27 zur Verein­ zelung der Identifikationsträger 10 durchtrennt werden.

Wie Fig. 3 zeigt, sind die als Durchkontaktierungen ausgebildeten Kon­ taktbereiche 23, 24 der Antennenspule 22 auf der Unterseite 30 des Substrats 11 mit einem Chip 31 kontaktiert, der im vorliegenden Fall zur vereinfachten Kontaktierung in einem Chipmodul 32 angeordnet ist.

Somit bilden die Antennenspule 22 und der Chip 31 bei dem in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Identifikationsträger 10 eine Transpondereinheit 34, die durch ein hier nicht näher dargestelltes Lesegerät einen kontaktfreien Zugriff auf im Chip 31 gespeicherte Daten zur elektronischen Identifika­ tion ermöglicht. Gleichzeitig ermöglicht das auf der Oberseite des Identi­ fikationsträgers 10 angeordnete Hologramm 20 eine optische Identifikati­ on.

Fig. 4 zeigt einen Identifikationsträger 40, der im vorliegenden Fall zwei übereinanderliegend angeordnete Teilsubstrate 41, 42 aufweist, die jeweils auf ihrer Oberseite 43 bzw. 44 mit einer Metallfolie 45, 46 versehen sind. Insgesamt ergibt sich eine Anordnung, bei der die Metall­ folie 45 zwischen den Teilsubstraten 41 und 42 angeordnet ist und sich die Metallfolie 46 auf der Oberseite 43 des Teilsubstrats 41 befindet und gleichzeitig die obere Lage des in Fig. 4 beispielhaft dargestellten Identifikationsträgers 40 bildet.

Die Metallfolien 45, 46 weisen jeweils einen Folienträger 47 und eine darauf angeordnete Aluminium-Metallbeschichtung 48 auf.

Bei dem in Fig. 4 dargestellten Identifikationsträger 40 ist die obere Metallfolie 46 entsprechend der in Fig. 2 abgebildeten Metallfolie 12 strukturiert bzw. unterteilt, weist also neben dem Hologramm 20 im Hologrammbereich 16 die Antennenspule 22 im Antennenbereich 17 auf. Die auf der Oberseite 44 des Teilsubstrats 42, in zwischenliegender Anordnung zwischen dem Teilsubstrat 42 und dem Teilsubstrat 41 vorge­ sehene Metallfolie 45 weist eine weitere Antennenspule 49 auf, die über die als Durchkontaktierungen ausgebildeten Kontaktbereiche 23, 24 der Antennenspule 22 mit dieser elektrisch leitend verbunden ist. Die Anten­ nenspule 49 weist ihrerseits als Durchkontaktierungen ausgebildete Kontaktbereiche 50, 51 auf, die mit einem auf der Unterseite bzw. in einer Ausnehmung 52 des Teilsubstrats 42 angeordneten Chipmodul 53 kontaktiert sind. Die Antennenspulen 22 und 49 bilden somit jeweils ein Antennenteil einer Gesamtantenneneinrichtung 54 des Identifikationsträ­ gers 40.

Fig. 5 zeigt einen Identifikationsträger 55, der oberseitig auf einem hier nicht näher dargestellten Substrat eine Metallfolie 56 aufweist, die in ähnlicher Weise, wie die in den Fig. 2 bzw. 4 dargestellten Metallfolien 12 bzw. 46 einen Hologrammbereich 57 und einen Antennenbereich 58 aufweist. Der Antennenbereich 58 ist mit einer im vorliegenden Fall lediglich eine Windung aufweisenden Antennenspule 59 versehen, die auf die vorstehend beschriebene Art und Weise aus einem auf einer Träger­ folie 60 angeordneten Metallbeschichtung 61 der Metallfolie 56 gebildet ist.

Die Antennenspule 59 ist an ihren Enden mit Kontaktbereichen 62, 63 versehen, die als Durchkontaktierungen ausgebildet sind und mit An­ schlussflächen eines auf der Unterseite des hier nicht dargestellten Substrats angeordneten Chipmodul 64 kontaktiert sind.

Im Hologrammbereich 57 der Metallfolie 56 ist auf die vorstehend beschriebene Art und Weise ein Hologramm 65 in der Metallbeschichtung 61 ausgebildet, wobei das Hologramm 65 im vorliegenden Fall zwei elektrisch voneinander isolierte Hologrammteile 66, 67 aufweist, die für den Betrachter eine komplex zusammenhängende optische Struktur bilden. Der elektrisch vom größeren Hologrammteil 66 isolierte kleinere Hologrammteil 67 weist zwei inselartige, hier in etwa U-förmig ausgebil­ dete Metallflächen auf, die jeweils mit einem Kontaktbereich 62 bzw. 63 kontaktiert sind und Platten 68, 69 eines Kondensatorelements 70 bilden.

Fig. 6 zeigt einen Identifikationsträger 71, der auf einem hier nicht näher dargestellten Substrat eine Metallfolie 72 aufweist, die analog den in den Fig. 2, 4 und 5 dargestellten Metallfolien 12, 46 und 56 einen Holo­ grammbereich 73 und einen Antennenbereich 74 aufweist.

Im Unterschied zu der in Fig. 2 dargestellten Metallfolie 12 weist die Metallfolie 72 in ihrem Hologrammbereich 73 eine hier zeilen- oder streifenförmig gerasterte Metallbeschichtung 75 auf, bei der von der Metallisierung freigelegte isolierte Bereiche 76 mit metallisierten Berei­ chen 77 abwechseln. Eine derartige Struktur kann in gleicher Weise wie eine Antennenspule 22 durch das vorbeschriebene Druck-/Ätzverfahren aus einer einheitlich zusammenhängend ausgebildeten Metallbeschichtung erzeugt werden, so dass, wie in Fig. 6 dargestellt, ein zeilen- oder strei­ fenförmig gerastertes Hologramm erzeugt wird.

Wie ein Vergleich der Fig. 2 und 6 deutlich macht, stimmen die Abbil­ dungsinhalte des Hologramms 78 und des Hologramms 20 bezüglich der Art der Darstellung im Wesentlichen überein, weisen jedoch - aufgrund der rasterförmigen Ausbildung des Hologramms 78 - unterschiedliche Auflösungen auf.

Claims (15)

1. Identifikationsträger (10, 40, 55, 71) mit zumindest einem Substrat (11), auf dem eine Transpondereinheit (34), umfassend einen Chip (31) und eine mit dem Chip kontaktierte Antenne (22, 49, 59), sowie ein Abbildungsträger, insbesondere ein Hologrammträger (18) mit ei­ ner holographischen Abbildung, angeordnet sind, wobei die Antenne ebenso wie der Abbildungsträger unter Verwendung einer Metallfolie (12, 45, 46, 56, 72) ausgebildet sind.

2. Identifikationsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallfolie (12, 45, 46, 56, 72) zur Ausbildung der Antenne (22, 49, 59) und die Metallfolie zur Ausbildung des Abbildungsträ­ gers (18) ihrer Art nach gleich sind.

3. Identifikationsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallfolie (12) zur Ausbildung der Antenne (22, 49, 59) i­ dentisch ist mit der Metallfolie zur Ausbildung des Abbildungsträgers (18).

4. Identifikationsträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Antenne (22, 49, 59) und der Abbildungsträger (18) auf der­ selben Seite des Substrats (11) angeordnet sind.

5. Identifikationsträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Antenne (22, 49, 59) und der Abbildungsträger (18) auf ein­ ander gegenüberliegenden Seiten des Substrats (41) ausgebildet sind.

6. Identifikationsträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Antenne (54) mehrteilig ausgebildet ist, wobei ein Anten­ nenteil (22) auf derselben Seite wie der Abbildungsträger (18) und ein anderer Antennenteil (49) auf der dem Abbildungsträger gegenüber­ liegenden Seite des Substrats (41) ausgebildet ist.

7. Identifikationsträger nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat mehrteilig mit übereinander angeordneten Teilsub­ straten (41, 42) ausgebildet ist, wobei der Abbildungsträger (18) auf einem Teilsubstrat (41) und die Antenne (49) oder zumindest ein An­ tennenteil auf einem anderen Teilsubstrat (42) ausgebildet ist.

8. Identifikationsträger nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsträger (18) zumindest anteilig zur Ausbildung ei­ nes elektronischen Schaltungselements (70) dient.

9. Identifikationsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsträger (18) zur Ausbildung eines Antennenteils dient.

10. Identifikationsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsträger (18) zur Ausbildung eines Kondensators (70) dient.

11. Identifikationsträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsträger (18) eine Flächenstruktur zur Aufteilung einer Metallfläche des Abbildungsträgers in voneinander isolierte Metallteilflächen (77) aufweist.

12. Verfahren zur Herstellung eines Identifikationsträgers nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausbildung der Antenne (22, 49, 59) und des Abbildungsträ­ gers (18) eine auf einem Folienträger (13) angeordnete Metallbe­ schichtung (14) der Metallfolie (12, 45, 46, 56, 72) in einem Druck­ verfahren mit einem Ätzmittel bedruckt wird und anschließend in ei­ nem Spülvorgang das Ätzmittel zusammen mit gelösten Bereichen der Metallbeschichtung vom Folienträger entfernt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsträger (18) und die Antenne (22, 49, 59) auf ein und derselben Metallfolie (12, 45, 46, 56, 72) ausgebildet werden.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Abbildungsträger (18) und die Antenne (22, 49, 59) in ein und demselben Bedruckungsvorgang ausgebildet werden.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass als Ätzmittel ein zumindest anteilig Natriumhydroxid aufweisen­ des Ätzmittel verwendet wird.