DE10058581C1 - Elektromechanisch regelbares elektrisches Widerstandselement - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein elektromechanisch regelbares elektrisches Widerstandselement. Dabei ist auf einem Substrat eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material mit konstantem spezifischen elektrischen Widerstand mit vorgebbarer Breite und Dicke angeordnet. Zusätzlich ist mindestens ein elektrischer Kontaktanschluß vorhanden und ein elektrisches Kontaktelement kann entlang der Oberfläche dieser Schicht mechanisch bewegt werden. Mit der Erfindung soll ein entsprechendes Widerstandselement zur Verfügung gestellt werden, das kostengünstig, mit reproduzierbaren elektrischen Eigenschaften hergestellt werden kann und eine hohe Verschleißbeständigkeit aufweist, wobei dies auch ohne zusätzliche Schmierung erreicht werden soll. Erfindungsgemäß wird hierzu auf der elektrisch leitenden Schicht auf dem Substrat eine ausschließlich aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildete verschleißbeständige Schicht konstanter Dicke und höherem spezifischen elektrischen Widerstand als dem der Schicht ausgebildet. Die diamantähnliche Kohlenstoffschicht steht dann in berührendem Kontakt mit dem mechanisch beweglichen Kontaktelement.

Description

Die Erfindung betrifft ein elektromechanisch regel­ bares elektrisches Widerstandselement. Mit einem sol­ chen Element kann gezielt ein bestimmter Widerstand und demzufolge in Stromkreisen mit konstanter elek­ trischer Spannung der fließende Strom oder eine elek­ trische Teilspannung gezielt eingestellt werden. Der eingestellte Strom und/oder die Teilspannung können als Stellgröße für eine elektrische Regelung bzw. Steuerung, z. B. eines Servoantriebes genutzt werden.

Bei bekannten entsprechenden Lösungen ist auf ein aus einem dielektrischen Material bestehenden Substrat ein Metall, Graphit oder ein entsprechend elektrisch leitendes Kompositmaterial aufgebracht worden, wobei hierfür beispielsweise Siebdruckverfahren mit nach­ folgender Temperaturbehandlung eingesetzt worden sind. Entlang einer solchen elektrisch leitenden Schicht wird ein metallisches Kontaktelelement hin- und herbewegt. Das Kontaktelement wird mit einer be­ stimmten Federkraft gegen die Oberfläche dieser elek­ trisch leitenden Beschichtung gedrückt. Bei diesen Lösungen tritt durch die Hin- und Herbewegung solcher Kontaktelemente auch ein verschleißbedingter Abrieb des elektrisch leitenden Materials auf, der demzufol­ ge auch während der Betriebsdauer zur Veränderung des jeweiligen spezifischen Widerstandes führt.

In WO 00/44032 A1 wurde daher vorgeschlagen, die elektrisch leitende Schicht durch eine einzige Schicht, die neben diamantähnlichem Kohlenstoff zu­ mindest Silicium und ein Metall enthält, zu ersetzen, so dass der Verschleiß der elektrisch leitenden Schicht auch ohne zusätzliche Schmiermittel entspre­ chend reduziert werden kann.

Eine solche Schicht soll nach der in WO 00/44032 A1 beschriebenen Lehre im Vakuum z. B. unter Zugabe eines Organosiloxanes ausgebildet werden, wobei insbesonde­ re der Metallgehalt in der Schicht zur Reduzierung des elektrischen Widerstandes führt und die Schicht allein als elektrischer Leiter zwischen dem mecha­ nisch bewegbaren metallischen Kontaktelement und min­ destens einem elektrischen Kontaktanschluss dient.

Die Abscheidung einer solchen Schicht ist aber mit herkömmlichen Verfahren, wenn überhaupt, nur sehr schwer möglich, wenn eine große Anzahl solcher Schichten mit reproduzierbaren elektrischen Eigen­ schaften erhalten werden sollen.

Wird eine große Streuung der elektrischen Eigenschaf­ ten der entsprechend hergestellten Schichten zugelas­ sen, ist es aber zwingend erforderlich, jede einzelne Schicht entweder entsprechend zu eichen bzw. aufwen­ digen Kalibrierungen bzw. Kompensationen, beispiels­ weise mit elektronischen Mitteln durchzuführen, was den Herstellungsaufwand kompletter Einheiten entspre­ chend erhöht und die Kosten negativ beeinflusst.

Des weiteren ist aus DE 39 11 101 A1 ein Potentiometer bekannt, bei dem Widerstands- bzw. Kollektorbah­ nen mit einer plasma-technologisch hergestellten Hartschicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff be­ schichtet ist. Auf dieser harten Schicht kann ein leitender Schleifer hin und herbewegt werden.

Aus DE 691 25 281 T2 ist ein elektrisch leitfähiger Polymerfilm, der eine leitfähige Widerstandsschicht bildet bekannt, wobei diese leitfähige Widerstands­ schicht von einem sogenannten Kontaktwischer berührt wird. Der Film ist aus einem gehärteten Polymerharz gebildet, in dem innig eine zusätzliche Substanz und Partikel zur Herstellung der elektrischen Leitfähig­ keit des Harzes im ungehärteten Zustand vermischt worden sind, und der Verschleiß bei der Bewegung des Kontaktwischers über diesen elektrisch leitfähigen Polymerfilm reduziert werden soll.

In DE 42 43 410 C2 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmmesswiderstandes beschrieben, bei dem auf einem Substrat aus Glas ein Metallfilm nach vor­ heriger Aufprägung einer Haftvermittlerschicht aus Al₂O₃ aufgedampft worden ist, durch Sputterätzen strukturiert und getrimmt und anschließend mit einer Schutzschicht aus SiO_x versehen wird.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein elektromecha­ nisch regelbares elektrisches Widerstandselement zur Verfügung zu stellen, das kostengünstig, inbesondere mit reproduzierbaren elektrischen Eigenschaften herstellbar ist, eine hohe Verschleißbeständigkeit auf­ weist und auch ohne zusätzliche Schmierung eine hohe Lebensdauer erreicht.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Wider­ standselement, das die Merkmale des Anspruchs 1 auf­ weist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen und Weiterbildungen der Erfindung können mit den in den untergeordneten Ansprüchen enthaltenen Merkmalen er­ reicht werden.

Das erfindungsgemäße elektromechanisch regelbare elektrische Widerstandselement verfügt über eine an sich bekannte elektrisch leitende Schicht, die auf einem dielektrischen Substrat angeordnet bzw. darauf ausgebildet ist. Die elektrisch leitende Schicht be­ steht aus einem homogenen Material und ist in Linien­ form geradlinig oder einem Radius folgend gekrümmt, geformt.

Entsprechend der gewünschten elektrischen Eigenschaf­ ten ist die Schicht mit einer jeweils vorgegebenen Breite und Dicke über die gesamte Länge der Schicht ausgebildet, um einen konstanten spezifischen Wider­ stand zu sichern, unabhängig davon, an welcher Stelle mit einem elektrischen Kontaktelement, das entlang der Schichtlänge mechanisch bewegbar ist, ein Span­ nungsabgriff erfolgt. Die Dicke der elektrisch leit­ fähigen Schicht sollte über die gesamte Länge kon­ stant sein. Im Normalfall trifft dies auch auf die Breite der elektrisch leitenden Schicht zu. Die Brei­ te kann aber auch über die Länge der Schicht kontinu­ ierlich oder in Sprüngen verändert sein.

An einer solchen elektrisch leitenden Schicht ist scher Kontaktanschluss vorhanden, der bevorzugt an einem stirnseitigen Ende der elektrisch leitenden Schicht angeordnet ist. Es besteht die Möglichkeit, einen zweiten Kontaktanschluss vorzusehen, der demzu­ folge vorteilhaft am entgegengesetzten stirnseitigen Ende der elektrisch leitenden Schicht ausgebildet sein sollte.

Das mechanisch bewegbare elektrische Kontaktelement wird mit einer vorgegebenen Anpresskraft orthogonal auf die Oberfläche gepresst und kann, je nachdem translatorisch oder einer Kreisbahn folgend, bewegt werden. Ein solches Kontaktelement kann beispielswei­ se aus einem elastisch federnden Metall, das in Rich­ tung auf die Oberfläche der elektrisch leitenden Schicht abgekröpft ist, gebildet sein.

Erfindungsgemäß wird auf der Oberfläche der elek­ trisch leitenden Schicht, diese Schicht und das me­ chanisch bewegbare Kontaktelement voneinander tren­ nend, eine verschleißbeständige Schicht ausgebildet, die ausschließlich aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet ist und auch keinen zusätzlichen Wasserstoff enthält. Diese verschleißbeständige Schicht steht im berührenden Kontakt mit dem mechanisch bewegbaren Kontaktelement und aufgrund seiner mechanischen Ei­ genschaften, insbesondere des Reibverhaltens und der erreichbaren Härten tritt kein Verschleiß der ver­ schleißbeständigen Schicht auf, obwohl auf Schmier­ mittel verzichtet werden kann.

Es ist erforderlich, die verschleißbeständige Schicht mit konstanter Dicke auszubilden, so dass sie in je­ der Position des Kontaktelementes einen konstanten elektrischen Übergangswiderstand zwischen Kontaktele­ ment und elektrisch leitender Schicht aufweist, der als konstanter Wert zu dem elektrischen Widerstand, der durch die effektive Leiterlänge der elektrisch leitenden Schicht zwischen einem Kontaktanschluss und der jeweiligen Position des mechanisch bewegbaren Kontaktelementes bestimmt wird, addiert wird.

In Verbindung mit entsprechend geeigneten Herstel­ lungsverfahren, auf die nachfolgend noch näher ein­ zugehen sein wird, kann ein erfindungsgemäßes Wider­ standselement in großer Stückzahl hergestellt werden, dessen elektrische Eigenschaften, auch bei sehr hohen Stückzahlen reproduzierbar in engen Toleranzbereichen eingehalten werden können.

Neben den bereits erwähnten Dimensionierungsparame­ tern für die elektrisch leitende Schicht, bezüglich deren Breite und Dicke, kann auch durch Auswahl eines entsprechenden Materials für diese elektrisch leiten­ den Schichten Einfluss auf den regelbaren Wider­ standsbereich des Widerstandselementes genommen wer­ den.

So können die unterschiedlichsten Metalle oder Metall-Legierungen ausgewählt werden, um nieder- bis hochohmige Widerstandselemente zur Verfügung zu stel­ len.

Es besteht aber auch die Möglichkeit, eine elektrisch leitende Schicht aus graphitischem Kohlenstoff ein­ zusetzen.

Bei bestimmten Materialkombinationen von Substrat und elektrisch leitender Schicht kann es günstig sein, zwischen diesen eine so genannte Haftvermittler­ schicht auszubilden, wobei auch in diesem Fall, die elektrische Leitfähigkeit einer solchen Haftvermitt­ lerschicht erheblich kleiner als die der elektrisch leitenden Schicht sein sollte. Die Haftvermittler­ schicht sollte also isolierende Eigenschaften aufwei­ sen. Beispiele für geeignete Materialien einer sol­ chen Haftvermittlerschicht sind Al₂O₃ oder ebenfalls diamantähnlicher Kohlenstoff.

Als Substratmaterialien können kostengünstige polyme­ re Kunststoffe eingesetzt werden. Dabei kann es sich um die verschiedensten an sich bekannten Kunststoffe, wie beispielsweise PMMA, Polycarbonat, Polyimide, Acryle u. a. handeln, die auch Füllstoffe, insbeson­ dere Faserverstärkungen enthalten können.

Ein solches Substrat kann auch in Folienform entspre­ chend mit elektrisch leitenden und verschleißbestän­ digen Schichten versehen und eingesetzt werden.

Besonders vorteilhaft ist es jedoch, ein Substrat mit einer Oberfläche auszuwählen, die eine möglichst ge­ ringe Oberflächenrauhigkeit aufweist, da sowohl die Dicke der elektrisch leitenden und die Dicke der ver­ schleißbeständigen Schicht sehr dünn gehalten werden können und sowohl elektrisch, wie auch mechanisch bedingt, gleichmäßige Schichtdicken eingehalten wer­ den sollen. So ist es selbstverständlich erforder­ lich, die Oberfläche der verschleißbeständigen Schicht, die im berührenden Kontakt mit dem mecha­ nisch bewegbaren Kontaktelement steht, mit geringer Rauhigkeit auszubilden, um günstige Reibverhältnisse zu sichern.

Es gibt verschiedene Möglichkeiten, die elektrisch leitende Schicht auf einer Oberfläche eines Substra­ tes auszubilden, bzw. eine solche Schicht dort anzu­ ordnen und zu fixieren.

So kann beispielsweise eine Metallschicht in eine auf der Substratoberfläche ausgebildete Kontur möglichst bündig eingebettet werden, so dass zumindest der Be­ reich einer Schicht, der bei der Bewegung des Kon­ taktelementes überstrichen wird, frei liegt.

In diesem Fall kann für eine solche elektrisch lei­ tende Schicht eine entsprechend ausgebildete und di­ mensionierte Folie eingesetzt werden.

Es besteht aber auch die Möglichkeit, eine solche elektrisch leitende Schicht mit an sich bekannten Verfahren in Dünnschichttechnik auf der Oberfläche eines Substrates im Vakuum abzuscheiden, wobei die Schichten durch fotolithographische Verfahren oder die Verwendung von Masken in entsprechender Größe und Form abgeschieden werden können.

Für die verschleißbeständige Schicht, die ausschließ­ lich aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet wird, kommen nur diese Beschichtungsverfahren in Frage.

Besonders günstig können solche Schichten mit dem unter der Bezeichnung Laser-Arc bekannten Verfahren hergestellt werden. Dieses Verfahren ist z. B. in DE 39 01 401 C2 und DE 198 50 218 A1 beschrieben, wobei auf deren Offenbarungsgehalt für diese Anmeldung zu­ rückgegriffen werden soll.

Mit dem Laser-Arc-Verfahren kann aber auch die elek­ trisch leitende Schicht bzw. die bereits erwähnte, gegebenenfalls erforderliche Haftvermittlerschicht hergestellt werden.

Um die gewünschten mechanischen Eigenschaften des erfindungsgemäßen Widerstandselementes zu sichern, ist es zumindest erforderlich, die verschleißbestän­ dige Schicht auf der Oberfläche der elektrisch lei­ tenden Schicht mit einer solchen Breite und Länge auszubilden, mit der gesichert ist, dass das mecha­ nisch bewegbare Kontaktelement immer lediglich Berei­ che überstreicht und berührt, die aus diamantähnli­ chem Kohlenstoff bestehen.

Günstiger ist es jedoch, die gesamte Oberfläche der elektrisch leitenden Schicht mit der verschleißbe­ ständigen Schicht zu überziehen und ganz besonders vorteilhaft, eine überlappende Überdeckung auch der äußeren Kanten einer elektrisch leitenden Schicht zu erreichen, so dass sie auch als zusätzliche Schutz­ schicht, insbesondere gegen Korrosion fungieren kann.

Vorteilhaft ist es, unter Berücksichtigung der mecha­ nischen und elektrischen Eigenschaften ein mechanisch bewegbares Kontaktelement einzusetzen, das zumindest über ein Teil aus graphitischem Kohlenstoff verfügt und dieses Teil im berührenden Kontakt mit der ver­ schleißbeständigen Schicht steht, so dass die Reib­ verhältnisse dadurch verbessert sind.

Bekanntermaßen weisen diamantähnliche Kohlenstoff­ schichten SP2-Bindungsanteile und SP3-Bindungsanteile für die Graphit- bzw. Diamantphase auf. Bei diesen diamantähnlichen Schichten verhält sich der elektrische Widerstand genauso wie die Härte einer solchen Schicht, die mit steigendem SP3-Bindungsanteil eben­ falls ansteigen. Eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff mit hohem SP3-Bindungsanteil ist demzu­ folge härter, verschleißbeständiger und hat auch ei­ nen höheren elektrischen Widerstand.

Die verschleißbeständige Schicht ist, als so genannte Gradientenschicht auszubilden, die aber erfindungs­ gemäß ebenfalls ausschließlich aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet ist. Dabei werden die möglichst kontinuierlichen Gradienten durch unterschiedliche Sp2- und SP3-Bindungsanteile ausgebildet. Ein Aufbau einer solchen Gradientenschicht soll so sein, dass der SP3-Bindungsanteil in bezug zum SP2-Bindungsan­ teil, ausgehend von der Seite der verschleißbeständi­ gen Schicht, die mit der elektrisch leitenden Schicht im berührenden Kontakt steht, ansteigt.

Die erfindungsgemäß zu verwendende verschleißbestän­ dige Schicht sollte zumindest an ihrer Oberfläche, die mit dem mechanisch bewegbaren Kontaktelement im berührenden Kontakt steht, eine Härte von mindestens 20 GPa aufweisen und ganz besonders vorteilhaft eine Oberflächenhärte ≧ 40 GPa aufweisen. Die Qualität der verschleißbeständigen Schicht kann durch zerstörungs­ freie Messung des Elastizitätsmoduls mit laserindu­ ziertem akustischen Oberflächenwellen mit einem Ver­ fahren, das unter der Bezeichnung LAwave bekannt ist, geprüft werden.

Ein erfindungsgemäßes regelbares elektrisches Wider­ standselement kann vorteilhaft als Lage- bzw. Positionssensor eingesetzt werden, wobei das mechanisch bewegbare Kontaktelement in eine Stellung oder Posi­ tion bewegt wird, die einem bestimmten elektrischen Widerstand entspricht und wie eingangs bereits er­ wähnt, z. B. bei konstanten elektrischen Spannungen, einen bestimmten elektrischen Strom in einem elektri­ schen Stromkreis fließen zu lassen, der wiederum zur Steuerung anderer Komponenten genutzt werden kann.

Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft beschrie­ ben werden.

Dabei zeigen:

Fig. 1 den schematischen Aufbau eines Beispiels eines regelbaren Widerstandselementes und

Fig. 2 ein zweites Beispiel mit einer zusätzlichen Haftvermittlerschicht.

In der Fig. 1 ist ein Beispiel eines erfindungsgemä­ ßen regelbaren Widerstandselementes in schematischer Form gezeigt.

Dabei ist auf einem Kunststoffsubstrat 1 eine elek­ trisch leitende Schicht 4 ausgebildet, die an beiden äußeren Stirnrändern elektrisch leitend mit jeweils einem Kontaktanschluß 2 Verbunden ist. Die Kon­ taktnschlüsse 2 können aus dem gleichen oder aus ei­ nem anderen Metall, wie die elektrisch leitende Schicht 4 gebildet sein. Zwischen der elektrisch leitenden Schicht 4 und dem mechanisch bewegbaren Kontaktelement 2' ist eine verschleißbeständige Schicht 5, die ausschließlich aus diamantähnlichem Kohlenstoff besteht, ausgebildet. Das, wie mit dem Doppelpfeil angedeutet, mechanisch hin- und herbeweg­ bare Kontaktelement 2' wird mit einer Anpresskraft, wie dies mit dem Pfeil 6 verdeutlicht ist, gegen die Oberfläche der verschleißbeständigen Schicht 5 ge­ drückt.

Dabei weisen, wie dies im allgemeinen Teil der Be­ schreibung bereits zum Ausdruck gebracht worden ist, sowohl die verschleißbeständige Schicht, wie auch die elektrisch leitende Schicht 4 eine konstante Dicke über die gesamte Länge des Widerstandselementes auf und die elektrisch leitende Schicht 4 ist dabei au­ ßerdem mit einer konstanten Breite ausgebildet.

Das in Fig. 2 gezeigte Beispiel unterscheidet sich gegenüber dem Beispiel nach Fig. 1 lediglich da­ durch, dass zwischen dem Substrat 1 und der elek­ trisch leitenden Schicht 4 eine zusätzliche Haftver­ mittlerschicht 3, die ebenfalls aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet sein kann, vorhanden ist. Auch diese Haftvermittlerschicht 3 kann mit konstanter Dicke ausgebildet sein. Diese Anforderung muss aber nicht zwingend über die gesamte Länge des Wider­ standselementes erfüllt sein. Es ist ausreichend, wenn die Haftvermittlerschicht 3, wie dies bei diesem Beispiel der Fall ist, im Bereich der Kontaktan­ schlüsse 2 eine konstante Dicke aufweist.

Eine verschleißbeständige Schicht 5, die aus diamant­ ähnlichem Kohlenstoff besteht, der einen spezifischen elektrischen Widerstand ρ_DLC = 5.10³ Ωcm aufweist, kann einen konstanten elektrischen Widerstand von R = 2,5 Ω ergeben, wenn für die verschleißbeständige Schicht eine Dicke von 200 nm gewählt und die elek­ trische Kontaktfläche zwischen dem mechanisch bewegbaren Kontaktelement 2' und der verschleißbeständigen Schicht 5 von 4 mm² vorhanden ist. Dabei ist bei kon­ stanter Dicke der verschleißbeständigen Schicht 5 der Übergangswiderstand in jeder Stellung des Kontaktele­ mentes 2' gleich.

Ein erfindungsgemäßes regelbares Widerstandselement kann beispielsweise auf einem Kunststoffsubstrat eine elektrisch leitende Schicht 4 aus Titan (spez. elek­ trischer Widerstand ρ_el = 42.10^-8 Ωm) mit einer Länge von 40 mm, einer Breite von 6 mm und einer Dicke von 30 nm aufweisen. Auf dieser elektrisch leitenden Schicht 4 kann eine verschleißbeständige Schicht 5 aus diamantähnlichem Kohlenstoff mit einer konstanten Dicke von 120 nm ausgebildet werden und es wird über die gesamte Schichtlänge ein elektrischer Widerstand von 5 kΩ realisiert. Variiert man nunmehr die Dicke der elektrisch leitenden Schicht 4, bei ansonsten gleicher Dimensionierung und erhöht sie um das dop­ pelte auf 60 nm, verringert sich der elektrische Wi­ derstand auf 2,5 kΩ und bei weiterer Verdoppelung der Schichtdicke der elektrischen leitenden Schicht 4 aus Titan auf 120 nm, wird wieder eine Halbierung des elektrischen Gesamtwiderstandes auf 1,25 kΩ erreicht.

Mit anderen Schichtmaterialien für die elektrisch leitenden Schichten können andere Widerstandsbereiche im nieder- bzw. hochohmigen Bereich abgedeckt werden.

Selbstverständlich können auch mehrere erfindungsge­ mäße Widerstandselemente nebeneinander parallel oder in gleichen Abständen nebeneinander angeordnet wer­ den, die voneinander isoliert, aber auch über Kon­ taktanschlüsse 2 und/oder Kontaktelement 2' elek­ trisch miteinander verbunden sind.

Claims (14)

1. Elektromechanisch regelbares elektrisches Wider­ standselement, bei dem auf einem Substrat eine Schicht aus einem elektrisch leitenden Material mit konstantem spezifischem elektrischen Wider­ stand, in vorgebbarer Breite und Dicke angeord­ net ist, die Schicht mindestens einen elektri­ schen Kontaktanschluss aufweist und ein elektri­ sches Kontaktelement entlang der Oberfläche me­ chanisch bewegbar ist; und
auf der elektrisch leitenden Schicht (4) eine ausschließlich aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildete verschleißbeständige Schicht (5) mit konstanter Dicke und höherem spezifischem elek­ trischen Widerstand, als dem der Schicht (4) ausgebildet ist, wobei die mit dem mechanisch bewegbaren Kontaktelement (2') im berührenden Kontakt stehende verschleißbeständige Schicht (5) als Gradientenschicht ausgebildet ist, bei der ausgehend von der mit der elektrisch leiten­ den Schicht (4) in Kontakt stehenden Fläche der SP3-Bindungsanteil in bezug zum SP2-Bindungsan­ teil im diamantähnlichen Kohlenstoff größer wird.

2. Widerstandselement nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die elektrisch leitende Schicht (4) aus einem Metall oder einer Metall- Legierung besteht.

3. Widerstandselement nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die elektrisch leitende Schicht (4) aus graphitischem Kohlenstoff be­ steht.

4. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der elektrisch leitenden Schicht (4) und dem Sub­ strat (1) eine Haftvermittlerschicht (3) ausge­ bildet ist.

5. Widerstandselement nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Haftvermittlerschicht (3) aus Al₂O₃ oder diamantähnlichem Kohlenstoff be­ steht.

6. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) aus einem polymeren Kunststoffmaterial ge­ bildet ist.

7. Widerstandselement nach Anspruch 6, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Substrat (1) eine flexi­ ble Folie ist.

8. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitende Schicht (4) eine flexi­ ble Folie ist.

9. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die aus diamantähnlichem Kohlenstoff gebildete ver­ schleißbeständige Schicht (5) zumindest den Be­ reich der elektrisch leitenden Schicht (2) über­ deckt, der bei der Bewegung des elektrischen Kontaktelementes (2') überstrichen wird.

10. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die ver­ schleißbeständige Schicht (5) die elektrische leitende Schicht (4) vollständig überdeckt und deren äußere Kanten überlappt.

11. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der die verschleißbeständige Schicht (5) berüh­ rende Teil des Kontaktelementes (2') aus graphi­ tischem Kohlenstoff gebildet ist.

12. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest an der Oberfläche der verschleißbeständigen Schicht (5) eine Härte von mindestens 20 GPa er­ reicht ist.

13. Widerstandselement nach Anspruch 11, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Härte der verschleißbeständigen Schicht (5) an der Oberfläche ≧ 40 GPa ist.

14. Verwendung eines Widerstandselementes nach einem der Ansprüche 1 bis 13 als Lage- bzw. Positions­ sensor.