DD294805A5 - LIGHTING SYSTEM FOR LASER AND SUPER RADIATION - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem fuer Laser- und Superstrahlung, das in der UV-Lithografie zur gleichmaeszigen Ausleuchtung des Objektfeldes anwendbar ist. Das erfindungsgemaesze Beleuchtungssystem ist zusaetzlich zu einem bekanntermaszen vorhandenen Spiegeltunnel und dessen einkoppelnden Element mit mindestens einem weiteren Spiegeltunnel zum Vorglaetten der Strahlung versehen. Damit wird eine geringe Abweichung in der Intensitaetsverteilung bei groszen Objektfeldern erzielt. Des weiteren lassen sich Intensitaetsprofilaenderungen von Laserimpuls zu Laserimpuls ausgleichen. Fig. 1{Beleuchtungssystem; Laser; UV-Lithografie; Spiegeltunnel; Ausleuchtung, gleichmaeszig; Intensitaetsprofil; Objektfeld; Medizintechnik; Excimerlaser; Impulslaser}The invention relates to a lighting system for laser and super radiation, which is applicable in UV lithography for gleichmaeszigen illumination of the object field. The illumination system according to the invention is provided with at least one further mirror tunnel for pre-glazing the radiation, in addition to a mirror tunnel which is known to exist and its coupling element. This achieves a small deviation in the intensity distribution in large object fields. Furthermore, intensity profile changes from laser pulse to laser pulse can be compensated. Fig. 1 {lighting system; Laser; UV lithography; Mirror tunnel; Illumination, uniform; Intensitaetsprofil; Object field; medical technology; excimer laser; Pulse Laser}
Description
Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing
Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Laser und Superstrahlung, das in der UV-Lithografie zur fotografischen Abbildung kleiner Strukturen anwendbar ist. Die vorliegende Beleuchtungseinrichtung sichert eine gleichmäßige Ausleuchtung des Objektfeldes mit einer Abweichung von wenigen Prozent auch bei relativ großen Flächen, z. B. größer gleich 100 x 100 mm2. Weiterhin ist das vorgeschlagene Beleuchtungssystem zur Nachschaltung an einen Impulslaser mit Intensitätsprofilschwankungen von Impuls zu Impuls geeignet, wie beispielsweise den Excimerlaser, um reproduzierbare Abbildungen bzw. ortsstabile Brennpunkte mit einer einfachen Optik zu erhalten. Damit werden alle Impulslaser mit Intensitätsprofilschwankungen in der Impuls-zu Impulsstrahlung auch für die Medizintechnik und in der Materialbearbeitung einsetzbar.The invention relates to an illumination system for laser and superradiation, which is applicable in UV lithography for the photographic imaging of small structures. The present illumination device ensures a uniform illumination of the object field with a deviation of a few percent even with relatively large areas, eg. B. greater than or equal to 100 × 100 mm 2 . Furthermore, the proposed illumination system is suitable for connection to a pulsed laser with intensity profile fluctuations from pulse to pulse, such as the excimer laser, to obtain reproducible images or spatially stable foci with a simple optics. This means that all pulse lasers with intensity profile fluctuations in pulse-to-pulse radiation can also be used for medical technology and material processing.
gleichmäßigen Beleuchtung ein Unterdrücken des Einflusses von Kratzern im Negativfilm und eine Erhöhung der Effizienz desuniform lighting suppressing the influence of scratches in the negative film and increasing the efficiency of the
gleichmäßig zu beleuchten, um dessen Zerstörung zu verhindern und zum anderen auch das zu beobachtende Objekt besser ausleuchten zu können.to illuminate evenly to prevent its destruction and to be able to better illuminate the object to be observed on the other.
der Einsatz von Spiegeltunneln bereits vorgeschlagen. In der US-PS 4 S47044 ist die Faltung des Laserstrahlquerschnittes mittels mehrerer Spiegel mit eingefügten Zwischenabbildungen beschrieben. Solche Systeme weisen einen geknickten Strahlengang auf und sind deshalb schwer zu justieren. Für die Ausleuchtung großer Objektfelder von z. B. 100 x 100mm2 sind sowohl diethe use of mirror tunnels already proposed. In US-PS 4 S47044 the folding of the laser beam cross-section is described by means of several mirrors with inserted intermediate images. Such systems have a kinked beam path and are therefore difficult to adjust. For the illumination of large object fields of z. B. 100 x 100mm 2 are both the
zueinander nur wenige virtuelle Lichtquellen an der Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsobjektive beteiligt sind, was zur Verschlechterung der Abbildungsqualität gegenüber einer vollausgeleuchteten Pupille führt.to each other only a few virtual light sources are involved in the illumination of the entrance pupil of the projection lenses, which leads to a deterioration of the image quality compared to a fully illuminated pupil.
inkohärenten Lichtstrahl mit im wesentlichen gleichmäßiger Intensitätsverteilung wird in der US-PS 4744615 beschrieben. Über die mit diesem System erreichbare Gleichverteilung der Intensität für große Objektfelder sind keine quantitativen Angaben bekannt.incoherent light beam having a substantially uniform intensity distribution is described in U.S. Patent 4,744,615. About the achievable with this system equal distribution of intensity for large object fields are no quantitative information known.
zu Laserimpuls nicht geeignet sind.are not suitable for laser pulse.
Die Erfindung hat das Ziel, ein Beleuchtungssystem für Laser- und Superstrahlung zu schaffen, das leicht zu justieren ist, relativ kleine Abmessungen besitzt, unempfindlich gegenüber Laserintensitätsprofiländerungen von Laserimpuls zu Laserimpuls ist und große Objektfelder gleichmäßig ausleuchten kann bei Abweichungen von kleiner +2%.The invention aims to provide an illumination system for laser and supersonic radiation that is easy to adjust, relatively small in size, insensitive to laser intensity profile changes from laser pulse to laser pulse, and capable of uniformly illuminating large object fields with deviations of less than + 2%.
dessen ebene, reflektierer. Jv- Innenflächen paarweise parallel zueinander und zur zentrisch liegenden optischen Achse ausgerichtet sind und mit einem vor dem Spiegeltunnel angeordneten, die Strahlung einkoppelnden Element dadurch gelöst, daß vor dem einkoppelnden Element mindestens ein weiterer Spiegeltunnel mit einer zugehörigen Einkoppeloptik vorhanden ist. Als weiterer Spiegeltunnel sollte ein Hohlprofil mit radialsymmetrischem, über die gesamte Länge des Spiegeltunnels gleichbleibendem Querschnitt, großem Verhältnis von Länge zu Durchmesser (Aspektverhältnis) und hohemits level, reflectors. Jv- inner surfaces are aligned in pairs parallel to each other and the centric optical axis and arranged with a arranged in front of the mirror tunnel, the radiation coupling element in that before the coupling element at least one further mirror tunnel with an associated coupling optics is present. Another mirror tunnel should be a hollow section with a radially symmetric cross-section over the entire length of the mirror tunnel, a large ratio of length to diameter (aspect ratio) and high
zueinander ausgerichtet sind. Als einkoppelndes Element vor dem ursprünglich vorhandenen Spiegeltunnel kann eine sphärische Linse vorgesehen sein. Denkbar sind hier auch ein Hohlspiegel, ein Konkavgitter oder ein Axikon.aligned with each other. As a coupling element in front of the originally existing mirror tunnel, a spherical lens may be provided. Also conceivable here are a concave mirror, a concave grating or an axicon.
kann, damit schon an dessen Ausgang eine relativ gleichmäßige Intensitätsverteilung erreicht wird. Deshalb sollte der weiterecan, so that even at the output of a relatively uniform intensity distribution is achieved. That's why the others should
virtuellen Lichtquellen eine größere Fläche ein als der Brennfleck des Lasers ohne diesen Tunnel, wodurch sich der Füllfaktor bei der Vervielfachung der in den ursprünglich vorhandenen Spiegeltunnel eintretenden Lichtverteilung verbessert.Virtual light sources a larger area than the focal spot of the laser without this tunnel, which improves the fill factor in the multiplication of the light distribution entering the original existing mirror tunnel.
zu Impuls ausgeglichen werden, so daß mit einer nachgeschalteten Optik reproduzierbare Abbildungen bzw. ortsstabilebe balanced to pulse, so that reproducible with a downstream optics mappings or stationary
prinzipiellen Aufbau des vorgeschlagenen Beleuchtungssystems.basic structure of the proposed lighting system.
ein weiterer Spiegeltunnel 4 mit einer zugehörigen Einkoppeloptik, bestehend aus den Zylinderlinsen 5 und 6, vorhanden. Deranother mirror tunnel 4 with an associated coupling optics, consisting of the cylindrical lenses 5 and 6, available. The
von 196mm und einem Durchmesser von 4mm. Die Zylinderlinsen 5 und β sind bezüglich ihrer Krümmungen senkrecht zueinander ausgerichtet. In Strahlungsrichtung nach dem Spiegeltunnel 2 sind eine sphärische Linse 7, eine Kombination aus sphärischen Linsen 8 und 9 mit einer Kohärenzblende 10, eine sphärische Linse 11 und die Eintrittspupille (nicht dargestellt) eines Projektionsobjektivs vorgesehen.of 196mm and a diameter of 4mm. The cylindrical lenses 5 and β are aligned perpendicular to each other with respect to their curvatures. In the direction of radiation after the mirror tunnel 2, a spherical lens 7, a combination of spherical lenses 8 and 9 with a coherent diaphragm 10, a spherical lens 11 and the entrance pupil (not shown) of a projection lens are provided.
über den Querschnitt des Rohres. Die aus dem Spiegeltunnel 4 austretende Strahlung wird durch die sphärische Linse 3 in denover the cross section of the pipe. The emerging from the mirror tunnel 4 radiation is transmitted through the spherical lens 3 in the
werden. Räumlich entstehen hier 49 Bilder.become. Spatially 49 pictures are created here.
wird durch die Kombination der sphärischen Linsen 8 und 9 auf die Maskenebene 13 abgebildet. Die Beleuchtung deris imaged by the combination of the spherical lenses 8 and 9 on the mask plane 13. The lighting of the
sphärischen Linse 7 in die Ebene der Kohärenzblende 10 und dann durch die sphärische Linse 11 in die Eintrittspupille desspherical lens 7 in the plane of the coherence diaphragm 10 and then through the spherical lens 11 in the entrance pupil of the
die erforderliche Objektgröße erreicht ist.the required object size is reached.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD34116090A DD294805A5 (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | LIGHTING SYSTEM FOR LASER AND SUPER RADIATION |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD34116090A DD294805A5 (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | LIGHTING SYSTEM FOR LASER AND SUPER RADIATION |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DD294805A5 true DD294805A5 (en) | 1991-10-10 |
Family
ID=5618828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DD34116090A DD294805A5 (en) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | LIGHTING SYSTEM FOR LASER AND SUPER RADIATION |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD294805A5 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11633104B2 (en) * | 2010-03-05 | 2023-04-25 | The General Hospital Corporation | Optical fiber, light tunnel, and lens which provide extended focal depth of at least one anatomical structure at a particular resolution |
-
1990
- 1990-05-31 DD DD34116090A patent/DD294805A5/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11633104B2 (en) * | 2010-03-05 | 2023-04-25 | The General Hospital Corporation | Optical fiber, light tunnel, and lens which provide extended focal depth of at least one anatomical structure at a particular resolution |
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