CN115269581A - 炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备，包括炉管生产数据的清除步骤：获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件，并建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。弥补了目前不能对炉管数据进行有效的数据清除的解决方案；炉管清除数据集中性好，一个炉管生产批次的数据都是在同一份文件中，方便归档与查找。

Description

炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备。
背景技术
生产数据整理和归档即生成数据清除（Purge），是指系统长期运行，数据增涨到一定量之后，影响到了系统的性能，而且这些数据又只做历史查询极少被使用，不会影响线上生产跑货。为了提高系统的运行效率，把一定时间以前的历史数据从当前系统中导出，做数据整理，备份到磁带，然后删除生产系统相应的数据，在有查询需要的时候进行恢复。
随着系统的复杂程度和工厂产能的提升，特别是对实时性要求很高的生产系统，数据清除技术保证系统性能和稳定的作用已经越来越大。目前通常的数据清除方式包括传统按时间方式进行数据清除和以组（Lot）为单位进行数据清除，这两种数据清除方式主要存在三个问题：第一，传统按时间方式进行数据清除，对于只有时间维度的数据适应性高，只需要按时间进行删除和恢复即可。但是半导体生产是按小组（Lot）和机台维度进行管理的，所以按时间方式进行数据清除无法满足要求。第二，以小组（Lot）为单位进行数据清除，把整个小组（Lot）生产过程的数据进行导出和恢复，可以解决小组（Lot）数据的完整归档。一个小组的状态包括完成生产状态（Finished）、报废状态（Scrapped）、终止状态（Terminated）、扣留状态（Hold）、暂存状态（Bank）和正在生产状态（Run）。但是由于炉管设备的特性，跑货的时候是把多个小组（Lot）绑定一起生产的，炉管的多个小组一起反映出炉管数据，例如是炉管的温度分布和每个位置晶圆的膜厚生长等数据，但是进行下一个工序时，同一炉管的多个组可能不能同时进入下一个工序的同一个炉管生产批次，如果按小组（Lot）方式进行数据清除不能完全的呈现炉管数据，对于炉管数据来说数据完整性缺失，无法满足要求。第三，在数据恢复时，无论是传统按时间的方式还是以小组（Lot）为单位的方式，都不能完整的恢复炉管的生产资料（炉管是多个小组（Lot）绑定一起跑货的）。
因此目前的数据清除方式对炉管数据的数据清除和后续恢复都不能很好的支持。
发明内容
本发明的目的在于提供一种炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备，以解决目前的数据清除方式对炉管数据的数据清除和后续恢复都不能满足要求的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种炉管生产数据的处理方法，包括炉管生产数据的清除步骤：
获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；
根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件，并建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；
删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。
可选的，在获取一个炉管生产批次的编号之前，建立所述炉管生产批次的关联关系表。
可选的，所述炉管生产批次的关联关系表包括多个小组在炉管内的位置分布、不同小组内晶圆的生长膜厚和/或炉管内的温度分布。
可选的，所述炉管工艺包括扩散工艺、氧化工艺或者烧结工艺。
可选的，根据所述炉管生产批次的编号、小组的编号和关联关系表生成索引标记。
可选的，还包括炉管生产数据的恢复步骤：
提供需要恢复炉管数据的小组编号；
根据小组的编号与炉管生产批次的编号的关系获取需要恢复的炉管生产批次的编号，并根据需要恢复的炉管生产批次的编号获取对应的炉管原始数据文件；
将所述炉管原始数据文件中需要的炉管数据恢复到炉管生产数据库中
基于同一发明构思，本发明还提供一种炉管生产数据的处理系统，包括：
获取模块，用于获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；
关联模块，用于根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件；
记录模块，用于建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；
数据删除模块，用于删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。
可选的，还包括关联关系表生成模块，用于建立所述炉管生产批次的关联关系表。
基于同一发明构思，本发明还提供一种计算机可读存储介质，其上储存有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任意一项所述的炉管生产数据的处理方法的步骤。
基于同一发明构思，本发明还提供一种计算机设备，包括储存器、处理器以及储存在所述储存器中并可被所述处理器执行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上述任意一项所述的炉管生产数据的处理方法的步骤。
在本发明提供的一种炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备中，炉管生产数据的处理方法包括炉管生产数据的清除步骤：通过以一个炉管生产批次为单位，根据所述炉管生产批次的编号获取所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据一并关联后导出成一个炉管原始数据文件，并建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号，然后删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。本发明弥补了目前不能对炉管生产数据进行有效的数据清除的不足，并且，炉管清除数据集中性好，一个炉管生产批次的数据都是在同一份文件中，方便归档与查找。
进一步的，炉管生产数据的处理方法还包括炉管生产数据的恢复步骤：通过提供需要恢复炉管数据的小组编号；然后根据小组的编号与炉管生产批次的编号的关系，并根据需要恢复的炉管生产批次的编号获取对应的炉管原始数据文件；将所述炉管原始数据文件中需要的炉管数据恢复到炉管生产数据库中。因此，炉管数据恢复时，只需要把对应炉管生产批次编号的炉管原始数据文件恢复即可，效率高。
附图说明
图1是本发明实施例的炉管生产数据的清除步骤流程图；
图2是本发明实施例的炉管生产数据的恢复步骤流程图；
图3是本发明实施例的炉管生产数据的处理系统的结构示意图；
图中，
10-关联关系表生成模块；20-获取模块；30-关联模块；40-记录模块；50-数据删除模块。
具体实施方式
为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。还应当理解的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
图1是本发明实施例的炉管生产数据的处理方法流程图。如图1所示， 本实施例提供一种炉管生产数据的处理方法，包括炉管生产数据的清除方法：
步骤S10，获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；
步骤S11，根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件，并建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；
步骤S12，删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。
在步骤S10之前，也就是在获取炉管工艺结束的一个炉管生产批次的编号之前，建立所述炉管生产批次的关联关系表。炉管是半导体器件制造过程中用于对晶圆进行扩散工艺、氧化工艺及烧结工艺的一种热加工设备。一个炉管中，一个炉管生产批次（Batch）包括多个小组（Lot）一起进入炉管加工，这些Lot组成一个炉管生产批次，炉管生产批次的编号叫Batch ID。炉管生产批次也包括多个状态，例如是工艺开始状态，工艺进行状态和工艺结束状态。炉管工艺开始的时候，同一炉管生产批次内的多个小组的状态相同。炉管工艺结束的时候，同一生产批次内的多个小组解绑，在下一个工序中，不同的小组可能自由组合进入到下个工序中，也就是说同一炉管生产批次内的多个小组在炉管工艺结束后，小组状态可能不同。例如是在扩散工艺中，第一生产批次包括小组a1、a2……an，假设扩散工艺之后进行氧化工艺，在氧化工艺中，第一生产批次可能包括a1、b2……an，假设氧化工艺之后进行退火工艺，在退火工艺中第一生产批次可能包括x1、b2……xn。每个小组（Lot）中的晶圆的数量例如是最多可以有25片，最少为1片。每个小组（Lot）在晶圆的生产制造过程中包括多个状态，例如是包括完成生产状态（Finished）、报废状态（Scrapped）、终止状态（Terminated）、扣留状态（Hold）、暂存状态（Bank）、正在生产状态（Run）。所述炉管生产批次的关联关系表包括多个小组在炉管内的位置分布、不同小组内晶圆的生长膜厚和/或炉管内的温度分布。炉管内不同位置的温度不同，会在允许的一定的误差范围内波动，炉管内不同位置的气体流量也不同，而炉管内不同温度和气体流量会使得不同位置的晶圆的膜厚不同。在炉管生产工艺结束后，会测试不同小组内的晶圆上生长的膜厚数据，炉管内的温度分布也会定期进行检测。
在步骤S11中，根据所述炉管生产批次的编号、小组的编号和关联关系表生成索引标记。生成索引标记的方法包括：
步骤S11a，获取所述炉管生产批次的编号、小组的编号和关联关系表作为索引内容生成若干条索引标记，将所述若干条索引标记保存至索引文件中；
步骤S11b，保存所述索引文件与所述炉管数据。
图2是本发明实施例的炉管生产数据的恢复步骤流程图；如图2所示，所述炉管生产数据的处理方法还包括炉管生产数据的恢复步骤：
步骤S20，提供需要恢复炉管生产数据的小组编号；
步骤S21，根据小组的编号与炉管生产批次的编号的关系获取需要恢复的炉管生产批次的编号，并根据需要恢复的炉管生产批次的编号获取对应的炉管原始数据文件；
步骤S22，将所述炉管原始数据文件中需要的炉管数据恢复到炉管生产数据库中。
在步骤S21中，根据索引标记和小组编号，找到炉管生产批次的编号，进而找到炉管原始数据文件。
图3是本发明实施例的炉管生产数据的处理系统的结构示意图；如图3所示，本实施例还提供一种炉管生产数据的处理系统，包括：
获取模块20，用于获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；
关联模块30，用于根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件；
记录模块40，用于建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；
数据删除模块50，用于删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。
炉管生产数据的处理系统还包括关联关系表生成模块10，用于建立所述炉管生产批次的关联关系表。
炉管生产数据的处理系统还包括索引标记生成模块（图中未示出），用于根据所述炉管生产批次的编号、小组的编号和关联关系表作为索引内容生成若干条索引标记，将所述若干条索引标记保存至索引文件中；并保存所述索引文件与所述炉管生产数据。
本实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上储存有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任意一项所述的炉管生产数据的处理方法的步骤。
本实施例可采用在一个或多个其中包含有程序代码的存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。计算机可读储存介质包括永久性和非永久性、可移动和非可移动媒体，可以由任何方法或技术来实现信息存储。信息可以是计算机可读指令、数据结构、程序的模块或其他数据。计算机的存储介质的例子包括但不限于：相变内存(PRAM)、静态随机存取存储器(SRAM)、动态随机存取存储器(DRAM)、其他类型的随机存取存储器(R A M)、只读存储器(ROM)、电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)、快闪记忆体或其他内存技术、只读光盘只读存储器(CD-ROM)、数字多功能光盘(DVD)或其他光学存储、磁盒式磁带，磁带磁磁盘存储或其他磁性存储设备或任何其他非传输介质，可用于存储可以被计算设备访问的信息。
本实施例还提供一种计算机设备，包括储存器、处理器以及储存在所述储存器中并可被所述处理器执行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上述任意一项所述的炉管生产数据的处理方法的步骤。
综上可见，在本发明提供的一种炉管生产数据的处理方法及系统、存储介质及计算机设备中，炉管生产数据的处理方法包括炉管生产数据的清除步骤：通过以一个炉管生产批次为单位，根据所述炉管生产批次的编号获取所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据一并关联后导出成一个炉管原始数据文件，并建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号，然后删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。本发明弥补了目前不能对炉管生产数据进行有效的数据清除的不足，并且，炉管清除数据集中性好，一个炉管生产批次的数据都是在同一份文件中，方便归档与查找。进一步的，炉管生产数据的处理方法还包括炉管生产数据的恢复步骤：通过提供需要恢复炉管数据的小组编号；然后根据小组的编号与炉管生产批次的编号的关系，并根据需要恢复的炉管生产批次的编号获取对应的炉管原始数据文件；将所述炉管原始数据文件中需要的炉管数据恢复到炉管生产数据库中。因此，炉管数据恢复时，只需要把对应炉管生产批次编号的炉管原始数据文件恢复即可，效率高。
此外还应该认识到，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围。

Claims (10)

1.一种炉管生产数据的处理方法，其特征在于，包括炉管生产数据的清除步骤：
获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；
根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件，并建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；
删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。
2.如权利要求1所述的炉管生产数据的处理方法，其特征在于，在获取一个炉管生产批次的编号之前，建立所述炉管生产批次的关联关系表。
3.如权利要求1或2任一项所述的炉管生产数据的处理方法，其特征在于，所述炉管生产批次的关联关系表包括多个小组在炉管内的位置分布、不同小组内晶圆的生长膜厚和/或炉管内的温度分布。
4.如权利要求1所述的炉管生产数据的处理方法，其特征在于，所述炉管工艺包括扩散工艺、氧化工艺或者烧结工艺。
5.如权利要求1所述的炉管生产数据的处理方法，其特征在于，根据所述炉管生产批次的编号、小组的编号和关联关系表生成索引标记。
6.如权利要求1所述的炉管生产数据的处理方法，其特征在于，还包括炉管生产数据的恢复步骤：
提供需要恢复炉管生产数据的小组编号；
根据小组的编号与炉管生产批次的编号的关系获取需要恢复的炉管生产批次的编号，并根据需要恢复的炉管生产批次的编号获取对应的炉管原始数据文件；
将所述炉管原始数据文件中需要的炉管数据恢复到炉管生产数据库中。
7.一种炉管生产数据的处理系统，其特征在于，包括：
获取模块，用于获取炉管生产批次的编号，所述炉管生产批次已经结束炉管工艺；
关联模块，用于根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表，将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件；
记录模块，用于建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号；
数据删除模块，用于删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。
8.如权利要求7所述的炉管生产数据的处理系统，其特征在于，还包括关联关系表生成模块，用于建立所述炉管生产批次的关联关系表。
9.一种计算机可读存储介质，其上储存有计算机程序，其特征在于：所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-6任意一项所述的炉管生产数据的处理方法的步骤。
10.一种计算机设备，其特征在于：包括储存器、处理器以及储存在所述储存器中并可被所述处理器执行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1-6中任意一项所述的炉管生产数据的处理方法的步骤。
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RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20221101

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