CN112198850A - 数据收集系统、处理系统以及存储介质 - Google Patents

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Abstract

一种数据收集系统、处理系统及存储介质。数据收集系统包括事件数据收集部、状态机生成部、状态机表及状态机驱动部。事件数据收集部将多个检测信号分别作为多个事件数据收集。多个检测信号在处理系统中检测到工件的通过时取得。状态机生成部生成与工件对应的模型的状态机。状态机包括多个状态、多个状态间的迁移、以及行动。多个检测信号的一个在向上述处理系统投入工件时取得。事件数据收集部收集到了与多个检测信号的一个对应的多个事件数据的一个时，状态机生成部生成状态机，并对状态机分发ID。状态机表保持所生成的状态机。状态机驱动部对状态机表所保持的状态机发送与多个检测信号的一个对应的事件并使其驱动。

Description

数据收集系统、处理系统以及存储介质
本申请是本申请人于2017年11月9日提交的中国专利申请号为201711095586.4、发明名称为“数据收集系统、处理系统以及存储介质”这一发明专利申请的分案申请。
本申请基于并享受日本专利申请No.2016-219229(申请日：2016年11月9日)以及日本专利申请No.2017-064877(申请日：2017年3月29日)的优先权，在此作为参考引用其全部内容。
技术领域
本发明的实施方式一般涉及数据收集系统、处理系统、以及存储介质。
背景技术
为了提高制造装置的生产性、品质，有收集制造装置的各种数据并进行分析的情况。例如，将产品的完成情况、检查结果等与上述数据进行比较。通过对得到不好的结果的产品的数据进行追踪，能够确定改善点。为了这样的目的，有采用在加工前后的定时读出工件的ID、与工序数据相关联的方法。但是，对于工件本身不带ID的情况或者在加工前后的定时读出ID困难的情况，不能采用这样的方法。
可以想到改造制造装置的控制软件，与工件相关联并且进行数据收集。但是，软件的改造要花费大量的成本。进而，在这种情况下，需要按制造装置而进行软件的改造。
发明内容
实施方式的数据收集系统包括事件数据收集部、状态机生成部、状态机表以及状态机驱动部。上述事件数据收集部将多个检测信号分别作为多个事件数据来收集。上述多个检测信号在处理系统中检测到工件通过时被取得。上述状态机生成部生成作为与上述工件对应的模型的状态机。上述状态机包括多个状态、上述多个状态间的迁移、以及行动。上述多个检测信号的一个在向上述处理系统投入工件时取得。在上述事件数据收集部收集了与上述多个检测信号的上述一个相对应的上述多个事件数据的一个时，上述状态机生成部生成上述状态机，并对上述状态机分发ID。上述状态机表保持所生成的上述状态机。上述状态机驱动部对上述状态机表所保持的上述状态机发送与上述多个检测信号的一个相对应的事件并使该状态机驱动。
附图说明
图1是表示第一实施方式的数据收集系统的构成的框图。
图2的(a)是表示实际的工件的处理的一个例子的示意图。(b)是表示与(a)对应的虚拟的工件的处理的示意图。
图3是表示虚拟工件的一个例子的状态机(state machine)图。
图4是表示制造装置的动作和与之对应的虚拟工件的状态的一个例子的图。
图5是GUI画面上所显示的状态迁移图的一个例子。
图6是GUI画面上所显示的、与图5的状态迁移图对应的状态迁移表。
图7是表示第一实施方式的第一实施例的数据收集系统的构成的框图。
图8是表示适用第一实施方式的第二实施例的数据收集系统的制造装置的一个例子的示意图。
图9是表示第一实施方式的第二实施例的数据收集系统中的虚拟装载机(loader)的状态机图。
图10是表示第二实施方式的数据收集系统的构成的框图。
图11是说明由幻影(phantom)状态机产生的课题的示意图。
图12是说明由幻影状态机产生的课题的示意图。
图13是表示第二实施方式的数据收集系统的动作的一部分的流程图。
图14是表示第二实施方式的变形例的数据收集系统的构成的框图。
具体实施方式
实施方式的数据收集系统包括事件数据收集部、状态机生成部、状态机表以及状态机驱动部。上述事件数据收集部将多个检测信号分别作为多个事件数据来收集。上述多个检测信号在处理系统中检测到工件通过时被取得。上述状态机生成部生成作为与上述工件对应的模型的状态机。上述状态机包括多个状态、上述多个状态间的迁移、以及行动。上述多个检测信号的一个在向上述处理系统投入工件时取得。在上述事件数据收集部收集了与上述多个检测信号的上述一个相对应的上述多个事件数据的一个时，上述状态机生成部生成上述状态机，并对上述状态机分发(日文原文：発番)ID。上述状态机表保持所生成的上述状态机。上述状态机驱动部对上述状态机表所保持的上述状态机发送与上述多个检测信号的一个相对应的事件并使该状态机驱动。
以下边参照附图边对本发明的实施方式进行说明。
在本申请说明书和各图中，对于与已经说明过的要素相同的要素赋予相同的附图标记而适当地省略详细的说明。
边参照图1以及图2，边对第一实施方式的数据收集系统100的概要进行说明。
图1是表示第一实施方式的数据收集系统100的构成的框图。
图2的(a)是表示实际的工件的处理的一个例子的示意图。图2的(b)是表示与图2的(a)对应的虚拟的工件的处理的示意图。
如图1所示，数据收集系统100包括事件数据收集部2、状态机生成部4、状态机表6、状态机驱动部8、工序数据收集部12、关联部14、工序数据输出部16、状态机模型文件20、生成定时定义文件22、以及状态机模型编辑工具24。
数据收集系统100适用于具有多个检测部的处理系统。图2的(a)表示作为处理系统的一个例子的制造装置。对在该制造装置中适用了数据收集系统100的情况进行说明。
在如图2的(a)所表示的例子中，收纳了多个工件的容器承载于制造装置。由机器人从该容器中一个一个地取出工件。取出的工件被依次搬运至装载机、加工室、以及检查室。在检查室被判断为合格产品的工件被搬运至卸载机。判断为不合格产品的工件不被卸载机搬运而被取出。
多个检测部A1～An在制造装置的各部中检测工件的通过。各检测部在检测到了工件的通过时，将该检测信号发送至事件数据收集部2。在检测部A1～An中例如使用接近传感器或光电传感器等用来检测物体的传感器。
也可以是制造装置具有机器人臂，由机器人臂进行工件的搬运。在这种情况下，也可以是各检测部通过检测机器人臂的动作来检测工件的通过。
检测部A1～An的形态不限于这些例子。例如，也可以是检测部A1～An利用从制造装置的控制部发出的控制信号等，检测工件的通过。对完成的制造装置适用数据收集系统100的情况，能够将物体检测传感器安装于制造装置，作为检测部A1～An来使用。由此，能够抑制伴随着系统的导入的成本。在不能由一个检测部检测一个场所的工件的通过的情况下，可以对一个场所组合并使用多个检测部。
检测部B检测附带于工件的信息(例如，批号)，发送至事件数据收集部2。例如，在收纳了工件的容器上附有条形码的情况下，检测部B是读出该条形码的条形码读取器。
事件数据收集部2将从检测部A1～An发送的各检测信号作为事件数据来收集。换言之，在事件数据收集部2中，基于从检测部A1～An发送的检测信号，生成多个事件数据。多个事件数据分别表示在制造装置的多个部分产生的事件。事件是在图2的(a)所表示的例子中的、“向制造装置的工件的投入”、“向加工室的工件的投入”等。在事件数据收集部2中也积蓄着从检测部B发送的信息。在一个场所设有多个检测部的情况下，事件数据收集部2也可以将这多个检测结果作为一个事件数据来收集。
在事件数据收集部2中，生成向制造装置的工件投入的事件数据。此时，状态机生成部4生成与该工件对应的状态机。该状态机是与工件对应的模型。状态机包含多个状态、多个状态间的迁移以及行动。这些状态、迁移、行动根据实际的工件的动作而设定。状态机生成部4对该状态机分发并赋予ID。所生成的状态机作为虚拟工件而动作。即，配合于向制造装置的工件的投入，由状态机生成部4生成赋予了ID的多个虚拟工件。多个虚拟工件分别对应于多个实际工件。
状态机表6保持由状态机生成部4生成的状态机。状态机表6在状态机消失之前，持续保持各自的状态机。状态机表6也可以对由状态机生成部4生成的状态机以外的其他状态机进行保持。
状态机驱动部8对应于由事件数据收集部2收集的事件，驱动被状态机表6保持的状态机。例如，检测部A2在检测到了投入到加工室的工件时，状态机驱动部8使与该工件对应的状态机驱动。由此，状态机从位于装载机内的状态迁移至位于加工室内的状态。
各个状态机具有二次事件发送行动(action)10。二次事件发送行动10是对应于状态机中产生的事件而生成二次事件的行动。在二次事件中附带与状态机相同的ID。
“行动”的含义是在状态机中，对于某一状态，进入(entry)时、退出(exit)时、以及向其它状态迁移时发生的现象。
检测部C对与制造装置中的工序有关的数据进行检测。具体地说，检测部C取得像加工室中的温度和压力那样、检测值相对于时间连续变化的波形数据。为了能够取得多个工序数据，也可以设置多个检测部C。
检测部C将取得的波形数据发送至工序数据收集部12。在工序数据收集部12中积蓄有由检测部C取得的波形数据。在设有多个检测部C的情况下，在工序数据收集部12积蓄有由各检测部C取得的波形数据。
关联部14对应于由二次事件发送行动10生成的二次事件，将工序数据收集部12所储存的波形数据的一部分切取(日文原文：切り出す)。关联部14将切取的波形数据与附带于二次事件的ID相关联。由此，状态机和波形数据由共用的ID关联。切取的波形数据通过工序数据输出部16被输出至外部。
状态机模型文件20包含状态机的接收事件表以及状态表。状态表包含状态机能够取得的状态。接收事件表包含使在状态表所包括的状态间的迁移产生的事件。此外，状态机模型文件20也包含二次事件的发送的行动、用于进行迁移的条件判断的防卫(guard)条件。
生成定时定义文件22对生成状态机的事件进行定义。即，由生成定时定义文件22定义的事件产生时，由状态机生成部4生成状态机。生成定时定义文件22也可以使用状态机来表现。在后述的虚拟装载机中，使用该方法。
状态机模型编辑工具24是用于制作并编辑状态机模型文件20以及生成定时定义文件22的工具。数据收集系统100的用户通过使用状态机模型编辑工具24，能够在GUI画面上制作状态机模型。对于状态机模型编辑工具24的详细将后述。
以上说明的数据收集系统100由具有CPU、存储器等的计算机执行。在该计算机的程序储存部储存有用于使该计算机作为上述的、事件数据收集部2、状态机生成部4、状态机表6、状态机驱动部8等发挥功能的程序。
该程序例如可以存储于硬盘、DVD、CD、FD、MO、存储卡等非暂时的有形的存储介质。例如，从任一存储介质将该程序安装于计算机。
使用图2以及图3，说明数据收集系统100的动作的具体的一个例子。
图3是表示虚拟工件的一个例子的状态机图。
图3的状态机图由Unified Modeling Language(UML：统一建模语言)制作。
图3所表示的状态机图包含状态S10～S15的6个状态。状态S10是初始状态。状态S15是终止状态。在状态S11～S14的各自的上级记载有状态名。状态间的箭头表示迁移及其方向。箭头被赋予“事件/[防卫条件]/行动”。事件、防卫条件、以及行动分别能够适当地省略。在图3所表示的例子中，被赋予了箭头的字符表示事件。在状态S11以及S12的下级记载有行动的执行条件。例如，状态S11中的“entry/ID分发”表示在进入到状态S11时设定有分发ID的行动。
以下，如图2的(a)所示那样，在实际的制造装置中被加工的工件称为“实际工件”。如图2的(b)所示的状态机被称为“虚拟工件”。
检测部A1检测向装载机投入的实际工件。该检测信号通过事件数据收集部2作为工件投入事件来收集。状态机生成部4在生成了工件投入事件时，生成虚拟工件。
如图3所示那样，生成工件投入事件时，虚拟工件从初始状态S10向状态S11迁移。状态S11表示工件放置于装载机内的状态。进入到状态S11时，执行分发ID的行动。由此，对虚拟工件赋予ID。
从装载机交出的实际工件向加工室投入。检测部A2检测向加工室投入的实际工件。事件数据收集部2将该检测信号作为向加工室的投入事件来收集。接收加工室投入事件，状态机驱动部8使虚拟工件从状态S11向状态S12迁移。状态S12表示工件放置于加工室内的状态。
进入到状态S12时，通过虚拟工件的二次事件发送行动10，执行“波形切取开始”的行动。接收该二次事件，开始设于加工室内的检测部C的检测结果(波形数据)的切取。
加工结束时，实际工件从加工室交出。检测部A3检测从加工室交出的实际工件。事件数据收集部2将该检测信号作为来自加工室的交出事件来收集。接收加工室交出事件，状态机驱动部8使虚拟工件从状态S12向状态S13迁移。状态S13表示工件放置于检查室内的状态。此时，通过虚拟工件的二次事件发送行动10，执行“波形切取结束”的行动。接收该二次事件，结束波形数据的切取。
关联部14参照工序数据收集部12。关联部14切取从接收切取开始的二次事件到接收切取结束的二次事件之间的波形数据。在这些二次事件中附带虚拟工件的ID。关联部14对抽取出的波形数据关联虚拟工件的ID。
在检查室判断为合格产品的工件被向卸载机搬运。判断为不合格产品的工件被向用于回收不合格产品的容器搬运。此时，检测部A4检测搬运合格产品的路线上的工件。检测部A6检测搬运不合格产品的路线上的工件。
检测部A4检测实际工件时，事件数据收集部2将该检测信号作为检查OK事件收集。接收检查OK事件，状态机驱动部8使虚拟工件从状态S13向状态S14迁移。状态S14表示工件放置于卸载机内的状态。
另一方面，检测部A6检测到实际工件时，事件数据收集部2将该检测信号作为检查NG事件收集。接收检查NG事件，状态机驱动部8使虚拟工件从状态S13向终止状态S15迁移。
检测部A5检测从卸载机交出的工件。事件数据收集部2将该检测信号作为来自制造装置的工件交出事件来收集。接收工件交出事件，状态机驱动部8使虚拟工件从状态S14向终止状态S15迁移。
向终止状态S15迁移的状态机将消失。消失的状态机从状态机表6删除。此时，有关状态机的信息或被输出至外部，或被记录于记录介质。上述信息包含状态机从初始状态S10到终止状态S15的过程、赋予给该状态机的ID、以及与该ID关联的波形数据等。
边参照图4边更具体地说明上述的例子。
图4是表示制造装置的动作和与其对应的虚拟工件的状态的一个例子的图。
在图4中主要表示从上级通过事件数据收集部2收集的工件通过事件、加工室中的工序的波形数据、虚拟工件的状态迁移的履历、关联了ID后的工序的波形数据。
对于ID关联后的波形数据，已关联的部分由实线表示。未关联的部分由虚线表示。
在时刻t1，生成工件投入事件。此时，生成第一个虚拟工件，该虚拟工件迁移到状态S11。
在时刻t2，生成加工室投入事件时，虚拟工件迁移至状态S12。此时，开始加工室内的压力数据的切取。
在时刻t3，生成加工室交出事件时，虚拟工件迁移至状态S13。此时，加工室内的压力数据的切取结束。
从时刻t2到时刻t3之间的波形数据被切取，与第一个工件的ID相关联。
在时刻t4，生成检查OK事件时，虚拟工件迁移至状态S14。
在时刻t5，生成工件交出事件时，虚拟工件迁移至状态S15(终止状态)，消失。
对于第二个以后的工件也是相同地，对应于各事件的生成，状态随之迁移。然后，伴随着状态的迁移，波形数据的一部被切取，与各个虚拟工件的ID相关联。
在图4所表示的例子中，对于第三个工件，生成检查NG事件，从状态S13向终止状态S15迁移。因此，在第三个虚拟工件的履历中不包含状态S14。
如以上所说明的那样，在第一实施方式的数据收集系统100中，事件数据收集部2将表示制造装置中的实际工件的通过的检测信号作为事件数据收集。然后，在工件的投入事件生成时，通过状态机生成部4，生成虚拟工件，赋予ID。在其它的事件生成时，状态机驱动部8与实际工件的状态相配合地使虚拟工件的状态迁移。
这样，生成带ID的虚拟工件，通过与实际工件的动作相配合地迁移状态，能够带ID地收集实际工件的处理过程的数据。即，根据本实施方式，能够容易地追踪各工件的处理过程。
根据本实施方式，在特定的事件中，进行波形数据的切取的开始以及结束，由此能够切取波形数据的一部分并与虚拟工件关联。因此，例如，在想确认检查中判断为NG的工件的波形数据的情况等时，也能够容易地查出与该工件的ID关联的波形数据。因此，对于在检查中判断为NG的工件，能够容易地进行数据的收集以及分析等，能够实现生产性以及品质的提高。
在上述第一实施方式的一个例子中，对于工序数据是波形的情况进行了说明。即，对于检测值是连续地且周期性地上下变动的工序数据的情况进行了说明。本实施方式的数据收集系统100也能够收集波形以外的、阶梯状变化的工序数据。
一般地，对于温度、压力等波形数据，值是连续地变动的。因此，与阶梯状变化的数据相比，从工序数据确定与各工件对应的部分并建立关联是困难的。因此，本实施方式的数据收集系统100特别适宜使用于波形数据的收集以及分析。通过使用数据收集系统100，即使在工序数据是波形的情况下，也能统一地将工序数据的一部分与工件关联。
在图2～图4所表示的例子中，对由数据收集系统100收集加工工件时的工序数据的情况进行了说明。本实施方式的数据收集系统100也能够适用于进行工件加工的装置以外。例如，在进行工件的加热、清洗等的处理系统中，数据收集系统100能够广泛用于处理工件时的工序数据的收集。
上述状态机能够通过状态机模型编辑工具24编辑。通过由状态机模型编辑工具24指定状态机能够取得的状态、接收的事件、生成状态机的定时、各状态间的迁移的条件和/或迁移目的地等，来制作状态机。
图5是GUI画面所显示的状态迁移图的一个例子。
图6是显示于GUI画面的、与图5的状态迁移图对应的状态迁移表。
在图5中，赋予给各状态间的箭头的字符表示“事件/行动”。即表示在记载的事件产生的情况下，与状态迁移一起，执行记载的行动。
用户能够使用状态机模型编辑工具24，以图5以及图6所示的那样的状态迁移图以及状态迁移表的任一形式制作状态机。通过使用状态机模型编辑工具24，用户能够确认状态迁移图以及状态迁移表双方。由此，用户容易确认要设定的项目有无遗漏。
在制作状态机时设定的“状态机能够取得的状态”以及“接收事件”被保存于状态机模型文件20。“生成状态机的定时”被保存于生成定时定义文件22。“各状态间的迁移的条件·迁移目的地”被保存于状态机模型文件20。这些各文件，以按照成为数据收集的对象的制造装置被更换的方式，以XML(Extensible Markup Language)等通用的形式保存。
也可以登记多个状态机模型文件20以及多个生成定时定义文件22。例如，在装置有多个投入路线的情况下，需要多个生成定时定义文件22。在因制法(recipe)不同而装置内的工件的流动方式不同的情况下，需要多个状态机模型文件20。
(第一实施例)
对于上述第一实施方式的数据收集系统100的一个实施例，边参照图7边说明。
图7是构成第一实施方式的第一实施例的数据收集系统110的构成的框图。
如图7所示那样，数据收集系统110具有：状态机表6、状态机驱动部8、关联部14、工序数据输出部16、状态机模型编辑工具24、串行数据接收部32、输入用事件数据表34、输入用工序数据表36、Barcode Reader(BCR：条形码阅读器)数据接收部38、虚拟装载机40、输出用事件数据表42、输出用工序数据表44、事件数据输出部46、以及状态机设定文件读入部48。
串行数据接收部32通过串行通信接收由检测部A1～An以及检测部C检测的信号。串行数据接收部32对接收的数据进行解析。串行数据接收部32将事件数据储存至输入用事件数据表34。串行数据接收部32将波形数据储存至输入用工序数据表36。即，串行数据接收部32以及输入用事件数据表34作为事件数据收集部2发挥功能。串行数据接收部32以及输入用工序数据表36作为工序数据收集部12发挥功能。
BCR数据接收部38接收从作为检测部B的条形码阅读器发送的数据。BCR数据接收部38将接收的数据储存至输入用事件数据表34。
在状态机表6中保持虚拟装载机40以及虚拟工件的状态机。虚拟装载机40是不从状态机表6上删除而持续存在的状态机。虚拟装载机40作为虚拟的装载机发挥功能。
具体地说，虚拟装载机40具有执行虚拟工件生成和工件ID分发这2个行动的功能。在生成工件投入事件时，通过虚拟装载机40执行这些行动。由此，生成赋予了ID的虚拟工件。即，在数据收集系统110中，作为状态机的虚拟装载机40作为状态机生成部4发挥功能。虚拟装载机40也是生成定时定义文件22。
对生成的虚拟工件关联通过虚拟装载机40的行动赋予的ID、以及由BCR数据接收部38读取的实际工件的信息(批号)。赋予给虚拟工件的ID和实际工件的信息的关联在通过虚拟装载机40执行ID分发的行动时进行。
虚拟装载机40根据状态机模型文件20，生成虚拟工件。这些文件通过状态机设定文件读入部48读入。这些文件通过状态机模型编辑工具24制作或编辑。
状态机驱动部8按照输入用事件数据表34所储存的事件，驱动各虚拟工件。虚拟工件由状态机驱动部8驱动。虚拟工件还执行投入履历写出、OK交出履历写出、NG交出履历写出、波形切取开始、以及波形切取结束的行动。
执行投入履历写出、OK交出履历写出，或NG交出履历写出的行动时，该履历被写出到输出用事件数据表42。
波形切取开始以及波形切取结束是如上所述地用于进行波形数据的切取的行动。接受这些行动后，关联部14从输入用工序数据表36切取波形数据并与ID关联。关联部14将切取的波形数据储存于输出用工序数据表44。
事件数据输出部46以及工序数据输出部16分别参照输出用事件数据表42以及输出用工序数据表44。这些输出部以CSV等规定的文件形式输出所储存的数据，写入SD卡等记录介质中。或者，这些输出部也可以使用FTP(File Transfer Protocol)等向外部的服务器发送数据。这些输出部也可以进行数据库通信，使用ODBC(Open Database Connectivity)等，向外部的数据库服务器插入数据。
(第二实施例)
图8是表示适用第一实施方式的第二实施例的数据收集系统的制造装置的一个例子的示意图。
图9是表示第一实施方式的第二实施例的数据收集系统中的虚拟装载机40的状态机图。
第二实施例的数据收集系统例如除虚拟装载机40之外，具有与数据收集系统110相同的构成。
在图8所示的例子中，对在X轴向以及Z轴向上可动的机器人R安装手部H。手部H从容器E1以及E2一个一个取出工件，载置到输送机上。载置到输送机上的工件被运至加工室P，实施规定的加工。
手部H的通过在由虚线表示的位置由检测部A11以及A12检测。输送机上的输送带在投入到加工室P时，在由虚线表示的位置，由检测部A13检测。
如图9所示那样，在本实施例的数据收集系统中，虚拟装载机40包含状态S20～S22的3个状态。
虚拟装载机40在由手部H取出实际工件之前或者实际工件被向加工室投入了之后，处于状态S20。通过检测部A11检测到手部H向容器E1侧移动了时，产生E1侧通过事件。接收该事件，虚拟装载机40从状态S20向状态S21迁移。
迁移到状态S21了以后，通过检测部A13检测到工件被向加工室投入时，产生工件检测事件。接收该事件，虚拟装载机40从状态S21向状态S20迁移，并且生成虚拟工件。此时，虚拟工件与容器E1的批号关联。
相同地，虚拟装载机40处于状态S20时，通过检测部A12检测到手部H。产生E2侧通过事件。接收该事件，虚拟装载机40从状态S20向状态S22迁移。迁移到状态S22了以后，由检测部A13检测工件。产生工件检测事件。接收该事件，虚拟装载机40生成虚拟工件。虚拟工件与容器E2的批号关联。
在状态S21中，不产生工件检测事件、产生E2侧通过事件的情况下，迁移到状态S22。在状态S21中，再次产生E1侧通过事件的情况下，向状态S21自身迁移。
相同地，在状态S22中，不产生工件检测事件、产生E1侧通过事件的情况下，迁移到状态S21。在状态S22中，再次产生E2侧通过事件的情况下，向状态S22自身迁移。
根据本实施例的数据收集系统，从多个容器取出工件的情况下，也能够将赋予给容器的批号等信息与各个工件关联。
按批次而在加工室进行的处理不同的情况下，根据本实施例的数据收集系统，也能够区别从哪个批次取出了工件。因此，能够生成与各批次的制法对应的状态机。
(第二实施方式)
图10是表示第二实施方式的数据收集系统200的构成的框图。
第二实施方式的数据收集系统200与第一实施方式的数据收集系统100相比，还具有幻影消除部50、对应主存储部(correspondence master)54、以及停留上限数主存储部(dwelling number upper limit master)56。状态机除了二次事件发送行动10还具有幻影消除事件发送行动11。
如第一实施方式的说明所述的那样，在数据收集系统100中，进行虚拟工件的生成以及驱动。这些生成以及驱动基于制造装置的检测部A1～An的实际工件的检测结果。换言之，投入到制造装置的实际工件在由检测部未检测到而动作了的情况下，虚拟工件不进行对应于实际工件的动作的驱动。因此，实际工件在未检测到而从制造装置拔去或者落下时，与该实际工件对应的虚拟工件不被删除(终止)而持续保持在状态机表6中。
在以下的本实施方式的说明中，在制造装置中，与未检测到通过的实际工件相对应，持续保持于状态机表6的虚拟工件(状态机)称为“幻影状态机”。
幻影状态机存在的情况下，有相对于未被检测到的实际工件的下一个实际工件的检测信号被事件数据收集部2收集的情况。在这种情况下，状态机驱动部8基于收集到的事件，使幻影状态机驱动。即，第n个虚拟工件成为幻影状态机的情况下，基于应驱动第n+1个虚拟工件的事件，幻影状态机被驱动。其结果，应与第n+1个虚拟工件关联的工序数据通过关联部14而与第n个幻影状态机关联。得不到正确的工件处理过程的数据。
对于该课题，参照图11以及图12进行说明。
图11以及图12是说明由幻影状态机产生的课题的示意图。
图11的(a)以及图12的(a)表示制造装置中的实际工件的动作。图11的(c)以及图12的(c)分别表示与图11的(a)以及图12的(a)的实际工件的动作对应而得到的检测部的检测结果。图11的(b)以及图12的(b)分别表示基于图11的(c)以及图12的(c)的检测结果的虚拟工件的状态迁移的样子。在图11的(c)以及图12的(c)中，对于各检测信号，按关联的虚拟工件的ID而由实线连接表示。
图11表示未产生幻影状态机的情况的样子。各个实际工件的动作由检测部1～4检测，基于其检测结果，各虚拟工件的状态迁移。
在这种情况下，如第一实施方式中说明的那样，实际工件的数据以带ID的状态被收集，能够正确地追踪实际工件的处理过程。
图12表示幻影状态机产生了的情况的样子。在该例中，如图12的(a)以及图12的(c)所表示的那样，实际工件1在场所B未由检测部检测到而从制造装置中拔去。此时，对应的虚拟工件1继续保持在状态机表6中。其结果，如图12的(c)所示的那样，实际工件2从场所B移动到了场所C时的检测部3的检测信号与虚拟工件1关联。虚拟工件1迁移到与场所C对应的状态3。另一方面，与实际工件2对应的虚拟工件2不迁移到状态3而原样保持状态2。由此，在场所C对实际工件2进行了处理的情况下，其工序数据不与虚拟工件2关联而与虚拟工件1关联。
本实施方式的数据收集系统200，为了防止这样的数据的关联的错位，而具有上述的幻影消除部50。各个状态机具有幻影消除事件发送行动11。
幻影消除事件发送行动11在虚拟工件向其它状态迁移时，生成并发送幻影消除事件。幻影消除部50，对应于该幻影消除事件，检索幻影状态机。此时，幻影消除部50参照对应主存储部54以及停留上限数主存储部56，检索幻影状态机，将幻影状态机删除(终止)。
虚拟工件的各自的状态与制造装置中的实际工件的停留场所对应。在对应主存储部54中存储虚拟工件能够取得的多个状态和制造装置的多个场所的各自的对应。
在制造装置的各场所，实际工件能够停留的数量是有限制的。因此，在停留上限数主存储部56中存储制造装置的各自的场所能停留的实际工件的上限数(场所的停留上限数：第二停留上限数)和在各自的状态能停留的虚拟工件的上限数(状态的停留上限数：第一停留上限数)。在此，例示出场所的停留上限数和状态的停留上限数存储于一个主存储部的情况。这些信息也可以分别存储于不同主存储部。
参照图13，对于用于删除数据收集系统200中的幻影状态机的动作，具体地说明。
图13是表示第二实施方式的数据收集系统200的动作的一部分的流程图。
实际工件的通过由检测部A1～An检测。基于其检测结果，由状态机驱动部8将虚拟工件从某一状态向其它状态迁移。此时，执行幻影消除事件发送行动11，开始图13的流程图所表示的动作。
在步骤S31中，幻影消除部50取得虚拟工件的迁移目的地的状态Xs(第一状态)。
在步骤S32中，幻影消除部50在虚拟工件迁移了之后，将处于该状态Xs的虚拟工件的数量作为状态Xs的预定停留数(第一预定停留数)计算。该预定停留数是在状态Xs的当前(迁移前)的虚拟工件的停留数(Ns个)上加上迁移后增加的虚拟工件的数量(一个)而得到的。
在步骤S33中，幻影消除部50参照停留上限数主存储部56，取得状态Xs的停留上限数(Cs个)。
在步骤S34中，幻影消除部50从步骤S32中计算的状态Xs的预定停留数(Ns+1个)减去停留上限数(Cs个)，计算状态Xs的停留超过数(Fs个)(第一停留超过数)。
在步骤S35中，幻影消除部50判断停留超过数是否超过0。
超过的情况下，在步骤S36中，幻影消除部50使处于状态Xs的Fs个虚拟工件迁移至终止状态。此时，先迁移至状态Xs的Fs个虚拟工件作为幻影状态机迁移至终止状态。迁移至终止状态的虚拟工件消失，被从状态机表6中删除。
在步骤S37中，幻影消除部50参照对应主存储部54，取得与虚拟工件的迁移目的地的状态对应的场所Xp(第一场所)。
在步骤S38中，幻影消除部50在虚拟工件迁移了以后，将该场所Xp处的虚拟工件的停留数作为场所Xp的预定停留数(第二预定停留数)来计算。该预定停留数是对场所Xp的当前(迁移前)的虚拟工件的停留数(Np个)加上迁移后增加的虚拟工件的数量(Mp个)而得到的。
在步骤S39中，幻影消除部50参照停留上限数主存储部56，取得场所Xp处的停留上限数。
在步骤S40中，幻影消除部50从步骤S38中计算的场所Xp的预定停留数(Np+Mp个)减去停留上限数(Cp个)，计算停留超过数(Fp个)(第二停留超过数)。
在步骤S41中，幻影消除部50判断停留超过数是否超过0。
在超过的情况下，在步骤S42中，幻影消除部50使停留于场所Xp的(处于与场所Xp对应的状态)Fp个的虚拟工件迁移到终止状态。此时，先停留于场所Xp的Fp个的虚拟工件作为幻影状态机而被迁移到终止状态。迁移到终止状态的虚拟工件消失，从状态机表6删除。
然后，在步骤S43中，虚拟工件向迁移目的地的状态Xs迁移。
通过以上的步骤，能够将虚拟工件的迁移目的地处的幻影状态机删除(终止)。其结果，能够正确地将实际工件通过时的检测信号、实际工件处理时的工序数据与对应的虚拟工件关联。
即，根据本实施方式，与第一实施方式相比，能够更加正确地追踪各工件的处理过程。
在图13所表示的流程图中，对于调查了虚拟工件的迁移目的地的状态Xs的停留超过数后，调查场所Xp的停留超过数的情况进行了说明。这些步骤的顺序能够适当地变更。此外，这些步骤也能够并行地同时执行。
在图10表示的数据收集系统200中，对于通过状态机具有的幻影消除事件发送行动11来启动幻影消除部50的情况进行了说明。状态机也可以具有进行幻影状态机的检索以及消除的行动。
图14是表示第二实施方式的变形例的数据收集系统210的构成的框图。
数据收集系统210中，取代幻影消除部50而状态机具有幻影消除行动11a。
数据收集系统210中，状态机迁移时，图13所表示的流程图的动作作为状态机的行动被执行。即，幻影消除行动11a作为幻影消除部50发挥功能。
这样的数据收集系统能够看做也具有“幻影消除部”。
然后，根据具有作为幻影消除部50发挥功能的构成的数据收集系统210，与数据收集系统200相同地，能够更加正确地追踪各工件的处理过程。
在此，对于制造装置的各场所的停留上限数相互不同的情况进行了说明。在这种情况下，如上述那样，需要参照对应主存储部54、停留上限数主存储部56，取得虚拟工件的状态和制造装置的场所的对应、各个场所的停留上限数。
通过增加制造装置所设置的检测部的数量，使制造装置的场所与虚拟工件的状态以1：1对应，从而也能够不需要这些主存储部(master)。若使制造装置的场所与虚拟工件的状态以1：1对应的话，则停留数的上限一律设定为2。在这种情况下，在迁移目的地存在相同的状态的虚拟工件的话，则该虚拟工件被作为幻影状态机而被终止。
在本实施方式的说明中，与实际工件对应的模型以状态机表现。在实际工件未被检测而进行了拔去等的情况下，与该实际工件对应的幻影状态机被删除。
本实施方式的发明也能够适用于与实际工件对应的模型以状态机以外的方式表现的情况。即使在使用其他模型的情况下，实际工件未被检测而进行了拔去等时，与该实际工件对应的模型作为幻影继续残留在数据收集系统上。其结果，无法正确地将制造装置中所得出的数据与模型关联。
例如，本实施方式的发明也能够适用于使用流程图等将工件作为模型表现的情况。
以上，例示了本发明的若干个实施方式，但这些实施方式是作为例子而提示的，并不意在限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其它的各种形态实施，在不脱离发明的要旨的范围，能够进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式及其变形例包含在发明的范围、要旨中，并且包含于专利权利要求所记载的发明及其等同的范围内。而且，上述各实施方式能够相互组合地实施。

Claims (13)

1.一种数据收集系统，具有：
事件数据收集部，将多个检测信号分别作为多个事件数据来收集，上述多个检测信号是在处理系统中检测到工件通过时取得的；
状态机生成部，生成作为与上述工件对应的模型的状态机，上述状态机包括多个状态、上述多个状态间的迁移、以及行动，上述多个检测信号中的一个检测信号是在向上述处理系统投入工件时取得的，在上述事件数据收集部收集了与上述多个检测信号中的上述一个检测信号相对应的上述多个事件数据中的一个事件数据时，上述状态机生成部生成上述状态机，并对上述状态机分发ID；
状态机表，保持所生成的上述状态机；以及
状态机驱动部，对上述状态机表所保持的上述状态机发送与上述多个检测信号中的一个检测信号相对应的事件并使该状态机驱动。
2.如权利要求1所述的数据收集系统，
还具有：
工序数据收集部，收集上述工件被处理时的工序数据；
关联部；以及
工序数据输出部，
上述状态机包含二次事件发送行动，
在被上述状态机驱动部驱动而进行向规定的状态进入或从规定的状态退出时，上述二次事件发送行动发送用于进行上述工序数据的切取的二次事件，
上述二次事件中附带有上述ID，
上述关联部在接收到上述二次事件时，对上述工序数据赋予上述二次事件所附带的上述ID，
上述工序数据输出部进行被赋予了上述ID的上述工序数据的、文件保存以及数据发送中的至少任一个。
3.如权利要求2所述的数据收集系统，上述状态机在上述工件被处理时发送上述二次事件，
上述关联部对应于接收到的上述二次事件，切取上述工序数据的一部分，对上述工序数据的一部分赋予上述二次事件所附带的上述ID，
上述工序数据输出部进行被赋予了上述ID的上述工序数据的一部分的、文件保存以及数据发送中的至少任一个。
4.如权利要求2或3所述的数据收集系统，上述工序数据是上述工件被处理时的压力以及温度的至少任一个的波形数据。
5.如权利要求1～4中任一项所述的数据收集系统，还具有：
状态机模型文件，对接收事件表、以及包含所生成的上述状态机能够取得的状态的状态表进行定义；
状态机模型编辑工具，构成为用户能够在GUI画面上编辑上述状态机模型文件，并且构成为能够从多个上述状态机模型文件选择与成为数据收集的对象的处理系统对应的一个上述状态机模型文件；以及
状态机生成定时定义文件，对生成上述状态机的事件进行定义。
6.如权利要求1～5中任一项所述的数据收集系统，还具有：
幻影消除部，对上述状态机表中保持的幻影状态机进行检索，使上述幻影状态机终止，上述幻影状态机在上述处理系统中与没有被检测到通过的上述工件相对应。
7.如权利要求6所述的数据收集系统，还具有：
对应主存储部，存储有多个上述状态和上述处理系统的多个场所之间的各个对应；以及
停留上限数主存储部，存储有第一停留上限数和第二停留上限数，上述第一停留上限数是上述状态机在上述多个状态的各个状态中能够停留的上限数，上述第二停留上限数是上述状态机在上述多个场所的各个场所能够停留的上限数，
上述幻影消除部，在上述状态机迁移时，
参照上述对应主存储部，取得与迁移后的第一状态对应的第一场所，
对上述第一状态下的上述状态机的第一预定停留数以及第一场所中的上述状态机的第二预定停留数进行计算，
参照上述停留上限数主存储部，取得上述第一状态下的上述第一停留上限数以及上述第一场所中的上述第二停留上限数，
根据上述第一预定停留数以及上述第一停留上限数计算第一停留超过数，
将上述第一状态下的上述第一停留超过数的上述状态机作为上述幻影状态机并使该幻影状态机终止，
根据上述第二预定停留数以及上述第二停留上限数计算第二停留超过数，
将上述第一场所中的上述第二停留超过数的上述状态机作为上述幻影状态机并使该幻影状态机终止。
8.一种处理系统，具有：
如权利要求2～7中任一项所述的上述数据收集系统；
检测工件向上述处理系统的投入的第一检测部；以及
检测上述处理系统中的工件的通过的第二检测部，
在通过上述事件数据收集部收集了从上述第一检测部发送的检测信号来作为上述事件数据时，上述状态机生成部生成上述状态机并分发ID，
上述状态机驱动部将与从上述第二检测部发送的检测信号对应的事件发送至上述状态机并使该状态机驱动。
9.如权利要求8所述的处理系统，还具有：
第三检测部，检测上述工序数据，发送至上述工序数据收集部；以及
第四检测部，检测上述工件所附带的信息，
上述状态机生成部进行上述ID与上述信息的关联。
10.一种存储介质，储存有用于使计算机作为如下各部发挥功能的程序：
事件数据收集部，将多个检测信号分别作为多个事件数据来收集，上述多个检测信号是在处理系统中检测到工件的通过时取得的；以及
状态机生成部，生成作为与上述工件对应的模型的状态机，上述状态机包括多个状态、上述多个状态间的迁移、以及行动，上述多个检测信号中的一个检测信号是在向上述处理系统投入工件时取得的，在上述事件数据收集部收集到与上述多个检测信号中的上述一个检测信号相对应的上述多个事件数据中的一个事件数据时，上述状态机生成部生成上述状态机，并对上述状态机分发ID。
11.如权利要求10所述的存储介质，
上述程序还使上述计算机作为如下各部发挥功能：
工序数据收集部，收集上述工件被处理时的工序数据；
关联部；以及
工序数据输出部，
上述状态机包括二次事件发送行动，
上述二次事件发送行动，在被上述状态机驱动部驱动而进行了向规定的状态进入或从规定的状态退出时，发送用于进行上述工序数据的切取的二次事件，
上述二次事件中附带有上述ID，
上述关联部在接收到上述二次事件时，对上述工序数据赋予上述二次事件所附带的上述ID，
上述工序数据输出部进行被赋予了上述ID的上述工序数据的、文件保存以及数据发送中的至少任一个。
12.如权利要求10或11所述的存储介质，上述程序还使上述计算机作为幻影消除部发挥功能：
上述幻影消除部，对上述状态机表中所保持的幻影状态机进行检索，使上述幻影状态机终止，上述幻影状态机在上述处理系统中与没有被检测到通过的上述工件对应。
13.如权利要求12所述的存储介质，在上述程序中，
上述幻影消除部在上述状态机迁移时，
取得与迁移后的第一状态相对应的第一场所，
对上述第一状态下的上述状态机的第一预定停留数以及第一场所中的上述状态机的第二预定停留数进行计算，
取得上述第一状态下的上述第一停留上限数以及上述第一场所中的上述第二停留上限数，
根据上述第一预定停留数以及上述第一停留上限数计算第一停留超过数，
将上述第一状态下的上述第一停留超过数的上述状态机作为上述幻影状态机并使该幻影状态机终止，
根据上述第二预定停留数以及上述第二停留上限数计算第二停留超过数，
将上述第一场所中的上述第二停留超过数的上述状态机作为上述幻影状态机并使该幻影状态机终止。
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