CN101035649B

CN101035649B - 液体珩磨加工机和液体珩磨加工方法

Info

Publication number: CN101035649B
Application number: CN2005800340360A
Authority: CN
Inventors: 久田伸彦
Original assignee: Showa Denko KK
Current assignee: Resonac Holdings Corp
Priority date: 2004-10-08
Filing date: 2005-10-07
Publication date: 2010-09-08
Anticipated expiration: 2025-10-07
Also published as: CN101035649A

Abstract

液体珩磨加工机(1)具有：对工件(2)进行液体珩磨处理的珩磨区域(5)、对在该珩磨区域(5)经液体珩磨处理的工件(2)实施清洗处理的清洗区域(6)，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩(4)内相邻地设置。在罩(4)内的珩磨区域(5)和清洗区域(6)之间设置了防止珩磨区域(5)内的环境气体流入清洗区域(6)内的隔壁(7)。而且在罩(4)内配置了液体中输送装置(10)，液体中输送装置(10)使在珩磨区域(5)经液体珩磨处理的工件(2)在浸泡在输送槽(11)内的液体(72)中的状态下，从珩磨区域(5)向清洗区域(6)输送。

Description

液体珩磨加工机和液体珩磨加工方法

技术领域

本发明涉及一种对精密管的管坯(素管)、感光鼓基体用管的管坯等各种各样的工件实施液体珩磨处理的液体珩磨加工机和液体珩磨加工方法。

背景技术

例如搭载在电子复印机、激光打印机等上的感光鼓中，对硒或有机感光体等光导电性的感光层进行支撑的感光鼓基体由铝(包括铝合金)等金属管形成。该管除了要求高的尺寸精度(例如直度)之外，为了获得高质量的图像，还要求高表面精度。

但是，这种管在很多场合下是对由拉拔加工所获得的管坯所制成的，这种管坯处于不均匀的表面状态下的情况很多。于是，在现有技术中，为了使管坯表面均匀化(例如粗糙度均匀)，对管坯的表面实施液体珩磨处理。此外，由于磨粒或灰尘等异物附着在实施了液体珩磨处理后的管坯的表面上，为了除去该异物，对管坯进行清洗处理(例如参考专利文献1和2)。

专利文献1：特开2001-296679号公报

专利文献2：特开2004-246124号公报

发明内容

发明需要解决的问题

而且，作为按顺序对管坯实施液体珩磨处理和清洗处理的液体珩磨加工机，可考虑这样一种液体珩磨加工机，其具有对管坯进行液体珩磨处理的液体珩磨区域和对实施了液体珩磨处理后的管坯进行清洗处理的清洗区域，并将这两个区域相邻地设置在与外部气体隔断的罩内。但是在这种液体珩磨加工机中存在下述问题。

即，在该液体珩磨加工机中，在液体珩磨区域使用的珩磨液体中的磨粒在液体珩磨处理时在液体珩磨区域的环境气体中飞散悬浮(漂流)。存在这样的问题：在该环境气体中悬浮的磨粒或灰尘等异物(杂质)与环境气体一起流入清洗区域，从而对清洗区域造成污染。一旦像这样地对清洗区域造成污染，则清洗效率下降，此外流入的异物附着在工件表面上，产生清洗不良。

鉴于上述背景技术情况，提出本发明，本发明的目的是提供一种能够防止清洗区域污染的液体珩磨加工机、使用该液体珩磨加工机的管的制造装置、液体珩磨加工方法、由该方法所获得的液体珩磨加工产品。

解决问题的措施

本发明提供下述技术方案。

(1)一种液体珩磨加工机，具有：对工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件进行清洗处理的清洗区域(工段)，并将这两个区域在与外部气体隔断(隔绝)的罩内相邻地设置；

在上述罩内的上述珩磨区域和上述清洗区域之间设置有防止上述珩磨区域内的环境气体流入上述清洗区域的隔壁；

此外，在上述罩内配置有液体中输送装置，该液体中输送装置使在上述珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从上述珩磨区域通过设置于上述隔壁的工件通过用开口向上述清洗区域输送。

(2)在前项1所述的液体珩磨加工机中，上述隔壁的工件通过用开口的上缘处于浸泡在上述液体中输送装置的输送槽内的液体中的状态。

(3)在前项1或2所述的液体珩磨加工机中，上述液体中输送装置包括输送台，该输送台具有搭载工件的搭载板部、向上方突出状地设置于该搭载板部的臂部、设置于该臂部的上端部的悬挂部；

在上述输送槽的侧壁部的上端部上，沿工件输送方向延伸的导轨部被设置成没有浸泡于上述输送槽内的液体的状态；

上述输送台在上述悬挂部悬挂于上述导轨部的状态下设置在上述输送槽内；

上述液体中输送装置，通过上述悬挂部在上述导轨部上以滑动的状态沿工件输送方向移动，由此将搭载在上述输送台的搭载板部上的工件在浸泡于上述输送槽内的液体中的状态下进行输送。

(4)在前项3所述的液体珩磨加工机中，上述悬挂部的移动通路和上述轨道部由罩(盖)部件覆盖，该罩部件防止伴随着上述悬挂部和上述轨道部之间的滑动所产生的粉尘飞散到外部。

(5)在前项4所述的液体珩磨加工机中，上述罩部件在输送槽内侧的侧壁部的下端部处于浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下。

(6)在前项1～5之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述液体中输送装置具有向上述输送槽内的液体中喷出气体而产生气泡的气泡产生装置。

(7)在前项1～6之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述液体中输送装置具有喷出喷嘴，该喷出喷嘴将液体喷出供给到上述输送槽内，从而在上述输送槽内液体沿与工件输送方向相反的方向流动。

(8)在前项7所述的液体珩磨加工机中，上述喷出喷嘴设置在上述输送槽内的清洗区域侧。

(9)在前项1～8之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述液体中输送装置使上述输送槽内的液体从上述输送槽的珩磨区域侧的侧壁部的上端溢出。

(10)在前项1～9之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述液体中输送装置具有喷射喷嘴，所述喷射喷嘴向从上述输送槽内的液体中吊起途中的工件喷射清洗液。

(11)在前项1～10之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述液体中输送装置形成为上述输送槽的底面相对于水平面在工件输送方向上向上方倾斜的状态。

(12)在前项1～11之中任一项所述的液体珩磨加工机中，具有向上述清洗区域中供给清洁环境气体的气体供给装置。

(13)在前项1～12之中任一项所述的液体珩磨加工机中，具有对上述珩磨区域的环境气体进行吸引的气体吸引装置。

(14)在前项1～13之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述清洗区域的环境气体压力被调整为相对于上述罩外侧的外部气体压力为正压。

(15)在前项1～14之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述清洗区域的环境气体压力被调整为相对于上述珩磨区域的环境气体压力为正压。

(16)在前项1～15之中任一项所述的液体珩磨加工机中，在上述珩磨区域设置有珩磨槽，该珩磨槽在内部具有对工件进行液体珩磨处理的珩磨部、对在该珩磨部经液体珩磨处理的工件进行喷淋清洗处理的淋洗部、将在上述珩磨部经液体珩磨处理的工件从上述珩磨部输送到上述淋洗部的输送部；

上述珩磨槽还具有工件投入口、工件取出口、分别与上述工件投入口和工件取出口对应的开闭盖；

对所述珩磨槽内的环境气体进行吸引的珩磨槽用气体吸引装置与上述珩磨槽相连。

(17)在前项1～16之中任一项所述的液体珩磨加工机中，在上述珩磨区域设置有珩磨槽，该珩磨槽在内部具有对工件进行液体珩磨处理的珩磨部、对在该珩磨部经液体珩磨处理的工件进行喷淋清洗处理的第1淋洗部、将在上述珩磨部经液体珩磨处理的工件从上述珩磨部输送到上述第1淋洗部的输送部；并且，在上述珩磨区域内设置有将工件输送到上述珩磨部的第1输送装置、将在上述第1淋洗部经清洗处理的工件从上述第1淋洗部输送到上述液体中输送装置的第2输送装置；

在上述清洗区域内设置有：对由上述液体中输送装置输送到上述清洗区域内的工件进行喷淋清洗处理的第2淋洗部、对在该第2淋洗部经清洗处理的工件实施擦洗(刷洗，擦拭清洗)处理的多级排列的擦洗部、对在该擦洗部进行清洗处理后的工件实施喷淋清洗处理的第3淋洗部、通过将在该第3淋洗部实施清洗处理后的工件浸泡在清洗液体中而实施清洗处理的浸泡清洗部、通过将在该浸泡清洗部进行清洗处理后的工件浸泡在高温液体中并从高温液体中吊起而进行干燥处理的吊起干燥部、将由上述液体中输送装置输送到上述清洗区域内的工件从上述液体中输送装置依次输送到上述各个清洗部和吊起干燥部的第3输送装置。

(18)在前项17中所述的液体珩磨加工机中，在上述擦洗部设置有擦洗装置；

上述擦洗装置构成为包括：使工件绕自身的轴旋转的工件转动驱动装置、由连续气孔的多孔性软质体构成的圆柱状或圆筒状的擦拭部件、在上述擦拭部件的表面与工件的表面触接的状态下使上述擦拭部件绕自身的轴旋转的擦拭部件转动驱动装置、在清洗时对上述擦拭部件的表面进行推压的推压部件，使清洗液从上述擦拭部件的内部通过上述连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧。

(19)在前项1～18之中任一项所述的液体珩磨加工机中，在上述清洗区域所使用了的、使用过的清洗液被供给到上述液体中输送装置的输送槽内。

(20)在前项1～19之中任一项所述的液体珩磨加工机中，从上述液体中输送装置的输送槽排出的液体作为在上述珩磨区域使用的珩磨液和/或清洗液的至少一部分被使用。

(21)在前项1～20之中任一项所述的液体珩磨加工机中，工件是精密管的管坯。

(22)在前项1～20之中任一项所述的液体珩磨加工机中，工件是感光鼓基体用管的管坯。

(23)一种液体珩磨加工机，具有：对圆柱状或圆筒状工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件进行清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置；

此外，在上述罩内配置有液体中输送装置，该液体中输送装置使在上述珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从上述珩磨区域通过设置于上述隔壁的工件通过用开口向上述清洗区域输送；

在上述清洗区域内设置有对由上述液体中输送装置输送到上述清洗区域内的工件实施擦洗处理的擦洗部；

在上述擦洗部设置有擦洗装置；

(24)在前项23所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述擦拭部件转动驱动装置构成得能够将上述擦拭部件的周速度至少控制在0～650mm/s的范围内，

上述工件转动驱动装置构成得能够将上述工件的周速度至少控制在0～300mm/s的范围内。

(25)在前项23或24所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述擦拭部件的表面沿着工件的表面长度方向与工件的表面触接。

(26)在前项23～25之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述擦拭部件的表面长度设定得比工件的表面长度长。

(27)在前项23～26之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置包括安装在上述工件的端面上的工件支撑部件；

上述工件支撑部件构成得在安装在工件端面上的状态下，工件表面和工件支撑部件的周面在工件轴向上连成为一个面。

(28)在前项23～27之中任一项所述的液体珩磨加工机中，在由上述推压部件对上述擦洗装置的上述擦拭部件的表面推压的状态下，上述推压部件设置得向上述擦拭部件的转动方向的后方一侧倾斜。

(29)在前项28所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述推压部件和上述擦拭部件的转动方向后方侧的表面所形成的角度设定为10～45°的范围。

(30)在前项23～29之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述推压部件为以一侧缘部为推压部的板状件。

(31)在前项23～30之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述擦拭部件为圆筒状；

将向上述擦拭部件的内部供给清洗液的清洗液供给管沿着上述擦拭部件的轴向插入配置在上述擦拭部件的中空部内，在该清洗液供给管的周壁上设置有多个清洗液流出孔。

(32)在前项23～31之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述擦拭部件大致铅垂地设置；

上述清洗液供给管的上下两端部中任一个端部形成为封闭状；

上述清洗液供给管的另一端部与将清洗液导入到该清洗液供给管内的清洗液导入管相连。

(33)在前项23～32之中任一项所述的液体珩磨加工机中，上述擦洗装置的上述擦拭部件的上述多孔性软质体由PVA类树脂、聚乙烯类树脂、聚醚类树脂、醋酸乙烯酯类树脂和聚氨酯类树脂中任一种树脂的发泡体形成。

(34)在前项23～33之中任一项所述的液体珩磨加工机中，工件是精密管的管坯。

(35)在前项23～33之中任一项所述的液体珩磨加工机中，工件是感光鼓基体用管的管坯。

(36)一种配备有按顺序对管坯实施液体珩磨处理和清洗处理的液体珩磨加工机的管的制造装置，其特征在于：

作为所述液体珩磨加工机，使用前项1～35之中任一项所述的液体珩磨加工机。

(37)在前项36所述管的制造装置中，管是精密管。

(38)在前项36所述管的制造装置中，管是感光鼓基体用管。

(39)一种液体珩磨加工方法，其使用液体珩磨加工机，该液体珩磨加工机具有：对工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件进行清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置，并且在上述罩内上述珩磨区域和上述清洗区域之间设置有防止上述珩磨区域内的环境气体流入上述清洗区域内的隔壁；

使在上述珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从上述珩磨区域通过设置于上述隔壁的工件通过用开口向上述清洗区域输送，在上述清洗区域内对该工件实施清洗处理。

(40)在前项39所述的液体珩磨加工方法中，一边将气体喷出到上述输送槽内的液体中而产生气泡，一边在浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下将工件输送到上述清洗区域内。

(41)在前项39或40所述的液体珩磨加工方法中，一边将液体喷出到上述输送槽内，使上述输送槽内的液体沿与工件输送方向相反方向流动，一边在浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下将工件输送到上述清洗区域内。

(42)在前项41所述的液体珩磨加工方法中，从上述输送槽内的清洗区域侧将液体喷出到上述输送槽内。

(43)在前项39～42之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，一边使上述输送槽内的液体从该输送槽的珩磨区域侧的侧壁部上端溢出，一边在浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下将工件输送到上述清洗区域内。

(44)在前项39～43之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，一边将被输送到上述输送槽内的清洗区域侧的工件从上述输送槽内的液体中吊起，一边朝向该工件喷射清洗液。

(45)在前项39～44之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，一边向上述清洗区域供给清洁环境气体，一边在上述清洗区域对工件进行清洗处理。

(46)在前项39～45之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，在将上述清洗区域的环境气体压力调整为相对于上述罩外侧的外部气体压力为正压的状态下，在上述清洗区域对工件进行清洗处理。

(47)在前项39～46之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，在将上述清洗区域的环境气体压力调整为相对于上述珩磨区域的环境气体压力为正压的状态下，在上述珩磨区域对工件进行液体珩磨处理。

(48)在前项39～47之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，在上述珩磨区域设置有珩磨槽，该珩磨槽在内部具有对工件进行液体珩磨处理的珩磨部、对在该珩磨部经液体珩磨处理的工件进行喷淋清洗处理的淋洗部、将在上述珩磨部经液体珩磨处理的工件从上述珩磨部输送到上述淋洗部的输送部；

在上述珩磨区域，在上述珩磨部对工件进行液体珩磨处理，然后由上述输送部将该工件从上述珩磨部输送到上述淋洗部后，在上述淋洗部对该工件实施喷淋清洗处理，然后将该工件输送到上述清洗区域；

在上述清洗区域内对被输送到上述清洗区域内的工件进行喷淋清洗处理，然后在多级排列的擦洗部依次对该工件实施擦洗处理后，对该工件实施喷淋清洗处理，然后在通过将该工件浸泡在清洗液体中实施清洗处理后，通过将该工件浸泡在高温液体中并从高温液体中吊起而进行干燥处理。

(49)在前项48所述的液体珩磨加工方法中，在上述清洗区域的上述擦洗部，在使工件表面与由连续气孔的多孔性软质体构成的圆柱状或圆筒状擦拭部件的表面触接，且由推压部件对上述擦拭部件的表面进行推压的状态下，通过一边使清洗液从上述擦拭部件的内部通过上述连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧，一边使工件和上述擦拭部件相互沿相同方向绕自身的轴旋转，对工件进行擦洗处理。

(50)在前项39～49之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，将在上述清洗区域所使用了的、使用过的清洗液供给到上述输送槽内。

(51)在前项39～50之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，将从上述输送槽内排出的液体作为在上述珩磨区域使用的珩磨液和/或清洗液的至少一部分使用。

(52)在前项39～51之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，工件是精密管的管坯。

(53)在前项39～51之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，工件是感光鼓基体用管的管坯。

(54)一种液体珩磨加工方法，其使用液体珩磨加工机，该液体珩磨加工机具有：对圆柱状或圆筒状工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件进行清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置，并且在上述罩内上述珩磨区域和上述清洗区域之间设置有防止上述珩磨区域内的环境气体流入上述清洗区域内的隔壁；

使在上述珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从上述珩磨区域通过设置于上述隔壁的工件通过用开口向上述清洗区域输送；

在上述清洗区域中，在使工件表面与由连续气孔的多孔性软质体构成的圆柱状或圆筒状擦拭部件的表面触接，且由推压部件对上述擦拭部件的表面进行推压的状态下，通过一边使清洗液从上述擦拭部件的内部通过上述连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧，一边使工件和上述擦拭部件相互沿相同方向绕自身的轴旋转，对工件进行擦洗处理。

(55)在前项54所述的液体珩磨加工方法中，上述擦拭部件的周速度设定在100～500mm/s的范围内，同时上述工件的周速度设定在50～200mm/s的范围内，使工件和上述擦拭部件分别绕自身的轴旋转。

(56)在前项54或55所述的液体珩磨加工方法中，在使上述擦拭部件的表面沿着工件表面的长度方向与工件的表面触接的状态下，对工件进行擦洗处理。

(57)在前项54～56之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，在上述擦拭部件的表面与工件表面的触接宽度处于5～30毫米范围内地使上述擦拭部件的表面与工件表面触接的状态下，对工件进行擦洗处理。

(58)在前项54～57之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，上述擦拭部件的表面长度设定得比工件的表面长度大；

在使上述擦拭部件的表面沿着工件的表面的整个长度方向与工件的表面触接的状态下，对工件进行擦洗处理。

(59)在前项54～58之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，以工件的表面和工件支撑部件的周面在工件轴向上连成为一个面的状态，将工件支撑部件安装在工件两端面中至少一个端面上。

(60)在前项54～59之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，在由上述推压部件对上述擦拭部件的表面推压的状态下，上述推压部件设置得向上述擦拭部件的转动方向的后方一侧倾斜。

(61)在前项60所述的液体珩磨加工方法中，上述推压部件和上述擦拭部件的转动方向后方侧的表面所形成的角度设定为10～45°的范围。

(62)在前项54～61之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，在由上述推压部件对上述擦拭部件的表面进行推压，从而在该表面上产生深度为0.5～5mm凹陷的状态下，对工件进行擦洗处理。

(63)在前项54～62之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，上述推压部件为以一侧缘部为推压部的板状件。

(64)在前项54～63之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，上述擦拭部件为圆筒状；

将向上述擦拭部件的内部供给清洗液的清洗液供给管沿着上述擦拭部件的轴向插入配置在上述擦拭部件的中空部内，在清洗液供给管的周壁上设置有多个清洗液流出孔；

一边使上述清洗液供给管内的清洗液从上述清洗液流出孔流出，通过上述擦拭部件的连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧，一边对工件进行擦洗处理。

(65)在前项64所述的液体珩磨加工方法中，上述擦拭部件和工件分别大致铅垂地设置；

(66)在前项54～65之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，上述多孔性软质体由PVA类树脂、聚乙烯类树脂、聚醚类树脂、醋酸乙烯酯类树脂和聚氨酯类树脂中任一种树脂的发泡体形成。

(67)在前项54～66之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，工件是精密管的管坯。

(68)在前项54～66之中任一项所述的液体珩磨加工方法中，工件是感光鼓基体用管的管坯。

(69)由前项39～68之中任一项所述的液体珩磨加工方法所获得的液体珩磨加工品。

发明效果

根据(1)的液体珩磨加工机，由于能够依次对工件实施液体珩磨处理和清洗处理，可提高生产率。

而且由于在罩内的珩磨区域和清洗区域之间设置了隔壁，能够由该隔壁防止在珩磨区域的环境气体中悬浮的磨粒或灰尘等异物流入清洗区域内。因而能够防止因在珩磨区域的环境气体中悬浮的异物流入清洗区域而引起的清洗区域的污染。

由于由液体中输送装置使在珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从珩磨区域通过设置在隔壁上的工件通过用开口向清洗区域输送，因而在工件输送时，通过将工件浸泡在输送槽内的液体中，除去附着在该工件上的磨粒或灰尘等异物。因而，能够防止附着在工件上的异物以保持附着到工件上的状态与工件一起被带入清洗区域内，能够防止因附着在工件上的异物被带入清洗区域而导致清洗区域的污染。

即，根据本发明的液体珩磨加工机，能够防止因在珩磨区域的环境气体中悬浮的异物流入清洗区域而引起的清洗区域的污染。除此之外，由于能够防止因附着在工件上的异物被带入清洗区域而导致清洗区域的污染，因而能够维持高的清洁度，能够防止清洗不良的产生。

在(2)的发明中，由于隔壁的工件通过用开口的上缘处于浸泡在液体中输送装置的输送槽内的液体中的状态，因而能够可靠地防止在珩磨区域的环境气体中悬浮的异物通过工件通过用开口流入清洗区域。因而，能够可靠地维持清洗区域的清洁度。

在(3)的发明中，由于输送槽的导轨部处于没有浸泡在输送槽内的液体中的状态，因而能够防止伴随着悬挂部和轨道部的滑动所产生的粉尘流出到输送槽内的液体中。因而，能够防止因所述粉尘流出到输送槽内的液体中而引起输送槽内的液体污染。

在(4)的发明中，由于能够由罩部件防止伴随着输送台的悬挂部和轨道部的滑动所产生的粉尘飞散到外部，因而能够更可靠地维持清洗区域的清洁度。

在(5)的发明中，由于罩部件在输送槽内侧的侧壁部的下端部处于浸泡在输送槽内的液体中的状态下，因而，能够可靠地防止伴随着输送台的悬挂部和轨道部的滑动所产生的粉尘飞散到外部。

在(6)的发明中，由于能够由气泡产生装置一边在输送槽内的液体中产生气泡，一边在浸泡在输送槽内的液体中的状态下将工件输送到清洗区域内。因而在工件输送时，能够有效地除去附着在工件上的异物，

在(7)的发明中，由于能够一边由喷出喷嘴将液体喷出供给到输送槽内，从而在输送槽内液体沿与工件输送方向相反的方向流动，一边在浸泡在输送槽内的液体中的状态下将工件输送到清洗区域内。因而存在于输送槽内的液体中的、从工件上除去的异物因输送槽内的液流而向输送槽内的珩磨区侧移动，从而能够更可靠地防止清洗区域的污染。

在(8)的发明中，由喷出喷嘴从该输送槽内的清洗区域侧将液体喷出到输送槽内，因而能够在靠近刚要从输送槽内的液体中吊起之前的工件的位置上，向工件喷出液体，从而能够提高对附着在工件上的异物的除去率。

在(9)的发明中，浮在输送槽内的液面上的异物与输送槽内的液体一起溢出而排出到输送槽外，因而能够防止输送槽内的液体清洁度下降，能够防止在工件输送时，异物再次附着在工件上。而且，浮在输送槽内的液面上的异物不从输送槽的清洗区域侧的侧壁部溢出，而从珩磨区域侧的侧壁部的上端溢出并被排出，因而不担心由该排出液对清洗区域造成污染。

在(10)的发明中，通过喷射喷嘴向从输送槽内的液体中吊起途中的工件喷射清洗液，能够在吊起工件的途中，将工件输送时或吊起时再次附着在工件上的异物除去。

在(11)的发明中，沉降在输送槽内的液体中的异物滑过输送槽的底面，向输送槽内的珩磨区域侧移动。因而能够更可靠地防止清洗区域的污染。

在(12)的发明中，通过由气体供给装置向清洗区域供给清洁的环境气体，能够使清洗区域的清洁度提高。

在(13)的发明中，通过由气体吸引装置对珩磨区域的环境气体进行吸引，能够除去在珩磨区域的环境气体中悬浮的异物，使珩磨区域的清洁度提高。

在(14)的发明中，能够防止罩外侧的气体从不可避免地在罩上产生的间隙流入清洗区域内，能够可靠地维持清洗区域的清洁度。

在(15)的发明中，能够防止珩磨区域的环境气体从在隔壁和罩之间或隔壁和输送槽之间等处不可避免地产生的间隙流入清洗区域内，能够可靠地维持清洗区域的清洁度。

在(16)的发明中，在设置在珩磨区域的珩磨槽内，进行液体珩磨处理和清洗处理，因而能够防止珩磨区域的污染。

而且在珩磨槽的工件投入口和工件取出口中至少一个被开启状态下，通过由珩磨槽用气体吸引装置对珩磨槽内的环境气体进行吸引，能够可靠地防止在珩磨槽内的环境气体中悬浮的异物通过工件投入口和工件取出口中上述至少一个流出到珩磨区域，能够可靠地维持珩磨区域的清洁度。

在(17)的发明中，在设置在珩磨区域的珩磨槽内，进行液体珩磨处理和清洗处理，因而能够防止珩磨区域的污染。

而且，通过在清洗区域内依次对工件实施数次规定的清洗处理和干燥处理，能够使工件的清洗效率进一步提高。

在(18)的发明中，擦洗装置的擦拭部件由连续气孔的多孔性软质体构成，通过使擦拭部件的表面与工件的表面接触，存在于工件表面上的异物进入擦拭部件表面的气孔内，能够可靠地捕捉所述异物。因而能够从工件的表面上可靠地除去异物。

而且，通过一边使清洗液从擦拭部件的内部通过连续气孔渗出到擦拭部件的表面外侧上，一边进行工件的清洗，能够由渗出到擦拭部件的表面外侧的清洗液将附着在擦拭部件的表面上的异物和被捕捉在表面的气孔内的异物与清洗液一起排出到外部。而且通过由推压部件推压在擦拭部件的表面上，在擦拭部件的表面上由推压部件所推压的部分上，用于排出异物的清洗液更多地从擦拭部件的内部渗出，因而能够可靠地将异物排出到外部。因而此时，被捕捉在气孔内的异物通过与推压部件接触，上浮到擦拭部件的表面上，处于能够轻易除去异物的状态，因而能够增大异物向外部的排出量。因而，能够防止异物再次附着在工件的表面上，能够防止残留在擦拭部件的表面气孔内的异物与工件的表面接触而产生的对工件表面的伤害。因而，能够降低工件表面缺陷的产生率。

在(19)的发明中，能够有效地利用在清洗区域所使用的使用后的清洗液。

在(20)的发明中，能够有效地利用从输送槽内排出的液体。

在(21)的发明中，能够防止精密管管坯的清洗不良的发生。

在(22)的发明中，能够防止感光鼓基体用管的管坯的清洗不良的发生。

在(23)的发明中，能够获得与上述(1)的发明相同的效果。

而且，由于擦洗装置的擦拭部件由连续气孔的多孔性软质体构成，因而通过使擦拭部件的表面与工件的表面接触，存在于工件表面上的异物进入擦拭部件表面的气孔内，能够可靠地捕捉所述异物。因而能够从工件的表面上可靠地除去异物。

而且，通过一边使清洗液从擦拭部件的内部通过连续气孔渗出到擦拭部件的表面外侧上，一边进行工件的清洗，能够由渗出到擦拭部件的表面外侧的清洗液将附着在擦拭部件的表面上的异物和被捕捉在表面的气孔内的异物与清洗液一起排出到外部。而且通过由推压部件推压在擦拭部件的表面上，在擦拭部件的表面上由推压部件所推压的部分上，用于排出异物的清洗液更多地从擦拭部件的内部渗出，因而能够可靠地将异物排出到外部。因而此时，被捕捉在气孔内的异物通过与推压部件接触，上浮到擦拭部件的表面上，处于能够轻易除去异物的状态，因而能够增大异物向外部的排出量。因而，能够可靠地防止异物再次附着在工件的表面上，能够防止残留在擦拭部件的表面气孔内的异物与工件的表面接触而产生的对工件表面的伤害。因而，能够降低工件表面缺陷的产生率。

在(24)的发明中，能够分别将擦拭部件的周速度和工件的周速度设定在规定范围内，于是通过分别使擦拭部件和工件绕自身的轴旋转，能够更可靠地从工件的表面除去异物。

在(25)的发明中，在使擦拭部件的表面在工件的表面长度方向上与工件的表面接触的状态下，对工件进行擦洗处理，因而能够使从工件表面除去的异物数量增大。

在(26)的发明中，能够在工件的整个表面长度上除去异物。

在(27)的发明中，通过将工件支撑部件安装在工件两端面中至少一个端面上，能够由工件支撑部件对工件进行支撑。而且，由于在工件的表面和工件支撑部件的周面相互连成为一个齐平面的状态下，将工件支撑部件安装在工件的端面上，因而能够可靠地使擦拭部件的表面与工件的表面端部接触，能够可靠地对工件的表面端部进行擦拭洗净处理。

在(28)的发明中，能够可靠地将附着在擦拭部件表面上的异物或被捕捉在气孔内的异物排出到外部。

在(29)的发明中，能够更可靠地将附着在擦拭部件表面上的异物或被捕捉在气孔内的异物排出到外部。

在(30)的发明中，通过由板状推压部件对擦拭部件的表面进行推压，能够使清洗液大量地从擦拭部件的内部渗出，能够可靠地将异物排出到外部。而且通过使用该板状推压部件，能够轻易地可靠地除去被捕捉在气孔内的异物，能够可靠地增大异物被排出到外部的数量。

在(31)的发明中，能够可靠地将清洗液供给到擦拭部件的内部。而且插入到擦拭部件的中空部内的清洗液供给管发挥对擦拭部件进行增强的芯棒(芯杆)的功能，因而能够使擦拭部件的表面可靠地与工件的表面接触。

在(32)的发明中，在进行清洗时，带有异物的清洗液沿轴向在工件和擦拭部件的表面上流下，由此能够迅速地去除异物。

在(33)的发明中，能够不对工件表面造成伤害地可靠地将异物从工件表面上除去。

在(34)的发明中，能够防止对精密管的管坯清洗不良。

在(35)的发明中，能够防止对感光鼓基体用管的管坯清洗不良。

在(36)的发明中，能够防止对管的管坯清洗不良。

在(37)的发明中，能够防止对精密管的管坯清洗不良。

在(38)的发明中，能够防止对感光鼓基体用管的管坯清洗不良。

在(39)～(53)的发明中，能够获得与本发明液体珩磨加工机的上述效果相同的效果。

在(54)～(56)的发明中，能够分别获得与上述(23)～(25)的发明相同的效果。

在(57)的发明中，能够可靠地除去附着在工件表面上的异物。而且能够防止擦拭部件对工件表面的推压力过强而对工件表面造成伤损的问题。

在(58)～(61)的发明中，能够分别获得与上述(26)～(29)的发明相同的效果。

在(62)的发明中，能够更可靠地将附着在擦拭部件表面上的异物或被捕捉在气孔内的异物排出到外部。

在(63)～(68)的发明中，能够分别获得与上述(30)～(35)的发明相同的效果。

在(69)的发明中，能够提供高质量的液体珩磨加工品。

附图说明

图1是根据本发明一实施例的液体珩磨加工机的简略纵剖视图；

图2是该液体珩磨加工机的珩磨槽的简略剖视图；

图3是该液体珩磨加工机的液体中输送装置的简略纵剖视图；

图4是该液体中输送装置的简略横剖视图；

图5是该液体中输送装置的一部分的透视图；

图6是该液体珩磨加工机的配管图；

图7是该液体珩磨加工机的擦洗装置的透视图；

图8是该擦洗装置的正视图；

图9是图8中的X-X线的剖视图；

图10是该擦洗装置的擦拭(擦洗)部件的纵剖视图；

图11是该擦洗装置的分解视图；

图12A是以该擦洗装置中工件的上端部和工件支撑部件为中心显示的放大正视图；

图12B是对图12A中的工件支撑部件进行变形后的与图12A对应的放大正视图。

具体实施方式

下文将参考附图对本发明的一个实施例进行说明。

在图1中，1表示根据本发明一实施例的液体珩磨加工机。由该液体珩磨加工机1所加工的工件2是精密管的管坯。具体地说，是在搭载在电子复印机、激光打印机、FAX装置等上的感光鼓基体上使用的管的管坯，即，感光鼓基体用管的管坯。

该工件2(管坯)是设定为规定长度的圆筒状产品，由通过拉拔加工所获得的铝(包括铝合金，下文相同)制成的拉拔管构成。例如该工件2的长度设定为200～450毫米，外径为15～50毫米，壁厚为0.5～2毫米。

在本发明中，工件2并不局限于铝制品，也可以是其它金属制品，也可以是其它材料制品。而且，工件2也可以是圆柱状，也可以是其它形状。

在本实施例中，通过由该液体珩磨加工机1按顺序对工件2(管坯)实施液体珩磨处理和清洗处理，制造出感光鼓基体用管。换句话说，该液体珩磨加工机1是配置在感光鼓基体用管的制造装置中且按顺序对工件2(管坯)实施液体珩磨处理和清洗处理的机器。

液体珩磨加工机1具有：对工件2进行液体珩磨处理的珩磨区域5、对在珩磨区域5内实施了液体珩磨处理后的工件2进行清洗处理的清洗区域6，并将这两个区域相邻地设置在与外部气体隔绝的罩4内。

在罩4中的珩磨区域5和清洗区域6之间设置了隔壁7。该隔壁7是防止珩磨区域5的环境气体流入清洗区域6内的部件。

在本实施例中，珩磨区域5的环境气体、清洗区域6的环境气体以及罩4外侧的外部空气都是空气。

而且，液体珩磨加工机1在罩4内设置有具有输送槽11的液体中输送装置10。

液体中输送装置10是以将工件2浸泡在输送槽11中的液体72中的状态下进行输送的装置。具体地说，液体中输送装置10是以将在珩磨区域5内实施了液体珩磨处理后的工件2浸泡在输送槽11内的液体72中的状态，从珩磨区域5通过设置在隔壁7上的工件通过用开口8朝向清洗区域6输送的装置。

输送槽11内的液体72可以是水、温水、纯水、温纯水、超纯水、温超纯水、有机溶剂或在其内增加了添加物(例如界面活性剂、洗涤剂)后的物品等。液体72最好是将温度、Ph、电导率、清洁度等设定在规定范围内的液体

输送槽11如图3所示设置得通过隔壁7的工件通过用开口8而跨越珩磨区域5和清洗区域6。而且，隔壁7的工件通过用开口8的上缘8a位于比输送槽11内液体72的液面72a低的位置，处于浸泡在输送槽11内液体72中的状态。

液体中输送装置10配置了图3～5所示的输送台12。该输送台12是大致倒置的门形部件，具有搭载了1个或多个(在本实施例中7个)工件2的搭载板部12a、在搭载板部12a左右两端部上分别向上方突出状地设置的臂部12b、在臂部12b的上端部上向侧方突出状地设置的悬挂部12c。另一方面，沿工件输送方向3延伸且侧方突出状的轨道部11d，以不浸泡在输送槽11内的液体72中的状态，设置在输送槽11的左右两侧壁部(11a)的上端部上。于是输送台12在悬挂部12c悬挂在输送槽11的轨道部11d上的状态下设置在输送槽11内。而且，无杆型缸或气缸等驱动源(图中未示)连接在悬挂部12c上。通过悬挂部12c承受来自驱动源的驱动力，以在轨道部11d上的滑动状态沿工件输送方向3移动，由此液体中输送装置10将搭载在搭载板部12a上的工件2在浸泡在输送槽11内液体72中的状态下输送。

而且如图4和5所示，悬挂部12c的移动通路13和轨道部11d都由罩部件14覆盖。该罩部件14防止伴随着悬挂部12c和轨道部11d之间的滑动所产生的粉尘飞散到外部(即，珩磨区域5和清洗区域6)。而且该罩部件14的两端部由盖部14a闭塞。

而且如图4所示，罩部件14中位于输送槽11内侧的侧壁部1 4b的下端部14c，与输送槽11的侧壁部11a相对分离地设置在输送槽11内侧。于是将输送台12的臂部12b设置在罩部件14的侧壁部14b的下端部14c与输送槽11的侧壁部11a之间的空隙15内。在工件输送时，臂部12b移动经过该空隙15。此外，该罩部件14的侧壁部14b的下端部14c浸泡在输送槽11内的液体72中。因而罩部件14的内侧处于密闭状态。

此外，液体中输送装置10具有作为气体将空气喷出到输送槽11内的液体72中以产生气泡的气泡产生装置17。该气泡产生装置17由气泡石(Air stone，エアスト-ン)部分和将空气供给到气泡石的空气供给管(气体供给管)构成。空气供给管安装在输送部12的搭载板部12a下面。而且在本发明中，空气供给管自身也可以由气泡石形成。

如图3所示，液体中输送装置10具有多个喷出喷嘴19，喷出喷嘴19将液体72喷出供给到输送槽11内，从而输送槽11内的液体72沿与工件输送方向3相反的方向流动。该喷出喷嘴19设置在输送槽11内的清洗区域6侧。具体地说，将喷出喷嘴19的喷出口朝向与工件输送方向3相反方向地设置在输送槽11的清洗区域6侧的侧壁部11c上。而且在图3中，箭头22表示输送槽11内的液体72的流动方向。该液体流动方向22是与上述工件输送方向3相反的方向。

而且，在液体中输送装置10中，输送槽11内的液体72从输送槽11的珩磨区域5侧的侧壁部11b的上端溢出。而且，在输送槽11的珩磨区域5侧的侧壁部11b的上部，设置了用于接收溢出液体的溢出液接收部20。输送槽11内的液面高度由该溢出机构保持在规定的高度。

而且，液体中输送装置10具有喷射喷嘴23。所述喷射喷嘴23向被输送到清洗区域6侧而从输送槽11内的液体72中向上拉出途中的工件2喷射清洗液73。该喷射喷嘴23设置在清洗区域6中输送槽11的上方，从而由该喷射喷嘴23喷射的清洗液73喷到向上拉出途中的工件2上之后，落入输送槽11内。

而且输送槽11的底面11e形成得相对于水平面在工件输送方向3向上方倾斜。该底面11e相对于水平面的倾斜角优选设定为1～15(特别优选为7～13)°范围内。通过上述那样使底面11e倾斜，在输送槽11内的液体72中沉降并堆积在底面11e上的异物滑过底面11e，向最下位置侧即，输送槽11内的珩磨区域5侧移动并积聚在该处。而且，通过在底面11e的最下位置上设置排出口(图中未示)，能够轻易地将异物排出。通过上述那样使底面11e倾斜，能够提高清洗区域6的清洁度。此外能够保持输送槽11内的液体72的清洁度。如果将该底面11e的倾斜角设定在上述范围内，则能获得充分的效果，不扰乱液体72的流动状态，因此是所希望的。

而且如图1所示，在珩磨区域5设置了珩磨槽30。如图2所示，该珩磨槽30在内部具有对工件2进行液体珩磨处理的珩磨部31、对在珩磨部31经液体珩磨处理的工件2实施作为粗清洗处理的喷淋清洗处理的第1淋洗部32、将在珩磨部31经液体珩磨处理的工件2从珩磨部31输送到第1淋洗部32的输送部33。输送部33例如是回转台式的输送部。33a是转动台，33b是转动台33a的转动轴。而且，该珩磨槽30内部与珩磨区域5的环境气体隔绝。该珩磨槽30内的环境气体是空气。

此外，珩磨槽30具有工件投入口35、工件取出口36、分别与工件投入口35和工件取出口36对应的开闭盖37和38，开闭盖37和38例如是电动开闭盖。

而且，对所述珩磨槽30内的环境气体(空气)进行吸引的珩磨槽用气体吸引装置41与珩磨槽30相连。所述气体吸引装置41由吸气鼓风机等构成。

如图1所示，在珩磨区域5中设置了工件间距(pitch)变更部42、将由该工件间距变更部42变更了间距后的工件2从工件间距变更部42输送到珩磨部31的第1输送装置43、将在第1淋洗部32实施喷淋清洗处理后的工件2从第1淋洗部32输送到液体中输送装置10的第2输送装置44。

在清洗区域6内设置了第2淋洗部51、在工件输送方向3上两级串联的擦洗部52a和52b、第3淋洗部53、浸泡清洗部54、吊起干燥部55、第3输送装置56。

第2淋洗部51对由液体中输送装置10输送到清洗区域6内的工件2进行喷淋清洗处理。

两级的擦洗部52a和52b的结构相同，对在第2淋洗部51实施了清洗处理后的工件2进行擦洗清洗处理。在所述各个擦洗部52a和52b上设置了擦洗装置110。该擦洗装置110的结构将在下文说明。

第3淋洗部53对在擦洗部52b实施了清洗处理后的工件2实施喷淋清洗处理。

浸泡清洗部54将在第3淋洗部53实施清洗处理后的工件2浸泡在清洗液77中，由此实施作为精清洗处理的浸泡清洗处理。

吊起干燥部55通过将在浸泡清洗部54经清洗处理的工件2浸泡在高温液78内并从高温液78内向上拉出，实施干燥处理。

第3输送装置56是将由液体中输送装置10输送到清洗区域6内的工件2从液体中输送装置10按顺序输送到各个清洗部51、52a、52b、53、54和吊起干燥部55的装置。

此外在清洗区域6内设置了将由吊起干燥部55干燥处理后的工件2即，作为最终加工完成后的工件的液体珩磨加工品装入箱(盒)内的装箱部66。在吊起干燥部55干燥处理后的工件2由第3输送装置56从吊起干燥部55输送到该装箱部66。

而且液体珩磨加工机1配置了将洁净的环境气体供给到清洗区域6内的多个(在本实施例中两台)气体供给装置58和67。该气体供给装置58由清洁单元(clean unit)等构成，设置在罩4的工件输送方向3的下游侧的顶板部上。具体地说，所述气体供给装置58和67分别设置在罩4的浸泡清洗部54上方的顶板部和装箱部66上方的顶板部上。此外，68是静电除去器(イオナイザ)。

而且液体珩磨加工机1配置了用于对珩磨区域5的环境气体进行吸引的珩磨用气体吸引装置45。该气体吸引装置45由吸气鼓风机等构成，与珩磨区域5相连。

相对罩4外侧的大气压力，对清洗区域6的环境气体压力调整为正压。在本发明中，清洗区域6的环境气体压力最好调整得相对于罩4外侧的大气压力超过1倍且小于等于2倍(最佳是1.1～1.5倍)。

相对于珩磨区域5的环境气体压力，将清洗区域6的环境气体压力调整为正压。在本发明中，清洗区域6的环境气体压力最好调整得相对于珩磨区域5的环境气体压力超过1倍且小于等于2倍(最佳是1.1～1.5倍)。

而且在图1中，60是对未加工的工件2进行收容的未加工工件收容部。该未加工工件收容部60设置在罩4外侧的工件输送方向的上游侧。61表示将未加工的工件2从未加工工件收容部60输送到工件间距变更部42的第4输送装置。

而且在液体珩磨加工机1中，各个输送装置43、44、56、61具有空气拣选器(air picker)(图中未示)，能够一次对多个工件2进行输送。在本实施例中，能够一次输送7个工件2(参考图4)。而且在本发明中，对各个输送装置43、44、56、61能够一次输送的工件2的数量并不限定为7个，例如也可以输送2～10个，也可以输送1个。

下文将对擦洗装置110的结构进行说明。

通常包含在珩磨液体中的磨粒或灰尘等附着在经过液体珩磨处理后的工件2的表面上，或通过与磨粒的碰撞，在工件2的表面上产生微小的毛刺。为了将毛刺、磨粒、灰尘等异物从工件2的表面上除去，由该擦洗装置110对工件2的表面进行擦洗。

如图7～11所示，擦洗装置110包括圆筒状的擦拭部件111、使该擦拭部件111绕自身的轴旋转的擦拭部件转动驱动装置115、使工件2绕自身的轴旋转的工件转动驱动装置116、在清洗时对擦拭部件111的表面(周面)进行挤压的推压部件118。工件2和擦拭部件111设置得彼此平行。在本实施例中分别铅垂地设置。而且作为清洗液120，可以使用纯水或界面活性剂等。

擦拭部件111由具有连续气孔的多孔性软质体构成。为了能够可靠地实施毛刺或磨粒等异物的捕捉或清洗液120(即，擦洗液)的流通，多孔性软质体的平均气孔孔径最好设定在10～500微米的范围内。不到10微米，则异物难以进入气孔内，清洗液120难以通过气孔。另一方面，如果超过500微米，则异物不能逗留在气孔内，不能可靠地捕捉异物。平均气孔孔径的最佳下限值为30微米，最好上限值为300微米。但是在本发明中，多孔性软质体的平均气孔孔径并不局限于上述范围。

多孔性软质体的软度(柔らさ)表示为30％压缩应力，具体地说，定义为使多孔性软质体在推压方向上厚度被压缩30％时的反应力。在本实施例中，多孔性软质体的30％压缩应力最好在1.5～98kPa(15～1000gf/cm²)的范围内。当30％压缩应力小于1.5kPa(15gf/cm²)时，则过于柔软，对异物的捕捉力弱，如果大于98kPa(1000gf/cm²)，则过硬，担心擦拭部件111自身对工件2的表面带来伤害。30％压缩应力的最佳下限值为2.0kPa(20gf/cm²)，最佳上限值为49kPa(500gf/cm²)。

作为具有上述平均气孔孔径和30％压缩应力的多孔性软质体，最好使用PVA类树脂、聚乙烯类树脂、聚醚类树脂、聚醋酸乙烯酯类树脂和聚氨酯类树脂中任一种树脂的发泡体。这是因为使用这些树脂能够轻易地实现上述平均气孔孔径和30％压缩应力。具体地说，例如可以是PVA类树脂发泡体的PVA发泡体、聚乙烯类树脂发泡体的聚乙烯发泡体、聚醚类树脂发泡体的聚醚发泡体、聚醋酸乙烯酯类树脂发泡体的聚醋酸乙烯酯发泡体、聚氨酯类树脂发泡体的聚氨酯发泡体。但是在本发明中，多孔性软质体的材质并不局限于此。

而且，除了树脂种类和平均气孔孔径，擦拭部件111的软度即，30％压缩应力还由气孔率、树脂的聚合度、可塑剂的含量等确定。在本实施例中，包含这些条件将软度规定为30％压缩应力。

如图9和10所示，将清洗液供给管112沿着擦拭部件111的轴向较紧地插入擦拭部件111的中空部内。清洗液供给管112是用于将清洗液120供给到擦拭部件111内部的部件。在清洗液供给管112的周壁上，分别在清洗液供给管112的轴向和周向上保持间隔地设置了多个例如孔径为Φ1～4毫米的清洗液流出孔112a。该清洗液供给管112具有刚性。发挥对擦拭部件111进行增强的芯棒(芯杆)的功能。该清洗液供给管112例如由树脂制造或金属制造。具体地说，清洗液供给管112轴向中间部由树脂制造，上下两端部由不锈钢制造。

如图10所示，清洗液供给管112的上端部形成为封闭状。另一方面，清洗液供给管112的下端部敞开，同时该下端部与将清洗液导入到清洗液供给管112内的清洗液导入管113以液密状态即阻止清洗液漏出状态相连。清洗液从清洗液导入管113被引导到清洗液供给管112内。于是，清洗液供给管112内的清洗液从清洗液流出孔112a流出，由此将清洗液供给到擦拭部件111的内部。被供给的清洗液120通过擦拭部件111的连续气孔在擦拭部件211的整个表面上均匀地渗出到擦拭部件111的表面外侧上。

而且擦拭部件111的表面沿工件2表面长度方向与工件2的表面接触。在本实施例中，擦拭部件111的表面长度设定得比工件2的表面长度大。从而使擦拭部件111的表面在工件2的整个表面长度方向上与工件2的表面接触。

而且，该擦洗装置110包括铅垂地对工件2进行支撑的上下两个工件支撑部件121和121。如图11所示，各个工件支撑部件121具有嵌合在工件2的上下各个端面开口部内的嵌合突部121a。而且如图12A所示，各个工件支撑部件121的直径D设定得与工件2的直径(外径)d相同(即，D＝d)。于是，通过上侧(一侧)的工件支撑部件121的嵌合突部121a同轴状地嵌合在工件2上端面开口部上，将该上侧的工件支撑部件121安装在工件2的上端面上。在该安装状态下，工件2的表面(外周面)和该上侧的工件支撑部件121的周面在工件2的轴向上连成为一个面(齐平面)。同样，通过下侧(另一侧)的工件支撑部件121的嵌合突部121a同轴状地嵌合在工件2下端面开口部内，将该下侧的工件支撑部件121安装在工件2的下端面上。在该安装状态下，工件2的表面和该下侧的工件支撑部件121的周面连成为一个面(齐平面)，从而工件2由两个工件支撑部件121和121铅垂地支撑。

此时由于工件2的表面和工件支撑部件121的周面连成为齐平面，因而如图12A所示，当使擦拭部件111的表面在工件2表面的整个长度方向上与工件2的表面接触时，能够使擦拭部件111的表面可靠地与工件2表面的上端部和下端部触接。另一方面如图12B所示，当工件支撑部件121的直径D设定得比工件2的直径d大的场合下(即，D＞d)，在将工件支撑部件121安装在工件2的端面上的状态下，由于在工件2的表面和工件支撑部件121周面之间产生台阶，即使使擦拭部件111的表面与工件2表面的上端部或下端部接触，因该台阶而不能接触，不能将工件2表面的上端部和下端部洗净。因而，在将工件支撑部件121安装在工件2的端面上的状态下，希望工件2的表面和工件支撑部件121的周面在工件2的轴向上连为齐平面。

擦拭部件转动驱动装置115具有驱动源即电动机(图中未示)和控制部(图中未示)，并且与擦拭部件111的清洗液供给管112相连。通过电动机驱动，擦拭部件111沿规定的转动方向103绕自身的轴旋转，同时擦拭部件111的周速度能够由控制部控制。

工件转动驱动装置116具有驱动源即电动机(图中未示)和控制部(图中未示)，并且与工件2的工件支撑部件121(具体地说，和下侧的工件支撑部件121)相连，通过电动机驱动，工件2沿规定的转动方向104绕自身的轴旋转，同时工件2的周速度能够由控制部控制。

而且工件2和擦拭部件111相互沿相同方向绕自身的轴旋转。

推压部件118是将直线状延伸的一侧缘部作为推压部118a的平板状部件。该推压部件118具有刚性，例如由塑料或金属制造。该推压部件118的推压部118a的长度最好设定得与工件2的表面长度相同或比工件2的表面长度大，最好设定得与擦拭部件111的表面长度大致相同。

推压部件118是通过在进行擦洗时被推压在擦拭部件111的表面上而对擦拭部件111进行推压的部件，由弹簧等弹性装置(图中未示)将推压力施加在推压部件118上。于是如图9所示，在由该推压部件118对擦拭部件111的表面进行推压的状态下，推压部件118设置得向擦拭部件111的转动方向103后方侧倾斜，同时推压部件118由保持装置(图中未示)保持该倾斜状态。

下文将对使用上述液体珩磨加工机1的液体珩磨加工方法进行说明。

首先如图1所示，由空气供给装置58和67将清洁的环境气体连续地供给到罩4内的清洗区域6内。从而，对清洗区域6的环境气体压力进行调整，使其相对于相对于罩4外侧的大气压力为正压，并使其相对于珩磨区域5的环境气体压力为正压。而且对珩磨区域5的环境气体压力进行调整，使其相对于罩4外侧的大气压力为正压。即，上述压力平衡调节得变为“清洗区域6”＞“珩磨区域5”＞“罩4外侧”的关系。而且在本发明中，为了保持上述压力平衡，可在隔壁7上设置小的气体流通路(图中未示)，或设置从清洗区域6朝向珩磨区域5的单向气体通路(图中未示)，例如带有风挡的气体流通路。从而，能够可靠地遏制异物从珩磨区域5朝向清洗区域6悬浮流入。而且在本发明中，在罩4的壁上，也可以设置从罩4的内部朝向其外侧的单向气体通路(图中未示)。

原封不动地维持这种状态，将多个(在本实施例中7个)收容在未加工工件收容部60内的未加工工件2由第4输送装置61一起从未加工工件收容部60通过设置在罩4上的工件投入口4a输送到罩4内的珩磨区域5的工件间距变更部42。然后由电动开闭门(图中未示)关闭工件投入口4a。

然后，由工件间距变更部42改变被输送到工件间距变更部42内的多个工件2的间距。

然后所述工件2由第1输送装置43从工件间距变更部42通过珩磨槽30的工件投入口35而输送到该槽30内的珩磨部31内。然后，由相应的开闭盖37和38分别对工件投入口35和取出口36进行闭塞。于是在该闭塞状态下，工件2在珩磨部31由公知方法进行液体珩磨处理。

对该液体珩磨处理进行简单说明，如图2所示，一边使工件2绕自身的轴旋转，一边由喷射喷嘴39将珩磨液70吹到工件2的表面(外周面)上，同时使喷射喷嘴39在工件2的轴向上移动。由此，工件2的整个表面被液体珩磨处理，均匀地粗面化。

然后将液体珩磨处理后的工件2由输送部33从珩磨部31输送到第1淋洗部32。

然后打开工件投入口35，将新的未加工工件2由第1输送装置43从工件间距变更部42通过工件投入口35而输送到珩磨部31内。然后，由开闭盖37对工件投入口35进行闭塞。于是在该闭塞状态下，未加工的工件2在珩磨部31进行液体珩磨处理。与此同时，将液体珩磨处理后的工件2在第1淋洗部32由公知的方法实施作为粗清洗处理的喷淋清洗处理。

下文将简单说明该喷淋清洗处理。一边使工件2绕自身的轴旋转，一边由沿工件2轴向并排设置的多个喷嘴40将清洗液71朝向工件2的表面进行喷射。从而对工件2的整个表面进行清洗处理。此时，也将清洗液71喷射到工件2的中空部，对工件2的内面进行清洗处理。

然后分别开启工件投入口35和取出口36。将在第1淋洗部32实施了清洗处理后的工件2向清洗区域6输送。即，由第2输送装置44将所述工件2从第1淋洗部32通过工件取出口36输送到液体中输送装置10，搭载在输送台12的搭载板部12a上。而且，在珩磨部31被液体珩磨处理后的工件2由输送部33从珩磨部31输送到第1淋洗部32。然后将新的未加工工件2由第1输送装置43通过工件投入口35而输送到珩磨部31内。

然后，由相应的开闭盖37和38分别对工件投入口35和取出口36进行闭塞。于是在该闭塞状态下，与上述工序相同，在珩磨部31对未加工工件2实施液体珩磨处理，同时在第1淋洗部32对液体珩磨处理后的工件2进行喷淋清洗处理。

按照上述顺序，从未加工工件收容部60依次将未加工工件2输送到珩磨区域5，在珩磨槽30内对所输送的工件2依次实施液体珩磨处理和喷淋清洗处理。

在上述的在珩磨槽30内的液体珩磨处理以及喷淋清洗处理中，当珩磨槽30的工件投入口35和取出口36处于分别由相应的开闭盖37和38闭塞的状态时，使珩磨区域用气体吸引装置45工作，由该气体吸引装置45对珩磨区域5的环境气体进行吸引，另一方面，使珩磨槽用气体吸引装置41不工作。由此，能够除去在珩磨区域5的环境气体中悬浮的异物，能够提高珩磨区域5的洗净度。

当珩磨槽30的工件投入口35和取出口36中至少一个处于开启状态时，使珩磨槽用气体吸引装置41工作，由该珩磨槽用气体吸引装置41对珩磨槽30内的环境气体进行吸引，另一方面，使珩磨槽用用气体吸引装置45不工作。由此，能够可靠地防止在珩磨槽30内的环境气体中悬浮的异物通过工件投入口35和取出口36中上述至少一个流出到珩磨区域5内，能够维持珩磨区域5的洗净度。

搭载在液体中输送装置10的输送台12的搭载板部12a上的工件2如下述那样被输送到清洗区域6。

首先如图3和4所示，由气泡发生装置17在输送槽11内的液体72中连续地产生气泡。而且，在输送槽11内，由喷出喷嘴19从输送槽11内的清洗区域6侧连续喷出地将液体72供给到输送槽11内，从而液体72沿与工件输送方向3相反的方向22流动。所供给的液体72在工件输送范围内最好层流状流动。其流量例如能够设定在10～30升/分钟范围。而且，将输送槽11内的液体72从输送槽11的珩磨区域5侧的侧壁部11b的上端连续地溢出。

原封不动地维持该状态，使搭载在输送台12的搭载板部12a上的工件2在浸泡在输送槽11内的液体72中的状态下，从珩磨区域5通过隔壁7的工件通过用开口8，向清洗区域6输送。工件2的输送速度最好设定在能够维持工件2由气泡21包裹的状态的范围内，例如50～100mm/s(最好是60～90mm/s)。而且，工件2的输送时间即，工件2在液体内的滞留时间最好设定在15～40秒的范围内。但是在本发明中，工件2的输送速度和输送时间并不局限于上述范围内。

然后在清洗区域6内实施下述那样的清洗处理。

即，被输送到清洗区域6内的工件2由第3输送装置56把持，从输送槽11内的液体72中抽出，由喷射喷嘴23朝向工件2的表面喷射清洗液73，对工件2进行喷淋清洗处理。而且，所喷射的清洗液73喷到工件2以后，在输送槽11内落下。

由第3输送装置56继续将工件2从液体中输送装置10向第2淋洗部51输送。于是，该工件2在第2淋洗部51由公知的方法进行喷淋清洗处理。

下文对这种喷淋清洗处理进行简单的说明，一边使工件2绕自身的轴旋转，一边由喷嘴51a将清洗液74朝向工件2的表面喷射，并使喷射喷嘴51a沿工件2的轴向移动。由此，工件2的整个表面被清洗处理。而且此时，也向工件2的中空部喷射清洗液74，对工件2的内表面进行清洗处理。

然后，在第2淋洗部51被喷淋清洗处理后的工件2由第3输送装置56从第2淋洗部51向两级串联的擦洗部52a和52b中的一级擦洗部52a输送。于是，在一级擦洗部52a由擦洗装置110对工件2进行擦洗处理。

下文将对该擦洗处理进行详尽说明。

然后，在一级擦洗部52a被擦洗处理后的工件2，由第3输送装置56从一级擦洗部52a向二级擦洗部52b输送。在二级擦洗部52b，由擦洗装置110实施与一级擦洗部52a相同的擦洗处理。

然后，在二级擦洗部52b被擦洗处理后的工件2，由第3输送装置56从二级擦洗部52b向第3淋洗部53输送。于是，该工件2在第3淋洗部53由公知的方法进行喷淋清洗处理。

下文对这种喷淋清洗处理进行简单的说明，一边使工件2绕自身的轴旋转，一边由沿工件2的轴向并列设置的多个喷嘴53a将清洗液76朝向工件2的表面喷射。由此，工件2的整个表面被清洗处理。此时，也向工件2的中空部喷射清洗液76，对工件2的内表面进行清洗处理。

然后，在第3淋洗部53被喷淋清洗处理后的工件2，由第3输送装置56从第3淋洗部53向浸泡清洗部54输送。于是，该工件2在浸泡清洗部54由公知的方法进行浸泡清洗处理。

对该浸泡清洗处理进行简单说明，工件2由第3输送装置56载置在载置台54b上后，使该载置台54b下降，将工件2浸泡在浸泡清洗槽54a内的清洗液77中，从而对该工件2进行清洗处理。此时，最好在浸泡在清洗液77中的状态下使工件2上下摆动，从而能够提高清洗效率。

然后，将在浸泡清洗部54实施了浸泡清洗处理后的工件2由第3输送装置56从浸泡清洗部54向吊起干燥部55输送。工件2在吊起干燥部55进行干燥处理。

对该干燥处理进行简单说明，在工件2由第3输送装置56载置在载置台55b上后，使该载置台55b下降，浸泡在高温液槽55a内的高温液78中后，通过以规定的吊起速度将工件2从高温液78中向上拉出，对工件2进行干燥处理。高温液78的温度最好设定得例如大于等于65℃，而且工件的吊起速度例如设定得小于等于1cm/s。但是在本发明中，高温液78的温度和吊起速度并不局限于上述数值。

然后将在吊起干燥部55进行干燥处理后的工件2(即，液体珩磨加工品)由第3输送装置56从吊起干燥部55向装箱部66输送。然后，在装箱部66对工件2装箱到预定的箱(盒)中。

由上述液体珩磨加工机1进行加工后的液体珩磨加工品可以用作感光鼓基体用管。

下文将对在擦洗部52a和52b中所实施的擦洗处理方法进行说明。

首先如图7和8所示，将对应的工件支撑部件121安装在工件2的上下端面上，铅垂地对工件2进行支撑。

然后，以规定压力从清洗液导入管113将清洗液供给到清洗液供给管112内。从而，使清洗液供给管112内的清洗液120从清洗液流出孔112a流出，通过擦拭部件111的连续气孔，在擦拭部件111的表面外侧上连续渗出。

而且如图8所示，通过在工件2表面的整个长度方向上将擦拭部件111的表面推压在工件2的表面上使两者接触，同时在擦拭部件111表面的长度方向上将推压部件118的推压部118a推压在擦拭部件111的表面，如图9所示，由推压部件118对擦拭部件111的表面进行推压。

在该推压状态下，使清洗液120如上所述在擦拭部件111的表面外侧上连续渗出，同时分别使擦拭部件转动装置115和工件转动装置16工作。从而使擦拭部件111和工件2互相沿相同方向以规定的周速度绕自身的轴旋转例如30秒～10分钟。但是在本发明中，擦拭部件111和工件2的转动时间并不局限在该范围内。而且，擦拭部件111的周速度由擦拭部件转动装置115的控制部控制，工件2的周速度由工件转动装置16的控制部控制。

通过上述工作，工件2的整个表面被擦洗处理。清洗后，工件2由第3输送装置56从工件支撑部件121上取下输送。

图6是上述液体珩磨加工机1的配管图。如图6所示，在上述液体珩磨加工机1中，第3淋洗部53和浸泡清洗部54的清洗液76和77以及吊起干燥部55的高温液78可以使用纯水等清洁水。而且在本发明中，也可以向清洁水中添加界面活性剂等添加剂或添加液。

在将高温液78供给到吊起干燥部55内时，将清洁水存储在加热罐86内，在此被加热到规定温度。然后被加热后的清洁水即，高温液78通过供给管80a由泵84a供给到吊起干燥部55的高温液槽55a内。为了维持清洁度，高温液78始终溢出到高温液槽55a外侧而被排出。

而且，分别将作为清洗液76和77的清洁水通过供给管80b供给到第3淋洗部53和浸泡清洗部54内。而且在此被使用后的清洗液通过排出管82a而存储在第1回收罐87a内。

第1回收罐78a内的使用后的清洗液通过洗净液导入管113由泵84b作为擦洗液120而分别供应到两级的擦洗部52a和52b。在擦洗部52a和52b使用后的清洗液通过排出管82b再次存储在第1回收罐87a内。而且将清洁水适度地供给到第1回收罐87a内。

第1回收罐87a内使用后的清洗液的上清液通过排出管82c而存储在第2回收罐87b内。

第2回收罐87b内的使用后的清洗液通过供给管80d由泵84c作为清洗液74供给到第2淋洗部51。在第2淋洗部51使用后的清洗液通过排出管82d再次存储在第2回收罐87b内。

第2回收罐87b内的使用后的清洗液的上清液由泵84d通过排出管82e而存储在第3回收罐87c内。

第3回收罐87c内的使用后的清洗液，经供给管80e通过泵84e而由喷出喷嘴19喷射供给到液体中输送装置10的输送槽11。从而，通过将在清洗区域6内使用且使用后的清洗液供给到输送槽11内，能够有效地利用使用后的清洗液。

供给到输送槽11内的液体(即，使用后的清洗液)如图3所示，从输送槽11的珩磨区域5侧的隔壁部11b的上端溢出到输送槽11外侧中的珩磨区域5侧。来自输送槽11的排出液如图6所示从溢出液接收处20通过排出管82f再次存储在第3回收罐87c内。而且将清洁水适度地供给到该第3回收罐87c内。

第3回收罐87c内液体的上清液通过排出管82g而存储在第4回收罐87d内。

第4回收罐87d内的液体通过供给管80f由泵84f供给到珩磨区域5的第1淋洗部32。至少作为在第1淋洗部32使用的清洗液71的一部分而使用。在第1淋洗部32使用后的液体被排放到外部。如此，通过将第4回收罐87d内的液体即，从输送槽11内排出的液体至少作为在珩磨区域5的第1淋洗部32使用的清洗液71的一部分而使用，能够有效地利用来自输送槽11的排出液。而且在本发明中，第4回收罐87d内的液体也可以被供应到珩磨区域5的珩磨部31，作为至少在该珩磨部31使用的清洗液70的一部分而使用。而且也可以适度地向第4回收罐87d供给清洁水。

上述液体珩磨加工机1和液体珩磨加工方法具有下述优点。

使用该液体珩磨加工机1，由于能够按顺序实施液体珩磨处理和清洗处理，提高了大批量生产率。

而且在罩4内的珩磨区域5和清洗区域6之间设置了隔壁7，能够由该隔壁7防止在珩磨区域5的环境气体中悬浮的磨粒或灰尘等异物流入清洗区域6。因而，能够防止因在珩磨区域5的环境气体中悬浮的异物流入清洗区域6而引起的对清洗区域6的污染。

而且在珩磨区域5被液体珩磨处理后的工件2，在浸泡在输送槽11内的液体72中的状态下，由液体中输送装置10从珩磨区域5通过设置在隔壁7上的工件通过用开口8朝向清洗区域6输送，因而在工件2输送时，因工件2浸泡在输送槽11内的液体72中，附着在工件2上的磨粒或灰尘等异物被除去。因而能够防止附着在工件2上的异物在保持附着在工件2上的状态下与工件2同时被带入到清洗区域6内，从而可以防止由附着在工件2上的异物被带入到清洗区域6内而引起对清洗区域6的污染。

即，使用该液体珩磨加工机1，能够防止因在珩磨区域5的环境气体中悬浮的异物流入清洗区域6而引起的对清洗区域6的污染，此外能够防止附着在工件2上的异物被带入到清洗区域6内而引起对清洗区域6的污染，因而能够维持清洗区域6的高清洁度。从而能够防止清洗不良现象的产生。

而且由于隔壁7的工件通过用开口8的上缘8a处于浸泡在液体中输送装置10的输送槽11内的液体72中的状态，因而能够可靠地防止在珩磨区域5的环境气体中悬浮的异物通过该工件通过用开口8流入清洗区域6。因而能够可靠地维持清洗区域6的清洁度。

而且由于导轨部11d相对于输送槽11内的液体72处于非浸泡状态，因而能够防止伴随着悬挂部12c和导轨部11d之间的滑动所产生的粉尘流出到输送槽11内的液体72中。因而，能够防止因该粉尘流出到输送槽11内的液体72中所引起的对输送槽11内的液体72的污染。

而且悬挂部12c的移动通路13和导轨部11d由罩部件14覆盖，可由该罩部件14防止伴随着悬挂部12c和轨道部11d的滑动所产生的粉尘飞散到外部(即，珩磨区域5和清洗区域6)。因而能够更可靠地维持清洗区域6的清洁度。

该罩部件14中在输送槽11内侧的侧壁部14b的下端部14c处于浸泡在输送槽11内的液体72中的状态，因而能够可靠地防止该粉尘向外部飞散。

而且，通过一边由气泡产生装置17在输送槽11内的液体72中产生气泡21，一边在浸泡在输送槽11内的液体72中的状态下将工件2输送到清洗区域6内，从而在输送工件2时，能够有效地除去附着在工件2上的异物，能够可靠地防止附着在工件2上的异物被带入到清洗区域6内。

通过喷出喷嘴19将液体72喷出供给到输送槽11内，从而输送槽11内的液体72沿与工件输送方向3相反的方向流动，并且在浸泡在输送槽11内的液体72中的状态下输送工件2，由此存在于输送槽11内的液体72中并从工件2上除去的异物由输送槽11内的液流而向输送槽11内的珩磨区域5侧移动。从而能够更可靠地防止清洗区域6的污染。

由喷出喷嘴19从输送槽11内的清洗区域6侧向输送槽11内喷出液体72，能够在靠近刚要从输送槽11内的液体72中吊起之前的工件2的位置上，向工件2喷出液体72，从而能够提高对附着在工件2上的异物的除去率。

在由液体中输送装置10对工件2进行输送时，通过使输送槽11内的液体72从输送槽11的珩磨区域5侧的侧壁部11b的上端溢出，浮在输送槽11内液面上的异物与输送槽11内的液体72一起溢出，排出到输送槽11外。因而能够防止输送槽11内的液体72的清洁度下降，能够防止在工件2输送时异物再次附着在工件2上。而且浮在输送槽11内液面上的异物不从输送槽11的清洗区域6侧的侧壁部11c溢出，而从珩磨区域5侧的侧壁部11b的上端溢出并被排出，不担心由该排出液对清洗区域6造成污染。

通过一边从输送槽11内的液体72中吊起工件2，一边由喷射喷嘴23向工件2喷射清洗液73，能够在工件2吊起中途，将在工件2输送时或吊起时再次附着在工件2上的异物除去。

由于输送槽11的底面11e形成为相对于水平面在工件输送方向3向上方倾斜的状态，因而沉降在输送槽11内的液体72中的异物滑过输送槽11的底面11e，向输送槽11内的珩磨区域5侧移动。因而能够更可靠地防止清洗区域6的污染。

通过由气体供给装置58和67一边向清洗区域6供给清洁的环境气体，一边在清洗区域6对工件2进行清洗，能够使清洗时清洗区域6的清洁度提高。

由于液体珩磨加工机1配置了气体吸引装置45，因而通过由气体吸引装置45对珩磨区域5的环境气体进行吸引，能够除去在珩磨区域5的环境气体中悬浮的异物，使珩磨区域5的清洁度提高。

此外，对清洗区域6的环境气体压力进行调整，使其相对于罩4外侧的大气压力为正压，通过在此状态下在清洗区域6对工件2进行清洗，能够防止罩4外侧的气体从不可避免地在罩4上产生的间隙流入清洗区域6内，能够可靠地维持清洗区域6的清洁度。

此外，对清洗区域6的环境气体压力进行调整，使其相对于珩磨区域5的环境气体压力为正压，通过在此状态下在清洗区域6对工件2进行清洗，能够防止珩磨区域5的环境气体从在隔壁7和罩4之间或隔壁7和输送槽11之间等处不可避免地产生的间隙流入清洗区域6内，能够可靠地维持清洗区域6的清洁度。

由于在珩磨区域5设置了在内部具有珩磨部31、淋洗部32和输送部33的珩磨槽30，因而在液体珩磨处理时，能够防止珩磨区域5的污染。

而且在珩磨槽30的工件投入口35和工件取出口36中至少一个被开启状态下，通过由珩磨槽用气体吸引装置41对珩磨槽30内的环境气体进行吸引，能够可靠地防止在珩磨槽30内的环境气体中悬浮的异物通过上述工件投入口35和工件取出口36中至少一个流出到珩磨区域5，能够维持珩磨区域5的清洁度。

在清洗区域6内，通过对被输送到清洗区域6内的工件2依次实施喷淋清洗处理、两次擦洗处理、喷淋清洗处理、浸泡清洗处理和吊起干燥处理，能够进一步提高工件2的清洗效率。

而且在清洗区域6的擦洗部52a和52b，由擦洗装置110对工件2进行擦洗处理，可实现下述效果。

即，擦洗装置110的擦拭部件111由连续气孔的多孔性软质体构成，通过使擦拭部件111的表面与工件2的表面接触，存在于工件2表面上的毛刺、磨粒、灰尘等异物进入擦拭部件111表面的气孔内，能够可靠地捕捉所述异物。因而能够从工件2的表面上可靠地除去异物。

而且，一边使清洗液120从擦拭部件111的内部通过连续气孔渗出到擦拭部件111的表面外侧上，一边进行工件2的清洗，因而能够由渗出到擦拭部件111的表面外侧的清洗液120将附着在擦拭部件111的表面上的异物和被捕捉在气孔内的异物排出到外部。而且通过由推压部件118推压在擦拭部件111的表面上，在擦拭部件111的表面上由推压部件118所推压的部分上，用于排出异物的清洗液120更多地从擦拭部件111的内部渗出，因而能够可靠地将异物排出到外部。而且此时，被捕捉在气孔内的异物通过与推压部件118接触，上浮到擦拭部件111的表面上，处于能够轻易除去异物的状态，因而能够增大异物的排出量。因而，能够防止异物再次附着在工件的表面上，能够防止残留在擦拭部件111的表面气孔内的异物与工件2的表面接触而产生的对工件2表面的伤害。因而，能够降低工件2表面缺陷的产生率。

而且，通过分别使擦拭部件111与工件2沿相同方向绕自身的轴旋转，对工件2进行清洗，能够从工件2的表面上沿该整个表面外周可靠地将异物除去。

而且在该擦洗处理方法中，最好将擦拭部件111的周速度设定为100～500mm/s(最佳为200～300mm/s)。最好将工件2的周速度设定为50～200mm/s(最佳为75～150mm/s)。通过分别将擦拭部件111的周速度和工件2的周速度设定在规定范围内，能够更可靠地从工件2的表面除去异物。

为了能够可靠地将擦拭部件111的周速度设定在上述范围内，擦拭部件转动驱动装置115最好构成得能够将擦拭部件111的周速度控制在0～650mm/s的范围内。为了能够可靠地将工件2的周速度设定在上述范围内，因而工件转动驱动装置16最好构成得能够将工件2的周速度控制在0～300mm/s的范围内。

由于在使擦拭部件111的表面沿工件2的表面长度方向与工件2的表面接触状态下，对工件2进行清洗，因而能够使从工件表面除去的异物数量增大。

而且如图9所示，最好在擦拭部件111表面与工件表面的接触宽度W变为5～30mm范围内地使擦拭部件111的表面与工件2的表面接触状态下，对工件2进行清洗。当W小于5mm时，W过小，清洗力不足。另一方面，当W大于30mm时，擦拭部件111对工件表面的推压力过强，容易对工件2的表面造成损伤。因而，最好W在5～30mm范围。一旦如此，则能够可靠地除去异物，防止因擦拭部件111对工件2表面的推压力过强而对工件2表面造成损伤。W最佳为10～15mm。但是在本发明中，W并不局限于上述范围内。

而且由于在擦拭部件111的表面在工件2的整个表面长度方向上与工件2的表面接触状态下，进行工件2的清洗，因而，能够在工件2的整个表面长度方向上将异物除去。

而且由于在工件2的表面和工件支撑部件121的周面为齐平面的状态下，将工件支撑部件121安装在工件2的端面上，因而能够可靠地使擦拭部件111的表面与工件2的表面端部接触，能够可靠地将工件2表面端部洗净。

而且在该擦洗方法中，如图6所示，在由推压部件118对擦拭部件111的表面进行推压的状态下，最好推压部件118设置得向擦拭部件111转动方向103的后方侧倾斜。一旦如此，能够可靠地将附着在擦拭部件111表面上的异物或被捕捉在气孔内的异物排出到外部。

而且如同一个图所示，如果设推压部件118和擦拭部件111转动方向103后方侧的表面所形成的角度为θ，则最好将θ设定为10～45°(最好为20～30°)的范围。一旦如此，则能够更可靠地将异物排出到外部。但是在本发明中，θ并不局限于该范围内。

而且如同一个图所示，由推压部件118对擦拭部件111的表面进行推压，以在该表面上产生深度K为0.5～5mm(最好为1～3mm)的凹陷119。一旦如此，则能够更可靠地将异物排出到外部。

而且由于推压部件118是一侧缘部为推压部118a的板状件，由该板状推压部件118对擦拭部件111的表面进行推压，能够可靠地使清洗液120大量地从擦拭部件111的内部渗出，能够可靠地将异物排出到外部。而且由使用该板状推压部件118，能够轻易地可靠地除去被捕捉在气孔内的异物，能够可靠地增大异物的排出数量。

由于将清洗液供给管112插入设置在擦拭部件111的中空部内，能够可靠地将清洗液120供给到擦拭部件111内部。此外，插入到擦拭部件111的中空部内的清洗液供给管112发挥对擦拭部件111进行增强的芯棒的功能，能够使擦拭部件111的表面可靠地与工件2的表面接触。

而且，工件2和擦拭部件111分别铅垂地设置，因而在进行清洗时，带入了异物的清洗液120沿轴向在工件2和擦拭部件111的表面上流下，能够迅速地去除异物。

而且清洗液供给管112的下端部与清洗液导入管113相连，因而即使在清洗液从清洗液供给管112的下端部和清洗液导入管113的连接部泄漏的场合下，能够防止在泄漏时获取了异物的清洗液附着在擦拭部件111的表面上而引起污染。

上文对本发明的一种实施形态进行了说明，但是本发明并不局限于该实施形态，能够进行各种变更。

例如由本发明的液体珩磨加工机所加工的工件2可以是光学设备(例如照像机、望远镜)的镜筒用管等精密管的管坯，也可以是用于其它用途的管坯。

而且设置在清洗区域6的擦洗处理部52a和52b的级数也可以是3级，也可以大于等于4级。

而且工件2并不局限于圆筒状工件，也可以是圆柱形工件。

而且擦洗装置110的擦拭部件111并不局限于圆筒状，也可以是圆柱状。

而且在擦洗装置110中，清洗液供给管112的下端部也可以形成为闭塞状，另一方面，清洗液供给管112的上端部与清洗液导入管113相连。

实施例

下文将对本发明的具体实施例和比较示例进行说明。

实施例1

作为工件2，准备了5000个感光鼓基体用管的管坯。该工件2(管坯)由铝制拉拔管构成，其长度是200～450毫米，外径为15～50毫米，壁厚为0.2～2毫米。由上述实施形态的液体珩磨加工机1对该工件2实施液体珩磨处理。

比较示例1

对工件2进行液体珩磨处理，但是在该比较示例1中，在罩4的珩磨区域5和清洗区域6之间没有设置隔壁7，而且，没有使用液体中输送装置10将工件2从珩磨区域5向清洗区域6输送，其它条件与实施例1相同。

针对分别在实施例1和比较示例1中被液体珩磨处理后的工件2，进行清洗不良率的调查。

结果在比较示例1中，工件2的清洗不良率是1.5％。另一方面在实施例1中，清洗不良率是0.05％。因而确认通过由液体珩磨加工机1对该工件2实施液体珩磨处理，能够大幅度降低工件的清洗不良率。

而且可以下述那样求取清洗不良率。

对于作为工件2的感光鼓基体用管的管坯，在黄色灯照明下，实施外观目视检查，由上述实施形态的液体珩磨加工机1对检查的合格品实施液体珩磨处理。

然后对液体珩磨处理后的工件2，再次在黄色灯照明下，实施外观目视检查，检查是否存在磨粒附着和由擦洗所引起的伤损，没有磨粒附着和伤损的产品判定为合格品，具有磨粒附着和伤损的产品判定为不合格品。

实施例2～16

作为工件2，准备了5000个感光鼓基体用管的管坯。该工件2(管坯)由铝制拉拔管构成，其长度是200～450毫米，外径为15～50毫米，壁厚为0.5～2毫米。由上述实施形态的液体珩磨加工机1对该工件2的表面实施液体珩磨处理。检查由在该工件2表面上产生的沿周向延伸的伤所引起缺陷的发生率，结果如表1所示。

而且在该液体珩磨处理中的擦洗处理中所使用的擦拭部件111由连续气孔的多孔性软质体构成，该多孔性软质体由30％压缩应力为8.8kPa(90gf/cm²)、平均气孔直径为200微米的PVA发泡体形成。而且，擦拭部件111的周速度、工件2的周速度、擦拭部件111表面与工件2表面的接触宽度W、推压部件118和擦拭部件111转动方向后方侧的表面所形成的角度θ、擦拭部件111表面的凹陷119的深度K分别设定为表1中所示数值，在此情况下进行擦洗。

比较示例2

作为工件2，准备了5000个与在实施例2～16中所使用的管坯相同的工件。除了不使用推压工件118之外，由与实施例2～16相同的擦洗处理在擦洗部52a和52b对工件2的表面进行清洗。对在该工件2的表面上所产生的沿周向延伸的伤损引起的缺陷的发生率进行调查，结果如表1所示。

[表1]

如表1所示与比较示例2相比，确认在实施例2～16中，能够降低缺陷发生率。

比较示例3

对工件2进行液体珩磨处理，但是在本比较示例3中，由下述方法对工件2实施擦洗处理。即，所谓的擦洗处理方法就是通过在使擦拭部件111与工件2的表面接触状态下，使擦拭部件111绕自身的轴旋转，对工件2的表面实施擦洗处理。但是在该清洗处理时，清洗液不从擦拭部件111的内部渗出到擦拭部件111的表面外侧，不使用推压部件118，其它条件与实施例2～16相同。对在该工件2的表面上所产生的沿周向延伸的伤损所引起的缺陷的发生率进行调查。

结果在比较示例3中，由伤损所引起的缺陷发生率为1.74％。而且所述伤损是通过由被捕捉在擦拭部件表面气孔内的异物伴随着擦拭部件的转动与工件2的表面接触而产生的。另一方面，在实施例2～16中，由该伤损所引起的缺陷发生率为0％(具体地说，小于等于0.05％)，因而与比较示例3相比，确认能够大幅度降低缺陷发生率。

本申请要求2004年11月2日申请的日本专利申请2004-319299号、2004年11月9日在美国申请的美国专利申请60/625,983号、2004年10月8日申请的日本专利申请2004-296757号的优先权。上述文本所公开的内容原封不动地构成本发明。

上文中所使用的术语和用词用于说明本发明，但是并不对本发明进行限定解释，不排除与在此所示出和说明的特征事项任何等效的特征，能够在本发明权利要求书范围内进行各种变型和变更。

产业上的利用可能性

本发明适用于对精密管的管坯、感光鼓基体用管的管坯、光学仪器的镜筒用管的管坯等工件实施液体珩磨加工的液体珩磨加工机和液体珩磨加工方法。

本发明能够在制造精密管、感光鼓基体用管、光学仪器的镜筒用管等管的管制造装置中使用。

Claims

1.一种液体珩磨加工机，具有：对工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件进行清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置；

在上述罩内配置有液体中输送装置，该液体中输送装置使在上述珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从上述珩磨区域通过设置于上述隔壁的工件通过用开口向上述清洗区域输送。

2.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述隔壁的工件通过用开口的上缘处于浸泡在上述液体中输送装置的输送槽内的液体中的状态。

3.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述液体中输送装置包括输送台，该输送台具有搭载工件的搭载板部、向上方突出状地设置于该搭载板部的臂部、设置于该臂部的上端部的悬挂部；

上述液体中输送装置，通过上述悬挂部在上述导轨部上以滑动状态沿工件输送方向移动，将搭载在上述输送台的搭载板部上的工件在浸泡于上述输送槽内的液体中的状态下进行输送。

4.根据权利要求3所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述悬挂部的移动通路和上述导轨部由罩部件覆盖，该罩部件防止伴随着上述悬挂部和上述导轨部之间的滑动所产生的粉尘飞散到外部。

5.根据权利要求4所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述罩部件在输送槽内侧的侧壁部的下端部处于浸泡在上述输送槽内的液体中的状态。

6.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述液体中输送装置具有向上述输送槽内的液体中喷出气体而产生气泡的气泡产生装置。

7.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述液体中输送装置具有喷出喷嘴，该喷出喷嘴将液体喷出供给到上述输送槽内，从而在上述输送槽内液体沿与工件输送方向相反的方向流动。

8.根据权利要求7所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述喷出喷嘴设置在上述输送槽内的清洗区域侧。

9.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述液体中输送装置使上述输送槽内的液体从上述输送槽的珩磨区域侧的侧壁部的上端溢出。

10.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述液体中输送装置具有喷射喷嘴，所述喷射喷嘴向从上述输送槽内的液体中吊起途中的工件喷射清洗液。

11.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述液体中输送装置形成为上述输送槽的底面相对于水平面在工件输送方向上向上方倾斜的状态。

12.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：具有向上述清洗区域中供给清洁环境气体的气体供给装置。

13.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：具有对上述珩磨区域的环境气体进行吸引的气体吸引装置。

14.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述清洗区域的环境气体压力被调整成相对于上述罩外侧的外部气体压力为正压。

15.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述清洗区域的环境气体压力被调整成相对于上述珩磨区域的环境气体压力为正压。

16.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：在上述珩磨区域设置有珩磨槽，该珩磨槽在内部具有对工件进行液体珩磨处理的珩磨部、对在该珩磨部经液体珩磨处理的工件实施喷淋清洗处理的淋洗部、将在上述珩磨部经液体珩磨处理的工件从上述珩磨部输送到上述淋洗部的输送部；

17.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：在上述珩磨区域设置有珩磨槽，该珩磨槽在内部具有对工件进行液体珩磨处理的珩磨部、对在该珩磨部经液体珩磨处理的工件实施喷淋清洗处理的第1淋洗部、将在上述珩磨部经液体珩磨处理的工件从上述珩磨部输送到上述第1淋洗部的输送部；并且，在上述珩磨区域内设置有将工件输送到上述珩磨部的第1输送装置、将在上述第1淋洗部经清洗处理的工件从上述第1淋洗部输送到上述液体中输送装置的第2输送装置；

在上述清洗区域内设置有：对由上述液体中输送装置输送到上述清洗区域内的工件进行喷淋清洗处理的第2淋洗部、对在该第2淋洗部经清洗处理的工件实施擦洗处理的多级排列的擦洗部、对在该擦洗部经清洗处理的工件实施喷淋清洗处理的第3淋洗部、通过将在该第3淋洗部经清洗处理的工件浸泡在清洗液体中而实施清洗处理的浸泡清洗部、通过将在该浸泡清洗部经清洗处理的工件浸泡在高温液体中后从高温液体中吊起而进行干燥处理的吊起干燥部、将由上述液体中输送装置输送到上述清洗区域内的工件从上述液体中输送装置依次输送到上述各个清洗部和吊起干燥部的第3输送装置。

18.根据权利要求17所述的液体珩磨加工机，其特征在于：在上述擦洗部设置有擦洗装置；

上述擦洗装置构成为包括：使工件绕自身的轴旋转的工件转动驱动装置、由连续气孔的多孔性软质体构成的圆柱状或圆筒状的擦拭部件、在上述擦拭部件的表面与工件的表面触接的状态下使上述擦拭部件绕自身的轴旋转的擦拭部件转动驱动装置、在清洗时对上述擦拭部件的表面进行推压的推压部件，并且使清洗液从上述擦拭部件的内部通过上述连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧。

19.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：在上述清洗区域所使用了的清洗液即使用过的清洗液被供给到上述液体中输送装置的输送槽内。

20.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：来自上述液体中输送装置的输送槽的排出液体作为在上述珩磨区域使用的珩磨液和/或清洗液的至少一部分来使用。

21.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：工件是精密管的管坯。

22.根据权利要求1所述的液体珩磨加工机，其特征在于：工件是感光鼓基体用管的管坯。

23.一种液体珩磨加工机，具有：对圆柱状或圆筒状工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件实施清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置；

在上述罩内配置有液体中输送装置，该液体中输送装置使在上述珩磨区域经液体珩磨处理的工件在浸泡在输送槽内的液体中的状态下，从上述珩磨区域通过设置于上述隔壁的工件通过用开口向上述清洗区域输送；

在上述擦洗部设置有擦洗装置；

24.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述擦拭部件转动驱动装置被构成为能够将上述擦拭部件的周速度至少控制在0～650mm/s的范围内，

上述工件转动驱动装置被构成为能够将上述工件的周速度至少控制在0～300mm/s的范围内。

25.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述擦拭部件的表面沿着工件的表面长度方向与工件的表面触接。

26.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述擦拭部件的表面长度设定得比工件的表面长度长。

27.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置包括安装在上述工件的端面上的工件支撑部件；上述工件支撑部件构成为在安装在工件端面上的状态下，工件表面和工件支撑部件的周面在工件轴向上连成为一个面。

28.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：在由上述推压部件对上述擦洗装置的上述擦拭部件的表面推压的状态下，上述推压部件被设置成向上述擦拭部件的转动方向的后方一侧倾斜。

29.根据权利要求28所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述推压部件和上述擦拭部件的转动方向后方侧的表面所形成的角度设定为10～45°的范围。

30.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述推压部件为以一侧缘部为推压部的板状件。

31.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述擦拭部件为圆筒状；

32.根据权利要求31所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述擦拭部件大致铅垂地设置；

上述清洗液供给管的上下两端部中任一个端部形成为封闭状，上述清洗液供给管的另一端部与将清洗液导入到该清洗液供给管内的清洗液导入管相连。

33.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：上述擦洗装置的上述擦拭部件的上述多孔性软质体由PVA类树脂、聚乙烯类树脂、聚醚类树脂、醋酸乙烯酯类树脂和聚氨酯类树脂中的任一种树脂的发泡体形成。

34.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：工件是精密管的管坯。

35.根据权利要求23所述的液体珩磨加工机，其特征在于：工件是感光鼓基体用管的管坯。

36.一种配备有对管坯顺次实施液体珩磨处理和清洗处理的液体珩磨加工机的管的制造装置，其特征在于：作为所述液体珩磨加工机，使用上述权利要求1～35中任一项所述的液体珩磨加工机。

37.一种配备有对管坯顺次实施液体珩磨处理和清洗处理的液体珩磨加工机的管的制造装置，其特征在于：作为所述液体珩磨加工机，使用上述权利要求1～21、23～34中任一项所述的液体珩磨加工机，管是精密管。

38.一种配备有对管坯顺次实施液体珩磨处理和清洗处理的液体珩磨加工机的管的制造装置，其特征在于：作为所述液体珩磨加工机，使用上述权利要求1～20、22～33、35中任一项所述的液体珩磨加工机，管是感光鼓基体用管。

39.一种液体珩磨加工方法，其使用液体珩磨加工机，该液体珩磨加工机具有：对工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件进行清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置，并且在上述罩内上述珩磨区域和上述清洗区域之间设置有防止上述珩磨区域内的环境气体流入上述清洗区域内的隔壁；

40.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：一边将气体喷出到上述输送槽内的液体中而产生气泡，一边在浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下将工件输送到上述清洗区域内。

41.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：一边将液体喷出到上述输送槽内，使上述输送槽内的液体沿与工件输送方向相反方向流动，一边在浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下将工件输送到上述清洗区域内。

42.根据权利要求41所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：从上述输送槽内的清洗区域侧将液体喷出到上述输送槽内。

43.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：一边使上述输送槽内的液体从该输送槽的珩磨区域侧的侧壁部上端溢出，一边在浸泡在上述输送槽内的液体中的状态下将工件输送到上述清洗区域内。

44.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：一边将被输送到上述输送槽内的清洗区域侧的工件从上述输送槽内的液体中吊起，一边朝向该工件喷射清洗液。

45.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：一边向上述清洗区域供给清洁环境气体，一边在上述清洗区域对工件进行清洗处理。

46.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在将上述清洗区域的环境气体压力调整为相对于上述罩外侧的外部气体压力为正压的状态下，在上述清洗区域对工件进行清洗处理。

47.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在将上述清洗区域的环境气体压力调整为相对于上述珩磨区域的环境气体压力为正压的状态下，在上述珩磨区域对工件进行液体珩磨处理。

48.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在上述珩磨区域设置有珩磨槽，该珩磨槽在内部具有对工件进行液体珩磨处理的珩磨部、对在该珩磨部经液体珩磨处理的工件实施喷淋清洗处理的淋洗部、将在上述珩磨部经液体珩磨处理的工件从上述珩磨部输送到上述淋洗部的输送部；

在上述清洗区域，对被输送到上述清洗区域内的工件进行喷淋清洗处理，然后在多级排列的擦洗部对该工件依次实施擦洗处理后，对该工件实施喷淋清洗处理，然后在通过将该工件浸泡在清洗液体中来实施清洗处理后，通过将该工件浸泡在高温液体中后从高温液体中吊起而进行干燥处理。

49.根据权利要求48所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在上述清洗区域的上述擦洗部，在使工件表面与由连续气孔的多孔性软质体构成的圆柱状或圆筒状擦拭部件的表面触接，且由推压部件对上述擦拭部件的表面进行推压的状态下，一边使清洗液从上述擦拭部件的内部经由上述连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧，一边使工件和上述擦拭部件相互沿相同方向绕自身的轴旋转，由此对工件进行擦洗处理。

50.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：将在上述清洗区域所使用了的清洗液即使用过的清洗液供给到上述输送槽内。

51.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：将来自上述输送槽内的排出液体作为在上述珩磨区域使用的珩磨液和/或清洗液的至少一部分来使用。

52.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：工件是精密管的管坯。

53.根据权利要求39所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：工件是感光鼓基体用管的管坯。

54.一种液体珩磨加工方法，其使用液体珩磨加工机，该液体珩磨加工机具有：对圆柱状或圆筒状工件进行液体珩磨处理的珩磨区域、对在该珩磨区域经液体珩磨处理的工件实施清洗处理的清洗区域，并将这两个区域在与外部气体隔断的罩内相邻地设置，并且在上述罩内上述珩磨区域和上述清洗区域之间设置有防止上述珩磨区域内的环境气体流入上述清洗区域内的隔壁；

在上述清洗区域中，在使工件表面与由连续气孔的多孔性软质体构成的圆柱状或圆筒状擦拭部件的表面触接，且由推压部件对上述擦拭部件的表面进行推压的状态下，一边使清洗液从上述擦拭部件的内部经由上述连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧，一边使工件和上述擦拭部件相互沿相同方向绕自身的轴旋转，由此对工件进行擦洗处理。

55.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述擦拭部件的周速度设定在100～500mm/s的范围内，且上述工件的周速度设定在50～200mm/s的范围内，使工件和上述擦拭部件分别绕自身的轴旋转。

56.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在使上述擦拭部件的表面沿着工件表面的长度方向与工件的表面触接的状态下，对工件进行擦洗处理。

57.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在将上述擦拭部件的表面与工件表面触接，使得其与工件表面的触接宽度处于5～30mm范围内的状态下，对工件进行擦洗处理。

58.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述擦拭部件的表面长度设定得比工件的表面长度大；

59.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：以工件的表面和工件支撑部件的周面在工件轴向上连成为一个面的状态，将工件支撑部件安装在工件两端面中至少一个端面上。

60.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在由上述推压部件对上述擦拭部件的表面推压的状态下，上述推压部件被设置成向上述擦拭部件的转动方向的后方一侧倾斜。

61.根据权利要求60所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述推压部件和上述擦拭部件的转动方向后方侧的表面所形成的角度设定为10～45°的范围。

62.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：在由上述推压部件对上述擦拭部件的表面进行推压，从而在该表面上产生深度为0.5～5mm的凹陷的状态下，对工件进行擦洗处理。

63.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述推压部件为以一侧缘部为推压部的板状件。

64.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述擦拭部件为圆筒状；

将向上述擦拭部件的内部供给清洗液的清洗液供给管沿着上述擦拭部件的轴向插入配置在上述擦拭部件的中空部内，在该清洗液供给管的周壁上设置有多个清洗液流出孔；

一边使上述清洗液供给管内的清洗液从上述清洗液流出孔流出，并经由上述擦拭部件的连续气孔渗出到上述擦拭部件的表面外侧，一边对工件进行擦洗处理。

65.根据权利要求64所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述擦拭部件和工件分别大致铅垂地设置；

66.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：上述多孔性软质体由PVA类树脂、聚乙烯类树脂、聚醚类树脂、醋酸乙烯酯类树脂和聚氨酯类树脂中的任一种树脂的发泡体形成。

67.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：工件是精密管的管坯。

68.根据权利要求54所述的液体珩磨加工方法，其特征在于：工件是感光鼓基体用管的管坯。