CH704445A1 - Pressure sensor e.g. optical pressure sensor for measuring operating pressure of hot process fluid, has heat conducting portion with high thermal conductivity, formed between pressure transmission element and housing - Google Patents
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Abstract
Description
Technisches GebietTechnical area
[0001] Die Erfindung betrifft einen Drucksensor, insbesondere einen piezoelektrischen, piezoresistiven oder optischen Drucksensor zur Messung eines Betriebsdrucks «eines heissen Prozessmediums. The invention relates to a pressure sensor, in particular a piezoelectric, piezoresistive or optical pressure sensor for measuring an operating pressure «of a hot process medium.
Stand der TechnikState of the art
[0002] Im Stand der Technik ist eine Vielzahl unterschiedlicher Drucksensoren zur Messung eines Betriebsdrucks in heissen und oftmals auch chemisch aggressiven. Prozessmedien bekannt. In the prior art, a variety of different pressure sensors for measuring an operating pressure in hot and often chemically aggressive. Process media known.
[0003] Die Sensoren sind dabei sehr hohen Wärmeströmen ausgesetzt, die nur durch den Sensor selbst zur Montagestelle des Sensors, der zum Beispiel am Brennraum einer Brennkraftmaschine in einer Montageöffnung angeordnet sein kann, abgeleitet werden können. Insbesondere in Brennkraftmaschinen wie Verbrennungsmotoren sind die Sensoren an ihren Fronten sehr hohen Temperaturen ausgesetzt. Deren Wärmeflüsse dringen teilweise in die Sensoren ein und verursachen eine Veränderung der physikalischen Eigenschaften der Teile, die dem Brennraum ausgesetzt sind. So ist beispielsweise in der Regel eine Membran frontseitig am Sensor angebracht. Sie stützt sich an einem mittig angeordneten Druckübertragungselement am Messelement ab und dichtet das Gehäuse zum Brennraum hin ab. Durch die Erwärmung der Membrane wird ein Fehlsignal erzeugt. The sensors are exposed to very high heat fluxes, which can be derived only by the sensor itself to the mounting point of the sensor, which may be arranged for example on the combustion chamber of an internal combustion engine in a mounting opening. In particular, in internal combustion engines such as internal combustion engines, the sensors are exposed at their fronts to very high temperatures. Their heat fluxes partially penetrate into the sensors and cause a change in the physical properties of the parts that are exposed to the combustion chamber. For example, a membrane is usually attached to the front of the sensor. It is supported on a centrally arranged pressure transmission element on the measuring element and seals the housing from the combustion chamber out. By heating the membrane a false signal is generated.
[0004] Zur Lösung dieser Probleme sind verschiedene Ansätze bekannt. So wird zum Beispiel in der AT 504 485 A4 ein piezoelektrischer Drucksensor vorgeschlagen, welcher in einem hinteren Ringspalt zwischen dem Aussengehäuse und einem Innentopf des Sensors Fluide wie Gallium, Natrium oder auch hochtemperaturbeständige Öle zur Wärmeableitung in das Aussengehäuse vorsieht. To solve these problems, various approaches are known. Thus, for example, in AT 504 485 A4 a piezoelectric pressure sensor is proposed which provides fluids in a rear annular gap between the outer housing and an inner pot of the sensor such as gallium, sodium or high-temperature resistant oils for heat dissipation into the outer housing.
[0005] Mit diesem und ähnlichen Lösungsvorschlägen konnten die vorgenannten Probleme zwar reduziert werden, allerdings sind derartige Lösungen sehr aufwendig bezüglich der Konstruktion der Sensoren, damit teuer und machen die Sensoren aufgrund der zusätzlichen Komponenten auch Fehler anfälliger. Although the aforementioned problems could be reduced with this and similar proposals for solutions, such solutions are very expensive in terms of the construction of the sensors, so expensive and make the sensors due to the additional components also prone to errors.
Darstellung der ErfindungPresentation of the invention
[0006] Die Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Drucksensor vorzuschlagen, bei dem die aus dem Stand der Technik bekannten Fehlmessungen, bedingt durch eine hohe mittlere Wärmebelastung und/oder durch zyklische lokale Erwärmungen, verringert werden, wobei die Konstruktion des Sensors möglichst einfach gehalten werden soll. The object of the invention is therefore to propose a pressure sensor in which the known from the prior art incorrect measurements due to a high average heat load and / or by cyclic local heating, are reduced, the design of the sensor as simple as possible should be kept.
[0007] Die diese Aufgaben lösenden Gegenstände der Erfindung sind durch die Merkmale des Hautpanspruchs beschrieben. The objects of this invention solving these objects are described by the features of the Hautpanspruch.
[0008] Die abhängigen Ansprüche beziehen sich auf besonders vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung. The dependent claims relate to particularly advantageous embodiments of the invention.
[0009] Die Erfindung betrifft somit einen Drucksensor, insbesondere einen piezoelektrischen, piezoresistiven oder optischen Drucksensor zur Messung eines Betriebsdrucks eines heissen Prozessmediums. Dabei ist im Inneren eines Gehäuses des Drucksensors eine durch einen Ringspalt vom Gehäuse radial getrennte Messeinrichtung mit einem Druckübertragungselement und einem Messelement vorgesehen, wobei der Ringspalt zwischen dem Gehäuse und dem Druckübertragungselement durch eine Dichtmembran gegen das Prozessmedium abgedichtet ist. Erfindungsgemäss ist zwischen dem Druckübertragungselement und dem Gehäuse eine Wärmeleitbrücke aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit vorgesehen. Diese Wärmeleitbrücke ist als Schicht an oder in einem Bauteil des Drucksensors angeordnet. Da dieses Bauteil bereits eine andere Funktion im Drucksensor erfüllt, in der Regel ist es ein tragendes Bauteil, muss somit kein zusätzliches Bauteil im Sensor eingesetzt werden. The invention thus relates to a pressure sensor, in particular a piezoelectric, piezoresistive or optical pressure sensor for measuring an operating pressure of a hot process medium. In this case, a radially separated by an annular gap from the housing measuring device is provided with a pressure transmission element and a measuring element inside a housing of the pressure sensor, wherein the annular gap between the housing and the pressure transmission element is sealed by a sealing membrane against the process medium. According to the invention, a heat-conducting bridge made of a material with high thermal conductivity is provided between the pressure-transmitting element and the housing. This Wärmeleitbrücke is arranged as a layer on or in a component of the pressure sensor. Since this component already fulfills another function in the pressure sensor, as a rule it is a load-bearing component, so no additional component has to be used in the sensor.
[0010] Durch den Einsatz der erfindungsgemässen Wärmeleitbrücke werden die aus dem Stand der Technik bekannten Probleme mit der Wärmeableitung auf konstruktiv einfache Weise gelöst. Der erfindungsgemässe Sensor umfasst keine zusätzlichen mechanischen Bauteile. Vielmehr wird eine verbesserte Wärmeableitung zwischen dem Gehäuse und dem Druckübertragungselement durch die erfindungsgemässe Wärmeleitbrücke bewerkstelligt, die durch eine gut wärmeleitende Schicht realisiert ist, die zur Ableitung der Wärme eine Wärmebrücke zwischen dem Druckübertragungselement und dem Gehäuse des Sensors herstellt. By using the inventive Wärmeleitbrücke known from the prior art problems with the heat dissipation in a structurally simple manner be solved. The sensor according to the invention comprises no additional mechanical components. Rather, an improved heat dissipation between the housing and the pressure transmission element is accomplished by the inventive Wärmeleitbrücke, which is realized by a good heat conducting layer which produces a thermal bridge between the pressure transmission element and the housing of the sensor to dissipate the heat.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
[0011] Im Folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen in schematischer Darstellung: <tb>Fig. 1<sep>ein aus dem Stand der Technik bekannter Drucksensor; <tb>Fig. 2a-c<sep>ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemässen Drucksensors mit Membranbeschichtung in drei verschiedenen Ausführungen; <tb>Fig. 3<sep>ein weiteres erfindungsgemässes Ausführungsbeispiel mit einem entkoppelten Innenaufbau; <tb>Fig. 4<sep>ein erfindungsgemässes Ausführungsbeispiel mit Wärmeisolation und/oder Wärmeisolationseinlage; <tb>Fig. 5<sep>ein erfindungsgemässes Ausführungsbeispiel mit Vorspannelement; <tb>Fig. 6<sep>ein erfindungsgemässes Ausführungsbeispiel mit zentraler Vorspannschraube oder -bolzen; <tb>Fig. 7<sep>Laminatschicht eines Bauteils mit innen liegender wärmeleitenden Schicht.In the following the invention will be explained in more detail with reference to the drawing. In a schematic representation: <Tb> FIG. 1 <sep> a pressure sensor known from the prior art; <Tb> FIG. 2a-c <sep> a first embodiment of a pressure sensor according to the invention with membrane coating in three different embodiments; <Tb> FIG. 3 <sep> another embodiment of the invention with a decoupled internal structure; <Tb> FIG. 4 an embodiment according to the invention with heat insulation and / or heat insulation insert; <Tb> FIG. 5 <sep> an inventive embodiment with biasing element; <Tb> FIG. 6 <sep> an embodiment according to the invention with central pretensioning screw or bolt; <Tb> FIG. 7 <sep> Laminate layer of a component with an internal heat-conducting layer.
[0012] Zur besseren Unterscheidung der Erfindung vom Stand der Technik sind diejenigen Bezugszeichen, die sich auf Merkmale bekannter Sensoren gemäss Fig. 1beziehen, mit einem Hochkomma versehen, während Bezugszeichen zu Merkmalen erfindungsgemässer Drucksensoren kein Hochkomma tragen. For better distinction of the invention from the prior art, those reference numerals that refer to features of known sensors according to FIG. 1, provided with a comma, while reference numerals to features according to the invention pressure sensors do not wear a comma.
[0013] In Fig. 1 ist ein bekannter Drucksensor 1 ́, ein piezoelektrischer oder piezoresistiver Drucksensor 1 ́ zur Messung eines Betriebsdrucks P ́ eines Prozessmediums 2 ́ dargestellt. Der Betriebsdruck P ́ wirkt dabei, wie die Pfeile andeuten, auf ein Druckübertragungselement 51 ́, das den Betriebsdruck P’ auf ein im Inneren des Gehäuses 3 ́ des Drucksensors 1 ́ angeordnetes Messelement 52 ́ überträgt. Das Druckübertragungselement 51 ́ bildet zusammen mit mindestens einem Messelement 52 ́, das zum Beispiel ein piezoelektrisches oder piezoresistives Messelement 52 ́ ist, die Messeinrichtung 5 ́. Die Messeinrichtung 5 ́ ist durch einen radialen Ringspalt 4 ́ vom Gehäuse 3 ́ getrennt, wobei das Innere des Gehäuses 3 ́ durch eine am Ringspalt 4 ́ angeordnete Dichtmembran 6 ́ gegen das Prozessmedium 2 ́ abgedichtet ist. In Fig. 1, a known pressure sensor 1, a piezoelectric or piezoresistive pressure sensor 1 for measuring an operating pressure P of a process medium 2 is shown. The operating pressure P acts, as the arrows indicate, on a pressure transmission element 51, which transmits the operating pressure P 'to a measuring element 52 arranged in the interior of the housing 3 of the pressure sensor 1. The pressure transmission element 51 forms the measuring device 5 together with at least one measuring element 52, which is for example a piezoelectric or piezoresistive measuring element 52. The measuring device 5 is separated by a radial annular gap 4 from the housing 3, wherein the interior of the housing 3 is sealed by a arranged on the annular gap 4 sealing membrane 6 against the process medium 2.
[0014] Die Messelemente 52 ́ sind dabei jeweils an einer ladungsabgebenden Seitenfläche 501 ́ und der dazugehörigen krafteinleitenden Fläche 500 ́ mit einer Elektrode 8 ́ versehen, die einerseits die an den ladungsabgebenden Seitenflächen 501 ́ im Betriebszustand erzeugten elektrischen Messladungen ableiten und im Bereich der krafteinleitenden Flächen 500 ́ gleichzeitig eine mechanische Anpassung an die Auflagerflächen am Druckübertragungselement 51 ́ bzw. am Auflagerelement 10 ́ gewährleisten. Die Messelemente 52 ́ sind dabei beispielsweise in bekannter Weise durch eine Vorspannfeder 9 ́ vorgespannt. The measuring elements 52 are each provided at a charge-emitting side surface 501 and the associated force-introducing surface 500 with an electrode 8, which derive on the one hand the charge-emitting side surfaces 501 generated in the operating state electrical measuring charges and in the force-introducing Surface 500 simultaneously ensure mechanical adaptation to the bearing surfaces on the pressure transmission element 51 and the support element 10. The measuring elements 52 are biased for example in a known manner by a biasing spring 9.
[0015] Bei einem bekannten Drucksensor 1 ́ kann dabei die Wärmeabfuhr aus dem Druckübertragungselement 51 ́, die unmittelbar am temperaturempfindlichen Messelement 52 ́ liegt, nur über relativ schlecht wärmeleitende Bauteile erfolgen. Die Dichtmembran 6 ́ ist aufgrund ihrer Funktion relativ dünn und aus schlecht wärmeleitendem Material gefertigt. Die Messelement Vorspannfeder 9 ́ ist ebenfalls dünn und schlecht wärmeleitend. Die Messelement-Stäbe 52 ́ haben zwar einen relativ grossen Wärmeleitquerschnitt, aber extrem schlechte Wärmeleitwerte, da die Messelemente 52 ́ sehr schlecht wärmeleitende Kristalle sind. In a known pressure sensor 1, the heat dissipation from the pressure transmission element 51, which is located directly on the temperature-sensitive measuring element 52, only via relatively poorly thermally conductive components. The sealing membrane 6 is made relatively thin and made of poor thermal conductivity material due to their function. The measuring element bias spring 9 is also thin and poorly heat-conducting. Although the measuring element rods 52 have a relatively large heat conduction, but extremely poor thermal conductivity, since the measuring elements 52 are very poor heat-conducting crystals.
[0016] Anhand der Fig. 2a-c ist ein erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemässen Drucksensors 1 schematisch dargestellt. Der Drucksensor 1 gemäss Fig. 2 ist zum Beispiel ein piezoelektrischer, ein piezoresistiver oder ein optischer Drucksensor 1 zur Messung eines Betriebsdrucks P eines Prozessmediums 2. Der erfindungsgemässe Drucksensor 1 kann zum Beispiel in einer Montageöffnung einer Brennkraftmaschine angeordnet sein, um den Betriebsdruck P eines Verbrennungsgases 2 im Brennraum der Brennkraftmaschine zu messen. A first preferred embodiment of a pressure sensor 1 according to the invention is shown schematically with reference to FIGS. 2a-c. The pressure sensor 1 according to FIG. 2 is, for example, a piezoelectric, a piezoresistive or an optical pressure sensor 1 for measuring an operating pressure P of a process medium 2. The pressure sensor 1 according to the invention can be arranged, for example, in a mounting opening of an internal combustion engine, to the operating pressure P of a combustion gas 2 to measure in the combustion chamber of the internal combustion engine.
[0017] Im Inneren eines Gehäuses 3 des Drucksensors 1 ist eine durch einen Ringspalt 4 vom Gehäuse 3 radial getrennte Messeinrichtung mit einem Druckübertragungselement 51 und einem Messelement 52 vorgesehen, wobei der Ringspalt 4 zwischen dem Gehäuse 3 und dem Druckübertragungselement 51 in an sich bekannter Weise durch eine Dichtmembran 6 gegen das Prozessmedium 2 abgedichtet ist, welche in der Regel auch die erforderliche Vorspannung auf das Messelement sichert. Ein Zugangskanal 53 für Messelement-Leitungen gewährleistet die Weiterleitung der Messsignale vom Messelement 52. Inside a housing 3 of the pressure sensor 1 is provided by a ring gap 4 from the housing 3 radially separate measuring device with a pressure transmission element 51 and a measuring element 52, wherein the annular gap 4 between the housing 3 and the pressure transmission element 51 in a conventional manner is sealed by a sealing membrane 6 against the process medium 2, which usually ensures the required bias on the measuring element. An access channel 53 for measuring element lines ensures the forwarding of the measuring signals from the measuring element 52.
[0018] Im speziellen Beispiel der Fig. 2ist das Messelement 52 in Form stangenförmiger Kristalle 52 ausgebildet. Anstelle des dargestellten piezoelektrischen oder piezoresistiven Messelements 52 kann auch ein optisches Messelement verwendet werden. Dieses ist beispielsweise ein Faserende eines Lichtleiters 53, das beabstandet vom Druckübertragungselement 51 fest mit dem Gehäuse 3 verbunden ist. Durch optische Abstandsmessung zum Druckübertragungselement 51 kann auf den aktuellen Druck im Prozessmedium geschlossen werden. Der Lichtleiter 53 kann in dem als Zugangskanal 53 dargestellten Bereich im Gehäuse 3 angeordnet sein, wobei dann das Element 52 entfällt und das eigentliche Messelement 52 das Faserende ist, dessen Abstand allerdings nahe am Druckübertragungselement 51 angeordnet sein soll. Auf eine separate Figur wurde verzichtet. Jedes der dargestellten Beispiele der Fig. 2und 4 kann als optischer Sensor ausgestaltet sein. In the specific example of Fig. 2, the measuring element 52 is in the form of rod-shaped crystals 52 is formed. Instead of the illustrated piezoelectric or piezoresistive measuring element 52, an optical measuring element can also be used. This is, for example, a fiber end of a light guide 53, which is connected at a distance from the pressure transmission element 51 fixed to the housing 3. By optical distance measurement to the pressure transmission element 51 can be concluded that the current pressure in the process medium. The light guide 53 can be arranged in the region 3 shown in the housing 3 as an access channel, in which case the element 52 is omitted and the actual measuring element 52 is the fiber end, whose distance should, however, be arranged close to the pressure transmission element 51. On a separate figure has been omitted. Each of the illustrated examples of FIGS. 2 and 4 may be configured as an optical sensor.
[0019] Dabei versteht sich von selbst, dass das Messelement 52 auch in jeder anderen, an sich bekannten Ausführungsform realisiert werden kann. So kann das Messelement 52 zum Beispiel auch als ein Stapel von Kristallen 52 ausgebildet sein, der bevorzugt mit einer Vorspannschraube 91 mechanisch vorgespannt ist, wie in Fig. 6 dargestellt. Dabei versteht sich von selbst, dass in einem anderen Ausführungsbeispiel der Stapel von Kristallen 52 auch mittels einer Messelement-Vorspannfeder 9 vorgespannt sein kann, wie in Fig. 5 dargestellt, oder die stangenförmigen Kristalle 52 gemäss Fig. 2 und Fig. 3 und 4auch mittels einer Vorspannschraube 91 oder Vorspannfeder 9 mechanisch vorgespannt sein können. Zudem kann, wie in Fig. 3dargestellt, die Vorspannung der Messelemente 52 auch durch einen Innenaufbau 13 realisiert werden, der nur frontseitig mit dem Gehäuse 1 verbunden ist und die Dichtmembran 6 mit einschliesst. Auch hier können die Messelemente 52 als Stapel von Ringen oder als Stäbe ausgestaltet sein. It goes without saying that the measuring element 52 can be realized in any other, known per se embodiment. For example, the sensing element 52 may also be formed as a stack of crystals 52, which is preferably mechanically biased with a biasing screw 91, as shown in FIG. It goes without saying that in another embodiment, the stack of crystals 52 may be biased by means of a sensing element biasing spring 9, as shown in Fig. 5, or the rod-shaped crystals 52 according to FIG. 2 and Fig. 3 and 4 also by means a biasing screw 91 or biasing spring 9 may be mechanically biased. In addition, as shown in Fig. 3d, the bias of the measuring elements 52 can also be realized by an inner structure 13, which is only connected to the front of the housing 1 and the sealing membrane 6 includes. Again, the measuring elements 52 may be configured as a stack of rings or as rods.
[0020] Wesentlich ist, dass gemäss der vorliegenden Erfindung zwischen dem Druckübertragungselement 51 und dem Gehäuse 3 eine gut leitende Wärmeleitbrücke 7 vorgesehen ist, welche die Wärmeleitung zwischen dem Druckübertragungselement 51 und dem Gehäuse 3 signifikant erhöht. Diese Wärmeleitbrücke 7 ist als Schicht an oder in einem bereits vorhandenen Bauteil 6, 9, 91, 13 des Drucksensors 1 angeordnet. Dieses Bauteil kann insbesondere eine Dichtmembran 6, eine Vorspannfeder 9, eine Vorspannschraube 91 oder ein Innenaufbau 13 sein. Erfindungsgemäss ist die Wärmeleitbrücke 7 als Schicht in oder an diesem Bauteil 6, 9, 91, 13 angeordnet. Insbesondere kann dieses Bauteil 6, 9, 91, 13 mit dieser Wärmeleitbrücke 7 beschichtet sein oder diese Wärmeleitbrücke 7 als innere Laminatschicht aufweisen, wie in Fig. 7dargestellt. It is essential that according to the present invention between the pressure transmitting member 51 and the housing 3, a good conductive Wärmeleitbrücke 7 is provided which significantly increases the heat conduction between the pressure transmitting member 51 and the housing 3. This heat-conducting bridge 7 is arranged as a layer on or in an already existing component 6, 9, 91, 13 of the pressure sensor 1. This component may in particular be a sealing membrane 6, a biasing spring 9, a preloading screw 91 or an internal structure 13. According to the invention, the heat-conducting bridge 7 is arranged as a layer in or on this component 6, 9, 91, 13. In particular, this component 6, 9, 91, 13 can be coated with this heat-conducting bridge 7 or have this heat-conducting bridge 7 as the inner laminate layer, as shown in FIG. 7.
[0021] Die Wärmeleitbrücke 7 soll vorzugsweise derart dimensioniert sein, dass die gesamte Wärme, die im Einsatz in einem heissen Prozessraum über das mit der Wärmeleitbrücke 7 verbundene Bauteil 6, 9, 91, 13 vom Druckübertragungselement 51 zum Gehäuse 3 fliesst, durch die Wärmeleitbrücke 7 um mindestens 20% erhöht wird. The Wärmeleitbrücke 7 should preferably be dimensioned such that the entire heat that flows in use in a hot process chamber via the connected to the Wärmeleitbrücke 7 component 6, 9, 91, 13 from the pressure transmission element 51 to the housing 3, through the Wärmeleitbrücke 7 is increased by at least 20%.
[0022] Um dies zu erreichen wird beispielsweise vorgeschlagen, dass die Wärmeleitbrücke 7 eine Wärmeleitfähigkeit von mindestens 100 W/mK oder sogar mindestens 200 W/mK hat bei einer Schichtdicke von mindestens 1 Mikrometer oder besser noch mehr als 5 Mikrometer. Je nach Dimensionierung der Komponenten und nach der Wahl der Materialien der Wärmeleitschicht können auch andere Schichtdicken zum Ziel führen. To achieve this, it is proposed, for example, that the heat-conducting bridge 7 has a thermal conductivity of at least 100 W / mK or even at least 200 W / mK with a layer thickness of at least 1 micrometer or better even more than 5 micrometers. Depending on the dimensioning of the components and the choice of the materials of the heat conducting layer, other layer thicknesses can lead to the goal.
[0023] Beim Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 2a-c ist die Wärmeleitbrücke 7 an der Dichtmembran 6 vorgesehen: In Fig. 2amediumseitig, in Fig. 2bebenfalls mediumseitig, aber hier durchgehend über die ganze Sensorfront, sodass die Wärmeleitbrücke 7 die Dichtmembran 6, das Druckübertragungselement 51 und das Gehäuse 3 mediumseitig vollständig überdeckt. In Fig. 2c ist die Wärmeleitbrücke 7 im Inneren des Gehäuses 3 an der Dichtmembran 6 zwischen dem Gehäuse 3 und dem Druckübertragungselement 51 vorgesehen. All diese Wärmeleitbrücken 7 verlaufen radial. So kann die Wärme auf direktem Weg seitlich abgeführt werden, ohne dass sie weit ins Innere des Sensors gelangt. In Fig. 2a-c, the heat transfer bridge 7 is provided on the sealing membrane 6: In Fig. 2amediumseitig, in Fig. 2bequipped on the medium side, but here throughout the entire sensor front, so that the heat transfer bridge 7, the sealing membrane 6, the pressure transmission element 51 and the housing 3 completely covered on the medium side. In Fig. 2c, the heat transfer bridge 7 is provided in the interior of the housing 3 on the sealing membrane 6 between the housing 3 and the pressure transmission element 51. All of these heat conducting bridges 7 run radially. This way, the heat can be dissipated sideways directly, without getting far inside the sensor.
[0024] Die Wärme fliesse stets von heissen Regionen, auch Hot Spots genannt, in kühlere Regionen, sogenannte Wärmesenken. Diese Wärmesenken befinden sich beispielsweise im Werkstück, in dem der Drucksensor montiert ist. Dies ist insbesondere der Fall, wenn dieser gekühlt wird, wie dies bei Motoren oft der Fall ist. Daher muss die Wärme im Drucksensor an diese Stellen geleitet werden, die nahe an der Verbindung zum Werkstück sind. Bei frontdichtenden Sensoren ist diese Verbindung radial ausserhalb der Membrane. In diesem Fall muss die Wärmeleitbrücke 7 radial ausgestaltet werden. Bei schulterdichtenden Sensoren ist die Sensorspitze beabstandet zum Werkstück angeordnet, die Wärme kann also nur in einem hinteren Bereich abfliessen. Nun kann die Wärmeleitbrücke 7 wieder radial ausgestaltet sein, wonach die Wärme im Gehäuse nach hinten bis zur Schulter verläuft, oder die Wärmeleitbrücke 7 kann axial ausgestaltet sein. In diesem Fall wird die Wärme axial in einen hinteren Bereich des Sensors gebracht und von dort aus radial nach aussen ins Werkstück. In der Regel werden radiale Wärmeleitbrücken 7 bevorzugt, weil in diesem Fall das Messelement 52 nicht unnötig mit Wärme beaufschlagt wird. Aus konstruktiven Gründen kann aber eine axiale Ausrichtung vorteilhaft sein. The heat always flows from hot regions, also called hot spots, into cooler regions, so-called heat sinks. These heat sinks are located, for example, in the workpiece in which the pressure sensor is mounted. This is particularly the case when it is cooled, as is often the case with motors. Therefore, the heat in the pressure sensor must be routed to those locations that are close to the connection to the workpiece. For front-sealing sensors, this connection is radially outside the diaphragm. In this case, the Wärmeleitbrücke 7 must be configured radially. With shoulder-sealing sensors, the sensor tip is arranged at a distance from the workpiece, so that the heat can flow off only in a rear region. Now, the Wärmeleitbrücke 7 can be configured radially again, after which the heat in the housing extends rearward to the shoulder, or the heat transfer bridge 7 can be configured axially. In this case, the heat is brought axially into a rear region of the sensor and from there radially outward into the workpiece. As a rule, radial heat conducting bridges 7 are preferred, because in this case the measuring element 52 is not unnecessarily exposed to heat. For structural reasons, however, an axial alignment may be advantageous.
[0025] Die Wärmeleitbrücke 7 ist in den Ausführungsformen nach Fig. 2-6als Beschichtung 7 ausgebildet, die bevorzugt aus einem gut wärmeleitenden Metall und/oder aus einem korrosionsbeständigen Metall ist, und insbesondere aus Kupfer und/oder Silber und/oder aus Gold ist. The Wärmeleitbrücke 7 is formed in the embodiments of FIG. 2-6 as a coating 7, which is preferably made of a good heat conducting metal and / or of a corrosion-resistant metal, and in particular of copper and / or silver and / or gold ,
[0026] In Fig. 3 ist eine weitere erfindungsgemässe Ausführungsform mit einem entkoppelten Innenaufbau 13 dargestellt, der mit dem Gehäuse 3 nur frontseitig verbunden ist. Eine axiale Verspannung des Gehäuses 3 kann sich demnach nicht auf den Innenaufbau 13 mit dem Messelement 52 auswirken. Bei einem solchen Aufbau kann die Wärmeleitbrücke 7 gemäss Fig. 2a, 2b oder/und 2c ausgestaltet sein. Zusätzlich hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, die Innenwand und/oder die Aussenwand des Innenaufbaus 13 mit einer Wärme leitenden Beschichtung als Wärmeleitbrücke 7 zu versehen. Dies reduziert die mittlere Temperatur des Innenaufbaus 13 und somit die des Messelements 52. Erfindungsgemäss kann sich die Wärmeleitbrücke 7 auch nur auf dem Innenaufbau 13 befinden, um die Wärme abzuleiten. In Fig. 3, another embodiment of the invention with a decoupled inner structure 13 is shown, which is connected to the housing 3 only front. An axial tension of the housing 3 can therefore not affect the internal structure 13 with the measuring element 52. In such a construction, the heat transfer bridge 7 according to FIG. 2a, 2b and / or 2c can be configured. In addition, it has proved to be particularly advantageous to provide the inner wall and / or the outer wall of the inner structure 13 with a heat-conductive coating as a heat transfer bridge 7. This reduces the average temperature of the inner structure 13 and thus that of the measuring element 52. According to the invention, the Wärmeleitbrücke 7 can also be located only on the inner structure 13 to dissipate the heat.
[0027] Fig. 4 zeigt schliesslich eine Kombination der Fig. 2bund 2c. Als Messelemente 52 können auch Scheiben gemäss Fig. 6 verwendet werden. Anhand der Fig. 4 wird auch ein weiteres wichtiges Ausführungsbeispiel eines Drucksensors 1 der vorliegenden Erfindung erläutert, das sich vom Beispiel der Fig. 2 und 3 im Wesentlichen dadurch unterscheidet, dass zur besseren Wärmeisolation des Messelements 52 eine Wärmeisolation 11 und/oder eine Wärmeisolationseinlage 12 vorgesehen ist. Die Wärmeisolationseinlage 12, ausgestaltet als Wärmeisolationsschicht zwischen dem Messelement 52 und dem Druckübertragungselement 51, kann zum Beispiel aus einer schlecht wärmeleitenden Keramik sein, so dass ein Wärmefluss vom Druckübertragungselement 51 auf das Messelement 52 bereits an dieser Stelle erheblich reduziert wird. Die Wärmeisolationseinlage 12 kann mit einer elektrisch leitenden Beschichtung versehen sein, über die die von den Messelementen 52 erzeugten elektrischen Messsignale in an sich bekannter Weise an das Gehäuse 3 abgeleitet werden können. Finally, FIG. 4 shows a combination of FIGS. 2b and 2c. Slices according to FIG. 6 can also be used as measuring elements 52. A further important exemplary embodiment of a pressure sensor 1 of the present invention will be explained with reference to FIG. 4, which essentially differs from the example of FIGS. 2 and 3 in that a heat insulation 11 and / or a heat insulation insert 12 are provided for better thermal insulation of the measuring element 52 is provided. The heat insulating insert 12, configured as a heat insulating layer between the measuring element 52 and the pressure transmission element 51, may for example be made of a poorly heat-conducting ceramic, so that a heat flow from the pressure transmission element 51 to the measuring element 52 is already significantly reduced at this point. The heat insulation insert 12 may be provided with an electrically conductive coating, via which the electrical measurement signals generated by the measuring elements 52 can be derived in a conventional manner to the housing 3.
[0028] Zusätzlich oder alternativ dazu ist hier eine Wärmeisolation 11 vorgesehen, welche den Wärmefluss im Druckübertragungselement unterbricht, indem diese Wärmeisolation 11 radial ausgestaltet ist über den gesamten Querschnitt des Druckübertragungselements 51 verläuft. Auch diese besteht bevorzugt aus einer schlecht wärmeleitenden Keramik. In einer besonderen Ausführungsform kann das Druckübertragungselement 51 selbst die Wärmeisolation 11 sein, wobei es dann beispielsweise aus Zirkonoxid oder aus Quarz ist. Additionally or alternatively, a heat insulation 11 is provided here, which interrupts the heat flow in the pressure transmission element by this heat insulation 11 is configured radially over the entire cross section of the pressure transmission element 51 extends. This, too, preferably consists of a poorly heat-conducting ceramic. In a particular embodiment, the pressure transmission element 51 itself may be the heat insulation 11, in which case it may be zirconium oxide or quartz, for example.
[0029] Die hier beschriebenen Wärmeisolationen 11, 12 lassen sich auch in den Anordnungen der Fig. 2, 3, 5 und 6 zusätzlich einbauen, um den Wärmeschutz zu verbessern. The heat insulation 11, 12 described here can also be incorporated in the arrangements of FIGS. 2, 3, 5 and 6 in addition to improve the thermal protection.
[0030] Diese hier genannte Massnahme der Wärmeisolation vor dem Messelement 52 ist auch an sich, das heisst ohne die Verwendung einer erfindungsgemäss angegebenen Wärmeleitbrücke 7, sehr zweckmässig, um den Wärmefluss ins Messelement zu reduzieren. Diese Lösung ist insbesondere auch für Sensoren in heissen Prozessen von Vorteilen, um die langzeitliche Mitteltemperatur zu senken. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, als Wärmeisolation 11 und/oder als Wärmeisolationseinlage 12 ein Material einer Wärmeleitfähigkeit von höchstens 15 W/m’K bei 20 °C, bevorzugt von höchstens 3 W/m’K bei 20 °C zu verwenden, bei einer Mindestdicke von 0.3 mm oder 0.5 mm. This measure of the heat insulation before the measuring element 52 mentioned here is also very practical, ie without the use of a heat transfer bridge 7 according to the invention, very expedient in order to reduce the heat flow into the measuring element. This solution is particularly advantageous for sensors in hot processes to lower the long-term average temperature. It has proved to be advantageous to use a material of a thermal conductivity of at most 15 W / m'K at 20 ° C., preferably of at most 3 W / m'K at 20 ° C., as heat insulation 11 and / or as heat insulation insert 12 a minimum thickness of 0.3 mm or 0.5 mm.
[0031] Um auch den axialen Wärmefluss vom Druckübertragungselement 51 auf das Gehäuse 3 zu verbessern, ist in Fig. 5 eine Variante mit Vorspannfeder 9 dargestellt. Diese erzeugt die gewünschte Vorspannung auf das Messelement 52 und verläuft in axialer Richtung. An dieser Vorspannfeder 9 ist hier die Wärmeleitbrücke 7 vorgesehen, die im vorliegenden Beispiel eine Beschichtung aus einem gut wärmeleitenden Metall ist. Diese Wärmeleitbrücke 7 kann innen und/oder aussen an der Vorspannfeder angebracht sein. In der Fig. 5 ist sie nur aussen dargestellt. In order to improve the axial heat flow from the pressure transmission element 51 to the housing 3, a variant with biasing spring 9 is shown in Fig. 5. This generates the desired bias on the measuring element 52 and extends in the axial direction. At this biasing spring 9, the heat transfer bridge 7 is provided here, which is a coating of a good heat conducting metal in the present example. This Wärmeleitbrücke 7 may be mounted on the inside and / or outside of the biasing spring. In Fig. 5, it is shown only outside.
[0032] Auch hier können oben beschriebene Lösungen nach Fig. 2, 3oder 4 zusätzlich angebracht sein. Somit wird bei dem für die Praxis besonders wichtigem Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 2durch die Kombination von axial und radial wirkenden Wärmeleitbrücken eine besonders gleichmässige Wärmeableitung auf das Gehäuse 3 gewährleistet, so dass das Messelement 52 optimal gegen eine zu hohe Wärmebelastung geschützt ist. Again, solutions described above can be additionally attached according to Fig. 2, 3 or 4. Thus, in the embodiment of FIG. 2 which is particularly important for practice, a particularly uniform heat dissipation to the housing 3 is ensured by the combination of axially and radially acting heat conducting bridges, so that the measuring element 52 is optimally protected against excessively high heat load.
[0033] Die Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemässen Drucksensors 1, bei welchem im Gegensatz zu den zuvor erläuterten Beispielen die Messeinrichtung nicht durch stabförmige Messelemente 52, sondern im Wesentlichen durch einen Stapel von Messelementen 52 gebildet ist, die mit einer Vorspannschraube 91 vorgespannt sind. Auch hier sind allerdings stabförmige Messelemente 52 und andere bauliche Massnahmen, wie in Fig. 2-5dargestellt und beschrieben, auch möglich. Fig. 6 shows another embodiment of a pressure sensor according to the invention 1, wherein in contrast to the previously explained examples, the measuring device is not formed by rod-shaped measuring elements 52, but essentially by a stack of measuring elements 52, which with a biasing screw 91st are biased. However, rod-shaped measuring elements 52 and other structural measures, as illustrated and described in FIGS. 2-5, are also possible here as well.
[0034] Die erfindungsgemässe Wärmeleitbrücke 7 ist hier dadurch realisiert, dass an der Vorspannschraube 91 eine Wärmeleitbeschichtung aus gut wärmeleitendem Material vorgesehen ist, das die über das Druckübertragungselement 51 in den Drucksensor 1 eingetragene Wärme an den Messelementen 52 vorbei in axialer Richtung in den oberen (hinteren) Teil des Gehäuses 3 ableitet. Es versteht sich dabei von selbst, dass in einem anderen Ausführungsbeispiel der Fig. 6auch noch zusätzliche Wärmeleitbrücken 7 vorgesehen sein können, wie sie beispielhaft anhand der Fig. 2 und Fig. 3 beschrieben wurden. The inventive Wärmeleitbrücke 7 is here realized by the fact that on the biasing screw 91 a Wärmeleitbeschichtung of good heat conducting material is provided, the heat introduced via the pressure transmission element 51 in the pressure sensor 1 heat past the measuring elements 52 in the axial direction in the upper ( rear) part of the housing 3 derives. It goes without saying that in another embodiment of FIG. 6, additional heat conducting bridges 7 can also be provided, as described by way of example with reference to FIGS. 2 and 3.
[0035] In der Fig. 7 ist eine weitere erfindungsgemässe Ausführungsform einer Wärmeleitbrücke 7 dargestellt, welche in den vorgenannten Beispielen ebenfalls angewandt werden kann. Dargestellt ist ein Laminat als Wärmeleitbrücke 7. Bei diesem Laminat ist die Wärmeleitbrücke 7 nicht, wie in den vorgenannten Beispielen, als äussere Beschichtung auf einem Bauteil (6, 9, 91, 13) aufgebracht sondern inmitten einer Stahlverbindung angeordnet. Das Laminat der Fig. 7 umfasst zwei äussere Stahllagen 14, verbunden durch eine Wärmeleitbrücke 7. Diese ist vorzugsweise aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit wie beispielsweise Kupfer, Silber oder Gold. Abgesehen von gut wärmeleitenden Metallen sind weitere bevorzugte Materialien für solche Schichten beispielsweise Siliziumcarbid, Aluminiumnitrid, Berylliumoxid und Diamant. In Fig. 7, another embodiment of the invention a Wärmeleitbrücke 7 is shown, which can also be applied in the aforementioned examples. Shown is a laminate as Wärmeleitbrücke 7. In this laminate, the heat transfer bridge 7 is not, as in the aforementioned examples, as an outer coating on a component (6, 9, 91, 13) applied but arranged in the middle of a steel connection. The laminate of FIG. 7 comprises two outer steel layers 14 connected by a heat conducting bridge 7. This is preferably made of a material with high thermal conductivity such as copper, silver or gold. Apart from highly thermally conductive metals, other preferred materials for such layers include silicon carbide, aluminum nitride, beryllium oxide, and diamond.
[0036] Das Laminat kann insbesondere als Membrane 6 ausgestaltet sein, als Vorspannfeder 9, als Vorspannschraube oder -bolzen 91 oder als Innenaufbau 13. The laminate may in particular be configured as a diaphragm 6, as a biasing spring 9, as a preloading screw or bolt 91 or as an inner structure 13th
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
[0037] <tb>1<sep>Drucksensor <tb>2<sep>Prozessmedium <tb>3<sep>Gehäuse <tb>4<sep>Radialer Ringspalt <tb>5<sep>Messeinrichtung <tb>51<sep>Druckübertragungselement <tb>52<sep>Messelement <tb>53<sep>Zugangskanal für Messelement-Leitungen oder Lichtleiter <tb>500<sep>krafteinleitende Fläche <tb>501<sep>ladungsabgebende Seitenfläche <tb>6<sep>Dichtmembran <tb>7<sep>Wärmeleitbrücke <tb>8<sep>Elektroden <tb>9<sep>Vorspannfeder <tb>91<sep>Vorspannschraube, Vorspannbolzen <tb>10<sep>Auflagerelement <tb>11<sep>Wärmeisolation <tb>12<sep>Wärmeisolationseinlage <tb>13<sep>Innenaufbau <tb>14<sep>Stahllagen <tb>P<sep>Betriebsdruck[0037] <Tb> 1 <sep> Pressure Sensor <Tb> 2 <sep> Process medium <Tb> 3 <sep> Housing <tb> 4 <sep> Radial annular gap <Tb> 5 <sep> measuring device <Tb> 51 <sep> pressure transmission element <Tb> 52 <sep> measuring element <tb> 53 <sep> Access channel for measuring element cables or optical fibers <tb> 500 <sep> force-introducing surface <tb> 501 <sep> Charge Side Panel <Tb> 6 <sep> sealing membrane <Tb> 7 <sep> heat conducting bridge <Tb> 8 <sep> electrodes <Tb> 9 <sep> biasing spring <tb> 91 <sep> Preload screw, preload bolt <Tb> 10 <sep> Support element <Tb> 11 <sep> thermal insulation <Tb> 12 <sep> heat insulation insert <Tb> 13 <sep> internal structure <Tb> 14 <sep> steel layers <Tb> P <sep> Operating Pressure
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| Country | Link |
|---|---|
| CH (1) | CH704445A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105806548A (en) * | 2014-09-23 | 2016-07-27 | 罗斯蒙特公司 | Cooling of industrial process variable transmitter |
| DE102015001213A1 (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | Imes Gmbh | Diaphragm pressure sensor with a heat distribution body |
| DE102016114918B3 (en) * | 2016-08-11 | 2017-11-02 | Pyro Science Gmbh | Device for determining the concentration of an analyte in a gaseous medium |
| US11313747B2 (en) | 2014-09-30 | 2022-04-26 | Rosemount Inc. | Fill fluid thermal management |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57124225A (en) * | 1981-01-23 | 1982-08-03 | Nippon Soken Inc | Pressure detector |
| JPS59116025A (en) * | 1982-12-23 | 1984-07-04 | Nippon Soken Inc | Pressure detector |
| EP0179611A2 (en) * | 1984-10-26 | 1986-04-30 | Texas Instruments Incorporated | Cylinder pressure transmitter for an internal combustion engine |
| DE4332539A1 (en) * | 1993-09-24 | 1995-03-30 | Bosch Gmbh Robert | Pressure transmitter for registering the pressure in the combustion chamber of internal combustion engines |
| US20060070447A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-06 | Mks Instruments, Inc. | High-temperature reduced size manometer |
| AT504485A4 (en) * | 2006-11-22 | 2008-06-15 | Piezocryst Advanced Sensorics | PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR |
-
2011
- 2011-02-02 CH CH00191/11A patent/CH704445A1/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57124225A (en) * | 1981-01-23 | 1982-08-03 | Nippon Soken Inc | Pressure detector |
| JPS59116025A (en) * | 1982-12-23 | 1984-07-04 | Nippon Soken Inc | Pressure detector |
| EP0179611A2 (en) * | 1984-10-26 | 1986-04-30 | Texas Instruments Incorporated | Cylinder pressure transmitter for an internal combustion engine |
| DE4332539A1 (en) * | 1993-09-24 | 1995-03-30 | Bosch Gmbh Robert | Pressure transmitter for registering the pressure in the combustion chamber of internal combustion engines |
| US20060070447A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-06 | Mks Instruments, Inc. | High-temperature reduced size manometer |
| AT504485A4 (en) * | 2006-11-22 | 2008-06-15 | Piezocryst Advanced Sensorics | PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105806548A (en) * | 2014-09-23 | 2016-07-27 | 罗斯蒙特公司 | Cooling of industrial process variable transmitter |
| CN105806548B (en) * | 2014-09-23 | 2019-06-07 | 罗斯蒙特公司 | The cooling of industrial process variable transmitter |
| US11313747B2 (en) | 2014-09-30 | 2022-04-26 | Rosemount Inc. | Fill fluid thermal management |
| DE102015001213A1 (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | Imes Gmbh | Diaphragm pressure sensor with a heat distribution body |
| DE102015001213B4 (en) * | 2015-01-30 | 2017-11-02 | Imes Gmbh | Diaphragm pressure sensor with a heat distribution body |
| DE102016114918B3 (en) * | 2016-08-11 | 2017-11-02 | Pyro Science Gmbh | Device for determining the concentration of an analyte in a gaseous medium |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AZW | Rejection (application) |