WO2026029136A1 - 振動アクチュエータ及び電子機器 - Google Patents

Abstract

振動アクチュエータは、コイルを有する固定体と、コイルの径方向内側に配置されるマグネットを有し、コイルを流れる電流とマグネットの磁場との相互作用により、固定体に対して、コイルの径方向と直交する振動方向に振動する可動体と、を有し、固定体は、マグネットの外周で前記マグネットを囲むように配置され、磁場内での可動体の移動に伴って渦電流を発生し、磁場との相互作用により可動体の振動を制動する渦電流制動部を有する。

Description

振動アクチュエータ及び電子機器

　本発明は、振動アクチュエータ及びこれを備える電子機器に関する。

　従来、振動機能を有する電子機器には、振動発生源として振動アクチュエータが実装されている。電子機器は、振動アクチュエータを駆動してユーザに振動を伝達して体感させることにより、着信を通知したり、操作感や臨場感を向上したりすることができる。ここで、電子機器は、携帯型ゲーム端末、据置型ゲーム機のコントローラー（ゲームパッド）、携帯電話やスマートフォンなどの携帯通信端末、タブレットＰＣなどの携帯情報端末、服や腕などに装着されるウェアラブル端末の携帯できる携帯機器を含む。

　携帯機器に実装される小型化可能な構造の振動アクチュエータとしては、例えば、特許文献１に示すように、ページャー等に用いられる振動アクチュエータが知られている。

　この振動アクチュエータは、一対の板状弾性体を相対向するようにして円筒状の枠体の開口縁部でそれぞれ支持させている。板状弾性体のそれぞれは、一端部を固定体に固定し、他端部を可動体に固定して配設されている。一対の板状弾性体のうちの一方の渦巻型形状の板状弾性体は、一端部である外周部分を枠体の底部に配置し、この外周部分から他端部である中央部分が盛り上がるように形成されている。この中央部分には、磁石を取り付けたヨークが固定され、ヨークは枠体内で支持されている。

　ヨークは磁石とともに磁界発生体を構成し、この磁界発生体の磁界内に、コイルが他方の板状弾性体に取り付けた状態で配置されている。コイルは、銅線の表面に樹脂を焼き付けたエナメル線を用いて円筒状体に構成され、所謂、自己融着線を用いた空芯コイルであり、配置スペースは小さくなっている。このコイルに発振回路を通じて周波数の異なる電流を流すことにより一対の板状弾性体は選択的に共振して振動を発生し、ヨークは枠体内で枠体の中心線方向で振動する。

特許第３７４８６３７号公報 実開昭５９－１９１４２７号公報

　ところで、特許文献１のように共振により駆動するアクチュエータは、可動体であるヨークの共振周波数に振動加速度のピークがあり、そのピークは急峻である。このため、従来の振動アクチュエータでは、広い周波数の範囲で強い振動を得ようとする場合、出力を低下させることなく、振動を好適に調整したいという要望があった。

　本発明の目的は、広い周波数の範囲で高い出力の振動を発生する振動アクチュエータ及び電子機器を提供することである。

　本発明の振動アクチュエータの一つの態様は、
　コイルを有する固定体と、
　前記コイルの径方向内側に配置されるマグネットを有し、前記コイルを流れる電流と前記マグネットの磁場との相互作用により、前記固定体に対して、前記コイルの径方向と直交する振動方向に振動する可動体と、
　を有し、
　前記固定体は、
　前記マグネットの外周で前記マグネットを囲むように配置され、前記磁場内での前記可動体の移動に伴って渦電流を発生し、前記磁場との相互作用により前記可動体の振動を制動する渦電流制動部を有する構成を採る。

　本発明の電子機器の一つの態様は、
　上記構成の振動アクチュエータを実装した構成を採る。

　本発明によれば、広い周波数の範囲で高い出力の振動を発生することができる。

図１は、本発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータを示す外観斜視図である。 図２は、同振動アクチュエータにおいてケースから駆動ユニットを外した状態を示す斜視図である。 図３は、駆動ユニットの分解斜視図である。 図４は、同振動アクチュエータの縦断面図である。 図５は、駆動ユニットから可動体を外したコイル組立体の斜視図である。 図６は、コイル組立体の平面図である。 図７は、図１に示す振動アクチュエータの動作を説明する図である。 図８は、従来の振動アクチュエータ及び図１に示す振動アクチュエータについて、駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフである。 図９は、本発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図１０は、駆動ユニットから可動体を外したコイル組立体の斜視図である。 図１１は、コイル組立体の平面図である。 図１２は、本発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータの渦電流制動部の斜視図である。 図１３は、本発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。 図１４は、本発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータのコイル組立体の斜視図である。 図１５は、同平面図である。 図１６は、本発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。 図１７は、本発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。 図１８は、本発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。 図１９は、本発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。 図２０は、本発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータのコイル組立体の斜視図である。 図２１は、本発明の実施の形態７に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。 図２２は、本発明の実施の形態７に係る振動アクチュエータのコイル組立体の斜視図である。 図２３は、本発明の実施の形態８に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図２４は、本発明の実施の形態８に係る振動アクチュエータにおける駆動ユニットの分解斜視図である。 図２５は、本発明の実施の形態９に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図２６は、本発明の実施の形態９に係る振動アクチュエータにおける駆動ユニットの分解斜視図である。 図２７は、本発明の実施の形態１０に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図２８は、本発明の実施の形態１０に係る振動アクチュエータにおける駆動ユニットの分解斜視図である。 図２９は、実施の形態１に係る振動アクチュエータと、実施の形態８から１０の振動アクチュエータについて、駆動周波数と振動加速度との関係の一例を示すグラフである。 図３０は、本発明の実施の形態１１に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図３１は、本発明の実施の形態１２に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図３２は、本発明の実施の形態１３に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図３３は、本発明の実施の形態１４に係る振動アクチュエータの縦断面図である。 図３４は、同振動アクチュエータを実装した電子機器の一例を示す図である。 図３５は、同振動アクチュエータを実装した電子機器の一例を示す図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

　以下の説明において、「上側」及び「下側」等における「上」及び「下」は、各実施の形態に係る振動アクチュエータの構成及び挙動を理解しやすくするために便宜上付与したものである。各実施の形態に係る振動アクチュエータが電気機器（図３４、図３５参照）に搭載される場合には、ここに記載する「上」及び「下」が、逆になってもよいし、左右になってもよいし、斜めになってもよい。ちなみに、各実施の形態において、上下方向は、振動アクチュエータ１における可動体の振動方向であり、「上方向」は振動方向の一方であり、「下方向」は振動方向の他方向である。すなわち、振動アクチュエータは、可動体を上下方向に直線状に振動させるリニアアクチュエータである。

　また、以下の説明において、特に断らない限り、「径方向」とは、振動アクチュエータ１において上下方向に延びる中心軸を中心として放射状又は遠心状に延びる方向（中心軸と直交する方向）を意味する。また、「外側」及び「内側」等における「外」及び「内」は、中心軸ＣＡを中心とする径方向における外方及び内方を意味する。また、特に断らない限り、「周方向」とは、中心軸ＣＡの周りを囲んで延びる方向を意味する。

　また、以下の説明で用いる形状に関する表現は、簡略的な概形説明のための便宜的な表現であって、幾何学的に正確な図形の定義が必ずしも当てはまるものでないことは、言うまでもない。ここに記載する装置全体或いは各構成部品の形状は一例であり、本発明は、各実施の形態で例示した形状に限定されない。

（実施の形態１）
　［振動アクチュエータの全体構成］
　図１は、本発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータを示す外観斜視図であり、図２は、同振動アクチュエータにおいてケースから駆動ユニットを外した状態を示す斜視図である。図３は、駆動ユニットの分解斜視図であり、図４は、同振動アクチュエータの縦断面図である。図５は、駆動ユニットから可動体を外したコイル組立体の斜視図である。図６は、コイル組立体の平面図である。

　本実施の形態１に係る振動アクチュエータ１は、携帯型ゲーム端末機器（例えば、図３４に示すゲームコントローラＧＣ）等の電子機器に振動発生源として実装され、電子機器の振動機能を実現する。この電子機器としては、スマートフォン等の携帯機器（例えば、図３５に示す携帯端末Ｍ）も含む。振動アクチュエータ１は、携帯型ゲーム端末機器或いは、携帯機器等の各機器に実装され、駆動することにより振動して、ユーザに対して着信を通知したり、操作感や臨場感を与えたりする。

　本実施の形態の振動アクチュエータ１は、図１及び図２に示すように、中空のケース１０内に、可動体２０を、ケース１０の軸方向（上下方向）を振動方向として、上下端面間で振動可能に収容している。ケース１０内部の可動体２０が振動することにより、振動アクチュエータ１自体が振動体として機能する。

　振動アクチュエータ１は、図３及び図４に示すように、マグネット３０及び可動体コア４１、４２を有する可動体２０と、コイル６１、６２を有する固定体５０と、可動体２０を固定体５０に対して往復動自在に支持する弾性支持部８１、８２と、を有する。

　振動アクチュエータ１においてコイル６１、６２、マグネット３０及び可動体コア４１、４２は、可動体２０を振動させる磁気回路を構成する。振動アクチュエータ１は、電源供給部（例えば、図３４及び図３５に示す駆動制御部２０３）からコイル６１、６２が通電されることで、コイル６１、６２の電流とマグネット３０による磁場との相互作用が生じる。これにより、ケース１０内で、可動体２０が振動方向に往復移動する。

　本実施の形態の振動アクチュエータ１では、可動体２０は、コイル保持部であるコイルボビン部５２に保持されたコイル６１、６２の内側、詳細には、ボビン本体部（コイル保護壁部）５２２の内側で、上下方向である振動方向で往復移動する。可動体２０は、コイル６１、６２の軸方向は、可動体２０の振動方向であり、マグネット３０の着磁方向であり、コイルボビン部５２の軸方向でもある。

　可動体２０は、振動していない非振動時において、弾性支持部８１、８２を介して、振動方向の長さの中心が、コイルボビン部５２の振動方向の長さの中心と、可動体２０の軸方向と直交する方向で、所定間隔をあけて対向するように配置される。このとき、可動体２０は、コイルボビン部５２のボビン本体部５２２に接触しないように、コイル６１、６２との間で釣り合う位置に位置することが望ましい。例えば、マグネット３０および可動体コア４１、４２における振動方向の長さの中心が、上下で離間するコイル６１、６２間の振動方向の長さ（厚み）の中心に対して、径方向外側（振動方向と直交する方向）で対向する位置に配置される。なお、ボビン本体部５２２と可動体２０の隙間に、磁性流体が介在するようにしてもよい。

　振動アクチュエータ１は、本実施の形態では、図２に示すように、ケース本体１１及び蓋部１２を有するケース１０内に、駆動ユニット１３を収容している。駆動ユニット１３は、コイル６１、６２、コイルボビン部５２、可動体２０及び弾性支持部８１、８２を有する。また、駆動ユニット１３は、コイル６１、６２を外側で覆うアウターヨーク５８を備えてもよい。

＜可動体２０＞
　可動体２０は、固定体５０の筒状のコイルボビン部５２の内側で、上下端部で接続された弾性支持部８１、８２により、コイルボビン部５２の内側面（ボビン本体部５２２の内周面５２ａ）に沿って、往復移動可能に支持される。

　可動体２０は、図３及び図４に示すように、マグネット３０、可動体コア４１、４２、及び錘部２２、２４、固定ピン２６、２８を有する。

　可動体２０は、マグネット３０を中心に振動方向の両側に向かってそれぞれ可動体コア４１、４２、錘部２２、２４が連設される。マグネット３０及び可動体コア４１、４２の外周面２０ａがボビン本体部５２２の内周面５２ａ、具体的には、筒状導体９０の内周面に、所定間隔を空けて対向配置されている。

　可動体２０が振動方向に移動する際には、外周面２０ａが内周面５２ａに沿って筒状導体９０に対向して、筒状導体９０に接触することなく往復移動する。

　マグネット３０は、振動方向に着磁される。マグネット３０は、本実施の形態では円盤状に形成され、振動方向で離間する表裏面３０ａ、３０ｂがそれぞれ異なる極性を有している。マグネット３０の表裏面３０ａ、３０ｂは、コイル６１、６２の軸の延在方向で離間する２つの着磁面である。

　マグネット３０は、コイル６１、６２（詳細は後述する）に対して、コイル６１、６２の径方向内側で間隔を空けて位置するように配置されている。ここで、「径方向」とは、コイル６１、６２の軸に直交する方向であり、振動方向である上下方向と直交する方向でもある。この径方向における「間隔」は、ボビン本体部５２２を含むコイル６１、６２と、マグネット３０との間の間隔を意味してもよい。また、可動体２０の振動方向に互いに接触することなく移動可能な間隔であるが、ボビン本体部５２２とマグネット３０との間の所定間隔としてもよい。

　マグネット３０は、本実施の形態では、径方向外側で、ボビン本体部５２２の中心と、対向するように配置されている。なお、マグネット３０は、コイル６１、６２の内側で、コイル６１、６２の軸の延在方向に２つの着磁面をそれぞれ向けて配置されるものであれば、筒状、板形状等のように円盤状以外の形状であってもよい。また、マグネット３０の軸方向の中心が、可動体２０の軸方向の中心と一致することが望ましい。

　マグネット３０の表裏面３０ａ、３０ｂには、それぞれ可動体コア４１、４２が設けられている。マグネット３０は、例えばネオジウム焼結材により形成される。

　可動体コア４１、４２は、磁性体であり、ヨークとして機能し、マグネット３０、コイル６１、６２ともに磁気回路を構成する。可動体コア４１、４２は、ＳＥＣＣ等の磁性材料で形成されている。可動体コア４１、４２は、マグネット３０とともに可動体側磁気回路を構成する。可動体コア４１、４２は、マグネット３０の磁束を集中させて、漏らすことなく効率良く流し、マグネット３０とコイル６１、６２間に流れる磁束を効果的に分布させる。

　また、可動体コア４１、４２は、磁気回路の一部としての機能の他、可動体２０において、可動体２０の本体部分としての機能、錘部２２、２４を固定する機能、及び、ウェイトとしての機能を有する。

　可動体コア４１、４２は、マグネット３０と同外径及び同表面形状を有する。可動体コア４１、４２は、円環平板状に形成され、外周面がマグネットの外周面と面一となるようにマグネット３０に固定される。可動体コア４１、４２は、マグネット３０の外周面とともに可動体２０の外周面２０ａを構成する。

　可動体コア４１、４２は、本実施の形態では同様に形成された同じ形状で形成された同じ部材である。可動体コア４１、４２は、本実施の形態では、マグネット３０を中心に、マグネット３０を挟むようにマグネット３０の上下に対称に設けられている。なお、可動体コア４１、４２は、マグネット３０に吸引されるとともに、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化型接着剤もしくは嫌気性接着剤によりマグネット３０に固定される。

　可動体コア４１、４２のそれぞれの中央部には、上下の錘部２２、２４が嵌合する嵌合口４１１、４２１が設けられている。嵌合口４１１、４２１には、上下の錘部２２、２４が同一軸で挿入されている。

　本実施の形態では、可動体コア４１、４２は、可動体２０の非振動時において、コイル６１、６２の内側（径方向内側）で、コイル６１、６２の軸方向と直交する方向で、コイル６１、６２のそれぞれに対向するように位置する。

　錘部２２、２４は、可動体２０の錘であり、非磁性体であることが好ましい。錘部２２、２４は、例えば、ＳＵＳで形成される。また、錘部２２、２４は、可動体側磁気回路（マグネット３０及び可動体コア４１、４２）を弾性支持部８１、８２に固定する。錘部２２、２４は、マグネット３０及び可動体コア４１、４２を挟むように上下で対称に設けられている。これにより、錘部２２、２４は、可動体２０において、上下の方向での重量のバランスがよく、可動体２０の振動出力を増加させている。

　錘部２２、２４は、本実施の形態では、可動体２０の中心軸に沿って配置される可動体２０の軸として機能する筒状体であり、可動体コア４１、４２と、弾性支持部８１、８２との間に介設される。

　錘部２２、２４は、同形状に形成され、接合部２２２、２４２と、ばね固定部２２４、２４４とを有する。これら接合部２２２、２４２とばね固定部２２４、２４４とが、それぞれ振動方向（具体的には上下方向）に連設されている。

　錘部２２、２４は、貫通する貫通孔を有しており、貫通孔内に錘を追加できる。これにより錘部２２、２４は重量調整部として機能されてもよい。貫通孔内に錘を追加することにより可動体２０を重くして、可動体２０の振動出力を大きくすることができる。

　接合部２２２、２４２は、他端部側を可動体コア４１、４２の嵌合口４１１、４２１にそれぞれ挿入して内嵌されている。錘部２２、２４は、可動体コア４１、４２に圧入或いは、エポキシ樹脂等の熱硬化型接着剤や嫌気性接着剤を用いた接着により固定されてもよい。

　ばね固定部２２４、２４４は、可動体２０の振動方向の両端部の夫々を構成する。上側のばね固定部２２４は、弾性支持部８１である上側板ばねの内径側の端部（他端部）である内周部８０２に接合されている。ばね固定部２２４は、錘部２２において、接合部２２２から上に突出するように配置され、その先端で、固定ピン２６を介して弾性支持部８１の内周部８０２に接合されている。

　一方、下側のばね固定部２４４は、弾性支持部８２である下側板ばねの内径側の端部である内周部８０２に接合されている。ばね固定部２４４は、錘部２４において、接合部２４２から下に突出するように設けられ、その先端で、固定ピン２８を介して弾性支持部８２の内周部８０２に接合されている。

　固定ピン２６、２８は、弾性支持部８１、８２と可動体２０とを、可動体２０の振動により外れないように強固に固定する。

　固定ピン２６、２８は、本実施の形態では同形状に形成されたリベットであり、夫々、ばね固定部２２４、２４４に圧入可能な軸状のピン本体２６２、２８２と、ピン本体２６２、２８２の一端側の縁部に設けられたフランジ２６４、２８４とを有する。

　ピン本体２６２、２８２は、弾性支持部８１、８２のそれぞれの内周部８０２を、ばね固定部２２４、２４４に重ねた状態で、内周部８０２の開口を介して、ばね固定部２２４、２４４の貫通孔に圧入されている。これにより、フランジ２６４、２８４は、ばね固定部２２４、２４４とで弾性支持部８１、８２の内周部８０２を挟持して、弾性支持部８１、８２を強固に接合する。

　なお、弾性支持部８１、８２の内周部８０２と、ばね固定部２２４、２４４とは、溶接、接着、または、カシメ等により接合されてよく、更には溶接、接着、または、カシメを組み合わせて接合されてもよい。

　錘部２２、２４が、可動体２０において、可動体側磁気回路に対して振動方向で離間する両端部（上下端部）に配置されている。また、錘部２２、２４は、錘機能とばね固定機能を有するため、それぞれの機能を有する部材を個々に組み立てる必要が無い。なお、錘部２２、２４は、磁性材料により形成されてもよいが、非磁性材料であるので、可動体コア４１、４２からの磁束が上方及び下方に流れることがなく、効率良く可動体コア４１、４２の外周側に位置するコイル６１、６２側に流れている。

＜固定体５０＞
　固定体５０は、コイル６１、６２を保持するとともに、コイル６１、６２の径方向内側で、可動体２０を、弾性支持部８１、８２を介して振動方向（コイル軸方向、可動体２０の軸方向）に移動自在に支持する。

　固定体５０は、ケース１０、コイル６１、６２、コイルボビン部５２、アウターヨーク５８、及び、渦電流制動部としての筒状導体（導電体）９０を有する。

　コイル６１、６２、コイルボビン部５２及び筒状導体９０によりコイル組立体１５は、構成されている。本実施の形態では、コイル組立体１５に、弾性支持部８１、８２を介した可動体２０及びケース１０等の振動を発生させる構成要素が略全て接続されることにより、振動アクチュエータ１は構成されている。

　コイルボビン部５２は、外周面に巻回されるコイル６１、６２を保持し、内周面５２ａでマグネット３０を囲み、マグネット３０を有する可動体２０の移動を案内する。

　コイルボビン部５２は、フェノール樹脂、ポリブチレンテレフタレート（ｐｏｌｙ　ｂｕｔｙｌｅｎｅ　ｔｅｒｅｐｈｔａｌａｔｅ；ＰＢＴ）等の樹脂により形成された筒状体である。コイルボビン部５２は、本実施の形態では、難燃性の高いベークライト等のフェノール樹脂を含む素材で構成される。

　コイルボビン部５２が、フェノール樹脂を含む素材で構成されることにより、難燃性が高まり、保持するコイル６１、６２に電流が流れた際にジュール熱により発熱しても、駆動の際の安全性の向上を図ることができる。また、寸法精度が高まり、コイル６１、６２の位置精度が高まるため、振動特性のばらつきを低減出来る。

　コイルボビン部５２は、筒状のボビン本体部５２２と、ボビン本体部５２２の外周から放射方向に突出する中央フランジ部５２６及びフランジ部５２７、５２８と、端子引き出し部５３０と、可動範囲形成部５４とを有する。

　コイルボビン部５２には、コイル６１、６２が巻回される。このコイル６１、６２は、アウターヨーク５８により覆われる。なお、端子絡げ部（コイル結線部）５３は、便宜上、端子絡げ部（コイル結線部）５３－１、５３－２と図示して説明することもある。

　ボビン本体部５２２は、内側に配置される可動体２０の駆動時におけるコイル６１、６２への衝突を保護する保護壁部として機能している。ボビン本体部５２２の厚みは、移動する可動体２０が接触しても、外周側のコイル６１、６２に何ら影響を与えない強度をする厚みである。

　ボビン本体部５２２の外周側には、中央フランジ部５２６と各フランジ部５２７、５２８間で、凹状のコイル取付部５２ｂ、５２ｃが形成されている。コイル取付部５２ｂ、５２ｃには、コイル６１、６２が配置されている。コイル６１、６２は、可動体２０の可動体コア４１、４２の外周面（マグネット３０及び可動体コア４１、４２の外周面）を囲むようにコイル軸方向に並んで配置される。

　端子引き出し部５３０は、中央フランジ部５２６から径方向外側に張り出すように設けられている。端子引き出し部５３０は、アウターヨーク５８の開口部５８２に篏合して、アウターヨーク５８の回転止めとして機能する。端子引き出し部５３０には、コイル６１、６２に接続される端子である端子絡げ部（コイル結線部）５３（５３－１、５３－２）が突設されて外部に露出する。

　端子絡げ部５３は、図３に示すように、コイル６１、６２の端部のコイル巻線を絡げて、外部機器と接続するコネクタ結線部として機能する。端子絡げ部５３を介してコイル６１、６２と外部機器とが接続され、コイル６１、６２とコイル６１、６２に電力が供給される。

　端子絡げ部５３は、ボビン本体部５２２の外周において振動方向の中心に配置される中央フランジ部５２６の外周面に取り付けられ、且つ、中央フランジ部５２６の外周面から突出するように配置されている。

　フランジ部５２７、５２８は、ボビン本体部５２２の軸方向（本実施の形態では振動方向であり、上下方向でもある）で離間する両端部に設けられ、コイルボビン部５２の上下端部を構成する。

　フランジ部５２７、５２８は、中央フランジ部５２６から離間する方向側の端部（本実施の形態では上下端部）で、弾性支持部８１、８２が固定される。

　可動範囲形成部５４は、コイルボビン部５２の上下端部に夫々上下方向で突設されている。可動範囲形成部５４は、ケース１０内にコイルボビン部５２を収容した際に、ケース１０の蓋部１２及び底部１１４と、可動体２０との間の振動範囲を形成する。可動範囲形成部５４は、フランジ部５２７、５２８の円環状の上下の開口端面（それぞれ「上端面、下端面」とも称する）５２７ａ、５２８ａにおいて、所定間隔を空けて設けられている。上端面５２７ａは、一方側の開口端面であり、下端面５２８ａは、他方側の開口端面を意味している。

　これにより、弾性支持部８１、８２は、複数の構成部品を介して固定体側に固定されることがない。これにより、部品公差に影響されにくい構造で、回転するような周方向及び径方向への移動が規制され、製品として、弾性支持部８１、８２のバラツキを抑制し、安定した特性を実現できる。

　フランジ部５２７、５２８は、アウターヨーク５８に係合する、アウターヨーク位置出し用の位置決め係合部５２９（図４参照）を有する。位置決め係合部５２９は、フランジ部５２７、５２８の外周部、つまり、コイルボビン部５２の外径部に設けられ、アウターヨーク５８を、コイル６１、６２を囲む位置に位置させる。

　位置決め係合部５２９は、フランジ部５２７、５２８の夫々の外周部において、中央フランジ部５２６側に開口する段差部であり、アウターヨーク５８の上下端部と係合する。位置決め係合部５２９にアウターヨーク５８が係合することにより、コイルボビン部５２に巻回されるコイル６１、６２に対してアウターヨーク５８をずれること無く配置して、安定した磁気特性を得ることができる。

＜コイル６１、６２＞
　コイル６１、６２は、振動アクチュエータ１において、コイル６１，６２の軸方向（マグネット３０の着磁方向）を振動方向として、マグネット３０及び可動体コア４１、４２とともに、振動アクチュエータ１の駆動源の発生に用いられる。コイル６１、６２は、駆動時（振動時）に通電されて、マグネット３０とともにボイスコイルモータを構成する。

　コイル６１、６２は、コイル取付部５２ｂ、５２ｃ内に配置され、コイル６１、６２は、可動体コア４１、４２に対して振動方向と直交する方向で対向する位置に配置されている。

　コイル６１、６２は、コイルボビン部５２に、コイル軸方向（振動方向）の長さの中心位置が、可動体２０の振動方向の長さの中心位置（マグネット３０の振動方向の中心位置）と、振動方向で略同じ位置（同じ位置も含む）となるように、保持されている。なお、コイル６１、６２は、互いに逆方向に巻回されて構成され、通電時に逆方向に電流が流れるように構成されている。

　コイル６１、６２は、例えば、一本のコイル線をコイル６１、６２で巻回方向を変えて、コイルボビン部５２の外側から、コイル取付部５２ｂ、５２ｃに、巻き付けることにより、コイル取付部５２ｂ、５２ｃ内で円筒状に形成されている。

　コイル６１、６２は、中央フランジ部５２６に凹状に形成された連絡溝部５５（図３参照）を通るコイル線で接続されている。コイル６１、６２を構成する一本のコイル線の夫々の端部６１１、６２１（図１８参照）は、中央フランジ部５２６の端子絡げ部５３（５３－１、５３－２）に絡げて接続されている。

　コイル６１、６２は、端子絡げ部５３を介して、電源供給部（例えば、図３４及び図３５に示す駆動制御部２０３）に接続される。例えば、コイル６１、６２のそれぞれの端部は、交流供給部に接続され、交流供給部からコイル６１、６２に交流電源（交流電圧）が供給される。これにより、コイル６１、６２はマグネットとの間に、互いの軸方向で互いに接離方向に移動可能な推力を発生できる。

　コイル６１、６２のコイル軸は、コイルボビン部５２の軸、或いは、マグネット３０の軸と同軸上に配置されることが好ましい。

　この構成により、コイル６１、６２を有するコイルボビン部５２は、コイル６１、６２の円筒状体をそれぞれ維持するために、コイルを自己融着線を用いずに組み立てることができる。つまり、コイルとして空芯コイルを用いる必要がないので、コイル６１、６２自体の低コスト化、ひいては、振動アクチュエータ全体を低コスト化できる。

　また、コイル６１、６２は、ケース１０の内側で、外周面をアウターヨーク５８により囲まれ、コイル取付部内で封止される。

＜筒状導体（渦電流制動部）９０＞
　筒状導体９０は、導電部材からなる筒状体であり、コイル６１、６２の内側における可動体２０の移動に伴って渦電流を発生する。筒状導体９０は、発生した渦電流と、マグネット３０の磁場との相互作用により、可動体２０の移動を制動する。

　筒状導体９０は、コイル６１、６２の径方向内側で、マグネット３０の外周でマグネット３０を囲むように配置されている。

　筒状導体９０は、コイルボビン部５２（詳細にはボビン本体部５２２）の内周面に貼着されることで周方向に渡って配置されている。筒状導体９０は、可動体２０に対して、マグネット３０に対向しマグネット３０に径方向で最も近い位置に配置されている。

　筒状導体９０は、導電性のある導電材料から構成されており、導電率が高い材料、例えば、銅、アルミニウムやそれらを含む合金から構成されることが望ましい。筒状導体９０は、例えば、円筒状に加工した銅板により形成されている。筒状導体９０は、マグネット３０の磁場との相互作用により、後述するように可動体の振動を制動する。

　具体的には、可動体２０は、コイル６１、６２に電流が流れると、マグネット３０の磁場から受ける力により、振動方向に移動するが、このとき、筒状導体９０において磁束の変化が生じ、当該磁束の変化を打ち消すように、筒状導体９０には渦電流が生じる。

　渦電流は、マグネット３０の磁場との相互作用により、ローレンツ力による可動体２０の移動を制動する方向に働く力を発生する。これにより、可動体２０の振動は、制動されることになる。

　このように筒状導体９０は、可動体２０の駆動に伴い発生する渦電流を用いて、可動体２０の移動を制動する制動機能を有する。なお、この制動、つまり、可動体２０の振動の減衰は、筒状導体９０のマグネット３０との距離と、筒状導体９０の面積と、筒状導体９０の厚みによって設定できる。

＜アウターヨーク５８＞
　アウターヨーク５８は、コイルボビン部５２の外周面を囲み、コイル６１、６２を径方向外側で覆う位置に配置される筒状の磁性体である。アウターヨーク５８は、コイルボビン部５２の端子引き出し部５３０及び位置決め係合部５２９を介してコイルボビン部５２に位置決めされる。

　アウターヨーク５８は、ＳＥＣＣ等の磁性部材により形成されている。アウターヨーク５８は、コイル６１、６２とともに固定体側磁気回路を構成し、電磁シールドとして機能する。アウターヨーク５８は、可動体側磁気回路、つまり、マグネット３０及び可動体コア４１、４２とともに構成する磁気回路において、振動アクチュエータ１の外部への漏れ磁束を防止する。

　アウターヨーク５８は、アウターヨーク５８の振動方向の長さの中心を、アウターヨーク５８の内側に配置されるマグネット３０の振動方向の中心と同じ高さとなる位置となるように配置されている。このアウターヨーク５８のシールド効果により、振動アクチュエータ１の外側への漏えい磁束の低減を図ることができる。

　また、アウターヨーク５８は、磁気回路において、推力定数を大きくして電磁変換効率を高めることができる。アウターヨーク５８は、マグネット３０の磁気吸引力を利用して、マグネット３０とともに磁気ばねとしての機能を有する。磁気ばねは、弾性支持部８１、８２を機械バネにした際の応力を低下させることができ、弾性支持部８１、８２の耐久性を向上させることができる。

＜弾性支持部８１、８２＞
　弾性支持部８１、８２は、可動体２０を固定体５０に対して振動方向に往復移動自在に支持する。

　弾性支持部８１、８２は、可動体２０の振動方向で、可動体２０を挟み、且つ、可動体２０と固定体５０との双方に振動方向と交差するように架設されている。弾性支持部８１、８２は、可動体２０において振動方向で離間する両端部（上下端部）で互いに離間して配置され、固定体５０と接続する。本実施の形態では、弾性支持部８１、８２は、それぞれ振動方向と直交する方向で互いに対向して配置されている。

　弾性支持部８１、８２では、可動体２０の軸方向（振動方向）で離れる両端部（ばね固定部２２４、２４４）に、それぞれの内周部８０２が嵌合されている。また、外周固定部８０６側が、可動体２０に、径方向外側（放射方向）に張り出すように取り付けられる。

　弾性支持部８１、８２は、可動体２０を、可動体２０の可動体の非振動時及び振動時において、固定体５０に接触しないように支持する。なお、弾性支持部８１、８２は、可動体２０の駆動（振動）時において、可動体２０のボビン本体部５２２の内周面５２ａに接触しても、磁気回路自体、具体的には、コイル６１、６２自体に直接接触することがないので、コイル６１、６２が損傷することはない。弾性支持部８１、８２は、可動体２０を可動自在に弾性支持するものであれば、どのようなもので構成されてもよい。弾性支持部８１、８２は、本実施の形態では同様の構成を有する同部材である。

　弾性支持部８１、８２は、非磁性体であってもよいし磁性体（具体的には、強磁性体）であってもよい。弾性支持部８１、８２は、非磁性体の板ばねであれば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等のステンレス鋼板を用いて構成されてもよい。また、弾性支持部８１、８２が磁性体であれば、元々、非磁性体であるがプレス等の加工により磁性化するＳＵＳ３０１等のステンレス鋼板を適用可能である。弾性支持部８１、８２の材料としては、例えば、プレス等の加工を行っても非磁性を維持する材料(ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等)に比べて、プレス等の加工より磁性化する材料（例えば、ＳＵＳ３０１）の方が、耐久性が高く、安価であることが知られている。弾性支持部８１、８２は、本実施の形態では、ＳＵＳ３０１で構成されている。

　弾性支持部８１、８２は、それぞれ平板状の複数の板ばねである。可動体２０は、複数の弾性支持部８１、８２を３つ以上の板ばねとしてもよい。これら複数の板ばねは、振動方向と直交する方向に沿って取り付けられる。

　板ばねである弾性支持部８１、８２は、内側のばね端部である環状の内周部８０２と、外側のばね端部である外周固定部８０６と、が弾性変形する平面視円弧状の変形アーム部８０４により接合された形状を有する。弾性支持部８１、８２のそれぞれにおいて、変形アーム部８０４の変形により、内周部８０２が、外周固定部８０６に対し、軸方向で変位する。

　弾性支持部８１、８２としての板ばねは、本実施の形態では、ステンレス鋼板を用いて板金加工により形成されており、より具体的には、薄い平板円盤状の渦巻型ばねとしている。弾性支持部８１、８２は、平板状であるので、円錐状のばねと比較して、位置精度の向上、つまり加工精度の向上を図ることできる。

　複数の弾性支持部８１、８２は、本実施の形態では、渦巻きの向きが同一となる向きで、それぞれ外周側の一端である外周固定部８０６が固定体５０に固定されるとともに、内周側の他端である内周部８０２が可動体２０に固定されている。弾性支持部８１、８２が、渦巻きの向きが同一となるように、可動体２０に固定されているので、可動体２０の移動量が大きくなったとしても、円滑に動く、つまり、変形することができ、より大きな振幅となり、振動出力を高めることが可能である。但し、所望の可動体２０の振動範囲によっては、複数の弾性支持部８１、８２の渦巻き方向を互いに反対方向とする設計であってもよい。

　内周部８０２は、円環状に形成されている。変形アーム部８０４は、弾性変形可能であり、外周固定部８０６と内周部８０２との間に配置されている。変形アーム部８０４は、一端部で外周固定部８０６と結合し、他端部で内周部８０２と結合している。変形アーム部８０４は、外周固定部８０６と内周部８０２とを連結する。

　板状の弾性支持部８１、８２は、可動体２０に対して、弾性支持部８１、８２のそれぞれの内周部８０２を、可動体２０の振動方向の端部を構成するばね固定部２２４、２４４に重ねて配置されている。弾性支持部８１、８２の内周部８０２が、上述したように、固定ピン２６、２８のフランジ２６４、２８４とばね固定部２２４、２４４とで挟持されることにより固定されている。

　一方、上側の弾性支持部８１の外周固定部８０６は、径方向外側で、コイルボビン部５２の上端部に固定されている。具体的には、弾性支持部８１の外周固定部８０６は、コイルボビン部５２の上端部を形成する上側のフランジ部５２７の環状の上端面５２７ａにおいて、可動範囲形成部５４を避けた部位に固定される。

　弾性支持部８１の外周固定部８０６は、ケース１０内において、フランジ部５２７の環状の上端面５２７ａと蓋部１２の押圧部１２８とに挟持されて固定される。なお、上端面５２７ａは、上側（一方側）のフランジ部５２７の上側（一方側）において、可動範囲形成部５４を避けた部分の上側（一方側）の端面を意味する。

　また、下側の弾性支持部８２の外周固定部８０６は、振動アクチュエータ１において可動体２０よりも径方向外側で、コイルボビン部５２の下端部に固定されている。具体的には、弾性支持部８２の外周固定部８０６は、コイルボビン部５２の下端部を形成する下側のフランジ部５２８の環状の下端面５２８ａにおいて、可動範囲形成部５４を避けた部位に固定される。

　弾性支持部８２の外周固定部８０６は、ケース１０内において、フランジ部５２８の環状の下端面５２８ａと、底部１１４の周縁部に設けられた段差部１１８とに挟持されて固定される。なお、下端面５２８ａは、下側（他方側）のフランジ部５２８の下側（他方側）において、可動範囲形成部５４を避けた部分の上側（他方側）の端面を意味する。

　このように弾性支持部８１、８２は、コイルボビン部５２の上下の開口縁部の上下端面（開口端面）５２７ａ、５２８ａと、ケース１０の蓋部１２及び底部１１４とにより、振動方向と直交する方向に配置された状態で挟持されている。また、コイル６１、６２が巻回されたコイルボビン部５２内に、可動体２０を収容して、可動体２０の上下端部に弾性支持部８１、８２の内周部８０２を固定するとともに、コイルボビン部５２の上端部に弾性支持部８１、８２の外周固定部８０６を固定する。これにより、コイル６１、６２と可動体２０との位置関係が規定された駆動ユニット１３として構成され、ケース１０内に配置し易くなる。

＜ケース１０＞
　蓋部１２及び底部１１４は、本実施の形態における振動アクチュエータ１の天面部１２２、下面部（底部１１４）を構成し、駆動ユニット１３の可動体２０に可動体２０の振動方向で所定間隔を空けて対向して配置される。蓋部１２は、天面部１２２の外周の一部から垂下して設けられ、ケース本体１１の切り欠き１０２に係合する垂下部１２４を有する。天面部１２２には凹み１２６が設けられている。

　蓋部１２及び底部１１４は、それぞれ可動体２０の可動範囲を抑制する。蓋部１２及び底部１１４は、可動体２０のハードストップ（可動範囲限定）となる可動範囲抑制部としての機能を有する。

　具体的には、蓋部１２及び底部１１４は、可動範囲形成部５４により形成される可動範囲を規制する。つまり、蓋部１２及び底部１１４は、蓋部１２及び底部１１４から駆動ユニット１３（コイルボビン部５２）の上下端部の縁部（上下側のフランジ部５２７、５２８の開口端面５２７ａ、５２８ａ）までの長さを規制する。これにより、ケース１０の中空は、可動体２０が移動する空間である可動体空間を形成している。

　このように、可動体空間は、弾性支持部８１、８２が塑性変形しない範囲の長さに規定されている。よって、可動体２０に、可動範囲を超える力が加わる場合でも、弾性支持部８１、８２は、塑性変形することなく、固定体５０（蓋部１２及び底部１１４の少なくとも一方）に接触するので、弾性支持部８１、８２が破損することなく、信頼性が高めることができる。

　なお、ケース１０は、有底筒状、つまり、カップ状のケース本体１１と蓋部１２とで形成されている。これにより、周壁部１１２と底部１１４とを別体にした構成よりも、部品点数を減らし、組立性の向上を図ることができるとともに、耐衝撃性が向上する。また、蓋部１２は、カップ状のケース本体１１の開口部１１５に溶着する、或いはカシメることで固定されてもよい。例えば、蓋部１２に閉塞される開口部１１５を、蓋部１２で閉塞した後で、蓋部１２を囲む部位を、蓋部１２より上方に突出させて、突出した部位を蓋部１２側に折曲してカシメて固定する。

＜振動アクチュエータ１の動作＞
　図７は、図１に示す振動アクチュエータの動作を説明する図である。

　振動アクチュエータ１の動作について、マグネット３０において着磁方向の一方側（本実施の形態では上側）の表面３０ａ側がＮ極、着磁方向の他方側（本実施の形態では下側）の裏面３０ｂ側がＳ極となるように着磁されている場合を一例する。

　振動アクチュエータ１では、図７に示す磁気回路が形成される。また、振動アクチュエータ１において、コイル６１、６２はコイル軸がマグネット３０を振動方向で挟む可動体コア４１、４２らの磁束に直交するように、配置されている。
　コイル６１、６２が通電されていない状態では、マグネット３０の磁場と相互作用する電流はコイル６１、６２に流れない。そのため、可動体２０を振動させる駆動力は生じず、可動体２０は移動しない。

　具体的には、マグネット３０の表面３０ａ側から出射し、可動体コア４１からコイル６１側に放射され、アウターヨーク５８を通り、コイル６２を介してマグネット３０の下側の可動体コア４２からマグネット３０へ入射する磁束の流れｍｆが形成される。つまり、アウターヨーク５８は、コイル６１からコイル６２へ効率よく磁束を流す効果を持つ。

　したがって、図７に示すように通電が行われると、マグネット３０の磁界とコイル６１、６２に流れる電流との相互作用により、フレミング左手の法則に従ってコイル６１、６２に－ｆ方向のローレンツ力が生じる。

　－ｆ方向のローレンツ力は、磁界の方向とコイル６１、６２に流れる電流の方向に直交する方向である。コイル６１、６２は固定体５０（コイルボビン部５２）に固定されているので、作用反作用の法則に則り、この－ｆ方向のローレンツ力と反対の力が、マグネット３０を有する可動体２０にＦ方向の推力として発生する。これにより、マグネット３０を有する可動体２０側がＦ方向、つまり蓋部１２（蓋部１２の天面部１２２）側に移動する。

　また、コイル６１、６２の通電方向が逆方向に切り替わり、コイル６１、６２に通電が行われると、逆向きのＦ方向のローレンツ力が生じる。このＦ方向のローレンツ力の発生により、作用反作用の法則に則り、このＦ方向のローレンツ力と反対の力が、可動体２０に推力（－Ｆ方向の推力）として発生し、可動体２０は、－Ｆ方向、つまり、固定体５０の底部１１４側に移動する。

　なお、振動アクチュエータ１では、通電していない場合の非駆動時（非振動時）においては、マグネット３０とアウターヨーク５８との間に磁気吸引力がそれぞれ働き磁気バネとして機能する。このマグネット３０とアウターヨーク５８との間に発生する磁気吸引力と、弾性支持部８１、８２の元の形状に戻ろうとする復元力により、可動体２０は、元の位置に戻る。

　この磁気回路においてコイル６１、６２の通電に伴いマグネット３０とコイル６１、６２とを流れる磁束の流れとともに、筒状導体９０に発生する渦電流により、マグネット３０からの磁束の流れを抑制し、可動体２０の振動を制動する。

　例えば、－ｆ方向のローレンツ力、言い換えれば、可動体２０へのＦ方向の推力を発生させる際に、筒状導体（渦電流制動部）９０は、マグネット３０の磁界と作用して、渦電流を発生して、－ｆ方向のローレンツ力の発生を阻害する方向の磁場を形成する。
　また、コイル６１、６２への通電により、可動体２０への－Ｆ方向の推力を発生させる際に、筒状導体（渦電流制動部）９０は、マグネット３０の磁界と作用して、渦電流を発生して、ｆ方向のローレンツ力の発生を阻害する方向の磁場を形成する。

　これにより、振動アクチュエータ１は、渦電流による可動体の振動を減衰する。加速度が大きいところがより大きく制動が作用するので、共振点の加速度ピークを抑制する。

　図８は、従来の振動アクチュエータ及び図１に示す振動アクチュエータについて、駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフである。図８において、実線は、振動アクチュエータ１における駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフＧ１であり、破線は、従来の振動アクチュエータにおける駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフＧ２である。なお、グラフＧ３は、後述する実施の形態５の振動アクチュエータの構造における駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフである。

　従来の振動アクチュエータは、図８のグラフＧ２で示すように、可動部の共振周波数Ｆ０に振動加速度のピークＰ２があり、そのピークは急峻である。そのため、従来の振動アクチュエータでは、広い周波数の範囲で強い振動を得るために、ピークを抑制しようと試みがなされていたが困難であった。

　一方、振動アクチュエータ１は、上述したように、振動（移動）に伴って渦電流が生じる筒状導体９０を有し、可動体２０の振動を発生する磁気回路において、磁束の流れを阻害し、可動体２０の振動を制動する制動力が作用する。

　この制動力は、振動加速度が大きくなる共振周波数Ｆ０付近で大きくなる。そのため、グラフＧ１で示すように、制動力は、共振周波数Ｆ０付近での振動加速度の変化を緩やかにすることができる。そのため、例えば、振動アクチュエータ１での振動加速度のピークＰ１を、従来の振動アクチュエータの振動加速度のピークＰ２に合わせるようにコイル６１、６２へ交流電圧を供給すると、グラフＧ１で示すようカーブ全体が持ち上がる。これにより振動アクチュエータ１は、広い駆動周波数の範囲で強い振動（振動加速度）を得ることができる。

　このように、振動アクチュエータ１は、可動体２０の振動（移動）に伴って発生する渦電流を用いて、コイル６１、６２及びマグネット３０により構成される可動体２０を往復移動、つまり、振動を減衰して制動する筒状導体９０を備える。可動体２０の振動を制動することにより、共振周波数Ｆ０付近での振動加速度の変化を緩やかにすることができるので、振動アクチュエータ１は、広い駆動周波数の範囲で強い振動（振動加速度）を得ることができる。よって、小型化しても、広い駆動周波数の範囲で、好適な高出力の振動を発生できる。

　振動アクチュエータ１によれば、耐衝撃性を有するとともに、振動表現力の高い好適な体感振動を出力できる。

　振動アクチュエータ１は、電源供給部（例えば、図１８及び図１９に示す駆動制御部２０３）からコイル６１、６２へ入力される交流波によって駆動される。つまり、コイル６１、６２の通電方向は周期的に切り替わり、可動体２０には、蓋部１２の天面部１２２側のＦ方向の推力と底部１１４側の－Ｆ方向の推力が交互に作用する。これにより、可動体２０は、振動方向（コイル６１、６２の径方向と直交するコイル６１、６２の巻回軸方向、或いは、マグネット３０の着磁方向）に振動する。

　以下に、振動アクチュエータ１の駆動原理について簡単に説明する。本実施の形態の振動アクチュエータ１では、可動体２０の質量をｍ［ｋｇ］、ばね（ばねである弾性支持部８１、８２）のばね定数をＫ_ｓｐとした場合、可動体２０は、固定体５０に対して、下式（１）によって算出される共振周波数Ｆ_ｒ［Ｈｚ］で振動する。

　可動体２０は、ばね－マス系の振動モデルにおけるマス部を構成すると考えられるので、コイル６１、６２に可動体２０の共振周波数Ｆ_ｒに等しい周波数の交流波が入力されると、可動体２０は共振状態となる。すなわち、電源供給部からコイル６１、６２に対して、可動体２０の共振周波数Ｆ_ｒと略等しい周波数の交流波を入力することにより、可動体２０を効率良く振動させることができる。

　振動アクチュエータ１の駆動原理を示す運動方程式及び回路方程式を以下に示す。振動アクチュエータ１は、下式（２）で示す運動方程式及び下式（３）で示す回路方程式に基づいて駆動する。

　すなわち、振動アクチュエータ１における質量ｍ［ｋｇ］、変位ｘ（ｔ）［ｍ］、推力定数Ｋ_f［Ｎ／Ａ］、電流ｉ（ｔ）［Ａ］、ばね定数Ｋ_sp［Ｎ／ｍ］、減衰係数Ｄ［Ｎ／（ｍ／ｓ）］等は、式（２）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧ｅ（ｔ）［Ｖ］、抵抗Ｒ［Ω］、インダクタンスＬ［Ｈ］、逆起電力定数Ｋ_ｅ［Ｖ／（ｍ／ｓ）］は、式（３）を満たす範囲内で適宜変更できる。

　このように、振動アクチュエータ１では、可動体２０の質量ｍと板ばねである弾性支持部８１、８２のばね定数Ｋ_ｓｐにより決まる共振周波数Ｆ_ｒに対応する交流波によりコイル６１、６２への通電を行った場合に、効率的に大きな振動出力を得ることができる。

　また、振動アクチュエータ１は、式（２）、（３）を満たし、式（１）で示す共振周波数を用いた共振現象により駆動する。

　本実施の形態によれば、可動体２０の上下（振動方向）に板状の弾性支持部８１、８２を配置しているので、可動体２０を上下方向に安定して駆動すると同時に、マグネット３０の上下の弾性支持部８１、８２から効率的にコイル６１、６２の磁束を分布できる。これにより、振動アクチュエータ１として、高出力の振動を実現することができる。

（実施の形態２）
　図９は、本発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータの縦断面図であり、図１０は、駆動ユニットから可動体を外したコイル組立体の斜視図である。また、図１１は、コイル組立体の平面図であり、図１２は、本発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータの渦電流制動部の斜視図である。なお、図９では要部をＸ１で示す。

　実施の形態２に係る振動アクチュエータ１Ａは、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ａ」を付して説明する。

　実施の形態１の振動アクチュエータ１において、渦電流制動部としての筒状導体９０を、複数の分割導体（分割体）９２で構成してもよい。

　図９～図１２に示す実施の形態２に係る振動アクチュエータ１Ａは、振動アクチュエータ１の構成における筒状導体９０を、ボビン本体部５２２の内周面５２ａに設けた複数の分割導体９２に換えたものである。

　振動アクチュエータ１Ａは、ケース本体１１及び蓋部１２を有するケース１０内に収容する駆動ユニット１３Ａのコイル組立体１５Ａにおいて、複数の分割導体９２を備える。なお、コイル組立体１５Ａは、コイル組立体１５と同様に、コイル６１、６２、コイルボビン部５２を有し、更に分割導体９２を有する。コイル組立体１５Ａは、可動体２０及び弾性支持部８１、８２とともに駆動ユニット１３Ａを構成する。

　複数の分割導体９２は、円弧状であり、ボビン本体部５２２の内周壁に、周方向で複数に分割して配置されたものである。分割導体９２は、それぞれ筒状導体９０と同様の材料で形成されている。分割導体９２は、夫々振動方向に延在し、筒状に配置されて筒状導体９０Ａを構成する。

　分割導体９２は、内周面の全面で、可動体２０の外周面を囲むように対向して配置されている。

　この構成によれば、実施の形態１と同様に、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０との相互作用により、可動体２０の振動を制動できる。

（実施の形態３）
　図１３は、本発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータの説明に供する図であり、図１４は、本発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータのコイル組立体１５Ｂの斜視図であり、図１５は、同平面図である。

　実施の形態３に係る振動アクチュエータ１Ｂは、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｂ」を付して説明する。

　実施の形態１の振動アクチュエータ１における渦電流制動部としての筒状導体９０を、複数の分割導体である分割体９４で構成してもよい。

　図１３～図１５に示す実施の形態３に係る振動アクチュエータ１Ｂは、振動アクチュエータ１の構成における筒状導体９０を、ボビン本体部５２２の内周面に設けた複数の分割体９４に換えたものである。

　振動アクチュエータ１Ｂは、ケース本体１１及び蓋部１２を有するケース１０内に収容する駆動ユニット１３Ｂのコイル組立体１５Ｂにおいて、複数の分割体９４を備える。

　なお、コイル組立体１５Ｂは、コイル組立体と同様に、コイル６１、６２、コイルボビン部５２を有し、可動体２０及び弾性支持部８１、８２とともに駆動ユニット１３Ｂを構成する。

　複数の分割体９４は、筒状であり、振動方向で複数分割して配置されて、渦電流制動部としての筒状導体９０Ｂを構成する。筒状導体９０Ｂは、コイルボビン部５２の内周面に周方向に渡って配置されている。

　分割体９４は、ボビン本体部５２２の内周面５２ａに、周方向に取り付けられ振動方向で複数に分割して配置される。分割体９４は、それぞれ筒状導体９０と同様の材料で形成されている。分割体９４は、夫々振動方向で一様に並べて筒状導体９０Ｂを構成する。

　分割体９４は、夫々が内周面の全面で、可動体２０の外周面を囲み対向して配置される。この構成によれば、実施の形態１と同様に、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０との相互作用により、可動体２０の振動を制動できる。

（実施の形態４）
　図１６は、本発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。図１６は、実施の形態４の振動アクチュエータの断面図と、その部分拡大図を示す。なお、Ｘ３と、Ｘ３１とは対応する拡大部分を示す。

　実施の形態４に係る振動アクチュエータ１Ｃは、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｃ」を付して説明する。

　実施の形態１の振動アクチュエータ１における渦電流制動部としての筒状導体９０を、複数の分割体９６で構成し、コイル６１、６２の内側、言い換えれば、コイルボビン部５２の外周面に配置してもよい。

　図１６に示す実施の形態４に係る振動アクチュエータ１Ｃは、振動アクチュエータ１の構成における筒状導体９０を、ボビン本体部５２２の外周面に周方向に渡って隣接して配置されている。すなわち、分割体９６は、コイルボビン部５２において凹状のコイル取付部５２ｂ、５２ｃの底部に配置して、その上にコイル６１、６２が配置された構成となっている。なお、コイル取付部５２ｂ、５２ｃは、中央フランジ部５２６、上下側のフランジ部５２７、５２８及びボビン本体部５２２とで形成される。分割体９６は、導電部材であるが、コイル６１、６２は夫々外周は絶縁材により被覆されているので、分割体９６と導通しない。

　振動アクチュエータ１Ｃは、ケース本体１１及び蓋部１２を有するケース１０内に収容する駆動ユニット１３Ｃのコイルボビン部５２内に複数の分割体９６を備える。

　複数の分割体９６は、筒状に形成され、コイル取付部５２ｂ、５２ｃの底部で、マグネット３０の径方向外側で囲むように配置される。これら分割体９６は、筒状体であり、振動方向で複数分割して配置されて、筒状導体９０Ｃを構成する。

　分割体９６は、夫々の内周面で、可動体２０の外周面、特にマグネット３０の外面を囲むように、対向して配置される。この構成によれば、実施の形態１と同様に、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０との相互作用により、可動体２０の振動を制動できる。

（実施の形態５）
　図１７は、本発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータの説明に供する図である。図１７は、実施の形態４の振動アクチュエータのコイル組立体の断面図と、その部分拡大図を示す。なお、Ｘ４と、Ｘ４１とは対応する拡大部分を示す。図１８は、本発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータの説明に供する図であり、コイル組立体の側面図と、その部分拡大図とを示す。なお、図１８におけるＸ４２は、対応する拡大部分を示す。

　実施の形態５に係る振動アクチュエータは、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｄ」を付して説明する。

　実施の形態１の振動アクチュエータ１における渦電流制動部としての筒状導体９０を、コイル６１、６２を形成するコイル線と同様のコイル線により筒状の疑似導体９７(９７ａ、９７ｂ)として形成している。

　図１７に示す実施の形態５に係る振動アクチュエータのコイル組立体１５Ｄは、コイルボビン部５２において中央フランジ部５２６、上下側のフランジ部５２７、５２８及びボビン本体部５２２とで形成される凹状のコイル取付部５２ｂ、５２ｃを有する。

　このコイル取付部５２ｂ、５２ｃの底部（コイルボビン部、コイル保持部の外周面）に、コイル線を巻回して筒状体である疑似導体９７ａ、９７ｂが隣接して配置されている。すなわち、コイル取付部５２ｂ、５２ｃ内では、筒状の疑似導体９７ａ、９７ｂが夫々配置され、これら疑似導体９７ａ、９７ｂの径方向外側に、コイル６１、６２が配置された構成である。疑似導体９７ａ、９７ｂは、導電部材であるコイル線の外周は絶縁材により被覆されているので、コイル６１、６２とは導通しない。

　疑似導体（渦電流制動部）９７を形成するコイル線の両端部（端部９７１、９７２）は、図１８に示すように、外部に露出する端子引き出し部５３０において、端子絡げ部５３－１、５３－２とは別で独立した端子絡げ部５３－３に絡げている。これにより、疑似導体９７は短絡した状態となり、渦電流を発生させる導体として機能する。なお、図１８に示すように、端子絡げ部５３－１、５３－２は、他の実施の形態のものと同様に、夫々コイル６１、６２を構成する一本のコイルの両端部６１１、６２１が絡げて結線されている。これにより端子引き出し部５３０の端子に接続するだけで、コイルに容易に通電できる。

　この構成によれば、実施の形態１と同様に、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０との相互作用により、可動体２０の振動を制動できるとともに、コイル線で構成するので、別の材料を用いることなく、低コスト化を図ることができる。

　例えば、疑似導体９７を有する振動アクチュエータは、図８のグラフＧ３に示すように、疑似導体９７を有していないピークＰ２を有するグラフＧ２で示す振動アクチュエータと比較して、共振周波数Ｆ０付近の振動加速度のピークＰ３の変化を緩やかにできる。

　よって、振動アクチュエータでの振動加速度のピークＰ３を、振動アクチュエータの振動加速度のピークＰ２に合わせるようにコイル６１、６２へ交流電圧を供給するとグラフＧ３で示すようにグラフのカーブ全体が持ち上がる。グラフＧ３は持ち上がる、つまり、駆動周波数に対する振動加速度は高くなるが、グラフＧ３におけるピークＰ３は緩やかであり、広い駆動周波数の範囲で強い振動（振動加速度）を得ることができる。

（実施の形態６）
　図１９は、本発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータの説明に供する図であり、図２０は、本発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータのコイル組立体の斜視図である。なお、図１９におけるＸ５とＸ５１は、対応する拡大部分を示す。

　実施の形態６に係る振動アクチュエータ１Ｅは、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｅ」を付して説明する。

　実施の形態１の振動アクチュエータ１における渦電流制動部としての筒状導体９０に変えて、コイル６１、６２の外側に導電性を有する筒状の導体である外側分割体９８を設けている。

　図１９及び図２０に示す振動アクチュエータ１Ｅのコイル組立体１５Ｅは、コイルボビン部５２において中央フランジ部５２６、上下側のフランジ部５２７、５２８及びボビン本体部５２２とで形成される凹状のコイル取付部５２ｂ、５２ｃを有する。

　このコイル取付部５２ｂ、５２ｃ内にコイル６１、６２が配置され、コイル６１、６２を径方向外側から覆うように、外側分割体９８が夫々配置されている。外側分割体９８、９８は、導電部材であるコイル線の外周は絶縁材により被覆されているので、コイル６１、６２とは導通しない。

　この構成によれば、実施の形態１と同様に、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０との相互作用により、可動体２０の振動を制動できる。

（実施の形態７）
　図２１は、本発明の実施の形態７に係る振動アクチュエータの説明に供する図であり、図２２は、本発明の実施の形態７に係る振動アクチュエータのコイル組立体の斜視図である。なお、図２１は、実施の形態７に係る振動アクチュエータのコイルボビン部５２Ｆの断面図であり、図２１におけるＸ６は、対応する拡大部分を示す。

　実施の形態７に係る振動アクチュエータは、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｆ」を付して説明する。

　実施の形態１の振動アクチュエータ１における渦電流制動部として、コイルボビンに取り付けた筒状導体９０を、コイルボビン部５２Ｆと一体化したものである。

　図２１及び図２２に示す実施の形態７に係る振動アクチュエータのコイルボビン部５２Ｆは、内部に埋設された渦電流制動部としての筒状導体９９を有する。筒状導体９９は、インサート成形によりコイルボビン部５２Ｆに埋設されている。

　コイルボビン部５２Ｆは、コイルボビン部５２において中央フランジ部５２６、上下側のフランジ部５２７、５２８及びボビン本体部５２２とで形成される凹状のコイル取付部５２ｂ、５２ｃを有する。筒状導体９９は、コイル取付部５２ｂの凹状部分を囲むように埋設された縦断面凹状の第１凹状導体９９ａと、コイル取付部５２ｃの凹状部分を囲むように埋設された縦断面凹状の第２凹状導体９９ｂとを有する。第１凹状導体９９ａ及び第２凹状導体９９ｂは、夫々コイルボビン部５２Ｆの内周部分で露出しており、内周面５２ａの一部を構成している。

　この構成によれば、実施の形態１と同様に、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０との相互作用により、可動体２０の振動を制動できる。

　また、図２１及び図２２に示すように、第１凹状導体９９ａ及び第２凹状導体９９ｂは、内周面５２ａで露出する。これにより、第１凹状導体９９ａ及び第２凹状導体９９ｂは、可動体２０、つまりマグネット３０とは近接して対向配置された状態となり、発生する渦電流による可動体２０の振動の制動を効果的に行うことができる。

（実施の形態８）
　図２３は、本発明の実施の形態８に係る振動アクチュエータの縦断面図であり、図２４は、本発明の実施の形態８に係る振動アクチュエータの分解斜視図である。

　図２３及び図２４に示す振動アクチュエータ１Ｈは、実施の形態１の振動アクチュエータ１の構成において、可動体２０に替えて、可動体２０よりも重い可動体２０Ｈを有する。振動アクチュエータ１Ｈは、更に、振動アクチュエータ１の構成において、アウターヨーク５８を、周方向に等間隔を開けて複数の開口部５８２、５８３を有するアウターヨーク５８Ｈに替えて構成されている。

　なお、振動アクチュエータ１Ｈにおいて、その他の構成は振動アクチュエータ１と同様であり、また同名称の構成要素の材料等も他の実施の形態のものとともに同様である。実施の形態８に係る振動アクチュエータ１Ｈにおいて、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。同名称の構成要素は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｈ」を付して説明する。

　振動アクチュエータ１Ｈは、振動アクチュエータ１と比較してより強い振動を発生するように、可動体２０Ｈの重量を可動体２０より大きくしている。振動アクチュエータ１Ｈは、振動アクチュエータ１と同様に、ケース本体１１及び蓋部１２を有するケース１０内に、駆動ユニット１３Ｈを収容して構成される。

　駆動ユニット１３Ｈ（図２４参照）は、コイル６１、６２、コイルボビン部５２、可動体２０Ｈ及び弾性支持部８１、８２に加えて、コイル６１、６２を外側で覆うアウターヨーク５８Ｈを備える。

　可動体２０Ｈは、円柱状のマグネット３０Ｈ、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈ、及び錘部２２Ｈ、２４Ｈ、固定ピン２６Ｈ、２８Ｈを有する。

　可動体２０Ｈは、可動体２０と比較して、マグネット３０よりも厚い（振動方向の厚み）マグネット３０Ｈを中心に、振動方向の両側に向かって夫々可動体コア４１Ｈ、４２Ｈ、錘部２２Ｈ、２４Ｈが連設される。マグネット３０Ｈ及び可動体コア４１Ｈ、４２Ｈの外周面２０ａが、ボビン本体部５２２の内周面、具体的には、ボビン本体部５２２の内周面に固定された筒状導体９０の内周面に、所定間隔を空けて対向配置されている。

　可動体２０Ｈは、外周面２０ａが筒状導体９０の内周面に対向した状態で、筒状導体９０に接触することなく往復移動する。

　マグネット３０Ｈは振動方向、つまり、軸方向を着磁方向としており、磁極面となる表裏面３０ａ、３０ｂに中央に嵌合口４１１、４２１を有する環状の可動体コア４１Ｈ、４２Ｈが配置され、マグネット３０Ｈの磁束漏れを防止している。

　可動体コア４１Ｈ、４２Ｈの嵌合口４１１、４２１の直径は、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈの直径の略１／２であり、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈは、錘部２２Ｈ、２４Ｈとマグネット３０Ｈとに挟まれた状態で配置されている。

　嵌合口４１１、４２１には、錘部２２Ｈ、２４Ｈの凸状の接合部２２２Ｈ、２４２Ｈが内嵌する。これにより、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈに錘部２２Ｈ、２４Ｈが同一軸で挿入され、錘部２２Ｈ、２４Ｈは、マグネット３０Ｈ及び可動体コア４１Ｈ、４２Ｈを挟むように上下で対称に設けられている。錘部２２Ｈ、２４Ｈは、可動体２０Ｈにおいて、上下の方向での重量のバランスがよく、可動体２０Ｈの振動出力を増加させている。

　錘部２２Ｈ、２４Ｈは、非磁性体であることが好ましく、例えば、ＳＵＳで形成される。錘部２２Ｈ、２４Ｈは、可動体側磁気回路（マグネット３０Ｈ及び可動体コア４１Ｈ、４２Ｈ）を弾性支持部８１、８２に固定する。

　錘部２２Ｈ、２４Ｈは、可動体２０Ｈの錘であり、振動アクチュエータ１の錘部２２、２４よりも重量が大きい。錘部２２Ｈ、２４Ｈは、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈに積層される環状の錘本体２２３、２４３を有し、錘本体２２３、２４３の中央部からマグネット３０Ｈ側に筒状の接合部２２２Ｈ、２４２Ｈが突設されている。

　また、錘本体２２３、２４３は、振動方向（上下方向）に厚みを有し、この厚みを調整することにより、錘部２２Ｈ，２４Ｈ、ひいては可動体２０Ｈの重量を調整する。なお、錘部２２Ｈ、２４Ｈは、錘部２２、２４と同様に、錘機能とばね固定機能を有する。

　錘本体２２３、２４３は、例えば、外面に、マグネット３０Ｈから離間する側につれて外径が小さくなるよう勾配を付けて構成されている。なお、この勾配は、可動体２０Ｈが振動する際の弾性支持部８１、８２の可動領域を確保する。

　錘本体２２３、２４３において外径が狭窄した先端面には、先端面から突出して筒状のばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈが設けられている。ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈは、弾性支持部８１、８２を可動体２０Ｈに固定する。

　ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈの錘本体２２３、２４３からの高さにより、弾性支持部８１、８２は、弾性変形する領域を確保している。ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈの先端面上に弾性支持部８１、８２の内周部８０２が載置されている。ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈで開口する開口部２２１、２４１には、固定ピン２６Ｈ、２８Ｈのピン本体２６２Ｈ、２８２Ｈが挿入されている。これにより、ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈは、先端面で、内周部８０２を固定ピン２６Ｈ、２８Ｈのフランジ２６４、２８４とで挟持した状態で固定している。

　固定ピン２６Ｈ、２８Ｈは、弾性支持部８１、８２と可動体２０Ｈとを、可動体２０Ｈの振動により外れないように強固に固定する。

　固定ピン２６Ｈ、２８Ｈは、固定ピン２６、２８と同様に、同形状に形成されたリベットである。固定ピン２６Ｈ、２８Ｈは、錘部２２Ｈ、２４Ｈに圧入可能な軸状のピン本体２６２Ｈ、２８２Ｈの基端側の縁部の夫々にピン本体２６２Ｈ、２８２Ｈの径方向外側に張り出すフランジ２６４、２８４を有して構成されている。

　ピン本体２６２Ｈ、２８２Ｈは、錘部２２Ｈ、２４Ｈの高さと同様の長さを有する。ピン本体２６２Ｈ、２８２Ｈは、錘部２２Ｈ、２４Ｈの開口部２２１、２４１に圧入されている。ピン本体２６２Ｈ、２８２Ｈの先端部は、夫々マグネット３０Ｈの表裏面３０ａ、３０ｂに当接し、マグネット３０Ｈを挟むように配置されている。

　フランジ２６４、２８４の外径と、ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈの先端面の外径はほぼ同じであり、互いで弾性支持部８１、８２の内周部８０２を強固に挟持できる。なお、内周部８０２と、ばね固定部２２４Ｈ、２４４Ｈとは、固定ピン２６Ｈ、２８Ｈを用いずに、溶接、接着、または、カシメ等により接合されてよく、更には溶接、接着、または、カシメを組み合わせて接合されてもよい。

　アウターヨーク５８Ｈは、配線が配置される開口部５８２の他に別の開口部５８３を有する。

　複数の開口部５８２、５８３は、いずれもアウターヨーク５８の筒状のヨーク本体５８１において振動方向の中央に設けられている。複数の開口部５８２、５８３は、ヨーク本体５８１に、周方向で等間隔を空けて設けられてもよい。

　開口部５８３は、径方向の中心に対して開口部５８２に対向する位置に設けられている。開口部５８３は、例えば、ヨーク本体５８１において、開口部５８２に対向する位置に形成されている。開口部５８３は、開口部５８２と略同様の形状で、上下左右辺部で仕切られた周方向で延在する矩形状に形成されている。

　開口部５８２、５８３は、マグネット３０Ｈ、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈ、アウターヨーク５８Ｈを含む磁気回路において軸を中心に対称な磁路を形成し、発生する磁気のバランスを確保する。すなわち、開口部５８２、５８３により、可動体２０Ｈと固定体５０Ｈのアウターヨーク５８Ｈとが、振動方向と、振動方向と直交する方向（径方向）、つまり、上下左右方向で、均等に引き合う。これにより、可動体２０Ｈは、固定体５０Ｈに対して、径方向で均等に引き合った状態で振動する。

　このように開口部５８２、５８３は、アウターヨーク５８Ｈのヨーク本体５８１の振動方向の中央部に、振動方向（上下方向）の長さよりも周方向の長さが長い形状で夫々形成されている。開口部５８２、５８３の上下にアウターヨーク５８Ｈのヨーク本体５８１の上下辺部が存在するため、バランス良く、磁気回路における磁気吸引力のアンバランスや漏れ磁束も最小限に抑制することができる。

　なお、アウターヨーク５８Ｈは、円弧状の分割体から構成されており、ボビン本体部５２２の外周壁に、筒状となる様に配置されて構成される。これにより、アウターヨーク５８Ｈのボビン本体部５２２への取り付けが容易となる。分割体の周方向の先端部同士は接合されることが好ましい。アウターヨーク５８Ｈは筒状体として、変形可能な一体的に構成されてもよい。

　この構成によれば、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０Ｈとの相互作用により、可動体２０Ｈの振動を制動できるとともに、バランス良く振動させることができる。

（実施の形態９）
　図２５は、本発明の実施の形態９に係る振動アクチュエータの縦断面図であり、図２６は、本発明の実施の形態９に係る振動アクチュエータの分解斜視図である。

　図２５及び図２６に示す振動アクチュエータ１Ｊは、実施の形態１の振動アクチュエータ１の構成において、可動体２０に替えて、可動体２０よりも重い可動体２０Ｊを有する。更に、振動アクチュエータ１Ｊの構成は、振動アクチュエータ１の構成において、振動アクチュエータ１のアウターヨーク５８を、アウターヨーク５８Ｊに替えて構成されたものである。

　なお、実施の形態９に係る振動アクチュエータ１Ｊにおいて、実施の形態１の振動アクチュエータ１における構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称の構成要素は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｊ」を付して説明する。

　振動アクチュエータ１Ｊは、振動アクチュエータ１と比較してより強い振動を発生するように、可動体２０Ｊの重量を可動体２０より大きくしている。振動アクチュエータ１Ｊは、振動アクチュエータ１と同様に、ケース本体１１及び蓋部１２を有するケース１０内に、駆動ユニット１３Ｊを収容して構成される。駆動ユニット１３Ｊは、コイル６１、６２、コイルボビン部５２、可動体２０Ｊ、弾性支持部８１、８２及びアウターヨーク５８Ｊを備える。駆動ユニット１３Ｊでは、駆動ユニット１３と同様に、コイルボビン部５２の上下端部の夫々に可動範囲形成部５４が上下方向に突設されている。

　アウターヨーク５８Ｊは、周方向に等間隔を開けて複数の開口部５８２、５８３を有し、アウターヨーク５８Ｈと同様の構成と機能を有するので説明は省略する。

　可動体２０Ｊは、円柱状のマグネット３０、可動体コア４１Ｊ、４２Ｊ、錘部２２Ｊ、２４Ｊ及び固定ピン２６Ｊ、２８Ｊを有する。可動体２０Ｊは、可動体２０と比較して、固定ピン２６Ｊ、２８Ｊの軸状のピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊの軸方向の長さが長い。

　固定ピン２６Ｊ、２８Ｊのピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊは、錘部２２、２４と略同様に構成される錘部２２Ｊ、２４Ｊの開口部２２１、２４１に挿入し、ピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊの先端部がマグネット３０Ｊの表裏面３０ａ、３０ｂに当接或いは近接している。

　ピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊは、例えば、開口部２２１，２４１に圧入されて内嵌し、ピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊの先端部は、マグネット３０Ｊの表裏面３０ａ、３０ｂに当接した状態で固定される。なお、ピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊは、錘部２２Ｊ、２４Ｊに接着等により接合されてもよい。

　固定ピン２６Ｊ、２８Ｊは、錘部２２Ｊ、２４Ｊとともに、コイル組立体１５Ｊ内において、マグネット３０Ｊを振動方向で挟持した状態で、一対の弾性支持部８１、８２間で支持している。

　アウターヨーク５８Ｊは、コイル６１、６２を外側で覆う。アウターヨーク５８Ｊは、配線が配置される開口部５８２の他に開口部５８３を有する。複数の開口部５８２、５８３は、ヨーク本体５８１に、周方向で等間隔を空けて設けられてもよい。

　アウターヨーク５８Ｊは、開口部５８２、５８３、マグネット３０Ｊ、可動体コア４１Ｊ、４２Ｊ及びアウターヨーク５８Ｊを含む磁気回路において軸を中心に対称な磁路を形成し、発生する磁気のバランスを確保する。

　すなわち、開口部５８２、５８３により、可動体２０Ｊと固定体５０Ｊのアウターヨーク５８Ｊとが、振動方向と、振動方向と直交する方向（径方向）、つまり、上下左右方向で、均等に引き合う。これにより、可動体２０Ｊは、固定体５０Ｊに対して、径方向で均等に引き合った状態で振動する。

　なお、アウターヨーク５８Ｊは、アウターヨーク５８Ｈと同様に、円弧状の分割体から構成されており、ボビン本体部５２２の外周壁に、筒状となる様に配置されて構成される。この構成によれば、アウターヨーク５８Ｊのボビン本体部５２２への取り付けが容易であり、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０Ｊとの相互作用により、可動体２０Ｊの振動を制動できるとともに、バランス良く振動させることができる。

（実施の形態１０）
　図２７は、本発明の実施の形態１０に係る振動アクチュエータの縦断面図であり、図２８は、本発明の実施の形態１０に係る振動アクチュエータにおける駆動ユニットの分解斜視図である。

　図２７及び図２８に示す振動アクチュエータ１Ｋのように、実施の形態９の振動アクチュエータ１Ｊの構成において、ケース１０を無くして、軽量化が図られた構成としてもよい。

　なお、実施の形態１０に係る振動アクチュエータ１Ｋにおいて、振動アクチュエータ１Ｊにおける構成要素と同じ機能を有する場合には、同名称、同符号を付して説明は省略する。なお、同名称の構成要素は基本的に同様の材料により構成される。また、ほぼ同様な機能を有する構成要素には、同名称で、同符号の語尾に「Ｋ」を付して説明する。

　振動アクチュエータ１Ｋは、振動アクチュエータ１Ｊの駆動ユニット１３Ｊと同様に構成される駆動ユニット１３Ｋと、駆動ユニット１３Ｋの振動方向で開口する両端部の夫々に設けられた第１環状カバー１１Ｋ及び第２環状カバー１２Ｋとを有する。

　駆動ユニット１３Ｋは、コイル組立体１５Ｊと同様に形成される筒状のコイル組立体１５Ｋの内部に、可動体２０Ｊと同様に構成された可動体２０Ｋを配置している。駆動ユニット１３Ｋは、可動体２０Ｋを、弾性支持部８１、８２により吊られた状態で収容している。

　駆動ユニット１３Ｋにおいて両端のフランジ部５２７、５２８の上下の開口端面である上端面５２７ａ、下端面５２８ａに、弾性支持部８１、８２の外周部８０６を挟み第１環状カバー１１Ｋ及び第２環状カバー１２Ｋが取り付けられている。

　第１環状カバー１１Ｋは、駆動ユニット１３Ｋの環状の上端面５２７ａを覆うように取り付けられている。詳細には、第１環状カバー１１Ｋは、内周部分に設けられた段差部１１９で、弾性支持部８１の外周部８０６を挟み上端面５２７ａと係合する。

　第２環状カバー１２Ｋは、駆動ユニット１３Ｋの環状の下端面５２８ａを覆うように取り付けられている。詳細には、第２環状カバー１２Ｋは、内周部分に設けられた段差部１１８で、弾性支持部８２の外周部８０６を挟み下端面５２８ａと係合する。第１環状カバー１１Ｋ及び第２環状カバー１２Ｋは、たとえば同じものであり同様の形状に形成されていてもよい。

　駆動ユニット１３Ｋ、つまり、コイルボビン部５２における可動範囲形成部５４は、上端面５２７ａ、下端面５２８ａと段差部１１８、１１９とが係合する際に、第１環状カバー１１Ｋ及び第２環状カバー１２Ｋの内周部分に係合する。可動範囲形成部５４は、第１環状カバー１１Ｋ及び第２環状カバー１２Ｋの内部開口部とともに、可動体２０との間の振動範囲を形成する。

　振動アクチュエータ１Ｋは、振動アクチュエータ１、１Ｊと異なり駆動ユニット１３Ｋを囲むケース１０を有していないので、振動方向の高さを短く、つまり、低背化を図ることができる。なお、この振動アクチュエータ１Ｋは、アウターヨーク５８Ｊと同様に構成されるアウターヨーク５８Ｋを有する。

　これにより、振動アクチュエータ１Ｋは、渦電流を発生して、発生した渦電流とマグネット３０Ｋとの相互作用により、可動体２０Ｋの振動を制動できるとともに、バランス良く振動させることができる。また、アウターヨーク５８Ｋが分割体から構成されていれば、コイルボビン部５２への取り付けが容易となる。

　図２９は、実施の形態１に係る振動アクチュエータと、実施の形態８～１０の振動アクチュエータについて、駆動周波数と振動加速度との関係の一例を示すグラフである。

　図２９において、グラフＧ１は、振動アクチュエータ１における駆動周波数と振動加速度けるグラフ（図８参照）であり、実線のグラフＧ１０は、振動アクチュエータ１Ｈにおける駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフである。また、破線のグラフＧ１００は、振動アクチュエータ１Ｊにおける駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフであり、グラフＧ１０００は、振動アクチュエータ１Ｋにおける駆動周波数と振動加速度との関係を示すグラフである。

　グラフＧ１で示す振動アクチュエータ１は、共振点の加速度ピークを抑え、ピークが同値になる電圧を印加することにより、従来の振動アクチュエータよりも広い駆動周波数帯（ワイドバンド）な強い振動（振動加速度）を得ることができる（図８参照）。

　図２９に示すように、グラフＧ１０、Ｇ１００、Ｇ１０００に示す振動アクチュエータ１Ｈ、１Ｊ、１Ｋは、振動アクチュエータ１よりも、更に強い振動を、振動アクチュエータ１と同様の広い駆動周波数帯で得ることができる。

　振動アクチュエータ１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｅ、１Ｈ、１Ｊ、１Ｋは、渦電流制動部として筒状導体９０、９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃ、９９、疑似導体９７、外側分割体９８を有する。これら振動アクチュエータ１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｅ、１Ｈ、１Ｊ、１Ｋにおいて、錘部２２、２２Ｈ、２２Ｊ、２４、２４Ｈ、２４Ｊと、可動体コア４１、４１Ｈ、４１Ｊ、４２、４２Ｈ、４２Ｊとの嵌合はどのような形状により行われてもよい。

　例えば、錘部２２、２２Ｈ、２２Ｊ、２４、２４Ｈ、２４Ｊと、可動体コア４１、４１Ｈ、４１Ｊ、４２、４２Ｈ、４２Ｊとの凹凸による嵌合形状を逆にしてもよい。この構成については、図３０～図３３を用いて以下に説明する。

（実施の形態１１）
　図３０は、本発明の実施の形態１１に係る振動アクチュエータの縦断面図である。
　図３０に示す振動アクチュエータ１Ｌは、振動アクチュエータ１の構成において、可動体コア４１、４２及び錘部２２、２６に換えて可動体コア４１０、４２０及び錘部２２０、２４０を有するものである。なお、振動アクチュエータ１Ｌの説明において振動アクチュエータ１と同様の構成については同名称、同符号或いは同符号のみを付して説明は省略する。

　振動アクチュエータ１Ｌは、マグネット３０を有する可動体２０Ｌと、コイル６１、６２、筒状導体（渦電流制動部）９０を有する固定体５０と、可動体２０Ｌを固定体５０に対して往復動自在に支持する弾性支持部８１、８２と、を有する。

　振動アクチュエータ１Ｌの可動体２０Ｌは、マグネット３０の他、可動体コア４１０、４２０、錘部２２０、２４０、固定ピン２６、２８を有する。可動体コア４１０、４２０は、可動体コア４１、４２と比較して同様の機能を有するが形状が異なる。

　可動体コア４１０、４２０は、円盤状であり、マグネット３０に接触する裏面の中央部に形成された凹状の中央凹部４１３、４２３と、表面側の中央に凸状に突出して形成された中央凸部４１５、４２５とを有する。

　可動体コア４１０、４２０は、外形が平面視円状に形成された磁性体であり、ヨークとして機能する。

　可動体コア４１０、４２０は、夫々の裏面を、マグネット３０の表裏面３０ａ、３０ｂに当接して取り付けられてマグネット３０を挟むように配置される。中央凸部４１５、４２５は、円柱状に形成され、マグネット３０に対して上下方向に突出して設けられている。

　中央凸部４１５、４２５には、ばね止の機能を有する錘部２２０、２４０の筒状の接合部２２２Ｌ、２４２Ｌの先端部が外嵌する。なお、中央凹部４１３、４２３は、底面が円形の円柱状に窪んだ形状であり、例えば、磁性体であるＳＥＣＣ等の金属板にエンボス加工することで、金属板に中央凸部４１５、４２５とともに形成されて、可動体コア４１０、４２０を構成してもよい。

　錘部２２０、２４０は、錘部２２、２４と同様の機能を有する筒状体であり、中央で貫通する開口部２２１、２４１を有する。錘部２２０、２４０は、同形状に形成され、マグネット３０及び可動コア４１０、４２０の可動体側磁気回路に、弾性支持部８１、８２を接続するとともに、調整可能な錘として機能する。弾性支持部８１、８２には、振動を減衰するダンパー７２が取り付けられている。

　錘部２２０、２４０は、接合部２２２Ｌ、２４２Ｌと、ばね固定部２２４Ｌ、２４４Ｌとを有する。錘部２２０、２４０は、錘部２２、２４と比較して、接合部２２２Ｌ、２４２Ｌの軸方向（上下方向）の長さが、接合部２２２、２４２よりも短い。

　接合部２２２Ｌ、２４２Ｌと、ばね固定部２２４Ｌ、２４４Ｌとは、振動方向（具体的には上下方向）に連設されている。

　接合部２２２Ｌ、２４２Ｌは、可動体コア４１０、４２０の中央凸部４１５、４２５に位置決めされるように外嵌されている。接合部２２２Ｌ、２４２Ｌは、中央凸部４１５、４２５に圧入或いは、エポキシ樹脂等の熱硬化型接着剤や嫌気性接着剤を用いた接着により固定されてもよい。

　ばね固定部２２４Ｌ、２４４Ｌは、接合部２２２Ｌ、２４２Ｌ側とは反対側の端部の、開口部２２１、２４１に夫々固定ピン２６、２８を挿入することで、弾性支持部８１、８２の内周部８０２を夫々挟んだ状態で固定している。なお、固定ピン２６、２８のピン本体２６２、２８２の先端部は、開口部２２１、２４１内で、中央凸部４１５、４２５と離間しているが、当接するように構成されてもよい。

　可動体２０Ｌにおいて軸心を含む中央部で、接合部２２２Ｌ、２４２Ｌと中央凸部４１５、４２５とが嵌合し、可動体コア４１０、４２０と錘部２２０、２４０とを位置決めした状態で接合できる。また、可動体２０Ｌの軸心を含む中央部で、ばね固定部２２４Ｌ、２４２Ｌと弾性支持部８１、８２の内周部８０２とが接続されている。

（実施の形態１２）
　図３１は、本発明の実施の形態１２に係る振動アクチュエータの縦断面図である。
　図３１に示す振動アクチュエータ１Ｎは、振動アクチュエータ１Ｈの構成において、錘部２２Ｈ、２４Ｈ、固定ピン２６Ｈ、２８Ｈ及び可動体コア４１Ｈ、４２Ｈを、錘部２２０Ｎ、２４０Ｎ、固定ピン２６Ｎ、２８Ｎ及び可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎに替えたものである。なお、振動アクチュエータ１Ｎの説明において振動アクチュエータ１Ｈと同様の構成については同名称、同符号或いは同符号のみを付して説明は省略する。

　振動アクチュエータ１Ｎは、マグネット３０Ｎを有する可動体２０Ｎと、コイル６１、６２及び筒状導体（渦電流制動部）９０を有する固定体５０Ｎと、可動体２０Ｎを固定体５０Ｎに対して往復動自在に支持する弾性支持部８１、８２と、を有する。

　振動アクチュエータ１Ｎの可動体２０Ｎは、マグネット３０Ｎの他、可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎ、錘部２２０Ｎ、２４０Ｎ、固定ピン２６Ｎ、２８Ｎを有する。

　可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎは、可動体コア４１Ｈ、４２Ｈと比較して同様の機能を有するが形状が異なる。可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎは、図３０に示す可動体コア４１０、４２０と同様に構成されており、マグネット３０Ｎに接触する裏面の中央部に凹状の中央凹部４１３、４２３を有し、表面側の中央に凸状に突出する中央凸部４１５、４２５を有する。

　可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎは、外形が平面視円状に形成された磁性体であり、ヨークとして機能し、可動体コア４１０、４２０と同様にマグネット３０Ｎに取り付けられている。

　可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎの中央凸部４１５、４２５には、ばね止の機能を有する錘部２２０Ｎ、２４０Ｎの筒状の錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎの開口部２２１Ｎ、２４１Ｎが外嵌する。

　錘部２２０Ｎ、２４０Ｎは、中央に開口部２２１Ｎ、２４１Ｎを有する筒状体であり、可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎに積層される環状の錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎと、ばね固定部２２４Ｎ、２４４Ｎとを有する。

　錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎは、可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎに接合する接合部としての機能を有する。錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎは、錘本体２２３、２４２と同様に、振動方向（上下方向）に厚みを有し、この厚みを調整することにより、錘部２２０Ｎ，２４０Ｎ、ひいては可動体２０Ｎの重量を調整する。なお、錘部２２０Ｎ、２４０Ｎは、錘部２２Ｈ、２４Ｈと同様に、錘機能とばね固定機能を有する。

　錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎは、錘本体２２３、２４３と同様の機能を有し、例えば、外面に、マグネット３０Ｎから離間する側につれて外径が小さくなるよう勾配を付けて構成され、弾性支持部８１、８２の可動領域を確保している。

　錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎにおいて外径が狭窄した先端面には、先端面から突出して筒状のばね固定部２２４Ｎ、２４４Ｎが設けられている。ばね固定部２２４Ｎ、２４４Ｎは、弾性支持部８１、８２を可動体２０Ｎに固定する。

なお、固定ピン２６Ｎ、２８Ｎのピン本体２６２Ｎ、２８２Ｎの先端部は、開口部２２１Ｎ、２４１Ｎ内で、中央凸部４１５、４２５に当接しているが、離間して配置されてもよい。

　可動体２０Ｎにおいて軸心を含む中央部で、接合部として機能する錘本体２２３Ｎ、２４３Ｎと中央凸部４１５、４２５とが嵌合し、可動体コア４１０Ｎ、４２０Ｎと錘部２２０Ｎ、２４０Ｎとを位置決めした状態で接合できる。また、軸心を含む中央部で、ばね固定部２２４Ｎ、２４４Ｎと弾性支持部８１、８２の内周部８０２とが接続されている。

（実施の形態１３）
　図３２は、本発明の実施の形態１３に係る振動アクチュエータの縦断面図である。図３２に示す振動アクチュエータ１Ｐは、振動アクチュエータ１Ｊの構成において、錘部２２Ｊ、２４Ｊ、固定ピン２６Ｊ、２８Ｊ及び可動体コア４１Ｊ、４２Ｊに換えて錘部２２０Ｐ、２４０Ｐ、固定ピン２６Ｐ、２８Ｐ及び可動体コア４１０Ｐ、４２０Ｐを有するものである。なお、振動アクチュエータ１Ｐの説明において振動アクチュエータ１Ｊと同様の構成については同名称、同符号或いは同符号のみを付して説明は省略する。

　振動アクチュエータ１Ｐは、マグネット３０Ｐを有する可動体２０Ｐと、コイル６１、６２、筒状導体９０及びアウターヨーク５８Ｐを有する固定体５０Ｐと、可動体２０Ｐを固定体５０Ｐに対して往復動自在に支持する弾性支持部８１、８２と、を有する。

　振動アクチュエータ１Ｐの可動体２０Ｐは、マグネット３０Ｐの他、可動体コア４１０Ｐ、４２０Ｐ、錘部２２０Ｐ、２４０Ｐ、固定ピン２６Ｐ、２８Ｐを有する。

　可動体コア４１０Ｐ、４２０Ｐは、図３０に示す可動体コア４１０、４２０と同様に構成されており、マグネット３０Ｐに接触する裏面の中央部に凹状の中央凹部４１３、４２３を有し、表面側の中央に凸状に突出する中央凸部４１５、４２５を有する。

　可動体コア４１０Ｐ、４２０Ｐの中央凸部４１５、４２５には、錘部２２０Ｐ、２４０Ｐの筒状の接合部２２２Ｐ、２４２Ｐの開口部２２１、２４１が外嵌する。

　錘部２２０Ｐ、２４０Ｐは、錘部２２Ｊ、２４Ｊと同様の機能を有し、接合部２２２Ｐ、２４２Ｐと、弾性支持部８１、８２を可動体２０Ｐに固定するばね固定部２２４Ｐ、２４４Ｐとを有する。

　錘部２２０Ｐ、２４０Ｐは、錘部２２Ｊ、２４Ｊと比較して、接合部２２２Ｐ、２４２Ｐの軸方向の長さが異なり（接合部２２２、２４２よりも短い）、その他の構成は同様である。なお、固定ピン２６Ｐ、２８Ｐのピン本体２６２Ｐ、２８２Ｐの先端部は、開口部２２１Ｐ、２４１Ｐ内で、中央凸部４１５、４２５に当接しているが、離間して配置されてもよい。固定ピン２６Ｐ、２８Ｐは、固定ピン２６Ｊ、２８Ｊと比較して、ピン本体２６２Ｐ、２８２Ｐの軸方向の長さが、ピン本体２６２Ｊ、２８２Ｊよりも短い。

　可動体２０Ｐにおいて軸心を含む中央部で、接合部２２２Ｐ、２４２Ｐと中央凸部４１５、４２５とが嵌合し、ばね固定部２２４Ｐ、２４４Ｐと弾性支持部８１、８２の内周部８０２とが接続されている。

（実施の形態１４）
　図３３は、本発明の実施の形態１４に係る振動アクチュエータの縦断面図である。
　図３３に示す振動アクチュエータ１Ｑは、振動アクチュエータ１Ｋの構成において、錘部２２Ｋ、２４Ｋ、固定ピン２６Ｋ、２８Ｋ及び可動体コア４１、４２に換えて錘部２２０Ｑ、２４０Ｑ、固定ピン２６Ｑ、２８Ｑ及び可動体コア４１０Ｑ、４２０Ｑを有するものである。なお、振動アクチュエータ１Ｑの説明において振動アクチュエータ１Ｋと同様の構成については同名称、同符号或いは同符号のみを付して説明は省略する。

　振動アクチュエータ１Ｑは、振動アクチュエータ１Ｋと同様に、ケースを無くして、軽量化が図られている。

　振動アクチュエータ１Ｑは、駆動ユニット１３Ｑと、駆動ユニット１３Ｑの振動方向で開口する両端部の夫々に設けられた第１環状カバー１１Ｑ及び第２環状カバー１２Ｑとを有する。第１環状カバー１１Ｑ及び第２環状カバー１２Ｑは、第１環状カバー１１Ｋ及び第２環状カバー１２Ｋと同様の構成、機能を有するので説明は省略する。

　駆動ユニット１３Ｑは、マグネット３０Ｑを有する可動体２０Ｑと、コイル６１、６２、筒状導体９０及びアウターヨーク５８Ｑを有する固定体５０Ｑと、可動体２０Ｑを固定体５０Ｑに対して往復動自在に支持する弾性支持部８１、８２と、を有する。

　振動アクチュエータ１Ｑの可動体２０Ｑは、マグネット３０Ｑの他、可動体コア４１０Ｑ、４２０Ｑ、錘部２２０Ｑ、２４０Ｑ、固定ピン２６Ｑ、２８Ｑを有する。

　可動体コア４１０Ｑ、４２０Ｑは、図３０に示す可動体コア４１０、４２０と同様に構成されており、マグネット３０Ｑに接触する裏面の中央部に凹状の中央凹部４１３、４２３を有し、表面側の中央に凸状に突出する中央凸部４１５、４２５を有する。

　可動体コア４１０Ｑ、４２０Ｑの中央凸部４１５、４２５には、錘部２２０Ｑ、２４０Ｑの筒状の接合部２２２Ｑ、２４２Ｑの開口部２２１、２４１が外嵌する。

　錘部２２０Ｑ、２４０Ｑは、錘部２２Ｋ、２４Ｋと同様の機能を有し、接合部２２２Ｑ、２４２Ｑと、弾性支持部８１、８２を可動体２０Ｑに固定するばね固定部２２４Ｑ、２４４Ｑとを有する。

　錘部２２０Ｑ、２４０Ｑは、錘部２２Ｋ、２４Ｋと比較して、接合部２２２Ｑ、２４２Ｑの軸方向の長さが異なり（接合部２２２、２４２よりも短い）、その他の構成は同様である。なお、ピン本体２６２、２８２が、開口部２２１、２４１内で、中央凸部４１５、４２５に当接しているが、離間して配置されてもよい。

　可動体２０Ｑにおいて軸心を含む中央部で、接合部２２２Ｑ、２４２Ｑと中央凸部４１５、４２５とが位置決めされた状態で嵌合されるとともに、ばね固定部２２４Ｑ、２４４Ｑと弾性支持部８１、８２の内周部８０２とが接続されている。

　これら可動体コア４１０、４１０Ｎ、４１０Ｐ、４１０Ｑ、４２０、４２０Ｎ、４２０Ｐ、４２０Ｑと、錘部２２０、２２０Ｎ、２２０Ｐ、２２０Ｑ、２４０、２４０Ｎ、２４０Ｐ、２４０Ｑの夫々では、可動体コアを凸状、錘部を凹状として互い嵌合する形状として説明した。これらの嵌合形状を、可動体コア４１、４１Ｈ、４１Ｊ、４２、４２Ｈ、４２Ｊと錘部２２、２２Ｈ、２２Ｊ、２２Ｋ、２４、２４Ｈ、２４Ｊ、２４Ｋとの嵌合形状に適用して、可動体コアを凸状、錘部を凹状として互い嵌合する構成にすることができる。

（電子機器）
　図３４及び図３５は、振動アクチュエータ１の実装形態の一例を示す図である。図３４は、振動アクチュエータ１をゲームコントローラＧＣに実装した例を示し、図３５は、振動アクチュエータ１を携帯端末Ｍに実装した例を示す。なお、図３４及び図３５に示す実装例は、振動アクチュエータ１に限らず、他の実施の形態の振動アクチュエータも同様に適用される。

　ゲームコントローラＧＣは、例えば、無線通信によりゲーム機本体に接続され、ユーザが握ったり把持したりすることにより使用される。ゲームコントローラＧＣは、ここでは矩形板状を有し、ユーザが両手でゲームコントローラＧＣの左右側を掴み操作するものとしている。

　ゲームコントローラＧＣは、振動により、ゲーム機本体からの指令をユーザに通知する。なお、ゲームコントローラＧＣは、図示しないが、指令通知以外の機能、例えば、ゲーム機本体に対する入力操作部を備える。

　携帯端末Ｍは、例えば、携帯電話やスマートフォン等の携帯通信端末である。携帯端末Ｍは、振動により、外部の通信装置からの着信をユーザに通知するとともに、携帯端末Ｍの各機能（例えば、操作感や臨場感を与える機能）を実現する。

　図３４及び図３５に示すように、ゲームコントローラＧＣ及び携帯端末Ｍは、それぞれ、通信部２０１、処理部２０２、駆動制御部２０３、及び駆動部としての振動アクチュエータ１である振動アクチュエータ２０６を有する。なお、ゲームコントローラＧＣでは、複数の振動アクチュエータ２０４、２０５が実装される。振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６は、振動アクチュエータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｅ、１Ｈ、１Ｊ、１Ｋ、１Ｌ、１Ｎ、１Ｐ、１Ｑを適用されてもよい。

　ゲームコントローラＧＣ及び携帯端末Ｍにおいて、振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６は、端末の主面と振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６の振動方向と直交する面、ここでは底部１１４の底面とが平行となるように実装されることが好ましい。端末の主面とは、ユーザの体表面に接触する面であり、本実施の形態では、ユーザの体表面に接触して振動を伝達する振動伝達面を意味する。なお、端末の主面と、振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６の底部１１４の底面とが直交するように配置されてもよい。

　具体的には、ゲームコントローラＧＣでは、操作するユーザの指先、指の腹、手の平等が接触する面、或いは、操作部が設けられた面と、振動方向が直交するように振動アクチュエータ２０４、２０５が実装される。また、携帯端末Ｍの場合は、表示画面（タッチパネル面）と振動方向が直交するように振動アクチュエータ２０６が実装される。これにより、ゲームコントローラＧＣ及び携帯端末Ｍの主面に対して垂直な方向の振動が、ユーザに伝達される。

　通信部２０１は、外部の通信装置と無線通信により接続され、通信装置からの信号を受信して処理部２０２に出力する。ゲームコントローラＧＣの場合、外部の通信装置は、情報通信端末としてのゲーム機本体であり、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）等の近距離無線通信規格に従って通信が行われる。携帯端末Ｍの場合、外部の通信装置は、例えば基地局であり、移動体通信規格に従って通信が行われる。

　処理部２０２は、入力された信号を、変換回路部（図示省略）により振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６を駆動するための駆動信号に変換して駆動制御部２０３に出力する。なお、携帯端末Ｍにおいては、処理部２０２は、通信部２０１から入力される信号の他、各種機能部（図示省略、例えばタッチパネル等の操作部）から入力される信号に基づいて、駆動信号を生成する。

　駆動制御部２０３は、振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６に接続されており、振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６を駆動するための回路が実装されている。駆動制御部２０３は、振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６に対して駆動信号を供給する。

　振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６は、駆動制御部２０３からの駆動信号に従って駆動する。具体的には、振動アクチュエータ２０４、２０５、２０６において、可動体２０は、ゲームコントローラＧＣ及び携帯端末Ｍの主面に直交する方向に振動する。

　可動体２０は、振動する度に、蓋部１２の天面部１２２又は底部１１４にダンパーを介して接触するようにしてもよい。この場合、可動体２０の振動に伴う蓋部１２の天面部１２２又は底部１１４への衝撃、つまり、筐体への衝撃が、ダイレクトにユーザに振動として伝達される。特に、ゲームコントローラＧＣでは、複数の振動アクチュエータ２０４、２０５が実装されているため、入力される駆動信号に応じて、複数の振動アクチュエータ２０４、２０５のうちの一方、または双方を同時に駆動させることができる。

　ゲームコントローラＧＣ又は携帯端末Ｍに接触するユーザの体表面には、体表面に垂直な方向の振動が伝達されるので、ユーザに対して十分な体感振動を与えることができる。ゲームコントローラＧＣでは、ユーザに対する体感振動を、振動アクチュエータ２０４、２０５のうちの一方、または双方で付与でき、少なくとも強弱の振動を選択的に付与するといった表現力の高い振動を付与できる。

　このように本実施の形態の振動アクチュエータを用いることにより、ゲームコントローラＧＣ又は携帯端末Ｍにおいて、優れた振動特性を安定的に得ることが可能となり、かつ静音での駆動を実現することができる。

　以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。

　また、本発明に係る振動アクチュエータは、ゲームコントローラＧＣ及び携帯端末Ｍ以外の携帯機器（例えば、タブレットＰＣなどの携帯情報端末、携帯型ゲーム端末、ユーザが身につけて使用するウェアラブル端末）に適用する場合に好適である。また、本実施の形態の振動アクチュエータ１は、上述した携帯機器の他、振動を必要とする美顔マッサージ器等の電動理美容器具にも用いることができる。

　２０２４年７月３１日出願の特願２０２４－１２５２２７の日本出願および２０２５年３月２８日出願の特願２０２５－０５６３５６の日本出願にそれぞれ含まれる明細書、図面および要約書の開示内容は、すべて本願に援用される。

　本発明に係る振動アクチュエータは、広い駆動周波数で安定した高い出力で好適な振動を発生することができ、ゲーム機端末或いは携帯端末等の電子機器に搭載されるものとして有用である。

　１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｅ、１Ｈ、１Ｊ、１Ｋ、１Ｌ、１Ｎ、１Ｐ、１Ｑ、２０４、２０５、２０６　振動アクチュエータ、　１０　ケース、　１１　ケース本体、　１１Ｋ、１１Ｑ　第１環状カバー、　１２　蓋部、　１２Ｋ、１２Ｑ　第２環状カバー、　１３、１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｈ、１３Ｊ、１３Ｋ、１３Ｑ　駆動ユニット、　１５、１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｄ、１５Ｅ、１５Ｈ、１５Ｊ、１５Ｋ　コイル組立体、　２０、２０Ｈ、２０Ｊ、２０Ｋ、２０Ｌ、２０Ｎ、２０Ｐ、２０Ｑ　可動体、　２０ａ　外周面、　２２、２２Ｈ、２２Ｊ、２２Ｋ、２４、２４Ｈ、２４Ｊ、２４Ｋ、２２０、２２０Ｎ、２２０Ｐ、２２０Ｑ、２４０、２４０Ｎ、２４０Ｐ、２４０Ｑ　錘部、　２６、２６Ｈ、２６Ｊ、２６Ｎ、２６Ｐ、２６Ｑ、２８、２８Ｈ、２８Ｊ、２８Ｎ、２８Ｐ、２８Ｑ　固定ピン（ばね止ピン）、　３０、３０Ｈ、３０Ｊ、３０Ｋ、３０Ｎ、３０Ｐ、３０Ｑ　マグネット、　３０ａ　表面、　３０ｂ　裏面、　４１、４１Ｈ、４１Ｊ、４２、４２Ｈ、４２Ｊ、４１０Ｎ、４１０Ｐ、４１０Ｑ、４２０、４２０Ｎ、４２０Ｐ、４２０Ｑ　可動体コア、　５０、５０Ｈ、５０Ｊ　固定体、　５２、５２Ｆ　コイルボビン部（コイル保持部）、　５２ａ　内周面、　５２ｂ、５２ｃ　コイル取付部、　５３、５３－１、５３－２、５３－３　端子絡げ部、　５４　可動範囲形成部（突起）、　５５　連絡溝部（溝部）、　５８、５８Ｈ、５８Ｊ、５８Ｋ、５８Ｐ、５８Ｑ　アウターヨーク、　６１、６２　コイル、　８１、８２　弾性支持部、　９０、９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃ　筒状導体（渦電流制動部）、　９２　分割導体（渦電流制動部）、　９４、９６　分割体（渦電流制動部）、　９７、９７ａ、９７ｂ　疑似導体（渦電流制動部）、　９８　外側分割体（渦電流制動部）、　９９　筒状導体（渦電流制動部）、　９９ａ　第１凹状導体（渦電流制動部）、　９９ｂ　第２凹状導体（渦電流制動部）、　１１２　周壁部、　１１４　底部、　１１５　開口部、　１１８、１１９　段差部、　１２２　天面部、　１２４　垂下部、　１２８　押圧部、　２０１　通信部、　２０２　処理部、　２０３　駆動制御部、　２２１、２２１Ｎ、２２１Ｐ、２４１、２４１Ｎ、２４１Ｐ、５８２、５８３　開口部、　２２２、２２２Ｈ、２２２Ｌ、２４２、２４２Ｈ、２４２Ｌ、　接合部、　２２３、２４３　錘本体、　２２４、２２４Ｈ、２４４、２４４Ｈ　ばね固定部、　２６２、２６２Ｈ、２６２Ｊ、２６２Ｐ、２８２、２８２Ｈ、２８２Ｊ、２８２Ｎ、２８２Ｐ　ピン本体、　２６４、２８４　フランジ、　４１３、４２３　中央凹部、　４１５、４２５　中央凸部　５２２　ボビン本体部（コイル保護壁部）、　５２ａ　内周面、　５２６　中央フランジ部（中央壁部）、　５２７、５２８　フランジ部、　５２７ａ　上端面、　５２８ａ　下端面、　５２９　位置決め係合部、　５８１　ヨーク本体、　６１１、６２１、９７１、９７２　端部、　８０２　内周部、　８０４　変形アーム部、　８０６　外周固定部（外周部）

Claims (9)

1. 　コイルを有する固定体と、
   　前記コイルの径方向内側に配置されるマグネットを有し、前記コイルを流れる電流と前記マグネットの磁場との相互作用により、前記固定体に対して、前記コイルの径方向と直交する振動方向に振動する可動体と、
   　を有し、
   　前記固定体は、
   　前記マグネットの外周で前記マグネットを囲むように配置され、前記磁場内での前記可動体の移動に伴って渦電流を発生し、前記磁場との相互作用により前記可動体の振動を制動する渦電流制動部を有する、
   　振動アクチュエータ。
2. 　前記渦電流制動部は、前記マグネットの径方向外側で前記マグネットに離間して対向配置され、且つ、前記コイルの径方向内側に配置される導電部材からなる筒状体である、
   　請求項１記載の振動アクチュエータ。
3. 　前記筒状体は、周方向で複数に分割して配置され、夫々振動方向に延在する複数の分割体から構成される、
   　請求項２記載の振動アクチュエータ。
4. 　前記筒状体は、振動方向で複数分割して配置され夫々筒状の分割体により構成される、
   　請求項２記載の振動アクチュエータ。
5. 　前記固定体は、前記マグネットを囲むように配置され、前記コイルを前記径方向内側で前記可動体から隔てて支持する筒状の非磁性体であるコイル保持部を有し、
   　前記渦電流制動部は、前記コイル保持部の内周面或いは、前記コイル保持部の外周面に、周方向に渡って配置される、
   　請求項２記載の振動アクチュエータ。
6. 　前記渦電流制動部は、前記コイル保持部の外周面と前記コイルの内周面との間で、前記外周面に隣接して配置される導電部材で形成された筒状体である、
   　請求項５記載の振動アクチュエータ。
7. 　前記渦電流制動部は、前記コイル保持部の外周面と前記コイルの内周面との間で、前記外周面に隣接して配置されるコイル線からなる筒状の疑似導体である、
   　請求項５記載の振動アクチュエータ。
8. 　前記渦電流制動部は、前記コイルを囲むように前記コイルの径方向外側に配置される導電性を有する筒状の導体である、
   　請求項５記載の振動アクチュエータ。
9. 　請求項１から８のいずれか一項に記載の振動アクチュエータを実装した、
   　電子機器。