WO2025263227A1 - 作業支援方法および作業支援システム - Google Patents

作業支援方法および作業支援システム

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WO2025263227A1
WO2025263227A1 PCT/JP2025/018709 JP2025018709W WO2025263227A1 WO 2025263227 A1 WO2025263227 A1 WO 2025263227A1 JP 2025018709 W JP2025018709 W JP 2025018709W WO 2025263227 A1 WO2025263227 A1 WO 2025263227A1
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WO
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plate
work support
work
unit
shaped object
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PCT/JP2025/018709
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English (en)
French (fr)
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宏修 顔
進二 清水
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Screen Holdings Co Ltd
Original Assignee
Screen Holdings Co Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING SYSTEMS, e.g. PERSONAL CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
    • G08B21/02—Alarms for ensuring the safety of persons
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING SYSTEMS, e.g. PERSONAL CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
    • G08B21/18—Status alarms
    • G08B21/24—Reminder alarms, e.g. anti-loss alarms
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING SYSTEMS, e.g. PERSONAL CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B23/00—Alarms responsive to unspecified undesired or abnormal conditions

Definitions

  • the present invention relates to a work support method and work support system for performing predetermined work, such as maintenance work, on industrial equipment, such as substrate processing equipment, which performs predetermined processing on substrates.
  • substrate processing equipment include, for example, semiconductor substrates, substrates for liquid crystal displays, substrates for flat panel displays (FPDs), substrates for optical disks, substrates for magnetic disks, and substrates for solar cells.
  • a first aspect of the present invention is a work support method for performing specified work on industrial equipment, comprising: a preparation step of acquiring a plate-shaped object represented by planarized image data of a work area in a normal state where the industrial equipment is placed; a spatial recognition step of creating a target space mesh, which is mesh data acquired by scanning the work area at a specified timing using a mobile terminal equipped with a display unit, a communication unit, and a spatial recognition unit; a detection step of detecting, as an opening in the work area, a portion where the top surface of the plate-shaped object is visible when viewed from a direction perpendicular to the plate-shaped object with the target space mesh placed on top of the plate-shaped object; and a warning step of issuing a warning when the opening is detected.
  • a rod-shaped object is dropped from a direction perpendicular to the plate-shaped object, and the portion where the rod-shaped object comes into contact with the plate-shaped object is detected as the opening.
  • the mobile device is smart glasses.
  • a seventh aspect is a work support system for performing specified work on industrial equipment using a mobile terminal, comprising: a mobile terminal equipped with a display unit and a communication unit; a memory unit that stores a plate-shaped object represented by flattened image data of a work area in which the industrial equipment is placed in a normal state; a space recognition unit provided in the mobile terminal that creates a target space mesh, which is mesh data obtained by scanning the work area at a specified timing; an abnormality detection unit that detects, as an opening in the work area, a portion where the top surface of the plate-shaped object is visible when viewed from a direction perpendicular to the plate-shaped object with the target space mesh placed on top of the plate-shaped object; and a warning issuance unit that issues a warning when the abnormality detection unit detects such an opening.
  • a target space mesh when a target space mesh is placed on a plate-like object represented by image data that has been flattened from the normal state of the work area, and the target space mesh is obtained by scanning the work area at a predetermined timing, and when viewed from a direction perpendicular to the plate-like object, the area where the top surface of the plate-like object is visible is detected as an opening in the work area.
  • openings are detected non-optically, allowing the worker to recognize openings that have formed around them even in dark environments.
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a work support system according to the present invention.
  • the work support system according to the present invention comprises multiple substrate processing devices 50, smart glasses 10, a server 70, and a work support terminal 80.
  • the controllers of the smart glasses 10 and the substrate processing devices 50 are connected to an information and communication network 5 (e.g., the Internet) via wireless communication.
  • the work support terminal 80 and the server 70 are connected to the information and communication network 5 via a wired connection.
  • Information can be sent and received between devices connected to the information and communication network 5; for example, information can be exchanged between the smart glasses 10 and the work support terminal 80.
  • Note that whether each device is connected to the information and communication network 5 wirelessly or via a wired connection is not limited to the above example, and can be any suitable form (for example, the work support terminal 80 may be connected to the information and communication network 5 wirelessly).
  • Figure 2 is a plan view showing an example of the layout of multiple substrate processing apparatuses 50.
  • multiple substrate processing apparatuses 50 are arranged in a regular pattern at regular intervals within a clean room 40.
  • the clean room 40 is located, for example, within a semiconductor device manufacturing factory, and is a room where a certain level of air cleanliness is ensured and the temperature and humidity are controlled.
  • multiple substrate processing apparatuses 50 of the same type and model are arranged within the relatively large clean room 40. Therefore, it is difficult for an operator to distinguish between the substrate processing apparatuses 50 arranged within the clean room 40 based on their appearance alone.
  • Figure 3 is a side view showing the configuration of one substrate processing apparatus 50.
  • Figure 4 is a plan view of the substrate processing apparatus 50.
  • the substrate processing apparatus 50 is, for example, a single-wafer substrate cleaning apparatus that cleans substrates one by one.
  • the substrate processing apparatus 50 has an indexer 51, multiple processing units 52, a transfer robot 56, and a main transport robot 57.
  • one substrate processing apparatus 50 for example, three processing units 52 are stacked to form one stack. Then, for example, four stacks are arranged around the main transport robot 57 of the substrate processing apparatus 50.
  • the main transport robot 57 located at the center of the four stacks, is configured to be capable of lifting and lowering, rotating, and moving its transport arm AM forward and backward.
  • the main transport robot 57 can deliver substrates W to and from all 12 processing units 52.
  • the main transport robot 57 receives unprocessed substrates W from the transfer robot 56 and transports them into one of the 12 processing units 52.
  • the main transport robot 57 also removes processed substrates W from the processing units 52 and hands them over to the transfer robot 56.
  • the substrate processing apparatus 50 also includes a control unit 55.
  • the control unit 55 is a general-purpose computer that controls the operation of the transfer robot 56, main transport robot 57, and each processing unit 52 provided within the apparatus.
  • the control unit 55 has a touch panel that serves as an input/output interface provided on the wall of the apparatus, and a communication unit that communicates with the outside of the apparatus. Note that, for convenience of illustration in Figures 3 and 4, the control unit 55 is shown within the indexer 51, but this is not limiting, and the control unit 55 may be provided in an appropriate position within the substrate processing apparatus 50.
  • FIG. 5 is a diagram showing the schematic configuration of the processing unit 52.
  • the processing unit 52 comprises a processing chamber 60, a rotating holder 61, and a discharge nozzle 65.
  • the processing chamber 60 is a hollow housing.
  • the rotating holder 61, discharge nozzle 65, etc. are provided inside the processing chamber 60.
  • the processing chamber 60 also has a loading/unloading port (not shown).
  • the loading/unloading port is opened and closed by a shutter. With the loading/unloading port open, the main transport robot 57 loads and unloads substrates W into and from the processing chamber 60.
  • the loading/unloading port is closed while the substrate W is being processed.
  • the processing chamber 60 also has an air supply mechanism and an exhaust mechanism (not shown).
  • the rotating holder 61 includes a spin chuck 62 and a spin motor 63.
  • the spin chuck 62 is a substrate holder that holds the substrate W in a horizontal position (a position in which the normal to the main surface of the substrate W is aligned vertically).
  • the spin chuck 62 is, for example, a vacuum suction-type chuck.
  • the spin chuck 62 has a circular disk shape with a diameter smaller than the diameter of the substrate W.
  • the spin chuck 62 suction-holds the central portion of the lower surface of the substrate W. When the lower surface of the substrate W is suction-held by the spin chuck 62, the peripheral edge of the substrate W extends beyond the outer circumferential edge of the spin chuck 62.
  • the spin chuck 62 may also be another type of chuck, such as a clamping-type mechanical chuck.
  • the spin chuck 62 is connected to the spin motor 63 via a motor shaft. That is, the upper end of the motor shaft of the spin motor 63 is connected to the center of the underside of the spin chuck 62.
  • the spin motor 63 rotates the motor shaft while the substrate W is held by suction on the spin chuck 62, the substrate W and spin chuck 62 rotate in a horizontal plane around a rotation axis that runs vertically.
  • a cup 64 is provided to surround the spin chuck 62.
  • the cup 64 can be raised and lowered by a lifting mechanism (not shown).
  • the cup 64 has a cylindrical shape, and the upper part of the cup 64 is inclined so that it approaches the spin chuck 62 as it goes up. However, the inner diameter of the upper end part of the cup 64 is larger than the diameter of the substrate W.
  • the upper end of the cup 64 is higher than the height position of the substrate W held by the spin chuck 62. Therefore, liquid scattered by centrifugal force from the substrate W rotated by the spin motor 63 is received and recovered by the cup 64.
  • the liquid recovered by the cup 64 is discharged from a drain pipe provided at the bottom of the cup 64.
  • the cup 64 may have a multi-stage structure with multiple recovery ports provided for different purposes.
  • the discharge nozzle 65 discharges a processing liquid onto the substrate W held on the spin chuck 62.
  • processing liquid encompasses various chemical liquids and pure water. Examples of chemical liquids include liquids for etching or liquids for removing particles. Specifically, SC-1 liquid (a mixed solution of ammonium hydroxide, hydrogen peroxide, and pure water), SC-2 liquid (a mixed solution of hydrochloric acid, hydrogen peroxide, and pure water), or hydrofluoric acid are used.
  • the discharge nozzle 65 is moved by a drive mechanism (not shown) between a processing position above the spin chuck 62 and a standby position outside the cup 64.
  • the smart glasses 10 are a type of wearable terminal that uses a head-mounted display (HMD).
  • the smart glasses 10 are also devices that realize AR (Augmented Reality) or MR (Mixed Reality).
  • AR Augmented Reality
  • MR Mated Reality
  • Microsoft's "HoloLens" registered trademark
  • FIG. 6 is a perspective view showing the appearance of the smart glasses 10.
  • the smart glasses 10 include a visor 11 and a headband 12.
  • a worker wears the smart glasses 10 by placing the headband 12 on their head. The worker can adjust the length of the headband 12 to fit the size of their head.
  • the headband 12 also includes a power button, brightness button, volume button, etc.
  • the visor 11 includes various sensors and a display.
  • the display is a see-through holographic lens.
  • the display is capable of displaying three-dimensional images in the worker's field of vision using holograms, and transmits light from real objects in the same way as regular eyeglass lenses. Therefore, a worker wearing the smart glasses 10 can view the displayed three-dimensional images while also viewing real objects through the display.
  • the sensors on the visor 11 include, for example, multiple visible light cameras that mainly capture images in front of the visor 11, an infrared camera that tracks the worker's line of sight, a depth sensor that measures the distance to an object, and an inertial measurement sensor.
  • the infrared camera tracks the line of sight by measuring the eye movement of the person wearing the smart glasses 10.
  • the depth sensor measures the distance to an object using, for example, the ToF (Time of Flight) method.
  • the inertial measurement sensor is composed of an accelerometer, gyroscope, magnetometer, etc.
  • the smart glasses 10 also have a built-in computer equipped with a CPU, memory, etc.
  • the smart glasses 10 are also equipped with a wireless communication mechanism, and the computer in the smart glasses 10 connects to the information and communication network 5 using this wireless communication mechanism.
  • the smart glasses 10 are also equipped with a microphone, speaker, battery, etc.
  • FIG. 7 is a block diagram showing the functional configuration of the smart glasses 10, server 70, work support terminal 80, and control unit 55 of the substrate processing apparatus 50.
  • the smart glasses 10 include, as hardware elements, an imaging unit 21, a communication unit 22, a display unit 23, a memory unit 24, and a spatial recognition unit 25.
  • the imaging unit 21 includes a visible light camera provided on the visor 11 described above.
  • the imaging unit 21 includes, for example, four visible light cameras that capture images forward and diagonally forward, and can capture images of the field of view of the worker wearing the smart glasses 10.
  • the communication unit 22 includes the wireless communication mechanism of the smart glasses 10 described above.
  • the communication unit 22 sends and receives data to and from the work support terminal 80 and the server 70 via the information and communication network 5.
  • the communication unit 22 can also send and receive data directly to the control unit 55 of the substrate processing apparatus 50 if the distance is short. In other words, the communication unit 22 can send data and commands to the control unit 55 of the substrate processing apparatus 50 directly or via the information and communication network 5.
  • the display unit 23 includes the display of the visor 11 described above.
  • the display unit 23 has a holographic processing device and displays a 3D image at a predetermined spatial position using hologram technology. Note that the 3D image displayed by the display unit 23 is not limited to a three-dimensional shape, and may also be a two-dimensional image such as a document.
  • the memory unit 24 includes memory and storage installed in the smart glasses 10.
  • the memory and storage provided in the smart glasses 10 are, for example, DRAM (Dynamic Random Access Memory) and UFS (Universal Flash Storage), respectively.
  • the memory unit 24 stores applications and data used by the computer in the smart glasses 10.
  • the spatial recognition unit 25 includes the depth sensor of the smart glasses 10 described above.
  • the depth sensor can measure the distance to an object.
  • the spatial recognition unit 25 can perform spatial mapping by scanning the space with the depth sensor. Specifically, the spatial recognition unit 25 creates a spatial mesh, which is mesh data, by scanning the space. Because the spatial recognition unit 25 uses a depth sensor, it is possible to scan the space even in dark places.
  • the smart glasses 10 also include an image conversion unit 31, an abnormality detection unit 32, a warning issuance unit 33, and a location registration unit 34.
  • the image conversion unit 31, abnormality detection unit 32, warning issuance unit 33, and location registration unit 34 are functional processing units realized by the CPU of the smart glasses 10 executing a predetermined processing program. The processing details of the image conversion unit 31, abnormality detection unit 32, warning issuance unit 33, and location registration unit 34 will be described in further detail below.
  • the control unit 55 of the substrate processing apparatus 50 controls the operation of mechanisms provided in the processing unit 52, such as the discharge nozzle 65.
  • the control unit 55 of the substrate processing apparatus 50 can communicate with the communication unit 22 of the smart glasses 10, and can also control the operation of various mechanisms provided in the processing unit 52 in accordance with operation instruction commands sent from the smart glasses 10.
  • the work support terminal 80 is installed, for example, in a factory of a vendor that manufactures the substrate processing equipment 50 and undertakes its maintenance and inspection.
  • the server 70 is installed in a clean room 40 in which multiple substrate processing equipment 50 are installed.
  • the work support terminal 80 and the server 70 are capable of communicating with the smart glasses 10 via the information and communication network 5.
  • the work support terminal 80 and the server 70 are also capable of communicating with each other via the information and communication network 5.
  • the work support terminal 80 and server 70 are general-purpose computer systems. That is, the work support terminal 80 and server 70 are equipped with a CPU, which is a circuit that performs various arithmetic processing, ROM, which is read-only memory that stores basic programs, RAM, which is readable and writable memory that stores various information, a storage unit (e.g., a magnetic disk or SSD) that stores control software and data, and a communication unit that communicates with the information and communication network 5.
  • a CPU which is a circuit that performs various arithmetic processing
  • ROM read-only memory that stores basic programs
  • RAM which is readable and writable memory that stores various information
  • storage unit e.g., a magnetic disk or SSD
  • a communication unit that communicates with the information and communication network 5.
  • the work support terminal 80 is a computer used by, for example, a work support staff member on the vendor's side to support the work of workers in the clean room 40.
  • the work support staff member can send various information from the work support terminal 80 to the smart glasses 10 worn by the workers in the clean room 40.
  • the server 70 is a computer that executes predetermined processes in response to requests from the smart glasses 10 and the work support terminal 80.
  • the server 70 is equipped with a memory unit 74 with a relatively large capacity. Large-sized data created by the smart glasses 10 and the work support terminal 80 may be stored in the memory unit 74.
  • the work assistance method of the present invention includes a preparatory step in which a plate-shaped object based on a normal state is created, and a step in which a worker wearing smart glasses 10 detects abnormalities such as openings in the work area.
  • a preparatory step in which a plate-shaped object based on a normal state is created, and a step in which a worker wearing smart glasses 10 detects abnormalities such as openings in the work area.
  • FIG 8 is a flowchart showing the preparatory steps in the work assistance method according to the present invention.
  • a spatial mesh in a normal state is created for the floor surface within the clean room 40 using the smart glasses 10 (step S11).
  • Figure 9 is a diagram illustrating how a worker wearing the smart glasses 10 moves (walks) within the clean room 40 to create a spatial mesh.
  • the work area 101 is a partial area within the clean room 40.
  • One substrate processing apparatus 50 is located in the work area 101.
  • the worker wearing the smart glasses 10 walks around the work area 101 with the scan mode of the smart glasses 10 turned on.
  • the worker wearing the smart glasses 10 walks around the perimeter of the substrate processing apparatus 50 along the path indicated by the arrow AR9. Note that in the example of Figure 9, there are no openings in the floor surface of the work area 101.
  • the worker selects the scan mode with a hand gesture from a menu screen displayed as a 3D image on the display unit 23.
  • the hand gesture is captured and detected by the imaging unit 21, and the computer in the smart glasses 10 recognizes from the detection results that the scan mode has been selected and turns on the scan mode.
  • the worker may turn on the scan mode by pressing a predetermined button provided on the smart glasses 10.
  • the spatial recognition unit 25 of the smart glasses 10 begins scanning the space.
  • the spatial recognition unit 25 sequentially scans the space, including the floor of the work area 101, to create a spatial mesh, which is mesh data.
  • the spatial recognition unit 25 of the smart glasses 10 scans the space, including the floor of the work area 101, in a normal state to create a spatial mesh.
  • a normal state is a safe and constant state in which no foreign objects, openings, etc. are present.
  • the work area 101 in Figure 9 is in a normal state because there are no openings in the floor.
  • the spatial mesh created by the spatial recognition unit 25 by scanning the space is mesh data represented by a large number of triangular meshes.
  • Various shapes, including curved and flat surfaces, are represented by a large number of connected triangles.
  • FIG 10 is a diagram showing an example of a spatial mesh created by scanning the floor of the work area 101. Because the floor of the work area 101 is a flat surface with no irregularities, the spatial mesh created by scanning the space including the floor of the work area 101 is represented by a collection of relatively large, low-density triangles, as shown in Figure 10. Because the density of triangles in the spatial mesh is low, the number of vertices of the triangles contained within a unit area is also small (the vertices are contained at a low density).
  • Another fundamental characteristic when creating a spatial mesh is that the positions of the vertices of triangles will be different each time the same object is scanned (i.e., the vertices will not be reproducible).
  • a spatial mesh created by scanning a flat surface as in the example shown in Figure 10, the density of the vertices of triangles is low, so if the positions of the individual vertices are different each time the scan is performed, a different spatial mesh will be created with each scan.
  • the created spatial mesh is converted into image data to obtain a plate-like object (step S12).
  • This process may be performed, for example, by the image conversion unit 31 of the smart glasses 10 or the work support terminal 80.
  • the spatial mesh which is mesh data
  • the object represented by that image data is the plate-like object.
  • a plate-like object is created that is represented by image data obtained by two-dimensionally (flattening) the three-dimensional spatial mesh. Strictly speaking, the plate-like object is a 3D object because, although it is thin, it still has thickness.
  • FIG 11 is a diagram showing an example of a created plate-like object PL.
  • the flat surface is represented as a filled-in area.
  • the hole (unfilled) near the center corresponds to the installation location of the substrate processing apparatus 50 on the floor.
  • the installation location of the substrate processing apparatus 50 which is higher than the smart glasses 10 worn by the worker, cannot be scanned, so it is treated the same as a hole.
  • the created plate-shaped object PL is registered (step S13). Specifically, image data representing the plate-shaped object PL is stored, for example, in the memory unit 24 of the smart glasses 10. Alternatively, if the amount of image data is large, it may be stored, for example, in the memory unit 74 of the server 70.
  • FIG 12 is a flowchart showing the procedure for anomaly detection in the work assistance method according to the present invention.
  • a worker wearing smart glasses 10 enters the work area 101 in the clean room 40 at an appropriate timing to create a spatial mesh (step S21). An example of this timing is when performing maintenance work on the substrate processing apparatus 50.
  • Figure 13 is a diagram for explaining how a worker wearing smart glasses 10 performs work for anomaly detection.
  • the work area 101 is a partial area in the same clean room 40 as in Figure 9, and one substrate processing apparatus 50 is located in the work area 101.
  • a worker performing an anomaly inspection wears smart glasses 10 and walks around the work area 101 with the scan mode turned on.
  • the worker wearing smart glasses 10 walks around the perimeter of the substrate processing apparatus 50 along the path indicated by arrow AR13.
  • the space recognition unit 25 sequentially scans the space within the work area 101 near the smart glasses 10 to obtain a space mesh (target space mesh).
  • the space recognition unit 25 scans the flat floor surface to obtain a space mesh.
  • step S21 the spatial mesh created in step S21 is placed on the plate-shaped object PL obtained in the advance preparation process (step S22).
  • This process is performed, for example, by the anomaly detection unit 32 of the smart glasses 10.
  • Figure 14 is a conceptual diagram showing the state in which the spatial mesh is placed on the plate-shaped object PL.
  • a spatial mesh SD which is mesh data represented by a large number of triangular meshes, is placed on the plate-shaped object PL, which is represented by image data.
  • the spatial mesh SD contains information about the situation within the work area 101.
  • the anomaly detection unit 32 of the smart glasses 10 irradiates a virtual laser from above the plate-like object PL on which the spatial mesh SD has been placed (step S23).
  • Figure 15 is a conceptual diagram showing how a virtual laser is irradiated onto the plate-like object PL on which the spatial mesh SD has been placed.
  • the irradiation of the virtual laser is a calculation process performed by the CPU of the smart glasses 10 by executing a predetermined processing program, and does not actually irradiate laser light.
  • the virtual laser can be considered a rod-shaped object with excellent directionality, just like actual laser light.
  • the virtual laser is emitted from above in a direction perpendicular to the plate-like object PL (the normal direction of the plate-like object PL).
  • emitting a virtual laser can be said to be a process of dropping a rod-like object from above in a direction perpendicular to the plate-like object PL.
  • the anomaly detection unit 32 determines whether the emitted virtual laser hit the plate-like object PL (step S24). Because a spatial mesh SD is placed above the plate-like object PL, in most cases the virtual laser hits the spatial mesh SD and not the plate-like object PL. However, as shown in Figure 15, if there is a gap in the spatial mesh SD along the vertical direction, part of the virtual laser will pass through the gap and hit the plate-like object PL. In other words, the dropped rod-like object passes through the gap formed in the spatial mesh SD and comes into contact with the plate-like object PL. In the example of Figure 15, part of the virtual laser passes through the gap formed in the spatial mesh SD and hits part 118 of the plate-like object PL.
  • step S24 the process proceeds from step S24 to step S25, where the anomaly detection unit 32 detects the portion of the plate-like object PL that is being hit by the virtual laser as an opening.
  • the fact that the virtual laser is hitting the plate-like object PL means that there is a gap in the spatial mesh SD placed above the plate-like object PL, and that there is no hole in the plate-like object PL below.
  • the spatial mesh SD obtained by scanning the work area 101 reflects the situation within the work area 101. In other words, the gap formed in the spatial mesh SD reflects the opening that has appeared in the floor of the work area 101.
  • the lack of a hole in the plate-like object PL means that there was no opening in the floor of the work area 101 at the pre-preparation stage. Therefore, if the virtual laser is hitting the plate-like object PL, it means that an opening has been formed in the floor of the work area 101 after the pre-preparation stage.
  • the anomaly detection unit 32 detects the portion of the plate-like object PL that is being hit by the virtual laser as an opening formed in the floor surface of the work area 101.
  • a grating is removed from the floor of the work area 101, forming an opening 108.
  • a gap corresponding to the opening 108 is formed in the spatial mesh SD obtained by scanning the floor surface of the work area 101, including the opening 108.
  • the plate-shaped object PL created in the preparatory process before registering the plate-shaped object PL does not have a hole corresponding to the opening 108. Therefore, when the anomaly detection unit 32 irradiates a virtual laser from above the spatial mesh SD placed on the plate-shaped object PL, part of the virtual laser passes through the gap corresponding to the opening 108 and hits the plate-shaped object PL. The anomaly detection unit 32 then detects the portion 118 of the plate-shaped object PL that is hit by the virtual laser as the opening 108 formed in the floor surface of the work area 101.
  • the warning unit 33 of the smart glasses 10 issues a warning (step S26). Specifically, for example, in response to a request from the warning unit 33, the display unit 23 displays an annotation overlaid on the opening 108 formed on the floor of the work area 101. For example, the display unit 23 displays a red colored display overlaid on the opening 108 formed on the floor of the work area 101.
  • the annotation displayed by the display unit 23 is a 3D image.
  • the warning unit 33 may cause the display unit 23 to display a warning message as a 3D image. Issuing such a warning allows the worker to recognize the presence of an opening on the nearby floor and to pay attention to the opening, thereby ensuring the worker's safety. In the example of Figure 13, the worker can pay attention to the newly formed opening 108 and perform their work safely.
  • the position registration unit 34 of the smart glasses 10 registers the position information of the detected opening in the memory unit 74 of the server 70 (step S27).
  • the position information of the opening can be calculated from the position of the part of the plate-like object PL that is hit by the virtual laser.
  • the position information of the opening 108 in the work area 101 can be calculated from the position of the part 118 of the plate-like object PL that is hit by the virtual laser.
  • the position information to be registered can be any appropriate information. For example, the coordinate position of the opening 108 within the clean room 40 may be registered, or the relative position of the opening 108 in the work area 101 from the substrate processing apparatus 50 may be registered.
  • step S24 the process proceeds from step S24 to step S28, and the worker continues with the desired work. Since there has been no significant change from the normal state in the environment around the worker, the worker can work safely.
  • the floor surface of the work area 101 in a normal state is scanned to create a spatial mesh, and the spatial mesh is then converted into image data to obtain the plate-shaped object PL.
  • the spatial mesh obtained by scanning the flat floor surface of the work area 101 has a low (coarse) density of triangle vertices, but it contains information about foreign objects and openings present on the floor surface. Therefore, the plate-shaped object PL obtained by converting the spatial mesh into image data also contains information about openings and other elements present on the floor surface. For example, if an opening exists on the floor surface of the work area 101, a hole corresponding to the opening will be formed in the plate-shaped object PL.
  • the plate-shaped object PL is created from the work area 101 in a normal state (no foreign objects, openings, etc.), so no hole corresponding to the opening is formed in the plate-shaped object PL.
  • the hole formed in the plate-shaped object PL shown in the example of Figure 11 corresponds to the installation location of the substrate processing apparatus 50, which cannot be scanned.
  • the floor of the work area 101 is scanned at an appropriate timing to create a spatial mesh (target spatial mesh) SD, and with the spatial mesh SD placed on a previously prepared plate-shaped object PL, a rod-shaped object (a virtual laser in the above embodiment) is dropped from above in a direction perpendicular to the plate-shaped object PL.
  • a rod-shaped object a virtual laser in the above embodiment
  • This is equivalent to detecting, as an opening formed in the floor of the work area 101, the part where the top surface of the plate-shaped object PL is visible when viewed from above in a direction perpendicular to the plate-shaped object PL with the spatial mesh SD placed on top of the plate-shaped object PL.
  • the spatial mesh SD When the spatial mesh SD is placed on top of the plate-shaped object PL and viewed from above in a direction perpendicular to the plate-shaped object PL, the fact that the top surface of the plate-shaped object PL is visible means that there are gaps in the spatial mesh SD and that there are no holes in the plate-shaped object PL.
  • the spatial mesh SD reflects the condition of the floor of the work area 101 at the time of scanning, and any gaps that exist in the spatial mesh SD are due to openings formed in the floor of the work area 101. Furthermore, the lack of holes in the plate-shaped object PL means that there were no openings in the floor of the work area 101 at the pre-preparation stage. In other words, the fact that the top surface of the plate-shaped object PL is visible through the gaps in the spatial mesh SD means that openings in the floor of the work area 101 that did not exist at the pre-preparation stage have been detected.
  • the spatial recognition unit 25 of the smart glasses 10 that create the spatial mesh uses a depth sensor to scan the space, making it possible to process even in dark environments.
  • openings formed in the floor of the work area 101 can be accurately detected, even in dark environments, allowing the worker to recognize those openings.
  • the spatial mesh obtained by scanning the floor surface of the work area 101 which is a flat surface, has a low density of triangle vertices, by converting it into a plate-like object PL represented by image data as in this embodiment, it is possible to accurately detect openings formed in the floor of the work area 101 regardless of the density of the vertices contained in the spatial mesh.
  • the plate-shaped object PL is obtained by converting the spatial mesh created by scanning the floor surface of the work area 101 in a normal state into image data, but this is not limited to this.
  • the image data obtained by converting a design drawing of the floor surface around the substrate processing apparatus 50 in the clean room 40 into a predetermined data format may be registered as the plate-shaped object PL.
  • the plate-shaped object PL was obtained from the spatial mesh in a normal state in the advance preparation step, but this advance preparation step may be omitted and the plate-shaped object may be represented simply as image data of a plate.
  • the installation location of the substrate processing apparatus 50 is also filled in (no holes exist), so there is a risk that this installation location will be mistaken for an opening, and therefore openings can be detected more accurately using the above embodiments.
  • the floor surface near the worker wearing the smart glasses 10 may be scanned and the processing procedure of FIG. 12 may be executed to detect openings in front of the worker in real time, or the entire floor surface of the work area 101 may be scanned once and then all openings present in the work area 101 may be detected at once. If openings in front of the worker can be detected in real time, the worker can work safely.
  • the warning issued by the warning issuing unit 36 may be configured to issue a warning sound from the speaker of the smart glasses 10.
  • the worker uses smart glasses 10, but this is not limited to this.
  • a portable terminal such as a tablet terminal or smartphone may be used.
  • any portable terminal equipped with an imaging unit, display unit, communication unit, etc. will suffice.
  • a wearable terminal such as smart glasses 10.
  • the substrate processing apparatus 50 installed in the clean room 40 is not limited to a substrate cleaning apparatus, but may be any apparatus that performs a predetermined process on a substrate, such as a heat treatment apparatus, exposure apparatus, coating and developing apparatus, measurement apparatus, or inspection apparatus. If the substrate processing apparatus 50 is a substrate cleaning apparatus, it may be a single-wafer type cleaning apparatus that cleans substrates one by one, or a batch type cleaning apparatus that cleans multiple substrates at once.
  • the work support technology according to the present invention is not limited to substrate processing equipment, but may be applied to any industrial equipment that performs any type of processing.
  • industrial equipment include printing processing equipment, film deposition equipment, medical equipment, and visual inspection equipment.

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Abstract

スマートグラスの空間認識部によって正常状態の作業エリアの床面をスキャンして空間メッシュを作成し、その空間メッシュを画像データに変換して板状オブジェクトを取得する。適宜のタイミングで作業エリアの床面をスキャンして対象空間メッシュを作成し、事前に準備した板状オブジェクトの上に対象空間メッシュを配置した状態で板状オブジェクトと垂直な方向の上方から仮想レーザーを照射する。仮想レーザーが対象空間メッシュの隙間を通り抜けて板状オブジェクトに当たった場合には、その板状オブジェクトの部位を作業エリアの床面に形成された開口部として検出し、警告を発報するとともに、開口部の位置情報を登録する。

Description

作業支援方法および作業支援システム
　本発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置等の産業機器に対してメンテナンス作業等の所定の作業を行うときの作業支援方法および作業支援システムに関する。基板処理装置によって処理対象となる基板には、例えば、半導体基板、液晶表示装置用基板、flat panel display（ＦＰＤ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、または、太陽電池用基板などが含まれる。
　従来より、半導体デバイスの製造工程では、半導体基板等の基板に対して種々の処理を行う基板処理装置が用いられている。基板処理装置としては、例えば基板洗浄装置、熱処理装置、検査装置等が使用されている。典型的には、広いクリーンルームに多数の基板処理装置が整然と配置されることが多い。それらの基板処理装置に対しては適宜のタイミングでメンテナンスが行われる。特許文献１には、クリーンルーム内に比較的高い密度で多数の基板処理装置を並べるとともに、基板処理装置のメンテナンスを行うことが記載されている。
特開２０２０－４８６６号公報
　基板処理装置が配置されるクリーンルーム内には、工具や部品等の異物が置かれていることがある。また、クリーンルームの床面のグレーチングが取り外されて開口部が形成されていることもある。一般的には、クリーンルーム内にて作業を行う作業者は、開口部等を目視で確認してそれらとの接触を回避する。
　しかし、基板処理装置のメンテナンスを行う際には、作業者が暗い環境で作業をしなければならないこともある。例えば、イエロールームと称される紫外線がカットされたエリアは特に暗い環境である。このような暗い環境に開口部等が存在していたとしても、作業者がそれらを肉眼で視認することが困難なこともある。そうすると、作業者が作業中に開口部から転落する等の危険性も生じる。
　本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、暗い環境であっても作業者が周囲に形成された開口部を認識することができる作業支援方法および作業支援システムを提供することを目的とする。
　上記課題を解決するため、この発明の第１の態様は、産業機器に対して所定の作業を行うときの作業支援方法において、前記産業機器が配置されている正常状態の作業エリアを平面化した画像データで表される板状オブジェクトを取得する事前準備工程と、表示部、通信部および空間認識部を備えた携帯端末によって所定のタイミングで前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータである対象空間メッシュを作成する空間認識工程と、前記板状オブジェクトの上に前記対象空間メッシュを配置した状態にて前記板状オブジェクトに垂直な方向から視たときに前記板状オブジェクトの上面が可視となる部位を前記作業エリアの開口部として検出する検出工程と、前記開口部が検出されたときには警告を発報する発報工程と、を備える。
　また、第２の態様は、第１の態様に係る作業支援方法において、前記事前準備工程では、前記携帯端末によって正常状態の前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータを画像データに変換して前記板状オブジェクトを取得する。
　また、第３の態様は、第１または第２の態様に係る作業支援方法において、前記検出工程では、前記板状オブジェクトに垂直な方向から棒状オブジェクトを落下させて前記棒状オブジェクトが前記板状オブジェクトに接触した部位を前記開口部として検出する。
　また、第４の態様は、第１から第３のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記開口部が検出されたときには、前記開口部の位置情報を登録する位置登録工程をさらに備える。
　また、第５の態様は、第１から第４のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である。
　また、第６の態様は、第１から第５のいずれかの態様に係る作業支援方法において、前記携帯端末は、スマートグラスである。
　また、第７の態様は、産業機器に対して携帯端末を用いて所定の作業を行うときの作業支援システムにおいて、表示部および通信部を備えた携帯端末と、前記産業機器が配置されている正常状態の作業エリアを平面化した画像データで表される板状オブジェクトを記憶する記憶部と、前記携帯端末に設けられ、所定のタイミングで前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータである対象空間メッシュを作成する空間認識部と、前記板状オブジェクトの上に前記対象空間メッシュを配置した状態にて前記板状オブジェクトに垂直な方向から視たときに前記板状オブジェクトの上面が可視となる部位を前記作業エリアの開口部として検出する異常検出部と、前記異常検出部が前記開口部を検出したときには警告を発報する警告発報部と、を備える。
　また、第８の態様は、第７の態様に係る作業支援システムにおいて、前記携帯端末によって正常状態の前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータを画像データに変換して前記板状オブジェクトを取得する。
　また、第９の態様は、第７または第８の態様に係る作業支援システムにおいて、前記異常検出部は、前記板状オブジェクトに垂直な方向から棒状オブジェクトを落下させて前記棒状オブジェクトが前記板状オブジェクトに接触した部位を前記開口部として検出する。
　また、第１０の態様は、第７から第９のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記警告発報部が警告を発報したときには、前記開口部の位置情報を登録する位置登録部をさらに備える。
　また、第１１の態様は、第７から第１０のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である。
　また、第１２の態様は、第７から第１１のいずれかの態様に係る作業支援システムにおいて、前記携帯端末は、スマートグラスである。
　第１から第６の態様に係る作業支援方法によれば、正常状態の作業エリアを平面化した画像データで表される板状オブジェクトの上に所定のタイミングで作業エリアをスキャンして取得される対象空間メッシュを配置した状態にて板状オブジェクトに垂直な方向から視たときに板状オブジェクトの上面が可視となる部位を作業エリアの開口部として検出するため、非光学的に開口部を検出しており、暗い環境であっても作業者が周囲に形成された開口部を認識することができる。
　第７から第１２の態様に係る作業支援システムによれば、正常状態の作業エリアを平面化した画像データで表される板状オブジェクトの上に所定のタイミングで作業エリアをスキャンして取得される対象空間メッシュを配置した状態にて板状オブジェクトに垂直な方向から視たときに板状オブジェクトの上面が可視となる部位を作業エリアの開口部として検出するため、非光学的に開口部を検出しており、暗い環境であっても作業者が周囲に形成された開口部を認識することができる。
図１は、本発明に係る作業支援システムの概略構成を模式的に示す図である。 図２は、複数の基板処理装置のレイアウトの一例を示す平面図である。 図３は、基板処理装置の構成を示す側面図である。 図４は、基板処理装置の平面図である。 図５は、処理ユニットの概略構成を示す図である。 図６は、スマートグラスの外観を示す斜視図である。 図７は、スマートグラス、サーバ、作業支援端末および基板処理装置の制御部の機能的構成を示すブロック図である。 図８は、本発明に係る作業支援方法における事前準備の手順を示すフローチャートである。 図９は、スマートグラスを装着した作業者がクリーンルーム内を移動して空間メッシュを作成する様子を説明するための図である。 図１０は、作業エリアの床面をスキャンして作成された空間メッシュの一例を示す図である。 図１１は、作成された板状オブジェクトの一例を示す図である。 図１２は、本発明に係る作業支援方法における異常検出の手順を示すフローチャートである。 図１３は、スマートグラスを装着した作業者が異常検出のための作業を行う様子を説明するための図である。 図１４は、板状オブジェクトの上に空間メッシュを配置した状態を概念的に示す図である。 図１５は、板状オブジェクトの上に空間メッシュを配置したものに仮想レーザーを照射する様子を概念的に示す図である。
　以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。以下において、相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば、「一方向に」、「一方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」、「同軸」、など）は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。また、等しい状態であることを示す表現（例えば、「同一」、「等しい」、「均質」、など）は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。また、形状を示す表現（例えば、「円形状」、「四角形状」、「円筒形状」、など）は、特に断らない限り、幾何学的に厳密にその形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲の形状を表すものとし、例えば凹凸または面取りなどを有していてもよい。また、構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、「有する」、といった各表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。また、「Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも一つ」という表現には、「Ａのみ」、「Ｂのみ」、「Ｃのみ」、「Ａ、ＢおよびＣのうち任意の２つ」、「Ａ、ＢおよびＣの全て」が含まれる。
　図１は、本発明に係る作業支援システムの概略構成を模式的に示す図である。本発明に係る作業支援システムは、複数の基板処理装置５０と、スマートグラス１０と、サーバ７０と、作業支援端末８０と、を備える。スマートグラス１０および基板処理装置５０のコントローラは無線通信にて情報通信網５（例えば、インターネット）に接続されている。また、作業支援端末８０およびサーバ７０は有線にて情報通信網５に接続されている。情報通信網５に接続された機器間では相互に情報の送受信が可能であり、例えばスマートグラス１０と作業支援端末８０との間で情報の授受を行うことができる。なお、各機器と情報通信網５とを無線で接続するか有線で接続するかは上記の例に限定されるものではなく、適宜の形態とすることができる（例えば、作業支援端末８０と情報通信網５とを無線で接続しても良い）。
　図２は、複数の基板処理装置５０のレイアウトの一例を示す平面図である。図２に示すように、クリーンルーム４０内に複数の基板処理装置５０が一定間隔で規則正しく並んで配置されている。クリーンルーム４０は、例えば半導体デバイスの製造工場内に設けられ、一定の空気清浄度が確保されるとともに温度および湿度が管理された部屋である。本実施形態においては、比較的広いクリーンルーム４０内に、同種かつ同じ形式の複数の基板処理装置５０が配置されている。従って、クリーンルーム４０内にて配置されている基板処理装置５０を作業者が外観のみから区別することは困難である。
　図３は、１つの基板処理装置５０の構成を示す側面図である。また、図４は、基板処理装置５０の平面図である。基板処理装置５０は、例えば基板を１枚ずつ洗浄する枚葉式の基板洗浄装置である。基板処理装置５０は、インデクサ５１、複数の処理ユニット５２、移載ロボット５６および主搬送ロボット５７を有する。
　インデクサ５１には、複数の基板Ｗを収容したキャリアＣが載置される。インデクサ５１には、例えば３つのキャリアＣを載置することが可能である。移載ロボット５６は、複数のキャリアＣの並び方向に沿ったスライド移動、昇降動作、旋回動作およびハンドの進退動作が可能に構成されている。インデクサ５１に載置されたキャリアＣからは移載ロボット５６によって未処理の基板Ｗが取り出される。また、インデクサ５１に載置されたキャリアＣには移載ロボット５６によって処理済みの基板Ｗが収納される。キャリアＣは、例えば、基板Ｗを密閉空間に収納するＦＯＵＰ(front opening unified pod)である。
　基板処理装置５０においては、例えば３個の処理ユニット５２が積層されて１つの積層体を構成する。そして、基板処理装置５０の主搬送ロボット５７の周囲に例えば４つの積層体が配置される。すなわち、１つの基板処理装置５０は、例えば１２個（＝３×４）の処理ユニット５２を含む。
　４つの積層体の中心に配置された主搬送ロボット５７は、昇降動作、旋回動作および搬送アームＡＭの進退動作が可能に構成されている。主搬送ロボット５７は、１２個の全ての処理ユニット５２に対して基板Ｗの受け渡しを行うことができる。主搬送ロボット５７は、移載ロボット５６から未処理の基板Ｗを受け取って１２個の処理ユニット５２のいずれかに搬入する。また、主搬送ロボット５７は、処理ユニット５２から処理済みの基板Ｗを搬出して移載ロボット５６に渡す。
　また、基板処理装置５０は、制御部５５を備える。制御部５５は、一般的なコンピュータであり、装置内に設けられた上記の移載ロボット５６、主搬送ロボット５７および各処理ユニット５２の動作を制御する。制御部５５は、装置の壁面に設けられた入出力インターフェイスであるタッチパネルおよび装置外部と通信を行う通信部を有する。なお、図３，４では、図示の便宜上、制御部５５をインデクサ５１内に記載しているが、これに限定されるものではなく、制御部５５は基板処理装置５０内の適宜の位置に設けられる。
　図５は、処理ユニット５２の概略構成を示す図である。処理ユニット５２は、処理チャンバー６０と、回転保持部６１と、吐出ノズル６５と、を備える。処理チャンバー６０は、中空の筐体である。処理チャンバー６０の内側に、回転保持部６１および吐出ノズル６５等が設けられる。また、処理チャンバー６０には図示省略の搬出入口が設けられている。その搬出入口はシャッターによって開閉される。搬出入口が開放されている状態にて、主搬送ロボット５７による処理チャンバー６０に対する基板Ｗの搬入および搬出が行われる。基板Ｗの処理中は搬出入口は閉鎖される。さらに、処理チャンバー６０には、図示省略の給気機構および排気機構が設けられている。
　回転保持部６１は、スピンチャック６２およびスピンモータ６３を備える。スピンチャック６２は、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗの主面の法線が鉛直方向に沿う姿勢）にて保持する基板保持部である。スピンチャック６２は、例えば真空吸着式のチャックである。スピンチャック６２は、基板Ｗの直径よりも小さな径の円板形状を有する。スピンチャック６２は、基板Ｗの下面の中央部を吸着保持する。基板Ｗの下面がスピンチャック６２に吸着保持された状態では、基板Ｗの周縁部が、スピンチャック６２の外周端よりも外側にはみ出ている。なお、スピンチャック６２は、挟持式のメカニカルチャックなどの他の形態のチャックであってもよい。
　スピンチャック６２は、モータ軸を介してスピンモータ６３と連結される。すなわち、スピンモータ６３のモータ軸の上端がスピンチャック６２の下面中央部に接続される。スピンチャック６２に基板Ｗが吸着保持されている状態にてスピンモータ６３がモータ軸を回転させると、鉛直方向に沿った回転軸まわりで水平面内にて基板Ｗおよびスピンチャック６２が回転する。
　スピンチャック６２の周囲を囲むようにカップ６４が設けられる。カップ６４は、図示省略の昇降機構によって昇降可能とされる。カップ６４は円筒形状を有しており、カップ６４の上部は上に向かうほどスピンチャック６２に近付くように傾斜している。ただし、カップ６４の上端部分の内径は基板Ｗの直径よりも大きい。基板Ｗの処理時には、カップ６４の上端はスピンチャック６２に保持された基板Ｗの高さ位置よりも高い。従って、スピンモータ６３によって回転される基板Ｗから遠心力によって飛散した液体はカップ６４によって受け止められて回収される。カップ６４によって回収された液体はカップ６４の底部に設けられた排液管から排出される。なお、カップ６４は、回収口を目的別に複数設けた多段構造のものであっても良い。
　吐出ノズル６５は、スピンチャック６２に保持された基板Ｗに処理液を吐出する。処理液とは、各種の薬液および純水を含む概念の用語である。薬液としては、例えば、エッチング処理を行うための液、または、パーティクルを除去するための液などが含まれ、具体的には、ＳＣ－１液（水酸化アンモニウムと過酸化水素水と純水との混合溶液）、ＳＣ－２液（塩酸と過酸化水素水と純水との混合溶液）、または、フッ酸などが用いられる。吐出ノズル６５は、図示省略の駆動機構によってスピンチャック６２の上方の処理位置とカップ６４よりも外方の待機位置との間で移動される。処理位置にて吐出ノズル６５がスピンチャック６２に保持された基板Ｗに薬液を吐出することによって、例えば基板Ｗのエッチング処理が進行する。また、吐出ノズル６５が基板Ｗに純水を吐出することによって、基板Ｗの純水リンス処理が進行する。
　クリーンルーム４０内に配置された複数の基板処理装置５０に対して保守点検等の作業を行う作業者はスマートグラス１０を装着する。スマートグラス１０は、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）方式のウェアラブル端末の一種である。スマートグラス１０は、ＡＲ（Augmented Reality：拡張現実）またはＭＲ（Mixed Reality：複合現実）を実現するためのデバイスでもある。スマートグラス１０としては、例えば、マイクロソフト社製の「HoloLens」（登録商標）を用いることができる。
　図６は、スマートグラス１０の外観を示す斜視図である。スマートグラス１０は、バイザー１１およびヘッドバンド１２を備える。作業者はヘッドバンド１２を頭に付けることによってスマートグラス１０を装着する。作業者は、自らの頭の大きさに合わせてヘッドバンド１２の長さを調整することが可能とされている。また、ヘッドバンド１２には、電源ボタン、明るさボタンおよびボリュームボタン等が設けられている。
　バイザー１１は、各種センサーとディスプレイとを含む。そのディスプレイは、シースルーホログラフィックレンズである。すなわち、ディスプレイはホログラムによって立体映像を作業者の視野空間に表示することが可能であるとともに、通常の眼鏡レンズと同じように現実の物体からの光を透過する。従って、スマートグラス１０を装着した作業者は、ディスプレイを通して現実の物体を視認しつつ表示された立体映像を見ることも可能である。
　バイザー１１のセンサーには、例えば主にバイザー１１の前方を撮像する複数の可視光カメラ、作業者の視線を追跡する赤外線カメラ、対象物までの距離を測定する深度センサー、および、慣性測定センサー等が含まれる。赤外線カメラは、スマートグラス１０の装着者の眼球の動きを測定して視線を追跡する。深度センサーは、例えば、ＴｏＦ(Time of Flight)方式によって対象物までの距離を測定する。慣性測定センサーは、加速度計、ジャイロスコープ、磁力計等によって構成される。
　また、スマートグラス１０には、ＣＰＵおよびメモリ等を備えたコンピュータが内蔵されている。スマートグラス１０には、無線通信機構も設けられており、スマートグラス１０のコンピュータはその無線通信機構を使用して情報通信網５に接続する。さらに、スマートグラス１０には、マイクロフォン、スピーカーおよびバッテリー等も設けられている。
　図７は、スマートグラス１０、サーバ７０、作業支援端末８０および基板処理装置５０の制御部５５の機能的構成を示すブロック図である。スマートグラス１０は、ハードウェアの要素として撮像部２１、通信部２２、表示部２３、記憶部２４および空間認識部２５を備える。撮像部２１は、上述したバイザー１１に設けられた可視光カメラを含む。撮像部２１は、例えば前方および斜め前方を撮像する４台の可視光カメラを含んでおり、スマートグラス１０を装着した作業者の視野範囲を撮像することができる。
　通信部２２は、上述したスマートグラス１０の無線通信機構を含む。通信部２２は、情報通信網５を介して作業支援端末８０およびサーバ７０とデータの送受信を行う。また、通信部２２は、近距離であれば基板処理装置５０の制御部５５と直接にデータの送受信を行うことも可能である。すなわち、通信部２２は、直接にまたは情報通信網５を介して基板処理装置５０の制御部５５にデータやコマンドを送信することができる。
　表示部２３は、上述したバイザー１１のディスプレイを含む。表示部２３はホログラフィック処理装置を有しており、ホログラム技術によって所定の空間位置に立体映像を表示する。なお、表示部２３が表示する立体映像は三次元形状のものに限定されず、ドキュメントのような二次元のものであっても良い。
　記憶部２４は、スマートグラス１０に搭載されたメモリおよびストレージを含む。スマートグラス１０が備えるメモリおよびストレージは、例えばそれぞれＤＲＡＭ(Dynamic Random Access Memory)およびＵＦＳ(Universal Flash Storage)である。記憶部２４は、スマートグラス１０のコンピュータが使用するアプリケーションやデータを格納する。
　空間認識部２５は、上述したスマートグラス１０の深度センサーを含む。深度センサーは、対象物までの距離を測定することができる。空間認識部２５は、深度センサーによって空間をスキャンすることにより、空間マッピングを行うことができる。具体的には、空間認識部２５は、空間をスキャンすることによってメッシュデータである空間メッシュを作成する。空間認識部２５は、深度センサーを用いているため、暗所であっても空間をスキャンすることが可能である。
　また、スマートグラス１０は、画像変換部３１、異常検出部３２、警告発報部３３および位置登録部３４を備える。これらの画像変換部３１、異常検出部３２、警告発報部３３および位置登録部３４は、スマートグラス１０のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって実現される機能処理部である。画像変換部３１、異常検出部３２、警告発報部３３および位置登録部３４の処理内容についてはさらに後述する。
　基板処理装置５０の制御部５５は、吐出ノズル６５等の処理ユニット５２に設けられた機構の動作を制御する。基板処理装置５０の制御部５５は、スマートグラス１０の通信部２２と通信可能であり、スマートグラス１０から送信された操作指示のコマンドに従って処理ユニット５２に設けられた各種機構の動作を制御することも可能である。
　作業支援端末８０は、例えば基板処理装置５０を製造してその保守点検を請け負うベンダーの工場内に設置されている。また、サーバ７０は複数の基板処理装置５０が設置されたクリーンルーム４０に対して設置されている。作業支援端末８０およびサーバ７０は、情報通信網５を介してスマートグラス１０と通信可能とされている。また、作業支援端末８０とサーバ７０とは情報通信網５を介して相互に通信可能とされている。
　作業支援端末８０およびサーバ７０は、一般的なコンピュータシステムである。すなわち、作業支援端末８０およびサーバ７０は、各種演算処理を行う回路であるＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ、制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく記憶部（例えば、磁気ディスクまたはＳＳＤ）および情報通信網５と通信を行う通信部を備えている。
　作業支援端末８０は、例えばベンダー側の作業支援員がクリーンルーム４０内の作業者の作業を支援するためのコンピュータである。作業支援員は、作業支援端末８０からクリーンルーム４０内の作業者が装着するスマートグラス１０に種々の情報を送信することができる。
　サーバ７０は、本発明に係る作業支援システムにおいて、スマートグラス１０および作業支援端末８０からのリクエストに応じて所定の処理を実行するコンピュータである。サーバ７０は、比較的容量の大きな記憶部７４を備えている。スマートグラス１０および作業支援端末８０によって作成された大きなサイズのデータは記憶部７４に格納されても良い。
　次に、上述した構成を有する作業支援システムを用いた作業支援方法について説明する。本発明に係る作業支援方法は、正常状態に基づく板状オブジェクトを作成しておく事前準備工程と、スマートグラス１０を装着した作業者が作業エリアにて開口部等の異常を検出する工程とを含む。まず、事前準備工程について説明する。
　図８は、本発明に係る作業支援方法における事前準備の手順を示すフローチャートである。まず、スマートグラス１０を用いてクリーンルーム４０内の床面についての正常状態の空間メッシュを作成する（ステップＳ１１）。図９は、スマートグラス１０を装着した作業者がクリーンルーム４０内を移動（歩行）して空間メッシュを作成する様子を説明するための図である。作業エリア１０１は、クリーンルーム４０内の一部領域である。作業エリア１０１には１台の基板処理装置５０が配置されている。スマートグラス１０を装着した作業者は、スマートグラス１０のスキャンモードをオンにした状態で作業エリア１０１内を歩き回る。図９の例では、スマートグラス１０を装着した作業者が矢印ＡＲ９に示すような経路に沿って基板処理装置５０の周囲を一周するように歩き回る。なお、図９の例では、作業エリア１０１の床面には開口部は存在していない。
　スマートグラス１０のスキャンモードをオンにするには、例えば、例えば表示部２３によって立体映像として表示されたメニュー画面から作業者が手のジェスチャーによってスキャンモードを選択する。その手のジェスチャーは撮像部２１によって撮像されて検知され、スマートグラス１０のコンピュータはその検知結果からスキャンモードが選択されたことを認識してスキャンモードをオンにする。或いは、作業者は、スマートグラス１０に設けられた所定のボタンを押すことによってスキャンモードをオンにするようにしても良い。スキャンモードがオンになると、スマートグラス１０の空間認識部２５は空間のスキャンを開始する。
　装着したスマートグラス１０のスキャンモードをオンにして作業者が作業エリア１０１内を歩き回ることにより、空間認識部２５が作業エリア１０１の床面を含む空間を順次にスキャンしてメッシュデータである空間メッシュを作成する。ステップＳ１１では、スマートグラス１０の空間認識部２５は、正常状態である作業エリア１０１の床面を含む空間をスキャンして空間メッシュを作成する。正常状態とは、異物および開口部等の存在しない安全かつ恒常的な状態のことである。図９の作業エリア１０１は、床面に開口部が存在していないため正常状態である。
　空間認識部２５が空間をスキャンして作成する空間メッシュは、多数の三角形メッシュによって表されるメッシュデータである。曲面や平面を含む種々の形状が多数の三角形の連結した集合によって表現される。
　空間メッシュの原理的な特性として、凹凸を含む複雑な形状は高密度の三角形によって表され、逆に平坦な形状は比較的低い密度の三角形によって表される。図１０は、作業エリア１０１の床面をスキャンして作成された空間メッシュの一例を示す図である。作業エリア１０１の床面は凹凸の無い平坦面であるため、作業エリア１０１の床面を含む空間をスキャンして作成された空間メッシュは、図１０に示すように、比較的大きな低密度の三角形の集合によって表現される。空間メッシュにおける三角形の密度が低いため、単位領域内に含まれる三角形の頂点の数も少なくなる（頂点が低密度で含まれる）。
　空間メッシュを作成する際のもう一つの原理的な特性として、同じ対象であってもスキャンする毎に三角形の頂点の位置が異なる（つまり、頂点の再現性はない）。図１０に示す例のように、平坦面をスキャンして作成された空間メッシュでは、三角形の頂点の密度が低いため、スキャンする毎に個々の頂点の位置が異なると、スキャンの都度異なる空間メッシュが作成されることになる。
　次に、作成した空間メッシュを画像データに変換して板状オブジェクトを取得する（ステップＳ１２）。この処理は、例えばスマートグラス１０の画像変換部３１または作業支援端末８０にて実行すれば良い。具体的には、メッシュデータである空間メッシュは、例えばシリコングラフィックス社製の「Open GL」（登録商標）等の３Ｄオブジェクトライブラリを用いて二次元の画像データに変換することができる。本実施形態においては、その画像データにて表現されるものが板状オブジェクトである。すなわち、立体的な空間メッシュを二次元化（平面化）して得られる画像データで表される板状オブジェクトを作成するのである。なお、厳密には板状オブジェクトは薄いながらも厚さを有しているため３Ｄオブジェクトである。
　図１１は、作成された板状オブジェクトＰＬの一例を示す図である。作業エリア１０１の床面のような平坦面をスキャンして得られた空間メッシュを二次元の画像に変換して取得された板状オブジェクトＰＬにおいては、その平坦面は塗りつぶされて表される。なお、図１１に示す例の板状オブジェクトＰＬにおいて、中央付近に穴があいている（塗りつぶされていない）のは、床面における基板処理装置５０の設置箇所に対応している。すなわち、作業者の装着するスマートグラス１０よりも高い基板処理装置５０の設置箇所についてはスキャンできないため、穴と同じ扱いになるのである。
　その後、作成した板状オブジェクトＰＬを登録する（ステップＳ１３）。具体的には、板状オブジェクトＰＬを表す画像データを例えばスマートグラス１０の記憶部２４に記憶させる。或いは、その画像データのデータ量が大きい場合には、例えばサーバ７０の記憶部７４に格納するようにしても良い。
　次に、スマートグラス１０を用いた異常検出について説明する。図１２は、本発明に係る作業支援方法における異常検出の手順を示すフローチャートである。まず、スマートグラス１０を装着した作業者が適宜のタイミングでクリーンルーム４０内の作業エリア１０１に進入して空間メッシュを作成する（ステップＳ２１）。このタイミングとしては、例えば基板処理装置５０のメンテナンス作業を行うときが例示される。図１３は、スマートグラス１０を装着した作業者が異常検出のための作業を行う様子を説明するための図である。作業エリア１０１は、図９と同じクリーンルーム４０内の一部領域であり、作業エリア１０１には１台の基板処理装置５０が配置されている。異常点検を行う作業者は、スマートグラス１０を装着してスキャンモードをオンにした状態で作業エリア１０１内を歩き回る。図１３の例では、スマートグラス１０を装着した作業者が矢印ＡＲ１３に示すような経路に沿って基板処理装置５０の周囲を一周するように歩き回る。作業者が装着したスマートグラス１０のスキャンモードをオンにした状態で作業エリア１０１内を歩き回ることにより、空間認識部２５がスマートグラス１０近傍の作業エリア１０１内空間を順次にスキャンして空間メッシュ（対象空間メッシュ）を取得する。スマートグラス１０を装着した作業者が作業エリア１０１の床面を見ることにより、空間認識部２５が平坦面である床面をスキャンして空間メッシュを取得する。
　次に、ステップＳ２１で作成した空間メッシュを事前準備工程で取得した板状オブジェクトＰＬの上に配置する（ステップＳ２２）。この処理は、例えばスマートグラス１０の異常検出部３２が実行する。図１４は、板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュを配置した状態を概念的に示す図である。画像データで表される板状オブジェクトＰＬの上に多数の三角形メッシュによって表されるメッシュデータである空間メッシュＳＤを配置する。空間メッシュＳＤは、作業エリア１０１内の状況に関する情報を含んでいる。
　続いて、スマートグラス１０の異常検出部３２が板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュＳＤを配置したものの上方から仮想レーザーを照射する（ステップＳ２３）。図１５は、板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュＳＤを配置したものに仮想レーザーを照射する様子を概念的に示す図である。仮想レーザーの照射は、スマートグラス１０のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによる演算処理であり、実際にレーザー光を照射するものではない。仮想レーザーは、実際のレーザー光と同じく、指向性に優れた棒状のオブジェクトと捉えることができる。
　仮想レーザーは板状オブジェクトＰＬに対して垂直方向（板状オブジェクトＰＬの法線方向）の上方から照射する。すなわち、仮想レーザーを照射とは、板状オブジェクトＰＬに垂直な方向の上方から棒状オブジェクトを落下させる処理であると言える。
　異常検出部３２は、照射した仮想レーザーが板状オブジェクトＰＬに当たったか否かを判定する（ステップＳ２４）。板状オブジェクトＰＬの上には空間メッシュＳＤが配置されているため、ほとんど場合仮想レーザーは空間メッシュＳＤに当たることとなり、板状オブジェクトＰＬには当たらない。ところが、図１５に示すように、空間メッシュＳＤに縦方向に沿った隙間が存在している場合には、仮想レーザーの一部がその隙間を通り抜けて板状オブジェクトＰＬに当たることとなる。すなわち、落下させた棒状オブジェクトが空間メッシュＳＤに形成されている隙間を通り抜けて板状オブジェクトＰＬに接触する。図１５の例では、仮想レーザーの一部が空間メッシュＳＤに形成された隙間を通り抜けて板状オブジェクトＰＬの部位１１８に当たっている。
　仮想レーザーが板状オブジェクトＰＬに当たっている場合には、ステップＳ２４からステップＳ２５に進み、異常検出部３２は仮想レーザーが当たっている板状オブジェクトＰＬの部位を開口部として検出する。板状オブジェクトＰＬに仮想レーザーが当たっているということは、板状オブジェクトＰＬの上に配置されている空間メッシュＳＤに隙間が存在していること、および、下側の板状オブジェクトＰＬには穴が開いていないことを意味している。作業エリア１０１をスキャンして取得された空間メッシュＳＤには、作業エリア１０１内の状況が反映されている。すなわち、空間メッシュＳＤに形成されている隙間は、作業エリア１０１の床面に生じている開口部が反映されたものである。一方、板状オブジェクトＰＬに穴が開いていないことは、事前準備工程の段階では作業エリア１０１の床面に開口部が存在していなかったことを意味している。従って、板状オブジェクトＰＬに仮想レーザーが当たっている場合は、事前準備工程の後に作業エリア１０１の床面に開口部が形成された場合である。そして、異常検出部３２は、そのような仮想レーザーが当たっている板状オブジェクトＰＬの部位を作業エリア１０１の床面に形成された開口部として検出するのである。
　例えば、図１３の例において、板状オブジェクトＰＬが登録された後に作業エリア１０１内の床からグレーチングが外されて開口部１０８が形成されたとする。開口部１０８を含む作業エリア１０１の床面をスキャンして取得された空間メッシュＳＤには、開口部１０８に対応する隙間が形成されている。一方、板状オブジェクトＰＬを登録する前の事前準備工程で作成された板状オブジェクトＰＬには開口部１０８に対応する穴は開いていない。従って、異常検出部３２が板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュＳＤを配置したものの上方から仮想レーザーを照射すると、仮想レーザーの一部は開口部１０８に対応する上記の隙間を通り抜けて板状オブジェクトＰＬに当たることとなる。そして、異常検出部３２は、仮想レーザーが当たっている板状オブジェクトＰＬの部位１１８を作業エリア１０１の床面に形成された開口部１０８として検出するのである。
　開口部が検出されたときには、スマートグラス１０の警告発報部３３が警告を発報する（ステップＳ２６）。具体的には、例えば、警告発報部３３からの要求に従って表示部２３が作業エリア１０１の床面に形成された開口部１０８に重ねてアノテーション表示（注釈表示）を行う。例えば、表示部２３は作業エリア１０１の床面に形成された開口部１０８に赤色の着色表示を重畳して表示する。なお、表示部２３が表示するアノテーション表示は立体映像である。或いは、警告発報部３３は表示部２３に警告メッセージを立体映像として表示させるようにしても良い。このような警告発報がなされることにより、作業者は付近の床に開口部が存在していることを認識することができてその開口部に注意を払うこととなり、作業者の安全を確保することができる。図１３の例であれば、作業者は、新たに形成された開口部１０８の存在に注意を払うことができ、安全に作業を行うことができる。
　続いて、スマートグラス１０の位置登録部３４が検出された開口部の位置情報をサーバ７０の記憶部７４に登録する（ステップＳ２７）。開口部の位置情報は、板状オブジェクトＰＬにおける仮想レーザーが当たっている部位の位置から算定することができる。例えば、図１３の例であれば、作業エリア１０１における開口部１０８の位置情報は、板状オブジェクトＰＬにおける仮想レーザーが当たっている部位１１８の位置から算定することができる。登録する位置情報としては適宜のものとすることができる。例えば、クリーンルーム４０内における開口部１０８の座標位置を登録するようにしても良いし、作業エリア１０１における基板処理装置５０からの相対位置を登録するようにしても良い。
　一方、仮想レーザーが板状オブジェクトＰＬに当たっていない場合は、空間メッシュＳＤに隙間が存在していないときであり、作業エリア１０１の床面に開口部が形成されていないことを意味している。従って、この場合はステップＳ２４からステップＳ２８に進み、作業者は所望の作業を続行する。作業者の周囲の環境には正常状態から大きな変化は生じていないため、作業者は安全に作業を行うことができる。
　本実施形態においては、事前準備工程では、正常状態の作業エリア１０１の床面をスキャンして空間メッシュを作成し、その空間メッシュを画像データに変換して板状オブジェクトＰＬを取得している。平坦面である作業エリア１０１の床面をスキャンして得られた空間メッシュは、三角形の頂点の密度は低いものの（粗い）、その床面に存在している異物や開口部の情報を含んでいる。従って、その空間メッシュを画像データに変換して取得される板状オブジェクトＰＬも床面に存在している開口部等の情報を含んでいる。例えば、作業エリア１０１の床面に開口部が存在している場合には、板状オブジェクトＰＬにも当該開口部に対応する穴が形成されることとなる。事前準備工程では、正常状態（異物および開口部等が存在していない）の作業エリア１０１から板状オブジェクトＰＬが作成されるため、板状オブジェクトＰＬにも開口部に対応する穴は形成されていない。なお、図１１の例に示す板状オブジェクトＰＬに形成されている穴はスキャン不可能な基板処理装置５０の設置箇所に対応したものである。
　次に、異常検出時においては、適宜のタイミングで作業エリア１０１の床面をスキャンして空間メッシュ（対象空間メッシュ）ＳＤを作成し、事前に準備した板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュＳＤを配置した状態で板状オブジェクトＰＬと垂直な方向の上方から棒状オブジェクト（上記実施形態では仮想レーザー）を落下させている。そして、棒状オブジェクトが板状オブジェクトＰＬに接触した場合には、その接触した板状オブジェクトＰＬの部位を作業エリア１０１の床面に形成された開口部として検出している。このことは、板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュＳＤを配置した状態で板状オブジェクトＰＬと垂直な方向の上方から視たときに板状オブジェクトＰＬの上面が可視となる部位を作業エリア１０１の床面に形成された開口部として検出することと同義である。
　板状オブジェクトＰＬの上に空間メッシュＳＤを配置した状態で板状オブジェクトＰＬと垂直な方向の上方から視たときに板状オブジェクトＰＬの上面が見えるということは、空間メッシュＳＤに隙間が存在しているとともに板状オブジェクトＰＬには穴が開いていないことを意味している。空間メッシュＳＤはスキャンしたときの作業エリア１０１の床面の状況を反映しており、空間メッシュＳＤに存在している隙間は作業エリア１０１の床面に形成された開口部に起因するものである。また、板状オブジェクトＰＬに穴が開いていないことは、事前準備工程の段階では作業エリア１０１の床面に開口部が存在していなかったことを意味している。すなわち、空間メッシュＳＤの隙間から板状オブジェクトＰＬの上面が見えることは、事前準備工程の段階では存在していなかった作業エリア１０１の床面の開口部を検出できたということである。
　また、空間メッシュを作成するスマートグラス１０の空間認識部２５は、深度センサーを用いて空間のスキャンを行っているため、暗い環境であっても処理可能である。すなわち、本実施形態のようにすれば、暗い環境であっても作業エリア１０１の床に形成された開口部を正確に検出して作業者がその開口部を認識することができる。
　さらに、平坦面である作業エリア１０１の床面をスキャンして得られた空間メッシュは、含有する三角形の頂点の密度が低い粗いものではあるが、それを画像データで表される板状オブジェクトＰＬに変換して本実施形態のようにすることにより、空間メッシュに含まれる頂点の密度に関わらず作業エリア１０１の床に形成された開口部を正確に検出することが可能となる。
　以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態の事前準備工程においては、正常状態の作業エリア１０１の床面をスキャンして作成した空間メッシュを画像データに変換して板状オブジェクトＰＬを取得していたが、これに限定されるものではない。例えば、クリーンルーム４０内における基板処理装置５０周辺の床面の設計図を所定のデータ形式に変換して取得した画像データを板状オブジェクトＰＬとして登録するようにしても良い。すなわち、板状オブジェクトＰＬは、作成の形態に関わらず、正常状態の作業エリア１０１を平面化した画像データで表されるものであれば良い。
　また、上記実施形態においては、事前準備工程にて正常状態の空間メッシュから板状オブジェクトＰＬを取得していたが、この事前準備工程を省略し、単なる板状の画像データで表されるものを板状オブジェクトとして使用するようにしても良い。もっとも、そのような板状オブジェクトでは基板処理装置５０の設置箇所についても塗りつぶされている（穴が存在しない）ため、当該設置箇所が開口部と誤検知されるおそれがあり、上記各実施形態のようにした方がより正確に開口部を検出することができる。
　また、上記実施形態の異常検出時においては、スマートグラス１０を装着した作業者の付近の床面をスキャンして図１２の処理手順を実行することによりリアルタイムで作業者の目前の開口部を検出するようにしても良いし、一旦作業エリア１０１の床面全面をスキャンしてから一括して作業エリア１０１に存在する全ての開口部を検出するようにしても良い。リアルタイムで作業者の目前の開口部を検出することができれば、作業者は安全に作業を行うことができる。
　また、警告発報部３６による警告発報としては、スマートグラス１０のスピーカーから警告音を発するようにしても良い。
　また、上記実施形態においては、作業者はスマートグラス１０を使用していたが、これに限定されるものではなく、スマートグラス１０に代えてタブレット端末やスマートフォン等の携帯端末を用いるようにしても良い。すなわち、撮像部、表示部および通信部等を備えた携帯端末であれば良い。もっとも、タブレット端末等を使用するとそれを持つ作業者の手が塞がることになるため、スマートグラス１０等のウェアラブル端末を用いるのが好ましい。
　また、クリーンルーム４０内に設置される基板処理装置５０は基板洗浄装置に限定されるものではなく、熱処理装置、露光装置、塗布現像装置、計測装置または検査装置等の基板に所定の処理を行う装置であれば良い。基板処理装置５０が基板洗浄装置である場合には、基板を１枚ずつ洗浄する枚葉式の洗浄装置であっても良いし、複数の基板を一括して洗浄するバッチ式の洗浄装置であっても良い。
　さらに、本発明に係る作業支援技術の対象となるのは、基板処理装置に限定されるものではなく、何らかの処理を行う産業機器であれば良い。このような産業機器としては、例えば、印刷処理装置、成膜装置、医療用装置、および、外観検査装置等が例示される。
　５　情報通信網
　１０　スマートグラス
　２１　撮像部
　２２　通信部
　２３　表示部
　２４　記憶部
　２５　空間認識部
　３１　画像変換部
　３２　異常検出部
　３３　警告発報部
　３４　位置登録部
　４０　クリーンルーム
　５０　基板処理装置
　５２　処理ユニット
　５５　制御部
　６０　処理チャンバー
　６１　回転保持部
　６５　吐出ノズル
　７０　サーバ
　８０　作業支援端末
　１０１　作業エリア
　１０８　開口部
　ＰＬ　板状オブジェクト
　ＳＤ　空間メッシュ
　Ｗ　基板

Claims (12)

  1. 　産業機器に対して所定の作業を行うときの作業支援方法であって、
    　前記産業機器が配置されている正常状態の作業エリアを平面化した画像データで表される板状オブジェクトを取得する事前準備工程と、
    　表示部、通信部および空間認識部を備えた携帯端末によって所定のタイミングで前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータである対象空間メッシュを作成する空間認識工程と、
    　前記板状オブジェクトの上に前記対象空間メッシュを配置した状態にて前記板状オブジェクトに垂直な方向から視たときに前記板状オブジェクトの上面が可視となる部位を前記作業エリアの開口部として検出する検出工程と、
    　前記開口部が検出されたときには警告を発報する発報工程と、
    を備える作業支援方法。
  2. 　請求項１記載の作業支援方法において、
    　前記事前準備工程では、前記携帯端末によって正常状態の前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータを画像データに変換して前記板状オブジェクトを取得する作業支援方法。
  3. 　請求項１記載の作業支援方法において、
    　前記検出工程では、前記板状オブジェクトに垂直な方向から棒状オブジェクトを落下させて前記棒状オブジェクトが前記板状オブジェクトに接触した部位を前記開口部として検出する作業支援方法。
  4. 　請求項１記載の作業支援方法において、
    　前記開口部が検出されたときには、前記開口部の位置情報を登録する位置登録工程をさらに備える作業支援方法。
  5. 　請求項１記載の作業支援方法において、
    　前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である作業支援方法。
  6. 　請求項１から請求項５のいずれかに記載の作業支援方法において、
    　前記携帯端末は、スマートグラスである作業支援方法。
  7. 　産業機器に対して携帯端末を用いて所定の作業を行うときの作業支援システムであって、
    　表示部および通信部を備えた携帯端末と、
    　前記産業機器が配置されている正常状態の作業エリアを平面化した画像データで表される板状オブジェクトを記憶する記憶部と、
    　前記携帯端末に設けられ、所定のタイミングで前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータである対象空間メッシュを作成する空間認識部と、
    　前記板状オブジェクトの上に前記対象空間メッシュを配置した状態にて前記板状オブジェクトに垂直な方向から視たときに前記板状オブジェクトの上面が可視となる部位を前記作業エリアの開口部として検出する異常検出部と、
    　前記異常検出部が前記開口部を検出したときには警告を発報する警告発報部と、
    を備える作業支援システム。
  8. 　請求項７記載の作業支援システムにおいて、
    　前記携帯端末によって正常状態の前記作業エリアをスキャンして取得されるメッシュデータを画像データに変換して前記板状オブジェクトを取得する作業支援システム。
  9. 　請求項７記載の作業支援システムにおいて、
    　前記異常検出部は、前記板状オブジェクトに垂直な方向から棒状オブジェクトを落下させて前記棒状オブジェクトが前記板状オブジェクトに接触した部位を前記開口部として検出する作業支援システム。
  10. 　請求項７記載の作業支援システムにおいて、
    　前記警告発報部が警告を発報したときには、前記開口部の位置情報を登録する位置登録部をさらに備える作業支援システム。
  11. 　請求項７記載の作業支援システムにおいて、
    　前記産業機器は、基板に所定の処理を行う基板処理装置である作業支援システム。
  12. 　請求項７から請求項１１のいずれかに記載の作業支援システムにおいて、
    　前記携帯端末は、スマートグラスである作業支援システム。
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