WO2024014107A1 - 撮像装置および光検出装置 - Google Patents

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Definitions

  • the present disclosure relates to an imaging device that captures an image of a subject and a light detection device that detects light.
  • Patent Document 1 discloses a technology that includes a noise correction circuit to suppress deterioration in image quality caused by power supply noise.
  • An imaging device includes a light receiving pixel, a first connection terminal, a first voltage generation circuit, a drive circuit, a reference signal generation circuit, a noise correction circuit, a comparison circuit, It is equipped with a processing circuit.
  • the light receiving pixel is capable of generating a pixel signal including a pixel voltage according to the amount of light received.
  • the first connection terminal is connected to the first external capacitor.
  • the first voltage generation circuit is capable of generating a voltage at the first connection terminal.
  • the drive circuit is capable of driving the light receiving pixels based on the voltage at the first connection terminal.
  • the reference signal generation circuit is capable of generating a reference signal having a ramp waveform.
  • the noise correction circuit can generate a noise correction signal according to the voltage at the first connection terminal, and can superimpose the noise correction signal on the reference signal.
  • the comparison circuit is capable of comparing the pixel signal and the reference signal on which the noise correction signal is superimposed.
  • the processing circuit is capable of calculating pixel values based on the comparison results of the comparison circuit.
  • a photodetection device includes a light receiving circuit, a first connection terminal, a first voltage generation circuit, a drive circuit, a reference signal generation circuit, a noise correction circuit, and a comparison circuit. , and a processing circuit.
  • the light receiving circuit is capable of generating a detection signal including a voltage depending on the amount of light received.
  • the first connection terminal is connected to the first external capacitor.
  • the first voltage generation circuit is capable of generating a voltage at the first connection terminal.
  • the drive circuit is capable of driving the light receiving circuit based on the voltage at the first connection terminal.
  • the reference signal generation circuit is capable of generating a reference signal having a ramp waveform.
  • the noise correction circuit can generate a noise correction signal according to the voltage at the first connection terminal, and can superimpose the noise correction signal on the reference signal.
  • the comparison circuit is capable of comparing the detection signal and the reference signal on which the noise correction signal is superimposed.
  • the processing circuit is capable of calculating a detected value based on the comparison result of the comparison circuit.
  • a pixel signal including a pixel voltage according to the amount of received light is generated by a light receiving pixel.
  • the first voltage generation circuit generates a voltage at the first connection terminal connected to the first external capacitor.
  • the drive circuit drives the light-receiving pixel based on the voltage at the first connection terminal.
  • the reference signal generation circuit generates a reference signal having a ramp waveform.
  • the noise correction circuit generates a noise correction signal according to the voltage at the first connection terminal, and this noise correction signal is superimposed on the reference signal.
  • the comparison circuit compares the pixel signal and the reference signal on which the noise correction signal is superimposed. Then, a pixel value is calculated by a processing circuit based on the comparison result of this comparison circuit.
  • the light receiving circuit generates a detection signal including a voltage according to the amount of received light.
  • the first voltage generation circuit generates a voltage at the first connection terminal connected to the first external capacitor.
  • the drive circuit drives the light receiving circuit based on the voltage at the first connection terminal.
  • the reference signal generation circuit generates a reference signal having a ramp waveform.
  • the noise correction circuit generates a noise correction signal according to the voltage at the first connection terminal, and this noise correction signal is superimposed on the reference signal.
  • the comparison circuit compares the detection signal and the reference signal on which the noise correction signal is superimposed. Then, a detection value is calculated by a processing circuit based on the comparison result of this comparison circuit.
  • FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of an imaging device according to a first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the configuration of the light-receiving pixel shown in FIG.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of the arrangement of light-receiving pixels in the pixel array shown in FIG.
  • FIG. 4 is a block diagram showing an example of the configuration of the reading section shown in FIG. 1.
  • FIG. 5 is a block diagram showing a specific example of the noise correction section shown in FIG. 1.
  • FIG. 6 is a circuit diagram showing a specific example of the noise correction section shown in FIG.
  • FIG. 7A is an explanatory diagram showing an example of the operation of the noise correction section shown in FIG. 6.
  • FIG. 7B is an explanatory diagram showing another example of the operation of the noise correction section shown in FIG. 6.
  • FIG. 7C is an explanatory diagram showing another example of the operation of the noise correction section shown in FIG. 6.
  • FIG. 8 is a timing diagram showing an example of the operation of the imaging device shown in FIG.
  • FIG. 9 is a timing waveform diagram showing an example of the operation of the imaging device shown in FIG.
  • FIG. 10A is an explanatory diagram illustrating an example of noise correction according to the first embodiment.
  • FIG. 10B is another explanatory diagram showing an example of noise correction according to the first embodiment.
  • FIG. 11 is a characteristic diagram showing an example of the characteristics of the noise removal ratio in the imaging device shown in FIG.
  • FIG. 12 is another explanatory diagram showing an example of noise correction according to the first embodiment.
  • FIG. 13 is a block diagram illustrating a configuration example of an imaging device according to the second embodiment.
  • FIG. 14 is a circuit diagram showing a configuration example of the light-receiving pixel shown in FIG. 13.
  • FIG. 15 is an explanatory diagram showing an example arrangement of light-receiving pixels in the pixel array shown in FIG. 13.
  • FIG. 16 is a block diagram showing a specific example of the noise correction section shown in FIG. 13.
  • FIG. 17 is a timing waveform diagram showing an example of the operation of the imaging device shown in FIG. 13.
  • FIG. 18A is another timing waveform diagram showing an example of the operation of the imaging device shown in FIG. 13.
  • FIG. 18B is another timing waveform diagram showing an example of the operation of the imaging device shown in FIG. 13.
  • FIG. 18A is another timing waveform diagram showing an example of the operation of the imaging device shown in FIG. 13.
  • FIG. 19A is an explanatory diagram showing an example of the operating state of the light-receiving pixel shown in FIG. 14.
  • FIG. 19B is an explanatory diagram showing another example of the operating state of the light-receiving pixel shown in FIG. 14.
  • FIG. 19C is an explanatory diagram showing another example of the operating state of the light receiving pixel shown in FIG. 14.
  • FIG. 20 is an explanatory diagram showing an example of the operation of the signal processing section shown in FIG. 13.
  • FIG. 21 is a block diagram illustrating a specific example of a noise correction section according to a modification of the second embodiment.
  • FIG. 22 is a circuit diagram showing a specific example of the noise correction section shown in FIG. 21.
  • FIG. 23 is a timing waveform diagram illustrating an example of the operation of the imaging device according to a modification of the second embodiment.
  • FIG. 24 is a block diagram illustrating a specific example of a noise correction section according to another modification of the second embodiment.
  • FIG. 25 is a circuit diagram showing a specific example of the noise correction section shown in FIG. 24.
  • FIG. 26 is a block diagram showing an example of a schematic configuration of a vehicle control system.
  • FIG. 27 is an explanatory diagram showing an example of the installation positions of the outside-vehicle information detection section and the imaging section.
  • FIG. 28 is a block diagram illustrating a configuration example of a distance measuring device to which the present technology is applied.
  • FIG. 1 shows a configuration example of an imaging device (imaging device 1) according to a first embodiment.
  • the imaging device 1 includes a pixel array 11, a drive section 12, a readout section 20, a charge pump 14, a noise correction section 15, a reference signal generation section 16, a signal processing section 17, and an imaging control section 18.
  • a pixel array 11 a drive section 12, a readout section 20, a charge pump 14, a noise correction section 15, a reference signal generation section 16, a signal processing section 17, and an imaging control section 18.
  • the pixel array 11 has a plurality of light receiving pixels P arranged in a matrix.
  • the light-receiving pixel P is configured to generate a pixel signal SIG including a pixel voltage Vpix according to the amount of light received.
  • FIG. 2 shows an example of the configuration of the light-receiving pixel P.
  • the pixel array 11 includes a plurality of control lines TRGL, a plurality of control lines RSTL, a plurality of control lines SELL, and a plurality of signal lines VSL.
  • the control line TRGL extends in the horizontal direction (horizontal direction in FIG. 2), and one end is connected to the drive unit 12.
  • a control signal STRG is supplied to the control line TRGL by the drive section 12.
  • the control line RSTL extends in the horizontal direction, and one end is connected to the drive unit 12.
  • a control signal SRST is supplied to this control line RSTL by the driving section 12.
  • the control line SELL extends horizontally, and one end is connected to the drive unit 12.
  • a control signal SSEL is supplied to this control line SELL by the drive unit 12.
  • the signal line VSL extends in the vertical direction (vertical direction in FIG. 2), and one end is connected to the reading section 20.
  • This signal line VSL transmits the pixel signal SIG generated by the light receiving pixel P to the reading unit 20.
  • a plurality of light-receiving pixels P arranged in one row in the horizontal direction (horizontal direction in FIGS. 1 and 2) constitute a pixel line L.
  • the light receiving pixel P includes a photodiode PD, a transistor TRG, a floating diffusion FD, and transistors RST, AMP, and SEL.
  • the transistors TRG, RST, AMP, and SEL are N-type MOS (Metal Oxide Semiconductor) transistors in this example.
  • the photodiode PD is a photoelectric conversion element that generates an amount of charge according to the amount of received light and stores the generated charge inside.
  • the anode of the photodiode PD is grounded, and the cathode is connected to the source of the transistor TRG.
  • the gate of the transistor TRG is connected to the control line TRGL, the source is connected to the cathode of the photodiode PD, and the drain is connected to the floating diffusion FD.
  • the floating diffusion FD is configured to accumulate charges transferred from the photodiode PD via the transistor TRG.
  • the floating diffusion FD is configured using, for example, a diffusion layer formed on the surface of a semiconductor substrate. In FIG. 2, the floating diffusion FD is shown using a capacitor symbol.
  • the gate of the transistor RST is connected to the control line RSTL, the drain is connected to the power supply node of the power supply voltage VDDH, and the source is connected to the floating diffusion FD.
  • the gate of the transistor AMP is connected to the floating diffusion FD, the drain is connected to the power supply node of the power supply voltage VDDH, and the source is connected to the drain of the transistor SEL.
  • the gate of the transistor SEL is connected to the control line SELL, the drain is connected to the source of the transistor AMP, and the source is connected to the signal line VSL.
  • the transistors TRG and RST are turned on based on the control signals STRG and SRST, for example, so that the charges accumulated in the photodiode PD are discharged to the power supply node of the power supply voltage VDDH. . Then, by turning off these transistors TRG and RST, an exposure period T is started, and an amount of charge corresponding to the amount of light received is accumulated in the photodiode PD. After the exposure period T ends, the light receiving pixel P outputs the pixel signal SIG including the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix to the signal line VSL.
  • the transistor SEL is turned on based on the control signal SSEL, so that the light receiving pixel P is electrically connected to the signal line VSL.
  • the transistor AMP is connected to a constant current source 21 (described later) of the reading section 20, and operates as a so-called source follower.
  • the light-receiving pixel P detects the voltage of the floating diffusion FD at that time during a P-phase (Pre-charge phase) period TP after the voltage of the floating diffusion FD is reset by turning on the transistor RST. A voltage corresponding to the voltage is output as a reset voltage Vreset.
  • the light-receiving pixel P responds to the voltage of the floating diffusion FD at that time during the D phase (Data phase) period TD after the charge is transferred from the photodiode PD to the floating diffusion FD by turning on the transistor TRG.
  • the resulting voltage is output as the pixel voltage Vpix.
  • the voltage difference between the pixel voltage Vpix and the reset voltage Vreset corresponds to the amount of light received by the light receiving pixel P during the exposure period T.
  • the light receiving pixel P outputs the pixel signal SIG including the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix to the signal line VSL.
  • FIG. 3 shows an example of the configuration of the pixel array 11.
  • unit pixels PP including four light receiving pixels P (light receiving pixels PR, PGr, PGb, PB) are arranged in parallel.
  • the light receiving pixel PR has a red (R) color filter and is configured to receive red light.
  • the light receiving pixels PGr and PGb have green (G) color filters and are configured to receive green light.
  • the light receiving pixel PB has a blue (B) color filter and is configured to receive blue light.
  • the light receiving pixel PR is arranged at the upper left
  • the light receiving pixel PGr is arranged at the upper right
  • the light receiving pixel PGb is arranged at the lower left
  • the light receiving pixel PB is arranged at the lower right.
  • the four light-receiving pixels PR, PGr, PGb, and PB are arranged in a so-called Bayer array.
  • the driving unit 12 (FIG. 1) is configured to sequentially drive the plurality of light-receiving pixels P in the pixel array 11 in units of pixel lines L based on instructions from the imaging control unit 18. Specifically, the drive unit 12 supplies the plurality of control signals STRG to the plurality of control lines TRGL in the pixel array 11, supplies the plurality of control signals SRST to the plurality of control lines RSTL, and supplies the plurality of control signals STRG to the plurality of control lines RSTL. By supplying a plurality of control signals SSEL to SELL, the plurality of light-receiving pixels P in the pixel array 11 are driven in units of pixel lines L. A voltage VRL generated by a charge pump 14 is supplied to the drive unit 12 . The drive unit 12 is configured to drive the plurality of light receiving pixels P using this voltage VRL as a low level voltage of the control signals STRG, SRST, and SSEL.
  • the reading unit 20 generates image data DT0 by performing AD conversion based on the pixel signal SIG supplied from the pixel array 11 via the signal line VSL based on an instruction from the imaging control unit 18. configured.
  • FIG. 4 shows an example of the configuration of the reading section 20.
  • FIG. 4 also depicts the noise correction section 15, the reference signal generation section 16, the signal processing section 17, and the imaging control section 18.
  • the reading unit 20 includes a plurality of constant current sources 21, a plurality of AD (Analog to Digital) conversion units ADC, and a transfer control unit 27.
  • a plurality of constant current sources 21 and a plurality of AD converters ADC are respectively provided corresponding to the plurality of signal lines VSL.
  • the constant current source 21 and the AD converter ADC corresponding to one signal line VSL will be described below.
  • the constant current source 21 is configured to cause a predetermined current to flow through the corresponding signal line VSL.
  • One end of the constant current source 21 is connected to the corresponding signal line VSL, and the other end is connected to the ground node.
  • the AD conversion unit ADC is configured to perform AD conversion based on the pixel signal SIG on the corresponding signal line VSL.
  • the AD converter ADC includes capacitors 22 and 23, a comparison circuit 24, a counter 25, and a latch 26.
  • the reference signal RAMP supplied from the reference signal generation section 16 is supplied to one end of the capacitor 23 , and the other end is connected to the comparison circuit 24 .
  • the reference signal RAMP is a signal having a so-called ramp waveform whose voltage level gradually changes over time.
  • the comparison circuit 24 performs a comparison operation based on the pixel signal SIG supplied from the light receiving pixel P via the signal line VSL and the capacitor 22, and the reference signal RAMP supplied from the reference signal generation section 16 via the capacitor 23. and is configured to generate a signal CP by doing so.
  • the comparison circuit 24 sets the operating point by setting the voltages of the capacitors 22 and 23 based on the control signal AZSW supplied from the imaging control section 18. After that, the comparison circuit 24 performs a comparison operation of comparing the reset voltage Vreset included in the pixel signal SIG with the voltage of the reference signal RAMP during the P-phase period TP, and compares the reset voltage Vreset included in the pixel signal SIG with the voltage of the reference signal RAMP during the D-phase period TD. A comparison operation is performed to compare the included pixel voltage Vpix and the voltage of the reference signal RAMP.
  • the counter 25 is configured to perform a counting operation of counting the pulses of the clock signal CLK supplied from the imaging control section 18 based on the signal CP supplied from the comparison circuit 24. Specifically, the counter 25 counts down the pulses of the clock signal CLK during the P-phase period TP until the signal CP transitions, and counts up the pulses of the clock signal CLK during the D-phase period TD until the signal CP transitions. By counting, a count value CNT is generated. The counter 25 is configured to output this count value CNT as a digital code having a plurality of bits.
  • the latch 26 is configured to temporarily hold the digital code supplied from the counter 25 and output the digital code to the bus wiring BUS based on an instruction from the transfer control unit 27.
  • the transfer control unit 27 is configured to control the latches 26 of the plurality of AD conversion units ADC to sequentially output digital codes to the bus wiring BUS based on the control signal CTL supplied from the imaging control unit 18. Ru.
  • the reading unit 20 uses this bus wiring BUS to sequentially transfer a plurality of digital codes supplied from a plurality of AD conversion units ADC to the signal processing unit 17 as image data DT0.
  • Charge pump 14 (FIG. 1) is configured to generate voltage VRL by performing a predetermined pump operation.
  • the charge pump 14 is connected to a capacitor Cext1 provided outside the imaging device 1 via a terminal TVRL.
  • Voltage VRL is a voltage lower than ground voltage in this example.
  • the charge pump 14 generates the voltage VRL by charging and discharging the capacitor Cext1.
  • the noise correction unit 15 generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the power supply voltage VDDH and a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL based on the instruction from the imaging control unit 18, These noise correction signals are configured to be superimposed on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16.
  • Power supply voltage VDDH is supplied to imaging device 1 via power supply terminal TVDDH.
  • the voltage VRL is generated by the charge pump 14 charging and discharging a capacitor Cext1 provided outside the imaging device 1.
  • noise correction section 15 generates noise correction signals according to these noises, and superimposes these generated noise correction signals on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16.
  • the reference signal generation unit 16 is configured to generate the reference signal RAMP based on instructions from the imaging control unit 18.
  • the reference signal RAMP has a so-called ramp waveform in which the voltage level gradually changes over time during the two periods (P-phase period TP and D-phase period TD) in which the reading unit 20 performs AD conversion.
  • the reference signal generation section 16 is configured to supply such a reference signal RAMP to the reading section 20.
  • FIG. 5 shows an example of the configuration of the drive section 12, the noise correction section 15, and the reference signal generation section 16. Note that, in addition to the driving section 12, the noise correction section 15, and the reference signal generation section 16, the light receiving pixel P, the charge pump 14, and the reading section 20 are also illustrated in FIG.
  • the drive section 12 includes a signal generation circuit 31 and a driver section 32.
  • the signal generation circuit 31 is configured using, for example, a shift register, and generates a plurality of control signals that are the source of the plurality of control signals STRG, a plurality of control signals that are the source of the plurality of control signals SRST, and a plurality of control signals SSEL. It is configured to generate a plurality of original control signals.
  • the driver section 32 has a plurality of drivers.
  • the driver section 32 is configured to generate a plurality of control signals STRG, a plurality of control signals SRST, and a plurality of control signals SSEL based on the plurality of control signals supplied from the signal generation circuit 31.
  • the driver section 32 is supplied with a power supply voltage VDDH and a voltage VRL.
  • the driver section 32 uses the power supply voltage VDDH as a high level voltage and the voltage VRL as a low level voltage to generate control signals STRG, SRST, and SSEL.
  • the noise correction section 15 includes a noise correction section 40 and a noise correction section 50.
  • the noise correction unit 40 is configured to generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the power supply voltage VDDH.
  • the noise correction unit 50 is configured to generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL.
  • the noise correction section 40 includes a high pass filter (HPF) 41, an adjustment circuit 42, and a current source 43.
  • the high-pass filter 41 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on the power supply voltage VDDH to the adjustment circuit 42.
  • the adjustment circuit 42 is configured to adjust the amplitude and phase of the noise signal supplied from the high-pass filter 41 based on instructions from the imaging control unit 18.
  • Current source 43 is configured to convert the noise signal adjusted by adjustment circuit 42 into a current signal.
  • the noise correction section 50 includes a high pass filter (HPF) 51, an adjustment circuit 52, and a current source 53.
  • the high-pass filter 51 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on the voltage VRL to the adjustment circuit 52.
  • the adjustment circuit 52 is configured to adjust the amplitude and phase of the noise signal supplied from the high-pass filter 51 based on instructions from the imaging control unit 18.
  • Current source 53 is configured to convert the noise signal adjusted by adjustment circuit 52 into a current signal.
  • the noise correction section 15 supplies the current signal generated by the noise correction section 40 to the reference signal generation section 16, thereby superimposing a noise correction signal, which is a voltage signal corresponding to this current signal, on the reference signal RAMP.
  • a noise correction signal which is a voltage signal corresponding to this current signal, on the reference signal RAMP.
  • the reference signal generation section 16 includes a control circuit 61, a current source 62, and a resistance element 63.
  • the control circuit 61 is configured to set the amount of current flowing through the current source 62 based on instructions from the imaging control section 18.
  • the current source 62 is connected to the resistance element 63 and is configured to cause a current of an amount according to an instruction from the control circuit 61 to flow through the resistance element 63.
  • One end of resistance element 63 is connected to current source 62, and the other end is connected to a ground node.
  • a current supplied from the current source 62 flows through the resistance element 63 .
  • the reference signal generating section 16 generates a reference signal RAMP which is a voltage signal according to this current.
  • a current signal supplied from the noise correction section 15 flows through this resistance element 63.
  • a noise correction signal which is a voltage signal corresponding to this current signal, is superimposed on the reference signal RAMP.
  • FIG. 6 shows an example of the configuration of the noise correction section 50. Note that the same applies to the noise correction section 40. In addition to the noise correction section 50, FIG. 6 also depicts the reference signal generation section 16, the imaging control section 78A, and the imaging control section 18.
  • the noise correction unit 50 includes a capacitor C1, a resistance element R1, a transistor MN1, a current source CS1, a switch SW1, a resistance element R2, a transistor MN2, a current source CS2, a capacitor C2, and transistors MP1 and MP2. and a capacitor C3.
  • Transistors MN1 and MN2 are N-type MOS transistors.
  • Transistors MP1 and MP2 are P-type transistors.
  • Capacitor C1 corresponds to high pass filter 51 shown in FIG.
  • Resistance element R1, transistor MN1, current source CS1, switch SW1, resistance element R2, transistor MN2, current source CS2, capacitor C2, transistor MP1, and capacitor C3 correspond to the adjustment circuit 52 shown in FIG.
  • Transistor MP2 corresponds to current source 53 shown in FIG.
  • a voltage VRL is supplied to one end of the capacitor C1, and the other end is connected to the switch SW1 and the gate of the transistor MN2.
  • One end of resistance element R1 is connected to the source of transistor MN1, and the other end is connected to a ground node.
  • the gate of the transistor MN1 is connected to the switch SW1, the drain of the transistor MN1, and the current source CS1, the drain is connected to the current source CS1, the gate of the transistor MN1, and the switch SW1, and the source is connected to one end of the resistive element R1.
  • One end of current source CS1 is connected to a power supply node of power supply voltage VDD, and the other end is connected to the drain of transistor MN1, the gate of transistor MN1, and switch SW1.
  • One end of the switch SW1 is connected to the gate of the transistor MN1, the drain of the transistor MN1, and the other end of the current source CS1, and the other end is connected to the other end of the capacitor C1 and the gate of the transistor MN2.
  • the switch SW1 is turned on and off based on instructions from the imaging control section 18.
  • One end of resistance element R2 is connected to the source of transistor MN2, and the other end is connected to a ground node.
  • the gate of the transistor MN2 is connected to the other end of the capacitor C1 and the other end of the switch SW1, the drain is connected to the current source CS2, the capacitor C2, the drain of the transistor MP1, and the gates of the transistors MP1 and MP2, and the source is connected to the resistor element R2.
  • the current source CS2 is capable of changing the amount of current based on instructions from the imaging control section 18.
  • One end of the capacitor C2 is connected to the power supply node of the power supply voltage VDD, and the other end is connected to the drain of the transistor MN2, the other end of the current source CS2, the drain of the transistor MP1, and the gates of the transistors MP1 and MP2.
  • the capacitor C2 can change its capacitance value based on instructions from the imaging control section 18.
  • the gate of the transistor MP1 is connected to the gate of the transistor MP2, the drain of the transistor MP1, the drain of the transistor MN2, the other end of the current source CS2, and the other end of the capacitor C2, the source is connected to the power supply node of the power supply voltage VDD, and the drain is connected to the gates of transistors MP1 and MP2, the drain of transistor MN2, the other end of current source CS2, and the other end of capacitor C2.
  • the gate of transistor MP2 is connected to the gate of transistor MP1, the drains of transistors MP1 and MN2, the other end of current source CS2, and the other end of capacitor C2, its source is connected to the power supply node of power supply voltage VDD, and its drain is connected to the power supply node of power supply voltage VDD.
  • the transistor MP2 is configured to be able to change the gate width of the transistor to be operated based on instructions from the imaging control unit 18.
  • the voltage VRL is supplied to one end of the capacitor C3, and the other end is connected to the drain of the transistor MP2 and also to the reference signal generation section 16.
  • the capacitor C3 is capable of changing its capacitance value based on instructions from the imaging control section 18.
  • the noise correction section 50 outputs a current signal according to the noise signal superimposed on the voltage VRL.
  • This current signal flows to the resistance element 63 of the reference signal generation section 16.
  • a noise correction signal that is a voltage signal corresponding to this current signal is generated.
  • the current source CS2, capacitors C2 and C3, and transistor MP2 in the noise correction unit 50 operate based on the adjustment parameters supplied from the imaging control unit 18. Thereby, the adjustment circuit 52 of the noise correction section 50 can adjust the amplitude and phase of the noise correction signal.
  • FIGS. 7A to 7C show an example of the operation of the adjustment circuit 52, with FIG. 7A showing an example of adjusting the amplitude of the noise correction signal, and FIGS. 7B and 7C showing an example of adjusting the phase of the noise correction signal. .
  • the adjustment circuit 52 can increase the amplitude of the noise correction signal by increasing the gate width of the transistor MP2 to be operated.
  • ⁇ V is the voltage amplitude of the noise signal in transistor MN2.
  • Rs is the resistance value of the resistance element R2.
  • m is the current mirror ratio in the transistors MP1 and MP2, and indicates the current flowing in the transistor MP2 when the current flowing in the transistor MP1 is "1".
  • Ro is the resistance value of the resistance element 63. Therefore, by changing the current mirror ratio, the amplitude of the noise correction signal can be changed.
  • the adjustment circuit 52 can delay the phase of the noise correction signal by increasing the capacitance value of the capacitor C2.
  • the adjustment circuit 52 can advance the phase of the noise correction signal by increasing the capacitance value of the capacitor C3.
  • the signal processing unit 17 (FIG. 1) is configured to generate image data DT by performing predetermined image processing based on the image data DT0 and instructions from the imaging control unit 18.
  • the predetermined image processing includes, for example, black level correction processing for correcting the black level, processing for reducing noise, and the like.
  • the imaging control section 18 supplies control signals to the driving section 12, the reading section 20, the noise correction section 15, the reference signal generation section 16, and the signal processing section 17, and controls the operation of these circuits, thereby controlling the imaging device. 1. Specifically, the imaging control unit 18 supplies a control signal to the drive unit 12 so that the drive unit 12 sequentially drives the plurality of light receiving pixels P in the pixel array 11 in units of pixel lines L. control. Further, the imaging control unit 18 controls the noise correction unit 15 to adjust, for example, the amplitude and phase of the noise correction signal by supplying a control signal to the noise correction unit 15. Furthermore, the imaging control unit 18 controls the reference signal generation unit 16 to generate the reference signal RAMP by supplying a control signal to the reference signal generation unit 16.
  • the imaging control section 18 supplies a control signal to the reading section 20, thereby controlling the reading section 20 to generate image data DT0 by performing AD conversion based on the pixel signal SIG. Further, the imaging control section 18 controls image processing in the signal processing section 17 by supplying a control signal to the signal processing section 17.
  • the light-receiving pixel P corresponds to a specific example of a "light-receiving pixel" in an embodiment of the present disclosure.
  • the terminal TVRL corresponds to a specific example of a "first connection terminal” in an embodiment of the present disclosure.
  • Capacitor Cext1 corresponds to a specific example of a "first external capacitor” in an embodiment of the present disclosure.
  • the charge pump 14 corresponds to a specific example of a "first voltage generation circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the drive unit 12 corresponds to a specific example of a "drive circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the reference signal RAMP corresponds to a specific example of a "reference signal” in an embodiment of the present disclosure.
  • the reference signal generation unit 16 corresponds to a specific example of a "reference signal generation circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the noise correction unit 50 corresponds to a specific example of a "noise correction circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the comparison circuit 24 corresponds to a specific example of a “comparison circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the counter 25 corresponds to a specific example of a "processing circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the charge pump 14 generates the voltage VRL by charging and discharging a capacitor Cext1 provided outside the imaging device 1.
  • the driving section 12 sequentially drives the plurality of light receiving pixels P in the pixel array 11 in units of pixel lines L based on instructions from the imaging control section 18 .
  • the reference signal generation unit 16 generates a reference signal RAMP based on instructions from the imaging control unit 18.
  • the noise correction unit 15 generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the power supply voltage VDDH and a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL based on the instruction from the imaging control unit 18, These generated noise correction signals are superimposed on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16.
  • the light-receiving pixel P outputs the reset voltage Vreset as the pixel signal SIG during the P-phase period TP, and outputs the pixel voltage Vpix according to the amount of received light as the pixel signal SIG during the D-phase period TD.
  • the reading unit 20 reads the image data DT0 based on the pixel signal SIG supplied from the pixel array 11 via the signal line VSL, the reference signal RAMP supplied from the reference signal generation unit 16, and the instruction from the imaging control unit 18. generate. Specifically, in the readout unit 20, the AD conversion unit ADC generates a count value CNT by performing AD conversion based on the pixel signal SIG and the reference signal RAMP, and converts this count value CNT into a plurality of bits. output as a digital code. The reading unit 20 sequentially supplies a plurality of digital codes including the count value CNT generated by the plurality of AD conversion units ADC to the signal processing unit 17 as image data DT0 via the bus wiring BUS. The signal processing unit 17 generates image data DT by performing predetermined image processing based on the image data DT0 and instructions from the imaging control unit 18.
  • the plurality of light-receiving pixels P accumulate charges according to the amount of received light, and generate a pixel signal SIG including a pixel voltage Vpix according to the amount of received light. Then, the reading unit 20 performs AD conversion based on this pixel signal SIG and reference signal RAMP. This operation will be explained in detail below.
  • FIG. 8 shows an example of an operation of scanning a plurality of light-receiving pixels P in the pixel array 11 in units of pixel lines L.
  • the imaging device 1 performs exposure start driving D1 on the pixel array 11 in order from the top in the vertical direction.
  • the driving unit 12 sequentially selects the pixel lines L by generating control signals STRG and SRST, and sequentially turns on the transistors TRG and RST in the light receiving pixel P for a predetermined length of time. Make it.
  • the voltage of the floating diffusion FD and the voltage of the cathode of the photodiode PD are set to the power supply voltage VDDH.
  • the photodiode PD starts accumulating charges according to the amount of light received. In this way, the exposure periods T start sequentially in the plurality of light-receiving pixels P.
  • the imaging device 1 performs readout drive D2 on the pixel array 11 in the vertical direction from the top in this example.
  • the driving unit 12 sequentially selects the pixel lines L by generating control signals STRG, SRST, and SSEL, as described later.
  • the light-receiving pixel P outputs the reset voltage Vreset as the pixel signal SIG during the P-phase period TP, and outputs the pixel voltage Vpix as the pixel signal SIG during the D-phase period TD.
  • the reading unit 20 performs AD conversion based on the pixel signal SIG output from the light receiving pixel P and including the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix.
  • the imaging device 1 repeats such exposure start drive D1 and readout drive D2. Thereby, the imaging device 1 obtains a series of captured images.
  • the read drive D2 will be explained in detail. Focusing on a certain light-receiving pixel P, the operations of this light-receiving pixel P and the AD converter ADC connected to the light-receiving pixel P will be described below.
  • FIG. 9 shows an example of the operation of the read drive D2, in which (A) shows the waveform of the control signal SSEL, (B) shows the waveform of the control signal SRST, and (C) shows the waveform of the control signal STRG. , (D) shows the waveform of the control signal AZSW, (E) shows the waveform of the reference signal RAMP, (F) shows the waveform of the pixel signal SIG, and (G) shows the waveform of the clock signal CLK. , (H) shows the waveform of the signal CP, and (I) shows the counting operation of the counter 25.
  • FIGS. 9E and 9F the waveforms of the reference signal RAMP and the pixel signal SIG are shown using the same voltage axis.
  • the waveform of the reference signal RAMP shown in FIG. 9(E) is the waveform of the voltage supplied to the input terminal of the comparator circuit 24 via the capacitor 23, and the waveform of the reference signal RAMP shown in FIG.
  • the waveform of the pixel signal SIG is the waveform of the voltage supplied to the input terminal of the comparison circuit 24 via the capacitor 22.
  • the horizontal period H starts.
  • the drive unit 12 changes the voltage of the control signal SSEL from a low level to a high level (FIG. 9(A)).
  • the transistor SEL is turned on, and the light-receiving pixel P is electrically connected to the signal line VSL.
  • the drive unit 12 changes the voltage of the control signal SRST from a low level to a high level (FIG. 9(B)).
  • the transistor RST is turned on, and the voltage of the floating diffusion FD is set to the power supply voltage VDDH (reset operation).
  • the light receiving pixel P outputs a voltage corresponding to the voltage of the floating diffusion FD at this time. Furthermore, at this timing t11, the imaging control unit 18 changes the voltage of the control signal AZSW from a low level to a high level (FIG. 9(D)). Thereby, the comparison circuit 24 of the AD conversion unit ADC sets the operating point by setting the voltages of the capacitors 22 and 23. In this way, the voltage of the pixel signal SIG is set to the reset voltage Vreset, and the voltage of the reference signal RAMP is set to the same voltage as the voltage of the pixel signal SIG (reset voltage Vreset) (Fig. 9(E), ( F)).
  • the drive unit 12 changes the voltage of the control signal SRST from a high level to a low level (FIG. 9(B)).
  • the transistor RST is turned off, and the reset operation ends.
  • the imaging control unit 18 changes the voltage of the control signal AZSW from a high level to a low level (FIG. 9(D)). Thereby, the comparison circuit 24 finishes setting the operating point.
  • the reference signal generation unit 16 sets the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 9(E)).
  • the voltage of the reference signal RAMP becomes higher than the voltage of the pixel signal SIG, so the comparison circuit 24 changes the voltage of the signal CP from a low level to a high level ((H) in FIG. 9).
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on the pixel signal SIG. Specifically, first, at timing t14, the reference signal generation unit 16 starts reducing the voltage of the reference signal RAMP from the voltage V1 by a predetermined degree of change ((E) in FIG. 9). Furthermore, at this timing t14, the imaging control unit 18 starts generating the clock signal CLK (FIG. 9(G)). The counter 25 of the AD conversion unit ADC counts the pulses of the clock signal CLK by performing a down-counting operation (FIG. 9(I)).
  • the comparison circuit 24 of the AD conversion unit ADC changes the voltage of the signal CP from a high level to a low level ((H) in FIG. 9).
  • the counter 25 of the AD converter ADC stops counting operation based on the transition of the signal CP (FIG. 9(I)).
  • the amount of change in the count value between timings t14 and t15 is a value according to the reset voltage Vreset.
  • the imaging control unit 18 stops generating the clock signal CLK with the end of the P-phase period TP (FIG. 9(G)). Further, the reference signal generation unit 16 sets the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V2 at this timing t16 ((E) in FIG. 9).
  • the imaging control unit 18 sets the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 9(E)).
  • the voltage of the reference signal RAMP becomes higher than the voltage of the pixel signal SIG (reset voltage Vreset), so the comparison circuit 24 changes the voltage of the signal CP from a low level to a high level ((H) in FIG. 9).
  • the drive unit 12 changes the voltage of the control signal STRG from a low level to a high level (FIG. 9(C)).
  • the transistor TRG is turned on, and the charge generated in the photodiode PD is transferred to the floating diffusion FD (charge transfer operation).
  • the light receiving pixel P outputs a voltage corresponding to the voltage of the floating diffusion FD at this time. In this way, the voltage of the pixel signal SIG becomes the pixel voltage Vpix (FIG. 9(F)).
  • the drive unit 12 changes the voltage of the control signal STRG from a high level to a low level (FIG. 9(C)).
  • the transistor TRG is turned off, and the charge transfer operation ends.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on the pixel signal SIG. Specifically, first, at timing t20, the reference signal generation unit 16 starts reducing the voltage of the reference signal RAMP from the voltage V1 by a predetermined degree of change ((E) in FIG. 9). Also, at this timing t20, the imaging control unit 18 starts generating the clock signal CLK (FIG. 9(G)). The counter 25 of the AD converter ADC counts the pulses of the clock signal CLK by performing a counting operation by up-counting (FIG. 9(I)).
  • the comparison circuit 24 of the AD conversion unit ADC changes the voltage of the signal CP from a high level to a low level ((H) in FIG. 9).
  • the counter 25 of the AD converter ADC stops counting operation based on the transition of the signal CP (FIG. 9(I)).
  • the amount of change in the count value between timings t20 and t21 is a value that corresponds to the pixel voltage Vpix.
  • the latch 26 holds the count value of the counter 25 at this time (count value CNT).
  • This count value CNT corresponds to the difference voltage between the pixel voltage Vpix and the reset voltage Vreset, and corresponds to the amount of light received by the light receiving pixel P during the exposure period T.
  • the imaging device 1 uses the principle of correlated double sampling (CDS) to obtain a pixel value according to the amount of light received by the light receiving pixel P.
  • CDS correlated double sampling
  • the imaging control unit 18 stops generating the clock signal CLK with the end of the D-phase period TD ((G) in FIG. 9). Further, the reference signal generation unit 16 sets the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V3 at this timing t22 ((E) in FIG. 9). Then, in a period after timing t22, the reading unit 20 supplies the count value CNT held in the latch 26 to the signal processing unit 17 as image data DT0.
  • the drive unit 12 changes the voltage of the control signal SSEL from a high level to a low level (FIG. 9(A)).
  • the transistor SEL is turned off, and the light-receiving pixel P is electrically disconnected from the signal line VSL.
  • the counter 25 resets the count value (FIG. 9(I)).
  • the reading unit 20 supplies the image data DT0 including the count value CNT to the signal processing unit 17.
  • the signal processing unit 17 generates the image data DT by performing predetermined processing based on, for example, the count value CNT included in the image data DT0.
  • the noise correction section 15 generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the power supply voltage VDDH and a noise correction signal according to the noise superposed on the voltage VRL, and sends these noise correction signals to the reference signal generation section. 16 is superimposed on the reference signal RAMP generated by the reference signal RAMP. The operations of the noise correction section 50 and the noise correction section 40 will be described in detail below.
  • FIGS. 10A and 10B show an example of the operation of the noise correction unit 50
  • FIG. 10A shows the operation related to the light receiving pixel P that is the target of the readout drive D2
  • FIG. 10B shows the operation related to the light receiving pixel P that is not the target of the readout drive D2.
  • the operation related to pixel P is shown.
  • the wiring indicated by thick lines indicates the wiring related to the operation of the noise correction unit 50.
  • the driver section 32 of the drive section 12 Since the capacitor Cext1 is provided outside the imaging device 1, noise is likely to be superimposed on the voltage VRL.
  • the driver section 32 of the drive section 12 generates control signals STRG, SRST, and SSEL by using this voltage VRL as a low-level voltage. Therefore, for example, when the control signal STRG is at a low level, noise is superimposed on the control signal STRG. The same applies to control signals SRST and SSEL.
  • the drive unit 12 applies a high-level control signal SSEL and a low-level control signal to the light-receiving pixel P, which is the target of the readout drive D2, during the P-phase period TP and the D-phase period TD. It supplies signals STRG and SRST. Therefore, as shown in FIG. 10A, in this light receiving pixel P, noise corresponding to the noise of the voltage VRL is superimposed on the gate voltages of the transistors TRG and RST. Since the control signal STRG is at a low level, the transistor TRG is in an off state. However, the noise at the gate of transistor TRG is transmitted to the gate of transistor AMP via the parasitic capacitance between the gate and drain of transistor TRG.
  • the transistor RST since the control signal SRST is at a low level, the transistor RST is in an off state. However, the noise at the gate of transistor RST is transmitted to the gate of transistor AMP via the parasitic capacitance between the gate and source of transistor RST. Since the control signal SSEL is at a high level, the transistor SEL is in an on state, and the transistor AMP and the constant current source 21 operate as a source follower. Therefore, noise at the gate of transistor AMP is transmitted to signal line VSL. In this way, this light-receiving pixel P outputs a pixel signal SIG on which noise is superimposed.
  • the drive unit 12 supplies low-level control signals STRG, SRST, and SSEL to the light-receiving pixels P that are not subject to the readout drive D2. Therefore, as shown in FIG. 10B, in this light-receiving pixel P, noise corresponding to the noise of the voltage VRL is superimposed on the gate voltages of the transistors TRG, RST, and SEL. For example, since the control signal SSEL is at a low level, the transistor SEL is in an off state. However, the noise at the gate of the transistor SEL is transmitted to the source of the transistor SEL via the parasitic capacitance between the gate and source of the transistor SEL. Therefore, this light-receiving pixel P superimposes noise on the pixel signal SIG generated by the light-receiving pixel P that is the target of the readout drive D2.
  • the pixel signal SIG on which noise is superimposed is supplied to the comparison circuit 24 via the capacitor 22.
  • the noise correction section 50 generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL, and converts this noise correction signal into the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16. superimpose on The reference signal RAMP on which the noise correction signal has been superimposed is supplied to the comparison circuit 24 via the capacitor 23.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted in advance to be approximately the same as the amplitude and phase of the noise superimposed on the pixel signal SIG.
  • the pixel signal SIG and the reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24 are superimposed with noise and noise correction signals that are in phase with each other.
  • the comparison circuit 24 Since the comparison circuit 24 operates based on the difference between the two supplied signals, the influence of noise on the signal CP generated by the comparison circuit 24 can be suppressed. As a result, in the imaging device 1, the influence of noise of the voltage VRL on the captured image can be suppressed.
  • the comparison circuit 24 performs a comparison operation based on the pixel signal SIG on which noise is superimposed and the reference signal RAMP on which no noise correction signal is superimposed.
  • the noise of the voltage VRL affects the captured image. For example, since the same noise is superimposed on the pixel signals SIG output from the plurality of light-receiving pixels P belonging to the pixel line L, horizontal streaks depending on the noise may appear in the captured image.
  • the imaging device 1 since the imaging device 1 is provided with the noise correction section 50, the in-phase noise and noise correction signal are superimposed on the pixel signal SIG and the reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24, respectively. Thereby, in the imaging device 1, the influence of noise of the voltage VRL on the captured image can be suppressed.
  • FIG. 11 shows an example of the characteristics of the noise removal ratio for noise superimposed on the voltage VRL, where the horizontal axis shows the frequency and the vertical axis shows the noise removal ratio.
  • the noise removal ratio is the ratio between the noise voltage superimposed on the voltage VRL and the value obtained by converting the pixel value in the captured image into voltage, and the smaller the value, the more noise is removed.
  • the solid line indicates the characteristics of the imaging device 1 according to the present embodiment, and the broken line indicates the characteristics of the imaging device when the noise correction section 50 is not provided. In the imaging device 1, since the noise correction section 50 is provided, the noise removal ratio can be reduced.
  • FIG. 12 shows an example of the operation of the noise correction section 40.
  • FIG. 12 shows the operation related to the light-receiving pixel P that is the target of the readout drive D2.
  • the wiring indicated by thick lines indicates the wiring related to the operation of the noise correction section 40.
  • the driver section 32 of the drive section 12 Since the power supply voltage VDDH is supplied from outside the imaging device 1, noise is likely to be superimposed on the power supply voltage VDDH.
  • the driver section 32 of the drive section 12 generates control signals STRG, SRST, and SSEL by using this power supply voltage VDDH as a high-level voltage. Therefore, for example, when the control signal SSEL is at a high level, noise is superimposed on the control signal SSEL.
  • the drive unit 12 applies a high-level control signal SSEL and a low-level control signal to the light-receiving pixel P, which is the target of the readout drive D2, during the P-phase period TP and the D-phase period TD. It supplies signals STRG and SRST. Therefore, as shown in FIG. 12, in this light receiving pixel P, noise corresponding to the noise of the power supply voltage VDDH is superimposed on the gate voltage of the transistor SEL. Furthermore, in the light receiving pixel P, noise corresponding to the noise of the power supply voltage VDDH is superimposed on the gate voltage of the transistor AMP via the parasitic capacitance between the power supply wiring of the power supply voltage VDDH and the floating diffusion FD.
  • control signal SSEL is at a high level
  • the transistor SEL is in an on state
  • the transistor AMP and the constant current source 21 operate as a source follower.
  • the power supply voltage VDDH on which noise is superimposed is supplied to the drain of the transistor AMP.
  • the noise correction section 40 generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the power supply voltage VDDH, and superimposes this noise correction signal on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16.
  • the reference signal RAMP on which the noise correction signal has been superimposed is supplied to the comparison circuit 24 via the capacitor 23.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted in advance to be approximately the same as the amplitude and phase of the noise superimposed on the pixel signal SIG.
  • the pixel signal SIG and the reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24 are superimposed with noise and noise correction signals that are in phase with each other.
  • the characteristics of the noise removal ratio are similar to those of the noise correction section 50 (FIG. 11).
  • the imaging device 1 includes a light-receiving pixel P capable of generating a pixel signal SIG including a pixel voltage Vpix corresponding to the amount of received light, a terminal TVRL connected to the capacitor Cext1, and a charger capable of generating a voltage at the terminal TVRL.
  • a pump 14 a driving section 12 capable of driving the light receiving pixel P based on the voltage at the terminal TVRL, a reference signal generating section 16 capable of generating a reference signal RAMP having a ramp waveform, and noise correction according to the voltage at the terminal TVRL.
  • a noise correction unit 50 that can generate a signal and superimpose a noise correction signal on the reference signal RAMP, a comparison circuit 24 that can compare the pixel signal SIG and the reference signal RAMP on which the noise correction signal is superimposed, A signal processing section 17 capable of calculating pixel values based on the comparison results of the circuit 24 is provided.
  • the pixel signal SIG and the reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24 are superimposed with noise and noise correction signals that are in phase with each other, so that the influence of the noise of the voltage VRL on the captured image is suppressed. be able to.
  • a light-receiving pixel capable of generating a pixel signal including a pixel voltage according to the amount of light, a terminal connected to a capacitor, a charge pump capable of generating a voltage at the terminal, and a voltage at the terminal are provided.
  • a driving section that can drive the light-receiving pixel based on the reference signal
  • a reference signal generating section that can generate a reference signal having a ramp waveform
  • a noise correction signal that can generate a noise correction signal according to the voltage at the terminal, and the noise correction signal as the reference signal.
  • noise correction unit that can be superimposed on the noise correction signal
  • comparison circuit that can compare the pixel signal and a reference signal on which the noise correction signal is superimposed
  • signal processing unit that can calculate the pixel value based on the comparison result of the comparison circuit. Since this is provided, the influence of noise can be suppressed.
  • an imaging device 2 according to a second embodiment will be described.
  • This embodiment is an example in which the circuit configuration of the light receiving pixel P is changed and two external capacitors are provided. Components that are substantially the same as those of the imaging device 1 according to the first embodiment are given the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
  • FIG. 13 shows an example of the configuration of the imaging device 2 according to the second embodiment.
  • the imaging device 2 includes a pixel array 71, a drive section 72, a bias circuit 74, a noise correction section 75, a signal processing section 77, and an imaging control section 78.
  • the pixel array 71 includes a plurality of light-receiving pixels P arranged in a matrix.
  • FIG. 14 shows an example of the configuration of the light-receiving pixel P.
  • the pixel array 71 includes a plurality of control lines TGLL, a plurality of control lines FDGL, a plurality of control lines RSTL, a plurality of control lines FCGL, a plurality of control lines TGSL, a plurality of control lines SELL, and a plurality of signals. line VSL.
  • the control line TGLL extends in the horizontal direction (horizontal direction in FIG. 14), and one end is connected to the drive unit 72.
  • a control signal STGL is supplied to this control line TGLL by the driving section 72.
  • the control line FDGL extends in the horizontal direction, and one end is connected to the drive unit 72.
  • a control signal SFDG is supplied to this control line FDGL by the drive section 72.
  • the control line RSTL extends in the horizontal direction, and one end is connected to the drive unit 72.
  • a control signal SRST is supplied to this control line RSTL by the driving section 72.
  • the control line FCGL extends in the horizontal direction, and one end is connected to the drive unit 72.
  • a control signal SFCG is supplied to this control line FCGL by the drive unit 72.
  • the control line TGSL extends in the horizontal direction, and one end is connected to the drive unit 72.
  • a control signal STGS is supplied to this control line TGSL by the driving section 72.
  • the control line SELL extends horizontally, and one end is connected to the drive unit 72.
  • a control signal SSEL is supplied to the control line SELL by the drive unit 72.
  • the light receiving pixel P includes a photodiode PD1, a transistor TGL, a photodiode PD2, a transistor TGS, a capacitor FC, a transistor FCG, RST, FDG, a floating diffusion FD, and a transistor AMP, SEL. .
  • the transistors TGL, TGS, FCG, RST, FDG, AMP, and SEL are N-type MOS transistors in this example.
  • the photodiode PD1 is a photoelectric conversion element that generates an amount of charge according to the amount of received light and stores the generated charge inside.
  • the light receiving area where the photodiode PD1 can receive light is wider than the light receiving area where the photodiode PD2 can receive light.
  • the anode of the photodiode PD1 is grounded, and the cathode is connected to the source of the transistor TGL.
  • the gate of the transistor TGL is connected to the control line TGLL, the source is connected to the cathode of the photodiode PD1, and the drain is connected to the floating diffusion FD.
  • the photodiode PD2 is a photoelectric conversion element that generates an amount of charge according to the amount of received light and stores the generated charge inside.
  • the light receiving area where the photodiode PD2 can receive light is narrower than the light receiving area where the photodiode PD1 can receive light.
  • the anode of the photodiode PD2 is grounded, and the cathode is connected to the source of the transistor TGS.
  • the gate of the transistor TGS is connected to the control line TGSL, the source is connected to the cathode of the photodiode PD2, and the drain is connected to the capacitor FC and the source of the transistor FCG.
  • One end of the capacitor FC is connected to the drain of the transistor TGS and the source of the transistor FCG, and the other end is supplied with the control signal FCVDD.
  • the gate of the transistor FCG is connected to the control line FCGL, the source is connected to one end of the capacitor FC and the drain of the transistor TGS, and the drain is connected to the source of the transistor RST and the drain of the transistor FDG.
  • the gate of the transistor RST is connected to the control line RSTL, the drain is supplied with the power supply voltage VDDH, and the source is connected to the drains of the transistors FCG and FDG.
  • the gate of the transistor FDG is connected to the control line FDGL, the drain is connected to the source of the transistor RST and the drain of the transistor FCG, and the source is connected to the floating diffusion FD.
  • the floating diffusion FD is configured to accumulate charges supplied from the photodiodes PD1 and PD2.
  • the floating diffusion FD is configured using, for example, a diffusion layer formed on the surface of a semiconductor substrate. In FIG. 14, the floating diffusion FD is shown using a capacitor symbol.
  • the transistor SEL is turned on based on the control signal SSEL, so that the light receiving pixel P is electrically connected to the signal line VSL.
  • the transistor AMP is connected to the constant current source 21 of the reading section 20 and operates as a so-called source follower.
  • the light-receiving pixel P outputs a pixel voltage VP corresponding to the voltage at the floating diffusion FD to the signal line VSL as a pixel signal SIG.
  • the light-receiving pixel P sequentially outputs eight pixel voltages VP (VP1 to VP8) in eight periods (conversion periods T1 to T8) within the so-called horizontal period H. ing.
  • FIG. 15 shows an example of the arrangement of photodiodes PD1 and PD2 in the pixel array 71.
  • "R” indicates a red color filter
  • "Gr” and “Gb” indicate a green color filter
  • "B” indicates a blue color filter.
  • a photodiode PD2 is formed to the upper right of the photodiode PD1.
  • Color filters of the same color are formed in the two photodiodes PD1 and PD2 in each light-receiving pixel P.
  • photodiode PD1 has an octagonal shape
  • photodiode PD2 has a quadrangular shape. As shown in this figure, the light receiving area where the photodiode PD1 can receive light is wider than the light receiving area where the photodiode PD2 can receive light.
  • the driving unit 72 (FIG. 13) is configured to sequentially drive the plurality of light-receiving pixels P in the pixel array 71 in units of pixel lines L based on instructions from the imaging control unit 78. Specifically, the drive unit 72 supplies the plurality of control signals STGL to the plurality of control lines TGLL in the pixel array 71, respectively supplies the plurality of control signals SFDG to the plurality of control lines FDGL, and supplies the plurality of control signals STGL to the plurality of control lines FDGL.
  • a plurality of control signals SRST are respectively supplied to RSTL, a plurality of control signals SFCG are respectively supplied to a plurality of control lines FCGL, a plurality of control signals STGS are respectively supplied to a plurality of control lines TGSL, and a plurality of control signals SELL are supplied to a plurality of control lines SELL.
  • a plurality of control signals SSEL By respectively supplying a plurality of control signals SSEL, a plurality of light receiving pixels P in the pixel array 71 are driven in units of pixel lines L.
  • the drive unit 72 supplies the control signal FCVDD to the plurality of light receiving pixels P in the pixel array 71.
  • the drive unit 72 is supplied with the voltage VRL generated by the charge pump 14 and also supplied with the voltage VRH generated by the bias circuit 74.
  • Bias circuit 74 is configured to generate voltage VRH.
  • the bias circuit 74 is connected to a capacitor Cext2 provided outside the imaging device 2 via a terminal TVRH.
  • voltage VRH is higher than the ground voltage and lower than power supply voltage VDDH.
  • the bias circuit 74 is provided in this example, the present invention is not limited to this, and instead, for example, a charge pump may be provided. In this case, for example, voltage VRH can be made higher than power supply voltage VDDH.
  • the noise correction unit 75 Based on instructions from the imaging control unit 78, the noise correction unit 75 generates a noise correction signal corresponding to the noise superimposed on the power supply voltage VDDH, a noise correction signal corresponding to the noise superimposed on the voltage VRL, and a noise correction signal corresponding to the noise superimposed on the voltage VRH. It is configured to generate noise correction signals according to the superimposed noise and to superimpose these noise correction signals on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16.
  • FIG. 16 shows a specific example of the drive section 72 and the noise correction section 75. Note that, in addition to the drive section 72 and the noise correction section 75, FIG. 16 also depicts the light receiving pixel P, the charge pump 14, the bias circuit 74, the reference signal generation section 16, and the readout section 20.
  • the drive section 72 includes a signal generation circuit 81, a driver section 82, and a driver 83.
  • the signal generation circuit 81 is configured using, for example, a shift register, and generates a plurality of control signals that are the sources of the plurality of control signals STGL, a plurality of control signals that are the sources of the plurality of control signals SFDG, and a plurality of control signals that are the sources of the plurality of control signals SRST. , a plurality of control signals which are the source of the plurality of control signals SFCG, a plurality of control signals which are the source of the plurality of control signals STSG, and a plurality of control signals which are the source of the plurality of control signals SSEL. configured to generate.
  • the signal generation circuit 81 also has a function of generating a control signal that becomes the basis of the control signal SFCVDD.
  • the driver section 82 has a plurality of drivers.
  • the driver unit 82 generates a plurality of control signals STGL, a plurality of control signals SFDG, a plurality of control signals SRST, a plurality of control signals SFCG, and a plurality of control signals STSG based on the plurality of control signals supplied from the signal generation circuit 81. , and a plurality of control signals SSEL.
  • the driver section 82 is supplied with a power supply voltage VDDH and a voltage VRL.
  • the driver section 82 uses the power supply voltage VDDH as a high level voltage and the voltage VRL as a low level voltage to generate control signals STGL, SFDG, SRST, SFCG, STGS, and SSEL.
  • the driver 83 is configured to generate the control signal SFCVDD based on the control signal supplied from the signal generation circuit 81.
  • a voltage VRH is supplied to the driver 83.
  • the driver 83 is configured to output this voltage VRH as a control signal SFCVDD.
  • the noise correction section 75 has a noise correction section 90.
  • the noise correction unit 90 is configured to generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL and a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRH.
  • the noise correction section 90 includes a high pass filter (HPF) 91, an adjustment circuit 92, a current source 93, a high pass filter (HPF) 94, an adjustment circuit 95, and a current source 96.
  • High-pass filter 91 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on voltage VRH to adjustment circuit 92 .
  • the adjustment circuit 92 is configured to adjust the amplitude and phase of the noise signal supplied from the high-pass filter 91 based on instructions from the imaging control section 78.
  • Current source 93 is configured to convert the noise signal adjusted by adjustment circuit 92 into a current signal.
  • High-pass filter 94 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on voltage VRL to adjustment circuit 95 .
  • the adjustment circuit 95 is configured to adjust the amplitude and phase of the noise signal supplied from the high-pass filter 94 based on instructions from the imaging control unit 78.
  • Current source 96 is configured to convert the noise signal adjusted by adjustment circuit 95 into a current signal.
  • Each of the high-pass filters 91 and 94 has the same circuit configuration as the high-pass filter 51 (FIG. 6) according to the first embodiment.
  • Each of the adjustment circuits 92 and 95 has the same circuit configuration as the adjustment circuit 52 (FIG. 6) according to the first embodiment.
  • Each of current sources 93 and 96 has the same circuit configuration as current source 53 (FIG. 6) according to the first embodiment.
  • the signal processing unit 77 (FIG. 13) is configured to generate image data DT by performing predetermined image processing based on the image data DT0 and instructions from the imaging control unit 78.
  • the imaging control section 78 supplies control signals to the driving section 72, the reading section 20, the noise correction section 75, the reference signal generation section 16, and the signal processing section 77, and controls the operation of these circuits to control the imaging apparatus. 2.
  • the terminal TVRH corresponds to a specific example of a "second connection terminal” in an embodiment of the present disclosure.
  • Capacitor Cext2 corresponds to a specific example of a “second external capacitor” in an embodiment of the present disclosure.
  • the bias circuit 74 corresponds to a specific example of a "second voltage generation circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • the imaging control unit 78 corresponds to a specific example of a "control circuit" in an embodiment of the present disclosure.
  • the read drive D2 will be explained in detail. Focusing on a certain light-receiving pixel P, the operations of this light-receiving pixel P and the AD converter ADC connected to the light-receiving pixel P will be described below.
  • 17, 18A, and 18B represent an example of the operation of the imaging device 2.
  • 17, 18A, and 18B (A) shows the waveform of the horizontal synchronization signal XHS, (B) shows the waveform of the control signal SSEL, (C) shows the waveform of the control signal SRST, and (D) shows the waveform of the control signal (E) shows the waveform of the control signal STGL, (F) shows the waveform of the control signal SFCG, (G) shows the waveform of the control signal STGS, (H) shows the waveform of the control signal STGS, and (H) shows the waveform of the control signal STGS. (I) shows the waveform of the pixel signal SIG, and (J) shows the operation of the counter 25.
  • FIG. 17 shows an adjustment parameter related to the voltage VRL in the noise correction section 90
  • (L) shows an adjustment parameter related to the voltage VRH in the noise correction section 90
  • 18A shows the first half of the operations shown in FIG. 17, and
  • FIG. 18B shows the second half of the operations shown in FIG. 17.
  • diagonal lines indicate that the counter 25 is performing a counting operation.
  • FIGS. 19A to 19C represent the states of the light-receiving pixels P.
  • transistors TGL, RST, FDG, TGS, FCG, and SEL are each shown using a switch depending on the operating state of the transistor.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SSEL from a low level to a high level at timing t102 (FIG. 18A(B)).
  • the transistor SEL is turned on, and the light-receiving pixel P is electrically connected to the signal line VSL.
  • the drive unit 72 sets both the control signals SRST and SFDG to high level (FIGS. 18A(C) and (D)).
  • both transistors RST and FDG are turned on, the voltage of the floating diffusion FD is set to the power supply voltage VDDH, and the floating diffusion FD is reset.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFDG from a high level to a low level (FIG. 18A(D)). As a result, in the light receiving pixel P, the transistor FDG is turned off.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SRST from a high level to a low level (FIG. 18A(C)). As a result, in the light receiving pixel P, the transistor RST is turned off.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFDG from a low level to a high level (FIG. 18A(D)). As a result, in the light-receiving pixel P, the transistor FDG is turned on.
  • the comparison circuit 24 sets the operating point based on the control signal AZSW during the period from timing t113 to t114.
  • the comparison circuit 24 finishes setting the operating point. Then, at this timing t114, the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18A(H)).
  • the transistors FDG and SEL are turned on, and all other transistors are turned off. Since transistor FDG is in the on state, floating diffusion FD and transistor FDG constitute a composite capacitance. This composite capacitance functions as a conversion capacitance that converts charge into voltage in the light-receiving pixel P. In the light-receiving pixel P, since the transistor FDG is in the on state, the conversion capacitance in the light-receiving pixel P is large, and the conversion efficiency from charge to voltage is low. This conversion capacitance holds the charge when the floating diffusion FD is reset during the period up to timing t112. The light receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP1) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • a pixel voltage VP pixel voltage VP1
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP1. Specifically, at timing t115, the imaging control unit 78 starts generating the clock signal CLK, and at the same time, the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP from the voltage V1 by a predetermined degree of change. It starts to decrease (FIG. 18A(H)). In response to this, the counter 25 of the AD converter ADC starts counting operation (FIG. 18A(J)). In this example, the counter 25 always counts the pulses of the clock signal CLK by up-counting.
  • the voltage of the reference signal RAMP becomes lower than the voltage of the pixel signal SIG (pixel voltage VP1) (FIGS. 18A (H) and (I)).
  • the comparison circuit 24 of the AD converter ADC changes the voltage of the signal CP, and as a result, the counter 25 stops counting (FIG. 18A(J)).
  • the count value CNT of the counter 25 when the counting operation is stopped corresponds to the pixel voltage VP1.
  • the AD conversion unit ADC thus performs AD conversion based on the pixel voltage VP1, and the latch 26 of the AD conversion unit ADC holds the count value CNT of the counter 25 and converts the held count value CNT into a digital code. Output as CODE1 (FIG. 18A(J)).
  • the imaging control unit 78 stops generating the clock signal CLK with the end of the conversion period T1
  • the reference signal generation unit 16 stops changing the voltage of the reference signal RAMP (FIG. 18A ( H))
  • the counter 25 resets the count value CNT.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFDG from a high level to a low level (FIG. 18A(D)).
  • the transistor FDG is turned off.
  • the comparison circuit 24 sets the operating point based on the control signal AZSW during the period from timing t121 to timing t122.
  • the comparison circuit 24 finishes setting the operating point. Then, at this timing t122, the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18A(H)).
  • the transistor SEL is turned on, and all other transistors are turned off.
  • the conversion capacitance in the light-receiving pixel P is small, so that the conversion efficiency from charge to voltage is high. This conversion capacitance holds the charge when the floating diffusion FD is reset during the period up to timing t112.
  • the light receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP2) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP2. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP2, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE2 ( Figure 18A(J)).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal STGL from a low level to a high level (FIG. 18A(E)).
  • the transistor TGL is turned on, and the charge generated in the photodiode PD1 is transferred to the floating diffusion FD.
  • the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18A(H)).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal STGL from a high level to a low level (FIG. 18A(E)). As a result, in the light-receiving pixel P, the transistor TGL is turned off.
  • the conversion capacitance in the light-receiving pixel P is small, so the conversion efficiency from charge to voltage is high.
  • This conversion capacitance holds the charges transferred from the photodiode PD1 at timings t131 to t132.
  • the light receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP3) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP3. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP3, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE3 ( Figure 18A(J)).
  • This digital code CODE3 corresponds to the digital code CODE2 obtained when the conversion efficiency is also high (conversion period T2).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFDG from a low level to a high level, and changes the voltage of the control signal STGL from a low level to a high level (FIGS. 18A(D), (E) )). As a result, in the light-receiving pixel P, both transistors FDG and TGL are turned on. Further, at this timing t141, the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18A(H)). Next, the drive unit 72 changes the voltage of the control signal STGL from a high level to a low level at timing t142 (FIG. 18A(E)). As a result, in the light-receiving pixel P, the transistor TGL is turned off.
  • the transistor FDG is in the on state, so the floating diffusion FD and the transistor FDG constitute a composite capacitance (conversion capacitance). Therefore, since the conversion capacitance in the light-receiving pixel P is large, the conversion efficiency from charge to voltage is low. This conversion capacitance holds charges transferred from the photodiode PD1 at timings t131 to t132 and t141 to t142.
  • the light-receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP4) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP4. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP4, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE4 ( Figure 18A(J)).
  • This digital code CODE4 corresponds to the digital code CODE1 obtained when the conversion efficiency is also low (conversion period T1).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SRST from a low level to a high level (FIG. 18B(C)).
  • the transistor RST is turned on. Since the transistor FDG is in the on state, the voltage of the floating diffusion FD is thereby set to the power supply voltage VDDH, and the floating diffusion FD is reset.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SRST from a high level to a low level (FIG. 18B(C)). As a result, in the light receiving pixel P, the transistor RST is turned off.
  • the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18B(H)).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFCG from a low level to a high level (FIG. 18B(F)).
  • the transistor FCG is turned on.
  • the comparison circuit 24 sets the operating point based on the control signal AZSW during the period from timing t153 to timing t154.
  • the comparison circuit 24 finishes setting the operating point. Further, at this timing t154, the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18A(H)).
  • the transistors FDG, FCG, and SEL are turned on, and all other transistors are turned off. Since transistors FDG and FCG are both in the on state, floating diffusion FD, transistors FDG and FCG, and capacitor FC constitute a composite capacitance (conversion capacitance). This conversion capacitance holds the charge generated in the photodiode PD2 before timing t153, supplied to the capacitor FC via the transistor TGS, and stored.
  • the light-receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP5) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP5. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP5, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE5 ( Figure 18B(J)).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal STGS from a low level to a high level (FIG. 18B(G)).
  • the transistor TGS is turned on.
  • the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18B(H)).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal STGS from a high level to a low level (FIG. 18B(G)). As a result, in the light-receiving pixel P, the transistor TGS is turned off.
  • the floating diffusion FD, the transistors FDG and FCG, and the capacitor FC constitute a composite capacitance (conversion capacitance).
  • This conversion capacitance holds the charge transferred from the photodiode PD2 between timings t161 and t162 in addition to the charge that was generated in the photodiode PD2 before timing t53, and was supplied to and stored in the capacitor FC via the transistor TGS. are doing.
  • the light receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP6) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP6. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP6, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE6 ( Figure 18B(J)).
  • This digital code CODE6 corresponds to the digital code CODE5 obtained when the floating diffusion FD, transistors FDG, FCG, and capacitor FC constitute a composite capacitance.
  • the comparison circuit 24 sets the operating point based on the control signal AZSW during the period from timing t171 to timing t172.
  • the comparison circuit 24 finishes setting the operating point and electrically disconnects the positive input terminal and the negative input terminal. Further, at this timing t72, the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18B(H)).
  • the floating diffusion FD, the transistors FDG and FCG, and the capacitor FC constitute a composite capacitance (conversion capacitance).
  • This conversion capacitance holds the charge transferred from the photodiode PD2 between timings t161 and t162, in addition to the charge that was generated in the photodiode PD2 before timing t153, and was supplied to and stored in the capacitor FC via the transistor TGS. are doing.
  • the light-receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP7) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP7. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP7, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE7 ( Figure 18B(J)).
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SRST from a low level to a high level (FIG. 18B(C)).
  • the transistor RST is turned on. Since transistors FDG and FCG are in the on state, the voltage of floating diffusion FD and the voltage of capacitor FC are set to power supply voltage VDDH, and floating diffusion FD and capacitor FC are reset.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFCG from a high level to a low level (FIG. 18B(F)). As a result, in the light-receiving pixel P, the transistor FCG is turned off.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SRST from a high level to a low level (FIG. 18B(C)). As a result, in the light receiving pixel P, the transistor RST is turned off.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFCG from a low level to a high level (FIG. 18B(F)).
  • the transistor FCG is turned on.
  • the reference signal generation unit 16 changes the voltage of the reference signal RAMP to the voltage V1 (FIG. 18B(H)).
  • the floating diffusion FD, the transistors FDG and FCG, and the capacitor FC constitute a composite capacitance (conversion capacitance).
  • This conversion capacitance holds the charge when the floating diffusion FD and capacitor FC are reset at timings t181 to t182.
  • the light-receiving pixel P outputs a pixel voltage VP (pixel voltage VP8) according to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on this pixel voltage VP8. This operation is similar to the operation during the conversion period T1.
  • the AD converter ADC performs AD conversion based on the pixel voltage VP8, and the latch 26 of the AD converter ADC holds the count value CNT of the counter 25 and outputs the held count value CNT as a digital code CODE8 ( Figure 18B(J)).
  • This digital code CODE8 corresponds to the digital code CODE7 obtained when the floating diffusion FD, transistors FDG, FCG, and capacitor FC constitute a composite capacitance.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SFDG from a high level to a low level, and also changes the voltage of the control signal SFCG from a high level to a low level (FIG. 18B(D), ( F)).
  • the transistors FDG and FCG are turned off.
  • the drive unit 72 changes the voltage of the control signal SSEL from a high level to a low level (FIG. 18B(B)).
  • the transistor SEL is turned off, and the light-receiving pixel P is electrically disconnected from the signal line VSL.
  • the signal processing section 77 generates four images PIC (images PIC1 to PIC4) based on the digital code CODE supplied from the reading section 20. Then, the signal processing unit 77 generates one captured image PICA by combining these four images PIC.
  • FIG. 20 schematically represents the image synthesis process.
  • the waveforms shown in FIGS. 20(A) to (G) are similar to the waveforms shown in FIGS. 17(A) to (G).
  • the reading unit 20 generates the digital code CODE1 based on the operation during the period from timing t111 to t121, and generates the digital code CODE1 based on the operation during the period from timing t121 to t131.
  • a digital code CODE2 is generated, a digital code CODE3 is generated based on the operation during the period from timing t131 to t141, a digital code CODE4 is generated based on the operation during the period from timing t141 to t151, and a digital code CODE4 is generated based on the operation during the period from timing t151 to t161.
  • a digital code CODE5 is generated based on the operation in the period from timing t161 to t171
  • a digital code CODE7 is generated based on the operation in the period from timing t171 to t181
  • a digital code CODE7 is generated based on the operation in the period from timing t181 to t191.
  • a digital code CODE8 is generated based on the operation during the period.
  • the signal processing unit 77 generates the pixel value VAL1 based on the digital code CODE2 and the digital code CODE3. Specifically, the signal processing unit 77 calculates the pixel value VAL1 by subtracting the digital code CODE2 from the digital code CODE3 (CODE3-CODE2). That is, the imaging device 2 utilizes the principle of correlated double sampling and uses a digital code CODE2 corresponding to P phase (Pre-Charge phase) data and a digital code CODE3 corresponding to D phase (Data phase) data. , calculate the pixel value VAL1.
  • the signal processing unit 77 generates a pixel value VAL2 based on the digital code CODE1 and the digital code CODE4. Specifically, the signal processing unit 77 calculates the pixel value VAL2 by subtracting the digital code CODE1 from the digital code CODE4 (CODE4-CODE1). That is, the imaging device 2 uses the principle of correlated double sampling to calculate the pixel value VAL2 using the digital code CODE1 corresponding to the P-phase data and the digital code CODE4 corresponding to the D-phase data.
  • the signal processing unit 77 generates the pixel value VAL3 based on the digital code CODE5 and the digital code CODE6. Specifically, the signal processing unit 77 calculates the pixel value VAL3 by subtracting the digital code CODE5 from the digital code CODE6 (CODE6-CODE5). That is, the imaging device 2 uses the principle of correlated double sampling to calculate the pixel value VAL3 using the digital code CODE5 corresponding to the P-phase data and the digital code CODE6 corresponding to the D-phase data.
  • the signal processing unit 77 generates the pixel value VAL4 based on the digital code CODE7 and the digital code CODE8. Specifically, the signal processing unit 77 calculates the pixel value VAL4 by subtracting the digital code CODE8 from the digital code CODE7 (CODE7-CODE8). That is, the imaging device 2 uses the principle of so-called double data sampling (DDS) to reset the digital code CODE7 before resetting the floating diffusion FD and capacitor FC, and resetting the floating diffusion FD and capacitor FC. The pixel value VAL4 is calculated using the subsequent digital code CODE8.
  • DDS double data sampling
  • the signal processing unit 77 generates an image PIC1 based on the pixel values VAL1 of all the light-receiving pixels P in the pixel array 71, and generates an image PIC2 based on the pixel values VAL2 of all the light-receiving pixels P in the pixel array 71.
  • An image PIC3 is generated based on the pixel values VAL3 of all the light-receiving pixels P in the pixel array 71
  • an image PIC4 is generated based on the pixel values VAL4 of all the light-receiving pixels P in the pixel array 71.
  • the signal processing unit 77 generates a captured image PICA by combining these images PIC1 to PIC4.
  • the reading section 20 outputs the digital codes CODE2 and CODE3, and the signal processing section 77 subtracts the digital code CODE2 from the digital code CODE3 (CODE3-CODE2).
  • the pixel value VAL1 is calculated, the calculation is not limited to this. Instead, similarly to the case of the imaging device 1 according to the first embodiment (FIG. 9), the reading unit 20 inverts the polarity of the count value after the conversion period T2, thereby generating the digital code CODE2. , CODE3 may be output.
  • CODE5 and CODE6 may be output.
  • the reading unit 20 outputs the digital codes CODE1 and CODE4, and the signal processing unit 77 subtracts the digital code CODE1 from the digital code CODE4 (CODE4-CODE1).
  • the pixel value VAL2 was calculated by doing so, the present invention is not limited to this. Instead, the AD conversion unit ADC of the reading unit 20 temporarily stores the count value at that time after the conversion period T1, and converts the stored count value to the counter 25 before the conversion period T4. , and the polarity of the count value may be reversed. Even in this case, the signal processing unit 77 can obtain the digital code CODE corresponding to the difference between the digital codes CODE1 and CODE4.
  • the driver section 82 of the drive section 72 uses this voltage VRL as a low-level voltage to generate control signals STGL, SFDG, SRST, SFCG, STSG, and SSEL. Therefore, for example, when the control signal STGL is at a low level, noise is superimposed on the control signal STGL.
  • control signals SFDG, SRST, SFCG, STSG, and SSEL are used as a low-level voltage to generate control signals STGL, SFDG, SRST, SFCG, STSG, and SSEL.
  • noise corresponding to the noise of the voltage VRL is superimposed on the pixel signal SIG, as in the case of the first embodiment.
  • the noise of the voltage VRL is transmitted to the gate of the transistor AMP via the transistors TGL and FDG. Therefore, this light-receiving pixel P outputs a pixel signal SIG on which noise is superimposed.
  • the noise of the voltage VRL is transmitted to the source of the transistor SEL via the transistor SEL that is in the off state. Therefore, this light-receiving pixel P superimposes noise on the pixel signal SIG generated by the light-receiving pixel P that is the target of the readout drive D2.
  • the high-pass filter 94, adjustment circuit 95, and current source 96 of the noise correction section 90 generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL, and this noise correction signal is generated by the reference signal generation section 16. It is superimposed on the reference signal RAMP.
  • the amplitude and phase of this noise correction signal are adjusted in advance so that they are approximately the same as the amplitude and phase of the noise related to the voltage VRL superimposed on the pixel signal SIG.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted by the adjustment parameter SA during the period from timing t111 to t121, and adjusted by the adjustment parameter SB during the period from timing t121 to t141.
  • the adjustment parameter SA In the period from timing t141 to t151, it is adjusted by the adjustment parameter SA, in the period from timing t151 to t171, it is adjusted by the adjustment parameter SC, and in the period from timing t171 to t191, it is adjusted by the adjustment parameter SD.
  • the adjustment parameter SA is used during the period from timing t111 to t121 and t141 to t151
  • the adjustment parameter SB is used during the period from timing t121 to t141
  • the adjustment parameter SC is used during the period from timing t151 to t171
  • the adjustment parameter SC is used from timing t171 to t191.
  • the adjustment parameter SD is used in the period.
  • the adjustment parameters SA to SD are supplied from the imaging control section 78.
  • noise corresponding to the noise of the voltage VRH is superimposed on the pixel signal SIG.
  • the noise of the voltage VRH is transmitted to the gate of the transistor AMP via the capacitor FC, the transistor FCG in the on state, and the transistor FDG in the on state. It is transmitted to Therefore, this light-receiving pixel P outputs a pixel signal SIG on which noise is superimposed.
  • the high-pass filter 91, adjustment circuit 92, and current source 93 of the noise correction section 90 generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRH, and this noise correction signal is generated by the reference signal generation section 16. It is superimposed on the reference signal RAMP.
  • the amplitude and phase of this noise correction signal are adjusted in advance to be approximately the same as the amplitude and phase of the noise related to the voltage VRH superimposed on the pixel signal SIG.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted by the adjustment parameter SE during the period from timing t111 to t121, and adjusted by the adjustment parameter SF during the period from timing t121 to t141.
  • the adjustment parameter SE In the period from timing t141 to t151, it is adjusted by the adjustment parameter SE, in the period from timing t151 to t171, it is adjusted by the adjustment parameter SG, and in the period from timing t171 to t191, it is adjusted by the adjustment parameter SH.
  • the adjustment parameter SE is used in the period from timing t111 to t121 and t141 to t151
  • the adjustment parameter SF is used in the period from timing t121 to t141
  • the adjustment parameter SG is used in the period from timing t151 to t171
  • the adjustment parameter SG is used in the period from timing t171 to t191.
  • the adjustment parameter SH is used in the period.
  • the adjustment parameters SE to SH are supplied from the imaging control section 78.
  • the image signal SIG on which noise related to the voltages VRL and VRH is superimposed is supplied to the comparison circuit 24 via the capacitor 22.
  • the reference signal RAMP on which these noise correction signals are superimposed by the noise correction section 90 is supplied to the comparison circuit 24 via the capacitor 23. Since the comparison circuit 24 operates based on the difference between the two supplied signals, the influence of noise on the signal CP generated by the comparison circuit 24 can be suppressed. As a result, in the imaging device 2, the influence of noise of the voltages VRL and VRH on the captured image can be suppressed.
  • the imaging device 2 includes the terminal TVRH connected to the capacitor Cext2 and the bias circuit 74 capable of generating a voltage at the terminal TVRH.
  • the drive unit 72 drives the light receiving pixel P based on the voltage at the terminal TVRL and the voltage at the terminal TVRH.
  • the noise correction unit 90 generates a noise correction signal based on the voltage at the terminal TVRL and the voltage at the terminal TVRH.
  • noise and noise correction signals that are in phase with each other are superimposed on the pixel signal SIG and the reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24, so that the influence of the noise of the voltages VRL and VRH on the captured image is reduced. can be suppressed.
  • the noise correction unit 90 includes two high-pass filters 91 and 94, two adjustment circuits 92 and 95, and two current sources 93 and 96. However, it is not limited to this. Below, some examples will be described in detail.
  • FIG. 21 shows an example of the configuration of an imaging device 2A according to this modification.
  • the imaging device 2A includes a noise correction section 75A.
  • the noise correction section 75A includes a noise correction section 90A.
  • the noise correction section 90A includes high-pass filters 91 and 94, a switch 97, an adjustment circuit 92, and a current source 93.
  • High-pass filter 91 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on voltage VRH to switch 97 .
  • High-pass filter 94 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on voltage VRL to switch 97 .
  • the switch 97 supplies one of the noise signal supplied from the high-pass filter 91 and the noise signal supplied from the high-pass filter 94 to the adjustment circuit 92 based on an instruction from the imaging control unit 78A (described later). It is composed of The adjustment circuit 92 is configured to adjust the amplitude and phase of the noise signal supplied from the switch 97 based on instructions from the imaging control section 78A.
  • Current source 93 is configured to convert the noise signal adjusted by adjustment circuit 92 into a current signal.
  • FIG. 22 shows an example of the configuration of the noise correction section 90A.
  • FIG. 22 also depicts the reference signal generation section 16, the reading section 20, and the imaging control section 78A.
  • the noise correction section 90A includes capacitors C4 and C5, a switch SW2, capacitors C6 and C7, and a switch SW3.
  • Capacitor C4 corresponds to high pass filter 91 shown in FIG.
  • Capacitor C5 corresponds to high pass filter 94 shown in FIG.
  • Switch SW2 corresponds to switch 97.
  • Resistance element R1, transistor MN1, current source CS1, switch SW1, resistance element R2, transistor MN2, current source CS2, capacitor C2, transistor MP1, capacitors C6, C7, and switch SW3 are connected to the adjustment circuit 92 shown in FIG. handle.
  • Transistor MP2 corresponds to current source 93 shown in FIG. 21.
  • the voltage VRH is supplied to one end of the capacitor C4, and the other end is connected to the switch SW2.
  • a voltage VRL is supplied to one end of the capacitor C5, and the other end is connected to the switch SW2.
  • the switch SW2 is configured to connect one of the other end of the capacitor C4 and the other end of the capacitor C5 to the gate of the transistor MN2 and the switch SW1 based on an instruction from the imaging control unit 78A.
  • the voltage VRH is supplied to one end of the capacitor C6, and the other end is connected to the switch SW3.
  • a voltage VRL is supplied to one end of the capacitor C7, and the other end is connected to the switch SW3.
  • the capacitance values of the capacitors C6 and C7 can be changed based on instructions from the imaging control section 78A.
  • the switch SW3 is configured to connect one of the other end of the capacitor C6 and the other end of the capacitor C7 to the drain of the transistor MP2 based on an instruction from the imaging control unit 78A.
  • the high-pass filter 94 corresponds to a specific example of a "first high-pass filter” in an embodiment of the present disclosure.
  • the high-pass filter 91 corresponds to a specific example of a "second high-pass filter” in an embodiment of the present disclosure.
  • the switch 97 corresponds to a specific example of a "switch” in an embodiment of the present disclosure.
  • Adjustment circuit 92, current source 93, and resistance element 63 correspond to a specific example of a "generation circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 23 shows an example of the operation of the imaging device 2A, in which (A) shows the waveform of the horizontal synchronization signal XHS, (B) shows the waveform of the control signal SSEL, and (C) shows the waveform of the control signal SRST. (D) shows the waveform of the control signal SFDG, (E) shows the waveform of the control signal STGL, (F) shows the waveform of the control signal SFCG, and (G) shows the waveform of the control signal STGS. , (H) shows the waveform of the reference signal RAMP, (I) shows the waveform of the pixel signal SIG, (J) shows the operation of the counter 25, and (K) shows the adjustment parameters in the noise correction section 90A. , (L) indicate voltages to be corrected in the noise corrector 90A. 23(A) to 23(J) are the same as in the case of the above embodiment (FIGS. 17, 18A, and 18B).
  • noise corresponding to the noise of voltage VRL is superimposed on pixel signal SIG, as in the first embodiment.
  • the noise of the voltage VRL is transmitted to the gate of the transistor AMP via the transistors TGL and FDG. Therefore, this light-receiving pixel P outputs a pixel signal SIG on which noise is superimposed.
  • the noise of the voltage VRL is transmitted to the source of the transistor SEL via the transistor SEL that is in the off state. Therefore, this light-receiving pixel P superimposes noise on the pixel signal SIG generated by the light-receiving pixel P that is the target of the readout drive D2.
  • the noise correction unit 90A sets the voltage VRL as the voltage to be corrected. Specifically, during this period, switch SW2 connects the other end of capacitor C5 to the gate of transistor MN2 and switch SW1, and switch SW3 connects the other end of capacitor C7 to the drain of transistor MP2. During this period, the noise correction section 90A generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL, and superimposes this noise correction signal on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16. During this period, the noise correction section 90A does not generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRH.
  • the amplitude and phase of this noise correction signal are adjusted in advance so that they are approximately the same as the amplitude and phase of the noise related to the voltage VRL superimposed on the pixel signal SIG.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted by the adjustment parameter SI during the period from timing t111 to t121, and adjusted by the adjustment parameter SJ during the period from timing t121 to t141. and is adjusted by the adjustment parameter SI during the period from timing t141 to t151.
  • the adjustment parameter is SI is used, and the adjustment parameter SJ is used in the period from timing t121 to t141.
  • the adjustment parameters SI and SJ are supplied from the imaging control section 78A.
  • noise and noise correction signals that are in phase with each other are superimposed on the pixel signal SIG and reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24 during the period from timing t111 to t151. Since the comparison circuit 24 operates based on the difference between the two supplied signals, the influence of noise on the signal CP generated by the comparison circuit 24 can be suppressed. As a result, in the imaging device 2A, it is possible to suppress the influence of noise of the voltage VRL on the captured image.
  • noise corresponding to the noise of voltage VRH is superimposed on pixel signal SIG.
  • the noise of the voltage VRH is transmitted to the gate of the transistor AMP via the capacitor FC, the transistor FCG in the on state, and the transistor FDG in the on state. It is transmitted to Therefore, this light-receiving pixel P outputs a pixel signal SIG on which noise is superimposed.
  • the noise correction unit 90A sets the voltage VRH as the voltage to be corrected. Specifically, during this period, switch SW2 connects the other end of capacitor C4 to the gate of transistor MN2 and switch SW1, and switch SW3 connects the other end of capacitor C6 to the drain of transistor MP2. During this period, the noise correction section 90A generates a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRH, and superimposes this noise correction signal on the reference signal RAMP generated by the reference signal generation section 16. During this period, the noise correction section 90A does not generate a noise correction signal according to the noise superimposed on the voltage VRL.
  • the amplitude and phase of this noise correction signal are adjusted in advance so that they are approximately the same as the amplitude and phase of the noise related to the voltage VRH superimposed on the pixel signal SIG.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted by the adjustment parameter SK during the period from timing t151 to t171, and adjusted by the adjustment parameter SL during the period from timing t171 to t191. be done.
  • the adjustment parameter SK is used during the period from timing t151 to t171 and the period from timing t171 to t191
  • the adjustment parameter SL is used in the period.
  • the adjustment parameters SK and SL are supplied from the imaging control section 78A.
  • noise and noise correction signals that are in phase with each other are superimposed on the pixel signal SIG and the reference signal RAMP supplied to the comparison circuit 24 during the period from timing t151 to t191. Since the comparison circuit 24 operates based on the difference between the two supplied signals, the influence of noise on the signal CP generated by the comparison circuit 24 can be suppressed. As a result, in the imaging device 2A, it is possible to suppress the influence of noise of the voltage VRH on the captured image.
  • FIG. 24 shows a configuration example of another imaging device 2B according to this modification.
  • the imaging device 2B has a noise correction section 75B.
  • the noise correction section 75B includes a noise correction section 90B.
  • the noise correction section 90B includes a switch 98, a high-pass filter 91, an adjustment circuit 92, and a current source 93.
  • Switch 98 is configured to supply one of voltage VRH and voltage VRL to high-pass filter 91 based on an instruction from imaging control section 78B.
  • High-pass filter 91 is configured to supply a noise signal, which is an alternating current component, superimposed on one of voltages VRH and VRL supplied from switch 98 to adjustment circuit 92 .
  • the adjustment circuit 92 is configured to adjust the amplitude and phase of the noise signal supplied from the switch 97 based on instructions from the imaging control section 78B.
  • Current source 93 is configured to convert the noise signal adjusted by adjustment circuit 92 into a current signal.
  • FIG. 25 shows an example of the configuration of the noise correction section 90B.
  • FIG. 25 also depicts the reference signal generation section 16, the reading section 20, and the imaging control section 78B.
  • the noise correction section 90B includes a switch SW4.
  • Switch SW4 corresponds to switch 98 shown in FIG. 24.
  • Switch SW4 is configured to supply one of voltage VRH and voltage VRL to capacitors C1 and C3 based on an instruction from imaging control section 78B.
  • the switch 98 corresponds to a specific example of a "switch" in an embodiment of the present disclosure.
  • the high-pass filter 91 corresponds to a specific example of a "high-pass filter” in an embodiment of the present disclosure.
  • Adjustment circuit 92, current source 93, and resistance element 63 correspond to a specific example of a "generation circuit” in an embodiment of the present disclosure.
  • this imaging device 2B is similar to that of the imaging device 2A (FIG. 23).
  • the noise correction unit 90B sets the voltage VRL as the voltage to be corrected. Specifically, during this period, switch SW4 supplies voltage VRL to capacitors C1 and C3.
  • the amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted by the adjustment parameter SI during the period from timing t111 to t121, adjusted by the adjustment parameter SJ during the period from timing t121 to t141, and adjusted by the adjustment parameter SJ during the period from timing t141 to timing t141. In the period from t151 to t151, the adjustment is made using the adjustment parameter SI.
  • the noise correction unit 90B sets the voltage VRH as the voltage to be corrected. Specifically, during this period, switch SW4 supplies voltage VRH to capacitors C1 and C3. The amplitude and phase of the noise correction signal are adjusted by the adjustment parameter SK during the period from timing t151 to t171, and adjusted by the adjustment parameter SL during the period from timing t171 to t191.
  • the technology according to the present disclosure (this technology) can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure may be realized as a device mounted on any type of moving body such as a car, electric vehicle, hybrid electric vehicle, motorcycle, bicycle, personal mobility, airplane, drone, ship, robot, etc. You can.
  • FIG. 26 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile body control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via a communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside vehicle information detection unit 12030, an inside vehicle information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio/image output section 12052, and an in-vehicle network I/F (interface) 12053 are illustrated.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of devices related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the drive system control unit 12010 includes a drive force generation device such as an internal combustion engine or a drive motor that generates drive force for the vehicle, a drive force transmission mechanism that transmits the drive force to wheels, and a drive force transmission mechanism that controls the steering angle of the vehicle. It functions as a control device for a steering mechanism to adjust and a braking device to generate braking force for the vehicle.
  • the body system control unit 12020 controls the operations of various devices installed in the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as a headlamp, a back lamp, a brake lamp, a turn signal, or a fog lamp.
  • radio waves transmitted from a portable device that replaces a key or signals from various switches may be input to the body control unit 12020.
  • the body system control unit 12020 receives input of these radio waves or signals, and controls the door lock device, power window device, lamp, etc. of the vehicle.
  • the external information detection unit 12030 detects information external to the vehicle in which the vehicle control system 12000 is mounted.
  • an imaging section 12031 is connected to the outside-vehicle information detection unit 12030.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 causes the imaging unit 12031 to capture an image of the exterior of the vehicle, and receives the captured image.
  • the external information detection unit 12030 may perform object detection processing such as a person, car, obstacle, sign, or text on the road surface or distance detection processing based on the received image.
  • the imaging unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electrical signal according to the amount of received light.
  • the imaging unit 12031 can output the electrical signal as an image or as distance measurement information.
  • the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or non-visible light such as infrared rays.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects in-vehicle information.
  • a driver condition detection section 12041 that detects the condition of the driver is connected to the in-vehicle information detection unit 12040.
  • the driver condition detection unit 12041 includes, for example, a camera that images the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 detects the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver condition detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether the driver is falling asleep.
  • the microcomputer 12051 calculates control target values for the driving force generation device, steering mechanism, or braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, Control commands can be output to 12010.
  • the microcomputer 12051 realizes ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions, including vehicle collision avoidance or impact mitigation, following distance based on vehicle distance, vehicle speed maintenance, vehicle collision warning, vehicle lane departure warning, etc. It is possible to perform cooperative control for the purpose of ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions, including vehicle collision avoidance or impact mitigation, following distance based on vehicle distance, vehicle speed maintenance, vehicle collision warning, vehicle lane departure warning, etc. It is possible to perform cooperative control for the purpose of
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generating device, steering mechanism, braking device, etc. based on information about the surroundings of the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040. It is possible to perform cooperative control for the purpose of autonomous driving, etc., which does not rely on operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12020 based on the information outside the vehicle acquired by the outside information detection unit 12030.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or oncoming vehicle detected by the vehicle exterior information detection unit 12030, and performs cooperative control for the purpose of preventing glare, such as switching from high beam to low beam. It can be carried out.
  • the audio and image output unit 12052 transmits an output signal of at least one of audio and images to an output device that can visually or audibly notify information to the occupants of the vehicle or to the outside of the vehicle.
  • an audio speaker 12061, a display section 12062, and an instrument panel 12063 are illustrated as output devices.
  • the display unit 12062 may include, for example, at least one of an on-board display and a head-up display.
  • FIG. 27 is a diagram showing an example of the installation position of the imaging section 12031.
  • the vehicle 12100 has imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105 as the imaging unit 12031.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105 are provided, for example, at positions such as the front nose, side mirrors, rear bumper, back door, and the top of the windshield inside the vehicle 12100.
  • An imaging unit 12101 provided in the front nose and an imaging unit 12105 provided above the windshield inside the vehicle mainly acquire images in front of the vehicle 12100.
  • Imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors mainly capture images of the sides of the vehicle 12100.
  • An imaging unit 12104 provided in the rear bumper or back door mainly captures images of the rear of the vehicle 12100.
  • the images of the front acquired by the imaging units 12101 and 12105 are mainly used for detecting preceding vehicles, pedestrians, obstacles, traffic lights, traffic signs, lanes, and the like.
  • FIG. 27 shows an example of the imaging range of the imaging units 12101 to 12104.
  • An imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
  • imaging ranges 12112 and 12113 indicate imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
  • an imaging range 12114 shows the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose.
  • the imaging range of the imaging unit 12104 provided in the rear bumper or back door is shown. For example, by overlapping the image data captured by the imaging units 12101 to 12104, an overhead image of the vehicle 12100 viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the imaging units 12101 to 12104 may be a stereo camera including a plurality of image sensors, or may be an image sensor having pixels for phase difference detection.
  • the microcomputer 12051 determines the distance to each three-dimensional object within the imaging ranges 12111 to 12114 and the temporal change in this distance (relative speed with respect to the vehicle 12100) based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. In particular, by determining the three-dimensional object that is closest to the vehicle 12100 on its path and that is traveling at a predetermined speed (for example, 0 km/h or more) in approximately the same direction as the vehicle 12100, it is possible to extract the three-dimensional object as the preceding vehicle. can.
  • a predetermined speed for example, 0 km/h or more
  • the microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured in advance in front of the preceding vehicle, and perform automatic brake control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform cooperative control for the purpose of autonomous driving, etc., in which the vehicle travels autonomously without depending on the driver's operation.
  • the microcomputer 12051 transfers three-dimensional object data to other three-dimensional objects such as two-wheeled vehicles, regular vehicles, large vehicles, pedestrians, and utility poles based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic obstacle avoidance. For example, the microcomputer 12051 identifies obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that are visible to the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines a collision risk indicating the degree of risk of collision with each obstacle, and when the collision risk exceeds a set value and there is a possibility of a collision, the microcomputer 12051 transmits information via the audio speaker 12061 and the display unit 12062. By outputting a warning to the driver via the vehicle control unit 12010 and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be provided.
  • the microcomputer 12051 determines a collision risk indicating the degree of risk of collision with each obstacle, and when the collision risk exceed
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether the pedestrian is present in the images captured by the imaging units 12101 to 12104.
  • pedestrian recognition involves, for example, a procedure for extracting feature points in images captured by the imaging units 12101 to 12104 as infrared cameras, and a pattern matching process is performed on a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether it is a pedestrian or not.
  • the audio image output unit 12052 creates a rectangular outline for emphasis on the recognized pedestrian.
  • the display unit 12062 is controlled to display the .
  • the audio image output unit 12052 may control the display unit 12062 to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 among the configurations described above.
  • the influence of noise can be suppressed, so the quality of captured images can be improved.
  • the vehicle control system 12000 realizes a vehicle collision avoidance or collision mitigation function, a follow-up function based on the following distance, a vehicle speed maintenance function, a vehicle collision warning function, a vehicle lane departure warning function, etc. with high accuracy. can.
  • FIG. 28 shows an example of the configuration of a distance measuring device 3 to which the present technology is applied.
  • the distance measuring device 3 is an indirect type ToF (Time-of-Flight) sensor, and is configured to measure the distance to the measurement object OBJ.
  • the distance measuring device 3 includes a light emitting section 101, an optical system 102, a light detecting section 103, and a control section 104.
  • the light emitting unit 101 is configured to emit a light pulse L0 toward the measurement object OBJ based on instructions from the control unit 104.
  • the light emitting unit 101 emits the light pulse L0 by performing a light emitting operation in which light emission and non-light emission are alternately repeated based on instructions from the control unit 104.
  • the light emitting unit 101 has a light source that emits, for example, infrared light. This light source is configured using, for example, a laser light source or an LED (Light Emitting Diode).
  • the optical system 102 includes a lens that forms an image on the light receiving surface S of the photodetector 103.
  • a light pulse (reflected light pulse L1) emitted from the light emitting unit 101 and reflected by the measurement object OBJ is incident on this optical system 102.
  • the light detection unit 103 is configured to generate a distance image by detecting light based on instructions from the control unit 104. Each of the plurality of pixel values included in the distance image indicates a value regarding the distance to the measurement target object OBJ.
  • the photodetector 103 is configured to output the generated distance image as image data DT2.
  • the control unit 104 is configured to control the operation of the distance measuring device 3 by supplying control signals to the light emitting unit 101 and the light detection unit 103 and controlling these operations.
  • the present technology can also be applied to such a distance measuring device 3.
  • the distance measuring device 3 can improve the distance measuring accuracy.
  • the present technology can have the following configuration. According to the present technology having the following configuration, the influence of noise can be suppressed.
  • a light-receiving pixel capable of generating a pixel signal including a pixel voltage according to the amount of light received; a first connection terminal connected to a first external capacitor; a first voltage generation circuit capable of generating a voltage at the first connection terminal; a drive circuit capable of driving the light-receiving pixel based on the voltage at the first connection terminal; a reference signal generation circuit capable of generating a reference signal having a ramp waveform; a noise correction circuit capable of generating a noise correction signal according to the voltage at the first connection terminal and superimposing the noise correction signal on the reference signal; a comparison circuit capable of comparing the pixel signal and the reference signal on which the noise correction signal is superimposed; and a processing circuit capable of calculating a pixel value based on a comparison result of the comparison circuit.
  • the light receiving pixel is capable of outputting the pixel signal during a predetermined period
  • the noise correction circuit includes: In a first period within the predetermined period, the noise correction signal can be generated according to the voltage at the first connection terminal, The imaging device according to (3), wherein the noise correction signal can be generated in accordance with the voltage at the second connection terminal during a second period within the predetermined period.
  • the control circuit includes: In the first period, the adjustment parameter can be set to a first adjustment parameter, The imaging device according to (6), wherein the adjustment parameter can be set to a second adjustment parameter in the second period.
  • the first period includes a first sub-period and a second sub-period
  • the first adjustment parameter includes a first parameter and a second parameter
  • the control circuit includes: In the first sub-period, the adjustment parameter can be set to the first parameter, The imaging device according to (7), wherein the adjustment parameter can be set to the second parameter in the second sub-period.
  • the noise correction circuit includes: a first high-pass filter that extracts a first noise signal superimposed on the voltage at the first connection terminal; a second high-pass filter that extracts a second noise signal superimposed on the voltage at the second connection terminal; a switch that selects one of the first noise signal and the second noise signal;
  • the imaging device according to (3) further comprising: a generation circuit that generates the noise correction signal based on the noise signal selected by the switch.
  • the noise correction circuit includes: a switch that selects one of the voltage at the first connection terminal and the voltage at the second connection terminal; a high-pass filter that extracts a noise signal superimposed on the voltage selected by the switch;
  • the imaging device according to (3) further comprising: a generation circuit that generates the noise correction signal based on the noise signal.
  • the first voltage generation circuit includes a charge pump capable of generating a voltage outside a voltage range between a power supply voltage and a ground voltage.
  • the first voltage generation circuit includes a bias circuit capable of generating a voltage within a voltage range between a power supply voltage and a ground voltage.
  • a light receiving circuit capable of generating a detection signal including a voltage according to the amount of received light; a first connection terminal connected to a first external capacitor; a first voltage generation circuit capable of generating a voltage at the first connection terminal; a drive circuit capable of driving the light receiving circuit based on the voltage at the first connection terminal; a reference signal generation circuit capable of generating a reference signal having a ramp waveform; a noise correction circuit capable of generating a noise correction signal according to the voltage at the first connection terminal and superimposing the noise correction signal on the reference signal; a comparison circuit capable of comparing the detection signal and the reference signal on which the noise correction signal is superimposed; A processing circuit capable of calculating a detection value based on a comparison result of the comparison circuit.

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Abstract

本開示の一実施の形態に係る撮像装置は、受光量に応じた画素電圧を含む画素信号を生成可能な受光画素と、第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子と、第1の接続端子における電圧を生成可能な第1の電圧生成回路と、第1の接続端子における電圧に基づいて受光画素を駆動可能な駆動回路と、ランプ波形を有する参照信号を生成可能な参照信号生成回路と、第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、ノイズ補正信号を参照信号に重畳可能なノイズ補正回路と、画素信号と、ノイズ補正信号が重畳された参照信号とを比較可能な比較回路と、比較回路の比較結果に基づいて画素値を算出可能な処理回路とを備える。

Description

撮像装置および光検出装置
 本開示は、被写体を撮像する撮像装置、および光を検出する光検出装置に関する。
 例えば撮像装置では、様々なノイズにより撮像画像の画質が低下し得る。特許文献1は、ノイズ補正回路を設け、電源ノイズに起因する画質の低下を抑える技術が開示されている。
国際公開第2017/159394号
 ところで、撮像装置や光検出装置では、様々な電圧が生成される。これらの電圧は、しばしば外部キャパシタにより安定化される。これらの電圧にもノイズが重畳され得るので、そのノイズの、撮像結果や検出結果への影響を抑えることが望まれている。
 ノイズの影響を抑えることができる撮像装置および光検出装置を提供することが望ましい。
 本開示の一実施の形態における撮像装置は、受光画素と、第1の接続端子と、第1の電圧生成回路と、駆動回路と、参照信号生成回路と、ノイズ補正回路と、比較回路と、処理回路とを備えている。受光画素は、受光量に応じた画素電圧を含む画素信号を生成可能なものである。第1の接続端子は、第1の外部キャパシタに接続されるものである。第1の電圧生成回路は、第1の接続端子における電圧を生成可能なものである。駆動回路は、第1の接続端子における電圧に基づいて受光画素を駆動可能なものである。参照信号生成回路は、ランプ波形を有する参照信号を生成可能なものである。ノイズ補正回路は、第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、ノイズ補正信号を参照信号に重畳可能なものである。比較回路は、画素信号と、ノイズ補正信号が重畳された参照信号とを比較可能なものである。処理回路は、比較回路の比較結果に基づいて画素値を算出可能なものである。
 本開示の一実施の形態における光検出装置は、受光回路と、第1の接続端子と、第1の電圧生成回路と、駆動回路と、参照信号生成回路と、ノイズ補正回路と、比較回路と、処理回路とを備えている。受光回路は、受光量に応じた電圧を含む検出信号を生成可能なものである。第1の接続端子は、第1の外部キャパシタに接続されるものである。第1の電圧生成回路は、第1の接続端子における電圧を生成可能なものである。駆動回路は、第1の接続端子における電圧に基づいて受光回路を駆動可能なものである。参照信号生成回路は、ランプ波形を有する参照信号を生成可能なものである。ノイズ補正回路は、第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、ノイズ補正信号を参照信号に重畳可能なものである。比較回路は、検出信号と、ノイズ補正信号が重畳された参照信号とを比較可能なものである。処理回路は、比較回路の比較結果に基づいて検出値を算出可能なものである。
 本開示の一実施の形態における撮像装置では、受光画素により、受光量に応じた画素電圧を含む画素信号が生成される。第1の電圧生成回路により、第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子における電圧が生成される。駆動回路により、受光画素が、この第1の接続端子における電圧に基づいて駆動される。参照信号生成回路により、ランプ波形を有する参照信号が生成される。ノイズ補正回路により、第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号が生成され、このノイズ補正信号が参照信号に重畳される。比較回路により、画素信号と、ノイズ補正信号が重畳された参照信号とが比較される。そして、この比較回路の比較結果に基づいて、処理回路により画素値が算出される。
 本開示の一実施の形態における光検出装置では、受光回路により、受光量に応じた電圧を含む検出信号が生成される。第1の電圧生成回路により、第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子における電圧が生成される。駆動回路により、受光回路が、この第1の接続端子における電圧に基づいて駆動される。参照信号生成回路により、ランプ波形を有する参照信号が生成される。ノイズ補正回路により、第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号が生成され、このノイズ補正信号が参照信号に重畳される。比較回路により、検出信号と、ノイズ補正信号が重畳された参照信号とが比較される。そして、この比較回路の比較結果に基づいて、処理回路により検出値が算出される。
図1は、本開示の第1の実施の形態に係る撮像装置の一構成例を表すブロック図である。 図2は、図1に示した受光画素の一構成例を表す回路図である。 図3は、図1に示した画素アレイにおける受光画素の配列例を表す説明図である。 図4は、図1に示した読出部の一構成例を表すブロック図である。 図5は、図1に示したノイズ補正部の一具体例を表すブロック図である。 図6は、図5に示したノイズ補正部の一具体例を表す回路図である。 図7Aは、図6に示したノイズ補正部の一動作例を表す説明図である。 図7Bは、図6に示したノイズ補正部の他の一動作例を表す説明図である。 図7Cは、図6に示したノイズ補正部の他の一動作例を表す説明図である。 図8は、図1に示した撮像装置の一動作例を表すタイミング図である。 図9は、図1に示した撮像装置の一動作例を表すタイミング波形図である。 図10Aは、第1の実施の形態に係るノイズ補正の一例を表す説明図である。 図10Bは、第1の実施の形態に係るノイズ補正の一例を表す他の説明図である。 図11は、図1に示した撮像装置におけるノイズ除去比の一特性例を表す特性図である。 図12は、第1の実施の形態に係るノイズ補正の一例を表す他の説明図である。 図13は、第2の実施の形態に係る撮像装置の一構成例を表すブロック図である。 図14は、図13に示した受光画素の一構成例を表す回路図である。 図15は、図13に示した画素アレイにおける受光画素の配列例を表す説明図である。 図16は、図13に示したノイズ補正部の一具体例を表すブロック図である。 図17は、図13に示した撮像装置の一動作例を表すタイミング波形図である。 図18Aは、図13に示した撮像装置の一動作例を表す他のタイミング波形図である。 図18Bは、図13に示した撮像装置の一動作例を表す他のタイミング波形図である。 図19Aは、図14に示した受光画素の動作状態の一例を表す説明図である。 図19Bは、図14に示した受光画素の動作状態の他の一例を表す説明図である。 図19Cは、図14に示した受光画素の動作状態の他の一例を表す説明図である。 図20は、図13に示した信号処理部の一動作例を表す説明図である。 図21は、第2の実施の形態の変形例に係るノイズ補正部の一具体例を表すブロック図である。 図22は、図21に示したノイズ補正部の一具体例を表す回路図である。 図23は、第2の実施の形態の変形例に係る撮像装置の一動作例を表すタイミング波形図である。 図24は、第2の実施の形態の他の変形例に係るノイズ補正部の一具体例を表すブロック図である。 図25は、図24に示したノイズ補正部の一具体例を表す回路図である。 図26は、車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 図27は、車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。 図28は、本技術が適用された測距装置の一構成例を表すブロック図である。
 以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.第1の実施の形態
2.第2の実施の形態
3.移動体への応用例
<1.第1の実施の形態>
[構成例]
 図1は、第1の実施の形態に係る撮像装置(撮像装置1)の一構成例を表すものである。撮像装置1は、画素アレイ11と、駆動部12と、読出部20と、チャージポンプ14と、ノイズ補正部15と、参照信号生成部16と、信号処理部17と、撮像制御部18とを備えている。
 画素アレイ11は、マトリックス状に配置された複数の受光画素Pを有している。受光画素Pは、受光量に応じた画素電圧Vpixを含む画素信号SIGを生成するように構成される。
 図2は、受光画素Pの一構成例を表すものである。画素アレイ11は、複数の制御線TRGLと、複数の制御線RSTLと、複数の制御線SELLと、複数の信号線VSLとを有している。制御線TRGLは、水平方向(図2における横方向)に延伸し、一端が駆動部12に接続される。この制御線TRGLには、駆動部12により制御信号STRGが供給される。制御線RSTLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部12に接続される。この制御線RSTLには、駆動部12により制御信号SRSTが供給される。制御線SELLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部12に接続される。この制御線SELLには、駆動部12により制御信号SSELが供給される。信号線VSLは、垂直方向(図2における縦方向)に延伸し、一端が読出部20に接続される。この信号線VSLは、受光画素Pが生成した画素信号SIGを読出部20に伝える。水平方向(図1,2において横方向)に並設された1行分の複数の受光画素Pは、画素ラインLを構成する。
 受光画素Pは、フォトダイオードPDと、トランジスタTRGと、フローティングディフュージョンFDと、トランジスタRST,AMP,SELとを有している。トランジスタTRG,RST,AMP,SELは、この例ではN型のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタである。
 フォトダイオードPDは、受光量に応じた量の電荷を生成し、生成した電荷を内部に蓄積する光電変換素子である。フォトダイオードPDのアノードは接地され、カソードはトランジスタTRGのソースに接続される。
 トランジスタTRGのゲートは制御線TRGLに接続され、ソースはフォトダイオードPDのカソードに接続され、ドレインはフローティングディフュージョンFDに接続される。
 フローティングディフュージョンFDは、フォトダイオードPDからトランジスタTRGを介して転送された電荷を蓄積するように構成される。フローティングディフュージョンFDは、例えば、半導体基板の表面に形成された拡散層を用いて構成される。図2では、フローティングディフュージョンFDを、キャパシタのシンボルを用いて示している。
 トランジスタRSTのゲートは制御線RSTLに接続され、ドレインは電源電圧VDDHの電源ノードに接続され、ソースはフローティングディフュージョンFDに接続される。
 トランジスタAMPのゲートはフローティングディフュージョンFDに接続され、ドレインは電源電圧VDDHの電源ノードに接続され、ソースはトランジスタSELのドレインに接続される。
 トランジスタSELのゲートは制御線SELLに接続され、ドレインはトランジスタAMPのソースに接続され、ソースは信号線VSLに接続される。
 この構成により、受光画素Pでは、例えば制御信号STRG,SRSTに基づいてトランジスタTRG,RSTがオン状態になることにより、フォトダイオードPDに蓄積された電荷が、電源電圧VDDHの電源ノードに排出される。そして、これらのトランジスタTRG,RSTがオフ状態になることにより、露光期間Tが開始され、フォトダイオードPDに、受光量に応じた量の電荷が蓄積される。そして、露光期間Tが終了した後に、受光画素Pは、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを含む画素信号SIGを、信号線VSLに出力する。具体的には、まず、制御信号SSELに基づいてトランジスタSELがオン状態になることにより、受光画素Pが信号線VSLと電気的に接続される。これにより、トランジスタAMPは、読出部20の定電流源21(後述)に接続され、いわゆるソースフォロワとして動作する。そして、受光画素Pは、後述するように、トランジスタRSTがオン状態になることによりフローティングディフュージョンFDの電圧がリセットされた後のP相(Pre-charge相)期間TPにおいて、その時のフローティングディフュージョンFDの電圧に応じた電圧をリセット電圧Vresetとして出力する。また、受光画素Pは、トランジスタTRGがオン状態になることによりフォトダイオードPDからフローティングディフュージョンFDへ電荷が転送された後のD相(Data相)期間TDにおいて、その時のフローティングディフュージョンFDの電圧に応じた電圧を画素電圧Vpixとして出力する。画素電圧Vpixとリセット電圧Vresetとの差電圧は、露光期間Tにおける受光画素Pの受光量に対応する。このようにして、受光画素Pは、これらのリセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを含む画素信号SIGを、信号線VSLに出力するようになっている。
 図3は、画素アレイ11の一構成例を表すものである。画素アレイ11では、4つの受光画素P(受光画素PR,PGr,PGb,PB)を含む単位画素PPが並設される。受光画素PRは、赤色(R)のカラーフィルタを有し、赤色の光を受光するように構成される。受光画素PGr,PGbは、緑色(G)のカラーフィルタを有し、緑色の光を受光するように構成される。受光画素PBは、青色(B)のカラーフィルタを有し、青色の光を受光するように構成される。単位画素PPにおいて、受光画素PRは左上に配置され、受光画素PGrは右上に配置され、受光画素PGbは左下に配置され、受光画素PBは右下に配置される。このように、4つの受光画素PR,PGr,PGb,PBは、いわゆるベイヤー配列により配置される。
 駆動部12(図1)は、撮像制御部18からの指示に基づいて、画素ラインL単位で、画素アレイ11における複数の受光画素Pを順次駆動するように構成される。具体的には、駆動部12は、画素アレイ11における複数の制御線TRGLに複数の制御信号STRGをそれぞれ供給し、複数の制御線RSTLに複数の制御信号SRSTをそれぞれ供給し、複数の制御線SELLに複数の制御信号SSELをそれぞれ供給することにより、画素ラインL単位で画素アレイ11における複数の受光画素Pを駆動する。駆動部12には、チャージポンプ14により生成された電圧VRLが供給される。駆動部12は、この電圧VRLを、制御信号STRG,SRST,SSELの低レベル電圧として用いて、複数の受光画素Pを駆動するようになっている。
 読出部20は、撮像制御部18からの指示に基づいて、画素アレイ11から信号線VSLを介して供給された画素信号SIGに基づいてAD変換を行うことにより、画像データDT0を生成するように構成される。
 図4は、読出部20の一構成例を表すものである。なお、図4には、読出部20に加え、ノイズ補正部15、参照信号生成部16、信号処理部17、および撮像制御部18をも描いている。読出部20は、複数の定電流源21と、複数のAD(Analog to Digital)変換部ADCと、転送制御部27とを有している。複数の定電流源21および複数のAD変換部ADCは、複数の信号線VSLに対応してそれぞれ設けられる。以下に、ある1つの信号線VSLに対応する定電流源21およびAD変換部ADCについて説明する。
 定電流源21は、対応する信号線VSLに所定の電流を流すように構成される。定電流源21の一端は、対応する信号線VSLに接続され、他端は接地ノードに接続される。
 AD変換部ADCは、対応する信号線VSLにおける画素信号SIGに基づいてAD変換を行うように構成される。AD変換部ADCは、キャパシタ22,23と、比較回路24と、カウンタ25と、ラッチ26とを有している。
 キャパシタ22の一端は信号線VSLに接続されるとともに画素信号SIGが供給され、他端は比較回路24に接続される。キャパシタ23の一端には参照信号生成部16から供給された参照信号RAMPが供給され、他端は比較回路24に接続される。参照信号RAMPは、時間の経過に応じて電圧レベルが徐々に変化する、いわゆるランプ波形を有する信号である。
 比較回路24は、受光画素Pから信号線VSLおよびキャパシタ22を介して供給された画素信号SIG、および参照信号生成部16からキャパシタ23を介して供給された参照信号RAMPに基づいて、比較動作を行うことにより信号CPを生成するように構成される。比較回路24は、撮像制御部18から供給された制御信号AZSWに基づいて、キャパシタ22,23の電圧を設定することにより動作点を設定する。そしてその後に、比較回路24は、P相期間TPにおいて、画素信号SIGに含まれるリセット電圧Vresetと、参照信号RAMPの電圧とを比較する比較動作を行い、D相期間TDにおいて、画素信号SIGに含まれる画素電圧Vpixと、参照信号RAMPの電圧とを比較する比較動作を行うようになっている。
 カウンタ25は、比較回路24から供給された信号CPに基づいて、撮像制御部18から供給されたクロック信号CLKのパルスをカウントするカウント動作を行うように構成される。具体的には、カウンタ25は、P相期間TPにおいて、信号CPが遷移するまでクロック信号CLKのパルスをダウンカウントし、D相期間TDにおいて、信号CPが遷移するまでクロック信号CLKのパルスをアップカウントすることにより、カウント値CNTを生成する。そして、カウンタ25は、このカウント値CNTを、複数のビットを有するデジタルコードとして出力するようになっている。
 ラッチ26は、カウンタ25から供給されたデジタルコードを一時的に保持するとともに、転送制御部27からの指示に基づいて、そのデジタルコードをバス配線BUSに出力するように構成される。
 転送制御部27は、撮像制御部18から供給された制御信号CTLに基づいて、複数のAD変換部ADCのラッチ26が、デジタルコードをバス配線BUSに順次出力させるように制御するように構成される。読出部20は、このバス配線BUSを用いて、複数のAD変換部ADCから供給された複数のデジタルコードを、画像データDT0として、信号処理部17に順次転送するようになっている。
 チャージポンプ14(図1)は、所定のポンプ動作を行うことにより、電圧VRLを生成するように構成される。チャージポンプ14は、端子TVRLを介して、撮像装置1の外部に設けられたキャパシタCext1に接続される。電圧VRLは、この例では、接地電圧よりも低い電圧である。チャージポンプ14は、このキャパシタCext1に対して充放電を行うことにより、電圧VRLを生成するようになっている。
 ノイズ補正部15は、撮像制御部18からの指示に基づいて、電源電圧VDDHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号、および電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、これらのノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させるように構成される。電源電圧VDDHは、電源端子TVDDHを介して撮像装置1に供給される。電圧VRLは、チャージポンプ14が、撮像装置1の外部に設けられたキャパシタCext1対して充放電を行うことにより生成される。これにより、電源電圧VDDHおよび電圧VRLには、例えば外部環境に起因するノイズが重畳され得る。ノイズ補正部15は、これらのノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、生成したこれらのノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させるようになっている。
 参照信号生成部16は、撮像制御部18からの指示に基づいて、参照信号RAMPを生成するように構成される。参照信号RAMPは、読出部20がAD変換を行う2つの期間(P相期間TPおよびD相期間TD)において、時間の経過に応じて電圧レベルが徐々に変化する、いわゆるランプ波形を有する。参照信号生成部16は、このような参照信号RAMPを読出部20に供給するようになっている。
 図5は、駆動部12、ノイズ補正部15、および参照信号生成部16の一構成例を表すものである。なお、図5には、駆動部12、ノイズ補正部15、および参照信号生成部16に加え、受光画素P、チャージポンプ14、読出部20をも描いている。
 駆動部12は、信号生成回路31と、ドライバ部32とを有している。信号生成回路31は、例えばシフトレジスタを用いて構成され、複数の制御信号STRGの元となる複数の制御信号、複数の制御信号SRSTの元となる複数の制御信号、および複数の制御信号SSELの元となる複数の制御信号を生成するように構成される。ドライバ部32は、複数のドライバを有する。ドライバ部32は、信号生成回路31から供給された複数の制御信号に基づいて、複数の制御信号STRG、複数の制御信号SRST、および複数の制御信号SSELを生成するように構成される。ドライバ部32には、電源電圧VDDHおよび電圧VRLが供給される。ドライバ部32は、電源電圧VDDHを高レベル電圧として用いるとともに、電圧VRLを低レベル電圧として用いることにより、制御信号STRG,SRST,SSELを生成するようになっている。
 ノイズ補正部15は、ノイズ補正部40と、ノイズ補正部50とを有している。ノイズ補正部40は、電源電圧VDDHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成するように構成される。ノイズ補正部50は、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成するように構成される。
 ノイズ補正部40は、ハイパスフィルタ(HPF)41と、調節回路42と、電流源43とを有している。ハイパスフィルタ41は、電源電圧VDDHに重畳された、交流成分であるノイズ信号を調節回路42に供給するように構成される。調節回路42は、撮像制御部18からの指示に基づいて、ハイパスフィルタ41から供給されたノイズ信号の振幅や位相を調節するように構成される。電流源43は、調節回路42により調節されたノイズ信号を電流信号に変換するように構成される。
 ノイズ補正部50は、ハイパスフィルタ(HPF)51と、調節回路52と、電流源53とを有している。ハイパスフィルタ51は、電圧VRLに重畳された、交流成分であるノイズ信号を調節回路52に供給するように構成される。調節回路52は、撮像制御部18からの指示に基づいて、ハイパスフィルタ51から供給されたノイズ信号の振幅や位相を調節するように構成される。電流源53は、調節回路52により調節されたノイズ信号を電流信号に変換するように構成される。
 ノイズ補正部15は、ノイズ補正部40により生成された電流信号を参照信号生成部16に供給することにより、この電流信号に応じた電圧信号であるノイズ補正信号を参照信号RAMPに重畳させる。同様に、ノイズ補正部15は、ノイズ補正部50により生成された電流信号を参照信号生成部16に供給することにより、この電流信号に応じた電圧信号であるノイズ補正信号を参照信号RAMPに重畳させるようになっている。
 参照信号生成部16は、制御回路61と、電流源62と、抵抗素子63とを有している。制御回路61は、撮像制御部18からの指示に基づいて、電流源62に流す電流量を設定するように構成される。電流源62は、抵抗素子63に接続され、制御回路61からの指示に応じた電流量の電流を、抵抗素子63に流すように構成される。抵抗素子63の一端は電流源62に接続され、他端は接地ノードに接続される。抵抗素子63には、電流源62から供給された電流が流れる。これにより、参照信号生成部16は、この電流に応じた電圧信号である参照信号RAMPを生成する。また、この抵抗素子63には、ノイズ補正部15から供給された電流信号が流れる。これにより、参照信号RAMPに、この電流信号に応じた電圧信号であるノイズ補正信号が重畳されるようになっている。
 図6は、ノイズ補正部50の一構成例を表すものである。なお、ノイズ補正部40についても同様である。図6には、ノイズ補正部50に加え、参照信号生成部16、撮像制御部78A、および撮像制御部18をも描いている。ノイズ補正部50は、キャパシタC1と、抵抗素子R1と、トランジスタMN1と、電流源CS1と、スイッチSW1と、抵抗素子R2と、トランジスタMN2と、電流源CS2と、キャパシタC2と、トランジスタMP1,MP2と、キャパシタC3とを有している。トランジスタMN1,MN2は、N型のMOSトランジスタである。トランジスタMP1,MP2は、P型のトランジスタである。キャパシタC1は、図5に示したハイパスフィルタ51に対応する。抵抗素子R1、トランジスタMN1、電流源CS1、スイッチSW1、抵抗素子R2、トランジスタMN2、電流源CS2、キャパシタC2、トランジスタMP1、およびキャパシタC3は、図5に示した調節回路52に対応する。トランジスタMP2は、図5に示した電流源53に対応する。
 キャパシタC1の一端には電圧VRLが供給され、他端はスイッチSW1およびトランジスタMN2のゲートに接続される。抵抗素子R1の一端はトランジスタMN1のソースに接続され、他端は接地ノードに接続される。トランジスタMN1のゲートはスイッチSW1、トランジスタMN1のドレイン、および電流源CS1に接続され、ドレインは電流源CS1、トランジスタMN1のゲート、およびスイッチSW1に接続され、ソースは抵抗素子R1の一端に接続される。電流源CS1の一端は電源電圧VDDの電源ノードに接続され、他端はトランジスタMN1のドレイン、トランジスタMN1のゲート、およびスイッチSW1に接続される。スイッチSW1の一端はトランジスタMN1のゲート、トランジスタMN1のドレイン、および電流源CS1の他端に接続され、他端はキャパシタC1の他端およびトランジスタMN2のゲートに接続される。スイッチSW1は、撮像制御部18からの指示に基づいてオンオフするようになっている。抵抗素子R2の一端はトランジスタMN2のソースに接続され、他端は接地ノードに接続される。トランジスタMN2のゲートはキャパシタC1の他端およびスイッチSW1の他端に接続され、ドレインは電流源CS2、キャパシタC2、トランジスタMP1のドレイン、およびトランジスタMP1,MP2のゲートに接続され、ソースは抵抗素子R2の一端に接続される。電流源CS2の一端は電源電圧VDDの電源ノードに接続され、他端はトランジスタMN2のドレイン、キャパシタC2、トランジスタMP1のドレイン、およびトランジスタMP1,MP2のゲートに接続される。電流源CS2は、撮像制御部18からの指示に基づいて電流量を変化させることができるようになっている。キャパシタC2の一端は電源電圧VDDの電源ノードに接続され、他端はトランジスタMN2のドレイン、電流源CS2の他端、トランジスタMP1のドレイン、およびトランジスタMP1,MP2のゲートに接続される。キャパシタC2は、撮像制御部18からの指示に基づいて容量値を変化させることができるようになっている。トランジスタMP1のゲートはトランジスタMP2のゲート、トランジスタMP1のドレイン、トランジスタMN2のドレイン、電流源CS2の他端、およびキャパシタC2の他端に接続され、ソースは電源電圧VDDの電源ノードに接続され、ドレインはトランジスタMP1,MP2のゲート、トランジスタMN2のドレイン、電流源CS2の他端、およびキャパシタC2の他端に接続される。トランジスタMP2のゲートは、トランジスタMP1のゲート、トランジスタMP1,MN2のドレイン、電流源CS2の他端、およびキャパシタC2の他端に接続され、ソースは電源電圧VDDの電源ノードに接続され、ドレインはキャパシタC3に接続されるとともに、参照信号生成部16に接続される。トランジスタMP2は、撮像制御部18からの指示に基づいて、動作させるトランジスタのゲート幅を変化させることができるようになっている。キャパシタC3の一端には電圧VRLが供給され、他端はトランジスタMP2のドレインに接続されるとともに、参照信号生成部16に接続される。キャパシタC3は、撮像制御部18からの指示に基づいて容量値を変化させることができるようになっている。
 この構成により、スイッチSW1がオン状態になることにより、ノイズ補正部50の動作点が設定され、その後に、スイッチSW1がオフ状態になる。これにより、電圧VRLに重畳された、交流成分であるノイズ信号が、トランジスタMN2のゲートに印加され、トランジスタMN2は、トランジスタMN2のゲートの電圧に応じた電流を流す。電流源CS2は、直流電流を流す。これにより、トランジスタMN2に流れる電流のうち、電流源CS2の直流電流を除く電流が、トランジスタMP1に流れる。トランジスタMP1,MP2は、カレントミラー回路を構成し、トランジスタMP2は、トランジスタMP1に流れる電流に応じた電流を流す。これにより、ノイズ補正部50は、電圧VRLに重畳されたノイズ信号に応じた電流信号を出力する。この電流信号は、参照信号生成部16の抵抗素子63に流れる。これにより、この電流信号に応じた電圧信号であるノイズ補正信号が生成される。
 ノイズ補正部50における、電流源CS2、キャパシタC2,C3、およびトランジスタMP2は、撮像制御部18から供給された調節パラメータに基づいて動作する。これにより、ノイズ補正部50の調節回路52は、ノイズ補正信号の振幅および位相を調節することができる。
 図7A~7Cは、調節回路52の一動作例を表すものであり、図7Aはノイズ補正信号の振幅を調節する例を示し、図7B,7Cはノイズ補正信号の位相を調節する例を示す。
 例えば、トランジスタMP2における、動作させるトランジスタのゲート幅を変化させると、トランジスタMP1,MP2におけるカレントミラー比が変化する。これにより、ノイズ補正部50におけるゲインが変化するので、図7Aに示したように、ノイズ補正信号の振幅が変化する。具体的には、調節回路52は、トランジスタMP2における、動作させるトランジスタのゲート幅を大きくすることにより、ノイズ補正信号の振幅を大きくすることができる。
 ノイズ補正信号の振幅ΔVoは、以下の式で表すことができる。
ΔVo = 1 / Rs × m × Ro × ΔV
ここで、ΔVは、トランジスタMN2におけるノイズ信号の電圧振幅である。Rsは、抵抗素子R2の抵抗値である。mは、トランジスタMP1,MP2におけるカレントミラー比であり、トランジスタMP1に流れる電流を“1”とした場合における、トランジスタMP2に流れる電流を示す。Roは、抵抗素子63の抵抗値である。よって、カレントミラー比を変化させることにより、ノイズ補正信号の振幅を変化させることができる。
 例えば、キャパシタC2の容量値を変化させると、図7Bに示したように、ノイズ補正信号の位相が変化する。具体的には、調節回路52は、キャパシタC2の容量値を大きくすることにより、ノイズ補正信号の位相を遅らせることができる。
 例えば、キャパシタC3の容量値を変化させると、図7Cに示したように、ノイズ補正信号の位相が変化する。具体的には、調節回路52は、キャパシタC3の容量値を大きくすることにより、ノイズ補正信号の位相を進めることができる。
 信号処理部17(図1)は、画像データDT0および撮像制御部18からの指示に基づいて、所定の画像処理を行うことにより画像データDTを生成するように構成される。所定の画像処理は、例えば、黒レベルを補正する黒レベル補正処理や、ノイズを低減する処理などを含む。
 撮像制御部18は、駆動部12、読出部20、ノイズ補正部15、参照信号生成部16、および信号処理部17に制御信号を供給し、これらの回路の動作を制御することにより、撮像装置1の動作を制御するように構成される。具体的には、撮像制御部18は、駆動部12に対して制御信号を供給することにより、駆動部12が、画素ラインL単位で、画素アレイ11における複数の受光画素Pを順次駆動するように制御する。また、撮像制御部18は、ノイズ補正部15に対して制御信号を供給することにより、ノイズ補正部15が例えばノイズ補正信号の振幅および位相を調節するように制御する。また、撮像制御部18は、参照信号生成部16に対して制御信号を供給することにより、参照信号生成部16が参照信号RAMPを生成するように制御する。また、撮像制御部18は、読出部20に対して制御信号を供給することにより、読出部20が、画素信号SIGに基づいてAD変換を行うことにより画像データDT0を生成するように制御する。また、撮像制御部18は、信号処理部17に対して制御信号を供給することにより、信号処理部17における画像処理を制御するようになっている。
 ここで、受光画素Pは、本開示の一実施の形態における「受光画素」の一具体例に対応する。端子TVRLは、本開示の一実施の形態における「第1の接続端子」の一具体例に対応する。キャパシタCext1は、本開示の一実施の形態における「第1の外部キャパシタ」の一具体例に対応する。チャージポンプ14は、本開示の一実施の形態における「第1の電圧生成回路」の一具体例に対応する。駆動部12は、本開示の一実施の形態における「駆動回路」の一具体例に対応する。参照信号RAMPは、本開示の一実施の形態における「参照信号」の一具体例に対応する。参照信号生成部16は、本開示の一実施の形態における「参照信号生成回路」の一具体例に対応する。ノイズ補正部50は、本開示の一実施の形態における「ノイズ補正回路」の一具体例に対応する。比較回路24は、本開示の一実施の形態における「比較回路」の一具体例に対応する。カウンタ25は、本開示の一実施の形態における「処理回路」の一具体例に対応する。
[動作および作用]
 続いて、本実施の形態の撮像装置1の動作および作用について説明する。
(全体動作概要)
 まず、図1,4を参照して、撮像装置1の全体動作概要を説明する。チャージポンプ14は、撮像装置1の外部に設けられたキャパシタCext1に対して充放電を行うことにより、電圧VRLを生成する。駆動部12は、撮像制御部18からの指示に基づいて、画素ラインL単位で、画素アレイ11における複数の受光画素Pを順次駆動する。参照信号生成部16は、撮像制御部18からの指示に基づいて、参照信号RAMPを生成する。ノイズ補正部15は、撮像制御部18からの指示に基づいて、電源電圧VDDHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号、および電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、生成したこれらのノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。受光画素Pは、P相期間TPにおいて、リセット電圧Vresetを画素信号SIGとして出力し、D相期間TDにおいて、受光量に応じた画素電圧Vpixを画素信号SIGとして出力する。読出部20は、画素アレイ11から信号線VSLを介して供給された画素信号SIG、参照信号生成部16から供給された参照信号RAMP、および撮像制御部18からの指示に基づいて、画像データDT0を生成する。具体的には、読出部20において、AD変換部ADCは、画素信号SIGおよび参照信号RAMPに基づいて、AD変換を行うことによりカウント値CNTを生成し、このカウント値CNTを、複数のビットを有するデジタルコードとして出力する。読出部20は、複数のAD変換部ADCにより生成された、カウント値CNTを含む複数のデジタルコードを、バス配線BUSを介して、順次、画像データDT0として信号処理部17に供給する。信号処理部17は、画像データDT0および撮像制御部18からの指示に基づいて、所定の画像処理を行うことにより画像データDTを生成する。
(詳細動作)
 撮像装置1において、複数の受光画素Pは、受光量に応じて電荷を蓄積し、受光量に応じた画素電圧Vpixを含む画素信号SIGを生成する。そして、読出部20は、この画素信号SIGおよび参照信号RAMPに基づいてAD変換を行う。以下に、この動作について詳細に説明する。
 図8は、画素アレイ11における複数の受光画素Pを画素ラインL単位で走査する動作の一例を表すものである。
 撮像装置1は、タイミングt0~t1の期間において、画素アレイ11に対して、垂直方向において上から順に露光開始駆動D1を行う。具体的には、駆動部12は、例えば、制御信号STRG,SRSTを生成することにより、画素ラインLを順次選択し、受光画素PにおけるトランジスタTRG,RSTを所定の長さの時間だけ順次オン状態にする。これにより、受光画素Pでは、フローティングディフュージョンFDの電圧およびフォトダイオードPDのカソードの電圧が電源電圧VDDHに設定される。そして、トランジスタTRG,RSTがオフ状態になると、フォトダイオードPDは、受光量に応じて電荷を蓄積し始める。このようにして、複数の受光画素Pでは、露光期間Tが順次開始する。
 そして、撮像装置1は、タイミングt2~t3の期間において、画素アレイ11に対して、垂直方向においてこの例では上から順に読出駆動D2を行う。具体的には、駆動部12は、後述するように、制御信号STRG,SRST,SSELを生成することにより、画素ラインLを順次選択する。これにより、受光画素Pは、P相期間TPにおいてリセット電圧Vresetを画素信号SIGとして出力し、D相期間TDにおいて画素電圧Vpixを画素信号SIGとして出力する。読出部20は、受光画素Pが出力した、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを含む画素信号SIGに基づいてAD変換を行う。
 撮像装置1は、このような露光開始駆動D1および読出駆動D2を繰り返す。これにより、撮像装置1では、一連の撮像画像が得られる。
 次に、読出駆動D2について、詳細に説明する。以下に、ある受光画素Pに着目し、この受光画素Pおよびその受光画素Pに接続されたAD変換部ADCの動作について説明する。
 図9は、読出駆動D2の一動作例を表すものであり、(A)は制御信号SSELの波形を示し、(B)は制御信号SRSTの波形を示し、(C)は制御信号STRGの波形を示し、(D)は制御信号AZSWの波形を示し、(E)は参照信号RAMPの波形を示し、(F)は画素信号SIGの波形を示し、(G)はクロック信号CLKの波形を示し、(H)は信号CPの波形を示し、(I)はカウンタ25のカウント動作を示す。図9(E),(F)では、参照信号RAMPおよび画素信号SIGの波形を、同じ電圧軸を用いて示している。また、この説明では、図9(E)に示した参照信号RAMPの波形は、キャパシタ23を介して比較回路24の入力端子に供給された電圧の波形であり、図9(F)に示した画素信号SIGの波形は、キャパシタ22を介して比較回路24の入力端子に供給された電圧の波形である。
 まず、タイミングt11において、水平期間Hが開始する。これにより、駆動部12は、制御信号SSELの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図9(A))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタSELがオン状態になり、受光画素Pが信号線VSLと電気的に接続される。また、このタイミングt11において、駆動部12は、制御信号SRSTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図9(B))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRSTがオン状態になり、フローティングディフュージョンFDの電圧が電源電圧VDDHに設定される(リセット動作)。そして、受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDの電圧に対応する電圧を出力する。また、このタイミングt11において、撮像制御部18は、制御信号AZSWの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図9(D))。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、キャパシタ22,23の電圧を設定することにより動作点を設定する。このようにして、画素信号SIGの電圧がリセット電圧Vresetに設定され、参照信号RAMPの電圧が、画素信号SIGの電圧(リセット電圧Vreset)と同じ電圧に設定される(図9(E),(F))。
 そして、タイミングt12において、駆動部12は、制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図9(B))。これにより、受光画素Pにおいて、トランジスタRSTはオフ状態になり、リセット動作は終了する。
 次に、タイミングt13において、撮像制御部18は、制御信号AZSWの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図9(D))。これにより、比較回路24は、動作点の設定を終了する。
 また、このタイミングt13において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1にする(図9(E))。これにより、参照信号RAMPの電圧が画素信号SIGの電圧より高くなるので、比較回路24は、信号CPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図9(H))。
 そして、タイミングt14~t16の期間(P相期間TP)において、AD変換部ADCは、画素信号SIGに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt14において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図9(E))。また、このタイミングt14において、撮像制御部18は、クロック信号CLKの生成を開始する(図9(G))。AD変換部ADCのカウンタ25は、ダウンカウントによるカウント動作を行うことにより、このクロック信号CLKのパルスをカウントする(図9(I))。
 そして、タイミングt15において、参照信号RAMPの電圧が画素信号SIGの電圧(リセット電圧Vreset)を下回る(図9(E),(F))。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、信号CPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図9(H))。AD変換部ADCのカウンタ25は、この信号CPの遷移に基づいて、カウント動作を停止する(図9(I))。タイミングt14~t15におけるカウント値の変化量は、リセット電圧Vresetに応じた値である。
 次に、タイミングt16において、撮像制御部18は、P相期間TPの終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する(図9(G))。また、参照信号生成部16は、このタイミングt16において、参照信号RAMPの電圧を電圧V2に設定する(図9(E))。
 次に、タイミングt17において、撮像制御部18は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に設定する(図9(E))。これにより、参照信号RAMPの電圧が画素信号SIGの電圧(リセット電圧Vreset)より高くなるので、比較回路24は、信号CPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図9(H))。
 次に、タイミングt18において、駆動部12は、制御信号STRGの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図9(C))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタTRGがオン状態になり、フォトダイオードPDで発生した電荷がフローティングディフュージョンFDに転送される(電荷転送動作)。そして、受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDの電圧に対応する電圧を出力する。このようにして、画素信号SIGの電圧が画素電圧Vpixになる(図9(F))。
 そして、タイミングt19において、駆動部12は、制御信号STRGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図9(C))。これにより、受光画素Pにおいて、トランジスタTRGはオフ状態になり、電荷転送動作は終了する。
 そして、タイミングt20~t22の期間(D相期間TD)において、AD変換部ADCは、画素信号SIGに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt20において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図9(E))。また、このタイミングt20において、撮像制御部18は、クロック信号CLKの生成を開始する(図9(G))。AD変換部ADCのカウンタ25は、アップカウントによるカウント動作を行うことにより、このクロック信号CLKのパルスをカウントする(図9(I))。
 そして、タイミングt21において、参照信号RAMPの電圧が画素信号SIGの電圧(画素電圧Vpix)を下回る(図9(E),(F))。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、信号CPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図9(H))。AD変換部ADCのカウンタ25は、この信号CPの遷移に基づいて、カウント動作を停止する(図9(I))。タイミングt20~t21におけるカウント値の変化量は、画素電圧Vpixに応じた値である。ラッチ26は、このときのカウンタ25のカウント値(カウント値CNT)を保持する。このカウント値CNTは、画素電圧Vpixとリセット電圧Vresetとの差電圧に対応し、露光期間Tにおける受光画素Pの受光量に対応する。このように、撮像装置1では、相関2重サンプリング(CDS;Correlated double sampling)の原理を利用して、受光画素Pの受光量に応じた画素値を得る。
 次に、タイミングt22において、撮像制御部18は、D相期間TDの終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する(図9(G))。また、参照信号生成部16は、このタイミングt22において、参照信号RAMPの電圧を電圧V3に設定する(図9(E))。そして、このタイミングt22以降の期間において、読出部20は、ラッチ26に保持されたカウント値CNTを、画像データDT0として、信号処理部17に供給する。
 次に、タイミングt23において、駆動部12は、制御信号SSELの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図9(A))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタSELがオフ状態になり、受光画素Pが信号線VSLから電気的に切り離される。そして、カウンタ25は、カウント値をリセットする(図9(I))。
 このようにして、読出部20は、カウント値CNTを含む画像データDT0を信号処理部17に供給する。信号処理部17は、例えば画像データDT0に含まれるカウント値CNTに基づいて、所定の処理を行うことにより、画像データDTを生成する。
 ノイズ補正部15は、電源電圧VDDHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号、および電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、これらのノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。以下に、ノイズ補正部50およびノイズ補正部40の動作について詳細に説明する。
(ノイズ補正部50の動作について)
 図10A,10Bは、ノイズ補正部50の一動作例を表すものであり、図10Aは読出駆動D2の対象である受光画素Pに係る動作を示し、図10Bは読出駆動D2の対象ではない受光画素Pに係る動作を示す。図10A,10Aにおいて、太線で示した配線は、ノイズ補正部50の動作に係る配線を示す。
 キャパシタCext1は、撮像装置1の外部に設けられているので、電圧VRLにはノイズが重畳されやすい。駆動部12のドライバ部32は、この電圧VRLを低レベル電圧として用いることにより、制御信号STRG,SRST,SSELを生成する。よって、例えば、制御信号STRGが低レベルである場合には、この制御信号STRGにノイズが重畳される。制御信号SRST,SSELについても同様である。
 駆動部12は、図9に示したように、読出駆動D2の対象である受光画素Pに対して、P相期間TPおよびD相期間TDにおいて、高レベルの制御信号SSEL、および低レベルの制御信号STRG,SRSTを供給する。よって、図10Aに示したように、この受光画素Pでは、トランジスタTRG,RSTのゲート電圧に、電圧VRLのノイズに応じたノイズが重畳される。制御信号STRGは低レベルであるので、トランジスタTRGはオフ状態である。しかしながら、トランジスタTRGのゲートにおけるノイズは、トランジスタTRGのゲート・ドレイン間の寄生キャパシタンスを介して、トランジスタAMPのゲートに伝わる。同様に、制御信号SRSTは低レベルであるので、トランジスタRSTはオフ状態である。しかしながら、トランジスタRSTのゲートにおけるノイズは、トランジスタRSTのゲート・ソース間の寄生キャパシタンスを介して、トランジスタAMPのゲートに伝わる。制御信号SSELは高レベルであるので、トランジスタSELはオン状態であり、トランジスタAMPおよび定電流源21がソースフォロワとして動作する。よって、トランジスタAMPのゲートにおけるノイズが、信号線VSLに伝わる。このようにして、この受光画素Pは、ノイズが重畳された画素信号SIGを出力する。
 一方、駆動部12は、読出駆動D2の対象ではない受光画素Pに対して、低レベルの制御信号STRG,SRST,SSELを供給する。よって、図10Bに示したように、この受光画素Pでは、トランジスタTRG,RST,SELのゲート電圧に、電圧VRLのノイズに応じたノイズが重畳される。例えば、制御信号SSELは低レベルであるので、トランジスタSELはオフ状態である。しかしながら、トランジスタSELのゲートにおけるノイズが、トランジスタSELのゲート・ソース間の寄生キャパシタンスを介して、トランジスタSELのソースに伝わる。よって、この受光画素Pは、読出駆動D2の対象である受光画素Pが生成した画素信号SIGにノイズを重畳させる。
 このようにして、ノイズが重畳された画素信号SIGは、キャパシタ22を介して比較回路24に供給される。
 ノイズ補正部50は、図10A,10Bに示したように、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、このノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。ノイズ補正信号が重畳された参照信号RAMPは、キャパシタ23を介して比較回路24に供給される。ノイズ補正信号の振幅および位相は、画素信号SIGに重畳されたノイズの振幅および位相とほぼ同じになるようにあらかじめ調節される。これにより、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、互いに同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳される。比較回路24は、供給された2つの信号の差分に基づいて動作するので、比較回路24が生成する信号CPへのノイズの影響は抑えられる。その結果、撮像装置1では、電圧VRLのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
 すなわち、例えば、ノイズ補正部50を設けない場合には、参照信号RAMPにはノイズ補正信号は重畳されない。よって、比較回路24は、ノイズが重畳された画素信号SIG、およびノイズ補正信号が重畳されていない参照信号RAMPに基づいて比較動作を行う。その結果、撮像装置1では、電圧VRLのノイズが、撮像画像へ影響を及ぼしてしまう。例えば、画素ラインLに属する複数の受光画素Pから出力された画素信号SIGには、同じノイズが重畳されるので、撮像画像では、ノイズに応じた、横方向の筋が現れ得る。一方、撮像装置1では、ノイズ補正部50を設けるようにしたので、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳される。これにより、撮像装置1では、電圧VRLのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
 図11は、電圧VRLに重畳されたノイズについてのノイズ除去比の特性の一例を表すものであり、横軸は周波数を示し、縦軸はノイズ除去比を示す。ノイズ除去比は、電圧VRLに重畳されたノイズの電圧と、撮像画像における画素値を電圧に換算した値との比であり、値が小さいほどノイズが除去されていることを示す。図11において、実線は、本実施の形態に係る撮像装置1の特性を示し、破線はノイズ補正部50を設けない場合における撮像装置の特性を示す。撮像装置1では、ノイズ補正部50を設けるようにしたので、ノイズ除去比を低減することができる。
(ノイズ補正部40の動作について)
 図12は、ノイズ補正部40の一動作例を表すものである。図12は、読出駆動D2の対象である受光画素Pに係る動作を示す。図12において、太線で示した配線は、ノイズ補正部40の動作に係る配線を示す。
 電源電圧VDDHは、撮像装置1の外部から供給されるので、電源電圧VDDHにはノイズが重畳されやすい。駆動部12のドライバ部32は、この電源電圧VDDHを高レベル電圧として用いることにより、制御信号STRG,SRST,SSELを生成する。よって、例えば、制御信号SSELが高レベルである場合には、この制御信号SSELにノイズが重畳される。
 駆動部12は、図9に示したように、読出駆動D2の対象である受光画素Pに対して、P相期間TPおよびD相期間TDにおいて、高レベルの制御信号SSEL、および低レベルの制御信号STRG,SRSTを供給する。よって、図12に示したように、この受光画素Pでは、トランジスタSELのゲート電圧に、電源電圧VDDHのノイズに応じたノイズが重畳される。また、受光画素Pでは、電源電圧VDDHの電源配線とフローティングディフュージョンFDとの間の寄生キャパシタンスを介して、トランジスタAMPのゲート電圧に、電源電圧VDDHのノイズに応じたノイズが重畳される。制御信号SSELは高レベルであるので、トランジスタSELはオン状態であり、トランジスタAMPおよび定電流源21がソースフォロワとして動作する。また、トランジスタAMPのドレインにはノイズが重畳された電源電圧VDDHが供給される。これにより、この受光画素Pは、ノイズが重畳された画素信号SIGを出力する。
 ノイズ補正部40は、電源電圧VDDHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、このノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。ノイズ補正信号が重畳された参照信号RAMPは、キャパシタ23を介して比較回路24に供給される。ノイズ補正信号の振幅および位相は、画素信号SIGに重畳されたノイズの振幅および位相とほぼ同じになるようにあらかじめ調節される。これにより、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、互いに同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳される。その結果、撮像装置1では、電源電圧VDDHのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。ノイズ除去比の特性は、ノイズ補正部50の場合(図11)と同様である。
 このように、撮像装置1では、受光量に応じた画素電圧Vpixを含む画素信号SIGを生成可能な受光画素Pと、キャパシタCext1に接続される端子TVRLと、端子TVRLにおける電圧を生成可能なチャージポンプ14と、端子TVRLにおける電圧に基づいて受光画素Pを駆動可能な駆動部12と、ランプ波形を有する参照信号RAMPを生成可能な参照信号生成部16と、端子TVRLにおける電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、ノイズ補正信号を参照信号RAMPに重畳可能なノイズ補正部50と、画素信号SIGと、ノイズ補正信号が重畳された参照信号RAMPとを比較可能な比較回路24と、比較回路24の比較結果に基づいて画素値を算出可能な信号処理部17とを設けるようにした。これにより、例えば、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、互いに同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳されるので、電圧VRLのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
[効果]
 以上のように本実施の形態では、光量に応じた画素電圧を含む画素信号を生成可能な受光画素と、キャパシタに接続される端子と、端子における電圧を生成可能なチャージポンプと、端子における電圧に基づいて受光画素を駆動可能な駆動部と、ランプ波形を有する参照信号を生成可能な参照信号生成部と、端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、ノイズ補正信号を参照信号に重畳可能なノイズ補正部と、画素信号と、ノイズ補正信号が重畳された参照信号とを比較可能な比較回路と、比較回路の比較結果に基づいて画素値を算出可能な信号処理部とを設けるようにしたので、ノイズの影響を抑えることができる。
<2.第2の実施の形態>
 次に、第2の実施の形態に係る撮像装置2について説明する。本実施の形態は、受光画素Pの回路構成を変更するとともに、2つの外部キャパシタを設けた例である。なお、上記第1の実施の形態に係る撮像装置1と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
 図13は、第2の実施の形態に係る撮像装置2の一構成例を表すものである。撮像装置2は、画素アレイ71と、駆動部72と、バイアス回路74と、ノイズ補正部75と、信号処理部77と、撮像制御部78とを備えている。
 画素アレイ71は、上記第1の実施の形態に係る画素アレイ11と同様に、マトリックス状に配置された複数の受光画素Pを有している。
 図14は、受光画素Pの一構成例を表すものである。画素アレイ71は、複数の制御線TGLLと、複数の制御線FDGLと、複数の制御線RSTLと、複数の制御線FCGLと、複数の制御線TGSLと、複数の制御線SELLと、複数の信号線VSLとを有している。制御線TGLLは、水平方向(図14における横方向)に延伸し、一端が駆動部72に接続される。この制御線TGLLには、駆動部72により制御信号STGLが供給される。制御線FDGLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部72に接続される。この制御線FDGLには、駆動部72により制御信号SFDGが供給される。制御線RSTLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部72に接続される。この制御線RSTLには、駆動部72により制御信号SRSTが供給される。制御線FCGLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部72に接続される。この制御線FCGLには、駆動部72により制御信号SFCGが供給される。制御線TGSLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部72に接続される。この制御線TGSLには、駆動部72により制御信号STGSが供給される。制御線SELLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部72に接続される。この制御線SELLには、駆動部72により制御信号SSELが供給される。
 受光画素Pは、フォトダイオードPD1と、トランジスタTGLと、フォトダイオードPD2と、トランジスタTGSと、キャパシタFCと、トランジスタFCG,RST,FDGと、フローティングディフュージョンFDと、トランジスタAMP,SELとを有している。トランジスタTGL,TGS,FCG,RST,FDG,AMP,SELは、この例ではN型のMOSトランジスタである。
 フォトダイオードPD1は、受光量に応じた量の電荷を生成し、生成した電荷を内部に蓄積する光電変換素子である。フォトダイオードPD1が光を受光可能な受光領域は、フォトダイオードPD2が光を受光可能な受光領域よりも広い。フォトダイオードPD1のアノードは接地され、カソードはトランジスタTGLのソースに接続される。
 トランジスタTGLのゲートは制御線TGLLに接続され、ソースはフォトダイオードPD1のカソードに接続され、ドレインはフローティングディフュージョンFDに接続される。
 フォトダイオードPD2は、受光量に応じた量の電荷を生成し、生成した電荷を内部に蓄積する光電変換素子である。フォトダイオードPD2が光を受光可能な受光領域は、フォトダイオードPD1が光を受光可能な受光領域よりも狭い。フォトダイオードPD2のアノードは接地され、カソードはトランジスタTGSのソースに接続される。
 トランジスタTGSのゲートは制御線TGSLに接続され、ソースはフォトダイオードPD2のカソードに接続され、ドレインはキャパシタFC、およびトランジスタFCGのソースに接続される。
 キャパシタFCの一端はトランジスタTGSのドレインおよびトランジスタFCGのソースに接続され、他端には制御信号FCVDDが供給される。
 トランジスタFCGのゲートは制御線FCGLに接続され、ソースはキャパシタFCの一端およびトランジスタTGSのドレインに接続され、ドレインはトランジスタRSTのソースおよびトランジスタFDGのドレインに接続される。
 トランジスタRSTのゲートは制御線RSTLに接続され、ドレインには電源電圧VDDHが供給され、ソースは、トランジスタFCG,FDGのドレインに接続される。
 トランジスタFDGのゲートは制御線FDGLに接続され、ドレインはトランジスタRSTのソースおよびトランジスタFCGのドレインに接続され、ソースはフローティングディフュージョンFDに接続される。
 フローティングディフュージョンFDは、フォトダイオードPD1,PD2から供給された電荷を蓄積するように構成される。フローティングディフュージョンFDは、例えば、半導体基板の表面に形成された拡散層を用いて構成される。図14では、フローティングディフュージョンFDを、キャパシタのシンボルを用いて示している。
 この構成により、受光画素Pでは、制御信号SSELに基づいてトランジスタSELがオン状態になることにより、受光画素Pが信号線VSLと電気的に接続される。これにより、トランジスタAMPは、読出部20の定電流源21に接続され、いわゆるソースフォロワとして動作する。そして、受光画素Pは、フローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VPを、画素信号SIGとして、信号線VSLに出力する。具体的には、受光画素Pは、後述するように、いわゆる水平期間H内の8つの期間(変換期間T1~T8)において、8つの画素電圧VP(VP1~VP8)を順次出力するようになっている。
 図15は、画素アレイ71におけるフォトダイオードPD1,PD2の配列の一例を表すものである。図15において、“R”は赤色のカラーフィルタを示し、“Gr”,“Gb”は緑色のカラーフィルタを示し、“B”は青色のカラーフィルタを示す。各受光画素Pにおいて、フォトダイオードPD1の右上にフォトダイオードPD2が形成されている。各受光画素Pにおける2つのフォトダイオードPD1,PD2には、同じ色のカラーフィルタが形成されている。この例では、フォトダイオードPD1は8角形の形状を有し、フォトダイオードPD2は4角形の形状を有している。この図に示したように、フォトダイオードPD1が光を受光可能な受光領域は、フォトダイオードPD2が光を受光可能な受光領域よりも広い。
 駆動部72(図13)は、撮像制御部78からの指示に基づいて、画素ラインL単位で、画素アレイ71における複数の受光画素Pを順次駆動するように構成される。具体的には、駆動部72は、画素アレイ71における複数の制御線TGLLに複数の制御信号STGLをそれぞれ供給し、複数の制御線FDGLに複数の制御信号SFDGをそれぞれ供給し、複数の制御線RSTLに複数の制御信号SRSTをそれぞれ供給し、複数の制御線FCGLに複数の制御信号SFCGをそれぞれ供給し、複数の制御線TGSLに複数の制御信号STGSをそれぞれ供給し、複数の制御線SELLに複数の制御信号SSELをそれぞれ供給することにより、画素ラインL単位で画素アレイ71における複数の受光画素Pを駆動する。また、駆動部72は、制御信号FCVDDを、画素アレイ71における複数の受光画素Pに供給する。駆動部72には、チャージポンプ14により生成された電圧VRLが供給されるとともに、バイアス回路74により生成された電圧VRHが供給される。
 バイアス回路74は、電圧VRHを生成するように構成される。バイアス回路74は、端子TVRHを介して、撮像装置2の外部に設けられたキャパシタCext2に接続される。電圧VRHは、この例では、接地電圧よりも高く、電源電圧VDDHよりも低い電圧である。なお、この例では、バイアス回路74を設けたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば、チャージポンプを設けてもよい。この場合には、例えば、電圧VRHを、電源電圧VDDHよりも高い電圧にすることができる。
 ノイズ補正部75は、撮像制御部78からの指示に基づいて、電源電圧VDDHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号、および電圧VRHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、これらのノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させるように構成される。
 図16は、駆動部72およびノイズ補正部75の一具体例を表すものである。なお、図16には、駆動部72およびノイズ補正部75に加え、受光画素P、チャージポンプ14、バイアス回路74、参照信号生成部16、および読出部20をも描いている。
 駆動部72は、信号生成回路81と、ドライバ部82と、ドライバ83とを有している。信号生成回路81は、例えばシフトレジスタを用いて構成され、複数の制御信号STGLの元となる複数の制御信号、複数の制御信号SFDGの元となる複数の制御信号、複数の制御信号SRSTの元となる複数の制御信号、複数の制御信号SFCGの元となる複数の制御信号、複数の制御信号STSGの元となる複数の制御信号、および複数の制御信号SSELの元となる複数の制御信号を生成するように構成される。また、信号生成回路81は、制御信号SFCVDDの元になる制御信号を生成する機能も有している。ドライバ部82は、複数のドライバを有する。ドライバ部82は、信号生成回路81から供給された複数の制御信号に基づいて、複数の制御信号STGL、複数の制御信号SFDG、複数の制御信号SRST、複数の制御信号SFCG、複数の制御信号STSG、および複数の制御信号SSELを生成するように構成される。ドライバ部82には、電源電圧VDDHおよび電圧VRLが供給される。ドライバ部82は、電源電圧VDDHを高レベル電圧として用いるとともに、電圧VRLを低レベル電圧として用いることにより、制御信号STGL,SFDG,SRST,SFCG,STGS,SSELを生成するようになっている。ドライバ83は、信号生成回路81から供給された制御信号に基づいて、制御信号SFCVDDを生成するように構成される。ドライバ83には、電圧VRHが供給される。ドライバ83は、この電圧VRHを制御信号SFCVDDとして出力するようになっている。
 ノイズ補正部75は、ノイズ補正部90を有している。ノイズ補正部90は、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号、および電圧VRHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成するように構成される。ノイズ補正部90は、ハイパスフィルタ(HPF)91と、調節回路92と、電流源93と、ハイパスフィルタ(HPF)94と、調節回路95と、電流源96とを有している。ハイパスフィルタ91は、電圧VRHに重畳された、交流成分であるノイズ信号を調節回路92に供給するように構成される。調節回路92は、撮像制御部78からの指示に基づいて、ハイパスフィルタ91から供給されたノイズ信号の振幅や位相を調節するように構成される。電流源93は、調節回路92により調節されたノイズ信号を電流信号に変換するように構成される。ハイパスフィルタ94は、電圧VRLに重畳された、交流成分であるノイズ信号を調節回路95に供給するように構成される。調節回路95は、撮像制御部78からの指示に基づいて、ハイパスフィルタ94から供給されたノイズ信号の振幅や位相を調節するように構成される。電流源96は、調節回路95により調節されたノイズ信号を電流信号に変換するように構成される。ハイパスフィルタ91,94のそれぞれは、上記第1の実施の形態に係るハイパスフィルタ51(図6)と同様の回路構成を有する。調節回路92,95のそれぞれは、上記第1の実施の形態に係る調節回路52(図6)と同様の回路構成を有する。電流源93,96のそれぞれは、上記第1の実施の形態に係る電流源53(図6)と同様の回路構成を有する。
 信号処理部77(図13)は、画像データDT0および撮像制御部78からの指示に基づいて、所定の画像処理を行うことにより画像データDTを生成するように構成される。
 撮像制御部78は、駆動部72、読出部20、ノイズ補正部75、参照信号生成部16、および信号処理部77に制御信号を供給し、これらの回路の動作を制御することにより、撮像装置2の動作を制御するように構成される。
 ここで、端子TVRHは、本開示の一実施の形態における「第2の接続端子」の一具体例に対応する。キャパシタCext2は、本開示の一実施の形態における「第2の外部キャパシタ」の一具体例に対応する。バイアス回路74は、本開示の一実施の形態における「第2の電圧生成回路」の一具体例に対応する。撮像制御部78は、本開示の一実施の形態における「制御回路」の一具体例に対応する。
 次に、読出駆動D2について、詳細に説明する。以下に、ある受光画素Pに着目し、この受光画素Pおよびその受光画素Pに接続されたAD変換部ADCの動作について説明する。
 図17,18A,18Bは、撮像装置2の一動作例を表すものである。図17,18A,18Bにおいて、(A)は水平同期信号XHSの波形を示し、(B)は制御信号SSELの波形を示し、(C)は制御信号SRSTの波形を示し、(D)は制御信号SFDGの波形を示し、(E)は制御信号STGLの波形を示し、(F)は制御信号SFCGの波形を示し、(G)は制御信号STGSの波形を示し、(H)は参照信号RAMPの波形を示し、(I)は画素信号SIGの波形を示し、(J)はカウンタ25の動作を示す。図17において、(K)はノイズ補正部90における電圧VRLに係る調節パラメータを示し、(L)はノイズ補正部90における電圧VRHに係る調節パラメータを示す。図18Aは、図17に示した動作のうちの前半の動作を示し、図18Bは、図17に示した動作のうちの後半の動作を示す。図17(J)、図18A(J)、図18B(J)において、斜線は、カウンタ25がカウント動作を行っていることを示している。
 図19A~19Cは、受光画素Pの状態を表すものである。この図19A~19Cでは、トランジスタTGL,RST,FDG,TGS,FCG,SELを、そのトランジスタの動作状態に応じたスイッチを用いてそれぞれ示している。
 まず、タイミングt101において、水平期間Hが開始すると、駆動部72は、タイミングt102において、制御信号SSELの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18A(B))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタSELがオン状態になり、受光画素Pが信号線VSLと電気的に接続される。
 タイミングt111までの期間において、駆動部72は、制御信号SRST,SFDGをともに高レベルにする(図18A(C),(D))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRST,FDGがともにオン状態になり、フローティングディフュージョンFDの電圧が電源電圧VDDHに設定され、フローティングディフュージョンFDがリセットされる。
(タイミングt111~t121の動作)
 次に、タイミングt111において、駆動部72は、制御信号SFDGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18A(D))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFDGがオフ状態になる。次に、タイミングt112において、駆動部72は、制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18A(C))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRSTがオフ状態になる。次に、タイミングt113において、駆動部72は、制御信号SFDGの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18A(D))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFDGがオン状態になる。また、比較回路24は、タイミングt113~t114の期間において、制御信号AZSWに基づいて動作点の設定を行う。
 次に、タイミングt114において、比較回路24は動作点の設定を終了する。そして、このタイミングt114において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18A(H))。
 これにより、受光画素Pでは、図19Aに示したように、トランジスタFDG,SELはオン状態になり、その他のトランジスタは全てオフ状態になる。トランジスタFDGがオン状態であるので、フローティングディフュージョンFDおよびトランジスタFDGが合成キャパシタンスを構成する。この合成キャパシタンスは、受光画素Pにおいて電荷を電圧へ変換する変換キャパシタンスとして機能する。受光画素Pでは、このように、トランジスタFDGがオン状態であるので、受光画素Pにおける変換キャパシタンスが大きいため、電荷から電圧への変換効率が低い。この変換キャパシタンスは、タイミングt112までの期間においてフローティングディフュージョンFDがリセットされたときの電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP1)を出力する。
 次に、タイミングt115~t117の期間(変換期間T1)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP1に基づいてAD変換を行う。具体的には、タイミングt115において、撮像制御部78は、クロック信号CLKの生成を開始し、これと同時に、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を、電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図18A(H))。これに応じて、AD変換部ADCのカウンタ25は、カウント動作を開始する(図18A(J))。この例では、カウンタ25は、常に、アップカウントによるカウント動作を行うことにより、このクロック信号CLKのパルスをカウントする。
 そして、タイミングt116において、参照信号RAMPの電圧が画素信号SIGの電圧(画素電圧VP1)を下回る(図18A(H),(I))。これに応じて、AD変換部ADCの比較回路24は、信号CPの電圧を変化させ、その結果、カウンタ25は、カウント動作を停止する(図18A(J))。カウント動作が停止したときのカウンタ25のカウント値CNTは、画素電圧VP1に対応している。AD変換部ADCは、このようにして、画素電圧VP1に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE1として出力する(図18A(J))。
 そして、タイミングt117において、撮像制御部78は、変換期間T1の終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止し、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧の変化を停止させ(図18A(H))、カウンタ25は、カウント値CNTをリセットする。
(タイミングt121~t131の動作)
 次に、タイミングt121において、駆動部72は、制御信号SFDGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18A(D))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFDGがオフ状態になる。また、比較回路24は、タイミングt121~t122の期間において、制御信号AZSWに基づいて動作点の設定を行う。
 次に、タイミングt122において、比較回路24は動作点の設定を終了する。そして、このタイミングt122において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18A(H))。
 これにより、受光画素Pでは、図19Bに示したように、トランジスタSELはオン状態になり、その他のトランジスタは全てオフ状態になる。受光画素Pでは、このように、トランジスタFDGがオフ状態であるので、受光画素Pにおける変換キャパシタンスが小さいため、電荷から電圧への変換効率が高い。この変換キャパシタンスは、タイミングt112までの期間においてフローティングディフュージョンFDがリセットされたときの電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP2)を出力する。
 次に、タイミングt123~t125の期間(変換期間T2)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP2に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP2に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE2として出力する(図18A(J))。
(タイミングt131~t141の動作)
 次に、タイミングt131において、駆動部72は、制御信号STGLの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18A(E))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタTGLがオン状態になり、フォトダイオードPD1で発生した電荷がフローティングディフュージョンFDに転送される。また、このタイミングt131において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18A(H))。
 次に、タイミングt132において、駆動部72は、制御信号STGLの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18A(E))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタTGLがオフ状態になる。
 これにより、受光画素Pでは、図19Bに示したように、トランジスタFDGがオフ状態であるので、受光画素Pにおける変換キャパシタンスが小さいので、電荷から電圧への変換効率が高い。この変換キャパシタンスは、タイミングt131~t132においてフォトダイオードPD1から転送された電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP3)を出力する。
 次に、タイミングt133~t135の期間(変換期間T3)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP3に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP3に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE3として出力する(図18A(J))。このデジタルコードCODE3は、同じく変換効率が高い時(変換期間T2)に得られたデジタルコードCODE2に対応するものである。
(タイミングt141~t151の動作)
 次に、タイミングt141において、駆動部72は、制御信号SFDGの電圧を低レベルから高レベルに変化させるとともに制御信号STGLの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18A(D),(E))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFDG,TGLがともにオン状態になる。また、このタイミングt141において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18A(H))。次に、駆動部72は、タイミングt142において、制御信号STGLの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18A(E))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタTGLがオフ状態になる。
 これにより、受光画素Pでは、図19Aに示したように、トランジスタFDGがオン状態であるので、フローティングディフュージョンFDおよびトランジスタFDGが合成キャパシタンス(変換キャパシタンス)を構成する。よって、受光画素Pにおける変換キャパシタンスが大きいので、電荷から電圧への変換効率が低い。この変換キャパシタンスは、タイミングt131~t132,t141~t142においてフォトダイオードPD1から転送された電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP4)を出力する。
 次に、タイミングt143~t145の期間(変換期間T4)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP4に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP4に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE4として出力する(図18A(J))。このデジタルコードCODE4は、同じく変換効率が低い時(変換期間T1)に得られたデジタルコードCODE1に対応するものである。
(タイミングt151~t161の動作)
 次に、タイミングt151において、駆動部72は、制御信号SRSTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18B(C))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRSTがオン状態になる。トランジスタFDGはオン状態であるので、これにより、フローティングディフュージョンFDの電圧が電源電圧VDDHに設定され、フローティングディフュージョンFDがリセットされる。次に、タイミングt152において、駆動部72は、制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18B(C))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRSTがオフ状態になる。また、このタイミングt152において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18B(H))。
 次に、タイミングt153において、駆動部72は、制御信号SFCGの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18B(F))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFCGがオン状態になる。また、比較回路24は、タイミングt153~t154までの期間において、制御信号AZSWに基づいて動作点の設定を行う。
 次に、タイミングt154において、比較回路24は動作点の設定を終了する。また、このタイミングt154において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18A(H))。
 これにより、受光画素Pでは、図19Cに示したように、トランジスタFDG,FCG,SELはオン状態になり、その他のトランジスタは全てオフ状態になる。トランジスタFDG,FCGがともにオン状態であるので、フローティングディフュージョンFD、トランジスタFDG,FCG、およびキャパシタFCが合成キャパシタンス(変換キャパシタンス)を構成する。この変換キャパシタンスは、タイミングt153より前にフォトダイオードPD2で発生し、トランジスタTGSを介してキャパシタFCに供給され蓄積されていた電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP5)を出力する。
 次に、タイミングt155~t157の期間(変換期間T5)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP5に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP5に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE5として出力する(図18B(J))。
(タイミングt161~t171の動作)
 次に、タイミングt161において、駆動部72は、制御信号STGSの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18B(G))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタTGSがオン状態になる。これにより、フォトダイオードPD2で発生した電荷がフローティングディフュージョンFDおよびキャパシタFCに転送される。また、このタイミングt161において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18B(H))。
 次に、タイミングt162において、駆動部72は、制御信号STGSの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18B(G))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタTGSがオフ状態になる。
 これにより、受光画素Pでは、図19Cに示したように、トランジスタFDG,FCGがともにオン状態であるので、フローティングディフュージョンFD、トランジスタFDG,FCG、およびキャパシタFCが合成キャパシタンス(変換キャパシタンス)を構成する。この変換キャパシタンスは、タイミングt53より前にフォトダイオードPD2で発生し、トランジスタTGSを介してキャパシタFCに供給され蓄積されていた電荷に加え、タイミングt161~t162においてフォトダイオードPD2から転送された電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP6)を出力する。
 次に、タイミングt163~t165の期間(変換期間T6)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP6に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP6に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE6として出力する(図18B(J))。このデジタルコードCODE6は、フローティングディフュージョンFD、トランジスタFDG,FCG、およびキャパシタFCが合成キャパシタンスを構成するときに得られたデジタルコードCODE5に対応するものである。
(タイミングt171~t181の動作)
 次に、比較回路24は、タイミングt171~t172までの期間において、制御信号AZSWに基づいて動作点の設定を行う。
 次に、タイミングt172において、比較回路24は動作点の設定を終了し、正入力端子および負入力端子を電気的に切断する。また、このタイミングt72において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18B(H))。
 これにより、受光画素Pでは、図19Cに示したように、トランジスタFDG,FCGがともにオン状態であるので、フローティングディフュージョンFD、トランジスタFDG,FCG、およびキャパシタFCが合成キャパシタンス(変換キャパシタンス)を構成する。この変換キャパシタンスは、タイミングt153より前にフォトダイオードPD2で発生し、トランジスタTGSを介してキャパシタFCに供給され蓄積されていた電荷に加え、タイミングt161~t162においてフォトダイオードPD2から転送された電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP7)を出力する。
 次に、タイミングt173~t175の期間(変換期間T7)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP7に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP7に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE7として出力する(図18B(J))。
(タイミングt181~t191の動作)
 次に、タイミングt181において、駆動部72は、制御信号SRSTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18B(C))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRSTがオン状態になる。トランジスタFDG,FCGはオン状態であるので、フローティングディフュージョンFDの電圧およびキャパシタFCの電圧が電源電圧VDDHに設定され、フローティングディフュージョンFDおよびキャパシタFCがリセットされる。
 次に、タイミングt182において、駆動部72は、制御信号SFCGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18B(F))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFCGがオフ状態になる。
 次に、タイミングt183において、駆動部72は、制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18B(C))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタRSTがオフ状態になる。
 次に、タイミングt184において、駆動部72は、制御信号SFCGの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18B(F))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFCGがオン状態になる。また、このタイミングt184において、参照信号生成部16は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に変化させる(図18B(H))。
 これにより、受光画素Pでは、図19Cに示したように、トランジスタFDG,FCGがともにオン状態であるので、フローティングディフュージョンFD、トランジスタFDG,FCG、およびキャパシタFCが合成キャパシタンス(変換キャパシタンス)を構成する。この変換キャパシタンスは、タイミングt181~t182においてフローティングディフュージョンFDおよびキャパシタFCがリセットされたときの電荷を保持している。受光画素Pは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧VP(画素電圧VP8)を出力する。
 次に、タイミングt185~t187の期間(変換期間T8)において、AD変換部ADCは、この画素電圧VP8に基づいてAD変換を行う。この動作は、変換期間T1における動作と同様である。AD変換部ADCは、画素電圧VP8に基づいてAD変換を行い、AD変換部ADCのラッチ26は、カウンタ25のカウント値CNTを保持するとともに、保持したカウント値CNTをデジタルコードCODE8として出力する(図18B(J))。このデジタルコードCODE8は、フローティングディフュージョンFD、トランジスタFDG,FCG、およびキャパシタFCが合成容量を構成するときに得られたデジタルコードCODE7に対応するものである。
 次に、タイミングt191において、駆動部72は、制御信号SFDGの電圧を高レベルから低レベルに変化させるとともに、制御信号SFCGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18B(D),(F))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタFDG,FCGがオフ状態になる。
 そして、タイミングt192において、駆動部72は、制御信号SSELの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図18B(B))。これにより、受光画素Pでは、トランジスタSELがオフ状態になり、受光画素Pが信号線VSLから電気的に切り離される。
 次に、信号処理部77における画像合成処理について説明する。信号処理部77は、読出部20から供給されたデジタルコードCODEに基づいて、4枚の画像PIC(画像PIC1~PIC4)を生成する。そして、信号処理部77は、この4枚の画像PICを合成することにより、1枚の撮像画像PICAを生成する。
 図20は、画像合成処理を模式的に表すものである。図20(A)~(G)に示した波形は、図17(A)~(G)に示した波形と同様である。読出部20は、図17,18A,18Bを用いて説明したように、タイミングt111~t121の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE1を生成し、タイミングt121~t131の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE2を生成し、タイミングt131~t141の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE3を生成し、タイミングt141~t151の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE4を生成し、タイミングt151~t161の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE5を生成し、タイミングt161~t171の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE6を生成し、タイミングt171~t181の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE7を生成し、タイミングt181~t191の期間における動作に基づいてデジタルコードCODE8を生成する。
 信号処理部77は、デジタルコードCODE2およびデジタルコードCODE3に基づいて、画素値VAL1を生成する。具体的には、信号処理部77は、デジタルコードCODE3からデジタルコードCODE2を減算(CODE3-CODE2)することにより、画素値VAL1を算出する。すなわち、撮像装置2は、相関2重サンプリングの原理を利用し、P相(Pre-Charge相)データに対応するデジタルコードCODE2、およびD相(Data相)データに対応するデジタルコードCODE3を用いて、画素値VAL1を算出する。
 同様に、信号処理部77は、デジタルコードCODE1およびデジタルコードCODE4に基づいて、画素値VAL2を生成する。具体的には、信号処理部77は、デジタルコードCODE4からデジタルコードCODE1を減算(CODE4-CODE1)することにより、画素値VAL2を算出する。すなわち、撮像装置2は、相関2重サンプリングの原理を利用し、P相データに対応するデジタルコードCODE1、およびD相データに対応するデジタルコードCODE4を用いて、画素値VAL2を算出する。
 同様に、信号処理部77は、デジタルコードCODE5およびデジタルコードCODE6に基づいて、画素値VAL3を生成する。具体的には、信号処理部77は、デジタルコードCODE6からデジタルコードCODE5を減算(CODE6-CODE5)することにより、画素値VAL3を算出する。すなわち、撮像装置2は、相関2重サンプリングの原理を利用し、P相データに対応するデジタルコードCODE5、およびD相データに対応するデジタルコードCODE6を用いて、画素値VAL3を算出する。
 そして、信号処理部77は、デジタルコードCODE7およびデジタルコードCODE8に基づいて、画素値VAL4を生成する。具体的には、信号処理部77はデジタルコードCODE7からデジタルコードCODE8を減算(CODE7-CODE8)することにより、画素値VAL4を算出する。すなわち、撮像装置2は、いわゆる2重データサンプリング(DDS;Double Data Sampling)の原理を利用し、フローティングディフュージョンFDおよびキャパシタFCをリセットする前のデジタルコードCODE7、およびフローティングディフュージョンFDおよびキャパシタFCをリセットした後のデジタルコードCODE8を用いて、画素値VAL4を算出する。
 そして、信号処理部77は、画素アレイ71における全ての受光画素Pでの画素値VAL1に基づいて画像PIC1を生成し、画素アレイ71における全ての受光画素Pでの画素値VAL2に基づいて画像PIC2を生成し、画素アレイ71における全ての受光画素Pでの画素値VAL3に基づいて画像PIC3を生成し、画素アレイ71における全ての受光画素Pでの画素値VAL4に基づいて画像PIC4を生成する。そして、信号処理部77は、これらの画像PIC1~PIC4を合成することにより、撮像画像PICAを生成する。
 撮像装置2では、図20に示したように、読出部20がデジタルコードCODE2,CODE3を出力し、信号処理部77が、デジタルコードCODE3からデジタルコードCODE2を減算(CODE3-CODE2)することにより、画素値VAL1を算出したが、これに限定されるものではない。これに代えて、読出部20が、上記第1の実施の形態に係る撮像装置1の場合(図9)と同様に、変換期間T2の後にカウント値の極性を反転することにより、デジタルコードCODE2,CODE3の差に対応するデジタルコードCODEを出力してもよい。デジタルコードCODE5,CODE6についても同様であり、デジタルコードCODE7,CODE8についても同様である。
 また、例えば、撮像装置2では、図20に示したように、読出部20がデジタルコードCODE1,CODE4を出力し、信号処理部77が、デジタルコードCODE4からデジタルコードCODE1を減算(CODE4-CODE1)することにより、画素値VAL2を算出したが、これに限定されるものではない。これに代えて、読出部20のAD変換部ADCが、変換期間T1の後に、そのときのカウント値を一旦内部に記憶しておき、変換期間T4の前に、その記憶したカウント値をカウンタ25にセットするとともにそのカウント値の極性を反転してもよい。この場合でも、信号処理部77は、デジタルコードCODE1,CODE4の差に対応するデジタルコードCODEを得ることができる。
(ノイズ補正部90の動作について)
 キャパシタCext1は、撮像装置2の外部に設けられているので、電圧VRLにはノイズが重畳されやすい。駆動部72のドライバ部82は、この電圧VRLを低レベル電圧として用いることにより、制御信号STGL,SFDG,SRST,SFCG,STSG,SSELを生成する。よって、例えば、制御信号STGLが低レベルである場合には、この制御信号STGLにノイズが重畳される。制御信号SFDG,SRST,SFCG,STSG,SSELについても同様である。
 よって、例えば、画素信号SIGには、上記第1の実施の形態の場合と同様に、電圧VRLのノイズに応じたノイズが重畳される。具体的には、例えば、読出駆動D2の対象である受光画素Pでは、電圧VRLのノイズが、トランジスタTGL,FDGを介して、トランジスタAMPのゲートに伝わる。よって、この受光画素Pは、ノイズが重畳された画素信号SIGを出力する。また、読出駆動D2の対象ではない受光画素Pでは、電圧VRLのノイズが、オフ状態であるトランジスタSELを介してトランジスタSELのソースに伝わる。よって、この受光画素Pは、読出駆動D2の対象である受光画素Pが生成した画素信号SIGにノイズを重畳させる。
 ノイズ補正部90のハイパスフィルタ94、調節回路95、および電流源96は、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、このノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。
 このノイズ補正信号の振幅および位相は、画素信号SIGに重畳された電圧VRLに係るノイズの振幅および位相とほぼ同じになるようにあらかじめ調節される。この例では、ノイズ補正信号の振幅および位相は、図17(K)に示したように、タイミングt111~t121の期間では調節パラメータSAにより調節され、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSBにより調節され、タイミングt141~t151の期間では調節パラメータSAにより調節され、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSCにより調節され、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSDにより調節される。すなわち、タイミングt111~t121,t141~t151の期間と、タイミングt121~t141の期間と、タイミングt151~t171の期間と、タイミングt171~t191の期間とでは、端子TVRLから信号線VSLへの伝達関数が異なるので、タイミングt111~t121,t141~t151の期間では調節パラメータSAを用い、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSBを用い、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSCを用い、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSDを用いている。調節パラメータSA~SDは、撮像制御部78から供給される。
 また、キャパシタCext2は、撮像装置2の外部に設けられているので、電圧VRHにはノイズが重畳されやすい。ドライバ83は、電圧VRHを制御信号SFCVDDとして出力する。よって、制御信号SFCVDDにはノイズが重畳される。
 よって、例えば、画素信号SIGには、電圧VRHのノイズに応じたノイズが重畳される。具体的には、例えば、読出駆動D2の対象である受光画素Pでは、電圧VRHのノイズが、キャパシタFC、オン状態であるトランジスタFCG、およびオン状態であるトランジスタFDGを介して、トランジスタAMPのゲートに伝わる。よって、この受光画素Pは、ノイズが重畳された画素信号SIGを出力する。
 ノイズ補正部90のハイパスフィルタ91、調節回路92、および電流源93は、電圧VRHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、このノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。
 このノイズ補正信号の振幅および位相は、画素信号SIGに重畳された電圧VRHに係るノイズの振幅および位相とほぼ同じになるようにあらかじめ調節される。この例では、ノイズ補正信号の振幅および位相は、図17(L)に示したように、タイミングt111~t121の期間では調節パラメータSEにより調節され、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSFにより調節され、タイミングt141~t151の期間では調節パラメータSEにより調節され、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSGにより調節され、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSHにより調節される。すなわち、タイミングt111~t121,t141~t151の期間と、タイミングt121~t141の期間と、タイミングt151~t171の期間と、タイミングt171~t191の期間とでは、端子TVRHから信号線VSLへの伝達関数が異なるので、タイミングt111~t121,t141~t151の期間では調節パラメータSEを用い、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSFを用い、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSGを用い、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSHを用いている。調節パラメータSE~SHは、撮像制御部78から供給される。
 電圧VRL、VRHに係るノイズが重畳された画像信号SIGは、キャパシタ22を介して比較回路24に供給される。同様に、ノイズ補正部90によりこれらのノイズ補正信号が重畳された参照信号RAMPは、キャパシタ23を介して比較回路24に供給される。比較回路24は、供給された2つの信号の差分に基づいて動作するので、比較回路24が生成する信号CPへのノイズの影響は抑えられる。その結果、撮像装置2では、電圧VRL,VRHのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
 このように、撮像装置2では、キャパシタCext2に接続される端子TVRHと、端子TVRHにおける電圧を生成可能なバイアス回路74とを備えるようにした。駆動部72は、端子TVRLにおける電圧、および端子TVRHにおける電圧に基づいて受光画素Pを駆動するようにした。ノイズ補正部90は、端子TVRLにおける電圧、および端子TVRHにおける電圧に基づいてノイズ補正信号を生成するようにした。これにより、例えば、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、互いに同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳されるので、電圧VRL,VRHのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
[変形例2]
 上記実施の形態では、図16に示したように、ノイズ補正部90は、2つのハイパスフィルタ91,94と、2つの調節回路92,95と、2つの電流源93,96とを有するようにしたが、これに限定されるものではない。以下に、いくつか例を挙げて詳細に説明する。
 図21は、本変形例に係る撮像装置2Aの一構成例を表すものである。撮像装置2Aは、ノイズ補正部75Aを有している。ノイズ補正部75Aは、ノイズ補正部90Aを有している。ノイズ補正部90Aは、ハイパスフィルタ91,94と、スイッチ97と、調節回路92と、電流源93とを有している。ハイパスフィルタ91は、電圧VRHに重畳された、交流成分であるノイズ信号をスイッチ97に供給するように構成される。ハイパスフィルタ94は、電圧VRLに重畳された、交流成分であるノイズ信号をスイッチ97に供給するように構成される。スイッチ97は、撮像制御部78A(後述)からの指示に基づいて、ハイパスフィルタ91から供給されたノイズ信号、およびハイパスフィルタ94から供給されたノイズ信号のうちの一方を調節回路92に供給するように構成される。調節回路92は、撮像制御部78Aからの指示に基づいて、スイッチ97から供給されたノイズ信号の振幅や位相を調節するように構成される。電流源93は、調節回路92により調節されたノイズ信号を電流信号に変換するように構成される。
 図22は、ノイズ補正部90Aの一構成例を表すものである。図22には、ノイズ補正部90Aに加え、参照信号生成部16、読出部20、および撮像制御部78Aをも描いている。ノイズ補正部90Aは、キャパシタC4,C5と、スイッチSW2と、キャパシタC6,C7と、スイッチSW3とを有している。キャパシタC4は、図21に示したハイパスフィルタ91に対応する。キャパシタC5は、図21に示したハイパスフィルタ94に対応する。スイッチSW2は、スイッチ97に対応する。抵抗素子R1、トランジスタMN1、電流源CS1、スイッチSW1、抵抗素子R2、トランジスタMN2、電流源CS2、キャパシタC2、トランジスタMP1、キャパシタC6,C7、およびスイッチSW3は、図21に示した調節回路92に対応する。トランジスタMP2は、図21に示した電流源93に対応する。
 キャパシタC4の一端には電圧VRHが供給され、他端はスイッチSW2に接続される。キャパシタC5の一端には電圧VRLが供給され、他端はスイッチSW2に接続される。スイッチSW2は、撮像制御部78Aからの指示基づいて、キャパシタC4の他端およびキャパシタC5の他端のうちの一方をトランジスタMN2のゲートおよびスイッチSW1に接続するように構成される。キャパシタC6の一端には電圧VRHが供給され、他端はスイッチSW3に接続される。キャパシタC7の一端には電圧VRLが供給され、他端はスイッチSW3に接続される。キャパシタC6,C7は、撮像制御部78Aからの指示に基づいて容量値を変化させることができるようになっている。スイッチSW3は、撮像制御部78Aからの指示基づいて、キャパシタC6の他端およびキャパシタC7の他端のうちの一方をトランジスタMP2のドレインに接続するように構成される。
 ここで、ハイパスフィルタ94は、本開示の一実施の形態における「第1のハイパスフィルタ」の一具体例に対応する。ハイパスフィルタ91は、本開示の一実施の形態における「第2のハイパスフィルタ」の一具体例に対応する。スイッチ97は、本開示の一実施の形態における「スイッチ」の一具体例に対応する。調節回路92、電流源93、および抵抗素子63は、本開示の一実施の形態における「生成回路」の一具体例に対応する。
 図23は、撮像装置2Aの一動作例を表すものであり、(A)は水平同期信号XHSの波形を示し、(B)は制御信号SSELの波形を示し、(C)は制御信号SRSTの波形を示し、(D)は制御信号SFDGの波形を示し、(E)は制御信号STGLの波形を示し、(F)は制御信号SFCGの波形を示し、(G)は制御信号STGSの波形を示し、(H)は参照信号RAMPの波形を示し、(I)は画素信号SIGの波形を示し、(J)はカウンタ25の動作を示し、(K)はノイズ補正部90Aにおける調節パラメータを示し、(L)はノイズ補正部90Aにおける補正対象である電圧を示す。図23(A)~(J)は、上記実施の形態の場合(図17,18A,18B)と同様である。
 例えば、タイミングt111~t151の期間(図23)では、画素信号SIGには、上記第1の実施の形態の場合と同様に、電圧VRLのノイズに応じたノイズが重畳される。具体的には、例えば、読出駆動D2の対象である受光画素Pでは、電圧VRLのノイズが、トランジスタTGL,FDGを介して、トランジスタAMPのゲートに伝わる。よって、この受光画素Pは、ノイズが重畳された画素信号SIGを出力する。また、読出駆動D2の対象ではない受光画素Pでは、電圧VRLのノイズが、オフ状態であるトランジスタSELを介してトランジスタSELのソースに伝わる。よって、この受光画素Pは、読出駆動D2の対象である受光画素Pが生成した画素信号SIGにノイズを重畳させる。
 図23(L)に示したように、タイミングt111~t151の期間では、ノイズ補正部90Aは、電圧VRLを補正対象電圧とする。具体的には、この期間において、スイッチSW2は、キャパシタC5の他端をトランジスタMN2のゲートおよびスイッチSW1に接続し、スイッチSW3は、キャパシタC7の他端をトランジスタMP2のドレインに接続する。ノイズ補正部90Aは、この期間において、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、このノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。この期間では、ノイズ補正部90Aは、電圧VRHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号は生成しない。
 このノイズ補正信号の振幅および位相は、画素信号SIGに重畳された電圧VRLに係るノイズの振幅および位相とほぼ同じになるようにあらかじめ調節される。この例では、ノイズ補正信号の振幅および位相は、図23(K)に示したように、タイミングt111~t121の期間では調節パラメータSIにより調節され、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSJにより調節され、タイミングt141~t151の期間では調節パラメータSIにより調節される。すなわち、タイミングt111~t121,t141~t151の期間と、タイミングt121~t141の期間とでは、端子TVRLから信号線VSLへの伝達関数が異なるので、タイミングt111~t121,t141~t151の期間では調節パラメータSIを用い、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSJを用いている。調節パラメータSI,SJは、撮像制御部78Aから供給される。
 これにより、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、タイミングt111~t151の期間において、互いに同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳される。比較回路24は、供給された2つの信号の差分に基づいて動作するので、比較回路24が生成する信号CPへのノイズの影響は抑えられる。その結果、撮像装置2Aでは、電圧VRLのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
 また、例えば、タイミングt151~t191の期間(図23)では、画素信号SIGには、電圧VRHのノイズに応じたノイズが重畳される。具体的には、例えば、読出駆動D2の対象である受光画素Pでは、電圧VRHのノイズが、キャパシタFC、オン状態であるトランジスタFCG、およびオン状態であるトランジスタFDGを介して、トランジスタAMPのゲートに伝わる。よって、この受光画素Pは、ノイズが重畳された画素信号SIGを出力する。
 図23(L)に示したように、タイミングt151~t191の期間では、ノイズ補正部90Aは、電圧VRHを補正対象電圧とする。具体的には、この期間において、スイッチSW2は、キャパシタC4の他端をトランジスタMN2のゲートおよびスイッチSW1に接続し、スイッチSW3は、キャパシタC6の他端をトランジスタMP2のドレインに接続する。ノイズ補正部90Aは、この期間において、電圧VRHに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号を生成し、このノイズ補正信号を、参照信号生成部16が生成した参照信号RAMPに重畳させる。この期間では、ノイズ補正部90Aは、電圧VRLに重畳されたノイズに応じたノイズ補正信号は生成しない。
 このノイズ補正信号の振幅および位相は、画素信号SIGに重畳された電圧VRHに係るノイズの振幅および位相とほぼ同じになるようにあらかじめ調節される。この例では、ノイズ補正信号の振幅および位相は、図23(K)に示したように、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSKにより調節され、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSLにより調節される。すなわち、タイミングt151~t171の期間と、タイミングt171~t191の期間とでは、端子TVRHから信号線VSLへの伝達関数が異なるので、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSKを用い、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSLを用いている。調節パラメータSK,SLは、撮像制御部78Aから供給される。
 これにより、比較回路24に供給される画素信号SIGおよび参照信号RAMPには、タイミングt151~t191の期間において、互いに同相のノイズおよびノイズ補正信号がそれぞれ重畳される。比較回路24は、供給された2つの信号の差分に基づいて動作するので、比較回路24が生成する信号CPへのノイズの影響は抑えられる。その結果、撮像装置2Aでは、電圧VRHのノイズの、撮像画像への影響を抑えることができる。
 図24は、本変形例に係る他の撮像装置2Bの一構成例を表すものである。撮像装置2Bは、ノイズ補正部75Bを有している。ノイズ補正部75Bは、ノイズ補正部90Bを有している。ノイズ補正部90Bは、スイッチ98と、ハイパスフィルタ91と、調節回路92と、電流源93とを有している。スイッチ98は、撮像制御部78Bからの指示に基づいて、電圧VRHおよび電圧VRLのうちの一方をハイパスフィルタ91に供給するように構成される。ハイパスフィルタ91は、スイッチ98から供給された電圧VRH,VRLの一方に重畳された、交流成分であるノイズ信号を調節回路92に供給するように構成される。調節回路92は、撮像制御部78Bからの指示に基づいて、スイッチ97から供給されたノイズ信号の振幅や位相を調節するように構成される。電流源93は、調節回路92により調節されたノイズ信号を電流信号に変換するように構成される。
 図25は、ノイズ補正部90Bの一構成例を表すものである。図25には、ノイズ補正部90Bに加え、参照信号生成部16、読出部20、および撮像制御部78Bをも描いている。ノイズ補正部90Bは、スイッチSW4を有している。スイッチSW4は、図24に示したスイッチ98に対応する。スイッチSW4は、撮像制御部78Bからの指示基づいて、電圧VRHおよび電圧VRLのうちの一方をキャパシタC1,C3に供給するように構成される。
 ここで、スイッチ98は、本開示の一実施の形態における「スイッチ」の一具体例に対応する。ハイパスフィルタ91は、本開示の一実施の形態における「ハイパスフィルタ」の一具体例に対応する。調節回路92、電流源93、および抵抗素子63は、本開示の一実施の形態における「生成回路」の一具体例に対応する。
 この撮像装置2Bの動作は、撮像装置2Aの場合(図23)と同様である。
 図23(L)に示したように、タイミングt111~t151の期間では、ノイズ補正部90Bは、電圧VRLを補正対象電圧とする。具体的には、この期間において、スイッチSW4は、電圧VRLをキャパシタC1,C3に供給する。ノイズ補正信号の振幅および位相は、図23(K)に示したように、タイミングt111~t121の期間では調節パラメータSIにより調節され、タイミングt121~t141の期間では調節パラメータSJにより調節され、タイミングt141~t151の期間では調節パラメータSIにより調節される。
 また、タイミングt151~t191の期間では、ノイズ補正部90Bは、電圧VRHを補正対象電圧とする。具体的には、この期間において、スイッチSW4は、電圧VRHをキャパシタC1,C3に供給する。ノイズ補正信号の振幅および位相は、タイミングt151~t171の期間では調節パラメータSKにより調節され、タイミングt171~t191の期間では調節パラメータSLにより調節される。
<3.移動体への応用例>
 本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
 図26は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
 車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図26に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
 駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
 ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
 車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
 撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
 車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
 マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
 音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図26の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
 図27は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
 図27では、車両12100は、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
 撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。撮像部12101及び12105で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
 なお、図27には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
 以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。車両に搭載される撮像装置では、ノイズの影響を抑えることができるので、撮像画像の画質を高めることができる。その結果、車両制御システム12000では、車両の衝突回避あるいは衝突緩和機能、車間距離に基づく追従走行機能、車速維持走行機能、車両の衝突警告機能、車両のレーン逸脱警告機能等を、高い精度で実現できる。
 以上、実施の形態および変形例、ならびにそれらの具体的な応用例を挙げて本技術を説明したが、本技術はこれらの実施の形態等には限定されず、種々の変形が可能である。
 例えば、上記の実施の形態では、本技術を撮像装置に適用したが、これに限定されるものではなく、光を検出する様々な装置に本技術を適用することができる。図28は、本技術を適用した測距装置3の一構成例を表すものである。測距装置3は、インダイレクト方式のToF(Time-of-Flight)センサであり、計測対象物OBJまでの距離を計測するように構成される。測距装置3は、発光部101と、光学系102と、光検出部103と、制御部104とを備えている。
 発光部101は、制御部104からの指示に基づいて、計測対象物OBJに向かって光パルスL0を射出するように構成される。発光部101は、制御部104からの指示に基づいて、発光および非発光を交互に繰り返す発光動作を行うことにより光パルスL0を射出するようになっている。発光部101は、例えば赤外光を射出する光源を有する。この光源は、例えば、レーザ光源やLED(Light Emitting Diode)などを用いて構成される。
 光学系102は、光検出部103の受光面Sにおいて像を結像させるレンズを含んで構成される。この光学系102には、発光部101から射出され、計測対象物OBJにより反射された光パルス(反射光パルスL1)が入射するようになっている。
 光検出部103は、制御部104からの指示に基づいて、光を検出することにより距離画像を生成するように構成される。距離画像に含まれる複数の画素値のそれぞれは、計測対象物OBJまでの距離についての値を示す。そして、光検出部103は、生成した距離画像を画像データDT2として出力するようになっている。
 制御部104は、発光部101および光検出部103に制御信号を供給し、これらの動作を制御することにより、測距装置3の動作を制御するように構成される。
 このような測距装置3においても、本技術を適用することができる。本技術を適用することにより、測距装置3では、測距精度を高めることができる。
 なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
 なお、本技術は以下のような構成とすることができる。以下の構成の本技術によれば、ノイズの影響を抑えることができる。
(1)
 受光量に応じた画素電圧を含む画素信号を生成可能な受光画素と、
 第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子と、
 前記第1の接続端子における電圧を生成可能な第1の電圧生成回路と、
 前記第1の接続端子における電圧に基づいて前記受光画素を駆動可能な駆動回路と、
 ランプ波形を有する参照信号を生成可能な参照信号生成回路と、
 前記第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、前記ノイズ補正信号を前記参照信号に重畳可能なノイズ補正回路と、
 前記画素信号と、前記ノイズ補正信号が重畳された前記参照信号とを比較可能な比較回路と、
 前記比較回路の比較結果に基づいて画素値を算出可能な処理回路と
 を備えた撮像装置。
(2)
 第2の外部キャパシタに接続される第2の接続端子と、
 前記第2の接続端子における電圧を生成可能な第2の電圧生成回路と
 を備え、
 前記駆動回路は、前記第1の接続端子における電圧、および前記第2の接続端子における電圧に基づいて前記受光画素を駆動可能であり、
 前記ノイズ補正回路は、前記第1の接続端子における電圧、および前記第2の接続端子における電圧に基づいて前記ノイズ補正信号を生成可能である
 前記(1)に記載の撮像装置。
(3)
 前記ノイズ補正回路は、前記第1の接続端子における電圧、および前記第2の接続端子における電圧のうちの一方または双方に応じた前記ノイズ補正信号を生成可能である
 前記(2)に記載の撮像装置。
(4)
 前記ノイズ補正回路の動作を制御可能な制御回路をさらに備え、
 前記ノイズ補正回路は、前記制御回路から供給された調節パラメータに基づいて前記ノイズ補正信号を調節可能である
 前記(1)から(3)のいずれかに記載の撮像装置。
(5)
 前記調節パラメータは、前記ノイズ補正信号の振幅、および前記ノイズ補正信号の位相のうちの一方または双方を調節可能である
 前記(4)に記載の撮像装置。
(6)
 前記受光画素は、所定の期間において、前記画素信号を出力可能であり、
 前記ノイズ補正回路は、
 前記所定の期間の期間内における第1の期間において、前記第1の接続端子における電圧に応じた前記ノイズ補正信号を生成可能であり、
 前記所定の期間の期間内における第2の期間において、前記第2の接続端子における電圧に応じた前記ノイズ補正信号を生成可能である
 前記(3)に記載の撮像装置。
(7)
 前記ノイズ補正回路の動作を制御可能な制御回路をさらに備え、
 前記ノイズ補正回路は、前記制御回路から供給された調節パラメータに基づいて前記ノイズ補正信号を調節可能であり、
 前記制御回路は、
 前記第1の期間において、前記調節パラメータを第1の調節パラメータに設定可能であり、
 前記第2の期間において、前記調節パラメータを第2の調節パラメータに設定可能である
 前記(6)に記載の撮像装置。
(8)
 前記第1の期間は、第1のサブ期間と、第2のサブ期間とを含み、
 前記第1の調節パラメータは、第1のパラメータと、第2のパラメータとを含み、
 前記制御回路は、
 前記第1のサブ期間において、前記調節パラメータを前記第1のパラメータに設定可能であり、
 前記第2のサブ期間において、前記調節パラメータを前記第2のパラメータに設定可能である
 前記(7)に記載の撮像装置。
(9)
 前記ノイズ補正回路は、
 前記第1の接続端子における電圧に重畳された第1のノイズ信号を抽出する第1のハイパスフィルタと、
 前記第2の接続端子における電圧に重畳された第2のノイズ信号を抽出する第2のハイパスフィルタと、
 前記第1のノイズ信号および前記第2のノイズ信号のうちの一方を選択するスイッチと、
 前記スイッチにより選択されたノイズ信号に基づいて前記ノイズ補正信号を生成する生成回路と
 を有する
 前記(3)に記載の撮像装置。
(10)
 前記ノイズ補正回路は、
 前記第1の接続端子における電圧および前記第2の接続端子における電圧のうちの一方を選択するスイッチと、
 前記スイッチにより選択された電圧に重畳されたノイズ信号を抽出するハイパスフィルタと、
 前記ノイズ信号に基づいて前記ノイズ補正信号を生成する生成回路と
 を有する
 前記(3)に記載の撮像装置。
(11)
 前記第1の電圧生成回路は、電源電圧と接地電圧の間の電圧範囲の範囲外の電圧を生成可能なチャージポンプを含む
 前記(1)から(11)のいずれかに記載の撮像装置。
(12)
 前記第1の電圧生成回路は、電源電圧と接地電圧の間の電圧範囲の範囲内の電圧を生成可能なバイアス回路を含む
 前記(1)から(11)のいずれかに記載の撮像装置。
(13)
 受光量に応じた電圧を含む検出信号を生成可能な受光回路と、
 第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子と、
 前記第1の接続端子における電圧を生成可能な第1の電圧生成回路と、
 前記第1の接続端子における電圧に基づいて前記受光回路を駆動可能な駆動回路と、
 ランプ波形を有する参照信号を生成可能な参照信号生成回路と、
 前記第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、前記ノイズ補正信号を前記参照信号に重畳可能なノイズ補正回路と、
 前記検出信号と、前記ノイズ補正信号が重畳された前記参照信号とを比較可能な比較回路と、
 前記比較回路の比較結果に基づいて検出値を算出可能な処理回路と
 を備えた光検出装置。
 本出願は、日本国特許庁において2022年7月11日に出願された日本特許出願番号2022-111406号を基礎として優先権を主張するものであり、この出願のすべての内容を参照によって本出願に援用する。
 当業者であれば、設計上の要件や他の要因に応じて、種々の修正、コンビネーション、サブコンビネーション、および変更を想到し得るが、それらは添付の請求の範囲やその均等物の範囲に含まれるものであることが理解される。

Claims (13)

  1.  受光量に応じた画素電圧を含む画素信号を生成可能な受光画素と、
     第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子と、
     前記第1の接続端子における電圧を生成可能な第1の電圧生成回路と、
     前記第1の接続端子における電圧に基づいて前記受光画素を駆動可能な駆動回路と、
     ランプ波形を有する参照信号を生成可能な参照信号生成回路と、
     前記第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、前記ノイズ補正信号を前記参照信号に重畳可能なノイズ補正回路と、
     前記画素信号と、前記ノイズ補正信号が重畳された前記参照信号とを比較可能な比較回路と、
     前記比較回路の比較結果に基づいて画素値を算出可能な処理回路と
     を備えた撮像装置。
  2.  第2の外部キャパシタに接続される第2の接続端子と、
     前記第2の接続端子における電圧を生成可能な第2の電圧生成回路と
     を備え、
     前記駆動回路は、前記第1の接続端子における電圧、および前記第2の接続端子における電圧に基づいて前記受光画素を駆動可能であり、
     前記ノイズ補正回路は、前記第1の接続端子における電圧、および前記第2の接続端子における電圧に基づいて前記ノイズ補正信号を生成可能である
     請求項1に記載の撮像装置。
  3.  前記ノイズ補正回路は、前記第1の接続端子における電圧、および前記第2の接続端子における電圧のうちの一方または双方に応じた前記ノイズ補正信号を生成可能である
     請求項2に記載の撮像装置。
  4.  前記ノイズ補正回路の動作を制御可能な制御回路をさらに備え、
     前記ノイズ補正回路は、前記制御回路から供給された調節パラメータに基づいて前記ノイズ補正信号を調節可能である
     請求項1に記載の撮像装置。
  5.  前記調節パラメータは、前記ノイズ補正信号の振幅、および前記ノイズ補正信号の位相のうちの一方または双方を調節可能である
     請求項4に記載の撮像装置。
  6.  前記受光画素は、所定の期間において、前記画素信号を出力可能であり、
     前記ノイズ補正回路は、
     前記所定の期間の期間内における第1の期間において、前記第1の接続端子における電圧に応じた前記ノイズ補正信号を生成可能であり、
     前記所定の期間の期間内における第2の期間において、前記第2の接続端子における電圧に応じた前記ノイズ補正信号を生成可能である
     請求項3に記載の撮像装置。
  7.  前記ノイズ補正回路の動作を制御可能な制御回路をさらに備え、
     前記ノイズ補正回路は、前記制御回路から供給された調節パラメータに基づいて前記ノイズ補正信号を調節可能であり、
     前記制御回路は、
     前記第1の期間において、前記調節パラメータを第1の調節パラメータに設定可能であり、
     前記第2の期間において、前記調節パラメータを第2の調節パラメータに設定可能である
     請求項6に記載の撮像装置。
  8.  前記第1の期間は、第1のサブ期間と、第2のサブ期間とを含み、
     前記第1の調節パラメータは、第1のパラメータと、第2のパラメータとを含み、
     前記制御回路は、
     前記第1のサブ期間において、前記調節パラメータを前記第1のパラメータに設定可能であり、
     前記第2のサブ期間において、前記調節パラメータを前記第2のパラメータに設定可能である
     請求項7に記載の撮像装置。
  9.  前記ノイズ補正回路は、
     前記第1の接続端子における電圧に重畳された第1のノイズ信号を抽出する第1のハイパスフィルタと、
     前記第2の接続端子における電圧に重畳された第2のノイズ信号を抽出する第2のハイパスフィルタと、
     前記第1のノイズ信号および前記第2のノイズ信号のうちの一方を選択するスイッチと、
     前記スイッチにより選択されたノイズ信号に基づいて前記ノイズ補正信号を生成する生成回路と
     を有する
     請求項3に記載の撮像装置。
  10.  前記ノイズ補正回路は、
     前記第1の接続端子における電圧および前記第2の接続端子における電圧のうちの一方を選択するスイッチと、
     前記スイッチにより選択された電圧に重畳されたノイズ信号を抽出するハイパスフィルタと、
     前記ノイズ信号に基づいて前記ノイズ補正信号を生成する生成回路と
     を有する
     請求項3に記載の撮像装置。
  11.  前記第1の電圧生成回路は、電源電圧と接地電圧の間の電圧範囲の範囲外の電圧を生成可能なチャージポンプを含む
     請求項1に記載の撮像装置。
  12.  前記第1の電圧生成回路は、電源電圧と接地電圧の間の電圧範囲の範囲内の電圧を生成可能なバイアス回路を含む
     請求項1に記載の撮像装置。
  13.  受光量に応じた電圧を含む検出信号を生成可能な受光回路と、
     第1の外部キャパシタに接続される第1の接続端子と、
     前記第1の接続端子における電圧を生成可能な第1の電圧生成回路と、
     前記第1の接続端子における電圧に基づいて前記受光回路を駆動可能な駆動回路と、
     ランプ波形を有する参照信号を生成可能な参照信号生成回路と、
     前記第1の接続端子における電圧に応じたノイズ補正信号を生成可能であり、前記ノイズ補正信号を前記参照信号に重畳可能なノイズ補正回路と、
     前記検出信号と、前記ノイズ補正信号が重畳された前記参照信号とを比較可能な比較回路と、
     前記比較回路の比較結果に基づいて検出値を算出可能な処理回路と
     を備えた光検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05347519A (ja) * 1991-12-31 1993-12-27 Texas Instr Inc <Ti> 演算増幅器
JP2020025249A (ja) * 2018-07-30 2020-02-13 ブリルニクス インク 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、および電子機器
WO2020054629A1 (ja) * 2018-09-13 2020-03-19 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子及び電子機器
JP2021093697A (ja) * 2019-12-12 2021-06-17 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子、及び電子機器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017159394A1 (ja) * 2016-03-17 2017-09-21 ソニー株式会社 撮像素子および電子機器
JP2021082901A (ja) * 2019-11-15 2021-05-27 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像素子および撮像装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05347519A (ja) * 1991-12-31 1993-12-27 Texas Instr Inc <Ti> 演算増幅器
JP2020025249A (ja) * 2018-07-30 2020-02-13 ブリルニクス インク 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、および電子機器
WO2020054629A1 (ja) * 2018-09-13 2020-03-19 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子及び電子機器
JP2021093697A (ja) * 2019-12-12 2021-06-17 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子、及び電子機器

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