WO2021024389A1 - 導波管回路、及び導波管回路の製造方法 - Google Patents

導波管回路、及び導波管回路の製造方法 Download PDF

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WO2021024389A1
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waveguide
tube
hollow waveguide
wall
opening
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English (en)
French (fr)
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優 牛嶋
秀憲 湯川
素実 渡辺
亨 岡垣
Original Assignee
三菱電機株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/02—Bends; Corners; Twists
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type

Definitions

  • the present invention relates to a waveguide circuit.
  • the laminated molding technology that uses resin materials and metal materials and forms shapes while stacking the materials has been rapidly advancing, and the laminated molded parts are expected to be applied in various fields.
  • utilization of the technology is expected in the field of microwave or millimeter wave high frequency circuit technology.
  • a complicated waveguide circuit composed of a plurality of hollow waveguides has been manufactured by laminating a plurality of layers or combining a plurality of components, but a metal 3D printer having a laminating molding technology By using, it is possible to integrally manufacture a complicated waveguide circuit without dividing it.
  • the waveguide circuit manufactured by the metal 3D printer has a rough surface on the tube wall, and the loss of the propagation signal is large compared to the cut product. Therefore, a liquid abrasive is flowed through the hollow waveguide to polish the inner surface, thereby suppressing the loss of the propagation signal.
  • a hole is provided in the tube wall of the hollow waveguide.
  • the hollow waveguide connecting portion that connects the hollow waveguides has a corner or a three-pronged path inside, so that the abrasive that has flowed linearly collides with the tube wall in these portions. , The flow of the abrasive will change. As a result, in the waveguide circuit, the flow of the abrasive differs depending on the location, so that there is a problem that uneven polishing occurs on the tube wall after polishing, which affects the electrical characteristics.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a technique for suppressing uneven polishing caused by a change in the flow of an abrasive in a hollow waveguide connection portion. And.
  • the waveguide circuit according to the present invention has a first hollow waveguide section having a first tube axis and a second hollow waveguide having a second tube axis in a direction different from the first tube axis.
  • FIG. 3A is a side view showing a first tube wall and a first opening of the waveguide circuit according to the first embodiment.
  • 3B, 3C, and 3D are side views showing a modified example of the first opening, respectively.
  • FIG. 3A shows the example of the installation method of the pillar part in the waveguide circuit which concerns on Embodiment 1.
  • FIG. The reflection loss characteristic which is the analysis result of the electromagnetic field analysis for the waveguide circuit which concerns on Embodiment 1 is shown.
  • the passage loss characteristic which is the analysis result of the electromagnetic field analysis for the waveguide circuit which concerns on Embodiment 1 is shown. It is sectional drawing which shows the structure of the waveguide circuit which concerns on 1st modification of Embodiment 1. FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the waveguide circuit which concerns on the 2nd modification of Embodiment 1. FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the waveguide circuit which concerns on Embodiment 2. It is sectional drawing which shows the structure of the waveguide circuit which concerns on Embodiment 3. FIG.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment.
  • the internal structure of the waveguide circuit 100 is shown by a dotted line.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment.
  • the cross-sectional view is a cross-sectional view in which the surface of the waveguide circuit 100 including the two tube shafts described later is a cut surface.
  • the first hollow waveguide portion 1 and the second hollow waveguide portion 2 have two opposed tube walls having a width of each opposite to each other. It is a rectangular waveguide smaller than each width of the tube wall. However, the widths of the two opposing pipe walls on one side and the widths of the two facing pipe walls on the other side may be the same. Further, the first hollow waveguide section 1 and the second hollow waveguide section 2 may be circular waveguides or ridge waveguides, respectively.
  • the waveguide circuit 100 is a first hollow waveguide that connects one end of the first hollow waveguide portion 1 and one end of the second hollow waveguide portion 2.
  • a connecting portion 3 is further provided.
  • the first tube shaft 1a and the second tube shaft 2a are perpendicular to each other, and the waveguide circuit 100 is the first hollow waveguide section 1 and the first hollow waveguide section 1 and the second are perpendicular to each other.
  • a configuration having an L-shape by the hollow waveguide portion 2 of 2 and the first hollow waveguide connecting portion 3 will be described, but the first tube shaft 1a and the second tube shaft 2a are The angle formed may be an angle other than 90 degrees excluding 180 degrees.
  • the "hollow waveguide section" in the first hollow waveguide section 1, the second hollow waveguide section 2, and the third hollow waveguide section described later refers to waveguide.
  • the tube circuit 100 it means a portion of a waveguide along one tube axis.
  • the "one end” at the end of the above means the end where the opening surface formed by being surrounded by the end of the tube wall in the above “hollow waveguide portion” is perpendicular to the tube axis. .. In FIG. 2, the end portion is shown by a dotted line.
  • the "hollow waveguide connection portion" in the first hollow waveguide connection portion 3 and the second hollow waveguide connection portion described later refers to the waveguide circuit 100.
  • the first hollow waveguide connecting portion 3 includes a first tube wall 3a located on an extension line of the second tube shaft 2a, and a first tube wall 3a. It has a second tube wall 3b located on an extension of the first tube shaft 1a.
  • first tube wall 3a of the first hollow waveguide connection portion 3 is the second hollow waveguide portion of the four tube walls of the first hollow waveguide portion 1. This is the part where the tube wall farthest from 2 is extended.
  • second tube wall 3b of the first hollow waveguide connection portion 3 is the first hollow waveguide portion of the four tube walls of the second hollow waveguide portion 2. This is the part where the tube wall farthest from 1 is extended.
  • first pipe wall 3a is provided with a first opening 3c.
  • second pipe wall 3b is provided with a second opening 3d.
  • the waveguide circuit 100 includes the first opening 3c and the first opening 3d. It suffices to include at least one of the second openings 3d.
  • first pipe wall 3a may be further provided with one or more other openings in addition to the first opening 3c.
  • second pipe wall 3b may be further provided with one or more other openings in addition to the second opening 3d.
  • the first opening 3c is the first pipe wall 3a and the second pipe wall 3b in the first pipe wall 3a. It is provided in a portion adjacent to the connection portion 3e with and. Further, the second opening 3d is provided in a portion of the second pipe wall 3b adjacent to the connecting portion 3e between the first pipe wall 3a and the second pipe wall 3b.
  • FIG. 3A is a side view showing the first tube wall 3a and the first opening 3c of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment.
  • 3B, 3C, and 3D are side views showing a modified example of the first opening 3c, respectively.
  • the configuration and modification of the first opening 3c described below can also be applied to the second opening 3d.
  • the shape of the first opening 3c according to the first embodiment is a rectangle having two long sides parallel to each other in the width direction of the first pipe wall 3a.
  • the width direction of the first pipe wall 3a means a direction perpendicular to the direction parallel to the first pipe shaft 1a in the first pipe wall 3a.
  • the shape of the first opening 3k which is a first modification of the first opening 3c, has four corners in the rectangular first opening 3c shown in FIG. 3A. Is a curved surface.
  • the shapes of the first opening 3l which is a second modification of the first opening 3c, face each other in the rectangular first opening 3c shown in FIG. 3A.
  • the shape is such that each of the two short sides is a curved surface.
  • the shape of the first opening 3m which is a third modification of the first opening 3c, is circular.
  • the first opening 3c may have an elliptical shape.
  • each inner diameter of the first opening 3c, the first opening 3k, the first opening 3l and the first opening 3m is, for example, a quarter of the wavelength of the propagation signal. It is the above length.
  • the "inner diameter” here means the inner diameter in the longitudinal direction of the opening, and the first opening 3m. In the case of, it means the diameter of the opening.
  • the first tube wall 3a and the second tube wall 3b in the first hollow waveguide connecting portion 3 form a corner portion by connecting to each other, and the corner portion is a portion where an electric field is unlikely to be generated, that is, Since the amount of energy generated is smaller than that of other parts, even if the length of the inner diameter of the opening is set to one-fourth or more of the wavelength of the propagation signal as described above, the waveguide circuit There is almost no effect on the electrical characteristics of 100.
  • the first hollow waveguide connecting portion 3 is connected to the third tube wall 3f which is vertically connected to the first tube wall 3a and the second tube wall 3b, respectively.
  • the other end is electrically connected to the fourth pipe wall 3g, which is electrically connected to the first pipe wall 3a and the second pipe wall 3b, respectively, and faces the third pipe wall 3f.
  • a pillar portion 3h to which the end portion is electrically connected is provided.
  • the pillar portion 3h is a member for adjusting the inductive susceptance of the waveguide circuit 100. That is, the pillar portion 3h has a function of a matching element that suppresses reflection of the propagated signal by performing impedance matching in the waveguide circuit 100.
  • the first hollow waveguide connecting portion 3 is provided in the first embodiment, but in order to achieve impedance matching in the waveguide circuit 100.
  • a plurality of pillar portions 3h may be provided.
  • the shape of the pillar portion 3h shown in FIGS. 1 and 2 is a cylinder, but may be a rectangular parallelepiped or a plate.
  • a first protrusion 3i protruding toward the pillar 3h is provided in the portion of the first pipe wall 3a adjacent to the first opening 3c. Further, in the portion of the second pipe wall 3b adjacent to the second opening 3d, a second protrusion 3j projecting toward the pillar 3h is provided.
  • the first protruding portion 3i shown in FIGS. 1 and 2 projects in a direction perpendicular to the first pipe wall 3a, but the first protruding portion 3a protrudes from the first pipe wall 3a according to the arrangement of the pillar portion 3h. On the other hand, it may protrude in an oblique direction.
  • the second protrusion 3j shown in FIGS. 1 and 2 projects in a direction perpendicular to the second pipe wall 3b, but the second protrusion 3b is projected on the second pipe wall 3b according to the arrangement of the pillar portion 3h. On the other hand, it may protrude in an oblique direction.
  • the first protrusion 3i and the second protrusion 3j are also members for adjusting the inductive susceptance of the waveguide circuit 100, respectively, like the pillar portion 3h. That is, the first protrusion 3i and the second protrusion 3j each have a function of a matching element that suppresses the reflection of the propagated signal by performing impedance matching in the waveguide circuit 100.
  • the tips of the first protrusions 3i are two parallel to each other in the width direction of the first pipe wall 3a. It is a rectangular plane having a long side, a short side connected to the third pipe wall 3f, and a short side connected to the fourth pipe wall 3g.
  • the tip of the second protrusion 3j is connected to two long sides parallel to the width direction of the second pipe wall 3b, a short side connected to the third pipe wall 3f, and a fourth pipe wall 3g. It is a rectangular plane having a short side.
  • the first protrusion 3i is on the side of the first pipe wall 3a opposite to the connection portion 3e.
  • Is provided in a portion adjacent to the first opening 3c.
  • the second protrusion 3j is provided on the second pipe wall 3b on the side opposite to the connecting portion 3e and adjacent to the second opening 3d.
  • the pillar portion 3h is provided at a position of the first hollow waveguide connecting portion 3 facing the first protrusion 3i and facing the second protrusion 3j.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an example of an installation method of the pillar portion 3h.
  • the pillar portion 3h is manufactured separately from the waveguide circuit 100, and the inside of the first hollow waveguide connection portion 3 is provided through a hole provided in the third tube wall 3f. It may be installed in.
  • the pillar portion 3h may be integrally formed with the third pipe wall 3f and the fourth pipe wall 3g by a metal 3D printer.
  • FIG. 5 shows the reflection loss characteristic which is the analysis result of the electromagnetic field analysis for the waveguide circuit 100.
  • the vertical axis in FIG. 5 indicates the reflection loss, and the horizontal axis represents the standardized frequency f / f0 in which the frequency f of the propagation signal in the waveguide circuit 100 is standardized at the design center frequency f0 of the waveguide circuit 100. Shown.
  • the solid line in FIG. 5 shows the reflection loss characteristic of the waveguide circuit 100, and the dotted line shows the reflection loss characteristic of the conventional waveguide circuit that does not have the first opening 3c and the second opening 3d. Shown.
  • FIG. 6 shows the pass loss characteristic which is the analysis result of the electromagnetic field analysis for the waveguide circuit 100.
  • the vertical axis in FIG. 6 indicates the passing loss, and the horizontal axis represents the normalized frequency f / f0 in which the frequency f of the propagation signal in the waveguide circuit 100 is normalized by the design center frequency f0 of the waveguide circuit 100. Shown.
  • the solid line in FIG. 6 shows the pass loss characteristic of the waveguide circuit 100, and the dotted line shows the pass loss characteristic of the conventional waveguide circuit that does not have the first opening 3c and the second opening 3d. Shown.
  • the reflection loss characteristics and the passage loss characteristics were substantially unchanged depending on the presence or absence of the first opening 3c and the second opening 3d.
  • the first opening 3c is provided in the first tube wall 3a
  • the second opening 3d is provided in the second tube wall 3b. It was confirmed that there was almost no effect on the electrical characteristics of the waveguide circuit 100.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing the configuration of the waveguide circuit 100 according to the first modification.
  • the pillar portion 3h provided inside the first hollow waveguide connecting portion 3 and the first protrusion 3i provided on the first tube wall 3a are separated from each other.
  • the pillar portion 3n and the first protrusion 3o are connected to each other. More specifically, the pillar portion 3n and the first protrusion portion 3o are connected via the connecting portion 3p.
  • a laser beam may be applied to the powdery metal material from below 7. That is, for example, when manufacturing the waveguide circuit 100 using a metal 3D printer, it is possible to increase the options of the direction of irradiating the laser beam. Therefore, the degree of freedom in designing the waveguide circuit 100 can be improved.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration of the waveguide circuit 100 according to the second modification.
  • the tip of the first protrusion 3i provided on the first pipe wall 3a and the second protrusion 3j provided on the second pipe wall 3b are rectangular, respectively. It was a plane of.
  • the tips of the first protrusion 3q and the second protrusion 3r are curved surfaces, respectively.
  • the first protrusion 3q and the second protrusion 3r are not easily affected by the polishing, and after polishing. It has the effect of stabilizing the electrical characteristics of the waveguide circuit 100.
  • the method for manufacturing the waveguide circuit 100 according to the first embodiment is not particularly limited, but for example, the waveguide circuit 100 is manufactured by a metal 3D printer.
  • the metal 3D printer has, for example, a laminated modeling technique.
  • the waveguide circuit 100 is manufactured by plating a resin having the shape of the waveguide circuit 100 formed by using a 3D printer, a mold, or the like. In that case, the waveguide circuit 100 is made of plated resin.
  • the waveguide circuit 100 is manufactured by cutting a metal plate.
  • the first hollow waveguide portion 1 having the first tube shaft 1a and the second one in a direction different from the first tube shaft 1a.
  • the second hollow waveguide portion 2 having the tube shaft 2a, one end of the first hollow waveguide portion 1, and one end of the second hollow waveguide portion 2 are connected to each other.
  • the first hollow waveguide connecting portion 3 having the first tube wall 3a located on the extension line of the second tube shaft 2a is provided, and the first tube wall 3a has a first opening. 3c is provided.
  • the abrasive that has flowed into the first hollow waveguide connection portion 3 is applied to the first opening. Since it can be discharged from 3c, the flow of the abrasive in the first hollow waveguide connecting portion 3 can be adjusted by appropriately adjusting the shape or size of the first opening 3c. Therefore, it is possible to suppress uneven polishing caused by a change in the flow of the abrasive in the first hollow waveguide connecting portion 3.
  • the circulation of the abrasive in the first hollow waveguide connecting portion 3 can be promoted, and uneven polishing can be suppressed on the tube wall after polishing. Therefore, the dimensions of the waveguide circuit 100 can be suppressed. The accuracy can be improved. Therefore, for example, when the waveguide circuit 100 is manufactured by a metal 3D printer, it is possible to realize the same electrical characteristics as the waveguide circuit manufactured by cutting.
  • the shape of the first opening 3c after adjustment may be a rectangle or a circle. Further, the length of the inner diameter of the first opening 3c after adjustment may be one-fourth or more of the wavelength of the propagation signal. Even in this configuration, the electrical characteristics of the waveguide circuit 100 are not substantially affected for the above reasons.
  • first hollow waveguide connection portion 3 of the waveguide circuit 100 further has a second tube wall 3b located on an extension line of the first tube shaft 1a, and has a second structure.
  • a second opening 3d is provided in the pipe wall 3b of 2.
  • the abrasive when a liquid abrasive is poured into the waveguide circuit 100 to polish the inner surface, the abrasive is discharged from the second opening 3d in addition to the first opening 3c. be able to.
  • This makes it easier to further adjust the flow of the abrasive in the first hollow waveguide connecting portion 3. Therefore, uneven polishing due to a change in the flow of the abrasive in the first hollow waveguide connecting portion 3 can be further suppressed.
  • first hollow waveguide connection portion 3 of the waveguide circuit 100 has one end portion of the third tube wall 3f connected perpendicularly to the first tube wall 3a.
  • a pillar portion 3h that is electrically connected and is vertically connected to the first pipe wall 3a and has the other end electrically connected to the fourth pipe wall 3g facing the third pipe wall 3f. It is provided.
  • the inductive susceptance of the waveguide circuit 100 can be adjusted by appropriately adjusting the arrangement, shape, size, etc. of the column portion 3h. That is, the reflection of the propagated signal can be suppressed by performing impedance matching in the waveguide circuit 100.
  • the shape of the pillar portion 3h after adjustment may be a cylinder, a rectangular parallelepiped, or a plate shape.
  • a first protrusion 3i protruding toward the pillar 3h is provided in the portion of the first tube wall 3a of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment, which is adjacent to the first opening 3c. It is provided.
  • the inductive susceptance of the waveguide circuit 100 can be adjusted by appropriately adjusting the shape or size of the first protrusion 3i. That is, the reflection of the propagated signal can be suppressed by performing impedance matching in the waveguide circuit 100.
  • the tip of the adjusted first protrusion 3q may be a curved surface.
  • one end is provided on the third tube wall 3f which is vertically connected to the first tube wall 3a. Pillar portion 3n that is electrically connected and vertically connected to the first pipe wall 3a and whose other end is electrically connected to the fourth pipe wall 3g facing the third pipe wall 3f. Is provided, and in the portion of the first pipe wall 3a adjacent to the first opening 3c, a first protrusion 3o projecting toward the pillar 3n is provided, and the pillar 3n and the pillar 3n are provided. It is connected to the first protrusion 3o.
  • the degree of freedom in designing the waveguide circuit 100 can be improved.
  • the first hollow waveguide connection portion 3 of the waveguide circuit 100 has a second tube wall 3b located on an extension line of the first tube shaft 1a, and is a first.
  • the opening 3c is provided in a portion of the first pipe wall 3a adjacent to the connecting portion 3e between the first pipe wall 3a and the second pipe wall 3b, and the connecting portion in the second pipe wall 3b.
  • a second opening 3d is provided in a portion adjacent to 3e, and a first portion of the first pipe wall 3a opposite to the connecting portion 3e and adjacent to the first opening 3c is provided.
  • the second protrusion 3j is provided in the portion of the second pipe wall 3b opposite to the connection portion 3e and adjacent to the second opening 3d, and the first protrusion 3j is provided.
  • the hollow waveguide connection portion 3 of the above at positions facing the first protrusion 3i and facing the second protrusion 3j, perpendicular to the first pipe wall 3a and the second pipe wall 3b, respectively.
  • One end is electrically connected to the third pipe wall 3f to be connected, and is vertically connected to the first pipe wall 3a and the second pipe wall 3b, respectively, and faces the third pipe wall 3f.
  • the fourth pipe wall 3g is provided with a pillar portion 3h to which the other end is electrically connected. According to the above configuration, each of the above effects can be preferably realized.
  • first tube shaft 1a and the second tube shaft 2a of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment are perpendicular to each other. According to the above configuration, each of the above effects can be realized in the L-shaped waveguide circuit 100.
  • the waveguide circuit 100 according to the first embodiment is made of a plated resin. According to the above configuration, each of the above effects can be realized even in the waveguide circuit 100 composed of the plated resin.
  • the method for manufacturing the waveguide circuit 100 according to the first embodiment is a manufacturing method for manufacturing the waveguide circuit 100 having each of the above configurations with a metal 3D printer. According to the above configuration, each of the above effects can be realized even in the waveguide circuit 100 manufactured by the metal 3D printer.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the waveguide circuit 101 according to the second embodiment.
  • the waveguide circuit 101 has a third tube shaft 10a in a direction different from that of the first tube shaft 1a, in addition to the configuration of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment.
  • a third hollow waveguide section 10 is further provided. More specifically, the third hollow waveguide section 10 is a rectangular waveguide having a third tube shaft 10a.
  • the waveguide circuit 101 is a second hollow waveguide connection that connects the other end of the first hollow waveguide portion 1 and one end of the third hollow waveguide portion 10. It further includes a section 11.
  • the first tube shaft 1a and the third tube shaft 10a are perpendicular to each other, and the waveguide circuit 101 includes the first hollow waveguide section 1 and the first one.
  • the configuration having a U-shape with the connecting portion 11 will be described, but the angle formed by the first tube shaft 1a and the third tube shaft 10a may be an angle other than 90 degrees.
  • the second hollow waveguide connection portion 11 has a first tube wall 11a located on an extension line of the third tube shaft 10a, and a first tube wall 11a. It has a second tube wall 11b located on an extension of the first tube shaft 1a.
  • the first tube wall 11a of the second hollow waveguide connection portion 11 is the third hollow waveguide portion of the four tube walls of the first hollow waveguide portion 1.
  • the part where the tube wall farthest from 10 is extended.
  • the second tube wall 11b of the second hollow waveguide connection portion 11 is the first hollow waveguide portion of the four tube walls of the third hollow waveguide portion 10. This is the part where the tube wall farthest from 1 is extended.
  • first pipe wall 11a is provided with a third opening 11c.
  • second pipe wall 11b is provided with a fourth opening 11d.
  • the waveguide circuit 101 includes the third opening 11c and the third opening 11d. It suffices to include at least one of the fourth openings 11d.
  • the third opening 11c is the first tube wall 11a and the second tube wall in the first tube wall 11a. It is provided in a portion adjacent to the connecting portion 11e with the 11b. Further, the fourth opening 11d is provided in a portion of the second pipe wall 11b adjacent to the connecting portion 11e between the first pipe wall 11a and the second pipe wall 11b.
  • the second hollow waveguide connection portion 11 has one end to a third tube wall (not shown) that is vertically connected to the first tube wall 11a and the second tube wall 11b, respectively.
  • the other end is attached to the fourth pipe wall 11f, which is electrically connected to each other and is vertically connected to the first pipe wall 11a and the second pipe wall 11b, respectively, and faces the third pipe wall.
  • a pillar portion 11g for electrically connecting is provided.
  • the second hollow waveguide connecting portion 11 has a pillar portion.
  • a plurality of portions 11g may be provided.
  • the shape of the pillar portion 11g shown in FIG. 9 is a cylinder, but may be a rectangular parallelepiped or a plate shape.
  • a third protrusion 11h projecting toward the pillar portion 11g is provided in the portion of the first pipe wall 11a adjacent to the third opening 11c. Further, in the portion of the second pipe wall 11b adjacent to the fourth opening 11d, a fourth protrusion 11i protruding toward the pillar portion 11g is provided.
  • the tip of the third protrusion 11h has two long sides parallel to the width direction of the first pipe wall 11a, a short side connected to the third pipe wall, and a third. It is a rectangular plane having a short side connected to the pipe wall 11f of No. 4.
  • the tip of the fourth protrusion 11i was connected to two long sides parallel to the width direction of the second pipe wall 11b, a short side connected to the third pipe wall, and a fourth pipe wall 11f. It is a rectangular plane having a short side.
  • the third protrusion 11h is located on the first pipe wall 11a on the opposite side of the connecting portion 11e. It is provided in a portion adjacent to the third opening 11c.
  • the fourth protrusion 11i is provided on the second pipe wall 11b on the side opposite to the connecting portion 11e and adjacent to the fourth opening 11d.
  • the pillar portion 11g is provided at a position of the second hollow waveguide connecting portion 11 facing the third protrusion 11h and facing the fourth protrusion 11i.
  • the waveguide circuit 101 has a third hollow waveguide portion 10 having a third tube shaft 10a in a direction different from that of the first tube shaft 1a, and a first hollow waveguide section 10. 1st tube wall 11a located on an extension of the 3rd tube shaft 10a by connecting the other end of the hollow waveguide section 1 and one end of the third hollow waveguide section 10 , And a second hollow waveguide connecting portion 11 having a second tube wall 11b located on an extension of the first tube shaft 1a, further comprising a second hollow waveguide connecting portion 11 in the second hollow waveguide connecting portion 11. An opening is provided in at least one of the pipe wall 11a of 1 and the pipe wall 11b of the second.
  • the abrasive when a liquid abrasive is poured into the waveguide circuit 101 to polish the inner surface, the abrasive can be discharged from the opening. Therefore, by appropriately adjusting the shape or size of the opening, the flow of the abrasive can be adjusted also in the second hollow waveguide connecting portion 11. Therefore, it is possible to suppress uneven polishing caused by a change in the flow of the abrasive in the second hollow waveguide connecting portion 11.
  • the waveguide circuit 101 has a third hollow waveguide portion 10 having a third tube shaft 10a in a direction different from that of the second tube shaft 2a, and a second hollow guide.
  • a second hollow waveguide connecting portion 11 having a second tube wall 11b located on an extension of the second tube shaft 2a is further provided, and the first tube in the second hollow waveguide connecting portion 11 is provided. At least one of the wall 11a or the second pipe wall 11b may be provided with an opening.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of the waveguide circuit 102 according to the third embodiment.
  • the waveguide circuit 102 has a third tube shaft 20a in a direction different from that of the second tube shaft 2a, in addition to the configuration of the waveguide circuit 100 according to the first embodiment.
  • a third hollow waveguide section 20 is further provided. More specifically, the third hollow waveguide section 20 is a rectangular waveguide having a third tube shaft 20a.
  • first hollow waveguide connection portion 21 in the third embodiment includes one end of the first hollow waveguide portion 1 and one end of the second hollow waveguide portion 2 and a second. It is connected to one end of the hollow waveguide portion 20 of 3. Therefore, the first hollow waveguide connecting portion 21 does not have the second tube wall 3b described in the first embodiment.
  • the first tube shaft 1a and the third tube shaft 20a are on the same straight line
  • the waveguide circuit 102 includes the first hollow waveguide section 1 and the first one.
  • a configuration having a T-shape with the first hollow waveguide connecting portion 21 will be described.
  • the angles formed by the first tube shaft 1a and the third tube shaft 20a are 0 degrees and 180 degrees. The angle may be other than.
  • the first hollow waveguide connecting portion 21 has a first tube wall 21a located on an extension line of the second tube shaft 2a.
  • the first tube wall 21a of the first hollow waveguide connection portion 21 is the second hollow waveguide portion of the four tube walls of the first hollow waveguide portion 1.
  • the tube wall farthest from 2 is the stretched portion, and of the four tube walls of the third hollow waveguide section 20, the tube wall farthest from the second hollow waveguide section 2 is stretched. This is the part that was done.
  • first pipe wall 21a is provided with a first opening 21b and a second opening 21c, respectively. Further, one end of each of the first hollow waveguide connecting portion 21 is electrically connected to a third tube wall (not shown) which is vertically connected to the first tube wall 21a, and a first The first pillar portion 21e and the second pillar portion 21f which are vertically connected to the pipe wall 21a of 1 and whose other end is electrically connected to the fourth pipe wall 21d facing the third pipe wall. And a third pillar portion 21g is provided.
  • a first protrusion 21h is provided in a portion of the first pipe wall 21a adjacent to the first opening 21b.
  • a second protrusion 21i is provided in a portion of the first pipe wall 21a adjacent to the second opening 21c.
  • the first protrusion 21h is , On the first tube wall 21a, on the side of the first hollow waveguide portion 1 and adjacent to the first opening 21b.
  • the second protrusion 21i is provided on the first tube wall 21a on the side of the third hollow waveguide portion 20 and adjacent to the second opening 21c.
  • the first pillar portion 21e, the second pillar portion 21f, and the third pillar portion 21g are the first opening 21b and the second opening 21c in the first hollow waveguide connecting portion 21, respectively. It is provided at a position facing the portion of the first tube wall 21a between the two. More specifically, the first column 21e is intermediate between the first tube wall 21a between the first opening 21b and the second opening 21c in the first hollow waveguide connection 21. It is provided at a position facing the portion.
  • the second pillar portion 21f is provided at a position between the first pillar portion 21e and the first opening 21b in the first hollow waveguide connecting portion 21.
  • the third pillar portion 21g is provided at a position between the first pillar portion 21e and the second opening 21c in the first hollow waveguide connecting portion 21.
  • the waveguide circuit 102 further includes a third hollow waveguide section 20 having a third waveguide 20a in a direction different from that of the second shaft 2a.
  • the first hollow waveguide connection portion 21 includes one end of the first hollow waveguide portion 1, one end of the second hollow waveguide portion 2, and a third hollow waveguide portion. It is connected to one end of 20.
  • the present invention can be freely combined with each embodiment, modified from any component of each embodiment, or omitted from any component in each embodiment. ..
  • the waveguide circuit according to the present invention can be used at the time of manufacturing the waveguide circuit because the flow of the abrasive in the hollow waveguide connection portion can be adjusted.

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Abstract

導波管回路（１００）は、第１の管軸（１ａ）を有する第１の中空導波管部（１）と、第１の管軸（１ａ）とは異なる方向の第２の管軸（２ａ）を有する第２の中空導波管部（２）と、第１の中空導波管部（１）の一方の端部、及び第２の中空導波管部（２）の一方の端部を接続し、第２の管軸（２ａ）の延長線上に位置する第１の管壁（３ａ）を有する第１の中空導波管接続部（３）と、を備え、第１の管壁（３ａ）には、第１の開口部（３ｃ）が設けられている。

Description

導波管回路、及び導波管回路の製造方法
　本発明は、導波管回路に関する。
　近年、樹脂材料や金属材料を使用し、その材料を積み上げながら形を作る積層造形技術が急速に進展しており、積層造形された部品は様々な分野での適用が期待されている。特に、マイクロ波又はミリ波の高周波回路技術分野においても、その技術の活用が期待されている。従来、複数の中空導波管から構成される複雑な導波管回路は、複数の層を積層するか、又は複数のコンポーネントを組み合わせることにより製造されてきたが、積層造形技術を有する金属３Ｄプリンタを使用することで、複雑な導波管回路も分割することなく一体的に製造することができる。
　しかし、金属３Ｄプリンタで製造した導波管回路は管壁の表面が粗く、切削品と比較して伝搬信号の損失が大きい。そのため、中空導波管内に液体の研磨剤を流して、内面を研磨することで伝搬信号の損失抑制を図っている。その際に中空導波管内に流した液体又は気体の循環を促進するために、特許文献１に記載の発明では、中空導波管の管壁に穴を設けている。
国際公開第２０１７／１４６４２３号
　導波管回路における、中空導波管同士を接続する中空導波管接続部は、内部にコーナー又は三叉路等を有するため、これらの部分において、直線的に流れてきた研磨剤が管壁にぶつかり、研磨剤の流れに変化が生じてしまう。これにより、導波管回路において、場所によっては研磨剤の流れ方が異なるため、研磨後の管壁に研磨のムラが発生し、電気特性に影響を与えるという問題がある。
　この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、中空導波管接続部における研磨剤の流れの変化に起因した研磨のムラを抑制する技術を提供することを目的とする。
　この発明に係る導波管回路は、第１の管軸を有する第１の中空導波管部と、第１の管軸とは異なる方向の第２の管軸を有する第２の中空導波管部と、第１の中空導波管部の一方の端部、及び第２の中空導波管部の一方の端部を接続し、第２の管軸の延長線上に位置する第１の管壁を有する第１の中空導波管接続部と、を備え、第１の管壁には、第１の開口部が設けられている。
　この発明によれば、中空導波管接続部における研磨剤の流れの変化に起因した研磨のムラを抑制することができる。
実施の形態１に係る導波管回路の構成を示す斜視図である。 実施の形態１に係る導波管回路の構成を示す断面図である。 図３Ａは、実施の形態１に係る導波管回路の第１の管壁及び第１の開口部を示す側面図である。図３Ｂ、図３Ｃ及び図３Ｄは、それぞれ、第１の開口部の変形例を示す側面図である。 実施の形態１に係る導波管回路における柱部の設置方法の例を示す斜視図である。 実施の形態１に係る導波管回路に対する電磁界解析の解析結果である反射損失特性を示す。 実施の形態１に係る導波管回路に対する電磁界解析の解析結果である通過損失特性を示す。 実施の形態１の第１の変形例に係る導波管回路の構成を示す断面図である。 実施の形態１の第２の変形例に係る導波管回路の構成を示す断面図である。 実施の形態２に係る導波管回路の構成を示す断面図である。 実施の形態３に係る導波管回路の構成を示す断面図である。
　以下、この発明をより詳細に説明するため、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態１．
　図１は、実施の形態１に係る導波管回路１００の構成を示す斜視図である。なお、図１では、導波管回路１００の内部の構造を点線で示している。また、図２は、実施の形態１に係る導波管回路１００の構成を示す断面図である。なお、当該断面図は、導波管回路１００が有する後述する２つの管軸を含む面を切断面とした断面図である。
　図１及び図２が示すように、導波管回路１００は、第１の管軸１ａを有する第１の中空導波管部１と、第１の管軸１ａとは異なる方向の第２の管軸２ａを有する第２の中空導波管部２と、を備えている。より詳細には、導波管回路１００は、第１の管軸１ａを有する方形導波管である第１の中空導波管部１と、第１の管軸１ａとは異なる方向の第２の管軸２ａを有する方形導波管である第２の中空導波管部２と、を備えている。
　なお、実施の形態１では、第１の中空導波管部１、及び第２の中空導波管部２は、それぞれ、一方の対向する２つの管壁の各幅が他方の対向する２つの管壁の各幅よりも小さい矩形導波管である。しかし、一方の対向する２つの管壁の各幅と、他方の対向する２つの管壁の各幅とは、同一であってもよい。また、第１の中空導波管部１、及び第２の中空導波管部２は、それぞれ、円形導波管、又はリッジ導波管であってもよい。
　また、導波管回路１００は、第１の中空導波管部１の一方の端部と、第２の中空導波管部２の一方の端部とを接続する第１の中空導波管接続部３をさらに備えている。
　なお、実施の形態１では、第１の管軸１ａと第２の管軸２ａとは、互いに垂直であり、導波管回路１００は、互いに垂直な第１の中空導波管部１及び第２の中空導波管部２と、第１の中空導波管接続部３とによりＬ字型の形状を有する構成について説明するが、第１の管軸１ａと第２の管軸２ａとが成す角は、１８０度を除く９０度以外の角度であってもよい。
　また、本明細書において、第１の中空導波管部１、第２の中空導波管部２及び後述する第３の中空導波管部における「中空導波管部」とは、導波管回路１００のうち、１つの管軸にそれぞれ沿った導波管の部分を意味する。
　また、本明細書において、第１の中空導波管部１の一方の端部、第２の中空導波管部２の一方の端部、及び後述する第３の中空導波管部の一方の端部における「一方の端部」とは、上記の「中空導波管部」における管壁の端部に囲まれることにより形成された開口面が管軸に垂直である端部を意味する。なお、図２では、当該端部は、点線で示されている。
　また、本明細書において、第１の中空導波管接続部３、及び後述する第２の中空導波管接続部における「中空導波管接続部」とは、導波管回路１００のうち、上記の「中空導波管部」以外の部分であって、複数の「中空導波管部」間で伝搬信号を中継する部分を意味する。
　第１の中空導波管接続部３の構造についてより詳細には、第１の中空導波管接続部３は、第２の管軸２ａの延長線上に位置する第１の管壁３ａ、及び第１の管軸１ａの延長線上に位置する第２の管壁３ｂを有する。
　なお、換言すれば、第１の中空導波管接続部３の第１の管壁３ａは、第１の中空導波管部１の４つの管壁のうち、第２の中空導波管部２から最も離れた管壁が延伸した部分である。また、換言すれば、第１の中空導波管接続部３の第２の管壁３ｂは、第２の中空導波管部２の４つの管壁のうち、第１の中空導波管部１から最も離れた管壁が延伸した部分である。
　また、第１の管壁３ａには、第１の開口部３ｃが設けられている。一方、第２の管壁３ｂには、第２の開口部３ｄが設けられている。なお、実施の形態１では、第１の開口部３ｃ及び第２の開口部３ｄの２つの開口部が設けられた構成について説明するが、導波管回路１００は、第１の開口部３ｃ及び第２の開口部３ｄのうちの少なくとも一方を備えていればよい。また、第１の管壁３ａには、第１の開口部３ｃ以外にも、１つ以上の別の開口部がさらに設けられてもよい。また、第２の管壁３ｂには、第２の開口部３ｄ以外にも、１つ以上の別の開口部がさらに設けられてもよい。
　第１の開口部３ｃ及び第２の開口部３ｄの配置についてより詳細には、第１の開口部３ｃは、第１の管壁３ａにおける、第１の管壁３ａと第２の管壁３ｂとの接続部分３ｅに隣接した部分に設けられている。また、第２の開口部３ｄは、第２の管壁３ｂにおける、第１の管壁３ａと第２の管壁３ｂとの接続部分３ｅに隣接した部分に設けられている。
　次に、第１の開口部３ｃの形状及び第２の開口部３ｄの形状について図３を参照して説明する。図３Ａは、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の管壁３ａ及び第１の開口部３ｃを示す側面図である。図３Ｂ、図３Ｃ及び図３Ｄは、それぞれ、第１の開口部３ｃの変形例を示す側面図である。なお、以下で説明する第１の開口部３ｃの構成及び変形例は、第２の開口部３ｄにも適用可能である。
　図３Ａが示すように、実施の形態１に係る第１の開口部３ｃの形状は、第１の管壁３ａの幅方向にそれぞれ平行な２つの長辺を有する矩形である。なお、第１の管壁３ａの幅方向とは、第１の管壁３ａにおける、第１の管軸１ａに平行な方向に垂直な方向を意味する。
　また、図３Ｂが示すように、第１の開口部３ｃの第１の変形例である第１の開口部３ｋの形状は、図３Ａが示す矩形の第１の開口部３ｃにおいて、４つの隅をそれぞれ曲面にした形状である。
　また、図３Ｃが示すように、第１の開口部３ｃの第２の変形例である第１の開口部３ｌの形状は、図３Ａが示す矩形の第１の開口部３ｃにおいて、互いに対向する２つの短辺をそれぞれ曲面にした形状である。
　また、図３Ｄが示すように、第１の開口部３ｃの第３の変形例である第１の開口部３ｍの形状は、円形である。また、図示しないが、第１の開口部３ｃは、楕円形であってもよい。
　また、上記の第１の開口部３ｃ、第１の開口部３ｋ、第１の開口部３ｌ及び第１の開口部３ｍの各内径の長さは、例えば、伝搬信号の波長の４分の１以上の長さである。なお、ここにおける「内径」とは、第１の開口部３ｃ、第１の開口部３ｋ及び第１の開口部３ｌの場合、開口部の長手方向の内径を意味し、第１の開口部３ｍの場合、開口部の直径を意味する。第１の中空導波管接続部３における第１の管壁３ａ及び第２の管壁３ｂは、互いに接続することによりコーナー部分を形成し、当該コーナー部分は、電界が発生しにくい部分、すなわち発生するエネルギー量が他の部分に比べて小さい部分であるため、上記のように、開口部の内径の長さを伝搬信号の波長の４分の１以上の長さとしても、導波管回路１００の電気特性に略影響がない。
　次に、第１の中空導波管接続部３の他の構成について説明する。図１及び図２が示すように、第１の中空導波管接続部３には、第１の管壁３ａ及び第２の管壁３ｂとそれぞれ垂直に接続する第３の管壁３ｆに一方の端部が電気的に接続し、且つ、第１の管壁３ａ及び第２の管壁３ｂとそれぞれ垂直に接続し且つ第３の管壁３ｆに対向する第４の管壁３ｇに他方の端部が電気的に接続する柱部３ｈが設けられている。
　柱部３ｈは、導波管回路１００の誘導性サセプタンスを調整するための部材である。つまり、柱部３ｈは、導波管回路１００においてインピーダンス整合を取ることにより伝搬信号の反射を抑制する整合素子の機能を有する。なお、実施の形態１では、柱部３ｈが１つだけ設けられている構成について説明するが、導波管回路１００においてインピーダンス整合を取るために、第１の中空導波管接続部３には、柱部３ｈが複数設けられていてもよい。また、図１及び図２が示す柱部３ｈの形状は、円柱であるが、直方体又は板状であってもよい。
　また、第１の管壁３ａにおける、第１の開口部３ｃに隣接した部分には、柱部３ｈに向かって突出した第１の突起部３ｉが設けられている。また、第２の管壁３ｂにおける、第２の開口部３ｄに隣接した部分には、柱部３ｈに向かって突出した第２の突起部３ｊが設けられている。
　なお、図１及び図２が示す第１の突起部３ｉは、第１の管壁３ａに対して垂直な方向に突出しているが、柱部３ｈの配置に応じて第１の管壁３ａに対して斜めの方向に突出していてもよい。また、図１及び図２が示す第２の突起部３ｊは、第２の管壁３ｂに対して垂直な方向に突出しているが、柱部３ｈの配置に応じて第２の管壁３ｂに対して斜めの方向に突出していてもよい。
　第１の突起部３ｉ及び第２の突起部３ｊも、柱部３ｈと同様に、それぞれ、導波管回路１００の誘導性サセプタンスを調整するための部材である。つまり、第１の突起部３ｉ及び第２の突起部３ｊは、それぞれ、導波管回路１００においてインピーダンス整合を取ることにより伝搬信号の反射を抑制する整合素子の機能を有する。
　第１の突起部３ｉ及び第２の突起部３ｊについてより詳細には、実施の形態１では、第１の突起部３ｉの先端は、第１の管壁３ａの幅方向にそれぞれ平行な２つの長辺と、第３の管壁３ｆに接続した短辺と、第４の管壁３ｇに接続した短辺とを有する矩形の平面である。第２の突起部３ｊの先端は、第２の管壁３ｂの幅方向にそれぞれ平行な２つの長辺と、第３の管壁３ｆに接続した短辺と、第４の管壁３ｇに接続した短辺とを有する矩形の平面である。
　柱部３ｈ、第１の突起部３ｉ及び第２の突起部３ｊの各配置についてより詳細には、第１の突起部３ｉは、第１の管壁３ａにおける、接続部分３ｅとは反対側の、第１の開口部３ｃに隣接した部分に設けられている。第２の突起部３ｊは、第２の管壁３ｂにおける、接続部分３ｅとは反対側の、第２の開口部３ｄに隣接した部分に設けられている。また、柱部３ｈは、第１の中空導波管接続部３における、第１の突起部３ｉに対向し且つ第２の突起部３ｊに対向する位置に設けられている。
　次に、柱部３ｈの設置方法について図面を参照して説明する。図４は、柱部３ｈの設置方法の例を示す斜視図である。図４が示すように、柱部３ｈは、導波管回路１００とは別に製造され、第３の管壁３ｆに設けられた穴を介して、第１の中空導波管接続部３の内部に設置されてもよい。または、柱部３ｈは、金属３Ｄプリンタにより、第３の管壁３ｆ及び第４の管壁３ｇと共に一体的に形成されてもよい。
　次に、実施の形態１に係る導波管回路１００に対する電磁界解析の解析結果について図面を参照して説明する。図５は、導波管回路１００に対する電磁界解析の解析結果である反射損失特性を示す。図５における縦軸は、反射損失を示し、横軸は、導波管回路１００における伝搬信号の周波数ｆが導波管回路１００の設計中心周波数ｆ０で規格化された規格化周波数ｆ／ｆ０を示す。図５における実線は、導波管回路１００の反射損失特性を示し、点線は、第１の開口部３ｃ及び第２の開口部３ｄを有していない従来の導波管回路の反射損失特性を示す。
　また、図６は、導波管回路１００に対する電磁界解析の解析結果である通過損失特性を示す。図６における縦軸は、通過損失を示し、横軸は、導波管回路１００における伝搬信号の周波数ｆが導波管回路１００の設計中心周波数ｆ０で規格化された規格化周波数ｆ／ｆ０を示す。図６における実線は、導波管回路１００の通過損失特性を示し、点線は、第１の開口部３ｃ及び第２の開口部３ｄを有していない従来の導波管回路の通過損失特性を示す。
　図５の実線が示すように、規格化周波数ｆ／ｆ０＝０．８５～１．１５の範囲で、導波管回路１００の反射損失は、約－２０ｄｂから約－５０ｄｂの値であり、図５の点線が示す従来の導波管回路の反射損失と同様の値であった。また、図６の実線が示すように、規格化周波数ｆ／ｆ０＝０．８５～１．１５の範囲で、導波管回路１００の通過損失は、約－０．２ｄｂであり、図５の点線が示す従来の導波管回路の通過損失と同様の値であった。なお、導波管回路１００の反射損失及び通過損失の各計算では、導波管回路１００の導電率として８×１０５Ｓ／ｍを用いた。
　以上のような電磁界解析の解析結果が示すように、反射損失特性及び通過損失特性は、第１の開口部３ｃ及び第２の開口部３ｄの有無で略変化がなかった。これにより、第１の中空導波管接続部３において、第１の管壁３ａに第１の開口部３ｃが設けられ、第２の管壁３ｂに第２の開口部３ｄが設けられることによる導波管回路１００の電気特性への影響は略ないことが確認された。
　次に、実施の形態１の第１の変形例について図面を参照して説明する。図７は、第１の変形例に係る導波管回路１００の構成を示す断面図である。上述の図１及び図２では、第１の中空導波管接続部３の内部に設けられた柱部３ｈと、第１の管壁３ａに設けられた第１の突起部３ｉとは、離れていた。一方、図７が示す第１の変形例では、柱部３ｎと第１の突起部３ｏとは、接続している。より詳細には、柱部３ｎと第１の突起部３ｏとは、接続部３ｐを介して接続している。
　図１及び図２が示すように、柱部３ｈと第１の突起部３ｉとが分断されている構成では、例えば、金属３Ｄプリンタを用いて導波管回路１００を製造する場合、第１の突起部３ｉから分断された柱部３ｈを形成するために、図２の紙面に垂直な方向から粉末状の金属材料にレーザビームを照射する必要がある。しかし、図７が示すように、柱部３ｎと第１の突起部３ｏとが接続している構成では、柱部３ｎを形成するために、図７の紙面に垂直な方向のみならず、図７の下方から粉末状の金属材料にレーザビームを照射してもよい。つまり、例えば、金属３Ｄプリンタを用いて導波管回路１００を製造する際に、レーザビームを照射する方向の選択肢を増やすことができる。よって、導波管回路１００の設計自由度を向上させることができる。
　次に、実施の形態１の第２の変形例について図面を参照して説明する。図８は、第２の変形例に係る導波管回路１００の構成を示す断面図である。上述の図１及び図２では、第１の管壁３ａに設けられた第１の突起部３ｉと、第２の管壁３ｂに設けられた第２の突起部３ｊは、それぞれ、先端が矩形の平面であった。
　一方、図８が示す第２の変形例では、第１の突起部３ｑ及び第２の突起部３ｒは、それぞれ、先端が、曲面である。これにより、導波管回路１００内に液体の研磨剤を流して、内面を研磨した際に、第１の突起部３ｑ及び第２の突起部３ｒは、当該研磨の影響を受けにくく、研磨後の導波管回路１００の電気特性を安定させるという効果を奏する。
　以上の実施形態１に係る導波管回路１００の製造方法は、特に限定されないが、例えば、導波管回路１００は、金属３Ｄプリンタで製造される。なお、当該金属３Ｄプリンタは、例えば、積層造形技術を有する。または、例えば、導波管回路１００は、３Ｄプリンタ又は金型等を用いて形成された導波管回路１００の形状を有する樹脂をメッキすることにより製造される。その場合、導波管回路１００は、メッキされた樹脂から構成されている。または、導波管回路１００は、金属板を切削することにより製造される。
　以上のように、実施の形態１に係る導波管回路１００は、第１の管軸１ａを有する第１の中空導波管部１と、第１の管軸１ａとは異なる方向の第２の管軸２ａを有する第２の中空導波管部２と、第１の中空導波管部１の一方の端部、及び第２の中空導波管部２の一方の端部を接続し、第２の管軸２ａの延長線上に位置する第１の管壁３ａを有する第１の中空導波管接続部３と、を備え、第１の管壁３ａには、第１の開口部３ｃが設けられている。
　上記の構成によれば、導波管回路１００内に液体の研磨剤を流して内面を研磨する際に、第１の中空導波管接続部３に流れてきた研磨剤を第１の開口部３ｃから排出することができるため、第１の開口部３ｃの形状又は大きさを適宜調整することで、第１の中空導波管接続部３における研磨剤の流れを調整できる。よって、第１の中空導波管接続部３における研磨剤の流れの変化に起因した研磨のムラを抑制できる。
　また、これにより、例えば、第１の中空導波管接続部３における研磨剤の循環を促進させ、研磨後の管壁に研磨のムラが生じることを抑制できるため、導波管回路１００の寸法精度を向上させることができる。よって、例えば、導波管回路１００が金属３Ｄプリンタで製造された場合、切削により製造された導波管回路と同様の電気特性を実現できる。
　なお、調整後の第１の開口部３ｃの形状は、矩形又は円であってもよい。また、調整後の第１の開口部３ｃの内径の長さは、伝搬信号の波長の４分の１以上の長さであってもよい。なお、当該構成においても、上述の理由により、導波管回路１００の電気特性に略影響を与えることがない。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の中空導波管接続部３は、第１の管軸１ａの延長線上に位置する第２の管壁３ｂをさらに有し、第２の管壁３ｂには、第２の開口部３ｄが設けられている。
　上記の構成によれば、導波管回路１００内に液体の研磨剤を流して内面を研磨する際に、第１の開口部３ｃに加え、第２の開口部３ｄからも研磨剤を排出することができる。これにより、第１の中空導波管接続部３における研磨剤の流れをさらに調整しやくすなる。よって、第１の中空導波管接続部３における研磨剤の流れの変化に起因した研磨のムラをさらに抑制できる。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の中空導波管接続部３には、第１の管壁３ａと垂直に接続する第３の管壁３ｆに一方の端部が電気的に接続し、且つ、第１の管壁３ａと垂直に接続し且つ第３の管壁３ｆに対向する第４の管壁３ｇに他方の端部が電気的に接続する柱部３ｈが設けられている。
　上記の構成によれば、柱部３ｈの配置、形状又は大きさ等を適宜調整することにより、導波管回路１００の誘導性サセプタンスを調整することができる。つまり、導波管回路１００においてインピーダンス整合を取ることにより伝搬信号の反射を抑制することができる。なお、調整後の柱部３ｈの形状は、円柱、直方体、又は板状であってもよい。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の管壁３ａにおける、第１の開口部３ｃに隣接した部分には、柱部３ｈに向かって突出した第１の突起部３ｉが設けられている。
　上記の構成によれば、第１の突起部３ｉの形状又は大きさ等を適宜調整することにより、導波管回路１００の誘導性サセプタンスを調整することができる。つまり、導波管回路１００においてインピーダンス整合を取ることにより伝搬信号の反射を抑制することができる。なお、調整後の第１の突起部３ｑの先端は、曲面であってもよい。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の中空導波管接続部３には、第１の管壁３ａと垂直に接続する第３の管壁３ｆに一方の端部が電気的に接続し、且つ、第１の管壁３ａと垂直に接続し且つ前記第３の管壁３ｆに対向する第４の管壁３ｇに他方の端部が電気的に接続する柱部３ｎが設けられ、第１の管壁３ａにおける、第１の開口部３ｃに隣接した部分には、柱部３ｎに向かって突出した第１の突起部３ｏが設けられており、柱部３ｎと、第１の突起部３ｏとは、接続している。
　上記の構成によれば、上述の理由により、例えば、金属３Ｄプリンタを用いて導波管回路１００を製造する際に、レーザビームを照射する方向の選択肢を増やすことができる。よって、導波管回路１００の設計自由度を向上させることができる。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の中空導波管接続部３は、第１の管軸１ａの延長線上に位置する第２の管壁３ｂを有し、第１の開口部３ｃは、第１の管壁３ａにおける、第１の管壁３ａと第２の管壁３ｂとの接続部分３ｅに隣接した部分に設けられ、第２の管壁３ｂにおける、接続部分３ｅに隣接した部分には、第２の開口部３ｄが設けられ、第１の管壁３ａにおける、接続部分３ｅとは反対側の、第１の開口部３ｃに隣接した部分には、第１の突起部３ｉが設けられ、第２の管壁３ｂにおける、接続部分３ｅとは反対側の、第２の開口部３ｄに隣接した部分には、第２の突起部３ｊが設けられ、第１の中空導波管接続部３における、第１の突起部３ｉに対向し且つ第２の突起部３ｊに対向する位置には、第１の管壁３ａ及び第２の管壁３ｂとそれぞれ垂直に接続する第３の管壁３ｆに一方の端部が電気的に接続し、且つ、第１の管壁３ａ及び第２の管壁３ｂとそれぞれ垂直に接続し且つ第３の管壁３ｆに対向する第４の管壁３ｇに他方の端部が電気的に接続する柱部３ｈが設けられている。
　上記の構成によれば、上述の各効果を好適に実現することができる。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の第１の管軸１ａと第２の管軸２ａとは、互いに垂直である。
　上記の構成によれば、Ｌ字型の導波管回路１００において、上述の各効果を実現することができる。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００は、メッキされた樹脂から構成されている。
　上記の構成によれば、メッキされた樹脂から構成されている導波管回路１００においても、上述の各効果を実現することができる。
　また、実施の形態１に係る導波管回路１００の製造方法は、上記の各構成の導波管回路１００を金属３Ｄプリンタで製造する製造方法である。
　上記の構成によれば、金属３Ｄプリンタで製造された導波管回路１００においても、上述の各効果を実現することができる。
実施の形態２．
　実施の形態１では、Ｌ字型の導波管回路１００の構成について説明した。実施の形態２では、Ｕ字型の導波管回路の構成について説明する。
　以下で、実施の形態２について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。図９は、実施の形態２に係る導波管回路１０１の構成を示す断面図である。図９が示すように、導波管回路１０１は、実施の形態１に係る導波管回路１００の構成に加えて、第１の管軸１ａとは異なる方向の第３の管軸１０ａを有する第３の中空導波管部１０をさらに備えている。より詳細には、第３の中空導波管部１０は、第３の管軸１０ａを有する方形導波管である。
　また、導波管回路１０１は、第１の中空導波管部１の他方の端部、及び第３の中空導波管部１０の一方の端部を接続する第２の中空導波管接続部１１をさらに備えている。
　なお、実施の形態２では、第１の管軸１ａと第３の管軸１０ａとは、互いに垂直であり、導波管回路１０１は、第１の中空導波管部１と、第１の中空導波管部１にそれぞれ垂直な第２の中空導波管部２及び第３の中空導波管部１０と、第１の中空導波管接続部３と、第２の中空導波管接続部１１とによりＵ字型の形状を有する構成について説明するが、第１の管軸１ａと第３の管軸１０ａとが成す角は、９０度以外の角度であってもよい。
　第２の中空導波管接続部１１の構造についてより詳細には、第２の中空導波管接続部１１は、第３の管軸１０ａの延長線上に位置する第１の管壁１１ａ、及び第１の管軸１ａの延長線上に位置する第２の管壁１１ｂを有する。
　なお、換言すれば、第２の中空導波管接続部１１の第１の管壁１１ａは、第１の中空導波管部１の４つの管壁のうち、第３の中空導波管部１０から最も離れた管壁が延伸した部分である。また、換言すれば、第２の中空導波管接続部１１の第２の管壁１１ｂは、第３の中空導波管部１０の４つの管壁のうち、第１の中空導波管部１から最も離れた管壁が延伸した部分である。
　また、第１の管壁１１ａには、第３の開口部１１ｃが設けられている。一方、第２の管壁１１ｂには、第４の開口部１１ｄが設けられている。なお、実施の形態２では、第３の開口部１１ｃ及び第４の開口部１１ｄの２つの開口部が設けられた構成について説明するが、導波管回路１０１は、第３の開口部１１ｃ及び第４の開口部１１ｄのうちの少なくとも一方を備えていればよい。
　第３の開口部１１ｃ及び第４の開口部１１ｄの各配置についてより詳細には、第３の開口部１１ｃは、第１の管壁１１ａにおける、第１の管壁１１ａと第２の管壁１１ｂとの接続部分１１ｅに隣接した部分に設けられている。また、第４の開口部１１ｄは、第２の管壁１１ｂにおける、第１の管壁１１ａと第２の管壁１１ｂとの接続部分１１ｅに隣接した部分に設けられている。
　次に、第２の中空導波管接続部１１の他の構成について説明する。図９が示すように、第２の中空導波管接続部１１には、第１の管壁１１ａ及び第２の管壁１１ｂとそれぞれ垂直に接続する図示しない第３の管壁に一方の端部が電気的に接続し、且つ、第１の管壁１１ａ及び第２の管壁１１ｂとそれぞれ垂直に接続し且つ第３の管壁に対向する第４の管壁１１ｆに他方の端部が電気的に接続する柱部１１ｇが設けられている。
　なお、実施の形態２では、第２の中空導波管接続部１１に柱部１１ｇが１つだけ設けられている構成について説明するが、第２の中空導波管接続部１１には、柱部１１ｇが複数設けられていてもよい。また、図９が示す柱部１１ｇの形状は、円柱であるが、直方体又は板状であってもよい。
　また、第１の管壁１１ａにおける、第３の開口部１１ｃに隣接した部分には、柱部１１ｇに向かって突出した第３の突起部１１ｈが設けられている。また、第２の管壁１１ｂにおける、第４の開口部１１ｄに隣接した部分には、柱部１１ｇに向かって突出した第４の突起部１１ｉが設けられている。
　なお、実施の形態１では、第３の突起部１１ｈの先端は、第１の管壁１１ａの幅方向にそれぞれ平行な２つの長辺と、第３の管壁に接続した短辺と、第４の管壁１１ｆに接続した短辺とを有する矩形の平面である。第４の突起部１１ｉの先端は、第２の管壁１１ｂの幅方向にそれぞれ平行な２つの長辺と、第３の管壁に接続した短辺と、第４の管壁１１ｆに接続した短辺とを有する矩形の平面である。
　柱部１１ｇ、第３の突起部１１ｈ及び第４の突起部１１ｉの配置についてより詳細には、第３の突起部１１ｈは、第１の管壁１１ａにおける、接続部分１１ｅとは反対側の、第３の開口部１１ｃに隣接した部分に設けられている。第４の突起部１１ｉは、第２の管壁１１ｂにおける、接続部分１１ｅとは反対側の、第４の開口部１１ｄに隣接した部分に設けられている。また、柱部１１ｇは、第２の中空導波管接続部１１における、第３の突起部１１ｈに対向し且つ第４の突起部１１ｉに対向する位置に設けられている。
　以上のように、実施の形態２に係る導波管回路１０１は、第１の管軸１ａとは異なる方向の第３の管軸１０ａを有する第３の中空導波管部１０と、第１の中空導波管部１の他方の端部、及び第３の中空導波管部１０の一方の端部を接続し、第３の管軸１０ａの延長線上に位置する第１の管壁１１ａ、及び第１の管軸１ａの延長線上に位置する第２の管壁１１ｂを有する第２の中空導波管接続部１１と、をさらに備え、第２の中空導波管接続部１１における第１の管壁１１ａ又は第２の管壁１１ｂのうちの少なくとも一方には、開口部が設けられている。
　上記の構成によれば、導波管回路１０１内に液体の研磨剤を流して内面を研磨する際に、研磨剤を当該開口部から排出することができる。よって、当該開口部の形状又は大きさを適宜調整することで、第２の中空導波管接続部１１においても研磨剤の流れを調整できる。よって、第２の中空導波管接続部１１における研磨剤の流れの変化に起因した研磨のムラを抑制できる。
　または、第３の中空導波管部１０は、一方の端部が、第２の中空導波管接続部１１を介して、第２の中空導波管部２の他方の端部に接続されてもよい。つまり、実施の形態２に係る導波管回路１０１は、第２の管軸２ａとは異なる方向の第３の管軸１０ａを有する第３の中空導波管部１０と、第２の中空導波管部２の他方の端部、及び第３の中空導波管部１０の一方の端部を接続し、第３の管軸１０ａの延長線上に位置する第１の管壁１１ａ、及び第２の管軸２ａの延長線上に位置する第２の管壁１１ｂを有する第２の中空導波管接続部１１と、をさらに備え、第２の中空導波管接続部１１における第１の管壁１１ａ又は第２の管壁１１ｂのうちの少なくとも一方には、開口部が設けられている構成を備えてもよい。
　当該構成においても、実施の形態２に係る導波管回路１０１が奏する上述の効果と同様の効果を奏する。
実施の形態３．
　実施の形態３では、Ｕ字型の導波管回路１０１の構成について説明した。実施の形態３では、Ｔ字型の導波管回路の構成について説明する。
　以下で、実施の形態３について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。図１０は、実施の形態３に係る導波管回路１０２の構成を示す断面図である。図１０が示すように、導波管回路１０２は、実施の形態１に係る導波管回路１００の構成に加えて、第２の管軸２ａとは異なる方向の第３の管軸２０ａを有する第３の中空導波管部２０をさらに備えている。より詳細には、第３の中空導波管部２０は、第３の管軸２０ａを有する方形導波管である。
　また、実施の形態３における第１の中空導波管接続部２１は、第１の中空導波管部１の一方の端部と第２の中空導波管部２の一方の端部と第３の中空導波管部２０の一方の端部とを接続している。そのため、第１の中空導波管接続部２１は、実施の形態１で説明した第２の管壁３ｂを有していない。
　なお、実施の形態３では、第１の管軸１ａと第３の管軸２０ａとは、同一直線上にあり、導波管回路１０２は、第１の中空導波管部１と、第１の中空導波管部１に垂直な第２の中空導波管部２と、第１の中空導波管部１と同一直線上に配置された第３の中空導波管部２０と、後述する第１の中空導波管接続部２１とによりＴ字型の形状を有する構成について説明するが、第１の管軸１ａと第３の管軸２０ａとが成す角は、０度及び１８０度以外の角度であってもよい。
　第１の中空導波管接続部２１の構造についてより詳細には、第１の中空導波管接続部２１は、第２の管軸２ａの延長線上に位置する第１の管壁２１ａを有している。なお、換言すれば、第１の中空導波管接続部２１の第１の管壁２１ａは、第１の中空導波管部１の４つの管壁のうち、第２の中空導波管部２から最も離れた管壁が延伸した部分であり、且つ、第３の中空導波管部２０の４つの管壁のうち、第２の中空導波管部２から最も離れた管壁が延伸した部分である。
　また、第１の管壁２１ａには、第１の開口部２１ｂ及び第２の開口部２１ｃがそれぞれ設けられている。
　また、第１の中空導波管接続部２１には、それぞれ、第１の管壁２１ａと垂直に接続する図示しない第３の管壁に一方の端部が電気的に接続し、且つ、第１の管壁２１ａと垂直に接続し且つ当該第３の管壁に対向する第４の管壁２１ｄに他方の端部が電気的に接続する第１の柱部２１ｅ、第２の柱部２１ｆ及び第３の柱部２１ｇが設けられている。
　また、第１の管壁２１ａにおける、第１の開口部２１ｂに隣接した部分には、第１の突起部２１ｈが設けられている。また、第１の管壁２１ａにおける、第２の開口部２１ｃに隣接した部分には、第２の突起部２１ｉが設けられている。
　第１の柱部２１ｅ、第２の柱部２１ｆ及び第３の柱部２１ｇ、並びに第１の突起部２１ｈ及び第２の突起部２１ｉの配置についてより詳細には、第１の突起部２１ｈは、第１の管壁２１ａにおける、第１の中空導波管部１側の、第１の開口部２１ｂに隣接した部分に設けられている。第２の突起部２１ｉは、第１の管壁２１ａにおける、第３の中空導波管部２０側の、第２の開口部２１ｃに隣接した部分に設けられている。
　第１の柱部２１ｅ、第２の柱部２１ｆ及び第３の柱部２１ｇは、それぞれ、第１の中空導波管接続部２１における、第１の開口部２１ｂと第２の開口部２１ｃとの間の第１の管壁２１ａの部分に対向する位置に設けられている。より詳細には、第１の柱部２１ｅは、第１の中空導波管接続部２１における、第１の開口部２１ｂと第２の開口部２１ｃとの間の第１の管壁２１ａの中間部分に対向する位置に設けられている。第２の柱部２１ｆは、第１の中空導波管接続部２１における、第１の柱部２１ｅと第１の開口部２１ｂとの間の位置に設けられている。第３の柱部２１ｇは、第１の中空導波管接続部２１における、第１の柱部２１ｅと第２の開口部２１ｃとの間の位置に設けられている。
　以上のように、実施の形態３に係る導波管回路１０２は、第２の管軸２ａとは異なる方向の第３の管軸２０ａを有する第３の中空導波管部２０をさらに備え、第１の中空導波管接続部２１は、第１の中空導波管部１の一方の端部と第２の中空導波管部２の一方の端部と第３の中空導波管部２０の一方の端部とを接続している。
　上記の構成によれば、導波管回路１０２内に液体の研磨剤を流して内面を研磨する際に、三叉路に流れてきた研磨剤を第１の開口部２１ｂから排出することができるため、第１の開口部２１ｂの形状又は大きさを適宜調整することで、三叉路を有する第１の中空導波管接続部２１における研磨剤の流れを調整できる。よって、第１の中空導波管接続部２１における研磨剤の流れの変化に起因した研磨のムラを抑制できる。
　なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
　この発明に係る導波管回路は、中空導波管接続部における研磨剤の流れを調整できるため、導波管回路の製造時に利用可能である。
　１　第１の中空導波管、１ａ　第１の管軸、２　第２の中空導波管部、２ａ　第２の管軸、３　第１の中空導波管接続部、３ａ　第１の管壁、３ｂ　第２の管壁、３ｃ　第１の開口部、３ｄ　第２の開口部、３ｅ　接続部分、３ｆ　第３の管壁、３ｇ　第４の管壁、３ｈ　柱部、３ｉ　第１の突起部、３ｊ　第２の突起部、３ｋ　第１の開口部、３ｌ　第１の開口部、３ｍ　第１の開口部、３ｎ　柱部、３ｏ　第１の突起部、３ｐ　接続部、３ｑ　第１の突起部、３ｒ　第２の突起部、１０　第３の中空導波管部、１０ａ　第３の管軸、１１　第２の中空導波管接続部、１１ａ　第１の管壁、１１ｂ　第２の管壁、１１ｃ　第３の開口部、１１ｄ　第４の開口部、１１ｅ　接続部分、１１ｆ　第４の管壁、１１ｇ　柱部、１１ｈ　第３の突起部、１１ｉ　第４の突起部、２０　第３の中空導波管部、２０ａ　第３の管軸、２１　第１の中空導波管接続部、２１ａ　第１の管壁、２１ｂ　第１の開口部、２１ｃ　第２の開口部、２１ｄ　第４の管壁、２１ｅ　第１の柱部、２１ｆ　第２の柱部、２１ｇ　第３の柱部、２１ｈ　第１の突起部、２１ｉ　第２の突起部、１００　導波管回路、１０１　導波管回路、１０２　導波管回路。

Claims (16)

  1. 　第１の管軸を有する第１の中空導波管部と、
    　前記第１の管軸とは異なる方向の第２の管軸を有する第２の中空導波管部と、
    　前記第１の中空導波管部の一方の端部、及び前記第２の中空導波管部の一方の端部を接続し、前記第２の管軸の延長線上に位置する第１の管壁を有する第１の中空導波管接続部と、を備え、
    　前記第１の管壁には、第１の開口部が設けられていることを特徴とする、導波管回路。
  2. 　前記第１の中空導波管接続部は、前記第１の管軸の延長線上に位置する第２の管壁をさらに有し、
    　前記第２の管壁には、第２の開口部が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  3. 　前記第１の中空導波管接続部には、前記第１の管壁と垂直に接続する第３の管壁に一方の端部が電気的に接続し、且つ、前記第１の管壁と垂直に接続し且つ前記第３の管壁に対向する第４の管壁に他方の端部が電気的に接続する柱部が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  4. 　前記柱部の形状は、円柱、直方体、又は板状であることを特徴とする、請求項３に記載の導波管回路。
  5. 　前記第１の管壁における、前記第１の開口部に隣接した部分には、前記柱部に向かって突出した第１の突起部が設けられていることを特徴とする、請求項３に記載の導波管回路。
  6. 　前記第１の突起部の先端は、曲面であることを特徴とする、請求項５に記載の導波管回路。
  7. 　前記第１の中空導波管接続部には、前記第１の管壁と垂直に接続する第３の管壁に一方の端部が電気的に接続し、且つ、前記第１の管壁と垂直に接続し且つ前記第３の管壁に対向する第４の管壁に他方の端部が電気的に接続する柱部が設けられ、
    　前記第１の管壁における、前記第１の開口部に隣接した部分には、前記柱部に向かって突出した突起部が設けられており、
    　前記柱部と、前記突起部とは、接続していることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  8. 　前記第１の中空導波管接続部は、前記第１の管軸の延長線上に位置する第２の管壁を有し、
    　前記第１の開口部は、前記第１の管壁における、前記第１の管壁と前記第２の管壁との接続部分に隣接した部分に設けられ、
    　前記第２の管壁における、前記接続部分に隣接した部分には、第２の開口部が設けられ、
    　前記第１の管壁における、前記接続部分とは反対側の、前記第１の開口部に隣接した部分には、第１の突起部が設けられ、
    　前記第２の管壁における、前記接続部分とは反対側の、前記第２の開口部に隣接した部分には、第２の突起部が設けられ、
    　前記第１の中空導波管接続部における、前記第１の突起部に対向し且つ前記第２の突起部に対向する位置には、前記第１の管壁及び前記第２の管壁とそれぞれ垂直に接続する第３の管壁に一方の端部が電気的に接続し、且つ、前記第１の管壁及び前記第２の管壁とそれぞれ垂直に接続し且つ前記第３の管壁に対向する第４の管壁に他方の端部が電気的に接続する柱部が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  9. 　前記第１の開口部の内径の長さは、伝搬信号の波長の４分の１以上の長さであることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  10. 　前記第１の開口部の形状は、矩形又は円であることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  11. 　前記第１の管軸と前記第２の管軸とは、互いに垂直であることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  12. 　前記第１の管軸とは異なる方向の第３の管軸を有する第３の中空導波管部と、
    　前記第１の中空導波管部の他方の端部、及び前記第３の中空導波管部の一方の端部を接続し、前記第３の管軸の延長線上に位置する第１の管壁、及び前記第１の管軸の延長線上に位置する第２の管壁を有する第２の中空導波管接続部と、をさらに備え、
    　前記第２の中空導波管接続部における前記第１の管壁又は前記第２の管壁のうちの少なくとも一方には、開口部が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  13. 　前記第２の管軸とは異なる方向の第３の管軸を有する第３の中空導波管部と、
    　前記第２の中空導波管部の他方の端部、及び前記第３の中空導波管部の一方の端部を接続し、前記第３の管軸の延長線上に位置する第１の管壁、及び前記第２の管軸の延長線上に位置する第２の管壁を有する第２の中空導波管接続部と、をさらに備え、
    　前記第２の中空導波管接続部における前記第１の管壁又は前記第２の管壁のうちの少なくとも一方には、開口部が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  14. 　前記第２の管軸とは異なる方向の第３の管軸を有する第３の中空導波管部をさらに備え、
    　前記第１の中空導波管接続部は、前記第１の中空導波管部の一方の端部と前記第２の中空導波管部の一方の端部と前記第３の中空導波管部の一方の端部とを接続していることを特徴とする、請求項１に記載の導波管回路。
  15. 　メッキされた樹脂から構成されていることを特徴とする、請求項１から請求項１４の何れか１項に記載の導波管回路。
  16. 　第１の管軸を有する第１の中空導波管部と、
    　前記第１の管軸とは異なる方向の第２の管軸を有する第２の中空導波管部と、
    　前記第１の中空導波管部の一方の端部、及び前記第２の中空導波管部の一方の端部を接続し、前記第２の管軸の延長線上に位置する第１の管壁を有する第１の中空導波管接続部と、を備え、
    　前記第１の管壁には、第１の開口部が設けられている、導波管回路を、金属３Ｄプリンタで製造することを特徴とする、導波管回路の製造方法。
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