WO2019012584A1 - Transport device and transport method - Google Patents

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Abstract

[Solution] A transport device (1) moves a sheet member (29) supported by a suction unit (25, 26) above a second table (62) serving as the transport destination, and moves the suction unit (25, 26) in the direction approaching the second table (62) while decreasing the speed gradually or in stages to bring the sheet member (29) into contact with the second table (62). Accordingly, while sheet member transport speed is enhanced, air is prevented from entering between the sheet member and the transport destination table.

Description

搬送装置、及び、搬送方法Transport apparatus and transport method
 本発明はシート部材を搬送するための搬送装置、及び、搬送方法に関する。 The present invention relates to a conveying apparatus for conveying a sheet member, and a conveying method.
 特許文献1では、厚さ30μm~100μm程度のシートであるメタルマスクには微細パターンが形成されている。そして、当該メタルマスクは、当該メタルマスクよりも充分に強固な材質と形態を有する枠体に取り付けられて搬送される。 In Patent Document 1, a fine pattern is formed on a metal mask which is a sheet having a thickness of about 30 μm to 100 μm. And the said metal mask is attached and conveyed to the frame which has a material and form sufficiently firmer than the said metal mask.
特開2009-129728号公報JP, 2009-129728, A
 メタルマスクを枠体に取り付ける前に、当該メタルマスクに形成された微細パターンの検査を行う場合がある。この場合、シート状態で検査装置へ搬送し、当該検査装置が有するテーブル上にメタルマスクを載置する。しかし、メタルマスクは厚さが薄いため、搬送時の移動に伴う風圧により撓みが発生しやすい。そして、撓んだ状態でメタルマスクを検査装置が有するテーブルに載置すると、当該検査装置で所望の精度での検査結果が得られない場合がある。 Before attaching a metal mask to a frame, inspection of a fine pattern formed on the metal mask may be performed. In this case, the sheet is conveyed to the inspection apparatus, and a metal mask is placed on a table of the inspection apparatus. However, since the metal mask is thin, it is likely to be bent due to the wind pressure accompanying the movement at the time of conveyance. Then, if the metal mask is placed on the table of the inspection apparatus in a bent state, the inspection apparatus may not obtain the inspection result with the desired accuracy.
 メタルマスクに限らず、シート状の部材を搬送すると、移動に伴う風圧を受けることによって撓みが発生しやすい。そして、撓んだ状態でシート状の部材を、搬送先の装置が有するテーブルに載置すると、当該搬送先の装置が、テーブルに載置されたシート状の部材に対し処理を行うと、当該処理による所望の効果が得られない場合がある。 When a sheet-like member is transported without being limited to the metal mask, bending is likely to occur by receiving a wind pressure accompanying the movement. Then, when the sheet-like member is placed on the table held by the device at the transfer destination in a bent state, the device at the transfer destination processes the sheet-like member placed on the table. The desired effect of the treatment may not be obtained.
 また、この搬送時に受ける風圧を抑えるために搬送速度を落とすと、搬送に要する時間が長くなる。この結果、製品のタクト時間が長くなり、製造コスト増大に繋がる。 In addition, if the conveyance speed is reduced to suppress the wind pressure received during the conveyance, the time required for the conveyance becomes longer. As a result, the tact time of the product becomes longer, which leads to an increase in manufacturing cost.
 本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、シート部材の搬送に要する時間を短縮しつつ、シート部材と搬送先の装置が有するテーブルとの間に空気が混入することを防止することである。 The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to shorten the time required to convey a sheet member and to allow air to be generated between the sheet member and a table of a destination device. It is to prevent mixing.
 上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送装置は、シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置であって、上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を一又は複数の吸着部で支持するステップと、上記吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、上記吸着部を、上記第2テーブルへ近づく方向へ、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned subject, a conveying device concerning one mode of the present invention is a conveying device which conveys a sheet member from the 1st table to the 2nd table, and the above-mentioned sheet placed on the 1st table mentioned above Supporting the end of the member with one or more suction parts, moving the suction parts above the second table, and moving the suction parts toward the second table gradually or in stages Moving the sheet member by bringing the sheet member into contact with the second table.
 上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送装置は、シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置であって、上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を、第1吸着部及び第2吸着部を含む複数の吸着部で支持するステップと、上記複数の吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、上記第1吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップと、上記第2吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち、上記第1吸着部が支持している領域が上記第2テーブルに接触した後、上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned subject, a conveying device concerning one mode of the present invention is a conveying device which conveys a sheet member from the 1st table to the 2nd table, and the above-mentioned sheet placed on the 1st table mentioned above Supporting the end of the member with a plurality of suction units including a first suction unit and a second suction unit; moving the plurality of suction units above the second table; and the first suction unit Is moved toward the second table to bring the area of the sheet member supported by the first suction unit into contact with the second table, and the second suction unit is moved to the second table. After the area supported by the first suction unit in the sheet member is brought into contact with the second table by moving in the direction approaching the second sheet, the area supported by the second suction unit is changed to the second Touch the table And having a step.
 上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送方法は、シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置の搬送方法であって、上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を一又は複数の吸着部で支持するステップと、上記吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、上記吸着部を、上記第2テーブルへ近づく方向へ、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned subject, a conveyance method concerning one mode of the present invention is a conveyance method of a conveyance device which conveys a sheet member from the 1st table to the 2nd table, and is laid in the above-mentioned 1st table Supporting the end portion of the sheet member with one or more suction units, moving the suction unit above the second table, and moving the suction unit toward the second table. Moving the sheet member to the second table by moving the sheet member gradually or gradually at a slower speed.
 上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送方法は、シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置の搬送方法であって、上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を、第1吸着部及び第2吸着部を含む複数の吸着部で支持するステップと、上記複数の吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、上記第1吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップと、上記第2吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned subject, a conveyance method concerning one mode of the present invention is a conveyance method of a conveyance device which conveys a sheet member from the 1st table to the 2nd table, and is laid in the above-mentioned 1st table Supporting the end portion of the sheet member with a plurality of suction units including a first suction unit and a second suction unit; moving the plurality of suction units above the second table; Moving the first suction unit toward the second table to bring the area supported by the first suction unit of the sheet member into contact with the second table; and moving the second suction unit to the second table. Moving in a direction approaching the second table to bring the area of the sheet member supported by the second suction unit into contact with the second table.
 本発明の一態様によれば、シート部材を搬送するために要する時間を短縮しつつ、シート部材と搬送先の装置が有するテーブルとの間に空気が混入することを防止することができるという効果を奏する。 According to one aspect of the present invention, it is possible to prevent air from being mixed in between the sheet member and the table of the device of the conveyance destination while shortening the time required to convey the sheet member. Play.
実施形態1に係る搬送装置の構成を表す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration of a conveyance device according to Embodiment 1. 実施形態1に係る搬送装置における吸着筒の先端に配されたパッドの構成を表す平面図である。FIG. 7 is a plan view illustrating the configuration of a pad disposed at the tip of a suction cylinder in the transfer device according to the first embodiment. (a)はマスクシートを含む蒸着マスクの平面図であり、(b)は(a)のA-A断面図である。(A) is a top view of the vapor deposition mask containing a mask sheet | seat, (b) is AA sectional drawing of (a). 上記蒸着マスクの作製工程を表すフローチャートである。It is a flowchart showing the preparation process of the said vapor deposition mask. (a)は実施形態1に係る有機EL表示パネルの構成を示す断面図であり、(b)は実施形態1に係る有機EL表示パネルの製造方法の概略を示すフローチャートである。(A) is sectional drawing which shows a structure of the organic electroluminescent display panel which concerns on Embodiment 1, (b) is a flowchart which shows the outline of the manufacturing method of the organic electroluminescent display panel which concerns on Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る有機EL表示装置の発光層を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic view showing a state of a vapor deposition process at the time of forming a light emitting layer of the organic EL display device according to Embodiment 1. 実施形態1の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。5 is a flowchart showing a transport method of the transport apparatus of the first embodiment. 実施形態1の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図であり、(a)は吸着している様子を表し、(b)はシート部材を上昇させた様子を表し、(c)はシート部材を第2テーブルへ第1速度で近づけている様子を表し、(d)はシート部材を第2テーブルへ第2速度で近づけている様子を表し(e)はシート部材の第2テーブルへの搬送を完了した様子を表す図である。It is a figure showing a mode that the conveyance apparatus of Embodiment 1 is conveying a sheet member, (a) showing a mode that it adsorb | sucks, (b) showing a mode that the sheet member was raised, (c) Shows how the sheet member approaches the second table at the first speed, (d) shows how the sheet member approaches the second table at the second speed, and (e) shows the second table of the sheet member It is a figure showing a mode that conveyance to was completed. 実施形態2の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。7 is a flowchart illustrating a transfer method of the transfer device of the second embodiment. 実施形態2の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図であり、(a)は一方の吸着筒側のシート部材の端部を第2テーブルへ近づける様子を表し、(b)は他方の吸着筒側のシート部材の端部を第2テーブルへ近づける様子を表し(c)はシート部材の第2テーブルへの搬送を完了した様子を表す図である。It is a figure showing a mode that the conveyance apparatus of Embodiment 2 is conveying a sheet member, (a) showing a mode that the edge part of the sheet member by the side of one adsorption cylinder is made to approach a 2nd table, (b) The state which brought the edge part of the sheet member by the side of the other adsorption | suction cylinder close to a 2nd table is represented, (c) is a figure showing a mode that conveyance of the sheet member to the 2nd table was completed. 実施形態3の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。7 is a flowchart illustrating a transfer method of the transfer device of the third embodiment. 実施形態2の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図であり、(a)は吸着筒を回転させてシート部材を撓ませている様子を表す図であり、(b)は回転させた吸着筒の回転を戻しシート部材の撓みを無くした様子を表す図である。It is a figure showing a mode that the conveyance apparatus of Embodiment 2 is conveying a sheet member, (a) is a figure showing a mode that a suction cylinder is rotated and a sheet member is bent, (b) is rotation. It is a figure showing a mode that the rotation of the suction cylinder made to be made to return and the bending of the sheet | seat member was eliminated. 実施形態4の搬送装置の構成を表す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view illustrating a configuration of a conveyance device of Embodiment 4. 実施形態4の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。15 is a flowchart illustrating a transfer method of the transfer device of the fourth embodiment. 実施形態4の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図であり、(a)はシート部材のX軸方向へのスライド移動を完了させた様子を表す図であり、(b)はシート部材に対し送風をしている様子を表す図であり、(c)はシート部材の第2テーブルへの搬送を完了した様子を表す図である。It is a figure showing a mode that the conveyance apparatus of Embodiment 4 is conveying a sheet member, and a figure showing a mode that the slide movement to the direction of the X-axis of a sheet member was completed, and (b) It is a figure showing a mode that air is supplied with respect to a sheet member, and (c) is a figure showing a mode that conveyance of the sheet member to the 2nd table was completed. 実施形態5の搬送装置の構成を表す斜視図である。FIG. 18 is a perspective view illustrating the configuration of a conveyance device of a fifth embodiment. 実施形態6に係る搬送装置の構成を表す斜視図である。FIG. 18 is a perspective view illustrating the configuration of a transfer device according to a sixth embodiment. 実施形態6に係る搬送装置における吸着筒の先端に配されたパッドの構成を表す平面図である。It is a top view showing the composition of the pad arranged at the tip of the suction cylinder in the conveyance device concerning a 6th embodiment.
 〔実施形態1〕
 以下に本発明の一実施形態について説明する。
Embodiment 1
An embodiment of the present invention will be described below.
 (搬送装置1の概略構成)
 図1は、実施形態1に係る搬送装置1の構成を表す斜視図である。図2は、実施形態1に係る搬送装置1の吸着筒25・26の先端に配されたパッド25a・26aの構成を表す平面図である。
(Schematic Configuration of Transfer Device 1)
FIG. 1 is a perspective view illustrating the configuration of the conveyance device 1 according to the first embodiment. FIG. 2 is a plan view illustrating the configuration of the pads 25a and 26a disposed at the tip of the suction cylinders 25 and 26 of the transfer device 1 according to the first embodiment.
 搬送装置1は、ガイドレール20と、ガイドレール21と、吸着筒駆動部23と、吸着筒駆動部24と、吸着筒(吸着部、第1吸着部)25と、吸着筒(吸着部、第2吸着部)26と、制御部30とを有する。搬送装置1は、シート部材29を、前工程の処理を行う搬送前の装置が有する第1テーブル61から、次の工程の処理を行う搬送先の装置が有する第2テーブル62へ搬送する。 The transport apparatus 1 includes a guide rail 20, a guide rail 21, an adsorption cylinder drive unit 23, an adsorption cylinder drive unit 24, an adsorption cylinder (adsorption unit, first adsorption unit) 25, an adsorption cylinder (adsorption unit, first 2) A suction unit 26 and a control unit 30 are provided. The transport apparatus 1 transports the sheet member 29 from the first table 61 of the apparatus before transport that performs the process of the preceding process to the second table 62 of the transport destination apparatus of the process of the next process.
 第1テーブル61又は第2テーブル62の表面に対する法線方向をZ軸方向とし、Z軸に直交し第1テーブル61と第2テーブル62とが並ぶ方向をX軸方向とし、Z軸及びX軸に直交する方向をY軸方向とする。 The direction normal to the surface of the first table 61 or the second table 62 is the Z-axis direction, the direction orthogonal to the Z-axis is the first table 61 and the second table 62 aligned is the X-axis direction, the Z-axis and the X-axis The direction orthogonal to is taken as the Y-axis direction.
 ガイドレール20・21は互いに平行である。ガイドレール20・21は、第1テーブル61及び第2テーブル62の上方であってそれぞれに跨るように配置されている。 The guide rails 20, 21 are parallel to one another. The guide rails 20 and 21 are disposed above the first table 61 and the second table 62 so as to straddle each of them.
 ガイドレール20には吸着筒駆動部23がスライド可能に取り付けられており、ガイドレール21には吸着筒駆動部24がスライド可能に取り付けられている。ガイドレール20・21は、例えば、ガラススケール等を有することで、吸着筒駆動部23・24の移動距離の計測が可能な構成であることが好ましい。 The suction cylinder drive unit 23 is slidably attached to the guide rail 20, and the suction cylinder drive unit 24 is slidably attached to the guide rail 21. It is preferable that the guide rails 20 and 21 have, for example, a glass scale or the like so that the movement distance of the suction cylinder driving units 23 and 24 can be measured.
 吸着筒駆動部23には吸着筒25がZ軸方向にスライド可能に取り付けられており、吸着筒駆動部24には吸着筒26がZ軸方向にスライド可能に取り付けられている。吸着筒駆動部23は、さらに、吸着筒25を、吸着筒25の中心軸を中心に回転可能であってもよく(回転方向をθ軸方向とする)、さらに、吸着筒25をY軸方向にスライド可能であってもよい。吸着筒駆動部24は、さらに、吸着筒26を、吸着筒26の中心軸を中心に回転可能であってもよく(回転方向をθ方向とする)、さらに、吸着筒26をY軸方向にスライド可能であってもよい。 A suction cylinder 25 is slidably attached to the suction cylinder drive unit 23 in the Z-axis direction, and a suction cylinder 26 is slidably attached to the suction cylinder drive unit 24 in the Z-axis direction. The suction cylinder drive unit 23 may further be capable of rotating the suction cylinder 25 around the central axis of the suction cylinder 25 (the rotation direction is taken as the θ axis direction), and the suction cylinder 25 is further directed in the Y axis direction. It may be slidable. The suction cylinder drive unit 24 may further be capable of rotating the suction cylinder 26 about the central axis of the suction cylinder 26 (the rotational direction is taken as the θ direction), and further, the suction cylinder 26 in the Y axis direction It may be slidable.
 吸着筒25・26は、例えば円筒等の筒形状を有する。吸着筒25は基部が吸着筒駆動部23とスライド可能に接続されており、先端部でシート部材29を支持することができる。吸着筒26は基部が吸着筒駆動部24とスライド可能に接続されており、先端部でシート部材29を支持することができる。 The suction cylinders 25 and 26 have, for example, a cylindrical shape such as a cylinder. The suction cylinder 25 has a base portion slidably connected to the suction cylinder drive unit 23 and can support the sheet member 29 at its tip. The suction cylinder 26 has a base portion slidably connected to the suction cylinder drive unit 24 and can support the sheet member 29 at its tip.
 なお、吸着筒25・26の形状は円筒に限らず、円筒以外の柱状形状であってもよいし、さらに筒状に限定されるものではなく、先端部でシート部材29を支持することができる形状であればよい。 The shape of the suction cylinders 25 and 26 is not limited to a cylinder, and may be a columnar shape other than a cylinder, and is not limited to a cylinder, and the sheet member 29 can be supported at the tip end. Any shape is acceptable.
 吸着筒25・26は、例えば、吸引することで先端部にシート部材29の両端部を吸着させて、シート部材29を支持する。吸着筒25・26は、例えば、内部が空洞の金属材料からなる。吸着筒25は先端部にパッド(弾性部材)25aを有し、吸着筒26は先端部にパッド(弾性部材)26aを有する。パッド25a・26aは、例えば、ゴム、樹脂等の弾力性を有する材料からなる。このように、吸着筒25・26におけるシート部材29との接触面は弾力性を有するため、吸着筒25・26がシート部材29に接触することでシート部材29に傷が付くことを防止することができる。 The suction cylinders 25 and 26 support the sheet member 29 by, for example, suctioning both ends of the sheet member 29 to the tip end by suction. The adsorbing cylinders 25 and 26 are made of, for example, a metal material whose inside is hollow. The suction cylinder 25 has a pad (elastic member) 25a at its tip, and the suction cylinder 26 has a pad (elastic member) 26a at its tip. The pads 25a and 26a are made of, for example, an elastic material such as rubber or resin. As described above, since the contact surfaces of the suction cylinders 25 and 26 with the sheet member 29 have elasticity, the contact of the suction cylinders 25 and 26 with the sheet member 29 prevents the sheet member 29 from being scratched. Can.
 図2に示すように、バッド25aの表面(シート部材29との接触面)には多数の、開口部である吸引口25bが形成されており、パッド26aの表面には、多数の、開口部である吸引口26bが形成されている。この吸引口25b・26bが多数設けられているため、吸着筒25・26は、シート部材29を吸引して支持するときにシート部材29の表面に加わる圧力を分散させることができる。 As shown in FIG. 2, a large number of suction ports 25b, which are openings, are formed on the surface (contact surface with the sheet member 29) of the pad 25a, and a large number of openings are formed on the surface of the pad 26a. The suction port 26b is formed. Since a large number of suction ports 25b and 26b are provided, the suction cylinders 25 and 26 can disperse pressure applied to the surface of the sheet member 29 when the sheet member 29 is sucked and supported.
 図1に示すシート部材29は、両端部に挟まれた中央部は、種々のパターンが形成されている。このため、吸着筒25・26は、シート部材29の中央部を支持することはできず、シート部材29の両端部を支持することで、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送する。 The sheet member 29 shown in FIG. 1 is formed with various patterns at the central portion sandwiched between both ends. Therefore, the suction cylinders 25 and 26 can not support the central portion of the sheet member 29. By supporting the both end portions of the sheet member 29, the sheet member 29 is moved from the first table 61 to the second table 62. Transport
 制御部30は搬送装置1を全体的に制御する。制御部30は吸着筒駆動制御部31を有する。吸着筒駆動制御部31は、吸着筒駆動部23・24の駆動を制御する。吸着筒駆動部23は、吸着筒駆動制御部31からの指示により、ガイドレール20に沿って吸着筒25と共にX軸方向へ移動したり、吸着筒25を移動させたり、吸着筒25を回転させたり、吸着筒25に吸着させたりする。吸着筒駆動部24は、吸着筒駆動制御部31からの指示により、ガイドレール21に沿って吸着筒26と共にX軸方向へ移動したり、吸着筒26を移動させたり、吸着筒26を回転させたり、吸着筒26に吸着させたりする。 The control unit 30 controls the transfer device 1 as a whole. The control unit 30 has a suction cylinder drive control unit 31. The suction cylinder drive control unit 31 controls the drive of the suction cylinder drive units 23 and 24. The suction cylinder drive unit 23 moves in the X axis direction with the suction cylinder 25 along the guide rail 20, moves the suction cylinder 25 or rotates the suction cylinder 25 according to an instruction from the suction cylinder drive control unit 31. Or adsorb to the adsorption cylinder 25. The suction cylinder drive unit 24 moves in the X axis direction with the suction cylinder 26 along the guide rail 21, moves the suction cylinder 26, rotates the suction cylinder 26, and rotates the suction cylinder 26 according to an instruction from the suction cylinder drive control unit 31. And adsorb to the adsorption cylinder 26.
 このように、搬送装置1は、シート部材29を支持し搬送するために、ガイドレール20、吸着筒駆動部23及び吸着筒25を有する搬送ユニットと、ガイドレール21、吸着筒駆動部24及び吸着筒26を有する搬送ユニットとの2個の搬送ユニットを有する。なお、搬送装置1が有する搬送ユニットの個数は2個に限定されず、1個であってもよいし、3個以上であってもよい。 As described above, in order to support and convey the sheet member 29, the conveyance device 1 has a conveyance unit including the guide rail 20, the suction cylinder driving unit 23 and the suction cylinder 25, the guide rail 21, the suction cylinder driving unit 24 and the suction. It has two transport units with a transport unit having a tube 26. The number of transport units included in the transport apparatus 1 is not limited to two, and may be one or three or more.
 また、搬送装置1において、上述した構成は一例であり、上述した構成に限定されるものではない。本実施形態において搬送装置1は、少なくとも、吸着筒25・26が、X軸方向及びZ軸方向へ移動可能であり、先端部でシート部材29を支持することが可能であればよい。 Moreover, in the conveyance apparatus 1, the structure mentioned above is an example, and it is not limited to the structure mentioned above. In the present embodiment, at least the suction cylinders 25 and 26 can move in the X-axis direction and the Z-axis direction, and the conveyance device 1 may be able to support the sheet member 29 at the tip end.
 搬送装置1が搬送するシート部材29は、一例として、蒸着マスクを構成するマスクシートを挙げることができる。蒸着マスクは、蒸着時に使用し、蒸着層を基板にパターン形成するためのマスクである。基板にパターン形成する蒸着層とは、一例として、有機EL(Electro Luminescence:エレクトロルミネッセンス)表示装置の画素に配される発光層を挙げることができる。 The sheet member 29 which the conveyance apparatus 1 conveys can mention the mask sheet which comprises a vapor deposition mask as an example. The deposition mask is used during deposition and is a mask for patterning a deposition layer on a substrate. The vapor deposition layer which carries out pattern formation to a board | substrate can mention the light emitting layer distribute | arranged to the pixel of an organic EL (Electro Luminescence: electro luminescence) display apparatus as an example.
 さらに、シート部材29の一例として、フレキシブル化された、有機EL表示装置等の表示装置を挙げることもできる。 Furthermore, as an example of the sheet member 29, a flexible display device such as an organic EL display device can be mentioned.
 (蒸着マスク)
 まず、図3及び図4を用いて蒸着マスクについて説明する。図3の(a)はマスクシートを含む蒸着マスクの平面図であり、(b)は(a)のA-A断面図である。図4は蒸着マスクの作製工程(ステップS110)を表すフローチャートである。
(Evaporation mask)
First, a deposition mask will be described using FIGS. 3 and 4. FIG. 3 (a) is a plan view of a vapor deposition mask including a mask sheet, and FIG. 3 (b) is a sectional view taken along the line AA of FIG. 3 (a). FIG. 4 is a flowchart showing a process of manufacturing a deposition mask (step S110).
 図3の(a)及び図4に示すように、枠状のフレーム12に、複数のサポートシート13を架張しつつ、サポートシート13の端部をフレーム12の凹部に嵌め込んで溶接する(ステップSa)。これにより、サポートシート13が、紙面上下方向(フレーム12の長手方向)に平行に延伸するようにフレーム12に取り付けられる。 As shown in (a) of FIG. 3 and FIG. 4, while stretching the plurality of support sheets 13 on the frame-like frame 12, the end of the support sheet 13 is fitted into the recess of the frame 12 and welded ( Step Sa). Thus, the support sheet 13 is attached to the frame 12 so as to extend in parallel with the vertical direction of the drawing (longitudinal direction of the frame 12).
 次に、フレーム12に、複数のカバーシート14を架張しつつ、カバーシート14の端部をフレーム12の凹部に嵌め込んで溶接する(ステップSb)。これにより、カバーシート14が、紙面左右方向(フレーム12の長手方向に直交する短手方向)に平行に延伸するようにフレーム12に取り付けられる。このように、フレーム12に、サポートシート13と、カバーシート14とが格子状に取り付けられる。 Next, while stretching the plurality of cover sheets 14 on the frame 12, the end portions of the cover sheet 14 are fitted into the recessed portions of the frame 12 and welded (step Sb). As a result, the cover sheet 14 is attached to the frame 12 so as to extend in parallel to the left-right direction in the drawing (the short direction orthogonal to the longitudinal direction of the frame 12). As described above, the support sheet 13 and the cover sheet 14 are attached to the frame 12 in a lattice form.
 次いで、予め作製しておいた短冊状のマスクシート11を、両端部11bをグリッパ(不図示)にセットし、カバーシート14に重ねるようにフレーム12上に配置する(ステップSc)。マスクシート11の両端部11b間には、蒸着を行う基板の画素エリアに対応するパターンに貫通孔である蒸着孔がパターン形成された有効部11aが並んで形成されている。マスクシート11の両端部11bはそれぞれ、中央部が切り欠かれた形状であり、両端部11bの切り欠きの両側に位置する部分をグリッパに挟み込む。 Next, the strip-like mask sheet 11 prepared in advance is set on the frame 12 so that the both end portions 11 b are set in the gripper (not shown) and overlaid on the cover sheet 14 (step Sc). Between the end portions 11b of the mask sheet 11, effective portions 11a in which vapor deposition holes, which are through holes, are formed in a pattern corresponding to the pixel area of the substrate on which vapor deposition is performed are formed. The both ends 11b of the mask sheet 11 have a shape in which the central part is cut away, and the portions positioned on both sides of the notches in the both ends 11b are sandwiched by the grippers.
 次いで、グリッパによってマスクシート11に張力をかけ、グリッパをそれぞれ独立して調整することで、マスクシート11のフレーム12に対する位置合わせを行う(ステップSd)。この際、マスクシート11の有効部11aにおける蒸着孔の位置が、蒸着を行う基板の画素エリアと合致するように位置合わせを行う。 Next, the mask sheet 11 is tensioned by the grippers, and the grippers are adjusted independently of each other, whereby the mask sheet 11 is aligned with the frame 12 (step Sd). At this time, alignment is performed so that the positions of the vapor deposition holes in the effective portion 11 a of the mask sheet 11 coincide with the pixel area of the substrate on which vapor deposition is performed.
 図3の(a)(b)及び図4に示すように、位置合わせが完了すれば、レーザを用いてマスクシート11の溶接部15をフレーム12に溶接する(ステップSe)。具体的には複数個のスポット溶接を行う。これにより、マスクシート11およびフレーム12の融解による溶接スポットが複数形成される。溶接が完了すれば、両端部11bを把持するグリッパを解除し(ステップSf)、全枚数分のマスクシート11をフレーム12に溶接したあとマスクシート11における溶接部15の外側部分(不要部分)をカットする(ステップSg)。 As shown in (a) and (b) of FIG. 3 and FIG. 4, when the alignment is completed, the welded portion 15 of the mask sheet 11 is welded to the frame 12 using a laser (step Se). Specifically, a plurality of spot weldings are performed. Thereby, a plurality of welding spots are formed by melting the mask sheet 11 and the frame 12. When the welding is completed, the grippers holding the both end portions 11b are released (step Sf), and the mask sheets 11 of the total number are welded to the frame 12, and then the outer portion (unnecessary portion) of the welded portion 15 in the mask sheet 11 is Cut it (step Sg).
 ステップSc~Sgを繰り返し、所定枚数のマスクシート11をフレーム12に取り付けることで、蒸着マスク10が完成する。 By repeating steps Sc to Sg and attaching a predetermined number of mask sheets 11 to the frame 12, the deposition mask 10 is completed.
 フレーム12、サポートシート13、カバーシート14、及びマスクシート11は、母材として例えば、インバー材、又は、SUS等の金属材料が用いられている。 For the frame 12, the support sheet 13, the cover sheet 14, and the mask sheet 11, for example, an invar material or a metal material such as SUS is used as a base material.
 マスクシート11は、厚さが薄く、例えば、厚さ10μm以上50μm以下程度の厚さであるため、移動による風圧を受けて撓みやすい。このマスクシート11を、図1に示したシート部材29とすることができる。マスクシート11は、フレーム12に取り付ける前に事前に、蒸着孔のパターンを形成し、当該蒸着孔の位置及び大きさの検査をしておく。 The mask sheet 11 has a small thickness, for example, a thickness of about 10 μm to 50 μm, and therefore, is easily bent due to wind pressure due to movement. This mask sheet 11 can be used as the sheet member 29 shown in FIG. Before attaching the mask sheet 11 to the frame 12, a pattern of vapor deposition holes is formed in advance, and the position and size of the vapor deposition holes are inspected.
 図3の(a)及び図4に示すように、短冊状のインバー材等の金属部材に、エッチング等により、蒸着孔をパターン形成することで、両端部間であって、溶接部15となる位置よりも内側に複数の有効部11aを形成する(ステップS51)。また、この有効部11aを形成するときに、併せて、両端部11bそれぞれの切り欠きも形成する。これにより、マスクシート11が完成する。有効部11aが形成されたマスクシート11は、検査前に、図1に示した第1テーブル61に載置される。 As shown in (a) of FIG. 3 and FIG. 4, the deposition holes are patterned in a metal member such as a strip-like invar material by etching or the like to form a welded portion 15 between both ends. A plurality of effective parts 11a are formed inside the position (step S51). Further, when forming the effective portion 11a, notches are also formed at both end portions 11b. Thereby, the mask sheet 11 is completed. The mask sheet 11 in which the effective part 11a was formed is mounted in the 1st table 61 shown in FIG. 1 before test | inspection.
 次に、有効部11aが形成されたマスクシート11の次の工程である検査工程を行うため、図1に示した搬送装置1が、第1テーブル61上のマスクシート11を、検査装置へ搬送し(ステップS52)、当該検査装置が有する第2テーブル62上に載置する。なお、搬送装置1を用いた具体的な搬送方法は、図7及び図8を用いて後述する。 Next, in order to perform an inspection process which is a process following the mask sheet 11 on which the effective portion 11a is formed, the transport device 1 shown in FIG. 1 transports the mask sheet 11 on the first table 61 to the inspection device. (Step S52), and placed on the second table 62 of the inspection apparatus. In addition, the specific conveyance method using the conveyance apparatus 1 is later mentioned using FIG.7 and FIG.8.
 そして、当該検査装置によって、マスクシート11の有効部11a中の代表的な蒸着孔を複数個選択し、位置及び大きさなどの誤差が所定の範囲内であるか否を検査する(ステップS53)。 Then, a plurality of representative vapor deposition holes in the effective portion 11a of the mask sheet 11 are selected by the inspection apparatus, and it is inspected whether errors such as position and size are within a predetermined range (step S53) .
 次いで、良品であるマスクシート11は、上述したステップScにて使用され、不良品であるマスクシート11は、ステップScにて使用されず蒸着マスクの作製工程から排除される。 Next, the non-defective mask sheet 11 is used in step Sc described above, and the non-defective mask sheet 11 is not used in step Sc and is excluded from the deposition mask manufacturing process.
 (表示パネル)
 次に、図5及び図6を用いて、図1に示したシート部材29の一例としてのフレキシブル化された有機EL表示パネル(表示パネル)41について説明する。ここでは、表示パネルとして有機EL表示パネル41を一例に挙げるが、有機EL表示パネル以外でも、無機EL表示パネル、液晶表示パネル等、種々のシート状の表示パネルであってもよい。
(Display panel)
Next, a flexible organic EL display panel (display panel) 41 as an example of the sheet member 29 shown in FIG. 1 will be described using FIGS. 5 and 6. Here, the organic EL display panel 41 is described as an example of the display panel, but various sheet-shaped display panels such as an inorganic EL display panel and a liquid crystal display panel may be used besides the organic EL display panel.
 図5の(a)は有機EL表示パネルの構成を示す断面図であり、図5の(b)は有機EL表示パネルの製造方法の概略を示すフローチャートである。 (A) of FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the organic EL display panel, and (b) of FIG. 5 is a flowchart showing an outline of a method of manufacturing the organic EL display panel.
 まず、TFTアレイ層形成(ステップS101)においてTFT基板を作製する。TFT基板は、マザーガラスである基板42に、TFTアレイ層43が形成されることで作製される。TFTアレイ層43は、基板42に、公知の方法により、各画素に配される画素回路に含まれるTFT(トランジスタ、駆動素子)、ゲート配線およびソース配線、その他各種の配線、さらに、パッシベーション膜(保護膜)、および層間絶縁膜(平坦化膜)などが形成され、さらに、アノードとコンタクトを取った反射電極層、ITO層及び発光領域を規定するための画素バンク層が形成されたTFTアレイ層43を形成することで作製される。 First, a TFT substrate is manufactured in the TFT array layer formation (step S101). The TFT substrate is manufactured by forming the TFT array layer 43 on the substrate 42 which is mother glass. The TFT array layer 43 is formed of a TFT (transistor, drive element), gate wiring and source wiring, and various other wirings, and a passivation film TFT array layer in which a protective film, an interlayer insulating film (planarization film) and the like are formed, and further, a reflective electrode layer in contact with the anode, an ITO layer and a pixel bank layer for defining a light emitting region are formed. It is produced by forming 43.
 パッシベーション膜はTFTにおける金属膜の剥離を防止し、TFTを保護する。パッシベーション膜はマザーガラス上又は他の層を介して形成されており、TFTを覆っている。パッシベーション膜は、窒化シリコンや酸化シリコンなどからなる無機絶縁性膜である。 The passivation film prevents the peeling of the metal film in the TFT and protects the TFT. The passivation film is formed on the mother glass or through another layer and covers the TFT. The passivation film is an inorganic insulating film made of silicon nitride, silicon oxide or the like.
 層間絶縁膜は、パッシベーション膜上の凹凸を平坦化する。層間絶縁膜はパッシベーション膜上に形成されている。層間絶縁膜はアクリルまたはポリイミドなどの感光性樹脂からなる有機絶縁膜である。 The interlayer insulating film planarizes the unevenness on the passivation film. The interlayer insulating film is formed on the passivation film. The interlayer insulating film is an organic insulating film made of a photosensitive resin such as acrylic or polyimide.
 次に、有機EL素子層形成工程(ステップS102)において、TFT基板の各画素エリアに、有機EL層を形成する。有機EL層は、例えば、電気的機能層、発光層、陰極を含む。発光層は、画素毎に、例えば、赤色、緑色または青色等、異なる色の光を発光する。発光層は、蒸着工程において、真空中で蒸着マスク10(図3参照)を用いた蒸着により、各画素エリアの所定の位置に形成される。この蒸着工程で用いる蒸着マスクは、蒸着工程の前に、上述した蒸着マスクの作製工程(ステップS110)により予め作製しておく。 Next, in the organic EL element layer forming step (step S102), an organic EL layer is formed in each pixel area of the TFT substrate. The organic EL layer includes, for example, an electrically functional layer, a light emitting layer, and a cathode. The light emitting layer emits light of different colors such as red, green or blue for each pixel. The light emitting layer is formed at a predetermined position of each pixel area by vapor deposition using a vapor deposition mask 10 (see FIG. 3) in vacuum in a vapor deposition process. The deposition mask used in this deposition step is prepared in advance by the above-described deposition mask preparation step (step S110) before the deposition step.
 そして、有機EL層を介して反射電極と対向する透明電極を、有機EL層を覆うように形成する。これにより、画素エリアに有機EL素子層が形成される。 Then, a transparent electrode facing the reflective electrode through the organic EL layer is formed to cover the organic EL layer. Thereby, the organic EL element layer is formed in the pixel area.
 そして、次に、封止工程(ステップS103)において、封止層を形成する。封止層は、一例として、無機膜、有機膜、および無機膜がこの順に積層された3層構造とすることができる。 Then, in the sealing step (step S103), a sealing layer is formed. The sealing layer can have, for example, a three-layer structure in which an inorganic film, an organic film, and an inorganic film are stacked in this order.
 次いで、フレキシブル工程(ステップS104)において、TFT基板のうちガラスである基板42を剥離して支持体となるフィルムなどを貼る。これにより、中央部にパネルエリアが形成されたシート状の有機EL表示パネル41が完成する。 Next, in a flexible process (step S104), the substrate 42 which is glass among the TFT substrates is peeled off, and a film or the like to be a support is attached. Thereby, the sheet-like organic EL display panel 41 in which the panel area is formed in the central portion is completed.
 図1に示したシート部材29は、このシート状の有機EL表示パネル41であってもよい。 The sheet member 29 shown in FIG. 1 may be the sheet-like organic EL display panel 41.
 次に、シート状の有機EL表示パネル41は、個片に分断される前に、図1に示した第1テーブル61に載置される。次いで、搬送工程(ステップS105)において、搬送装置1により、第1テーブル61に載置されたシート部材29(シート状の有機EL表示パネル41)を、次の工程の装置である分断装置が有する第2テーブル62に搬送及び載置する。 Next, the sheet-like organic EL display panel 41 is placed on the first table 61 shown in FIG. 1 before being divided into pieces. Next, in the transport step (step S105), the sheet member 29 (sheet-like organic EL display panel 41) placed on the first table 61 by the transport device 1 is included in the dividing device which is the device of the next step. The sheet is transported and placed on the second table 62.
 次に、分断工程(ステップS106)において、第2テーブル62に載置されたシート部材29(シート状の有機EL表示パネル41)を切り出すことで分断し、個片化する。 Next, in the dividing step (step S106), the sheet member 29 (sheet-like organic EL display panel 41) placed on the second table 62 is cut out and separated into pieces.
 次いで、モジュール工程(ステップS107)において、個片化されたシート部材29(個片化されたシート状の有機EL表示パネル41)に、ドライバなどのモジュールを取り付け、筺体等を取り付けることで有機EL表示装置が完成する。 Next, in a module process (step S107), a module such as a driver is attached to the singulated sheet member 29 (divided sheet-like organic EL display panel 41), and a housing or the like is attached. The display device is completed.
 図6は、実施形態1に係る有機EL表示パネルの発光層を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。 FIG. 6 is a schematic view showing a state of a vapor deposition process at the time of forming a light emitting layer of the organic EL display panel according to the first embodiment.
 発光層を蒸着する蒸着工程では、TFTアレイ層43に、複数の貫通孔を有するマスクシート11を設けた蒸着マスクを密着させ、真空下において、蒸着源40で気化または昇華させた蒸着粒子50(例えば、有機発光材)をマスクシート11越しに、TFTアレイ層43が形成された基板42に蒸着させる。これにより、TFTアレイ層43が形成された基板42に、マスクシート11の貫通孔に対応するパターンの蒸着パターンが形成される。 In the deposition step of depositing the light emitting layer, deposition particles 50 (the vapor deposition or vaporization with the deposition source 40 are performed under vacuum by bringing a deposition mask provided with the mask sheet 11 having a plurality of through holes into close contact with the TFT array layer 43). For example, an organic light emitting material is deposited on the substrate 42 on which the TFT array layer 43 is formed through the mask sheet 11. Thereby, a vapor deposition pattern of a pattern corresponding to the through holes of the mask sheet 11 is formed on the substrate 42 on which the TFT array layer 43 is formed.
 (搬送装置1による搬送方法)
 次に、図7及び図8を用いて、図1に示した搬送装置1の搬送方法について説明する。図7は実施形態1の搬送装置1の搬送方法(搬送工程)を表すフローチャートである。図8は、実施形態1の搬送装置1がシート部材29を搬送している様子を表す図である。図7に示す搬送工程は、図4に示したステップS52又は図5に示したステップS105の工程である。
(Transport method by transport device 1)
Next, the conveyance method of the conveyance apparatus 1 shown in FIG. 1 is demonstrated using FIG.7 and FIG.8. FIG. 7 is a flowchart showing the transfer method (transfer step) of the transfer apparatus 1 of the first embodiment. FIG. 8 is a diagram illustrating how the transport device 1 of the first embodiment transports the sheet member 29. The transport process shown in FIG. 7 is the process of step S52 shown in FIG. 4 or step S105 shown in FIG.
 なお、上述のように、図1に示した吸着筒駆動制御部31からの指示に基づいて、吸着筒駆動部23が吸着筒25を動作させ、吸着筒駆動部24が吸着筒26を動作させる。 As described above, the suction cylinder drive unit 23 operates the suction cylinder 25 and the suction cylinder drive unit 24 operates the suction cylinder 26 based on the instruction from the suction cylinder drive control unit 31 illustrated in FIG. 1. .
 また、本実施形態においては、吸着筒25・26は、少なくともX軸方向及びZ軸方向に移動することができればよく、必ずしも、Y軸方向へ移動しなくてもよく、また、θ軸方向に回転しなくてもよい。 Further, in the present embodiment, the suction cylinders 25 and 26 need only be able to move in at least the X-axis direction and the Z-axis direction, and may not necessarily move in the Y-axis direction. It does not have to rotate.
 さらに、吸着筒25・26は、個別に独立して駆動可能であってもよいが、本実施形態においては、吸着筒25・26は、同じタイミングで同じ動作をするため、吸着筒25・26は同期して駆動してもよい。 Furthermore, although the suction cylinders 25 and 26 may be separately and independently drivable, in the present embodiment, the suction cylinders 25 and 26 perform the same operation at the same timing. May be driven synchronously.
 吸着筒25・26は原点位置(スタート位置)から、第1テーブル61に載置されたシート部材29の上方へ移動する。そして、吸着筒25・26は、Z軸方向に移動することで第1テーブル61に近づき、吸着筒25の先端部のパッド25aと、吸着筒26の先端部のパッド26aとは、第1テーブル61上に載置されているシート部材29の両端部に接触する。 The suction cylinders 25 and 26 move from the origin position (start position) to the upper side of the sheet member 29 placed on the first table 61. The suction cylinders 25 and 26 move closer to the first table 61 by moving in the Z-axis direction, and the pad 25 a at the tip of the suction cylinder 25 and the pad 26 a at the tip of the suction cylinder 26 are the first table. Contact with both ends of the sheet member 29 placed on the surface 61.
 図7及び図8の(a)に示すように、吸着筒25・26は、矢印P1に示すように吸引することで、パッド25a・26をシート部材29の両端部に吸着させる。これにより、吸着筒25・26は、シート部材29の両端部を支持する(ステップS1)。 As shown in FIGS. 7 and 8A, the suction cylinders 25 and 26 suck the pads 25a and 26 at both ends of the sheet member 29 by suction as indicated by an arrow P1. Thereby, the suction cylinders 25 and 26 support both end portions of the sheet member 29 (step S1).
 次に、図7及び図8の(b)に示すように、吸着筒25・26は、矢印T1に示すように、Z軸方向であって第1テーブル61から離れる方向に移動する。これにより、吸着筒25・26はシート部材29を上昇させる(ステップS2)。 Next, as shown in FIG. 7 and (b) of FIG. 8, the suction cylinders 25 and 26 move in the Z-axis direction and away from the first table 61 as shown by the arrow T1. Thereby, the suction cylinders 25 and 26 raise the sheet member 29 (step S2).
 そして、図7及び図8の(b)(c)に示すように、吸着筒25・26は、矢印T2に示すように、X軸方向であって、第1テーブル61の上方から第2テーブル62の上方へ移動する。これにより、吸着筒25・26は、シート部材29を平行にスライド移動させる(ステップS3)。 And as shown to (b) and (c) of FIG.7 and FIG.8, as shown to arrow T2, adsorption cylinder 25 * 26 is an X-axis direction, Comprising: The 2nd table from the top of the 1st table 61 Move up 62 Accordingly, the suction cylinders 25 and 26 slide the sheet member 29 in parallel (step S3).
 次に、図7及び図8の(c)に示すように、吸着筒25・26は、第2テーブル62の上方であって、所定のXY座標位置へ移動すると、XY軸方向の移動を停止することでXY軸方向のスライド移動を完了する(ステップS4)。 Next, as shown in FIG. 7 and (c) of FIG. 8, when the suction cylinders 25 and 26 move above the second table 62 and move to a predetermined XY coordinate position, movement in the XY axis direction stops Thus, the slide movement in the XY axis direction is completed (step S4).
 次いで、図7及び図8の(c)に示すように、吸着筒25・26は、矢印T3に示すように、Z軸方向であって第2テーブル62へ近づく方向へ下降(移動)する。このとき、吸着筒25・26は、第2テーブル62から所定距離H1へ至るまでは、Z軸方向へ移動する速度のうち相対的に早い第1速度で下降する(ステップS5)。 Next, as shown in FIG. 7 and (c) of FIG. 8, the suction cylinders 25 and 26 descend (move) in the Z-axis direction toward the second table 62 as shown by the arrow T3. At this time, until the predetermined distance H1 is reached from the second table 62, the suction cylinders 25 and 26 descend at relatively high first speed among speeds moving in the Z-axis direction (step S5).
 そして、図7及び図8の(d)に示すように、吸着筒25・26は、第2テーブル62から所定距離H1へ至ると、次に、Z軸方向へ移動する速度のうち相対的に遅い第2速度でZ軸方向へ下降(移動)する(ステップS6)。すなわち、第2速度は第1速度よりも遅い速度である。 Then, as shown in FIG. 7 and (d) of FIG. 8, when the suction cylinders 25 and 26 reach the predetermined distance H1 from the second table 62, the relative moving velocity in the Z-axis direction is relatively large. It descends (moves) in the Z-axis direction at a slow second speed (step S6). That is, the second speed is slower than the first speed.
 次いで、吸着筒25・26は、シート部材29の裏面(吸着筒25・26との接触面とは逆側面)が第2テーブル62と接触すると、Z軸方向への移動を停止し、吸着を解除する。これにより、吸着筒25・26のシート部材29の支持も解除され、シート部材29の第1テーブル61から第2テーブル62への搬送が完了する(ステップS7)。そして、吸着筒25・26は、原点位置に戻る。 Then, when the back surface of the sheet member 29 (the side opposite to the contact surface with the suction cylinder 25 or 26) comes in contact with the second table 62, the suction cylinder 25/26 stops moving in the Z-axis direction, To release. As a result, the support of the sheet member 29 of the suction cylinder 25 is also released, and the conveyance of the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62 is completed (step S7). Then, the suction cylinders 25 and 26 return to the home position.
 このように、吸着筒25・26は、搬送先の第2テーブル62へ近づく方向へ移動する際、まず、相対的に速い第1速度で、支持するシート部材29を下降させる。これにより、シート部材29の搬送速度を向上させることができる。 As described above, when moving the suction cylinders 25 and 26 in the direction approaching the second table 62 of the transfer destination, first, the sheet members 29 to be supported are lowered at a relatively high first speed. Thereby, the conveyance speed of the sheet member 29 can be improved.
 また、シート部材29は、第2テーブル62へ近づく速度が速くなると、裏面に受ける風圧が大きくなり、シート部材29にたわみ及びうねりが生じやすくなる。 In addition, when the speed of the sheet member 29 approaching the second table 62 increases, the wind pressure received on the back surface increases, and the sheet member 29 is likely to be bent and undulated.
 そして、速い速度でシート部材29を第2テーブル62へ接触させると、吸着筒25・26が支持する両端部間の中央部の裏面と、第2テーブル62との間に空気が混入しやすくなる。 Then, when the sheet member 29 is brought into contact with the second table 62 at a high speed, air is likely to be mixed between the second table 62 and the back surface of the central portion between both ends supported by the suction cylinders 25 and 26. .
 このように、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入すると、第2テーブル62を有する装置による後工程の処理に支障が生じやすくなる。 As described above, when air is mixed between the sheet member 29 and the second table 62, the processing of the post process by the device having the second table 62 is likely to be disturbed.
 例えば、シート部材29がマスクシート11の場合、マスクシート11は、厚さが10μm~50μm程度と薄い。このため、マスクシート11を速い速度で第2テーブル62へ接触させると、移動に伴う風圧により撓み及びうねりを生じやすく、中央部と第2テーブル62との間に空気が混入しやすい。このように空気が混入すると、第2テーブル62を有する装置が検査装置の場合、第2テーブル62に載置されたシート部材29の蒸着孔の位置及び大きさを検査しようとしても、正確に検査することができない場合がある。 For example, when the sheet member 29 is the mask sheet 11, the mask sheet 11 is as thin as about 10 μm to 50 μm. Therefore, when the mask sheet 11 is brought into contact with the second table 62 at a high speed, bending and waviness are likely to occur due to the wind pressure accompanying the movement, and air is likely to be mixed between the central portion and the second table 62. When air is thus mixed in, if the apparatus having the second table 62 is an inspection apparatus, even if it is going to inspect the position and size of the vapor deposition holes of the sheet member 29 placed on the second table 62, the inspection You may not be able to
 さらに、マスクシート11は、両端部間の中央部には蒸着孔のパターンが形成されているため、マスクシート11の中央部を吸着筒で支持することができない。また、シート部材29がフレキシブル化された表示パネルであっても、中央部には画素パターンが形成されているため、中央部を支持することができない。このように、シート部材29は、両端部しか支持できないため、この点も、速い速度でシート部材29を第2テーブル62に近づけた場合に、中央部と、第2テーブル62との間に空気が混入しやすい原因である。 Furthermore, since the mask sheet 11 has a pattern of vapor deposition holes formed at the center between the two ends, the center of the mask sheet 11 can not be supported by the suction cylinder. Further, even if the sheet member 29 is a flexible display panel, the pixel pattern is formed at the central portion, and therefore the central portion can not be supported. As described above, since the sheet member 29 can support only the both ends, air can be also transmitted between the central portion and the second table 62 when the sheet member 29 is brought close to the second table 62 at a high speed. Is the cause of contamination.
 そこで、搬送装置1では、吸着筒25・26は、シート部材29を、第2テーブル62から所定距離H1まで近づけると、次に、第1速度よりも遅い第2速度でゆっくりと近づけて第2テーブル62に接触させ、第2テーブル62に載置する。これにより、シート部材29のたわみ及びうねりの発生を防止し、シート部材29の中央部と、第2テーブル62との間に空気が混入することを防止することができる。 Therefore, in the transport device 1, when the sheet members 29 are moved closer to the predetermined distance H 1 from the second table 62, the suction cylinders 25 and 26 are then moved closer slowly at a second speed slower than the first speed. The table 62 is brought into contact and placed on the second table 62. Thereby, the occurrence of the deflection and the waviness of the sheet member 29 can be prevented, and the air can be prevented from being mixed between the central portion of the sheet member 29 and the second table 62.
 これにより、第2テーブル62に載置されたシート部材29における蒸着孔の位置及び大きさ等を検査する場合であっても、検査を正確に行うことができる。 Thus, even when the position, size, and the like of the vapor deposition holes in the sheet member 29 placed on the second table 62 are inspected, the inspection can be performed accurately.
 このように、吸着筒25・26は、シート部材29を第2テーブル62へ近づく方向へ移動させる際、シート部材29が第2テーブル62から遠いときは速い第1速度で移動させることでシート部材29が第2テーブル62と接触するまでの時間を短縮することができる。 Thus, when moving the sheet member 29 in the direction approaching the second table 62, the suction cylinders 25 and 26 move the sheet member 29 at a fast first speed when the sheet member 29 is far from the second table 62. It is possible to shorten the time it takes for 29 to contact the second table 62.
 また、シート部材29と第2テーブル62との距離が近づくとシート部材29を移動させる速度を第1速度よりも遅い第2速度とすることで、シート部材29が移動に伴い受ける風圧を抑えることができ、シート部材29の中央部の撓みを抑えることができる。このため、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入することを防止することができる。 Further, when the distance between the sheet member 29 and the second table 62 approaches, the speed at which the sheet member 29 is moved is set to a second speed that is slower than the first speed, thereby suppressing the wind pressure that the sheet member 29 receives with the movement. As a result, the deflection of the central portion of the sheet member 29 can be suppressed. Therefore, air can be prevented from being mixed between the sheet member 29 and the second table 62.
 このように、搬送装置1によると、シート部材29を搬送するために要する時間を短縮しつつ、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入することを防止することができる。 As described above, according to the conveyance device 1, air can be prevented from being mixed between the sheet member 29 and the second table 62 while shortening the time required to convey the sheet member 29.
 さらに、シート部材29のように中央部にパターンが形成されていることで、当該中央部を支持することができず、両端部を支持する場合であっても、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入することを防止することができる。 Furthermore, by forming a pattern in the central part like the sheet member 29, the central part can not be supported, and the sheet member 29 and the second table 62 are supported even when supporting both ends. Air can be prevented from being mixed in between.
 なお、吸着筒25・26は、シート部材29を第2テーブル62に近づける際、第1速度と第2速度との2段階で速度を落としたが、速度を落とす段階は3段階以上に分けてもよい。 The suction cylinders 25 and 26 reduce the speed in two stages of the first speed and the second speed when bringing the sheet member 29 close to the second table 62, but the speed reduction stages are divided into three or more stages. It is also good.
 さらに、吸着筒25・26は、段階的に下降速度を落とすのではなく、第2テーブル62へ近づく方向へ移動を開始したときから、シート部材29が第2テーブル62と接触するときまで、次第に、シート部材29の移動速度を遅くするようにしてもよい。これによっても、同様の、効果を得ることができる。 Furthermore, the suction cylinders 25 and 26 do not gradually lower their descent speed in stages, but gradually start moving from the time they start moving toward the second table 62 until the sheet member 29 contacts the second table 62. Alternatively, the moving speed of the sheet member 29 may be reduced. Also by this, the same effect can be obtained.
 また、例えば、吸着筒25・26が、第1テーブル61上のシート部材29を吸着したときに、何らかの原因で、シート部材29にしわが発生したり、撓みが発生したりする場合がある。この場合、吸着筒25・26が、少なくとも一方がθ軸方向に回転可能であり、θ軸方向に回転させることで、発生したしわ又は撓みを解消することができる。さらに、吸着筒25・26の少なくとも一方がY軸方向へ移動可能であり、吸着筒25・26間の距離を変更することで、何らかの原因で発生したシート部材29のしわ又は撓みを解消してもよい。 In addition, for example, when the suction cylinders 25 and 26 adsorb the sheet member 29 on the first table 61, for some reason, the sheet member 29 may be wrinkled or may be bent. In this case, at least one of the suction cylinders 25 and 26 can rotate in the θ-axis direction, and the wrinkles or deflection that occurred can be eliminated by rotating the suction cylinders 25 and 26 in the θ-axis direction. Furthermore, at least one of the suction cylinders 25 and 26 is movable in the Y-axis direction, and the distance between the suction cylinders 25 and 26 is changed to eliminate the wrinkling or bending of the sheet member 29 that has occurred for some reason. It is also good.
 また、上述したように、図1に示したガイドレール20・21が、ガラススケール等の移動距離の計測が可能な部品を有していてもよい。 Further, as described above, the guide rails 20 and 21 shown in FIG. 1 may have a component that can measure the movement distance, such as a glass scale.
 例えば、シート部材29をX軸方向へ移動させる前に、第1テーブル61を有する装置が、カメラで、第1テーブル61に載置されたシート部材29を撮影する。そして、制御部30が、撮影画像からシート部材29のXY座標位置、すなわち、シート部材29の移動開始時の座標を取得しておく。これにより、制御部30からの指示により、吸着筒25・26は、第2テーブル62上の所望の位置(座標位置)にシート部材29を配置することができる。 For example, before moving the sheet member 29 in the X-axis direction, the apparatus having the first table 61 captures an image of the sheet member 29 placed on the first table 61 with a camera. Then, the control unit 30 acquires, from the captured image, the XY coordinate position of the sheet member 29, that is, the coordinates at the start of movement of the sheet member 29. Thereby, the suction cylinder 25 can arrange the sheet member 29 at a desired position (coordinate position) on the second table 62 according to an instruction from the control unit 30.
 このため、例えば、シート部材29がマスクシート11(図3参照)であり、第2テーブル62を有する装置が検査装置であっても、当該検査装置は、マスクシート11における所定位置の蒸着孔の位置及び大きさを速やかに検査することができる。 Therefore, for example, even if the sheet member 29 is the mask sheet 11 (see FIG. 3) and the apparatus having the second table 62 is an inspection device, the inspection device The position and size can be checked quickly.
 なお、吸着筒25・26は、X軸方向及びZ軸方向だけでなく、Y軸方向へも移動可能であり、さらに、θ軸方向にも回転可能であれば、より正確に、第2テーブル62上の所望の位置に載置することができる。 The suction cylinders 25 and 26 can move not only in the X-axis direction and the Z-axis direction but also in the Y-axis direction, and furthermore, as long as they can rotate in the θ-axis direction, the second table more accurately It can be placed at the desired position on 62.
 〔実施形態2〕
 本発明の実施形態2について、主に図9及び図10に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
Second Embodiment
The second embodiment of the present invention is described below mainly with reference to FIGS. 9 and 10. In addition, about the member which has the same function as the member demonstrated in the said embodiment for convenience of explanation, the same code | symbol is appended and the description is abbreviate | omitted.
 図9は、実施形態2の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。図10は実施形態2の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図である。 FIG. 9 is a flowchart showing the transfer method of the transfer apparatus of the second embodiment. FIG. 10 is a view showing how the conveyance device of the second embodiment conveys a sheet member.
 図1に示した搬送装置1は、図9及び図10に示すように、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送してよい。ステップS1~S4までは、図7及び図8を用いて説明した搬送方法と同様である。 The conveyance device 1 shown in FIG. 1 may convey the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62, as shown in FIGS. Steps S1 to S4 are the same as the transfer method described with reference to FIGS. 7 and 8.
 図9及び図10の(a)に示すように、吸着筒25・26は、第1テーブル61に載置されていたシート部材29を支持して、第2テーブル62の上方であって所定のXY座標位置に移動させることで、XY平面上のスライド移動を完了すると(ステップS4)、次に、矢印T11に示すように、まず、吸着筒25・26のうち、一方の吸着筒25を、Z軸方向であって第2テーブル62へ近づく方向へ下降(移動)する(ステップS15)。 As shown in FIGS. 9 and 10A, the suction cylinders 25 and 26 support the sheet member 29 placed on the first table 61, and are above the second table 62 and are predetermined. When slide movement on the XY plane is completed by moving to the XY coordinate position (step S4), first, as shown by arrow T11, first, one of the suction cylinders 25 and 26 has the suction cylinder 25, It descends (moves) in the Z-axis direction and in the direction approaching the second table 62 (step S15).
 次いで、図9及び図10の(b)に示すように、吸着筒25側のシート部材の端部における裏面が第2テーブル62と接触すると、吸着筒25はZ軸方向への移動を停止し、矢印T12に示すように、吸着筒25・26のうち、他方の吸着筒26を、Z軸方向であって第2テーブル62へ近づく方向へ下降(移動)する(ステップS16)。 Next, as shown in FIGS. 9 and 10B, when the back surface of the end of the sheet member on the suction cylinder 25 side contacts the second table 62, the suction cylinder 25 stops moving in the Z-axis direction. As indicated by arrow T12, the other adsorption cylinder 26 of the adsorption cylinders 25 and 26 is lowered (moved) in the Z-axis direction and in the direction approaching the second table 62 (step S16).
 この吸着筒26を下降させているときは、吸着筒25側のシート部材29の端部は第2テーブルと接触しているため、シート部材29の裏面は傾斜している。このため、吸着筒26の下降に伴って、シート部材29の裏面と、第2テーブル62との間の空気は、矢印P2に示すように、吸着筒26の下降に伴って、シート部材29と第2テーブル62との間の空間から外側へ流出する。 Since the end of the sheet member 29 on the suction cylinder 25 side is in contact with the second table when the suction cylinder 26 is lowered, the back surface of the sheet member 29 is inclined. Therefore, as the suction cylinder 26 descends, the air between the back surface of the sheet member 29 and the second table 62 moves with the sheet member 29 as the suction cylinder 26 descends, as shown by the arrow P2. It flows out of the space between the second table 62 and the outside.
 そして、吸着筒26側のシート部材29の端部における裏面が第2テーブル62と接触すると、吸着筒26はZ軸方向への移動を停止する。 When the back surface of the end portion of the sheet member 29 on the suction cylinder 26 side comes in contact with the second table 62, the suction cylinder 26 stops moving in the Z-axis direction.
 これにより、シート部材29の第1テーブル32から第2テーブルへの搬送が完了する(ステップS7)。 Thus, the conveyance of the sheet member 29 from the first table 32 to the second table is completed (step S7).
 ここで、シート部材の両端部を支持すると、シート部材の中央部がわずかに下方側に凸となるように撓む。このため、シート部材の両端部を同時に第2テーブルに近づけていくと、シート部材のうち、撓んでいる中央部が先に第2テーブルと接触し、その後、シート部材の両端部が第2テーブルと接触する。または、シート部材が薄い場合、第2テーブルへ下降する際の風圧により、シート部材の中央部が上方側に凸となるように撓み、両端部が先に第2テーブルと接触し、その後、シート部材の両端部が第2テーブルと接触する。 Here, when both end portions of the sheet member are supported, the central portion of the sheet member is bent so as to be slightly convex downward. Therefore, when both ends of the sheet member are brought close to the second table at the same time, the bent central portion of the sheet member comes in contact with the second table first, and then the both ends of the sheet member are the second table. Contact with Alternatively, when the sheet member is thin, the wind pressure at the time of lowering to the second table causes the central portion of the sheet member to be bent upward so that both ends first contact the second table, and then the sheet Both ends of the member are in contact with the second table.
 このように、シート部材の両端部を同時に第2テーブルに接触させた場合、両端部と中央部とが第2テーブルへの接触するタイミングがわずかながら異なる場合があり、この結果、シート部材の中央部と、第2テーブルとの間にわずかに空気が混入する可能性がある。 Thus, when both ends of the sheet member are brought into contact with the second table at the same time, the timing at which the both ends and the center contact the second table may slightly differ, and as a result, the center of the sheet member There is a possibility that air may be slightly mixed between the part and the second table.
 そこで、本実施形態に係る搬送装置1によると、シート部材29の両端部を支持する吸着筒25・26のうち、一方の吸着筒25を先に第2テーブル62へ近づけ、シート部材29の両端部のうち、吸着筒25が支持している側を先に第2テーブル62と接触させる。 Therefore, according to the transport apparatus 1 of the present embodiment, one of the suction cylinders 25 of the suction cylinders 25 and 26 supporting the both ends of the sheet member 29 is brought closer to the second table 62 first, and both ends of the sheet member 29 are Among the parts, the side supported by the suction cylinder 25 is brought into contact with the second table 62 first.
 次いで、もう一方の吸着筒26を第2テーブル62へ近づける。すると、この吸着筒26の下降に伴い、シート部材29と第2テーブル62との間の空間から外部へ空気が流れていく。そして、シート部材29の両端部のうち、吸着筒26が支持している側を第2テーブル62と接触させる。これによると、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入することを、より確実に防止することができる。 Next, the other suction cylinder 26 is brought close to the second table 62. Then, as the suction cylinder 26 descends, air flows from the space between the sheet member 29 and the second table 62 to the outside. Then, of the both ends of the sheet member 29, the side supported by the suction cylinder 26 is brought into contact with the second table 62. According to this, it is possible to more reliably prevent air from mixing between the sheet member 29 and the second table 62.
 なお、吸着筒25及び吸着筒26のうち少なくとも一方を、ステップS5・S6のように段階的又は次第に速度が遅くなるように第2テーブル62へ近づけてもよい。 Note that at least one of the suction cylinder 25 and the suction cylinder 26 may be brought close to the second table 62 so as to gradually or gradually decrease in speed as in steps S5 and S6.
 〔実施形態3〕
 本発明の実施形態3について、主に図11及び図12に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
Third Embodiment
It will be as follows if Embodiment 3 of this invention is mainly demonstrated based on FIG.11 and FIG.12. In addition, about the member which has the same function as the member demonstrated in the said embodiment for convenience of explanation, the same code | symbol is appended and the description is abbreviate | omitted.
 図11は、実施形態3の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。図12は実施形態3の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図である。 FIG. 11 is a flowchart showing the transfer method of the transfer apparatus of the third embodiment. FIG. 12 is a view showing a state in which the conveyance device of the third embodiment is conveying a sheet member.
 本実施形態に係る搬送装置1(図1参照)は、吸着筒25・26を、少なくとも、X軸方向及びZ軸方向へ移動させることに加え、さらに、θ軸方向に回転させることでシート部材29の撓みを制御する。 The conveyance device 1 (see FIG. 1) according to the present embodiment further rotates the suction cylinders 25 and 26 in the θ-axis direction in addition to moving at least the X-axis direction and the Z-axis direction. Control the deflection of 29.
 ステップS1・S2までは、図7及び図8を用いて説明した搬送方法と同様である。図11及び図12の(a)に示すように、吸着筒25・26は、第1テーブル61上のシート部材の両端を支持して、Z軸方向であって第1テーブル61から離れる方向へ移動する。これにより、吸着筒25・26はシート部材29を上昇させる(ステップS2)。 The steps S1 and S2 are the same as the transfer method described with reference to FIGS. 7 and 8. As shown in (a) of FIG. 11 and FIG. 12, the suction cylinders 25, 26 support both ends of the sheet member on the first table 61 and move in the Z-axis direction away from the first table 61. Moving. Thereby, the suction cylinders 25 and 26 raise the sheet member 29 (step S2).
 そして、吸着筒25・26は、θ軸方向であって互いに逆向きに所定角度だけ回転する(ステップS23)。これにより、吸着筒25・26は、支持しているシート部材29に、所定の位置及び所定の形状である撓み17を形成する。換言すると、吸着筒25・26は、シート部材29の撓みを制御することでシート部材29に意図しない撓みが形成されることを防止する。 Then, the suction cylinders 25 and 26 rotate in the θ axis direction and in opposite directions to each other by a predetermined angle (step S23). As a result, the suction cylinders 25 and 26 form a deflection 17 having a predetermined position and a predetermined shape on the sheet member 29 supported. In other words, the suction cylinders 25 and 26 prevent the unintended bending of the sheet member 29 by controlling the bending of the sheet member 29.
 一例として、シート部材29の法線方向から見た場合に、時計回り方向を+θ軸方向とし、時計回りとは逆方向を-θ軸方向とすると、吸着筒25は+θ軸方向へ所定角度だけ回転し、吸着筒26は-θ軸方向へ所定角度だけ回転する。これにより、シート部材29の中央部のわずかな撓みが解消され、シート部材29のうち、X軸方向への進行方向前方側の縁とは逆側の縁近傍の位置に、所定形状の撓み17を形成している。 As an example, when viewed from the normal direction of the sheet member 29, assuming that the clockwise direction is the + θ axis direction and the opposite direction to the clockwise direction is the −θ axis direction, the suction cylinder 25 has a predetermined angle in the + θ axis direction. As it rotates, the suction cylinder 26 rotates in the −θ axis direction by a predetermined angle. As a result, slight deflection of the central portion of the sheet member 29 is eliminated, and deflection of a predetermined shape is made at a position near the edge of the sheet member 29 opposite to the edge on the front side in the X-axis direction. Form.
 なお、シート部材29に形成する撓み17の位置及び形状は一例であり、シート部材29の材料、面積、厚み、強度、吸着筒25・26間の距離、その他のパラメータによって種々の位置及び形状となるように撓みを制御すればよい。 The position and the shape of the deflection 17 formed in the sheet member 29 are an example, and the position, the shape, the thickness, the strength, the distance between the suction cylinders 25 and 26, and various positions and shapes according to other parameters The deflection should be controlled to be
 次に、図11及び図12の(a)(b)に示すように、吸着筒25・26は、矢印T2に示すようにX軸方向であって、第1テーブル61の上方から第2テーブル62の上方へ、撓み17を形成したシート部材29を移動させる(ステップS3)。 Next, as shown in (a) and (b) of FIGS. 11 and 12, the suction cylinders 25 and 26 are in the X-axis direction as shown by the arrow T2, and the second table from above the first table 61. The sheet member 29 in which the deflection 17 is formed is moved to the upper side of 62 (step S3).
 そして、図11及び図12の(b)に示すように、吸着筒25・26は、第2テーブル62の上方であって所定のXY座標位置へ移動すると、XY軸方向のスライド移動を完了する(ステップS4)。 Then, as shown in FIG. 11 and (b) of FIG. 12, when the suction cylinders 25 and 26 move to the predetermined XY coordinate position above the second table 62, slide movement in the XY axis direction is completed. (Step S4).
 次いで、吸着筒25・26は、ステップS23にて回転した所定角度を元に戻すように回転する(ステップS24)。これにより、吸着筒25・26は、シート部材29に形成した撓み17を解消することで、シート部材29を平坦な形状へ戻す。 Next, the suction cylinders 25 and 26 rotate so as to restore the predetermined angle rotated in step S23 (step S24). Thus, the suction cylinders 25 and 26 return the sheet member 29 to a flat shape by eliminating the deflection 17 formed on the sheet member 29.
 そして、吸着筒25・26は、図7及び図8を用いて説明したステップS5~S7の処理を実行することで、Z軸方向へ移動し、シート部材29を第2テーブル62の所定位置へ載置し、シート部材29の第1テーブル61から第2テーブル62への搬送を完了する。 Then, the suction cylinders 25 and 26 move in the Z-axis direction by executing the processing of steps S5 to S7 described with reference to FIGS. 7 and 8, and move the sheet member 29 to the predetermined position of the second table 62. Then, the conveyance of the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62 is completed.
 なお、ステップS24によるシート部材29の撓み17の解消は、ステップS6の後、すなわち、シート部材29が第2テーブル62に載置されてから行ってもよい。 The elimination of the deflection 17 of the sheet member 29 in step S24 may be performed after step S6, that is, after the sheet member 29 is placed on the second table 62.
 また、吸着筒25・26は、ステップS5・S6のようにシート部材29を第2テーブルへ近づける速度を段階的にまたは次第に遅くすることと共に、又は、遅くすることに換えて、ステップS15・S16(図9及び図10参照)のように、吸着筒25・26のうち何れか一方を先に第2テーブル62へ下降させてから、他方を第2テーブル62へ下降させてもよい。 In addition, the suction cylinders 25 and 26 gradually or gradually reduce the speed at which the sheet member 29 is brought close to the second table as in steps S5 and S6, or in place of decreasing the speed, step S15 and S16. As shown in FIGS. 9 and 10, either one of the suction cylinders 25 and 26 may be first lowered to the second table 62, and then the other may be lowered to the second table 62.
 ここで、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送する搬送経路において、X軸方向への移動は、比較的、距離が長い。このため、搬送工程の時間短縮のため、なるべくX軸方向への移動速度を速くすることが好ましい。 Here, in the conveyance path for conveying the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62, the movement in the X-axis direction has a relatively long distance. For this reason, it is preferable to increase the moving speed in the X-axis direction as much as possible in order to shorten the time of the transport process.
 しかし、移動速度が速くなると、移動に伴う風圧により、シート部材29に意図しない撓みが生じる場合がある。特にシート部材29は、両端部を吸着筒25・26で支持しているため、第1テーブル61から離れた場合、中央部がわずかながら撓むことがある。この中央部の撓み部分に、X軸方向への速度が速い移動に伴う強い風圧を受けると、意図しない撓みが生じやすい。 However, when the moving speed increases, the wind pressure accompanying the movement may cause the sheet member 29 to be unintentionally bent. In particular, since both ends of the sheet member 29 are supported by the suction cylinders 25 and 26, when the sheet member 29 is separated from the first table 61, the central portion may be slightly bent. Undesirable bending is likely to occur when the central flexible portion is subjected to strong wind pressure accompanying rapid movement in the X-axis direction.
 そして、このようなシート部材29に意図しない撓みが形成される際に、吸着筒25・26と、吸着筒25・26が支持しているシート部材29との相対位置が、若干ずれる場合がある。吸着筒25・26と、吸着筒25・26が支持しているシート部材29との相対位置のずれが発生すると、搬送先の第2テーブル62へ載置する位置が所定位置から若干ずれる場合がある。 And when an unintended bending is formed in such a sheet member 29, the relative position of adsorption cylinder 25 * 26 and sheet member 29 which adsorption cylinder 25 * 26 supports may shift a little. . If a shift occurs in the relative position between the suction cylinder 25/26 and the sheet member 29 supported by the suction cylinder 25/26, the position to be placed on the transport destination second table 62 may slightly deviate from the predetermined position. is there.
 そこで、本実施形態においては、ステップS23において、X軸方向へシート部材29を移動させる前に、吸着筒25・26は、互いに逆向きに回転することで、意図的に、支持しているシート部材29に撓み17を形成する。換言すると、吸着筒25・26は、シート部材29の撓みを制御することで、シート部材29に意図しない撓みが形成されてしまうことを防止する。 Therefore, in the present embodiment, before moving the sheet member 29 in the X-axis direction in step S23, the suction cylinders 25 and 26 intentionally support the sheet by rotating in the opposite direction to each other. Form a deflection 17 on the member 29. In other words, by controlling the bending of the sheet member 29, the suction cylinders 25 and 26 prevent the sheet member 29 from being formed into an unintended bending.
 これにより、シート部材29を速い速度でX軸方向へ移動させた場合の強い風圧を受け流し、シート部材29に加わる圧力を抑えることができる。 Thereby, the strong wind pressure when the sheet member 29 is moved in the X-axis direction at a high speed can be received, and the pressure applied to the sheet member 29 can be suppressed.
 これによると、吸着筒25・26と、吸着筒25・26が支持しているシート部材29との相対位置のずれが発生することを防止することができるため、吸着筒25.26は、搬送先の第2テーブル62における所定位置へ正確にシート部材29を搬送することができる。 According to this, it is possible to prevent the occurrence of a relative position shift between the suction cylinder 25 or 26 and the sheet member 29 supported by the suction cylinder 25 or 26. The sheet member 29 can be accurately conveyed to a predetermined position on the second table 62 described above.
 この結果、搬送先の位置の正確性と、搬送速度向上との両立を行うことができる。 As a result, it is possible to achieve both the accuracy of the position of the transfer destination and the improvement of the transfer speed.
 このように、吸着筒25・26でシート部材29を支持した後、吸着筒25・26がシート部材29の支持を解除する前に、吸着筒25・26のうち少なくとも一つを回転させることでシート部材29における撓みを制御することができる。 As described above, after the sheet member 29 is supported by the adsorption cylinders 25 and 26, at least one of the adsorption cylinders 25 and 26 is rotated before the adsorption cylinders 25 and 26 release the support of the sheet member 29. Deflection in the seat member 29 can be controlled.
 さらに、吸着筒25・26でシート部材29を支持した後、吸着筒25・26が第2テーブル62の上方へ移動を開始する前に、吸着筒25・26のうち少なくとも一つを回転させることで、シート部材29の撓みを制御した状態で、吸着筒25・26を第2テーブルの上方へ移動させることができる。これによると、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入しにくくしたり、シート部材29を第2テーブル62における所定位置へ正確に搬送したりすることができる。 Furthermore, after supporting the sheet member 29 by the suction cylinders 25 and 26, before at least the suction cylinders 25 and 26 start moving upward of the second table 62, at least one of the suction cylinders 25 and 26 is rotated. Thus, the suction cylinders 25 and 26 can be moved to the upper side of the second table in a state in which the bending of the sheet member 29 is controlled. According to this, it is possible to make air less likely to be mixed between the sheet member 29 and the second table 62, or to accurately convey the sheet member 29 to a predetermined position on the second table 62.
 〔実施形態4〕
 本発明の実施形態4について、主に図13~図15に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態1~3にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
Embodiment 4
The fourth embodiment of the present invention is described below mainly with reference to FIGS. 13 to 15. For convenience of explanation, the same reference numerals are appended to members having the same functions as the members described in the first to third embodiments, and the description thereof is omitted.
 図13は、実施形態4の搬送装置1Aの構成を表す斜視図である。搬送装置1Aは、搬送装置1(図1参照)の制御部30に換えて制御部30Aを有し、さらに、送風部28を有する。制御部30Aは、制御部30に、送風制御部32を加えた構成である。 FIG. 13 is a perspective view illustrating the configuration of the conveyance device 1A of the fourth embodiment. The transfer apparatus 1A includes a control unit 30A in place of the control unit 30 of the transfer apparatus 1 (see FIG. 1), and further includes a blower unit 28. The control unit 30A has a configuration in which the air flow control unit 32 is added to the control unit 30.
 送風制御部32は送風部28の駆動を制御する。送風部28は、送風制御部32からの指示により、送風を開始したり、当該開始した送風を停止したりする。送風部28は、第2テーブル62の上方に配置されている。送風部28は、ガイドレール20・21間に配置されている。送風部28は、ガイドレール20・21それぞれと接続され固定されていてもよい。送風部28の送風口は、第2テーブル62と対向している。 The blower control unit 32 controls the drive of the blower unit 28. In response to an instruction from the air flow control unit 32, the air flow unit 28 starts air flow or stops the started air flow. The blower unit 28 is disposed above the second table 62. The blower 28 is disposed between the guide rails 20 and 21. The blower unit 28 may be connected and fixed to each of the guide rails 20 and 21. The air blowing port of the air blowing unit 28 faces the second table 62.
 送風部28のうち、ガイドレール20・21よりも第2テーブル62の方向へ突出している部分は、シート部材29がX軸方向へ移動する際の高さ(第1テーブル61及び第2テーブル62の表面から、当該表面に対する法線方向の距離)よりも高い。これにより、第1テーブル61から第2テーブル62の上方へ移動してくるシート部材29と、送風部28とが接触することを防止している。 The portion of the air blowing portion 28 which protrudes in the direction of the second table 62 relative to the guide rails 20 and 21 has a height (the first table 61 and the second table 62) when the sheet member 29 moves in the X axis direction. From the surface of the surface, in a direction normal to the surface)). This prevents the sheet member 29 moving from the first table 61 to the upper side of the second table 62 from coming into contact with the blower 28.
 図14は、実施形態4の搬送装置の搬送方法を表すフローチャートである。図15は実施形態4の搬送装置がシート部材を搬送している様子を表す図である。図14に示すように、吸着筒25・26は、図7及び図8を用いて説明したステップS1~S4の処理を実行する。 FIG. 14 is a flowchart showing the transfer method of the transfer apparatus of the fourth embodiment. FIG. 15 is a view showing a state in which the conveyance device of the fourth embodiment is conveying a sheet member. As shown in FIG. 14, the suction cylinders 25 and 26 execute the processing of steps S1 to S4 described with reference to FIGS. 7 and 8.
 そして、図14及び図15の(a)に示すように、吸着筒25・26は、第1テーブル61に載置されていたシート部材29を支持して、第2テーブル62の上方であって所定のXY座標位置に移動させることで、XY平面上のスライド移動を完了すると(ステップS4)。すると、送風部28の送風口は、シート部材29の上方であって、シート部材29の中央部と重なる。 And as shown to (a) of FIG.14 and FIG.15, the adsorption | suction cylinder 25 * 26 supports the sheet member 29 mounted in the 1st table 61, and is the upper part of the 2nd table 62, When the slide movement on the XY plane is completed by moving to a predetermined XY coordinate position (step S4). Then, the air blowing port of the air blowing unit 28 is above the sheet member 29 and overlaps with the central portion of the sheet member 29.
 次に、図14及び図15の(b)に示すように、送風部28は、矢印P3に示すように、シート部材29のうち、吸着筒25・26が支持する両端部間の中央部に対し、上面側(第2テーブル62との対向面とは逆側面側)から送風する(ステップS34)。 Next, as shown in FIG. 14 and (b) of FIG. 15, the blower unit 28 is, as shown by the arrow P 3, in the central portion between the both ends of the sheet member 29 supported by the suction cylinders 25 and 26. On the other hand, the air is blown from the upper surface side (the side opposite to the surface facing the second table 62) (step S34).
 そして、吸着筒25・26は、シート部材29をZ軸方向であって、第2テーブル62へ近づく方向へ第1速度で下降させ(ステップS5)、シート部材29が第2テーブル62の表面からの距離が所定距離となると、吸着筒25・26は、シート部材29をZ軸方向であって第2テーブルへ近づく方向へ第2速度で下降させる(ステップS6)。 Then, the suction cylinders 25 and 26 lower the sheet member 29 in the Z-axis direction toward the second table 62 at a first speed (step S5), and the sheet member 29 is from the surface of the second table 62 When the distance d is a predetermined distance, the suction cylinders 25 lower the sheet member 29 in the Z-axis direction toward the second table at a second speed (step S6).
 ステップS5・S6において、吸着筒25・26がシート部材29をZ軸方向へ移動させることで第2テーブル62へ近づけている間、送風部28が、シート部材29の中央部における、上面側(第2テーブル62との対向面とは逆側面側)に対し送風する。これにより、シート部材29の中央部が、第2テーブル62へ近づく方向への移動に伴い裏面に風圧を受けたとしても、当該風圧による撓みの発生を防止することができる。すなわち、シート部材29の平坦性を保ちつつ、シート部材29を第2テーブル62に近づく方向へ移動させることができる。 In steps S5 and S6, while the suction cylinders 25 and 26 move the sheet member 29 in the Z-axis direction to move the sheet member 29 closer to the second table 62, the blower unit 28 is an upper surface side (a central portion of the sheet member 29 The air is blown to the side opposite to the surface facing the second table 62). As a result, even if the center portion of the sheet member 29 receives wind pressure on the back surface as it moves toward the second table 62, it is possible to prevent the occurrence of bending due to the wind pressure. That is, the sheet member 29 can be moved in the direction approaching the second table 62 while maintaining the flatness of the sheet member 29.
 そして、吸着筒25・26は、シート部材29の裏面が第2テーブル62と接触すると、Z軸方向への移動を停止し、吸着を解除する。これにより、吸着筒25・26のシート部材29の支持も解除され、シート部材29の第1テーブル61から第2テーブル62への搬送が完了する(ステップS7)。また、送風部28は送風を停止する。 Then, when the back surface of the sheet member 29 contacts the second table 62, the suction cylinders 25 and 26 stop the movement in the Z-axis direction, and cancel the suction. As a result, the support of the sheet member 29 of the suction cylinder 25 is also released, and the conveyance of the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62 is completed (step S7). In addition, the blower unit 28 stops the blower.
 このように、シート部材29が第2テーブル62に近づく方向へ移動している間、送風部28がシート部材29の中央部に対し、上面側(第2テーブル62との対向面とは逆側面側)から送風する。このため、シート部材29が第2テーブル62に近づく方向へ移動することに伴い風圧を受けたとしても、吸着筒25・26は、シート部材29の平坦性を保ちつつ、シート部材29を第2テーブル62に載置することができる。 Thus, while the sheet member 29 moves in the direction approaching the second table 62, the air blowing unit 28 faces the upper surface side (the opposite side surface to the opposite surface to the second table 62) with respect to the central portion of the sheet member 29. Blower from the side). For this reason, even if air pressure is received as the sheet member 29 moves in the direction approaching the second table 62, the suction cylinders 25, 26 maintain the flatness of the sheet member 29 while keeping the sheet member 29 second. It can be placed on the table 62.
 これにより、シート部材29と第2テーブル62との間に空気が混入することを防止することができる。 Thereby, air can be prevented from being mixed between the sheet member 29 and the second table 62.
 なお、吸着筒25・26が第2テーブル62へ近づく方向へ移動すると共に、送風部28も、送風しつつ、シート部材29と一定の距離を保って第2テーブル62へ近づく方向へ移動してもよい。 While the suction cylinders 25 and 26 move in the direction approaching the second table 62, the blower unit 28 also moves in the direction approaching the second table 62 while maintaining a constant distance from the sheet member 29 while blowing air. It is also good.
 さらに、送風部28の送風量を、吸着筒25・26と第2テーブル62との距離が近づくにつれて次第に多くする、又は、段階的に多くする等、吸着筒25・26と第2テーブル62との距離に応じて変更してもよい。 Furthermore, the suction cylinder 25/26 and the second table 62, etc., increase the air flow of the blower 28 gradually as the distance between the suction cylinder 25/26 and the second table 62 approaches, or increase gradually. It may be changed according to the distance of
 また、吸着筒25・26は、ステップS5・S6のようにシート部材29を第2テーブルへ近づける速度を段階的にまたは次第に遅くすることと共に、又は、遅くすることに換えて、ステップS15・S16(図9及び図10参照)のように、吸着筒25・26のうち何れか一方を先に第2テーブル62へ下降させてから、他方を第2テーブル62へ下降させてもよい。 In addition, the suction cylinders 25 and 26 gradually or gradually reduce the speed at which the sheet member 29 is brought close to the second table as in steps S5 and S6, or in place of decreasing the speed, step S15 and S16. As shown in FIGS. 9 and 10, either one of the suction cylinders 25 and 26 may be first lowered to the second table 62, and then the other may be lowered to the second table 62.
 〔実施形態5〕
 本発明の実施形態5について、主に図16に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態1~4にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
Fifth Embodiment
The fifth embodiment of the present invention is described below mainly with reference to FIG. For convenience of explanation, the same reference numerals are appended to members having the same functions as the members described in the first to fourth embodiments, and the description thereof is omitted.
 図16は、実施形態5の搬送装置1Bの構成を表す斜視図である。搬送装置1Bのように吸着筒を3個以上有していてもよい。 FIG. 16 is a perspective view illustrating the configuration of a conveyance device 1B of the fifth embodiment. Three or more suction cylinders may be provided as in the transfer device 1B.
 搬送装置1Bは、搬送装置1(図1参照)の制御部30に換えて制御部30Bを有し、吸着筒駆動部23・24に換えて吸着筒駆動部23B1・23B2・24B1・24B2を有し、吸着筒25・26に換えて吸着筒25B1・25B2・26B1・26B2を有する。制御部30Bは制御部30の吸着筒駆動制御部31に換えて吸着筒駆動制御部31Bを有する。 The transfer device 1B has a control unit 30B in place of the control unit 30 of the transfer device 1 (see FIG. 1), and has a suction cylinder drive unit 23B1 · 23B2 · 24B1 · 24B2 in place of the suction cylinder drive unit 23 · 24 And the adsorption cylinders 25 and 26 are replaced by adsorption cylinders 25B1 25B2 26B1 26B2. The control unit 30B has a suction cylinder drive control unit 31B in place of the suction cylinder drive control unit 31 of the control unit 30.
 吸着筒駆動制御部31Bは、吸着筒駆動部23B1・23B2・24B1・24B2の駆動を制御する。 The suction cylinder drive control unit 31B controls the drive of the suction cylinder drive units 23B1 23B2 24B1 24B2.
 吸着筒駆動部23B1は吸着筒駆動制御部31Bからの指示によりガイドレール20に沿って吸着筒25B1と共にX軸方向へ移動したり、吸着筒25B1を移動させたり、吸着筒25B1を回転させたり、吸着筒25B1に吸着させたりする。吸着筒駆動部23B2は吸着筒駆動制御部31Bからの指示によりガイドレール20に沿って吸着筒25B2と共にX軸方向へ移動したり、吸着筒25B2を移動させたり、吸着筒25B2を回転させたり、吸着筒25B2に吸着させたりする。吸着筒駆動部24B1は吸着筒駆動制御部31Bからの指示によりガイドレール21に沿って吸着筒26B1と共にX軸方向へ移動したり、吸着筒26B1を移動させたり、吸着筒26B1を回転させたり、吸着筒26B1に吸着させたりする。吸着筒駆動部24B2は吸着筒駆動制御部31Bからの指示によりガイドレール20に沿って吸着筒26B2と共にX軸方向へ移動したり、吸着筒26B2を移動させたり、吸着筒26B2を回転させたり、吸着筒26B2に吸着させたりする。 The suction cylinder drive unit 23B1 moves in the X-axis direction with the suction cylinder 25B1 along the guide rail 20 according to an instruction from the suction cylinder drive control unit 31B, moves the suction cylinder 25B1, rotates the suction cylinder 25B1, It is made to adsorb to adsorption cylinder 25B1. The suction cylinder drive unit 23B2 moves along the guide rail 20 along the guide rail 20 in the X-axis direction with the suction cylinder 25B2, moves the suction cylinder 25B2, rotates the suction cylinder 25B2, or the like according to an instruction from the suction cylinder drive control unit 31B. It is made to adsorb to adsorption cylinder 25B2. The suction cylinder drive unit 24B1 moves in the X axis direction with the suction cylinder 26B1 along the guide rail 21 according to an instruction from the suction cylinder drive control unit 31B, moves the suction cylinder 26B1, rotates the suction cylinder 26B1, It is made to adsorb to adsorption cylinder 26B1. The suction cylinder drive unit 24B2 moves in the X axis direction with the suction cylinder 26B2 along the guide rail 20 according to an instruction from the suction cylinder drive control unit 31B, moves the suction cylinder 26B2, rotates the suction cylinder 26B2, It is made to adsorb to adsorption cylinder 26B2.
 吸着筒駆動部23B1・23B2はガイドレール20にX軸方向へスライド可能に取り付けられている。吸着筒駆動部24B1・24B2はガイドレール21にX軸方向へスライド可能に取り付けられている。 The suction cylinder driving units 23B1 and 23B2 are slidably attached to the guide rail 20 in the X-axis direction. The suction cylinder drive units 24B1 and 24B2 are slidably attached to the guide rail 21 in the X-axis direction.
 吸着筒駆動部23B1には吸着筒25B1がZ軸方向にスライド可能に取り付けられており、吸着筒駆動部23B2には吸着筒25B2がZ軸方向にスライド可能に取り付けられており、吸着筒駆動部24B1には吸着筒26B1がZ軸方向にスライド可能に取り付けられており、吸着筒駆動部24B2には吸着筒26B2がZ軸方向にスライド可能に取り付けられている。 A suction cylinder 25B1 is slidably attached to the suction cylinder drive unit 23B1 in the Z-axis direction, and a suction cylinder 25B2 is slidably mounted to the suction cylinder drive unit 23B2 in the Z-axis direction. A suction cylinder 26B1 is attached to 24B1 so as to be slidable in the Z-axis direction, and a suction cylinder 26B2 is attached to the suction cylinder drive unit 24B2 so as to be slidable in the Z-axis direction.
 また、吸着筒駆動部23B1は、さらに、吸着筒25B1を、吸着筒25B1の中心軸を中心に回転可能であってもよく、さらに、吸着筒25B1をY軸方向にスライド可能であってもよい。吸着筒駆動部23B2は、さらに、吸着筒25B2を、吸着筒25B2の中心軸を中心に回転可能であってもよく、さらに、吸着筒25B2をY軸方向にスライド可能であってもよい。吸着筒駆動部24B1は、さらに、吸着筒26B1を、吸着筒26B1の中心軸を中心に回転可能であってもよく、さらに、吸着筒26B1をY軸方向にスライド可能であってもよい。吸着筒駆動部24B2は、さらに、吸着筒26B2を、吸着筒26B2の中心軸を中心に回転可能であってもよく、さらに、吸着筒26B2をY軸方向にスライド可能であってもよい。 Further, the suction cylinder drive unit 23B1 may further be capable of rotating the suction cylinder 25B1 about the central axis of the suction cylinder 25B1, and may be capable of sliding the suction cylinder 25B1 in the Y-axis direction. . The suction cylinder drive unit 23B2 may be further capable of rotating the suction cylinder 25B2 about the central axis of the suction cylinder 25B2, and may be capable of sliding the suction cylinder 25B2 in the Y-axis direction. The suction cylinder drive unit 24B1 may further be capable of rotating the suction cylinder 26B1 about the central axis of the suction cylinder 26B1, and may be capable of sliding the suction cylinder 26B1 in the Y-axis direction. The suction cylinder drive unit 24B2 may be further capable of rotating the suction cylinder 26B2 about the central axis of the suction cylinder 26B2, and may be capable of sliding the suction cylinder 26B2 in the Y-axis direction.
 吸着筒25B1は先端部にパッド25aB1を有し、吸着筒25B2は先端部にパッド25aB2を有し、吸着筒26B1は先端部にパッド26aB1を有し、吸着筒26B2は先端部にパッド26aB2を有する。 The suction cylinder 25B1 has a pad 25aB1 at its front end, the suction cylinder 25B2 has a pad 25aB2 at its front end, the suction cylinder 26B1 has a pad 26aB1 at its front end, and the suction cylinder 26B2 has a pad 26aB2 at its front end .
 吸着筒25B1・25B2の形状、機能及び動作は吸着筒25と同様であり、吸着筒26B1・26B2の形状、機能及び動作は吸着筒26と同様である。また、パッド25aB1・25aB2の形状及び機能はパッド25aと同様であり、パッド26aB1・26aB2の形状及び機能はパッド26aと同様である。 The shape, function and operation of the suction cylinders 25B1 and 25B2 are similar to those of the suction cylinder 25, and the shape, function and operation of the suction cylinders 26B1 and 26B2 are similar to those of the suction cylinder 26. The shape and function of the pads 25aB1 and 25aB2 are similar to those of the pad 25a, and the shape and function of the pads 26aB1 and 26aB2 are similar to those of the pad 26a.
 このように、搬送装置1Bは、4個の吸着筒25B1・25B2・26B1・26B2によって、シート部材29の端部を支持及び搬送する。これにより、シート部材29の面積が大きくても、安定してシート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送することができる。 As described above, the conveying device 1B supports and conveys the end of the sheet member 29 by the four suction cylinders 25B1 25B2 26B1 26B2. Thus, even if the area of the sheet member 29 is large, the sheet member 29 can be stably transported from the first table 61 to the second table 62.
 なお、吸着筒及び吸着筒制御部の個数は、4個に限定されず、3個であってもよいし、5個以上であってもよい。また、ガイドレールの個数も2個に限定されず、1個であってもよいし3個以上であってもよい。 The number of suction cylinders and suction cylinder control units is not limited to four, and may be three, or five or more. Further, the number of guide rails is not limited to two, and may be one or three or more.
 〔実施形態6〕
 本発明の実施形態6について、主に図17及び図18に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態1~5にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
Sixth Embodiment
The sixth embodiment of the present invention is described below mainly with reference to FIGS. 17 and 18. For convenience of explanation, the same reference numerals are appended to members having the same functions as the members described in the first to fifth embodiments, and the description thereof is omitted.
 図17は、実施形態6に係る搬送装置1Cの構成を表す斜視図である。図18は、実施形態6に係る搬送装置1Cの吸着筒25C・26Cの先端に配されたパッド25aC・26aCの構成を表す平面図である。 FIG. 17 is a perspective view illustrating the configuration of a transfer apparatus 1C according to a sixth embodiment. FIG. 18 is a plan view showing the configuration of pads 25aC and 26aC disposed at the tip of suction cylinders 25C and 26C of a transfer apparatus 1C according to a sixth embodiment.
 図17に示すように搬送装置1Cは、搬送装置1(図1参照)の制御部30に換えて制御部30Cを備え、吸着筒駆動部23・24に換えて吸着筒駆動部23C・24Cを備え、吸着筒25・26に換えて吸着筒25C・26Cを備えている。制御部30Cは制御部30の吸着筒駆動制御部31に換えて吸着筒駆動制御部31Cを備えている。吸着筒駆動制御部31Cは、吸着筒駆動部23C・24Cの駆動を制御する。 As shown in FIG. 17, the transfer apparatus 1C includes a control unit 30C in place of the control unit 30 of the transfer apparatus 1 (see FIG. 1), and in place of the suction cylinder drive units 23 and 24, suction cylinder drive units 23C and 24C. In place of the suction cylinders 25 and 26, the suction cylinders 25C and 26C are provided. The control unit 30C includes a suction cylinder drive control unit 31C instead of the suction cylinder drive control unit 31 of the control unit 30. The suction cylinder drive control unit 31C controls the driving of the suction cylinder drive units 23C and 24C.
 吸着筒駆動部23Cは、吸着筒25Cに電力を供給することで、吸着筒25Cに電磁力を発生させる。吸着筒駆動部24Cは、吸着筒26Cに電力を供給することで、吸着筒26Cに電磁力を発生させる。 The suction cylinder drive unit 23C supplies power to the suction cylinder 25C to cause the suction cylinder 25C to generate an electromagnetic force. The suction cylinder drive unit 24C supplies power to the suction cylinder 26C to cause the suction cylinder 26C to generate an electromagnetic force.
 吸着筒25C・26Cは、吸引ではなく電磁力を発生させてシート部材29を引き寄せることでシート部材29の両端部を支持する。 The suction cylinders 25C and 26C support both end portions of the sheet member 29 by generating an electromagnetic force instead of suction and attracting the sheet member 29.
 パッド25aC・26aCはそれぞれ内部に電磁石を有し、当該電磁石の周りをゴム、樹脂等の弾力性を有する材料が覆っている。 Each of the pads 25aC and 26aC has an electromagnet therein, and an elastic material such as rubber or resin covers the periphery of the electromagnet.
 図18に示すように、バッド25aCの表面(シート部材29との接触面)は、パッド25a(図2参照)とは異なり開口部は形成されていない。 As shown in FIG. 18, the surface of the pad 25aC (contact surface with the sheet member 29) has no opening, unlike the pad 25a (see FIG. 2).
 なお、吸着筒駆動部23C・24C及び吸着筒25C・26Cにおいて、電磁石によってシート部材29を支持するための構成以外の構成及び動作は、吸着筒駆動部23・24及び吸着筒25・26と同様である。 The configuration and operation other than the configuration for supporting the sheet member 29 by the electromagnets in the suction cylinder drive units 23C and 24C and the suction cylinder 25C and 26C are the same as the suction cylinder drive units 23 and 24 and the suction cylinders 25 and 26. It is.
 ただし、吸着筒25C・26Cが電磁力を発生させてシート部材29を支持するには、シート部材29は、マスクシート11のように金属材料を含む必要がある。 However, in order for the suction cylinders 25C and 26C to generate an electromagnetic force to support the sheet member 29, the sheet member 29 needs to contain a metal material like the mask sheet 11.
 〔まとめ〕
 本発明の態様1に係る搬送装置1は、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送する搬送装置1であって、上記第1テーブル61に載置された上記シート部材29の端部を一又は複数の吸着筒25・26で支持するステップと、上記吸着筒25・26を上記第2テーブル62の上方へ移動するステップと、上記吸着筒25・26を、上記第2テーブル62へ近づく方向へ、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材29を上記第2テーブル62に接触させるステップとを有することを特徴とする。
[Summary]
The conveyance device 1 according to aspect 1 of the present invention is a conveyance device 1 that conveys the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62, and the conveyance device 1 of the sheet member 29 placed on the first table 61. The step of supporting the end portion with one or a plurality of adsorption cylinders 25 and 26, the step of moving the adsorption cylinders 25 and 26 above the second table 62, and the adsorption cylinders 25 and 26 Moving the sheet member 29 into contact with the second table 62 by moving the sheet member 29 in the direction toward the side 62 by gradually or gradually decreasing the speed.
 上記構成によると、上記シート部材を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させる際、当該シート部材が上記第2テーブルから遠いときは速い速度で移動させることでシート部材が上記第2テーブルと接触するまでの時間を短縮することができる。 According to the above configuration, when the sheet member is moved in a direction approaching the second table, the sheet member contacts the second table by moving at a high speed when the sheet member is far from the second table You can shorten the time to
 また、上記シート部材と上記第2テーブルとの距離が近づくと上記シート部材を移動させる速度を遅くすることで、上記シート部材が移動に伴い受ける風圧を抑えることができ、中央部の撓みを抑えることができる。このため、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 In addition, by reducing the moving speed of the sheet member as the distance between the sheet member and the second table approaches, it is possible to suppress the wind pressure received by the sheet member as it moves, thereby suppressing the bending of the central portion. be able to. For this reason, it can prevent that air mixes between the said sheet member and the said 2nd table.
 このように、上記構成によると、上記シート部材を搬送するために要する時間を短縮しつつ、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 As described above, according to the above configuration, it is possible to prevent air from being mixed between the sheet member and the second table while shortening the time required to convey the sheet member.
 本発明の態様2に係る搬送装置1は、上記態様1において、第1吸着部(吸着筒25)及び第2吸着部(吸着筒26)を含む複数の上記吸着部を有してもよい。これにより、上記シート部材を安定して搬送することができる。 The conveying apparatus 1 which concerns on aspect 2 of this invention may have several said adsorption | suction parts containing the 1st adsorption | suction part (suction cylinder 25) and 2nd adsorption | suction part (suction cylinder 26) in the said aspect 1. FIG. Thereby, the said sheet | seat member can be conveyed stably.
 本発明の態様3に係る搬送装置1は、上記態様1において、上記第1吸着部(吸着筒25)を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち上記第1吸着部(吸着筒25)が支持している領域を上記第2テーブル62に接触させるステップと、上記第2吸着部(吸着筒26)を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち、上記第1吸着部(吸着筒25)が支持している領域が上記第2テーブル62に接触した後、上記第2吸着部(吸着筒26)が支持している領域を上記第2テーブル62に接触させるステップとを有してもよい。 In the transport apparatus 1 according to aspect 3 of the present invention, in the above aspect 1, the first adsorption section (adsorption cylinder 25) is moved in a direction approaching the second table 62, and the first of the sheet members 29 is moved. Bringing the area supported by the suction unit (suction cylinder 25) into contact with the second table 62, moving the second suction unit (suction cylinder 26) in a direction approaching the second table 62, and After the area supported by the first suction unit (suction cylinder 25) in the sheet member 29 contacts the second table 62, the area supported by the second suction unit (suction cylinder 26) is Contacting the second table 62.
 本発明の態様4に係る搬送装置1は、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送する搬送装置1であって、上記第1テーブル61に載置された上記シート部材29の端部を、第1吸着部(吸着筒25)及び第2吸着部(吸着筒26)を含む複数の吸着部で支持するステップと、上記複数の吸着部を上記第2テーブル62の上方へ移動するステップと、上記第1吸着部(吸着筒25)を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち上記第1吸着部(吸着筒25)が支持している領域を上記第2テーブル62に接触させるステップと、上記第2吸着部(吸着筒26)を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち、上記第1吸着部(吸着筒25)が支持している領域が上記第2テーブル62に接触した後、上記第2吸着部(吸着筒26)が支持している領域を上記第2テーブル62に接触させるステップとを有することを特徴とする。 The conveyance device 1 according to the fourth aspect of the present invention is a conveyance device 1 that conveys the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62, and the conveyance device 1 of the sheet member 29 placed on the first table 61. Supporting the end portion with a plurality of suction units including a first suction unit (suction cylinder 25) and a second suction unit (suction cylinder 26), moving the plurality of suction units above the second table 62 Moving the first suction unit (suction cylinder 25) toward the second table 62, and supporting the first suction unit (suction cylinder 25) of the sheet member 29. And bringing the second suction unit (suction cylinder 26) into a direction approaching the second table 62, to move the second suction unit (suction cylinder 26) to the first table 62; Supported by the cylinder 25) After the area there are in contact with the second table 62, and having a step of contacting the second adsorption unit regions (adsorption cylinder 26) is supported on the second table 62.
 上記構成によると、上記第1吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させることで、上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を、先に、上記第2テーブルに接触させる。上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域は、当該第1吸着部が押圧することができるため、当該領域と上記第2テーブルとの間には空気が混入しにくい。このため、上記第1吸着部を速い速度で上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させることができる。 According to the above configuration, by moving the first suction unit in the direction approaching the second table, the area supported by the first suction unit in the sheet member is first transferred to the second table. Make contact. Since the said 1st adsorption | suction part can press the area | region which the said 1st adsorption | suction part supports among the said sheet members, air does not mix easily between the said area | region and the said 2nd table. Therefore, the first suction unit can be moved at a high speed toward the second table to bring the area supported by the first suction unit of the sheet member into contact with the second table. .
 そして、上記第2吸着部を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち、上記第1吸着部が支持している領域が上記第2テーブル62に接触した後、上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブル62に接触させる。このため、上記シート部材における中央部(上記第1吸着部が支持している領域と、上記第2吸着部が支持している領域との間の領域)と、上記第2テーブルとの間の空気は、上記第2吸着部を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させることに伴って、当該中央部と上記第2テーブルとの間の空間から外側へ流出する。このため、上記第2吸着部を速い速度で上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて上記シート部材のうち上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させることができる。 Then, the second suction unit is moved in the direction approaching the second table 62, and after the area supported by the first suction unit in the sheet member 29 comes in contact with the second table 62, The area supported by the second suction unit is brought into contact with the second table 62. For this reason, between the central portion (region between the region supported by the first suction portion and the region supported by the second suction portion) in the sheet member and the second table The air flows out from the space between the central portion and the second table as the second adsorption portion is moved in the direction approaching the second table 62. Therefore, the second suction unit can be moved at a high speed toward the second table so that the area supported by the second suction unit in the sheet member can be brought into contact with the second table. .
 このため、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 For this reason, it can prevent that air mixes between the said sheet member and the said 2nd table.
 このように、上記構成によると、上記シート部材を搬送するために要する時間を短縮しつつ、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 As described above, according to the above configuration, it is possible to prevent air from being mixed between the sheet member and the second table while shortening the time required to convey the sheet member.
 本発明の態様5に係る搬送装置1は、上記態様4において、上記第1吸着部(吸着筒25)及び上記第2吸着部(吸着筒26)の少なくとも一方を、上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させる際、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材29を上記第2テーブル62に接触させてもよい。 In the transport apparatus 1 according to aspect 5 of the present invention, at least one of the first adsorption unit (adsorption cylinder 25) and the second adsorption section (adsorption cylinder 26) approaches the second table 62 in the above-mentioned embodiment 4 When the sheet member 29 is moved in the direction, the sheet member 29 may be brought into contact with the second table 62 by gradually or gradually reducing the speed.
 上記構成によると、上記シート部材を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させる際、当該シート部材が上記第2テーブルから遠いときは速い速度で移動させることでシート部材が上記第2テーブルと接触するまでの時間を短縮することができる。 According to the above configuration, when the sheet member is moved in a direction approaching the second table, the sheet member contacts the second table by moving at a high speed when the sheet member is far from the second table You can shorten the time to
 また、上記シート部材と上記第2テーブルとの距離が近づくと上記シート部材を移動させる速度を遅くすることで、上記シート部材が移動に伴い受ける風圧を抑えることができ、中央部の撓みを抑えることができる。このため、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 In addition, by reducing the moving speed of the sheet member as the distance between the sheet member and the second table approaches, it is possible to suppress the wind pressure received by the sheet member as it moves, thereby suppressing the bending of the central portion. be able to. For this reason, it can prevent that air mixes between the said sheet member and the said 2nd table.
 このように、上記構成によると、上記シート部材を搬送するために要する時間を短縮しつつ、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 As described above, according to the above configuration, it is possible to prevent air from being mixed between the sheet member and the second table while shortening the time required to convey the sheet member.
 本発明の態様6に係る搬送装置1は、上記態様2~5において、上記複数の吸着筒25・26で上記シート部材29を支持した後、当該複数の吸着筒25・26が上記シート部材29の支持を解除する前に、当該複数の吸着筒25・26のうち少なくとも一つを回転させるステップを有してもよい。上記構成によると、上記シート部材における撓みを制御することができる。 In the transport apparatus 1 according to the sixth aspect of the present invention, in the second to fifth aspects, after the sheet member 29 is supported by the plurality of suction cylinders 25, 26, the plurality of suction cylinders 25, 26 correspond to the sheet member 29. Before releasing the support of at least one of the plurality of suction cylinders 25/26. According to the above configuration, deflection of the sheet member can be controlled.
 本発明の態様7に係る搬送装置1は、上記態様6において、上記複数の吸着筒25・26のうち少なくとも一つを回転させるステップを、上記複数の吸着筒25・26で上記シート部材29を支持した後、上記複数の吸着筒25・26が上記第2テーブル62の上方へ移動を開始する前に行ってもよい。 In the transport apparatus 1 according to aspect 7 of the present invention, in the above aspect 6, the step of rotating at least one of the plurality of adsorption cylinders 25 and 26 is performed by using the plurality of adsorption cylinders 25 and 26 as the sheet member 29. It may be performed before the plurality of suction cylinders 25 and 26 start moving upward of the second table 62 after supporting.
 上記構成によると、上記シート部材の撓みを制御した状態で、上記複数の吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動させることができる。これによると、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入しにくくしたり、上記シート部材を上記第2テーブルにおける所定位置へ正確に搬送したりすることができる。 According to the above configuration, the plurality of suction units can be moved to the upper side of the second table in a state in which the bending of the sheet member is controlled. According to this, air can be less easily mixed between the sheet member and the second table, or the sheet member can be accurately conveyed to a predetermined position on the second table.
 本発明の態様8に係る搬送装置1Aは、上記態様2~7において、上記シート部材29が上記第2テーブル62の上方へ到着した際、当該シート部材29を介在させて上記第2テーブル62と対向するように配置された送風部28を有し、上記吸着筒25・26を、上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させる際、上記送風部28から上記シート部材29へ送風するステップを有してもよい。 In the transport apparatus 1A according to aspect 8 of the present invention, in the above aspects 2 to 7, when the sheet member 29 arrives above the second table 62, the sheet member 29 is interposed and the second table 62 is interposed. There is a step of blowing air from the air blowing unit 28 to the sheet member 29 when moving the suction cylinders 25 and 26 in the direction approaching the second table 62. You may
 上記構成によると、上記シート部材が上記第2テーブルに近づく方向へ移動している間、上記送風部が上記シート部材の中央部に対し、上面側(上記第2テーブルとの対向面とは逆側面側)から送風する。このため、上記シート部材が上記第2テーブルに近づく方向へ移動することに伴い風圧を受けたとしても、上記吸着筒は、上記シート部材の平坦性を保ちつつ、上記シート部材を上記第2テーブルに載置することができる。 According to the above configuration, while the sheet member is moving in the direction approaching the second table, the air blowing unit is on the upper surface side with respect to the central portion of the sheet member (the opposite to the opposite surface to the second table) Send air from the side). For this reason, even if air pressure is received as the sheet member moves in the direction approaching the second table, the suction cylinder maintains the flatness of the sheet member while the suction cylinder holds the second table. Can be placed on
 これにより、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 Thereby, air can be prevented from mixing between the sheet member and the second table.
 本発明の態様9に係る搬送装置1は、上記態様2~8において、上記複数の吸着筒25・26は上記シート部材29を吸引することで、当該シート部材29を支持してもよい。 In the transport apparatus 1 according to aspect 9 of the present invention, in the above aspects 2 to 8, the plurality of suction cylinders 25 and 26 may support the sheet member 29 by suctioning the sheet member 29.
 本発明の態様10に係る搬送装置1Cは、上記態様2~8において、上記複数の吸着筒25・26は、電磁力により上記シート部材29を引き寄せることで、当該シート部材29を支持してもよい。 In the transport apparatus 1C according to aspect 10 of the present invention, in the above aspects 2 to 8, even if the plurality of suction cylinders 25 and 26 attract the sheet member 29 by an electromagnetic force, the plurality of adsorption cylinders 25 and 26 support the sheet member 29. Good.
 本発明の態様11に係る搬送装置1は、上記態様2~10において、上記複数の吸着筒25・26における上記シート部材29との接触面は、弾性部材(パッド25a・26a)により構成されていてもよい。上記構成によると上記複数の吸着筒が上記シート部材に接触することで当該シート部材に傷が付くことを防止することができる。 In the transport apparatus 1 according to aspect 11 of the present invention, in the above aspects 2 to 10, the contact surfaces of the plurality of suction cylinders 25 and 26 with the sheet member 29 are constituted by elastic members (pads 25 a and 26 a). May be According to the above configuration, it is possible to prevent the sheet member from being scratched by the plurality of suction cylinders being in contact with the sheet member.
 本発明の態様12に係る搬送装置1は、上記態様9において、上記複数の吸着筒25・26における上記シート部材29との接触面には、複数の吸引口が形成されていてもよい。上記構成によると、上記複数の吸着筒は、上記シート部材を吸引して支持するときに上記シート部材の表面に加わる圧力を分散させることができる。 In the transport apparatus 1 according to aspect 12 of the present invention, in the aspect 9, a plurality of suction ports may be formed on the contact surface of the plurality of suction cylinders 25 and 26 with the sheet member 29. According to the above configuration, the plurality of suction cylinders can disperse pressure applied to the surface of the sheet member when the sheet member is sucked and supported.
 本発明の態様13に係る搬送装置1は、上記態様1~12において、上記シート部材29の中央部には所定のパターンが形成されていてもよい。上記構成によると、上記シート部材における中央部を上記吸着部で支持しなくても、当該中央部と上記第2テーブルとの間に空気が混入することを防止することができる。 In the transport apparatus 1 according to aspect 13 of the present invention, in the above aspects 1 to 12, a predetermined pattern may be formed at the central portion of the sheet member 29. According to the above configuration, even if the central portion of the sheet member is not supported by the suction portion, air can be prevented from being mixed between the central portion and the second table.
 本発明の態様14に係る搬送装置1は、上記態様13において、上記シート部材29の厚さは、10μm以上50μm以下であってもよい。 In the transport device 1 according to aspect 14 of the present invention, in the aspect 13, the thickness of the sheet member 29 may be 10 μm or more and 50 μm or less.
 本発明の態様15に係る搬送装置1は、上記態様13又は14において、上記シート部材29は、蒸着マスク10を構成するマスクシート11であってもよい。 In the transport device 1 according to aspect 15 of the present invention, in the aspect 13 or 14, the sheet member 29 may be the mask sheet 11 constituting the vapor deposition mask 10.
 本発明の態様16に係る搬送装置1は、上記態様13~15において、上記第2テーブルを有する装置は、上記所定パターンを検査する検査装置であってもよい。上記構成によると、上記シート部材と上記第2テーブルとの間に空気が混入していないため、上記シート部材の検査を正確に行うことができる。 In the transport apparatus 1 according to aspect 16 of the present invention, in the above aspects 13 to 15, the apparatus having the second table may be an inspection apparatus that inspects the predetermined pattern. According to the above configuration, since the air is not mixed between the sheet member and the second table, the sheet member can be inspected accurately.
 本発明の態様17に係る搬送装置1は、上記態様13において、上記シート部材29は、フレキシブル化された表示パネル(有機EL表示パネル41)であってもよい。 In the transport device 1 according to aspect 17 of the present invention, in the aspect 13, the sheet member 29 may be a flexible display panel (organic EL display panel 41).
 本発明の態様18に係る搬送方法は、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送する搬送装置1の搬送方法であって、上記第1テーブル61に載置された上記シート部材29の端部を一又は複数の吸着筒25・26で支持するステップと、上記吸着筒25・26を上記第2テーブル62の上方へ移動するステップと、上記吸着筒25・26を、上記第2テーブル62へ近づく方向へ、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材29を上記第2テーブル62に接触させるステップとを有することを特徴とする。 The conveyance method according to aspect 18 of the present invention is a conveyance method of the conveyance device 1 for conveying the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62, and the sheet member placed on the first table 61 The step of supporting the end portion of 29 with one or a plurality of suction cylinders 25 and 26, the step of moving the suction cylinders 25 and 26 above the second table 62, and the suction cylinders 25 and 26 Moving the sheet member 29 into contact with the second table 62 by moving the sheet member 29 in the direction approaching the table 62 by gradually or gradually reducing the speed.
 本発明の態様19に係る搬送方法は、シート部材29を第1テーブル61から第2テーブル62へ搬送する搬送装置1の搬送方法であって、上記第1テーブル61に載置された上記シート部材29の端部を、第1吸着部(吸着筒25)及び第2吸着部(吸着筒26)を含む複数の吸着部で支持するステップと、上記複数の吸着筒25・26を上記第2テーブル62の上方へ移動するステップと、上記第1吸着部(吸着筒25)を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち上記第1吸着部(吸着筒25)が支持している領域を上記第2テーブル62に接触させるステップと、上記第2吸着部(吸着筒26)を上記第2テーブル62へ近づく方向へ移動させて、上記シート部材29のうち上記第2吸着部(吸着筒26)が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする。 A conveyance method according to aspect 19 of the present invention is a conveyance method of the conveyance device 1 for conveying the sheet member 29 from the first table 61 to the second table 62, and the sheet member placed on the first table 61 Supporting the end portions of the plurality of suction units 25 and 26 with the plurality of suction units including the first suction unit (the suction cylinder 25) and the second suction unit (the suction cylinder 26); And moving the first suction unit (suction cylinder 25) in the direction approaching the second table 62, and the first suction unit (suction cylinder 25) of the sheet member 29 moves The step of bringing the supported region into contact with the second table 62, and moving the second suction portion (suction cylinder 26) in the direction approaching the second table 62, the second of the sheet members 29 Adsorption section (suction The region cylinder 26) is supported and having a step of contacting the second table.
 本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and embodiments obtained by appropriately combining the technical means disclosed in the different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention. Furthermore, new technical features can be formed by combining the technical means disclosed in each embodiment.
1、1A~1C 搬送装置
10 蒸着マスク
29 シート部材
11 マスクシート
20・21 ガイドレール
23・23B1・23B2 吸着筒駆動部
24・24B1・24B2 吸着筒駆動部
25・25B1・25B2・25C 吸着筒(吸着部、第1吸着部)
26・26B1・26B2・26C 吸着筒(吸着部、第2吸着部)
25a・25aB1・25aB2・25aC バッド
26a・26aB1・26aB2・26aC バッド
25b、25b・26b、26b 吸引口
28 送風部
29 シート部材
30、30A~30C 制御部
31、31B、31C 吸着筒駆動制御部
32 送風制御部
61 第1テーブル
40 蒸着源
41 有機EL表示パネル(表示パネル)
42 基板
43 TFTアレイ層
50 蒸着粒子
62 第2テーブル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A-1C Conveying apparatus 10 Vapor deposition mask 29 Sheet member 11 Mask sheet 20 * 21 Guide rail 23 * 23 B1 * 23 B2 adsorption cylinder drive part 24 * 24 B1 * 24 B2 adsorption cylinder drive part 25 * 25 B1 * 25 B2 * 25 C adsorption pipe Part, first adsorption part)
26 · 26 B 1 · 26 B 2 · 26 C adsorption cylinder (adsorption part, second adsorption part)
25a, 25aB1, 25aB2, 25aC pads 26a, 26aB1, 26aB2, 25a, 25b, 25b, 26b, 26b suction ports 28 blowers 29 sheet members 30, 30A to 30C control units 31, 31B, 31C suction cylinder drive control units 32 blowers Control section 61 first table 40 evaporation source 41 organic EL display panel (display panel)
42 substrate 43 TFT array layer 50 vapor deposition particle 62 second table

Claims (19)

  1.  シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置であって、
     上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を一又は複数の吸着部で支持するステップと、
     上記吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、
     上記吸着部を、上記第2テーブルへ近づく方向へ、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする搬送装置。
    A conveying device for conveying a sheet member from a first table to a second table, comprising:
    Supporting the end of the sheet member placed on the first table with one or more suction parts;
    Moving the suction unit above the second table;
    Moving the suction unit toward the second table by gradually or gradually reducing the speed to bring the sheet member into contact with the second table. apparatus.
  2.  第1吸着部及び第2吸着部を含む複数の上記吸着部を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 The transfer apparatus according to claim 1, comprising a plurality of the suction units including a first suction unit and a second suction unit.
  3.  上記第1吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップと、
     上記第2吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち、上記第1吸着部が支持している領域が上記第2テーブルに接触した後、上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
    Moving the first suction unit toward the second table to bring the area of the sheet member supported by the first suction unit into contact with the second table;
    The second suction unit is moved in a direction approaching the second table, and after the area supported by the first suction unit contacts the second table, the second suction unit is moved. Contacting the second table with the area supported by the second table.
  4.  シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置であって、
     上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を、第1吸着部及び第2吸着部を含む複数の吸着部で支持するステップと、
     上記複数の吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、
     上記第1吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップと、
     上記第2吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち、上記第1吸着部が支持している領域が上記第2テーブルに接触した後、上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする搬送装置。
    A conveying device for conveying a sheet member from a first table to a second table, comprising:
    Supporting an end of the sheet member placed on the first table with a plurality of suction units including a first suction unit and a second suction unit;
    Moving the plurality of suction units above the second table;
    Moving the first suction unit toward the second table to bring the area of the sheet member supported by the first suction unit into contact with the second table;
    The second suction unit is moved in a direction approaching the second table, and after the area supported by the first suction unit contacts the second table, the second suction unit is moved. Contacting an area supported by the second table with the second table.
  5.  上記第1吸着部及び上記第2吸着部の少なくとも一方を、上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させる際、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材を上記第2テーブルに接触させることを特徴とする請求項4に記載の搬送装置。 When moving at least one of the first suction unit and the second suction unit in the direction approaching the second table, the sheet member is moved by gradually or stepwise reducing the speed. The transfer apparatus according to claim 4, wherein the transfer apparatus is in contact with a table.
  6.  上記複数の吸着部で上記シート部材を支持した後、当該複数の吸着部が上記シート部材の支持を解除する前に、当該複数の吸着部のうち少なくとも一つを回転させるステップを有することを特徴とする請求項2~5の何れか1項に記載の搬送装置。 After the sheet member is supported by the plurality of suction portions, the plurality of suction portions may rotate at least one of the plurality of suction portions before releasing the support of the sheet member. The transport apparatus according to any one of claims 2 to 5, wherein
  7.  上記複数の吸着部のうち少なくとも一つを回転させるステップを、
    上記複数の吸着部で上記シート部材を支持した後、上記複数の吸着部が上記第2テーブルの上方へ移動を開始する前に行うことを特徴とする請求項6に記載の搬送装置。
    Rotating at least one of the plurality of suction units;
    7. The conveyance apparatus according to claim 6, wherein after the sheet members are supported by the plurality of suction portions, the plurality of suction portions are performed before starting to move above the second table.
  8.  上記シート部材が上記第2テーブルの上方へ到着した際、当該シート部材を介在させて上記第2テーブルと対向するように配置された送風部を有し、
     上記吸着部を、上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させる際、上記送風部から上記シート部材へ送風するステップを有することを特徴とする請求項2~7の何れか1項に記載の搬送装置。
    When the above-mentioned sheet member arrives above the above-mentioned 2nd table, it has a ventilation part arranged so as to face the above-mentioned 2nd table via the sheet member concerned,
    The conveying device according to any one of claims 2 to 7, further comprising a step of blowing air from the blowing unit to the sheet member when moving the suction unit in a direction approaching the second table. .
  9.  上記複数の吸着部は上記シート部材を吸引することで、当該シート部材を支持することを特徴とする請求項2~8の何れか1項に記載の搬送装置。 The transport apparatus according to any one of claims 2 to 8, wherein the plurality of suction units support the sheet member by sucking the sheet member.
  10.  上記複数の吸着部は、電磁力により上記シート部材を引き寄せることで、当該シート部材を支持することを特徴とする請求項2~8の何れか1項に記載の搬送装置。 The transport device according to any one of claims 2 to 8, wherein the plurality of suction units support the sheet member by attracting the sheet member by an electromagnetic force.
  11.  上記複数の吸着部における上記シート部材との接触面は、弾性部材により構成されていることを特徴とする請求項2~10の何れか1項に記載の搬送装置。 The conveyance device according to any one of claims 2 to 10, wherein a contact surface of the plurality of suction portions with the sheet member is constituted by an elastic member.
  12.  上記複数の吸着部における上記シート部材との接触面には、複数の吸引口が形成されていることを特徴とする請求項9に記載の搬送装置。 10. The conveyance device according to claim 9, wherein a plurality of suction ports are formed on the contact surfaces of the plurality of suction units with the sheet member.
  13.  上記シート部材の中央部には所定のパターンが形成されていることを特徴とする請求項1~12の何れか1項に記載の搬送装置。 The transport apparatus according to any one of claims 1 to 12, wherein a predetermined pattern is formed at a central portion of the sheet member.
  14.  上記シート部材の厚さは、10μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項13に記載の搬送装置。 The conveyance device according to claim 13, wherein a thickness of the sheet member is 10 μm or more and 50 μm or less.
  15.  上記シート部材は、蒸着マスクを構成するマスクシートであることを特徴とする請求項13又は14に記載の搬送装置。 The conveyance device according to claim 13, wherein the sheet member is a mask sheet that constitutes a deposition mask.
  16.  上記第2テーブルを有する装置は、上記所定パターンを検査する検査装置であることを特徴とする請求項13~15の何れか1項に記載の搬送装置。 The apparatus according to any one of claims 13 to 15, wherein the apparatus having the second table is an inspection apparatus for inspecting the predetermined pattern.
  17.  上記シート部材は、フレキシブル化された表示パネルであることを特徴とする請求項13に記載の搬送装置。 The transport device according to claim 13, wherein the sheet member is a flexible display panel.
  18.  シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置の搬送方法であって、
     上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を一又は複数の吸着部で支持するステップと、
     上記吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、
     上記吸着部を、上記第2テーブルへ近づく方向へ、次第に又は段階的に速度を遅くすることで移動させて、上記シート部材を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする搬送方法。
    A conveying method of a conveying device for conveying a sheet member from a first table to a second table, wherein
    Supporting the end of the sheet member placed on the first table with one or more suction parts;
    Moving the suction unit above the second table;
    Moving the suction unit toward the second table by gradually or gradually reducing the speed to bring the sheet member into contact with the second table. Method.
  19.  シート部材を第1テーブルから第2テーブルへ搬送する搬送装置の搬送方法であって、
     上記第1テーブルに載置された上記シート部材の端部を、第1吸着部及び第2吸着部を含む複数の吸着部で支持するステップと、
     上記複数の吸着部を上記第2テーブルの上方へ移動するステップと、
     上記第1吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第1吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップと、
     上記第2吸着部を上記第2テーブルへ近づく方向へ移動させて、上記シート部材のうち上記第2吸着部が支持している領域を上記第2テーブルに接触させるステップとを有することを特徴とする搬送方法。
    A conveying method of a conveying device for conveying a sheet member from a first table to a second table, wherein
    Supporting an end of the sheet member placed on the first table with a plurality of suction units including a first suction unit and a second suction unit;
    Moving the plurality of suction units above the second table;
    Moving the first suction unit toward the second table to bring the area of the sheet member supported by the first suction unit into contact with the second table;
    Moving the second suction unit toward the second table to bring the area of the sheet member supported by the second suction unit into contact with the second table. Transport method.
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