WO2018003577A1 - Alignment device - Google Patents

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正 荒井
佐藤 史朗
昌輝 久保田
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日本電産サンキョー株式会社
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    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements

Abstract

This alignment device 10 is provided with: a panel stage 39 on which a display panel 2 is placed; a movement mechanism 40 which rotates the panel stage 39 and which moves the panel stage 39 in the X direction and the Y direction; and a camera 41 which detects the edges of the display panel 2. The panel stage 39 can move in the Y direction between an edge detection position 39A, at which the display panel 2 is arranged below the camera 41, and a panel unloading position 39B, at which the display panel 2 is unloaded from the panel stage 39, and the movement mechanism 40 moves the panel stage 39 from the edge detection position 39A to the panel unloading position 39B while positioning the display panel 2 on the basis of the detection results of the camera 41.

Description

アライメント装置Alignment device
 本発明は、液晶パネル等の表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置に関する。 The present invention relates to an alignment apparatus for aligning a display panel such as a liquid crystal panel.
 従来、液晶パネルの検査および修正を行うパネル処理システムが知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載のパネル処理システムは、複数のコンベヤユニットと、液晶パネルを検査する検査装置と、液晶パネルを修正するリペヤ装置と、検査装置で不良と判定された液晶パネルをコンベヤユニットからリペヤ装置に向かって送出するパネル送出装置とを備えている。パネル送出装置は、コンベヤユニットから液晶パネルを持ち上げるリフターと、リフターで持ち上げられた液晶パネルの位置合わせを行うアライメント機構と、アライメント機構で位置合わせされた液晶パネルをリペヤ装置に向かって搬送するスライド機構とから構成されている。 Conventionally, a panel processing system for inspecting and correcting a liquid crystal panel is known (for example, see Patent Document 1). The panel processing system described in Patent Document 1 includes a plurality of conveyor units, an inspection device for inspecting a liquid crystal panel, a repeater device for correcting the liquid crystal panel, and a liquid crystal panel determined to be defective by the inspection device from the conveyor unit. And a panel sending device for sending out toward the device. The panel sending device includes a lifter that lifts the liquid crystal panel from the conveyor unit, an alignment mechanism that aligns the liquid crystal panel lifted by the lifter, and a slide mechanism that conveys the liquid crystal panel that is aligned by the alignment mechanism toward the repairer device. It consists of and.
特開2011-237530号公報JP 2011-237530 A
 特許文献1に記載のパネル処理システムでは、アライメント機構で液晶パネルの位置合わせが完了した後に、スライド機構によって液晶パネルが搬送されている。そのため、このパネル処理システムでは、アライメント機構で液晶パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に液晶パネルが搬入されるまでの時間が長くなる。 In the panel processing system described in Patent Document 1, after the alignment of the liquid crystal panel is completed by the alignment mechanism, the liquid crystal panel is conveyed by the slide mechanism. Therefore, in this panel processing system, after the alignment of the liquid crystal panel is completed by the alignment mechanism, the time until the liquid crystal panel is carried into the next process becomes long.
 そこで、本発明の課題は、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能なアライメント装置を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to reduce the time until the display panel is carried into the next process after the alignment of the display panel is completed in the alignment apparatus for aligning the display panel. Is to provide a simple alignment apparatus.
 上記の課題を解決するため、本発明のアライメント装置は、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、鉛直方向に直交する所定の方向を第1方向とし、第1方向と鉛直方向とに直交する方向を第2方向とすると、表示パネルが載置されるパネルステージと、鉛直方向を回動の軸方向としてパネルステージを回動させるとともに第1方向と第2方向とにパネルステージを移動させて表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、パネルステージよりも上側に配置され表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、移動機構によって移動するパネルステージの第1方向への移動可能量は、移動機構によって移動するパネルステージの第2方向への移動可能量よりも大きくなっており、パネルステージは、第1方向において、表示パネルがカメラの下側に配置されるエッジ検知位置と、パネルステージから表示パネルが搬出されるパネル搬出位置との間で移動可能となっており、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいて表示パネルの位置合わせを行いながらエッジ検知位置からパネル搬出位置までパネルステージを移動させることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an alignment apparatus according to the present invention is an alignment apparatus for aligning a display panel, wherein a predetermined direction orthogonal to the vertical direction is a first direction, and the first direction and the vertical direction are When the orthogonal direction is the second direction, the panel stage on which the display panel is placed, the panel stage is rotated with the vertical direction as the axis direction of rotation, and the panel stage is moved in the first direction and the second direction. And a moving mechanism that aligns the display panel and a camera that is arranged above the panel stage and detects the edge of the display panel, and the movable amount of the panel stage that is moved by the moving mechanism in the first direction is The panel stage moved by the moving mechanism is larger than the movable amount in the second direction, and the panel stage moves in the first direction. The display panel is movable between the edge detection position where the display panel is placed on the lower side of the camera and the panel unloading position where the display panel is unloaded from the panel stage. The panel stage is moved from the edge detection position to the panel carry-out position while aligning the display panel based on the above.
 本発明のアライメント装置では、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいて表示パネルの位置合わせを行いながら、表示パネルがカメラの下側に配置されるエッジ検知位置から表示パネルが搬出されるパネル搬出位置までパネルステージを移動させている。そのため、本発明では、表示パネルの位置合わせの完了時に、表示パネルが載置されたパネルステージをパネル搬出位置まで移動させておくことが可能になり、その結果、表示パネルの位置合わせ後、短時間でパネルステージから表示パネルを搬出することが可能になる。したがって、本発明では、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能になり、アライメント装置でのサイクルタイムを短縮することが可能になる。 In the alignment apparatus of the present invention, the moving mechanism is a panel in which the display panel is unloaded from the edge detection position where the display panel is arranged on the lower side of the camera while aligning the display panel based on the detection result of the camera. The panel stage is moved to the unloading position. Therefore, according to the present invention, when the alignment of the display panel is completed, the panel stage on which the display panel is placed can be moved to the panel unloading position. It becomes possible to carry out the display panel from the panel stage in time. Therefore, in the present invention, it is possible to shorten the time until the display panel is carried into the next process after the alignment of the display panel is completed, and the cycle time in the alignment apparatus can be shortened. become.
 本発明において、表示パネルは、エッジ検知位置に配置されるパネルステージに供給されることが好ましい。このように構成すると、パネルステージに表示パネルが載置された後、短時間でカメラによって表示パネルのエッジを検知することが可能になる。したがって、パネルステージに表示パネルが載置された後、カメラによって表示パネルのエッジが検知されるまでの時間を短縮することが可能になり、アライメント装置でのタイムサイクルをより短縮することが可能になる。 In the present invention, the display panel is preferably supplied to a panel stage disposed at the edge detection position. If comprised in this way, after a display panel is mounted in a panel stage, it will become possible to detect the edge of a display panel with a camera for a short time. Therefore, after the display panel is placed on the panel stage, the time until the edge of the display panel is detected by the camera can be shortened, and the time cycle in the alignment apparatus can be further shortened. Become.
 本発明において、アライメント装置は、パネルステージより上側に配置されるとともにカメラより下側に配置される照明を備え、照明は、カメラの視野から外れた位置に配置され、パネルステージに間接光または直接光を照射することが好ましい。このように構成すると、パネルステージに間接光または直接光が照射されているため、パネルステージに載置される表示パネルの大きさが変わっても、共通の照明を用いて、パネルステージ上の表示パネルの全体に光を照射することが可能になる。また、このように構成すると、カメラの視野から外れた位置に照明が配置されているため、エッジ検知位置に配置されるパネルステージに表示パネルが供給される場合であっても、パネルステージに表示パネルを供給するロボット等と照明との干渉を防止することが可能になる。 In the present invention, the alignment apparatus includes an illumination that is disposed above the panel stage and disposed below the camera. The illumination is disposed at a position that is out of the field of view of the camera, and the panel stage is configured to receive indirect light or directly. It is preferable to irradiate light. With this configuration, since indirect light or direct light is irradiated on the panel stage, even if the size of the display panel placed on the panel stage changes, the display on the panel stage can be performed using a common illumination. The entire panel can be irradiated with light. In addition, since the illumination is arranged at a position out of the camera's field of view, the display is displayed on the panel stage even when the display panel is supplied to the panel stage arranged at the edge detection position. This makes it possible to prevent interference between the robot that supplies the panel and the illumination.
 本発明において、照明は、直線状に配列される複数の発光ダイオードを備えるバー照明であることが好ましい。このように構成すると、パネルステージ上の表示パネルの全体に均一な間接光または直接光を照射しやすくなる。 In the present invention, the illumination is preferably bar illumination comprising a plurality of light emitting diodes arranged in a straight line. If comprised in this way, it will become easy to irradiate uniform indirect light or direct light to the whole display panel on a panel stage.
 本発明において、上下方向から見たときのパネルステージの外形は、表示パネルの外形よりも大きくなっており、カメラは、偏光フィルタを備え、パネルステージの上面には、平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、偏光フィルタの位相と偏光部材の位相とが90°ずれていることが好ましい。また、本発明において、上下方向から見たときのパネルステージの外形は、表示パネルの外形よりも大きくなっており、パネルステージの上面は、白色となっていても良い。このように構成すると、カメラに写る表示パネルのエッジとパネルステージの上面とのコントラストを高めることが可能になる。したがって、カメラによって表示パネルのエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。 In the present invention, the outer shape of the panel stage when viewed from above and below is larger than the outer shape of the display panel. It is preferable that a member is attached and the phase of the polarizing filter and the phase of the polarizing member are shifted by 90 °. In the present invention, the outer shape of the panel stage when viewed from above and below is larger than the outer shape of the display panel, and the upper surface of the panel stage may be white. If comprised in this way, it will become possible to raise the contrast of the edge of the display panel reflected in a camera, and the upper surface of a panel stage. Therefore, the edge of the display panel can be accurately detected by the camera, and as a result, the display panel can be accurately aligned.
 以上のように、本発明では、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能になる。 As described above, according to the present invention, in the alignment apparatus for aligning the display panel, it is possible to shorten the time until the display panel is carried into the next process after the alignment of the display panel is completed. It becomes possible.
本発明の実施の形態にかかるアライメント装置が組み込まれる搬送システムの側面図である。It is a side view of the conveyance system in which the alignment apparatus concerning embodiment of this invention is integrated. 図1のE-E方向から搬送システムを示す平面図である。It is a top view which shows a conveyance system from the EE direction of FIG. 図1に示す供給ユニットの斜視図である。It is a perspective view of the supply unit shown in FIG. 図3に示す供給ユニットの平面図である。It is a top view of the supply unit shown in FIG. 図3に示すアライメント装置の斜視図である。It is a perspective view of the alignment apparatus shown in FIG.
 以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
 (搬送システムの全体構成)
 図1は、本発明の実施の形態にかかるアライメント装置10が組み込まれる搬送システム1の側面図である。図2は、図1のE-E方向から搬送システム1を示す平面図である。
(Overall configuration of transfer system)
FIG. 1 is a side view of a transport system 1 in which an alignment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention is incorporated. FIG. 2 is a plan view showing the transport system 1 from the EE direction of FIG.
 本形態のアライメント装置10は、表示パネルである液晶パネル2の位置合わせを行うための装置である。このアライメント装置10は、搬送システム1に組み込まれて使用される。搬送システム1は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれている。この搬送システム1は、液晶パネル2を搬送して、液晶パネル2に対して所定の処理を行う処理装置14(図2参照)に液晶パネル2を供給する。また、搬送システム1は、小型の液晶パネル2(たとえば、4インチ~10インチの液晶パネル2)を搬送する。なお、搬送システム1で搬送される液晶パネル2は、中型の液晶パネル(たとえば、15インチの液晶パネル)であっても良い。 The alignment apparatus 10 of this embodiment is an apparatus for aligning the liquid crystal panel 2 that is a display panel. The alignment apparatus 10 is used by being incorporated in the transport system 1. The transport system 1 is incorporated in a production line for small liquid crystal displays used in portable devices and the like. The transport system 1 transports the liquid crystal panel 2 and supplies the liquid crystal panel 2 to a processing device 14 (see FIG. 2) that performs predetermined processing on the liquid crystal panel 2. Further, the transport system 1 transports a small liquid crystal panel 2 (for example, a liquid crystal panel 2 of 4 inches to 10 inches). The liquid crystal panel 2 transported by the transport system 1 may be a medium-sized liquid crystal panel (for example, a 15-inch liquid crystal panel).
 液晶パネル2は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル2の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル2の検査データ等のデータが記録されている。具体的には、液晶パネル2の、表示領域から外れた箇所に、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。すなわち、液晶パネル2の、表示領域から外れた箇所には、光学的に読取可能なデータが記録されている。なお、本形態の搬送システム1で搬送される液晶パネル2には、偏光板(偏光フィルム)が貼り付けられていても良いし、偏光板が貼り付けられていなくても良い。また、液晶パネル2には、FPCやチップが実装されていても良いし、FPCやチップが実装されていなくても良い。 The liquid crystal panel 2 is formed in a rectangular flat plate shape. Data such as inspection data of the liquid crystal panel 2 is recorded at a location outside the display area of the liquid crystal panel 2. Specifically, data such as inspection data is recorded as a two-dimensional code or a one-dimensional code at a location outside the display area of the liquid crystal panel 2. That is, optically readable data is recorded at a location outside the display area of the liquid crystal panel 2. In addition, the polarizing plate (polarizing film) may be affixed to the liquid crystal panel 2 conveyed with the conveyance system 1 of this form, and the polarizing plate may not be affixed. The liquid crystal panel 2 may be mounted with an FPC or a chip, or may not be mounted with an FPC or a chip.
 搬送システム1は、液晶パネル2を収容可能なトレイ3を搬送する2個のコンベヤ4、5を備えている。コンベヤ4、5は、複数段に積み重なったトレイ3(すなわち、段積みされたトレイ3)を水平方向へ直線的に搬送する。たとえば、コンベヤ4、5は、20段に段積みされたトレイ3を水平方向へ直線的に搬送する。 The transport system 1 includes two conveyors 4 and 5 that transport a tray 3 that can accommodate the liquid crystal panel 2. The conveyors 4 and 5 convey the trays 3 stacked in a plurality of stages (that is, the stacked trays 3) linearly in the horizontal direction. For example, the conveyors 4 and 5 linearly convey the trays 3 stacked in 20 stages in the horizontal direction.
 以下の説明では、コンベヤ4、5によるトレイ3の搬送方向(図1等のX方向)を「前後方向」とし、上下方向(鉛直方向)と前後方向とに直交する方向(図1等のY方向)を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側(図1等のX1方向側)を「前」側とし、その反対側(図1等のX2方向側)を「後(後ろ)側」とし、左右方向の一方側(図2等のY1方向側)を「右」側とし、その反対側(図2等のY2方向側)を「左」側とする。本形態では、搬送システム1の後ろ側に処理装置14が配置されている。 In the following description, the conveyance direction of the tray 3 by the conveyors 4 and 5 (X direction in FIG. 1 and the like) is referred to as “front-rear direction”, and the direction perpendicular to the vertical direction and the front-rear direction (Y in FIG. 1 and the like). Direction) is the “left-right direction”. Also, one side in the front-rear direction (X1 direction side in FIG. 1 etc.) is the “front” side, and the opposite side (X2 direction side in FIG. 1 etc.) is the “rear (rear) side”. (Y1 direction side in FIG. 2 etc.) is the “right” side, and the opposite side (Y2 direction side in FIG. 2 etc.) is the “left” side. In this embodiment, the processing device 14 is disposed on the rear side of the transport system 1.
 また、搬送システム1は、トレイ3が載置される2個のトレイステージ6、7と、コンベヤ4、5とトレイステージ6、7との間でトレイ3を搬送するロボット8と、トレイステージ6、7に載置されたトレイ3から液晶パネル2を搬出するロボット9と、ロボット9から液晶パネル2を受け取って処理装置14に供給する供給ユニット11とを備えている。アライメント装置10は、供給ユニット11に組み込まれている。トレイステージ6、7は、コンベヤ4、5よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット11は、トレイステージ6、7よりも後ろ側に配置されている。 In addition, the transport system 1 includes two tray stages 6 and 7 on which the tray 3 is placed, a robot 8 that transports the tray 3 between the conveyors 4 and 5 and the tray stages 6 and 7, and the tray stage 6. , 7 is provided with a robot 9 that carries the liquid crystal panel 2 out of the tray 3 and a supply unit 11 that receives the liquid crystal panel 2 from the robot 9 and supplies the liquid crystal panel 2 to the processing device 14. The alignment apparatus 10 is incorporated in the supply unit 11. The tray stages 6 and 7 are arranged behind the conveyors 4 and 5. The supply unit 11 is disposed behind the tray stages 6 and 7.
 また、搬送システム1は、コンベヤ4、5とトレイステージ6、7とロボット8と供給ユニット11とが設置される本体フレーム12と、ロボット9が設置される本体フレーム13とを備えている。本体フレーム12の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されており、本体フレーム12の上面に、コンベヤ4、5とトレイステージ6、7とロボット8と供給ユニット11とが設置されている。本体フレーム13は、略門型に形成された門型フレームであり、左右方向で本体フレーム12の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット9は、本体フレーム13の上面部に設置されている。 Further, the transport system 1 includes a main body frame 12 on which the conveyors 4 and 5, the tray stages 6 and 7, the robot 8 and the supply unit 11 are installed, and a main body frame 13 on which the robot 9 is installed. The upper surface of the main body frame 12 is formed in a planar shape perpendicular to the vertical direction, and the conveyors 4 and 5, the tray stages 6 and 7, the robot 8, and the supply unit 11 are installed on the upper surface of the main body frame 12. . The main body frame 13 is a portal frame formed in a substantially gate shape, and is installed so as to straddle the rear end portion of the main body frame 12 in the left-right direction. The robot 9 is installed on the upper surface of the main body frame 13.
 コンベヤ4、5は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ4とコンベヤ5とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ4は、段積みされたトレイ3を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ5は、段積みされたトレイ3を前側に向かって搬送する。コンベヤ4で搬送されるトレイ3には、複数枚の液晶パネル2が収容されている。一方、コンベヤ5で搬送されるトレイ3には、液晶パネル2は収容されておらず、コンベヤ5で搬送されるトレイ3は空トレイとなっている。なお、コンベヤ4、5は、ベルトコンベヤ等であっても良い。 The conveyors 4 and 5 are roller conveyors including a plurality of rollers. The conveyor 4 and the conveyor 5 are adjacently arranged in the left-right direction. The conveyor 4 conveys the stacked trays 3 toward the rear side, and the conveyor 5 conveys the stacked trays 3 toward the front side. A plurality of liquid crystal panels 2 are accommodated in the tray 3 conveyed by the conveyor 4. On the other hand, the liquid crystal panel 2 is not accommodated in the tray 3 conveyed by the conveyor 5, and the tray 3 conveyed by the conveyor 5 is an empty tray. The conveyors 4 and 5 may be belt conveyors or the like.
 コンベヤ4の前端側には、仮置き用の棚(図示省略)から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ3が載置される。コンベヤ4の前端側に載置された段積み状態のトレイ3は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ4の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ3は、後述のようにロボット8によって段ばらしされる。また、コンベヤ5の後端側には、後述のようにロボット8によって空のトレイ3が段積みされる。所定の段数までトレイ3が段積みされると、段積み状態のトレイ3は、前側に搬送される。コンベヤ5の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ3は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。 On the front end side of the conveyor 4, a tray 3 in a stacked state that is carried by an operator from a temporary shelf (not shown) is placed. The stacked tray 3 placed on the front end side of the conveyor 4 is transported to the rear side, and the stacked tray 3 transported to the rear end side of the conveyor 4 is stacked by the robot 8 as described later. It is separated. Also, empty trays 3 are stacked on the rear end side of the conveyor 5 by the robot 8 as will be described later. When the trays 3 are stacked up to a predetermined number, the stacked trays 3 are conveyed to the front side. The stacked trays 3 conveyed to the front end side of the conveyor 5 are transported to the empty tray shelf by the operator.
 トレイステージ6、7には、1個のトレイ3が載置される。トレイステージ6、7は、本体フレーム12に固定されている。トレイステージ6とトレイステージ7とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ6は、左右方向においてコンベヤ4と略同じ位置に配置され、トレイステージ7は、左右方向においてコンベヤ5と略同じ位置に配置されている。トレイステージ6、7の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。 A single tray 3 is placed on the tray stages 6 and 7. The tray stages 6 and 7 are fixed to the main body frame 12. The tray stage 6 and the tray stage 7 are arranged in a state with a predetermined interval in the left-right direction. The tray stage 6 is disposed at substantially the same position as the conveyor 4 in the left-right direction, and the tray stage 7 is disposed at substantially the same position as the conveyor 5 in the left-right direction. The upper surfaces of the tray stages 6 and 7 are formed in a planar shape perpendicular to the vertical direction.
 ロボット8は、いわゆる3軸直交ロボットである。このロボット8は、門型に形成される本体フレーム15と、本体フレーム15に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム15に保持される可動フレーム16と、可動フレーム16に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム16に保持される可動フレーム17と、可動フレーム17に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム17に保持される可動フレーム18と、可動フレーム18に取り付けられるトレイ把持部19とを備えている。また、ロボット8は、可動フレーム16を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム17を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム18を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。 The robot 8 is a so-called three-axis orthogonal robot. The robot 8 includes a main body frame 15 formed in a gate shape, a movable frame 16 held by the main body frame 15 so as to be slidable in the left-right direction with respect to the main body frame 15, and the movable frame 16 The movable frame 17 is held by the movable frame 16 so as to be slidable in the front-rear direction, and the movable frame 18 is held by the movable frame 17 so as to be slidable in the vertical direction with respect to the movable frame 17. And a tray grip 19 attached to the movable frame 18. The robot 8 includes a drive mechanism that slides the movable frame 16 in the left-right direction, a drive mechanism that slides the movable frame 17 in the front-rear direction, and a drive mechanism that slides the movable frame 18 in the up-down direction.
 本体フレーム15の高さは、コンベヤ4、5の高さよりも高くなっており、本体フレーム15は、左右方向でコンベヤ4、5を跨ぐように設置されている。可動フレーム16は、本体フレーム15の上面側に取り付けられている。この可動フレーム16は、コンベヤ4、5に載置される段積み状態のトレイ3よりも上側に配置されている。可動フレーム17は、可動フレーム16の右側に取り付けられている。可動フレーム18は、可動フレーム17の後端側に取り付けられている。トレイ把持部19は、可動フレーム18の下端に取り付けられている。このトレイ把持部19は、トレイ3を吸着して把持する複数の吸着部を備えている。この吸着部は、ロボット8がトレイ3を搬送するときにトレイ3の上面に接触してトレイ3を真空吸着する。 The height of the main body frame 15 is higher than the height of the conveyors 4 and 5, and the main body frame 15 is installed so as to straddle the conveyors 4 and 5 in the left-right direction. The movable frame 16 is attached to the upper surface side of the main body frame 15. The movable frame 16 is disposed on the upper side of the stacked trays 3 placed on the conveyors 4 and 5. The movable frame 17 is attached to the right side of the movable frame 16. The movable frame 18 is attached to the rear end side of the movable frame 17. The tray grip 19 is attached to the lower end of the movable frame 18. The tray gripping portion 19 includes a plurality of suction portions that suck and grip the tray 3. When the robot 8 transports the tray 3, the suction unit contacts the upper surface of the tray 3 and vacuum-sucks the tray 3.
 ロボット8は、コンベヤ4からトレイステージ6、7へのトレイ3の搬送と、トレイステージ6、7からコンベヤ5へのトレイ3の搬送とを行う。具体的には、ロボット8は、コンベヤ4の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ3をトレイステージ6またはトレイステージ7に1個ずつ搬送して、コンベヤ4上の段積み状態のトレイ3を段ばらしする。また、ロボット8は、空になった1個のトレイ3をトレイステージ6またはトレイステージ7からコンベヤ5の後端側に搬送して、コンベヤ5にトレイ3を段積みする。 The robot 8 carries the tray 3 from the conveyor 4 to the tray stages 6 and 7 and carries the tray 3 from the tray stages 6 and 7 to the conveyor 5. Specifically, the robot 8 transports the stacked trays 3 conveyed to the rear end side of the conveyor 4 one by one to the tray stage 6 or the tray stage 7, and stacks the trays on the conveyor 4. Step 3 Further, the robot 8 conveys one empty tray 3 from the tray stage 6 or the tray stage 7 to the rear end side of the conveyor 5 and stacks the trays 3 on the conveyor 5.
 ロボット9は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット9は、本体部20と、本体部20に連結される3本のレバー21と、3本のレバー21のそれぞれに連結される3個のアーム部22と、3個のアーム部22に連結されるヘッドユニット23と、ヘッドユニット23に取り付けられるパネル把持部24とを備えている。ロボット9は、本体フレーム13の上面部にぶら下がるように設置されている。また、本体部20は、トレイステージ6、7の上方に配置されるとともに、ロボット8の本体フレーム15よりも後ろ側に配置されている。 The robot 9 is a so-called parallel link robot. The robot 9 includes a main body 20, three levers 21 connected to the main body 20, three arm parts 22 connected to each of the three levers 21, and three arm parts 22. A head unit 23 to be connected and a panel gripping part 24 attached to the head unit 23 are provided. The robot 9 is installed so as to hang from the upper surface of the main body frame 13. The main body 20 is disposed above the tray stages 6 and 7 and is disposed behind the main body frame 15 of the robot 8.
 3本のレバー21は、本体部20の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部20に連結されている。すなわち、3本のレバー21は、本体部20の外周側へ略120°ピッチで略放射状に伸びるように本体部20に連結されている。また、3本のレバー21の基端側は、本体部20に回動可能に連結されている。本体部20とレバー21との連結部には、レバー21を回動させる減速機付きのモータ25が配置されている。本形態のロボット9は、3本のレバー21のそれぞれを回動させる3個のモータ25を備えている。モータ25の出力軸は、レバー21の基端側に固定されている。 The three levers 21 are connected to the main body 20 so as to extend radially at substantially equal angular pitches toward the outer periphery of the main body 20. That is, the three levers 21 are connected to the main body 20 so as to extend radially at a pitch of about 120 ° toward the outer peripheral side of the main body 20. Further, the base end sides of the three levers 21 are connected to the main body 20 so as to be rotatable. A motor 25 with a speed reducer that rotates the lever 21 is disposed at a connecting portion between the main body 20 and the lever 21. The robot 9 of this embodiment includes three motors 25 that rotate each of the three levers 21. The output shaft of the motor 25 is fixed to the base end side of the lever 21.
 アーム部22の基端側は、レバー21の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部22は、互いに平行な直線状の2本のアームによって構成されており、2本のアームのそれぞれの基端側がレバー21の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット23は、3個のアーム部22の先端側に回動可能に連結されている。パネル把持部24は、ヘッドユニット23の下端に取り付けられている。このパネル把持部24は、液晶パネル2を真空吸着する複数の吸着部を備えており、この吸着部によって液晶パネル2の上面を吸着することで液晶パネル2を把持する。ヘッドユニット23の上端には、モータが取り付けられている。パネル把持部24は、このモータに連結されており、このモータの動力によって上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。 The proximal end side of the arm portion 22 is connected to the distal end side of the lever 21 so as to be rotatable. Specifically, the arm portion 22 is configured by two linear arms that are parallel to each other, and the base end sides of the two arms are rotatably connected to the distal end side of the lever 21. . The head unit 23 is rotatably connected to the distal end sides of the three arm portions 22. The panel grip 24 is attached to the lower end of the head unit 23. The panel gripping portion 24 includes a plurality of suction portions that vacuum-suck the liquid crystal panel 2. The liquid crystal panel 2 is gripped by sucking the upper surface of the liquid crystal panel 2 by the suction portion. A motor is attached to the upper end of the head unit 23. The panel grip portion 24 is connected to this motor, and can be rotated with the power of this motor as the axial direction of rotation.
 ロボット9では、3個のモータ25を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット23が一定の姿勢を保ったままの状態で(具体的には、パネル把持部24が下側を向いたままの状態で)、ヘッドユニット23を移動させることが可能になっている。ロボット9は、トレイステージ6、7に載置されたトレイ3から液晶パネル2を1枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット9は、トレイステージ6、7に載置されたトレイ3が空になるまでトレイ3から液晶パネル2を1枚ずつ搬出する。また、ロボット9は、トレイ3から搬出した液晶パネル2を後述のパネルステージ39へ搬送する。 In the robot 9, the three motors 25 are individually driven, so that the head unit 23 is maintained in a predetermined posture in a predetermined area at any position in the vertical direction, the horizontal direction, and the front-rear direction. In this state (specifically, with the panel gripping portion 24 facing downward), the head unit 23 can be moved. The robot 9 carries out the liquid crystal panels 2 one by one from the tray 3 placed on the tray stages 6 and 7. Specifically, the robot 9 carries out the liquid crystal panels 2 one by one from the tray 3 until the tray 3 placed on the tray stages 6 and 7 becomes empty. Further, the robot 9 conveys the liquid crystal panel 2 carried out from the tray 3 to a panel stage 39 described later.
 (供給ユニットの構成および動作)
 図3は、図1に示す供給ユニット11の斜視図である。図4は、図3に示す供給ユニット11の平面図である。図5は、図3に示すアライメント装置10の斜視図である。
(Supply unit configuration and operation)
FIG. 3 is a perspective view of the supply unit 11 shown in FIG. FIG. 4 is a plan view of the supply unit 11 shown in FIG. FIG. 5 is a perspective view of the alignment apparatus 10 shown in FIG.
 供給ユニット11は、アライメント装置10に加えて、液晶パネル2に記録されたデータを読み取るデータ読取装置31を備えている。アライメント装置10は、データ読取装置31で液晶パネル2のデータが読み取られる前に液晶パネル2の位置合わせをする。また、供給ユニット11は、データ読取装置31でデータが読み取られた後の液晶パネル2を処理装置14へ搬送するロボット33と、処理装置14へ搬送される液晶パネル2から静電気を除去するイオナイザー(静電気除去装置)34と、アライメント装置10で位置合わせされた後の液晶パネル2をロボット33に向かって搬送する搬送装置35と、アライメント装置10で位置合わせされた液晶パネル2を搬送装置35に搬送するロボット36と、これらの構成が載置されて固定されるベース板37とを備えている。 The supply unit 11 includes a data reading device 31 that reads data recorded on the liquid crystal panel 2 in addition to the alignment device 10. The alignment device 10 aligns the liquid crystal panel 2 before the data reading device 31 reads the data on the liquid crystal panel 2. The supply unit 11 also includes a robot 33 that transports the liquid crystal panel 2 after the data is read by the data reader 31 to the processing device 14, and an ionizer ( Static electricity removing device) 34, transport device 35 that transports liquid crystal panel 2 that has been aligned by alignment device 10 toward robot 33, and liquid crystal panel 2 that has been aligned by alignment device 10 is transported to transport device 35. And a base plate 37 on which these components are mounted and fixed.
 アライメント装置10は、ベース板37の右前端側に載置されている。ロボット33は、ベース板37の左後端側に載置されている。データ読取装置31は、ベース板37の左前端側に載置されている。ロボット36は、アライメント装置10の後ろ側に隣接配置されている。搬送装置35は、左右方向において、データ読取装置31およびロボット33と、アライメント装置10との間に配置されている。イオナイザー34は、搬送装置35の上方に配置されている。ベース板37は、本体フレーム12の上面の後端側部分に載置されて固定されている。 The alignment device 10 is placed on the right front end side of the base plate 37. The robot 33 is placed on the left rear end side of the base plate 37. The data reading device 31 is placed on the left front end side of the base plate 37. The robot 36 is disposed adjacent to the rear side of the alignment apparatus 10. The conveyance device 35 is disposed between the data reading device 31 and the robot 33 and the alignment device 10 in the left-right direction. The ionizer 34 is disposed above the transport device 35. The base plate 37 is placed and fixed on the rear end portion of the upper surface of the main body frame 12.
 アライメント装置10は、トレイステージ6、7上のトレイ3からロボット9によって搬出された液晶パネル2が載置されるパネルステージ39と、上下方向を回動の軸方向としてパネルステージ39を回動させるとともに左右方向と前後方向とにパネルステージ39を移動させて液晶パネル2の位置合わせを行う移動機構40とを備えている。また、アライメント装置10は、パネルステージ39よりも上側に配置されるカメラ41および照明42を備えている。 The alignment apparatus 10 rotates the panel stage 39 on which the liquid crystal panel 2 carried out from the tray 3 on the tray stages 6 and 7 by the robot 9 is placed, and the vertical direction is the axis direction of rotation. In addition, a moving mechanism 40 that moves the panel stage 39 in the left-right direction and the front-rear direction to align the liquid crystal panel 2 is provided. In addition, the alignment apparatus 10 includes a camera 41 and an illumination 42 that are disposed above the panel stage 39.
 パネルステージ39は、長方形の平板状に形成されている。パネルステージ39の上面は、上下方向に直交する平面となっている。上下方向から見たときのパネルステージ39の外形は、液晶パネル2の外形よりも大きくなっている。液晶パネル2は、上下方向から見たときに液晶パネル2の中心とパネルステージ39の中心とが略一致するように、かつ、液晶パネル2の長辺の方向とパネルステージ39の長辺の方向とが略一致するように、パネルステージ39に載置される。 The panel stage 39 is formed in a rectangular flat plate shape. The upper surface of the panel stage 39 is a plane orthogonal to the vertical direction. The outer shape of the panel stage 39 when viewed from above and below is larger than the outer shape of the liquid crystal panel 2. The liquid crystal panel 2 is such that the center of the liquid crystal panel 2 and the center of the panel stage 39 are substantially coincident when viewed from above and below, and the direction of the long side of the liquid crystal panel 2 and the direction of the long side of the panel stage 39 Is placed on the panel stage 39 so as to substantially match.
 パネルステージ39は、パネルステージ39の上面に載置された液晶パネル2を真空吸着する複数の吸着部を備えている。複数の吸着部は、パネルステージ39の中心部分に配置されている。また、パネルステージ39の上面には、平板状またはフィルム状に形成される偏光部材(偏光板または偏光フィルム)43が取り付けられている。具体的には、パネルステージ39の上面の、吸着部が配置されていない位置に偏光部材43が貼り付けられている。 The panel stage 39 includes a plurality of suction units that vacuum-suck the liquid crystal panel 2 placed on the upper surface of the panel stage 39. The plurality of suction portions are arranged at the center portion of the panel stage 39. Further, a polarizing member (polarizing plate or polarizing film) 43 formed in a flat plate shape or a film shape is attached to the upper surface of the panel stage 39. Specifically, the polarizing member 43 is affixed on the upper surface of the panel stage 39 at a position where the suction portion is not disposed.
 移動機構40は、パネルステージ39を回動可能に保持する可動フレーム46と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム46を保持する可動フレーム47と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム46を保持する固定フレーム48と、可動フレーム46に対してパネルステージ39を回動させる回動機構と、可動フレーム47に対して可動フレーム46を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム48に対して可動フレーム47を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム48は、ベース板37に固定されている。 The moving mechanism 40 has a movable frame 46 that holds the panel stage 39 so as to be rotatable, a movable frame 47 that holds the movable frame 46 so as to be slidable in the front-rear direction, and can be slid in the left-right direction. A fixed frame 48 that holds the movable frame 46, a rotation mechanism that rotates the panel stage 39 relative to the movable frame 46, and a drive mechanism that slides the movable frame 46 back and forth with respect to the movable frame 47. And a drive mechanism that slides the movable frame 47 in the left-right direction with respect to the fixed frame 48. The fixed frame 48 is fixed to the base plate 37.
 本形態では、可動フレーム46を前後方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ39に載置された液晶パネル2の位置合わせを行うために設けられている。一方、可動フレーム47を左右方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ39に載置された液晶パネル2の位置合わせを行うとともに、後述のエッジ検知位置39Aとパネル搬出位置39Bとの間で液晶パネル2を搬送するために設けられている。 In this embodiment, a drive mechanism that slides the movable frame 46 in the front-rear direction is provided for aligning the liquid crystal panel 2 placed on the panel stage 39. On the other hand, the drive mechanism that slides the movable frame 47 in the left-right direction aligns the liquid crystal panel 2 placed on the panel stage 39, and the liquid crystal panel between an edge detection position 39A and a panel carry-out position 39B described later. 2 is provided for transporting.
 そのため、移動機構40によって移動するパネルステージ39の左右方向への移動可能量(最大移動量)は、移動機構40によって移動するパネルステージ39の前後方向への移動可能量(最大移動量)よりも大きくなっている。たとえば、パネルステージ39の左右方向への移動可能量は、250mm程度となっており、パネルステージ39の前後方向への移動可能量は、10mm程度となっている。本形態の左右方向(Y方向)は、鉛直方向に直交する所定の方向(水平方向の一方向)である第1方向となっており、前後方向(X方向)は、上下方向(鉛直方向)と第1方向とに直交する第2方向となっている。なお、パネルステージ39を回動させる回動機構は、パネルステージ39に載置された液晶パネル2の位置合わせを行うために設けられており、移動機構40によって回動するパネルステージ39の回動可能量(最大回動量)は、たとえば、±10°程度となっている。 Therefore, the movable amount (maximum moving amount) of the panel stage 39 moved by the moving mechanism 40 in the left-right direction is larger than the movable amount (maximum moving amount) of the panel stage 39 moved by the moving mechanism 40 in the front-rear direction. It is getting bigger. For example, the movable amount of the panel stage 39 in the left-right direction is about 250 mm, and the movable amount of the panel stage 39 in the front-rear direction is about 10 mm. The left-right direction (Y direction) of this embodiment is a first direction that is a predetermined direction (one horizontal direction) orthogonal to the vertical direction, and the front-rear direction (X direction) is the up-down direction (vertical direction). And a second direction orthogonal to the first direction. A rotation mechanism for rotating the panel stage 39 is provided for aligning the liquid crystal panel 2 placed on the panel stage 39, and the panel stage 39 rotated by the moving mechanism 40 is rotated. The possible amount (maximum rotation amount) is, for example, about ± 10 °.
 照明42は、左右方向で直線状に配列される複数の発光ダイオード(LED)を備えるバー照明である。この照明42は、カメラ41より下側に配置されるとともにカメラ41の視野から外れた位置に配置されている。本形態では、照明42は、カメラ41の後ろ下側に配置されている。照明42は、パネルステージ39に間接光を照射する。 The illumination 42 is a bar illumination including a plurality of light emitting diodes (LEDs) arranged linearly in the left-right direction. The illumination 42 is disposed below the camera 41 and at a position outside the field of view of the camera 41. In this embodiment, the illumination 42 is arranged on the lower back side of the camera 41. The illumination 42 irradiates the panel stage 39 with indirect light.
 カメラ41は、前後方向におけるパネルステージ39の中心とカメラ41の光軸とが前後方向において一致するように、パネルステージ39の上方に配置されている。このカメラ41は、パネルステージ39に載置された液晶パネル2のエッジを上側から検知する。具体的には、カメラ41は、長方形状に形成される液晶パネル2の4個の角部の位置を検知する。カメラ41は、偏光フィルタ50を備えている。偏光フィルタ50は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにカメラ41のレンズの先端に取り付けられている。カメラ41の偏光フィルタ50の位相とパネルステージ39の偏光部材43の位相とは90°ずれている。すなわち、偏光フィルタ50の偏光方向と偏光部材43の偏光方向とは90°ずれている。そのため、カメラ41に写るパネルステージ39は黒くなる。 The camera 41 is disposed above the panel stage 39 so that the center of the panel stage 39 in the front-rear direction matches the optical axis of the camera 41 in the front-rear direction. The camera 41 detects the edge of the liquid crystal panel 2 placed on the panel stage 39 from above. Specifically, the camera 41 detects the positions of four corners of the liquid crystal panel 2 formed in a rectangular shape. The camera 41 includes a polarization filter 50. The polarizing filter 50 is attached to the tip of the lens of the camera 41 so that the polarizing filter 50 can be rotated with the vertical direction as the axial direction of the rotation. The phase of the polarizing filter 50 of the camera 41 and the phase of the polarizing member 43 of the panel stage 39 are shifted by 90 °. That is, the polarization direction of the polarizing filter 50 and the polarization direction of the polarizing member 43 are shifted by 90 °. For this reason, the panel stage 39 captured by the camera 41 becomes black.
 パネルステージ39は、左右方向において、液晶パネル2がカメラ41の下側に配置される(具体的には、液晶パネル2がカメラ41の真下に配置される)エッジ検知位置39A(図3~図5の実線で示す位置)と、ロボット36によってパネルステージ39から液晶パネル2が搬出されるパネル搬出位置39B(図4、図5の二点鎖線で示す位置)との間で移動可能となっている。本形態では、パネルステージ39が固定フレーム48の右端側まで移動すると、パネルステージ39がエッジ検知位置39Aに到達し、パネルステージ39が固定フレーム48の左端側まで移動すると、パネルステージ39がパネル搬出位置39Bに到達する。また、本形態では、トレイステージ6、7上のトレイ3からロボット9によって搬出された液晶パネル2は、エッジ検知位置39Aに配置されるパネルステージ39に供給される。 The panel stage 39 has an edge detection position 39A in which the liquid crystal panel 2 is disposed below the camera 41 (specifically, the liquid crystal panel 2 is disposed directly below the camera 41) in the left-right direction (FIGS. 3 to 5). 5) and a panel carry-out position 39B (position shown by a two-dot chain line in FIGS. 4 and 5) from which the liquid crystal panel 2 is carried out from the panel stage 39 by the robot 36. Yes. In this embodiment, when the panel stage 39 moves to the right end side of the fixed frame 48, the panel stage 39 reaches the edge detection position 39A, and when the panel stage 39 moves to the left end side of the fixed frame 48, the panel stage 39 is carried out of the panel. Position 39B is reached. In this embodiment, the liquid crystal panel 2 carried out by the robot 9 from the tray 3 on the tray stages 6 and 7 is supplied to the panel stage 39 disposed at the edge detection position 39A.
 エッジ検知位置39Aに配置されたパネルステージ39に、ロボット9によって搬出された液晶パネル2が載置されると、カメラ41は、液晶パネル2のエッジを検知する。その後、移動機構40は、カメラ41での液晶パネル2のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル2の位置合わせを行いながらエッジ検知位置39Aからパネル搬出位置39Bまでパネルステージ39を移動させる。具体的は、移動機構40は、カメラ41での液晶パネル2のエッジの検知結果に基づいて、パネルステージ39の回動動作および前後方向への可動フレーム46のスライド動作の少なくともいずれか一方の動作を行いながら、左方向へ可動フレーム47をスライドさせて、パネルステージ39をパネル搬出位置39Bまで移動させる。 When the liquid crystal panel 2 carried out by the robot 9 is placed on the panel stage 39 arranged at the edge detection position 39A, the camera 41 detects the edge of the liquid crystal panel 2. Thereafter, the moving mechanism 40 moves the panel stage 39 from the edge detection position 39A to the panel carry-out position 39B while aligning the liquid crystal panel 2 based on the detection result of the edge of the liquid crystal panel 2 by the camera 41. Specifically, the moving mechanism 40 is based on the detection result of the edge of the liquid crystal panel 2 by the camera 41, and at least one of the rotation operation of the panel stage 39 and the sliding operation of the movable frame 46 in the front-rear direction. While performing the above, the movable frame 47 is slid leftward to move the panel stage 39 to the panel unloading position 39B.
 なお、移動機構40は、カメラ41の検知結果が出た後にパネル搬出位置39Bへのパネルステージ39の移動を開始しても良いし、カメラ41の検知結果を待たずにパネル搬出位置39Bへのパネルステージ39の移動を開始しても良い。また、移動機構40は、パネルステージ39をパネル搬出位置39Bまで移動させる途中から液晶パネル2の位置合わせを開始しても良いし、パネルステージ39をパネル搬出位置39Bまで移動させてから液晶パネル2の位置合わせを開始しても良い。また、左右方向における液晶パネル2の位置合わせを行うため、エッジ検知位置39Aから左方向へのパネルステージ39の移動量は必ずしも一定にならない。すなわち、パネルステージ39に対する液晶パネル2の載置位置に応じて、パネル搬出位置39Bは左右方向においてわずかに変動する。 The moving mechanism 40 may start the movement of the panel stage 39 to the panel carry-out position 39B after the detection result of the camera 41 is output, or may wait for the detection result of the camera 41 to move to the panel carry-out position 39B. The movement of the panel stage 39 may be started. Further, the moving mechanism 40 may start the alignment of the liquid crystal panel 2 in the middle of moving the panel stage 39 to the panel carry-out position 39B, or after moving the panel stage 39 to the panel carry-out position 39B. The alignment may be started. Further, since the liquid crystal panel 2 is aligned in the left-right direction, the amount of movement of the panel stage 39 from the edge detection position 39A to the left is not necessarily constant. That is, according to the placement position of the liquid crystal panel 2 with respect to the panel stage 39, the panel carry-out position 39B slightly varies in the left-right direction.
 搬送装置35は、液晶パネル2が載置される4個のスライドステージ52と、4個のスライドステージ52が固定される可動フレーム53と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム53を保持する固定フレーム54と、固定フレーム54に対して可動フレーム53を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。4個のスライドステージ52は、前後方向で隣接配置されている。スライドステージ52は、スライドステージ52の上面に載置された液晶パネル2を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム54は、ベース板37に固定されている。 The transport device 35 includes four slide stages 52 on which the liquid crystal panel 2 is placed, a movable frame 53 to which the four slide stages 52 are fixed, and a movable frame 53 so that sliding in the front-rear direction is possible. And a drive mechanism that slides the movable frame 53 in the front-rear direction with respect to the fixed frame 54. The four slide stages 52 are adjacently arranged in the front-rear direction. The slide stage 52 includes a plurality of suction units that vacuum-suck the liquid crystal panel 2 placed on the upper surface of the slide stage 52. The fixed frame 54 is fixed to the base plate 37.
 ロボット36は、液晶パネル2を真空吸着して把持するパネル把持部55と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部55を保持する可動フレーム56と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム56を保持する固定フレーム57と、可動フレーム56に対してパネル把持部55を昇降させる昇降機構と、固定フレーム57に対して可動フレーム56を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム57は、ベース板37に固定されている。パネル把持部55は、前後方向においてパネルステージ39と同じ位置に配置されている。 The robot 36 can slide in the left-right direction, a panel gripping portion 55 that holds the liquid crystal panel 2 by vacuum suction, a movable frame 56 that holds the panel gripping portion 55 so as to be able to slide in the vertical direction. A fixed frame 57 that holds the movable frame 56, a lifting mechanism that raises and lowers the panel gripping portion 55 relative to the movable frame 56, and a drive mechanism that slides the movable frame 56 left and right relative to the fixed frame 57. It has. The fixed frame 57 is fixed to the base plate 37. The panel grip 55 is disposed at the same position as the panel stage 39 in the front-rear direction.
 ロボット36は、パネル搬出位置39Bに配置されるパネルステージ39上の液晶パネル2(すなわち、アライメント装置10で位置合わせされた後の液晶パネル2)をスライドステージ52に搬送する。具体的には、ロボット36は、パネル搬出位置39Bに配置されるパネルステージ39上の液晶パネル2の上面をパネル把持部55で真空吸着して把持し、前端側まで移動して停止している4個のスライドステージ52のそれぞれにパネルステージ39から液晶パネル2を順次、搬送する。また、4個のスライドステージ52のそれぞれに液晶パネル2が載置されると、搬送装置35は、後ろ方向へスライドステージ52を移動させて、液晶パネル2を搬送装置35の後端側まで搬送する。 The robot 36 transports the liquid crystal panel 2 (that is, the liquid crystal panel 2 after being aligned by the alignment apparatus 10) on the panel stage 39 disposed at the panel carry-out position 39B to the slide stage 52. Specifically, the robot 36 holds the upper surface of the liquid crystal panel 2 on the panel stage 39 arranged at the panel carry-out position 39B by vacuum suction with the panel holding portion 55, moves to the front end side, and stops. The liquid crystal panel 2 is sequentially conveyed from the panel stage 39 to each of the four slide stages 52. When the liquid crystal panel 2 is placed on each of the four slide stages 52, the transport device 35 moves the slide stage 52 backward to transport the liquid crystal panel 2 to the rear end side of the transport device 35. To do.
 ロボット33は、液晶パネル2を真空吸着して把持する4個のパネル把持部58と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部58を保持する可動フレーム59と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム59を保持する固定フレーム60と、可動フレーム59に対してパネル把持部58を昇降させる昇降機構と、固定フレーム60に対して可動フレーム59を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。4個のパネル把持部58は、前後方向で隣接配置されている。前後方向における4個のパネル把持部58のピッチは、前後方向における4個のスライドステージ52のピッチと等しくなっている。固定フレーム60は、ベース板37に固定されている。 The robot 33 includes four panel gripping portions 58 that grip the liquid crystal panel 2 by vacuum suction, a movable frame 59 that holds the panel gripping portion 58 so as to be able to slide in the vertical direction, and a horizontal direction. A fixed frame 60 that holds the movable frame 59 so as to be slidable, an elevating mechanism that raises and lowers the panel gripper 58 with respect to the movable frame 59, and a movable frame 59 that slides in the left-right direction with respect to the fixed frame 60. Drive mechanism. The four panel grips 58 are adjacently arranged in the front-rear direction. The pitch of the four panel grips 58 in the front-rear direction is equal to the pitch of the four slide stages 52 in the front-rear direction. The fixed frame 60 is fixed to the base plate 37.
 ロボット33は、搬送装置35によって搬送装置35の後端側まで搬送された液晶パネル2を処理装置14に搬入する。具体的には、ロボット33は、4個のスライドステージ52のそれぞれに載置される4個の液晶パネル2のそれぞれの上面を4個のパネル把持部58のそれぞれで真空吸着して把持し、スライドステージ52から4個の液晶パネル2を一緒に処理装置14に搬入する。 The robot 33 carries the liquid crystal panel 2 transported to the rear end side of the transport device 35 by the transport device 35 into the processing device 14. Specifically, the robot 33 holds the upper surfaces of the four liquid crystal panels 2 placed on the four slide stages 52 by vacuum suction using the four panel holding portions 58, respectively. Four liquid crystal panels 2 are carried into the processing apparatus 14 together from the slide stage 52.
 データ読取装置31は、二次元コードや一次元コード等の光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ62と、カメラ62が取り付けられる可動フレーム63と、上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム63を保持する可動フレーム64と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム64を保持する可動フレーム65と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム65を保持する固定フレーム66と、可動フレーム64に対して可動フレーム63を昇降させる昇降機構と、可動フレーム65に対して可動フレーム64を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム66に対して可動フレーム65を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム66は、ベース板37に固定されている。また、データ読取装置31は、液晶パネル2に光を照射する照明を備えている。 The data reader 31 is movable so that it can slide in the vertical direction, and a camera 62 that reads optically readable data such as a two-dimensional code and a one-dimensional code, a movable frame 63 to which the camera 62 is attached. A movable frame 64 that holds the frame 63, a movable frame 65 that holds the movable frame 64 so that it can slide in the front-rear direction, and a fixed that holds the movable frame 65 so that it can slide in the left-right direction. A frame 66, a lifting mechanism that moves the movable frame 63 up and down relative to the movable frame 64, a drive mechanism that slides the movable frame 64 in the front-rear direction relative to the movable frame 65, and a left and right movable frame 65 relative to the fixed frame 66 And a drive mechanism that slides in the direction. The fixed frame 66 is fixed to the base plate 37. Further, the data reading device 31 includes illumination for irradiating the liquid crystal panel 2 with light.
 データ読取装置31は、アライメント装置10での位置調整後に搬送装置35のスライドステージ52に載置された液晶パネル2のデータを読み取る。データ読取装置31で読み取られた液晶パネル2のデータは、データが読み取られた液晶パネル2の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル2に紐付けされる。上述のように、イオナイザー34は、搬送装置35の上方に配置されている。また、イオナイザー34は、データ読取装置31よりも後ろ側に配置されており、データ読取装置31でデータが読み取られた後の液晶パネル2の静電気を除去する。 The data reading device 31 reads the data of the liquid crystal panel 2 placed on the slide stage 52 of the transport device 35 after the position adjustment by the alignment device 10. The data of the liquid crystal panel 2 read by the data reading device 31 is linked to the liquid crystal panel 2 from which the data has been read as individual data of the liquid crystal panel 2 from which the data has been read. As described above, the ionizer 34 is disposed above the transport device 35. The ionizer 34 is disposed behind the data reader 31 and removes static electricity from the liquid crystal panel 2 after data is read by the data reader 31.
 (本形態の主な効果)
 以上説明したように、本形態では、アライメント装置10の移動機構40は、カメラ41での液晶パネル2のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル2の位置合わせを行いながら、液晶パネル2がカメラ41の下側に配置されるエッジ検知位置39Aから、ロボット36によって液晶パネル2が搬出されるパネル搬出位置39Bまでパネルステージ39を移動させている。そのため、本形態では、液晶パネル2の位置合わせの完了時に、液晶パネル2が載置されたパネルステージ39をパネル搬出位置39Bまで移動させておくことが可能になり、その結果、液晶パネル2の位置合わせ後、短時間でパネルステージ39からスライドステージ52にロボット36によって液晶パネル2を搬出することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル2の位置合わせが完了した後、スライドステージ52に液晶パネル2が載置されるまでの時間を短縮することが可能になり、アライメント装置10でのサイクルタイムを短縮することが可能になる。
(Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the moving mechanism 40 of the alignment apparatus 10 aligns the liquid crystal panel 2 based on the detection result of the edge of the liquid crystal panel 2 by the camera 41, while the liquid crystal panel 2 moves to the camera 41. The panel stage 39 is moved from the edge detection position 39A arranged on the lower side to the panel carry-out position 39B from which the liquid crystal panel 2 is carried out by the robot 36. For this reason, in this embodiment, when the alignment of the liquid crystal panel 2 is completed, the panel stage 39 on which the liquid crystal panel 2 is placed can be moved to the panel carry-out position 39B. After alignment, the liquid crystal panel 2 can be carried out from the panel stage 39 to the slide stage 52 by the robot 36 in a short time. Therefore, in this embodiment, it is possible to shorten the time until the liquid crystal panel 2 is placed on the slide stage 52 after the alignment of the liquid crystal panel 2 is completed, and the cycle time in the alignment apparatus 10 is shortened. It becomes possible to do.
 また、本形態では、トレイステージ6、7上のトレイ3からロボット9によって搬出された液晶パネル2は、エッジ検知位置39Aに配置されるパネルステージ39に供給されているため、パネルステージ39に液晶パネル2が載置された後、カメラ61によって液晶パネル2のエッジが検知されるまでの時間を短縮することが可能になる。したがって、本形態では、アライメント装置10でのタイムサイクルをより短縮することが可能になる。 In this embodiment, the liquid crystal panel 2 carried out by the robot 9 from the tray 3 on the tray stages 6 and 7 is supplied to the panel stage 39 disposed at the edge detection position 39A. After the panel 2 is placed, the time until the edge of the liquid crystal panel 2 is detected by the camera 61 can be shortened. Therefore, in this embodiment, the time cycle in the alignment apparatus 10 can be further shortened.
 本形態では、照明42は、パネルステージ39に間接光を照射している。そのため、本形態では、パネルステージ39に載置される液晶パネル2の大きさが変わっても、共通の照明42を用いて、パネルステージ39上の液晶パネル2の全体に光を照射することが可能になる。また、本形態では、照明42がカメラ41の視野から外れた位置に配置されているため、パラレルリンクロボットであるロボット9によってエッジ検知位置39Aに配置されるパネルステージ39に液晶パネル2が供給される場合であっても、ロボット9と照明42との干渉を防止することが可能になる。また、本形態では、照明42がバー照明であるため、パネルステージ39上の液晶パネル2の全体に均一な間接光を照射しやすくなる。 In this embodiment, the illumination 42 irradiates the panel stage 39 with indirect light. Therefore, in this embodiment, even when the size of the liquid crystal panel 2 placed on the panel stage 39 changes, the entire liquid crystal panel 2 on the panel stage 39 can be irradiated with light using the common illumination 42. It becomes possible. In this embodiment, since the illumination 42 is disposed at a position outside the field of view of the camera 41, the liquid crystal panel 2 is supplied to the panel stage 39 disposed at the edge detection position 39A by the robot 9 which is a parallel link robot. Even in such a case, interference between the robot 9 and the illumination 42 can be prevented. Further, in this embodiment, since the illumination 42 is bar illumination, uniform indirect light can be easily applied to the entire liquid crystal panel 2 on the panel stage 39.
 本形態では、カメラ41の偏光フィルタ50の位相とパネルステージ39の偏光部材43の位相とが90°ずれており、カメラ41に写るパネルステージ39は黒くなる。そのため、本形態では、カメラ41に写る液晶パネル2のエッジとパネルステージ39の上面とのコントラストを高めることが可能になる。したがって、本形態では、カメラ41によって液晶パネル2のエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、液晶パネル2を精度良く位置合わせすることが可能になる。 In this embodiment, the phase of the polarizing filter 50 of the camera 41 and the phase of the polarizing member 43 of the panel stage 39 are shifted by 90 °, and the panel stage 39 reflected in the camera 41 becomes black. Therefore, in this embodiment, it is possible to increase the contrast between the edge of the liquid crystal panel 2 captured by the camera 41 and the upper surface of the panel stage 39. Therefore, in this embodiment, the camera 41 can accurately detect the edge of the liquid crystal panel 2, and as a result, the liquid crystal panel 2 can be accurately aligned.
 (他の実施の形態)
 上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
(Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
 上述した形態において、移動機構40は、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム46を保持する可動フレームと、この可動フレームに対して可動フレーム46を左右方向へスライドさせる駆動機構と、前後方向へのスライドが可能となるようにこの可動フレームを保持する固定フレームと、この固定フレームに対して可動フレームを前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えていても良い。この場合であっても、移動機構40によって移動するパネルステージ39の左右方向への移動可能量は、移動機構40によって移動するパネルステージ39の前後方向への移動可能量より大きくなっている。 In the embodiment described above, the moving mechanism 40 includes a movable frame that holds the movable frame 46 so as to be slidable in the left-right direction, a drive mechanism that slides the movable frame 46 in the left-right direction with respect to the movable frame, You may provide the fixed frame holding this movable frame so that the slide to the front-back direction is possible, and the drive mechanism which slides a movable frame to the front-back direction with respect to this fixed frame. Even in this case, the movable amount in the left-right direction of the panel stage 39 moved by the moving mechanism 40 is larger than the movable amount in the front-rear direction of the panel stage 39 moved by the moving mechanism 40.
 上述した形態では、エッジ検知位置39Aに配置されるパネルステージ39に液晶パネル2が供給されているが、エッジ検知位置39Aからずれた位置に配置されるパネルステージ39に液晶パネル2が供給されても良い。また、上述した形態では、照明42は、バー照明であるが、照明42は、バー照明以外の照明であっても良い。また、上述した形態では、照明42は、パネルステージ39に間接光を照射しているが、照明42は、パネルステージ39に直接光を照射しても良い。 In the embodiment described above, the liquid crystal panel 2 is supplied to the panel stage 39 arranged at the edge detection position 39A, but the liquid crystal panel 2 is supplied to the panel stage 39 arranged at a position shifted from the edge detection position 39A. Also good. Moreover, in the form mentioned above, although the illumination 42 is bar illumination, the illumination 42 may be illumination other than bar illumination. In the embodiment described above, the illumination 42 irradiates the panel stage 39 with indirect light. However, the illumination 42 may irradiate the panel stage 39 with direct light.
 上述した形態において、パネルステージ39の上面に偏光部材43が貼り付けられていなくても良い。この場合には、パネルステージ39は、ポリアセタール等の白色の板によって形成されており、パネルステージ39の上面は、白色となっている。この場合であっても、カメラ41に写る液晶パネル2のエッジとパネルステージ39の上面とのコントラストを高めることが可能になるため、カメラ41によって液晶パネル2のエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、液晶パネル2を精度良く位置合わせすることが可能になる。 In the above-described embodiment, the polarizing member 43 may not be attached to the upper surface of the panel stage 39. In this case, the panel stage 39 is formed of a white plate such as polyacetal, and the upper surface of the panel stage 39 is white. Even in this case, since the contrast between the edge of the liquid crystal panel 2 reflected on the camera 41 and the upper surface of the panel stage 39 can be increased, the edge of the liquid crystal panel 2 can be accurately detected by the camera 41. As a result, the liquid crystal panel 2 can be accurately aligned.
 上述した形態では、ロボット8は、3軸直交ロボットであるが、ロボット8は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット9は、パラレルリンクロボットであるが、ロボット9は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、アライメント装置10で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル2であるが、アライメント装置10で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル2以外の表示パネルであっても良い。たとえば、アライメント装置10で位置合わせされる表示パネルは、有機ELパネルであっても良い。 In the embodiment described above, the robot 8 is a three-axis orthogonal robot, but the robot 8 may be a horizontal articulated robot. In the embodiment described above, the robot 9 is a parallel link robot, but the robot 9 may be a horizontal articulated robot. In the embodiment described above, the display panel that is aligned by the alignment apparatus 10 is the liquid crystal panel 2. However, the display panel that is aligned by the alignment apparatus 10 may be a display panel other than the liquid crystal panel 2. . For example, the display panel that is aligned by the alignment apparatus 10 may be an organic EL panel.
 2 液晶パネル(表示パネル)
 10 アライメント装置
 39 パネルステージ
 39A エッジ検知位置
 39B パネル搬出位置
 40 移動機構
 41 カメラ
 42 照明
 43 偏光部材
 50 偏光フィルタ
 X 第2方向
 Y 第1方向
2 Liquid crystal panel (display panel)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Alignment apparatus 39 Panel stage 39A Edge detection position 39B Panel carrying out position 40 Moving mechanism 41 Camera 42 Illumination 43 Polarizing member 50 Polarizing filter X 2nd direction Y 1st direction

Claims (6)

  1.  表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、
     鉛直方向に直交する所定の方向を第1方向とし、前記第1方向と鉛直方向とに直交する方向を第2方向とすると、
     前記表示パネルが載置されるパネルステージと、鉛直方向を回動の軸方向として前記パネルステージを回動させるとともに前記第1方向と前記第2方向とに前記パネルステージを移動させて前記表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、前記パネルステージよりも上側に配置され前記表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、
     前記移動機構によって移動する前記パネルステージの前記第1方向への移動可能量は、前記移動機構によって移動する前記パネルステージの前記第2方向への移動可能量よりも大きくなっており、
     前記パネルステージは、前記第1方向において、前記表示パネルが前記カメラの下側に配置されるエッジ検知位置と、前記パネルステージから前記表示パネルが搬出されるパネル搬出位置との間で移動可能となっており、
     前記移動機構は、前記カメラでの検知結果に基づいて前記表示パネルの位置合わせを行いながら前記エッジ検知位置から前記パネル搬出位置まで前記パネルステージを移動させることを特徴とするアライメント装置。
    In an alignment apparatus for aligning the display panel,
    When a predetermined direction orthogonal to the vertical direction is the first direction, and a direction orthogonal to the first direction and the vertical direction is the second direction,
    A panel stage on which the display panel is placed; and the display panel is rotated by rotating the panel stage with a vertical direction as an axis direction of rotation and moving the panel stage in the first direction and the second direction. A moving mechanism that performs the positioning of, and a camera that is disposed above the panel stage and detects an edge of the display panel,
    The movable amount of the panel stage moved by the moving mechanism in the first direction is larger than the movable amount of the panel stage moved by the moving mechanism in the second direction,
    The panel stage is movable in the first direction between an edge detection position where the display panel is disposed below the camera and a panel unloading position where the display panel is unloaded from the panel stage. And
    The alignment mechanism is characterized in that the moving mechanism moves the panel stage from the edge detection position to the panel carry-out position while aligning the display panel based on a detection result of the camera.
  2.  前記表示パネルは、前記エッジ検知位置に配置される前記パネルステージに供給されることを特徴とする請求項1記載のアライメント装置。 2. The alignment apparatus according to claim 1, wherein the display panel is supplied to the panel stage disposed at the edge detection position.
  3.  前記パネルステージより上側に配置されるとともに前記カメラより下側に配置される照明を備え、
     前記照明は、前記カメラの視野から外れた位置に配置され、前記パネルステージに間接光または直接光を照射することを特徴とする請求項1または2記載のアライメント装置。
    With illumination arranged above the panel stage and arranged below the camera,
    The alignment apparatus according to claim 1, wherein the illumination is arranged at a position deviating from a field of view of the camera and irradiates the panel stage with indirect light or direct light.
  4.  前記照明は、直線状に配列される複数の発光ダイオードを備えるバー照明であることを特徴とする請求項3記載のアライメント装置。 4. The alignment apparatus according to claim 3, wherein the illumination is a bar illumination including a plurality of light emitting diodes arranged in a straight line.
  5.  上下方向から見たときの前記パネルステージの外形は、前記表示パネルの外形よりも大きくなっており、
     前記カメラは、偏光フィルタを備え、
     前記パネルステージの上面には、平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、
     前記偏光フィルタの位相と前記偏光部材の位相とが90°ずれていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のアライメント装置。
    The outer shape of the panel stage when viewed from above and below is larger than the outer shape of the display panel,
    The camera includes a polarizing filter,
    A flat plate or film-like polarizing member is attached to the upper surface of the panel stage,
    The alignment apparatus according to claim 1, wherein the phase of the polarizing filter and the phase of the polarizing member are shifted by 90 °.
  6.  上下方向から見たときの前記パネルステージの外形は、前記表示パネルの外形よりも大きくなっており、
     前記パネルステージの上面は、白色となっていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のアライメント装置。
    The outer shape of the panel stage when viewed from above and below is larger than the outer shape of the display panel,
    The alignment apparatus according to claim 1, wherein an upper surface of the panel stage is white.
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