WO2017043651A1 - ガラス基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

搬入口２ａからチャンバー２内へと搬入したガラス基板３を水平方向に搬送しつつ、チャンバー２内でのガラス基板３の搬送経路上に設けた処理領域４で処理ガス５によりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板３を搬出口２ｂからチャンバー２外へと搬出するガラス基板の製造方法について、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの各々における開口の上縁２ａａ（２ｂａ）側と下縁２ａｂ（２ｂｂ）側とでそれぞれ開口幅調節部材８，９を移動させることで、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの各々における上下方向に沿った開口幅をチャンバー２内外の気圧差に基づいて調節した。

Description

ガラス基板の製造方法

　本発明は、フッ化水素等の処理ガスを用いてガラス基板にエッチング処理を施すガラス基板の製造方法に関する。

　周知のように、ガラス基板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、スマートホン、タブレット型ＰＣ等のモバイル機器をはじめとして、多種多様な電子デバイスに組み込まれている。

　ところで、ガラス基板の製造工程においては、静電気の帯電に起因した問題が生じることがある。例えば、ガラス基板に所定の処理を施すべく載置台上にガラス基板を置いた際に、静電気の帯電に起因してガラス基板が載置台に貼り付いてしまう場合があり、処理を終えたガラス基板を載置台から剥離させようとした際に、当該ガラス基板が破損してしまうことがある。

　そこで、上記のような問題への対策として、フッ化水素等の処理ガスをガラス基板に噴き付けてエッチング処理を施し、当該ガラス基板の表面を粗化させることにより、静電気の帯電に起因した問題の発生を回避する手法が知られている。そして、この手法の一つの具体例が特許文献１に開示されている。

　同文献には、搬送中のガラス基板に対し、その搬送経路の上流側で吹出ノズルから処理ガスを噴き付けることでエッチング処理を施すと共に、搬送経路の下流側で吸引ノズルにより処理ガスを吸引して排気する方法が開示されている。なお、同文献において明示されてはいないが、このような方法を採用する場合には、処理ガスが漏れ出すことを防止するため、エッチング処理をチャンバー内で施す場合が多い。このチャンバーには、ガラス基板をチャンバー内へと搬入するための搬入口と、チャンバー外へと搬出するための搬出口とが形成されている。

国際公開第２０１１／１０５３３１号

　しかしながら、特許文献１に開示された方法を採用してガラス基板にエッチング処理を施す場合には、未だ下記のような解決すべき問題が生じている。

　すなわち、チャンバーにはガラス基板の搬入口、及び搬出口が形成されているため、チャンバー内外の気圧差に起因して、搬入口、搬出口を通じてチャンバー内へと流入する気流やチャンバー外へと流出する気流が発生すると、この気流によって処理ガスの流れに乱れが生じ、ガラス基板の表面の粗化にむらが生じてしまう問題があった。

　上記の事情に鑑みなされた本発明は、ガラス基板の搬入口及び搬出口が形成されたチャンバー内で、処理ガスを用いてガラス基板にエッチング処理を施す場合に、その確実な実行を可能とすることを技術的な課題とする。

　上記の課題を解決するために創案された本発明は、搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、チャンバー内でのガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板を搬出口からチャンバー外へと搬出するガラス基板の製造方法であって、搬入口及び搬出口の各々における開口の上縁側と下縁側とでそれぞれ開口幅調節部材を移動させることで、搬入口及び搬出口の各々における上下方向に沿った開口幅をチャンバー内外の気圧差に基づいて調節することに特徴付けられる。ここで、「ガラス基板を水平方向に搬送」とは、ガラス基板を非傾斜方向である水平方向に搬送する場合のみならず、ガラス基板を水平面に対して上下に３０°以下の範囲内で傾斜した方向に搬送する場合をも含む。また、これらの場合におけるガラス基板の姿勢は、ガラス基板が搬送方向の両側方に対して非傾斜状態となる姿勢のみならず、ガラス基板が搬送方向の一側方から他側方に対して３０°以下の範囲内で傾斜状態となる姿勢をも含む（以下、同じ）。

　このような方法によれば、チャンバー内外の気圧差に起因して、搬入口、搬出口を通じてチャンバー内へと流入する気流や、チャンバー外へと流出する気流が発生した場合でも、これらの気流によって処理ガスの流れに乱れが生じることを可及的に回避することが可能となる。すなわち、搬入口及び搬出口の各々における上下方向に沿った開口幅をチャンバー内外の気圧差に基づいて調節することにより、チャンバー内へと流入する気流、チャンバー外へと流出する気流の流速（流量）を処理ガスの流れに影響を与えない大きさに制御することができる。その結果、処理ガスによるガラス基板へのエッチング処理を確実に実行することが可能となる。

　上記の方法において、ガラス基板の下面に対して処理ガスを噴き付けると共に、搬出口及び搬入口の各々について、これらの開口を通過中のガラス基板に対して、上縁側に配置される開口幅調節部材が、下縁側に配置される開口幅調節部材よりも離間した状態となるように開口幅を調節することが好ましい。

　ガラス基板が搬入口及び搬出口を通過する際には、これらの開口の一部がガラス基板を境界として上下に分割された状態となる。つまり、開口の一部がガラス基板の上面側と下面側とに分割される。ここで、搬入口、搬出口を通じてチャンバー内へと流入する気流が発生した場合、ガラス基板の下面側からチャンバー内へと流入した気流は、ガラス基板の下面に対して噴き付けられる処理ガス（以下、下面処理ガスと表記する）の流れに乱れを生じさせやすい。このことから、ガラス基板の下面側では上面側よりもチャンバー内へと気流が流入しにくい状態としておくことが、下面処理ガスにおける流れの乱れの発生を回避するのに有利である。そして、開口を通過中のガラス基板に対して、上縁側に配置される開口幅調節部材が、下縁側に配置される開口幅調節部材よりも離間した状態となるように開口幅を調節すれば、ガラス基板の上面側よりも下面側で開口における気流の流路断面積を小さくすることが可能となる。これにより、ガラス基板の下面側では上面側よりもチャンバー内へと気流が流入しにくくなり、下面処理ガスの流れに乱れが生じることを回避する上で好適となる。

　上記の方法において、搬送方向に沿ったガラス基板の長さが、搬送経路に沿った搬入口と処理領域との相互間距離、及び、搬送経路に沿った処理領域と搬出口との相互間距離よりも長くてもよい。

　この場合、搬送中のガラス基板の最後部が搬入口を通過し終える前に、ガラス基板の先頭部が既に処理領域へと到達していることになる。また、ガラス基板の最後部が処理領域を通過し終える前に、ガラス基板の先頭部が既に搬出口へと到達していることになる。これにより、搬送中のガラス基板を境界として、搬入口から処理領域までの領域がチャンバー内で上下に分割されたり、処理領域から搬出口までの領域がチャンバー内で上下に分割されたりする。そのため、ガラス基板の下面側からチャンバー内へと流入した気流が、下面処理ガスの流れに乱れをより生じさせやすくなる。以上のことから、搬送方向に沿ったガラス基板の長さが、上記のような長さを有する場合に、開口を通過中のガラス基板に対して、上縁側に配置される開口幅調節部材が、下縁側に配置される開口幅調節部材よりも離間した状態となるように開口幅を調節し、ガラス基板の下面側で上面側よりもチャンバー内へと気流が流入しにくいようにすれば、その効果をより有効に活用することが可能となる。

　上記の方法において、ガラス基板に対して処理ガスを噴き付けることでエッチング処理を施す処理器を、チャンバーの天井部との間に隙間が形成されるようにチャンバーの底部に設置してもよい。

　搬入口、搬出口の開口を通過中のガラス基板に対して、上縁側に配置される開口幅調節部材が、下縁側に配置される開口幅調節部材よりも離間した状態となるように開口幅を調節した場合、ガラス基板の上面側では下面側よりもチャンバー内へと気流が流入しやすくなる。しかしながら、ガラス基板に対して処理ガスを噴き付けることでエッチング処理を施す処理器を、チャンバーの天井部との間に隙間が形成されるようにチャンバーの底部に設置しておけば、ガラス基板の上面側からチャンバー内へと流入した気流が、処理器とチャンバーの天井部との間に形成された隙間へと流入するように誘導しやすくなる。その結果、気流が処理器の付近に滞留しにくくなり、下面処理ガスの流れに乱れが生じることを回避する上でより好適となる。

　上記の方法において、チャンバー内外を貫通すると共に、開口幅調節部材を移動させるための移動機構を設け、移動機構を介してチャンバー外での操作により開口幅調節部材を移動させることが好ましい。

　このようにすれば、移動機構を介してチャンバー外での操作により開口幅調節部材を移動させることができるため、開口幅調節部材を移動させるためにチャンバーを開閉する等の作業が不要となる。これにより、チャンバーの開閉に伴って処理ガスがチャンバー外へと漏れ出す等の不具合の発生を防止しやすくなる。

　上記の方法において、開口幅調節部材として板状部材を用いることが好ましい。

　このようにすれば、搬入口及び搬出口の各々における開口の上縁側と下縁側とでそれぞれ板状部材を移動させるだけで、搬入口及び搬出口の各々における上下方向に沿った開口幅を調節することが可能となる。そのため、チャンバー内へと流入する気流、チャンバー外へと流出する気流の流速（流量）を制御するのに要するコストや手間を少なくすることができる。

　本発明によれば、ガラス基板の搬入口及び搬出口が形成されたチャンバー内で、処理ガスを用いてガラス基板にエッチング処理を施す場合に、その確実な実行が可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置を示す概略縦断側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置において、搬入口の近傍を示す縦断側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置において、供給路を示す縦断正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置において、供給路の近傍を示す縦断側面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置を示す概略縦断側面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置において、開口幅調節部材を示す正面図である。

　以下、本発明の実施形態に係るガラス基板の製造方法について添付の図面を参照して説明する。

＜第一実施形態＞
　はじめに、本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置について説明する。

　図１に示すように、ガラス基板の製造装置１は、搬入口２ａからチャンバー２内へと搬入したガラス基板３を水平方向に搬送しつつ、チャンバー２内でのガラス基板３の搬送経路上に設けた処理領域４で、処理ガス５としてのフッ化水素によりエッチング処理を施した後、処理後のガラス基板３を搬出口２ｂからチャンバー２外へと搬出する構成とされている。このガラス基板の製造装置１は、チャンバー２内外に配置された複数のローラー６により、水平に一直線に延びた搬送経路に沿ってガラス基板３を平置き姿勢で搬送することが可能となっている。

　チャンバー２は、その外形が直方体状に形成されており、その内部に形成される空間７から処理ガス５がチャンバー２外へと流出することを防止している。このチャンバー２は、ガラス基板３を搬入するための搬入口２ａと、ガラス基板３を搬出するための搬出口２ｂとを備えている。搬入口２ａ及び搬出口２ｂは、チャンバー２の側壁部２ｃに形成されると共に、ガラス基板３の主面（上面及び下面）に沿って当該ガラス基板３の搬送方向に直交する幅方向（図１において紙面に鉛直な方向であり、以下、単に幅方向と表記する）に長尺な矩形に形成されている。

　なお、チャンバー２の材質は、処理ガス５（フッ化水素）への耐食性に優れたポリ塩化ビニルとなっている。また、チャンバー２内（空間７内）及びチャンバー２外には、それぞれ気圧計（図示省略）が設置されており、両気圧計によりチャンバー２内外の気圧差を測定することが可能となっている。

　搬入口２ａ及び搬出口２ｂの各々の開口について、上下方向（ガラス基板３の主面に直交する高さ方向）に沿った開口幅は、開口の上縁２ａａ（２ｂａ）側と下縁２ａｂ（２ｂｂ）側とでそれぞれチャンバー２の側壁部２ｃに沿って上下方向に移動が可能な一対の開口幅調節部材８，９で調節できるようになっている。搬入口２ａ及び搬出口２ｂの開口幅の調節は、上記の両気圧計によって測定されたチャンバー２内外の気圧差に基づいて作業者が行う。これにより、チャンバー２内外の気圧差に起因して発生し、搬入口２ａ、搬出口２ｂを通じてチャンバー２内へと流入する気流１０（チャンバー２外へと流出する気流１０）の流速（流量）を制御することが可能となっている。なお、一対の開口幅調節部材８，９の各々の材質は、ポリ塩化ビニルとなっている。

　開口幅調節部材８（９）は、側面視でＬ字状に形成されると共に、幅方向に長尺な部材で構成されており、搬入口２ａ及び搬出口２ｂに沿って延びている。なお、開口幅調節部材８（９）は、幅方向に長尺な矩形の板状部材で構成されていても良い。また、開口幅調節部材８（９）は、上下方向に延びるようにチャンバー２の側壁部２ｃに設置されたガイドレール１１に沿って移動することが可能となっている。さらに、開口幅調節部材８（９）は、当該開口幅調節部材８（９）を移動させるための移動機構としてのボールネジ機構１２と連結されている。

　ボールネジ機構１２は、開口幅調節部材８（９）と直接に連結された板材１２ａと、自身の回転に伴って板材１２ａを介して開口幅調節部材８（９）を上下方向に送るためのボールネジ１２ｂと、チャンバー２内外を貫通し、且つ、ボールネジ１２ｂと同期して回転する回転軸１２ｃと、回転軸１２ｃを介して作業者がボールネジ１２ｂを回転させるためのハンドル１２ｄとを備えている。このボールネジ機構１２により、チャンバー２外で作業者がハンドル１２ｄを操作して、開口幅調節部材８（９）を移動させることが可能となっている。

　なお、図２に示すように、本実施形態においては、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの各々について（図２では搬入口２ａを図示している）、これらの開口を通過中のガラス基板３に対して、上縁２ａａ側に配置される開口幅調節部材８が、下縁２ａｂ側に配置される開口幅調節部材９よりも離間した状態となるように開口幅を調節している。つまり、上縁２ａａ側に配置される開口幅調節部材８とガラス基板３の上面との相互間距離Ａ１が、下縁２ａｂ側に配置される開口幅調節部材９とガラス基板３の下面との相互間距離Ａ２よりも長くなるように開口幅を調節している。相互間距離Ａ１の長さと相互間距離Ａ２の長さとの比率としては、相互間距離Ａ１の長さを相互間距離Ａ２の長さに対して２倍以上とすることが好ましい。

　ここで、本実施形態においては、一対の開口幅調節部材８，９の各々がチャンバー２の側壁部２ｃに沿って上下方向に移動することで、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅を調節する構成となっているが、この限りではない。例えば、一対の開口幅調節部材８，９の各々がチャンバー２の側壁部２ｃに沿って上下方向に対して傾斜した方向に移動することで、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅を調節する構成としてもよい。また、本実施形態では、一対の開口幅調節部材８，９の各々が、チャンバー２の側壁部２ｃに沿って移動する構成となっているが、これに限定されるものではない。例えば、一対の開口幅調節部材８，９の各々が、搬入口２ａ（搬出口２ｂ）の上縁部２ａａ（２ｂａ）及び下縁部２ａｂ（２ｂｂ）から進出及び後退するように移動する構成としてもよい。

　さらに、本実施形態では、作業者がハンドル１２ｄを操作して、ボールネジ１２ｂを回転させることにより、開口幅調節部材８（９）を移動させる構成となっているが、作業者によらず、モーター等の動力源を用いてボールネジ１２ｂを回転させることにより、開口幅調節部材８（９）を移動させる構成としてもよい。加えて、本実施形態では、ボールネジ機構１２によって開口幅調節部材８（９）を移動させる構成となっているが、これに限定されるものではない。例えば、ラック・アンド・ピニオン機構等によって開口幅調節部材８（９）を移動させる構成としてもよい。

　図１に示すように、処理領域４には、チャンバー２内に設置された複数のローラー６によって搬送されるガラス基板３に対し、処理ガス５を噴き付けることでエッチング処理を施すための処理器１３が配置されている。この処理器１３は、チャンバー２の天井部２ｄとの間に隙間１４が形成されるように、チャンバー２の底部２ｅに設置されると共に、処理領域４へと搬入されたガラス基板３の下面と対向するように配置された本体部１３ａと、ガラス基板３の上面と対向するように配置された天板部１３ｂとを備えている。これら本体部１３ａと天板部１３ｂとの相互間には、ガラス基板３にエッチング処理を施すための処理空間１５が形成される。なお、本体部１３ａ及び天板部１３ｂの材質は、ポリ塩化ビニルとなっている。

　本体部１３ａは、ガラス基板３の下面に噴き付ける処理ガス５を処理空間１５に供給し、且つ、相対的にガラス基板３の搬送経路の上流側に設けられた供給路１３ａａと、処理空間１５から処理ガス５を回収し、且つ、相対的にガラス基板３の搬送経路の下流側に設けられた回収路１３ａｂとを有している。これにより、供給路１３ａａから処理空間１５に供給された処理ガス５は、ガラス基板３の下面へと噴き付けられた後、ガラス基板３の搬送経路の下流側へと向かって流れ、回収路１３ａｂによって処理空間１５から回収されるようになっている。また、本体部１３ａには、処理ガス５による結露の発生を防止するために、本体部１３ａの加熱が可能な加熱部材１３ａｃ（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。

　図３に示すように、供給路１３ａａは、本体部１３ａに内蔵された第一構造体１３ａｄ～第五構造体１３ａｈの五層を積層することで形成されている。最下層に位置する第一構造体１３ａｄには、この第一構造体１３ａｄに処理ガス５を供給するための供給口１３ａｄａが形成されている。そして、この第一構造体１３ａｄと、その上方に積層される第二構造体１３ａｅとが重ね合わされることで、供給口１３ａｄａから供給された処理ガス５の分岐流路が形成される。さらに、第二構造体１３ａｅと、その上方に積層される第三構造体１３ａｆとが重ね合わされることで、上記の分岐流路をさらに枝分かれさせる分岐流路が形成される。第三構造体１３ａｆの上方に積層される第四構造体１３ａｇには、枝分かれした分岐流路を合流させるための空間１６が形成されていると共に、処理ガス５を通過させるための多数の孔１７ａが形成された多孔板１７が取り付けられている。最上層に位置する第五構造体１３ａｈには、処理空間１５に処理ガス５を流出させるための流出口（供給路１３ａａにおける処理ガス５の流出口）が形成されている。

　供給路１３ａａにおける処理ガス５の流出口、及び、回収路１３ａｂにおける処理ガス５の流入口は、いずれも幅方向に長尺なスリット状に形成されている。これら流出口及び流入口の幅寸法は、ガラス基板３の幅寸法よりも長くなっている。さらに、図４に示すように、供給路１３ａａにおける処理ガス５の流出口は、そのガラス基板３の搬送方向に沿った開口幅が、当該供給路１３ａａ内に設置されたスペーサー１８によって一定の幅となるように調節されている。スペーサー１８は、相互に離間した状態で幅方向に沿って複数が設置されている。なお、変形例として、幅方向に沿って設置された複数のスペーサー１８を一組のスペーサー群として、スペーサー群を上下複数段に亘って設置してもよい。

　ここで、供給路１３ａａにおける処理ガス５の流出口からスペーサー１８が設置された位置までの深さ寸法Ｂは、１０ｍｍ～４０ｍｍの範囲内とすることが好ましい。なお、スペーサー群を上下複数段に亘って設置する場合には、処理ガス５の流出口から最上段に位置するスペーサー群が設置された位置までの深さ寸法を、１０ｍｍ～４０ｍｍの範囲内とすることが好ましい。この深さ寸法Ｂが小さすぎると、スペーサー１８によって供給路１３ａａ内の処理ガス５の流れに乱れが生じ、エッチング処理によるガラス基板３の下面の粗化にむらが生じるおそれがある。一方、深さ寸法Ｂが大きすぎると、供給路１３ａａにおける処理ガス５の流出口について、そのガラス基板３の搬送方向に沿った開口幅を所望の幅に調節することが困難となる。そのため、流出口から処理空間１５への処理ガス５の供給量が過大、或いは、過少となってガラス基板３の下面を所望の表面粗さに粗化できないおそれがある。

　図１に示すように、天板部１３ｂは、単一の板状部材からなると共に、処理領域４へと搬入されたガラス基板３の上面と対向する平坦面を有している。また、天板部１３ｂには、本体部１３ａと同様にして、処理ガス５による結露の発生を防止するために、天板部１３ｂの加熱が可能な加熱部材１３ｂａ（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。

　図２に示すように、チャンバー２の側壁部２ｃに形成された搬入口２ａに対し、ガラス基板３の搬送経路の上流側には、処理ガス５がチャンバー２内から外に漏れ出すことを防止するためのシャッター１９が設置されている。なお、図示は省略しているが、側壁部２ｃに形成された搬出口２ｂに対し、ガラス基板３の搬送経路の下流側についても、上記のシャッター１９と同一のシャッター１９が設置されている。

　シャッター１９は、ガラス基板３の搬送経路を挟んで上方側に配置された第一部材１９ａと、下方側に配置された第二部材１９ｂとを備えている。両部材１９ａ，１９ｂは、それぞれが図２に実線で示す待機位置と、二点鎖線で示す作動位置との相互間を上下に移動することが可能となっている。

　第一部材１９ａおよび第二部材１９ｂの双方が待機位置にある場合には、シャッター１９が開いた状態となり、両部材１９ａ，１９ｂの相互間を通過させてガラス基板３を搬送することが可能である。一方、第一部材１９ａおよび第二部材１９ｂの双方が作動位置に移動した場合には、第一部材１９ａの先端部１９ａａと第二部材１９ｂの先端部１９ｂａとが、両者１９ａａ，１９ｂａの相互間に隙間を形成することなく相互に当接し、シャッター１９が閉じた状態となる。

　シャッター１９が閉じた状態となると、当該シャッター１９とチャンバー２の側壁部２ｃとの間に形成される空間２０において、側壁部２ｃに形成された搬入口２ａ（搬出口２ｂ）を通じてのみ、ガスが空間２０への流入、及び、空間２０からの流出が可能な状態となる。これにより、処理ガス５が搬入口２ａ（搬出口２ｂ）を通じてチャンバー２内から外に漏れ出そうになった場合でも、処理ガス５を空間２０内に留めることが可能となっている。

　以下、上記のガラス基板の製造装置１を用いた本発明の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法について説明する。

　まず、ガラス基板の製造装置１を稼働させ、複数のローラー６によるガラス基板３の搬送を開始し、搬入口２ａからチャンバー２内へとガラス基板３を搬入する。その後、ガラス基板３を処理領域４へと搬入する。

　ガラス基板３の処理領域４への搬入が完了すると、処理器１３に形成された処理空間１５内でガラス基板３を搬送しつつ、供給路１３ａａから処理空間１５に供給された処理ガス５をガラス基板３に噴き付けてエッチング処理を施すと共に、回収路１３ａｂから処理空間１５内の処理ガス５を回収する。

　ガラス基板３へのエッチング処理が完了すると、処理領域４からガラス基板３を搬出する。その後、搬出口２ｂからチャンバー２外へとガラス基板３を搬出する。以上の工程により、エッチング処理が施されたガラス基板３が得られる。

　ガラス基板の製造装置１の稼働中には、チャンバー２内（空間７内）及びチャンバー２外にそれぞれ設置された両気圧計によってチャンバー２内外の気圧差を測定する。そして、測定された気圧差に基づいて作業者がハンドル１２ｄを操作し、開口幅調節部材８（９）を上下方向に移動させることで、ガラス基板３の搬入口２ａ、及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅を調節する。

　ここで、例えば、回収路１３ａｂによる処理空間１５からの処理ガス５の回収が不可避的に停止してしまったような場合には、供給路１３ａａによる処理空間１５への処理ガス５の供給のみが続行される状態となり、チャンバー２内に処理ガス５が充満した後、チャンバー２外に漏れ出してしまう虞が生じる。このような場合には、シャッター１９を閉じた状態とすることで、処理ガス５の漏れ出しを防止する。

　なお、このガラス基板の製造方法においてエッチング処理の対象となるガラス基板３のサイズは、図１に示すようなサイズに限定されるものではない。例えば、搬送方向に沿ったガラス基板３の長さが、搬送経路に沿った搬入口２ａと処理領域４との相互間距離、及び、処理領域４と搬出口２ｂとの相互間距離よりも長くなるようなサイズを有するガラス基板３をエッチング処理の対象としてもよい。

　以下、上記のガラス基板の製造方法による主たる作用・効果について説明する。

　上記のガラス基板の製造方法によれば、チャンバー２内外の気圧差に起因して、搬入口２ａ、搬出口２ｂを通じてチャンバー２内へと流入する気流１０（チャンバー２外へと流出する気流１０）が発生した場合でも、気流１０によって処理ガス５の流れに乱れが生じることを可及的に回避することが可能となる。すなわち、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの各々における上下方向に沿った開口幅をチャンバー２内外の気圧差に基づいて調節することにより、チャンバー２内へと流入する気流１０（チャンバー２外へと流出する気流１０）の流速（流量）を処理ガス５の流れに影響を与えない大きさに制御することができる。その結果、処理ガス５によるガラス基板３へのエッチング処理を確実に実行することが可能となる。

＜第二実施形態＞
　以下、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法について説明する。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した要素については、第二実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。

　まず、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置について説明する。

　図５及び図６に示すように、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置１が、上記の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法に用いるガラス基板の製造装置１と相違している点は、チャンバー２及び一対の開口幅調節部材８，９の構成が異なっている点である。

　図５に示すように、チャンバー２には、三つの天井孔２ｆが形成されると共に、この天井孔２ｆの各々を塞ぐための板状の蓋体２ｇが備えられている。なお、蓋体２ｇの材質は、ポリ塩化ビニルとなっている。蓋体２ｇは、天井孔２ｆの開口全体を塞ぐことが可能であると共に、チャンバー２への取り付け、及び、チャンバー２からの取り外しが可能となっている。

　図６に示すように、一対の開口幅調節部材８，９の各々は板状部材で構成されると共に、ボルト８ａ（９ａ）を貫通させるための上下方向に長尺な一対の長孔８ｂ（９ｂ）が形成されている。なお、一対の開口幅調節部材８，９及びボルト８ａ（９ａ）の材質は、ポリ塩化ビニルとなっている。そして、長孔８ｂ（９ｂ）と当該長孔８ｂ（９ｂ）を貫通したボルト８ａ（９ａ）との相対的な位置関係を調節すると共に、当該ボルト８ａ（９ａ）をチャンバー２の側壁部２ｃに形成されたネジ穴（図示省略）に固定し、一対の開口幅調節部材８，９の各々の上下方向における位置を位置決めすることで、搬入口２ａ及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅を調節することが可能となっている。この一対の開口幅調節部材８，９による搬入口２ａ及び搬出口２ｂの開口幅の調節は、チャンバー２から蓋体２ｇを取り外すことにより、天井孔２ｆを介して作業者が行うことが可能となっている。

　一対の開口幅調節部材８，９のうち、開口幅調節部材８については、ボルト８ａが緩んで開口幅調節部材８が自重により下方へと落下した際においても、当該開口幅調節部材８がガラス基板３の搬入口２ａ、搬出口２ｂの通過を阻害しないように調節がなされている。詳述すると、開口幅調節部材８が最も下方に位置した場合、すなわち、図６に示すようにボルト８ａが長孔８ｂの上端に位置した場合でも、開口幅調節部材８の下端部がガラス基板３の搬送経路よりも上方に位置するように、ボルト８ａの固定位置（チャンバー２の側壁部２ｃに形成されたネジ穴の形成位置）と、長孔８ｂの上下方向に沿った長さとが調節されている。この場合、開口幅調節部材８で搬入口２ａや搬出口２ｂを閉鎖することが出来ないが、前述のシャッター１９を更に設けることで、緊急時に処理ガス５がチャンバー２外部へと漏出することを防止することが出来る。

　以下、上記のガラス基板の製造装置１を用いた本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法について説明する。

　第二実施形態に係るガラス基板の製造方法が、上記の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法と相違している点は、ガラス基板３の搬入口２ａ、及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅を調節する態様が異なっている点である。

　この第二実施形態に係るガラス基板の製造方法では、ガラス基板の製造装置１の稼働中に、チャンバー２内（空間７内）及びチャンバー２外にそれぞれ設置された両気圧計によってチャンバー２内外の気圧差を測定する。そして、測定された気圧差に基づいてガラス基板３の搬入口２ａ、及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅を調節する場合には、ガラス基板の製造装置１の稼働を一旦停止させた上で、開口幅の調節を行う。すなわち、チャンバー２から蓋体２ｇを取り外した後、測定された気圧差に基づいて、作業者が天井孔２ｆを介して一対の開口幅調節部材８，９の各々の上下方向における位置を位置決めする。これにより、ガラス基板３の搬入口２ａ、及び搬出口２ｂの上下方向に沿った開口幅が調節される。

　このガラス基板の製造装置１を用いた本発明の第二実施形態に係るガラス基板の製造方法によっても、上記の第一実施形態に係るガラス基板の製造方法と同様の作用・効果を得ることが可能である。

　２　　　　　チャンバー
　２ａ　　　　搬入口
　２ａａ　　　上縁
　２ａｂ　　　下縁
　２ｂ　　　　搬出口
　２ｂａ　　　上縁
　２ｂｂ　　　下縁
　２ｄ　　　　天井部
　２ｅ　　　　底部
　３　　　　　ガラス基板
　５　　　　　処理ガス
　８　　　　　開口幅調節部材
　９　　　　　開口幅調節部材
　１２　　　　ボールネジ機構
　１２ａ　　　板材
　１２ｂ　　　ボールネジ
　１２ｃ　　　回転軸
　１２ｄ　　　ハンドル
　１３　　　　処理器

Claims (6)

1. 　搬入口からチャンバー内へと搬入したガラス基板を水平方向に搬送しつつ、前記チャンバー内での前記ガラス基板の搬送経路上に設けた処理領域で処理ガスによりエッチング処理を施した後、処理後の前記ガラス基板を搬出口から前記チャンバー外へと搬出するガラス基板の製造方法であって、
   　前記搬入口及び前記搬出口の各々における開口の上縁側と下縁側とでそれぞれ開口幅調節部材を移動させることで、前記搬入口及び前記搬出口の各々における上下方向に沿った開口幅を前記チャンバー内外の気圧差に基づいて調節することを特徴とするガラス基板の製造方法。
2. 　前記ガラス基板の下面に対して前記処理ガスを噴き付けると共に、
   　前記搬出口及び前記搬入口の各々について、これらの開口を通過中の前記ガラス基板に対して、前記上縁側に配置される前記開口幅調節部材が、前記下縁側に配置される前記開口幅調節部材よりも離間した状態となるように前記開口幅を調節することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
3. 　搬送方向に沿った前記ガラス基板の長さが、前記搬送経路に沿った前記搬入口と前記処理領域との相互間距離、及び、前記搬送経路に沿った前記処理領域と前記搬出口との相互間距離よりも長いことを特徴とする請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
4. 　前記ガラス基板に対して前記処理ガスを噴き付けることでエッチング処理を施す処理器を、前記チャンバーの天井部との間に隙間が形成されるように前記チャンバーの底部に設置したことを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス基板の製造方法。
5. 　前記チャンバー内外を貫通すると共に、前記開口幅調節部材を移動させるための移動機構を設け、
   　前記移動機構を介して前記チャンバー外での操作により前記開口幅調節部材を移動させることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
6. 　前記開口幅調節部材として板状部材を用いることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。

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