WO2016181359A1 - Laserbearbeitungsvorrichtung - Google Patents

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WO2016181359A1
WO2016181359A1 PCT/IB2016/052778 IB2016052778W WO2016181359A1 WO 2016181359 A1 WO2016181359 A1 WO 2016181359A1 IB 2016052778 W IB2016052778 W IB 2016052778W WO 2016181359 A1 WO2016181359 A1 WO 2016181359A1
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cutting
optical axis
arrangement
laser beam
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Roland Bader
Andreas Lüdi
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Bystronic Laser Ag
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    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting

Definitions

  • the invention relates to a laser processing device, in particular laser cutting device, according to the preamble of claim 1.
  • a device For the machining of workpieces with a laser beam, a device is equipped with an arrangement for generating and guiding a working laser beam.
  • the laser beam is typically through an opening of a nozzle to an interaction zone, resp. Machining zone led.
  • the arrangement for guiding the working laser beam defines an optical axis and has at least one focusing element, for example a focusing or cutting lens, near the opening.
  • Such a laser processing apparatus is described, for example, in EP 2687317 AI, wherein also an observation arrangement is disclosed, which serves for centering the nozzle with respect to the working laser beam to avoid contact of the nozzle by the working laser beam.
  • An observation of the processing zone is not provided and the detector arrangement is not designed for it.
  • the observation direction of the detector arrangement must be as coaxially as possible for the best possible nozzle centering, with any deviations from the coaxiality - as can be seen in the purely schematic figures of EP 2687317 AI - inevitably follow that a purely coaxial observation of the high-power working laser beam in the way is.
  • the detector arrangement must also be located as far as possible from the nozzle tip, ideally behind the focusing lens, so that the polar angle is as small as possible for optimum nozzle centering.
  • an arrangement for monitoring the processing operation can advantageously be provided. Radiation from the machining process is measured by means of detectors and sensors, or images from the interaction or processing zone are recorded by means of a camera. Depending on the application, different parts of the ultraviolet or visible light spectrum, the near or far infrared are detected. From the measured values quality parameters are determined, which are mostly used in addition to the pure monitoring for a control.
  • Detectors are proposed in the literature which detect the radiation from the process zone coaxially or concentrically (and in parallel) with the processing laser beam, either with photodetectors (as described in De Keuster J., Duflou JR: Monitoring of high-power C02 of an acoustic microphone and photodiodes, International Journal of Advanced Manufacturing Technology 35 (1-2), 115-126, 2007) or camera (as in Sichani EF, Duflou JR: Monitoring and adaptive control of C02 laser flame cutting, Physics Proce - dia 5, Lane 2010 described).
  • the process radiation above the focusing optics ie in the protected interior of the processing head via dichroic mirrors or deflecting perforated mirrors, respectively.
  • Scraper Spiegel out of the beam path of the working laser beam decoupled Due to the large distance of the focusing optics to the process zone and the cutting nozzle whose small opening limits the viewing area quasi on the nozzle diameter, and the angle spectrum of the detected radiation is due to the aperture of the focusing optics at less than 5 °.
  • DE 102013209526 A1 discloses a method which can detect a process break during laser flame cutting.
  • the camera images of the process zone are analyzed for the presence of slag drops that indicate the process break.
  • this worst of all quality defects in laser flame cutting can also be detected with a conventional, simple photodiode system and suitable signal processing algorithms.
  • the much lower quality defect of slag residue in the kerf already leads to the parts committee, which obviously can not detect the disclosed method.
  • DE 102011003717 A1 discloses a method and a device which detect the interaction zone during laser cutting with a coaxial camera and detect various geometric features of the interaction zone and adjacent kerf edges by means of image processing. From this, at least one cutting quality characteristic value is calculated.
  • WO 2012143899 discloses a method and a device which monitors and controls the laser processing process with a detector unit with photodiodes and different wavelength bandpass filters. The photodiode is located on the side and the light from the process zone of existing emit- ting materials there is passed through this non-coaxial mirror on this lateral (also non-coaxial) detector.
  • EP 2 357 057 A1 describes a method for monitoring and regulating a laser processing process which can determine the quality of the cutting by means of detected detector signals and statistical models. From the detector signals characteristics are calculated, which are normalized with the characteristics of a reference section. Using a variety of statistical models, the affiliation of the current processing result to a specific cutting quality and a corresponding corrective action in the form of a machining parameter change is determined.
  • EP 1 275 465 B1 describes a system for automatically detecting poor cutting quality, in particular burr, without having to deposit reference signals.
  • the process radiation is coupled out with a partially transmissive mirror from the working beam path and passed through an optical filter on a photodiode.
  • the signal is digitally converted and filtered with a bandpass filter in the high frequency range. This can be closed directly on slag residue or burr.
  • US Pat. No. 7,173,227 B2 discloses a detector which measures the emitted radiation from the machining process in order to be able to regulate the laser power and the machining feed.
  • a characteristic of the laser power versus the processing quality is recorded for each material.
  • the system is automatically calibrated using a calibration light source.
  • DE 10 2005 024 085 A1 discloses a laser processing head with camera and a coaxial photo detector, for monitoring, respectively. Characterization of a laser processing operation.
  • DE102010020183 AI a laser cutting head is disclosed which is equipped with a camera for determining the kerf width. The cutting gap can also be illuminated.
  • DE 102011 004 117 A1 discloses a method for the control of laser-cut workpieces. After cutting a (small) inner contour resp. a hole, the cutting head is positioned in the center and checked by re-puncturing whether the waste part has fallen out or not. If no emissions occur during the puncture, the hole has fallen out.
  • a similar method is disclosed in DE 10 2010 039 525 AI, according to which the presence check of the cut inner contour is checked with the distance sensor of the cutting nozzle. Both methods are used for quality control of perforated sheets before they undergo further manufacturing steps.
  • US 2004 0195215 uses laser distance sensors to control the depth of cut in laser sublimation cutting of metals and composites.
  • the method is preferably used for perforating airbag casings.
  • WO 2010057662 A1 discloses a system which detects process emissions with at least two detectors. This acoustic sensors, photodetectors and a camera can be used. From the original signals, characteristics are calculated using appropriate methods of statistical dimension reduction. With the help of expert knowledge, production processes such as laser welding are assisted and even regulated.
  • WO 2012000650 A1 discloses a system which classifies the processing quality from artificial images using process from artificial intelligence and converts the production process such as e.g. Laser welding regulates. This increases process reliability and flexibility as well as easy operability.
  • WO 2015036140 A1 discloses, in contrast to the above-described solutions with pure radiation detection, an image capture device with a single camera positioned for structural reasons far above the nozzle and also the processing optics for observing the processing zone in order to produce an image of the interaction region ,
  • the imaging optics located in front of the camera for example, use an eccentric diaphragm to couple an eccentric beam in order to look into the kerf against the machining direction (ie counter to the direction of movement of the laser processing head, ie "sluggish”) or multiple images non-coaxial to the camera.
  • a laser processing apparatus with an arrangement for monitoring, in particular, a laser flame cutting process, which can detect the significant quality defects, such as slag residue, robustly in real time, during the processing process, and prevent rejects.
  • the device can be adapted to the special properties of laser flame cutting.
  • an initially characterized laser processing device in particular for a laser cutting device, is equipped with at least one group of detector arrangements, which are sensitive to a radiation characteristic of the processing operation. These detector arrangements are connected to at least one evaluation unit, wherein the detector arrangements of each group are arranged annularly around the optical axis.
  • the observation direction of the detector arrangements which term denotes the central axis for the case of a cone-shaped observation beam, for example-is at least in a partial area between the focusing element closest to the processing zone and the processing zone at a polar angle greater than 5 ° with respect to the optical axis of the working laser beam oriented.
  • This subarea with an observation direction with a large polar angle preferably lies in a subarea more remote from the focusing element, in particular in the region between the processing zone and the lower edge region of the nozzle.
  • a particularly preferred embodiment provides for observation directions at a polar angle greater than or equal to 7 °, in particular at a polar angle of approximately 10 ° or more.
  • the arrangement according to the invention thus provides radiation detector arrangements for a radiation characteristic of the machining process, which requires no complex, heavy and space consuming image-forming optics, also requires no aperture magnification of the optics for the working laser beam to allow the observation of larger polar angles, and therefore the laser processing heads are not bigger or heavier power.
  • the monitoring arrangement therefore fits easily in a commercially available laser cutting head.
  • the optimal process monitoring can be done online by determining the total intensity of the radiation from the processing zone through the radiation detectors, with a very high temporal resolution, which otherwise could only be achieved with high-speed cameras.
  • the detector arrays are arranged along at least one circle, which is coaxial with the optical axis and substantially perpendicular, in order to allow easy observation of the processing zone from any direction or allow the consideration of any, even changing directions of movement or feeding, i. In particular, to look at any area of the processing zone at any time. This ensures the observation of the entire kerf at all times. In particular, it can also drag the processing zone at any time, i. be considered against the direction of movement of the machining head. Of course, certain deviations from
  • Circular shape and / or coaxiality of the detector arrangements occur, if required by the structural conditions of the respective laser processing head.
  • the laser processing device is characterized in that at least one optical intermediate element is arranged for at least one detector arrangement, possibly the entire detector arrangement, between the focusing element closest to the processing zone and the processing zone.
  • This intermediate element is preferably designed as a deflecting arrangement for the radiation, in particular as a reflector arrangement or mirror.
  • the arrangement of a plurality of superimposed mirror segments or even a curved freeform surface is advantageous as a deflection.
  • the inner side of the lower edge region of the nozzle is provided as attachment location of the intermediate elements or this edge region itself is formed as a deflection arrangement, especially as a reflector.
  • a further preferred embodiment of the invention provides at least one detector arrangement whose observation direction is directed in a region of the azimuth angle of at most 45 ° to the direction of movement of the nozzle and counter to its direction of movement on the processing zone.
  • the "sluggish" observation of the processing zone is ensured, with the rear or lower region of the processing zone, in particular, in the case of cutting operations of thick sheets from 8 mm, resp. of the cutting gap can be observed, which lies behind or outside of the area coaxially visible through the nozzle.
  • each group of detector arrangements arranged around the optical axis comprises at least five, in particular at least eight detector arrangements. These are advantageously circumferentially equally distributed around the optical axis of the arrangement and ensure sufficient circumferential resolution in the azimuth direction.
  • a further advantageous embodiment of the invention provides that at least one detector arrangement has a detector and at least one arrangement with an optical intermediate element, preferably a deflection arrangement.
  • at least one of the detectors is designed in such a way that it has a fan-shaped observation beam with respect to the polar angle and the arrangement of the optical intermediate elements assigned to a specific detector deflects to the same area of the processing zone with respect to the polar angle of the segmented fan beam of this detector.
  • the term "fan-shaped" bundle of rays is intended to express that the field of observation of the detector arrangement, ie also its observation beams, is greatly different in two orthogonal directions. etc. used in the same technical sense and can be freely interchanged.
  • a plurality of detectors or intermediate elements are provided at substantially the same azimuth angle ⁇ about the optical axis, the observation directions of which are directed from different polar angles onto the processing zone.
  • a detector or a deflection arrangement could oscillate at substantially the same azimuth angle ⁇ about the optical axis between different polar angles and align the observation direction in each case from different polar angles to the processing zone.
  • a further embodiment may be characterized in that a plurality of deflection arrangements are preferably distributed uniformly in different azimuth angles ⁇ about the optical axis.
  • a laser processing device can also advantageously be designed in such a way that at least one of the detector arrangements comprises a detector and at least one optical intermediate element which directs the entirety of the radiation emanating from the processing zone to the detector at a certain polar angle.
  • the intermediate elements will preferably be designed as a reflector arrangement.
  • a further alternative embodiment of the laser processing apparatus is characterized in that the detector arrangements comprise coupling points for the radiation arranged radially around the optical axis in radiation guide arrangements or further deflection arrangements and detectors positioned away from the coupling-in points or the further deflection arrangements.
  • the detector arrangements comprise coupling points for the radiation arranged radially around the optical axis in radiation guide arrangements or further deflection arrangements and detectors positioned away from the coupling-in points or the further deflection arrangements.
  • a geometrical arrangement is selected in which the coupling-in points for the radiation from the processing zone along at least one coaxial to the optical axis and substantially vertical circle are arranged. Also possible here are several superimposed circles for these coupling-in points, as they are also possible for the detector arrangements themselves.
  • photodetectors for the detector arrangements are used, which are designed in particular as photodiodes, thermopile or line sensors.
  • the detector arrangements are sensitive to at least two different wavelength ranges and / or types of radiation, preferably for wavelength ranges between 0.7 and 1 pm and / or between 1.45 and 1.8 pm.
  • This can be achieved by the design of the detectors themselves, as well as, for example, by spectral filters in front of the detector arrangements or at least in front of the actual detector itself.
  • spectral filters in front of the detector arrangements or at least in front of the actual detector itself.
  • shutter arrangements in particular slit diaphragms, can be arranged in front of the detectors or in front of the intermediate elements.
  • at least some detectors and / or at least some intermediate elements may be inserted in or formed in the nozzle. This is particularly advantageous for intermediate elements in the form of reflector arrangements, in particular of mirrors or mirror-shaped areas of the nozzle inner wall.
  • the arrangement for generating and guiding a working laser beam and the nozzle are preferably detachably connected to each other.
  • a detector with an observation direction parallel to the optical axis and an optical intermediate element may be provided.
  • the detector is preferably positioned on the side of the focusing element facing away from the processing zone.
  • the positioning of the optical intermediate element between the focusing element and the processing zone possibly within the nozzle.
  • the intermediate element deflects the observation direction of the detector for at least one azimuth angle ⁇ to a polar angle greater than 5 ° with respect to the optical axis of the working laser beam in the direction of the processing zone. It is preferable to work with polar angles greater than or equal to 7 °, in particular polar angles of approximately 10 ° or more.
  • a preferred embodiment provides that the intermediate element deflects the direction of observation of the detector in a range of the azimuth angle ⁇ of at most 45 ° to the direction of movement of the nozzle and counter to the direction of movement thereof toward the processing zone. It is provided that the intermediate element deflects the radiation from the processing zone at least from different polar angles, preferably also from different azimuth angles ⁇ , onto the detector aligned parallel to the optical axis.
  • a laser processing device in which the detector arrangement comprises an adjacent to the working laser beam and in the propagation direction in front of the focusing element arranged additional detector whose observation direction extends at least after the focussing element obliquely to the optical axis of the working laser beam to the processing zone.
  • the detector arrangement comprises an adjacent to the working laser beam and in the propagation direction in front of the focusing element arranged additional detector whose observation direction extends at least after the focussing element obliquely to the optical axis of the working laser beam to the processing zone.
  • Particularly advantageous for such a device is a profile of the optical axis of the detector obliquely to the optical axis of the working laser beam. In this way, aberrations of the detectors, in particular of cameras, can be eliminated relatively easily.
  • a further alternative is characterized in that the optical axis of the detector extends in the propagation direction of the working laser beam in front of the focusing element substantially parallel to the optical axis of the working laser beam and after the focusing element, after deflection by this element, obliquely towards the processing zone.
  • the observation direction of the detector arrangement is oriented opposite to the direction of movement of the nozzle.
  • the detector arrangement is preferably movable in the circumferential direction around the working laser beam and / or the observation direction can assume different polar angles.
  • another embodiment of the supplemented laser processing apparatus is characterized in that the observation direction of the additional detector extends at least after the focusing element at a polar angle greater than or equal to 2 ° to the optical axis of the working laser beam, preferably at a polar angle between 2 ° and 4 °.
  • FIG. 1 shows the influencing factors and quality features during laser cutting
  • Fig. 2 shows schematically a flame cutting process in different qualities
  • 3 is a diagram of the relationship between cutting process state
  • Fig. 4 coaxial camera shots of laser cutting processes
  • Fig. 5 illustrations of cut surfaces and cutting fronts of samples of different cutting quality
  • FIG. 6 shows the relationship between average cutting front caster and quality class
  • FIG. 7 shows a section through a cutting front with an indicated melt film and the beam path of a detector according to the invention with a large polar angle and a small, conventional polar angle
  • Fig. 9 is a schematic representation of the geometric relationships for the
  • Fig. 11 is a graph for correlating the detector signals of a 10 ° detector with
  • Fig. 12 is a comparison of the signals of the 10 ° and 5 ° detector at
  • Fig. 13 the conditions in a brief cut-off with comparison of the signals of the 10 ° and 5 ° detector.
  • 14 shows a schematic sectional view through the exit region of the laser beam of a laser cutting head and inlet region of process radiation
  • 15 is an overview of the fields of view of various detectors on the cutting front and - in the right part of the figure - their projection onto the surface of the workpiece
  • 16 shows an exemplary detector structure with a cone mirror and eight am
  • FIG. 17 shows a further embodiment of a detector arrangement according to the invention with a plurality of mirror surfaces and a detector array arranged in a cylindrically arranged manner
  • FIG. 18 shows a detector structure according to the invention with a cone mirror
  • FIG. 19 shows a schematic illustration of an arrangement for imaging the lower and upper region of the process zone onto a camera via free-form mirror surfaces
  • Fig. 20 is a schematic representation of an arrangement for eccentric imaging of the lower region of the process zone on a camera.
  • the laser cutting process is, as shown in Fig. 1, dependent on a variety of influencing factors. Some influencing factors are given from outside, z. B. the material quality of the workpiece 1 or the beam quality of the preferably through the opening of a nozzle 2 exiting laser beam 3. Other factors such. For example, the laser power can be adjusted by the CNC control so that the cutting process runs as well as possible under optimal conditions. They are called process parameters. Using an online measurement of process radiation, algorithms are used to calculate signal characteristics (arrow P), which correlate with the quality of the cutting.
  • the interesting result of the laser cutting process are two cutting surfaces 4, which have a certain cutting quality.
  • the cutting quality can be divided into different characteristics.
  • slag residue 5a (FIG. 2) can also occur as a quality defect in laser cutting with cutting gas oxygen. This should be prevented as possible, otherwise part of committee may arise.
  • the emissions from the process zone contain information about the state of the cutting process.
  • the process radiation is preferably detected in the cutting head at suitable positions by means of detectors. From the detector signals characteristics are calculated by means of suitable algorithms, which correlate with the different characteristics of the cutting quality.
  • melt 5 resp. Slag completely from the kerf 6, resp. expelled from the processing zone or cutting front 7. If the shoot is disturbed, depending on the severity, slag 5 can adhere to the lower cut edges or remain in the cut gap 6.
  • a strong expression of slag residue 5a is when the sheet 1 welded in the lower kerf area again. The strongest manifestation is a process tear when the laser beam 3, the sheet 1 is no longer completely severed.
  • FIG. 2 shows in the middle region a cutting process of good quality, with the slag film flowing out on the cutting front 7 (solid / liquid interface). Almost all influencing factors can impair the cutting quality if the setting is poor, ie either lead to a rough cut or disrupt the melt flow. Accordingly diverse are the defects of slag residue 5a.
  • the ratio of nozzle diameter (0D) and cutting front caster ( ⁇ ) is shown realistically.
  • the one shown on the left in FIG. Process state shows a disturbed slag ejection, due to eg wrong setting of the focus position.
  • the cutting front caster can, according to experience, still be the same size as in the flawless process.
  • the physical cutting process state needs a variety of state variables for its description as a function of time. As can be seen in FIG. 3, a subset thereof is formed on the cutting quality, a different subset is visible in the process radiation in the cutting head. These two subsets overlap, but they are never congruent. Depending on the type of process radiation detected and the location of the detectors, different quality features are more or less visible. These theoretical versions are valid for both photodetectors and cameras. In addition, information that is not reflected in the cutting quality is always included in the detected process radiation.
  • detectors which detect the radiation from the process zone coaxially or concentrically (and in parallel) with the processing laser beam 3, either with photodetectors or cameras.
  • the process radiation is directed towards the focusing optics via dichroic mirrors or deflecting perforated mirrors, respectively.
  • the right cutting front 7 (continuous edged) comes from a laser melt cutting process. It is very steep and is thus shown shortened. This means that a lot of information is lost from the upper area of the cutting front 7.
  • the observability of scoring, which arises on the side walls 4 immediately after the cutting front 7, is significantly limited by the shortened coaxial image. Only just the ridge structure, which on the top edge of the cut 6 is visible, can be analyzed.
  • laser cutting a flat cutting front 7, as shown in FIG. 4 is shown on the left. This is never fully visible coaxially through the nozzle 2, except with a too large for an adequate process control nozzle 2 (the opening of the nozzle 2 is shown in dashed lines).
  • Cutting front 7 remains invisible even though slag residue is formed there in bad process conditions, which is the cause of the partial rejection.
  • the tuning of the detector to the cutting edge after-run ⁇ which is typically large in the case of flame cutting, has proved to be advantageous in order, in particular, to be able to detect slag residue.
  • the detector can detect radiation from the lower region of the cutting front, where slag residue can occur.
  • the advantages of such a detector are also obvious for the fusion cutting process: much more radiation can be detected by the detector arrangement according to the invention from the coaxially only visible top area of the cutting front and resulting cut surfaces, whereby in particular the formation of grooves and thus the roughness of the Cutting surface can be detected.
  • the relationship between cutting front caster and cutting quality will be shown first. Subsequently, the essential properties of a suitable non-coaxial detector will be explained and finally it will be shown by means of two examples how the signals of the detector according to the invention correlate with slag residue.
  • the cutting quality classes are ordered on the left starting with good quality "IO” according to sinking quality.A special property of the classes with slag residue must be pointed out: A belonging to the class "Verschweisst” Cut also has slag residue in the kerf. On the other hand, if there is only slag residue in the kerf without welding, the samples are listed in the class “slag kerf.” The slightest quality defect concerning slag is if only slag adheres to the underside of the sheet. In the case of a process break (class “not severed”), the cutting front caster was defined by definition to plate thickness, although it actually grows here against infinity. It was found that the relationship cutting front caster and cutting quality is generally only weakly correlated.
  • the optical properties of the detector according to the invention will be explained, which in particular is intended to detect slag residue and to the above-described properties of the cutting front, respectively. is tuned to the Schneidfrontnachlauf.
  • the cutting front 7, shown in FIG. 7, of a section in steel 20 mm with good cutting quality has a small cutting front following ⁇ , for example about 2 mm. According to the simple trigonometric relationship shown in FIG. 7, this corresponds to an average cutting front inclination ⁇ of 5.7 °.
  • Cutting front 7 is shaped like a semi-circular slide and runs up steeply and increasingly flatter towards the bottom. On this in the cutting direction mitwandernden cutting front 7 the melt flows respectively. Slag 5 against the bottom. In the lower area of the sheet 1, the slag flow is significantly thicker than in the upper area. Depending on the process state, the thickness and exit velocity of the slag flow 5 changes. If one now wants to observe the slag flow and detect any abnormal conditions, such as slag residue 5a, the observation angle is decisive. It is not expedient to observe only the upper and middle region of the process zone 7, whereupon a coaxial system is limited, but the lowest area of the cutting front and the slag flow must be observed.
  • FIG. 7 represented by the limiting lines of the beam 10, which can be detected by a detector with 10 ° polar angle through the cutting nozzle 2 of a laser cutting head 9, compared to a viewing direction of 5 °, shown with a beam 10a, which by a detector with 5 ° polar angle can be detected. It can be seen that the 10 ° detector in the case of a normal
  • Another important property of a detector is the independence of the signal from the cutting direction, or in the case of multiple single detectors or from a spatially resolved image, the invariance of all individual signals from rotation about the optical axis, which is equivalent to changing the cutting direction. If, for example, a full circle is cut, and the cutting process state and thus the quality at the circumference of the cut workpiece are the same everywhere, then always the same (transformed or rotated) signals must be measured. The need for this feature is obvious and has long been demanded in the art. Accordingly, technical solutions have been known for a long time.
  • the radiation from the polar-angle region typical of the invention must be detected azimuthally, ie spatially resolved on the circumference, thereby enabling an azimuthally resolved imaging of the processing zone (FIG. 8, left).
  • This can not be achieved by coaxial observation, but by an embodiment according to the invention with a mirror which redirects the light to a plurality of photodiodes evenly distributed on the detector circumference.
  • the spatial resolution is limited to the discretely available detectors.
  • a cone mirror is used, which provides satisfactory results despite poor focus.
  • the condition of integral decoupling, ie detection of all radiation arriving at the detector mirror can be achieved satisfactorily.
  • Other types of mirrors and mirror shapes are also possible, for example mirrors with focusing segments.
  • the Fig. 8 shows on the left a graphic with the viewing areas 11 of four photodiodes on the sheet metal surface for a typical cutting nozzle. Only direct light was considered. It can be seen that a single detector on the sheet surface has an ellipse-like (geometrical figure bounded by elliptical segments of different small axis) field of view which covers almost a quadrant.
  • FIG. 8 shows the viewing areas when using different cutting nozzles. It is noteworthy that for double cone nozzles (exemplified in FIG. 7) used in flame cutting, the inner cone blurs the center region of the radiation in an arc, while simple cone nozzles on the sheet surface almost reach the center of the cutting gap. As the scattered light graphic on the far right in FIG. 8 indicates, a considerable portion of the radiation is reflected at nozzle inner surfaces. Depending on the type of nozzle, the proportion of reflected light to direct light is about 30% if the area below the nozzle 2 is uniformly illuminated.
  • a detector arrangement according to the invention ensures the azimuthally resolved sluggish view to the rear into the kerf and the cutting direction independent detection of slag residue. It goes without saying that a detector arrangement can also be equipped with more than eight photodiodes, whereby at the same time more than one photodiode receives a direct view backwards into the kerf. This can be advantageous for the algorithmic evaluation of the signals. However, it is also understood that a detection of slag residue also works with less than eight photodiodes, in particular with smaller detector dimensions a and r, or if the detection only has to work in one or a few cutting directions.
  • the signal 10 shows the signals resulting for a full circle of the inventive 10 ° detector. Accordingly, sees the sluggish, ie rearwardly oriented photodiode 13 in a range of about 30 ° resp. +/- 15 ° to the cutting direction direct light from the cutting front 7 and the slag flow 5 in the lower th area of the kerf. In this range, the signal shows a significantly increased level, which, however, depends on the cutting speed and other factors. Furthermore, the signal dynamics in this area are very large, which is caused by the high melt flow dynamics. This area widens as the kerf 6 widens. In the extended range of 90 °, the photodiode still looks directly into the kerf, but only to the side walls.
  • the roughly elliptical viewing area 11 of the photodiodes 13 shown in FIG. 8 still overlaps the kerf. Outside this range, the photodiode sees only reflected light, and the signal level drops significantly. The reflected light is then a mixture of various proportions.
  • the inventive detector arrangement with 10 ° -Polarwinkel can be generalized. As shown very simplified in FIG. 14, it is possible to detect all the radiation 8 which enters through the nozzle at a large polar angle of> 5 ° to the optical axis 14.
  • the polar angle range may also be limited, for example to> 7 ° or, as in the arrangement described in detail above, to approximately 10 °.
  • polar angles> 10 ° may also be advantageous.
  • the radiation-sensitive detector surface 13a is shown cylindrically in FIG. It is preferably located in the laser cutting head 9, between the focusing optics (not shown) and the cutting nozzle 2. Quite generally, however, this surface is to be understood as a spatial entrance surface of the radiation 8, behind which any optical, mechanical and electronic components are contained, around the radiation to divert, depict and capture.
  • the detector arrangement On the basis of this basic principle, many variants can be provided for the specific design of the detector arrangement, for example with direct irradiation of the actual sensors 13.
  • the radiation 8 entering through the nozzle opening can be detected directly by means of one or more detectors 13 which are mounted on the irradiated surface become.
  • the detectors 13 Depending on the orientation and acceptance angle of the detectors 13, only the light from the opening of the nozzle 2 can be selectively detected and unwanted diffuse or direct reflections on inner walls of the processing head 9 can be masked out.
  • Several detectors 13 can be arranged on the circumference. Due to the aperture effect of the nozzle opening, each detector 13 has its own field of view 11 on the process zone, as shown in Fig. 15.
  • that detector 13 which sees backwards in the cutting direction receives radiation from the lower part of the cutting front 7 and, in particular, also from glowing slag residue 5a which, in the case of a poor process state, remains in this lower region of the cutting gap.
  • a deflection of the radiation via one or more optical intermediate elements 12 to the sensors 13 is possible.
  • one or more mirrors may be used for the deflection, for example the conical mirror already mentioned above, or else lenses or prisms or gradient index lenses may be used for deflecting, deflecting or focusing the radiation 8.
  • the sensors can be accommodated at any desired location in the processing head 9, in particular in the propagation direction of the working laser beam 3 either before or after its focusing optics, in particular the last element of the focusing arrangement closest to the processing zone.
  • An advantageous embodiment of the invention uses a ring-shaped deflecting mirror.
  • the radiation from the nozzle opening in a defined polar angle range can be directed to the detectors 13 in a targeted manner.
  • various mirror shapes are possible, the simplest form being a cone mirror 12.
  • Other mirror shapes allow the light to be focused on individual detectors 13 either in the plane of constant azimuth angle by means of a mirror profile concave in this plane and or in the plane perpendicular to the optical axis by means of individual mirror segments focusing on one detector each.
  • radiation 10 may be imaged from a typical polar angle range of 10 ° +/- about 1 ° with a simple conical mirror 12 on one or more detectors 13.
  • the individual photodetectors 13 are preferably distributed uniformly around the circumference, as shown in the right-hand part of FIG. 16.
  • a reasonable circumference resp. Azimuthalauflect is, as derived above, for example, with eight sensors 13 possible.
  • further mirror surfaces 12a may be arranged in the region of the nozzle 2 and / or above the sensors, but still below the focusing optics, which irradiate the radiation either on the same Detector 13 or on several in the height resp.
  • a plurality, preferably eight, or even more line sensors 13b, or vertical arrangements of individual sensors 13, at the same distance from the nozzle opening are arranged distributed over the circumference.
  • small mirror surfaces 12a can also be accommodated in the processing nozzle 2.
  • a detector array is formed. With this an azimuthal and radially spatially resolved image of the process zone can be detected. It is also conceivable that the radiation is deflected in succession via two or more mirrors 12a, 12b before it strikes a sensor 13, 13b.
  • the detector arrangement can have various optical intermediate elements in the observation beam path, such as conical mirrors, segment mirrors or diaphragms.
  • the radiation can also be coupled into optical waveguides and passed elsewhere on photodetectors.
  • a preferred embodiment leads the fiber ends in a line arranged on a line sensor, or as a rectangular block on a surface sensor, whereby a high resolution can be achieved.
  • the opening of the nozzle 2 is the only aperture which acts as an entrance pupil.
  • the achievable resolution is in particular perpendicular to the beam axis resp. limited in azimuthal direction.
  • Circumferential resolution must be installed in front of the deflecting mirrors. This is preferably achieved with slit diaphragms according to FIG. 18.
  • a detector construction with an annular cone mirror 12 and a ring 15 inserted before it with slit apertures 16 distributed along the circumference of the ring 15 is shown. Radiation 8 entering through the machining nozzle 2 passes through the slit diaphragms 16 onto the cone mirror 12 and is reflected by it onto one of the sensors 13, for example onto a sensor ring 17.
  • detectors 13 can be used with different sensitivity ranges with respect to the radiation wavelength.
  • visible wavelength silicon detectors Indium gallium arsenide (InGaAs) detectors for the near infrared range.
  • sensors for ultraviolet and pyro-detectors for far infrared radiation as well as pre-filters for narrower wavelength ranges are used.
  • the wavelength ranges between 0.7 and 1 m and / or between 1.45 and 1.8 ⁇ are preferably provided. In the former case, there is no sensitivity to daylight compared with the unfiltered variant, the corresponding wavelength range is very good from a pyro- metrical point of view, and it is also possible here to work with silicon detectors.
  • the second range of slightly longer wavelengths, measurable with InGaAs photodetectors allows better differentiation of slag compared to liquid metal due to the different emissivity in this wavelength range.
  • FIG. 19 A further embodiment of the invention which is fundamentally different from the above discrete detector devices is shown in FIG. 19.
  • a conventional detector arrangement with a camera 19 in coaxial arrangement and behind the focusing optics 18 is used to image the process zone as usual up to the nozzle edge.
  • the coaxially invisible part of the processing zone is now imaged by way of a suitably curved reflecting free-form surface 12a on the free camera detector surface, next to the coaxial image of the process zone. Due to the imaging properties, it is necessary to position the mirror surface 12a near the process. This increases the risk of contamination. Therefore, a particularly advantageous embodiment of the invention to integrate the mirror surface 12a in the processing nozzle 2, which is replaced regularly.
  • FIG. 20 A further similar embodiment is shown in FIG. 20.
  • a camera 19 with a direct view of the process zone 7 is used as an additional detector arrangement to the above-described embodiments with observation directions at an angle of polarity equal to or greater than 5 ° to the optical axis 14 of the working laser beam 3.
  • this is not arranged in a conventional manner coaxial with the optical axis 14 of the working laser beam, but has, as indicated in Fig. 20, an offset r, between the optical axis 14 of the working laser beam 3 and the optical axis of the camera or their observation direction.
  • the camera 19 is in the direction of propagation of the working laser beam 3 in front of the focusing element such as a lens 18.
  • the lower end of the cutting front directly from the camera images, in real time by means of digital image processing, as a transition between the bright cutting front 7 and the example dark cutting gap 6, are detected.
  • the observation direction of the camera 19 extends at least after the focusing element. ment 18 obliquely to the optical axis of the working laser beam 3 to the processing zone.
  • the optical axis of the detector such as the camera 19 itself, extend obliquely to the optical axis 14 of the working laser beam 3.
  • Another embodiment which allows a very narrow structural design of the laser processing head, has a camera 19, the optical axis in the propagation direction of the working laser beam 3 in front of the focusing element 18 is substantially parallel to the optical axis 14 of the working laser beam.
  • the direction of observation runs obliquely towards the processing zone. In this case, the deflection of the obliquely entering detected radiation onto the camera 19 is accomplished by the focusing element 18.
  • the cutting front wake ⁇ correlates with the slag residue 5a. That If the cutting front caster exceeds a certain threshold, the risk of slag residue is increased. It is particularly advantageous to control the cutting front tracking, which is detected in real time from the camera images, to a specific desired value.
  • the camera arrangement 19 is preferably arranged such that its viewing direction is oriented opposite to the direction of movement of the nozzle 2.
  • the camera arrangement 19 In order to take into account any, even changing directions of movement or advancement of the nozzle 2, it is particularly possible for the camera arrangement 19 to be rotated in accordance with the cutting direction, e.g. with a stepper motor, so that the observation direction 8 is always directed counter to the cutting direction to the rear in the kerf.
  • the offset r can be set differently, so that the polar angle ⁇ between the optical axis of the working laser beam 14 and the optical axis of the camera 19 can assume different values.
  • the maximum polar angle ⁇ is limited by the apertures of the intermediate optics of the working laser beam path. Further, for the purpose of correcting aberrations, the camera axis may be inclined slightly.
  • a particularly advantageous embodiment of the invention is to adjust the offset r by means of an adjustment unit, for example a stepping motor, in real time to the detected cutting front caster up to a defined upper limit.
  • an adjustment unit for example a stepping motor
  • the inventive detector device can detect the incoming quality defect with the polar angle range of 5 ° or more.

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Abstract

Eine Laserbearbeitungsvorrichtung weist eine Anordnung zur Erzeugung und Führung eines Arbeitslaserstrahlssowie eine Düse (2) mit einer Öffnung zum Austritt des Arbeitslaserstrahls zu einer Bearbeitungszone auf. In dieser Anordnung ist eine optische Achse (14) definiert und ist zumindest ein den Arbeitslaserstrahl fokussierendes Element, beispielsweise eine Schneidlinse, nahe der Öffnung der Düse (2) vorhanden. Der Bearbeitungsvorganges wird über eine geeignete Anordnung überwacht. Dies geschieht durch zumindest eine Gruppe von Detektoranordnungen für den Bearbeitungsvorgang charakteristische Strahlung und eine damit verbundene Auswerteeinheit, wobei die Detektoranordnungen jeder Gruppe ringförmig um die optische Achse (14) herum angeordnet sind. Dabei verläuft die Beobachtungsrichtung der Detektoranordnungen zumindest in einem Teilbereich zwischen dem der Bearbeitungszone nächstliegenden fokussierenden Element und der Bearbeitungszone unter einem Polarwinkel Phi1 grösser 5°, in Bezug auf die optische Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3). Vorzugsweise findet diese Vorrichtung Anwendung als Laserschneidvorrichtung.

Description

Laserbearbeitungsvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Laserbearbeitungsvorrichtung, insbesondere Laserschneidvorrichtung, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Für die Bearbeitung von Werkstücken mit einem Laserstrahl ist eine Vorrichtung mit einer Anordnung zur Erzeugung und Führung eines Arbeitslaserstrahls ausgestattet. Der Laserstrahl wird typischerweise durch eine Öffnung einer Düse zu einer Wechselwirkungszone, resp. Bearbeitungszone geführt. Die Anordnung zur Führung des Arbeitslaserstrahls definiert eine optische Achse und weist zumindest ein fokussierendes Element, beispielsweise eine Fokussier- oder Schneid-Linse, nahe der Öffnung auf.
Eine derartige Laserbearbeitungsvorrichtung ist beispielsweise in der EP 2687317 AI beschrieben, wobei auch eine Beobachtungsanordnung offenbart ist, welche zur Zentrierung der Düse in Bezug auf den Arbeitslaserstrahl dient, um eine Berührung der Düse durch den Arbeitslaserstrahl zu vermeiden. Eine Beobachtung der Bearbeitungszone ist hingegen nicht vorgesehen und die Detektoranordung ist auch dafür nicht ausgelegt. Die Beobachtungsrichtung der Detektoranordnung muss für die bestmögliche Düsenzentrierung möglichst koaxial erfolgen, wobei allfällige Abweichungen von der Koaxialität - wie dies in den rein schematischen Abbildungen der EP 2687317 AI zu erkennen ist - notgedrungen daraus folgen, dass einer rein koaxialen Beobachtung der Hochleistungs-Arbeitslaserstrahl im Weg ist. Da dieser aus langwelliger C02-Strahlung besteht, muss jegliche trans- mittive oder teildurchlässige Optik in koaxialer Richtung vermieden werden, die nicht zwingend notwendig ist, weshalb gemäss der Lehre der EP 2687317 AI die Düsenspitze nicht-koaxial beobachtet wird, um jegliche Interaktion mit dem Bear- beitungsstrahl zu vermeiden. Schliesslich muss auch die Detektoranordnung möglichst weit von der Düsenspitze entfernt sein, idealerweise hinter der Fokussier- linse, damit der Polarwinkel für eine optimale Düsenzentrierung möglichst klein ist.
Um derartige Vorrichtungen zur Erzielung des bestmöglichen Bearbeitungsergeb- nisses steuern zu können oder zumindest ungenügende Bearbeitungsergebnisse feststellen zu können, kann vorteilhafterweise eine Anordnung zur Überwachung des Bearbeitungsvorganges vorgesehen sein. Über Detektoren und Sensoren wird Strahlung des Bearbeitungsprozesses gemessen, oder mittels einer Kamera werden Bilder der Wechselwirkungs- oder Bearbeitungszone aufgenommen. Dabei werden je nach Anwendung unterschiedliche Teile des ultravioletten oder sichtbaren Lichtspektrums, des nahen oder fer- nen Infrarots erfasst. Aus den Messwerten werden Qualitätskenngrössen ermittelt, die meistens neben der reinen Überwachung auch für eine Regelung verwendet werden.
In der Literatur werden Detektoren vorgeschlagen, welche die Strahlung aus der Prozesszone koaxial oder konzentrisch (und parallel) zum Bearbeitungslaser- strahl erfassen, entweder mit Fotodetektoren (wie in De Keuster J., Duflou J.R. : Monitoring of high-power C02 laser cutting by means of an acoustic microphone and photodiodes, International Journal of Advanced Manufacturing Technology 35 (1-2), 115-126, 2007 beschrieben) oder Kamera (wie in Sichani E.F., Duflou J.R. : Monitoring and adaptive control of C02 laser flame cutting, Physics Proce- dia 5, Lane 2010 beschrieben). Dabei wird die Prozessstrahlung oberhalb der Fo- kussieroptik, also im geschützten Innenraum des Bearbeitungskopfs über dichro- itische Spiegel oder Umlenk-Lochspiegel resp. Scraperspiegel aus dem Strahlengang des Arbeitslaserstrahls ausgekoppelt. Aufgrund des grossen Abstandes der Fokussieroptik zur Prozesszone und Schneiddüse schränkt deren kleine Öffnung den Sichtbereich quasi auf den Düsendurchmesser ein, und das Winkelspektrum der erfassten Strahlung liegt aufgrund der Apertur der Fokussieroptik bei kleiner 5°.
Bei Flachbettlaserschneidanlagen ist es bekannt, den Prozess auf Plasmabildung zu überwachen. Durch die Erkennung von hellem Plasmalicht anstelle von dunk- lerem Prozesslicht bei normaler Bearbeitung kann Teileausschuss beim Laserschmelzschneiden (mit Schneidgas Stickstoff) verhindert werden. Dazu wird am oder im Schneidkopf ein Fotodetektor angebracht und dessen Signal auf Überschreiten eines zuvor festgelegten Schwellwerts überwacht. Diese Vorgangsweise ist jedoch nicht anwendbar zur Erkennung von Qualitätsdefekten ohne Plasmabil- dung, und insbesondere nicht beim kostengünstigen Laserbrennschneiden, welches mit Sauerstoff als Prozessgas funktioniert. Das Laserbrennschneidverfahren kommt überwiegend bei der Bearbeitung von unlegierten Stahlblechen zum Einsatz und macht den grössten Teil der Produktion auf Laserschneidanlagen aus. Für Laserbrennschneiden sind nur sehr wenige spezialisierte Vorrichtungen und Verfahren bekannt. De Keuster J., Duflou J.R. : Monitoring of high-power C02 la- ser cutting by means of an acoustic microphone and photodiodes, International Journal of Advanced Manufacturing Technology 35 (1-2), 115-126, 2007 be- schreibt eine Anordnung mit drei umfangsmässig verteilten Fotodioden hinter der Schneidlinse im Schneidkopf, wobei aufgrund des geringen möglichen Abstandes der Fotodioden zur optischen Achse und der Platzierung oberhalb der Schneidlinse eine Erfassung von Strahlung nur in einem kleinen Winkelspektrum möglich ist. Die eindeutige Detektion von Qualitätsdefekten ist damit nicht möglich.
Überwachungsverfahren für Laserbrennschneiden mit ortsaufgelöster Beobachtung der Prozesszone mit einer koaxialen Kamera sind ebenfalls bekannt, wobei aus den Kamerabildern der Wechselwirkungszone mittels digitaler Bildverarbeitung Charakteristika des Prozesses für eine Echtzeitsteuerung berechnet werden. Ein dafür geeignetes Kamerasystem ist in EP 1886757 AI offenbart.
Weiter wird in DE 102013209526 AI ein Verfahren offengelegt, welches einen Prozessabriss während dem Laserbrennschneiden detektieren kann. Die Kamerabilder der Prozesszone werden auf das Vorkommen von Schlacketropfen hin analysiert, welche den Prozessabriss anzeigen. Dieser schlimmste aller Qualitätsdefekte beim Laserbrennschneiden ist aber auch mit einem herkömmlichen einfa- chen Fotodiodensystem und geeigneten Signalverarbeitungsalgorithmen detek- tierbar. Zudem führt bereits der viel geringere Qualitätsdefekt von Schlackenrückstand im Schnittspalt zu Teileausschuss, was offensichtlich das offengelegte Verfahren nicht detektieren kann.
Der folgende Stand der Technik offenbart sämtlich nicht für Laserbrennschneiden spezialisierte Vorrichtungen und Verfahren, weshalb mit diesen keine entsprechende Überwachung möglich ist. Diese Tatsache wird dadurch untermauert, dass heute kein kommerzielles System verfügbar ist, welches den Laserbrenn- schneidprozess überwachen kann.
In DE 102011003717 AI werden ein Verfahren und eine Vorrichtung offenbart, welche mit einer koaxialen Kamera die Wechselwirkungszone beim Laserschneiden erfassen und mittels Bildverarbeitung verschiedene geometrische Merkmale der Wechselwirkungszone und angrenzende Schnittspaltkanten detektieren. Daraus wird mindestens ein Schneidqualitätskennwert berechnet. In WO 2012143899 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung offenbart, welche den Laserbearbeitungsprozess mit einer Detektoreinheit mit Fotodioden und verschiedenen Wellenlängen-Bandpassfiltern überwacht und regelt. Die Fotodiode liegt seitlich und das Licht aus der Prozesszone von dortigen vorhandenen emit- tierenden Materialien wird mittels eines nicht-koaxialen Spiegels auf diesen seitlichen (ebenfalls nicht-koaxialen) Detektor geleitet.
In EP 2 357 057 AI ist ein Verfahren zur Überwachung und Regelung eines Laserbearbeitungsprozesses beschrieben, welches mithilfe von erfassten Detektorsignalen und statistischen Modellen die Schneidqualität bestimmen kann. Aus den Detektorsignalen werden Charakteristiken berechnet, die mit den Charakteristiken eines Referenzschnitts normiert werden. Mithilfe einer Vielzahl von statistischen Modellen wird die Zugehörigkeit des aktuellen Bearbeitungsergebnisses zu einer bestimmten Schneidqualität und einer dazugehörigen Korrektur- massnahme in Form einer Bearbeitungsparameter-Änderung bestimmt.
Die EP 1 275 465 Bl beschreibt ein System zur automatischen Erkennung von schlechter Schneidqualität, insbesondere Grat, ohne Referenzsignale hinterlegen zu müssen. Die Prozessstrahlung wird mit einem teildurchlässigen Spiegel aus dem Arbeitsstrahlengang ausgekoppelt und über ein optisches Filter auf eine Fotodiode geführt. Das Signal wird digital gewandelt und mit einem Bandpassfilter im Hochfrequenzbereich gefiltert. Dadurch kann direkt auf Schlackenrückstand oder Grat geschlossen werden.
In US 7 173 227 B2 wird ein Detektor offenbart, welcher die emittierte Strahlung vom Bearbeitungsprozess misst, um damit die Laserleistung und den Bearbeitungsvorschub regeln zu können. In einer Initialisierungsphase vor der Ausliefe- rung der Maschine wird für jedes Material eine Kennlinie der Laserleistung versus Bearbeitungsqualität aufgenommen. Vor jeder Bearbeitung und regelmässig während der Bearbeitung wird das System automatisch mithilfe einer Kalibrierlichtquelle abgeglichen.
In DE 10 2005 024 085 AI wird ein Laserbearbeitungskopf mit Kamera und koa- xialem Fotodetektor offenbart, zur Überwachung resp. Charakterisierung eines Laserbearbeitungsvorgangs.
In DE102010020183 AI wird ein Laserschneidkopf offenbart, der mit einer Kamera zur Bestimmung der Schnittspaltbreite ausgerüstet ist. Dabei kann der Schnittspalt auch beleuchtet werden. In DE 102011 004 117 AI wird ein Verfahren zur Kontrolle von lasergeschnittenen Werkstücken offenbart. Nach dem Schneiden einer (kleinen) Innenkontur resp. eines Lochs wird der Schneidkopf in deren Mitte positioniert und durch erneutes Einstechen überprüft, ob das Abfallteil herausgefallen ist oder nicht. Falls beim Einstich keine Emissionen entstehen, ist das Loch herausgefallen. Ein ähnliches Verfahren offenbart DE 10 2010 039 525 AI, wonach die Anwesenheitsprüfung der geschnittenen Innenkontur mit dem Abstandssensor der Schneiddüse überprüft wird. Beide Verfahren werden zur Qualitätskontrolle von Lochblechen angewendet, bevor diese weitere Fertigungsschritte durchlaufen.
In US 2004 0195215 wird mithilfe von Laserdistanz-Sensoren die Einschneidtiefe beim Laser-Sublimationsschneiden von Metallen und Verbundwerkstoffen geregelt. Das Verfahren wird vorzugsweise zur Perforierung von Airbag-Verschalun- gen eingesetzt.
In WO 2010057662 AI wird ein System offenbart, welches Prozessemissionen mit mindestens zwei Detektoren erfasst. Dabei können akustische Sensoren, Fotodetektoren und eine Kamera zum Einsatz kommen. Aus den originalen Signalen werden mithilfe geeigneter Methoden der statistischen Dimensionsreduktion Charakteristiken berechnet. Mithilfe von Expertenwissen werden Produktionsprozesse wie Laserschweissen assistiert und sogar geregelt.
In WO 2012000650 AI wird ein System offenbart, welches aus Kamerabildern der Prozesszone die Bearbeitungsqualität mithilfe Verfahren aus der künstlichen Intelligenz klassifiziert und den Produktionsprozess wie z.B. Laserschweissen regelt. Damit wird die Prozesssicherheit und Flexibilität sowie die einfache Operabilität erhöht.
Die WO 2015036140 AI schliesslich offenbart, in Gegensatz zu den oben erläuterten Lösungen mit reiner Strahlungsdetektion, eine Bilderfassungseinrichtung mit einer einzelnen, aus baulichen Gründen weit oberhalb der Düse und auch der Bearbeitungsoptik positionierten Kamera zur Beobachtung der Bearbeitungszone, um damit ein Bild des Wechselwirkungsbereiches zu erzeugen. Die der Kamera vorgelagerte Abbildungsoptik koppelt mithilfe beispielsweise einer exzentrischen Blende ein exzentrisches Strahlenbündel aus, um entgegen der Bearbeitungsrichtung (d.h. entgegen der Bewegungsrichtung des Laserbearbeitungskopfes, also„schleppend") in den Schnittspalt zu schauen. Dabei wird auch eine platzaufwendige komplexe Abbildungsoptik benötigt, um ein oder mehrere Bilder nichtkoaxial auf die Kamera abzubilden. Einer der Nachteile einer solchen Anordnung ist es, dass die Kamera hinter der Fokussierlinse für den Arbeitslaserstrahl angeordnet sein muss, was Einschränkungen betreffend des maximalem Sichtwinkels mit sich bringt und damit zur Überwachung insbesondere eines Brennschneidprozesses nicht ausreicht. Mit den Schneidoptiken üblicher Laserbearbeitungsköpfe lässt sich ein Sichtwinkel von maximal 5° erzielen. Demgegenüber ist in der WO 2012000650 AI von Sichtwinkeln bis 15° die Rede und für den Brennschneidprozess sind ca. 10° erforderlich. Die Konsequenz wäre, dass die Schneid- bzw. Fokussierlinse um mindestens einen Faktor 2 gegenüber den bekannten Ausführungsformen vergrössert werden müsste. Dies ist zwar prinzipiell möglich, führt aber zu einer starken Vergrösse- rung und massiven Gewichtszunahme des Laserbearbeitungskopfes und erlaubt es daher nicht, schlanke, leichte Laserbearbeitungsköpfe zu bauen, die ein hochdynamisches Laserschneiden ermöglichen. Diese Lösung ist also denkbar untauglich für die praktische industrielle Anwendung.
Eine andere Möglichkeit für eine Vergrösserung des Beobachtungswinkels mit einer im Laserschneidkopf angeordneten Kamera sieht gemäss der WO
2012000650 Alvor, neben der Schneidlinse hindurch auf die Beobachtungszone zu blicken. Dies erscheint jedoch aufgrund der notwendigen Halterung nicht umsetzbar und wird auch gar nicht weiter ausgeführt. Eine nicht erwähnte Möglich- keit, grosse Sichtwinkel zu ermöglichen, besteht darin, eine Kamera samt vorgelagerter Abbildungsoptik mit einem teildurchlässigen schrägen Spiegel unterhalb der Schneid- oder Fokussierlinse einzubauen. Dies ist jedoch aus Gründen wie Verschmutzung, geringem Platzangebot, etc. nicht industrietauglich umsetzbar.
Ein weiterer Nachteil des in der WO 2012000650 AI offenbarten Verfahrens liegt darin, dass die unter schleppender Beobachtung erfassten Kamerabilder nur sehr wenige ausgeprägte Bildmerkmale enthalten. Entsprechend wird darauf hingewiesen, dass, um Rückschlüsse auf den Winkel der Schneidfront ziehen zu können, bereits die Auswertung der Gesamtbildintensität die wesentliche Information liefert.
Vor diesem Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer Anordnung zur Überwachung insbesondere eines Laserbrennschneidprozesses bereitzustellen, welche die wesentlichen Qualitätsdefekte, wie z.B. Schlackenrückstand, robust in Echtzeit, während dem Be- arbeitungsprozess, detektieren und Teileausschuss verhindern kann. Zudem soll die Vorrichtung auf die speziellen Eigenschaften des Laserbrennschneidens abgestimmt sein. Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Laserbearbeitungsvorrichtung, insbesondere zur Durchführung von Laserbrennschneidvorgängen, derart zu verbessern, dass eine möglichst vollständige Erfas- sung von Strahlung aus der Prozesszone gewährleistet werden kann, um damit eine verbesserte Ermittlung von Qualitätsmerkmalen bereits während des Schneidvorganges bei verschiedensten Laserbearbeitungsmethoden zu ermöglichen.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs gelöst. Vor- teilhafte Weiterbildungen sind in den Figuren und in den abhängigen Patentansprüchen dargelegt.
Gemäss der Erfindung ist eine eingangs charakterisierte Laserbearbeitungsvorrichtung, insbesondere für eine Laserschneidvorrichtung, mit zumindest einer Gruppe von Detektoranordnungen ausgestattet, welche für eine für den Bearbei- tungsvorgang charakteristischen Strahlung empfindlich sind. Diese Detektoranordnungen sind mit zumindest einer Auswerteeinheit verbunden, wobei die Detektoranordnungen jeder Gruppe ringförmig um die optische Achse herum angeordnet sind. Die Beobachtungsrichtung der Detektoranordnungen - welcher Begriff für den Fall eines beispielsweise kegelförmigen Beobachtungsstrahlenbün- dels dessen zentrale Achse benennt - ist zumindest in einem Teilbereich zwischen dem der Bearbeitungszone nächstliegenden fokussierenden Element und der Bearbeitungszone unter einem Polarwinkel grösser 5° in Bezug auf die optische Achse des Arbeitslaserstrahls orientiert. Dieser Teilbereich mit einer Beobachtungsrichtung mit grossem Polarwinkel liegt dabei vorzugsweise in einem dem fokussierenden Element entfernteren Teilbereich, insbesondere im Bereich zwischen der Bearbeitungszone und dem unteren Randbereich der Düse. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform sieht dabei Beobachtungsrichtungen unter einem Polarwinkel grösser oder gleich 7° vor, insbesondere unter einem Polarwinkel von ca. 10° oder mehr.
Die erfindungsgemässe Anordnung sieht also Strahlungsdetektoranordnungen für eine für den Bearbeitungsvorgang charakteristischen Strahlung vor, welche keinerlei aufwendige, schwere und viel Bauraum beanspruchende bilderzeugende Optiken erfordert, auch keine Apertur-Vergrösserung der Optiken für den Arbeitslaserstrahl erfordert, um die Beobachtung aus grösseren Polarwinkeln zu gestatten, und daher die Laserbearbeitungsköpfe nicht grösser bzw. schwerer macht. Die Überwachungsanordnung findet deshalb in einem marktüblichen Laserschneidkopf problemlos Platz. Die optimale Prozessüberwachung kann online durch Ermittlung der Gesamtintensität der Strahlung aus der Bearbeitungszone durch die Strahlungsdetektoren erfolgen, mit einer sehr hohen zeitlichen Auflö- sung, die sonst nur mit Hochgeschwindigkeitskameras erreicht werden könnte.
Vorzugsweise sind die Detektoranordnungen entlang zumindest eines zur optischen Achse koaxialen und im Wesentlichen senkrechten Kreises angeordnet, um in einfacher Weise eine Beobachtung der Bearbeitungszone aus jeder beliebigen Richtung zu ermöglichen bzw. die Berücksichtigung beliebiger, auch wechselnder Bewegungs- bzw. Vorschubrichtungen zu gestatten, d.h. insbesondere zu jedem Zeitpunkt auf jeden beliebigen Bereich der Bearbeitungszone zu blicken. Damit ist jederzeit auch die Beobachtung des kompletten Schnittspaltes gewährleistet. Insbesondere kann damit die Bearbeitungszone zu jedem beliebigen Zeitpunkt auch schleppend, d.h. entgegen der Bewegungsrichtung des Bearbeitungskopfes betrachtet werden. Dabei können natürlich auch gewisse Abweichungen von
Kreisform und/oder Koaxialität der Detektoranordnungen auftreten, wenn es die baulichen Gegebenheiten des jeweiligen Laserbearbeitungskopfes erforderlich machen.
Bevorzugt ist die erfindungsgemässe Laserbearbeitungsvorrichtung dadurch ge- kennzeichnet, dass zumindest ein optisches Zwischenelement für zumindest eine Detektoranordnung, allenfalls die gesamte Detektoranordnung, zwischen dem der Bearbeitungszone nächstliegenden fokussierenden Element und der Bearbeitungszone angeordnet ist. Vorzugsweise ist dieses Zwischenelement als Umlenkanordnung für die Strahlung, insbesondere als Reflektoranordnung oder Spiegel, ausgelegt. Für besondere Anwendungen ist die Anordnung mehrerer untereinanderliegender Spiegelsegmente oder sogar einer gekrümmten Freiformfläche als Umlenkanordnung vorteilhaft. Um sehr grosse Polarwinkel des Beobachtungsstrahlenbündels jenseits 10° zu erreichen, wird als Anbringungsort der Zwischenelemente insbesondere die Innenseite des unteren Randbereichs der Düse vorgesehen bzw. wird dieser Randbereich selbst als Umlenkanordnung, speziell als Reflektor, ausgebildet.
Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht zumindest eine Detektoranordnung vor, deren Beobachtungsrichtung in einem Bereich des Azimutwinkels von maximal 45° zur Bewegungsrichtung der Düse und entgegen de- ren Bewegungsrichtung auf die Bearbeitungszone gerichtet ist. Dabei umfasst der Ausdruck «Beobachtungsrichtung» auch die zentrale Achse eines beispielsweise kegelförmigen Beobachtungsstrahlenbündels der Detektoranordnung. Mit dieser Ausführungsform ist jedenfalls die «schleppende» Beobachtung der Bearbeitungszone gewährleistet, wobei insbesondere bei Schneidvorgängen von di- cken Blechen ab 8 mm der hintere bzw. untere Bereich der Bearbeitungszone resp. des Schnittspalts beobachtet werden kann, welcher hinter bzw. ausserhalb dem durch die Düse koaxial sichtbaren Bereich liegt.
Vorzugsweise umfasst jede um die optische Achse herum angeordnete Gruppe von Detektoranordnungen mindestens fünf, insbesondere mindestens acht De- tektoranordnungen. Diese sind vorteilhafterweise umfangsmässig gleichverteilt um die optische Achse der Anordnung positioniert und gewährleisten eine ausreichende umfangsmässige Auflösung in Azimutrichtung.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass zumindest eine Detektoranordnung einen Detektor sowie zumindest eine Anordnung mit einem optischen Zwischenelement aufweist, vorzugsweise eine Umlenkanordnung. Dabei ist zumindest einer der Detektoren derart gestaltet, dass dieser ein fächerförmiges Beobachtungsstrahlenbündel bezüglich des Polarwinkels aufweist und die Anordnung der einem bestimmten Detektor zugeordneten optischen Zwischenelemente sich betreffend des Polarwinkels unterscheidende Seg- mente des fächerförmigen Beobachtungsstrahlenbündels dieses Detektors auf denselben Bereich der Bearbeitungszone hin umlenkt. Der Begriff„fächerförmiges" Strahlenbündel soll zum Ausdruck bringen, dass das Beobachtungsfeld der Detektoranordnung, d.h. auch genannt dessen Beobachtungsstrahlen, in zwei orthogonalen Richtungen stark unterschiedlich ist. In weiterer Folge werden die Begriffe„optisches Zwischenelement" und„Reflektoranordnung",„Spiegel", usw. im gleichen technischen Sinn verwendet und können beliebig gegeneinander ausgetauscht werden.
Bevorzugt für die Erfindung sind mehrere Detektoren bzw. Zwischenelemente in im Wesentlichen dem gleichen Azimutwinkel ß um die optische Achse vorgese- hen, deren Beobachtungsrichtungen aus unterschiedlichen Polarwinkeln auf die Bearbeitungszone hin gerichtet sind. Alternativ dazu könnte auch ein Detektor bzw. eine Umlenkanordnung in im Wesentlichen dem gleichen Azimutwinkel ß um die optische Achse zwischen unterschiedlichen Polarwinkeln oszillieren und die Beobachtungsrichtung jeweils aus unterschiedlichen Polarwinkeln auf die Be- arbeitungszone hin ausrichten. Eine weitere Ausführungsform kann dadurch gekennzeichnet sein, dass mehrere Umlenkanordnungen in unterschiedlichen Azimutwinkeln ß um die optische Achse vorzugsweise gleich verteilt angeordnet sind.
Eine erfindungsgemässe Laserbearbeitungsvorrichtung kann auch vorteilhafter- weise derart gestaltet sein, dass zumindest eine der Detektoranordnungen einen Detektor sowie zumindest ein optisches Zwischenelement umfasst, welches die Gesamtheit der unter einem bestimmten Polarwinkel von der Bearbeitungszone ausgehenden Strahlung auf den Detektor lenkt. Dazu wird das Zwischenelemente vorzugsweise als Reflektoranordnung ausgelegt sein.
Eine weitere alternative Ausführungsform der Laserbearbeitungsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoranordnungen ringförmig um die optische Achse herum angeordnete Einkoppelstellen für die Strahlung in Strahlungsleitanordnungen oder weitere Umlenkanordnungen sowie entfernt von den Einkoppelstellen bzw. den weiteren Umlenkanordnungen positionierte Detektoren umfassen. Auch hier ist wieder vorteilhafterweise eine geometrische Anordnung gewählt, bei welcher die Einkoppelstellen für die Strahlung aus der Bearbeitungszone entlang zumindest eines zur optischen Achse koaxialen und im Wesentlichen senkrechten Kreises angeordnet sind. Möglich sind auch hier mehrere übereinanderliegende Kreise für diese Einkoppelstellen, wie sie auch für die Detek- toranordnungen an sich möglich sind.
Als Strahlungsdetektoren kommen vorteilhafterweise Fotodetektoren für die Detektoranordnungen zum Einsatz, die insbesondere als Fotodioden, Thermosäulen oder Zeilensensoren ausgeführt sind.
Bevorzugt sind die Detektoranordnungen für zumindest zwei unterschiedliche Wellenlängenbereiche und/oder Strahlungsarten empfindlich, vorzugsweise für Wellenlängenbereiche zwischen 0.7 und 1 pm und/oder zwischen 1.45 und 1.8 pm. Dies kann durch die Bauart der Detektoren selbst erreicht werden, als auch beispielsweise durch Spektralfilter vor den Detektoranordnungen bzw. zumindest vor dem eigentlichen Detektor selbst. Damit sind auch besonders schmalbandige und damit besonders aussagekräftige Messungen möglich.
Um die Abbildungsqualität der Detektoranordnungen zu optimieren, können vor den Detektoren oder vor den Zwischenelementen Blendenanordnungen, insbesondere Schlitzblenden, angeordnet sein. Vorteilhafterweise können bei einer alternativen erfindungsgemässen Ausführungsform der Laserbearbeitungsvorrichtung zumindest einige Detektoren und/oder zumindest einige Zwischenelemente in der Düse eingesetzt oder darin ausgebildet sein. Besonders vorteilhaft ist dies für Zwischenelemente in Form von Reflektoranordnungen, insbesondere von Spiegeln oder spiegelnd ausgeführten Bereichen der Düseninnenwandung. Dabei sind die Anordnung zur Erzeugung und Führung eines Arbeitslaserstrahls und die Düse vorzugsweise lösbar miteinander verbunden.
Alle oben erläuterten Merkmale tragen dazu bei, dass zur verbesserten Erfassung relevanter Qualitätsparameter des Schneidprozesses Strahlung aus einem erweiterten Bereich des Schnittspaltes, d.h. mit grossen Polarwinkeln zur optischen Achse, erfasst werden kann.
Als Ergänzung zur bislang erläuterten erfindungsgemässen Laserbearbeitungsvorrichtung zur bevorzugt Online-Prozesskontrolle von Laserbearbeitungsvorgän- gen, insbesondere von Laserbrennschneidprozessen, können vorteilhafterweise zusätzlich ein Detektor mit einer Beobachtungsrichtung parallel zur optischen Achse und ein optisches Zwischenelement vorgesehen sein. Bevorzugt ist dabei der Detektor auf der der Bearbeitungszone abgewandten Seite des fokussieren- den Elementes positioniert. Ebenfalls bevorzugt ist dabei die Positionierung des optischen Zwischenelementes zwischen dem fokussierenden Element und der Bearbeitungszone, möglichst innerhalb der Düse. Wieder ist es aber von erfindungswesentlicher Bedeutung, dass auch hier das Zwischenelement die Beobachtungsrichtung des Detektors für zumindest einen Azimutwinkel ß auf einen Polarwinkel grösser 5° in Bezug auf die optische Achse des Arbeitslaserstrahls in Richtung auf die Bearbeitungszone hin umlenkt. Bevorzugt wird mit Polarwinkeln grösser oder gleich 7°, insbesondere Polarwinkeln von ca. 10° oder mehr, gearbeitet.
Für diese ergänzte Laserbearbeitungsvorrichtung sieht eine bevorzugte Ausführungsform vor, dass das Zwischenelement die Beobachtungsrichtung des Detek- tors in einem Bereich des Azimutwinkels ß von maximal 45° zur Bewegungsrichtung der Düse und entgegen deren Bewegungsrichtung auf die Bearbeitungszone hin umlenkt. Dabei ist vorgesehen, dass das Zwischenelement die Strahlung aus der Bearbeitungszone zumindest aus unterschiedlichen Polarwinkeln, vorzugsweise auch aus unterschiedlichen Azimutwinkeln ß, auf den parallel zur optischen Achse ausgerichteten Detektor umlenkt. Bevorzugt ist auch eine Laserbearbeitungsvorrichtung vorgesehen, bei welcher die Detektoranordnung einen neben dem Arbeitslaserstrahl und in dessen Ausbreitungsrichtung vor dem fokussierenden Element angeordneten zusätzlichen Detektor umfasst, dessen Beobachtungsrichtung zumindest nach dem fokussie- renden Element schräg zur optischen Achse des Arbeitslaserstrahls auf die Bearbeitungszone hin verläuft. Besonders vorteilhaft für eine derartige Vorrichtung ist ein Verlauf der optischen Achse des Detektors schräg zur optischen Achse des Arbeitslaserstrahls. Damit lassen sich Abbildungsfehler der Detektoren, insbesondere von Kameras, relativ einfach beseitigen.
Eine weitere Alternative ist dadurch gekennzeichnet, dass die optische Achse des Detektors in Ausbreitungsrichtung des Arbeitslaserstrahls vor dem fokussierenden Element im Wesentlichen parallel zur optischen Achse des Arbeitslaserstrahls verläuft und nach dem fokussierenden Element, nach Ablenkung durch dieses Element, schräg auf die Bearbeitungszone hin verläuft.
Auch kann im Rahmen der Erfindung dafür vorgesehen sein, dass die Beobachtungsrichtung der Detektoranordnung entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung der Düse ausgerichtet ist. Vorzugsweise ist dabei die Detektoranordnung in Um- fangsrichtung um den Arbeitslaserstrahl herum bewegbar und/oder kann die Beobachtungsrichtung unterschiedliche Polarwinkel annehmen.
Schliesslich ist eine weitere Ausführungsform der ergänzten Laserbearbeitungsvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Beobachtungsrichtung des zusätzlichen Detektors zumindest nach dem fokussierenden Element unter einem Polarwinkel grösser gleich 2° zur optischen Achse des Arbeitslaserstrahls verläuft, vorzugsweise unter einem Polarwinkel zwischen 2° und 4°.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, in der unter Bezugnahme auf die Zeichnungen Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben sind. Dabei können die in den Ansprüchen und in der Beschreibung erwähnten Merkmale jeweils einzeln für sich oder in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein.
Die Bezugszeichenliste ist Bestandteil der Offenbarung. Die Figuren werden zusammenhängend und übergreifend beschrieben. Gleiche Bezugszeichen bedeuten gleiche Bauteile, Bezugszeichen mit unterschiedlichen Indices geben funktionsgleiche oder ähnliche Bauteile an.
Es zeigen dabei : Fig. 1 die Einflussfaktoren und Qualitätsmerkmale beim Laserschneiden,
Fig . 2 schematisch einen Brennschneidprozess in verschiedenen Qualitäten,
Fig. 3 ein Diagramm zum Zusammenhang zwischen Schneidprozesszustand,
Schneidqualität und Prozessstrahlung,
Fig . 4 koaxiale Kameraaufnahmen von Laserschneidprozessen,
Fig . 5 Abbildungen von Schnittflächen und Schneidfronten von Proben unterschiedlicher Schneidqualität,
Fig. 6 den Zusammenhang Mittelwert Schneidfrontnachlauf und Qualitätsklasse,
Fig. 7 einen Schnitt durch eine Schneidfront mit angedeutetem Schmelzfilm sowie den Strahlengang eines Detektors mit erfindungsgemässem grossem Polarwinkel sowie kleinem, herkömmlichem Polarwinkel,
Fig. 8 links die Sichtbereiche von vier Fotodioden unterhalb der Schneiddüse, in der Mitte die Sichtbereiche für eine Fotodiode bei unterschiedlichen Schneiddüsen, und rechts eine Simulation mit Streulicht,
Fig . 9 eine schematische Darstellung der geometrischen Verhältnisse für den
Grenzfall der direkten Sicht nach unten in den Schnittspalt, inkl. Berechnung des Grenzwinkels ß zwischen Schneidrichtung und Diodenachse,
Fig. 10 ein Diagramm mit den Signalen von acht Fotodioden beim Schneiden eines Vollkreises,
Fig . 11 eine Grafik zur Korrelation der Detektorsignale eines 10°-Detektors mit
Schlackenrückstand im Schnittspalt,
Fig. 12 eine Gegenüberstellung der Signale des 10° und 5°-Detektors bei
Schlackenrückstand im Schnittspalt,
Fig . 13 die Verhältnisse bei einem kurzzeitigen Schnittabriss mit Gegenüberstellung der Signale des 10° und 5°-Detektors.
Fig. 14 eine schematische Schnittansicht durch den Austrittsbereich des Laserstrahls eines Laserschneidkopfes und Eintrittsbereich von Prozessstrah- lung, Fig. 15 eine Ubersichtsdarstellung der Sichtfelder verschiedener Detektoren auf die Schneidfront und - im rechten Teil der Abbildung - deren Projektion auf die Oberfläche des Werkstücks,
Fig. 16 einen beispielhaften Detektoraufbau mit Konusspiegel und acht am
Umfang verteilten Fotodetektoren,
Fig. 17 eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemässen Detektoranordnung mit mehreren Spiegelflächen und einem zylindrisch angeordneten Detektor-Array,
Fig. 18 einen erfindungsgemässen Detektoraufbau mit Konusspiegel und
Schlitzblenden,
Fig. 19 eine schematische Darstellung einer Anordnung zur Abbildung des unteren und oberen Bereiches der Prozesszone auf eine Kamera via Freiform-Spiegelflächen, und
Fig. 20 eine schematische Darstellung einer Anordnung zur exzentrischen Abbildung des unteren Bereiches der Prozesszone auf eine Kamera.
Zur Beobachtung und Kontrolle von Laserbearbeitungsprozessen kommen sehr spezialisierte Vorrichtungen und Verfahren zum Einsatz, welche sich eng an den Eigenschaften des jeweiligen Prozesses (Schweissen, Schneiden, Bohren, usw.) orientieren müssen. Dies ist insbesondere beim Laserbrennschneiden der Fall. Dem Fachmann ist bekannt, dass der Stand der Technik bisher grösstenteils Lösungen für Laserschweissen umfasst, nicht aber funktionierende und spezialisierte Lösungen für Laserschneiden, insbesondere nicht für Laserbrennschneiden.
Im Folgenden werden deshalb die wichtigen physikalischen Aspekte im Hinblick auf ein Prozessmonitoring von Laserbrennschneiden ausgeführt. Dabei wird sich zeigen, dass eine für Laserbrennschneiden ausgelegte Detektoranordnung auch für Laserschmelzschneiden entscheidende Vorteile bringt.
Über den Laserbrennschneidprozess und dessen Theorie existiert eine Vielzahl an Publikationen. An dieser Stelle sei nur die schon alte, aber sehr gute Publikation Arata, Y., et.al. : Dynamic Behaviour in Laser Gas Cutting of Mild Steel, Transac- tions of JWRI, Vol.8 ( 1979) No.2, S.175-186 erwähnt, welche einige Eigenheiten und Zusammenhänge sehr anschaulich aufzeigt.
Der Laserschneidprozess ist, wie in Fig. 1 dargestellt ist, von einer Vielzahl von Einflussfaktoren abhängig. Einige Einflussfaktoren sind von aussen vorgegeben, z. B. die Materialqualität des Werkstücks 1 oder die Strahlqualität des durch vorzugsweise die Öffnung einer Düse 2 austretenden Laserstrahls 3. Andere Einflussfaktoren, wie z. B. die Laserleistung, können von der CNC-Steuerung so an- gepasst werden, dass der Schneidprozess möglichst unter optimalen Bedingun- gen abläuft. Sie werden Prozessparameter genannt. Mithilfe einer Online-Messung von Prozessstrahlung werden mittels Algorithmen Signal-Charakteristiken berechnet (Pfeil P), welche mit der Schneidqualität korrelieren.
Das interessierende Ergebnis des Laserschneidprozesses sind zwei Schnittflächen 4, welche eine bestimmte Schneidqualität aufweisen. Die Schneidqualität kann in verschiedene Merkmale unterteilt werden. Neben den Merkmalen Rechtwinkligkeit und Rauheit, kann beim Laserbrennschneiden mit Schneidgas Sauerstoff auch Schlackenrückstand 5a (Fig. 2) als Qualitätsdefekt auftreten. Dieser soll möglichst verhindert werden, da sonst Teileausschuss entstehen kann.
Die Emissionen von der Prozesszone, wie Strahlung oder Schall, enthalten Infor- mationen zum Zustand des Schneidprozesses. Die Prozessstrahlung wird bevorzugt im Schneidkopf an geeigneten Positionen mittels Detektoren erfasst. Aus den Detektorsignalen werden mithilfe von geeigneten Algorithmen Charakteristiken berechnet, welche mit den verschiedenen Merkmalen der Schneidqualität korrelieren.
Bei guter Schneidqualität wird die Schmelze 5 resp. Schlacke vollständig aus dem Schnittspalt 6, resp. von der Bearbeitungszone oder Schneidfront 7 ausgetrieben. Ist der Austrieb gestört, kann je nach Schweregrad Schlacke 5 an den unteren Schnittkanten ankleben oder im Schnittspalt 6 zurückbleiben . Eine starke Ausprägung von Schlackenrückstand 5a ist, wenn das Blech 1 im unteren Schnittfugenbereich wieder verschweisst. Die stärkste Erscheinungsform ist ein Prozessabriss, wenn der Laserstrahl 3 das Blech 1 nicht mehr vollständig durchtrennt.
Fig . 2 zeigt im mittleren Bereich einen Brennschneidprozess in guter Qualität, mit dem auf der Schneidfront 7 (Grenzfläche fest/flüssig) abfliessenden Schla- ckefilm. Fast alle Einflussfaktoren können bei schlechter Einstellung die Schneidqualität beeinträchtigen, also entweder zu rauem Schnitt führen oder den Schmelzeaustrieb stören. Entsprechend vielfältig sind die Fehlerbilder von Schlackenrückstand 5a. Das Verhältnis von Düsendurchmesser (0D) und Schneidfrontnachlauf (Δηο) ist wirklichkeitsgetreu dargestellt. Der in Fig. 2 links darge- stellte Prozesszustand zeigt einen gestörten Schlackeaustrieb, infolge z.B. falscher Einstellung der Fokuslage. Der Schneidfrontnachlauf kann aber erfahrungs- gemäss noch gleich gross sein, wie beim einwandfreien Prozess. Im Unterschied dazu zeigt der in Fig. 2 rechts dargestellte Prozesszustand einen sehr grossen Schneidfrontnachlauf (Am), welcher z.B. infolge zu hohem Vorschub zustande kommen kann. Entsprechend gross ist der Schlackenrückstand 5a, resp. das Wieder-Verschweissen der beiden Schnittflächen. Im Extremfall erfolgt ein Schnittabriss.
Der physikalische Schneidprozesszustand braucht zu seiner Beschreibung als Funktion der Zeit eine Vielzahl an Zustandsgrössen. Wie in Fig. 3 zu erkennen ist, bildet sich eine Teilmenge davon auf die Schneidqualität ab, eine andere Teilmenge ist in der Prozessstrahlung im Schneidkopf sichtbar. Diese beiden Teilmengen überschneiden sich, aber sie sind nie deckungsgleich. Je nach Art der erfassten Prozessstrahlung und dem Ort der Detektoren sind unterschiedliche Qualitätsmerkmale mehr oder weniger sichtbar. Diese theoretischen Ausführungen sind sowohl für Fotodetektoren wie auch für Kameras gültig. Zusätzlich sind in der erfassten Prozessstrahlung immer auch Informationen enthalten, welche sich nicht in der Schneidqualität wiederspiegeln.
Meist werden bislang Detektoren verwendet, welche die Strahlung aus der Pro- zesszone koaxial oder konzentrisch (und parallel) zum Bearbeitungslaserstrahl 3 erfassen, entweder mit Fotodetektoren oder Kameras. Dabei wird die Prozessstrahlung nach der Fokussieroptik über dichroitische Spiegel oder Umlenk-Loch- spiegel resp. Scraperspiegel aus dem Strahlengang des Arbeitslaserstrahls 3 ausgekoppelt. Aufgrund des grossen Abstandes der Fokussieroptik zur Prozess- zone und Schneiddüse 2 schränkt deren kleine Öffnung den Sichtbereich quasi auf den Düsendurchmesser ein, und das Winkelspektrum der erfassten Strahlung liegt aufgrund der Apertur der Fokussieroptik bei <5°. Dies bringt Einschränkungen für die Beobachtung des Laserschneidprozesses mit sich, welche anhand der in Fig. 4 abgebildeten zwei Aufnahmen von Schneidfronten aufgezeigt werden. Die Bilder wurden mit koaxial angeordneter Kamera während dem Schneiden er- fasst. Die rechte Schneidfront 7 (durchgehend umrandet) stammt von einem La- serschmelzschneidprozess. Sie ist sehr steil und wird somit stark verkürzt abgebildet. D.h. es geht sehr viel Information vom oberen Bereich der Schneidfront 7 verloren. Auch die Beobachtbarkeit von Riefenbildung, welche an den Seitenwän- den 4 unmittelbar nach der Schneidfront 7 entsteht, ist durch die verkürzte koaxiale Abbildung deutlich eingeschränkt. Nur gerade die Riefenstruktur, welche an der Oberkante des Schnitts 6 sichtbar ist, kann analysiert werden. Demgegenüber entsteht beim Laserbrennschneiden eine flache Schneidfront 7, wie dies in Fig . 4 links dargestellt ist. Diese ist koaxial nie vollständig durch die Düse 2 sichtbar, ausser mit einer für eine adäquate Prozessführung viel zu grossen Düse 2 (die Öffnung der Düse 2 ist gestrichelt dargestellt). Der unterste Teil der
Schneidfront 7 bleibt unsichtbar, obwohl gerade dort bei schlechtem Prozesszu- stand Schlackenrückstand entsteht, welcher die Ursache für Teileausschuss ist.
Die Abstimmung des Detektors auf den beim Brennschneiden typisch grossen Schneidfrontnachlauf Δη hat sich als vorteilhaft erwiesen, um insbesondere Schlackenrückstand detektieren zu können. D. h . der Detektor kann durch die er- findungsgemässe Gestaltung Strahlung vom unteren Bereich der Schneidfront erfassen, dort wo Schlackenrückstand auftreten kann . Die Vorteile eines solchen Detektors liegen aber auch für den Schmelzschneidprozess auf der Hand : Vom koaxial nur sehr stark verkürzt sichtbaren oberen Bereich der Schneidfront und der entstehenden Schnittflächen lässt sich mit der erfindungsgemässen Detektoranordnung viel mehr Strahlung erfassen, wodurch insbesondere die Riefenentstehung und somit die Rauheit der Schnittfläche detektiert werden können. Im Folgenden wird zuerst der Zusammenhang zwischen Schneidfrontnachlauf und Schneidqualität aufgezeigt. Anschliessend werden die wesentlichen Ei- genschaften eines geeigneten nichtkoaxialen Detektors erläutert und abschliessend wird anhand von zwei Beispielen aufgezeigt, wie die Signale des erfindungsgemässen Detektors mit Schlackenrückstand korrelieren .
In Versuchen wurden durch Variation von Einflussfaktoren und Prozessparametern Schneidproben mit unterschiedlicher Schneidqualität erzeugt. Einige Proben von Stahl 20 mm sind in Fig. 5 beispielhaft abgebildet, wobei deren Schnittfläche und Schneidfront ersichtlich sind . Der Schneidfrontnachlauf für gute Schneidqualität beträgt dabei 2.75 mm oder auch (grosse) 4.25 mm. Der letztere kam bei einem Schnitt mit erhöhter Schneidlinsenabsorption zustande. Die zwei rechten Schneidproben zeigen Schlackenrückstand und Verschweissung sowohl bei einem moderaten Schneidfrontnachlauf von 3.5 mm wie auch bei einem grösseren von 5 mm . Fig . 6 zeigt für mehrere Versuchsserien den Verlauf des Schneidfrontnachlaufs in Abhängigkeit der Schneidqualitätsklasse, wobei die Blechdicke und - qualität, die Probentemperatur und die Absorption der Schneidlinse variiert wurden. Die Schneidqualitätsklassen sind links beginnend mit guter Qualität„IO" nach sinkender Qualität geordnet. Auf eine Eigenheit der Klassen mit Schlackenrückstand muss hingewiesen werden : Ein zur Klasse„Verschweisst" gehörender Schnitt weist auch Schlackenrückstand im Schnittspalt auf. Tritt dagegen nur Schlackenrückstand im Schnittspalt ohne Verschweissen auf, werden die Proben in der Klasse„Schlacke Schnittspalt" aufgeführt. Der leichteste Qualitätsdefekt betreffend Schlacke ist, wenn nur Schlacke an der Unterseite des Bleches haften bleibt. Dieser Fall führt in den wenigsten Fällen zu Teileausschuss. Für den Fall eines Prozessabrisses (Klasse„nicht durchtrennt") wurde der Schneidfrontnachlauf per Definition auf Blechdicke festgelegt, obwohl er hier eigentlich gegen unendlich anwächst. Es zeigte sich, dass der Zusammenhang Schneidfrontnachlauf und Schneidqualität im Allgemeinen nur schwach korreliert ist. Allerdings hängt der Schneidfrontnachlauf durchaus mit Schlackenrückstand zusammen, insbesondere bei gleichen Umgebungsbedingungen, wie z.B. gleichem Material. Weiter führt ein sehr grosser Schneidfrontnachlauf immer zu Schlackenrückstand 5a im Schnittspalt 6 und Verschweissen. Allerdings kann bereits bei kleinem Schneidfrontnachlauf u.U. starker Schlackenrückstand 5a auftreten, und umgekehrt kann bei ziemlich hohem Nachlauf immer noch ein schlackefreier Schnitt erreicht werden, weshalb eine Online-Messung nur des Schneidfrontnachlaufs nicht zielführend wäre.
Im Folgenden werden die optischen Eigenschaften des erfindungsgemässen Detektors erläutert, welcher insbesondere Schlackenrückstand detektieren soll und auf die oben erläuterten Eigenschaften der Schneidfront resp. auf den Schneidfrontnachlauf abgestimmt ist.
Die in Fig. 7 gezeigte Schneidfront 7 eines Schnittes in Stahl 20 mm mit guter Schneidqualität weist einen geringen Schneidfrontnachlauf Δηο auf, beispielsweise ca. 2 mm. Dies entspricht gemäss der in Fig. 7 gezeigten einfachen trigo- nometrischen Beziehung einer mittleren Schneidfrontneigung α von 5.7°. Die
Schneidfront 7 ist ähnlich einer Rutschbahn halbkreisförmig geformt und verläuft oben steil und gegen unten zunehmend flacher. Auf dieser in Schneidrichtung mitwandernden Schneidfront 7 fliesst die Schmelze resp. Schlacke 5 gegen unten ab. Im unteren Bereich des Blechs 1 ist der Schlackefluss deutlich dicker als im oberen Bereich. Je nach Prozesszustand verändert sich die Dicke und Austrittsgeschwindigkeit des Schlackeflusses 5. Will man nun den Schlackefluss beobachten und allfällige abnorme Zustände, wie Schlackenrückstand 5a detektieren, ist der Beobachtungswinkel entscheidend. Es ist hierfür nicht zielführend, nur den oberen und mittleren Bereich der Prozesszone 7 zu beobachten, worauf ein koaxiales System eingeschränkt ist, vielmehr muss der unterste Bereich der Schneidfront und des Schlackeflusses beobachtet werden. Betrachtet man alle möglichen vorkommenden Schneidfrontnachläufe wie aus Fig . 6 ersichtlich, bewegen sich diese in einem Bereich von ca. 2 bis 6 mm (Prozessabriss ausgenommen) . Für einen Schneidfrontnachlauf von 4 mm, welcher fast immer zu Ver- schweissung führt, beträgt die mittlere Schneidfrontneigung α ca . 11°. Dies ent- spricht erfahrungsgemäss einer guten Beobachtungsrichtung. Es versteht sich, dass für dünnere Bleche leicht kleinere Schneidfrontnachläufe resultieren, weshalb die mittlere Schneidfrontneigung für gute Schneidqualität in etwa konstant bleibt.
Im Folgenden werden die Konsequenzen diskutiert, welche für eine Beobach- tungsrichtung von 10° resultieren, in Fig . 7 dargestellt durch die begrenzenden Linien des Strahlenbündels 10, welches von einem Detektor mit 10° Polarwinkel durch die Schneiddüse 2 eines Laserschneidkopfes 9 hindurch erfasst werden kann, im Vergleich zu einer Beobachtungsrichtung von 5°, dargestellt mit einem Strahlenbündel 10a, welches von einem Detektor mit 5° Polarwinkel erfasst wer- den kann . Es ist ersichtlich, dass der 10°-Detektor im Fall eines normalen
Schneidfrontnachlaufs Δηο im untersten Bereich auf den Schlackefluss 5 sieht. Mittels des 10°-Detektors kann gezielt die Veränderung der Schneidfront 7 im unteren Bereich, resp. der Schneidfrontnachlauf oder allfälliger Schlackenrückstand beobachtet werden. Demgegenüber sieht der 5°-Detektor auch bei mini- malern Schneidfrontnachlauf immer auf den Schmelz- resp. auf den Schlackefluss 5 im oberen und mittleren Bereich des Blechs 1, was die direkte Beobachtbarkeit von Schlackenrücktand, wie im koaxialen Fall, verunmöglicht.
Eine weitere wichtige Eigenschaft eines Detektors ist die Unabhängigkeit des Signals von der Schneidrichtung, oder im Fall von mehreren Einzeldetektoren oder von einer ortsaufgelösten Abbildung, die Invarianz aller Einzelsignale gegenüber einer Drehung um die optische Achse, was gleichbedeutend mit einer Veränderung der Schneidrichtung ist. Wenn beispielsweise ein Vollkreis geschnitten wird, und der Schneidprozesszustand und somit die Qualität am Umfang des geschnittenen Werkstücks überall gleich sind, dann müssen immer gleiche (transfor- mierte resp. gedrehte) Signale gemessen werden. Die Notwendigkeit dieser Eigenschaft liegt auf der Hand und wird im Stand der Technik seit langem gefordert. Entsprechend sind auch technische Lösungen hierfür seit langem bekannt. Beispielsweise im Falle einer Detektoranordnung mit einem einzelnen Fotodetektor kann mithilfe eines Scraperspiegels oder eines dichroitischen Spiegels sämtli- che in einem definierten Polarwinkelbereich auf dem Spiegel eintreffende Strah- lung auf eine Fotodiode umgelenkt werden, was eine Voraussetzung für die Unabhängigkeit des Signals von der Schneidrichtung ist. Erfahrungsgemäss reicht aber der Informationsgehalt eines solchen einzigen Signals nicht aus, die wesentlichen Qualitätsmerkmale eines mit Laserbrennschneiden produzierten Werk- Stücks detektieren zu können, auch wenn zwei unterschiedliche Wellenlängenbereiche, beispielsweise des sichtbaren Lichts und des nahen Infrarots gemessen werden oder sogar eine zeitlich hoch aufgelöste Spektralmessung vorgenommen wird.
Um den obigen gravierenden Nachteil eines Einzeldetektors zu eliminieren, ist es naheliegend und gehört zum Stand der Technik, mit einer Kamera in koaxialer Anordnung den Bearbeitungsprozess zu beobachten, wie in Fig. 4 gezeigt. Durch die ortsaufgelöste Information kann eine Vielzahl von geometrischen Merkmalen der Schneidfront und der sich ausbildenden Schnittfuge mittels Bildverarbeitung berechnet werden. Dadurch können einige Qualitätsdefekte wie rauher Schnitt, breiter Schnittspalt resp. unkontrolliertes Abbrennen, erkannt und eindeutig unterschieden werden. Dennoch lassen sich keine direkten Informationen über Schlackenrückstand aus einem koaxialen Kamerabild gewinnen, weil, wie oben ausgeführt, der untere Bereich der Schneidfront nicht im Bild ersichtlich ist.
Demgegenüber kann mit der erfindungsgemässen Detektoranordnung direkt der hintere resp. untere Bereich der Schneidfront und des Schlackeflusses beobachtet werden (Fig. 7), um direkt auf Schlackenrückstand schliessen zu können. Damit dies in jede Schneidrichtung funktioniert, muss die Strahlung aus dem erfindungstypischen Polarwinkelbereich azimutal, d.h. am Umfang ortsaufgelöst er- fasst werden, wodurch eine azimutal aufgelöste Abbildung der Bearbeitungszone ermöglicht wird (Fig. 8 links). Dies kann durch koaxiale Beobachtung nicht erreicht werden, wohl aber durch eine erfindungsgemässe Ausführungsform mit einem Spiegel, der das Licht auf mehrere gleichmässig am Detektorumfang verteilte Fotodioden umlenkt. Dabei beschränkt sich die Ortsauflösung auf die diskret vorhandenen Detektoren. Bevorzugt wird ein Konusspiegel verwendet, der trotz schlechter Fokussierung zufriedenstellende Resultate liefert. Insbesondere in Verbindung mit einer Anordnung von mindestens fünf, vorzugsweise acht um die optische Achse des Arbeitslaserstrahls vorzugsweise gleich verteilt positionierten Fotodioden kann die Bedingung integraler Auskopplung, d.h. Erfassung aller am Detektorspiegel eintreffenden Strahlung zufriedenstellend erreicht wer- den. Auch andere Spiegelarten und Spiegelformen sind möglich, beispielsweise Spiegel mit fokussierenden Segmenten. Die Fig . 8 zeigt links eine Grafik mit den Sichtbereichen 11 von vier Fotodioden auf der Blechoberfläche für eine typische Schneiddüse. Dabei wurde nur direktes Licht berücksichtigt. Es ist ersichtlich, dass ein einzelner Detektor auf der Blechoberfläche ein ellipsenähnliches (geometrische Figur, begrenzt durch Ellipsenseg- mente mit unterschiedlicher kleiner Achse) Sichtfeld aufweist, welches beinahe einen Quadranten abdeckt. Umso mehr ist mit fünf oder noch besser acht Fotodioden der gesamte Umfangsbereich lückenlos abzudecken. D.h. die azimutale Auflösung der erfassten Strahlung nimmt zu . Bemerkenswert ist aber, dass nur ein Sichtfeld den massstäblich eingezeichneten Schnittspalt trifft, nämlich dasje- nige des nach hinten in den Schnittspalt blickenden Detektors. Die anderen
Sichtfelder befinden sich neben dem Schnittspalt auf der Blechoberfläche. Dieser Umstand wird weiter unten zu Fig . 10 diskutiert. Weiter sind in der Mitte der Fig . 8 die Sichtbereiche bei Verwendung unterschiedlicher Schneiddüsen abgebildet. Bemerkenswert ist, dass für Doppelkonusdüsen (beispielhaft in Fig . 7 ersicht- lieh), welche beim Brennschneiden eingesetzt werden, der Innenkonus den Zentrumsbereich der Strahlung bogenförmig ausblendet, während einfache Konusdüsen auf der Blechoberfläche fast bis ins Zentrum des Schnittspalts sehen. Wie die Streulichtgrafik ganz rechts in Fig . 8 andeutet, wird ein beträchtlicher Anteil der Strahlung an Düseninnenflächen reflektiert. Abhängig vom Düsentyp beträgt der Anteil von reflektiertem Licht zu direktem Licht ca. 30%, wenn der Bereich unterhalb der Düse 2 gleichmässig ausgeleuchtet ist.
Aus Fig . 10 ist zu erkennen, dass selbst die seitlich und nach vorne zum Schnittspalt blickenden Fotodioden Licht aus der Schnittfuge detektieren können, auch bei den für Brennschneiden verwendeten Doppelkonusdüsen. Die Sichtbereiche dieser Fotodioden, die nirgends den Schnittspalt treffen, erfassen - wie durch die Streulichtsimulation nahegelegt - Strahlung, welche an Innenflächen im untersten Bereich der Schneiddüse reflektiert wird. Die so reflektierte Strahlung, wie auch die direkte Strahlung aus dem unteren Bereich der Schneidfront, welche hauptsächlich durch den nach hinten blickenden Fotodetektor erfasst wird, sind für die Informationsgewinnung hinsichtlich der Schneidqualitätsmerkmale von entscheidender Bedeutung . Es versteht sich, dass die erfasste Strahlung und die Art der Abbildung vielen Einflussfaktoren unterliegen (Düsengrösse, Reflektivität der Düsenoberfläche usw. ), welche hier nicht näher ausgeführt werden, und welche namentlich bei einer einfachen koaxialen Abbildung mit Kamera nicht auftre- ten. Diese scheinbaren Nachteile der erfindungsgemässen Detektoranordnung werden aber durch geeignete Auswertealgorithmen eliminiert, und die Information betreffend Schlackenrückstand 5a kann damit aus den Signalen herausgefiltert werden.
Für die nach hinten in den Schnittspalt d.h. schleppend blickenden Fotodetekto- ren schattet, je nach Schneidrichtung, die Schnittoberkante wegen des tiefen und schmalen Schnittspalts den Blick nach hinten mehr oder weniger ab. Aus den in Fig. 9 dargestellten geometrischen Verhältnissen, und der ebenfalls in Fig. 9 aufgeführten Formel, ist der theoretische Grenzwinkel ß der Schneidrichtung zur Diodenachse herleitbar. Die optische Achse der optischen Elemente zur Füh- rung des Arbeitslaserstrahls, insbesondere der dem Werkstück 1 nächstliegenden Fokussieroptik, ist mit 14 bezeichnet. Für ein Werkstück 1 mit einer Dicke von 20 mm und einer Breite des Schnittspalts 6 von 0.7 mm ergibt sich zusammen mit den Abmessungen einer beispielhaften erfindungsgemässen Detektoranordnung mit einem ringförmigen Konusspiegel 12 (a = 140 mm, r = 12 mm) und zumin- dest einer Fotodiode 13 als eigentlicher Detektor ein theoretischer Grenzwinkel ß von 26°. Weicht die Schneidrichtung mehr als 26° von der Beobachtungsrichtung der Fotodiode ab, ist das untere Ende der Schnittfuge vollständig abgeschattet. Daraus folgt, dass mit einer Anordnung mit acht Fotodioden 13 bei den beispielhaft angegebenen Abmessungen in jeder Schneidrichtung Strahlung vom unte- ren Ende des Schnittspalts 6 erfasst werden kann. Eine Detektoranordnung die erfindungsgemäss wie oben erläutert mit acht Fotodioden ausgestattet ist, gewährleistet die azimutal aufgelöste schleppende Sicht nach hinten in den Schnittspalt und die schneidrichtungsunabhängige Detektion von Schlackenrückstand. Es versteht sich, dass eine Detektoranordnung auch mit mehr als acht Fotodio- den bestückt werden kann, wodurch dann gleichzeitig mehr als eine Fotodiode direkte Sicht nach hinten in den Schnittspalt erhält. Dies kann für die algorithmische Auswertung der Signale vorteilhaft sein. Es versteht sich aber auch, dass eine Detektion von Schlackenrückstand auch mit weniger als acht Fotodioden funktioniert, insbesondere bei kleineren Detektorabmessungen a und r, oder wenn die Detektion nur in eine oder wenige Schneidrichtungen funktionieren muss.
Fig. 10 zeigt die für einen Vollkreis resultierenden Signale des erfindungsgemässen 10°-Detektors. Demnach sieht die schleppend, d.h. nach hinten ausgerichtete Fotodiode 13 in einem Bereich von ca. 30° resp. +/- 15° zur Schneidrich- tung direktes Licht von der Schneidfront 7 und des Schlackeflusses 5 im unters- ten Bereich der Schnittfuge. In diesem Bereich zeigt das Signal einen deutlich erhöhten Pegel, welcher allerdings von der Schneidgeschwindigkeit und anderen Einflussfaktoren abhängt. Weiter ist auch die Signaldynamik in diesem Bereich sehr gross, was durch die hohe Schmelzflussdynamik verursacht wird. Dieser Be- reich verbreitert sich, wenn der Schnittspalt 6 breiter wird. Im erweiterten Bereich von 90° sieht die Fotodiode zwar noch direkt in die Schnittfuge, allerdings nur noch an die Seitenwände. In diesem Bereich (+ 45°) überschneidet sich der in Fig. 8 gezeigte ungefähr ellipsenförmige Sichtbereich 11 der Fotodioden 13 noch mit dem Schnittspalt. Ausserhalb dieses Bereichs sieht die Fotodiode nur noch reflektiertes Licht, und der Signalpegel fällt deutlich ab. Das reflektierte Licht ist dann eine Mischung aus diversen Anteilen.
Nachfolgend soll in Zusammenhang mit Fig. 11 die Detektion von sporadisch auftretendem Schlackenrückstand 5a im Schnittspalt 6 mittels der Fotodioden 13 des 10°-Detektors erläutert werden. Lagert sich die Schlacke 5 im Schnittspalt 6 an, ist ein deutlicher Sprung des schleppenden Signals ersichtlich, im Gegensatz zu einem Schnittspalt ohne Schlacke, oder zu Schlackenanhaftung an der Blechunterseite. Schlackenrückstand 5a führt je nach Konsistenz und Rückstandshöhe definitiv zu Teileausschuss, selbst wenn der schlimmste Qualitätsdefekt vollständiger Verschweissung resp. der Schnittabriss noch lange nicht eingetreten ist. Wie die Fig. 12 nachweist, ist die oben beschriebene Ausprägung von Schlackenrückstand 5a für einen 5°-Detektor unsichtbar. Aus allen bisherigen Ausführungen folgt auch, dass diese Ausprägung von Schlackenrückstand durch koaxiale Beobachtung nicht erkannt werden kann, weder mit Fotodetektor noch mittels Kamera. Bemerkenswert ist, dass beim 10°-Detektor genau die schleppend, nach hinten blickende Fotodiode einen deutlichen Signalsprung aufweist, während die direkt benachbarten Fotodioden keinerlei Intensitätsanstieg registrieren. Dies lässt sich aufgrund der oben bereits erwähnten Eigenschaft erklären, wonach diese Fotodioden nur noch direktes Licht von den Seitenwänden 4 des Schnittspalts 6 direkt hinter der Schneidfront 7 erfassen, welche hier nicht durch den noch moderaten Schlackenrückstand beeinträchtigt werden. Dieser Umstand kann mithilfe geeigneter Algorithmen zur Detektion von Schlacke gut ausgenützt werden.
Wenn ein Schnittabriss auftritt, dann zeigt sich dies auch in den Signalen herkömmlicher, fast koaxialer 5°-Detektoren und bei wirklich koaxialen Systemen, wie in Fig. 13 erkennbar ist. Ist allerdings nur ein einzelner Fotodetektor eingebaut, und wird kein Referenzschnitt zugrunde gelegt, können selbst bei diesem allerschlimmsten Defekt Pseudofehler auftreten, weil sich andere Effekte, wie z.B. erhöhte Schneidgeschwindigkeit oder breiter Schnittspalt in ähnlicher Grös- senordnung überlagern können.
Die Merkmale der erfindungsgemässen Detektoranordnung mit 10°-Polarwinkel lassen sich verallgemeinern. Wie in Fig. 14 sehr vereinfacht gezeigt, kann sämtliche Strahlung 8 erfasst werden, welche durch die Düse unter einem grossen Polarwinkel > 5° zur optischen Achse 14 eintritt. Gegebenenfalls kann der Polarwin- kelbereich auch eingeschränkt sein, beispielhaft auf > 7° oder wie in der oben detailliert beschriebenen Anordnung auf ca. 10°. Für bestimmte Anwendungen mit sehr langgestreckter, flacher Schneidfront können auch Polarwinkel > 10° vorteilhaft sein.
Diese Detektormerkmale ermöglichen, durch die Öffnung der Schneiddüse 2 Be- reiche der Schneidfront 7 und des Schlackeflusses 5 zu beobachten, die weit ausserhalb der optischen Achse 14, ausserhalb des Blickfeldes eines herkömmlichen koaxialen Systems liegen. Auf diese Weise können, wie oben beschrieben, zusätzliche Informationen über den Prozesszustand gewonnen werden, welche für ein koaxiales System unsichtbar sind, welche aber für die Verhinderung von Teileausschuss relevant sind. Die strahlungsempfindliche Detektorfläche 13a ist in Fig. 14 zylindrisch dargestellt. Sie befindet sich bevorzugt im Laserschneidkopf 9, zwischen der Fokussieroptik (nicht dargestellt) und der Schneiddüse 2. Ganz allgemein ist diese Fläche aber als räumliche Eintrittsfläche der Strahlung 8 zu verstehen, hinter welcher beliebige optische, mechanische und elektronische Komponenten enthalten sind, um die Strahlung umzulenken, abzubilden und zu erfassen.
Auf Basis dieses Grundprinzips können für die konkrete Ausgestaltung der Detektoranordnung viele Varianten vorgesehen sein, beispielsweise mit direkter Bestrahlung der eigentlichen Sensoren 13. Die durch die Düsenöffnung eintretende Strahlung 8 kann direkt mittels einem oder mehrerer Detektoren 13, welche auf der bestrahlten Fläche angebracht sind, erfasst werden. Je nach Ausrichtung und Akzeptanzwinkel der Detektoren 13 kann gezielt nur das Licht aus der Öffnung der Düse 2 erfasst und unerwünschte diffuse oder direkte Reflektionen an Innenwänden des Bearbeitungskopfs 9 ausgeblendet werden. Mehrere Detektoren 13 können am Umfang angeordnet werden. Aufgrund der Blendenwirkung der Düsenöffnung hat jeder Detektor 13 sein eigenes Sichtfeld 11 auf die Prozesszone, wie in Fig. 15 dargestellt ist. Insbesondere erhält derjenige Detektor 13, welcher in Schneidrichtung nach hinten sieht, Strahlung vom unteren Teil der Schneid- front 7 und insbesondere auch von glühendem Schlackenrückstand 5a, welcher bei schlechtem Prozesszustand in diesem unteren Bereich des Schnittspalts zurückbleibt.
Andererseits ist auch eine Umlenkung der Strahlung über ein oder mehrere optische Zwischenelemente 12 auf die Sensoren 13 möglich. Vorteilhafterweise kön- nen ein oder mehrere Spiegel zur Umlenkung verwendet werden, beispielsweise der oben schon erwähnte Konusspiegel, oder es können auch Linsen oder Prismen oder Gradientenindexlinsen zur Umlenkung, Ablenkung oder Fokussierung der Strahlung 8 verwendet werden. Bei Verwendung optischer Zwischenelemente können die Sensoren an beliebiger Stelle im Bearbeitungskopf 9 untergebracht sein, insbesondere in Ausbreitungsrichtung des Arbeitslaserstrahls 3 entweder vor oder nach dessen Fokussieroptik, insbesondere dem letzten Element der fo- kussierenden Anordnung, welches der Bearbeitungszone am nächsten liegt. Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung verwendet einen ringförmig angeordneten Umlenkspiegel. Dadurch kann gezielt die Strahlung aus der Düsenöffnung in einem definierten Polarwinkelbereich auf die Detektoren 13 gelenkt werden. Grundsätzlich sind verschiedene Spiegelformen möglich, wobei die einfachste Form ein Konusspiegel 12 ist. Andere Spiegelformen erlauben eine Fokussierung des Lichts auf einzelne Detektoren 13 entweder in der Ebene konstanten Azimutwinkels mittels eines in dieser Ebene konkaven Spiegelprofils und oder in der zur optischen Achse senkrechten Ebene mittels einzelner, auf jeweils einen Detektor fokussierenden Spiegelsegmente.
Wie in Fig. 16 gezeigt ist, kann Strahlung 10 aus einem typischen Polarwinkelbereich von 10° +/- ca. 1° mit einem einfachen konischen Spiegel 12 auf einem o- der vorzugsweise auf mehrere Detektoren 13 abgebildet werden. Die einzelnen Fotodetektoren 13 sind vorzugsweise gleichmässig am Umfang verteilt, wie im rechten Teil der Fig. 16 dargestellt ist. Eine vernünftige Umfangs- resp. Azimutalauflösung ist, wie weiter oben hergeleitet, z.B. mit acht Sensoren 13 möglich. Um einen grösseren Polar-Winkelbereich auf die Detektoren 13 abzubilden, können, wie in Fig. 17 beispielhaft gezeigt, weitere Spiegelflächen 12a im Be- reich der Düse 2 und/oder oberhalb der Sensoren, aber noch unterhalb der Fokussieroptik angebracht werden, welche die Strahlung entweder auf denselben Detektor 13 oder auf mehrere in der Höhe resp. in Strahlachsrichtung 14 angeordnete Detektoren 13 oder Zeilen von Sensoren 13b reflektieren. Hier sind mehrere, vorzugsweise acht, oder auch mehr Zeilensensoren 13b, oder senkrechte Anordnungen von Einzelsensoren 13, in gleicher Entfernung von der Dü- senöffnung über den Umfang verteilt angeordnet. Neben mehreren Spiegelelementen 12b oberhalb der Bearbeitungsdüse können auch kleine Spiegelflächen 12a in der Bearbeitungsdüse 2 untergebracht werden. Mit der Anordnung mehrerer Detektoren 13 am Umfang und in Strahlachsrichtung, oder mehrerer Zeilensensoren 13b am Umfang entsteht ein Detektor-Array. Mit diesem kann ein azi- mutal und radial ortsaufgelöstes Abbild der Prozesszone erfasst werden. Weiter ist denkbar, dass die Strahlung über zwei oder mehr Spiegel 12a, 12b hintereinander umgelenkt wird, bevor sie auf einen Sensor 13, 13b trifft.
Die Detektoranordnung kann verschiedene optische Zwischenelemente im Beobachtungsstrahlengang aufweisen, wie etwa Konusspiegel, Segmentspiegel o- der Blenden. Anstelle herkömmlicher Sensoren kann die Strahlung auch in Lichtwellenleiter eingekoppelt und an anderer Stelle auf Fotodetektoren geleitet werden. Eine bevorzugte Ausführung führt die Faserenden in einer Linie angeordnet auf einen Zeilensensor, oder als Rechteckblock auf einen Flächensensor, wodurch eine hohe Auflösung erzielbar ist.
Bisher ist die Öffnung der Düse 2 die einzige Blende, welche als Eintrittspupille wirkt. Die damit erzielbare Auflösung ist insbesondere senkrecht zur Strahlachse resp. in Azimutalrichtung beschränkt. Um eine höhere Azimutal- resp. Umfangsauflösung zu erzielen, müssen vor den Umlenkspiegeln Blenden angebracht werden. Bevorzugt wird dies mit Schlitzblenden gemäss Fig. 18 erreicht. Hier ist ein Detektoraufbau mit einem ringförmigen Konusspiegel 12 und einem davor eingesetzten Ring 15 mit entlang des Umfangs des Ringes 15 verteilten Schlitzblenden 16 dargestellt. Durch die Bearbeitungsdüse 2 eintretende Strahlung 8 gelangt durch die Schlitzblenden 16 auf den Konusspiegel 12 und wird von diesem auf einen der Sensoren 13 auf beispielsweise einem Sensorenring 17 reflektiert. Es versteht sich, dass Detektoren 13 mit unterschiedlichen Sensitivitätsbereichen betr. Strahlungswellenlänge eingesetzt werden können. Z.B. Silizumdetektoren für den sichtbaren Wellenlängenbereich, Indium-Gallium-Arsenid-Detektoren (InGaAs) für den nahen Infrarotbereich. Daneben können auch Sensoren für Ultraviolett- und Pyrodetektoren für ferne Infrarotstrahlung sowie Vorfilter für schmalere Wellenlängenbereiche eingesetzt werden. Bevorzugt sind die Wellenlängenbereiche zwischen 0.7 und 1 m und/oder zwischen 1.45 und 1.8 μιτι vorgesehen. In ersterem Fall liegt gegenüber der ungefilterten Variante keine Tageslichtempfindlichkeit vor, die entsprechende Wellenlängenbereich ist aus pyro- metrischer Sicht sehr gut, zudem kann hier mit Silizium-Detektoren gearbeitet werden. Der zweite Bereich etwas grösserer Wellenlänge, mit InGaAs-Fotodetek- toren messbar, erlaubt aufgrund des unterschiedlichen Emissionsgrads in diesem Wellenlängenbereich die bessere Unterscheidbarkeit von Schlacke gegenüber flüssigem Metall.
Eine weitere von obigen diskreten Detektorvorrichtungen grundsätzlich verschiedene Ausgestaltung der Erfindung zeigt Fig. 19. Es wird eine herkömmliche Detektoranordnung mit einer Kamera 19 in koaxialer Anordnung und hinter der Fo- kussieroptik 18 benutzt, um wie üblich die Prozesszone bis zum Düsenrand abzubilden. Der koaxial unsichtbare Teil der Bearbeitungszone wird nun über eine ge- eignet gekrümmte spiegelnde Freiformfläche 12a auf die freie Kameradetektorfläche, neben dem koaxialen Bild der Prozesszone abgebildet. Aufgrund der Abbildungseigenschaften ist es notwendig die Spiegelfläche 12a nahe beim Pro- zess zu positionieren. Dadurch steigt das Verschmutzungsrisiko. Deshalb ist eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung, die Spiegelfläche 12a in der Bearbeitungsdüse 2 zu integrieren, welche regelmässig ausgetauscht wird.
Eine weitere ähnliche Ausführungsform zeigt Fig. 20. Es wird als zusätzliche Detektoranordnung zu den oben erläuterten Ausführungsformen mit Beobachtungsrichtungen unter einem Polarwinkel gleich bzw. grösser als 5°zur optischen Achse 14 des Arbeitslaserstrahls 3 beispielsweise eine Kamera 19 mit direkter Sicht auf die Prozesszone 7 verwendet. Diese ist aber nicht in herkömmlicher Weise koaxial zur optischen Achse 14 des Arbeitslaserstrahls angeordnet, sondern weist, wie in Fig. 20 bezeichnet, einen Offset r auf, zwischen der optischen Achse 14 des Arbeitslaserstrahls 3 und der optischen Achse der Kamera bzw. deren Beobachtungsrichtung. Die Kamera 19 befindet sich dabei in Ausbreitungs- richtung des Arbeitslaserstrahls 3 vor dem fokussierenden Element wie etwa einer Linse 18. Dadurch kann, unter Verwendung geeigneter optischer Filter, das untere Ende der Schneidfront direkt aus den Kamerabildern, in Echtzeit mittels digitaler Bildverarbeitung, als Übergang zwischen der hellen Schneidfront 7 und dem beispielsweise dunklen Schnittspalt 6, detektiert werden. Dabei verläuft die Beobachtungsrichtung der Kamera 19 zumindest nach dem fokussierenden Ele- ment 18 schräg zur optischen Achse des Arbeitslaserstrahls 3 auf die Bearbeitungszone hin. Dazu kann die optische Achse des Detektors, wie etwa der Kamera 19 selbst, schräg zur optischen Achse 14 des Arbeitslaserstrahls 3 verlaufen.
Eine weitere Ausführungsform, die eine sehr schmale bauliche Ausführung des Laserbearbeitungskopfes erlaubt, weist eine Kamera 19 auf, deren optische Achse in Ausbreitungsrichtung des Arbeitslaserstrahls 3 vor dem fokussierenden Element 18 im Wesentlichen parallel zur optischen Achse 14 des Arbeitslaserstrahls verläuft. Nach dem fokussierenden Element 18 hingegen verläuft die Be- obachtungsrichtung schräg auf die Bearbeitungszone hin. Dabei wird durch das fokussierende Element 18 auch die Ablenkung der schräg eintretenden detektier- ten Strahlung auf die Kamera 19 hin bewerkstelligt.
Wie zu den physikalischen Aspekten des Laserbrennschneidens oben ausgeführt, korreliert der Schneidfrontnachlauf Δη mit dem Schlackenrückstand 5a. D.h. übersteigt der Schneidfrontnachlauf einen bestimmten Schwellwert, ist das Risiko für Schlackenrückstand erhöht. Besonders vorteilhaft ist, den Schneidfrontnachlauf, welcher in Echtzeit aus den Kamerabildern detektiert wird, auf einen bestimmten Sollwert zu regeln.
Die Kameraanordnung 19 ist vorzugsweise derart angeordnet, dass deren Be- obachtungsrichtung entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung der Düse 2 ausgerichtet ist. Besonders bevorzugt ist zur Berücksichtigung beliebiger, auch wechselnder Bewegungs- bzw. Vorschubrichtungen der Düse 2 möglich, dass die Kameraanordnung 19 entsprechend der Schneidrichtung mitgedreht wird, z.B. mit einem Schrittmotor, sodass die Beobachtungsrichtung 8 immer entgegen der Schneidrichtung nach hinten in den Schnittspalt gerichtet ist. Je nach Grösse des für den zu bearbeitenden Werkstoff typischen Schneidfrontnachlaufs kann der Offset r unterschiedlich eingestellt werden, sodass auch der Polarwinkel φ zwischen der optischen Achse des Arbeitslaserstrahls 14 und der optischen Achse der Kamera 19 unterschiedliche Werte annehmen kann. Der maximale Polarwin- kel φ wird durch die Aperturen der dazwischenliegenden Optiken des Arbeitslaserstrahlengangs beschränkt. Weiter kann zwecks Korrektur von Abbildungsfehlern die Kameraachse leicht geneigt werden.
Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist, den Offset r mittels einer Verstelleinheit, z.B. eines Schrittmotors, in Echtzeit dem detektierten Schneidfrontnachlauf bis zu einer definierten Obergrenze anzupassen. Dadurch wird sichergestellt, dass das zu detektierende Ende der Schneidfront nicht aus dem Bildbereich der Kamera wandert. Wandert das Schneidfrontende trotzdem aus dem Bildbereich, entweder im Fall ungeregelter Beobachtung des Schneidfrontnachlaufs, oder bei aktiver Regelung durch eine plötzlich eintretende Schneidprozessstörung, kann die erfindungsgemässe Detektorvorrichtung mit dem Polarwinkelbereich von 5° oder mehr den eintretenden Qualitätsdefekt de- tektieren.
Bezugszeichenliste
1 Werkstück, Blech
2 Schneiddüse
3 Arbeitslaserstrahl
4 Schnittfläche
5 Schmelze, Schlacke (5a Schlackenrückstand)
6 Schnittfuge
7 Schneidfront, Bearbeitungszone oder Prozesszone
8 Allgemeine Beobachtungsrichtung oder Strahlenbündel eines Detektors 9 Laserschneidkopf
10 Strahlenbündel eines 10°-Detektors (10a Strahlenbündel 5°-Detektor)
11 Sichtbereiche der Detektoren
12 Optisches Zwischenelement, speziell Konusspiegel (12a, 12b Spiegelelemente)
13 Fotodiode (13a Zylindersensor, 13b Sensorzeile)
14 Optische Achse für Arbeitslaserstrahl
15 Blendenring
16 Schlitzblenden
17 Sensorenring
18 Linse
19 Kamera
P Prozesskontrolle
An Schneidfrontnachlauf oder Schlepp eines Laserschneidprozesses (Δηο normale Ausprägung, Am zu grosse Ausprägung)
ß Azimutwinkel zwischen Beobachtungsrichtung eines Detektors und Schneidrichtung resp. Bewegungsrichtung der Schneiddüse

Claims

Laserbearbeitungsvorrichtung, insbesondere Laserschneidvorrichtung, mit einer Anordnung zur Erzeugung und Führung eines Arbeitslaserstrahls (3), mit einer Düse (2) mit einer Öffnung zum Austritt des Arbeitslaserstrahls (3) zu einer Bearbeitungszone, wobei in der Anordnung eine optische Achse (14) definiert ist und die Anordnung zumindest ein den Arbeitslaserstrahl (3) fokus- sierendes Element (18), beispielsweise eine Schneidlinse, nahe der Öffnung der Düse aufweist, sowie mit einer Anordnung zur Überwachung des Bearbeitungsvorganges, gekennzeichnet durch zumindest eine Gruppe von Detektoranordnungen (12, 13), welche für eine für den Bearbeitungsvorgang charakteristischen Strahlung empfindlich sind, welche Detektoranordnungen (12, 13) mit zumindest einer Auswerteeinheit verbunden sind, wobei die Detektoranordnungen jeder Gruppe (12, 13) ringförmig um die optische Achse (14) herum angeordnet sind, vorzugsweise entlang zumindest eines zur optischen Achse (14) koaxialen und im Wesentlichen senkrechten Kreises, und die Beobachtungsrichtung (8) der Detektoranordnungen (12, 13) zumindest in einem Teilbereich zwischen dem der Bearbeitungszone nächstliegenden fokus- sierenden Element (18) und der Bearbeitungszone, vorzugsweise einem dem fokussierenden Element (18) entfernteren Teilbereich, unter einem Polarwinkel (φι) grösser 5° (10a) in Bezug auf die optische Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3) orientiert ist, vorzugsweise unter einem Polarwinkel grösser o- der gleich 7°, insbesondere unter einem Polarwinkel (92) von ca. 10° (10).
Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein optisches Zwischenelement (12), vorzugsweise eine Umlenkanordnung, für zumindest eine Detektoranordnung (12, 13), allenfalls die gesamte Detektoranordnung (12, 13), zwischen dem der Bearbeitungszone nächstliegenden fokussierenden Element (18) und der Bearbeitungszone angeordnet ist und vorzugsweise zumindest einen Reflektorbereich, allenfalls mehrere untereinanderliegende Spiegelsegmente oder eine gekrümmte Freiformfläche, aufweist.
3. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Detektoranordnung (13) vorgesehen ist, deren Beobachtungsrichtung (8) in einem Bereich des Azimutwinkels (ß) von maximal 45° zur Bewegungsrichtung der Düse (2) und entgegen deren Bewegungsrichtung auf die Bearbeitungszone gerichtet ist.
Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass jede um die optische Achse (14) herum angeordnete Gruppe von Detektoranordnungen (12, 13) mindestens fünf, insbesondere mindestens acht Detektoranordnungen (12, 13) umfasst.
Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Detektoranordnung (12, 13) einen Detektor (13) sowie zumindest eine Anordnung mit einem optischen Zwischenelement (12) aufweist, vorzugsweise eine Umlenkanordnung, wobei vorzugsweise der Detektor (13) ein fächerförmiges Beobachtungsstrahlenbündel (8) bezüglich des Polarwinkels (φ) aufweist und die Anordnung der optischen Zwischenelemente (12) sich betreffend des Polarwinkels (φ) unterscheidende Segmente jeweils eines bestimmten fächerförmigen Beobachtungsstrahlenbündel (8) auf denselben Bereich der Bearbeitungszone hin umlenkt.
Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Detektoren (13) bzw. Zwischenelemente (12) in im Wesentlichen dem gleichen Azimutwinkel ß um die optische Ache (14) vorgesehen sind, deren Beobachtungsrichtungen (8) aus unterschiedlichen Polarwinkeln auf die Bearbeitungszone hin gerichtet sind, oder dass ein Detektor (13) bzw. eine Umlenkanordnung (12) in im Wesentlichen dem gleichen Azimutwinkel ß um die optische Achse (14) zwischen unterschiedlichen Polarwinkeln oszilliert und die Beobachtungsrichtung (8) jeweils aus unterschiedlichen Polarwinkeln auf die Bearbeitungszone hin gerichtet ist.
Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Umlenkanordnungen (12) in unterschiedlichen Azimutwinkeln ß um die optische Achse (14) vorzugsweise gleich verteilt angeordnet sind.
Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Detektoranordnungen (12, 13) einen Detektor (13) sowie zumindest ein optisches Zwischenelement (12) umfasst, vorzugsweise eine Reflektoranordnung, welches die Gesamtheit der unter einem bestimmten Polarwinkel von der Bearbeitungszone ausgehenden Strahlung auf den Detektor (13) lenkt.
9. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoranordnungen (12, 13) ringförmig um die optische Achse (14) herum angeordnete und vorzugsweise entlang zumindest eines zur optischen Achse (14) koaxialen und im Wesentlichen senkrechten Kreises angeordnete Einkoppelstellen für die Strahlung (8) in Strahlungsleitanordnungen oder weitere Umlenkanordnungen umfassen, sowie entfernt von den Einkoppelstellen bzw. den weiteren Umlenkanordnungen positionierte Detektoren umfassen.
10. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Fotodetektoren der Detektoranordnungen (13) insbesondere als Fotodioden, Thermosäulen oder Zeilensensoren ausgeführt sind.
11. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoranordnungen (13) für zumindest zwei unterschiedliche Wellenlängenbereiche und/oder Strahlungsarten empfindlich sind, vorzugsweise für Wellenlängenbereiche zwischen 0.7 und 1 μιτι und/oder zwischen 1.45 und 1.8 pm.
12. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass vor den Detektoren (13) oder vor den Zwischenelementen (12) Blendenanordnungen, insbesondere Schlitzblenden (16), angeordnet sind. 13. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einige Detektoren (13) und/oder Zwischenelemente ( 12), insbesondere Reflektoranordnungen, in der Düse (2) eingesetzt oder darin ausgebildet sind, wobei die Anordnung zur Erzeugung und Führung eines Arbeitslaserstrahls und die Düse (2) vorzugsweise lösbar mit- einander verbunden sind.
14. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich ein Detektor (19) mit einer Beobachtungsrichtung parallel zur optischen Achse (14), vorzugsweise auf der der Bearbeitungszone abgewandten Seite des fokussierenden Elementes ( 18), und ein optisches Zwischenelement (12), vorzugsweise zwischen dem fokussierenden Element (18) und der Bearbeitungszone, positioniert sind, wobei das Zwischenelement (12) die Beobachtungsrichtung (8) des Detektors (19) für zumindest einen Azimutwinkel ß auf einen Polarwinkel grösser 5° (10a) in Bezug auf die optische Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3) in Richtung auf die Bearbeitungszone hin umlenkt, vorzugsweise auf einen Polarwinkel grösser oder gleich 7°, insbesondere auf einen Polarwinkel von ca. 10° (10).
15. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (12) die Beobachtungsrichtung (8) des Detektors (19) in einem Bereich des Azimutwinkels ß von maximal 45° zur Bewegungsrichtung der Düse (2) und entgegen deren Bewegungsrichtung auf die Bearbeitungszone hin umlenkt, wobei das Zwischenelement (12) die Strahlung (8) aus der Bearbeitungszone zumindest aus unterschiedlichen Polarwinkeln, vorzugsweise auch aus unterschiedlichen Azimutwinkeln ß, auf den parallel zur optischen Achse (14) ausgerichteten Detektor (19) umlenkt.
16. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoranordnung einen neben dem Arbeitslaserstrahl (3) und in dessen Ausbreitungsrichtung vor dem fokussierenden Element (18) angeordneten zusätzlichen Detektor (19) umfasst, dessen Beobachtungsrichtung zumindest nach dem fokussierenden Element schräg zur optischen Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3) auf die Bearbeitungszone hin verläuft, wobei vorzugsweise die optische Achse des Detektors (19) schräg zur optischen Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3) verläuft.
17. Laserbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Achse des Detektors (19) in Ausbreitungsrichtung des Arbeitslaserstrahls (3) vor dem fokussierenden Element (18) im Wesentlichen parallel zur optischen Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3) verläuft und nach dem fokussierenden Element (18), nach Ablenkung durch dieses Element, schräg auf die Bearbeitungszone hin verläuft.
18. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Beobachtungsrichtung (8) der Detektoranordnung (19) entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung der Düse (2) ausgerichtet ist, wobei vorzugsweise die Detektoranordnung (19) in Umfangsrich- tung um den Arbeitslaserstrahl (3) herum bewegbar ist und/oder die Beobachtungsrichtung (8) unterschiedliche Polarwinkel (φ) annehmen kann.
19. Laserbearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Beobachtungsrichtung des zusätzlichen Detektors (19) zumindest nach dem fokussierenden Element (18) unter einem Polarwinkel (φ) grösser gleich 2° zur optischen Achse (14) des Arbeitslaserstrahls (3) verläuft, vorzugsweise unter einem Polarwinkel (φ) zwischen 2° und 4°.
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