WO2014021467A1

WO2014021467A1 - 噴射ノズルの製造方法

Info

Publication number: WO2014021467A1
Application number: PCT/JP2013/071080
Authority: WO
Inventors: 昌明桝田; 滑川　政彦; 邦彦吉岡; 哲也小野木
Original assignee: 日本碍子株式会社
Priority date: 2012-08-03
Filing date: 2013-08-02
Publication date: 2014-02-06

Abstract

　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、ゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製する成形体作製工程と、作製した前記成形体を焼成して前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法。好ましくは、前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの前記噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有する噴射ノズルの製造方法。更に好ましくは、前記仕上げ工程において、前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの前記噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより前記噴射孔の内側開口部を面取りする噴射ノズルの製造方法。噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成可能な噴射ノズルの製造方法を提供する。

Description

噴射ノズルの製造方法

　本発明は、噴射ノズルの製造方法に関する。更に詳しくは、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成可能な噴射ノズルの製造方法に関する。

　従来、ディーゼルエンジンなどに使用される燃料噴射用インジェクター等には、燃料を噴射するための噴射ノズルが備えられている。この噴射ノズルは、ニードル弁により構成されている。即ち、噴射ノズルは、棒状のニードルとこのニードルを収納する筒状体とを備える。

　この噴射ノズルには、燃料の噴射時に高い噴射圧力がかかる。また、この噴射ノズルには、厳しい寸法公差が要求される。そのため、噴射ノズルとしては、剛性が高く、耐食性に優れるセラミックス製の噴射ノズル（セラミックノズル）が適している。このセラミックノズルは、射出成形、プレス成形で作製されている（特許文献１参照）。

特許第３９５８０４０号公報

　近年、上記噴射ノズルは、ニードルが駆動する空間を提供する内筒（即ち、筒状体）の形状精度を高くすることが要求されている。つまり、厳しい寸法公差の条件を満たした筒状体が必要とされている。このように、筒状体には、厳しい寸法公差が要求されているため、内筒の研削加工には、時間を要し、内筒の作製に際してコストがかかっている。更に、最近では、燃料液滴を微細化するために噴射圧力が高められ、噴射ノズルには２０００ｂａｒを超える高い圧力がかかっている。

　燃料の噴射時に噴射ノズル（筒状体）に高い圧力がかかるという問題については、剛性が高く、耐食性に優れるセラミックノズルを用いることが適当である。しかし、セラミックノズルは、金属製の噴射ノズルに比べて、研削加工に時間を要する。そのため、形状精度が高く、安価にセラミックノズルを製造する方法の開発が望まれている。

　セラミックノズルの製造方法としては、上記のように、射出成形法、プレス成形法がある。射出成形法は、成形時間が短く、量産性に富む。しかし、成形時における高圧に耐える必要があるため成形金型を大型にする必要があり、大型の成形金型は高価である。また、耐圧性を有する噴射ノズル（内筒）であるためには、肉厚とすることを要し、肉厚であるため、セラミックノズルの成形時に使用される成形用樹脂（成形助剤）の脱脂を行う脱脂工程に時間を要するという問題がある。

　更に、射出成形法では、成形助剤として熱可塑性樹脂を使用することが多く、この熱可塑性樹脂は、成形金型内での冷却中に熱収縮を生じる。そのため、得られるセラミックノズルには、形状ずれや、離型後の残留歪による変形が生じることが予想される。そのため、高い形状精度が要求される高圧噴射の用途で用いる場合には、射出成形後にセラミックノズルを機械加工することが必須となる。

　プレス成形法は、射出成形法に比べて安価な成形プロセスであるが、得られるプレス成形体（筒状体）の形状精度が劣る。そのため、高い形状精度が要求される場合には、射出成形法の場合と同様に、成形後や焼成後の機械加工が必須となる。また、プレス成形法は、加工代を大きく設定する必要がある。そのため、加工が難しいセラミックノズルの場合、プレス成形法は、加工費用が高くなり、総合的に高価な製法である。

　本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものである。その課題とするところは、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成可能な噴射ノズルの製造方法を提供する。

　本発明によれば、以下に示す、噴射ノズルの製造方法が提供される。

［１］　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、ゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製する成形体作製工程と、作製した前記成形体を焼成して前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法（第一の噴射ノズルの製造方法）。

［２］　前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの前記噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有する前記［１］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［３］　前記仕上げ工程において、前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの前記噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより前記噴射孔の内側開口部を面取りする前記［２］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［４］　前記仕上げ工程において、前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射することにより前記噴射孔の内側開口部を面取りする前記［２］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［５］　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、前記噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有する成形型に、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリー充填工程と、前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させてノズル成形体を得るノズル成形体作製工程と、得られた前記ノズル成形体を焼成して、先端に複数の噴射孔が形成された前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法（第二の噴射ノズルの製造方法）。

［６］　前記成形型として、前記複数の噴射孔となる孔を形成するための治具が配置された成形型を用いる前記［５］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［７］　前記治具が、先端に向かうに従って直径が小さくなるテーパー構造を有し、複数の前記治具は、テーパー構造をなす先端が前記成形型の中心軸に向かうように配置されている前記［６］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［８］　前記治具が、前記成形型を構成する材料より剛性が高い材料からなる前記［６］または［７］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［９］　前記ノズル成形体作製工程において、前記噴射ノズルの前記噴射孔となる孔の内側開口部が面取りされた前記ノズル成形体を得る前記［５］～［８］のいずれかに記載の噴射ノズルの製造方法。

［１０］　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程と、前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させて、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前ノズル成形体を得る孔形成前ノズル成形体作製工程と、得られた前記孔形成前ノズル成形体を焼成して、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前噴射ノズルを得る焼成工程と、得られた前記孔形成前噴射ノズルの先端に前記噴射孔となる複数の孔を形成して前記噴射ノズルを得る噴射孔形成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法（第三の噴射ノズルの製造方法）。

［１１］　前記噴射孔形成工程において、前記孔形成前噴射ノズルの先端にレーザーを照射することにより前記噴射孔となる複数の孔を形成する前記［１０］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［１２］　１つの孔を形成するための前記レーザーの照射時間が１分以下である前記［１１］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［１３］　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程と、前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させた後に乾燥させて、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前ノズル成形体を得る孔形成前ノズル成形体作製工程と、得られた前記孔形成前ノズル成形体の先端に前記噴射孔となる複数の孔を形成してノズル成形体を得る噴射孔形成工程と、得られた前記ノズル成形体を焼成して前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法（第四の噴射ノズルの製造方法）。

［１４］　前記噴射孔形成工程において、前記孔形成前ノズル成形体の先端にピコ秒レーザーを照射することにより前記噴射孔となる複数の孔を形成する前記［１３］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［１５］　前記孔形成前ノズル成形体作製工程において、前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させた後に乾燥させ、その後、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間加熱して脱脂する前記［１４］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［１６］　ピコ秒レーザーを照射することにより先端に複数の孔が形成された前記孔形成前ノズル成形体を、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間加熱して脱脂する前記［１４］に記載の噴射ノズルの製造方法。

［１７］　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程と、前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させて、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前ノズル成形体を得る孔形成前ノズル成形体作製工程と、得られた前記孔形成前ノズル成形体の先端に、研削加工または超音波加工により下穴を形成して下穴形成ノズル成形体を得る下穴形成工程と、得られた前記下穴形成ノズル成形体を焼成して、先端に前記複数の噴射孔となる孔の下穴が形成されたノズル焼成体を得る焼成工程と、得られた前記ノズル焼成体の先端の前記下穴を研削加工または超音波加工することにより、前記噴射孔となる複数の孔を形成して前記噴射ノズルを得る仕上げ工程と、を有する噴射ノズルの製造方法（第五の噴射ノズルの製造方法）。

　本発明の噴射ノズルの製造方法（第一の噴射ノズルの製造方法）では、ゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製する。そのため、第一の噴射ノズルの製造方法によれば、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

　本発明の噴射ノズルの製造方法（第二の噴射ノズルの製造方法）によれば、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得ることができる。そのため、第二の噴射ノズルの製造方法によれば、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。また、第二の噴射ノズルの製造方法では、後加工が不要であるか、または後加工をしたとしても加工の程度は軽微である。更に、第二の噴射ノズルの製造方法によれば、均一な材料からなる噴射ノズルを安価で製造することができる。

　本発明の噴射ノズルの製造方法（第三の噴射ノズルの製造方法）によれば、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得ることができる。そのため、第三の噴射ノズルの製造方法によれば、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

　本発明の噴射ノズルの製造方法（第四の噴射ノズルの製造方法）によれば、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得ることができる。そのため、第四の噴射ノズルの製造方法によれば、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

　本発明の噴射ノズルの製造方法（第五の噴射ノズルの製造方法）によれば、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得ることができる。そのため、第五の噴射ノズルの製造方法によれば、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

第二の噴射ノズルの製造方法により製造される噴射ノズルを模式的に示す正面図である。図１に示す噴射ノズルを、噴射孔側の先端から見た状態を模式的に示す平面図である。図１に示す噴射ノズルを、噴射孔とは反対の先端から見た状態を模式的に示す底面図である。図１に示す噴射ノズルの、図２に示すＡ－Ａ断面を模式的に示す断面図である。第二の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。実施例１の噴射ノズルの製造方法に用いる成形型の中心軸を通る断面を模式的に示す断面図である。実施例１の噴射ノズルの製造方法におけるスラリー充填工程を模式的に示す説明図である。実施例１の噴射ノズルの製造方法におけるノズル成形体作製工程を模式的に示す説明図である。第三の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。第三の噴射ノズルの製造方法に用いる成形型を模式的に示す斜視図である。図１０に示す成形型を図１０に示す破線に沿って切断したときの断面を模式的に示す断面図である。第四の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。第四の噴射ノズルの製造方法に用いる成形型の中心軸を通る断面を模式的に示す断面図である。第二の噴射ノズルの製造方法で用い得る成形型の中心軸を通る断面を模式的に示す断面図である。図１４に示す成形型の内側成形型及びＲ形成樹脂治具を模式的に示す断面図である。図１４に示す成形型の外側成形型及び噴射孔形成治具を模式的に示す断面図である。図１４に示す成形型のＲ形成樹脂治具を拡大して模式的に示す断面図である。図１４に示す成形型の噴射孔形成治具の配設状態を示す説明図である。図１４に示す成形型にスラリーを充填した状態を模式的に示す断面図である。第二の噴射ノズルの製造方法によりノズル成形体を成形した後、ノズル成形体を成形型から離型させる状態を模式的に示す断面図である。

　以下、本発明の実施の形態について説明する。本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。

［１］噴射ノズルの製造方法（第一の噴射ノズルの製造方法）：
　第一の噴射ノズルの製造方法は、以下の各工程を有する。即ち、第一の噴射ノズルの製造方法では、ゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製する成形体作製工程を有する。そして、作製した成形体を焼成して先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルを得る焼成工程を有する。

　この噴射ノズルの製造方法（第一の噴射ノズルの製造方法）では、ゲルキャスト成形法を用いて成形体（焼成前の噴射ノズル）を作製する。このようにゲルキャスト成形法を用いるため、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

　ゲルキャスト成形法は、均一成形が可能で、成形時の乾燥収縮も小さい。即ち、ゲルキャスト成形法は、成形型から成形体への形状転写性がよく、形状精度に優れた成形体を得ることができる。また、成形時の圧力は１０～１５０ｋＰａであり、成形時の圧力が高くないため、成形型の作製に際して安価な型材が適用できる。従って、ゲルキャスト成形法によれば、低価格で高精度の成形体を作製することができる。

　また、燃料等の噴射時に２０００ｂａｒを超える高い圧力がかかる噴射ノズルとして、剛性が高いセラミックノズルを採用する場合であっても、ゲルキャスト成形法によれば、高精度でセラミックノズル（特にニードルと組み合わされる内筒部材（筒状体））を作製することができる。また、成形後に加工処理を行う場合であっても加工仕上げ量を少なくできる。

　本発明の噴射ノズルの製造方法（第一～第五の噴射ノズルの製造方法）により製造される噴射ノズルは、例えば、ディーゼルエンジンに使用される燃料噴射用インジェクター等として利用することができる。

　図１～図４は、本発明の噴射ノズルの製造方法により製造した噴射ノズル１００を示す。噴射ノズル１００は、先端に８個の噴射孔１０が形成されたセラミック製の噴射ノズルである。噴射孔の数は、通常、２～１２個である。

　図１は、本発明の噴射ノズルの製造方法の一の実施形態により製造される噴射ノズルを模式的に示す正面図である。図２は、図１に示す噴射ノズルを、噴射孔側の先端から見た状態を模式的に示す平面図である。図３は、図１に示す噴射ノズルを、噴射孔とは反対の先端から見た状態を模式的に示す底面図である。図４は、図１に示す噴射ノズルの、図２に示すＡ－Ａ断面を模式的に示す断面図である。

［１－１］成形体作製工程：
　本工程は、上述したように、ゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製する。このようにゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製することにより、射出成形法、プレス成形法を用いて噴射ノズルを製造する場合に比べて複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

　ゲルキャスト成形法は、セラミック等の原料粉体と、分散媒と、ゲル化剤とを含むスラリーを成形型に注入した後に、上記スラリーを所定の温度条件としてゲル化させることにより硬化させて成形体を得る方法のことである。このゲルキャスト成形法は、ゲル化前の流動性が高い状態でスラリーを注型できることから複雑形状品の成形が容易であることに加え、注型後はゲル化によりハンドリングに耐える充分な強度を有する成形体を得ることができる。

　原料粉体としては、ジルコニア、アルミナ、シリカ、フェライト、チタン酸バリウム、窒化珪素、炭化珪素などのセラミックなどを挙げることができる。

　分散媒としては、脂肪族多価エステル、多塩基酸エステル、トルエン、キシレン、メチルエチルケトンなどの有機溶剤を挙げることができる。これらの中でも、脂肪族多価エステルが好ましい。

　ゲル化剤としては、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ソルビタン系エステルなどの有機化合物を挙げることができる。これらの中でも、ウレタン樹脂が好ましい。

　上記スラリーをゲル化させる温度条件は、ゲル化剤の種類などにより適宜設定することが可能であるが、例えばゲル化剤としてイソシアネート、ポリオールを用いたときは、０～８０℃とすることができる。

　本工程で用いるスラリーは、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤以外に、分散助剤、触媒などを含んでいても良い。触媒としては、６－ジメチルアミノ－１－ヘキサノールなどのアミノ化合物を挙げることができる。触媒を含むことにより、反応速度が促進するため、本工程に必要な時間を短縮することができる。

　成形型としては、「複数の噴射孔が形成される噴射ノズル」の形状と相補的な内部空間を有する成形型を用いることができる。また、「複数の噴射孔が形成される噴射ノズル」の上記噴射孔が形成される前（即ち、複数の噴射孔が塞がれた状態の噴射ノズル）の形状と相補的な内部空間を有する成形型などを用いることができる。

［１－２］焼成工程：
　成形体の焼成条件としては、従来公知の噴射ノズルの製造方法で採用される焼成条件を適宜採用することができる。例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１６００～１８００℃で１～１０時間とすることが好ましく、１７００～１８００℃で１～４時間とすることが更に好ましい。

［１－３］仕上げ工程：
　第一の噴射ノズルの製造方法は、焼成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有することが好ましい。噴射ノズルから流体を噴射する際には、噴射孔（特に内側開口部）に高い圧力が生じる。そのため、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することがある。そこで、噴射孔の内側開口部を面取りすることにより、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部より破損することを防止することができる。本明細書において「内側開口部」は、噴射孔の開口部のうち内側（棒状のニードルが配設される側）の開口部のことである。

　「噴射孔の内側開口部を面取りする」は、噴射孔の開口部のうち内側（ニードルが配設される側）の開口部が、噴射孔の中心軸を通りかつ噴射孔の延びる方向に平行な断面において曲線を描くように（Ｒ形状となるように）内側開口部を加工することを意味する。

　仕上げ工程においては、焼成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。このようにして噴射孔の内側開口部を面取りすると、噴射孔の内側開口部での応力を低減することができ、信頼性の高いノズル部品（即ち、筒状体）を提供できる。

　上記「微小砥粒を含む流体」の噴射条件としては、上記流体の温度を５～３０℃とし、粘度は５００～１５００ｍＰａ・ｓとすることができる。本明細書において、粘度は回転式粘度計により測定した値である。

　ここで、微小砥粒を含む流体の微小砥粒としては、例えば、アルミナ粒子、炭化珪素粒子、立方晶窒化ホウ素粒子、ダイヤモンド粒子などを用いることができる。また、微小砥粒の粒子径は、０．１～２０μｍであることが好ましく、１～１０μｍであることが更に好ましい。上記範囲とすることにより、微小砥粒が噴射孔を塞いでしまうことを防止でき、かつ研磨効率が高くなる。微小砥粒の粒子径が大きすぎると、微小砥粒が噴射孔（孔）を閉塞するおそれがある。小さすぎると研磨効率が極めて悪くなるおそれがある。「流体」は、気体であってもよいし、液体であってもよい。

　仕上げ工程においては、焼成工程で得られた噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射することにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射すると、噴射ノズルの先端が少し溶融する。すると、溶融部（溶融した部分）は、角が取れてＲ形状となり、噴射孔の内側開口部に発生する応力が低減される。そのため、噴射孔の内側開口部における破損の確率を大幅に低減し、信頼性の高いノズル部品（筒状体）を提供することができる。

　火炎を当てる方法においては、効率良く噴射ノズルの先端を加熱するために火炎温度が高い方が好ましい。そのためには、特に、燃料としてアセチレンを用いることが好ましい。具体的には、アセチレンガスジェットを、焼成工程で得られた噴射ノズルの内側に吹き込む方法が挙げられる。

　熱プラズマにより面取りする方法は、具体的には、高周波誘導結合放電によるプラズマジェットを、焼成工程で得られた噴射ノズルの内側に吹き込む方法が挙げられる。

［２］噴射ノズルの製造方法（第二の噴射ノズルの製造方法）：
　第二の噴射ノズルの製造方法は、以下の各工程を有する。即ち、第二の噴射ノズルの製造方法は、噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有する成形型に、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリー充填工程を有する。また、第二の噴射ノズルの製造方法は、成形型に充填した上記スラリーをゲル化させてノズル成形体を得るノズル成形体作製工程を有する。更に、第二の噴射ノズルの製造方法は、得られたノズル成形体を焼成して、先端に複数の噴射孔が形成された噴射ノズルを得る焼成工程を有する。より具体的には、第二の噴射ノズルの製造方法では、図５に示すように、「成形型の組立」を行った後、「スラリーの注入」を行い、成形型に「スラリーのゲル化」をさせ、成形型から「ノズル成形体の取り出し」を行い、「ノズル成形体の乾燥」を行う。その後、ノズル成形体の「焼成」を行うことで、噴射ノズルを作製することができる。図５は、第二の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。

　従来、ディーゼルエンジンなどに使用される燃料噴射用インジェクター等の噴射ノズルは、先端に径の小さな複数の噴射孔が形成されている。噴射孔の角度や径は、燃料の均一な燃焼を得るために高い精度が要求される。そのため、噴射ノズルにおける噴射孔の形成方法が提案されている。

　例えば、特許第２９８２２４０号公報には、噴射孔を精度良く形成するために、噴射孔を構成するパイプ形状体を別に成形し、仮焼成後にパイプ形状体とノズル本体とを一体焼成することが記載されている。しかし、この方法では、パイプ形状体とノズル本体との界面を完全になくすことは困難であり、特に噴射ノズルを量産する場合に界面を完全に無くすことを保証するのは困難である。そのため、信頼性が要求される高圧噴射用の噴射ノズルとして用いることは適当でなく、また、仮に界面を完全になくすことが可能であっても工程が複雑であり、量産する場合に噴射ノズルが高価となる。

　また、特許第２８２２６２８号公報には、グリーンシートに所定の孔を打抜き加工して、打ち抜き後に、このグリーンシートを巻いてノズル先端部を形成し、その後、ノズル上部と接合して一体化する方法が記載されている。しかし、この方法では、ノズル先端部とノズル上部とを接合して一体化する工程が必要であり、これらの接合界面の信頼性を保証する必要がある。更に、グリーンシートを巻く工程における精度を保証することは、噴射ノズルの価格増大につながる。従って、噴射ノズルを安価でかつ単純なプロセスで製造可能な製造方法の開発が望まれる。

　第二の噴射ノズルの製造方法、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得る。そのため、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成され複数の噴射孔を精度良く形成することができる。また、後加工が不要または軽微である。更に、均一な材料からなる噴射ノズルを製造することができる。

［２－１］スラリー充填工程：
　本工程で用いる成形型は、噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有するものであれば特に制限はない。第二の噴射ノズルの製造方法においては、成形型として、複数の噴射孔となる孔を形成するための治具が配置された成形型を用いることが好ましい。このような成形型を用いることにより、成形体を成形すると同時に噴射孔（噴射孔となる孔）が形成されるため、形状精度の高い噴射孔の形成が可能となる。この治具は、成形体の先端に相当する位置に放射状に配置される。このように配置することで、治具の脱着及び治具導入部の洗浄メンテナンスを短時間で行うことができる。具体的には、成形型の回転装置を用いることで、治具の脱着及び治具導入部の洗浄メンテナンスを短時間で行うことができる。

　そして、上記成形型の治具は、先端に向かうに従って直径が小さくなるテーパー構造を有するものであることが好ましい。このようなテーパー構造を有することにより、治具を成形型から取り外す際に治具が他の部材に引っかかるなどの不具合が生じ難い。この治具は、上記成形型の中心軸を中心にして放射状に且つ互いに等角度間隔で配置されている。即ち、それぞれ、テーパー構造をなす先端が成形型の中心軸に向かうように配置されている（図６参照）。

　上記治具は、成形型を構成する材料より剛性が高い材料からなることが好ましい。このような材料であると、成形体の硬化後に、成形体に変形を与えることなく、上記治具の取り外しが可能となる。そのため、本来のゲルキャスト成形の特徴である形状精度の高い状態を維持できる。具体的には、成形型を構成する材料が、アルミニウムの場合、上記治具の材料は、超硬合金、アルミナ、ジルコニア等酸化物、タングステンカーバイト等炭化物などであることが好ましい。

　図６は、上型１１、外型１２、第１の下型１３、第２の下型１４、ピン１５、及び、放射状に且つ互いに等角度間隔で配置された複数の治具１６で構成された成形型２０を示している。図６は、実施例１の噴射ノズルの製造方法に用いる成形型の中心軸を通る断面を模式的に示す断面図である。

　本工程で用いるスラリーに含まれるセラミック粉体としては、例えば、ジルコニア、アルミナ、シリカ、フェライト、チタン酸バリウム、窒化珪素、炭化珪素等を挙げることができる。これらの中でも、材料強度、破壊靱性が高い噴射ノズルを提供できるため、窒化珪素が好ましい。

［２－２］ノズル成形体作製工程：
　本工程で得られたノズル成形体は、後述する焼成工程を行う前に乾燥させることができる。この乾燥条件としては、例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１０～２００℃で１～４０時間とすることが好ましく、６０～１００℃で１～１０時間とすることが更に好ましい。

　また、上記乾燥後、脱脂を行うことが好ましい。脱脂することにより、ノズル成形体の構成原料が酸化し難くなり、また、ノズル成形体に含まれるゲル化剤、分散剤を燃焼させて取り除くことができる。脱脂条件としては、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間とすることが好ましい。そして、脱脂条件としては、露点２０～６０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８５０～１０００℃で５～９時間とすることが更に好ましい。なお、大気中で脱脂してもよい。

［２－３］焼成工程：
　ノズル成形体の焼成条件としては、従来公知の噴射ノズルの製造方法で採用される焼成条件を適宜採用することができる。例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１６００～１８００℃で１～１０時間とすることが好ましく、１７００～１８００℃で１～４時間とすることが更に好ましい。

［２－４］仕上げ工程：
　第二の噴射ノズルの製造方法は、焼成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有することが好ましい。噴射ノズルから流体を噴射する際には、噴射孔（特に内側開口部）に高い圧力が生じる。そのため、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することがある。そこで、噴射孔の内側開口部を面取りすることにより、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することを防止することができる。

　「噴射孔の内側開口部を面取りする」とは、噴射孔の開口部のうち内側（ニードルが配設される側）の開口部が、噴射孔の中心軸を通りかつ噴射孔の延びる方向に平行な断面において曲線を描くように（Ｒ形状となるように）内側開口部を加工することを意味する。

　上記「微小砥粒を含む流体」の噴射条件としては、上記流体の温度を５～３０℃とし、粘度は５００～１５００ｍＰａ・ｓとすることができる。

　上記ノズル成形体作製工程において、噴射ノズルの噴射孔となる孔の内側開口部が面取りされた上記ノズル成形体を得ることも好ましい。このようにすることにより、噴射孔の内側開口端部での応力を低減することができ、信頼性の高いノズル部品（筒状体）を提供できる。

　ノズル成形体作製工程において、噴射ノズルの噴射孔となる孔の内側開口部が面取りされた上記ノズル成形体を得る方法としては、具体的には、以下のような成形型５０を用いることができる。成形型５０は、図１４に示すように、内側成形型５１（図１５参照）とこの内側成形型５１の外側に位置する外側成形型５２（図１６参照）とを備えている成形型である。内側成形型５１と外側成形型５２との間には、スラリーが充填される成形空間１９が形成されている。この成形型５０は、内側成形型５１の「噴射孔に相当する位置」に接着された「孔形成端の中央に凹状のテーパー窪み（凹部）５４ａ（図１７参照）が設けられ、Ｒ形状を有する樹脂製のＲ形成樹脂治具５４」を有している。更に、この成形型５０は、外側成形型５２を貫通する、先端にテーパーの針（凸部）が設けられた噴射孔形成治具５３を有している。噴射孔形成治具５３は、図１８に示すように、成形型５０の中心軸を中心にして放射状に且つ互いに等角度間隔で配置される。この噴射孔形成治具５３は、外側成形型５２に差し込まれて所定の位置に配置されたとき、内側成形型５１に接着されたＲ付樹脂治具５３の凹部５４ａに、先端の針が噛み合う構造である（図１４参照）。このような成形型５０を用いると、ゲルキャスト成形を行い、噴射孔形成治具５３を外側成形型５２から抜き、内側成形型５１を外したとき、Ｒ付樹脂治具５４は、図２０に示すように、成形体５６の噴射孔となる孔５５の内側開口部に残った状態になる。その後、脱脂処理により、樹脂製のＲ付樹脂治具５４は、燃焼除去される。そのため、噴射孔となる孔５５の内側開口部は、小さなＲ形状（Ｒの小さな曲線形状）となる。図１４は、第二の噴射ノズルの製造方法で用い得る成形型の中心軸を通る断面を模式的に示す断面図である。図１５は、図１４に示す成形型の内側成形型及びＲ形成樹脂治具を模式的に示す断面図である。図１６は、図１４に示す成形型の外側成形型及び噴射孔形成治具を模式的に示す断面図である。図１７は、図１４に示す成形型のＲ形成樹脂治具を拡大して模式的に示す断面図である。図１８は、図１４に示す成形型の噴射孔形成治具の配設状態を示す説明図である。図１９は、図１４に示す成形型にスラリーを充填した状態を模式的に示す断面図である。図２０は、第二の噴射ノズルの製造方法によりノズル成形体を成形した後、ノズル成形体を成形型から離型させる状態を模式的に示す断面図である。

［３］噴射ノズルの製造方法（第三の噴射ノズルの製造方法）：
　第三の噴射ノズルの製造方法は、以下の各工程を有する。即ち、第三の噴射ノズルの製造方法は、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程を有する。また、第三の噴射ノズルの製造方法は、成形型に充填したスラリーをゲル化させて、複数の噴射孔となる孔が形成される前の「孔形成前ノズル成形体」を得る孔形成前ノズル成形体作製工程を有する。また、第三の噴射ノズルの製造方法は、得られた「孔形成前ノズル成形体」を焼成して、複数の噴射孔となる孔が形成される前の「孔形成前噴射ノズル」を得る焼成工程を有する。更に、第三の噴射ノズルの製造方法は、得られた孔形成前噴射ノズルの先端に前記噴射孔となる複数の孔を形成して、先端に複数の噴射孔が形成された噴射ノズルを得る噴射孔形成工程を有する。より具体的には、第三の噴射ノズルの製造方法においては、図９に示すように、「成形型の組立」を行った後、成形型に「スラリーの注入」を行い、「スラリーのゲル化」をさせ、成形型から「ノズル成形体の取り出し」を行い、「ノズル成形体の乾燥」を行う。その後、ノズル成形体の「焼成」を行い、「仕上げ加工」として噴射孔の形成を行うことにより、噴射ノズルを作製することができる。図９は、第三の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。

　従来、ディーゼルエンジンなどに使用される燃料噴射用インジェクター等の噴射ノズルは、例えば、特許第３９５８０４０号公報に記載されているように、射出成形法、プレス成形法により作製されていた。特許第３９５８０４０号公報には、具体的には、射出成形、プレス成形後の成形体を、焼成後アシストガスにより酸素雰囲気にした状態でパルスレーザーを照射することが記載されている。更に、特許第３９５８０４０号公報には、上記パルスレーザーを照射して、成形体の内壁が熱によって溶融された表面（滑らかな表面）で、結晶粒が他の部分より大きい細孔を形成することが示されている。

　特許第３９５８０４０号公報には、ジルコニアまたはジルコニアを添加したアルミナが、ノズル材料に適すると記載されている。ここで、ジルコニアは、熱伝導が５Ｗ／ｍＫ以下で、他のアルミナや窒化珪素に比べると低い。そのため、レーザー照射時の照射部（レーザーが照射された部分）での温度上昇が著しく高くなる。ジルコニアを添加したアルミナも、強度を得るためには熱伝導率の低いジルコニアが一定量必要となる。従って、熱伝導は３０Ｗ／ｍＫを超えることは困難である。このため、特許第３９５８０４０号公報に示されるノズルに適する材料を用いた場合、照射部の温度が高い。そのため、粒成長を抑えることは極めて困難であると予想される。より具体的には、特許第３９５８０４０号公報の第３図（ｂ）には、窒化珪素セラミックスからなる燃料噴射ノズルがＹＡＧレーザーで細孔を形成した例が示されている。ノズル細孔部は、応力が集中する部位でもあるため、結晶粒が増大すると、窒化珪素の場合も、成長した粒が、破壊起点になる危険性がある。従って、レーザー加工において、結晶粒が大きくならない短時間で、細孔形成を行う必要がある。または、熱伝導が高い材料を選定し、温度上昇を抑制する必要がある。

　第三の噴射ノズルの製造方法では、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得る。そのため、第三の噴射ノズルの製造方法によれば、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。

［３－１］スラリー充填工程：
　本工程で用いる成形型は、噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有するものであれば特に制限はない（但し、噴射孔となる孔は形成されない）。図１０は、第三の噴射ノズルの製造方法に用いる成形型３０を模式的に示す斜視図である。図１１は、図１０に示す成形型３０を図１０に示す破線Ｘに沿って切断したときの断面を模式的に示す断面図である。成形型３０は、図１１に示すように、外型１２、下型１７、ピン１５で構成されている。

　上記スラリーをゲル化させる温度条件は、ゲル化剤の種類などにより適宜設定可能であるが、例えばゲル化剤としてイソシアネート、ポリオールを用いたときは、０～８０℃とすることができる。

［３－２］孔形成前ノズル成形体作製工程：
　本工程で得られた「孔形成前ノズル成形体」は、後述する焼成工程を行う前に乾燥させることができる。この乾燥条件としては、例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１０～２００℃で１～４０時間とすることが好ましく、６０～１００℃で１～１０時間とすることが更に好ましい。

　また、上記乾燥後、脱脂を行うことが好ましい。脱脂することにより、「孔形成前ノズル成形体」の構成原料が酸化し難くなり、また、「孔形成前ノズル成形体」に含まれるゲル化剤、分散剤を燃焼させて取り除くことができる。脱脂条件としては、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間とすることが好ましい。そして、脱脂条件としては、露点２０～６０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８５０～１０００℃で５～９時間とすることが更に好ましい。なお、大気中で脱脂してもよい。なお、後述するように、脱脂は、レーザー加工（ピコ秒レーザー加工）の前に行っても良いし、レーザー加工の後に行っても良い。脱脂を「レーザー加工前」に行うと、成形体の強度が高い状態で、レーザー加工を行うことができることになるので、取り扱いが容易になる。更に、加工前後の処理時間を短くできる。そして、取り扱い時に「孔形成前ノズル成形体」が破損してしまうことに起因する歩留まりの低下を回避することができる。一方、脱脂を「レーザー加工後」に行うと、脱脂前であるために空隙率の高い成形体にレーザー加工を行うことができるため、レーザー加工時間を短くできる。また、高額なレーザー加工装置の生産効率を上げることになり、コスト低減が達成できる。

［３－３］焼成工程：
　「孔形成前ノズル成形体」の焼成条件としては、従来公知の噴射ノズルの製造方法で採用される焼成条件を適宜採用することができる。例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１６００～１８００℃で１～１０時間とすることが好ましく、１７００～１８００℃で１～４時間とすることが更に好ましい。

［３－４］噴射孔形成工程：
　「孔形成前噴射ノズル」の先端に「噴射孔となる複数の孔」を形成する方法としては、例えば、レーザーを照射することによるレーザー加工、研削加工、超音波加工などを挙げることができる。これらの中でも、レーザーを照射することによるレーザー加工が好ましい。レーザー加工によれば、加工時間が短いため、加工コストを低減することができる。

　本工程において、「孔形成前噴射ノズル」の先端に照射するレーザーの照射間隔は、１分以下であることが好ましい。このようにレーザーの照射間隔が１分以下である場合、短時間のレーザー加工であるため、結晶粒の成長が起こり難い。そのため、破壊起点となる可能性が少なく、孔角度、直線性等形状精度の高い細孔を短時間で形成可能であり、量産性の高い製造方法である。このようにレーザー加工は、短時間での加工であるため、特許第３９５８０４０号公報に記載のようなレーザー加工部において粒成長が生じ難く、噴射ノズルの強度が低下するリスクを排除できる。

　なお、ノズル（筒状体）を構成する材料として、３０Ｗ／ｍＫ以上の熱伝導率を有する窒化珪素を用いることにより、上記照射部における温度上昇の更なる抑制が可能となる。そのため、粒成長による噴射ノズルの強度の低下を回避できる。

　また、複数のレーザー（レーザー光線）を、「孔形成前噴射ノズル」の先端に同時に照射して複数の孔を一度に（一度の操作で）形成してもよいし、１本のレーザーを順次照射して、孔を形成してもよい。また、１つの孔を形成するためのレーザーの照射時間は１分以下であることが好ましい。更に、レーザーの照射時間は、１つの孔あたり、１×１０^－１２～６０秒が好ましく、１×１０^－１２～３０秒が更に好ましく、１×１０^－１２～１０秒が最も好ましい。長時間のレーザー照射及び大きなエネルギーのレーザーの照射は、噴射ノズルの損傷につながるため、レーザーの照射時間としては上記範囲であることが適している。

［３－５］仕上げ工程：
　第三の噴射ノズルの製造方法は、噴射孔形成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有することが好ましい。噴射ノズルから流体を噴射する際には、噴射孔（特に内側開口部）に高い圧力が生じる。そのため、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することがある。そこで、噴射孔の内側開口部を面取りすることにより、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することを防止することができる。

　仕上げ工程においては、噴射孔形成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。このようにして噴射孔の内側開口部を面取りすると、噴射孔の内側開口端部での応力を低減することができ、信頼性の高いノズル部品（即ち、筒状体）を提供できる。

　仕上げ工程においては、焼成工程で得られた噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射することにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射すると、噴射ノズルの先端が少し溶融する。すると、溶融部（溶融した部分）は、角が取れてＲ形状となり、噴射孔の内側開口部に発生する応力が低減される。そのため、噴射孔の内側開口部からの破損の確率を大幅に低減し、信頼性の高いノズル部品（筒状体）を提供することができる。

［４］噴射ノズルの製造方法（第四の噴射ノズルの製造方法）：
　第四の噴射ノズルの製造方法は、以下の各工程を有する。即ち、第四の噴射ノズルの製造方法は、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程を有する。また、第四の噴射ノズルの製造方法は、成形型に充填したスラリーをゲル化させた後に乾燥させて、複数の噴射孔となる孔が形成される前の「孔形成前ノズル成形体」を得る孔形成前ノズル成形体作製工程を有する。また、第四の噴射ノズルの製造方法は、得られた「孔形成前ノズル成形体」の先端に「噴射孔となる複数の孔」を形成してノズル成形体を得る噴射孔形成工程を有する。更に、第四の噴射ノズルの製造方法は、得られたノズル成形体を焼成して噴射ノズルを得る焼成工程を有する。より具体的には、第四の噴射ノズルの製造方法では、図１２に示すように、「成形型の組立」を行った後、成形型に「スラリーの注入」を行い、「スラリーのゲル化」をさせ、成形型から「ノズル成形体の取り出し」を行い、「ノズル成形体の乾燥」を行う。その後、「噴射孔の形成」を行い、「焼成」させた後、「仕上げ加工」を行うことにより、噴射ノズルを作製することができる。図１２は、第四の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。図１２は、第四の噴射ノズルの製造方法の製造手順を示す説明図である。

　従来、ディーゼルエンジンなどに使用される燃料噴射用インジェクター等の噴射ノズルは、例えば、特許第３９５８０４０号公報に記載されているように、成形体を加熱した状態でパルスレーザーを照射して、噴射孔となる孔を形成している。特許第３９５８０４０号公報では、成形体を加熱することにより、急激な熱衝撃を加えずに成形体の加工を行っているが、成形体を加熱するための道具を用意する必要がある。また、バインダーを除去した状態で加工処理する場合、ハンドリングでの損傷なども予想されるため慎重な操作が必要になる。

　第四の噴射ノズルの製造方法では、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得る。このように第四の噴射ノズルの製造方法では、ゲルキャスト成形法を採用するため、射出成形法に比べて材料中の樹脂成分の量が少なく、樹脂成分の溶融による成形体の変形などが起こり難い。また、第四の噴射ノズルの製造方法では、焼成前にレーザー加工するため、仮に成形体が損傷した場合でも、その後の焼成による補修効果が期待できるので信頼性の高い孔（噴射孔）を形成できる。更に、下穴直進性を高精度化できるため、安価な研削加工をノズル焼成体（焼成後のノズル成形体）に適用しても孔の形状精度を低下させない。以上のように、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。下穴直進性とは、噴射孔の仕上げ加工前の予備形成孔（下穴）が、どの程度、真っ直ぐ形成されているかを示す尺度である。つまり、「下穴直進性を高精度化できる」とは、「噴射孔の仕上げ加工前の予備形成孔」が、高い直進性を有していることをいう。即ち、下穴がより真っ直ぐ形成されていることをいう。このように「下穴直進性を高精度化できる」と、仕上げ加工の負担が小さく、加工コストの低減が可能となる。更に、予備成形孔（下穴）の直進性が維持された状態（下穴が高い直進性を有する状態）で加工され、噴射孔が形成されることにより、噴射精度の高い噴射孔が得られる。

［４－１］スラリー充填工程：
　本工程で用いる成形型は、噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有するものであれば特に制限はない（但し、噴射孔となる孔は形成されない）。図１３は、第四の噴射ノズルの製造方法に用いる成形型４０の中心軸を通る断面を模式的に示す断面図である。成形型４０は、図１３に示すように、上型１１、外型１２、第１の下型１３、第２の下型１４、ピン１５で構成されている。

［４－２］孔形成前ノズル成形体作製工程：
　本工程で得られた「孔形成前ノズル成形体」は、ゲル化させた後に乾燥させたものである。即ち、「孔形成前ノズル乾燥体」ということもできる。この乾燥条件としては、例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１０～２００℃で１～４０時間とすることが好ましく、６０～１００℃で１～１０時間とすることが更に好ましい。

　また、上記乾燥後、脱脂を行うことが好ましい。脱脂することにより、「孔形成前ノズル成形体」の構成原料が酸化し難くなり、また、「孔形成前ノズル成形体」に含まれるゲル化剤、分散剤を燃焼させて取り除くことができる。脱脂条件としては、例えば、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間とすることが好ましい。そして、脱脂条件としては、露点２０～６０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８５０～１０００℃で５～９時間とすることが更に好ましい。なお、大気中で脱脂してもよい。

［４－３］噴射孔形成工程：
　「孔形成前ノズル成形体」の先端に「噴射孔となる複数の孔」を形成する方法としては、例えば、レーザー照射によるレーザー加工、研削加工、超音波加工などを挙げることができる。これらの中でも、ピコ秒レーザーを照射する方法が好ましい。なお、複数のレーザー（好ましくは、ピコ秒レーザー）を、「孔形成前ノズル成形体」の先端に同時に照射して複数の孔を一度に（一度の操作で）形成してもよいし、１本のレーザーを順次照射して、孔を形成してもよい。

　本噴射孔形成工程において、「孔形成前ノズル成形体」の先端にピコ秒レーザーを照射することにより、噴射孔となる複数の孔を形成することが好ましい。このようにピコ秒レーザーを照射して「噴射孔となる複数の孔」を形成する場合、レーザーを照射することに起因して生じる熱によって成形体を加熱することなく成形体を加工することができ、かつ、短時間で噴射孔となる孔（下穴を含む）を形成することができる。

　ピコ秒レーザーを照射して噴射孔となる複数の孔を形成する場合、上記ゲル化させた後に乾燥させ、その後、ピコ秒レーザーを照射して噴射孔となる複数の孔を形成した後、上述した脱脂を行っても良い。脱脂条件は、上述した条件と同じとすることができる。

［４－４］焼成工程：
　ノズル成形体の焼成条件としては、従来公知の噴射ノズルの製造方法で採用される焼成条件を適宜採用することができる。例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１６００～１８００℃で１～１０時間とすることが好ましく、１７００～１８００℃で１～４時間とすることが更に好ましい。

［４－５］仕上げ工程：
　第四の噴射ノズルの製造方法は、焼成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有することが好ましい。噴射ノズルから流体を噴射する際には、噴射孔（特に内側開口部）に高い圧力が生じる。そのため、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することがある。そこで、噴射孔の内側開口部を面取りすることにより、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することを防止することができる。

　仕上げ工程においては、焼成工程で得られた噴射ノズルの噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。このようにして噴射孔の内側開口部を面取りすると、噴射孔の内側開口端部での応力を低減することができ、信頼性の高いノズル部品を提供できる。

［５］噴射ノズルの製造方法（第五の噴射ノズルの製造方法）：
　第五の噴射ノズルの製造方法は、以下の各工程を有する。即ち、第五の噴射ノズルの製造方法は、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程を有する。また、第五の噴射ノズルの製造方法は、成形型に充填したスラリーをゲル化させて、複数の噴射孔となる孔が形成される前の「孔形成前ノズル成形体」を得る孔形成前ノズル成形体作製工程を有する。また、第五の噴射ノズルの製造方法は、得られた「孔形成前ノズル成形体」の先端に、研削加工または超音波加工により下穴を形成して「下穴形成ノズル成形体」を得る下穴形成工程を有する。また、第五の噴射ノズルの製造方法は、得られた「下穴形成ノズル成形体」を焼成して、先端に複数の噴射孔となる孔の下穴が形成されたノズル焼成体を得る焼成工程を有する。更に、第五の噴射ノズルの製造方法は、得られたノズル焼成体の先端の下穴を研削加工または超音波加工することにより、噴射孔となる複数の孔を形成して噴射ノズルを得る仕上げ工程（第１仕上げ工程）を有する。

　従来、ディーゼルエンジンなどに使用される燃料噴射用インジェクター等の噴射ノズルは、例えば、特許第３９５８０４０号公報に記載されているように、成形体を加熱した状態でパルスレーザーを照射して、噴射孔となる孔を形成している。しかし、レーザー加工には高価な装置が必要である。

　第五の噴射ノズルの製造方法では、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリーをゲル化させてノズル成形体を得る。そのため、第五の噴射ノズルの製造方法によれば、熱収縮による寸法精度のバラツキが生じ難く、噴射ノズルの先端に形成される複数の噴射孔を精度良く形成することができる。また、ゲルキャスト成形法により成形したノズル成形体は、乾燥すると、溶媒成分が除去される。そのため、ノズル成形体を構成する原料粉末間に隙間ができている。このように隙間ができているため、このノズル成形体は、切削性が良好である。そのため、比較的短時間で、噴射ノズルに損傷が生じない研削加工または超音波加工が可能となる。従って、噴射ノズルを安価に製造することができる。また、切削性が良好であるため、無理なく加工ができるので、下穴形状の精度を高く維持した状態で、ノズル成形体を得ることができる。更に、ゲルキャスト成形法により成形した成形体は、セラミック等の粉体の粒子の密度分布が均一であるとき、このような成形体を焼成する場合、得られる焼成体（ノズル焼成体）の下穴は形状精度が良い。ここで、焼成されたものの研削加工や超音波加工は、下穴の形状精度に大きく影響を受ける。そのため、上記のようにノズル焼成体の下穴の形状精度を高くすることが可能であれば、安価な研削加工または超音波加工でノズル焼成体を良好に加工することができる。更には、安価な研削加工または超音波加工でノズル焼成体を加工できるため、噴射ノズルを安価に製造することができる。

［５－１］スラリー充填工程：
　本工程で用いる成形型は、噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有するものであれば特に制限はない（但し、噴射孔となる孔は形成されない）。例えば、図１３に示す成形型４０のような成形型を用いることができる。

［５－２］孔形成前ノズル成形体作製工程：
　本工程は、成形型に充填したスラリーをゲル化させて、複数の噴射孔となる孔が形成される前の「孔形成前ノズル成形体」を得る工程である。

［５－３］下穴形成工程：
　下穴を形成するための研削加工または超音波加工としては、従来公知の噴射ノズルの製造方法で採用される研削加工または超音波加工を適宜採用することができる。

［５－４］焼成工程：
　「下穴形成ノズル成形体」の焼成条件としては、従来公知の噴射ノズルの製造方法で採用される焼成条件を適宜採用することができる。例えば、窒化珪素の場合、窒素雰囲気下、１６００～１８００℃で１～１０時間とすることが好ましく、１７００～１８００℃で１～４時間とすることが更に好ましい。

［５－５］仕上げ工程（第１仕上げ工程）：
　得られたノズル焼成体の下穴は、研削加工または超音波加工により仕上げ処理を行い、噴射孔となる孔とすることができる。

［５－６］第２仕上げ工程：
　第五の噴射ノズルの製造方法は、第１仕上げ工程で得られた噴射ノズルの噴射孔の内側開口部を面取りする第２仕上げ工程を更に有することが好ましい。噴射ノズルから流体を噴射する際には、噴射孔（特に内側開口部）に高い圧力が生じる。そのため、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することがある。そこで、噴射孔の内側開口部を面取りすることにより、流体の噴射圧力によって噴射孔の内側開口部が破損することを防止することができる。

　第２仕上げ工程においては、第１仕上げ工程で得られた噴射ノズルの噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。このようにして噴射孔の内側開口部を面取りすると、噴射孔の内側開口端部での応力を低減することができ、信頼性の高いノズル部品（筒状体）を提供できる。

　第２仕上げ工程においては、第１仕上げ工程で得られた噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射することにより噴射孔の内側開口部を面取りすることができる。噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射すると、噴射ノズルの先端が少し溶融する。すると、溶融部（溶融した部分）は、角が取れてＲ形状となり、噴射孔の内側開口部に発生する応力が低減される。そのため、噴射孔の内側開口部からの破損の確率を大幅に低減し、信頼性の高いノズル部品（筒状体）を提供することができる。

　以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
（成形型）
　本実施例で用いた成形型２０は、上型１１、外型１２、第１の下型１３、第２の下型１４、ピン１５、及び、放射状に且つ互いに等角度間隔で配置された１０本の治具１６で構成されていた。放射状に且つ互いに等角度間隔で配置された治具１６は、外型１２及びピン１５を連結する構造であった（図６参照）。治具１６は、先端に向かうに従って直径が小さくなるテーパー構造を有するものを用いた。また、放射状に且つ互いに等角度間隔で配置された治具１６は、剛性の高い超硬合金（ＪＩＳ記号：ＶＭ－１０）で構成されているものであった。

（噴射ノズルの製造）
　まず、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリー（セラミックスラリー）を調製した。具体的には、セラミック粉体１００質量部、分散媒３０質量部、エチレングリコール０．３質量部、ゲル化剤５．３質量部、分散助剤３質量部、及び、触媒０．０５質量部を混合してセラミックスラリーを調製した。セラミック粉体としては、焼結助剤となる酸化物を適当量添加した窒化珪素原料を用いた。分散媒としては、脂肪族多価エステルと多塩基酸エステルの混合物を用いた。ゲル化剤としては、４’４－ジフェニルメタンジイソシアネートを用いた。分散助剤としては、ポリカルボン酸系共重合体を用いた。触媒としては、６－ジメチルアミノ－１－ヘキサノールを用いた。

　次に、組立完了状態にある上記成形型を大気圧の雰囲気に曝した状態で、且つ、成形型の姿勢が水平に維持された状態で、調製したセラミックスラリー１８を、成形型のスラリー導入口からスラリー貯蔵部へ加圧しつつ注入した（図７参照）。このセラミックスラリー１８の注入は、上記セラミックスラリー１８の調製後、直ちに開始した。図７は、実施例１の噴射ノズルの製造方法におけるスラリー充填工程を模式的に示す説明図である。

　セラミックスラリー１８の注入は、成形型の内部空間（成形空間１９（図６参照））を満たすまで行った（図８参照）。その後、セラミックスラリーが逆流しないように加圧状態を維持しながら、２時間放置して室温にてセラミックスラリーをゲル化させてノズル成形体を作製した。このとき、成形型に注型されたスラリーは、時間と共にゲル化反応により硬化し、成形型より与えられる形状（成形型の内部空間の形状）のノズル成形体となる。図８は、実施例１の噴射ノズルの製造方法におけるノズル成形体作製工程を模式的に示す説明図である。

　その後、ノズル成形体を成形型から取り出した。具体的には、まず、治具１６を外型１２から引き抜いた。この際、治具１６の先端がテーパー構造となっているため、他の部材に引っかかること等が生じ難く、スムーズに引き抜くことができた。次に、第１の下型１３から第２の下型１４を外し、更に、外型１２からピン１５を引き抜いた。その後、外型１２から第１の下型１３及び上型１１を外した。この際、成形型内に成形されているノズル成形体は、それぞれの接続部で流路が狭くなっているため、成形型から取り外す際に狭くなった流路の部分で切り離しが容易に行われた。その後、外型１２から製品部となるノズル成形体を取り出した。

　次に、取り出したノズル成形体を８０℃、窒素雰囲気中で８時間乾燥させてノズル乾燥体を得た。このように乾燥を行うことで、ノズル成形体に含まれる分散媒を揮発させて分散媒の含有量を０．１質量％以下にした。

　次に、得られたノズル乾燥体を雰囲気脱脂炉で脱脂を行った。具体的には、温度９００℃、露点３０℃の湿度を含んだ窒素ガス雰囲気中で７時間脱脂を行った。このように、湿度を調整した不活性ガス中で加熱を行うことにより、ノズル乾燥体の構成原料が酸化することがない。このようにして、ノズル乾燥体に含まれるゲル化剤及び分散剤を燃焼させて取り除いた。

　次に、脱脂したノズル乾燥体（ノズル脱脂体）を窒素雰囲気中、１７００℃、圧力０．５ＭＰａの条件で焼成して噴射ノズルを製造した。この条件で焼成を行うことで、ノズル乾燥体を緻密に焼成することができた。本実施例の噴射ノズルの製造方法によれば、材料が均一であり、高精度の噴射孔の成形が可能であった。

［寸法バラツキの評価］：
　製造した噴射ノズルの、ノズルの延びる方向の寸法を測定した。この測定は、製造した噴射ノズルの１０個について行った。そして、予め測定しておいたノズル成形体の、ノズルの延びる方向の長さを１００％としたときの変化率（％）を算出した。その後、変化率の平均値を算出して、寸法バラツキ（％）とした。結果を表１に示す。なお、ノズル乾燥体は焼成時に等方的収縮するため、ノズルの延びる方向の寸法を測定することにより寸法バラツキを評価することができる。

　表１から明らかなように、実施例１の噴射ノズルは、寸法バラツキ（変化率）が小さい。そのため、実施例１の噴射ノズルの製造方法によれば、複数の噴射孔を精度良く形成できることが確認できた。

（実施例２）
（成形型）
　本実施例で用いた成形型３０は、外型１２、下型１７、ピン１５で構成されていた（図１１参照）。成形型３０の内部には、成形空間１９が形成されている（図１１参照）。

（噴射ノズルの製造）
　まず、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むセラミックスラリーを調製した。具体的には、セラミック粉体１００質量部、分散媒３０質量部、エチレングリコール０．３質量部、ゲル化剤５．３質量部、分散助剤３質量部、及び、触媒０．０５質量部を混合してセラミックスラリーを調製した。セラミック粉体としては、焼結助剤となる酸化物を適当量含んだ窒化珪素を用いた。分散媒としては、脂肪族多価エステルと多塩基酸エステルの混合物を用いた。ゲル化剤としては、４’４－ジフェニルメタンジイソシアネートを用いた。分散助剤としては、ポリカルボン酸系共重合体を用いた。触媒としては、６－ジメチルアミノ－１－ヘキサノールを用いた。

　次に、組立完了状態にある成形型を大気圧の雰囲気に曝した状態で、且つ、成形型の姿勢が水平に維持された状態で、調製したセラミックスラリーを、成形型のスラリー導入口からスラリー貯蔵部へ加圧しつつ注入した。このセラミックスラリーの注入は、上記セラミックスラリーの調製後、直ちに開始した。

　セラミックスラリーの注入は、成形型の内部空間（成形空間）を満たすまで行った。その後、セラミックスラリーが逆流しないように加圧状態を維持しながら、２時間放置して室温にてセラミックスラリーをゲル化させて「孔形成前ノズル成形体」を作製した。

　その後、「孔形成前ノズル成形体」を成形型から取り出した。具体的には、まず、第１の下型１３から第２の下型１４を外し、更に、外型１２からピン１５を引き抜いた。その後、外型１２から第１の下型１３及び上型１１を外した。この際、成形型内に成形されている「孔形成前ノズル成形体」は、それぞれの接続部で流路が狭くなっているため、成形型から取り外す際に狭くなった流路の部分で切り離しが容易に行われた。その後、外型１２から製品部となる「孔形成前ノズル成形体」を取り出した。

　次に、取り出した「孔形成前ノズル成形体」を８０℃、窒素雰囲気中で８時間乾燥させてノズル乾燥体を得た。このように乾燥を行うことで、「孔形成前ノズル成形体」に含まれる分散媒を揮発させて分散媒の含有量を０．１質量％以下にした。

　次に、このノズル乾燥体を、窒素雰囲気中、１７００℃で圧力０．５ＭＰａの条件で焼成してノズル焼成体を得た。

　次に、得られたノズル焼成体の先端をレーザー加工して、直径０．１ｍｍの噴射孔を複数形成した。レーザー加工の条件は、１０秒間隔で、５秒間、ＣＯ_２レーザーを照射することとした。即ち、１つの孔を形成するためのレーザーの照射時間は、５秒間である。レーザー加工機は、ノズル焼成体と同軸回転対称に配置されたものを用いた。このように、本実施例では、レーザーの照射時間が短いため、結晶粒の成長が起こらず、破壊起点となる可能性が低い。そのため、孔角度、直線性等の形状精度の高い孔の形成が短時間で可能であった。

（実施例３）
（成形型）
　本実施例で用いた成形型４０は、上型１１、外型１２、第１の下型１３、第２の下型１４、ピン１５で構成されていた（図１３参照）。成形型４０の内部には、成形空間１９が形成されている（図１３参照）。

（噴射ノズルの製造）
　まず、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むセラミックスラリーを調製した。具体的には、セラミック粉体１００質量部、分散媒３０質量部、エチレングリコール０．３質量部、ゲル化剤５．３質量部、分散助剤３質量部、及び、触媒０．０５質量部を混合してセラミックスラリーを調製した。セラミック粉体としては、窒化珪素を用いた。分散媒としては、脂肪族多価エステルと多塩基酸エステルの混合物を用いた。ゲル化剤としては、４’４－ジフェニルメタンジイソシアネートを用いた。分散助剤としては、ポリカルボン酸系共重合体を用いた。触媒としては、６－ジメチルアミノ－１－ヘキサノールを用いた。

　その後、「孔形成前ノズル成形体」を成形型から取り出した。具体的には、まず、外型１２から下型１７を外した。次に、外型１２からピン１５を引き抜いた。この際、成形型内に成形されている「孔形成前ノズル成形体」は、それぞれの接続部で流路が狭くなっているため、成形型から取り外す際に狭くなった流路の部分で切り離しが容易に行われた。その後、外型１２から製品部となる「孔形成前ノズル成形体」を取り出した。

　次に、脱脂されたノズル乾燥体（ノズル脱脂体）の先端にピコ秒レーザーを照射して噴射孔となる孔を形成した。

　次に、噴射孔となる孔を形成したノズル脱脂体を、窒素雰囲気中、１７００℃で圧力０．５ＭＰａの条件で焼成して噴射ノズルを製造した。

　本実施例によれば、ピコ秒レーザーで孔を形成するため、レーザーを照射することに起因して生じる熱によってノズル脱脂体を加熱することなくノズル脱脂体に噴射孔となる孔を形成することができた。そのため、加熱による変形が起きないので、直線性の高い孔の加工が可能であった。また、加熱による亀裂などの損傷なども無いため、信頼性の高い孔の形成が可能であった。また、「孔形成前ノズル成形体」（ノズル脱脂体）は、焼成された後のものに比べて密度が低く、焼成された後のものに下穴を形成する場合に比べて短時間で下穴の成形が可能である。更に、本実施例では、焼成前に孔を形成するための加工を行った。そのため、仮にノズル脱脂体が損傷した場合でも、その後の焼成工程による補修効果が期待できる。従って、本実施例によれば、信頼性の高い孔を形成できる。

（実施例４）
（成形型）
　本実施例で用いた成形型４０は、上型１１、外型１２、第１の下型１３、第２の下型１４、ピン１５で構成されていた（図１３参照）。成形型４０の内部には、成形空間１９が形成されている（図１３参照）。

　次に、ノズル乾燥体の先端にピコ秒レーザーを照射して噴射孔となる孔を形成した。

　次に、噴射孔となる孔を形成したノズル乾燥体を、窒素雰囲気中、１７００℃で圧力０．５ＭＰａの条件で焼成して噴射ノズルを製造した。

　本実施例によれば、ピコ秒レーザーで孔を形成するため、レーザーを照射することに起因して生じる熱によってノズル乾燥体を加熱することなくノズル乾燥体に噴射孔となる孔を形成することができる。そのため、加熱による変形が起きないので、直線性の高い孔の加工が可能であった。また、加熱による亀裂などの損傷なども無いため、信頼性の高い孔の形成が可能であった。また、「孔形成前ノズル成形体」（ノズル乾燥体）は、射出成形法に比べて樹脂成分が少なく、樹脂成分の溶融によるノズル乾燥体の形状の変形が起こり難い。更に、機械加工によって噴射孔を形成する場合に比べて短時間で下穴の成形が可能である。更に、本実施例では、焼成前に孔を形成するための加工を行うため、仮にノズル乾燥体が損傷した場合でも、その後の焼成工程による補修効果が期待できる。従って、本実施例では、信頼性の高い孔を形成できる。

　本発明の噴射ノズルの製造方法は、噴射ノズル（具体的には、ニードル型噴射ノズルの筒状体）の製造方法として好適に採用することができる。

１０：噴射孔、１１：上型、１２：外型、１３：第１の下型、１４：第２の下型、１５：ピン、１６：治具、１７：下型、１８：セラミックスラリー、１９：成形空間、２０，３０，４０，５０：成形型、５１：内側成形型、５２：外側成形型、５３：噴射孔形成治具、５４：Ｒ付樹脂治具、５４ａ：凹部、５５：噴射孔となる孔、１００：噴射ノズル。

Claims

　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、
　ゲルキャスト成形法を用いて成形体を作製する成形体作製工程と、
　作製した前記成形体を焼成して前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法。
　前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの前記噴射孔の内側開口部を面取りする仕上げ工程を更に有する請求項１に記載の噴射ノズルの製造方法。
　前記仕上げ工程において、前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの前記噴射孔から微小砥粒を含む流体を噴射させることにより前記噴射孔の内側開口部を面取りする請求項２に記載の噴射ノズルの製造方法。
　前記仕上げ工程において、前記焼成工程で得られた前記噴射ノズルの先端に火炎を当てるかまたは熱プラズマを照射することにより前記噴射孔の内側開口部を面取りする請求項２に記載の噴射ノズルの製造方法。
　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、
　前記噴射ノズルの形状と相補的な内部空間を有する成形型に、セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを充填するスラリー充填工程と、
　前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させてノズル成形体を得るノズル成形体作製工程と、
　得られた前記ノズル成形体を焼成して、先端に複数の噴射孔が形成された前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法。
　前記成形型として、前記複数の噴射孔となる孔を形成するための治具が配置された成形型を用いる請求項５に記載の噴射ノズルの製造方法。
　前記治具が、先端に向かうに従って直径が小さくなるテーパー構造を有し、複数の前記治具は、テーパー構造をなす先端が前記成形型の中心軸に向かうように配置されている請求項６に記載の噴射ノズルの製造方法。
　前記治具が、前記成形型を構成する材料より剛性が高い材料からなる請求項６または７に記載の噴射ノズルの製造方法。
　前記ノズル成形体作製工程において、前記噴射ノズルの前記噴射孔となる孔の内側開口部が面取りされた前記ノズル成形体を得る請求項５～８のいずれか一項に記載の噴射ノズルの製造方法。
　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、
　セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程と、
　前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させて、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前ノズル成形体を得る孔形成前ノズル成形体作製工程と、
　得られた前記孔形成前ノズル成形体を焼成して、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前噴射ノズルを得る焼成工程と、
　得られた前記孔形成前噴射ノズルの先端に前記噴射孔となる複数の孔を形成して前記噴射ノズルを得る噴射孔形成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法。
　前記噴射孔形成工程において、前記孔形成前噴射ノズルの先端にレーザーを照射することにより前記噴射孔となる複数の孔を形成する請求項１０に記載の噴射ノズルの製造方法。
　１つの孔を形成するための前記レーザーの照射時間が１分以下である請求項１１に記載の噴射ノズルの製造方法。
　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、
　セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程と、
　前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させた後に乾燥させて、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前ノズル成形体を得る孔形成前ノズル成形体作製工程と、
　得られた前記孔形成前ノズル成形体の先端に前記噴射孔となる複数の孔を形成してノズル成形体を得る噴射孔形成工程と、
　得られた前記ノズル成形体を焼成して前記噴射ノズルを得る焼成工程と、を有する噴射ノズルの製造方法。
　前記噴射孔形成工程において、前記孔形成前ノズル成形体の先端にピコ秒レーザーを照射することにより前記噴射孔となる複数の孔を形成する請求項１３に記載の噴射ノズルの製造方法。
　前記孔形成前ノズル成形体作製工程において、前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させた後に乾燥させ、その後、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間加熱して脱脂する請求項１４に記載の噴射ノズルの製造方法。
　ピコ秒レーザーを照射することにより先端に複数の孔が形成された前記孔形成前ノズル成形体を、露点０～８０℃の湿度を含んだ窒素雰囲気下、８００～１２００℃で２～１２時間加熱して脱脂する請求項１４に記載の噴射ノズルの製造方法。
　先端に複数の噴射孔が形成されたセラミック製の噴射ノズルの製造方法であって、
　セラミック粉体、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを成形型に充填するスラリー充填工程と、
　前記成形型に充填した前記スラリーをゲル化させて、前記複数の噴射孔となる孔が形成される前の孔形成前ノズル成形体を得る孔形成前ノズル成形体作製工程と、
　得られた前記孔形成前ノズル成形体の先端に、研削加工または超音波加工により下穴を形成して下穴形成ノズル成形体を得る下穴形成工程と、
　得られた前記下穴形成ノズル成形体を焼成して、先端に前記複数の噴射孔となる孔の下穴が形成されたノズル焼成体を得る焼成工程と、
　得られた前記ノズル焼成体の先端の前記下穴を研削加工または超音波加工することにより、前記噴射孔となる複数の孔を形成して前記噴射ノズルを得る仕上げ工程と、を有する噴射ノズルの製造方法。