WO2013190783A1 - 振動アクチュエータユニット、ステージ装置、光学装置およびステージ装置 - Google Patents

振動アクチュエータユニット、ステージ装置、光学装置およびステージ装置 Download PDF

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Abstract

 振動アクチュエータユニットであって、印加された駆動電圧の電気的振動を機械的振動に変換する電気機械変換素子と、駆動対象の被駆動面に当接して、電気機械変換素子の機械的振動を被駆動面に駆動力として伝達する当接部とを備え、電気機械変換素子は、被駆動面に交差する第一振動面内で周期的に屈曲して当接部を第一振動面内で振動させ、且つ、第一振動面と交差する第二振動面内で周期的に屈曲して当接部を第二振動面内で振動させる。

Description

振動アクチュエータユニット、ステージ装置、光学装置およびステージ装置

 本発明は、振動アクチュエータユニット、ステージ装置、光学装置およびステージ装置に関する。

 ステージを2次元的に移動させるステージ装置がある(例えば、特許文献1参照)。また、スケールおよびエンコーダを設けて検出した変位信号に応じて駆動信号を制御する駆動装置がある(例えば、特許文献2参照)。
 特許文献1 特開平11-316607号公報
 特許文献2 特開2011-147266号公報

 X方向駆動とY方向駆動にそれぞれアクチュエータを備えるので装置規模が大きい。スケールおよびエンコーダの付加によりコストとスペースファクタが上昇する。

 本発明の第一態様によると、印加された駆動電圧の電気的振動を機械的振動に変換する電気機械変換素子と、駆動対象の被駆動面に当接して、電気機械変換素子の機械的振動を被駆動面に駆動力として伝達する当接部とを備え、電気機械変換素子は、被駆動面に交差する第一振動面内で周期的に屈曲して当接部を第一振動面内で振動させ、且つ、第一振動面と交差する第二振動面内で周期的に屈曲して当接部を第二振動面内で振動させる振動アクチュエータユニットが提供される。

 本発明の第二態様によると、上記振動アクチュエータユニットを備える光学装置が提供される。また、本発明の第三態様によると、上記振動アクチュエータユニットを備えたステージ装置が提供される。

 本発明の第四態様によると、供給された駆動電力を機械的振動に変換する電気機械変換素子と、電気機械変換素子から機械的振動を伝達されて駆動対象物を駆動する接触部と、接触部を駆動対象物に向かって付勢する付勢力を発生する付勢力発生部と、付勢力発生部が発生する付勢力となる物理量の変化に基づいて駆動対象物と電気機械変換素子との相対位置を検出する位置検出部とを備える振動アクチュエータユニットが提供される。

 本発明の第五態様によると、上記振動アクチュエータユニットを備える光学装置が提供される。また、本発明の第六態様によると、上記振動アクチュエータユニットを備えたステージ装置が提供される。

 上記した発明の概要は、この発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。

ステージ装置101の模式的断面図である。 振動アクチュエータユニット201の模式的な分解斜視図である。 振動アクチュエータユニット201の模式的側面図である。 振動アクチュエータユニット201の駆動信号波形を示す図である。 振動アクチュエータユニット201の模式的側面図である。 振動アクチュエータユニット201の構造を示す模式図である。 振動アクチュエータユニット201の駆動信号波形を示す図である。 振動アクチュエータユニット201の模式的側面図である。 ステージ装置102の模式的断面図である。 振動アクチュエータユニット202の模式的な分解斜視図である。 振動アクチュエータユニット202の駆動信号波形を示す図である。 振動アクチュエータユニット202の駆動信号波形を示す図である。 ステージ装置103の模式的断面図である。 振動アクチュエータユニット203の模式的な分解斜視図である。 駆動信号の位相関係を示す図である。 光学装置104の模式的断面図である。 光学装置104の模式図である。 光学装置105の模式図である。 光学装置105の模式図である。 能動回転関節装置106の模式図である。 カメラシステム500の模式的断面図である。 レンズユニット600の断面図である。 振動アクチュエータユニット400の模式的断面図である。 電気機械変換素子420の模式図である。 駆動信号の波形図である。 電気機械変換素子420の動作を示す模式図である。 レンズユニット601の断面図である。 ステージ装置450の模式的平面図である。 ステージ装置451の模式的断面図である。 ステージ装置451の模式的断面図である。

 以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定しない。また、実施形態において説明される特徴の組み合わせの全てが課題の解決に必須であるとは限らない。

 図1は、ステージ装置101の模式的断面図である。ステージ装置101は、基台110、付勢部120、移動ステージ130および振動アクチュエータユニット201を備える。

 ステージ装置101において、付勢部120および振動アクチュエータユニット201は、平坦な基台110の上面に配される。振動アクチュエータユニット201は、固定部112により基台110の上面に固定される。移動ステージ130は、振動アクチュエータユニット201により下方から支持される。

 付勢部120は、支柱122、弾性部材124、球面座126および転動ボール128を有する。支柱122は、基台110の上面から図中上方に伸び、更に、側方にも伸びて移動ステージ130の図中上方に差し出される。支柱122の先端と移動ステージ130上面との間には、弾性部材124、球面座126および転動ボール128が積層された状態で配される。

 転動ボール128は、移動ステージ130の上面に当接する。球面座126は、転動ボール128の転動を許容しつつ、転動ボール128が移動ステージ130の表面で変位することを防止する。弾性部材124は、支柱122および球面座126の間に圧縮された状態で挟まれる。これにより、球面座126および転動ボール128は、支柱122の上端から下方に向かって押しつけられる。

 上記のような付勢部120は、移動ステージ130の複数箇所に設けられ、協働して移動ステージ130を下方に向かって、換言すれば、基台110に近づく方向に付勢する。移動ステージ130は、振動アクチュエータユニット201により下方から支持されているので、振動アクチュエータユニット201の上端に配された当接部210は、移動ステージ130の下面に向かって押しつけられる。

 なお、付勢部120の構造は、図示の例に限られない。付勢部120は、振動アクチュエータユニット201の当接部210と、駆動対象である移動ステージ130の被駆動面とが当接した状態を維持する目的で設けられているので、磁力、重力、作動流体の圧力等、他の方法を用いて付勢力を発生する付勢部120を設けてもよい。

 図2は、振動アクチュエータユニット201の模式的な分解斜視図である。振動アクチュエータユニット201は、当接部210、圧電体220、共通電極235および複数の個別電極231、232、233、234を有する。

 当接部210は、圧電体220の図中上面に固定され、圧電体220の表面から突出して、移動ステージ130の図中下面に当接する。圧電体220が機械的振動を生じた場合、当接部210は、圧電体220と共に振動する。

 圧電体220は、PZT等の圧電材料により形成される。圧電材料は、電圧を印加されると、予め分極された方向に伸縮する。図示の例では、図中に矢印Zで示す方向が分極軸方向となるように分極される。よって、電圧値が周期的に変化する駆動電圧を印加されると、圧電体220は、図中に矢印Zで示す方向に伸縮する機械的振動を生じる。

 個別電極231、232、233、234および共通電極は、金属等の導電性を有する材料により形成され、相互に絶縁される。共通電極235は、隣接する圧電体220と略同じ面積を有して、基準電位、例えば接地電位に結合される。換言すれば、圧電体220全体は、共通電極235により2つのブロックに分割された状態になる。

 個別電極231、232、233、234は、それぞれ、圧電体220を挟んで、共通電極235に対向する位置に配される。これにより、圧電体220には、個別電極231、232、233、234のいずれかと共通電極235との間に挟まれた複数の圧電材料ブロック221、222、223、224が形成される。換言すれば、個別電極231、232、233、234は、圧電材料ブロック221、222、223、224の配列方向に沿って配される。

 よって、例えば、ひとつの個別電極231に電圧を印加した場合、個別電極231に対応する圧電材料ブロック221に電界が強く作用し、その圧電材料ブロック221が伸張または収縮する。同様に、他の個別電極232、233、234のいずれかに電圧を印加した場合、対応する圧電材料ブロック222、223、224が伸張または収縮する。このように、圧電体220および個別電極231、232、233、234により、印加された駆動電圧の電気的振動を機械的振動に変換する電気機械変換素子が形成される。

 なお、使用状態の振動アクチュエータユニット201では、図示の当接部210、圧電体220、個別電極231、232、233、234および共通電極235が相互に密着した状態にある。このような振動アクチュエータユニット201は、図示の形状の部品を組み合わせて製造されるとは限らない。例えば、それぞれが層状の圧電材料および導電性材料を順次積層することにより、図示の振動アクチュエータユニット201と同じ構造を形成できる。

 また、図示の例では、個別電極231、232、233、234および共通電極235を、それぞれ図中の矢印Yと平行な面に配している。しかしながら、各電極は、他の面あるいは圧電体220の角部に配することもできる。また、圧電体220を筒状に形成して、その内面に電極を配することもできる。

 図3は、振動アクチュエータユニット201の模式的側面図である。図3には、図1および図2において矢印Xで示した方向、即ち、一部の個別電極231、232と直交する方向から振動アクチュエータユニット201を見た様子を示す。図2と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 個別電極231、232は、圧電体220を、図中左右に分割して配置される。今仮に、図中左側に位置する個別電極232に印加するB相駆動信号と、圧電体220を挟んで個別電極232の裏側に位置する個別電極233に印加するC相駆動信号とが、同じ位相で電圧を周期的に変化するものとする。また、図中右側に位置する個別電極231に印加するA相駆動信号と、圧電体220を挟んで個別電極231の裏側に位置する個別電極234に印加するD相駆動信号とが、同じ位相で電圧を周期的に変化するものとする。

 図4は、振動アクチュエータユニット201に供給する駆動信号波形の一例を示す図である。図示のように、A相駆動信号およびD相駆動信号は相互に同期する。B相駆動信号およびC相駆動信号も相互に同期する。また、A相駆動信号およびD相駆動信号は、B相駆動信号およびC相駆動信号に対して90°進んだ位相を有する。

 図5は、上記のような組み合わせの駆動信号を振動アクチュエータユニット201に印加した場合の振動アクチュエータユニット201の動作を説明する模式図である。図3と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 図4おいて、A相駆動信号の位相が0から135°までの期間および315°以上の期間は、A相駆動信号およびD相駆動信号の電圧が、B相駆動信号およびC相駆動信号の電圧よりも高い。このような場合は、図5に示すように、圧電材料ブロック221、224が、圧電材料ブロック222、223よりも相対的に長くなり、圧電体220は、上端の当接部210を図中右方に変位させるように屈曲する。

 また、A相駆動信号の位相が135°から315°までの期間は、B相駆動信号およびC相駆動信号の電圧が、A相駆動信号およびD相駆動信号の電圧よりも高い。このような場合は、圧電材料ブロック222、223が、圧電材料ブロック221、224よりも相対的に長くなり、圧電体220は、上端の当接部210が図中左方に変位するように屈曲する。

 更に、図4において、A相駆動信号の位相が90°から180°までの期間は、すべての駆動信号の電圧値が正になる。また、A相駆動信号の位相が270°から360°までの期間は、すべての駆動信号の電圧値が負になる。よって、前者の期間は、後者の期間よりも、圧電体220全体の長さが相対的に大きくなる。

 圧電体220のこれらの運動を総合すると、図4に示した駆動信号を振動アクチュエータユニット201に供給した場合、当接部210は、図中の矢印Yと平行な面内において楕円運動を生じる。よって、ステージ装置101において、楕円運動を生じる当接部210に当接する移動ステージ130は、図1における矢印Yの方向に移動する。なお、図4に示した2相の駆動信号の相互遅延関係を逆にした場合は、移動ステージ130の移動方向が反転する。

 図6は、振動アクチュエータユニット201の模式的側面図である。図6には、図1および図2において矢印Yで示した方向、即ち、個別電極231、234および共通電極235の面方向から振動アクチュエータユニット201を見た様子を示す。図2と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 個別電極231、234は、それぞれ、共通電極235との間に圧電体220を挟む。今仮に、図中左側に位置する個別電極231に印加するA相駆動信号と、個別電極231に隣接する個別電極232に印加するB相駆動信号とが、同じ位相で電圧を周期的に変化するものとする。また、図中右側に位置する個別電極234に印加するD相駆動信号と、個別電極234に隣接する個別電極233に印加するC相駆動信号とが、同じ位相で電圧を周期的に変化するものとする。

 図7は、振動アクチュエータユニット201に供給する駆動信号波形の一例を示す図である。図示のように、A相駆動信号およびB相駆動信号は相互に同期する。D相駆動信号およびC相駆動信号も相互に同期する。また、A相駆動信号およびB相駆動信号は、D相駆動信号およびC相駆動信号に対して90°進んだ位相を有する。

 図8は、上記のような組み合わせの駆動信号を振動アクチュエータユニット201に印加した場合の振動アクチュエータユニット201の動作を説明する模式図である。図6と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 図8おいて、A相駆動信号の位相が0から135°までの期間および315°以上の期間は、A相駆動信号およびB相駆動信号の電圧が、D相駆動信号およびC相駆動信号の電圧よりも高い。このような場合は、図8に示すように、圧電材料ブロック221、222が、圧電材料ブロック224、223よりも相対的に長くなり、圧電体220は、上端の当接部210が図中左方に変位するように屈曲する。

 また、A相駆動信号の位相が135°から315°までの期間は、D相駆動信号およびC相駆動信号の電圧が、A相駆動信号およびB相駆動信号の電圧よりも高い。このような場合は、圧電材料ブロック221、222が、圧電材料ブロック224、223よりも相対的に長くなり、圧電体220は、上端の当接部210を図中右方に変位させるように屈曲する。

 更に、図7において、A相駆動信号の位相が90°から180°までの期間は、すべての駆動信号の電圧値が正になる。また、A相駆動信号の位相が270°から360°までの期間は、すべての駆動信号の電圧値が負になる。よって、前者の期間は、後者の期間よりも、圧電体220全体の長さが相対的に大きくなる。

 圧電体220のこれらの運動を総合すると、図7に示した駆動信号を振動アクチュエータユニット201に供給した場合、当接部210は、図中の矢印Xと平行な面内において楕円運動を生じる。よって、ステージ装置101において、楕円運動を生じる当接部210に当接する移動ステージ130は、図1における矢印Xの方向に移動する。また、図7に示した2相の駆動信号の相互遅延関係を逆にした場合は、移動ステージ130の移動方向が反転する。

 以上、図3から図8までを参照して説明したように、振動アクチュエータユニット201は、移動ステージ130を、矢印Xの方向にも、矢印Yの方向にも移動させることができる。更に、図4に示した駆動信号と、図7に示した駆動信号とを重畳させた駆動信号を振動アクチュエータユニット201に加えることにより、矢印Xの方向と矢印Yの方向とを合成した方向にも移動ステージ130を移動させることができる。

 このように、振動アクチュエータユニット201は、単一のアクチュエータでありながら、駆動信号の組み合わせを変化させることにより移動ステージ130を2次元的に移動させることができる。なお、図1には単一の振動アクチュエータユニット201が描かれているが、複数の振動アクチュエータユニット201を設けても差し支えないことはいうまでもない。

 図9は、ステージ装置102の模式的断面図である。ステージ装置102は、下記に説明する部分を除くと、図1に示したステージ装置101と同じ構造を有する。そこで、共通の要素にはステージ装置101と同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 ステージ装置102は、振動アクチュエータユニット202を備える点において、ステージ装置101と異なる。振動アクチュエータユニット202は、図中下面に、下方に向かって突出する単一の支持部114を有する。支持部114は、基台110の上面に当接して、振動アクチュエータユニット202を一点で支持、固定する。

 また、振動アクチュエータユニット202は、図中上面に、一対の当接部210を有する。移動ステージ130が、付勢部120によって下方に向かって付勢されている点は、振動アクチュエータユニット201と同じである。これにより、一対の当接部210は、それぞれが移動ステージ130の下面に当接して、移動ステージ130を下方から支持する。

 図10は、振動アクチュエータユニット202の模式的な分解斜視図である。振動アクチュエータユニット202は、一対の当接部210、複数の圧電材料ブロック221、222、223、224に分割された圧電体、共通電極235および複数の個別電極231、232、233、234をそれぞれ有する。振動アクチュエータユニット202において、圧電材料ブロック221、222、223、224は、いずれも長手方向、即ち、図9に示した状態では、図中の矢印Xで示す方向に分極している。

 振動アクチュエータユニット202において、図中左側の半分に相当する左翼ブロック228は、図中水平に配された個別電極231、232および共通電極235により区切られて、図中上下に配列された一対の圧電材料ブロック221、222をなす。換言すれば、個別電極231、232は、圧電材料ブロック221、222の配列方向に配列される。

 また、振動アクチュエータユニット202において、図中右側の半分に相当する右翼ブロック229は、図中垂直に配された個別電極233、234および共通電極235により区切られて、図中水平に配列された一対の圧電材料ブロック223、224をなす。換言すれば、個別電極233、234は、圧電材料ブロック223、224の配列方向に配列される。

 よって、例えば、ひとつの個別電極231に電圧を印加した場合、その個別電極231に対応する圧電材料ブロック221に電界が強く作用して、圧電材料ブロック221が伸張または収縮する。同様に、他の個別電極232、233、234のいずれかに電圧を印加した場合、対応する圧電材料ブロック222、223、224が伸張または収縮する。

 これにより、個別電極231、232に、互いに異なる駆動電圧が印加された場合、振動アクチュエータユニット202の左翼ブロック228は、ステージ装置102において、基台110の表面と直交する面内で屈曲する機械振動を生じる。また、個別電極233、234に、互いに異なる駆動電圧が印加された場合、振動アクチュエータユニット202の右翼ブロック229は、ステージ装置102において、基台110の表面と平行な面内で屈曲する機械振動を生じる。

 一対の当接部210の一方は、左翼ブロック228の上面に位置する個別電極231において、面方向の略中央に配される。他方の当接部210は、右翼ブロック229の個別電極233、234、圧電材料ブロック223、224および共通電極235を互いに密着させた場合に形成される上面の略中央に配される。これら当接部210は、それぞれ、圧電材料ブロック221、222または圧電材料ブロック223、224のいずれかが振動した場合に、共に振動する。

 なお、使用状態にある振動アクチュエータユニット202は、図示の当接部210、圧電材料ブロック221、222、223、224、個別電極231、232、233、234および共通電極235が相互に密着した状態にある。このような振動アクチュエータユニット202は、図示の形状の部品を組み合わせて製造されるとは限らない。例えば、それぞれが層状の圧電材料および導電性材料を順次積層することにより、図示の振動アクチュエータユニット201と同じ構造を形成できる。

 また、上記のような振動アクチュエータユニット202を製造する場合、圧電材料ブロック221、222、223、224、個別電極231、232、233、234および共通電極235を組み立てた後に、支持部114および当接部210を接着して取り付けてもよい。支持部114および当接部210の材料としては、例えば、変形が少なく耐磨耗性を有するポチコン(商品名)を用いることができる。

 図11は、振動アクチュエータユニット202の個別電極231、232、233、234に印加する駆動信号波形を示す図である。なお、図10に示したように、個別電極231にはA相駆動信号を、個別電極232にはB相駆動信号を、個別電極233にはC相駆動信号を、個別電極234にはD相駆動信号を、それぞれ個別に印加するものとする。

 図示の例では、A相駆動信号およびB相駆動信号は位相が180°ずれて、互いに反転した信号波形を有する。このようなA相駆動信号およびB相駆動信号を印加された場合、振動アクチュエータユニット202における圧電材料ブロック221、222は、上記したように、ステージ装置102の基台110上面に直交する面内で屈曲する機械的振動を生じる。

 一方、C相駆動信号およびD相駆動信号は同期して、互いに同じ信号波形を有する。このようなC相駆動信号およびD相駆動信号を印加された場合、振動アクチュエータユニット202における圧電材料ブロック223、224は、一体的に伸縮する。この場合、圧電材料ブロック223、224の伸縮方向は、図9および図10に矢印Xで示した方向になる。

 更に、図11に示した駆動信号波形において、A相駆動信号およびB相駆動信号の位相は、C相駆動信号の波形およびD相駆動信号の位相に対して90°遅れている。よって、圧電材料ブロック221、222の垂直面内の屈曲振動と、圧電材料ブロック221、222の長手方向の伸縮とを組み合わせることにより、振動アクチュエータユニット202は、ステージ装置102において、移動ステージ130を、図中に矢印Xで示す方向に移動させる。なお、図11に示したA相駆動信号およびB相駆動信号と、C相駆動信号およびD相駆動信号との相互遅延関係を逆にした場合は、移動ステージ130の移動方向が反転する。

 図12は、振動アクチュエータユニット202の個別電極231、232、233、234に印加する他の駆動信号波形を示す図である。図示の例では、A相駆動信号およびB相駆動信号は位相が180°ずれて、互いに反転した信号波形を有する。よって、圧電材料ブロック221、222は、上記したように、ステージ装置102の基台110上面に直交する面内で屈曲する機械的振動を生じる。

 また、図12に示す駆動信号波形では、C相駆動信号およびD相駆動信号も位相が180°ずれて、互いに反転した信号波形を有する。よって、圧電材料ブロック223、224は、ステージ装置102の基台110の表面と平行な面内で屈曲する機械的振動を生じる。

 更に、図12に示した駆動信号波形において、A相駆動信号およびB相駆動信号の位相は、C相駆動信号の波形およびD相駆動信号の位相に対して90°遅れている。よって、圧電材料ブロック221、222の垂直面内の屈曲振動と、圧電材料ブロック223、224の水平面内の屈曲運動とを組み合わせることにより、振動アクチュエータユニット202は、ステージ装置102において、移動ステージ130を、図中に矢印Yで示す方向と逆の方向に移動させる。なお、図11に示したA相駆動信号およびB相駆動信号と、C相駆動信号およびD相駆動信号との相互遅延関係を逆にした場合は、移動ステージ130の移動方向が反転する。

 以上、図9から図12までを参照して説明したように、振動アクチュエータユニット202は、移動ステージ130を、矢印Xの方向にも、矢印Yの方向にも移動させることができる。更に、A相からD相までの駆動信号相互の遅延関係をさまざまに変化させることにより、移動ステージ130の移動方向を変化させることができる。

 このように、振動アクチュエータユニット202は、単一のアクチュエータでありながら、駆動信号の組み合わせを変化させることにより移動ステージ130を2次元的に移動させることができる。図9のステージ装置102には単一の振動アクチュエータユニット201が設けられているが、想定される負荷に応じて複数の振動アクチュエータユニット202を設けても差し支えないことはいうまでもない。

 図13は、ステージ装置103の模式的断面図である。ステージ装置103は、下記に説明する部分を除くと、図9に示したステージ装置102と同じ構造を有する。そこで、共通の要素にはステージ装置102と同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 ステージ装置102は、振動アクチュエータユニット203を備える点において、ステージ装置102と異なる。振動アクチュエータユニット203は、個別電極231、232、233、234および共通電極235により形成される圧電材料ブロック221、222、223、224の配置が、振動アクチュエータユニット202と異なる。

 図14は、振動アクチュエータユニット203の模式的な分解斜視図である。振動アクチュエータユニット203は、一対の当接部210、複数の圧電材料ブロックに分割された圧電体220、共通電極235および複数の個別電極231、232、233、234をそれぞれ有する。振動アクチュエータユニット203において、圧電材料ブロック221、222、223、224は、いずれも長手方向、即ち、図13に示した状態では、図中の矢印Xで示す方向に分極している。

 振動アクチュエータユニット203において、圧電体220は、その長手方向に配された共通電極235により、長手方向と直交する方向に並ぶ一対の圧電体220に区切られる。更に、一対の圧電体220の各々において共通電極235と対向する面には、当該面を縦横に四分割する4つの個別電極231、232、233、234が配される。

 これにより、圧電体220全体では、8つの個別電極231、232、233、234に対応する8つの圧電材料ブロック221、222、223、224が形成される。8つの圧電材料ブロック221、222、223、224の各々は、全体として六面体をなす圧電体220の頂点をひとつずつ含む。

 また、8つの個別電極231、232、233、234のうち、同じ参照番号を有する一対のものは、全体として六面体をなす圧電体220の、対角位置に配され、同じ相の駆動信号を共通に受ける。

 上記のような振動アクチュエータユニット203において、図中左側半分に相当する左翼ブロック228と図中右側半分に相当する右翼ブロック229とはそれぞれ、図2に示した振動アクチュエータユニット201と類似した動作をする。ただし、これらのブロックは、圧電体220の長手方向の共通の回転軸の周りに回転した状態で結合されているので、圧電体220の図中左側半分と図中右側半分の振る舞いには相違が生じる。

 これにより、振動アクチュエータユニット203においては、駆動信号を供給された場合に圧電体220に生じる振動の振幅が大きくなる。よって、ステージ装置103において、移動ステージ130は効率よく駆動される。

 図15は、振動アクチュエータユニット203の個別電極231、232、233、234に印加する駆動信号の位相関係を示す図である。また、図15において、上段および左列に記載したXおよびYの符号は、図13に示した矢印X、矢印Yに対応して、振動アクチュエータユニット203により駆動される移動ステージ130の移動方向を示す。図示のように、A相からD相までの駆動信号相互の遅延関係をさまざまに変化させることにより、移動ステージ130の移動方向を変化させることができる。

 図13から図15までを参照して説明したように、振動アクチュエータユニット203は、8つの圧電材料ブロック221、222、223、224を4相の駆動信号により駆動することにより、移動ステージ130を、矢印Xの方向にも、矢印Yの方向にも移動させることができる。また、駆動信号相互の位相遅延関係を変化させることにより、移動ステージ130の移動方向を変化させることができる。

 このように、振動アクチュエータユニット203は、単一のアクチュエータでありながら、駆動信号の組み合わせを変化させることにより移動ステージ130を2次元的に移動させることができる。図9のステージ装置102には単一の振動アクチュエータユニット203が設けられているが、想定される負荷に応じて複数の振動アクチュエータユニット203を設けてもよい。

 図16は、光学装置104の模式的断面図である。光学装置104は、振動アクチュエータユニット203を備える。また、図13に示したステージ装置103と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 光学装置104は、ステージ装置102における移動ステージ130に換えて、移動軸132を備える点に固有の構造を有する。移動軸132は、支柱122に設けられた軸受け部121に挿通され、図中に矢印Xで示す方向に摺動自在に基台110から支持される。また、移動軸132は、軸受け部121において、長手方向の中心軸の周りに回転自在に支持される。

 移動軸132は、基台110の外側の一端に取り付けられた保持枠134において、光学系の一部をなすレンズ136を保持する。よって、レンズ136は、移動軸132が長手方向に摺動した場合に、移動軸132の中心軸と平行な光軸Lに沿って移動する。

 図17は、光学装置104の模式的斜視図である。図16と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。また、図17は、基台110および支柱122を省いて描かれている。

 図示のように、光学装置104において、振動アクチュエータユニット203の当接部210は、移動軸132の円筒状の周面に当接して駆動力を伝える。よって、振動アクチュエータユニット203が、図16に示す矢印Xの方向に駆動力を発生した場合、移動軸132は、それ自体の中心軸の方向に移動する。

 また、光学装置104において、振動アクチュエータユニット203が、図16に示す矢印Yの方向に駆動力を発生した場合、移動軸132は、図17に矢印Qで示すように、それ自体の中心軸の周りに回転する。移動軸132が回転した場合、レンズ136は、光軸Lからはずれる。

 このように、振動アクチュエータユニット203を用いることにより、光学部材であるレンズ136を、光軸L方向の他に、光軸Lからはずれる方向にも移動させることができる。よって、レンズ136を移動させて光学系の特性を変化させる他に、レンズ136を光学系からはずして、光学的な構成自体を変更することができる。

 なお、上記の例では、振動アクチュエータユニット203を用いて光学装置104を形成した。しかしながら、既に説明した他の振動アクチュエータユニット201、202を用いて光学装置104を形成してもよい。

 図18は、光学装置105の模式的断面図であり、レンズ136を含む光学系の光軸Lと直交する断面を示す。図17と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 光学装置105は、レンズ鏡胴116、板ばね125、127、保持枠134、レンズ136および振動アクチュエータユニット203を備える。レンズ136を保持する保持枠134は、一対の板ばね125、127に結合される。個々の振動アクチュエータユニット203は、既に説明した振動アクチュエータユニット203と同じ構造を有し、紙面に対して垂直な方向と、紙面と平行な方向とに、レンズ鏡胴116の内面に対して移動できる。

 一対の板ばね125、127は伸張する方向に付勢されており、それぞれの端部は、振動アクチュエータユニット203を、レンズ鏡胴116の内面に向かって押しつける。これにより、保持枠134およびレンズ136は、レンズ鏡胴116の図中略中央に保持される。

 上記のような光学装置105において、振動アクチュエータユニット203の一部を光軸Lの方向に動作させた場合、レンズ136の光軸Lに対する傾きが変化する。また、振動アクチュエータユニット203のすべてを光軸Lの方向同時に動作させた場合は、レンズ136は、光軸Lに対する角度を維持しつつ光軸L方向に並進する。更に、すべての振動アクチュエータユニット203を同時に、紙面と平行に同時に動作させた場合、レンズ136は、光軸Lに対する傾きを維持したまま、図中に矢印Xで示すように、紙面と平行に移動する。

 図19は、図18に示した光学装置105の他の動作を説明する模式的断面図である。図18と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 図19に示した状態の光学装置105においては、図中で上側に配された一対の振動アクチュエータユニット203は、図中に矢印Mで示すように、互いに接近する方向に、紙面に平行に移動する。また、図中で下側に配された一対の振動アクチュエータユニット203は、図中に矢印Mで示すように、互いに離間する方向に紙面に平行に移動する。

 上記のような振動アクチュエータユニット203の動作により、板ばね125、127の図中上側の部分は、レンズ鏡胴116の側面に対して平行に近づく。一方、板ばね125、127の図中下側の部分は、レンズ鏡胴116の側面に対する傾きが大きくなる。これにより、レンズ136は、図中に矢印Mで示すように、レンズ鏡胴116内で低い方の位置に向かって並進する。

 このように、図中上側の振動アクチュエータユニット203と、図中下側の振動アクチュエータユニット203とが互いに異なる動作をすることにより、レンズ136を図中上下にも移動させることができる。更に、これらの振動アクチュエータユニット203の動作を組み合わせることにより、レンズ136の光学的な調整を、振動アクチュエータユニット203に対する電気的な制御で実行できる。

 なお、上記の例では、振動アクチュエータユニット203を用いて光学装置105を形成した。しかしながら、既に説明した他の振動アクチュエータユニット201、202を用いて光学装置105を形成してもよい。

 図20は、能動回転関節装置106の模式的斜視図である。能動回転関節装置106は、基台110、付勢部120、被駆動球体138および振動アクチュエータユニット203を備える。

 振動アクチュエータユニット203は、基台110の上面に支持部114を当接させて、基台110に対して固定される。被駆動球体138は、振動アクチュエータユニット203の当接部210に当接して、図中下方から支持、固定される。

 付勢部120は、基台110から図中上方に延在する支柱122と、支柱122から懸架された弾性部材124と、弾性部材124により下方に向かって付勢された球面座126とを有する。球面座126は、被駆動球体138を下方に向かって付勢する。よって、被駆動球体138は、振動アクチュエータユニット203の当接部210に押しつけられる。

 上記のような能動回転関節装置106において振動アクチュエータユニット203が動作すると、被駆動球体138は、同じ位置を保ちつつ回転する。これにより、被駆動球体138に取り付けられた可動肢139が、基台110に対する傾きを変える。

 既に説明した通り、振動アクチュエータユニット203は、基台110の面方向について任意の方向に駆動力を発生する。よって、能動回転関節装置106は、振動アクチュエータユニット203に供給する駆動電力の電気的な制御で、可動肢139の傾きを変化させることができる。

 なお、上記の例では、振動アクチュエータユニット203を用いて能動回転関節装置106を形成した。しかしながら、既に説明した他の振動アクチュエータユニット201、202を用いて能動回転関節装置106を形成してもよい。

 図21は、カメラシステム500の模式的断面図である。カメラシステム500は、レンズユニット600およびカメラボディ300を含む。

 なお、記載を簡潔にする目的で、以下の説明においては、カメラシステム500の撮影対象となる物体が位置する側を前側または先端側と記載する。また、カメラシステム500において、レンズユニット600に対してカメラボディ300が配置された側を後側または背面側と記載する。

 レンズユニット600は、固定筒610、レンズ群620、630、640、レンズ側制御部650および振動アクチュエータユニット400を有する。固定筒610の後端には、レンズ側マウント部660が設けられる。

 レンズ側マウント部660は、カメラボディ300のボディ側マウント部360と嵌合して、レンズユニット600をカメラボディ300に結合する。レンズ側マウント部660およびボディ側マウント部360の結合は解除できるので、レンズユニット600は、同じ規格のレンズ側マウント部660を有する他のレンズユニット600と交換できる。

 レンズ群620、630、640は、固定筒610の内側において、光軸Xに沿って配置されて光学系を形成する。少なくともひとつのレンズ群630は、嵌合部634および係合部636を有する保持枠632に支持される。

 嵌合部634は、案内軸612に対して嵌合する。また、係合部636は、案内軸612に対して係合する。案内軸612は、光学系の光軸Xと平行に配され、固定筒610に対して固定される。よって、保持枠632は、案内軸612に沿って摺動自在に支持される。

 保持枠632は、振動アクチュエータユニット400に一体的に結合される。振動アクチュエータユニット400は、付勢部410および電気機械変換素子420を含む。付勢部410は、電気機械変換素子420を、案内軸612に向かって押し付ける。電気機械変換素子420は、供給された駆動電力により振動を発生して、保持枠632を案内軸612に沿って移動させる駆動力を発生する。

 なお、固定筒610の内面には、振動アクチュエータユニット400に対向して配された磁気センサ430が固定される。磁気センサ430は、付勢部410および電気機械変換素子420の位置を検出する場合に使用される。

 レンズ側制御部650は、振動アクチュエータユニット400の駆動電力を出力する駆動回路を含むと共に、レンズユニット600全体の制御を担う。また、レンズ側制御部650は、カメラボディ300に搭載されたボディ側制御部322とレンズユニット600側との通信も担う。これにより、カメラボディ300に装着されたレンズユニット600は、カメラボディ300と連携して動作する。

 カメラボディ300は、ボディ側マウント部360の後側にミラーユニット370を備える。ミラーユニット370は、メインミラー保持枠372およびメインミラー371を有する。メインミラー保持枠372は、メインミラー371を保持しつつ、メインミラー回動軸373により軸支される。

 また、ミラーユニット370は、サブミラー保持枠375およびサブミラー374を有する。サブミラー保持枠375は、サブミラー374を保持しつつ、サブミラー回動軸376によりメインミラー保持枠372から軸支される。メインミラー保持枠372が回動した場合、サブミラー374およびサブミラー保持枠375はメインミラー保持枠372と共に移動しつつ、メインミラー保持枠372に対して回動する。

 カメラボディ300において、ミラーユニット370の図中上方にはフォーカシングスクリーン352およびペンタプリズム354が順次配される。また、カメラボディ300において、ペンタプリズム354の図中後方にはファインダ光学系356および測光センサ390が配される。ファインダ光学系356の後端は、カメラボディ300の背面にファインダ350として露出する。測光センサ390は、入射した光の強度を検出する。

 カメラボディ300において、ミラーユニット370の図中後方には、フォーカルプレンシャッタ310、光学フィルタ332および撮像素子330が順次配される。フォーカルプレンシャッタ310は開閉して、入射した光に対して撮像素子330を開放または遮蔽する。

 光学フィルタ332は、撮像素子330の直前に設置され、撮像素子330に入射した光から赤外線および紫外線を除去する。また、光学フィルタ332は、撮像素子330の表面を保護する。更に、光学フィルタ332は、入射した光の空間周波数を減じるローパスフィルタを含む。これにより、光学フィルタ332は、撮像素子330のナイキスト周波数を越える空間周波数成分を入射した光から除去してモアレの発生を抑制する。

 撮像素子330は、CCDセンサ、CMOSセンサなどの光電変換素子により形成され、光学フィルタ332を透過して入射した光を受光する。撮像素子330の更に背後には、基板320、背面表示部340が順次配される。基板320には、ボディ側制御部322および画像処理部324等が実装される。背面表示部340は、液晶表示板等により形成され、カメラボディ300の背面に露出する。

 図示の状態にあるメインミラー371は、レンズユニット600を通じて入射した光を斜めに横切る観察位置にある。メインミラー371は、入射した光を反射する反射領域と、入射した光の一部を透過するハーフミラー領域とを有する。

 観察位置のメインミラー371に入射した被写体光の一部は、ハーフミラー領域を透過してサブミラー374に入射する。サブミラー374は、入射した光を図中下方に向かって反射し、ミラーユニット370の図中下方に配された合焦光学系380を通じて合焦センサ382に入射させる。

 また、観察位置にあるメインミラー371の反射領域は、レンズユニット600を通じて入射した光をフォーカシングスクリーン352に向かって反射する。フォーカシングスクリーン352は、撮像素子330の素子配列面と光学的に共役な位置に配され、レンズユニット600の光学系が形成した像を可視化する。フォーカシングスクリーン352に結ばれた被写体像は、ペンタプリズム354およびファインダ光学系356を通じてファインダ350から正立正像として観察される。

 ペンタプリズム354から射出される光の一部は、ファインダ光学系356の上方に配された測光センサ390に受光される。カメラボディ300のレリーズボタンが半押し状態になると、測光センサ390は、受光した光の光強度を検出する。

 ボディ側制御部322は、検出された光強度に応じて被写体輝度を算出し、算出した被写体輝度に応じた絞り値、シャッタ速度、ISO感度等の撮像条件を算出する。これにより、カメラシステム500は、適切な撮影条件で被写体を撮影できる状態になる。

 また、カメラボディ300のレリーズボタンが半押し状態になると、合焦センサ382が、レンズユニット600の光学系におけるデフォーカス量を検出して、ボディ側制御部322に通知する。ボディ側制御部322は、検知されたデフォーカス量を打ち消すに足るレンズ群630の移動量を算出してレンズ側制御部650に通知する。

 レンズ側制御部650は、通知された移動量に応じて振動アクチュエータユニット400を動作させてレンズ群630を駆動する。これにより、レンズユニット600の光学系で形成された被写体像がフォーカシングスクリーン352上で鮮明になる。

 カメラシステム500においてレリーズボタンが更に深く押し込まれた場合、メインミラー保持枠372はメインミラー371と共に図中時計回りに回動し、撮影位置に略水平に停止する。これにより、メインミラー371は、レンズユニット600の光学系を通じて入射した光の光路から退避する。

 メインミラー371が撮影位置に向かって回動する場合、サブミラー保持枠375も、メインミラー保持枠372と上昇すると共に、サブミラー回動軸376の回りに回動して、撮影位置において略水平に停止する。これにより、サブミラー374も入射した光の光路から退避する。

 メインミラー371およびサブミラー374が撮影位置に移動すると、続いてフォーカルプレンシャッタ310の先幕が開く。これにより、レンズユニット600の光学系を通じて入射した光は、光学フィルタ332を通過して撮像素子330に受光され、撮像される。その後、フォーカルプレンシャッタ310の後膜が閉じ、メインミラー371およびサブミラー374は再び観察位置に復帰して、撮影に係る一連の動作が完了する。

 なお、レンズ交換式一眼レフカメラのカメラシステム500におけるレンズユニット600に振動アクチュエータユニット400を適用した例について説明したが、振動アクチュエータユニット400は、ミラーレスカメラ、コンパクトカメラ、ビデオカメラ等、様々な撮像装置のレンズユニットにおいて光学部材を移動させる用途に使用できる。更に,撮像装置に限らず、光学部材を備えた顕微鏡等の光学装置をはじめ、高い位置決め精度で位置決めされた部材を駆動する場合に広く利用できる。また更に、光学装置に限らず、ステージ装置等のアクチュエータとしても広範に利用できる。

 図22は、レンズユニット600の光軸Xに直交する断面を模式的に示す断面図である。図21と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 レンズユニット600において、レンズ群630を保持する保持枠632は、図中上端に嵌合部634を一体的に備える。嵌合部634は、電気機械変換素子420と共に案内軸612を包囲する。これにより、保持枠632は、案内軸612の回りを回動し得る状態で、案内軸612に対して嵌合する。

 また、保持枠632は、図中下端に係合部636を一体的に備える。係合部636は、案内軸612の外径と略同じ間隔の平行面を有し、当該平行面の間に案内軸612を挟む。これにより、保持枠632の下側が、紙面と平行に、且つ、図中水平に変位することを防止する。よって、嵌合部634および係合部636により、保持枠632は、紙面と平行に方向について位置決めされる。

 なお、磁気センサ430は、付勢部410の上面に対向して、固定筒610の内面に固定される。ただし、付勢部410は、保持枠632と共に、紙面と垂直に移動する。よって、紙面に垂直な方向については、磁気センサ430と付勢部410とが同じ位置で対向するとは限らない。

 図23は、振動アクチュエータユニット400全体の構造を示す模式図である。図21および図22と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 振動アクチュエータユニット400は、付勢部410、電気機械変換素子420および磁気センサ430を有する。また、レンズユニット600における振動アクチュエータユニット400は、レンズ側制御部650から駆動電力を供給され、レンズ側制御部650の制御の下に動作する。

 電気機械変換素子420は、支持部422、接触部424および圧電体425を有する。圧電体425は、直方体の圧電材料により形成される。一対の接触部424は、圧電体425の図中下面に配され、案内軸612にそれぞれ接する。

 支持部422は、圧電体425の図中上面に配される。支持部422は、付勢部410に図中下方から当接して、付勢部410から付勢力を受ける。これにより、電気機械変換素子420は図中下方に向かって付勢され、接触部424が案内軸612に向かって押しつけられる。

 付勢部410は、永久磁石412、ヨーク414および緩衝部材416を含む。ヨーク414は、磁性体材料により形成され、電気機械変換素子420の図中上面から側面に沿って配される。ヨーク414の下端は、案内軸612に接近するが接触はしない。

 永久磁石412は、ヨーク414に重ねて、磁極が案内軸612と平行な方向に配列される向きに配される。よって、ヨーク414も、永久磁石412により磁化される。なお、振動アクチュエータユニット400においては、案内軸612も磁性体により形成されて、付勢部410の一部をなす。即ち、永久磁石412により生じた磁界は、それぞれが磁性体であるヨーク414および案内軸612により磁気回路を形成する。これにより、付勢部410は案内軸612に向かって引きつけられる。

 付勢部410を案内軸612に向かって引きつける力は、既に説明した通り、支持部422を通じて付勢力として電気機械変換素子420に伝えられ、接触部424を案内軸612に押しつける。こうして、付勢部410を有する振動アクチュエータユニット400においては、永久磁石412が発生した磁力により、電気機械変換素子420が案内軸612に向かって予圧される。

 なお、振動アクチュエータユニット400において、緩衝部材416は、ヨーク414の下端に装着され、何らかの理由でヨーク414の下端が案内軸612に接触した場合に案内軸612を擦過することを防止する。また、緩衝部材416を非磁性体で形成することにより、案内軸612に接触した場合に案内軸612に対して固着することを防止できる。これらの機能を考え合わせると、緩衝部材416は、POM樹脂のように弾性と潤滑性とを有する樹脂材料を用いて形成することが好ましい。

 振動アクチュエータユニット400において、磁気センサ430は、付勢部410の永久磁石412の磁力を物理量として検出する。よって、付勢部410および電気機械変換素子420が固定筒610に対して変位した場合、磁気センサ430は磁界の変化を検出する。これにより、レンズ側制御部650は、磁気センサ430の検出結果に基づいて保持枠632の位置を知ることができる。よって、レンズ側制御部650は、保持枠632の位置に応じて、振動アクチュエータユニット400に供給する駆動電力を調整できる。

 なお、磁気センサ430としては、ホール素子、磁気インピーダンス素子等を用いることができる。また、振動アクチュエータユニット400の移動経路に沿って、複数の磁気センサ430を配置してもよい。

 更に、図示の例では、付勢部410は単一の永久磁石412を有するが、ヨーク414上に複数の永久磁石412を配してもよい。これにより、磁気センサ430には磁束密度の周期的な変化が検出され、振動アクチュエータユニット400の動作量を精度よく検出できる。

 また更に、付勢部410において、永久磁石412に換えて電磁石を用いてもよい。電磁石は発生する磁力の強さを変更できるので、電磁石を用いた付勢部410は、付勢力を変化させることができる。ただし、電磁石の磁力を変化させた場合は、発生した磁力の変化に応じて磁気センサ430の検出結果を補正することが好ましい。

 図24は、電気機械変換素子420のひとつを拡大して側面から見た様子を示す模式図である。他の図と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 電気機械変換素子420の各々は、側面から見た場合に略矩形をなす圧電体425の対角位置に配された一対のA相電極421およびB相電極423を有する。圧電体425は、PZT等の圧電材料により形成される。A相電極421およびB相電極423は、それぞれ、圧電体425と共に焼成された金属材料により形成される。

 なお、圧電体425は、層状の圧電材料を積層して形成してもよいし、バルク状であってもよい。このようにして形成される圧電体425の寸法は、例えば、10層程度の層状圧電材料を積層して2mm角程度に形成できる。

 A相電極421およびB相電極423は、紙面に垂直な方向について、圧電体425の裏面にも対応する位置に配される。よって、A相電極421に駆動電圧を印加した場合は、A相電極421に挟まれた領域において、圧電体425が収縮または伸張する。同様に、B相電極423に駆動電圧を印加した場合は、B相電極423に挟まれた領域において、圧電体425が収縮または伸張する。

 図25は、電気機械変換素子420に供給されるA相駆動信号およびB相駆動信号の信号波形を示す波形図である。図示のように、A相駆動信号およびB相駆動信号は周期的に変動する。A相駆動信号が、たとえば正弦波波形を形成する電気的振動を有する場合、B相駆動信号は、A装置駆動信号に対して位相が90度遅れた正弦波波形、即ち、余弦波の波形を有する変調信号で変調された電圧信号を、B相駆動信号として発生する。

 図26は、上記のようなA相駆動信号およびB相駆動信号を供給された電気機械変換素子420の動作を示す模式図である。上記の通り、A相駆動信号およびB相駆動信号は相互に位相がずれているので、A相電極421が配された領域と、B相電極423が配された領域において、圧電体425は異なる伸縮状態を呈する。

 電気機械変換素子420において、A相電極421およびB相電極423は隣接して配されているので、上記のような圧電体425の伸縮により、電気機械変換素子420は、屈曲する変形を生じる。また、電気機械変換素子420は、長手方向の寸法が伸縮する変形も同時に生じる。これにより、図中に矢印Vで示すように、接触部424が図中で楕円起動を描く楕円振動を生じる。

 再び図23を参照すると、電気機械変換素子420の接触部424は、付勢部410により加えられた付勢力により、案内軸612に向かって押し付けられている。よって、接触部424が上記の楕円振動を生じた場合、案内軸612は、電気機械変換素子420に対して相対的に変位する。

 なお、上記のような電気機械変換素子420の作用に鑑みて、接触部424は、電気機械変換素子420に生じる振動の腹に当たる部分に配置することが好ましい。これにより、電気機械変換素子420の楕円振動により生じた駆動力が、案内軸612に効率よく伝達される。

 上記のような振動アクチュエータユニット400において、保持枠632と共に一体的に移動する振動アクチュエータユニット400は、駆動力を発生する接触部424において案内軸612に接し、他の部分では接していない。よって、振動アクチュエータユニット400により駆動された保持枠632の移動に伴って摺動抵抗を生じる箇所がなく、保持枠632を円滑に駆動できる。

 また、振動アクチュエータユニット400においては、付勢部410の一部である永久磁石412の発生する磁界の磁束密度を検出することにより振動アクチュエータユニット400の駆動量を検出できる。よって、リニアスケール等の、占有空間が大きく、コストの高い部品を用いることなく、振動アクチュエータユニット400の動作量を精度よく検出できる。

 なお、上記の例では、圧電体425側と共に移動するヨーク414に永久磁石412を配した。しかしながら、案内軸612側に永久磁石412を配して、磁性体により形成されたヨーク414を磁力により引きつけて付勢力を発生する構造としてもよい。このような構造にした場合は、磁気センサ430を圧電体425側に配置して、振動アクチュエータユニット400の動作量を検出できる。

 図27は、振動アクチュエータユニット400を備えた他のレンズユニット601の断面図であり、光軸Xと直交する断面を示す。図26までに示した実施形態と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。

 レンズユニット601は、一対の振動アクチュエータユニット400を備える。また、固定筒610は、案内軸612に換えて、固定筒610と一体的に形成された案内レール611を有する。案内レール611は、紙面に垂直な方向に、即ち、レンズユニット601の光軸Xと平行な方向に、一定の断面形状を保って延在する。

 これにより、案内レール611は、レンズユニット601の長手方向に、平坦な一対の案内面613を形成する。一対の案内面613は、図中の水平線に対して互いに異なる傾きを有する。

 一対の振動アクチュエータユニット400の各々は、一対の案内面613に対して当接する。ここで、振動アクチュエータユニット400の各々においては、既に説明した通り、付勢部410の永久磁石412が発生する磁力により、接触部424を案内面613に互いに異なる方向に押しつける。よって、保持枠632は、一対の案内面613に対してそれぞれ吸着力を発生する一対の振動アクチュエータユニット400により、図示の断面におけるいずれの方向に対しても、固定筒610に対して位置決めされる。

 換言すれば、レンズユニット601において、保持枠632および固定筒610は、振動アクチュエータユニット400において接触し、他に接触している部分はない。よって、振動アクチュエータユニット400の駆動力により保持枠632を駆動した場合に、保持枠632の移動に伴って摺動抵抗が生じることがなく、保持枠632は円滑に移動する。

 また、一対の振動アクチュエータユニット400の各々は、磁気センサ430により移動量を個別に精度よく検出できる。よって、一対の振動アクチュエータユニット400の動作を同期させて、光軸Xに対する傾きを生じることなく保持枠632を移動させることができる。

 図28は、振動アクチュエータユニット401、402を備えたステージ装置450の模式的平面図である。ステージ装置450は、定盤452、移動ステージ454および駆動部456を備える。

 ステージ装置450において、移動ステージ454は、駆動部456を介して、固定された定盤452の上に配される。移動ステージ454は、駆動部456により駆動されて、定盤452に対して、定盤452の面方向に移動する。

 駆動部456は、複数の振動アクチュエータユニット401、402を有する。振動アクチュエータユニット401、402の個々の構造は、図23に示した振動アクチュエータユニット400と略等しい。ただし、磁気センサ430は、それぞれ、永久磁石412に対向する位置において、定盤452に埋め込まれる。

 また、駆動部456において一対の振動アクチュエータユニット401は、図中に矢印Yで示す方向に平行に配される。他の振動アクチュエータユニット402は、図中に矢印Xで示すように、振動アクチュエータユニット401と直交する方向に配される。これら振動アクチュエータユニット401、402は、連結部材440により一体的に結合された上で、更に、移動ステージ454を搭載される。よって、移動ステージ454は、駆動部456の動作に伴って、駆動部456と共に定盤452上で移動する。

 上記のようなステージ装置450においては、一対の振動アクチュエータユニット401を同期して動作させて、同じ方向に駆動力を発生させることにより、図中に矢印Yおよび-Yにより示す方向に、移動ステージ454を並進させることができる。また、他の振動アクチュエータユニット402を動作させて駆動力を発生させることにより、図中に矢印Xおよび-Xにより示す方向に移動ステージ454を並進させることができる。

 更に、ステージ装置450において、一対の振動アクチュエータユニット401に互いに異なる動作をさせた場合、図中に矢印θおよび-θにより示すように、移動ステージ454を回転させることができる。このように、複数の振動アクチュエータユニット401、402を組み合わせて駆動部456を形成することにより、簡潔な構造で高機能なステージ装置450を形成できる。

 図29および図30は、他のステージ装置451の模式的断面図である。図29は、移動ステージ454の移動方向に沿った断面を、図30は、図29の断面に直交する断面をそれぞれ示す。ステージ装置451は、定盤452、振動アクチュエータユニット403および移動ステージ454を備える。

 ステージ装置451において、移動ステージ454は、固定された定盤452の上で、振動アクチュエータユニット403に支持される。これにより、移動ステージ454は、振動アクチュエータユニット403に駆動されて、定盤452の面方向に、定盤452に対して移動する。

 振動アクチュエータユニット403は、付勢部410および電気機械変換素子420を有する。電気機械変換素子420の構造は、図23に示した振動アクチュエータユニット400と等しい。よって、同じ要素に共通の参照番号を付して重複する説明を省く。

 付勢部410は、定盤452の直近に開口する連通孔411を有する。連通孔411は、フレキシブルチューブ413を通じて負圧源に結合される。これにより、連通孔411下端の開口にも負圧が生じて、定盤452の表面を吸引する。

 こうして、付勢部410は、電気機械変換素子420の接触部424を定盤452に押しつける付勢力を発生するこれにより、電気機械変換素子420が動作した場合、接触部424の機械的振動が定盤452と振動アクチュエータユニット403との間に駆動力を生じ、移動ステージ454は定盤452上で移動する。

 また、ステージ装置451において、定盤452は、スリット453、キャビティ455および圧力センサ432を有する。キャビティ455は、定盤452の内部に形成された空洞であり、スリット453と圧力センサ432とを連通させる。圧力センサ432は、図中左端、即ち、移動ステージ454の移動方向について偏った位置で、キャビティ455に連通する。

 スリット453は、キャビティ455と、定盤452の外部とを連通させる。また、スリット453は、定盤452の表面において、連通孔411の開口に対向した位置に設けられる。よって、連通孔411が負圧源に連通している場合、連通孔411は、スリット453内部の空気も吸引する。これにより、キャビティ455の空気も吸い出されて、キャビティ455の内部も減圧される。

 圧力センサ432は、このようなキャビティ455内の気圧の変化を検出する。

 更に、振動アクチュエータユニット403が動作して移動ステージ454が定盤452上で移動した場合、連通孔411とスリット453とが対向する位置が変化するので、連通孔411と圧力センサ432との間の距離Dが変化する。キャビティ455内の空気は粘性を有するので、距離Dの変化に応じて、圧力センサ432が検出するキャビティ455内の圧力が異なる。より具体的には、距離Dが短い場合は、圧力センサ432が検出する減圧は大きくなり、距離Dが長い場合は、圧力センサ432が検出する減圧は小さくなる。

 このように、ステージ装置451においても、振動アクチュエータユニット403は、付勢部410が発生する物理量である気圧を検出して、移動量を検知できる。よって、リニアスケールおよびエンコーダ等の付加的な部材を用いることなく、移動量を監視して精度よく制御することができる。

 なお、ステージ装置451においても、図28に示したステージ装置450のように、互いに向きが異なる複数の振動アクチュエータユニット403を有する駆動部456を設けてもよい。これにより、移動ステージ454を、定盤452の表面と平行な平面において、2次元的に移動させることができると共に、同平面上で回転させることができる。

 以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

101、102、103 ステージ装置、104、105 光学装置、106 能動回転関節装置、110 基台、112 固定部、114 支持部、116 レンズ鏡胴、120 付勢部、121 軸受け部、122 支柱、124 弾性部材、125、127 板ばね、126 球面座、128 転動ボール、130 移動ステージ、132 移動軸、134 保持枠、136 レンズ、138 被駆動球体、139 可動肢、201、202、203 振動アクチュエータユニット、210 当接部、220 圧電体、221、222、223、224 圧電材料ブロック、228 左翼ブロック、229 右翼ブロック、231、232、233、234 個別電極、235 共通電極、300 カメラボディ、310 フォーカルプレンシャッタ、320 基板、322 ボディ側制御部、324 画像処理部、330 撮像素子、332 光学フィルタ、340 表示部、350 ファインダ、352 フォーカシングスクリーン、354 ペンタプリズム、356 ファインダ光学系、360 ボディ側マウント部、370 ミラーユニット、371 メインミラー、372 メインミラー保持枠、373 メインミラー回動軸、374 サブミラー、375 サブミラー保持枠、376 サブミラー回動軸、380 合焦光学系、382 合焦センサ、390 測光センサ、400、401、402、403 振動アクチュエータユニット、410 付勢部、411 連通孔、412 永久磁石、413 フレキシブルチューブ、414 ヨーク、416 緩衝部材、420 電気機械変換素子、421 A相電極、422 支持部、423 B相電極、424 接触部、425 圧電体、430 磁気センサ、432 圧力センサ、440 連結部材、450、451 ステージ装置、452 定盤、453 スリット、454 移動ステージ、455 キャビティ、456 駆動部、500 カメラシステム、600、601 レンズユニット、610 固定筒、611 案内レール、612 案内軸、613 案内面、620、630、640 レンズ群、632 保持枠、634 嵌合部、636 係合部、650 レンズ側制御部、660 レンズ側マウント部

Claims (17)

  1.  印加された駆動電圧の電気的振動を機械的振動に変換する電気機械変換素子と、
     駆動対象の被駆動面に当接して、前記電気機械変換素子の機械的振動を前記被駆動面に駆動力として伝達する当接部と
    を備え、
     前記電気機械変換素子は、位相差の異なる駆動電圧が入力されると、前記被駆動面に交差する第一振動面内で周期的に屈曲して前記当接部を前記第一振動面内で振動させ、且つ、前記第一振動面と交差する第二振動面内で周期的に屈曲して前記当接部を前記第二振動面内で振動させる振動アクチュエータユニット。
  2.  前記電気機械変換素子は、前記第一振動面に沿って配されて圧電材料に個別の駆動電圧を印加する一対の電極と、前記第二振動面に沿って配されて圧電材料に個別に駆動電圧を印加する他の一対の電極とを備える請求項1に記載の振動アクチュエータユニット。
  3.  前記電気機械変換素子は、
     予め定められた共通の方向に分極し、分極軸方向と交差する面内で周方向に4分割された4つの領域を含む圧電材料ブロックと、
     前記4つの領域に個別に駆動電圧を供給する前記4つの電極と、
    を有し、それぞれが固有の位相で振動する駆動電圧を前記4つの電極に供給することにより、前記圧電材料ブロックに、前記第一振動面内の振動と前記第二振動面内の振動とを複合的に生じさせる請求項1または請求項2に記載の振動アクチュエータユニット。
  4.  前記電気機械変換素子は、
     予め定められた共通の方向に分極し、8つの頂点のうちのひとつを各々がひとつずつ含む8つの領域を有する六面体の圧電材料ブロックと、
     前記8つの領域のうち対角に位置する一対の領域に共通の駆動電圧を印加する4組の電極と
    を有し、それぞれが固有の位相で振動する駆動電圧を前記4組の電極に供給することにより、前記第一振動面内の振動と前記第二振動面内の振動とを前記圧電材料ブロックに複合的に生じさせる請求項1または請求項2に記載の振動アクチュエータユニット。
  5.  前記電気機械変換素子は、
     予め定められた共通の方向に分極し、分極軸方向に配列された第一領域および第二領域を含む圧電材料ブロックと、
     振動の位相が異なる第一駆動電圧を供給された場合に前記第一領域に前記第一駆動電圧を作用させて、前記第一領域において前記圧電材料ブロックに前記第一振動面内の振動を生じさせる一対の第一電極と、
     振動の位相が異なる、第一駆動電圧と異なる第二駆動電圧を供給された場合に前記第二領域に前記第二駆動電圧を作用させ、前記第二領域において前記圧電材料ブロックに前記第二振動面内の振動を生じさせる一対の第二電極と
    を備える請求項1または請求項2に記載の振動アクチュエータユニット。
  6.  請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の振動アクチュエータユニットを備えるステージ装置。
  7.  請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の振動アクチュエータユニットを備える光学装置。
  8.  供給された駆動電力を機械的振動に変換する電気機械変換素子と、
     前記電気機械変換素子から機械的振動を伝達されて駆動対象物を駆動する接触部と、
     前記接触部を前記駆動対象物に向かって付勢する付勢力を発生する付勢力発生部と、
     前記付勢力発生部が発生する付勢力となる物理量の変化に基づいて、前記駆動対象物と前記電気機械変換素子との相対位置を検出する位置検出部と
    を備える振動アクチュエータユニット。
  9.  駆動電力により振動する電気機械変換素子と、
     前記電気機械変換素子を、前記電気機械変換素子の振動により駆動する駆動対象物に付勢する付勢力を発生する付勢力発生部と、
     付勢力を発生させる物理量の変化に基づいて、前記駆動対象物の相対位置を検出する位置検出部と
    を備える振動アクチュエータユニット。
  10.  前記付勢力発生部は、前記電気機械変換素子および前記駆動対象物のいずれか一方と共に移動しつつ磁力を発生する磁力発生部を含み、
     前記位置検出部は、前記磁力発生部が発生する磁界の磁束密度の変化に基づいて前記相対位置を検出する
    請求項8または請求項9に記載の振動アクチュエータユニット。
  11.  前記磁力発生部は、永久磁石を含む請求項10に記載の振動アクチュエータユニット。
  12.  前記磁力発生部は、電磁石を含む請求項10に記載の振動アクチュエータユニット。
  13.  前記磁力発生部は、前記電気機械変換素子および前記駆動対象物の相対移動の方向に沿って配置された磁極を有する請求項11に記載の振動アクチュエータユニット。
  14.  前記磁力発生部は、前記電気機械変換素子および前記駆動対象物の相対移動の方向に沿って繰り返し配置された複数の磁極を有する請求項11に記載の振動アクチュエータユニット。
  15.  前記付勢力発生部は、減圧した作動流体により前記付勢力を発生し、
     前記位置検出部は、前記作動流体の圧力の変化に基づいて前記相対位置を検出する
    請求項8または請求項9に記載の振動アクチュエータユニット。
  16.  請求項8から請求項14までのいずれか一項に記載の振動アクチュエータユニットを備える光学装置。
  17.  請求項8から請求項14までのいずれか一項に記載の振動アクチュエータユニットを備えるステージ装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013011027A1 (de) * 2011-07-19 2013-01-24 Mauser-Werke Oberndorf Maschinenbau Gmbh Nachstellsystem
JP2015166849A (ja) * 2014-01-06 2015-09-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 レンズ鏡筒
EP3590185A4 (en) * 2017-03-02 2020-12-23 Dti Motion Corp Linear piezoelectric actuator on rail system
WO2020154393A1 (en) * 2019-01-24 2020-07-30 The Regents Of The University Of Michigan Light-based tactile sensing with directional sensitivity
WO2020229290A1 (en) * 2019-05-10 2020-11-19 Miniswys Sa Drive unit and method for operating a drive unit
EP3736965A1 (en) * 2019-05-10 2020-11-11 Miniswys Sa Drive unit and method for operating a drive unit

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07184382A (ja) * 1993-07-09 1995-07-21 Nanomotion Ltd 物体を移動させるマイクロモータ
JP2003324978A (ja) * 2002-04-26 2003-11-14 Asmo Co Ltd 複自由度駆動装置
JP2006261141A (ja) * 2005-03-14 2006-09-28 Ricoh Co Ltd 圧電アクチュエータおよび画像入力装置
JP2010279152A (ja) * 2009-05-28 2010-12-09 Olympus Corp 超音波モータ駆動装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3822504C2 (ja) * 1988-07-03 1992-10-01 Forschungszentrum Juelich Gmbh
US5616980A (en) 1993-07-09 1997-04-01 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
US5682076A (en) 1993-08-03 1997-10-28 Nanomotion Ltd. Ceramic disc-drive actuator
IL106296D0 (en) * 1993-07-09 1993-12-28 Nanomotion Ltd Ceramic motor
IL114656D0 (en) 1995-07-18 1995-11-27 Nanomotion Ltd Ceramic motor
JPH11316607A (ja) 1998-04-30 1999-11-16 Canon Inc ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
JP5053985B2 (ja) * 2008-12-24 2012-10-24 オリンパスイメージング株式会社 駆動装置及びこの駆動装置を用いた撮像装置
JP4915435B2 (ja) * 2009-06-19 2012-04-11 株式会社村田製作所 Piezoelectric actuator
JP2011147266A (ja) 2010-01-14 2011-07-28 Olympus Corp 超音波モータを備えた駆動装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07184382A (ja) * 1993-07-09 1995-07-21 Nanomotion Ltd 物体を移動させるマイクロモータ
JP2003324978A (ja) * 2002-04-26 2003-11-14 Asmo Co Ltd 複自由度駆動装置
JP2006261141A (ja) * 2005-03-14 2006-09-28 Ricoh Co Ltd 圧電アクチュエータおよび画像入力装置
JP2010279152A (ja) * 2009-05-28 2010-12-09 Olympus Corp 超音波モータ駆動装置

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