WO2011117014A3 - Drucksensor - Google Patents

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WO2011117014A3
WO2011117014A3 PCT/EP2011/051740 EP2011051740W WO2011117014A3 WO 2011117014 A3 WO2011117014 A3 WO 2011117014A3 EP 2011051740 W EP2011051740 W EP 2011051740W WO 2011117014 A3 WO2011117014 A3 WO 2011117014A3
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Karl-Peter Hauptvogel
Elke Schmidt
Andreas Rossberg
Ulfert Drewes
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Endress+Hauser Gmbh+Co.Kg
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    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061—Electrical connection means
    • G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing

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Abstract

Ein Drucksensor (1) umfasst einen Grundkörper (2) und mindestens eine Messmembran (3), die unter Bildung einer Messkammer mit dem Grundkörper mittels einer ersten Fügestelle (4), die ein erstes Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist, und einen Wandler (5, 6a, 6b) zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal, sowie einen Primärsignalpfad, der sich von dem Wandler durch mindestens eine Bohrung (8a, 8b) durch den Grundkörper erstreckt, wobei der Primärsignalpfad mindestens eine elektrisch leitfähige Beschichtung (7a, 7b) umfasst, die sich entlang der Wand der Bohrung (8a, 8b) erstreckt, ohne die Bohrung zu verschließen, wobei erfindungsgemäß die Bohrung (8a, 8b) mittels einer zweiten Fügestelle (10a, 10b) mit einem zweiten Aktivhartlot verschlossen ist, wobei das zweite Aktivhartlot die Bohrung freitragend verschließt, und wobei das zweite Aktivhartlot eine weichlotfähige Oberfläche aufweist.
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