WO2006075401A1

WO2006075401A1 - 蒸発源及び蒸着装置

Info

Publication number: WO2006075401A1
Application number: PCT/JP2005/000485
Authority: WO
Inventors: Koji Abe; Mitsuhiro Suzuki; Yuuji Honda
Original assignee: Youtec Co., Ltd.
Priority date: 2005-01-17
Filing date: 2005-01-17
Publication date: 2006-07-20
Also published as: JP4909742B2; JPWO2006075401A1

Abstract

【課題】　突沸しやすい蒸発材料が外部に放出されることを抑制できる蒸発源及び蒸着装置を提供する。【解決手段】　本発明に係る蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料が収容される容器１０２と、前記容器の上部に配置され、該容器内で蒸発又は昇華した材料が該容器外に放出される量を制御する開口部１０６ａと、前記開口部の下に配置され、前記容器内の蒸発材料又は昇華材料が突沸した突沸物が該容器外に放出されるのを遮蔽する突沸物遮蔽板１０８と、前記突沸物遮蔽板を加熱するヒータ１０５とを具備することを特徴とする。

Description

明細書

蒸発源及び蒸着装置

技術分野

[0001] 本発明は、突沸しやすい蒸発材料が外部に放出されることを抑制できる蒸発源及び蒸着装置に関する。また、本発明は、蒸発材料又は昇華材料の温度を精度よく制御できる蒸発源及び蒸着装置に関する。

背景技術

[0002] ガラス基板等の透明基板に有機 EL薄膜を形成した有機 ELディスプレイは、次世代のフラットパネルディスプレイの有力候補の一つである。透明基板に有機 EL薄膜を形成する技術の一つとして、有機 EL薄膜を透明基板に蒸着する方法がある。従来の蒸発源は、その熱源としてシーズヒータを用いている。このシーズヒータの熱は均熱板及び坩堝を介して有機 EL材料である昇華材及び伝熱材としてのサーモボールに伝達されるようになっている。つまり、坩堝内には昇華材及びその昇華材に熱を伝えるためのサーモボールが収容されている。坩堝内にサーモボールを収容する理由は、昇華材が粉状の固体であって加熱されると所々昇華されていき、昇華された部分が空洞となると熱が伝わらなくなるため、その際に昇華材への伝熱をサーモボールによって補助するためである。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] ところで、有機 EL材料は蒸着時に突沸しやすヽ。このため有機 EL薄膜を蒸着により形成する場合、蒸発源カゝら有機 EL材料が突沸して外に放出されることを防ぐ必要がある。

[0004] また、基板に有機 EL薄膜を成膜する際、成膜レートを一定に保つのが好ましい。

成膜レートを一定に保っためには、有機 EL材料の蒸発速度を一定に保つことが好ましい。そのためには、蒸発速度が一定になるように、有機 EL材料の温度を精度よく制御することが要求される。つまり、有機 EL材料の温度を微調整しながらほぼ一定に保つことが要求される。前述したように蒸発源の熱源として一般的なシーズヒータを用いると、ヒータ力有機 EL材料に熱を伝達するための坩堝、サーモボール、均熱板及びヒータ自身それぞれが熱容量を有するため、それらの熱容量の総量は非常に大きなものとなる。このため、坩堝内の有機 EL材料を交換又は追加した際、短時間で有機 EL材料を昇温することができな力つた。

また、上述したように熱容量の総量が非常に大きいため、ヒータの温度が変化して力有機 EL材料の温度が変化するまでにかなりの時間が必要となる。このため、有機 EL材料の温度を細力べ制御する際に応答性よく制御することが困難となり、その結果、有機 EL材料の温度を微調整しながら一定に保つことが困難となるから、有機 EL 薄膜の成膜速度を一定に保つことが困難であった。

[0005] 本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、突沸しやすい蒸発材料が外部に放出されることを抑制できる蒸発源及び蒸着装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、蒸発材料又は昇華材料の温度を精度よく制御できる蒸発源及び蒸着装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0006] 上記課題を解決するため、本発明に係る蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料が収容される容器と、

前記容器の上部に配置され、該容器内で蒸発又は昇華した材料が該容器外に放出される量を制御する開口部と、

前記開口部の下に配置され、前記容器内の蒸発材料又は昇華材料が突沸した突沸物が該容器外に放出されるのを遮蔽する突沸物遮蔽板と、

前記突沸物遮蔽板を加熱するヒータと

を具備することを特徴とする。

[0007] 上記蒸発源によれば、蒸発材料又は昇華材料が突沸しても、突沸物は突沸物遮蔽板によって遮蔽されるため、突沸物が容器外に放出されるのを抑制できる。

また、本発明に係る蒸発源において、前記容器を加熱して前記蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させるハロゲンヒータを更に具備して、てもよ、。

[0008] また、本発明に係る蒸発源において、前記開口部は、前記容器内に収容された蒸発材料又は昇華材料の露出面より小さい開口面積を有することが好ましい。この場合、蒸発材料又は昇華材料が容器外に放出される量を制限することができる。

[0009] また、本発明に係る蒸発源にお!、て、前記開口部は、前記容器の上部に配置された膜厚コントロール部材に形成されたものであり、前記膜厚コントロール部材を加熱するヒータを更に具備し、前記膜厚コントロール部材は、前記開口部によって前記蒸発材料又は昇華材料が前記容器外に放出される量を制御することで蒸着成膜される膜厚又は蒸着膜の成膜速度をコントロールするものであってもよい。

この場合、膜厚コントロール部材を加熱するヒータは、突沸物遮蔽板を加熱するヒータを兼ねていてもよい。そして突沸物遮蔽板は、膜厚コントロール部材によって一部が支持されており、該支持されている部分を介して膜厚コントロール部材力熱が伝達されて加熱されてもよい。このようにするとヒータの数を少なくすることができる。

[0010] 本発明に係る蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料が収容される容器と、

前記容器に収容される蒸発材料又は昇華材料を直接加熱して蒸発又は昇華させるハロゲンヒータと

を具備することを特徴とする。

尚、容器を石英製とすることが好ましい。

[0011] 上記蒸発源によれば、蒸発材料又は昇華材料はハロゲンヒータの輻射熱により直接加熱される。このためハロゲンヒータへの入力電力が変化すると、蒸発材料又は昇華材料の温度もこの変化にすばやく追従する。従って、容器内の蒸発材料又は昇華材料の温度を細力べ調節することができるようになり、蒸発材料又は昇華材料の温度を微調整しながらほぼ一定に保つことができるようになる。

[0012] また、本発明に係る蒸発源において、前記容器は石英製であり、更に輻射熱により前記蒸発材料又は昇華材料を直接加熱して蒸発又は昇華させるハロゲンヒータを更に具備することも可能である。

[0013] 本発明に係る蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料が収容される容器と、

前記容器を加熱して前記蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させるハロゲンヒータと

を具備することを特徴とする。 [0014] 本発明に係る蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料が収容される石英容器と、前記石英容器の外表面又は内表面に形成された金属薄膜、又は前記外表面又は内表面に貼り付けられた厚さ lmm以下の金属薄板と、

前記金属薄膜又は前記金属薄板を加熱することにより蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させるハロゲンヒータとを具備することを特徴とする

[0015] また、本発明に係る蒸発源において、前記開口部が略長方形、略円形及び略楕円形の、ずれかの形状を有することも可能である。

[0016] 本発明に係る蒸着装置は、基板に蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、

前述した蒸発源と、

前記蒸着源が収容された蒸着室と、

を具備することを特徴とする。

発明の効果

[0017] 以上説明したように本発明によれば、突沸しやすい蒸発材料が外部に放出されることを抑制できる蒸発源及び蒸着装置を提供することができる。また、他の本発明によれば、蒸発材料又は昇華材料の温度を精度よく制御できる蒸発源及び蒸着装置を提供することができる。

発明を実施するための形態

[0018] 以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。

(実施の形態 1)

図 1は、本発明の実施の形態 1による蒸発源を用いた有機 EL蒸着装置の構成を示す概念図である。この有機 EL蒸着装置は、フラットディスプレイパネルとなるガラス基板 1に有機 EL膜を蒸着するためのものである。有機 EL蒸着装置は蒸着室となるチヤンバー 20を備えている。

[0019] チャンバ一 20内には蒸着源 100が配置されている。また、チャンバ一 20内には、蒸着源 100の上方に位置する基板保持機構 2が配置されてヽる。基板保持機構 2は、基板 1を保持する保持部 2aと、この保持部 2aを支持し且つ矢印のように回転力を加える回転軸 2bとを有している。この回転軸 2bは図示せぬモーターに接続されており、このモーターによって回転軸 2bに回転力をカ卩えるようになつている。 [0020] 有機 EL蒸着装置では、モーターによって保持部 2aを矢印のように回転させながら、蒸着源 100を加熱して蒸発材料又は昇華材料を上方に放出させることにより、基板 1の全面に蒸着膜を成膜するようになって!/、る。このように保持部 2aを回転させるのは、基板 1が回転することにより、該基板 1に面内均一性良く蒸着膜を成膜するためである。尚、本実施の形態では、チャンバ一 20内に一つの蒸着源 100を配置している力チャンバ一 20内に複数の蒸着源を配置することも可能である。また、本実施の形態では、保持部 2aに一つの基板 1を保持しているが、保持部 2aに複数の基板 1を保持することも可能である。

[0021] 図 2は、図 1に示す蒸発源の構成を示す断面概略図である。蒸発源 100は、蒸発材料又は昇華材料の一例である有機 EL材料 4を収容する石英製の容器 102を備えている。容器 102は直方体力も上面を取り除き、かつ側面 102b及び端面の上端を外側に折り曲げた形状をしている。容器 102内部の有機 EL材料 4は、図示しない熱源からの輻射熱により直接加熱される。容器 102の中におヽて有機 EL材料 4は略直方体の形状を有している。容器 102の上面開口部 102aは金属製 (例えばステンレス製）の膜厚コントロール部材 106によって覆われている。膜厚コントロール部材 106は薄型の直方体の筐体から底面を取り除いた形状をしており、上面には開口部 106a が形成されている。開口部 106aの幅は容器 102の幅より小さぐその結果、開口部 1 06aの開口面積は、容器 102内に収容されてヽる有機 EL材料 4の露出面（上面)よりも小さくなつている。

[0022] 有機 EL材料 4は、輻射熱により直接加熱されて気化し、開口部 106aを通って容器 102の外部に放出される。有機 EL材料 4の放出量は、開口部 106aの大きさ（例えば幅）によって制御されている。蒸着される有機 EL薄膜の堆積速度は開口部 106aの開口面積 (又は幅）によって制御することが可能である。

[0023] 開口部 106aの下方、即ち開口部 106aと有機 EL材料 4との間には、突沸物遮蔽板 108が配置されている。突沸物遮蔽板 108は、長方形の金属板 (例えばステンレス板 )であり、長さ及び幅それぞれが開口部 106aの長さ及び幅より大きぐ平面配置において開口部 106a全体と重なっている。このため有機 EL材料 4が突沸しても、突沸物は突沸物遮蔽板 108によって遮断され、外部に放出されない。尚、気化した有機 EL 材料 4の放出量は、上記した開口部 106aの開口面積 (例えば幅）の他に、膜厚コントロール部材 106と突沸物遮蔽板 108の隙間 108aによっても制御されている。

[0024] 膜厚コントロール部材 106には、蒸発源 100の外側に位置するヒータ 105が筐体 1 04により組みつけられている。そして膜厚コントロール部材 106はヒータ 105によって加熱される。また、突沸物遮蔽板 108は両端それぞれが膜厚コントロール部材 106 の両端面それぞれの内壁に形成された複数の突起（図示せず）に弓 Iつ掛けられることにより、膜厚コントロール部材 106に支持されている。そしてこの支持されている部分を介して膜厚コントロール部材 106の熱が突沸物遮蔽板 108に伝達することにより、突沸物遮蔽板 108は加熱される。

[0025] このため、突沸した有機 EL材料 4が膜厚コントロール部材 106及び突沸物遮蔽板 108に付着しても、付着した有機 EL材料 4は気化する。また気化した有機 EL材料 4 は、膜厚コントロール部材 106及び突沸物遮蔽板 108に蒸着されにくい。従って、開口部 106a及び隙間 108aが有機 EL材料 4によって塞がれたり狭くなることは生じにくくなる。

[0026] 尚、ヒータ 105は例えばハロゲンヒータである力シーズヒータであってもよい。ヒータ 105がシーズヒータである場合、膜厚コントロール部材 106とヒータ 105の間は伝熱性の良い材料によって埋められるのが好ましい。

[0027] 以上のように実施の形態 1によれば、蒸発源 100において、有機 EL材料 4の蒸気が放出される開口部 106aと有機 EL材料 4の間に突沸物遮蔽板 108を配置したため、有機 EL材料 4が突沸しても突沸物が容器 102外部に放出されることを抑制できる。また、開口部 106aが形成されている膜厚コントロール部材 106及び突沸物遮蔽板 1 08それぞれはヒータ 105によって加熱されているため、開口部 106a及び隙間 108a が有機 EL材料 4によって塞がれたり狭くなることは生じに《なる。このため有機 EL 材料 4を連続して複数のガラス基板 1に蒸着させることができる。

[0028] また、開口部 106aの開口面積を有機 EL材料 4の露出面より小さくしているため、この開口部 106aの開口面積を変更することによりガラス基板 1に形成される有機 EL薄膜の堆積速度すなわち膜厚を制御することができる。また、容器 102が石英製であるため、有機 EL材料 4が金属と反応しやす、場合でも有機 EL材料 4を蒸発させることができる。

[0029] 尚、容器 102は、熱源力もの輻射熱を有機 EL材料 4に直接伝える材質であれば石英製ではなくてもよい。

[0030] また容器 102をステンレス、モリブデン又は炭化珪素により形成してもよい。この場合、容器 102が熱源からの輻射熱により直接加熱され、そして有機 EL材料 4が加熱される。このため熱源と容器 102の間に熱を伝達するための物質が必要なくなり、熱源に対する入力の変化に対して容器 102の温度がすばやく追従するようになる。従つて、有機 EL材料 4の温度を精度良く制御することができる。

[0031] (実施の形態 2)

図 3は、本発明の実施の形態 2による蒸発源を示す断面図である。本実施の形態に係る蒸発源は、実施の形態 1と同様に図 1に示した有機 EL蒸着装置の一部として用いられる。以下、実施の形態 1と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

[0032] 本実施の形態において容器 102は石英製の支持治具 110によって支持されている。このため、容器 102を取り替えることにより蒸発源 100の有機 EL材料 4を簡単に交換することができる。支持治具 110は直方体の筐体の上面を取り除き、かつ側面 110 b及び端面それぞれの上端 110aを外側に向けて折り曲げた形状である。支持治具 1 10は、蒸発源 100のケース 112に上からはめ込まれている。ケース 112は直方体の筐体の上面を取り除いた形状であり、側面及び端面それぞれの上端が支持治具 11 0の上端 110aに当接することにより、支持治具 110を支持して、る。

[0033] 支持治具 110の外側には、ハロゲンヒータ 120a, 120b, 120c, 120d (以下ハロゲンヒータ 120a等と記載）がそれぞれ複数配置されている。ハロゲンヒータ 120a等力もの放射熱 (輻射熱)は石英製の支持治具 110及び容器 102を透過し、有機 EL材料 4に吸収される。すなわち、ハロゲンヒータ 120aは有機 EL材料 4を直接加熱して気化させる。このためハロゲンヒータ 120a等を用いることにより、ヒータ 105と有機 EL材料 4 の間に熱を伝達するための物質が必要なくなるため、有機 EL材料 4の温度はハロゲンヒータ 120a等への入力電力の変化に対してすばやく追従するようになる。このため、精度良く有機 EL材料 4の温度を一定に保てるようになる。 [0034] また、ハロゲンヒータ 120a等は、支持治具 110すなわち容器 102に沿って互いに異なる場所に配置されており、それぞれ両端部がケース 112の両端面に固定されている。例えば、ハロゲンヒータ 120aは容器 102の一方の側面に沿って配置され、ハロゲンヒータ 120dは容器 102の他方の側面に沿って配置され、ハロゲンヒータ 120b, 1 20cそれぞれは容器 102の底面に沿って配置される。このため、ハロゲンヒータ 120a 等は有機 EL材料 4の全体を加熱することができる。尚、ハロゲンヒータ 120a等の一部（例えばノヽロゲンヒータ 120a, 120d)が容器 102の側面に沿って配置されており、かつ石英製の支持治具 110を介して突沸物遮蔽板 108に面している場合、これらノヽロゲンヒータ力もの放射熱の一部は直接突沸物遮蔽板 108を加熱する。

[0035] ハロゲンヒータ 120a等はヒータ 105から独立して制御できるようになつている。また、ハロゲンヒータ 120a等は互いに独立して制御できるようになつている。例えば、ハロゲンヒータ 120a等それぞれの入力電力を互いに独立して変化させることができる。また、ハロゲンヒータ 120a, 120dが動作せずにハロゲンヒータ 120b, 120cが動作するようにもできるし、ハロゲンヒータ 120a等がそれぞれ一つずつ動作するようにもできるのが好ましい。この場合、ハロゲンヒータ 120a等は容器 102の一部を加熱することもできるし、加熱の強度を調節することもできる。

[0036] 以上、実施の形態 2によれば、実施の形態 1と同一の効果を得ることができる。

また、有機 EL材料 4をハロゲンヒータ 120a等で直接加熱するようにしたため、ヒータと有機 EL材料 4の間に熱を伝達するための物質が必要なくなる。このため、容器 1 02の温度がハロゲンヒータ 120a等への入力電力の変化に対してすばやく追従するようになる。従って、有機 EL材料 4の温度を細力べ調節することができるようになり、有機 EL材料の温度を微調整しながらほぼ一定に保つことができるようになる。その結果、有機 EL薄膜の成膜速度を一定に保つことが可能となる。

[0037] 図 9は、上記実施の形態 2による蒸発源を用いた有機 EL蒸着装置によって有機 E L薄膜を成膜した際の蒸発源の温度と時間の関係及び成膜レートと時間の関係を示すグラフである。有機 EL薄膜の膜厚は膜厚計により得られた測定データを用いてヽる。参照符号 10は蒸発源の温度 (°C)と時間の関係を示すものであり、参照符号 11 は成膜レート (nmZ秒）と時間の関係を示すものである。 [0038] 図 9から蒸発材料を短時間で素早く昇温することができ、蒸発材料の温度を細かく制御することにより成膜レートを一定に保つことができることを確認できた。

[0039] 上記データと比較するために従来一般に使用されて、るシーズヒータを用いた蒸発源につ!、ての実験を行ったので、この実験方法及び実験結果につ!、て説明する。

[0040] 図 10は、図 9のデータと比較するための蒸発源を示す断面図である。

この蒸発源は坩堝 17を有しており、この坩堝 17内には伝熱材としてのサーモボール 18及び有機 EL材料である昇華材が収容されて!、る。サーモボール 18は昇華材に熱を伝達させるためのものである。坩堝 17は均熱板 19によって覆われており、この均熱板 19はシーズヒータ 21によって覆われて!/、る。シーズヒータ 21によって発せられる熱が均熱板 19、坩堝 18及びサーモボール 18を介して昇華材に伝達されるようになっている。また、シーズヒータ 21の上には筐体 104が配置されており、坩堝 17の上方には突沸物遮蔽板 108が配置されている。筐体 104及び突沸物遮蔽板 108を配置した理由は、筐体と突沸物遮蔽板を図 3に示す蒸発源と同じ構成として比較を容易にするためである。

[0041] 図 11は、図 10に示す蒸発源を用いた有機 EL蒸着装置によって有機 EL薄膜を成膜した際の蒸発源の温度と時間の関係及び成膜レートと時間の関係を示すグラフである。有機 EL薄膜の膜厚は膜厚計により得られた測定データを用いている。参照符号 22は蒸発源の温度 (°C)と時間の関係を示すものであり、参照符号 23は成膜レート (nmZ秒）と時間の関係を示すものである。

[0042] 図 11に示すように、従来の蒸発源では、蒸発材料を短時間で素早く昇温することができず、蒸発材料の温度を細力べ制御することもできないため成膜レートを一定に保つことができないという結果が得られた。これに対し、本実施の形態による蒸発源では、図 9に示すように、従来の蒸発源に比べて蒸発材料を短時間で昇温すること、成膜レートを一定に保つことができることが確認された。

[0043] (実施の形態 3)

図 4は、本発明の実施の形態 3による角型の蒸着源を示す斜視図である。本実施の形態に係る蒸発源は、実施の形態 1と同様に図 1に示した有機 EL蒸着装置の一部として用いられる。蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料の一例である有機 EL材料 4 を収容する石英製の容器 (ルツボ） 102を備えている。容器 102は直方体力も上面を取り除いた形状となっている。

[0044] 容器 102には、その外側面を一回りするようにハロゲンヒータ 120が配置されている。ハロゲンヒータ 120からの放射熱 (輻射熱）は石英製の容器 102を透過し、有機 EL 材料 4に吸収される。すなわち、ハロゲンヒータ 120は有機 EL材料 4を直接加熱して気化させるように配置されている。このため、熱源と容器 102の間に熱を伝達するための物質が必要なくなり、熱源に対する入力の変化に対して容器 102の温度がすばやく追従するようになる。従って、有機 EL材料 4の温度を精度良く制御することができる。つまり、有機 EL材料 4の温度を細力べ調節することができるようになり、有機 EL材料の温度を微調整しながらほぼ一定に保つことができるようになる。その結果、有機 EL薄膜の成膜速度を一定に保つことが可能となる。

[0045] 尚、図 2に示す有機 EL材料 4を収容する石英製の容器 102に代えて本実施の形態による蒸着源を適用することも可能である。

[0046] (実施の形態 4)

図 5は、本発明の実施の形態 4による丸型の蒸着源を示す斜視図である。本実施の形態に係る蒸発源は、実施の形態 1と同様に図 1に示した有機 EL蒸着装置の一部として用いられる。蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料の一例である有機 EL材料 4 を収容する石英製の容器 (ルツボ） 3を備えている。容器 3は底部が封止された円筒形状を有している。

[0047] 容器 3には、その外側面を一回りするようにハロゲンヒータ 120が配置されている。

ノ、ロゲンヒータ 120からの放射熱 (輻射熱）は石英製の容器 3を透過し、有機 EL材料 4に吸収される。すなわち、ハロゲンヒータ 120は有機 EL材料 4を直接加熱して気化させるように配置されている。このため、熱源と容器 3の間に熱を伝達するための物質が必要なくなり、熱源に対する入力の変化に対して容器 3の温度がすばやく追従するようになる。従って、有機 EL材料 4の温度を精度良く制御することができる。

[0048] 図 6 (A)は、図 5に示す蒸着源の容器 3の上部に蓋をするように配置する膜厚補正板を示す斜視図であり、図 6 (B)は、図 6 (A)に示す 6A— 6A線に沿った断面図である。 [0049] 図 6 (A)に示すように、膜厚補正板 (マウントプレート） 5は平面形状が略円形を有しており、この膜厚補正板 5には平面形状が略円形の開口部 5aが形成されている。この開口部 5aの上には補助用膜厚補正板 6が配置されており、補助用膜厚補正板 6 は膜厚補正板 5にはめ込まれている。補助用膜厚補正板 6には平面形状が略円形の開口部 6aが形成されており、この開口部 6aは開口部 5aより小径を有している。

[0050] 膜厚補正板 5を容器 3の上に配置することにより、容器 3の開口部を補助用膜厚補正板 6の開口部 6aの大きさとすることができる。また、補助用膜厚補正板 6を膜厚補正板 5から取り外すことにより、容器 3の開口部を膜厚補正板 5の開口部 5aの大きさとすることができる。このように開口部の大きさを調整することができ、それにより有機 E L材料 4の放出量を調整することができ、蒸着される有機 EL薄膜の堆積速度を制御することができる。換言すれば、膜厚補正板 5及び補助用膜厚補正板 6を用いることにより、蒸着膜の膜厚を補正することができる。

[0051] 尚、図 2に示す有機 EL材料 4を収容する石英製の容器 102に代えて本実施の形態による蒸着源を適用することも可能である。

[0052] (実施の形態 5)

図 7は、本発明の実施の形態 5によるドーナツ型の蒸着源を示す斜視図である。本実施の形態に係る蒸発源は、実施の形態 1と同様に図 1に示した有機 EL蒸着装置の一部として用いられる。蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料の一例である有機 EL 材料を収容する石英製の容器 (ルツボ） 7を備えている。容器 7は底部が封止されたド一ナツ形状を有している。

[0053] ドーナツ型の容器 7には、その外側面を一回りするようにハロゲンヒータ 8が配置されており、その内側面を一回りするようにハロゲンヒータ 9が配置されている。ハロゲンヒータ 8, 9からの放射熱 (輻射熱）は石英製の容器 7を透過し、有機 EL材料に吸収される。すなわち、ハロゲンヒータ 8, 9は有機 EL材料を直接加熱して気化させるようになっている。このため、熱源と容器 7の間に熱を伝達するための物質が必要なくなり、熱源に対する入力の変化に対して容器 7の温度がすばやく追従するようになる。従つて、有機 EL材料の温度を精度良く制御することができる。つまり、有機 EL材料 4の温度を細力べ調節することができるようになり、有機 EL材料の温度を微調整しながらほぼ一定に保つことができるようになる。その結果、有機 EL薄膜の成膜速度を一定に保つことが可能となる。

[0054] 尚、図 2に示す有機 EL材料 4を収容する石英製の容器 102に代えて本実施の形態による蒸着源を適用することも可能である。

[0055] (実施の形態 6)

図 8は、本発明の実施の形態 6による蒸発源の断面図である。本実施の形態に係る蒸発源 100は、容器 102及び支持治具 110の代わりに石英製の容器 114を用いる点を除いて実施の形態 2と同一の構成であり、図 1に示した有機 EL蒸着装置の蒸発源として使用される。以下、実施の形態 2と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

[0056] 容器 114は、直方体の上面を取り除き、かつ側面及び端面の上端 114aを外側に向けて折り曲げた形状である。容器 114は、蒸発源のケース 112に上力も直接はめ込まれている。ケース 112は、上端が容器 114の上端 114aに当接することにより、容器 114を支持している。

[0057] 容器 114の外面のうち少なくとも底面及び側面には金属薄膜 114bが形成されている。金属薄膜 114bは例えば無電解メツキにより形成される。ハロゲンヒータ 120a等からの放射熱は金属薄膜 114bに吸収され、金属薄膜 114bを加熱する。これにより石英製の容器 114及び容器 114に保持されて、る有機 EL材料 4が加熱される。

[0058] 金属薄膜 114bは十分に薄いため、その熱容量は小さい。このため、ヒータ力も有機 EL材料 4まで熱を伝達するための物質の熱容量が小さくなるため、容器 102の温度がハロゲンヒータ 120a等への入力電力の変化に対してすばやく追従するようになる。従って、有機 EL材料 4の温度を精度良く調節することができる。

[0059] 尚、金属薄膜 114bの代わりに金属薄板を用いても同様の効果を得ることができる。

このとき金属薄板の厚さは 1mm以下であるのが好まし!/、。

[0060] また、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなぐ本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、 MOCVD装置における有機金属材料の供給ユニットや、気相イオンプレーティングの蒸発源として用いることも可能である。図面の簡単な説明

[0061] [図 1]本発明の実施の形態 1による蒸発源を用いた有機 EL蒸着装置の構成を示す概念図である。

[図 2]図 1に示す蒸発源の構成を示す断面概略図である。

[図 3]本発明の実施の形態 2による蒸発源を示す断面図である。

[図 4]本発明の実施の形態 3による角型の蒸着源を示す斜視図である。

[図 5]本発明の実施の形態 4による丸型の蒸着源を示す斜視図である。

[図 6] (A)は、図 5に示す蒸着源の容器の上部に蓋をするように配置する膜厚補正板を示す斜視図であり、（B)は、（A)に示す 6A— 6A線に沿った断面図である。

[図 7]本発明の実施の形態 5によるドーナツ型の蒸着源を示す斜視図である。

[図 8]本発明の実施の形態 6による蒸発源の断面図である。

[図 9]実施の形態 2による蒸発源を用いた有機 EL蒸着装置によって有機 EL薄膜を成膜した際の蒸発源の温度と時間の関係及び成膜レートと時間の関係を示すグラフである。

[図 10]図 9のデータと比較するための蒸発源を示す断面図である。

[図 11]図 10に示す蒸発源を用いた有機 EL蒸着装置によって有機 EL薄膜を成膜した際の蒸発源の温度と時間の関係及び成膜レートと時間の関係を示すグラフである符号の説明

[0062] 1…ガラス基板

2…基板保持機構

2a…保持部

2b…回転軸

3…容器 (ルツボ）

4…有機 EL材料

5· · '膜厚補正板 (マウントプレート）

5a…開口部

6…補助用膜厚補正板 6a…開口部

7, 17···容器 (ルツボ）

8, 9···ノヽロゲンヒータ

8···サーモボーノレ

9…均熱板

0···チャンバ一

1···シース、ヒータ

0…蒸発源

2…容器

2a…上面開口部

2b…側面

4·· '筐体

5···ヒータ

6···膜厚コントロール部材

6a…開口部

8…突沸物遮蔽板

8a…隙間

0···支持治具

0a…上端

Ob…側面

2···ケース

0, 120a— 120d…ノヽロゲンヒータ4…容器

4a…上端

4b…金属薄膜

Claims

請求の範囲

[1] 蒸発材料又は昇華材料が収容される容器と、

前記突沸物遮蔽板を加熱するヒータと

を具備することを特徴とする蒸発源。

[2] 請求項 1において、前記開口部は、前記容器内に収容された蒸発材料又は昇華材料の露出面より小さい開口面積を有することを特徴とする蒸発源。

[3] 請求項 2において、前記開口部は、前記容器の上部に配置された膜厚コントロール部材に形成されたものであり、前記膜厚コントロール部材を加熱するヒータを更に具備し、

前記膜厚コントロール部材は、前記開口部によって前記蒸発材料又は昇華材料が前記容器外に放出される量を制御することで蒸着成膜される膜厚又は蒸着膜の成膜速度をコントロールするものであることを特徴とする蒸発源。

[4] 請求項 3にお、て、前記膜厚コントロール部材を加熱するヒータは、前記突沸物遮蔽板を加熱するヒータを兼ねており、

前記突沸物遮蔽板は、前記膜厚コントロール部材によって一部が支持されており、該支持されている部分を介して前記膜厚コントロール部材カゝら熱が伝達されて加熱されることを特徴とする蒸発源。

[5] 蒸発材料又は昇華材料が収容される容器と、

を具備することを特徴とする蒸発源。

[6] 請求項 5において、前記容器は石英製であることを特徴とする蒸発源。

[7] 請求項 1乃至 4のいずれか一項において、前記容器は石英製であり、

更に輻射熱により前記蒸発材料又は昇華材料を直接加熱して蒸発又は昇華させるハロゲンヒータを更に具備することを特徴とする蒸発源。

[8] 蒸発材料又は昇華材料が収容される容器と、

を具備することを特徴とする蒸発源。

[9] 請求項 1乃至 4のヽずれか一項にお 1ヽて、前記容器を加熱して前記蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させるハロゲンヒータを更に具備することを特徴とする蒸発源。

[10] 蒸発材料又は昇華材料が収容される石英容器と、

前記石英容器の外表面又は内表面に形成された金属薄膜、又は前記外表面又は内表面に貼り付けられた厚さ lmm以下の金属薄板と、

前記金属薄膜又は前記金属薄板を加熱することにより蒸発材料又は昇華材料を蒸発又は昇華させるハロゲンヒータと

を具備することを特徴とする蒸発源。

[11] 請求項 1乃至 4、 7、 9のいずれか一項において、前記開口部が略長方形、略円形及び略楕円形のいずれかの形状を有することを特徴とする蒸発源。

[12] 基板に蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、

請求項 1乃至 11のいずれか一項に記載の蒸発源と、

前記蒸着源が収容された蒸着室と、

を具備することを特徴とする蒸着装置。