明 細 書
集光レンズおよび光走査装置
技術分野
[0001] 本発明は、集光レンズおよびこの集光レンズを用いた光走査装置に関するもので ある。
背景技術
[0002] ビーム走査装置は、レーザプリンタ、デジタル複写機、ファクシミリなどの画像形成 装置や、バーコード読取装置、車間距離測定装置などの測定装置に幅広く使用され ている。これらの機器のうち、画像形成装置に用いられているビーム走査装置は、レ 一ザ光源から出射されたレーザビームをポリゴンミラーで周期的に偏向させ、感光体 の被走査面上で反復走査させる。これに対して、測定装置に用いられているビーム 走査装置では、走査ビームが被照射物で反射した反射ビームを光検出器で受光す ることにより、情報を検出している。そのとき、反射ビームは、ポリゴンミラーによる走査 角度に対応する角度で光検出器に向かう。光検出器に向かう光路には、図 10 (a)に 示す集光レンズ:^ が配置され、この集光レンズ:^ によって反射ビームを集光する 。ここで、集光レンズ:^ は、できるだけ大きな光量を光検出器に導くようにできるだけ 広い面積を有している。また、集光レンズ!/ に対しては、バーコード読取装置の場 合には、商品などに接触しないように表面が平面であって、かつ、軽量化を目的に薄 いことが要求されている。
[0003] し力しながら、集光レンズ:^ において、検出光量を多く確保することを目的に有効 面積を広げると、レンズ肉厚が厚くなり、表面の出っ張りが大きくなつてしまう。そこで 、集光レンズには、図 10 (b)に示すようなフレネルレンズ!/ 力 S用いられることがある。
[0004] このようなフレネルレンズ 1"であれば、表面の平面化と肉薄化の双方をある程度、 満たしている。しかしながら、フレネルレンズ!/ の場合には、肉薄化するほどレンズ 面の分割数を増やす必要があるため、所望の特性を得ようとすると、製造が困難にな るという問題点がある。集光レンズには所定の範囲の入射角度をもってビームが入射 するため、集光レンズへの入射角度が大きい場合には、光検出器の面積から収束光
が外れないように集光レンズと光検出器との距離を縮める必要がある。但し、このよう なレイアウトを採用すると、フレネルレンズ!/の集光力をさらに高める必要があるた め、曲率半径を小さくする必要がある。その結果、フレネルレンズ 1" において分割 数をさらに増やすことになる力 このような構造のフレネルレンズ 1〃の場合、図 10 (c )の領域 A、 Bをそれぞれ図 10 (d)、 (e)に拡大して示すように、入射角度が大き!/ヽ光 線 L14では溝 20' の部分でのケラレが発生し、照度が著しく低下するという問題点 がある。さらに、フレネルレンズ!/ の外周部では、レンズの接線角が大きくなるため、 図 10 (d)に示す光線 L15のように、レンズに入射できず、照度が低下してしまうという 問題点がある。
発明の開示
[0005] 本発明の課題は、以上の問題点に鑑みて、入射角度が大きい場合でも集光効率 に優れ、かつ、量産に適した集光レンズを提供することにある。
[0006] 上記課題を解決するために、本発明の集光レンズでは、光入射面および光出射面 のうちの少なくとも一方に、溝によってフレネルレンズ状の分割レンズ面が複数、形成 され、当該複数の分割レンズ面には、複数の段差が形成された回折レンズ面が含ま れていることを特徴とする。
[0007] 本発明では、フレネルレンズとしての特徴と回折レンズとしての特徴とを兼ね備えて おり、屈折と回折の双方を利用する。このため、屈折のみを利用する従来のフレネル レンズと比較して薄型化が容易である。また、分割数を減らすことができるため、分割 レンズ面の境界部分に発生する溝での光のケラレが少なぐ透過率が向上する。
[0008] 本発明にお 、て、前記溝、前記分割レンズ面、および前記段差は、同心円状に形 成されていることが好ましい。このように構成すると、型材あるいはレンズ素材に段差 を形成する際、通常の旋盤加工により加工できる。
[0009] 本発明において、前記分割レンズ面に前記段差が形成されていない場合の当該 分割レンズ面の回折次数を 0次としたとき、前記複数の分割レンズ面のうち、レンズ中 心側に位置する分割レンズ面の回折次数がレンズ外周側に位置する分割レンズ面よ りも低いことが好ましい。この場合、前記複数の分割レンズ面のうち、レンズ中心側に 位置する分割レンズ面は、前記段差の形成されていない屈折レンズ面であり、レンズ
外周側に位置する分割レンズ面は、前記段差が形成された回折レンズ面である構成 を採用することができる。このように構成すると、外周側の分割レンズ面では接線角を 小さくすることができるため、入射角が大きな光であってもレンズに入射させることが できる。
[0010] 本発明において、前記複数の分割レンズ面は、いずれも前記段差が形成された回 折レンズ面である構成を採用することができる。
[0011] このような構成において、前記分割レンズ面に前記段差が形成されていない場合 の当該分割レンズ面の回折次数を 0次としたとき、前記複数の分割レンズ面のうち、 レンズ中心側に位置する分割レンズ面の回折次数がレンズ外周側に位置する分割 レンズ面よりも低い構成を採用することができる。このように構成すると、外周側の分 割レンズ面では接線角を小さくすることができるため、入射角が大きな光であってもレ ンズに入射させることができる。
[0012] このような構成において、前記分割レンズ面に前記段差が形成されていない場合 の当該分割レンズ面の回折次数を 0次としたとき、前記複数の分割レンズ面では、レ ンズ中心側に位置する分割レンズ面の回折次数がレンズ外周側に位置する分割レ ンズ面よりも高いあるいは等しくしてもよい。このように構成すると、コマ収差を抑制す ることができるので、スポット径を小さくすることができる。
[0013] 本発明において、前記分割レンズ面に前記段差が形成されていない場合の当該 分割レンズ面の回折次数を 0次としたとき、前記複数の分割レンズ面では、レンズ中 心側に位置する分割レンズ面の回折次数がレンズ外周側に位置する分割レンズ面よ りも高い、あるいは等しいことが好ましい。例えば、前記複数の分割レンズ面のうち、 レンズ中心側に位置する分割レンズ面は、前記段差が形成された回折レンズ面であ り、レンズ外周側に位置する分割レンズ面は、前記段差の形成されていない屈折レ ンズ面である構成を採用すれば、レンズ中心側に位置する分割レンズ面の回折次数 力 Sレンズ外周側に位置する分割レンズ面よりも高 、構成を実現できる。このように構 成すると、コマ収差を抑制することができるので、スポット径を小さくすることができる。
[0014] 本発明において、前記複数の分割レンズ面のうち、少なくとも最もレンズ中心側に 位置する分割レンズ面は、前記段差が形成された回折レンズ面であり、かつ、当該回
折レンズ面の中央領域では、平面に前記段差が付されていることが好ましい。このよ うに構成すると、レンズ厚を薄くすることができるので、フレネルレンズ構造とする際の 分割数を少なくすることができる。
[0015] 本発明において、前記回折レンズ面における屈折力および回折力は、いずれも正 のパワーを有していることが好ましい。このように、屈折による集光力と回折による集 光力とが合成されるので、回折レンズ面の曲率半径を大きくすることができる。
[0016] 本発明にお 、て、前記複数の分割レンズ面は、例えば、互いに異なるレンズ形状を 備えている。例えば、前記複数の分割レンズ面は、互いに異なる非球面を備えている 。このように各分割レンズ面の形状を最適化すれば、複数の分割レンズ面が所定波 長の光に対して単一の焦点を備えている構成を実現でき、スポット径を小さくすること ができる。また、所定波長の光が入射角度 0° で入射したとき、集光レンズにおけるレ ンズ外周側に位置する前記分割レンズ面の焦点がレンズ中心側に位置する前記分 割レンズ面の焦点よりも、集光レンズに近くなるような設計をすることができ、このよう な構成はスポット径を小さくする有効な手段となる。
[0017] 本発明に係る集光レンズにおいて、入射角度範囲を士 θ ° としたとき、入射角度が
θ。 におけるスポット面積力 入射角度 0° におけるスポット面積の 2倍以下であるこ とが好ましい。このように構成すると、入射角度範囲の全域においてスポット径を小さ くすることができる。従って、光検出器として、分解能の高い多分割光検出器を用い た場合でも、その分割光検出面にスポットを形成することができる。
[0018] 本発明において、前記分割レンズ面同士の境界領域に位置する前記溝の方向が 光の屈折方向と略平行であることが好ましい。このように構成すると、溝部分に入射し た光が光検出器側に向けて照射されるのを防止することができる。また、溝の角度が 広がるため、レンズを製造するための金型に対する加工が容易である。また、レンズ 素材を加工して集光レンズを製造する場合でも、加工が容易である。
[0019] 本発明にお 、て、レンズ材料は、例えば榭脂である。榭脂製レンズであれば、金型 成形により効率よく製造できるなど、安価である。また、軽量ィ匕にも適している。
[0020] 本発明において、前記光入射面および前記光出射面のうち、光入射面に前記複 数の分割レンズ面が形成され、光出射面は、単調な平面あるいは曲面であることが
好ましい。このように構成すると、光出射面については複雑な力卩ェを施す必要がない
[0021] 本発明において、前記段差のピッチは、以下の式
m X / (n- l)
但し、 mは回折次数、 λは波長、 ηはレンズ素材の屈折率
で表される段差高さの 4. 5倍以上であることが好ましい。このように構成すると、回折 効率を向上させることができ、透過率を向上させることができる。
[0022] 本発明において、有効径が円形であることが好ましい。このように構成すると、有効 レンズ面が矩形の場合にその角部で発生するコマ収差が問題点とならないので、コ マ収差を抑制でき、スポット径を小さくすることができる。従って、光検出器として、分 解能の高い多分割光検出器を用いた場合でも、その分割光検出面の面積に収まる スポットを形成することができる。
[0023] 本発明を適用した集光レンズは、当該集光レンズによって、走査ビームが被照射物 で反射した反射ビームを光検出器に集光する光走査装置などに用いられる。
[0024] この場合、所定波長の光が入射角度 0° で入射したときの前記集光レンズの焦点 位置が、前記集光レンズからみて前記光検出器よりも遠い位置にあり、かつ、前記集 光レンズにおけるレンズ外周側に位置する前記分割レンズ面の焦点位置がレンズ中 心側に位置する前記分割レンズ面の焦点位置よりも前記光検出器に近いことが好ま しい。このように構成すると、集光レンズに対する入射角度範囲においてスポット径の ノ《ランスを確保できるので、その結果として、光検出器でのスポット径を小さくすること ができる。よって、光検出器として、分解能の高い多分割光検出器を用いた場合でも 、その分割光検出面の面積に収まるスポットを形成することができる。
図面の簡単な説明
[0025] [図 1] (a)、 (b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 1に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域を拡大して示す説明図、外周側領域を拡大して示 す説明図、および外周側の別の領域を拡大して示す説明図である。
[図 2] (a)、 (b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 2に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域を拡大して示す説明図、外周側領域を拡大して示
す説明図、および外周側の別の領域を拡大して示す説明図である。
[図 3] (a)、 (b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 3に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域の一部を拡大して示す説明図、中央領域の別の領 域を拡大して示す説明図、および外周領域を拡大して示す説明図である。
[図 4]本発明の実施の形態 3に係る集光レンズによって光検出器に集光した際の入 射角度と光検出器でのスポット面積との関係を示すグラフである。
[図 5]本発明の実施の形態 3に係る集光レンズに対する入射角度と、光検出器にお けるスポット形状との関係を示す説明図である。
[図 6] (a)、 (b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 4に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域の一部を拡大して示す説明図、中央領域の別の領 域を拡大して示す説明図、および外周領域を拡大して示す説明図である。
[図 7]本発明の実施の形態 4に係る集光レンズの領域毎の焦点位置を示すグラフで ある。
[図 8]本発明の実施の形態 4に係る集光レンズに対する入射角度と、光検出器にお けるスポット形状との関係を示す説明図である。
[図 9]本発明の実施の形態 4に係る集光レンズによって光検出器に集光した際の入 射角度と光検出器でのスポット面積との関係を示すグラフである。
[図 10]従来の集光レンズおよびその問題点を示す説明図である。
符号の説明
1 集光レンズ
2 光入射面
3 光出射面
9 光検出器
I I、 12、 13、 14 分割レンズ面
21、 22、 23 溝
30 段差
I I I、 112、 113、 114 輪帯領域
発明を実施するための最良の形態
[0027] 図面を参照して、本発明を適用した集光レンズを説明する。
[0028] [実施の形態 1]
図 1 (a)、(b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 1に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域を拡大して示す説明図、外周側領域を拡大して示 す説明図、および外周側の別の領域を拡大して示す説明図である。
[0029] 図 1 (a)、 (b)、 (c)、 (d)に示す集光レンズ 1は、ビーム走査装置から出射された走 查ビームが被照射物で反射した光を光検出器 9に集光させるための榭脂製のレンズ である。この集光レンズ 1において、光入射面 2および光出射面 3のうち、光入射面 2 の側には、同心円状の溝 21、 22、 23によってフレネルレンズ状の分割レンズ面 11、 12、 13、 14が複数、形成されている。これに対して、光出射面 3は、単調な平面ある いは曲面である。
[0030] 複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14には、同心円状の複数の段差 30が形成され た回折レンズ面が含まれており、本形態では、 4つの分割レンズ面 11、 12、 13、 14 のうち、 3つの分割レンズ面 12、 13、 14が回折レンズ面になっている。
[0031] ここで、段差 30のピッチは、以下の式
hl =m l / (n- l)
但し、 mは回折次数、 λは波長、 ηはレンズ素材の屈折率
で表される段差 30の高さ hiの 4. 5倍以上であり、広い。
[0032] また、本形態では、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14 (回折レンズ面)における 屈折力および回折力はいずれも正のパワーを有する。
[0033] また、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14は、例えば、互いに異なるレンズ形状を 備えており、本形態では、レンズ設計データの一例を後述するように、複数の分割レ ンズ面 11、 12、 13、 14は、互いに異なる非球面を備えている。
[0034] このように構成した集光レンズ 1は、フレネルレンズとしての特徴と、回折レンズとし ての特徴とを兼ね備えており、光線 LOで示すように、入射光を屈折と回折の双方を 利用して光検出器 9に集光する。ここで、分割レンズ面 11、 12、 13、 14同士の境界 領域に位置する溝 21、 22、 23の方向は、例えば、図 1 (c)に光線 L11で示すように、 光の屈折方向と略平行である。
[0035] このような集光レンズ 1のレンズ設計データは、例えば、以下のとおりである。なお、 以下に説明するレンズ設計デ―タにおいて、レンズ面の非球面形状 Z(R)は、回転 対称で、半径座標 rに対して下式
Z (R) = cr2/ [ 1 + { 1— ( 1 + k) c V } 12]
+A -r4+A · +··
4 6
で表される。 cは曲率半径 Rの逆数、 kは円錐定数、 A、 A · ·はそれぞれ、 4次、 6次 ·
4 6
•の非球面係数である。なお、非球面係数の表示において、 Α—4、 Α—6、 Α—8· · · は、それぞれ A、 A、 A · · ·を示し、 Eに続く数字 mは、 1 X 10mを意味する。なお、以
4 6 8
下の各設計データは最内周力 外周へ向力 順番に記述してある。
[0036] 設計データ
分割レンズ面 1 1 (屈折レンズ面)
半径 (腿) =0〜8.5
Y曲率半径 (R) =11.8
コ一ニック定数 (k) =0.33427513
4次の係数 (A— 4) =-2.57E-05
6次の係数 (A— 6) =-2.56E-06
8次の係数 (A— 8) =3.89E-08
10次の係数 (A— 10) =-3.20E-10
回折次数 =0
光路差関数 ΙΓ2=0
光軸方向シフト Δ=0
[0037] 溝 21
半径 (mm) =8.5~10.6
Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 2 (回折レンズ面)
半径 (mm)=10.6~13.8
Y曲率半径 (R) =14.5106212
コ一ニック定数 (k) = - 1.22252023
4次の係数 (A— 4) =3.21E-05
6次の係数 (A— 6) =-3.29E-08
8次の係数 (A— 8) =3.20E-10
10次の係数 (A— 10) =-7.70E-13
回折次数 =1
光路差関数 ΙΓ2= -2.272727273
光軸方向シフト Δ =— 4
[0038] 溝 22
半径 (mm) =13.8—15.6
Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 3 (回折レンズ面)
半径 =15.6〜18.0
γ曲率半径 (R) =15.81927282
コ一ニック定数 (k) =-1.380370538
4次の係数 (A— 4) =2.92E-05
6次の係数 (A— 6) =— 1.31E— 08
8次の係数 (A— 8) =7.74E-11
10次の係数 (A-10) =— 1.03E— 13
回折次数 =1
光路差関数 R"2=-l.136363636
光軸方向シフト Δ =— 9
[0039] 溝 2 3
半径 =18.0〜: 19.6
Υ曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 14 (回折レンズ面)
半径 (mm)=19.6~22.0
Y曲率半径 (R) =17.44361546
コ一ユック定数 (k) =-1.31833077
4次の係数 (A— 4) =1.99E-05
6次の係数 (A— 6) =2.03E-09
8次の係数 (A— 8) =1.28E-11
10次の係数 (A— 10) =— L30E— 14
回折次数 =1
光路差関数 Ι 2=— 1.136363636
光軸方向シフト Δ =— 13
[0040] このように構成した本形態の集光レンズ 1は、フレネルレンズとしての特徴と、回折レ ンズとしての特徴とを兼ね備えており、入射光を屈折と回折の双方を利用して光検出 器 9に集光する。このため、屈折のみを利用する従来のフレネルレンズと比較して、レ ンズ厚 tを例えば 4mmまで薄型化できる。また、集光能力が高いため、集光レンズ 1 と光検出器 9との距離を 18mmにまで縮めることができる。
[0041] また、回折を併用したため、分割数を例えば、 4つにまで減らすことができる。従つ て、溝 21、 22、 23の数が少ない分、分割レンズ面 11、 12、 13、 14の境界部分に発 生する溝 21、 22、 23での光のケラレが少なぐ透過率が向上する。
[0042] さらに、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14 (回折レンズ面)における屈折力およ び回折力はいずれも正のパワーを有するため、各分割レンズ面 11、 12、 13、 14の 曲率半径を大きくすることができる。
[0043] さらにまた、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14は、互いに異なる非球面を備えて いるため、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14の各々が所定波長の光に対して単 一の焦点を備えている。このため、光検出器 9上でのスポット径を小さくすることがで きる。
[0044] また、段差 3が形成されて ヽな 、分割レンズ面 11の回折次数を 0次とした場合、レ ンズ中心側に位置する分割レンズ面 11の回折次数が 0次である一方、レンズ外周側 に位置する分割レンズ面 12、 13、 14 (回折レンズ面)の回折次数が 1次であり、レン ズ中心側に位置する分割レンズ面 11の回折次数は、レンズ外周側に位置する分割 レンズ面 12、 13、 14よりも低い。このため、外周側の分割レンズ面 12、 13、 14でも 接線角を小さくすることができるため、図 1 (c)に光線 L13で示すように、入射角が大 きな光であっても、集光レンズ 1に入射させることができる。
[0045] また、溝 21、 22、 23の方向が光の屈折方向と略平行であるため、図 1 (c)に光線 L 12で示すように、溝 21、 22、 23に入射した光が光検出器側に向けて照射されるのを 防止することができる。また、溝 21、 22、 23の角度が広いため、レンズを製造するた めの金型に対する加工が容易である。
[0046] また、光出射面 3は、単調な平面あるいは曲面であるため、光出射面 3については 複雑な加工を施す必要がな!、。
[0047] さらに、本形態では、有効径 Dが円形であるため、有効レンズ面が矩形の場合にそ の角部で発生するコマ収差の問題がない。それ故、有効面が矩形の場合と比較して コマ収差を抑制できるため、スポット径を小さくすることができる。
[0048] さらにまた、段差 30のピッチは、段差 30の高さ hiの 4. 5倍以上であるため、段差 3 0の数が少ない。それ故、回折効率を向上させることができ、透過率を向上させること ができる。
[0049] [実施の形態 2]
図 2 (a)、(b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 2に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域を拡大して示す説明図、外周側領域を拡大して示 す説明図、および外周側の別の領域を拡大して示す説明図である。なお、本形態の 集光レンズは、基本的な構成が実施の形態 1と同様であるため、互いに対応する部
分には同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
[0050] 図 2 (a)、(b)、 (c)、 (d)に示す集光レンズ 1も、実施の形態 1と同様、ビーム走査装 置力 出射された走査ビームが被照射物で反射した光を光検出器 9に集光させるた めの榭脂製のレンズであって、光入射面 2および光出射面 3のうち、光入射面 2の側 には、同心円状の溝 21、 22、 23によってフレネルレンズ状の分割レンズ面 11、 12、 13、 14が複数、形成されている。これに対して、光出射面 3は、単調な平面あるいは 曲面である。
[0051] 本形態では、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14はいずれも、同心円状の複数 の段差 30が形成された回折レンズ面になっている。
[0052] ここで、段差 30のピッチは、以下の式
hl =m l / (n- l)
h2=m l / (n- l)
但し、 mは回折次数、 λは波長、 ηはレンズ素材の屈折率
で表される段差 30の高さ hi、 h2の 4. 5倍以上である。
[0053] また、本形態では、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14 (回折レンズ面)における 屈折力および回折力はいずれも正のパワーを有する。
[0054] また、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14は、例えば、互いに異なるレンズ形状を 備えており、本形態では、レンズ設計データの一例を後述するように、複数の分割レ ンズ面 11、 12、 13、 14は、互いに異なる非球面を備えている。
[0055] このように構成した集光レンズ 1は、フレネルレンズとしての特徴と、回折レンズとし ての特徴とを兼ね備えており、光線 LOで示すように、入射光を屈折と回折の双方を 利用して光検出器 9に集光する。ここで、分割レンズ面 11、 12、 13、 14同士の境界 領域に位置する溝 21、 22、 23の方向は、例えば、図 2 (c)に光線 L11で示すように、 光の屈折方向と略平行である。
[0056] このような集光レンズ 1のレンズ設計データは、例えば、以下のとおりである。
[0057] 分割レンズ面 1 1 (回折レンズ面) 半径 (mm)=0〜9.5
Y曲率 径 (R) =12.44212513 コ一ニック定数 (k) =-0.57600452 4次の係数 (A— 4) =1.7459E-05 6次の係数 (A— 6) =-3.4237E-07 8次の係数 (A— 8) =4.50666E-09 10次の係数 (A— 10) =— 2E— 11 回折次数 =2
光路差関数 R 2= -2.840909091 光軸方向シフト Δ=0
[0058] 溝 2 1
半径 (mm) =9.5〜10.8 Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 2 (回折レンズ面) 半径 (mm)=10.8~14.4 Y曲率半径 (R) =14.20502747 コ— ック定数 (k) = - 1.144824178 4次の係数 (A— 4) =3.45202E-05 6次の係数 (A— 6) =-1.16675E-08 8次の係数 (A— 8) =1.39156E-10 10次の係数 (A— 10) =-2.10401E-13 回折次数 =2
光路差関数 R"2=— 2.272727273 光軸方向シフト Δ =— 4.6
[0059] 溝 22
半径 (mm)=14.4〜15.8 Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 3 (回折レンズ面)
半径 (mm)=15.8〜18.4 Y曲率半径 (R) =15.26028785 コ一ニック定数 (k) =-1.771677837 4次の係数 (A— 4) =4.79866E-05 6次の係数 (A— 6) =— 3.96942E— 08 8次の係数 (A— 8) =1.31887E-10 10次の係数 (A— 10) =— 1.45567E—13 回折次数 =2
光路差関数 R"2=-l.136363636 光軸方向シフト Δ =— 10
[0060] 溝 2 3
半径 (mm) = 18. 4~20. 0
Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 3 (回折レンズ面)
半径 (mm) =20. 0〜22. 0
Y曲率半径 (R) = 17. 64423345
コ一ユック定数 ( k ) = - 1. 268024731
4次の係数 (A— 4 ) =2. 09441E-05
6次の係数 (A— 6 ) =5. 02943E-09
8次の係数 (A— 8 ) = 1. 16161E— 11
10次の係数 (A— 10) =— 1. 3599E— 14
回折次数 =3
光路差関数 R"2= - l. 136363636
光軸方向シフト Δ =— 13
[0061] このように構成した本形態の集光レンズ 1は、フレネルレンズとしての特徴と、回折レ ンズとしての特徴とを兼ね備えており、入射光を屈折と回折の双方を利用して光検出 器 9に集光する。このため、屈折のみを利用する従来のフレネルレンズと比較して、レ ンズ厚 tを例えば 5mmまで薄型化できる。また、集光能力が高いため、集光レンズ 1 と光検出器 9との距離を 14. 5mmにまで縮めることができ、このように縮めた分、光検 出器 9でのケラレを低減することができる。
[0062] また、回折を併用したため、分割数を例えば、 4つにまで減らすことができる。従つ て、溝 21、 22、 23の数が少ない分、分割レンズ面 11、 12、 13、 14の境界部分に発 生する溝 21、 22、 23での光のケラレが少なぐ透過率が向上する。
[0063] また、本形態において、分割レンズ面 11、 12、 13、 14 (回折レンズ面)における屈 折力および回折力はいずれも正のパワーを有するため、各分割レンズ面 11、 12、 1 3、 14の曲率半径を大きくすることができる。
[0064] また、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14は、互いに異なる非球面を備えている ため、複数の分割レンズ面 11、 12、 13、 14の各々が所定波長の光に対して単一の 焦点を備えている。このため、光検出器 9上でのスポット径を小さくすることができる。
[0065] また、レンズ中心側に位置する分割レンズ面 11、 12、 13 (回折レンズ面)の回折次 数が 2次であり、レンズ外周側に位置する分割レンズ面 14 (回折レンズ面)の回折次 数が 3次であり、レンズ中心側に位置する分割レンズ面 11、 12、 13の回折次数は、 レンズ外周側に位置する分割レンズ面 14よりも低い。このため、外周側の分割レンズ 面 14でも接線角を小さくすることができるため、図 2 (c)に光線 L13で示すように、入
射角が大きな光であっても、集光レンズ 1に入射させることができる。
[0066] また、溝 21、 22、 23の方向が光の屈折方向と略平行であるため、図 2 (c)に光線 L 12で示すように、溝 21、 22、 23に入射した光が光検出器側に向けて照射されるのを 防止することができる。また、溝 21、 22、 23の角度が広いため、レンズを製造するた めの金型に対する加工が容易である。
[0067] また、光出射面 3は、単調な平面あるいは曲面であるため、光出射面 3については 複雑な加工を施す必要がな!、。
[0068] さらに、本形態では、有効径 Dが約 30 Φの円形であるため、有効レンズ面が矩形の 場合にその角部で発生するコマ収差の問題がない。それ故、有効面が矩形の場合と 比較してコマ収差を抑制できるため、スポット径を小さくすることができる。
[0069] さらにまた、段差 30のピッチは、段差 30の高さ hl、 h2の 4. 5倍以上であるため、段 差 30の数が少ない。それ故、回折効率を向上させることができ、透過率を向上させる ことができる。
[0070] [実施の形態 3]
図 3 (a)、(b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 3に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域の一部を拡大して示す説明図、中央領域の別の領 域を拡大して示す説明図、および外周領域を拡大して示す説明図である。図 4は、 本形態の集光レンズによって光検出器に集光した際の入射角度と光検出器でのスポ ット面積との関係を示すグラフである。図 5は、本形態の集光レンズに対する入射角 度と、光検出器におけるスポット形状との関係を示す説明図である。
[0071] 図 3 (a)、(b)、 (c)、 (d)に示す集光レンズ 1も、実施の形態 1と同様、ビーム走査装 置力 出射された走査ビームが被照射物で反射した光を光検出器 9に集光させるた めの榭脂製のレンズであって、光入射面 2および光出射面 3のうち、光入射面 2の側 には、同心円状の溝 21、 22によってフレネルレンズ状の分割レンズ面 11、 12、 13が 形成されている。これに対して、光出射面 3は、単調な平面あるいは曲面である。本 形態において、分割レンズ面 11、 12、 13同士の境界領域に位置する溝 21、 22の方 向は、実施の形態 1と同様、光の屈折方向と略平行である。
[0072] また、レンズ設計データの一例を後述するように、複数の分割レンズ面 11、 12、 13
は、互いに異なるレンズ形状を備えており、複数の分割レンズ面 11、 12、 13は、全 体として、互いに異なる非球面を備えている。
[0073] さらに、本形態では、複数の分割レンズ面 11、 12、 13のうち、中央のレンズ面 11は 、 4つの輪帯領域 111、 112、 113、 114に分割され、これらの輪帯領域 111、 112、 113、 114はいずれも、同心円状の複数の段差 30が形成された回折レンズ面になつ ている。ここで、 4つの輪帯領域 111、 112、 113、 114のうち、最も内側の輪帯領域 1 11では、平面に段差 30が付されている一方、他の 3つの輪帯領域 112、 113、 114 は、所定の非球面に段差 30が付され、輪帯領域 111、 112、 113、 114には、異なる 光路差関数の回折格子が付されている。また、外周側の分割レンズ面 12、 13も、段 差 30が形成された回折レンズ面になっている。
[0074] なお、段差 30のピッチは、以下の式
h=m l / (n- l)
但し、 mは回折次数、 λは波長、 ηはレンズ素材の屈折率
で表される段差 30の高さ hの 4. 5倍以上である。
[0075] また、複数の分割レンズ面 11、 12、 13 (回折レンズ面)における屈折力および回折 力は、いずれも正のパワーを有している。
[0076] このような集光レンズ 1のレンズ設計データは、例えば、以下のとおりである。
[0077] 分割レンズ面 1 1 (回折レンズ面)
輪帯領域 1 1 1
半径 (mm) =0~2. 0
Y曲率半径 (R) =無限
コ一ユック定数 ( k ) =0
4次の係数 (A— 4 ) =0
6次の係数 (A— 6 ) =0
8次の係数 (A— 8 ) =0
10次の係数 (A— 10) =0
回折次数 =3
光路差関数 IT 2=— 10. 473285
光路差関数 Ι 4=0. 008546799
光軸方向シフト Δ =0
[0078] 輪帯領域 i 1 2
半径 (mm)=2.0〜5.0 Y曲率半径 (R) =18.34390013 コ一ニック定数 (k) =1.736310589 4次の係数 (A— 4) =-5.26E-05 6次の係数 (A— 6) =0.00E+OO 8次の係数 (A— 8) =0.00E十 00 10次の係数 (A— 10) =0.00E+00 回折次数 =3
光路差関数 Ι 2=— 4.54545455 光軸方向シフト Δ =— 0.11
[0079] 輪帯纖 1 1 3
半径 (mm)=5.0〜7.5 γ曲率半径 (R) =15.48148913 コ一ニック定数 (k) =0.093120451 4次の係数 (A-4) =-2.36E-05 6次の係数 (A— 6) =0.00E+OO 8次の係数 (A— 8) =0.00E+OO 10次の係数 (A— 10) =0.00E+00 回折次数 =3
光路差関数 R~2= -3.40909091 光軸方向シフト Δ =— 0.22
[0080] 輪帯領域 n 4
半径 (mm) =7.5~9.0
γ曲率半径 (R) =14.22517578 コ一ニック定数 (k) =-8.19-05 4次の係数 (A— 4) =— 4.07E— 05 6次の係数 (A— 6) =4.90E-07 8次の係数 (A— 8) =-2.84E-09 10次の係数 (A— 10) =-7.57E-11 12次の係数 (A-12) =6.40E-13 回折次数 =3
光路差関数 R"2= -2.84090909 光軸方向シフト Δ =— 0.39
[0081] 溝 2 1
半径 (mm) =9.0〜9.6
Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 2 (回折レンズ面)
半径 (mm) =9.6〜12.0
Y曲率半径 (R) =14.92917046
コ一ニック定数 (k) =-0.63751156
4次の係数 (A— 4) =0.00E+00
6次の係数 (A— 6) =7.31E— 08
8次の係数 (A— 8) =— 1.86E— 10
10次の係数 (A— 10) =0.00E+OO
回折次数 =3
光路差関数 R 2= -2.27272727
光軸方向シフト Δ =— 3.5
[0082] 溝 22
半径 (mm)=12 -。〜 12.5
Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 3 (回折レンズ面)
半径 (mm) =12.5—15.0
Y曲率半径 (R) =15.22547424
コ一ニック定数 (k) =-0.73199284
4次の係数 (A— 4) =1.30E-05
6次の係数 (A— 6) =5.61E— 09
8次の係数 (A— 8) =0.00E十 00
10次の係数 (A— 10) =0.00E+00
回折次数 =3
光路差関数 R"2=— 1.70454545
光軸方向シフト Δ =— 5.8
[0083] このように構成した集光レンズ 1は、フレネルレンズとしての特徴と、回折レンズとし ての特徴とを兼ね備えており、光線 LOで示すように、入射光を屈折と回折の双方を 利用して光検出器 9に集光する。このため、屈折のみを利用する従来のフレネルレン ズと比較して、レンズ厚 tを薄型化できる。また、集光能力が高いため、集光レンズ 1と 光検出器 9との距離を 14.5mmにまで縮めることができ、このように縮めた分、光検 出器 9でのケラレを低減することができる。
[0084] なお、集光レンズ 1によって光検出器 9に集光した際の入射角度と光検出器 9での スポット面積との関係は、図 4に示す通りである。すなわち、入射角とスポットの縦寸 法および横寸法は、以下に示す結果になっている。
[0085]
入射角 (° ) 横寸法 (mm) 縦寸法 (mm) 面積 (mm2)
0 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
1 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
3 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
4 0. 5 0 . 6 0 . 3 0
5 0. 5 0 . 8 0 . 4 0
6 0. 5 1 . 0 0 . 5 0
7 0. 7 1 . 2 8 . 4
[0086] また、集光レンズ 1に対する入射角度と、光検出器 9におけるスポット形状との関係 は、図 5に示す通りである。図 4および図 5に示すように、本例では、入射角範囲 ± 6 ° においてスポット径が小さぐ分解能の高い多分割光検出器を用いた場合のスポッ ト面積の許容範囲である 0. 5mm2を満たしている。従って、光検出器 9として、分解 能の高い多分割光検出器を用いた場合でも、その分割光検出面にスポットを形成す ることがでさる。
[0087] また、回折と屈折とを併用し、かつ、最も内側の輪帯領域 111では、平面に段差 30 が付されている。このため、レンズ厚 tを薄くすることができるので、フレネルレンズ構 造とする際、その分割数を 3つにまで減らすことができる。従って、溝 21、 22の数が 少ない分、分割レンズ面 11、 12、 13の境界部分に発生する溝 21、 22での光のケラ レが少なぐ透過率が向上する。
[0088] また、本形態において、分割レンズ面 11、 12、 13 (回折レンズ面)における屈折力 および回折力はいずれも正のパワーを有し、かつ、回折次数として 3次を利用して集 光力を高めてあるため、各分割レンズ面 11、 12、 13の曲率半径を大きくすることがで きる。
[0089] また、複数の分割レンズ面 11、 12、 13は、互いに異なる非球面を備えており、さら に、複数の分割レンズ面 11、 12、 13の各々が、入射角度 0° の所定波長の光に対 して、レンズ外周側に位置する分割レンズ面 12あるいは分割レンズ面 13の焦点がレ ンズ中心側に位置する前記分割レンズ面 11の焦点よりも、集光レンズ 1に近くなるよ うな設計をしている。このため、光検出器 9上でのスポット径を小さくすることができる。
[0090] また、溝 21、 22の方向が光の屈折方向と略平行であるため、図 1 (c)や図 2 (c)に 光線 L12で示すように、溝 21、 22に入射した光が光検出器側に向けて照射されるの
を防止することができる。また、溝 21、 22の角度が広いため、レンズを製造するため の金型に対する加工が容易である。
[0091] また、光出射面 3は、単調な平面あるいは曲面であるため、光出射面 3については 複雑な加工を施す必要がな!、。
[0092] さらに、本形態では、有効径 Dが約 30 Φの円形であるため、有効レンズ面が矩形の 場合にその角部で発生するコマ収差の問題がない。それ故、有効面が矩形の場合と 比較してコマ収差を抑制できるため、スポット径を小さくすることができる。
[0093] さらにまた、段差 30のピッチは、段差 30の高さ hが約 4 μ mに対して、最小ピッチが 約 20 mであり、段差 30の高さ hの 4. 5倍以上であるため、回折効率が高ぐ透過 率を向上させることができる。
[0094] [実施の形態 4]
図 6 (a)、(b)、 (c)、 (d)はそれぞれ、本発明の実施の形態 4に係る集光レンズの構 成を示す説明図、その中央領域の一部を拡大して示す説明図、中央領域の別の領 域を拡大して示す説明図、および外周領域を拡大して示す説明図である。図 7は、 本形態の集光レンズの各領域毎の焦点位置を示すグラフである。図 8は、本形態の 集光レンズに対する入射角度と、光検出器におけるスポット形状との関係を示す説明 図である。図 9は、本形態の集光レンズによって光検出器に集光した際の入射角度と 光検出器でのスポット面積との関係を示すグラフである。
[0095] 図 6 (a)、 (b)、 (c)、 (d)に示す集光レンズ 1も、実施の形態 1と同様、ビーム走査装 置力 出射された走査ビームが被照射物で反射した光を光検出器 9に集光させるた めの榭脂製のレンズであって、光入射面 2および光出射面 3のうち、光入射面 2の側 には、同心円状の溝 21、 22によってフレネルレンズ状の分割レンズ面 11、 12、 13が 形成されている。これに対して、光出射面 3は、単調な平面あるいは曲面である。本 形態において、分割レンズ面 11、 12、 13、 14同士の境界領域に位置する溝 21、 22 の方向は、実施の形態 1と同様、光の屈折方向と略平行である。
[0096] また、レンズ設計データの一例を後述するように、複数の分割レンズ面 11、 12、 13 は、互いに異なるレンズ形状を備えており、複数の分割レンズ面 11、 12、 13は、全 体として、互いに異なる非球面を備えている。
[0097] さらに、本形態では、複数の分割レンズ面 11、 12、 13のうち、中央のレンズ面 11は 、 4つの輪帯領域 111、 112、 113、 114に分割され、これらの輪帯領域 111、 112、 113、 114はいずれも、同心円状の複数の段差 30が形成された回折レンズ面になつ ている。ここで、 4つの輪帯領域 111、 112、 113、 114のうち、最も内側の輪帯領域 1 11は平面になっている一方、他の 3つの輪帯領域 112、 113、 114は、所定の非球 面になっており、輪帯領域 111、 112、 113、 114には、異なる光路差関数の回折格 子が付されている。また、分割レンズ面 11における屈折力および回折力は、いずれ の正のパワーを有している。なお、段差 30のピッチは、以下の式
h=m l / (n- l)
但し、 mは回折次数、 λは波長、 ηはレンズ素材の屈折率
で表される段差 30の高さ hの 4. 5倍以上である。これらの構成は、実施の形態 3と同 様である。
[0098] これに対して、本形態では、実施の形態 3と違って、外周側の分割レンズ面 12、 13 は、段差 30の形成されて ヽな 、屈折レンズ面になって 、る。
[0099] このような集光レンズ 1のレンズ設計データは、例えば、以下のとおりである。
[0100] 分割レンズ面 1 1 (回折レンズ面)
輪帯領域 1 1 1
半径 (mm) =0〜2. 0
Y曲率半径 (R) =無限
コ—ユック定数 ( k ) =0
4次の係数 (A— 4 ) =0
6次の係数 (A— 6 ) =0
8次の係数 (A— 8 ) =0
10次の係数 (A— 10) =0
回折次数 =3
光路差関数 R"2=— 10. 473285
光路差関数 R"4=0. 008546799
光軸方向シフト Δ =0
0101] 輸帯領域 1 1 2
半径 (mm)=2.0〜5.0
Y曲率半径 (R) =18.34390013 コ—ニック定数 (k) =1.736310589 4次の係数 (A— 4) =-5.26E-05 6次の係数 (A— 6) =0.00E+00 8次の係数 (A— 8) =0.00E+00 10次の係数 (A— 10) =0.00E+OO 回折次数 =3
光路差関数 Ι 2 =— 4.54545455 光軸方向シフト Δ =— 0.11
[0102] 輪帯領域 i丄 3
半径 =5.0〜7.5
γ曲率半径 (R) =15.48148913 コ一ニック定数 (k) =0.093120451 4次の係数 (A— 4) =-2.36E-05 6次の係数 (A— 6) =0.00E+O0 8次の係数 (A— 8) =0.00E+O0 10次の係数 (A— 10) =0.00E+00 回折次数 =3
光路差関数 R"2 = -3.40909091 光軸方向シフト Δ =— 0.22
[0103] 輪帯領域 1 14
半径 (mm)=7.5〜9.0
Y曲率半径 (R) =14.22517578 コ一ニック定数 (k) =-8.19E-05 4次の係数 (A— 4) =-4.07E-05 6次の係数 (A— 6) =4.90E-07 8次の係数 (A— 8) =-2.84E-09 10次の係数 (A— 10) =-7.57E-11 12次の係数 (A— 12) =6.40E-13 回折次数 =3
光路差関数 R"2 = -2.84090909 光軸方向シフト Δ =— 0.39
[0104] 溝 21
半径 =9.0〜9.6 Υ曲率半径 (R) =直線 分割レンズ面 1 2 (屈折レンズ面)
半径 =9.6〜: L2.0 Υ曲率半径 (R) =11.7642015 コ—ニック定数 (k) =-0.63751156 4次の係数 (A— 4) =0.00E+00 6次の係数 (A— 6) =1.03E-07 8次の係数 (A— 8) =-4.34E-10 10次の係数 (A— 10) =0.00E+O0 光軸方向シフト Δ =— 4.4
[0105] 溝 22
半径 (mm)=12.0〜12.8
Y曲率半径 (R) =直線
分割レンズ面 1 3 (屈折レンズ面)
半径 =12.8〜15.0
Y曲率半径 (R) =12.98095761
コ一ニック定数 (k) =-0.73662318
4次の係数 (A— 4) =1.55E-05
6次の係数 (A— 6) =8.38E-09
8次の係数 (A— 8) =0.00E+OO
10次の係数 (A-10) =0.00E+00
10次の係数 (A— 10) =0.00E+00
光軸方向シフト Δ =— 7.5
[0106] このように構成した集光レンズ 1において、中央のレンズ面 11 (輪帯領域 111、 112 、 113、 114)、および外周側の屈折レンズ面 (分割レンズ面 12、 13)の焦点位置は、 図 7に示すように、所定波長の光が入射角度 0° で入射したときの集光レンズ 1の焦 点位置が、集光レンズ 1からみて光検出器 9よりも遠い位置にあり、かつ、集光レンズ 1におけるレンズ外周側に位置する分割レンズ面 12、 13の焦点位置がレンズ中心側 に位置する分割レンズ面 11 (輪帯領域 111、 112、 113、 114)の焦点位置よりも光 検出器 9に近い。すなわち、各領域の焦点位置の光検出器 9からの距離は、以下に 示す条件になっている。
[0107] 分割レンズ面 n 焦点位置の光検出器 9からの距離
輪帯領域 1 1 1 41 mm
輪帯領域 1 12 43mm
輪帯領域 1 13 4 mm
輪帯領域 1 14 45 mm
分割レンズ面 1 2 21 mm
分割レンズ面 1 3 19 mm
[0108] このように構成した集光レンズ 1は、フレネルレンズとしての特徴と、回折レンズとし ての特徴とを兼ね備えており、光線 LOで示すように、入射光を屈折と回折の双方を 利用して光検出器 9に集光する。このため、屈折のみを利用する従来のフレネルレン ズと比較して、レンズ厚 tを薄型化できる。また、集光能力が高いため、集光レンズ 1と 光検出器 9との距離を 14.5mmにまで縮めることができ、このように縮めた分、光検 出器 9でのケラレを低減することができる。
[0109] また、回折と屈折とを併用し、かつ、最も内側の輪帯領域 111では、平面に段差 30 が付されている。このため、レンズ厚 tを薄くすることができるので、フレネルレンズ構
造とする際、その分割数を 3つにまで減らすことができる。従って、溝 21、 22の数が 少ない分、分割レンズ面 11、 12、 13の境界部分に発生する溝 21、 22での光のケラ レが少なぐ透過率が向上する。
[0110] また、分割レンズ面 11 (回折レンズ面)における屈折力および回折力は、いずれも 正のパワーを有し、かつ、回折次数として 3次を利用して集光力を高めてあるため、 分割レンズ面 11の曲率半径を大きくすることができる。
[0111] また、複数の分割レンズ面 11、 12、 13は、互いに異なる非球面を備えており、さら に、複数の分割レンズ面 11、 12、 13の各々が、入射角度 0° の所定波長の光に対 して、レンズ外周側に位置する分割レンズ面 12あるいは分割レンズ面 13の焦点がレ ンズ中心側に位置する前記分割レンズ面 11の焦点よりも、前記集光レンズに近くな るような設計をしている。このため、光検出器 9上でのスポット径を小さくすることがで きる。
[0112] また、溝 21、 22の方向が光の屈折方向と略平行であるため、図 1 (c)や図 2 (c)を 参照して説明したように、溝 21、 22に入射した光が光検出器側に向けて照射される のを防止することができる。また、溝 21、 22の角度が広いため、レンズを製造するた めの金型に対する加工が容易である。
[0113] また、光出射面 3は、単調な平面あるいは曲面であるため、光出射面 3については 複雑な加工を施す必要がな!、。
[0114] さらに、段差 30のピッチは、段差 30の高さ hが約 4 mに対して最小ピッチが約 20
/z mであり、段差 30の高さ hの 4. 5倍以上であるため、回折効率が高ぐ透過率を向 上させることができる。
[0115] さらにまた、本形態では、有効径 Dが約 30Φの円形であるため、有効レンズ面が矩 形の場合にその角部で発生するコマ収差の問題がない。それ故、有効面が矩形の 場合と比較してコマ収差を抑制できるため、スポット径を小さくすることができる。
[0116] し力も、本形態では、複数の分割レンズ面 11、 12、 13のうち、レンズ中心側に位置 する分割レンズ面 11は、段差 30が形成された回折レンズ面であり、レンズ外周側に 位置する分割レンズ面 12、 13は、段差 30の形成されていない屈折レンズ面である。 このため、実施の形態 3と比較して、コマ収差を抑制することができるので、また、図 9
に、集光レンズ 1に対する入射角度と、焦点位置力 の各距離におけるスポット形状 との関係を示すように、スポット径を小さくすることができる。
[0117] また、本形態では、図 7を参照して説明したように、所定波長の光が入射角度 0° で 入射したときの集光レンズ 1の焦点位置力 集光レンズ 1からみて光検出器 9よりも遠 い位置にあり、かつ、集光レンズ 1におけるレンズ外周側に位置する分割レンズ面 12 、 13の焦点位置がレンズ中心側に位置する分割レンズ面 11 (輪帯領域 111、 112、 113、 114)の焦点位置よりも光検出器 9に近い。従って、集光レンズ 1に対する入射 角度範囲にぉ 、てスポット径のバランスを確保できる。
[0118] それ故、本形態では、入射角度範囲を士 θ ° としたとき、 Θは、以下の条件
Θ = ± 7。
であるが、図 9に、本形態の集光レンズ 1によって光検出器 9に集光した際の入射角 度と光検出器 9でのスポット面積との関係を示すように、入射角度が 7° におけるスポ ット面積が、入射角度 0° におけるスポット面積の 2倍以下に抑えることができる。す なわち、本形態によれば、入射角とスポットの縦寸法および横寸法は、以下に示す結 果が得られる。
[0119] 入射角 (° ) 横寸法 (mm) 縦寸法 (mm) 面積 (mm
0 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
1 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
3 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
4 0. 5 0 . 5 0 . 2 5
5 0. 5 0 . 6 0 . 3 0
6 0. 5 0 . 8 0 . 4 0
7 0. 3 1 . 0 0 . 3
8 0. 5 1 . 0 0 . 5
9 0. 7 0 . 7 0 . 4 9
[0120] よって、本形態では、実施の形態 3と比較しても、入射角度範囲の全域においてス ポット径カ 、さぐ分解能の高い多分割光検出器を用いた場合のスポット面積の許容 範囲である 0. 5mm2を満たしている。従って、光検出器として、分解能の高い多分割 光検出器を用いた場合でも、その分割光検出面にスポットを形成することができる。
[0121] なお、本形態の集光レンズ 1を、入射角度範囲が ± 9° の光走査装置に用いた場 合、入射角度が 7° 以上の場合、光検出器 9の面積によってケラれ、図 8に示すよう に、見かけ上、縮小されている。この場合でも、スポット面積の許容範囲である 0. 5m
m2を満たしていれば、光検出器 9として、分解能の高い多分割光検出器を用いること ができる。
[0122] [他の実施の形態]
上記形態では、ビーム走査装置力 出射された走査ビームが被照射物で反射した 光を集光させるための集光レンズを説明したが、このような用途に限らず、大面積で 薄型が要求される集光レンズであれば、他の用途に集光レンズに本発明を適用して ちょい。
[0123] また、上記形態では、溝 21、 22、 23、分割レンズ面 11、 12、 13、 14、および段差 30が同心円状に形成されている集光レンズを説明したが、本発明は、トーリックレン ズゃシリンドリカルレンズに適用してもよぐシリンドリカルレンズに本発明を適用する 場合には、溝や段差はシリンドリカルレンズの軸線に平行に形成されることになる。 産業上の利用可能性
[0124] 以上説明したように、本発明に係る集光レンズでは、フレネルレンズとしての特徴と 回折レンズとしての特徴とを兼ね備えており、屈折と回折の双方を利用する。このた め、屈折のみを利用する従来のフレネルレンズと比較して薄型化が容易である。また 、分割数を減らすことができるため、分割レンズ面の境界部分に発生する溝での光の ケラレが少なく、透過率が向上する。それ故、光走査装置において検出感度の向上 や小型化を図ることができる。