WO2005068199A1 - Vorrichtung und verfahren zum passgenauen übereinanderdrucken - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum passgenauen übereinanderdrucken Download PDF

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Adolf Bernds
Wolfgang Clemens
Alexander Friedrich Knobloch
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for precisely fitting two layers on top of one another, in particular for overlaying two layers to produce an organic electronic component.
  • a stamp is used to move the stamp to the height of a substrate and to release it there.
  • the stamp preferably the tampon
  • the stamp is first moved in the Z direction (that is, moved from top to bottom) in order to hit the printing plate, then lifted backwards in the Z direction, then moved in the x, y direction and again in Lowered Z direction and retracted.
  • the tampon has so far been pressed onto a transparent film until the second print lies precisely over the first print by readjustment. Then the system is adjusted and the pressure on the sample is released by omitting the film.
  • the object of the invention is therefore a device and a
  • the invention relates to a device for precise overprinting with a stamp printing machine with a microscope integrated in the stamp holder.
  • the invention also relates to a method for precise overprinting, the position of the substrate and / or the printing plate being set semi-automatically with the aid of the microscope, predetermined alignment marks and special control electronics after insertion of the sample in a device for pad printing in an adjustment mode Printing plate and substrate are parallelized.
  • the subject of the invention is the use of the device for the production of organic electronic components.
  • the stamp holder is preset by comparing alignment marks and / or distinctive pattern points on the printing plate on the one hand and the substrate to be printed on the other.
  • a tampon or any other printing stamp such as a microcontact stamp, a flexographic printing plate, an embossing stamp, an offset printing plate and / or an intaglio printing plate from a printing plate, can also be used.
  • the adjustment follows a flow chart, which is explained in more detail below by FIG. 5 and the associated description.
  • the device is based on a known XYZ tampon printing machine, the tampon being held in place by installing a microscope, optionally a camera and is changed by the detachability of the tampon and is completed in the sense of the invention.
  • the holder is additionally fixed by installing a second rail (hereinafter referred to as a linear adjuster) on the base plate, on which the second linear adjuster and thus the holder of the tampon, which is fastened to the second linear adjuster, is held movably.
  • a linear adjuster hereinafter referred to as a linear adjuster
  • Figure 1 shows an embodiment of a device according to the invention, wherein on a base plate 1 two parallel Y-linear adjuster 3 and an X-linear adjuster 2 can be seen, through which the holder of the stamp or tampon 8 is infinitely adjustable in the x, y direction ,
  • the tampon 8 can also be moved in the Z direction via the Z linear adjuster 4. So that positioning is always firmly fixed and does not wobble, each of the linear adjusters has two parallel grooves 11 in which the linear adjuster guided therein can be moved back and forth.
  • the tampon 8 hangs on a holder in which a microscope 9 and a camera 10 are integrated.
  • the so-called clichés or the printing plates 5 and a doctor blade 6 for each printing plate 5 are located on the base plate 1.
  • the substrate 7 is to be printed and is rotatably mounted on a “rotary adjuster” or turntable.
  • Figure 2 shows the same device in the adjustment mode, that is, with the tampon removed. It is possible for the camera 10 to have a clear view through the microscope 9 onto the printing plate (FIG. 2a) or the substrate (FIG. 2b).
  • FIG. 3 shows the device in the printing mode, the tampon being remounted.
  • FIGS. 3a to 3c show the process of how the tampon 8 receives printing material from a printing plate 5 and
  • FIGS. 3d to 3f show the process of how the tampon delivers the printing material to the substrate 7.
  • FIG. 4 schematically shows the principle of the combination of microscope 9 and a special design of an XYZ printing machine for performing precisely fitting printing.
  • a pressure plate 5 and the substrate are shown on the turntable 7. Both the pressure plate and the substrate have alignment marks which are symbolized by crosses.
  • Figure 4a shows the initial situation in which the printing plate and substrate are next to each other. There is an unwanted angular misalignment between the two, which occurs when the printing plate is installed or the substrate is fixed.
  • the substrate on the turntable should now be rotated so that the alignment marks are parallel to each other so that they can be made to coincide with the XY shift. This means that the tampon can also be fitted precisely by this displacement.
  • the printing represents a parallel shift and only becomes a perfect fit if, on the one hand, there is no angular offset, that is to say the printing plate 5 and substrate 7 are parallel, and on the other hand the amount of the parallel shift, that is to say the transfer path, is known and adhered to when printing.
  • the substrate 7 is rotatably mounted.
  • the microscope 9 can be moved freely in the x, y direction over the base plate 1 in the adjustment mode, that is to say without a tampon 8. With the crosshairs of the microscope 9 and the camera 10, the exact coordinates of the alignment marks are recorded and then the substrate, manually or automatically, is rotated in parallel and the transfer distance is calculated by computer and given to the pad control.
  • FIG. 5 shows an example of the adjustment process, that is to say of the parallelization of printing plate and substrate on the one hand and determination of the transfer path on the other.
  • FIG. 5c shows how the second alignment mark of the substrate is moved to the desired position by manually rotating the substrate. If necessary, another cycle can be connected, which in turn begins to move to the first alignment mark by hand control in order to read in its new coordinates x 3 ⁇ , y 3 ⁇ , which have been changed by turning. The system supports this process by resetting itself when prompted
  • the machine type XYZ pad printing machine used is according to the invention by the use of a microscope in front of the camouflage pon, significantly improved in line with the tampon axis. This enables a perfect fit to be printed on top of each other in one step, without trying it out and with a fit that has never been achieved before. This is achieved by using a microscope on the pad printing machine and by combining it with high-precision, software-supported linear adjusters in one device. Depending on the embodiment, the adjustment process can be carried out manually, semi-automatically or fully automatically and computer-controlled. The stable arrangement of the linear adjusters enables the highest precision of the device.
  • optical axis of the microscope shifted parallel to the axis of symmetry of the tampon, i.e.
  • the tampon does not have to be removed in the adjustment mode of the machine.
  • the microscope can e.g. be mounted on the side of the tampon holder.
  • the tampon is rotated instead of the substrate or the printing plate.
  • the angle of rotation can be determined by comparing the position of the substrate and the printing plate.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum passgenauen Übereinanderdrucken zweier Schichten, insbesondere zum Übereinanderdrucken zweier Schichten zur Herstellung eines organischen elektronischen Bauteils. Dazu wird eine spezielle Ausführung einer XYZ-Druckmaschine mit einem Mikroskop kombiniert.

Description

Beschreibung
Vorrichtung und Verfahren zum passgenauen Übereinanderdrucken
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum passgenauen Übereinanderdrucken zweier Schichten, insbesondere zum Übereinanderdrucken zweier Schichten zur Herstellung eines organischen elektronischen Bauteils.
Bei der Stempeldruckmaschine wird mit Hilfe eines Stempels durch Querverschieben des Stempels auf die Höhe eines Substrats gebracht und dort wieder abgegeben. Dazu wird der Stempel, bevorzugt der Tampon, zunächst in Z-Richtung (das heißt von oben nach unten verschoben) , um auf die Druckplatte aufzutreffen, danach umgekehrt in Z-Richtung wieder gehoben, dann in x, y-Richtung verschoben und wieder in Z-Richtung abgelassen und zurückgefahren. Beim Aufdrucken einer zweiten Schicht, die passgenau über der ersten Schicht liegen sollte, wird bislang durch Ausprobieren der Tampon solange auf eine transparente Folie abgedrückt, bis durch Nachjustieren nach Augenmaß, der zweite Druck passgenau über dem ersten Druck liegt. Dann ist das System einjustiert und der Druck auf die Probe wird durch Weglassen der Folie freigegeben. Dieser Justiervorgang wird an der ersten Probe durchgeführt, alle wei- teren - gleichartigen - Proben werden dann nur noch auf Anschlag in den Probehalter eingesetzt und unmittelbar bedruckt. Diese - im graphischen Druck übliche - Vorgehensweise ist zum Drucken von Polymer-Mikroelektronik unzureichend, da die visuelle Beurteilung des Übereinandergedruckten zum Teil nicht möglich ist und wenn, dann zu ungenau.
Für die organische Mikroelektronik wird ein präzises Übereinanderdrucken in einem Schritt ohne Ausprobieren gefordert.
Aufgabe der Erfindung ist daher, eine Vorrichtung und ein
Verfahren zur Verfügung zu stellen, mit dem besser als visuell möglich die Justierung vorgenommen werden kann und auto- atisiert, das heißt ohne Ausprobieren über eine transparente Folie.
Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum passgenauen Übereinanderdrucken mit einer Stempeldruckmaschine mit einem in der Stempelhalterung integrierten Mikroskop. Außerdem ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zum passgenauen Übereinanderdrucken, wobei nach Einlegen der Probe in eine Vorrichtung zum Tampondrucken in einem Justiermodus die Position des Substrates und/oder der Druckplatte halbautomatisch mit Hilfe des Mikroskops, vorgegebener Justiermarken und einer speziellen Steuerungselektronik so eingestellt wird, dass Druckplatte und Substrat parallelisiert sind. Schließlich ist Gegenstand der Erfindung die Verwendung der Vorrichtung zur Herstellung von organischen Elektronikbauteilen.
Ausführungsformen der Erfindung gehen aus den Ünteransprüchen hervor.
Die Voreinstellung der Stempelhalterung geschieht durch den Vergleich von Justiermarken und/oder markanten Musterstellen auf Druckplatte einerseits und zu bedruckendem Substrat andererseits.
An Stelle des Stempels kann auch ein Tampon oder ein beliebiger anderer Druckstempel, wie ein Microcontact-Stempel, eine Flexodruckplatte, ein Prägestempel, eine Offsetdruckplatte und/oder eine Tiefdruckplatte von einer Druckplatte eingesetzt werden.
Die Justierung folgt nach einer Ausführungsform einem Ablauf- plan, der weiter unten durch Figur 5 und der dazugehörigen Beschreibung näher erläutert wird.
Die Vorrichtung geht nach einer Ausführungsform von einer bekannten XYZ-Tampondruckmaschine aus, wobei die Halterung des Tampons durch Einbau eines Mikroskops, wahlweise einer Kamera und durch die Lösbarkeit des Tampons verändert und im Sinne der Erfindung vervollständigt wird. Zudem wird die Halterung zusätzlich gefestigt, indem eine zweite Schiene (im folgenden als Linearversteller bezeichnet) auf der Grundplatte instal- liert wird, auf der der zweite Linearversteller und damit die Halterung des Tampons, die an dem zweiten Linearversteller befestigt ist, beweglich gehalten wird.
Im folgenden werden einige Ausführungsformen der Erfindung durch Figuren näher beschrieben.
Figur 1 zeigt eine Ausführungsform einer Vorrichtung nach der Erfindung, wobei auf einer Grundplatte 1 zwei parallele Y- Linearversteller 3 und ein X-Linearversteller 2 zu erkennen sind, durch die die Halterung des Stempels oder Tampons 8 in x, y-Richtung stufenlos verstellbar ist. Über den Z-Linear- versteller 4 kann der Tampon 8 zusätzlich in Z-Richtung bewegt werden. Damit eine Positionierung immer gut gefestigt ist und nicht wackelt, verfügt jeder der Linearversteller über zwei parallele Nuten 11, in denen der darin geführte Linearversteller hin- und her bewegt werden kann. Der Tampon 8 hängt an einer Halterung, in der ein Mikroskop 9 und eine Kamera 10 integriert sind. Auf der Grundplatte 1 befinden sich außer den beiden Y-Linearverstellern noch die sogenannten Klischees oder die Druckplatten 5 und pro Druckplatte 5 jeweils ein Rakel 6. Das Substrat 7, soll bedruckt werden und ist drehbar auf einem „Drehversteller" oder Drehtisch montiert.
Figur 2 zeigt die gleiche Vorrichtung im Justiermodus, das heißt mit abgenommenem Tampon. Dabei ist für die Kamera 10 freie Sicht durch das Mikroskop 9 auf die Druckplatte (Figur 2a) oder das Substrat (Figur 2b) möglich.
Figur 3 zeigt die Vorrichtung im Druckmodus, wobei der Tampon wieder montiert ist. Figuren 3a bis 3c zeigen den Vorgang, wie der Tampon 8 Druckstoff von einer Druckplatte 5 aufnimmt und Figuren 3d bis 3f zeigen den Vorgang, wie der Tampon den Druckstoff an das Substrat 7 abgibt.
Figur 4 zeigt schematisch das Prinzip der Kombination von Mikroskop 9 und speziellen Ausführung einer XYZ-Druckmaschine zur Durchführung passgenauen Drückens. Abgebildet ist eine Druckplatte 5 und das Substrat auf dem Drehtisch 7. Sowohl Druckplatte als auch Substrat verfügen über Justiermarken, die durch Kreuze symbolisiert sind. Abbildung 4a zeigt die Ausgangssituation, in der Druckplatte und Substrat sich nebeneinander befinden. Zwischen beiden gibt es einen ungewollten Winkelversatz, der beim Einbau der Druckplatte bzw. Fixieren des Substrats entsteht. Das Substrat auf dem Drehtisch soll nun so verdreht werden, dass die Justiermarken zueinan- der parallelisiert sind, so dass sie XY-Verschiebung zur Deckung gebracht werden können. Damit kann der Tampon auch durch diese Verschiebung passgenau aufgesetzt werden.
Aus Figur 4b wird ersichtlich, dass das Drucken eine Paral- lelverschiebung darstellt und nur dann passgenau wird, wenn zum einen kein Winkelversatz vorhanden ist, also Druckplatte 5 und Substrat 7 parallel sind und zum zweiten der Betrag der Parallelverschiebung, also die Transferstrecke, bekannt ist und beim Drucken eingehalten wird. Zum Ausgleich des Winkel- Versatzes ist das Substrat 7 drehbar gelagert. Das Mikroskop 9 ist im Justiermodus, also ohne Tampon 8, frei in x, y- Richtung über die Grundplatte 1 beweglich. Mit dem Fadenkreuz des Mikroskops 9 und der Kamera 10 werden die genauen Koordinaten der Justiermarken erfasst und dann wird das Substrat, manuell oder automatisch, parallel gedreht und die Transferstrecke per Computer berechnet und der Tamponsteuerung vorgegeben.
Figur 4c zeigt das Ergebnis passgenauen Drückens. Figur 5 zeigt ein Beispiel für den Justiervorgang, also für die Parallelisierung von Druckplatte und Substrat einerseits und Bestimmung der Transferstrecke andererseits.
Figur 5 a zeigt wie über Handsteuerung mit dem Mikroskop- Fadenkreuz nacheinander die beiden Justiermarken auf der Druckplatte angefahren werden, um deren Koordinaten (x1#. yx) und (x2, y2) einzulesen. Daraus berechnet das System den Abstand der Justiermarken Δx = x-xι und Δy = y2-yι (s. Doppel- pfeil) .
Figur 5b zeigt, wie die Koordinaten (x3,y3) der ersten Justiermarke des Substrats eingelesen werden. Soll das Substrat parallel zur Druckplatte sein, müssen gleiche Abstände der Justiermarken auf Druckplatte und Substrat vorliegen (s. Doppelpfeil) . Daraus berechnet das System die Soll-Koordinate der zweiten Justiermarke (x ,y4)= (x3+Δx, y3+Δy) und fährt auf Veranlassung das Fadenkreuz dorthin. Figur 5c zeigt wie durch manuelles Drehen des Substrats die zweite Justiermarke des Substrats auf die Soll-Position gefahren wird. Bei Bedarf kann ein weiterer Zyklus angeschlossen werden, der wiederum damit beginnt, per Handsteuerung die erste Justiermarke anzufahren um deren - durch das Drehen veränderte neuen Koordinaten x3 Λ,y3 λ einzulesen. Das System unterstützt diesen Vorgang dadurch, dass es sich auf Veranlassung zurücksetzt nach
(X3,y3) = (x4-Δx, y-Δy) und somit die neue Position (x3 y3 Λ) ins Blickfeld bringt. Nun berechnet das System die Soll- Koordinate der zweiten Justiermarke (x λ,y4 ) = (x3 +Δx, y3 λ+Δy) und fährt auf Veranlassung das Fadenkreuz dorthin. Anschließend wird wieder das Substrat manuell gedreht usw. (Figuren 5e und 5f) . Dadurch nähert man sich iterativ der Parallelität, schon nach wenigen Zyklen ist sie in hohem Grade erreicht. Mit der Feststellung der letzten Koordinaten ist dem System auch die Transferstrecke bekannt.
Der verwendete Maschinentyp XYZ-Tampondruckmaschine wird nach der Erfindung durch den Einsatz eines Mikroskops vor dem Tarn- pon, in Linie der Tamponachse entscheidend verbessert. So wird ein passgenaues Übereinanderdrucken in einem Schritt ermöglicht, ohne vorheriges Ausprobieren und mit einer bisher nie erreichten Passgenauigkeit. Dies wird erreicht durch den Einsatz eines Mikroskops an der Tampondruckmaschine und durch die Kombination mit hochpräzisen, Software unterstützten Linearverstellern in einer Vorrichtung. Der Justiervorgang kann, je nach Ausführungsform manuell, halbautomatisch oder vollautomatisch und computergesteuert erfolgen. Die stabile Anordnung der Linearversteller ermöglicht eine höchste Präzision der Vorrichtung.
Weitere vorteilhafte Ausführungsform: Optische Achse des Mikroskops parallel verschoben zur Symmetrieachse des Tampons, d.h. Tampon muss nicht abgenommen werden im Justiermodus der Maschine. Das Mikroskop kann dazu z.B. seitlich am Tamponhalter montiert sein.
Weitere vorteilhafte Ausführungsform: Anstelle des Substrats oder der Druckplatte wird der Tampon gedreht. Der Drehwinkel kann bestimmt werden durch Vergleich der Lage des Substrats und der Druckplatte.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum passgenauen Übereinanderdrucken mit einer Stempeldruckmaschine mit einem in der Stempelhalterung integrierten Mikroskop
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Stempel ein Tampon oder ein beliebiger anderer Druckstempel, wie ein Micro- contact-Stempel, Flexodruckplatte, Prägestempel, Offsetdruckplatte, Tiefdruckplatte ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei zur Positionierung der Stempelhalterung eine oder mehrere Po- sitioniervorrichtungen und/oder Linearversteller enthalten sind.
4.Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei in die Halterung des Stempels/ und oberhalb des Mikroskops eine Kamera integriert ist.
5.Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei zumindest eine Achse der XYZ-Druckmaschine zur Stabilität der Positionierung über zwei Linearversteller verfügt.
6.Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei der eine Steuerungselektronik integriert ist, die die Koordinaten der Justiermarken auf Substrat und/oder Druckplatte automatisch oder halbautomatisch erfasst.
7.Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem zumindest eine Druckplatte und/oder das Substrat und/oder der Stempel/der Tampon drehbar gelagert sind.
8. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die optische Achse des Mikroskops und die Symmetrieachse des Stempels identisch sind, so dass der Stempel zur Justierung abgenommen werden muss.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die optische Achse des Mikroskops und die Symmetrieachse des
Stempels sind nicht identisch, z.B. parallel verschoben sind, so dass der Stempel zur Justierung nicht abgenommen werden muss .
11. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zum Aufbau von organischen Elektronikbauteilen.
12. Verfahren zum passgenauen Übereinanderdrucken, wobei nach Einlegen der Probe in eine Vorrichtung zum Stempeldrucken in einem Justiermodus die Position des Substrates und/oder der Druckplatte halbautomatisch mit Hilfe des Mikroskops, vorgegebener Justiermarken und einer speziellen Steuerungselektronik so eingestellt wird, dass Druckplatte und Substrat paral- lelisiert sind.
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