WO2004028756A2 - Piezoelectric micromanipulator which is especially intended for microbotics and method of implementing same - Google Patents

Piezoelectric micromanipulator which is especially intended for microbotics and method of implementing same Download PDF

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WO2004028756A2
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Nicolas Chaillet
Joël AGNUS
Pierre De Lit
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Ensmm Ecole Nationale Supérieure De Mécanique Et Des Microtechniques
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    • H01L41/094Cantilevers, i.e. having one fixed end
    • H01L41/096Cantilevers, i.e. having one fixed end adapted for in-plane bending displacement

Abstract

The invention relates to a micromanipulator comprising at least one finger (11) which is made from a piezoelectric material and which is equipped with electrodes (2). Moreover, one free end (110) of the aforementioned finger can be deflected along two mutually orthogonal axes (Y, Z) by applying a suitable configuration of electric potentials to the electrodes. According to the invention, the finger (11) is formed through the alternate stacking of an even number of piezoelectric plates (30) and electrodes (211, 212) which are reciprocally connected both mechanically and electrically, said stack being formed on either side of a central electric potential surface (20) which serves as a reference electrode. The structure of the inventive micromanipulator is such that it can be made using techniques which are immediately accessible to persons skilled in the art.

Description

MICROMANIPϋLATEUR PIEZOELECTRIQUE, NOTAMMENT POUR MICROROBOTIQUE, ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE. PIEZOELECTRIC MICROMANIPϋLATOR, ESPECIALLY FOR MICROROBOTICS, AND METHOD FOR IMPLEMENTING SAME.
L'invention concerne, de façon générale, le domaine des instruments miniaturisés et des composants de microrobotique .The invention relates generally to the field of miniaturized instruments and microrobotic components.
Plus précisément, l'invention concerne, selon un premier de ses aspects, un micromanipulateur utilisable en tant que composant de microrobotique, comprenant au moins un premier doigt allongé réalisé au moins partiellement en un matériau piézoélectrique, et des électrodes intégrées à ce premier doigt, ce premier doigt présentant une extrémité liée et une extrémité libre distantes l'une de l'autre suivant un premier axe, et s ' étendant latéralement suivant des deuxième et troisième axes mutuellement orthogonaux et perpendiculaires au premier, et les électrodes comprenant au moins deux paires d'électrodes de polarisation et une surface de potentiel électrique de référence, séparée de chaque électrode de polarisation par une couche de matériau piézoélectrique appartenant au premier doigt, les paires d'électrodes de polarisation étant symétriques l'une de l'autre par rapport à un premier plan médian du premier doigt, parallèle aux premier et second axes, chaque paire d'électrodes étant formée d'électrodes symétriques l'une de l'autre par rapport à un second plan médian du premier doigt, parallèle aux premier et troisième axes, la surface de potentiel électrique de référence s ' étendant dans le premier plan médian du premier doigt, ce premier doigt comprenant un empilement formé par superposition alternée, suivant le troisième axe et de part et d'autre de la surface de potentiel de référence, de lames piézoélectriques et desdites électrodes en liaison mécanique et électrique mutuelle, les lames piézoélectriques étant empilées suivant leur épaisseur et présentant des polarisations respectives au moins sensiblement alignées sur le troisième axe, et chaque lame piézoélectrique appartenant à une paire (3) de lames adjacentes de l'empilement, formée de première et seconde lames respectivement dotées de première et seconde faces mutuellement distantes sur lesquelles sont respectivement déposées des première et seconde paires d'électrodes de polarisation.More precisely, the invention relates, according to a first of its aspects, to a micromanipulator usable as a microrobotic component, comprising at least one elongated first finger made at least partially of a piezoelectric material, and electrodes integrated into this first finger, this first finger having a linked end and a free end distant from each other along a first axis, and extending laterally along second and third axes mutually orthogonal and perpendicular to the first, and the electrodes comprising at least two pairs of polarization electrodes and a reference electrical potential surface, separated from each polarization electrode by a layer of piezoelectric material belonging to the first finger, the pairs of polarization electrodes being symmetrical with respect to each other a first median plane of the first finger, parallel to the first and second axes es, each pair of electrodes being formed of electrodes symmetrical with each other with respect to a second median plane of the first finger, parallel to the first and third axes, the surface of electric reference potential extending in the first median plane of the first finger, this first finger comprising a stack formed by alternating superposition, along the third axis and on either side of the reference potential surface, of piezoelectric plates and of said electrodes in mutual mechanical and electrical connection, the piezoelectric plates being stacked according to their thickness and having respective polarizations at least substantially aligned on the third axis, and each piezoelectric plate belonging to a pair (3) of adjacent plates of the stack, formed of first and second plates respectively provided with first and second mutually distant faces on which are deposited first and second pairs of polarization electrodes, respectively.
Un micromanipulateur de ce type est par exemple décrit dans le brevet US 5 170 089, et notamment illustré par les figures 2 et 3 de ce breve .A micromanipulator of this type is for example described in US Pat. No. 5,170,089, and in particular illustrated by FIGS. 2 and 3 of this brief.
Bien que le micromanipulateur connu par ce brevet présente un comportement fonctionnel tout à fait satisfaisant, sa structure est strictement adaptée à l'application de ce micromanipulateur à la lecture de disques optiques .Although the micromanipulator known by this patent exhibits quite satisfactory functional behavior, its structure is strictly adapted to the application of this micromanipulator for reading optical discs.
L'invention, qui se situe dans ce contexte, a pour but de proposer un micromanipulateur présentant un champ d'application plus étendu, et ouvre notamment la perspective de pouvoir être commandé par des tensions de polarisation relativement basses et / ou plus efficaces.The invention, which is situated in this context, aims to propose a micromanipulator having a wider field of application, and in particular opens the prospect of being able to be controlled by relatively low and / or more efficient bias voltages.
A cette fin, le micromanipulateur de l'invention, par ailleurs conforme à la définition générique qu'en donne le préambule ci-dessus, est essentiellement caractérisé en ce qu'il remplit en outre au moins la condition que les lames piézoélectriques sont en nombre pair supérieur à deux et / ou la condition que la surface de potentiel électrique de référence comprend deux électrodes de référence symétriques l'une de l'autre par rapport au second plan médian.To this end, the micromanipulator of the invention, moreover conforms to the generic definition given by the preamble above, is essentially characterized in that it also fulfills at least the condition that the piezoelectric plates are in an even number greater than two and / or the condition that the reference electrical potential surface comprises two reference electrodes symmetrical with each other with respect to the second median plane.
En augmentant le nombre de lames piézoélectriques, et notamment en prévoyant que les lames piézoélectriques soient en nombre supérieur à deux, ce micromanipulateur peut en effet être commandé par des tensions de polarisation plus faibles.By increasing the number of piezoelectric blades, and in particular by providing that the piezoelectric blades are more than two in number, this micromanipulator can indeed be controlled by lower bias voltages.
Par ailleurs, en prévoyant que la surface de potentiel électrique de référence comprenne deux électrodes de référence symétriques l'une de l'autre par rapport au second plan médian, ce micromanipulateur peut être commandé par des tensions de polarisation plus efficaces, c'est-à-dire susceptibles de provoquer des déplacements de plus grande amplitude.Furthermore, by providing that the reference electrical potential surface comprises two reference electrodes which are symmetrical to one another with respect to the second median plane, this micromanipulator can be controlled by more efficient bias voltages, that is to say that is to say capable of causing displacements of greater amplitude.
Pour pouvoir aisément augmenter le nombre de lames piézoélectriques, il peut être utile de prévoir que les lames d'au moins une paire de lames adjacentes de l'empilement présentent des polarisations alignées sur le troisième axe et de sens inverses.In order to be able to easily increase the number of piezoelectric plates, it may be useful to provide that the plates of at least one pair of adjacent plates of the stack have polarizations aligned on the third axis and in opposite directions.
Le micromanipulateur de 1 ' invention est particulièrement avantageux dans le cas où il comprend au moins un second doigt de même constitution que le premier doigt et coopérant au moins avec ce premier doigt pour former une pince.The micromanipulator of the invention is particularly advantageous in the case where it comprises at least a second finger of the same constitution as the first finger and cooperating at least with this first finger to form a clamp.
Dans ce cas, il est préférable de faire en sorte que le premier plan médian du second doigt soit confondu avec le premier plan médian du premier doigt, que les premier et second doigts soient réalisés dans un même substrat conformé en fourche dont une base s ' étend à partir des extrémités liées de ces premier et second doigts, et que chaque lame constitutive du premier doigt soit également constitutive de la base du substrat et du second doigt .In this case, it is preferable to ensure that the first median plane of the second finger is confused with the first median plane of the first finger, that the first and second fingers are produced in the same substrate shaped as a fork, a base of which extends from the linked ends of these first and second fingers, and that each blade constituting the first finger is also constituting the base of the substrate and the second finger.
Bien que les extrémités libres respectives des premier et second doigts puissent être symétriques l'une de l'autre, elles peuvent aussi avoir des formes différentes.Although the respective free ends of the first and second fingers can be symmetrical to each other, they can also have different shapes.
La finesse de manipulation ou de préhension offerte par le micromanipulateur peut être optimisée en prévoyant que ce dernier comprenne en outre au moins un premier organe de manipulation rapporté sur l'extrémité libre du premier doigt .The fineness of handling or gripping offered by the micromanipulator can be optimized by providing that the latter further comprises at least one first handling member attached to the free end of the first finger.
Par ailleurs, ce premier organe de manipulation peut être monté de façon amovible, par exemple dans une mâchoire formée à l'extrémité libre du premier doigt, un même micromanipulateur pouvant ainsi être équipé de divers organes de manipulation spécifiquement adaptés à différentes applications.Furthermore, this first manipulation member can be removably mounted, for example in a jaw formed at the free end of the first finger, the same micromanipulator can thus be equipped with various manipulation members specifically adapted to different applications.
De façon similaire, le micromanipulateur de l'invention peut comprendre un second organe de manipulation rapporté sur l'extrémité libre du second doigt et coopérant avec le premier organe de manipulation pour former ladite pince.Similarly, the micromanipulator of the invention may include a second manipulation member attached to the free end of the second finger and cooperating with the first manipulation member to form said clamp.
L'invention concerne également un procédé de mise en œuvre du micromanipulateur défini ci-dessus, ce procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend une opération consistant à raccorder sélectivement les électrodes de polarisation et la surface de potentiel de référence à une première configuration ou à une seconde configuration combinables de potentiels électriques induisant respectivement dans les lames des première et seconde configurations combinables de champs électriques auxquelles correspondent respectivement des première et seconde configurations combinables de variations dimensionnelles des lames, les variations dimensionnelles de la première configuration de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au second plan médian, et les variations dimensionnelles de la seconde configuration de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au premier plan médian.The invention also relates to a method of implementing the micromanipulator defined above, this method being characterized in that it comprises an operation consisting in selectively connecting the polarization electrodes and the surface of reference potential to a first configuration or to a second configuration which can be combined with electric potentials inducing respectively in the blades of the first and second combinations which can be combined electric fields to which respectively correspond first and second combinable configurations of dimensional variations of the blades, the dimensional variations of the first configuration of dimensional variations being antisymmetrical with respect to the second median plane, and the dimensional variations of the second configuration of dimensional variations being antisymmetrical by relation to the foreground median.
Dans le cas d'un micromanipulateur dont la surface de potentiel électrique de référence comprend deux électrodes de référence, ce procédé peut aussi avantageusement comprendre une opération consistant à porter sélectivement les électrodes de référence à des potentiels électriques de référence respectifs différents .In the case of a micromanipulator whose reference electrical potential surface comprises two reference electrodes, this method can also advantageously comprise an operation consisting in selectively bringing the reference electrodes to different respective reference electrical potentials.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels :Other characteristics and advantages of the invention will emerge clearly from the description given below, by way of indication and in no way limitative, with reference to the appended drawings, in which:
la figure 1 est une vue en perspective d'un micromanipulateur à deux doigts conforme à 1 ' invention ; - les figures 2a à 2c sont des vues schématiques en coupe d'une structure élémentaire utilisable dans le premier doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, cette structure étant représentée en traits pleins dans sa position de repos et en pointillés dans une position défléchie par application sur ses électrodes de diverses configurations de potentiels électriques et étant observée en coupe depuis l'extrémité liée du premier doigt et en direction de son extrémité libre ;Figure 1 is a perspective view of a two-finger micromanipulator according to one invention; - Figures 2a to 2c are schematic sectional views of an elementary structure usable in the first finger of a micromanipulator according to the invention, this structure being shown in solid lines in its rest position and dotted in a position deflected by application on its electrodes of various configurations of electrical potentials and being observed in section from the tied end of the first finger and in the direction of its free end;
- la figure 3 est une vue schématique en coupe d'une structure élémentaire utilisable dans le deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, cette structure étant représentée dans une première variante de réalisation possible, et étant observée en coupe depuis l'extrémité libre du deuxième doigt et en direction de son extrémité liée ;- Figure 3 is a schematic sectional view of an elementary structure usable in the second finger of a micromanipulator according to the invention, this structure being shown in a first possible embodiment, and being observed in section from the free end of the second finger and in the direction of its linked end;
- la figure 4 est une vue schématique en coupe d'une structure élémentaire utilisable dans le deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, cette structure étant représentée dans une deuxième variante de réalisation possible, et étant observée en coupe depuis l'extrémité libre du deuxième doigt et en direction de son extrémité liée ;- Figure 4 is a schematic sectional view of an elementary structure usable in the second finger of a micromanipulator according to the invention, this structure being shown in a second possible embodiment, and being observed in section from the free end of the second finger and in the direction of its linked end;
- la figure 5 est une vue schématique en coupe d'une structure élémentaire utilisable dans le deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, cette structure étant représentée dans une troisième variante de réalisation possible, et étant observée en coupe depuis l'extrémité libre du deuxième doigt et en direction de son extrémité liée ;- Figure 5 is a schematic sectional view of an elementary structure usable in the second finger of a micromanipulator according to the invention, this structure being shown in a third possible embodiment, and being observed in section from the free end of the second finger and towards its linked end;
- la figure 6 est une vue schématique en perspective d'un deuxième doigt tel qu'illustré aux figures 3 à 5 ;- Figure 6 is a schematic perspective view of a second finger as illustrated in Figures 3 to 5;
- la figure 7 est une vue schématique en coupe du deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce deuxième doigt étant représenté dans une quatrième variante de réalisation possible, et étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en direction de son extrémité liée ;- Figure 7 is a schematic sectional view of the second finger of a micromanipulator according to the invention, this second finger being shown in a fourth possible embodiment, and being observed in section from its free end and in the direction of its tied end;
- la figure 8 est une vue schématique en coupe du deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à- Figure 8 is a schematic sectional view of the second finger of a micromanipulator according to
1 ' invention, ce deuxième doigt étant représenté dans une cinquième variante de réalisation possible, et étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en direction de son extrémité liée ;1 invention, this second finger being shown in a fifth possible embodiment, and being observed in section from its free end and towards its linked end;
- la figure 9 est une vue schématique en perspective d'un deuxième doigt tel qu'illustré aux figures 7 etFIG. 9 is a schematic perspective view of a second finger as illustrated in FIGS. 7 and
- les figures 10a à 10c sont des vues schématiques partielles en perspective du premier doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention et d'un organe de manipulation, ces vues représentant différentes phases successives permettant d'équiper ce premier doigt de cet organe de manipulation ; et- Figures 10a to 10c are partial schematic perspective views of the first finger of a micromanipulator according to the invention and of a handling member, these views representing different successive phases enabling this first finger to be fitted with this member handling ; and
- les figures lia à lie sont des vues schématiques partielles en perspective d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ces vues représentant différentes variantes de réalisation des extrémités libres des doigts.- Figures 11a to 11e are partial schematic perspective views of a micromanipulator according to the invention, these views representing different embodiments of the free ends of the fingers.
Comme indiqué précédemment, l'invention concerne un micromanipulateur utilisable en tant que composant de microrobotique, ce micromanipulateur étant doté d'une structure qui lui permet d'être réalisé par application immédiate de techniques bien connues de l'homme de métier.As indicated above, the invention relates to a micromanipulator which can be used as a microrobotic component, this micromanipulator being provided with a structure which enables it to be produced by immediate application of techniques well known to those skilled in the art.
Bien que ce micromanipulateur puisse se réduire à un simple doigt, il sera décrit ci-après dans une version plus complète telle qu'illustrée à la figure 1.Although this micromanipulator can be reduced to a single finger, it will be described below in a more complete version as illustrated in Figure 1.
Un tel micromanipulateur est formé à partir substrat piézoélectrique 1 conformé en fourche et portant des électrodes 2 , ce micromanipulateur comprenant une base 10, et deux doigts 11 et 12 sensiblement parallèles l'un à l'autre à la manière des bras d'une pince.Such a micromanipulator is formed from piezoelectric substrate 1 shaped like a fork and carrying electrodes 2, this micromanipulator comprising a base 10, and two fingers 11 and 12 substantially parallel to each other in the manner of the arms of a clamp .
Chaque doigt 11 et 12 présente une forme allongée et s'étend, suivant un premier axe X, entre une extrémité liée, telle que 111 et 121, par laquelle ce doigt est relié à la base 10, et une extrémité libre, telle que 110 et 120.Each finger 11 and 12 has an elongated shape and extends, along a first axis X, between a linked end, such as 111 and 121, by which this finger is connected to the base 10, and a free end, such as 110 and 120.
Chaque doigt s'étend par ailleurs en largeur, c'est-à- dire dans le plan contenant les deux doigts 11 et 12, suivant un second axe Y, et en hauteur suivant un troisième axe Z, les axes X, Y, et Z étant mutuellement orthogonaux.Each finger also extends in width, that is to say in the plane containing the two fingers 11 and 12, along a second axis Y, and in height along a third axis Z, the axes X, Y, and Z being mutually orthogonal.
Les doigts 11 et 12 sont, dans l'invention, formés à partir de lames piézoélectriques 30 dont chacune participe à la constitution des doigts 11 et 12, et de la base 10, les électrodes 2 prenant naissance dans la base 10 et courant le long des doigts 11 et 12.The fingers 11 and 12 are, in the invention, formed from piezoelectric blades 30 each of which participates in the constitution of the fingers 11 and 12, and of the base 10, the electrodes 2 originating in the base 10 and running along the fingers 11 and 12.
Les électrodes 2 comprennent au moins une surface 20 de potentiel électrique de référence et des électrodes de polarisation telles que 211, 212, 221, et 222 organisées en paires telles que 21 et 22.The electrodes 2 comprise at least one surface 20 of electrical reference potential and polarization electrodes such as 211, 212, 221, and 222 organized in pairs such as 21 and 22.
La surface 20 de potentiel électrique de référence est séparée de chaque électrode de polarisation telle que 211, 212, 221, ou 222 par au moins une couche de substrat piézoélectrique 1.The surface 20 of electrical reference potential is separated from each bias electrode such as 211, 212, 221, or 222 by at least one layer of piezoelectric substrate 1.
Pour chaque doigt, les paires 21 et 22 que forment les électrodes de polarisation sont symétriques l'une de 1 ' autre par rapport à un premier plan médian Ml de ce doigt, ce plan Ml étant parallèle aux premier et second axes X et Y.For each finger, the pairs 21 and 22 formed by the polarization electrodes are symmetrical to one another with respect to a first median plane Ml of this finger, this plane Ml being parallel to the first and second axes X and Y.
Par ailleurs, chaque paire d'électrodes, telle que la paire 21 ou la paire 22, est formée d'électrodes, telles que 211 et 212 ou 221 et 222, qui sont symétriques 1 ' une de 1 ' autre par rapport à un second plan médian M2 de ce doigt, ce second plan médian M2 étant parallèle aux premier et troisième axes X et Z.Furthermore, each pair of electrodes, such as pair 21 or pair 22, is formed of electrodes, such as 211 and 212 or 221 and 222, which are symmetrical to one another with respect to a second median plane M2 of this finger, this second median plane M2 being parallel to the first and third axes X and Z.
Dans certaines variantes de réalisation, telles que celle qu'illustre la figure 8, les électrodes de polarisation d'une même paire peuvent éventuellement être réunies en une seule, comme c'est le cas d'une paire 21 dont les électrodes 211 et 212 sont réunies en une électrode 210, et d'une paire 22 dont les électrodes 221 et 222 sont réunies en une électrode 220.In certain variant embodiments, such as that illustrated in FIG. 8, the polarization electrodes of the same pair may possibly be combined into one, as is the case of a pair 21 whose electrodes 211 and 212 are combined in an electrode 210, and a pair 22 whose electrodes 221 and 222 are combined into an electrode 220.
Dans la structure proposée par l'invention, la surface 20 de potentiel électrique de référence s'étend dans le premier plan médian Ml, qui est commun aux doigts 11 etIn the structure proposed by the invention, the surface 20 of reference electrical potential extends in the first median plane Ml, which is common to the fingers 11 and
12.12.
Chacun de ces doigts 11 et 12 comprend un empilement formé par superposition alternée, suivant le troisième axe Z et de part et d'autre de la surface 20 de potentiel de référence, des lames piézoélectriques, telles que 30, 30a, 30b, et des électrodes 2, en liaison mécanique et électrique mutuelle.Each of these fingers 11 and 12 comprises a stack formed by alternating superposition, along the third axis Z and on either side of the surface 20 of reference potential, piezoelectric blades, such as 30, 30a, 30b, and electrodes 2, in mutual mechanical and electrical connection.
Les lames piézoélectriques 30a, 30b considérées dans un empilement sont plus précisément empilées en nombre pair suivant leur épaisseur, et présentent des polarisations respectives telles que Pa et Pb alignées sur le troisième axe Z.The piezoelectric plates 30a, 30b considered in a stack are more precisely stacked in an even number according to their thickness, and have respective polarizations such as Pa and Pb aligned on the third axis Z.
Par ailleurs, les lames piézoélectriques forment des paires 3 de lames 30a et 30b qui, dans l'empilement, sont mutuellement adjacentes, et dont chacune est dotée sur sa face externe d'au moins une paire d'électrodes de polarisation.Furthermore, the piezoelectric plates form pairs 3 of plates 30a and 30b which, in the stack, are mutually adjacent, and each of which is provided on its external face with at least one pair of polarization electrodes.
Une première paire 21 d'électrodes de polarisation est ainsi déposée sur la face externe 301 de la lame 30a de la paire 3, tandis qu'une seconde paire 22 d'électrodes de polarisation est déposée sur la face externe 302 de la lame 30b de cette même paire 3, les électrodes déposées entre ces lames 30a et 30b pouvant en revanche être éventuellement réunies en une seule électrode de polarisation telle que 210 ou 220 (figure 8) , ou constituer la surface 20 de potentiel de référence.A first pair 21 of polarization electrodes is thus deposited on the external face 301 of the blade 30a of the pair 3, while a second pair 22 of polarization electrodes is deposited on the external face 302 of the blade 30b of this same pair 3, the electrodes deposited between these blades 30a and 30b can on the other hand possibly be combined in a single electrode polarization such as 210 or 220 (FIG. 8), or constitute the surface 20 of reference potential.
Pour faire fonctionner le micromanipulateur, l'ensemble des électrodes, c'est-à-dire les électrodes de polarisation telles que 211, 212, 221, 222, 210 et 220, ainsi que la surface 20 de potentiel de référence sont raccordées à une ou deux configurations de potentiels électriques qui peuvent être combinées 1 'une avec 1 ' autre.To operate the micromanipulator, all of the electrodes, i.e. the polarization electrodes such as 211, 212, 221, 222, 210 and 220, as well as the reference potential surface 20 are connected to a or two configurations of electrical potentials which can be combined with one another.
La première configuration utilisable de potentiels électriques, illustrée à la figure 2a pour une structure à deux lames 30a et 30b dont les polarisations Pa et Pb sont alignées sur l'axe Z et de même sens, est constituée par les potentiels Vy, -Vy, - Vy, Vy, et 0 respectivement appliqués sur les électrodes 211, 212, 221, 222, et sur la surface de référence 20.The first usable configuration of electrical potentials, illustrated in FIG. 2a for a structure with two blades 30a and 30b whose polarizations Pa and Pb are aligned on the axis Z and in the same direction, consists of the potentials Vy, -Vy, - Vy, Vy, and 0 respectively applied to the electrodes 211, 212, 221, 222, and on the reference surface 20.
Cette première configuration de potentiels électriques induit dans les lames 30a et 30b une configuration de champs électriques à laquelle correspond une configuration +δxl, -δxl de variations dimensionnelles de ces lames.This first configuration of electrical potentials induces in the blades 30a and 30b a configuration of electric fields to which corresponds a + δxl, -δxl configuration of dimensional variations of these blades.
Plus précisément, les lames 30a et 30b subissent suivant l'axe X une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à +δxl d'un premier côté du second plan médian M2, et une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à -δxl de 1 ' autre côté de ce plan médian M2. Ces variations dimensionnelles, qui sont ainsi antisymétriques par rapport au second plan médian M2, provoquent une déflexion de l'extrémité libre 110 du doigt 11 d'amplitude δy suivant l'axe Y.More precisely, the blades 30a and 30b undergo along the axis X a variation in length of average amplitude equal to + δxl on a first side of the second median plane M2, and a variation in length of average amplitude equal to -δxl on the other side of this median plane M2. These dimensional variations, which are thus asymmetrical with respect to the second median plane M2, cause a deflection of the free end 110 of the finger 11 of amplitude δy along the axis Y.
La seconde configuration utilisable de potentiels électriques, illustrée à la figure 2b pour la structure à deux lames 30a et 30b, est constituée par les potentiels Vz, Vz, Vz, Vz, et 0 respectivement appliqués sur les électrodes 211, 212, 221, 222, et sur la surface de référence 20.The second usable configuration of electrical potentials, illustrated in FIG. 2b for the structure with two blades 30a and 30b, consists of the potentials Vz, Vz, Vz, Vz, and 0 respectively applied to the electrodes 211, 212, 221, 222 , and on the reference surface 20.
Cette seconde configuration de potentiels électriques induit dans les lames 30a et 30b une configuration de champs électriques à laquelle correspond une configuration +δx2, -δx2 de variations dimensionnelles de ces lames .This second configuration of electrical potentials induces in the blades 30a and 30b a configuration of electric fields to which corresponds a + δx2, -δx2 configuration of dimensional variations of these blades.
Plus précisément, les lames 30a et 30b subissent suivant l'axe X une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à +δx2 d'un premier côté du premier plan médian Ml, et une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à -δx2 de 1 ' autre côté de ce plan médian Ml.More specifically, the blades 30a and 30b undergo along the axis X a variation in length of average amplitude equal to + δx2 on a first side of the first median plane Ml, and a variation in length of average amplitude equal to -δx2 on the other side of this median plane Ml.
Ces variations dimensionnelles, qui sont ainsi antisymétriques par rapport au premier plan médian Ml, provoquent une déflexion de l'extrémité libre 110 du doigt 11 d'amplitude δz suivant l'axe Z.These dimensional variations, which are thus antisymmetrical with respect to the first median plane M1, cause a deflection of the free end 110 of the finger 11 of amplitude δz along the axis Z.
Dans la mesure où les première et seconde configurations de potentiels produisent des déflexions respectives de l'extrémité libre 110 du doigt 11 suivant deux axes mutuellement orthogonaux, ces configurations sont totalement indépendantes l'une de 1 ' autre .Insofar as the first and second configurations of potentials produce respective deflections of the free end 110 of the finger 11 along two mutually orthogonal axes, these configurations are completely independent of one another.
Comme le montre la figure 2c, les première et seconde configurations de potentiels électriques peuvent donc être combinées l'une avec l'autre pour combiner leurs effets, les potentiels Vz + Vy, Vz - Vy, Vz - Vy, Vz + Vy, et 0 étant alors respectivement appliqués sur les électrodes 211, 212, 221, 222, et sur la surface de référence 20.As shown in FIG. 2c, the first and second configurations of electrical potentials can therefore be combined with each other to combine their effects, the potentials Vz + Vy, Vz - Vy, Vz - Vy, Vz + Vy, and 0 then being respectively applied to the electrodes 211, 212, 221, 222, and to the reference surface 20.
Cette combinaison de configurations de potentiels provoque ainsi une déflexion de l'extrémité libre 110 du doigt 11 d'amplitude δy suivant l'axe Y et d'amplitude δz suivant l'axe Z.This combination of potential configurations thus causes a deflection of the free end 110 of the finger 11 of amplitude δy along the axis Y and of amplitude δz along the axis Z.
Le doigt 11 peut donc se rapprocher ou s'éloigner du doigt 12 suivant chacun des axes Y et Z.The finger 11 can therefore approach or move away from the finger 12 along each of the axes Y and Z.
Dans la mesure où il est également possible d'imprimer à l'extrémité libre 120 du second doigt 12 des déflexions suivant les axes Y et Z, et notamment des déflexions simultanées à celles de l'extrémité libre 110 du premier doigt 11, symétriques ou non de celles- ci, les doigts 11 et 12 peuvent non seulement agir à la manière des bras d'une pince, mais ils peuvent même effectuer des mouvements beaucoup plus complexes.Insofar as it is also possible to print at the free end 120 of the second finger 12, deflections along the axes Y and Z, and in particular deflections simultaneous with those of the free end 110 of the first finger 11, symmetrical or not of these, the fingers 11 and 12 can not only act like the arms of pliers, but they can even perform much more complex movements.
La structure conférée au micromanipulateur de l'invention permet de le doter d'un nombre de lames piézoélectriques supérieur à deux, comme le montrent notamment les figures 7 et 8. L ' augmentation du nombre de lames piézoélectriques est particulièrement avantageux dans la mesure où l'augmentation de ce nombre permet, pour une même amplitude de déflexion de l'extrémité libre du doigt considéré, d'abaisser la tension de polarisation.The structure conferred on the micromanipulator of the invention enables it to be provided with a number of piezoelectric plates greater than two, as shown in particular in FIGS. 7 and 8. The increase in the number of piezoelectric plates is particularly advantageous insofar as the increase in this number makes it possible, for the same amplitude of deflection of the free end of the finger considered, to lower the bias voltage.
Ainsi, les extrémités libres de deux doigts de mêmes dimensions, respectivement dotés des structures illustrées aux figures 4 et 8, subissent des déflexions de même amplitude dans le cas où Vyo = 2. Vy / 6, et où Vzo = 2. Vz / 6.Thus, the free ends of two fingers of the same dimensions, respectively provided with the structures illustrated in FIGS. 4 and 8, undergo deflections of the same amplitude in the case where Vyo = 2. Vy / 6, and where Vzo = 2. Vz / 6 .
Plus généralement, les extrémités libres de deux doigts de mêmes dimensions, respectivement dotés de la structure illustrée à la figure 4 et d'une structure à n couche, subissent des déflexions de même amplitude dans le cas où Vyo = 2. Vy / n, et où Vzo = 2. Vz / n.More generally, the free ends of two fingers of the same dimensions, respectively provided with the structure illustrated in FIG. 4 and with an n-layer structure, undergo deflections of the same amplitude in the case where Vyo = 2. Vy / n, and where Vzo = 2. Vz / n.
Ainsi, l'augmentation du nombre n peut conduire à n'utiliser que des basses tensions en tant que tensions de polarisation.Thus, increasing the number n can lead to using only low voltages as bias voltages.
Diverses combinaisons de configurations de potentiels sont illustrées aux figures 3 à 5, 7 et 8, ces configurations étant liées au sens de polarisation des différentes lames et à la structure de la surface 20 de potentiel de référence.Various combinations of potential configurations are illustrated in FIGS. 3 to 5, 7 and 8, these configurations being linked to the direction of polarization of the different plates and to the structure of the reference potential surface 20.
Comme le montre une comparaison des figures 3 et 4, les lames 30a et 30b qui forment ensemble une paire 3 de lames adjacentes de l'empilement, et dont les polarisations Pa et Pb sont de préférence strictement alignées sur le troisième axe Z, peuvent en revanche être de même sens ou de sens inverses . Par ailleurs, une comparaison des figures 4 et 5 ou des figures 7 et 8 montre que la surface 20 de potentiel de référence peut constituer une seule et même électrode de référence, reliée à un potentiel électrique nul, ou qu'elle peut comprendre deux électrodes de référence 201 et 202, symétriques l'une de l'autre par rapport au second plan médian M2, et respectivement portées à des potentiels électriques de référence sélectivement différents tels que Vy et -Vy.As shown in a comparison of FIGS. 3 and 4, the blades 30a and 30b which together form a pair 3 of adjacent blades of the stack, and whose polarizations Pa and Pb are preferably strictly aligned on the third axis Z, can however be of the same or opposite directions. Furthermore, a comparison of FIGS. 4 and 5 or of FIGS. 7 and 8 shows that the surface 20 of reference potential can constitute one and the same reference electrode, connected to a zero electrical potential, or that it can comprise two electrodes 201 and 202, symmetrical to each other with respect to the second median plane M2, and respectively brought to selectively different reference electrical potentials such as Vy and -Vy.
Bien que très similaires en apparence, les structures des figures 4 et 5 n'en sont pas moins très différentes au plan fonctionnel, la stucture de la figure 5 étant deux fois plus efficace que celle de la figure 4 pour les déplacements suivant l'axe Y.Although very similar in appearance, the structures of FIGS. 4 and 5 are nonetheless very different in functional terms, the structure of FIG. 5 being twice as efficient as that of FIG. 4 for displacements along the axis. Y.
Autrement dit, alors qu'elle utilise les mêmes potentiels, -Vy et +Vy, que ceux qu'utilise la structure de la figure 4, la structure de la figure 5 produit suivant l'axe Y un déplacement double de celui que produit la structure de la figure 4.In other words, while it uses the same potentials, -Vy and + Vy, as those used by the structure of FIG. 4, the structure of FIG. 5 produces along the Y axis a displacement twice that produced by the structure of figure 4.
D'autres configurations de potentiels, bien qu'éventuellement moins efficaces, peuvent être trouvées par l'homme de métier sur la base des indications ci-dessus et de ses connaissances générales de la piézoélectricité.Other potential configurations, although possibly less effective, can be found by those skilled in the art on the basis of the above indications and of their general knowledge of piezoelectricity.
Comme le montrent les figures 10a à 10c, le micromanipulateur de l'invention peut être équipé d'un ou plusieurs organes de manipulation, tels que 41, dont chacun est rapporté sur l'extrémité libre 110 ou 120 du doigt 11 ou du doigt 12. Dans le cas où les doigts 11 et 12 sont équipés d'organes respectifs de manipulation 41, ces organes peuvent coopérer pour former une pince.As shown in FIGS. 10a to 10c, the micromanipulator of the invention can be equipped with one or more manipulation members, such as 41, each of which is attached to the free end 110 or 120 of finger 11 or finger 12 . In the case where the fingers 11 and 12 are equipped with respective handling members 41, these members can cooperate to form a clamp.
Chaque organe de manipulation 41 peut être soit collé ou soudé à l'extrémité libre du doigt qu'il équipe, soit être monté de façon amovible sur ce doigt.Each manipulation member 41 can either be glued or welded to the free end of the finger which it equips, or be removably mounted on this finger.
Par exemple, comme l'illustrent les figures 10a à 10c, l'extrémité libre 110 du doigt 11 à équiper peut présenter une mâchoire 112 qui peut être ouverte à 1' encontre d'une force élastique de rappel, et dans laquelle l'organe de manipulation 41 peut être rendu prisonnier. Néanmoins, il est également possible de laisser aux extrémités libres 110 et 120 des doigts 11 et 12 le soin d'assurer directement la fonction de préhension, ces extrémités 110 et 120 pouvant alors adopter des formes différentes comme le montrent les figures lia à lie' For example, as illustrated in FIGS. 10a to 10c, the free end 110 of the finger 11 to be fitted may have a jaw 112 which can be opened against an elastic restoring force, and in which the member manipulation 41 can be made prisoner. However, it is also possible to leave the free ends 110 and 120 of the fingers 11 and 12 to ensure the gripping function directly, these ends 110 and 120 then being able to adopt different shapes as shown in FIGS .

Claims

REVENDICATIONS.  CLAIMS.
1. Micromanipulateur utilisable en tant que composant de microrobotique, comprenant au moins un premier doigt (11) allongé réalisé au moins partiellement en un matériau piézoélectrique, et des électrodes (2) intégrées à ce premier doigt, ce premier doigt (11) présentant une extrémité liée (111) et une extrémité libre (110) distantes l'une de l'autre suivant un premier axe (X), et s'étendant latéralement suivant des deuxième et troisième axes (Y, Z) mutuellement orthogonaux et perpendiculaires au premier (X), et les électrodes (2) comprenant au moins deux paires (21,22) d'électrodes de polarisation (211,212, 221,222) et une surface (20) de potentiel électrique de référence, séparée de chaque électrode de polarisation (211,212, 221,222) par une couche de matériau piézoélectrique appartenant au premier doigt, 1. Micromanipulator usable as a microrobotic component, comprising at least a first elongated first finger (11) made at least partially of a piezoelectric material, and electrodes (2) integrated into this first finger, this first finger (11) having a linked end (111) and a free end (110) distant from each other along a first axis (X), and extending laterally along second and third axes (Y, Z) mutually orthogonal and perpendicular to the first (X), and the electrodes (2) comprising at least two pairs (21,22) of polarization electrodes (211,212, 221,222) and a surface (20) of reference electrical potential, separated from each polarization electrode (211,212 , 221,222) by a layer of piezoelectric material belonging to the first finger,
les paires (21,22) d'électrodes de polarisation étant symétriques l'une de l'autre par rapport à un premier plan médian (M1) du premier doigt, parallèle aux premier et second axes (X, Y), chaque paire (21 ; 22) d'électrodes étant formée d'électrodes (211,212 ; 221,222) symétriques l'une de l'autre par rapport à un second plan médian (M2) du premier doigt, parallèle aux premier et troisième axes (X, Z), la surface (20) de potentiel électrique de référence s'étendant dans le premier plan médian (M1) du premier doigt (11), ce premier doigt (11) comprenant un empilement formé par superposition alternée, suivant le troisième axe (Z) et de part et d'autre de la surface (20) de potentiel de référence, de lames piézoélectriques (30,30a, 30b) et desdites électrodes (2)  the pairs (21,22) of polarization electrodes being symmetrical with each other with respect to a first median plane (M1) of the first finger, parallel to the first and second axes (X, Y), each pair ( 21; 22) of electrodes being formed of electrodes (211,212; 221,222) symmetrical with each other with respect to a second median plane (M2) of the first finger, parallel to the first and third axes (X, Z) , the surface (20) of reference electric potential extending in the first median plane (M1) of the first finger (11), this first finger (11) comprising a stack formed by alternating superposition, along the third axis (Z) and on either side of the surface (20) of reference potential, piezoelectric plates (30,30a, 30b) and said electrodes (2)
en liaison mécanique et électrique mutuelle, les lames piézoélectriques (30, 30a, 30b) étant empilées <Desc/Clms Page number 18> suivant leur épaisseur et présentant des polarisations respectives (Pa, Pb) au moins sensiblement alignées sur le troisième axe (Z), et chaque lame piézoélectrique (30,30a, 30b) appartenant à une paire (3) de lames adjacentes de l'empilement, formée de première et seconde lames (30a, 30b) respectivement dotées de première et seconde faces (301,302) mutuellement distantes sur lesquelles sont respectivement déposées des première et seconde paires (21,22) d'électrodes de polarisation, caractérisé en ce qu'il remplit en outre au moins la condition que les lames piézoélectriques (30) sont en nombre pair supérieur à deux et/ou la condition que la surface (20)  in mutual mechanical and electrical connection, the piezoelectric blades (30, 30a, 30b) being stacked  <Desc / Clms Page number 18>  according to their thickness and having respective polarizations (Pa, Pb) at least substantially aligned on the third axis (Z), and each piezoelectric plate (30,30a, 30b) belonging to a pair (3) of adjacent plates of the stack , formed of first and second blades (30a, 30b) respectively provided with first and second faces (301,302) mutually distant on which are respectively deposited first and second pairs (21,22) of polarization electrodes, characterized in that it also fulfills at least the condition that the piezoelectric plates (30) are in even number greater than two and / or the condition that the surface (20)
de potentiel électrique de référence comprend deux électrodes de référence (201,202) symétriques l'une de l'autre par rapport au second plan médian (M2).  of electric reference potential comprises two reference electrodes (201,202) symmetrical to each other with respect to the second median plane (M2).
2. Micromanipulateur suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les lames (30a, 30b) d'au moins une paire (3) de lames adjacentes de l'empilement présentent des polarisations (Pa, Pb) alignées sur le troisième axe (Z) et de sens inverses. 2. Micromanipulator according to claim 1, characterized in that the blades (30a, 30b) of at least one pair (3) of adjacent blades of the stack have polarizations (Pa, Pb) aligned on the third axis (Z ) and in reverse.
3. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend au moins un second doigt (12) de même constitution que le premier doigt (11) et coopérant au moins avec ce premier doigt (11) pour former une pince. 3. Micromanipulator according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises at least a second finger (12) of the same constitution as the first finger (11) and cooperating at least with this first finger (11) to form pliers.
4. Micromanipulateur suivant la revendication 3, caractérisé en ce que le premier plan médian (M1) du second doigt (12) est confondu avec le premier plan médian (M1) du premier doigt (11), en ce que les premier et second doigts (11,12) sont réalisés dans un <Desc/Clms Page number 19> même substrat (1) conformé en fourche dont une base (10) s'étend à partir des extrémités liées (111,121) de ces premier et second doigts (11,12), et en ce que chaque lame (30) constitutive du premier doigt (11) est également constitutive de la base (10) du substrat et du second doigt (12). 4. Micromanipulator according to claim 3, characterized in that the first median plane (M1) of the second finger (12) is coincident with the first median plane (M1) of the first finger (11), in that the first and second fingers (11,12) are made in a  <Desc / Clms Page number 19>  same substrate (1) shaped like a fork, a base (10) of which extends from the linked ends (111,121) of these first and second fingers (11,12), and in that each blade (30) constituting the first finger (11) also constitutes the base (10) of the substrate and the second finger (12).
5. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que les extrémités libres respectives (110,120) des premier et second doigts (11,12) ont des formes différentes. 5. Micromanipulator according to any one of claims 3 and 4, characterized in that the respective free ends (110,120) of the first and second fingers (11,12) have different shapes.
6. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins un premier organe de manipulation (41) rapporté sur l'extrémité libre (110) du premier doigt (11). 6. Micromanipulator according to any one of the preceding claims, characterized in that it further comprises at least a first manipulation member (41) attached to the free end (110) of the first finger (11).
7. Micromanipulateur suivant la revendication 6, caractérisé en ce que le premier organe de manipulation (41) est monté de façon amovible dans une mâchoire (112) formée à l'extrémité libre (110) du premier doigt (11). 7. Micromanipulator according to claim 6, characterized in that the first handling member (41) is removably mounted in a jaw (112) formed at the free end (110) of the first finger (11).
8. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications 3 et 4 combinée à la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un second organe de manipulation rapporté sur l'extrémité libre (120) du second doigt (12) et coopérant avec le premier organe de manipulation (41) pour former ladite pince. 8. Micromanipulator according to any one of claims 3 and 4 combined with claim 6, characterized in that it further comprises a second manipulation member attached to the free end (120) of the second finger and cooperating with the first manipulation member (41) to form said clamp.
9. Procédé de mise en oeuvre d'un micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une <Desc/Clms Page number 20> opération consistant à raccorder sélectivement les électrodes de polarisation (211,212, 221,222, 210, 220) et la surface (20) de potentiel de référence à une première configuration (Vy, -Vy ; -Vy, Vy ; 0) ou à une seconde configuration (Vz, Vz ; 9. A method of implementing a micromanipulator according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises a  <Desc / Clms Page number 20>  operation consisting in selectively connecting the bias electrodes (211,212, 221,222, 210, 220) and the surface (20) of reference potential to a first configuration (Vy, -Vy; -Vy, Vy; 0) or to a second configuration (Vz, Vz;
Vz, Vz ; 0) combinables de potentiels électriques (Vy, Vz, 0) induisant respectivement dans les lames des première et seconde configurations combinables de champs électriques auxquelles correspondent respectivement des première et seconde configurations (+6xl,-8xl ;  Vz, Vz; 0) combinable with electric potentials (Vy, Vz, 0) inducing respectively in the blades first and second combinable configurations of electric fields to which correspond first and second configurations respectively (+ 6xl, -8xl;
+8x2,-8x2) combinables de variations dimensionnelles des lames, les variations dimensionnelles (+8xl,-8xl) de la première configuration (+8x1,-8x1) de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au second plan médian (M2), et les variations dimensionnelles (+8x2,-8x2) de la seconde configuration (+8x2, -8x2) de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au premier plan médian (M1).  + 8x2, -8x2) combinable with dimensional variations of the blades, the dimensional variations (+ 8xl, -8xl) of the first configuration (+ 8x1, -8x1) of dimensional variations being antisymmetrical with respect to the second median plane (M2), and the dimensional variations (+ 8x2, -8x2) of the second configuration (+ 8x2, -8x2) of dimensional variations being antisymmetrical with respect to the first median plane (M1).
10. Procédé de mise en oeuvre suivant la revendication 9 d'un micromanipulateur dont la surface de potentiel électrique de référence comprend deux électrodes de référence, caractérisé en ce qu'il comprend une opération consistant à porter sélectivement les électrodes de référence à des potentiels électriques de référence respectifs différents (Vy, -Vy). 10. The implementation method according to claim 9 of a micromanipulator, the surface of reference electrical potential comprises two reference electrodes, characterized in that it comprises an operation consisting in selectively bringing the reference electrodes to electrical potentials. of different respective reference (Vy, -Vy).
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2955655A1 (en) * 2010-01-27 2011-07-29 Univ Franche Comte DEVICE FOR MEASURING THE POSITIONING OF A MICRO-ACTUATOR
WO2013085475A2 (en) 2011-12-05 2013-06-13 Akpinar Muhammet Yahya Improved emergency hammer having automatic mechanism
US9180594B2 (en) 2011-06-06 2015-11-10 Centre National De La Recherche Scientifique Cnrs Tool for a microtechnical clip

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4610475A (en) * 1984-09-06 1986-09-09 Microflex Technology, Inc. Piezoelectric polymer micromanipulator
WO1990003044A1 (en) * 1988-09-12 1990-03-22 Microflex Technology, Inc. Protected piezoelectric polymer bimorph
US5170089A (en) * 1989-12-20 1992-12-08 General Electric Company Two-axis motion apparatus utilizing piezoelectric material
WO2002045181A1 (en) * 2000-11-28 2002-06-06 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly with piezoelectric microactuator

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4610475A (en) * 1984-09-06 1986-09-09 Microflex Technology, Inc. Piezoelectric polymer micromanipulator
WO1990003044A1 (en) * 1988-09-12 1990-03-22 Microflex Technology, Inc. Protected piezoelectric polymer bimorph
US5170089A (en) * 1989-12-20 1992-12-08 General Electric Company Two-axis motion apparatus utilizing piezoelectric material
WO2002045181A1 (en) * 2000-11-28 2002-06-06 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly with piezoelectric microactuator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2955655A1 (en) * 2010-01-27 2011-07-29 Univ Franche Comte DEVICE FOR MEASURING THE POSITIONING OF A MICRO-ACTUATOR
WO2011092396A1 (en) * 2010-01-27 2011-08-04 Universite De Franche Comte Device for measuring the positioning of a microactuator
US9052218B2 (en) 2010-01-27 2015-06-09 Universite De Franche Comte Device for measuring the positioning of a microactuator
US9180594B2 (en) 2011-06-06 2015-11-10 Centre National De La Recherche Scientifique Cnrs Tool for a microtechnical clip
WO2013085475A2 (en) 2011-12-05 2013-06-13 Akpinar Muhammet Yahya Improved emergency hammer having automatic mechanism

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