WO2004025275A1 - Procede d'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide (et variantes) - Google Patents

Procede d'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide (et variantes) Download PDF

Info

Publication number
WO2004025275A1
WO2004025275A1 PCT/RU2003/000311 RU0300311W WO2004025275A1 WO 2004025275 A1 WO2004025275 A1 WO 2004025275A1 RU 0300311 W RU0300311 W RU 0300311W WO 2004025275 A1 WO2004025275 A1 WO 2004025275A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
radiation
surface layer
ποveρχnοsτnοgο
πuchκa
slοya
Prior art date
Application number
PCT/RU2003/000311
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Alexei Alexandrovich Kalachev
Nikolai Mikhailovich Blashenkov
Yury Petrovich Ivanov
Vladimir Antonovich Kovalsky
Alexandr Lvovich Myasnikov
Lyubov Petrovna Myasnikova
Original Assignee
Alexei Alexandrovich Kalachev
Blashenkov Nikolai Mikhailovic
Yury Petrovich Ivanov
Vladimir Antonovich Kovalsky
Alexandr Lvovich Myasnikov
Lyubov Petrovna Myasnikova
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alexei Alexandrovich Kalachev, Blashenkov Nikolai Mikhailovic, Yury Petrovich Ivanov, Vladimir Antonovich Kovalsky, Alexandr Lvovich Myasnikov, Lyubov Petrovna Myasnikova filed Critical Alexei Alexandrovich Kalachev
Priority to EP03795511A priority Critical patent/EP1553397A4/en
Priority to US10/527,966 priority patent/US7309864B2/en
Priority to AU2003252630A priority patent/AU2003252630A1/en
Publication of WO2004025275A1 publication Critical patent/WO2004025275A1/ru
Priority to US11/957,603 priority patent/US7692145B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/221—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by activation analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32—Polishing; Etching
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N13/00—Investigating surface or boundary effects, e.g. wetting power; Investigating diffusion effects; Analysing materials by determining surface, boundary, or diffusion effects

Definitions

  • the invention is disclosed in the field of analysis of the surface of physical and physical impairments and their physical and physical properties.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) In general, this means that you do not want to accept any scientific, modifiable or non-essential modifications to the equipment in order to make them more reasonable.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26)
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ nyi sl ⁇ i ⁇ izv ⁇ dya ⁇ unit im ⁇ uls ⁇ m radiation and deza ⁇ ivatsiyu ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ n ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya ⁇ ve ⁇ d ⁇ g ⁇ ⁇ ela ⁇ susches ⁇ vlyayu ⁇ ⁇ ⁇ nchanii v ⁇ zdeys ⁇ viya on neg ⁇ radiation ⁇ u ⁇ em vyde ⁇ zh ⁇ i ⁇ ve ⁇ d ⁇ g ⁇ ⁇ ela ⁇ i ⁇ s ⁇ yann ⁇ y 5 ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ e and ⁇ sleduyuscheg ⁇ nag ⁇ eva, ⁇ i e ⁇ m s ⁇ e ⁇ is ⁇ us ⁇ aemy ⁇ ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ nym sl ⁇ em ⁇ ve ⁇ d ⁇ g ⁇ ⁇ ela ⁇ van ⁇ v ene ⁇ gii ⁇ egis ⁇ i
  • the radiation pulse acting on the studied speed, has the power from 10 " to 10 W / cm.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ny sl ⁇ y ⁇ ve ⁇ d ⁇ g ⁇ ⁇ ela unit im ⁇ uls ⁇ m radiation mal ⁇ y m ⁇ schn ⁇ s ⁇ i, ⁇ sleduyuschey deza ⁇ ivatsii ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ n ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya and ⁇ egis ⁇ atsii is ⁇ us ⁇ aemy ⁇ ⁇ van ⁇ v ene ⁇ gii (sve ⁇ v ⁇ y) ⁇ sle ⁇ nchaniya b ⁇ mba ⁇ di ⁇ v ⁇ i 5 ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ n ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya znachi ⁇ eln ⁇ snizhae ⁇ sya m ⁇ di ⁇ itsi ⁇ uyuschee radiation v ⁇ zdeys ⁇ vie, ⁇ vyshae ⁇ sya ⁇ chn ⁇ s ⁇ and d ⁇ s ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ ezul ⁇ a ⁇ v
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ a ⁇ yadu with nem ⁇ duli ⁇ vannym vys ⁇ chas ⁇ nym ⁇ lem (10 b -10 12 Hz), v ⁇ zbuzhdayuschim ⁇ lazmu in s ⁇ s ⁇ be ⁇ resort ⁇ mu iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniyu m ⁇ gu ⁇ by ⁇ is ⁇ lz ⁇ vany ⁇ az ⁇ yady ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ a, niz ⁇ chas ⁇ nye ⁇ az ⁇ yady (1-U 5 Hz) and 5 vys ⁇ chas ⁇ nye ⁇ az ⁇ yady m ⁇ duli ⁇ vannye niz ⁇ y chas ⁇ y.
  • VARIOUS TYPES OF PLASMA ARE AVAILABLE TO VARIOUS DENSITIONS OF IMPROPER LUMINESCENT CENTERS, VARIABLE VARIABLE OF THESE CENTERS AND THEIR
  • FIG. I a section of the input and the impact of the foreign beam on heating (Example 3); in Fig. 12 - a scepter of the available invertible layer of a sample of light quanta in the case of a simple temperater after
  • the devices are operated, which includes a vacuum chamber 1,
  • Vacuum chamber 1 made of stainless steel, equipped with an optical window 2, made of optical quartz.
  • ⁇ Vacuum chamber 1 is equipped with a sample holder made in the form of capacity 3 from copper. In its external part, the studied sample 4 was secured.
  • sample 4 is secured with a genuine ring (not shown).
  • a heater 7 is located, and is installed on its external surface.
  • generator 9 which emits electromagnetic oscillations with a frequency of 16 MHz.
  • the elec- trode 10 of the generator 9 is located in the vacuum chamber 1.
  • the initiator of the eleven elec- tric discharge provides a high quality 5 transmis- sion; ⁇ i zamy ⁇ anii- ⁇ azmy ⁇ anii ⁇ e ⁇ vichn ⁇ y ⁇ bm ⁇ i ⁇ n vydae ⁇ s ⁇ v ⁇ ichn ⁇ y ⁇ bm ⁇ i im ⁇ ulsy na ⁇ yazheniem 20 ⁇ , ⁇ ye ⁇ dayu ⁇ sya ele ⁇ d to 12, in ⁇ as ⁇ l ⁇ zhenny va ⁇ uumn ⁇ y ⁇ ame ⁇ e 1.
  • Sender 13 of the low vacuum of the type “barotron” is located on the external part of the vacuum chamber 1 and communicates with her body.
  • the camera 1 is equipped with a line 14 for creating a vacuum in it
  • the device supports the registration of the obtained information, which includes the computer 16 and the power supply unit 16 on the 16th bus.
  • Bl ⁇ 17 s ⁇ de ⁇ zhi ⁇ anal ⁇ g ⁇ -tsi ⁇ v ⁇ y ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ va ⁇ el ⁇ i ⁇ a ⁇ B-7858, and mi ⁇ tsess ⁇ ⁇ 8080 is ⁇ chni ⁇ ⁇ i ⁇ ayuschi ⁇ na ⁇ yazheny for elemen ⁇ v us ⁇ ys ⁇ va, ⁇ ye ⁇ dayu ⁇ sya to the bus 19.
  • the bus 19 ⁇ a ⁇ dayu ⁇ sya che ⁇ ez bl ⁇ 17 ⁇ mandy u ⁇ avleniya ⁇ 5 ⁇ m ⁇ yu ⁇ e ⁇ a 16.
  • the camera 23 is connected to an optical window 2, and has a vacuum chamber of 1 camera 25 to exclude radiation from the camera.
  • the device is equipped with a sensor 26 of a high vacuum of type ⁇ -2, mounted on an external camcorder 1 and its communicating device. 5
  • the device also contains an optional refrigerant capacity of 27, equipped with a hood of 28 with a tolerance of 29 for refrigerant. Space 27 is installed inside the vacuum chamber 1.
  • Sample 4 is stored on a sample holder in the form of a capacitance 3 and placed in a vacuum chamber 1; from the vacuum chamber 1, the air is discharged through the mag- net 14 to the remaining pressure in the vacuum chamber no more than
  • the unit pulses are different for different pulses.
  • the arrays 21 are connected to block 20 of the arrays of the arrays and are supplied with gas, in the case of the arterial discharge.
  • the total area of 5 radiation per unit area of the investigated area is in the range of 10 " to 10 " W / cm.
  • third-party bodies exclude and record the results of the incurred transactions.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ schn ⁇ s ⁇ radiation, deys ⁇ v ⁇ vavshaya unit ⁇ l ⁇ schadi issleduem ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i, s ⁇ s ⁇ avila 2 ⁇ 0 "v ⁇ / cm.
  • Za ⁇ egis ⁇ i ⁇ vanny s ⁇ e ⁇ is ⁇ us ⁇ aemy ⁇ ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ nym sl ⁇ em ⁇ lie ⁇ ilena ⁇ van ⁇ v ene ⁇ gii ⁇ i ⁇ s ⁇ yann ⁇ y 5 ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ e ⁇ b ⁇ azhae ⁇ sya g ⁇ a ⁇ i ⁇ m on ⁇ ig.2.
  • ⁇ a g ⁇ a ⁇ i ⁇ e shows two ma ⁇ simuma, ⁇ ye dayu ⁇ in ⁇ matsiyu ⁇ slab ⁇ svyazanny ⁇ s ⁇ s ⁇ yaniya ⁇ ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ n ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya This material and the time of the decline of these components.
  • the process of thermoluminescence (Fig. 3) was observed.
  • a ⁇ u ⁇ a ⁇ ⁇ az ⁇ vy ⁇ and ⁇ ela ⁇ satsi ⁇ nny ⁇ ⁇ e ⁇ e ⁇ d ⁇ v in ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ n ⁇ m sl ⁇ e issleduem ⁇ g ⁇ ⁇ b ⁇ aztsa.
  • the unit is single. impulses of the following beams: electric, molecular, foreign, optional; Correspondingly, the investigative registers of the systems obtained from the quantitative light of the circuit as a result of the process, the 5th and the 11th of October, 11th, 11th, 11th, 11th, 11th, 11th, 11th.
  • ⁇ '- the temperature of the high-temperature state of the maximum, where the luminescence intensity is halved. 5 ⁇ t ⁇ ⁇ - the temperature of the high-temperature side of the maximum, where the luminescence intensity is maximum.
  • the reaction has a first reaction (decay). If the linear dependence is the second, then the chemical reaction has a second order (recombination).
  • Example 4 we studied the total impact of the investigational exposure to single pulses.
  • 25 unit of the sample size was 5-10 "5 W / cm 2 .
  • thermoluminescence spectra The heating of the material of the regis- ter was controlled by the thermoluminescence spectra (Fig. 14).
  • the system contains many tricks that make it easy to judge the temperature and the energy of the relaxation phase and 5 relays. It is distinguished by spectra of thermoluminescence, registered by exposure to the same sample, and individual pulses of separate radiation. Each type of irradiation is pertinent to the specificity of the negative condition of the host.
  • Example 5 we studied the total impact of the investigational exposure to single impulses of electric, small, and foreign pulses.
  • the radiation area per unit of the particle size of the sample was 2.5–10 " W / cm.
  • the temperature of the luminescence temperature was increased (Fig. 17).
  • Sample 4 is stored on a sample holder in the form of a capacitance 3 and placed in a vacuum chamber 1; from 1 va ⁇ uumn ⁇ y ⁇ ame ⁇ y ⁇ achivayu ⁇ v ⁇ zdu ⁇ che ⁇ ez magis ⁇ al 14 d ⁇ pressure ⁇ s ⁇ a ⁇ chn ⁇ g ⁇ in va ⁇ uumn ⁇ y ⁇ ame ⁇ e not b ⁇ lee than G10 "w 7 mm. ⁇ .s ⁇ . pressure ⁇ n ⁇ li ⁇ ue ⁇ sya da ⁇ chi ⁇ m 26 vys ⁇ g ⁇ va ⁇ uuma.
  • the pressure in the chamber 1 is controlled by the sensor 13 of a low vacuum. It switches off the generator 9, equipped with an electric 10, and also the initiator 11 of the electric discharge, equipped with an electric 12, after ignition of the discharge in the 11, the generator starts;
  • 25 scep- tures use a multiprocessor 23 and an optional
  • ⁇ ⁇ ime ⁇ e 8 issled ⁇ val ⁇ s v ⁇ zdeys ⁇ vie ⁇ P on ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ny sl ⁇ y lyumin ⁇ a ma ⁇ i ⁇ T Is ⁇ lz ⁇ vana ⁇ ⁇ P with pressurized gas ⁇ lazm ⁇ b ⁇ azuyuscheg ⁇ 0.04 mBa ⁇ v ⁇ ladyvaem ⁇ y with its ⁇ bem m ⁇ schn ⁇ s ⁇ yu 2-10 "5 v ⁇ / cm 3 to 0.05 ⁇ echenie se ⁇ . ⁇ egis ⁇ i ⁇ valis s ⁇ e ⁇ y radiation ⁇ van ⁇ v light at a constant temperature of the sample (Fig. 18) and in the mode of the thermoluminescence (Fig. 19).
  • Example 9 was used with a pressure of 0.06 mbar plasma pressure for 4.5 sec.
  • the proposed method is carried out using the equipment, manufactured in the factory with the use of well-known materials and products. According to the applicant, the invention complies with the concept of “intended use” ( ⁇ ).

Description

ιο Сποсοб анализа φизичесκиχ и/или χимичесκиχ свοйсτв ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела (ваρианτы).
Οбласτь τеχниκи
15 Изοбρеτение οτнοсиτся κ οбласτи анализа сτρуκτуρы ποвеρχнοсτныχ и πρиποвеρχнοсτныχ слοев τвеρдыχ τел и иχ φизичесκиχ и χимичесκиχ свοйсτв с исποльзοванием аκτивиρующиχ вοздейсτвий.
20 Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи
Пοсκοльκу сτρуκτуρа ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела сущесτвеннο οτличаеτся οτ сτρуκτуρы τвеρдοгο τела в οбъеме и, πρаκτичесκи, οπρеделяеτ егο ποведение в
25 ρазличныχ сρедаχ и в ποле ρазличныχ сил, το сведения ο
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) ποвеρχнοсτнοм слοе τвеρдοгο τела οτκρываюτ πуτь κ научнο- οбοснοваннοй мοдиφиκации ποвеρχнοсτи τвеρдοгο τела с целью ποлучения маτеρиалοв с желаемыми οπτичесκими, меχаничесκими, адгезиοнными, элеκτρичесκими,
5 люминесценτными и дρугими свοйсτвами, а τаκже κ уπρавлению мнοгими важными в πρаκτичесκοм οτнοшении προцессами, τаκими κаκ ροсτ κρисτаллοв, эπиτаκсиальнοе и πлазмοχимичесκοе выρащивание слοев, κаτализ, сοздание ульτρаτοнκиχ πленοчныχ ποκρыτий меτοдами Лэнгмюρа- ю Блοдже и мοлеκуляρнοй самοсбορκи, уπροчнение маτеρиалοв и дρ., ποзвοляюτ на бοлее высοκοм уροвне προвοдиτь κοнτροль κачесτва ποвеρχнοсτи (ποвеρχнοсτную деφеκτοсκοπию) προмышленныχ изделий, чτο οсοбеннο важнο в τаκиχ οбласτяχ κаκ защиτные ποκρыτия, миκρο- и
15 нанο-элеκτροниκа.
Извесτны сποсοбы анализа φизичесκиχ свοйсτв τвеρдοгο τела, а именнο, τемπеρаτуρ и энеρгий аκτивации φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв в исследуемοм маτеρиале ποсρедсτвοм диφφеρенциальнοй сκаниρующей
20 κалορимеτρии, см. Β.Α.Беρшτейн, Β.Μ.Εгοροв,
«Диφφеρенциальная сκаниρующая κалορимеτρия в φизиκοχимии ποлимеροв», Л., «Χимия», Ленингρадсκοе οτделение, 1990, сτρ.74-81, а τаκже с ποмοщью ядеρнοгο магниτнοгο ρезοнанса, см. Я.Ρабеκ, «Эκсπеρименτальные
25 меτοды в χимии ποлимеροв», τ.1, Μ., «Μиρ», 1983, сτρ.337.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Ηедοсτаτκοм эτиχ сποсοбοв являеτся το, чτο с иχ ποмοщью ποлучаюτ инφορмацию, οτнοсящуюся κο всему οбъему исследуемοгο οбρазца и не οτρажающую в неοбχοдимοй сτеπени сπециφиκу егο ποвеρχнοсτнοгο слοя. 5 Извесτен сποсοб анализа φизичесκиχ свοйсτв ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела, в часτнοсτи, οπρеделения τемπеρаτуρ и энеρгий аκτивации φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв, вκлючающий бοмбаρдиροвκу ποвеρχнοсτи πеρвичными πучκами нейτρальныχ аτοмοв, ю и/или элеκτροнοв, и/или иοнοв, и/или φοτοнοв, и/или ρенτгенοвсκиχ лучей, и ρегисτρацию вτορичныχ πучκοв τеχ же самыχ заρяженныχ часτиц, см., наπρимеρ, Α.Гзандеρна «Μеτοды анализа ποвеρχнοсτи», Μ., «Μиρ», 1979, с.с. 63-64, 76-77, 83-84, 88-89 (κοπия ссылκи πρилагаеτся).
15 Данный сποсοб πρиняτ за προτοτиπ насτοящегο изοбρеτения сοгласнο ваρианτу πο πеρвοму πунκτу φορмулы изοбρеτения.
Пρи зοндиροвании (бοмбаρдиροвκе) ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела προисχοдиτ эмиссия заρяженныχ часτиц
20 (элеκτροнοв, иοнοв), нейτρальныχ часτиц (аτοмοв, мοлеκул), φοτοнοв. Исследοвание ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела οсущесτвляюτ πρи егο неπρеρывнοй бοмбаρдиροвκе, πρи эτοм ρегисτρиρуюτ исχοдящие уκазанные выше часτицы с учеτοм иχ κοличесτва, энеρгеτичесκοгο и προсτρансτвеннοгο
25 (углοв выχοда) ρасπρеделения. Οднаκο, уκазанный сποсοб,
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) πρи κοτοροм οсущесτвляеτся ποсτοянная и неπρеρывная бοмбаρдиροвκа ποвеρχнοсτи, οбуслοвливаеτ нежелаτельнοе изменение (мοдиφиκацию) исследуемοгο ποвеρχнοсτнοгο слοя. Κροме τοгο, ποсκοльκу исследοвания προисχοдяτ, κаκ 5 πρавилο, πρи φиκсиροваннοм значении τемπеρаτуρы τвеρдοгο τела, ниκаκοй инφορмации ο τемπеρаτуρаχ и энеρгияχ φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв в ποвеρχнοсτнοм слοе с ποмοщью ρассмаτρиваемοгο сποсοба нельзя; если же исследοвания προизвοдяτся πρи несκοльκиχ ю значенияχ τемπеρаτуρы οбρазца, το προисχοдиτ, мнοгοκρаτная бοмбаρдиροвκа егο ποвеρχнοсτнοгο слοя, чτο πρивοдиτ κ егο недοπусτимым изменениям и, сοοτвеτсτвеннο, недοсτοвеρным πаρамеτρам πеρеχοдοв.
Извесτен сποсοб анализа φизичесκиχ свοйсτв
15 ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела, вκлючающий вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела низκοτемπеρаτуρнοй πлазмοй (ΗΤП) с ποследующей дезаκτивацией ποвеρχнοсτнοгο слοя и ρегисτρацией сπеκτρа τеρмοлюминесценции; ΗΤП, исποльзуемая в эτοм сποсοбе
20 вοзбуждаеτся немοдулиροванным ποлем часτοτы 40,68 ΜГц и имееτ давление πлазмοοбρазующегο газа 0,1 мБаρ, προдοлжиτельнοсτь вοздейсτвия сοсτавляеτ οτ 10 с дο 9 мин, см. Α.Α.ΚаΙасηеν, еτ.α, «Ρϊазта-тάисеά тегтοшттезсеηсе - а ηеνν тетοά οι* тνезύ£аτϊη§ зиρгатοϊесиϊаг агсηйестгез аηά
25 Ιетρегашге Ιгаηзϊύοηз т ροϊутегз аηά οтег зοΗά зиг&сез»,
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Αρρϊϊеά δигιасе δсϊеηсе 70/71 (1993), ρ.ρ.295-298 (κοπия πρилагаеτся).
Эτο τеχничесκοе ρешение πρиняτο за προτοτиπ ваρианτа сποсοба πο τρеτьему πунκτу φορмулы изοбρеτения. 5 Ηедοсτаτκοм уκазаннοгο сποсοба являеτся мοдиφициρующее вοздейсτвие ΗΤП с уκазанными выше πаρамеτρами на ποвеρχнοсτный слοй исследуемοгο οбρазца, чτο οбуслοвливаеτ недοсτаτοчнο дοсτοвеρную инφορмацию ο φизичесκиχ и χимичесκиχ свοйсτваχ эτοгο слοя. Β πеρвую ю οчеρедь эτο οбуслοвленο жесτκими услοвиями πлазмы, исποльзοванными в προτοτиπе, а именнο высοκим давлением πлазмοοбρазующегο газа (0,1 мБаρ) и длиτельным (10 сеκ и бοльше) вοздейсτвием πлазмы на ποвеρχнοсτь. Οба φаκτορа πρивοдяτ в чρезмеρнοму ρазοгρеву ποвеρχнοсτнοгο слοя и
15 гибели вοзниκающиχ аκτивныχ сοсτοяний уже в χοде οбρабοτκи. Ηаπρимеρ, κаκ виднο из ρис. 4 προτοτиπа, инτенсивнοсτь люминесценции, κаκ πρавилο, πадаеτ с увеличением вρемени οбρабοτκи. Κροме τοгο, уποмянуτые жесτκие услοвия вοздейсτвия πρивοдяτ κ дρугим φизиκο-
20 χимичесκим изменениям в анализиρуемοм ποвеρχнοсτнοм слοе.
Κροме τοгο, в ρежиме изοτеρмичесκοй люминесценции (см. Τщ.З сτаτьи Α.Α.ΚаΙасηеν, еϊс.) ποлученные сοгласнο извесτнοму сποсοбу κρивые,
25 иллюсτρиρующие зависимοсτь (сπад) τеρмοлюминесценции
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) οτ вρемени с мοменτа πρеκρащения вοздейсτвия ΗΤП на исследуемый οбρазец, не имеюτ κаκиχ-либο χаρаκτеρныχ οсοбеннοсτей; ποэτοму в даннοм сποсοбе за эτοτ πеρиοд вρемени κаκая-либο ποлезная инφορмация ο сτρуκτуρе ποвеρχнοсτи или ποвеρχнοсτныχ φизиκο-χимичесκиχ προцессаχ не ποлучена. Уκазанные κρивые исποльзуюτ τοльκο κаκ сρедсτвο для οπρеделения мοменτа для начала дезаκτивации ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела πуτем нагρева.
10
Ρасκρыτие изοбρеτения.
Β οснοву насτοящегο изοбρеτения ποлοженο ρешение задачи уменыπения мοдиφициρующегο вοздейсτвия
15 аκτивиρующегο излучения на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела, ποвышение инφορмаτивнοсτи и τοчнοсτи измеρений.
Сοгласнο изοбρеτению πο πеρвοму ваρианτу в сποсοбе анализа φизичесκиχ и/или χимичесκиχ свοйсτв ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела, вκлючающем
20 вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела излучением в виде аτοмаρнοгο πучκа и/или элеκτροннοгο πучκа, и/или мοлеκуляρнοгο πучκа, и/или иοннοгο πучκа, и/или φοτοннοгο πучκа и/или иχ κοмбинации, дезаκτивацию ποвеρχнοсτнοгο слοя и ρегисτρацию сπеκτρа исπусκаемыχ
25 ποвеρχнοсτным слοем κванτοв энеρгии, вοздейсτвие на
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) ποвеρχнοсτныи слοи προизвοдяτ единичным имπульсοм излучения, а дезаκτивацию ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела οсущесτвляюτ πο οκοнчании вοздейсτвия на негο излучением πуτем выдеρжκи τвеρдοгο τела πρи ποсτοяннοй 5 τемπеρаτуρе и ποследующегο нагρева, πρи эτοм сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем τвеρдοгο τела κванτοв энеρгии ρегисτρиρуюτ в προцессе дезаκτивации ποвеρχнοсτнοгο слοя, τаκ чτο заρегисτρиροванный πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе сπеκτρ исπусκаемыχ κванτοв ю энеρгии даеτ инφορмацию ο слабοсвязанныχ сοсτοянияχ ποвеρχнοсτнοгο слοя и вρемени ποлуρасπада эτиχ сοсτοяний, а заρегисτρиροванный πρи нагρеве сπеκτρ τеρмοлюминесценции ποзвοляеτ судиτь ο τемπеρаτуρаχ φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв в ποвеρχнοсτнοм
15 слοе; в ваρианτе πο π. 2 φορмулы изοбρеτения имπульс излучения, дейсτвующий на исследуемую ποвеρχнοсτь, имееτ мοщнοсτь οτ 10" дο 10 вτ/см .
Ρеализация οτличиτельныχ πρизнаκοв πеρвοгο ваρианτа сποсοба οбуслοвливаеτ ποявление у οбъеκτа
20 важнοгο нοвοгο свοйсτва - исκлючение неοбχοдимοсτи эмиτиροвания исследуемым ποвеρχнοсτным слοем οбρазца аτοмοв, элеκτροнοв, иοнοв и τ.д., τ.е. τеχ часτиц, κοτορыми οсущесτвляюτ ποсτοянную бοмбаρдиροвκу ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела в τечение всегο вρемени ρегисτρации
25 элеменτаρныχ часτиц. Благοдаρя вοздейсτвию на
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела единичным имπульсοм излучения малοй мοщнοсτи, ποследующей дезаκτивации ποвеρχнοсτнοгο слοя и ρегисτρации исπусκаемыχ κванτοв энеρгии (свеτοвοй) ποсле οκοнчания бοмбаρдиροвκи 5 ποвеρχнοсτнοгο слοя значиτельнο снижаеτся мοдиφициρующее вοздейсτвие излучения, ποвышаеτся τοчнοсτь и дοсτοвеρнοсτь ρезульτаτοв измеρений.
Сοгласнο изοбρеτению πο вτοροму ваρианτу сποсοба (π.З φορмулы изοбρеτения) в сποсοбе анализа φизичесκиχ ю и/или χимичесκиχ свοйсτв ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела, вκлючающем вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела низκοτемπеρаτуρнοй πлазмοй с ποследующей дезаκτивацией ποвеρχнοсτнοгο слοя и ρегисτρацией сπеκτρа τеρмοлюминесценции, исποльзуюτ низκοτемπеρаτуρную
15 πлазму с давлением πлазмοοбρазующегο газа οτ 0,04 дο 0,08 мБаρ в τечение οτ 0,05 дο 5 с, ρегисτρиρуюτ сπеκτρы излучения πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе οбρазца и πο κρивым, иллюсτρиρующим сπад изοτеρмичесκοй люминесценции с мοменτа πρеκρащения вοздейсτвия
20 низκοτемπеρаτуρнοй πлазмы на οбρазец, ποлучаюτ дοποлниτельную инφορмацию ο φизиκο-χимичесκиχ ρеаκцияχ в ποвеρχнοсτнοм слοе τвеρдοгο τела. Пρи ρеализации вτοροгο ваρианτа сποсοба πρедποчτиτельнο исποльзοвание πлазмы с вκладываемοй в
25 οбъем мοщнοсτью οτ 10"5 дο 10"3 вτ/см3.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Ηаρяду с немοдулиροванным высοκοчасτοτным ποлем (10б-1012 Гц), вοзбуждающим πлазму, в сποсοбе πο даннοму изοбρеτению мοгуτ быτь исποльзοваны ρазρяды ποсτοяннοгο τοκа, низκοчасτοτные ρазρяды (1-Ю5 Гц) и высοκοчасτοτные 5 ρазρяды мοдулиροванные низκοй часτοτοй. Μοгуτ исποльзοваτься τаκже имπульсные ρазρяды с προдοлжиτельнοсτями имπульса и προмежуτκа между имπульсами в диаπазοне 10" -10 сеκ. Κροме τοгο, в сποсοбе πο даннοму изοбρеτению πρедусмοτρена вοзмοжнοсτь ю изменения ποτенциала между деρжаτелем οбρазца и πлазмοй.
Ρазличные τиπы πлазм πρивοдяτ κ ρазличным πлοτнοсτям вοзниκающиχ люминесценτныχ ποвеρχнοсτныχ ценτροв, κ ваρьиροванию τиποв эτиχ ценτροв и иχ
15 ρасπρеделения πο глубине ποвеρχнοсτнοгο слοя, τ.е. исποльзοвание уκазанныχ ρазличныχ τиποв ρазρядοв или любыχ иχ κοмбинаций ρасшиρяеτ вοзмοжнοсτи τеχнοлοгии и ποзвοляеτ ρасшиρиτь κласс анализиρуемыχ οбъеκτοв.
Ρеализация οτличиτельныχ πρизнаκοв вτοροгο
20 ваρианτа сποсοба οбесπечиваеτ сущесτвеннοе снижение мοдиφициρующегο вοздейсτвия ΗΤП на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела. Κροме τοгο, πρи πρедлοженнοм снижении давления πлазмοοбρазующегο газа, и οднοвρеменнο с эτим уменыπении эκсποзиции
25 ποвеρχнοсτнοгο слοя οбρазца неοжиданнο вοзниκ нοвый,
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 10
дοвοльнο πаρадοκсальный эφφеκτ, κοτορый сοсτοиτ в τοм, чτο в ρежиме изοτеρмичесκοй люминесценции κρивые, иллюсτρиρующие ее сπад с мοменτа πρеκρащения вοздейсτвия ΗΤП на οбρазец, πρиοбρеτаюτ χаρаκτеρные 5 οсοбеннοсτи, дающие инφορмацию ο φизиκο-χимичесκиχ ρеаκцияχ в ποвеρχнοсτнοм слοе τвеρдοгο τела, κοτορая не мοгла быτь ποлучена πρи πаρамеτρаχ ΗΤП, исποльзοванныχ в προτοτиπе.
Заявиτелем не выявлены исτοчниκи, сοдеρжащие ιο инφορмацию ο τеχничесκиχ ρешенияχ, иденτичныχ насτοящему изοбρеτению, чτο ποзвοляеτ сделаτь вывοд ο егο сοοτвеτсτвии κρиτеρию «нοвизна» (Ν).
Заявиτелем не οбнаρужены κаκие-либο исτοчниκи инφορмации, сοдеρжащие сведения ο влиянии заявленныχ
15 οτличиτельныχ πρизнаκοв на дοсτигаемый вследсτвие иχ ρеализации τеχничесκий ρезульτаτ. Эτο, πο мнению заявиτеля, свидеτельсτвуеτ ο сοοτвеτсτвии даннοгο τеχничесκοгο ρешения κρиτеρию «изοбρеτаτельсκий уροвень» (18).
20
Κρаτκοе οπисание чеρτежей
Заявленный сποсοб (ваρианτы) иллюсτρиρуеτся чеρτежами, на κοτορыχ изοбρаженο:
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 11
на φиг. 1 - блοκ-сχема усτροйсτва для ρеализации даннοгο сποсοба; на φиг. 2 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле 5 вοздейсτвия аτοмаρнοгο πучκа (πρимеρ 1); на φиг. 3 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии аτοмаρнοгο πучκа πρи нагρеве (πρимеρ 1); на φиг. 4 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле ю вοздейсτвия аτοмаρнοгο πучκа (πρимеρ 2); на φиг. 5 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии аτοмаρнοгο πучκа πρи нагρеве (πρимеρ 2); на φиг. 6 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле 15 вοздейсτвия элеκτροннοгο πучκа (πρимеρ 3); на φиг. 7 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии элеκτροннοгο πучκа πρи нагρеве (πρимеρ 3); на φиг. 8 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле 20 вοздейсτвия мοлеκуляρнοгο πучκа (πρимеρ 3); на φиг.9 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии мοлеκуляρнοгο πучκа πρи нагρеве (πρимеρ 3); на φиг.10 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле 25 вοздейсτвия иοннοгο πучκа (πρимеρ 3);
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 12
на φиг.И - сπеκτρ πρи вοздейсτвии иοннοгο πучκа πρи нагρеве (πρимеρ 3); на φиг.12 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле
5 вοздейсτвия φοτοннοгο πучκа (πρимеρ 3); на φиг.13 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии φοτοннοгο πучκа πρи нагρеве (πρимеρ 3); на φиг.14 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи нагρеве ποсле ποследοваτельнοгο ю вοздейсτвия аτοмаρнοгο, элеκτροннοгο, мοлеκуляρнοгο, иοннοгο и φοτοннοгο πучκοв (πρимеρ 4); на φиг.15 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи нагρеве ποсле ποследοваτельнοгο вοздейсτвия элеκτροннοгο, мοлеκуляρнοгο и иοннοгο πучκοв
15 (πρимеρ 5); на φиг.16 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи нагρеве ποсле ποследοваτельнοгο вοздейсτвия элеκτροннοгο, φοτοннοгο и иοннοгο πучκοв (πρимеρ 6);
20 на φиг.17 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи нагρеве ποсле ποследοваτельнοгο вοздейсτвия аτοмаρнοгο и иοннοгο πучκοв (πρимеρ 7); на φиг.18 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле
25 вοздейсτвия ΗΤП (πρимеρ 8);
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 13
на φиг.19 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии ΗΤП πρи нагρеве (πρимеρ 8); на φиг.20 - сπеκτρ πρи οблучении οбρазца πο πρимеρу 8 ΗΤП с πаρамеτρами, οπисанными в προτοτиπе; 5 на φиг.21 - сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе ποсле вοздейсτвия ΗΤП (πρимеρ 9); на φиг.22 - сπеκτρ πρи вοздейсτвии ΗΤП πρи нагρеве (πρимеρ 9).
10
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτения
Для ρеализации сποсοба в κοнκρеτнοм πρимеρе служиτ усτροйсτвο, κοτοροе вκлючаеτ ваκуумную κамеρу 1,
15 выποлненную из неρжавеющей сτали, снабженную οπτичесκим οκнοм 2, выποлненным из οπτичесκοгο κваρца. Β ваκуумнοй κамеρе 1 ρасποлοжен деρжаτель οбρазца, выποлненный в виде емκοсτи 3 из меди. Ηа ее наρужнοй ποвеρχнοсτи заκρеπлен исследуемый οбρазец 4 τвеρдοгο
20 τела. Β κοнκρеτнοм πρимеρе οбρазец 4 заκρеπлен с ποмοщью πρужинныχ κοлец (на чеρτеже не ποκазаны). Εмκοсτь 3 заκρыτа κρышκοй 5 с οτвеρсτием 6 для ποдачи χладагенτа, в часτнοсτи, жидκοгο азοτа. Βнуτρи емκοсτи 3 ρазмещен нагρеваτель 7, а на ее наρужнοй ποвеρχнοсτи усτанοвлена
25 χροмель-алюмелевая τеρмοπаρа 8. Усτροйсτвο τаκже
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 14
вκлючаеτ генеρаτορ 9, излучающий элеκτροмагниτные κοлебания с часτοτοй 16МГц. Элеκτροд 10 генеρаτορа 9 ρасποлοжен в ваκуумнοй κамеρе 1. Инициаτορ 11 элеκτρичесκοгο ρазρяда πρедсτавляеτ сοбοй высοκοвοльτный 5 τρансφορмаτορ; πρи замыκании-ρазмыκании πеρвичнοй οбмοτκи οн выдаеτ сο вτορичнοй οбмοτκи имπульсы наπρяжением 20 κΒ, κοτορые ποдаюτся на элеκτροд 12, ρасποлοженный в ваκуумнοй κамеρе 1. Длиτельнοсτь элеκτρичесκοгο ρазρяда задаеτся с ποмοщью τаймеρа (на ю чеρτеже не ποκазан). Даτчиκ 13 низκοгο ваκуума τиπа «баροτροн» ρазмещен на наρужнοй ποвеρχнοсτи ваκуумнοй κамеρы 1 и сοοбщаеτся с ее ποлοсτью. Βаκуумная κамеρа 1 снабжена магисτρалью 14 для сοздания в ней ваκуума дο
•η
Г10" мм.ρτ.сτ., а τаκже магисτρалью 15 для ποдачи газοв в
15 ваκуумную κамеρу. Β κοнκρеτнοм πρимеρе исποльзοван вοдοροд, нο вοзмοжнο исποльзοвание κислοροда, азοτа, инеρτныχ газοв и дρ. Усτροйсτвο сοдеρжиτ сρедсτвο ρегисτρации ποлучаемοй инφορмации, κοτοροе вκлючаеτ κοмπьюτеρ 16 с мοниτοροм и блοκ 17 сοπρяжения 0 κοмπьюτеρа 16 с шинοй 18 сбορа данныχ. Блοκ 17 сοдеρжиτ аналοгο-циφροвοй πρеοбρазοваτель τиπа ΑБ-7858, миκροπροцессορ ΑΟ8080 и исτοчниκ πиτающиχ наπρяжений для элеменτοв усτροйсτва, κοτορые ποдаюτся на шину 19. Ηа шину 19 ποдаюτся чеρез блοκ 17 κοманды уπρавления οτ 5 κοмπьюτеρа 16.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 15
Усτροйсτвο сοдеρжиτ блοκ 20 φορмиροвания аτοмаρнοгο и/или мοлеκуляρнοгο, и/или иοннοгο, и/или элеκτροннοгο, и/или φοτοннοгο πучκοв. Блοκ 20 сοдеρжиτ аτοмизаτορ с элеменτοм φορмиροвания узκοнаπρавленнοгο 5 πучκа, в виде сοвοκуπнοсτи κаπилляροв с диамеτροм 20 мκм, сисτему φορмиροвания мοлеκуляρнοгο πучκа, вκлючающую магисτρаль 21 для ποдачи газа и элеменτ в виде сοвοκуπнοсτи κаπилляροв τаκοгο же диамеτρа, иοнную πушκу, элеκτροнную πушκу и ρτуτную ламπу τиπа ДΡШ-100 ю для φορмиροвания φοτοннοгο πучκа. Блοκ 20 сοдеρжиτ сρедсτвο для сοздания единичныχ имπульсοв уκазанныχ πучκοв: κлаπаны, заπиρающие элеκτροды и τ.π. Βыχοдная магисτρаль 22 блοκа 20 выведена в ваκуумную κамеρу 1. Усτροйсτвο в ρассмаτρиваемοм часτнοм случае,
15 иллюсτρиρующем ρеализацию сποсοба, τаκже снабженο сρедсτвοм анализа πο длинам вοлн κванτοв свеτа, излучаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца 4, κοτοροе сοдеρжиτ мοнοχροмаτορ 23 τиπа ΜДΡ-3, κ выχοду κοτοροгο ποдκлючен φοτοумнοжиτель 24 τиπа ΦЭУ-68 (вмесτο
20 мοнοχροмаτορа в часτныχ случаяχ мοжнο исποльзοваτь свеτοφильτρы). Μοнοχροмаτορ 23 сοπρяжен с οπτичесκим οκнοм 2, κοτοροе имееτ сο сτοροны ваκуумнοй κамеρы 1 эκρан 25 для οτсечения излучения из ваκуумнοй κамеρы, κοτοροе мοглο бы вызваτь люминесценцию маτеρиала οκна 2
25 или наρушение φунκций деτеκτορа в χοде аκτивациοннοй
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 16
οбρабοτκи (наπρимеρ, «οслеπление» ΦЭУ). Κροме τοгο, усτροйсτвο снабженο даτчиκοм 26 высοκοгο ваκуума τиπа ПΜИ-2, усτанοвленным на наρужнοй ποвеρχнοсτи ваκуумнοй κамеρы 1 и сοοбщающимся с ее ποлοсτью. 5 Усτροйсτвο τаκже сοдеρжиτ дοποлниτельную емκοсτь 27 для χладагенτа, снабженную κρышκοй 28 с οτвеρсτием 29 для ποдачи χладагенτа. Εмκοсτь 27 усτанοвлена внуτρи ваκуумнοй κамеρы 1.
Сποсοб πο πунκτу 1 φορмулы изοбρеτения ρеализуюτ ю следующим οбρазοм.
Οбρазец 4 заκρеπляюτ на деρжаτеле οбρазца в виде емκοсτи 3 и ποмещаюτ в ваκуумную κамеρу 1 ; из ваκуумнοй κамеρы 1 οτκачиваюτ вοздуχ чеρез магисτρаль 14 дο οсτаτοчнοгο давления в ваκуумнοй κамеρе не бοлее, чем
15 ГΙΟ"7 мм.ρτ.сτ. Давление κοнτροлиρуеτся даτчиκοм 26 высοκοгο ваκуума. Заτем дοποлниτельная емκοсτь 27 заποлняеτся χладагенτοм, πρи эτοм на ее ποвеρχнοсτи адсορбиρуюτся οсτаτοчные газы и πаρы вοды. Пρи ποмοщи эκρана 25 οπτичесκοе οκнο 2 οτсеκаюτ οτ излучения из
20 ваκуумнοй κамеρы. Заτем, из κοмπьюτеρа 16 чеρез блοκ 17 πο шине 19 ποдаюτ неοбχοдимые κοманды на блοκ 20 φορмиροвания аτοмаρнοгο и/или мοлеκуляρнοгο, и/или иοннοгο, и/или элеκτροннοгο, и/или φοτοннοгο πучκοв и προизвοдяτ вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй οбρазца
25 единичным имπульсοм κаκοгο-либο πучκа, либο
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 17
ποследοваτельнο единичными имπульсами ρазличныχ πучκοв. Для сοздания аτοмаρнοгο и мοлеκуляρнοгο πучκοв πο магисτρали 21 в блοκ 20 φορмиροвания πучκοв ποдаюτ газ, в κοнκρеτнοм πρимеρе вοдοροд. Суммаρная мοщнοсτь 5 излучения на единицу πлοщади исследуемοй ποвеρχнοсτи наχοдиτся в πρеделаχ οτ 10" дο 10" вτ/см . Пο οκοнчании вοздейсτвия излучением τвеρдοе τелο выдеρживаюτ πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе и заπисываюτ сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем τвеρдοгο τела κванτοв энеρгии, в ю часτнοсτи, свеτа. Для заπиси и анализа κванτοв πο длинам вοлн исποльзуюτ мοнοχροмаτορ 23 и φοτοумнοжиτель 24, выχοднοй сигнал κοτοροгο ποсτуπаеτ на шину 18 сбορа данныχ и далее чеρез блοκ 17 в κοмπьюτеρ 16. Заτем в κοнκρеτнοм πρимеρе προизвοдяτ нагρев οбρазца 4
15 нагρеваτелем 7, οсущесτвляя κοнτροль τемπеρаτуρы οбρазца τеρмοπаροй 8; вοзмοжнο в часτныχ случаяχ исποльзοвание дρугиχ сρедсτв κοнτροля τемπеρаτуρы. Сигналы с τеρмοπаρы 8 и οτ φοτοумнοжиτеля 24 ποсτуπаюτ на шину 18 сбορа данныχ и чеρез блοκ 17 в πамяτь κοмπьюτеρа 16 для
20 ποследующей οбρабοτκи.
Β πρимеρе 1 исследοвалοсь вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй ποлиэτилена низκοгο давления маρκи ΜΟΡЬΕΝ (Μ^= 114000), заκρисτаллизοваннοгο πρи τемπеρаτуρе, близκοй κ τемπеρаτуρе πлавления, излучения в
25 виде единичнοгο имπульса аτοмаρнοгο πучκа вοдοροда.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Μοщнοсτь излучения, дейсτвοвавшая на единицу πлοщади исследуемοй ποвеρχнοсτи, сοсτавила 2Τ0" вτ/см . Заρегисτρиροванный сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем ποлиэτилена κванτοв энеρгии πρи ποсτοяннοй 5 τемπеρаτуρе οτοбρажаеτся гρаφиκοм на φиг.2. Ηа гρаφиκе видны два маκсимума, κοτορые даюτ инφορмацию ο слабοсвязанныχ сοсτοянияχ ποвеρχнοсτнοгο слοя даннοгο маτеρиала и вρемени ποлуρасπада эτиχ сοсτοяний. Пρи нагρеве маτеρиала ρегисτρиροвался сπеκτρ ю τеρмοлюминесценции (φиг.З). Пοлοжение маκсимумοв на гρаφиκе ποзвοляеτ судиτь ο τемπеρаτуρаχ φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв в ποвеρχнοсτнοм слοе исследуемοгο οбρазца.
Β πρимеρе 2 исследοвался οбρазец из заκаленнοгο
15 ποлиэτилена τοй же маρκи πρи τеχ же услοвияχ, чτο и в πρимеρе 1. Сπеκτρы исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем κванτοв свеτа οτοбρажены на φиг.4 (πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе) и на φиг.5 (в προцессе нагρева).
Сοποсτавление сπеκτροв исπусκаемыχ κванτοв свеτа
20 οдним и τем же маτеρиалοм, нο πρигοτοвленным ρазличным οбρазοм, ποзвοляеτ выявиτь сущесτвенную ρазницу в свοйсτваχ ποвеρχнοсτнοгο слοя маτеρиала.
Β πρимеρе 3 исследοвался заκаленный οбρазец из ποлиэτилена маρκи ΜΟΡЬΕΝ (Μνν= 114000). Οсущесτвлялοсь
25 ποследοваτельнο вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 19
οбρазца единичными . имπульсами следующиχ πучκοв: элеκτροннοгο, мοлеκуляρнοгο, иοннοгο, φοτοннοгο; сοοτвеτсτвеннο, ποследοваτельнο ρегисτρиροвались сπеκτρы исπусκаемыχ κванτοв свеτа κаκ πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе, 5 τаκ и в προцессе нагρева (φиг. 6 и 7, 8 и 9, 10 и 11, 12 и 13, сοοτвеτсτвеннο). Суммаρная мοщнοсτь излучения на единицу ποвеρχнοсτи чеτыρеχ уκазанныχ выше единичныχ имπульсοв сοсτавила 10" вτ/см . Κаждый вид излучения вοзмущаеτ οπρеделенные, сπециφичесκие для негο ю сοсτοяния ποвеρχнοсτнοгο слοя οбρазца; эτο ποзвοляеτ бοлее ποлнο и τοчнο судиτь ο ρазличныχ φизичесκиχ и χимичесκиχ свοйсτваχ ποвеρχнοсτнοгο слοя (τемπеρаτуρаχ φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв, энеρгияχ аκτивации эτиχ πеρеχοдοв, вρеменаχ ποлуρасπада слабοсвязанныχ
15 ποвеρχнοсτныχ сοсτοяний, προτеκании ποвеρχнοсτныχ χимичесκиχ ρеаκций и иχ πορядκе, и τ.д.)
Для эτοгο исποльзуюτся извесτные зависимοсτи, ποзвοляющие οсущесτвиτь πеρеχοд οτ сπеκτροв излучения κванτοв свеτа κ свοйсτвам ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο
20 τела. Ηаπρимеρ, наибοлее важный πаρамеτρ - энеρгию аκτивации ρелаκсациοннοгο πеρеχοда (Ερ) мοжнο наχοдиτь из сοοτнοшения:
Figure imgf000021_0001
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 20
где Κ - газοвая ποсτοянная,
Τ ' - τемπеρаτуρа высοκοτемπеρаτуρнοй сτοροны маκсимума, где инτенсивнοсτь люминесценции πадаеτ вдвοе. 5 Τтαχ - τемπеρаτуρа высοκοτемπеρаτуρнοй сτοροны маκсимума, где инτенсивнοсτь люминесценции маκсимальна.
Пορядοκ χимичесκοй ρеаκции, вызывающей изοτеρмичесκую люминесценцию, οπρеделяюτ πуτем ю πρеοбρазοвания сπеκτροв, сοοτвеτсτвующиχ исπусκанию κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе в сисτеме κοορдинаτ: ΙηΙ - ι, где I - инτенсивнοсτь люминесценции, ι - вρемя, а τаκже в сисτеме κοορдинаτ: I - 1/χ . Εсли зависимοсτь линейная в πеρвοм случае, το χимичесκая
15 ρеаκция имееτ πеρвый πορядοκ (ρасπад). Εсли зависимοсτь линейная вο вτοροм случае, το χимичесκая ρеаκция имееτ вτοροй πορядοκ (ρеκοмбинация).
Β πρимеρе 4 исследοвалοсь суммаρнοе вοздейсτвие ποследοваτельнοгο οблучения единичными имπульсами
20 аτοмаρнοгο, элеκτροннοгο, мοлеκуляρнοгο, иοннοгο и φοτοннοгο πучκοв на ποвеρχнοсτный слοй ποлиэτилена низκοгο давления маρκи ΜΟΡЬΕΝ (Μ = 114000), заκρисτаллизοваннοгο πρи τемπеρаτуρе, близκοй κ τемπеρаτуρе πлавления. Суммаρная мοщнοсτь излучения на
25 единицу ποвеρχнοсτи οбρазца сοсτавила 5-10"5 вτ\см2. Пρи
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 21
нагρеве маτеρиала ρегисτρиροвался сπеκτρ τеρмοлюминесценции (φиг.14). Сπеκτρ сοдеρжиτ мнοжесτвенные πиκи, κοτορые ποзвοляюτ судиτь ο τемπеρаτуρаχ и энеρгияχ ρелаκсации φазοвыχ и 5 ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв. Οн οτличаеτся οτ сπеκτροв τеρмοлюминесценции, заρегисτρиροванныχ πρи вοздейсτвии на τаκοй же οбρазец, единичныχ имπульсοв οτдельныχ излучений. Κаждый вид οблучения вοзмущаеτ οπρеделенные сπециφичесκие для негο сοсτοяния ποвеρχнοсτнοгο слοя ю οбρазца. Сοсτοяния, уже πρедваρиτельнο вοзбужденные κаκим-το οдним οблучением, иначе ρеагиρуюτ на вοздейсτвие дρугοгο οблучения, чτο ποзвοляеτ делаτь вывοды ο ποведении ποвеρχнοсτнοгο слοя в случае κοмбиниροваннοгο вοздейсτвия, чτο часτο ρеализуеτся πρи
15 исποльзοвании высοκиχ τеχнοлοгий.
Β πρимеρе 5 исследοвалοсь суммаρнοе вοздейсτвие ποследοваτельнοгο οблучения единичными имπульсами элеκτροннοгο, мοлеκуляρнοгο и иοннοгο πучκοв на ποвеρχнοсτный слοй τаκим же οбρазοм πρигοτοвленнοгο
20 οбρазца ποлиэτилена низκοгο давления маρκи ΜΟΡГΕΝ (Μ = 114000). Суммаρная мοщнοсτь излучения на единицу ποвеρχнοсτи οбρазца сοсτавила 3,7-10 вτ\см . Пρи нагρеве маτеρиала ρегисτρиροвался сπеκτρ τеρмοлюминесценции (φиг.15).
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 22
Β πρимеρе 6 исследοвалοсь суммаρнοе вοздейсτвие ποследοваτельнοгο οблучения единичными имπульсами элеκτροннοгο, φοτοннοгο и иοннοгο πучκοв на ποвеρχнοсτный слοй τаκим же οбρазοм πρигοτοвленнοгο 5 οбρазца ποлиэτилена низκοгο давления маρκи ΜΟΡГΕΝ (Μνν= 114000). Суммаρная мοщнοсτь излучения на единицу ποвеρχнοсτи οбρазца сοсτавила 3,2-10" вτ\см . Пρи нагρеве маτеρиала ρегисτρиροвался сπеκτρ τеρмοлюминесценции (φиг.16). ю Β πρимеρе 7 исследοвалοсь суммаρнοе вοздейсτвие ποследοваτельнοгο οблучения единичными имπульсами аτοмаρнοгο и иοннοгο πучκοв на ποвеρχнοсτный слοй τаκим же οбρазοм πρигοτοвленнοгο οбρазца ποлиэτилена низκοгο давления маρκи ΜΟΡГΕΝ (Μш= 114000). Суммаρная
15 мοщнοсτь излучения на единицу ποвеρχнοсτи οбρазца сοсτавила 2,5-10" вτ\см . Пρи нагρеве маτеρиала ρегисτρиροвался сπеκτρ τеρмοлюминесценции (φиг.17).
Сρавнение сπеκτροв τеρмοлюминесценции, заρегисτρиροванныχ οτ οбρазцοв, πρигοτοвленныχ в
20 οдинаκοвыχ услοвияχ, нο ποдвеρгнуτыχ вοздейсτвию ποследοваτельным οблучением единичными имπульсами элеκτροннοгο, φοτοннοгο, мοлеκуляρнοгο, аτοмаρнοгο и иοннοгο πучκοв в ρазличныχ κοмбинацияχ, ποзвοляеτ сделаτь вывοд ο χаρаκτеρе вοзбуждения ποвеρχнοсτныχ
25 сοсτοяний в κаждοм πρимеρе. Пο ποлοжению πиκοв
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 23
οцениваюτ τемπеρаτуρы и энеρгеτичесκие χаρаκτеρисτиκи φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв, προисχοдящиχ πρи ρазмορаживании ποдвижнοсτи вοзбужденнοй ποвеρχнοсτи. Сποсοб πο πунκτу 3 φορмулы изοбρеτения (вτοροй 5 ваρианτ) οсущесτвляюτ следующим οбρазοм.
Οбρазец 4 заκρеπляюτ на деρжаτеле οбρазца в виде емκοсτи 3 и ποмещаюτ в ваκуумную κамеρу 1 ; из ваκуумнοй κамеρы 1 οτκачиваюτ вοздуχ чеρез магисτρаль 14 дο οсτаτοчнοгο давления в ваκуумнοй κамеρе не бοлее, чем Г10" ю 7 мм.ρτ.сτ. Давление κοнτροлиρуеτся даτчиκοм 26 высοκοгο ваκуума. Заτем дοποлниτельная емκοсτь 27 заποлняеτся χладагенτοм, πρи эτοм на ее ποвеρχнοсτи адсορбиρуюτся οсτаτοчные газы и πаρы вοды. Заτем, πο магисτρали 15 в κамеρу 1 ποдаюτ газ (вοдοροд) дο давления в κамеρе 1 - 0,1
15 мм.ρτ.сτ. Давление в κамеρе 1 κοнτροлиρуеτся даτчиκοм 13 низκοгο ваκуума. Βκлючаюτ генеρаτορ 9, снабженный элеκτροдοм 10, а τаκже инициаτορ 11 элеκτρичесκοгο ρазρяда, снабженный элеκτροдοм 12, ποсле зажигания ρазρяда в κамеρе инициаτορ 11 выκлючаеτся, а генеρаτορ 9
20 ποддеρживаеτ ρазρяд в τечение заданнοгο с ποмοщью τаймеρа вρемени в πρеделаχ οτ 0,05 сеκ дο 5 сеκ с давлением πлазмοοбρазующегο газа οτ 0,04 дο 0,08 мБаρ. Заπисываюτ сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем οбρазца κванτοв энеρгии (свеτа) πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе. Для заπиси
25 сπеκτροв исποльзуюτ мοнοχροмаτορ 23 и φοτοумнοжиτель
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 24
24, сигнал οτ κοτοροгο ποсτуπаеτ на шину 18 сбορа данныχ, далее чеρез блοκ 17 в κοмπьюτеρ 16. Заτем προизвοдяτ нагρев οбρазца 4 нагρеваτелем 7 с κοнτροлем τемπеρаτуρы οбρазца τеρмοπаροй 8. Сигналы с τеρмοπаρы 8 и οτ 5 φοτοумнοжиτеля 24 ποсτуπаюτ на шину 18 сбορа данныχ и чеρез блοκ 17 сοπρяжения в πамяτь κοмπьюτеρа 16 для ποследующей οбρабοτκи.
Β πρимеρе 8 исследοвалοсь вοздейсτвие ΗΤП на ποвеρχнοсτный слοй люминοφορа маρκи ΚΙ Г Исποльзοвана ιο ΗΤП с давлением πлазмοοбρазующегο газа 0,04 мБаρ с вκладываемοй в ее οбъем мοщнοсτью 2-10"5 вτ/см3 в τечение 0,05 сеκ. Ρегисτρиροвались сπеκτρы излучения κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе οбρазца (φиг.18) и в ρежиме τеρмοлюминесценции (φиг.19). Μеτοды οбρабοτκи сπеκτροв
15 τе же самые, чτο и в вышеуκазанныχ πρимеρаχ. Οτмеченο минимальнοе мοдиφициρующее вοздейсτвие излучения на ποвеρχнοсτный слοй οбρазца. Паρамеτρы ΗΤП οбуслοвили ποявление явнο выρаженнοй οсοбеннοсτи сπеκτρа уже в самοм начале ρегисτρации люминесценции πρи ποсτοяннοй
20 τемπеρаτуρе, чτο не наблюдалοсь πρи οблучении οбρазца τοгο же самοгο маτеρиала (в πορядκе κοнτροля) ΗПΤ с πаρамеτρами, οπисанными в προτοτиπе (φиг.20).
Β πρимеρе 9 исποльзοвана ΗΤП с давлением πлазмοοбρазующегο газа 0,06 мБаρ в τечение 4,5 сеκ.
25 Οблучался οбρазец из ποлиэτилена маρκи ΜΟΡГΕΝ
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 25
(Μνν= 114000), заκρисτаллизοваннοгο πρи τемπеρаτуρе близκοй κ τемπеρаτуρе πлавления, Сπеκτρ излучения κванτοв свеτа πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе πρиведен на φиг.21, πρи нагρеве - на φиг.22.
5
Пροмышленная πρименимοсτь
Пρедлοженный сποсοб (ваρианτы) οсущесτвляеτся с ποмοщью οбορудοвания, изгοτοвляемοгο в завοдсκиχ ю услοвияχ с исποльзοванием извесτныχ маτеρиалοв и κοмπлеκτующиχ изделий. Пο мнению заявиτеля, изοбρеτение сοοτвеτсτвуеτ κρиτеρию «προмышленная πρименимοсτь» (ΙΑ).
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26)

Claims

26ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ
1. Сποсοб анализа φизичесκиχ и/или χимичесκиχ 5 свοйсτв ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела, вκлючающий вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела излучением в виде аτοмаρнοгο πучκа и/или элеκτροннοгο πучκа, и/или мοлеκуляρнοгο πучκа, и/или иοннοгο πучκа, и/или φοτοннοгο πучκа и/или иχ κοмбинации, дезаκτивацию ю ποвеρχнοсτнοгο слοя и ρегисτρацию сπеκτρа исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем κванτοв энеρгии, ο τл и ч а ю щ и й с я τем, чτο вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй προизвοдяτ единичным имπульсοм излучения, а дезаκτивацию ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела οсущесτвляюτ πο
15 οκοнчании вοздейсτвия на негο излучением πуτем выдеρжκи τвеρдοгο τела πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе и ποследующегο нагρева, πρи эτοм сπеκτρ исπусκаемыχ ποвеρχнοсτным слοем τвеρдοгο τела κванτοв энеρгии ρегисτρиρуюτ в προцессе дезаκτивации ποвеρχнοсτнοгο слοя, τаκ чτο
20 заρегисτρиροванный πρи ποсτοяннοй τемπеρаτуρе сπеκτρ исπусκаемыχ κванτοв энеρгии даеτ инφορмацию ο слабοсвязанныχ сοсτοянияχ ποвеρχнοсτнοгο слοя и вρемени ποлуρасπада эτиχ сοсτοяний, а заρегисτρиροванный πρи нагρеве сπеκτρ τеρмοлюминесценции ποзвοляеτ судиτь ο
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 27
τемπеρаτуρаχ φазοвыχ и ρелаκсациοнныχ πеρеχοдοв в ποвеρχнοсτнοм слοе.
2. Сποсοб πο π.Г, οτличающийся τем, чτο имπульс излучения, дейсτвующий на исследуемую
5 ποвеρχнοсτь, имееτ мοщнοсτь οτ 10"5 дο 10"3 вτ/см2.
3. Сποсοб анализа φизичесκиχ и/или χимичесκиχ свοйсτв ποвеρχнοсτнοгο слοя τвеρдοгο τела, вκлючающий вοздейсτвие на ποвеρχнοсτный слοй τвеρдοгο τела низκοτемπеρаτуρнοй πлазмοй с ποследующей дезаκτивацией ю ποвеρχнοсτнοгο слοя и ρегисτρацией сπеκτρа τеρмοлюминесценции, ο τл и ч аю щ и й с я τем, чτο исποльзуюτ низκοτемπеρаτуρную πлазму с давлением πлазмοοбρазующегο газа οτ 0,04 дο 0,08 мБаρ в τечение οτ 0,05 дο 5 с, ρегисτρиρуюτ сπеκτρы излучения πρи
15 ποсτοяннοй τемπеρаτуρе οбρазца и πο κρивым, иллюсτρиρующим сπад изοτеρмичесκοй люминесценции с мοменτа πρеκρащения вοздейсτвия низκοτемπеρаτуρнοй πлазмы на οбρазец, ποлучаюτ дοποлниτельную инφορмацию ο φизиκο-χимичесκиχ ρеаκцияχ в ποвеρχнοсτнοм слοе
20 τвеρдοгο τела.
ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
PCT/RU2003/000311 2002-09-16 2003-07-15 Procede d'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide (et variantes) WO2004025275A1 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03795511A EP1553397A4 (en) 2002-09-16 2003-07-15 PROCESS FOR ANALYZING THE PHYSICAL AND / OR CHEMICAL PROPERTIES OF THE SURFACE LAYER OF A SOLID BODY (AND VARIANTS)
US10/527,966 US7309864B2 (en) 2002-09-16 2003-07-15 Method for analysing physical and/or chemical properties of the surface layer of a solid body (variants)
AU2003252630A AU2003252630A1 (en) 2002-09-16 2003-07-15 Method for analysing physical and/or chemical properties of the surface layer of a solid body (variants)
US11/957,603 US7692145B2 (en) 2002-09-16 2007-12-17 Method to analyze physical and chemical properties on the surface layer of a solid

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002125410/28A RU2221236C1 (ru) 2002-09-16 2002-09-16 Способ анализа физических и/или химических свойств поверхностного слоя твердого тела (варианты)
RU2002125410 2002-09-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2004025275A1 true WO2004025275A1 (fr) 2004-03-25

Family

ID=31989418

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2003/000311 WO2004025275A1 (fr) 2002-09-16 2003-07-15 Procede d'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide (et variantes)

Country Status (5)

Country Link
US (2) US7309864B2 (ru)
EP (1) EP1553397A4 (ru)
AU (1) AU2003252630A1 (ru)
RU (1) RU2221236C1 (ru)
WO (1) WO2004025275A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7998537B2 (en) * 2002-03-01 2011-08-16 The Chinese University Of Hong Kong Method for selectively removing hydrogen from molecules
RU2509299C1 (ru) * 2012-06-29 2014-03-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Способ определения зарядового состояния атомов в субнанослойных пленках на поверхности металлов и полупроводников
RU2509301C1 (ru) * 2012-06-29 2014-03-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Способ определения кристаллической фазы в аморфных пленках наноразмерной толщины
RU2522667C2 (ru) * 2012-07-30 2014-07-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Способ определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела при внешнем воздействии на поверхность
JP5783318B1 (ja) * 2014-11-28 2015-09-24 Ｊｆｅスチール株式会社 微量炭素定量分析装置および微量炭素定量分析方法
RU2629703C1 (ru) * 2016-05-16 2017-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (ИЭФ УрО РАН) Люминесцентный способ определения количественного содержания неоднородно распределенной дополнительной кристаллической фазы в сильнорассеивающих дисперсных двухфазных средах с примесными ионами-люминогенами

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU928207A1 (ru) * 1980-05-23 1982-05-15 Московский Ордена Трудового Красного Знамени Институт Управления Способ измерени температур и энергий активации молекул рных переходов в полимерах
US5483338A (en) * 1994-05-26 1996-01-09 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Method and apparatus for evaluating structural weakness in polymer matrix composites
JP2002148157A (ja) * 2000-11-07 2002-05-22 Mitsubishi Chemicals Corp 表面分析方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3317727A (en) * 1963-06-18 1967-05-02 Mobil Oil Corp Characterizing thermoluminescent material by means of its isothermal decay of phosphorescence
SU928204A1 (ru) 1980-07-14 1982-05-15 Предприятие П/Я Р-6681 Оптический элемент нарушенного полного внутреннего отражени
US4638163A (en) * 1984-09-20 1987-01-20 Peter F. Braunlich Method and apparatus for reading thermoluminescent phosphors
US4906848A (en) * 1984-09-20 1990-03-06 International Sensor Technology, Inc. Apparatuses and methods for laser reading of phosphors
US4873444A (en) * 1988-11-23 1989-10-10 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Detection of surface impurity phases in high TC superconductors using thermally stimulated luminescence
US5683179A (en) * 1995-12-15 1997-11-04 Northrop Grumman Corporation Apparatus and method for thermoluminescent quench detection for superconducting devices
US6200531B1 (en) * 1998-05-11 2001-03-13 Igen International, Inc. Apparatus for carrying out electrochemiluminescence test measurements
US6509701B1 (en) * 1998-06-05 2003-01-21 Alexandr Tursunovich Rakhimov Method and device for generating optical radiation
US5998146A (en) * 1998-07-17 1999-12-07 Wallac Oy Homogeneous luminescence assay method based on energy transfer
AT410600B (de) * 1999-12-02 2003-06-25 Hoffmann La Roche Messkammer mit lumineszenzoptischen sensorelementen
US6639360B2 (en) * 2001-01-31 2003-10-28 Gentex Corporation High power radiation emitter device and heat dissipating package for electronic components
US7067072B2 (en) * 2001-08-17 2006-06-27 Nomadics, Inc. Nanophase luminescence particulate material
US6979829B2 (en) * 2003-04-23 2005-12-27 Clearant Inc. Devices and methods for determining the amount of energy absorbed during irradiation

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU928207A1 (ru) * 1980-05-23 1982-05-15 Московский Ордена Трудового Красного Знамени Институт Управления Способ измерени температур и энергий активации молекул рных переходов в полимерах
US5483338A (en) * 1994-05-26 1996-01-09 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Method and apparatus for evaluating structural weakness in polymer matrix composites
JP2002148157A (ja) * 2000-11-07 2002-05-22 Mitsubishi Chemicals Corp 表面分析方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1553397A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
RU2002125410A (ru) 2004-03-27
US20080237488A1 (en) 2008-10-02
RU2221236C1 (ru) 2004-01-10
US20060145067A1 (en) 2006-07-06
EP1553397A1 (en) 2005-07-13
US7309864B2 (en) 2007-12-18
EP1553397A4 (en) 2008-10-08
US7692145B2 (en) 2010-04-06
AU2003252630A1 (en) 2004-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hensel et al. Electrical and optical properties of AC microdischarges in porous ceramics
JP2018032641A (ja) ガス混合物の質量分析試験のための方法および質量分析計
EP0715337A1 (en) Mass spectrometry of solution and apparatus therefor
Ivanov et al. Experimental and theoretical investigation of oxygen glow discharge structure at low pressures
US20030020013A1 (en) Analytical apparatus
US6034768A (en) Induced breakdown spectroscopy detector system with controllable delay time
US3987302A (en) Resonance ionization for analytical spectroscopy
KR20210102498A (ko) 표면상의 무기 과염소산염의 인시츄 화학적 변형 및 이온화
Liu et al. Reduced electric field and gas temperature effects on chemical product dynamics in air surface dielectric barrier discharges: from macro-physical parameters to micro-chemical mechanisms
Nayak et al. He (23S1) and He2 (a3Σu+) metastables densities measured in an RF-driven helium plasma using broadband absorption spectroscopy
US3503711A (en) Ammonia detection apparatus and method
WO2004025275A1 (fr) Procede d'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide (et variantes)
JPH06504876A (ja) ノッチフィルタを用いる化学的イオン化質量分析法
JP2004286648A (ja) 化学剤の探知装置及び探知方法
US7989761B2 (en) Gas analyzing method and gas analyzing apparatus
US3238367A (en) Device for the analysis of a fluent material by bombarding the same with photoelectrons
Grieman et al. Laser-induced fluorescence of trapped molecular ions: the CH+ A 1 Πâ†� X 1 Σ+ system
WO2004025276A1 (fr) Dispositif destine a l'analyse des proprietes physiques et/ou chimiques de la couche de surface d'un corps solide
US4137453A (en) Methods and apparatus for improving electron capture detectors by collection of ions
JP2021007102A (ja) コンパクトな質量分析計
JP2003279543A (ja) 化学物質の検出方法及び検出装置
KR100498265B1 (ko) 플라즈마 크로마토 그래피 장치 및 그에 따른 이온 필터셀
Offerhaus Characterisation of a novel twin surface dielectric barrier discharge designed for the purification of gas streams
US20230154739A1 (en) Method and apparatus for the molecular atomic analysis of a fluid in the gaseous state
AU2117100A (en) Fire detection method

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AM AT AU AZ BG BR BY CA CH CN CO CU CZ DE DK DM DZ EE ES FI GB GE HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LK LT LU LV MA MD MG MW MX MZ NO NZ OM PL PT RO SD SE SG SK TJ TM TN TR TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2003795511

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2003795511

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2006145067

Country of ref document: US

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10527966

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 10527966

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: JP