WO2002029867A1 - Procede de correction de faisceau electronique et systeme d'exposition a faisceaux electroniques - Google Patents

Procede de correction de faisceau electronique et systeme d'exposition a faisceaux electroniques Download PDF

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WO2002029867A1
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Shinichi Hamaguchi
Hiroshi Yasuda
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Abstract

La présente invention concerne un procédé permettant de corriger la position d'irradiation d'une pluralité de faisceaux électroniques utilisant une pluralité de repères. Ce procédé consiste à détecter la position d'une pluralité de repères par rapport à la position d'irradiation d'un faisceau électronique par l'irradiation de la pluralité des repères avec un des faisceaux de la pluralité de faisceaux électroniques, à détecter les positions d'irradiation d'une pluralité de faisceaux électroniques par rapport à un repère par l'irradiation d'un des repères de la pluralité de repères avec la pluralité de faisceaux électroniques, et à calculer des valeurs de façon à corriger les positions d'irradiation de la pluralité de faisceaux électroniques à partir des positions détectées de la pluralité de repères et des positions d'irradiation détectées de la pluralité de repères.
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