WO2001056706A1 - Device for coating the inner surface of a hollow body - Google Patents

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WO2001056706A1
WO2001056706A1 PCT/EP2000/013075 EP0013075W WO0156706A1 WO 2001056706 A1 WO2001056706 A1 WO 2001056706A1 EP 0013075 W EP0013075 W EP 0013075W WO 0156706 A1 WO0156706 A1 WO 0156706A1
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WO
WIPO (PCT)
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hollow body
pipe
exhaust pipe
neck
exhaust
Prior art date
Application number
PCT/EP2000/013075
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Hans-Peter Kabisch
Rodney Moore
Original Assignee
Tetra Laval Holdings & Finance S.A.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tetra Laval Holdings & Finance S.A. filed Critical Tetra Laval Holdings & Finance S.A.
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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates

Definitions

  • the invention relates to a device for coating the inner surface of a hollow body with an opening on an elongated neck by depositing at least one reaction product on this surface, the reaction product being formed by the reaction of a gas mixture, with at least one feed tube which can be fitted centrally in the neck and the opening for process gas and with at least one exhaust pipe.
  • hollow bodies made of plastic are used as packaging, for example in the food sector and in the medical field, because they can be easily produced and handled and are also inexpensive.
  • low-molecular gas such as oxygen and carbon dioxide
  • low-molecular organic compounds can also penetrate the plastic. As a result, drinks can lose their taste and quality.
  • process gas is introduced into the hollow body by means of the feed pipe, and after the chemical process has ended, the exhaust gases are drawn off through the neck of the hollow body.
  • the layer deposited on the inner surface of the hollow body is of different thickness depending on the shape of the hollow body. If, for example, you coated hollow bodies with a relatively long neck, as is common with some beer bottles, the layer thickness along the neck, so that the barrier properties were no longer given with a too thin layer thickness.
  • the object of the invention is to improve a device of the type mentioned in the introduction in such a way that the thickness of the layer on the container wall can be set to the same or different at different points.
  • the exhaust pipe attached outside the hollow body is connected to at least one exhaust pipe which, in the operating position of the hollow body, projects through its opening, through its closure region and into the neck and in that the open, inner end of the at least one exhaust pipe outside the closure area comes to lie at the height of the longitudinal extent of the hollow body at which the cross section of the hollow body is larger than the cross section of the closure area.
  • Closure region is understood to mean the essentially annular wall region which adjoins the opening of the hollow body and which is provided for receiving a sealing and / or protective cap. This can be a ring for receiving a crown cork, or the closure area can extend a little in the longitudinal direction of the hollow body and carry an external thread, onto which a protective and / or sealing cap is screwed.
  • the hollow body is a bottle-like body, which is otherwise closed except for the opening located at the outer end of the neck, from which opening to the main part of the hollow body a neck connects behind the closure region.
  • Its shape can be roughly cylindrical or conical.
  • the invention is based on the knowledge that the exhaust gas flow inhibits the separation of the reaction product in the neck and closure area and at least partially prevents it when the exhaust gas has to flow through the neck and closure area in order to reach the exhaust pipe attached outside the hollow body. From there, the exhaust gas is then extracted further. With the inventive idea, a measure has been taken to prevent the exhaust gas flows from flowing along the inner surface of the neck and / or closure area of the hollow body.
  • This effect is achieved by the at least one new exhaust pipe, which is connected to the exhaust pipe outside the hollow body, but which projects from this connection point outside the hollow body through its opening, through its closure area and in its neck.
  • This new exhaust pipe extends parallel to the feed pipe and can be inserted together with this into the hollow body in order to achieve a trouble-free filling of the hollow body with the desired gas mixture, to ensure the separation of the desired reaction product and to remove the exhaust gas through the neck and the opening of the hollow body to be removed from the outside in such a way that the reaction products can also separate on the inner walls of the neck and, if appropriate, the closure area, in order to provide a layer on the wall of the hollow body which is more or less thick depending on the parameters set.
  • the measure contributes significantly to this effect, namely that the inner end of the exhaust pipe comes to rest in the neck area.
  • a certain area of the longitudinal extent of the hollow body is meant, possibly even at the transition to the main part of the hollow body or in the main part of the hollow body, so that the exhaust gases are sucked into the exhaust pipe there and then close to the feed pipe at a distance from the more or less coaxial wall of the hollow body are discharged.
  • the entire ring area on the inner surface of the neck and possibly also the closure area is free of flowing, swirling and flowing process gases.
  • the process gas can thus be deposited on the inner surfaces at rest.
  • the exhaust pipe extends closed through the closure area and has its open inner end or a suction opening in a certain height range. This height is defined by the fact that the cross section of the hollow body at this height is larger than the cross section of the closure region.
  • the pump is pumped inside the hollow body.
  • the feed pipe for process gas has a smaller first diameter approximately in the area of the neck of the hollow body than further inside the hollow body, and the exhaust pipe is guided in the area of the smaller first diameter parallel to the feed pipe and outside of it close to it ,
  • the inside diameter of the neck of a hollow body is smaller than the inside diameter of the main part of the hollow body.
  • the diameter of the feed tube is reduced in this first region with the smaller first diameter.
  • the annular space around this first length region of the feed tube thus has a larger cross section, so that the reaction products can move better there and can deposit in larger quantities on the inner surface of the hollow body.
  • This approximately frustoconical or step-shaped transition will be arranged in the direction of the longitudinal extension of the hollow body at such a height within the neck or further inward that the above-mentioned effect is achieved, after which the process gas and the reaction product have good access and easy deposition to the coating on the inner surface in the neck area. It is advisable not to arrange this transition at the narrowest point, for example in the closure area. Therefore, the exhaust pipe ends with its inner part in the first length range of the feed pipe, where this has the smaller first diameter.
  • This position can be close to the transition mentioned, but can also be at a distance from the transition, provided that the above-mentioned condition is always met that the height position of the open inner end of the exhaust pipe or its suction opening is where the cross section of the hollow body is larger than that of the closure area.
  • the feed tube is a hollow tube which is closed except for outlet holes, the first length region of which with the smaller first diameter has at least one, preferably 4-10 and particularly preferably 2 gas outlet holes.
  • a higher pressure can prevail in the feed pipe for process gas, with the effect that the process gas also exits the feed pipe into the hollow body.
  • the thicker, inner area of the feed pipe with the larger second diameter there are gas outlet holes distributed around the circumference, but at the inner rear end of this feed pipe a cap is provided which is either completely closed or has a few gas outlet holes to ensure that the jet of the process gas also comes into the rearmost corners or areas of the hollow body to be coated.
  • the number of gas outlet holes in the inner thicker area of the feed pipe is larger than the number of gas outlet holes in the first length area with the smaller diameter. Good test results were achieved with only two gas outlet holes in this first length region of the feed pipe, ie a sufficiently thick coating was achieved in the neck region of a hollow body.
  • the exit jets from the inner, thicker part of the feed pipe are longer, more directed and transport larger quantities of gas if the rear end of the feed pipe is closed by the cap mentioned, even if there are few exit holes there, for example four holes in a frustoconical surface.
  • Another favorable embodiment of the invention is characterized in that the inner end of the exhaust pipe comes to rest on the inner end of the feed pipe.
  • the exhaust pipe next to the supply pipe then projects as far into the interior of the hollow body to be coated as the supply pipe itself.
  • the position with the greatest suction effect is then also outside the closure area, but then no longer within the neck with the result that exhaust gases from the neck and / or closure area are only sucked inwards into the hollow body and are discharged from there via the exhaust pipes.
  • This guidance of exhaust gases is exactly the opposite of that of the known device, in which only one exhaust gas line was provided outside the hollow body.
  • Another and also inexpensive embodiment of the invention can be achieved if the exhaust pipe is attached to the inside of the supply pipe at the level of the thicker area of the supply pipe lying further inside in the hollow body and the open, inner end of the exhaust pipe is attached outside the supply pipe.
  • the exhaust pipe continues to run outside the same in the first length range with the smaller first diameter of the feed pipe.
  • the exhaust pipe is guided in the thicker part of the supply pipe inside.
  • the open, inner end of the exhaust pipe must be connected to the space outside the supply pipe in order to ensure the desired extraction. Therefore, the inner end of the exhaust pipe is attached outside the supply pipe.
  • the exhaust pipe is guided in front at the outside in parallel in the first length region of the supply pipe and the open, inner end of the exhaust pipe is drawn to the inner end of the supply pipe, then the exhaust gas is sucked in the area of the inner end of the supply pipe in Hollow body inside and leads it out inside the thicker area of the feed pipe parallel to the front.
  • the exhaust pipe leaves the feed pipe in the area of the transition mentioned, in order to then jointly leave the hollow body at the front next to the feed pipe.
  • the position of the suction openings takes into account the symmetry of the hollow body. It is possible, if a single suction pipe with only one opening, namely the open inner end of the same, is used to arrange this suction opening eccentrically. However, it is particularly preferred if this suction opening or the open, inner end of the suction pipe lies centrally on the longitudinal central axis of the hollow body. Alternatively, the use of several suction openings is described above. If one chooses an even number of suction tubes, possibly even an even number of suction openings, then it is preferred if these are arranged symmetrically with respect to the hollow body.
  • the exhaust pipe at least partially runs around the feed pipe in its first length region with the smaller first diameter and the exhaust pipe has at least one suction opening in its circulation region. It is sufficient if a single exhaust pipe is guided in parallel outside the first length range of the feed pipe, the inner end of which is snake-like For example, feed tube wraps in the vicinity of the transition, a number of suction openings arranged more or less symmetrically to the hollow body being arranged radially outward. These suction openings are then to be understood in the sense of the open, inner end of the suction pipe. The area of the suction opening is then equal to the sum of the areas of the suction openings.
  • the exhaust pipe can also be designed flexibly by arranging it in the manner of a hose and also holding it on the first length region of the supply pipe with the smaller diameter.
  • FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of a feed pipe with four discharge pipes leading downwards to the front,
  • FIG. 2 shows a cross-sectional view of a feed pipe for process gas with exhaust pipes attached below at the front, which are located in a hollow body, the entire arrangement being held by a base plate,
  • FIG. 3 shows a cross-sectional view through FIG. 2 along the section line III-III
  • FIG. 4 shows a view similar to FIG. 1, but showing another embodiment in which the exhaust pipes extend to the rear upper (inner) end of the supply pipe,
  • FIG. 5 shows a side view of the embodiment in FIG. 4,
  • FIG. 6 shows a cross-sectional view through a further different embodiment, in which only a single exhaust pipe is provided.
  • FIG. 7 shows another embodiment in a similar representation to FIGS. 1 and 4 (in perspective), the exhaust pipe rotating around the feed pipe in the region of the transition of the feed pipe.
  • FIG. 2 shows a bottle-like hollow body 1 with a bottom 2, a neck area 3 and a closure area 4 with an opening 5.
  • the inner surface 6 of this hollow body 1 is to be coated by depositing a reaction product.
  • the reaction product is created by the chemical reaction of a gas mixture that is a process gas.
  • This process gas is fed through a feed pipe 7 into the interior of the hollow body 1 via the gas outlet holes 8, 8 ', the residual or exhaust gas being discharged via an exhaust pipe 9.
  • a base plate 10 FIG. 2
  • a bushing 11 provided ring holder 12 attached.
  • this ring receptacle 12 is a stepped foot 13, which is also attached to the base plate.
  • the foot 13 holds the feed tube, generally designated 7, via a support flange 14. Also in the other drawings, this feed pipe is generally designated 7 and can be described particularly well with reference to FIG. 1. Except for the gas outlet holes 8, 8 ', the feed tube 7 is an approximately cylindrical hollow tube with a first length range 15 with the length I and a second length range 16 with the length L, the second length range 16 being longer than the first length range 15 In both areas there is a step-shaped transition 17 which, by means of a similar support flange 17 ', creates the connection between the two length areas 15 and 16 of the feed pipe 7 as the front lower support flange 14 from the foot to the first length area 15 of the feed pipe 7.
  • the first length area 15 has a smaller diameter d (FIGS. 5 and 7) than the second length region 16 with the diameter D. d is smaller than D.
  • the feed tube 7 is closed by a cap 18 at its inner, rear or end shown in the drawings, which is provided with only four gas outlet openings 8 in the inclined surface.
  • each exhaust pipe 19 has an open, inner end 20.
  • the four exhaust pipes 19 run essentially over the entire first length region 15 of the feed pipe 7 parallel to it outside and closely adjacent to it. This makes it possible to push the feed pipe together with the four exhaust pipes 19 through the closure area 4 with the opening 5 of the hollow body 1 inside, although the relative movement is reversed during operation.
  • the hollow body 1 is namely put with its closure region 4 at the front or bottom over the feed tube 7 and inserted into a recess 11 of the ring receptacle 12 and held there. The operating position shown in FIG. 2 is then reached.
  • Process gas can be inserted according to arrow 21 from the front down into the feed pipe 7, pumped out through the gas outlet openings 8 and 8 'and pressed into the interior of the hollow body 1, from which exhaust gases after the chemical reaction enter the open inner end 20 of the exhaust pipes 19 and be sucked outwards according to arrows 22 and 23.
  • the open inner end 20 of each of the four exhaust pipes 19 comes to lie outside the closure region 4, namely in FIG. 2 at a higher level of the longitudinal extent of the hollow body 1.
  • This height is in the vicinity of the transition 17 between the first length region 15 of the feed pipe 7 and its second length region 16.
  • This region between the closure region 4 of the hollow body 1 and its rear, thicker main part is the neck 3.
  • the open, inner end 20 of the exhaust pipes 19 lies at a height slightly below the section line III-III.
  • map recognizes that the cross section Qi of the hollow body 1 is equal to the area within the circle 1, minus the five inner circular areas. This cross section Qi is larger in the region of the neck 3 than the cross section Q 2 of the closure region 4, which cannot be seen in FIG. 3.
  • the inner end 20 of the exhaust pipe 19 comes to lie at the inner end (in the region of the cap 18 closing the supply pipe 7) of the supply pipe 7. Nevertheless, one can also differentiate here between the embodiments according to FIGS. 4 and 5 on the one hand and that according to FIG. 6 on the other hand.
  • FIGS. 4 and 5 show how, in turn, four exhaust pipes 19 are arranged symmetrically around the feed pipe 7 in such a way that they run parallel to the feed pipe just outside the feed pipe. After leaving the first length region 15, they follow the transition 17 on the outside at the outside, and then run along the outside along the second length region 16 with the larger diameter D.
  • FIG. 6 there is only one exhaust pipe 19. It runs from the bottom below, similarly to the other embodiments, to the transition 17. There, the exhaust pipe 19 is passed through the supply pipe 7 in its second length region 16 such that the Exhaust pipe 19 runs in the second length region 16 of the supply pipe 7 with the larger diameter D centrally and parallel to it, until the exhaust pipe 19 passes through the cap 18 at the top, so that the inner end 20 of the exhaust pipe again connects to the interior of the hollow body 1 can come.

Abstract

The invention relates to a device for coating the inner surface (6) of a hollow body (1) which has an opening (5) on a long neck (3), by depositing at least one reaction product on said surface (6). The reaction product is produced by reacting a gas mixture. The device comprises at least one delivery tube (7) for process gas which can be mounted centrally in the neck (3) and the opening (5); and at least one waste gas line (9). The invention provides that in order to be able to adjust the thickness of the layer on the container wall equally or inequally in different places, the waste gas line (9) mounted outside the hollow body (1) is connected to at least one waste gas pipe (19) which, in the operating position of the hollow body (1, figure 2), protrudes through the opening (5) of said hollow body, through its closing area (4) and into its neck. The open, inner end (20) of the at least one waste gas pipe (9) comes to rest beyond the closing area (4), at the level of the longitudinal extension of the hollow body (1) where the cross-section of said hollow body (1) is greater than the cross-section of the closing area (4).

Description

Vorrichtung zum Beschichten der inneren Oberfläche eines Hohlkörpers Device for coating the inner surface of a hollow body
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten der inneren Oberfläche eines Hohlkörpers mit einer Öffnung an einem länglichen Hals mittels Abscheiden wenigstens eines Reaktionsproduktes auf diese Oberfläche, wobei das Reaktionsprodukt durch die Reaktion eines Gasgemisches entsteht, mit wenigstens einem zentrisch in dem Hals und der Öffnung anbringbaren Zuführrohr für Prozeßgas und mit wenigstens einer Abgasleitung.The invention relates to a device for coating the inner surface of a hollow body with an opening on an elongated neck by depositing at least one reaction product on this surface, the reaction product being formed by the reaction of a gas mixture, with at least one feed tube which can be fitted centrally in the neck and the opening for process gas and with at least one exhaust pipe.
Es ist bekannt, daß zum Beispiel im Lebensmittelbereich und auf medizinischem Gebiet Hohlkörper aus Kunststoff als Verpackungen verwendet werden, denn sie können leicht hergestellt und gehandhabt werden und sind auch preiswert. Bekanntlich kann aber niedermolekulares Gas, wie zum Beispiel Sauerstoff und Kohlendioxid, die Kunststoffwände durchdringen, und es können auch niedermolekulare organische Verbindungen in den Kunststoff eindringen. Getränke können dadurch ihren Geschmack und ihre Qualität verlieren.It is known that hollow bodies made of plastic are used as packaging, for example in the food sector and in the medical field, because they can be easily produced and handled and are also inexpensive. However, as is known, low-molecular gas, such as oxygen and carbon dioxide, can penetrate the plastic walls, and low-molecular organic compounds can also penetrate the plastic. As a result, drinks can lose their taste and quality.
Zur Verbesserung der Barriereeigenschaften der Hohlkörperwandungen ist es bekannt, Behälter innen oder außen zu beschichten, wobei der Beschichtungsprozeß mit Hilfe eines Plasmas erfolgt. Dieser, in dem Hohlkörper als Behandlungskammer stattfindende chemische Prozeß ermöglicht zum Beispiel einen Auftrag aus der Gasphase. Ein Gemisch einer siliziumorganischen Verbindung, eines Oxidationsmittels und eines Trägergases wird über ein Zuführrohr durch den Hals des Hohlkörpers in diesen eingeführt. Elektromagnetische Energie wird eingestrahlt und zündet das Plasma innerhalb des Hohlkörpers. Bei diesem Behandlungsprozeß wird ein glasartiges Siliziumoxid auf jene Teile des Inneren des Hohlkörpers aufgetragen, welche dem brennenden Plasma ausgesetzt sind.To improve the barrier properties of the hollow body walls, it is known to coat containers inside or outside, the coating process being carried out with the aid of a plasma. This chemical process, which takes place in the hollow body as a treatment chamber, enables, for example, an application from the gas phase. A mixture of an organosilicon compound, an oxidizing agent and a carrier gas is introduced into the hollow body via a feed pipe through the neck of the hollow body. Electromagnetic energy is radiated in and ignites the plasma inside the hollow body. In this treatment process, a glass-like silicon oxide is applied to those parts of the interior of the hollow body which are exposed to the burning plasma.
Mit der eingangs beschriebenen, bekannten Vorrichtung wird Prozeßgas mittels des Zuführrohres in den Hohlkörper eingeführt, und nach Ablauf des chemischen Prozesses zieht man die Abgase durch den Hals des Hohlkörpers nach außerhalb ab. Mit Nachteil mußte man feststellen, daß die auf der inneren Oberfläche des Hohlkörpers abgeschiedene Schicht je nach der Gestalt des Hohlkörpers unterschiedlich dick ist. Beschichtete man beispielsweise Hohlkörper mit einem verhältnismäßig langen Hals, wie er bei einigen Bierflaschen üblich ist, dann nahm die Schicht- dicke längs des Halses ab, so daß bei einer zu geringen Schichtdicke die Barriereeigenschaften nicht mehr gegeben waren.With the known device described in the introduction, process gas is introduced into the hollow body by means of the feed pipe, and after the chemical process has ended, the exhaust gases are drawn off through the neck of the hollow body. It was found to be disadvantageous that the layer deposited on the inner surface of the hollow body is of different thickness depending on the shape of the hollow body. If, for example, you coated hollow bodies with a relatively long neck, as is common with some beer bottles, the layer thickness along the neck, so that the barrier properties were no longer given with a too thin layer thickness.
Man hat mit verschiedenen Überlegungen versucht, die Dicke der Beschichtung im Halsbereich eines solchen Hohlkörpers zu vergrößern. Erhöht man den Zuführdruck für Prozeßgas in dem perforierten Zuführrohr im Hauptbereich des Hauptkörpers, dann reicht dieser Effekt für den Halsbereich nicht aus. Würde man andererseits den Druck verringern (das Vakuum erhöhen), dann würde die Verweilzeit des Prozeßgases in dem Hohlkörper unterschritten. Auch damit wäre eine Lösung des Problems nicht in Aussicht gestellt. Dies gilt auch für eine bereits versuchte Maßnahme, die Menge an zugeführtem Prozeßgas zu erhöhen.Attempts have been made with various considerations to increase the thickness of the coating in the neck area of such a hollow body. If you increase the supply pressure for process gas in the perforated supply pipe in the main area of the main body, this effect is not sufficient for the neck area. If, on the other hand, the pressure were reduced (the vacuum increased), the dwell time of the process gas in the hollow body would be undershot. This would not promise a solution to the problem either. This also applies to a measure already attempted to increase the amount of process gas supplied.
Im Hinblick auf die bislang ungelösten Schwierigkeiten hat sich die Erfindung die Aufgabe gestellt, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß man die Dicke der Schicht auf der Behälterwandung an verschiedenen Stellen gleich oder ungleich einstellen kann.In view of the problems that have not yet been solved, the object of the invention is to improve a device of the type mentioned in the introduction in such a way that the thickness of the layer on the container wall can be set to the same or different at different points.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt erfindungsgemäß dadurch, daß die außerhalb des Hohlkörpers angebrachte Abgasleitung mit wenigstens einem Abgasrohr verbunden ist, welches in Betriebsposition des Hohlkörpers durch dessen Öffnung, durch dessen Verschlußbereich und in den Hals ragt und daß das offene, innere Ende des wenigstens einen Abgasrohres außerhalb des Verschlußbereiches auf derjenigen Höhe der Längserstreckung des Hohlkörpers zu liegen kommt, bei welcher der Querschnitt des Hohlkörpers größer ist als der Querschnitt des Verschlußbereiches.This object is achieved according to the invention in that the exhaust pipe attached outside the hollow body is connected to at least one exhaust pipe which, in the operating position of the hollow body, projects through its opening, through its closure region and into the neck and in that the open, inner end of the at least one exhaust pipe outside the closure area comes to lie at the height of the longitudinal extent of the hollow body at which the cross section of the hollow body is larger than the cross section of the closure area.
Unter Verschlußbereich versteht man den sich an die Öffnung des Hohlkörpers anschließenden, im wesentlichen ringförmigen Wandungsbereich, der für die Aufnahme einer dichtenden und/- oder schützenden Kappe vorgesehen ist. Dabei kann es sich um einen Ring für die Aufnahme eines Kronenkorkens handeln, oder der Verschlußbereich kann sich ein Stück weit in Längsrichtung des Hohlkörpers erstrecken und ein Außengewinde tragen, auf welches eine Schutz- und/oder Dichtkappe aufgeschraubt wird.Closure region is understood to mean the essentially annular wall region which adjoins the opening of the hollow body and which is provided for receiving a sealing and / or protective cap. This can be a ring for receiving a crown cork, or the closure area can extend a little in the longitudinal direction of the hollow body and carry an external thread, onto which a protective and / or sealing cap is screwed.
Bei einer besonderen Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei dem Hohlkörper um einen flaschenähnlichen Körper, der bis auf die am äußeren Ende des Halses befindliche Öffnung sonst geschlossen ist, wobei von dieser Öffnung bis zu dem Hauptteil des Hohlkörpers sich hinter dem Verschlußbereich ein Hals anschließt. Dessen Gestalt kann etwa zylindermantelför- mig oder konisch sein. Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß die Abgasströmung das Abscheiden des Reaktionsproduktes im Hals- und Verschlußbereich hemmt und wenigstens teilweise verhindert, wenn das Abgas durch den Hals- und Verschiußbereich strömen muß, um die außerhalb des Hohlkörpers angebrachte Abgasleitung zu erreichen. Von dort wird das Abgas dann weiter abgesaugt. Mit der erfinderischen Idee wurde eine Maßnahme getroffen, die Abgasströme daran zu hindern, längs der inneren Oberfläche des Hals- und/oder Verschlußbereiches des Hohlkörpers entlang zu strömen. Erreicht wird diese Wirkung durch das wenigstens eine neue Abgasrohr, welches zwar mit der Abgasleitung außerhalb des Hohlkörpers verbunden ist, welches aber von dieser Verbindungsstelle außerhalb des Hohlkörpers durch dessen Öffnung, durch dessen Verschlußbereich und in dessen Hals ragt. Dieses neue Abgasrohr erstreckt sich parallel zum Zuführrohr und kann gemeinsam mit diesem in den Hohlkörper eingeführt werden, um ein problemloses Befüllen des Hohlkörpers mit dem gewünschten Gasgemisch zu erreichen, die Abscheidung des gewünschten Reaktionsproduktes sicherzustellen und das Abgas durch den Hals und die Öffnung des Hohlkörpers nach außen so abzuziehen, daß sich auch an den inneren Wandungen des Halses und gegebenenfalls des Verschlußbereiches die Reaktionsprodukte in gewünschter Weise abscheiden können, um eine Schicht auf der Wandung des Hohlkörpers vorzusehen, die je nach den eingestellten Parametern mehr oder weniger dick ist.In a special embodiment of the invention, the hollow body is a bottle-like body, which is otherwise closed except for the opening located at the outer end of the neck, from which opening to the main part of the hollow body a neck connects behind the closure region. Its shape can be roughly cylindrical or conical. The invention is based on the knowledge that the exhaust gas flow inhibits the separation of the reaction product in the neck and closure area and at least partially prevents it when the exhaust gas has to flow through the neck and closure area in order to reach the exhaust pipe attached outside the hollow body. From there, the exhaust gas is then extracted further. With the inventive idea, a measure has been taken to prevent the exhaust gas flows from flowing along the inner surface of the neck and / or closure area of the hollow body. This effect is achieved by the at least one new exhaust pipe, which is connected to the exhaust pipe outside the hollow body, but which projects from this connection point outside the hollow body through its opening, through its closure area and in its neck. This new exhaust pipe extends parallel to the feed pipe and can be inserted together with this into the hollow body in order to achieve a trouble-free filling of the hollow body with the desired gas mixture, to ensure the separation of the desired reaction product and to remove the exhaust gas through the neck and the opening of the hollow body to be removed from the outside in such a way that the reaction products can also separate on the inner walls of the neck and, if appropriate, the closure area, in order to provide a layer on the wall of the hollow body which is more or less thick depending on the parameters set.
Zu dieser Wirkung trägt maßgeblich die Maßnahme bei, daß nämlich das innere Ende des Ab- gasrohres im Halsbereich zu liegen kommt. Als solcher ist ein bestimmter Bereich der Längserstreckung des Hohlkörpers gemeint, gegebenenfalls sogar am Übergang zum Hauptteil des Hohlkörpers oder in dem Hauptteil des Hohlkörpers, so daß die Abgase dort in das Abgasrohr eingesaugt und dann dicht am Zuführrohr im Abstand von der mehr oder weniger koaxialen Wand des Hohlkörpers abgeführt werden. Dadurch ist der gesamte Ringbereich an der inneren Oberfläche des Halses und gegebenenfalls auch des Verschlußbereiches frei von strömenden, wirbelnden und das Prozeßgas wegblasenden Fließbewegungen. Das Prozeßgas kann sich also in Ruhe auf den inneren Oberflächen abscheiden. Gewünscht ist dabei die Anordnung des offenen Endes des Abgasrohres bzw. einer Absaugöffnung des Absaugrohres außerhalb des Verschlußbereiches. Das Abgasrohr erstreckt sich mit anderen Worten geschlossen durch den Verschiußbereich hindurch und hat sein offenes inneres Ende bzw. eine Absaugöffnung in einem bestimmten Höhenbereich. Diese Höhe ist dadurch definiert, daß der Querschnitt des Hohlkörpers an dieser Höhe größer ist als der Querschnitt des Verschlußbereiches.The measure contributes significantly to this effect, namely that the inner end of the exhaust pipe comes to rest in the neck area. As such, a certain area of the longitudinal extent of the hollow body is meant, possibly even at the transition to the main part of the hollow body or in the main part of the hollow body, so that the exhaust gases are sucked into the exhaust pipe there and then close to the feed pipe at a distance from the more or less coaxial wall of the hollow body are discharged. As a result, the entire ring area on the inner surface of the neck and possibly also the closure area is free of flowing, swirling and flowing process gases. The process gas can thus be deposited on the inner surfaces at rest. It is desirable to arrange the open end of the exhaust pipe or a suction opening of the suction pipe outside the closure area. In other words, the exhaust pipe extends closed through the closure area and has its open inner end or a suction opening in a certain height range. This height is defined by the fact that the cross section of the hollow body at this height is larger than the cross section of the closure region.
Im Gegensatz zu der bekannten Vorrichtung, bei welcher die Abgasleitung außerhalb des Hohlkörpers ansetzt, wird erfindungsgemäß innerhalb des Hohlkörpers abgepumpt. Bei vorteilhafter weiterer Ausgestaltung der Erfindung hat das Zuführrohr für Prozeßgas etwa im Bereich des Halses des Hohlkörpers einen kleineren ersten Durchmesser als weiter im Inneren des Hohlkörpers, und das Abgasrohr ist im Bereich des kleineren ersten Durchmessers parallel zu dem Zuführrohr und außerhalb desselben dicht neben diesem geführt.In contrast to the known device, in which the exhaust pipe attaches outside the hollow body, according to the invention the pump is pumped inside the hollow body. In an advantageous further embodiment of the invention, the feed pipe for process gas has a smaller first diameter approximately in the area of the neck of the hollow body than further inside the hollow body, and the exhaust pipe is guided in the area of the smaller first diameter parallel to the feed pipe and outside of it close to it ,
Der Innendurchmesser des Halses eines Hohlkörpers ist bekanntlich kleiner als der Innendurchmesser des Hauptteiis des Hohlkörpers. Um das Zuführrohr an diese innere Gestaltung des Hohlkörpers anzupassen, verkleinert sich der Durchmesser des Zuführrohres in diesem ersten Bereich mit dem kleineren ersten Durchmesser. Der Ringraum um diesen ersten Längenbereich des Zuführrohres herum hat damit einen größeren Querschnitt, so daß sich die Reaktionsprodukte dort besser bewegen und in größerer Menge auf der inneren Oberfläche des Hohlkörpers abscheiden können. Von dem ersten Längenbereich des Zuführrohres mit dem kleineren ersten Durchmesser zu dem Restbereich des Zuführrohres mit dem größeren Durchmesser gibt es einen Übergang, der scharf oder abgeschrägt sein kann. Dieser etwa kegelstumpfförmige oder stufenförmige Übergang wird in Richtung der Längserstreckung des Hohlkörpers auf einer solchen Höhe innerhalb des Halses oder weiter innen angeordnet sein, daß der vorstehend erwähnte Effekt erreicht wird, wonach das Prozeßgas und das Reaktionsprodukt guten Zugang und ruhige Abscheidungsmöglichkeit haben, um die Beschichtung auf der Innenfläche im Halsbereich sicherzustellen. Es ist zweckmäßig, diesen Übergang nicht an der engsten Stelle, zum Beispiel etwa im Verschlußbereich, anzuordnen. Deshalb endet das Abgasrohr mit seinem inneren Teil noch in dem ersten Längenbereich des Zuführrohres, wo dieses den kleineren ersten Durchmesser hat. Diese Position kann dicht neben dem erwähnten Übergang liegen, kann von dem Übergang aber auch einen Abstand haben, sofern nur immer die oben erwähnte Bedingung erfüllt ist, daß die Höhenposition des offenen inneren Endes des Abgasrohres oder seiner Absaugöffnung dort liegt, wo der Querschnitt des Hohlkörpers größer ist als der des Verschlußbereiches.As is known, the inside diameter of the neck of a hollow body is smaller than the inside diameter of the main part of the hollow body. In order to adapt the feed tube to this inner design of the hollow body, the diameter of the feed tube is reduced in this first region with the smaller first diameter. The annular space around this first length region of the feed tube thus has a larger cross section, so that the reaction products can move better there and can deposit in larger quantities on the inner surface of the hollow body. There is a transition from the first length region of the feed pipe with the smaller first diameter to the remaining area of the feed pipe with the larger diameter, which can be sharp or beveled. This approximately frustoconical or step-shaped transition will be arranged in the direction of the longitudinal extension of the hollow body at such a height within the neck or further inward that the above-mentioned effect is achieved, after which the process gas and the reaction product have good access and easy deposition to the coating on the inner surface in the neck area. It is advisable not to arrange this transition at the narrowest point, for example in the closure area. Therefore, the exhaust pipe ends with its inner part in the first length range of the feed pipe, where this has the smaller first diameter. This position can be close to the transition mentioned, but can also be at a distance from the transition, provided that the above-mentioned condition is always met that the height position of the open inner end of the exhaust pipe or its suction opening is where the cross section of the hollow body is larger than that of the closure area.
Vorteilhaft ist es gemäß der Erfindung ferner, wenn das Zuführrohr ein bis auf Austrittslöcher geschlossenes Hohlrohr ist, dessen erster Längenbereich mit dem kleineren ersten Durchmesser wenigstens ein, vorzugsweise 4 - 10 und besonders bevorzugt 2 Gasaustrittslöcher aufweist. In dem Zuführrohr für Prozeßgas kann dadurch ein höherer Druck herrschen mit der Wirkung, daß das Prozeßgas auch aus dem Zuführrohr in den Hohlkörper hinein austritt. In dem dickeren, inneren Bereich des Zuführrohres mit dem größeren zweiten Durchmesser befinden sich zwar am Umfang verteilt Gasaustrittslöcher, am inneren hinteren Ende dieses Zuführrohres ist aber eine Kappe vorgesehen, die entweder ganz geschlossen ist oder einige wenige Gasaustrittslöcher hat, um sicherzustellen, daß der Strahl des Prozeßgases auch in die hintersten Ecken oder Bereiche des zu beschichtenden Hohlkörpers kommt. Die Anzahl der Gasaustrittslöcher in dem inneren dickeren Bereich des Zuführrohres ist größer als die Anzahl der Gasaustrittslöcher in dem ersten Längenbereich mit dem kleineren Durchmesser. Mit nur zwei Gasaustrittslöchern in diesem ersten Längenbereich des Zuführrohres wurden gute Versuchsergebnisse erzielt, d.h. eine ausreichend dicke Beschichtung im Halsbereich eines Hohlkörpers erreicht. Die Austrittsstrahlen aus dem inneren, dickeren Teil des Zuführrohres sind länger, stärker gerichtet und transportieren größere Gasmengen, wenn das hintere Ende des Zuführrohres durch die erwähnte Kappe geschlossen ist, selbst wenn dort wenige Austrittslöcher vorgesehen sind, zum Beispiel vier Löcher in einer kegelstumpfförmigen Fläche.It is also advantageous according to the invention if the feed tube is a hollow tube which is closed except for outlet holes, the first length region of which with the smaller first diameter has at least one, preferably 4-10 and particularly preferably 2 gas outlet holes. As a result, a higher pressure can prevail in the feed pipe for process gas, with the effect that the process gas also exits the feed pipe into the hollow body. In the thicker, inner area of the feed pipe with the larger second diameter there are gas outlet holes distributed around the circumference, but at the inner rear end of this feed pipe a cap is provided which is either completely closed or has a few gas outlet holes to ensure that the jet of the process gas also comes into the rearmost corners or areas of the hollow body to be coated. The number of gas outlet holes in the inner thicker area of the feed pipe is larger than the number of gas outlet holes in the first length area with the smaller diameter. Good test results were achieved with only two gas outlet holes in this first length region of the feed pipe, ie a sufficiently thick coating was achieved in the neck region of a hollow body. The exit jets from the inner, thicker part of the feed pipe are longer, more directed and transport larger quantities of gas if the rear end of the feed pipe is closed by the cap mentioned, even if there are few exit holes there, for example four holes in a frustoconical surface.
Wenn bei weiterer Ausgestaltung der Erfindung in dem ersten Längenbereich des Zuführrohres zwei oder mehr, etwa gleichmäßig über den Umfang des Zuführrohres verteilte Abgasroh re vorgesehen sind, dann ist eine größere Absaugfläche angeboten, so daß größere Abgasmengen nach außerhalb des Hohlkörpers abgesaugt werden können. Dadurch kann man erreichen, daß der Druck in dem Hohlkörper etwa gleich groß dem Druck in der außerhalb des Hohlkörpers befindlichen Abgasleitung ist. Man hat also keinen oder nur einen kleinen Druckabfall in der Absaugleitung und erreicht dann mit Vorteil den größten Massenfluß des abgesaugten Gases. Wenn die Abgasrohre mehr oder weniger gleichmäßig über den Umfang des ersten Längenbereiches des Zuführrohres (mit dem kleineren Durchmesser) verteilt vorgesehen sind, erreicht man im ganzen Raum ferner ein gleichmäßiges Absaugen mit dem Vorteil einer gleichmäßigen Beschichtung.If in a further embodiment of the invention in the first length range of the feed pipe two or more, approximately evenly distributed over the circumference of the feed pipe re exhaust pipes are provided, then a larger suction surface is offered so that larger amounts of exhaust gas can be sucked out outside the hollow body. It can thereby be achieved that the pressure in the hollow body is approximately equal to the pressure in the exhaust pipe located outside the hollow body. So you have no or only a small pressure drop in the suction line and then advantageously achieve the greatest mass flow of the extracted gas. If the exhaust pipes are provided more or less evenly distributed over the circumference of the first length region of the feed pipe (with the smaller diameter), uniform suction is also achieved in the entire room with the advantage of a uniform coating.
Neben diesen erfindungsgemäßen Maßnahme ist es auch günstig, wenn der Außenumfang eines gedachten Ringes, welcher um das Zuführrohr und um die an diesem angelegten Abgasrohre herumgelegt ist, kleiner ist als der Durchmesser des Halses oder des Verschlußbereiches des Hohlkörpers. Denn nur dann ist es möglich, das erfindungsgemäße Zuführrohr mit dem wenigstens einen Abgasrohr durch den Verschlußbereich und Halsbereich des Hohlkörpers in diesen hinein zu schieben.In addition to this measure according to the invention, it is also advantageous if the outer circumference of an imaginary ring, which is placed around the feed pipe and around the exhaust pipes attached to it, is smaller than the diameter of the neck or the closure region of the hollow body. Because only then is it possible to push the feed pipe according to the invention with the at least one exhaust pipe through the closure region and neck region of the hollow body into the latter.
Eine andere günstige Ausführungsform der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß das innere Ende des Abgasrohres am inneren Ende des Zuführrohres zu liegen kommt. Mit anderen Worten ragt dann das Abgasrohr neben dem Zuführrohr genauso weit in das Innere des zu beschichtenden Hohlkörpers hinein wie das Zuführrohr selbst. Die Position mit der größten Saugwirkung befindet sich dann zwar auch außerhalb des Verschlußbereiches, dann aber nicht mehr innerhalb des Halses mit der Folge, daß Abgase aus dem Hals- und/oder Verschlußbereich erst nach innen in den Hohlkörper hineingesaugt und von dort über die Abgasrohre abgeführt werden. Diese Führung von Abgasen ist genau entgegengesetzt der der bekannten Vorrichtung, bei welcher nur eine Abgasleitung außerhalb des Hohlkörpers vorgesehen war. Eine weitere andere und auch günstige Ausführungsform der Erfindung erreicht man dann, wenn das Abgasrohr auf der Höhe des weiter innen im Hohlkörper liegenden dickeren Bereiches des Zuführrohres im Inneren des Zuführrohres geführt angebracht ist und das offene, innere Ende des Abgasrohres außerhalb des Zuführrohres angebracht ist. Nach wie vor verläuft das Abgasrohr in dem ersten Längenbereich mit dem kleineren ersten Durchmesser des Zuführrohres außerhalb desselben. Hingegen wird nach dieser Ausführungsform das Abgasrohr in dem dickeren Teil des Zuführrohres in dessen Innerem geführt. Letztlich muß aber das offene, innere Ende des Abgasrohres mit dem Raum außerhalb des Zuführrohres in Verbindung stehen, um die gewünschte Absaugung zu gewährleisten. Deshalb ist das innere Ende des Abgasrohres außerhalb des Zuführrohres angebracht. Nimmt man eine bevorzugte Ausführungsform, bei welcher das Abgasrohr vorn parallel außen im ersten Längenbereich des Zuführrohres geführt wird und das offene, innere Ende des Abgasrohres bis zum inneren Ende des Zuführrohres gezogen ist, dann saugt man das Abgas im Bereich des inneren Endes des Zuführrohres im Hohlkörper innen ab und führt es innerhalb des dickeren Bereiches des Zuführrohres parallel zu diesem nach vorn heraus. Das Abgasrohr verläßt das Zuführrohr im Bereich des erwähnten Überganges, um dann gemeinsam neben dem Zuführrohr den Hohlkörper vorn zu verlassen.Another favorable embodiment of the invention is characterized in that the inner end of the exhaust pipe comes to rest on the inner end of the feed pipe. In other words, the exhaust pipe next to the supply pipe then projects as far into the interior of the hollow body to be coated as the supply pipe itself. The position with the greatest suction effect is then also outside the closure area, but then no longer within the neck with the result that exhaust gases from the neck and / or closure area are only sucked inwards into the hollow body and are discharged from there via the exhaust pipes. This guidance of exhaust gases is exactly the opposite of that of the known device, in which only one exhaust gas line was provided outside the hollow body. Another and also inexpensive embodiment of the invention can be achieved if the exhaust pipe is attached to the inside of the supply pipe at the level of the thicker area of the supply pipe lying further inside in the hollow body and the open, inner end of the exhaust pipe is attached outside the supply pipe. The exhaust pipe continues to run outside the same in the first length range with the smaller first diameter of the feed pipe. In contrast, according to this embodiment, the exhaust pipe is guided in the thicker part of the supply pipe inside. Ultimately, however, the open, inner end of the exhaust pipe must be connected to the space outside the supply pipe in order to ensure the desired extraction. Therefore, the inner end of the exhaust pipe is attached outside the supply pipe. If one takes a preferred embodiment in which the exhaust pipe is guided in front at the outside in parallel in the first length region of the supply pipe and the open, inner end of the exhaust pipe is drawn to the inner end of the supply pipe, then the exhaust gas is sucked in the area of the inner end of the supply pipe in Hollow body inside and leads it out inside the thicker area of the feed pipe parallel to the front. The exhaust pipe leaves the feed pipe in the area of the transition mentioned, in order to then jointly leave the hollow body at the front next to the feed pipe.
Für die Erfindung ist bevorzugt, wenn die Position der Absaugöffnungen die Symmetrie des Hohlkörpers berücksichtigt. Es ist zwar möglich, wenn ein einziges Absaugrohr mit nur einer Öffnung, nämlich dem offenen inneren Ende desselben, verwendet wird, diese Absaugöffnung exzentrisch anzuordnen. Besonders bevorzugt ist es dann aber, wenn diese Absaugöffnung oder das offene, innere Ende des Absaugrohres zentrisch auf der Längsmittelachse des Hohlkörpers liegt. Alternativ ist der Einsatz mehrerer Absaugöffnungen oben beschrieben. Wählt man hier eine gerade Anzahl von Absaugrohren, gegebenenfalls auch nur eine gerade Anzahl von Absaugöffnungen, dann ist es aber bevorzugt, wenn diese bezüglich des Hohlkörpers symmetrisch angeordnet sind. Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen ist es möglich, auch diese Bedingung recht leicht einzuhalten, ob nun das Abgas von der Absaugöffnung, gegebenenfalls dem offenen inneren Ende des Absaugrohres, abgesaugt und dann zu einem einzigen dickeren Abgasrohr geführt wird, oder ob das Abgas in einer Mehrzahl von dünneren Abgasrohren geführt wird. Beide Alternativen zeigen gute Versuchsergebnisse.It is preferred for the invention if the position of the suction openings takes into account the symmetry of the hollow body. It is possible, if a single suction pipe with only one opening, namely the open inner end of the same, is used to arrange this suction opening eccentrically. However, it is particularly preferred if this suction opening or the open, inner end of the suction pipe lies centrally on the longitudinal central axis of the hollow body. Alternatively, the use of several suction openings is described above. If one chooses an even number of suction tubes, possibly even an even number of suction openings, then it is preferred if these are arranged symmetrically with respect to the hollow body. With the measures according to the invention, it is also possible to meet this condition quite easily, whether the exhaust gas is now sucked out of the suction opening, possibly the open inner end of the exhaust pipe, and then led to a single thicker exhaust pipe, or whether the exhaust gas is in a plurality of thinner exhaust pipes is guided. Both alternatives show good test results.
Eine andere günstige Ausführungsform ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß das Abgasrohr das Zuführrohr in dessen erstem Längenbereich mit den kleineren ersten Durchmesser wenigstens teilweise umläuft und das Abgasrohr in seinem Umlaufbereich mindestens eine Absaugöffnung aufweist. Es genügt dann, wenn parallel außerhalb des ersten Längenbereiches des Zuführrohres ein einziges Abgasrohr geführt wird, dessen inneres Ende schlangenartig das Zuführrohr zum Beispiel in der Nähe des Überganges umschlingt, wobei radial nach außen eine mehr oder weniger symmetrisch zu dem Hohlkörper angeordnete Anzahl von Absaugöffnungen angeordnet ist. Diese Absaugöffnungen sind dann im Sinne des offenen, inneren Endes des Absaugrohres zu verstehen. Die Fläche der Absaugöffnung ist dann gleich der Summe der Flächen der Absaugöffnungen.Another favorable embodiment is characterized according to the invention in that the exhaust pipe at least partially runs around the feed pipe in its first length region with the smaller first diameter and the exhaust pipe has at least one suction opening in its circulation region. It is sufficient if a single exhaust pipe is guided in parallel outside the first length range of the feed pipe, the inner end of which is snake-like For example, feed tube wraps in the vicinity of the transition, a number of suction openings arranged more or less symmetrically to the hollow body being arranged radially outward. These suction openings are then to be understood in the sense of the open, inner end of the suction pipe. The area of the suction opening is then equal to the sum of the areas of the suction openings.
Man kann erfindungsgemäß das Abgasrohr auch flexibel ausgestalten, indem dieses nach Art eines Schlauches angeordnet und auch an dem ersten Längenbereich des Zuführrohres mit dem kleineren Durchmesser gehalten wird.According to the invention, the exhaust pipe can also be designed flexibly by arranging it in the manner of a hose and also holding it on the first length region of the supply pipe with the smaller diameter.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen. Bei diesen zeigen:Further advantages, features and possible uses of the present invention will become apparent from the following description in conjunction with the accompanying drawings. These show:
Figur 1 perspektivisch eine erste Ausführungsform eines Zuführrohres mit vier nach unten vorn weggeführten Abführrohren,FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of a feed pipe with four discharge pipes leading downwards to the front,
Figur 2 eine Querschnittsansicht eines Zuführrohres für Prozeßgas mit vorn unten angesetzten Abgasrohren, welche sich in einem Hohlkörper befinden, wobei die ganze Anordnung von einer Grundplatte gehaltert ist,FIG. 2 shows a cross-sectional view of a feed pipe for process gas with exhaust pipes attached below at the front, which are located in a hollow body, the entire arrangement being held by a base plate,
Figur 3 eine Querschnittsansicht durch Figur 2 entsprechend der Schnittlinie lli-lll,3 shows a cross-sectional view through FIG. 2 along the section line III-III,
Figur 4 eine ähnliche Ansicht wie Figur 1 , wobei jedoch eine andere Ausführungsform gezeigt ist, bei welcher die Abgasrohre sich bis zu dem hinteren oberen (inneren) Ende des Zuführrohres erstrecken,FIG. 4 shows a view similar to FIG. 1, but showing another embodiment in which the exhaust pipes extend to the rear upper (inner) end of the supply pipe,
Figur 5 eine Seitenansicht der Ausführungsform der Figur 4,FIG. 5 shows a side view of the embodiment in FIG. 4,
Figur 6 eine Querschnittsansicht durch eine weitere andere Ausführungsform, bei welcher nur ein einziges Abgasrohr vorgesehen ist undFIG. 6 shows a cross-sectional view through a further different embodiment, in which only a single exhaust pipe is provided, and
Figur 7 eine weitere andere Ausführungsform in ähnlicher Darstellung wie die Figuren 1 und 4 (perspektivisch), wobei das Abgasrohr das Zuführrohr im Bereich des Überganges des Zuführrohres umläuft.FIG. 7 shows another embodiment in a similar representation to FIGS. 1 and 4 (in perspective), the exhaust pipe rotating around the feed pipe in the region of the transition of the feed pipe.
in Figur 2 ist ein flaschenähnlicher Hohlkörper 1 mit einem Boden 2, einem Halsbereich 3 und einem Verschlußbereich 4 mit Öffnung 5 gezeigt. Die innere Oberfläche 6 dieses Hohlkörpers 1 soll mittels Abscheiden eines Reaktionsproduktes beschichtet werden. Das Reaktionsprodukt entsteht durch die chemische Reaktion eines Gasgemisches, das ein Prozeßgas ist. Dieses Prozeßgas wird durch ein Zuführrohr 7 in das Innere des Hohlkörpers 1 über die Gasaustrittslöcher 8, 8' zugeführt, wobei das Rest- bzw. Abgas über eine Abgasleitung 9 abgeführt wird. Um das Prozeßgas in den Hohlkörper 1 einbringen zu können, ist an einer Grundplatte 10 (Figur 2) eine mit einer Durchführung 11 versehene Ringaufnahme 12 befestigt. In dieser Ringaufnahme 12 befindet sich ein gestuft ausgebildeter Fuß 13, der ebenfalls an der Grundplatte befestigt ist. Über einen Stützflansch 14 haltert der Fuß 13 das allgemein mit 7 bezeichnete Zuführrohr. Auch in den anderen Zeichnungen ist dieses Zuführrohr allgemein mit 7 bezeichnet und läßt sich besonders gut anhand Figur 1 beschreiben. Bis auf die Gasaustrittslöcher 8, 8' ist das Zuführrohr 7 ein etwa zylindrisches Hohlrohr mit einem ersten Längenbereich 15 mit der Länge I und einem zweiten Längenbereich 16 mit der Länge L, wobei der zweiten Längenbereich 16 länger ist als der erste Längenbereich 15. Zwischen diesen beiden Bereichen befindet sich ein stufenförmiger Übergang 17, welcher durch einen ähnlichen Stützflansch 17' die Verbindung zwischen den zwei Längenbereichen 15 und 16 des Zuführrohres 7 schafft wie der vordere untere Stützflansch 14 vom Fuß zu dem ersten Längenbereich 15 des Zuführrohres 7. Der erste Längenbereich 15 hat einen kleineren Durchmesser d (Figuren 5 und 7) als der zweite Längenbereich 16 mit dem Durchmesser D. d ist kleiner als D. Das Zuführrohr 7 ist an seinem inneren, hinteren bzw. in den Zeichnungen oben dargestellten Ende durch eine Kappe 18 geschlossen, die in der schrägen Fläche mit nur vier Gasaustrittsöffnungen 8 versehen ist.FIG. 2 shows a bottle-like hollow body 1 with a bottom 2, a neck area 3 and a closure area 4 with an opening 5. The inner surface 6 of this hollow body 1 is to be coated by depositing a reaction product. The reaction product is created by the chemical reaction of a gas mixture that is a process gas. This process gas is fed through a feed pipe 7 into the interior of the hollow body 1 via the gas outlet holes 8, 8 ', the residual or exhaust gas being discharged via an exhaust pipe 9. In order to be able to introduce the process gas into the hollow body 1, there is one on a base plate 10 (FIG. 2) with a bushing 11 provided ring holder 12 attached. In this ring receptacle 12 is a stepped foot 13, which is also attached to the base plate. The foot 13 holds the feed tube, generally designated 7, via a support flange 14. Also in the other drawings, this feed pipe is generally designated 7 and can be described particularly well with reference to FIG. 1. Except for the gas outlet holes 8, 8 ', the feed tube 7 is an approximately cylindrical hollow tube with a first length range 15 with the length I and a second length range 16 with the length L, the second length range 16 being longer than the first length range 15 In both areas there is a step-shaped transition 17 which, by means of a similar support flange 17 ', creates the connection between the two length areas 15 and 16 of the feed pipe 7 as the front lower support flange 14 from the foot to the first length area 15 of the feed pipe 7. The first length area 15 has a smaller diameter d (FIGS. 5 and 7) than the second length region 16 with the diameter D. d is smaller than D. The feed tube 7 is closed by a cap 18 at its inner, rear or end shown in the drawings, which is provided with only four gas outlet openings 8 in the inclined surface.
Mit der außerhalb des Hohlkörpers 1 und unterhalb der Ringaufnahme 12 angeordneten Abgasleitung 9 sind bei den Ausführungsformen nach den Figuren 1 - 5 vier Abgasrohre 19 verbunden. Jedes Abgasrohr 19 hat ein offenes, inneres Ende 20. Die vier Abgasrohre 19 verlaufen im wesentlichen über den gesamten ersten Längenbereich 15 des Zuführrohres 7 parallel zu diesem außerhalb und eng an diesem anliegend. Dadurch ist es möglich, das Zuführrohr zusammen mit den vier Abgasrohren 19 durch den Verschlußbereich 4 mit der Öffnung 5 des Hohlkörpers 1 in dessen Inneres zu schieben, wenngleich im Betrieb die Relativbewegung umgekehrt verläuft. Der Hohlkörper 1 wird nämlich mit seinem Verschlußbereich 4 vorn bzw. unten über das Zuführrohr 7 gestülpt und in eine Ausnehmung 11 der Ringaufnahme 12 gesteckt und dort gehaltert. Damit ist dann die in Figur 2 gezeigte Betriebsposition erreicht. Prozeßgas kann gemäß Pfeil 21 von vorn unten in das Zuführrohr 7 eingeführt, durch dessen Gasaustrittsöffnungen 8 und 8' herausgepumpt und in das Innere des Hohlkörpers 1 gedrückt werden, aus welchem Abgase nach der chemischen Reaktion in das offene innere Ende 20 der Abgasrohre 19 eintreten und gemäß den Pfeilen 22 und 23 nach außen abgesaugt werden.In the embodiments according to FIGS. 1-5, four exhaust pipes 19 are connected to the exhaust pipe 9 arranged outside the hollow body 1 and below the ring receptacle 12. Each exhaust pipe 19 has an open, inner end 20. The four exhaust pipes 19 run essentially over the entire first length region 15 of the feed pipe 7 parallel to it outside and closely adjacent to it. This makes it possible to push the feed pipe together with the four exhaust pipes 19 through the closure area 4 with the opening 5 of the hollow body 1 inside, although the relative movement is reversed during operation. The hollow body 1 is namely put with its closure region 4 at the front or bottom over the feed tube 7 and inserted into a recess 11 of the ring receptacle 12 and held there. The operating position shown in FIG. 2 is then reached. Process gas can be inserted according to arrow 21 from the front down into the feed pipe 7, pumped out through the gas outlet openings 8 and 8 'and pressed into the interior of the hollow body 1, from which exhaust gases after the chemical reaction enter the open inner end 20 of the exhaust pipes 19 and be sucked outwards according to arrows 22 and 23.
Man erkennt aus Figur 2, daß das offene innere Ende 20 jedes der vier Abgasrohre 19 außerhalb des Verschlußbereiches 4 zu liegen kommt, nämlich in Figur 2 auf einer weiter oben liegenden Höhe der Längserstreckung des Hohlkörpers 1. Diese Höhe befindet sich in der Nähe des Überganges 17 zwischen dem ersten Längenbereich 15 des Zuführrohres 7 und dessen zweitem Längenbereich 16. Dieser Bereich zwischen dem Verschlußbereich 4 des Hohlkörpers 1 und seinem hinteren, dickeren Hauptteil ist der Hals 3. Bei der Ausführungsform der Figur 2 liegt das offene, innere Ende 20 der Abgasrohre 19 auf einer Höhe etwas unterhalb der Schnittlinie Ill-Ili.It can be seen from FIG. 2 that the open inner end 20 of each of the four exhaust pipes 19 comes to lie outside the closure region 4, namely in FIG. 2 at a higher level of the longitudinal extent of the hollow body 1. This height is in the vicinity of the transition 17 between the first length region 15 of the feed pipe 7 and its second length region 16. This region between the closure region 4 of the hollow body 1 and its rear, thicker main part is the neck 3. In the embodiment of FIG. 2, the open, inner end 20 of the exhaust pipes 19 lies at a height slightly below the section line III-III.
Betrachtet man dazu Figur 3, dann erkennt map, daß der Querschnitt Qi des Hohlkörpers 1 gleich ist der Fläche innerhalb des Kreises 1 , abzüglich der fünf inneren Kreisflächen. Dieser Querschnitt Qi ist im Bereich des Halses 3 größer als der Querschnitt Q2 des Verschlußbereiches 4, der in Figur 3 nicht erkennbar ist.If one considers FIG. 3, map recognizes that the cross section Qi of the hollow body 1 is equal to the area within the circle 1, minus the five inner circular areas. This cross section Qi is larger in the region of the neck 3 than the cross section Q 2 of the closure region 4, which cannot be seen in FIG. 3.
Bei der anderen Ausführungsform der Figuren 4 - 6 kommt das innere Ende 20 des Abgasrohres 19 am inneren Ende (im Bereich der das Zuführrohr 7 verschließenden Kappe 18) des Zuführrohres 7 zu liegen. Dennoch kann man auch hier zwischen den Ausführungsformen nach den Figuren 4 und 5 einerseits und der nach Figur 6 andererseits unterscheiden.In the other embodiment of FIGS. 4-6, the inner end 20 of the exhaust pipe 19 comes to lie at the inner end (in the region of the cap 18 closing the supply pipe 7) of the supply pipe 7. Nevertheless, one can also differentiate here between the embodiments according to FIGS. 4 and 5 on the one hand and that according to FIG. 6 on the other hand.
I In den Figuren 4 und 5 ist gezeigt, wie wiederum symmetrisch um das Zuführrohr 7 vier Abgasrohre 19 so angeordnet sind, daß sie dicht außerhalb des Zuführrohres parallel zu diesem verlaufen. Sie folgen nach Verlassen des ersten Längenbereiches 15 außen unten dem Übergang 17, um dann außen längs des zweiten Längenbereiches 16 mit dem größeren Durchmesser D entlang zu laufen.FIGS. 4 and 5 show how, in turn, four exhaust pipes 19 are arranged symmetrically around the feed pipe 7 in such a way that they run parallel to the feed pipe just outside the feed pipe. After leaving the first length region 15, they follow the transition 17 on the outside at the outside, and then run along the outside along the second length region 16 with the larger diameter D.
Bei der Ausführungsform der Figur 6 hingegen gibt es nur ein Abgasrohr 19. Es verläuft von vorn unten ähnlich wie bei den anderen Ausführungsformen bis zu dem Übergang 17. Dort ist das Abgasrohr 19 durch das Zuführrohr 7 in seinem zweiten Längenbereich 16 so hindurchgeführt, daß das Abgasrohr 19 in den zweiten Längenbereich 16 des Zuführrohres 7 mit dem größeren Durchmesser D mittig und parallel zu diesem verläuft, bis das Abgasrohr 19 oben durch die Kappe 18 hindurchtritt, so daß das innere Ende 20 des Abgasrohres wieder mit dem Innenraum des Hohlkörpers 1 in Verbindung kommen kann.In the embodiment of FIG. 6, on the other hand, there is only one exhaust pipe 19. It runs from the bottom below, similarly to the other embodiments, to the transition 17. There, the exhaust pipe 19 is passed through the supply pipe 7 in its second length region 16 such that the Exhaust pipe 19 runs in the second length region 16 of the supply pipe 7 with the larger diameter D centrally and parallel to it, until the exhaust pipe 19 passes through the cap 18 at the top, so that the inner end 20 of the exhaust pipe again connects to the interior of the hollow body 1 can come.
Bei der letzten hier gezeigten Ausführungsform gemäß Figur 7 gibt es zwar auch nur ein einziges Abgasrohr 19. Dieses läuft aber im Bereich des Überganges 17 um das Zuführrohr 7 kreisförmig um und endet dort. Als inneres, offenes Ende weist es am Umfang außen gleichmäßig verteilt angeordnete Absaugöffnungen 24 auf. BezugszeichenlisteIn the last embodiment shown here according to FIG. 7 there is only a single exhaust pipe 19, but this runs in a circular manner in the region of the transition 17 around the feed pipe 7 and ends there. As the inner, open end, it has suction openings 24 arranged uniformly distributed on the outside on the circumference. LIST OF REFERENCE NUMBERS
1 Hohlkörper1 hollow body
2 Boden des Hohlkörpers2 bottom of the hollow body
3 Halsbereich des Hohlkörpers3 neck area of the hollow body
4 Verschlußbereich4 locking area
5 Öffnung5 opening
6 innere Oberfläche des Hohllkörpers6 inner surface of the hollow body
7 Zuführrohr7 feed pipe
8, 8' Gasaustrittslöcher8, 8 'gas outlet holes
9 Abgasleitung9 exhaust pipe
10 Grundplatte10 base plate
11 Durchführung11 implementation
12 Ringaufnahme12 ring holder
13 gestufter Fuß13 stepped foot
14 Stützflansch14 support flange
15 erster Längenbereich15 first length range
16 zweiter Längenbereich16 second length range
17 stufenförmiger Übergang 17' Stützflansch17 stepped transition 17 'support flange
18 Kappe18 cap
19 Abgasrohr19 exhaust pipe
20 inneres offenes Ende des Abgasrohres20 inner open end of the exhaust pipe
21 Pfeil (Einführrichtung des Prozeßgases)21 arrow (direction of introduction of the process gas)
22 Pfeil (Absaugrichtung der Abgase)22 arrow (exhaust gas extraction direction)
23 Pfeil (Absaugrichtung der Abgase)23 arrow (exhaust gas exhaust direction)
24 Absaugöffnungen24 suction openings
I Länge des ersten Längenbereiches 15I length of the first length range 15
L Länge des zweiten Längenbereiches 16 d Durchmesser des ersten LängenbereichesL length of the second length range 16 d diameter of the first length range
D Durchmesser des zweiten LängenbereichesD diameter of the second length range
Qi Querschnitt des Hohlkörpers 1Qi cross section of the hollow body 1
Q2 Querschnitt des Verschlußbereiches 4 Q 2 cross section of the closure area 4

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e Patent claims
1. Vorrichtung zum Beschichten der inneren Oberfläche (6) eines Hohlkörpers (1) mit einer Öffnung an einem länglichen Hals (3) mittels Abscheiden wenigstens eines Reaktionsproduktes auf diese Oberfläche (6), wobei das Reaktionsprodukt durch die Reaktion eines Gasgemisches entsteht, mit wenigstens einem zentrisch in dem Hals (3) und der Öffnung (5) anbringbaren Zuführrohr (7) für Prozeßgas und mit wenigstens einer Abgasleitung (9) , dadurch gekennzeichnet, daß die außerhalb des Hohlkörpers (1) angebrachte Abgasleitung (9) mit wenigstens einem Abgasrohr (19) verbunden ist, welches in Betriebsposition des Hohlkörpers (1 , Figur 2) durch dessen Öffnung (5) durch dessen Verschlußbereich (4) in dessen Hals (3) ragt, und daß das offene, innere Ende (20) des wenigstens einen Abgasrohres (19) außerhalb des Verschlußbereiches (4) auf derjenigen Höhe der Längserstreckung des Hohlkörpers (1 ) zu liegen kommt, bei welcher der Querschnitt (Q1 ) des Hohlkörpers (1) größer ist als der Querschnitt (Q2) des Verschlußbereiches (4).1. Device for coating the inner surface (6) of a hollow body (1) with an opening on an elongated neck (3) by depositing at least one reaction product on this surface (6), the reaction product being formed by the reaction of a gas mixture with at least a feed pipe (7) for process gas, which can be attached centrally in the neck (3) and the opening (5), and with at least one exhaust pipe (9), characterized in that the exhaust pipe (9) attached outside the hollow body (1) has at least one exhaust pipe (19) is connected, which in the operating position of the hollow body (1, Figure 2) through its opening (5) through its closure region (4) in its neck (3), and that the open inner end (20) of the at least one Exhaust pipe (19) outside the sealing area (4) comes to lie at the height of the longitudinal extent of the hollow body (1) at which the cross section (Q1) of the hollow body (1) is larger than the cross section (Q2) of the closure area (4).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Zuführrohr (7) für Prozeßgas etwa im Bereich des Halses (3) des Hohlkörpers (1) einen kleineren ersten Durchmesser (d) hat als weiter im Inneren des Hohlkörpers (1) und daß das Abgasrohr (19) im Bereich des kleineren ersten Durchmessers (d) parallel zu dem Zuführrohr (7) und außerhalb desselben dicht neben diesem geführt ist.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the feed pipe (7) for process gas approximately in the region of the neck (3) of the hollow body (1) has a smaller first diameter (d) than further inside the hollow body (1) and that the exhaust pipe (19) in the region of the smaller first diameter (d) is guided parallel to the supply pipe (7) and outside of the same, close to it.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuführrohr (7) ein bis auf Gasaustrittslöcher (8, 8') geschlossenes Hohlrohr ist, dessen erster Längenbereich (15) mit dem kleineren ersten Durchmesser (d) wenigstens ein, vorzugsweise vier bis zehn und besonders bevorzugt zwei Gasaustrittslöcher (81) aufweist.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the feed tube (7) is a hollow tube except for gas outlet holes (8, 8 '), the first length region (15) with the smaller first diameter (d) at least one, preferably has four to ten and particularly preferably two gas outlet holes (8 1 ).
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem ersten Längenbereich (15) des Zuführrohres (7) zwei oder mehr, etwa gleichmäßig über den Umfang des Zuführrohres (7) verteilte Abgasrohre (19) vorgesehen sind.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that in the first length region (15) of the feed pipe (7) two or more, approximately evenly distributed over the circumference of the feed pipe (7) exhaust pipes (19) are provided.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das innere Ende (20) des Abgasrohres (19) am inneren Ende (Kappe 18) des Zuführrohres (7) zu liegen kommt. 5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the inner end (20) of the exhaust pipe (19) at the inner end (cap 18) of the feed pipe (7) comes to rest.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgasrohr (19) auf der Höhe des weiter innen im Hohlkörper (1 ) liegenden dickeren Bereiches (16) des Zuführrohres (7) im Inneren des Zuführrohres (7) geführt angebracht ist und das offene, innere Ende (20) des Abgasrohres (19) außerhalb des Zuführrohres (7) angebracht ist.6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the exhaust pipe (19) at the level of the further inside in the hollow body (1) lying thicker area (16) of the feed pipe (7) inside the feed pipe (7) is attached and the open, inner end (20) of the exhaust pipe (19) is attached outside the supply pipe (7).
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgasrohr (19) das Zuführrohr (7) in dessen erstem Längenbereich (15) mit dem kleineren ersten Durchmesser (d) wenigstens teilweise umläuft und daß das Abgasrohr (19) in seinem Umlaufbereich mindestens eine Absaugöffnung (24) aufweist.7. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the exhaust pipe (19) at least partially rotates the supply pipe (7) in its first length region (15) with the smaller first diameter (d) and that the exhaust pipe (19) has at least one suction opening (24) in its circulation area.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Abgasrohr (19) flexibel ist. 8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the exhaust pipe (19) is flexible.
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Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7481636B2 (en) 2002-03-18 2009-01-27 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Device for the production of plastic containers by means of stretch blow moulding and device for coating the inner walls of a plastic container
US7985188B2 (en) 2009-05-13 2011-07-26 Cv Holdings Llc Vessel, coating, inspection and processing apparatus
DE102004020185B4 (en) * 2004-04-22 2013-01-17 Schott Ag Method and device for the inner coating of hollow bodies and use of the device
US8512796B2 (en) 2009-05-13 2013-08-20 Si02 Medical Products, Inc. Vessel inspection apparatus and methods
US9272095B2 (en) 2011-04-01 2016-03-01 Sio2 Medical Products, Inc. Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods
US9458536B2 (en) 2009-07-02 2016-10-04 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles
US9545360B2 (en) 2009-05-13 2017-01-17 Sio2 Medical Products, Inc. Saccharide protective coating for pharmaceutical package
US9554968B2 (en) 2013-03-11 2017-01-31 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging
US9662450B2 (en) 2013-03-01 2017-05-30 Sio2 Medical Products, Inc. Plasma or CVD pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus
US9664626B2 (en) 2012-11-01 2017-05-30 Sio2 Medical Products, Inc. Coating inspection method
US9764093B2 (en) 2012-11-30 2017-09-19 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition
CN107470061A (en) * 2017-08-30 2017-12-15 四川广安慧诚科艺玻璃有限公司 Bottle electrostatic spraying frock and electrostatic spraying device
US9863042B2 (en) 2013-03-15 2018-01-09 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD lubricity vessel coating, coating process and apparatus providing different power levels in two phases
US9878101B2 (en) 2010-11-12 2018-01-30 Sio2 Medical Products, Inc. Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods
US9903782B2 (en) 2012-11-16 2018-02-27 Sio2 Medical Products, Inc. Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics
US9937099B2 (en) 2013-03-11 2018-04-10 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate
US10189603B2 (en) 2011-11-11 2019-01-29 Sio2 Medical Products, Inc. Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
US10201660B2 (en) 2012-11-30 2019-02-12 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition on medical syringes, cartridges, and the like
US11066745B2 (en) 2014-03-28 2021-07-20 Sio2 Medical Products, Inc. Antistatic coatings for plastic vessels
US11077233B2 (en) 2015-08-18 2021-08-03 Sio2 Medical Products, Inc. Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate
US11116695B2 (en) 2011-11-11 2021-09-14 Sio2 Medical Products, Inc. Blood sample collection tube
US11624115B2 (en) 2010-05-12 2023-04-11 Sio2 Medical Products, Inc. Syringe with PECVD lubrication

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10138696A1 (en) * 2001-08-07 2003-03-06 Schott Glas Method and device for simultaneously coating and shaping a three-dimensional body
DE102012204689A1 (en) * 2012-03-23 2013-09-26 Krones Ag Suction valve in plasma coating device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2892733A (en) * 1955-09-16 1959-06-30 Plax Corp Method and apparatus for treating synthetic resin containers
US3323489A (en) * 1964-01-30 1967-06-06 Sylvania Electric Prod Apparatus for coating glass bulbs
US5521351A (en) * 1994-08-30 1996-05-28 Wisconsin Alumni Research Foundation Method and apparatus for plasma surface treatment of the interior of hollow forms
EP0773167A1 (en) * 1994-08-11 1997-05-14 Kirin Beer Kabushiki Kaisha Carbon film-coated plastic container manufacturing apparatus and method
WO1997018343A1 (en) * 1995-11-13 1997-05-22 Ist Instant Surface Technology S.A. Method and device for sterilising, deodorising and protecting the inner surfaces of containers and tubes
WO1997044503A1 (en) * 1996-05-22 1997-11-27 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Method and apparatus for treating inside surfaces of containers

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4316349C2 (en) * 1993-05-15 1996-09-05 Ver Foerderung Inst Kunststoff Process for the internal coating of hollow bodies with organic cover layers by plasma polymerization, and device for carrying out the process
EP0705149B1 (en) * 1993-06-01 1998-06-03 Kautex Textron GmbH & Co. KG. Method for producing a polymer coating inside hollow plastic articles
MX9504279A (en) * 1994-02-16 1997-05-31 Coca Cola Co Hollow containers with inert or impermeable inner surface through plasma-assisted surface reaction or on-surface polymerization.
DE59505516D1 (en) * 1995-04-28 1999-05-06 Inpro Innovations Gmbh Process for the plasma-based production of multifunctional layers on plastic parts
US6112695A (en) * 1996-10-08 2000-09-05 Nano Scale Surface Systems, Inc. Apparatus for plasma deposition of a thin film onto the interior surface of a container
WO1998037259A1 (en) * 1997-02-19 1998-08-27 Kirin Beer Kabushiki Kaisha Method and apparatus for producing plastic container having carbon film coating
DE19802506A1 (en) * 1998-01-23 1999-07-29 Leybold Systems Gmbh Production of barrier layers for gaseous and/or liquid materials, especially hydrocarbons, oxygen and water vapor, on plastic substrates

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2892733A (en) * 1955-09-16 1959-06-30 Plax Corp Method and apparatus for treating synthetic resin containers
US3323489A (en) * 1964-01-30 1967-06-06 Sylvania Electric Prod Apparatus for coating glass bulbs
EP0773167A1 (en) * 1994-08-11 1997-05-14 Kirin Beer Kabushiki Kaisha Carbon film-coated plastic container manufacturing apparatus and method
US5521351A (en) * 1994-08-30 1996-05-28 Wisconsin Alumni Research Foundation Method and apparatus for plasma surface treatment of the interior of hollow forms
WO1997018343A1 (en) * 1995-11-13 1997-05-22 Ist Instant Surface Technology S.A. Method and device for sterilising, deodorising and protecting the inner surfaces of containers and tubes
WO1997044503A1 (en) * 1996-05-22 1997-11-27 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Method and apparatus for treating inside surfaces of containers

Cited By (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7481636B2 (en) 2002-03-18 2009-01-27 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Device for the production of plastic containers by means of stretch blow moulding and device for coating the inner walls of a plastic container
DE102004020185B4 (en) * 2004-04-22 2013-01-17 Schott Ag Method and device for the inner coating of hollow bodies and use of the device
US9572526B2 (en) 2009-05-13 2017-02-21 Sio2 Medical Products, Inc. Apparatus and method for transporting a vessel to and from a PECVD processing station
US7985188B2 (en) 2009-05-13 2011-07-26 Cv Holdings Llc Vessel, coating, inspection and processing apparatus
US8512796B2 (en) 2009-05-13 2013-08-20 Si02 Medical Products, Inc. Vessel inspection apparatus and methods
US8834954B2 (en) 2009-05-13 2014-09-16 Sio2 Medical Products, Inc. Vessel inspection apparatus and methods
US10537273B2 (en) 2009-05-13 2020-01-21 Sio2 Medical Products, Inc. Syringe with PECVD lubricity layer
US10390744B2 (en) 2009-05-13 2019-08-27 Sio2 Medical Products, Inc. Syringe with PECVD lubricity layer, apparatus and method for transporting a vessel to and from a PECVD processing station, and double wall plastic vessel
US9545360B2 (en) 2009-05-13 2017-01-17 Sio2 Medical Products, Inc. Saccharide protective coating for pharmaceutical package
US9458536B2 (en) 2009-07-02 2016-10-04 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles
US11624115B2 (en) 2010-05-12 2023-04-11 Sio2 Medical Products, Inc. Syringe with PECVD lubrication
US11123491B2 (en) 2010-11-12 2021-09-21 Sio2 Medical Products, Inc. Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods
US9878101B2 (en) 2010-11-12 2018-01-30 Sio2 Medical Products, Inc. Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods
US9272095B2 (en) 2011-04-01 2016-03-01 Sio2 Medical Products, Inc. Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods
US11884446B2 (en) 2011-11-11 2024-01-30 Sio2 Medical Products, Inc. Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
US11724860B2 (en) 2011-11-11 2023-08-15 Sio2 Medical Products, Inc. Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
US10189603B2 (en) 2011-11-11 2019-01-29 Sio2 Medical Products, Inc. Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
US11116695B2 (en) 2011-11-11 2021-09-14 Sio2 Medical Products, Inc. Blood sample collection tube
US11148856B2 (en) 2011-11-11 2021-10-19 Sio2 Medical Products, Inc. Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
US10577154B2 (en) 2011-11-11 2020-03-03 Sio2 Medical Products, Inc. Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
US9664626B2 (en) 2012-11-01 2017-05-30 Sio2 Medical Products, Inc. Coating inspection method
US9903782B2 (en) 2012-11-16 2018-02-27 Sio2 Medical Products, Inc. Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics
US11406765B2 (en) 2012-11-30 2022-08-09 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition
US10201660B2 (en) 2012-11-30 2019-02-12 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition on medical syringes, cartridges, and the like
US10363370B2 (en) 2012-11-30 2019-07-30 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition
US9764093B2 (en) 2012-11-30 2017-09-19 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition
US9662450B2 (en) 2013-03-01 2017-05-30 Sio2 Medical Products, Inc. Plasma or CVD pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus
US10016338B2 (en) 2013-03-11 2018-07-10 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging
US10912714B2 (en) 2013-03-11 2021-02-09 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coated pharmaceutical packaging
US10537494B2 (en) 2013-03-11 2020-01-21 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated blood collection tube with low oxygen transmission rate
US11298293B2 (en) 2013-03-11 2022-04-12 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coated pharmaceutical packaging
US11344473B2 (en) 2013-03-11 2022-05-31 SiO2Medical Products, Inc. Coated packaging
US9937099B2 (en) 2013-03-11 2018-04-10 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate
US11684546B2 (en) 2013-03-11 2023-06-27 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coated pharmaceutical packaging
US9554968B2 (en) 2013-03-11 2017-01-31 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging
US9863042B2 (en) 2013-03-15 2018-01-09 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD lubricity vessel coating, coating process and apparatus providing different power levels in two phases
US11066745B2 (en) 2014-03-28 2021-07-20 Sio2 Medical Products, Inc. Antistatic coatings for plastic vessels
US11077233B2 (en) 2015-08-18 2021-08-03 Sio2 Medical Products, Inc. Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate
CN107470061A (en) * 2017-08-30 2017-12-15 四川广安慧诚科艺玻璃有限公司 Bottle electrostatic spraying frock and electrostatic spraying device

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