WO2001036341A3 - Verfahren zur mikrostrukturierung der formgebenden oberfläche eines formgebungswerkzeuges für das erzeugen von mikrostrukturen in glas oder kunststoff und zugehöriges formgebungswerkzeug - Google Patents

Verfahren zur mikrostrukturierung der formgebenden oberfläche eines formgebungswerkzeuges für das erzeugen von mikrostrukturen in glas oder kunststoff und zugehöriges formgebungswerkzeug Download PDF

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Abstract

Derartige Formgebungswerkzeuge werden typischerweise bei Heissformgebungsverfahren eingesetzt, um in das im plastischen Zustand vorliegende Substrat aus Glas oder Kunststoff die vorgegebene Struktur einzuprägen. Um den hohen Anforderungen an Korrosionsbeständigkeit, Verschleissfestigkeit, Kontaktverhalten usw. gerecht zu werden, muss die formgebende Oberfläche des Formgebungswerkzeuges aus speziellen Werkstoffen bestehen, die nicht einfach zu strukturieren sind. Die Erfindung sieht ein kostengünstig durchzuführendes Verfahren zur Strukturierung vor, bei dem zunächst auf der unstrukturierten Oberfläche durch die Methode der Lithographie eine Photolackschicht (2) mit Kavitäten (2a) und erhabenen Stellen (2b) strukturiert wird, die mit dem Kontaktwerkstoff vorzugsweise durch thermisches Spritzen beschichtet wird, wobei durch einen nachfolgenden Bearbeitungsschritt die Beschichtung (4) auf Strukturhöhe gebracht wird, unter Freilegung der Photolackstruktur in den erhabenen Stellen (2b), die anschliessend entfernt wird.
PCT/EP2000/011336 1999-11-17 2000-11-16 Verfahren zur mikrostrukturierung der formgebenden oberfläche eines formgebungswerkzeuges für das erzeugen von mikrostrukturen in glas oder kunststoff und zugehöriges formgebungswerkzeug WO2001036341A2 (de)

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080103438A1 (en) 2004-09-30 2008-05-01 Prais Alfred W Method For Reducing Or Eliminating Residue In A Glass Container And A Glass Container Made In Accordance Therewith
CN102534476A (zh) * 2010-12-09 2012-07-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 被覆件及其制造方法
TWI493072B (zh) * 2010-12-24 2015-07-21 鴻海精密工業股份有限公司 殼體及其製造方法
CN102534525A (zh) * 2010-12-25 2012-07-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件及其制备方法
CN102534483A (zh) * 2010-12-25 2012-07-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件及其制备方法
TWI490351B (zh) * 2010-12-29 2015-07-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 鍍膜件及其製備方法
CN102691043A (zh) * 2011-03-21 2012-09-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件及其制备方法
CN102732825A (zh) * 2011-04-06 2012-10-17 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件的制备方法及由该方法制得的镀膜件
CN113213941B (zh) * 2021-05-24 2022-03-18 南京工程学院 一种BCN纳米非晶相强韧化TiB2-B4C复相陶瓷的制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0618502A1 (de) * 1993-03-30 1994-10-05 MICROPARTS GESELLSCHAFT FÜR MIKROSTRUKTURTECHNIK mbH Verfahren zum Herstellen gestufter Formeinsätze, gestufte Formeinsätze und damit abgeformte gestufte Mikrostrukturkörper hoher Präzision
US5718618A (en) * 1996-02-09 1998-02-17 Wisconsin Alumni Research Foundation Lapping and polishing method and apparatus for planarizing photoresist and metal microstructure layers

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0618502A1 (de) * 1993-03-30 1994-10-05 MICROPARTS GESELLSCHAFT FÜR MIKROSTRUKTURTECHNIK mbH Verfahren zum Herstellen gestufter Formeinsätze, gestufte Formeinsätze und damit abgeformte gestufte Mikrostrukturkörper hoher Präzision
US5718618A (en) * 1996-02-09 1998-02-17 Wisconsin Alumni Research Foundation Lapping and polishing method and apparatus for planarizing photoresist and metal microstructure layers

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PALMSKOG G ET AL: "POLYMERIC MICROSTRUCTURES TECHNOLOGY FOR FUTURE LOW-COST, HIGH-VOLUME TELE- AND DATACOM COMPONETS", ERICSSON REVIEW,SE,ERICSSON. STOCKHOLM, vol. 73, no. 3, 1996, pages 98 - 104, XP000629579, ISSN: 0014-0171 *
SCHONHOLZER U P ET AL: "Microfabrication of ceramics by filling of photoresist molds", ADVANCED MATERIALS, 1 SEPT. 2000, VCH VERLAGSGESELLSCHAFT, GERMANY, vol. 12, no. 17, pages 1261 - 1263, XP002172372, ISSN: 0935-9648 *

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