TWM620717U - 淋水裝置之結構 - Google Patents

Abstract

本創作提供一種淋水裝置之結構，其包含：一殼體、一淋水組件以及一灑水裝置，該殼體之一內側設置一容置空間，該淋水組件設置於該容置空間，且該淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，該些個淋水層以及該些個黏膠層互相交疊設置，而該灑水裝置設置於該容置空間，並間隔設置於該淋水組件之一上方；於本創作中，該些個黏膠層個別對應包覆各別之該些個淋水層之表面，以增強該些個淋水層之結構強度，避免其受流動之氣體損壞。

Description

淋水裝置之結構

本創作是關於一種淋水裝置之結構，尤其係指一種增強淋水材料機械強度之結構。

隨著半導體元件尺寸的縮小，氣態分子污染物(AMC)的管制及監控方式也逐漸受到重視。為了避免電子產品的電性受到影響，半導體及晶圓製造之過程均置於嚴格管控的環境，亦即無塵室(cleanroom)內。習知的無塵室空氣品質控制，主要著重在微粒、氣流及溫溼度；然而近年來半導體業界已開始重新思考所謂無塵室的定義。隨著半導體體積的縮小，靜電破壞及氣態分子污染物的影響日益明顯，用於清除氣態分子污染物的裝置也逐漸進入市場。

其中，以設置淋水材料之裝置為常見的清除氣態分子污染物之裝置，淋水材料使用於恆溫恆濕微污染處理裝置上，透過灑水裝置淋水去除空氣中微量的氣態分子污染物。

但習知裝置當欲去除微量的氣態分子污染物之氣體流經淋水材時，由於其流速過快，導致淋水材被高速移動之氣體損毀，為避免此情況發生，產業界需要一種能增加材料強度，減少磨損，以延長淋水材料壽命之淋水裝置之結構。

有鑑於上述習知技術之問題，本創作提供一種淋水裝置之結構，其係於殼體之內側設置淋水組件，淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，淋水層以及黏膠層互相交疊設置，以黏膠層包覆淋水層之表面，增強淋水層之結構強度，避免其受高速流動之氣體損壞。

本創作之一目的在於提供一種淋水裝置之結構，其係一淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，該些個淋水層以及該些個黏膠層互相交疊設置，且該些個黏膠層個別對應包覆各別之該些個淋水層之表面，以增強該些個淋水層之結構強度，避免該些個淋水層受流動之氣體損壞。

為達到上述所指稱之各目的與功效，本創作提供一種淋水裝置之結構，其包含：一殼體、一淋水組件以及一灑水裝置，該殼體之一內側設置一容置空間，該淋水組件設置於該容置空間，該淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，該些個黏膠層各別塗佈於該些個淋水層之間，使該些個淋水層以及該些個黏膠層互相交疊設置，並該些個黏膠層對應黏接該些個淋水層，該灑水裝置設置於該容置空間，並間隔設置於該淋水組件之一上方，其中，該灑水裝置噴灑一第一流體至該淋水組件，該第一流體經過該些個淋水層以及該些個黏膠層；利用此結構增強淋水層之結構強度，避免淋水層之淋水材料受流動之氣體損壞。

本創作之一實施例中，更包含一除水裝置，該除水裝置設置於該容置空間，並間隔設置於該灑水裝置之一上方。

本創作之一實施例中，更包含一網狀件，該網狀件設置於該淋水組件之一下方。

本創作之一實施例中，其中該殼體之一上方一端設置一出風口，該殼體之一下方一側設置一入風口，一第二流體由該入風口進入至該殼體，該第二流體經過該些個淋水層以及該些個黏膠層至該灑水裝置後，由該出風口排出。

本創作之一實施例中，其中該些個淋水層設置複數個通道，該第一流體流經該些個通道。

本創作之一實施例中，其中該些個黏膠層各別設置複數個穿孔，該些個穿孔連通該些個通道，該第一流體流經該些個穿孔。

本創作之一實施例中，其中該些個黏膠層之材料係選自矽膠、環氧樹脂、丙烯酸以及聚氨酯之其中之一或任意組合。

本創作之一實施例中，其中該些個黏膠層各別之一厚度係大於0.1cm並小於5cm。

本創作之一實施例中，更包含一送風裝置，其設置於該入風口。

本創作之一實施例中，其中該些個黏膠層各別對應包覆各別之該些個淋水層之部分。

為使　貴審查委員對本創作之特徵及所達成之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以實施例及配合說明，說明如後：

有鑑於上述習知技術之問題，本創作係於一殼體之一內側設置一容置空間，一淋水組件設置於該容置空間，且該淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，該些個淋水層以及該些個黏膠層互相交疊設置，利用該些個黏膠層個別對應包覆各別之該些個淋水層之表面，以增強該些個淋水層之結構強度，避免其受流動之氣體損壞，以此裝置結構解決習知技術流經淋水材料之氣體流速過快，導致淋水材被高速移動之氣體損毀之問題。

請參閱第1圖，其為本創作之一實施例之結構示意圖，如圖所示，本實施例係一種淋水裝置之結構1，其包含一殼體10、一淋水組件20以及一灑水裝置30；於本實施例中，該殼體10之一上方一端設置一出風口102，該殼體10之一下方一側設置一入風口104，使流體可於流經該殼體10。

再次參閱第1圖，如圖所示，於本實施例中，該殼體10之一內側設置一容置空間1，該淋水組件20設置於該容置空間12之一內側，該淋水組件20包含複數個淋水層22以及複數個黏膠層24，該些個黏膠層24各別塗佈於該些個淋水層22之間，使該些個淋水層22以及該些個黏膠層24互相交疊設置以增強該些個淋水層22之機械強度，該灑水裝置30設置於該容置空間12之一內側，該灑水裝置30間隔設置於該淋水組件20之一上方，以對該淋水組件20噴灑液體；於本實施例中，該些個黏膠層24各別對應包覆各別之該些個淋水層22之部分，或該些個黏膠層24完整包覆該些個淋水層22，但本實施例不在此限制；於本實施例中，該些個淋水層22係一淋水填料，其具有複數個通道(圖未示)，該些個淋水層22用於接收並將該灑水裝置30噴灑之液體(例如水)，經多次濺散呈微細小水滴或水膜，增大該液體之接觸面積，延長液體與氣體之接觸時間，確保通過之氣體能與該液體有效交換。

請參閱第2圖以及第3圖，第2圖為本創作之一實施例之流體流動示意圖，第3圖為本創作之一實施例之淋水組件結構放大示意圖，如圖所示，於本實施例中，該灑水裝置30噴灑一第一流體W(例如水)至該淋水組件20，該第一流體W經過交疊設置之該些個淋水層22以及該些個黏膠層24，於本實施例中，該些個黏膠層24之材料係選自矽膠、環氧樹脂、丙烯酸以及聚氨酯之其中之一或任意組合，但本實施例不在此限制。

接續上述，於本實施例中，該些個黏膠層24係黏著劑，該些個黏膠層24之黏著劑上膠方式可為浸泡式、刷塗式以及噴塗式，浸泡式係使用器皿盛裝黏著劑，將該些個淋水層22放入該器皿浸泡，刷塗式係使用刷具(例如毛刷、滾桶刷、各類刷具)沾取黏著劑，再將黏著劑均勻刷塗於該些個淋水層22之表面，而噴塗式係使用噴霧器(例如氣噴、高壓無氣噴塗、氣噴結合刷具、氣噴結合滾桶刷具、高壓無氣噴結合刷具、高壓無氣噴結合滾桶刷具)，將黏著劑均勻噴灑於該些個淋水層22之表面；於本實施例中，該些個黏膠層24各別之一厚度H1係大於0.1cm並小於5cm，但本實施例不在此限制。

接續上述，於本實施例中，該些個黏膠層24各別設置複數個穿孔242，使該第一流體W可通過，於本實施例中，該些個黏膠層24之該些個穿孔242係對應連通該些個淋水層22之該些個通道。

再次參閱第2圖以及第3圖，如圖所示，於本實施例中，更包含一除水裝置40以及一網狀件50，該除水裝置40設置於該容置空間12，並間隔設置於該灑水裝置30之一上方，用於去除通過之流體所包含之水氣，該網狀件50設置於該淋水組件20之一下方，以增強該淋水組件20之機械強度。

請參閱第4圖，其為本創作之一實施例之流體流動及送風裝置示意圖，如圖所示，本實施例更包含一送風裝置60，其設置於該殼體10之該入風口104內側，一第二流體A(例如空氣)經由該入風口104進入，該送風裝置60將該第二流體A送至該殼體10之該容置空間12內，再流經該網狀件50，並經過該淋水組件20之該些個淋水層22以及該些個黏膠層24與該第一流體W接觸，以去除該第二流體A包含之氣態分子污染物，該第二流體A再流經該除水裝置40，進行除濕，最後該第二流體A流出該出風口102；於本實施例中，該第二流體A流經該些個淋水層22之該些個通道以及該些個黏膠層24之該些個穿孔242。

本實施例之一種淋水裝置之結構1係將該些個淋水層22之上下兩表面的表面塗布該些個黏膠層24進行固化，固化後之該些個淋水層22保留原有之通道，並使該些個淋水層22之間互相黏接，並於完全固化後之最底層之該些個淋水層22設置該網狀件，增加機械強度。固化後之該些個淋水層22，不論是該些個淋水層22層與層之間的強度或是整面淋水材的強度均是增加，所以當流體通過時，可抵擋較快風速之流體，避免該些個淋水層22破損，進而影響裝置之效率。

綜上所述，本創作提供一種淋水裝置之結構，其係於殼體之內側設置淋水組件，淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，淋水層以及黏膠層互相交疊設置，以黏膠層包覆淋水層之表面，並將複數個淋水層黏接，增強淋水層之間之機械強度，避免其受高速流動之氣體損壞，解決習知技術中，流經淋水材料之氣體速度過快，導致淋水材被高速移動之氣體損毀，進而產生成本、裝置效率低下之問題。

故本創作實為一具有新穎性、進步性及可供產業上利用者，應符合我國專利法專利申請要件無疑，爰依法提出創作專利申請，祈  鈞局早日賜准專利，至感為禱。

惟以上所述者，僅為本創作一實施例而已，並非用來限定本創作實施之範圍，故舉凡依本創作申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本創作之申請專利範圍內。

1:淋水裝置之結構 10:殼體 102:出風口 104:入風口 12:容置空間 20:淋水組件 22:淋水層 24:黏膠層 242:穿孔 30:灑水裝置 40:除水裝置 50:網狀件 60:送風裝置 A:第二流體 H1:厚度 W:第一流體

第1圖：其為本創作之一實施例之結構示意圖； 第2圖：其為本創作之一實施例之流體流動示意圖； 第3圖：其為本創作之一實施例之淋水組件結構放大示意圖；以及 第4圖：其為本創作之一實施例之流體流動及送風裝置示意圖。

1:淋水裝置之結構

10:殼體

102:出風口

104:入風口

12:容置空間

20:淋水組件

22:淋水層

24:黏膠層

30:灑水裝置

40:除水裝置

50:網狀件

Claims (10)

1. 一種淋水裝置之結構，其包含： 一殼體，其一內側設置一容置空間； 一淋水組件，其設置於該容置空間，該淋水組件包含複數個淋水層以及複數個黏膠層，該些個黏膠層各別塗佈於該些個淋水層之間，使該些個淋水層以及該些個黏膠層互相交疊設置，並該些個黏膠層對應黏接該些個淋水層；以及 一灑水裝置，其設置於該容置空間，並間隔設置於該淋水組件之一上方； 其中，該灑水裝置噴灑一第一流體至該淋水組件，該第一流體經過該些個淋水層以及該些個黏膠層。
2. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，更包含一除水裝置，該除水裝置設置於該容置空間，並間隔設置於該灑水裝置之一上方。
3. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，更包含一網狀件，該網狀件設置於該淋水組件之一下方。
4. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，其中該殼體之一上方一端設置一出風口，該殼體之一下方一側設置一入風口，一第二流體由該入風口進入至該殼體，該第二流體經過該些個淋水層以及該些個黏膠層至該灑水裝置後，由該出風口排出。
5. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，其中該些個淋水層設置複數個通道，該第一流體流經該些個通道。
6. 如請求項5所述之淋水裝置之結構，其中該些個黏膠層各別設置複數個穿孔，該些個穿孔連通該些個通道，該第一流體流經該些個穿孔。
7. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，其中該些個黏膠層之材料係選自矽膠、環氧樹脂、丙烯酸以及聚氨酯之其中之一或任意組合。
8. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，其中該些個黏膠層各別之一厚度係大於0.1cm並小於5cm。
9. 如請求項4所述之淋水裝置之結構，更包含一送風裝置，其設置於該入風口。
10. 如請求項1所述之淋水裝置之結構，其中該些個黏膠層各別對應包覆各別之該些個淋水層之部分。

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