TWM465661U - 下膜機 - Google Patents

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TWM465661U TW102211696U TW102211696U TWM465661U TW M465661 U TWM465661 U TW M465661U TW 102211696 U TW102211696 U TW 102211696U TW 102211696 U TW102211696 U TW 102211696U TW M465661 U TWM465661 U TW M465661U
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Taiwan
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Inventor
Pei-Feng Huang
Original Assignee
Gillion Technology Corp
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Description

下膜機
本新型是關於一種下膜機,特別是指一種可以將裝載有晶圓之膜片自載板上卸下,並且在該載板上黏貼新的膜片,以方便該晶圓作後續加工的下膜機。
一般貼膜機在使用時,通常在一個載框上插設數片上下置放的載板,再利用機具將一片片的載板抽出,以進行貼膜加工,貼膜後的載板再以機具運送到另一個空的載框內並上下置放,即可將該黏貼有膜片的載板連同該載框一起送到晶圓組裝區黏貼晶圓,當晶圓連同膜片一起自該載板上卸除後,空的載板再插設到空的載框上,然後一起送回貼膜機備用。習知貼膜機雖然可以在一片片的載板上黏貼膜片,並且運送到晶圓組裝區組裝晶圓,但是在貼膜機貼膜之後的流程無法一貫化,也需要備用及存放許多的載框,故作業順暢性比較差。
本新型之目的是在提供一種可以提高作業順暢性及加工速度之下膜機。
本新型之下膜機可將裝載有一晶圓之一膜片從 一個載板上卸下,並且在該載板上黏貼一片新的膜片,所述貼膜並可分別承載一片晶圓,而該下膜機包含:數個用來載送該等載板的載框、一個基架,以及位在該基架上的一個下膜機構、一個貼膜機構以及一個輸送機構,該基架包括一個下膜區域、一個貼膜區域,以及一個可讓該等載框進出的載送區域,該下膜機構位在該基架之下膜區域內,並包括一個將該載板與黏貼有膜片之晶圓分離的下膜單元,該貼膜機構安裝在該基架之貼膜區域內,並包括一個可將新的膜片黏貼在該載板上的貼膜單元,所述輸送機構包括一個將裝載有晶圓之載板送到該下膜機構進行下膜作業的進料單元、一個將卸除晶圓及膜片後的載板移送到該貼膜機構進行貼膜作業的移送單元,以及一個將貼膜後的載板移送到空的載框內並將所述載框移離該載送區域的出料單元。
本新型有益的效果在於:藉由該等載框來載運該等載板,以及該輸送機構之配合來移送該等載框及載板,不僅可以在下膜後之載板上立即貼上一片膜片,也可以讓下膜及貼膜的作業一貫化,以提高該下膜機之作業順性及加工速度。
1‧‧‧加工組件
11‧‧‧載板
12‧‧‧膜片
13‧‧‧晶圓
2‧‧‧載框
21‧‧‧側壁
211‧‧‧插槽
3‧‧‧基架
31‧‧‧下膜區域
32‧‧‧貼膜區域
33‧‧‧載送區域
331‧‧‧進框軌道
332‧‧‧備框軌道
333‧‧‧出框軌道
4‧‧‧下膜機構
41‧‧‧晶圓載盤
42‧‧‧下膜單元
5‧‧‧貼膜機構
51‧‧‧供膜單元
511‧‧‧膜捲
52‧‧‧貼膜單元
53‧‧‧切膜單元
54‧‧‧夾膜單元
6‧‧‧輸送機構
61‧‧‧進料單元
611‧‧‧第一升降座
612‧‧‧第一移送座
613‧‧‧第一升降軌道
614‧‧‧第一動力源
615‧‧‧第一升降台
62‧‧‧移送單元
621‧‧‧第二移送座
622‧‧‧第三移送座
623‧‧‧第四移送座
63‧‧‧出料單元
631‧‧‧第二升降座
632‧‧‧第五移送座
633‧‧‧第六移送座
634‧‧‧第二升降軌道
635‧‧‧第一動力源
636‧‧‧第二升降台
64‧‧‧備框單元
641‧‧‧第七移送座
642‧‧‧第八移送座
643‧‧‧第九移送座
71‧‧‧進框路徑
72‧‧‧下膜路徑
73‧‧‧貼膜路徑
74‧‧‧出料路徑
75‧‧‧下降路徑
76‧‧‧平移路徑
77‧‧‧出框路徑
81‧‧‧退框路徑
82‧‧‧外推路徑
83‧‧‧儲框路徑
84‧‧‧補框路徑
85‧‧‧上升路徑
本新型之其他的特徵及功效,將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現,其中:圖1是本新型下膜機之一較佳實施例的一個前視立體圖,為了簡化圖式的線條,圖1只示意一個加工組件; 圖2是該較佳實施例之一個未完整的後視立體圖,主要省略該下膜機之一基架;圖3是該較佳實施例之一局部立體圖,主要說明該下膜機之一輸送機構,圖中亦只示意一個加工組件;圖4是該較佳實施例之一俯視示意圖;圖5是該較佳實施例之一局部側視圖,主要說明該輸送機構;及圖6是該較佳實施例之另一局部立體圖,主要說明該輸送機構之一移送單元。
在本新型被詳細描述之前,應當注意在以下的說明內容中,類似的元件是以相同的編號來表示。
參閱圖1、2、3,本新型下膜機之一較佳實施例可在數片載板11上各別黏貼一片的膜片12,每片膜片12都可承接一片的晶圓13,為了達到加工自動化的目的,該下膜機亦可從載板11上將承接有晶圓13之膜片12卸下。為了方便說明,將一片載板11、一片膜片12及一片晶圓13合稱為一個加工組件1,且為了簡化圖式的線條,圖1、3只示意一個加工組件1。該下膜機包含:數個可立體收納加工組件1的載框2、一個基架3,以及安裝在該基架3上的一個下膜機構4、一個貼膜機構5、一個輸送機構6。其中,該下膜機構4可以將膜片12及晶圓13自該載板11上卸除,而該貼膜機構5可以在空的載板11上黏貼新的膜片12。
本實施例之載框2都包括兩片間隔設置的側壁21,每片側壁21都具有數個上下間隔且相對應的插槽211,而該等載板11是數片一組地插設在該等載框2上等高的插槽211內。
本實施例之基架3是由數根框條架設而成的立體結構,並包括一個下膜區域31、一個與該下膜區域31相鄰的貼膜區域32,以及一個橫跨並位於該下膜區域31及該貼膜區域32側邊的載送區域33,該載送區域33具有一個位於上方的進框軌道331、一個位於下方的備框軌道332,以及一個介於該進框軌道331及該備框軌道332之間的出框軌道333,該進框軌道331、該備框軌道332及該出框軌道333是上下平行設置。
本實施例該下膜機構4安裝在該基架3之下膜區域31內,並包括一個晶圓載盤41,以及一個位在該晶圓載盤41上方並可將黏貼有膜片12之晶圓13推送到該晶圓載盤41上的下膜單元42,推送後,該載板11會和該膜片12及該晶圓13分離,在本較佳實施例中,該下膜單元42為壓缸的形式,但本新型在實施時並不以此為限。
本實施例該貼膜機構5安裝在該基架3之貼膜區域32內,並包括一個具有至少一膜捲511的供膜單元51、一個貼膜單元52、一個介於該供膜單元51及該貼膜單元52之間並用來裁切該膜捲511使其形成一片片新的膜片12的切膜單元53,以及一個將該膜捲511往該貼膜單元52方向夾持的夾膜單元54。當該夾膜單元54將該膜捲511夾 持通過該貼膜單元52,同時該切膜單元53將該膜帶511裁斷時,即可形成本實施例所述的膜片12,之後藉由該貼膜單元52上下往復移動,即可完成貼膜的作業。由於將成捲的膜帶511裁切成一片片長度適當之膜片12的可行方式很多,故本新型該貼膜機構5的結構亦不以實施例所揭露者為限。
參閱圖1、4、5,本實施例的輸送機構6可以帶動該等載板11沿著一個加工路線移動,並依序通過該下膜機構4及該貼膜機構5,以進行下膜及貼膜的作業,同時帶動該等載框2沿著一個備框路線移動,以承接貼膜後的載板11,如此源源不斷的循環,不僅可以充分運用該等載框2及該等載板11,亦可提高該下膜機作業的順暢性。
以下的說明中,先箭頭輔助說明該加工路線及該備框路線,其中,該加工路線包括一個將裝載加工組件1的載框2送入該基架3之進框軌道331的進框路徑71、一個將存放在該載框2內之加工組件1抽往該下膜機構4的下膜路徑72、一個將下膜後且空的載板11移送到該貼膜機構5進行貼膜加工的貼膜路徑73、一個將貼膜完成之載板11移到另一個備用之載框2內的出料路徑74、一個降低載滿貼膜後之載板11之載框2的下降路徑75、一個將下降後之載框2橫移到該基架3之出框軌道333的平移路徑76,以及一個將裝滿貼膜後之載板11的載框2移出該基架3之載送區域33的出框路徑77。
而該備框路線包括一個將空的載框2下降並對 應該備框軌道332的退框路徑81、一個將該空的載框2往該基架3之載送區域33移送的外推路徑82、一個將該外推後的載框2往後推送的儲框路徑83、一個將空的載框2往該基架3之貼膜區域32方向內推的補框路徑84,以及一個將該載框2上推以承接貼膜後之載板11的上升路徑85。
參閱圖3~6,為了執行以上的加工路線及備框路線,本實施例該輸送機構6包括:一個將載有晶圓13之載板11送到該基架3之下膜區域31進行下膜作業的進料單元61、一個將卸除晶圓13後之載板11移送到該到該基架3之貼膜區域32進行貼膜作業的移送單元62、一個將貼膜後的載板11移送到該等載框2的其中之一上並將所述載框2移離該載送區域33的出料單元63,以及一個將空的載框2移送到該基架3之貼膜區域32以承接重新貼膜後之載板11的備框單元64。
該進料單元61具有一個第一升降座611,以及一個將裝載有晶圓13之載框2推送該到該第一升降座611上的第一移送座612,該第一升降座611具有一個第一升降軌道613、一個安裝在該第一升降軌道613上的第一動力源614,以及一個安裝在該第一升降軌道613上的第一升降台615。而該第一移送座612為壓缸的形式,可以將該等載框2推送到該第一升降台615上。
而該移送單元62具有一個沿著該下膜路徑72往復移動的第二移送座621、一個沿著該貼膜路徑73往復移動的第三移送座622,以及一個沿著該出料路徑74往復 移動的第四移送座623。該第二移送座621的結構並無特別的限制,可以直接由鄰近該下膜單元42的一側往該進料單元61一側移動,以夾取該加工組件1,亦可讓被夾取之加工組件1一個個併排送到該下膜單元42接受加工,以縮短夾取的行程。
該出料單元63具有一個可沿著該下降路徑75及該上升路徑85升降的第二升降座631、一個沿著該平移路徑76將該載框2移送該出框軌道333的第五移送座632,以及一個沿著該出框路徑77將該載框2送離該出框軌道333的第六移送座633。該第二升降座631的構造與第一升降座631相同,並具有一個第二升降軌道634、一個第二動力源635及一個第二升降台636。該備框單元64具有一個沿著該外推路徑82將空的載框2移送到該基架3之備框軌道332的第七移送座641、一個沿著該儲框路徑83將該載框2往後推送的第八移送座642,以及一個沿著該補框路徑84將空的載框2推送到該第二升降台636內的第九移送座643。
本實施例該下膜機在使用時,該等加工組件1是上下設置地插設在該等載框2內,並且沿著該進框軌道331進入該基架3之載送區域33,受到該第一移送座612的推送,該載框2將移到該第一升降台615內,此時該移送單元62之第二移送座621會如圖4所示沿著該下膜路徑72將加工組件1往該下膜機構4的方向夾送,當該加工組件1對應該下膜機構4時,原本黏貼在該載板11上之膜片 12及裝載的晶圓13將被該下膜單元42推送到該晶圓載盤41上,空的載板11受到該第三移送座622的推送往該基架3的貼膜區域32移動,接著,該貼膜機構5之貼膜單元52就可將一片新的膜片12上推,並且貼設在該載板11的下方,同時完成貼膜的加工。貼膜後該載板11受到該第四移送座623的推送往架設在該第二升降台636上的載框2移送,並且插設在空的載框2內。
當該加工組件1被抽離原本插設之載框2的過程中,該第一動力源614將驅動該第一升降台615下降一小格,使得上下置放在該載框2內之加工組件1可以依序下降對應該第二移送座621。相同道理,當貼膜後的載板11插設到位於該第二升降台636內的載框2時,該第二動力源635會下降一小格,使貼上新的膜片12後的載板11可以依序插設到空的載框2內。
當位於該第一升降台615內的載板11被完全抽離後,該第一升降台615就會沿著該退框路徑81下降對應該基架3之備框軌道332,然後被該第七移送座641推送到該備框軌道332,接著,該第八移送座642會沿著該儲框路徑83將空的載框2往後推送。當位於該第二升降台636上的載框2已經插滿貼膜後的載板11時,該第二升降台636就會下降對應該基架3的出框軌道333,然後該第五移送座632會將該裝滿並貼有新的膜片12之載板11的載框2推往該出框軌道333,緊接著,該第六移送座633會將該載框2推離該下膜機。以此類推,即可一貫化地完成下膜及貼膜 的作業。
由以上說明可知,本新型該下膜機不僅結構新穎,更可充分利用該等載框2及該等載板11來達到一貫化下膜及貼膜的作業,同時加速作業速度,故本新型確為一種新穎、實用的下膜機。
惟以上所述者,僅為本新型之較佳實施例而已,當不能以此限定本新型實施之範圍,即大凡依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。
1‧‧‧加工組件
11‧‧‧載板
12‧‧‧膜片
13‧‧‧晶圓
2‧‧‧載框
3‧‧‧基架
31‧‧‧下膜區域
32‧‧‧貼膜區域
33‧‧‧載送區域
331‧‧‧進框軌道
332‧‧‧退框軌道
333‧‧‧出框軌道
4‧‧‧下膜機構
41‧‧‧晶圓載盤
42‧‧‧下膜單元
5‧‧‧貼膜機構
51‧‧‧供膜單元
52‧‧‧貼膜單元
6‧‧‧輸送機構
61‧‧‧進料單元
62‧‧‧移送單元
63‧‧‧出料單元
64‧‧‧備框單元
642‧‧‧第八移送座

Claims (9)

  1. 一種下膜機,將裝載有一晶圓之一膜片自一載板上卸下,並且重新在該載板黏貼一片新的膜片,該下膜機包含:數個載框,用來載送該載板;一個基架,包括一個下膜區域、一個貼膜區域,以及一個可讓該等載框進出的載送區域;一個下膜機構,位在該基架之下膜區域內,包括一個將該載框與黏貼有膜片之晶圓分離的下膜單元;一個貼膜機構,位在該基架之貼膜區域內,包括一個可將新的膜片黏貼在該載板上的貼膜單元;及一輸送機構,包括一個將裝載有晶圓之載板送到該下膜機構進行下膜作業的進料單元、一個將卸除晶圓及膜片的載板移送到該貼膜機構進行貼膜作業的移送單元,以及一個將貼膜後的載板移送到該等載框的其中之一上並將所述載框移離該載送區域的出料單元。
  2. 如請求項1所述的下膜機,其中,該基架之載送區域具有一個讓裝載有晶圓之載框進入的進框軌道,而該進料單元具有一個具有一第一升降台之第一升降座,以及一個沿著一個進框路徑將位於該進框軌道上的載框推送到該第一升降台的第一移送座。
  3. 如請求項2所述的下膜機,其中,該移送單元具有 一個沿著一個下膜路徑將承載有晶圓及膜片之載板移送到該下膜機構的第二移送座、一個沿著一個貼膜路徑將下膜後之載板移送到該貼膜機構的第三移送座,以及一個沿著一個出料路徑將貼膜後的載板移送到該等載框的其中之一上的第四移送座。
  4. 如請求項3所述的下膜機,其中,該基架之載送區域還具有一個與該進框軌道上下平行的出框軌道,而該出料單元具有一個第二升降座,該第二升降座具有一個可沿著一個下降路徑將裝載有重新貼有膜片之載板的載框下移的第二升降台,而該出料單元還具有一個沿著一個平移路徑將裝滿載板之載框移送到該出框軌道的第五移送座,以及一個沿著一個出框路徑將位於該出框軌道上的載框移離的第六移送座。
  5. 如請求項4所述的下膜機,其中,該基架之載送區域還具有一個備框軌道,而該輸送機構還包括一個可以將卸除載板後之載框移送到該備框軌道的備框單元。
  6. 如請求項5所述的下膜機,其中,該備框單元具有一個將空的載框移送到該備框軌道的第七移送座、一個將位於該備框軌道上的載框往一個儲框路徑移送的第八移送座,以及一個將所述載框移送到該第二升降台的第九移送座。
  7. 如請求項1所述的下膜機,其中,該基架之載送區 域具有一個備框軌道,而該輸送機構還包括一個可以將卸除載板後之載框移送到該備框軌道的備框單元。
  8. 如請求項1至請求項7中任一項所述的下膜機,其中,該貼膜機構還包括一個具有一個膜捲的供膜單元,以及一個將該供膜單元之膜捲裁切出該等膜片的切膜單元,所述貼膜單元將裁切後之膜片貼設在載板上。
  9. 如請求項8所述的下膜機,其中,該下膜機構還包括一個用來承接下膜後之晶圓及膜片的晶圓載盤。
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