TWI828900B - 具有可制定電阻之厚膜電阻器及其製造方法 - Google Patents

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Abstract

一種方法包括將包括一鈦酸鹽之一介電材料與一碳基墨水摻合以形成一改質之碳基墨水。該方法亦包括將該改質之碳基墨水印刷至一結構上。該方法進一步包括在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該印刷之改質之碳基墨水固化。此外，該方法包括處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成一厚膜電阻器。與該碳基墨水摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基墨水的按重量計約15%。該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率的雙倍之一電阻率。該厚膜電阻器可經組態以處置高達約200 mA之電流而無熔斷，及/或處置高達約1.0 W之功率而無熔斷。

Description

具有可制定電阻之厚膜電阻器及其製造方法
發明領域
本揭露內容大體係關於電阻器及用於製造電阻器之技術。更具體言之，本揭露內容係關於具有可制定電阻之厚膜電阻器及其製造方法。
發明背景
電阻器以各種方式用於眾多電子裝置及其他裝置中，且多年來，已開發了不同類型之電阻器。「表面黏著」電阻器通常表示具有安裝於印刷電路板或其他基體之表面上的電氣端子之電阻器。「薄膜」電阻器通常表示藉由沈積薄電阻性材料層至一陶瓷基底或其他基體上形成之電阻器。「厚膜」電阻器通常表示藉由沈積厚電阻性材料膏狀物至一印刷電路板或其他基體上形成之電阻器。
表面黏著電阻器典型地並非低外形尺寸或低成本裝置，且表面黏著電阻器之使用可導致在電路或裝置中創造寄生電容或寄生電感。厚膜電阻器常將更適合於比薄膜電阻器高的電流或高的功率應用。遺憾地，厚膜電阻器可具有黏附至某些類型之基體的困難。又，厚膜電阻器可仍具有有限電流及功率處置能力，此可防止其在某些較高電流或較高功率應用中之使用。另外，與薄膜電阻器相比，控制厚膜電阻器之幾何形狀(及因此電阻)常更困難。用以形成厚 膜電阻器之厚膜材料典型地在固化後具有高黏度及高收縮，此使幾何形狀控制困難。此外，針對厚膜電阻器之製造技術常涉及燒結或其他高溫操作，該等操作可常涉及高達500℃、700℃、850℃或甚至更高之溫度。此等溫度可損壞其他電氣組件，從而阻止將此等製造技術用於各種應用。
發明概要
本揭露內容提供具有可制定電阻之厚膜電阻器及其製造方法。
在一第一實施例中，一種方法包括將包括一鈦酸鹽之一介電材料與一碳基墨水摻合以形成一改質之碳基墨水。該方法亦包括將該改質之碳基墨水印刷至一結構上。該方法進一步包括在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該印刷之改質之碳基墨水固化。此外，該方法包括處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成一厚膜電阻器。與該碳基墨水摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基墨水的按重量計約15%。該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率的雙倍之一電阻率。
在一第二實施例中，一種方法包括獲得包括與一介電材料摻合之一碳基厚膜材料的一改質之碳基厚膜材料。該方法亦包括將該改質之碳基厚膜材料沈積至一結構上。該方法進一步包括在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該沈積之改質之碳基厚膜材料固化。此外，該方法包括處理該經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成一厚膜電阻器。與該碳基厚膜材料摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基厚膜材料的按重量計約15%。
在一第三實施例中，一種設備包括一厚膜電阻器，其係藉由以下步驟來製造：(i)將包括一鈦酸鹽之一介電材料與一碳基墨水摻合以形成一改質之碳基墨水，(ii)將該改質之碳基墨水印刷至一結構上，(iii)在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該印刷之改質之碳基墨水固化，及(iv)處理該經固化的印 刷之改質之碳基墨水以形成該厚膜電阻器。與該碳基墨水摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基墨水的按重量計約15%。該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率的雙倍之一電阻率。
在一第四實施例中，一種方法包括將包括一鈦酸鹽之一介電材料與一碳基墨水摻合以形成一改質之碳基墨水。該方法亦包括將該改質之碳基墨水印刷至一結構上。該方法進一步包括在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該印刷之改質之碳基墨水固化。此外，該方法包括處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成一厚膜電阻器。將該介電材料與該碳基墨水摻合使該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率雙倍的一電阻率。
在一第五實施例中，一種方法包括獲得包括與一介電材料摻合之一碳基厚膜材料的一改質之碳基厚膜材料。該方法亦包括將該改質之碳基厚膜材料沈積至一結構上。該方法進一步包括在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該沈積之改質之碳基厚膜材料固化。此外，該方法包括處理該經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成一厚膜電阻器。與該碳基厚膜材料摻合之該介電材料使該改質之碳基厚膜材料具有至少為該碳基厚膜材料之一電阻率雙倍的一電阻率。
在一第六實施例中，一種設備包括一厚膜電阻器，其係藉由以下步驟來製造：(i)將一改質之碳基墨水印刷至一結構上，其中該改質之碳基墨水包括一介電材料，該介電材料包括與一碳基墨水摻合之一鈦酸鹽；(ii)在不超過約250℃之一溫度下使該結構上的該印刷之改質之碳基墨水固化；及(iii)處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成該厚膜電阻器。與該碳基墨水摻合之該介電材料使該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率雙倍的一電阻率。
自以下圖、描述及申請專利範圍，其他技術特徵易於對熟習此項 技術者顯而易見。
100:電路
100':結構
102:厚膜電阻器
104,106:傳導性跡線
108:基體
200:操作流程
202:混合操作
204:沈積操作
206:固化操作
208:混合器
210:改質之厚膜材料
212:列印機
214:加熱器
216:額外處理操作
300:用於形成具有一可制定電阻之一厚膜電阻器之一實例方法
302,304,306,308,310:步驟
為了更完整地理解本揭露內容，結合隨附圖式，對以下描述進行參考，其中：圖1A及圖1B繪示根據本揭露內容的具有具一可制定電阻之一厚膜電阻器之一實例電路；圖2繪示根據本揭露內容的用於形成具有可制定電阻之厚膜電阻器之一實例操作流程；且圖3繪示根據本揭露內容的用於形成具有一可制定電阻之一厚膜電阻器之一實例方法。
以下描述之圖1A至圖3及用以描述本專利文獻中的本發明之原理之各種實施例僅係作為說明，且決不應解釋為限制本發明之範疇。熟習此項技術者應理解，本發明之原理可在任何類型之合適配置之裝置或系統中實施。
如上指出，厚膜電阻器常將比薄膜電阻器及表面黏著電阻器更為需要或更適合於使用，但厚膜電阻器可能承受許多劣勢。舉例而言，厚膜電阻器可具有黏附至某些類型之基體的困難，諸如，自聚四氟乙烯(PTFE)形成之基體或其他類型之基體，且可具有有限電流及功率處置能力。又，用以形成厚膜電阻器之厚膜材料典型地在固化後具有高黏度及高收縮，此使厚膜電阻器之幾何形狀控制(及因此電阻控制)困難。此外，厚膜電阻器之製造技術常涉及燒結或其他高溫操作之執行，此可損壞其他組件。
本揭露內容描述用於印刷或以其他方式形成具有可制定電阻之厚膜電阻器之各種技術。如以下更詳細地描述，可藉由將介電材料(通常被稱作「改質劑」)添加至厚膜電阻器來改質碳基墨水、膏狀物或其他厚膜材料，以便生產 改質之厚膜材料。實例類型之介電材料包括至少一種鈦酸鹽，諸如，鈦酸鋇(BT)、鈦酸鍶(ST)或鈦酸鍶鋇(BST)。添加至碳基厚膜材料的改質劑之量可基於改質之厚膜材料之所要的電阻。改質之厚膜材料可接著印刷或以其他方式沈積至印刷電路板或其他基體或結構上，經固化，且經處理以形成厚膜電阻器。
添加至碳基厚膜材料的改質劑之量更改可使用厚膜材料獲得之電阻。此允許按需要控制或制定使用厚膜材料形成之厚膜電阻器之電阻。然而，添加至碳基厚膜材料的改質劑之量可相對小(諸如，高達按重量計約15%)。此允許碳基厚膜材料保留足夠的傳導性碳粒子以達成實質上的電流及功率處置能力，同時亦達成顯著較高電阻(與厚膜材料自身之電阻相比)。
以此方式，可製造具有比表面黏著電阻器低之實體構型及少之寄生電容及電感同時能夠處置比薄膜電阻器高的電流或功率之厚膜電阻器。此外，因為改質之厚膜材料之表面能量相對低，所以厚膜材料可良好地黏附至許多基體(包括PTFE基體)。另外，此等方法允許厚膜材料之幾何形狀及電阻率兩者之改良之控制。舉例而言，與典型厚膜材料相比，未固化的改質之厚膜材料之黏度可較低，此允許在以較高厚度沈積改質之厚膜材料中的改良之控制。此外，厚膜電阻器可在顯著較低溫度(諸如，小於250℃)下固化，同時達成可重複、穩定效能。總之，此允許製造具有至少一個所要的幾何形狀同時允許按需要定製其電阻的厚膜電阻器，此可按經受得住層壓溫度同時不需要典型電阻性墨水之高溫固化(常超過500℃)的一方式使用多種基體類型及可制定薄層電阻率來發生。
圖1A及圖1B繪示根據本揭露內容的具有具一可制定電阻之一厚膜電阻器102之一實例電路100。特別是，圖1A繪示具有厚膜電阻器102的電路100之一部分之橫截面圖，且圖1B繪示具有厚膜電阻器102的電路100之部分之俯視圖。
如在圖1A及圖1B中展示，電路100使用厚膜電阻器102將兩個傳導性跡線104與106電氣耦接在一起，其中厚膜電阻器102及傳導性跡線104及106定位於一基體108上。傳導性跡線104及106表示任何合適的傳導性路徑，一電氣信號可流過該等路徑至厚膜電阻器102及自厚膜電阻器102流過該等路徑。傳導性跡線104及106可自任何合適材料形成。舉例而言，傳導性跡線104及106可表示使用一或多種傳導性金屬或其他材料形成之銅跡線或其他電氣跡線。又，傳導性跡線104及106可按任一合適方式形成，諸如，藉由沈積及蝕刻傳導性材料。此外，傳導性跡線104及106中之各者可具有任何合適的大小、形狀及尺寸。注意，圖1A及圖1B中之厚膜電阻器102與傳導性跡線104及106的相對位置僅係用於說明，且可按需要或期望變化。舉例而言，傳導性跡線104及106可形成於厚膜電阻器102上。
基體108表示其中或其上可形成電氣組件或電氣路徑之任一合適結構。舉例而言，基體108可表示一剛性印刷電路板、一可撓性電路板或用以載運電氣組件及耦接該等電氣組件之傳導性跡線或其他傳導性路徑的任一其他合適基底或結構。基體108可自任一合適材料形成，諸如，棉紙、編織玻璃纖維或編織玻璃及環氧樹脂、碳、金屬、氧化鋁或其他陶瓷，或PTFE、聚醯亞胺、聚酯或其他聚合物。又，基體108可按任一合適方式形成，諸如，藉由使用一單一材料層或藉由使用經層壓或以其他方式接合在一起之多個材料層。此外，基體108可具有任何合適的大小、形狀及尺寸。
厚膜電阻器102係藉由將厚膜材料沈積於基體108上(及在此實例中，傳導性跡線104及106上)來形成。一旦經沈積，則厚膜材料經固化且可接著按需要進一步處理以形成厚膜電阻器102。在一些實施例中，可經由印刷來沈積厚膜材料，諸如，藉由使用三維(3D)列印機或其他沈積系統(在一額外製造製程中)。取決於電路或裝置之其他組件，此可允許全部電路或裝置使用一額外製造 製程來形成。然而，注意，可使用任何其他合適的技術來沈積一厚膜材料以形成厚膜電阻器102，諸如，絲網印刷、噴塗、浸漬或塗佈。
如以下更詳細地描述，用以形成厚膜電阻器102之厚膜材料為碳基厚膜材料(諸如，碳基墨水)，其已與介電材料(通常被稱作「改質劑」)混合或已以其他方式併有介電材料。可使用任何合適類型之碳基墨水或其他厚膜材料來形成厚膜電阻器102，諸如，碳基墨水(如來自APPLIED INK SOLUTIONS之C-200碳電阻性墨水)。又，可將任何合適之介電材料用作改質劑，及併入至碳基厚膜材料內，諸如，鈦酸鹽。實例鈦酸鹽包括鈦酸鋇(BT)、鈦酸鍶(ST)及鈦酸鍶鋇(BST)。
併入至碳基厚膜材料內之介電材料更改改質之厚膜材料的電阻，且電阻之改變可基於併入至厚膜材料內的介電材料之量。此允許基於併入至碳基厚膜材料內的介電材料之量制定厚膜電阻器102之電阻。在一些實施例中，併入至碳基厚膜材料內的介電材料之量可相對小，且卻仍然具有對可使用改質之碳基厚膜材料獲得的總電阻之大影響。舉例而言，在特定實施例中，改質之碳基墨水或其他改質之厚膜材料可含有高達約15%(按重量計)之介電材料，且介電材料之按重量計之不同百分比可用以獲得改質之厚膜材料之不同電阻。
在此特定實例中，將厚膜電阻器102展示為在形狀上為大體矩形(當自頂部上或底部上檢視時)。然而，改質之厚膜材料可以廣泛範圍之幾何形狀來印刷或以其他方式沈積，從而允許形成具有用於一具體應用之任何合適大小及形狀的厚膜電阻器102。又，改質之厚膜材料可以平坦或不平坦幾何形狀印刷或以其他方式沈積。不平坦幾何形狀之實例類型可包括金字塔形、圓柱形或矩形稜柱，以及沈積於彎曲或其他不平坦基體上之大體二維型樣。藉由允許改質之厚膜材料之電阻的制定及沈積改質之厚膜材料的幾何形狀之制定，此方法提供允許製造具有用於各種應用的廣泛範圍之電阻及幾何形狀的厚膜電阻器之高 度可調諧解決方案。
此外，可製造厚膜電阻器以達成高薄層電阻，而不負面影響厚膜電阻器之電流及功率處置能力。由於厚膜電阻器102之塊體係藉由傳導性碳或其他傳導性材料在碳基墨水或其他厚膜材料中形成(由於厚膜材料可包括相對少量之介電材料)，因此此可發生。此允許在較高電流或較高功率應用中使用厚膜電阻器102，諸如，涉及高達約200mA電流及/或高達約0.5W或約1.0W功率之應用，而無熔斷。
該改質之厚膜材料允許使用乾式製造製程製造厚膜電阻器。當然，任何其他合適製造製程可使用該改質之厚膜材料形成厚膜電阻器。又，注意，一或多個厚膜電阻器102可形成於各種類型之基體(包括基於PTFE之基體)上，且與表面黏著電阻器相比，各厚膜電阻器102可具有較小寄生電容及電感。另外注意，厚膜電阻器102可在室溫下穩定，且在高溫下穩定(取決於基體108)。此意謂，厚膜電阻器102之電阻可在室溫下且可能在較高溫度下隨時間保持實質上恆定。
一旦改質之厚膜材料經沈積且固化(其可在相對低溫下發生，如下所述)，則可執行額外操作以調整厚膜電阻器102之電阻，或以其他方式完成厚膜電阻器102之製造。舉例而言，可執行修整操作以更改厚膜電阻器102之形狀及因此電阻。又，額外材料層可沈積於厚膜電阻器102及傳導性跡線104及106上，以便保護此等組件或在厚膜電阻器102及傳導性跡線104及106上形成其他電氣組件或電氣路徑。
在一些實施例中，厚膜電阻器102可經製造以具有由標準機構或由行業實務建立之標準尺寸。作為一特定實例，厚膜電阻器102可經製造以具有由標準表面黏著裝置(SMD)電阻器大小定義之尺寸。此處，舉例而言，「0402」電阻器大小可指長度為約0.04英吋或1.0毫米、寬度為約0.02英吋或0.5毫米且高度 為約0.014英吋或0.35毫米之一電阻器。「0805」電阻器大小可指長度為約0.08英吋或2.0毫米、寬度為約0.05英吋或1.2毫米且高度為約0.018英吋或0.45毫米之一電阻器。當然，厚膜電阻器102可經製造以具有任一其他合適標準或非標準大小及形狀。
雖然圖1A及圖1B繪示具有具一可制定電阻之一厚膜電阻器102的電路100之一個實例，但可對圖1A及圖1B進行各種改變。舉例而言，厚膜電阻器102可具有任何其他合適的大小、形狀及尺寸。又，厚膜電阻器102可以任一其他合適方式使用。此外，在任何合適位置或配置中，電路100可包括任何合適的數目個厚膜電阻器102，且電路100中之不同厚膜電阻器102可或可不具有不同大小、形狀或尺寸。
圖2繪示根據本揭露內容的用於形成具有可制定電阻之厚膜電阻器之一實例操作流程200。為了易於解釋，將圖2中展示之操作流程200描述為用來製造圖1中展示的實例電路100之厚膜電阻器102。然而，圖2中展示之操作流程200可用來在任一合適電路、裝置或系統中製造任何一或多個合適的厚膜電阻器。
如在圖2中展示，操作流程200包括一混合操作202、一沈積操作204及一固化操作206。在混合操作202中，混合器208通常操作以混合碳基墨水或其他碳基厚膜材料與鈦酸鹽或其他介電材料。此幫助確保改質之碳基厚膜材料(諸如，改質之碳基墨水或膏狀物)具有鈦酸鹽或其他介電材料在厚膜材料之傳導性材料內的實質上均勻分佈。混合器208表示經組配以混合碳基厚膜材料與介電材料之任一合適結構，諸如，離心混合器。
在混合操作202期間，添加至碳基墨水或其他碳基厚膜材料的介電材料之量可基於待製造的一或多個厚膜電阻器102之所要的電阻變化。如上指出，添加至碳基厚膜材料的介電材料之量可限於相對低的量，諸如，不多於組 合傳導性與介電性材料之總重量的約15%。甚至在碳基墨水或其他碳基厚膜材料中使用相對少量介電材料(諸如，鈦酸鹽)仍可極大地增大碳基厚膜材料之電阻。舉例而言，將按重量計約5%之鈦酸鍶鋇添加至碳基墨水(諸如，C-200碳電阻性墨水)可將碳基墨水之電阻增大多於260%。因此，少量鈦酸鹽或其他介電材料可快速增大改質之碳基厚膜材料之電阻，此允許製造之厚膜電阻器102的熔斷電流保持高，甚至在於改質之厚膜材料中存在介電材料之情況下。在特定實施例中，介電材料可至少將碳基厚膜材料之電阻率雙倍增大。
在沈積操作204中，將一改質之厚膜材料210(基係藉由混合操作202生產)沈積至一基體或其他結構上。在此實例中，一列印機212將改質之厚膜材料210沈積至一結構100'上，該結構表示無厚膜電阻器102的圖1A及圖1B之電路100。當然，列印機212可將改質之厚膜材料210沈積至任一其他合適電路或其他結構上。列印機212表示經組配以將厚膜材料210印刷至一或多個結構上以便形成一或多個厚膜電阻器102之任一合適結構，諸如，3D列印機。作為一特定實例，沈積操作204可使用來自NORDSON CORP之高精確度分配系統來實施。然而，注意，沈積操作204可使用任一其他合適裝備來沈積厚膜材料210，諸如，絲網印刷或噴塗裝備。
當將改質之厚膜材料210沈積至一結構上時，可以任一合適方式沈積該厚膜材料210。舉例而言，在一些實施例中，厚膜材料210可由列印機212或其他裝置使用「S」圖案填充自正形成的厚膜電阻器102之中心沈積，其中該圖案之寬度取決於正形成的厚膜電阻器102之大小。此類型之沈積圖案可幫助減少或防止在沈積之厚膜材料210之開始邊緣處形成大的端緣。然而，注意，可以任一其他合適方式沈積改質之厚膜材料210。
在固化操作206中，已經沈積至結構100'上的改質之厚膜材料210經固化。在此實例中，在固化操作206期間使用一加熱器214來加熱結構100'及結 構100'上之厚膜材料210，以便使厚膜材料210固化。固化操作206之溫度及固化操作206需要之時間可基於許多因素變化，諸如，改質之厚膜材料210的組成及沈積之厚膜材料210的形狀或厚度。一般而言，固化操作206之溫度可為約250℃或更低，或約200℃或更低。作為一具體實例，固化操作206可涉及將結構100'及厚膜材料210加熱至約70℃之一溫度達約五小時，或加熱至約160℃之一溫度達約三十分鐘。在相對低溫下固化改質之厚膜材料210的能力實現在結構100'中使用不能承受在標準燒結操作或其他高溫操作(其可常涉及500℃、700℃、850℃或甚至更大之溫度)中使用之升高溫度的各種塑膠基體108或其他組件或材料。因此，操作流程200實現具有高薄層電阻的厚膜電阻器102之製造，而不需要高溫燒結操作。
理想地，在混合操作202期間添加至碳基墨水或其他碳基厚膜材料以生產改質之厚膜材料210的介電材料係熱穩定的。舉例而言，諸如鈦酸鍶鋇之鈦酸鹽為熱穩定化合物，意謂該等化合物未分解成其構成元素(至少在厚膜電阻器102之製造及使用期間在由改質之厚膜材料210經歷之溫度範圍內)。假定一基礎(未改質之)碳基墨水或其他碳基厚膜材料為自身熱穩定，則改質之厚膜材料210具有一較高電阻且亦熱穩定。加熱器214表示經組配以增大沈積之厚膜材料210之溫度以便使厚膜材料210固化的任一合適結構。舉例而言，在一較大製造環境或其他環境中，加熱器214可表示大爐。在一較小環境中，加熱器214可表示較小爐或甚至諸如熱板之一裝置。
一旦完成固化操作206，則可執行任何額外處理操作216以完成厚膜電阻器102之製造(若需要)，或完成包括厚膜電阻器102之電路、裝置或系統之製造。舉例而言，厚膜電阻器102可經蝕刻以具有所要的形狀或最終電阻值。舉例而言，在一些實施例中，可在約60℃下將厚膜電阻器102置放至氟蝕刻浴內達約三十秒至若干分鐘。亦可清潔厚膜電阻器102或其他組件，諸如，藉由使用異 丙醇或甲醇。此外，一旦完成製造，可跨厚膜電阻器102施加一些功率量(諸如，約0.25W至約0.5W)，以幫助防止厚膜電阻器102之電阻的持續改變。
在圖2中之操作流程200期間的某一點，可需要採取一或多個步驟以減少或防止傳導性跡線104及106之經暴露表面之氧化。舉例而言，當將銅跡線用作電路100中之傳導性跡線104及106時，氧化銅可形成於傳導性跡線104及106之經暴露表面上。氧化銅可在相對低溫下形成，且氧化銅在傳導性跡線104及106上之存在可導致形成在傳導性跡線104及106與厚膜電阻器102之間的電氣絕緣界面之形成。此處可使用各種技術來減少或防止氧化物或其他絕緣性材料在傳導性跡線104及106上之形成。作為實例，可在傳導性跡線104及106上使用無電鍍鎳/浸金(ENIG)表面鍍敷，或可將囊封劑/環氧樹脂/密封劑置放於傳導性跡線104及106上以防止氧吸收。作為另一實例，可將石墨烯基墨水與介電材料混合以形成改質之厚膜材料210，此係由於石墨烯基本上為碳原子之二維佈置，且可減少或防止氧化物生長。作為又一實例，可將硼氫化鈉添加至改質之厚膜材料210以減少或防止氧化物之形成。作為再一實例，可在真空爐或其他無氧環境中固化或烘烤厚膜電阻器102。應注意，固化/烘烤典型地引起厚膜電阻器102之電阻之小但可預測的改變，在製造厚膜電阻器102時，可考量此情況。當然，可使用任何其他合適材料選擇或技術來抑制或避免氧化物在傳導性跡線104及106上之形成。
以此方式製造之厚膜電阻器102可具有較之標準厚膜電阻器的各種優勢。舉例而言，藉由允許鈦酸鹽或其他介電材料與厚膜材料混合，改質之厚膜材料210的電阻或傳導率可在沈積前經精確地控制。又，改質之厚膜材料210可具有較均勻組成，從而實現厚膜電阻器102之較一致製造。另外，藉由減少或最小化改質之厚膜材料210中的鈦酸鹽或其他介電材料之量，可獲得較高薄層電阻，同時維持厚膜電阻器102中之高熔斷電流，且同時維持厚膜電阻器102在溫 度上之高穩定性。舉例而言，如上指出，在一些實施例中，厚膜電阻器102可處置高達約200mA之電流及/或高達約0.5W或約1.0W之功率，而無熔斷。此外，在一些實施例中，與其他厚膜電阻器相比，厚膜電阻器102可具有減小或最小化之孔隙率。此可幫助提供在改變之條件(諸如，改變之濕度或熱條件)下的厚膜電阻器102之改良或最大穩定性。最後，厚膜電阻器102可具有在室溫下實質上穩定之電阻，意謂厚膜電阻器102之電阻在室溫下隨時間保持實質上恆定。
圖2中展示之操作流程200可用於許多情況中。舉例而言，操作流程200可用於大製造環境中來製造各種電路、裝置或系統中之厚膜電阻器102。作為一特定實例，操作流程200可用來支援3D列印機或其他裝置製造各種結構中的各種組配之厚膜電阻器102之大附加性製造製程。作為另一實例，操作流程200可用於研究及開發設施、實驗室或其他位置中來製造併有厚膜電阻器102之眾多原型或測試裝置。厚膜電阻器102之可修改電阻及可撓性幾何形狀使厚膜電阻器102能夠快速併入至許多不同設計內。
雖然圖2繪示用於形成具有可制定電阻之厚膜電阻器102的操作流程200之一個實例，但可對圖2進行各種改變。舉例而言，展示為在混合操作202、沈積操作204及固化操作206中使用之具體裝備僅為實例。可使用任一合適裝備來執行操作202、204及206中之各者。又，可按需要或期望執行各種額外操作216以便製造厚膜電阻器102，且額外操作216可(尤其)基於正用來製造厚膜電阻器102之材料及/或其上正形成厚膜電阻器102的結構100'之材料而變化。
圖3繪示根據本揭露內容的用於形成具有一可制定電阻之一厚膜電阻器之一實例方法300。為了易於解釋，將圖3中展示之方法300描述為用來使用在圖2中展示的操作流程200中包括之裝備製造圖1中展示的實例電路100之厚膜電阻器102。然而，圖3中展示之方法300可用來形成任何合適電路、裝置或系統中之任何合適厚膜電阻器，且可涉及針對各種操作使用任一合適裝備。
如在圖3中展示，在步驟302，將厚膜材料與介電材料摻合以形成一改質之厚膜材料。此可包括例如將碳基墨水或其他碳基厚膜材料與鈦酸鋇、鈦酸鍶、鈦酸鍶鋇或其他介電材料摻合。可使用經設計成幫助確保介電材料在碳基傳導性材料內之充分分佈的一混合器208發生摻合。添加至碳基墨水或其他碳基厚膜材料的介電材料之量可基於正生產的改質之厚膜材料210之所要的電阻。舉例而言，在一些實施例中，添加至碳基墨水或其他碳基厚膜材料的介電材料之量可限於改質之厚膜材料210的按重量計最大約5%至約15%。
在步驟304，按一所要的幾何形狀將改質之厚膜材料沈積至一結構上。此可包括例如使用一列印機212或其他沈積系統將改質之碳基厚膜材料沈積至結構100'之傳導性跡線104及106上。如上指出，正製造的厚膜電阻器102之幾何形狀可按需要變化，諸如，基於所要的應用及用於正製造的厚膜電阻器102之可用空間。注意，雖然此處將改質之厚膜材料210描述為在厚膜電阻器102之製造期間按一幾何形狀沈積，但此步驟可涉及在多個厚膜電阻器102之製造期間在多個區域中沈積改質之厚膜材料(使用相同幾何形狀或不同幾何形狀)。亦注意，若改質之厚膜材料210正沈積於多個層中以形成厚膜電阻器102，則此步驟可針對同一厚膜電阻器102重複發生。
在步驟306中，在(相對)低溫環境中在結構上固化沈積之厚膜材料。此可包括例如將具有沈積之厚膜材料210的結構100'置放至加熱器214內。固化使沈積之厚膜材料210變強或變硬，理想地，同時多數或所有沈積之厚膜材料210保持在結構100'上之所要的形狀。實例固化溫度及固化時間在以上提供且溫度通常不超過約250℃。如上指出，此比涉及高溫燒結操作或溫度可易於超過500℃、700℃或甚至850℃之其他高溫操作的其他製程顯著低。在較低溫度下固化沈積之厚膜材料210的能力實現使用不能承受在標準燒結操作或其他高溫操作中使用之升高之溫度的塑膠或其他材料。
在步驟308執行用於形成一厚膜電阻器之任何額外處理操作。此可包括例如蝕刻沈積之厚膜材料210，使得針對厚膜電阻器102獲得一最終所要的電阻值。此亦可包括清潔厚膜電阻器102或結構100'之其他組件。此外，此可包括跨厚膜電阻器102施加功率(諸如，約0.25W至約0.5W)，以幫助防止對厚膜電阻器102之電阻的隨後改變(其發生在可被稱作「燒入」製程之一製程中)。
在步驟310完成所要的結構之製造。此可包括例如在厚膜電阻器102及傳導性跡線104及106上形成一或多個保護性材料層或額外電氣組件。此亦可包括將傳導性跡線104及106電氣耦接至其他電路組件，以將厚膜電阻器102併入至一較大電路內。當然，可以任何合適方式使用厚膜電阻器102，且此處執行之操作可基於待使用厚膜電阻器102之方式廣泛地變化。
雖然圖3繪示用於形成具有可制定電阻之厚膜電阻器的方法300之一個實例，但可對圖3進行各種改變。舉例而言，雖然展示為一系列步驟，但圖3中之各種步驟可重疊，並行發生，以一不同次序發生，或發生任何次數。又，各種額外操作可發生於方法300中之任何點，以便獲得來自總體製程之某些結果。舉例而言，一或多個操作可發生於製程期間之某一點，以幫助減少或防止在傳導性跡線104及106上之氧化物形成，諸如，藉由使用以上描述之各種技術。
闡述貫穿本專利文獻使用之某些詞語及片語之定義可為有利的。術語「包括」及「包含」以及其衍生詞意謂包括但不限於。術語「或」為包括性，意謂及/或。片語「與...相關聯」以及其衍生詞可意謂包括、包括於...內、與...互連、含有、含於...內、連接至或與...連接、耦接至或與...耦接、可與...連通、與...合作、交錯、並列、最接近、界限於或與...一起界限、具有、具有...之改質、具有對或與...之關係或類似者。片語「...中之至少一者」當與一項目清單一起使用時，意謂可使用所列項目中之一或多者之不同組合，且可需要該清單中之僅一個項目。舉例而言，「以下中之至少一者：A、B及C」包括下列 組合中之任一者：A、B、C、A與B、A與C、B與C及A與B與C。
本申請案中之描述不應被理解為暗示任一特定元素、步驟或功能為必須包括於申請專利範圍範疇中之一必要或關鍵元素。專利標的之範疇僅由允許之申請專利範圍定義。此外，關於所附申請專利範圍或申請專利範圍元素中之任一者，該等申請專利範圍中無一者調用35 U.S.C.§ 112(f)，除非在特定申請專利範圍中明確地使用精確詞語「用於...之構件」或「用於...之步驟」，跟著為識別一功能之一特定片語。諸如(但不限於)「機構」、「模組」、「裝置」、「單元」、「組件」、「元件」、「部件」、「設備」、「機器」、「系統」、「處理器」或「控制器」之術語在一申請專利範圍內之使用應理解為或意欲指熟習相關技術者已知之結構，如由申請專利範圍自身之特徵進一步修改或增強，且並不意欲調用35 U.S.C.§ 112(f)。
雖然本揭露內容已描述某些實施例及通常相關聯之方法，但此等實施例及方法之更改及排列將對熟習此項技術者顯而易見。因此，實例實施例之以上描述不限定或約束本揭露內容。在不脫離如由以下申請專利範圍定義的本揭露內容之精神及範疇之情況下，其他改變、取代及更改亦係可能的。
300:用於形成具有一可制定電阻之一厚膜電阻器之一實例方法
302,304,306,308,310:步驟

Claims (40)

  1. 一種用以製造一或多個電阻器之方法，該方法包含下列步驟：將包含一鈦酸鹽之一介電材料與一碳基墨水摻合，以形成一改質之碳基墨水；將該改質之碳基墨水印刷至一結構上；在不超過約250℃之一溫度下，使該結構上的印刷之改質之碳基墨水固化；以及處理經固化的印刷之改質之碳基墨水，以形成一厚膜電阻器；其中與該碳基墨水摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基墨水的按重量計約15%；且其中該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率的雙倍之一電阻率。
  2. 如請求項1所述之方法，其中該介電材料包含以下項目中之至少一者：鈦酸鋇、鈦酸鍶及鈦酸鍶鋇。
  3. 如請求項1所述之方法，其中將該改質之碳基墨水印刷至該結構上的步驟包含：將該改質之碳基墨水印刷至該結構上，使得該印刷之改質之碳基墨水連接多個傳導性跡線。
  4. 如請求項1所述之方法，其中該印刷之改質之碳基墨水在不超過約160℃之一溫度下固化。
  5. 如請求項1所述之方法，其中處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成該厚膜電阻器的步驟包含蝕刻該經固化的印刷之改質之碳基墨水以獲得一所要的電阻值。
  6. 如請求項1所述之方法，其中處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成該厚膜電阻器的步驟包含對該厚膜電阻器施加約0.25W至約0.5W 之功率。
  7. 如請求項1所述之方法，其中該厚膜電阻器經組配成進行以下動作中之至少一者：處置高達約200mA之電流而無熔斷；以及處置高達約1.0W之功率而無熔斷。
  8. 一種用以製造一或多個電阻器之方法，該方法包含下列步驟：獲得一改質之碳基厚膜材料，其包含與一介電材料摻合之一碳基厚膜材料；將該改質之碳基厚膜材料沈積至一結構上；在不超過約250℃之一溫度下，使該結構上的沈積之改質之碳基厚膜材料固化；以及處理經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成一厚膜電阻器；其中與該碳基厚膜材料摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基厚膜材料的按重量計約15%。
  9. 如請求項8所述之方法，其中該改質之碳基厚膜材料具有該碳基厚膜材料之一電阻率至少雙倍的一電阻率。
  10. 如請求項8所述之方法，其中該介電材料包含一鈦酸鹽。
  11. 如請求項8所述之方法，其中將該改質之碳基厚膜材料沈積至該結構上的步驟包含：將該改質之碳基厚膜材料沈積至該結構上，使得該沈積之改質之碳基厚膜材料連接多個傳導性跡線。
  12. 如請求項8所述之方法，其中該沈積之改質之碳基厚膜材料在不超過約160℃之一溫度下在該結構上固化。
  13. 如請求項8所述之方法，其中處理該經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成該厚膜電阻器的步驟包含蝕刻該經固化的沈積之改質之碳基 厚膜材料以獲得一所要的電阻值。
  14. 如請求項8所述之方法，其中處理該經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成該厚膜電阻器的步驟包含對該厚膜電阻器施加約0.25W至約0.5W之功率。
  15. 如請求項8所述之方法，其中該厚膜電阻器經組配成進行以下動作中之至少一者：處置高達約200mA之電流而無熔斷；以及處置高達約1.0W之功率而無熔斷。
  16. 一種具有一或多個電阻器之設備，該設備包含：一厚膜電阻器，其中該厚膜電阻器包括一介電材料，其包含一鈦酸鹽且與一碳基墨水摻合以形成一改質之碳基墨水，其中該改質之碳基墨水係在不超過約250℃之一溫度下被固化；其中與該碳基墨水摻合的該介電材料之一量不超過該改質之碳基墨水的按重量計約15%；且其中該改質之碳基墨水具有至少為該碳基墨水之一電阻率的雙倍之一電阻率。
  17. 如請求項16所述之設備，其中該介電材料包含以下項目中之至少一者：鈦酸鋇、鈦酸鍶及鈦酸鍶鋇。
  18. 如請求項16所述之設備，其中該厚膜電阻器電氣連接該結構之多個傳導性跡線。
  19. 如請求項16所述之設備，其中該厚膜電阻器經組配以處置高達約200mA之電流而無熔斷。
  20. 如請求項16所述之設備，其中該厚膜電阻器經組配以處置高達約1.0W之功率而無熔斷。
  21. 一種用以製造一或多個電阻器之方法，該方法包含下列步驟：將至少一介電材料與一碳基墨水摻合，以形成一改質之碳基墨水，該至少一介電材料包含鈦酸鹽；將該改質之碳基墨水印刷至一結構上；在不超過約250℃之一溫度下，使該結構上的印刷之改質之碳基墨水固化；以及處理經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成一厚膜電阻器；其中將鈦酸鹽與該碳基墨水摻合，使該改質之碳基墨水具有該碳基墨水之一電阻率至少雙倍的一電阻率。
  22. 如請求項21所述之方法，其中該至少一介電材料僅包括鈦酸鹽。
  23. 如請求項21所述之方法，其中將該改質之碳基墨水印刷至該結構上的步驟包含：將該改質之碳基墨水印刷至該結構上，使得該印刷之改質之碳基墨水連接多個傳導性跡線。
  24. 如請求項21所述之方法，其中該印刷之改質之碳基墨水在不超過約160℃之一溫度下固化。
  25. 如請求項21所述之方法，其中處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成該厚膜電阻器的步驟包含蝕刻該經固化的印刷之改質之碳基墨水以獲得一所要的電阻值。
  26. 如請求項21所述之方法，其中處理該經固化的印刷之改質之碳基墨水以形成該厚膜電阻器的步驟包含對該厚膜電阻器施加約0.25W至約0.5W之功率。
  27. 如請求項21所述之方法，其中該厚膜電阻器經組配成進行以下動作中之至少一者： 處置高達約200mA之電流而無熔斷；以及處置高達約1.0W之功率而無熔斷。
  28. 一種用以製造一或多個電阻器之方法，該方法包含下列步驟：獲得一改質之碳基厚膜材料，其包含與至少一介電材料摻合之一碳基厚膜材料，該至少一介電材料包含鈦酸鹽；將該改質之碳基厚膜材料沈積至一結構上；在不超過約250℃之一溫度下，使該結構上的沈積之改質之碳基厚膜材料固化；以及處理經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成一厚膜電阻器；其中與該碳基厚膜材料摻合之鈦酸鹽使該改質之碳基厚膜材料具有至少為該碳基厚膜材料之一電阻率雙倍的一電阻率。
  29. 如請求項28所述之方法，其中與該碳基厚膜材料摻合的鈦酸鹽之一量不超過該改質之碳基厚膜材料的按重量計約5%至約15%。
  30. 如請求項28所述之方法，其中該至少一介電材料包含以下項目中之至少一者：鈦酸鋇、鈦酸鍶及鈦酸鍶鋇。
  31. 如請求項28所述之方法，其中將該改質之碳基厚膜材料沈積至該結構上的步驟包含：將該改質之碳基厚膜材料沈積至該結構上，使得該沈積之改質之碳基厚膜材料連接多個傳導性跡線。
  32. 如請求項28所述之方法，其中該沈積之改質之碳基厚膜材料在不超過約160℃之一溫度下在該結構上固化。
  33. 如請求項28所述之方法，其中處理該經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以形成該厚膜電阻器的步驟包含蝕刻該經固化的沈積之改質之碳基厚膜材料以獲得一所要的電阻值。
  34. 如請求項28所述之方法，其中處理該經固化的沈積之改質之 碳基厚膜材料以形成該厚膜電阻器包含對該厚膜電阻器施加約0.25W至約0.5W之功率。
  35. 如請求項28所述之方法，其中該厚膜電阻器經組配成進行以下動作中之至少一者：處置高達約200mA之電流而無熔斷；以及處置高達約1.0W之功率而無熔斷。
  36. 一種具有一或多個電阻器之設備，該設備包含：一厚膜電阻器，其中該厚膜電阻器包括與一碳基墨水摻合以形成一改質之碳基墨水的至少一介電材料，該至少一介電材料包含鈦酸鹽；其中該改質之碳基墨水係在不超過約250℃之一溫度下被固化；其中與該碳基墨水摻合之鈦酸鹽使該改質之碳基墨水具有該碳基墨水之一電阻率至少雙倍的一電阻率。
  37. 如請求項36所述之設備，其中該至少一介電材料僅包括鈦酸鹽。
  38. 如請求項36所述之設備，其中該厚膜電阻器電氣連接該結構之多個傳導性跡線。
  39. 如請求項36所述之設備，其中該厚膜電阻器經組配以處置高達約200mA之電流而無熔斷。
  40. 如請求項36所述之設備，其中該厚膜電阻器經組配以處置高達約1.0W之功率而無熔斷。
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