TWI584882B - Multi-nozzle device - Google Patents

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TWI584882B
TWI584882B TW105107491A TW105107491A TWI584882B TW I584882 B TWI584882 B TW I584882B TW 105107491 A TW105107491 A TW 105107491A TW 105107491 A TW105107491 A TW 105107491A TW I584882 B TWI584882 B TW I584882B
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Inventor
Chih-Ming Teng
Original Assignee
Els System Technology Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/14Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening

Description

多噴頭裝置
本發明是有關於一種多噴頭裝置,特別是指一種用以清洗例如為半導體晶圓之基板的多噴頭裝置。
半導體晶圓在製造過程中會經過多道不同的製程,晶圓經過每道製程的加工後,晶圓表面會殘留有例如為化學藥劑之殘留物,因此,在清洗製程中需透過噴頭對晶圓噴灑清洗液,以去除晶圓上的殘留物。
然而,現有清洗製程中通常是透過單一個噴頭對晶圓進行清洗,因此,清洗時的速度慢導致效率差,且清洗效果也不佳。
因此,本發明之主要目的,即在提供一種多噴頭裝置,藉由結合總成的設計,能選擇性地組裝結合所需數量的噴頭,並且能選擇性地將噴頭固定在一所需的噴灑角度,同時,多個噴頭也可搭配相同或不同的噴洗壓力,藉此能提升清洗速度、效率以及清洗效果。
於是,本發明多噴頭裝置,包含一結合總成及至少兩個噴頭。
結合總成包括一結合立板,該結合立板平行於一直立方向,該結合立板包含有多個相間隔排列的結合點,該等結合點沿該直立方向共平面;各該噴頭可選擇性地結合在該等結合點中的兩個結合點上,且各該噴頭可拆卸地結合於該兩結合點,藉此,使得各該噴頭能固定在該結合立板並定位在一所需的噴灑角度位置。
本發明之功效在於:藉由結合總成的設計,能選擇性地組裝結合所需數量的噴頭,並且能選擇性地將噴頭固定在一所需的噴灑角度位置,同時,多個噴頭也可搭配相同或不同的噴洗壓力,藉此能提升清洗速度、效率以及清洗效果。
1‧‧‧基板
11‧‧‧板體
12‧‧‧線路圖案
13‧‧‧殘留物
200‧‧‧多噴頭裝置
2‧‧‧結合總成
21‧‧‧結合立板
210‧‧‧立面
210’‧‧‧立面
211‧‧‧上端
212‧‧‧下端
213‧‧‧第一上結合點
214‧‧‧第二上結合點
215‧‧‧第一下結合點
216‧‧‧第二下結合點
217‧‧‧第三上結合點
218‧‧‧第三下結合點
22‧‧‧鎖固件
3、3’‧‧‧噴頭
3、3’‧‧‧外側噴頭
3”‧‧‧中間噴頭
31‧‧‧表面
32、32’‧‧‧上鎖固點
33、33’‧‧‧下鎖固點
4‧‧‧清洗液
A、A’‧‧‧軸線
A”‧‧‧軸線
a1‧‧‧鈍角
a2‧‧‧直角
C1‧‧‧第一對角線
C2‧‧‧第二對角線
C3‧‧‧連接線
D1、E1‧‧‧第一長度
D2、E2‧‧‧第二長度
D3、E3‧‧‧第三長度
D4‧‧‧第四長度
L‧‧‧中線
L1‧‧‧第一斜線
L2‧‧‧第二斜線
L3‧‧‧第三斜線
L4‧‧‧第四斜線
s1、s2‧‧‧垂直距離
d1、d2‧‧‧垂直距離
X‧‧‧水平方向
Z‧‧‧直立方向
本發明之其他的特徵及功效,將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現,其中:圖1是本發明多噴頭裝置的第一實施例的一前視圖,說明兩噴頭與結合立板的其中一種組裝方式;圖2是該第一實施例的結合立板的一前視圖;圖3是該第一實施例的結合立板的一側視圖;圖4是該第一實施例的兩噴頭的一前視圖; 圖5是沿圖1中的5-5線所截取的剖視圖;圖6是圖1的一局部放大圖;圖7是該第一實施例的一前視圖,說明兩噴頭與結合立板的另一種組裝方式;圖8是圖7的一局部放大圖;圖9是本發明多噴頭裝置的第二實施例的結合立板的一前視圖;圖10是該第二實施例的一前視圖,說明結合立板供兩個噴頭組裝;圖11是該第二實施例的一前視圖,說明結合立板供兩個噴頭組裝;圖12是該第二實施例的三個噴頭的一前視圖;圖13是該第二實施例的一前視圖,說明結合立板供三個噴頭組裝;圖14是圖13的一局部放大圖;圖15是該第二實施例的一前視圖,說明結合立板供三個噴頭組裝;圖16是圖15的一局部放大圖;圖17是該第二實施例的一前視圖,說明結合立板供兩個噴頭組裝;及圖18是該第二實施例的一前視圖,說明結合立板供兩個噴頭組 裝。
參閱圖1,是本發明多噴頭裝置的第一實施例,多噴頭裝置200主要是應用在半導體晶圓的製程中,用以清洗一例如為晶圓的基板1。多噴頭裝置200包含一結合總成2,及至少兩個噴頭3、3’。
參閱圖1及圖2,結合總成2包括一結合立板21,該結合立板21平行於一直立方向Z,該結合立板21包含有多個相間隔排列的結合點,該等結合點沿該直立方向Z共平面。各該噴頭3、3’可選擇性地結合在該等結合點中的兩個結合點上,且各該噴頭3、3’可拆卸地結合於該兩結合點。具體而言,各該噴頭3、3’包括多個相間隔排列的鎖固點,該等鎖固點的其中兩個鎖固點與該兩結合點位置對齊。該結合總成2更包括多個鎖固件22,各該鎖固件22通過對應的該結合點以鎖固於與該結合點位置對齊的該鎖固點。藉此,使得各該噴頭3、3’能固定在結合立板21上並定位在一所需的噴灑角度位置。
依照半導體晶圓製程中的基板1尺寸不同,該結合總成2能選擇性地組裝結合所需數量的噴頭3、3’,並且能選擇性地將噴頭3、3’固定在一所需的噴灑角度位置。又,噴頭3、3’也可搭配相 同或不同的噴洗壓力。藉此,能提升多噴頭裝置200的清洗速度、效率以及清洗效果。
以下將針對多噴頭裝置200的具體構造及使用方式進行詳細說明:參閱圖1、圖2及圖3,該結合立板21呈長形且其長向沿一垂直於該直立方向Z的水平方向X延伸,該結合立板21包含兩個相互平行的立面210、210’、一上端211,及一相反於上端211的下端212,該等結合點中的一部分鄰近上端211而另一部分鄰近下端212。
本實施例的各該結合點為一貫穿結合立板21的立面210、210’的穿孔。該結合立板21界定一平行於該直立方向Z的中線L,該等結合點具有兩個第一上結合點213、兩個第二上結合點214、兩個第一下結合點215,及兩個第二下結合點216。該兩第一、第二上結合點213、214沿該水平方向X相間隔排列且鄰近該上端211,該兩第一、第二上結合點213、214分別位於該中線L相反側,且該兩第二上結合點214分別間隔位於該兩第一上結合點213外側。該兩第一、第二下結合點215、216沿該水平方向X相間隔排列且鄰近該下端212,該兩第一、第二下結合點215、216分別位於該中線L相反側,且該兩第二下結合點216分別間隔位於該兩第一下結合點215外側。
進一步地,該結合立板21界定位於該中線L同一側有一連接該第一上結合點213與該第二下結合點216的第一斜線L1,及一連接該第二上結合點214與該第一下結合點215的第二斜線L2,該第一、第二斜線L1、L2相交且兩者之間夾一鈍角a1。其中,該第一直線L1具有一第一長度D1,而該第二直線L2具有一第二長度D2。
更具體而言,各該第一下結合點215與該中線L之間的一垂直距離d1小於各該第一上結合點213與該中線L之間的一垂直距離s1,各該第二下結合點216與該中線L之間的一垂直距離d2大於各該第二上結合點214與該中線L之間的一垂直距離s2。
參閱圖1、圖2及圖4,兩噴頭3、3’的結構相同,各噴頭3、3’用以對基板1噴灑清洗液4,以清洗或去除基板1表面所殘留的如化學藥劑之殘留物。各噴頭3、3’包括一用以抵靠於立面210(如圖3所示)的表面31,本實施例的各該鎖固點為一形成於表面31的螺孔。該等鎖固點具有兩個沿該水平方向X相間隔排列的上鎖固點32、32’,及兩個沿該水平方向X相間隔排列且分別位於該兩上鎖固點32、32’下方的下鎖固點33、33’。在本實施例中,兩個噴頭3、3’的兩上鎖固點32及兩下鎖固點33位在相鄰近的一側,而兩上鎖固點32’及兩下鎖固點33’位在相遠離的一側。
各噴頭3、3’界定有一連接在其中一對角位置的該上鎖 固點32與該下鎖固點33’的第一對角線C1,該第一對角線C1具有一第一長度E1,該第一長度E1等於該第一長度D1。又,各噴頭3、3’界定有一連接在另一對角位置的該上鎖固點32’與該下鎖固點33的第二對角線C2,該第一、第二對角線C1、C2分別呈傾斜狀且兩者之間夾一直角a2。該第二對角線C2具有一第二長度E2,該第二長度E2等於該第二長度D2。
各該噴頭3、3’可選擇性地將位在其中一對角位置的該上鎖固點32與該下鎖固點33’分別對齊位於該中線L同一側的該第一上結合點213與該第二下結合點216,或是各該噴頭3、3’可選擇性地將位在另一對角位置的該上鎖固點32’與該下鎖固點33分別對齊位於該中線L同一側的該第二上結合點214與該第一下結合點215。藉此,各該噴頭3、3’可依照需求選擇前述兩種組裝方式的其中一種組裝於結合立板21。
參閱圖1、圖2、圖4及圖5,各該噴頭3、3’與結合立板21之間的其中一種組裝結合方式如下:首先,將該噴頭3的表面31抵靠於結合立板21的立面210,由於該第一、第二斜線L1、L2兩者所夾的鈍角a1角度大於該第一、第二對角線C1、C2兩者所夾的直角a2角度,使得該噴頭3尚未組裝前該第一對角線C1的斜率大於該第一斜線L1的斜率,因此,該噴頭3需旋轉一適當角度後該上鎖固點32與該下鎖固點33’才能分別對齊位於該中線L同一側的該 第一上結合點213與該第二下結合點216。隨後,將一例如為螺絲的鎖固件22穿設於該第一上結合點213並鎖固於與該第一上結合點213位置對齊的該上鎖固點32,並將另一個鎖固件22穿設於該第二下結合點216並鎖固於與該第二下結合點216位置對齊的該下鎖固點33’,即可將該噴頭3鎖固於該結合立板21。依照前述組裝方式即可將該噴頭3’組裝固定於該中線L另一側的該第一上結合點213與該第二下結合點216。
參閱圖1及圖6,當兩噴頭3、3’組裝固定於結合立板21後,各該噴頭3、3’定位在一如圖1所示的第一傾斜位置。此時,各噴頭3、3’所定義的一軸線A、A’分別與基板1的一板體11傾斜,兩噴頭3、3’呈向外張開狀且底端相互遠離。由於各該噴頭3、3’的軸線A、A’的傾斜角度會影響清洗液4的噴灑角度,因此,藉由兩噴頭3、3’所噴出的清洗液4的噴灑角度不同,能有效地增加清洗面積及噴幅。當兩噴頭3、3’所噴灑出的清洗液4在清洗基板1的板體11表面的一呈凹凸起伏狀且不平的線路圖案12時,藉由兩噴頭3、3’所噴出的清洗液4的噴灑角度不同的設計方式,能形成無死角的噴洗效果,藉此,能有效地去除線路圖案12上例如為化學藥劑之殘留物13。又,兩噴頭3、3’也可搭配相同或不同的噴洗壓力。透過兩噴頭3、3’的設計方式,能提升清洗基板1的速度、效率以及清洗效果。需說明的是,圖6所繪的線路圖案12及殘留物13是示意 圖,以便於能看清楚其相關位置。
參閱圖2、圖4、圖7及圖8,各該噴頭3、3’與結合立板21之間的另一種組裝結合方式如下:首先,將該噴頭3的表面31抵靠於結合立板21的立面210(如圖5所示),由於該第一、第二斜線L1、L2兩者所夾的鈍角a1角度大於該第一、第二對角線C1、C2兩者所夾的直角a2角度,使得該噴頭3尚未組裝前該第二對角線C2的斜率大於該第二斜線L2的斜率,因此,該噴頭3需旋轉一適當角度後該上鎖固點32’與該下鎖固點33才能分別對齊位於該中線L同一側的該第二上結合點214與該第一下結合點215。隨後,將一鎖固件22穿設於該第二上結合點214並鎖固於與該第二上結合點214位置對齊的該上鎖固點32’,並將另一個鎖固件22穿設於該第一下結合點215並鎖固於與該第一下結合點215位置對齊的該下鎖固點33,即可將該噴頭3鎖固於該結合立板21。依照前述組裝方式即可將該噴頭3’組裝固定於該中線L另一側的該第二上結合點214與該第一下結合點215。
當兩噴頭3、3’組裝固定於結合立板21後,各該噴頭3、3’定位在一如圖7所示的第二傾斜位置。此時,各噴頭3、3’所定義的一軸線A、A’分別與基板1的板體11傾斜,兩噴頭3、3’呈向內收合狀且底端相互靠近,藉此,使得兩噴頭3、3’能以不同的噴灑角度清洗基板1表面的線路圖案12。
需說明的是,結合總成2透過結合立板21及鎖固件22將兩噴頭3、3’結合組裝在同一立面210的方式,使得兩噴頭3、3’能緊湊地相鄰在一起,藉此,能縮小多噴頭裝置200沿水平方向X上的長度,以降低多噴頭裝置200的體積及其所佔據的空間。再者,透過結合立板21的第一、第二上結合點213、214及第一、第二下結合點215、216的排列佈設方式、噴頭3、3’的上鎖固點32、32’及下鎖固點33、33’的排列佈設方式,以及搭配兩者相互配合的組裝方式,使得噴頭3、3’能夠選擇性地固定在第一傾斜位置或第二傾斜位置,藉此,能增添多噴頭裝置200在使用上的彈性及其所能應用的場合。
參閱圖9,是本發明多噴頭裝置的第二實施例,多噴頭裝置200的整體結構大致與第一實施例相同,不同處在於結合立板21’。
參閱圖10及圖11,本實施例的結合立板21’可適用於供兩個噴頭3、3’組裝或者是供三個噴頭組裝,其中,圖10所示兩個噴頭3、3’組裝於結合立板21’的方式與第一實施例的圖1所揭露的組裝方式相同,而圖11所示兩個噴頭3、3’組裝於結合立板21’的方式與第一實施例的圖7所揭露的組裝方式相同,因此,在此不重複贅述。
參閱圖9,在本實施例中,結合立板21’的該等結合點 更具有兩個沿該水平方向X相間隔排列且鄰近該上端211的第三上結合點217,及兩個沿該水平方向X相間隔排列且鄰近該下端212的第三下結合點218。該兩第三上結合點217分別間隔位於該兩第二上結合點214外側,且各該第三上結合點217沿該直立方向Z上的高度低於各該第二上結合點214沿該直立方向Z上的高度。該兩第三下結合點218分別間隔位於該兩第二下結合點216外側。
進一步地,結合立板21’界定位於該中線L同一側有一連接該第二上結合點214與該第三下結合點218的第三斜線L3,及一連接該第二上結合點214與該第三上結合點217的第四斜線L4。該第三斜線L3具有一第三長度D3,該第三斜線L3平行於該第一斜線L1,而該第四斜線L4具有一第四長度D4。
參閱圖9、圖12及圖13,多噴頭裝置200包含三個噴頭,三個噴頭的結構相同。為了便於說明,將該等噴頭分別區分為一中間噴頭3”,及兩個外側噴頭3、3’。中間噴頭3”的兩個上鎖固點32、32’分別用以對齊於結合立板21’的兩個第一上結合點213,藉此,中間噴頭3”所定義的一軸線A”會垂直於基板1。各該外側噴頭3、3’的該第一對角線C1的該第一長度E1等於該第三長度D3。又,各該外側噴頭3、3’界定有一連接在兩個上鎖固點32、32’中心的連接線C3,該連接線C3具有一第三長度E3,該第三長度E3等於該第四長度D4。
各該外側噴頭3、3’可選擇性地將位在其中一對角位置的該上鎖固點32與該下鎖固點33’分別對齊位於該中線L同一側的該第二上結合點214與該第三下結合點218,或是將該兩上鎖固點32、32’分別對齊位於該中線L同一側的該第二上結合點214與該第三上結合點217。藉此,各該外側噴頭3、3’可依照需求選擇前述兩種組裝方式的其中一種組裝於結合立板21’。
參閱圖9、圖12及圖13,各該外側噴頭3、3’與結合立板21’之間的其中一種組裝結合方式如下:首先,將該外側噴頭3的表面31抵靠於結合立板21的立面210(如圖5所示),由於該第三斜線L3平行於該第一斜線L1,使得該外側噴頭3尚未組裝前該第一對角線C1的斜率大於該第三斜線L3的斜率,因此,該外側噴頭3需旋轉一適當角度後該上鎖固點32與該下鎖固點33’才能分別對齊位於該中線L同一側的該第二上結合點214與該第三下結合點218。隨後,進行鎖固件22的鎖固後,即可將該外側噴頭3組裝固定於該結合立板21’。依照前述組裝方式即可將該外側噴頭3’組裝固定於該中線L另一側的該第二上結合點214與該第三下結合點218。
參閱圖13及圖14,當三個噴頭組裝完成後,中間噴頭3”位在一直立位置,而兩外側噴頭3、3’分別位在第一傾斜位置,藉此,使得中間噴頭3”及兩外側噴頭3、3’能以不同的噴灑角度清 洗基板1表面的線路圖案12。
參閱圖9、圖12及圖15,各該外側噴頭3、3’與結合立板21’之間的另一種組裝結合方式如下:首先,將該外側噴頭3的表面31抵靠於結合立板21的立面210(如圖5所示),由於該第三上結合點217沿該直立方向Z上的高度低於該第二上結合點214沿該直立方向Z上的高度,因此,該外側噴頭3需旋轉一適當角度後該兩上鎖固點32、32’才能分別對齊位於該中線L同一側的該第二上結合點214與該第三上結合點217。隨後,進行鎖固件22的鎖固後,即可將該外側噴頭3組裝固定於該結合立板21’。依照前述組裝方式即可將該外側噴頭3’組裝固定於該中線L另一側的該第二上結合點214與該第三上結合點217。
參閱圖15及圖16,當三個噴頭組裝完成後,中間噴頭3”位在直立位置,而兩外側噴頭3、3’分別位在第二傾斜位置,藉此,使得中間噴頭3”及兩外側噴頭3、3’能以不同的噴灑角度清洗基板1表面的線路圖案12。
參閱圖17,圖17為本實施例的另一實施態樣,結合立板21’可適用於供一個外側噴頭3及中間噴頭3”組裝。
參閱圖18,圖18為本實施例的另一實施態樣,結合立板21’可適用於供一個外側噴頭3’及中間噴頭3”組裝。
藉由本實施例的結合立板21’設計,能選擇性地組裝結 合所需數量的噴頭,藉此,能進一步地增加使上用的彈性。
綜上所述,藉由兩實施例的結合總成2的結合立板21、21’設計,使得使用者可依照噴頭數量的多寡來選擇適當的結合立板21、21’使用。例如噴頭的使用數量只需兩個時,可選擇搭配第一實施例的結合立板21來使用,藉以降低多噴頭裝置200的體積及其所佔據的空間。例如噴頭的使用數量為三個時,則可選擇搭配第二實施例的結合立板21’來使用。再者,為了能夠清洗各種基板1上的各種不同形式的線路圖案12,藉由結合總成2的設計,使得使用者能夠依照欲清洗之基板1的線路圖案12的形式,選擇性地組裝結合所需數量的噴頭,並且選擇性地將噴頭固定在一所需的噴灑角度位置,藉由多個噴頭所噴出的清洗液4的噴灑角度不同,能有效地增加清洗面積及噴幅,並能形成無死角的噴洗效果。又,多個噴頭也可搭配相同或不同的噴洗壓力。藉此,能有效地去除線路圖案12上例如為化學藥劑之殘留物13,並且能有效提升清洗速度、效率以及清洗效果,故確實能達成本發明之目的。
惟以上所述者,僅為本發明之實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
1‧‧‧基板
200‧‧‧多噴頭裝置
2‧‧‧結合總成
21‧‧‧結合立板
213‧‧‧第一上結合點
216‧‧‧第二下結合點
22‧‧‧鎖固件
3、3’‧‧‧噴頭
4‧‧‧清洗液
A、A’‧‧‧軸線

Claims (11)

  1. 一種多噴頭裝置,包含:一結合總成,包括一結合立板,該結合立板平行於一直立方向,該結合立板包含有多個相間隔排列的結合點,該等結合點沿該直立方向共平面;及至少兩個噴頭,各該噴頭可選擇性地結合在該等結合點中的兩個結合點上,且各該噴頭可拆卸地結合於該兩結合點,藉此,使得各該噴頭能固定在該結合立板並定位在一所需的噴灑角度位置;該結合立板更包含一立面,該兩噴頭分別抵靠於該立面,各該噴頭包括多個相間隔排列的鎖固點,該等鎖固點的其中兩個鎖固點與該兩結合點位置對齊,該結合總成更包括多個鎖固件,各該鎖固件通過對應的該結合點以鎖固於與該結合點位置對齊的該鎖固點,該結合立板呈長形且其長向沿一垂直於該直立方向的水平方向延伸,該結合立板包含一上端,及一相反於該上端的下端,該等結合點中的一部分鄰近該上端而另一部分鄰近該下端,該結合立板界定一平行於該直立方向的中線,該等結合點具有兩個第一上結合點、兩個第二上結合點、兩個第一下結合點,及兩個第二下結合點,該兩第一、第二上結合點沿該水平方向相間隔排列且鄰近該上端,該兩第一、第二上結合點分別位於該中線相反側,且該兩第二上結合點分別間隔位於該兩第一上結合點外側,該兩第一、第二下結合點沿該水平方向相間隔排列且鄰近該下端,該兩第一、第二下結合 點分別位於該中線相反側,且該兩第二下結合點分別間隔位於該兩第一下結合點外側,該結合立板界定位於該中線同一側有一連接該第一上結合點與該第一下結合點的第一斜線,及一連接該第二上結合點與該第二下結合點的第二斜線,該第一、第二斜線相交且兩者之間夾一鈍角,該等鎖固點具有兩個沿該水平方向相間隔排列的上鎖固點,及兩個沿該水平方向相間隔排列且分別位於該兩上鎖固點下方的下鎖固點,各該噴頭界定有一連接在其中一對角位置的該上鎖固點與該下鎖固點的第一對角線,及一連接在另一對角位置的該上鎖固點與該下鎖固點的第二對角線,該第一、第二對角線分別呈傾斜狀且兩者之間夾一直角,該第一對角線長度等於該第一斜線長度,該第二對角線長度等於該第二斜線長度。
  2. 如請求項1所述的多噴頭裝置,其中,各該鎖固點為一螺孔,各該結合點為一穿孔,各該鎖固件為一螺絲。
  3. 如請求項1所述的多噴頭裝置,其中,該等結合點具有兩個沿該水平方向相間隔排列且鄰近該上端的上結合點,及兩個沿該水平方向相間隔排列且鄰近該下端的下結合點,各該下結合點與相鄰的該上結合點位在對角位置,該等鎖固點具有位在對角位置的一上鎖固點及一下鎖固點,該上鎖固點與該下鎖固點分別對齊於相鄰的該上結合點與該下結合點。
  4. 如請求項3所述的多噴頭裝置,其中,該結合立板界定一平行於該直立方向的中線,該兩上、下上結合點分別位於 該中線相反側,各該上結合點鄰近該中線而各該下結合點遠離該中線,各該噴頭定位在一第一傾斜位置。
  5. 如請求項3所述的多噴頭裝置,其中,該結合立板界定一平行於該直立方向的中線,該兩上、下上結合點分別位於該中線相反側,各該上結合點遠離該中線而各該下結合點鄰近該中線,各該噴頭定位在一第二傾斜位置。
  6. 如請求項1所述的多噴頭裝置,其中,各該第一下結合點與該中線之間的一垂直距離小於各該第一上結合點與該中線之間的一垂直距離,各該第二下結合點與該中線之間的一垂直距離大於各該第二上結合點與該中線之間的一垂直距離。
  7. 如請求項1或6所述的多噴頭裝置,其中,各該噴頭可選擇性地將位在其中一對角位置的該上鎖固點與該下鎖固點分別對齊位於該中線同一側的該第一上結合點與該第二下結合點,以定位在一第一傾斜位置,或是各該噴頭可選擇性地將位在另一對角位置的該上鎖固點與該下鎖固點分別對齊位於該中線同一側的該第二上結合點與該第一下結合點,以定位在一第二傾斜位置。
  8. 如請求項6所述的多噴頭裝置,其中,該等結合點更具有兩個沿該水平方向相間隔排列且鄰近該上端的第三上結合點,及兩個沿該水平方向相間隔排列且鄰近該下端的第三下結合點,該兩第三上結合點分別間隔位於該兩第二上結合點外側,且各該第三上結合點沿該直立方向上的高度低於各該第二上結合點沿該直立方向上的高度,該兩第三 下結合點分別間隔位於該兩第二下結合點外側,該結合立板界定位於該中線同一側有一連接該第二上結合點與該第三下結合點的第三斜線,及一連接該第二上結合點與該第三上結合點的第四斜線,該第三斜線平行於該第一斜線,該第一對角線長度等於該第三斜線長度,各該噴頭界定有一連接在該兩個上鎖固點的連接線,該連接線長度等於該第四斜線長度。
  9. 如請求項8所述的多噴頭裝置,其中,各該噴頭可選擇性地將位在其中一對角位置的該上鎖固點與該下鎖固點分別對齊位於該中線同一側的該第二上結合點與該第三下結合點,以定位在一第一傾斜位置,或是各該噴頭可選擇性地將該兩上鎖固點分別對齊位於該中線同一側的該第二上結合點與該第三上結合點,以定位在一第二傾斜位置。
  10. 如請求項8所述的多噴頭裝置,其中,該多噴頭裝置包含三個噴頭,該等噴頭分別為一中間噴頭及兩個外側噴頭,該中間噴頭的該兩上鎖固點分別對齊於該兩第一上結合點,各該外側噴頭位在其中一對角位置的該上鎖固點與該下鎖固點分別對齊位於該中線同一側的該第二上結合點與該第三下結合點,各該外側噴頭定位在一第一傾斜位置。
  11. 如請求項8所述的多噴頭裝置,其中,該多噴頭裝置包含三個噴頭,該等噴頭分別為一中間噴頭及兩個外側噴頭,該中間噴頭的該兩上鎖固點分別對齊於該兩第一上結合 點,各該外側噴頭的該兩上鎖固點分別對齊位於該中線同一側的該第二上結合點與該第三上結合點,各該外側噴頭定位在一第二傾斜位置。
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