TWI474918B - 具預定圖案的滾輪之製作方法 - Google Patents

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TWI474918B
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/24—Curved surfaces

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  • Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
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  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)

Description

具預定圖案的滾輪之製作方法
本發明係關於一種具預定圖案的滾輪之製作方法，尤其涉及一種加工方便、精確度較高且滾輪壽命較長之具預定圖案的滾輪之製作方法。
目前光學薄膜以捲對捲(Roll-to-roll)壓膜技術為量產製程之最大宗，而使用之滾輪的圖案，其常見之製作方式有雷射直寫、雷射化學蝕刻、機械雕刻等。
雷射直寫方法中，基材廢料容易噴濺至蝕刻面，且蝕刻深度有限，而若使用氬雷射則另需在銅輪上作鍍鋅之前處理。
雷射化學蝕刻雖然除料速度快，卻也因此不易控制，且有重複性不佳之疑慮。
機械雕刻依刀具可分成鑽石針與鑽石刀兩種方式，前者因無法作連續車削而僅適合雕刻網點圖案，後者加工時間長且具有刀具壽命問題。
有鑑於此，有必要提供一種加工方便、精確度較高且滾輪使用壽命較長之具預定圖案的滾輪之製作方法。
一種具預定圖案的滾輪之製作方法，其包括：將待形成圖案之滾 輪代替捲對捲貼合機的滾輪，並通過捲對捲貼合機將乾膜光阻貼合在該預形成圖案之滾輪上，於待形成圖案的滾輪表面形成乾膜光阻；採用一曝光機並通過一光罩對所述乾膜光阻曝光以在所述乾膜光阻上形成第一圖案；採用一噴砂機對所述第一圖案所對應的所述滾輪表面進行噴砂處理以在所述滾輪上形成所述預定圖案；去除乾膜光阻。
相較於先前技術，本發明實施例的具預定圖案的滾輪之製作方法在滾輪上進行乾膜光阻之貼合與曝光操作，定義出圖案後再結合噴砂處理，可製作出滾輪圖案，由於省去電鑄銅製程，噴砂製程使得滾輪材質不受限制，因此可使用機械強度較高之材料，除降低成本也可以延長滾輪使用壽命；另外，該方法可有效縮短滾輪圖案製作周期，且根據光罩的不同圖案變化大；並且由於可以設計較高精度之光罩，從而也使得圖案具有較高之精度。
10‧‧‧滾輪
20‧‧‧乾膜光阻
30‧‧‧曝光機
40‧‧‧光罩
50‧‧‧第一圖案
60‧‧‧噴砂機
70‧‧‧預定圖案
圖1係本發明實施例具預定圖案的滾輪之製作方法之流程圖。
圖2係於滾輪上形成乾膜光阻之示意圖。
圖3係對乾膜光阻進行曝光之示意圖。
圖4係對曝光後之乾膜光阻進行噴砂之示意圖。
圖5係去除乾膜光阻之示意圖。
下面將結合附圖對本發明實施例作進一步詳細說明。
請參閱圖1，本發明實施例具預定圖案的滾輪之製作方法包括如下步驟：
步驟S1，於待形成圖案的滾輪表面形成乾膜光阻。
步驟S2，採用一曝光機並通過一光罩對所述乾膜光阻曝光以在所述乾膜光阻上形成第一圖案。
步驟S3，採用一噴砂機對所述第一圖案所對應的所述滾輪表面進行噴砂處理以在所述滾輪上形成所述預定圖案。
步驟S4，去除乾膜光阻。
請參閱圖2，在步驟S1中，將預形成圖案的滾輪10代替捲對捲貼合機的滾輪，然後在履帶21的一個表面上設置預定厚度和預定面積的乾膜光阻20，轉動滾輪10從而可直接把乾膜光阻20貼合在滾輪10上。
當然，也可以在履帶21的兩個表面上設置乾膜光阻20，以同時在兩個滾輪10上貼合乾膜光阻20。
請配合圖3，在步驟S2中，採用一曝光機30並透過光罩40對乾膜光阻20進行曝光。
於曝光過程中，將滾輪20設置在曝光機30之曝光區域，曝光機30發出的光線經過光罩入射到滾輪10上，轉動滾輪10使得需要曝光之區域被完全曝光，從而在乾膜光阻20上形成第一圖案50，第一圖案50對應光罩40上的圖案，即光罩40上的圖案完全轉印到乾膜光阻20上。
請參閱圖4，在步驟S3中，採用噴砂機60對顯影後之乾膜光阻20進行噴砂處理，藉由壓縮空氣高速帶動研磨砂材，噴擊乾膜光阻20上第一圖案50所對應的滾輪10的表面，從而在滾輪10的表面上 形成預定圖案70，即滾輪10對應第一圖案50的區域被噴砂蝕刻，換言之，滾輪10上沒有被乾膜光阻20覆蓋的區域被噴砂蝕刻。
噴砂機60可以為乾噴砂機或液體噴砂機，更進一步，為吸入式乾噴砂機或壓入式乾噴砂機。
在步驟S3中，更進一步，可以利用二氧化碳清洗裝置對噴砂後的滾輪進行清洗。由於二氧化碳在噴出瞬間係呈固態，故，可沖擊殘留在預定圖案70內的研磨砂材，而使其自預定圖案70內脫出，此時，二氧化碳也從固態轉變為氣態，因此不致殘留在滾輪10上。
請參閱圖5，在步驟S4中，將乾膜光阻20去除，以曝露滾輪10的表面。
更進一步，使用流體對去除乾膜光阻20後的滾輪10進行清洗。該流體可以為液體或者氣體。
上述具預定圖案的滾輪之製作方法在滾輪上進行乾膜光阻之貼合與曝光操作，定義出圖案後再結合噴砂處理，可製作出滾輪圖案，由於省去電鑄銅製程，噴砂製程使得滾輪材質不受限制，因此可使用機械強度較高之材料，除降低成本也可以延長滾輪使用壽命；另外，該方法可有效縮短滾輪圖案製作週期，且根據光罩的不同圖案變化大；並且由於可以設計較高精度之光罩，從而也使得圖案具有較高之精度。
綜上所述，本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提出專利申請。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施方式，自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案技藝之人士援依本發明之 精神所作之等效修飾或變化，皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。

Claims (7)

  1. 一種具預定圖案的滾輪之製作方法，其包括下列步驟：將待形成圖案之滾輪代替捲對捲貼合機的滾輪，並通過捲對捲貼合機將乾膜光阻貼合在該預形成圖案之滾輪上，於待形成圖案的滾輪表面形成乾膜光阻；採用一曝光機並通過一光罩對所述乾膜光阻曝光以在所述乾膜光阻上形成第一圖案；採用一噴砂機對所述第一圖案所對應的所述滾輪表面進行噴砂處理以在所述滾輪上形成所述預定圖案；去除乾膜光阻。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之具預定圖案的滾輪之製作方法，其中，進一步包括噴砂和/或去除乾膜光阻後之清洗步驟。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之具預定圖案的滾輪之製作方法，其中，噴砂後採用二氧化碳進行清洗。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之具預定圖案的滾輪之製作方法，其中，去除乾膜光阻後採用液體或氣體進行清洗。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之具預定圖案的滾輪之製作方法，其中，進一步包括曝光後對所述乾膜光阻進行顯影處理。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之具預定圖案的滾輪之製作方法，其中，該噴砂機可以為乾噴砂機或者液體噴砂機。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之具預定圖案的滾輪之製作方法，其中，該噴砂機為吸入式乾噴砂機或壓入式乾噴砂機。
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