TWI324129B - - Google Patents

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TWI324129B TW93124689A TW93124689A TWI324129B TW I324129 B TWI324129 B TW I324129B TW 93124689 A TW93124689 A TW 93124689A TW 93124689 A TW93124689 A TW 93124689A TW I324129 B TWI324129 B TW I324129B
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    • B65G1/04Storage devices mechanical
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14Wafer cassette transporting

Description

1324129 • 九、發明說明 -【發明所屬之技術領域】 本發明是關於天車系統,特別是關於物品暫時保管用 的頂架緩衝容器。 【先前技術】 於天車系統中,是使天車沿著設置在無麈室等的天花 板附近的行駛軌行駛來搬運物品。爲增加天車系統的效率 ’將頂架緩衝容器設置在裝載埠(設置在處理裝置等上的 地上平台)附近是爲有效的對策。於是專利文獻丨就提案 在裝載埠和裝載埠之間,於行駛鬼的下部設置頂架緩衝容 器。然而,於連續配置有裝載埠的狀況時,在裝載埠之間 就沒有設置頂架緩衝容器的餘地。 【專利文獻1】日本特許第3067656號 【發明內容】 〔發明欲解決之課題〕 本發明的課題,是在於提供一種即使在裝載埠之間沒 有設置頂架緩衝容器的餘地,也能夠設置頂架緩衝容器的 天車系統。 申請專利範圍第2項的發明中所追加的課題,是要使 裝載埠和頂架緩衝容器間的移載變成容易。此外,是要使 天車朝裝載埠移動的停止控制機構能夠兼爲天車朝頂架緩 衝容器移動的停止控制來使用。 1324129 申請專利範圍第3項的發明中所追加的課題,是要使 天車和頂架緩衝容器間的物品移載變成容易。 〔用以解決課題之手段〕 本發明的天車系統,是於使昇降台進行昇降來對設在 行駛軌下方的處理裝置的裝載埠進行物品移載的同時,還 具備有沿著行駛軌行駛的天車的系統中,其特徵爲,是於 上述行駛軌的側方,使頂架緩衝容器設置成其物品載置面 是要比行駛中的天車上的物品底面還低,並且於天車設有 可使上述昇降台橫向移動至頂架緩衝容器上的手段,使物 品能夠自由移載在頂架緩衝容器上和行駛軌下方的裝載淖 上之間。 另’處理裝置的廣義的解釋,除了對搬運的物品進行 加工的裝置外,還包括物品的檢查裝置等。此外,頂架緩 衝容器,是指在無塵室等房屋內的天花扳附近的緩衝器, 並非專指是被支撐在天花板上的緩衝器。 有關於平面方向並且在行駛軌的行駛方向位置方面, 上述頂架緩衝容器的配置.,最好是與上述裝載埠爲大致相 同位置,以能夠將物品移載在其與天車之間。 此外,最好是將物品落下防止手段設置成是從上述頂 架緩衝容器朝上方突出的同時,還將該落下防止手段的頂 部形成爲要比行駛中的天車上的物品底面還低的高度。 〔發明效果〕 -6- 1324129 於本發明的天車系統中,因頂架緩衝容器從行駛軌看 是在處理裝置的相反側等’設於行駛軌的側方,所以即使 是在處理裝置側連續設有裝載埠,於裝載埠之間在行駛軌 的下方沒有空間時,也能夠設置頂架緩衝容器。因此在裝 載璋的附近要設置頂架緩衝容器就變容易,並且較有效率 。此外,與在行駿軌的下方於裝載埠之間設置頂架緩衝容 器的狀況相較又能夠將頂架緩衝容器設置在較高的位置, 所以能夠有效利用頂架緩衝容器的下方空間。於天車,設 有可使昇降台朝頂架緩衝容器進行橫向移動的手段。頂架 緩衝容器因是以要比行駛中的天車上的物品底面還低的高 度來對物品進行支撐,所以當昇降台朝頂架緩衝容器側進 行橫向移動下降時,就能夠將物品移載在頂架緩衝容器和 昇降台之間。接著,將昇降台的橫向移動與昇降進行組合 ,又若需要的話將天車的行駛進行組合,以使物品能夠移 載在頂架緩衝容器和裝載埠之間。 另外,於頂架緩衝容器設有落下防止手段來防止物品 的落下。此外,當使昇降台從天車朝頂架緩衝容器上移動 時,物品底面會通過要比落下防止手段頂部還稍微高的高 度’例如是通過3〜30cm局的局度。因此當使昇降台從 天車朝頂架緩衝容器側前進,使昇降台梢微下降時,就能 夠將物品移載在其與天車之間。再加上因於頂架緩衝容器 的下部能夠留有高的空間,所以在將頂架緩衝容器的底面 下的空間視爲是房屋內的有效空間時就能夠獲得較廣的有 效空間,比習知還低的天花板就能夠獲得相同的有效空間 1324129 於申請專利範圍第2項的發明中,頂架緩衝容器是配 置成能夠將物品在行駛軌的行駛方向位置從大致與裝載埠 爲相同位置移載在其與天車之間。例如:頂架緩衝容器是 配置成與裝載埠成相向。因此能夠將對裝載埠的天車停止 控制用的制動爪(標記)等兼用爲對頂架緩衝容器的停止 控制’使要對行駛軌等進行的制動爪安裝作業變容易。此 外在頂架緩衝容器和裝載埠間的移載,是不需要行駛天車 ’或者即使行駛天車也只是少量的行駛距離即可。因此, 頂架緩衝容器和裝載埠間的移載就變容易。 【實施方式】 〔發明之最佳實施形態〕 以下爲表示實施本發明時的最佳實施例。 〔實施例〕 於第1圖至第6圖,圖示著實施例。於圖中,圖號2 爲天車系統,是設置在無塵室等室內。圖號4爲行駿軌, 是從天花板5由懸吊螺栓7等支撐著,於下部一體安裝有 供電軌6。天車8具備有:行駛在行駛軌4內的行駛驅動 部10;及,從供電軌6例如透過非接觸供電來接受供電 的非接觸供電部12。另,於供電軌6,配置著天車8和未 圖示的操縱器間的通訊線以及針對裝載埠的停止控制用的 -8- 1324129 •制動爪等。於非接觸供電部12,除了設有非接觸供電 -的線圏外,還設有可對其與操縱器間的通訊線進行訊號 送接收的訊號傳送接收部,以及制動爪檢測用的感測器 圖號14爲橫送部,可使昇降驅動部16及昇降台 朝行駛軌4的側方移動。移動方向並非是在行駛軌的左 兩側移動,而是在處理裝置50的相反側(第1圖左側 的1方向移動。橫送部14是使昇降驅動部16和昇降 14對行駛軌的單方的側方成進退。於天車8的橫送部 ,如第2圖所示,例如是以一對的線性導件34來引導 降驅動部,以橫向驅動機構35使其進退在行駛軌4的 方。將落下防止體20設置在天車8的例如前後,以防 搬運物品例的匣盒22因行駛中的振動等造成其從昇降 18落下。匣盒22是收容著半導體基板,昇降台18是 住從匣盒22上面突出的凸緣等來對其進行支撐。 圖號24爲頂架緩衝容器,是在行駛軌4的單方側 ’設置在處理裝置50的相反側。於頂架緩衝容器24, 有落下防止柵26,以防止匣盒22落下。於此落下防止 26雖是於頂架緩衝容器24的4周配置成相同高度,但 如也可將其天車8側配置成較低,其相反側配置成較高 頂架緩衝容器24,例如是用一對平行管狀的支撐體28 支撐。於支撐體28的兩端設有端部板33,以懸吊螺栓 等使其例如從天花板5懸吊著。圖號31爲設置在頂架 衝容器24上的定位銷,可嵌合於匣盒22底面的凹部來 匣盒2 2定位。 用 傳 〇 18 右 ) 台 14 昇 側 止 台 夾 方 設 •ΗΤΠ m 例 〇 來 30 緩 使 -9- 1324129 落下防止手段,是由落下防止柵26和定位銷31形成 。因落下防止栅26是比定位銷31還高朝上突出自頂架緩 衝容器24’所以落下防止柵26其靠近天車8部份的高度 就成爲落下防止手段的頂部高度。另,若未設置落下防止 柵26時’則定位銷31就成爲落下防止手段的頂部高度。 於頂架緩衝容器24上,設有開口 32以避免遮住從天花板 5向下朝地平9吹出的無塵氣流。更好的是,將頂架緩衝 容器24的材質爲透明的塑膠,如此一來以目視就能夠簡 單地看出有無匣盒22。 圖號50爲半導體等的處理裝置,也可以是爲檢查裝 置等。圖號52爲裝載璋,設有輸送裝置等。圖號54是爲 將匣盒22自處理裝置50內取出或放入時使用的出入口。 於此,雖是用懸吊螺栓3 0使端部板3 3懸吊支撐在天花板 5,但也可如圖中一點虛線所示是由支柱48使其由處理裝 置50支撐著。 接著’對各部份的高度進行說明。行駛中天車8上的 匣盒22底面高度H1,例如爲2500〜3000mm程度。裝載 埠52的高度H2例如爲800〜1000mm程度,使作業員能 夠在裝載埠52搬出或搬入匣盒22。頂架緩衝容器24的 高度H3,以不妨礙到地面人員操作的高度爲佳,例如爲 2000mm以上的高度。落下防止柵26其靠近天車8側的 頂部高度和行駛中天車8上的匣盒22底面高度的差値D ,例如爲30〜300mm程度,於此是爲loomm。 如第2圖所示,頂架緩衝容器24其平面方向是設置 -10- 1324129 •成與裝載埠52成相向。裝載埠52是位於行駛軌4的正下 .方,頂架緩衝容器24從行駛軌4看是在處理裝置50的相 反側’位於要比裝載埠52還高的位置。裝載埠52是設置 在行駿軌4的正下方形成爲沿著天車行駛方向其平面方向 幾乎是在相同位置上。以在左右的一方設有頂架緩衝容器 24爲佳。這些位置的差値(沿著天車行駛方向的位置差 値,稱爲偏位量),例如爲3 00mm以下。於行駛軌4下 部的供電軌上設有制動爪(天車控制用的標記)。制動爪 45是設置在比裝載埠52還在行駛方向上游側的裝載埠的 預告用制動爪。制動爪46爲停止控制用的制動爪。另, 也可只設有2個制動爪45、46當中的一方。接著,於本 實施例中,頂架緩衝容器24其有關於行駛軌4行駛方向 的位置,是與裝載埠52爲相同位置。當天車8對裝載埠 52是成停止時,天車8也能夠依原狀正確停止在頂架緩 衝容器24位置。 由於安裝上的關係,造成沿著天車8的行駛方向無法 將頂架緩衝容器24設置成與裝載埠52爲相同位置時,例 如也可使其從裝載埠52沿著天車的行駛方向配置在5〜 3 0cm程度範圍,例如使其偏位配置在行駛方向前方。於 該狀況時’爲了使天車8停止在頂架緩衝容器24的位置 上’天車8只要停止在從制動爪45、46所算出的裝載埠 用的位置起往前方僅偏位成指定距離的位置上即可。此外 ’在頂架緩衝容器24偏位成要比裝載埠52還接近天車行 駛方向跟前側(上游側)時,也可利用上游側的制動爪 -11 - 1324129 4 5來執行停止控制。 第3圖,是表示匣盒22往頂架緩衝容器24移載中的 狀態。昇降台18是由皮帶或纜繩、帶狀板等的懸掛支撐 材36支撐在昇降驅動部16。昇降台18,是藉由懸掛支撐 材36的放出/捲取來進行昇降。圖號37爲同步皮帶等無 端皮帶,皮帶37圈的上側是以固定部38固定在橫送部 14。此外,皮帶37圏的下側,是以固定部39固定在昇降 驅動部 16。圖號40、41爲一對鏈輪(齒輪)。圖號 42 爲滾珠絲槓,圖號43爲滾珠絲槓驅動機構。圖號44爲框 架。接著旋轉滾珠絲槓42來使框架44移動在第3圖的左 右方向時,固定部39會以框架44的2倍衝程進行左右移 動。另除此之外,昇降驅動部1 6是由線性導件等引導成 左右移動。昇降驅動部16的橫送機構並無特別限定。 於第4圖至第6圖中,圖示著天車的停止控制,以及 天車與頂架緩衝容器或裝載埠間的物品移載。當天車停止 在裝載埠位置時,只要遵從制動爪的檢測訊號執行停止控 制即可。於實施例中,由於沿著天車的行駛方向,頂架緩 衝容器是位於與裝載埠相同的位置,所以只要執行和欲停 止在裝載埠位置時相同的控制,天車也能夠正確停止在頂 架緩衝容器位置。另,當頂架緩衝容器對裝載埠成偏位時 ’只要因應偏位量來變更停止位置即可。 天車與頂架緩衝容器間的物品移載,是使用橫送部的 橫向驅動機構,使昇降驅動部朝頂架緩衝容器側前進,然 後使昇降台進行下降。在使橫向驅動機構進行前進期間, -12- 1324129 ‘因物品底面是在要比頂架緩衝容器的落下防止柵及定位銷 •還稍微高的位置,所以不會碰撞到頂架緩衝容器的落下防 止柵及定位銷。接著使昇降台進行下降,例如在將匣盒朝 頂架緩衝容器進行卸貨時,只要以定位銷進行引導即可。 然後移載至頂架緩衝容器上的匣盒,是由定位銷和落下防 止柵使其在地震時等有強力外加時也不致於落下。當移載 結束時’只要使昇降台進行上昇,使橫向驅動機構進行後 退即可。於該期間昇降台的下降/上昇衝程只要少量即可 ,因此移載所需要的時間也較短。 於第6圖中圖示著從頂架緩衝容器朝裝載埠進行的移 載。於實施例中,因頂架緩衝容器和裝載埠是沿著天車的 行駛方向在相同位置,所以移載期間天車不需要行駛。在 將匣盒從頂架緩衝容器朝裝載埠進行移載時,是使橫向驅 動機構朝頂架緩衝容器側前進,接著使昇降台進行下降將 匣盒從頂架緩衝容器移載至昇降台上。將該步驟爲步驟c 。然後使昇降台進行上昇,使橫向驅動機構進行後退。假 設在頂架緩衝容器和裝載埠之間,產生沿著行駛方向的位 置偏位時,是使天車僅行駛偏位份量。由於裝載埠是位於 天車的正下方,所以下降昇降台就可將匣盒朝裝載埠進行 移載。將該步驟爲c’步驟。然後使昇降台進行上昇,結 束移載。 從裝載埠朝頂架緩衝容器進行移載時,只要將第6圖 後半的3步驟和前半的5步驟的順序調換過來即可。於此 ,步驟c’中的朝裝載埠的移載,是將匣盒從裝載埠朝昇 -13- 1324129 降台進行移載。此外’步騾C中的從頂架緩衝容器朝昇降 台進行的匣盒移載’是被取代爲將匣盒從昇降台移載至頂 架緩衝容器。 於實施例中可獲得以下效果: (1) 即使在裝載埠和裝載埠之間沒有設置頂架 緩衝容器的餘地時,也能夠增設緩衝容器。其結果,能夠 改善天車系統的搬運效率。 (2) 頂架緩衝容器能夠設置在不妨礙到地面人 員操作的高度。特別是將頂架緩衝容器的高度設置成比天 車行駛中的物品底面還稍微低的高度時,頂架緩衝容器的 下側就能夠擁有廣擴的空間。此外,能夠縮短頂架緩衝容 器和天車間的移載時的昇降台的昇降衝程。 (3) 若將頂架緩衝容器和裝載埠是沿著天車的 行駛方向配置在大致相同的位置上時,使用天車朝裝載埠 移動的停止控制用的制動爪等,就能夠執行天車朝頂架緩 衝容器移動的停止控制。其結果,能夠簡單地對軌進行制 動爪的安裝等。此外,在裝載埠和頂架緩衝容器間的移載 時能夠不需要天車行駛。或者能夠使這之間的行駛距離成 爲少量。 (4 ) 若於頂架緩衝容器設有定位銷時,則能夠 對頂架緩衝容器在進行匣盒卸貨時進行引導,並且對落下 防止有效。此外,若設有落下防止柵時,對於地震時的落 下等也能夠確實防止。 (5 ) 若於頂架緩衝容器設有開口時,則不會遮 -14- 1324129 *住無塵氣流的流動。 . (6) 若頂架緩衝容器的材質爲透明,或者是於 頂架緩衝容器設有開口時’以目視就能夠簡單地看出有無 匣盒。 於第7圖中圖示著變形例的天車系統72。與第1圖 至第6圖相同的圖號是表示相同構件。此外,第1圖至第 6圖的實施例相關記載’除有特別限定外,是能夠直接依 原狀應用在變形例》第7圖的變形例,是於處理裝置50 、5 0 /間的間隙’設有1匣盒份量或者複數匣盒份量的頂 架緩衝容器24。頂架緩衝容器24,是由管78等使其懸吊 支撐在例如處理裝置50、50,上。頂架緩衝容器24和裝 載埠52’由於天車的停止位置是爲不同,因此對於頂架 緩衝容器24的停止控制用是設有制動爪45 -、46 -。頂 架緩衝容器24的高度位置是與第1圖相同。落下防止柵 26的頂部是形成爲要比天車搬運中的匣盒底面還稍微低 的高度。另’於第7圖、第8圖的變形例中,天車是形成 爲可在行駛軌的左右兩側的頂架緩衝容器2 4間自由交接 匣盒。 第8圖的天車系統82,是爲於處理裝置的上面設有 頂架緩衝容器24的例子。在將處理裝置50替換成身高爲 較高的裝置時,是能夠撤除頂架緩衝容器24。於該例中 ,頂架緩衝容器24的高度位置,落下防止柵26的頂部也 是形成爲要比天車搬運中的匣盒底面還稍微低的高度。其 他方面,是與第1圖至第6圖的實施例相同。 -15- 1324129 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示實施例天車系統中天車和頂架緩衝容器 的正面圖。 第2圖爲表示實施例天車系統中天車的行駛軌和頂架 緩衝容器的要部平面圖。 第3圖爲表示實施例中天車的橫向移動機構模式圖。 第4圖爲表示實施例中天車朝頂架緩衝容器移動的停 止控制流程圖。 第5圖爲表示實施例中天車和頂架緩衝容器間的移載 控制流程圖。 第6圖爲表示實施例中從頂架緩衝容器朝裝載埠移載 的移載控制流程圖。 第7圖爲表示變形例中天車和頂架緩衝容器的要部平 面圖。 第8圖爲表示第2變形例中天車和頂架緩衝容器的正 面圖。 【主要元件符號說明】 2 :天車系統 4 :行駛軌 5 :天花板 6 :供電軌 7 :懸吊螺栓 -16- 1324129 ίο : 12 : 14 : 16 : 18: 20 : 22 : 24 : 26 : 28 : 30 : 3 1: 32 : 33 : 3 4 · 35 : 36 : 37 : 38、 40、 42 : 43 : 天車 地板 行駛驅動部 非接觸供電部 橫送部 昇降驅動部 昇動台 落下防止體 匣盒 頂架緩衝容器 落下防止柵 支撐體 懸吊螺栓 定位銷 開口 端部板 線性導件 橫向驅動機構 懸掛支撐材 皮帶 39 :固定部 41 :鏈輪 滾珠絲槓 滾珠絲槓驅動機構 -17- 1324129 44 :框架 4 5、4 6 :制動爪 48 :支柱 5 0 :處理裝置 52 :裝載埠 54 :出入口 -18

Claims (1)

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十、申請專利範圍 1. —種天車系統,是使昇降台進行昇降來對設在行 駛軌下方的處理裝置的裝載埠進行物品移載的同時,還具 備有沿著行駛軌行駛的天車的天車系統,其特徵爲:在上 述行駛軌的側方和處理裝置的相反側上,使頂架緩衝容器 設置成其物品載置面比行駛中的天車上的物品底面還低, 並且於天車設有可使上述昇降台橫向移動至頂架緩衝容器 上的手段,使物品能夠自由移載在頂架緩衝容器上和行駛 軌下方的裝載埠上之間,並且在上述頂架緩衝器上,設置 :嵌合在物品底部的凹部將物品定位的定位銷,及防止物 品落下用的落下防止柵,使落下防止柵較定位銷更朝著上 方突出,並使得該落下防止柵的高度形成比行駛中的天車 上的物品底面更低的高度。 2. 如申請專利範圍第1項所記載的天車系統,其中 ,關於平面方向並且在行駛軌的行駛方向位置上,上述頂 架緩衝容器是配置成與上述裝載埠爲大致相同位置,以能 夠將物品移載在其與天車之間。 -19-
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