TWI313748B - Board inspecting method and apparatus and inspection logic setting method and apparatus - Google Patents

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1313748 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關檢查安裝於基板上之j c類零件之偏差之技 術’以及有關用以產生在檢查中所使用之檢查邏輯之技 術。 【先前技術】 以往即提案用以檢查安裝有多數電子零件之印刷基板 之谭接安裝品質之基板檢查裝置。於此種印刷基板中，將 「焊接電子零件之電極部及填角時之料隆起之形狀」稱 為焊錫填角，而依電子零件之電極部之沾濕隆升，亦有看 似已形成焊錫填角，但實際上電子零件與焊錫填角並未接 觸之情況。故為了檢查焊接之良筹，必須正確掌握由自由 曲線所組成之焊錫填角之形狀。 而於以在之基板檢查裝置，由於光源使用黑白（單 色）單m此難以將焊錫填角之3次元形狀進行圖像 解析’從而無法判斷焊接之良筹，作為基板檢查裝 實用。 為了解決此課題’本申請人係提案如圖16所示之方式之 基板檢查裝置（參考鼻利令齡、〗、 哼寻和文獻丨）。此方式稱為3色光源彩色 高光方式(或僅稱為彩色高光方式），其藉由以複數色之光 源，射檢查對象’來獲得焊錫填角之3次元形狀以作為擬 似彩色圖像之技術。 印刷基板之自動檢查之實用化據說實質上係始於此彩色 高光方式技術出現以後。特別是在電子零件小型化之現 I08213.doc 1313748 今’亦難以用目視判斷焊錫填角形狀，可說若無彩色高光 方式之基板檢查裝置，基板檢查即無法實現。 如圖1 6所示，彩色高光方式之基板檢查裝置係具備：投 光邛105，其係於基板no上之檢查對象1〇7，以不同入射 角照射二原色光；及拍攝部丨〇6，其係拍攝來自檢查對象 1 07之反射光。此投光部105係由具有不同直徑，且根據來 自控制處理部之控制信號’同時照射紅色光、、綠色光、藍 • 色光之3個圓環狀光源⑴、112、113所構成。各光源 111、112、113係於檢查對象107之正上方位置對準中心， 且_對象107觀看’配置在對應於不同仰角之方向。 若以該構成之投光部105照射檢查對象（焊錫填角）1〇7， :於檢查對象⑻之表面傾斜之顏色之光會入射於拍攝 日故如圖17所不，於電子零件之焊接良好時/零件欠 焊錫不足之狀態時等’因應於焊錫填角之形狀 攝圖像之色彩圖案會出現瑞 拍 之有無或焊接之良二:了:確地判斷電子零件 所造成之焊接不良之狀態。μ ^例如由於零件偏差 [專利文獻1]日本特開平2-78937號公報 [專利文獻2]日本特開平9_14563u_ (發明所欲解決之問題） 然而，關於1C類零件之偏差檢查 題。此外，在此，在零# i — 一有其次特有之問 零件本體對向之2遠+ 邊之各邊排列有多數弓丨線之交株，/邊或冬件本體周圍4 ' ^ 係稱為「1C類零件 108213.doc 1313748 7車Λ於所明方形晶片零件或電晶體零件，此種零件具有零 本版之面積極大，而且引線寬度或引線排列間隔非常窄 之特徵。 、圖19所不，於方形晶片零件1 00或電晶體零件中，由 ;疒引線間隔上有餘裕，因此可寬廣地取得接端面 (land)(被賦予焊錫之部分）1社面積。故焊錫1G2在接端面 丨〇1上擴散’良品（零件以正常姿勢安裝）與不良品（產生零

牛偏差）之焊錫填角之3次元形狀明確不同。因此，以著重 出現於知錫部分之色彩圖案之以往之基板檢查手法，亦可 判斷零件偏差之有無。 山而1C頒零件i 10之情況，配合引線間隔而不得不使 而面1Π成為細長形狀°因此’無關於良品及不良品， 、干錫112係由於表面張力而呈現隆起於接端面"1上之形 :。因此，於焊錫填角之形狀’料於焊錫部分之色彩圖 :二幾乎不會出現良品與不良品之差異，只觀察此仍無 法正確地判斷零件偏差。 作為解決此之手法之 可考慮於應配置零件本體之區 域’調查是否有屮箱受I — ‘ 冑出現令件本體以外之顏色(例如基板之顏 色）’错此判斷零件偏差之手法。此手法對於方形晶片零 ^或電晶體類零件有效，但於⑽貞料之檢查巾具有如宜 大人之=缺點。如上述，IC類零件之零件本體之面積極 因此若欲精密地檢查應配置有零件本體 域， 會增加，難以實現即時之基板檢查。除此之二 於义J處理、記錄應配置零件本體之區域全體之圖像， I082l3.doc 1313748 因此工作記憶體及圖像記憶裝置之容量變得龐大，結果導 致裝置之成本上升。 口此，本發明之第一目的在於提供可高速且以小記憶容 量檢查ic類零件之偏差之技術。 〜 而在衫色高光方式之基板檢查裝置中，係預先設定表示 =庄目之區域之顏色之色條件，自檢查圖像中擷取符合色 1卞件之區域，根據該擷取區域所具有之各種特徵量（例如

:積或長度）進行良_判斷。關於零件偏差之檢查亦相 同。因此，必須於實際檢查前，預先設定用於檢查之色條 ^用以區分良品及不良品之判斷條件等。此色條件及判 斷條件係成為檢查邏輯之參數。—般稱設定、調整檢查邏 輯為教導（teaching)。 為了提升檢查精度，重要者在於以表示良品之特徵量與 表示不良品之特徵量之間，出現有意且明確差異之方式來 設定色條件。亦即色條件之教導之良筹，可說會直接影響 檢查精度。 此本申凊人係提案如圖1 8所示，用以支援彩色高光 弋中之色條件之设定之工具（參考專利文獻於此工且 作為色條件可設定複數之色特徵量（紅、綠、藍之各 色相比ROP、G0P、B〇p及亮度資料BRT)各個之上限值及 下限值。於圖1 8之輸入晝面設有：設定部127，其係用以 輸入色條件之設定值；及設定範圍顯示部128，其係用以 員不藉由設定之各色條件所擷取之色彩範圍。於此設定範 圍顯示部128顯示有色調圖134，其係表示在特定亮度下所 f〇82l3.do, 1313748 獲得之所有色彩；若操作員設定各色條件之上限值、下限 值，於色調圖134上會顯示將藉由設定之色條件所操取之 色彩包圍之確認區域135。此外，若按壓二值化顯示按紐 L29，根據現在之色參數之掏取結果會以二值圖像顯示。 右根據此工具，操作員可-面觀看確認區域"5或二值圖 像’ -面逼近色條件直到獲得適當之揭取結果。 :而，即使利用上述色條件設定支援卫具，結果由於色 條件之逼近仍有大部分仰 賴刼作具之經驗及直覺，因此無 /去避免產生設定錯誤。 人 須嘗試錯誤地重複調整，4 =h操作員，仍必 調整時間之問題。具有效率不佳、需要甚多勞力及 此外’不僅止於色條#，Μ μ m 件，由於m ^ 〃 1於用以判斷良#之判斷條 佳。由於…仰賴操作員之直覺及經驗，因此效率不 於商品生命週期之短命化加速、變化激 中，強烈期望減輕教導作業、， 、I &衣兄 化。 導作業，亚且強烈期望教導之自動 參第二目的在於提供-種適於檢查邏輯之 其係為了高速且以小記情空旦认士 而使用；亦即提供可求出色㈣、里W—Ic類零件之偏差 檢查邏輯之技術。 、判斷條件，.自動地產生 本發明之第—態樣為一種基板檢查 =褒置，檢查安裝於基板上α類零件=藉由基板 "查邏輯，其係包含規定出現於檢查對象:== 1082I3.doc 1313748 體之顏色之色條件、及判斷條件；以不同入射角在檢查對 象零件照射複數色之光，拍攝其反射光，取得包含前述檢 查對象零件之零件本體之邊緣之至少一部分之檢查圖像， 採：前述色條件’藉由圖像處理，自前述檢查圖像榻取符 =述色條件之零件本體區域，藉由圖像處理特定出前述 體區域之邊緣’比較前述邊緣之特徵量之值與前述 ⑷条件’精此判斷前述檢查對象零件是否為正常姿勢。 :發明之第二態樣為一種基板檢查裝置，其係檢查安装 之㈣零件之偏差；具備：記憶機構，其係記憶 % —璉輯，該檢查邏輯包含規定出現於檢杳 檢查對象零件之零 =體之顏色之色條件、及判斷條件；投光機構，其係以 入射角在檢查對象零件照射複 其係拍攝其反射光，取得包人n太先’拍攝機構’ 體之邊緣之至少一部分之檢篆零件之零件本 换爾a n —圖像，區域擷取機構，1係 用刖述色條件，藉由圖像處 " 合前述色條件之零件太…““檢查圖像擷取符 匕你什之芩件本體區域； 圖像處理特定出，、f堂丛+ ，·，疋機構，其係藉由 直传比争〜=則述零件本體區域之邊緣；及判斷機構， 斷1、二緣之特徵量之值與前述判斷條件，夢此判 斷月'j述檢查對象零件是否為正常姿勢。 藉㈣ 心&條#規定出現於零件本 採用此色條件而自檢查_貝取之零:本色=圍)’因此 與檢查圖像中之零件本體之外形—致㈣域，應大致 域之邊緣可視為零件本體之邊緣杳=本體區 徵量之值（例如位置或角度 右《㈣緣之特 置及角度），即可精度良 IOS2l3.doc 1313748 好地#丨斷零件本體是否以正常姿勢安裝。 二根據本發明之第一、第二態樣，自 色條件之零件太驴F p —圑彳冢裯取付合 午本體&域，將該區域之邊 判斷條件比較即可，因此可實現簡單且：„值與 至少一部八之J像，僅處理包含零件本體之邊緣之 ^ 口丨s刀之檢查圖像即 圖像記憶裝置之使用量。 …p 11工作記憶體或 :發明之第三態樣係產生在上述 查邏輯之方法。具體而言，資訊處 中= 吏用之仏 零件_分及鄰接於零件本體:部:==出 色特试里’將零件本體部分之各像素作為對象點：：： ==之部分之各像素作為除外點，求出前述複數對 象點及除外點個別之色特徵# 1或複數之色特徵量之值之度=佈，根據前述 之色特徵量之值及1 ^ k 纟出將則述對象點 離之色㈣量= 色特徵量之值最良好地分 之色特❹之值之範圍’將前述〗或複數 頦及值之範圍(以下稱色特徵 里 「色範圍」)設定作為前述色條件。1及其值之範圍為 用：:數:Π之第四態樣係產生在上述基板檢查中所使 用之參數之裝置，·具備以下機構： 之ic類零件所獲得之 吊文勢安裝 口丨豕错由圖像處理特定出雯址士舰 =分及鄰接於零件本體之部分之機構;關於心 一，將零件本體部分之各像素作為對象點：:： 1082 丨 3.c)〇i 1313748 於零件本體之^之各像素作為除外點，求出前述複數對 象點及除外點個別之色特徵量之值之度數分佈之機構；根 據前述i或複數之色特徵量之值之度數分佈，求出將前述 對象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量之值最良 好地分離之色特徵量之值之範圍之機構；及將前述丨或複 數色特徵量之種類及值之範圍（色範圍）設定作為前述色條 件之機構。 在此，於色範圍之探索處理所使用之色特徵量，可使用 構成色空間之色特徵量。此外，不僅止於構成單一色空間 之色特徵量，亦可自不同色空間選擇複數之色特徵量。作 為色空間’可使用例如RGB、Hsv、HSL、CMY、YCC、 。作為色特 黃等顏色之 CIEXYZ、CIELAB、CIELUV等任意之色空間 徵量可使用例如：藍 '紅、綠 '靛藍、洋紅、 強度、亮度、彩度 '色相；CIEXYZ中之刺激值χ，γ，z ：：w；；rLAB^L"a"b*；ACIELUX^L* 亦可預先設定色特徵量之種類。例如於預先得知傾向在 零件本體部分含有甚多，且於鄰接於零件本體之部分幾乎 未含有之顏色之情況，亦可將關係於該色U或複數特徵 量(顏色之強度、亮度等)，採用作為用於色條件之色特徵 量。藉由如此地構成，可減低檢查精度之降低，同時減= 此外’亦宜動態地決定用於 訊處理裝置亦可具有複數之由 色條件之色特徵量。例如資 1或複數之色特徵量所構成 108213.doc •13- 1313748

之色特徵量候補，關於<+.、— A ,, 於則述稷數之色特徵量候補之各個， 求出將前述對象點之声 曰 色特试里之值及前述除外點之色特徵 置之值最良好地分離之色 〈巴将试里之值之範圍及分離度，藉 由比較該分離度而選擇採用作為前述色條件之色特徵量候 2 ’將構成前述選擇之色特徵量候補之1或複數之色特徵 置之種類及值之範圍，設定作為前述色條件。而且所採用 之色特徵量候補為1個或複數均可。藉由如此地構成，以 a自動也^顯著出現零件本體部分與鄰接於零件本體之 部：之差異之色條件(色特徵量)，可謀求檢查精度進一步 之提升。 產生判斷條件時，資訊處理裝置亦可自拍攝與複數良品 圖像產生偏差之Ic類零件所獲得之複數不良品圖像之各 個’擷取符合前述色條件之像素區域，而該複數良品圖像 係減以正常姿勢安裝之似員零件所獲得；藉由圖像處理 特疋出各像素區域之邊緣，求出前述邊緣之特徵量之值之 土數分佈’根據前述色特徵量之值之度數分佈，求出將自 1良品圖像所操取之像素區域之邊緣之特徵量之值、及 自前述不良品圖像所擷取之像素區域之邊緣之特徵量之值 最良好地分離之特徵量之值之範圍’將前述特徵量之種類 及值之範圍設定作為前述判斷條件。 於此，作為特徵量之種類，適宜採用邊緣之位置或角 度、或位置及角度雙方。與色特徵量之情況相同，要將邊 緣之位置'角度、或其雙方之任一特徵量採用作為判斷條 件，係可預先設定或由系統自動決定。 I08213.doc 1313748 若根據此構成，可自教師圓像（良品圖像及不良品圖 像），自動地產生可高精度地判_類零件有無偏差之判 斷條件。如此自動產生之檢查邏輯之參數（色條件及判斷 條件）係儲存於基板檢查裝置之記憶機構，以供ic類零件 之偏差檢查。 —本發明n態樣為-種基板檢查方法，其係藉由基板 榀查裝置’檢查安裝於基板上之IC類零件之偏差，·預先記 憶檢查邏輯，其係包含色條件及判斷條件，而該色條件規 疋出現於排列在檢查對象零件之零件本體之邊緣之引線之 基端部分之顏色；以不同入射角在檢查對象零件照射複數 色之光#攝其反射光，取得包含前述檢查對象零件之零 件本體之邊緣之至少_邱八 tt Μ 7ΓΪ j邛刀、及排列於該邊緣之複數引線 之檢查圖像’採用前述色條件，藉由圖像處理，自前述檢 查圖像掏取符合前述色條件之複數引線區域，藉由圖像處 料=出連結前述複數引線區域之直線，比較前述直線之 ，徵$之值與前述判斷條件，藉此判斷前述檢查對象零件 疋否為正常姿勢。 本發明之第六態樣為—種基板檢查裝置，其係檢查安裂 於基板上之1C類零件之偏差；具備：記憶機構，其係記憶 包含色條件及判斷條件之檢查邏輯，而該色條件規定出2 =排，在檢查對象零件之零件本體之邊緣之引線之基端部 昭J色，技光機構，其係以不同入射角在檢查對象零件 射複數色之光’拍攝機構’其係拍攝其反射光’取得包 3刖述k查對象零件之零件本體之邊緣之至少一部分、及 I08213.doc •15- 1313748 ==邊緣之複數引線之檢查圖像；區域掏取機構，其 … 條件’藉由圖像處理’自前述檢查圖像柙取 二”述色條件之複數引線區域；直線特定機構，= 圖像處理特定出連結前述複數二 機構，a必， "'心直線’及判斷 藉此判斷:述直線之特徵量之值與前述判斷條件， 斷別逃檢查對象零件是否為正常姿勢。 圍二:二件規定出現於引線之基端部分之顏色(之範 因此㈣此色條件而自檢查圖㈣取之f丨線區域， -大致與檢查圖像中之各引線之基端部分—致。由於各引 線沿著零件本體之邊緣排列，因此連結複數引線區域之直 線可視為平行於零件本體之邊緣之直線。而且若調查該直 :之特徵量之值(例如位置或角度、或位置及角度)，即可 知度良好地判斷零件本體是否以正常姿勢安裝。 右根據本發明之第五、第六態樣，自檢查圖像擷取符合 色餘件之设數引線區域，將連結其等區域之直線之特徵量 之值與判斷條件比較即可，因此可實現簡單且高速之處 理。而且無須處理零件全體之SM象，僅處理包含零件本體 邊彖之至 >、邛分及排列於該邊緣之複數引線之檢查圖 像即可’因此亦可抑制工作記憶體或圖像記憶裝置之使用 量。 本t月之第七恶樣係產生在第六態樣之基板檢查裝置中 所使用之參數之方法。具體而言’資訊處理裝置係自拍攝 以正¥安勢安裝之1C類零件所獲得之圖像，藉由圖像處理 斗寸疋出引線之基端部分及鄰接於引線之基端部分之部分， 1082l3.doc 16 1313748 關於1或複數之色特徵量，將引線之基端部分之各像素作 為對象點，將鄰接於引線之基端部分之部分之各像素作為 除外點，求出前述複數對象點及除外點個別之色特徵量之 值之度數分佈，根據前述丨或複數之色特徵量之值之度數 刀佈，求出將前述對象點之色特徵量之值及前述除外點之 色特试里之值最良好地分離之色特徵量之值之範圍，將前

j1或硬數之色特徵量之種類及值之範圍（色範圍）設定作為 前述色條件。 ‘”’ a此外’本發明之第態樣係產生在第六態樣之基板檢查 :置中所使用之參數之裝置；具備以下機構：自拍攝以： 常姿勢安裝之職料所獲得之圖像，藉由圖像處理特定 出弓I線之基端部分及鄰接於引線之基端部分之部分之機 構關於1或複數之色特徵量，將引線之基端部分之各像 素作為對象點’將鄰接於引線之基端部分之部分之各像素 :為除外點，纟出前述複數對象點及除外點個別之色特徵 量之值之度數分佈之機構；根據前述1或複數之色特徵量 ,值之度數“布，求出將前述對象點之色特徵量之值及前 述除外點之色特徵量之值最良好地分離之色特徵量之值之 ㈣之機構；及將前述1或複數之色特徵量之種類及值之 範圍（色範圍）設定竹& ;疋作為月述色條件之機構。 關於在此色範圍之探索處理所用之色特徵量，亦可採用 上述各種色特徵量。 亦可預先設定色特徵量 引線之基端部分含有甚多 之種類。例如於預先得知傾向在 ’且於鄰接於引線之基端部分之 1082n.doc 1313748 邙分幾乎未含有之顏色之 複數特徵量（顏色之強产/古戶等:可將關係於該色之1或 之色特徵量。藉由如此地構二„用作為用於色條件 同時減少處理量β τ減低檢查精度之降低， :外，亦宜動態地決定用於色條 -處理裝置亦可具有複數之由卜 寺，。例如資 之色特徵量候補，關於色特徵量所構成 ，將前述對象點之色特徵量之值及心=’ -之值最良好地分離之色特徵量之值二=之色特徵 由比較該分離度而選擇 6刀離度，藉 補，將槿π 用作為别述色條件之色特徵量候 量之種=之色特徵量候補之1或複數之色特徵 之广及值之範圍，設定作為前述色條件。而且所採用 便自=二或複數均可。藉一 端部八之邱、#玉見引線之基端部分與鄰接於引線之基 而口 r5刀之β分之差異 度進-步之提升。Μ条件（色特被直），可謀求檢查精 產生判斷條件時，資^ _ 圖傻m 處裳置亦可自拍攝與複數良品 r ic類零件所獲得之複數不良品圖像之各 们，操取符合前述色條件之複數像 圖像係拍攝以正常次熱以 向。亥複數“ ^勢*裝之IC類零件所獲得；藉由圖像 =述複數像素區域之直線’求出前述直線 之特…值之度數分佈，根據前述特徵量之值之度數分 佈，求出將連姓自击·、+- ώ ，〇 述良°D圖像所擷取之複數像素區域之 直線之特徵量之佶、θ_丄、 及連、、.σ自前述不良品圖像所擷取之複 I082l3.doc •18-

1313748 數像素區域之直線之特徵量之值最良好地分離之特徵量之 值之乾圍，將前述特徵量之種類及值之範圍設定作為前述 判斷條件。 於此，作為特徵量之種類，適宜採用直線之位置或角 度、或位置及角度雙方。與色特徵量之情況相$，要將直 線之位置n或其雙方之任―特徵量採用作為判斷條 件，係可預先設定或由系統自動決定。 ” 若根據此構成，可自教師圖像（良品圖像及不良品圖 ，）’自動地產生可高精度地判斷IC類零件有無偏差之列 斷知件士口此自動產生之檢查邏輯之參數（色條件及判斷 條件）係儲存於基板檢查裝置之記憶機構，以供職 之偏差檢查。 【發明内容】 (發明之效果） 右根據本發明’可高速且以小記憶容量檢查職零件之 偏差。此外，絲據本發明，可自動產生—種檢查邏輯， 其係用以高速且以小記憶容量檢查1C類零件之偏差 輕教導作業，並且謀求教導之自動化。 / 【實施方式】 以下參考圖式 態。 例示性地詳細說明本發 明之較佳實施型 <第一實施型態> (基板檢查系統之構成） 固1係表示關於本發 108213.doc •19· 1313748 體構成。 基板檢查系統包含：基板檢查裝置1，其係 查處理·，及檢查邏輯設定裝置2,其係自動產生：= 檢查裝置1之基板檢查處理中所用之檢查邏輯。基板檢查 裝置1及檢查邏輯設定裝置2可經由有線或無線之網路，或 經由M0或DVD等記憶媒體，進行圖像或參數等之電子資 料之收授。而且於本實施型態，基板檢查裝置丨及檢查邏 輯設定裝置2雖為分別構成，但亦可於基板檢查裝置本體 裝入檢查邏輯設定裝置之功能而成為一體構成。 (基板檢查裝置之構成） 基板檢查裝置1係於基板照射彩色光，將其拍攝，並使 用拍攝之圖像自動檢查基板2〇上之安裝零件2丨之安裝品質 (焊接狀態等）之裝置。基板檢查裝置丨大致具備：χ台面 22、Y台面23、投光部24、拍攝部25、控制處理部26。 X台面22及Y台面23具備馬達（未圖示），其係分別根據來 自控制處理部26之控制信號而動作。藉由此等馬達之驅 動，X台面22使投光部24及拍攝部25往又軸方向移動，而γ 台面23使支撐基板2〇之輸送機27往Y軸方向移動。 投光部24係由具有不同直徑，且根據來自控制處理部％ 之控制信號而同時照射紅色光、綠色光、藍色光之3個圓 環狀光源28、29、3 0所構成。各光源28、29、30係配置於 中心對準於觀測位置之正上方位置，且自觀測位置看來對 應於不同仰角之方向。藉由該配置，投光部24係以不同入 射角’對基板20上之安裝零件2丨照射複數色之光（於本實 I082i3.doc 20· 1313748 施型態為R、G、B之3色）。 拍攝部25為彩色照相機，在觀測位置之正上方位置朝下 方定位。藉此’基板表面之反射光被拍攝部25所拍攝，轉 換成3原色之彩色信號R、G、B ,並供給至控制處理部 26 〇

控制處理部26係以a/D轉換部33、圖像處理部34、檢查 邏輯記憶部35、判斷部36、拍攝控制器31、χγ台面控制 器37、記憶體38、控制部（cpu)39、記憶部32、輸入部 40、顯示部41、列印機42、通信1/1743等構成。 A/D轉換部33係輸入來自拍攝部乃之彩色信號r、α B ’亚轉換成數位信號之電路。各色相之數位|之濃淡圖 像貧料係傳輸至記憶體38内之圖像資料儲存區。

拍攝控制器3 1係具備連接控制部39與投光部24及拍攝 部 25之介面等之電路 之各光源28、29、 相光輸出之相互平衡等之控制。 ，根據控制部39之輸出來調整投光部 30之光量，或進行保持拍攝部25之各 色 XY台面控制器37係具備連接控制部39與χ台面22及？台 面”之介面等之電路’根據控制㈣之輸出來控制乂台： 22及Y台面23之驅動。 檢查邏輯記憶部35係記憶用在基板檢查處理之檢查邏輯 之記憶部。於基板檢查裝置1，可進行複數種類之檢查處 理’如檢查焊錫形狀之填諸查或檢查零件偏差之偏差檢 查寻。檢查邏輯係針對檢查之各種類而準備，纟用以規定 圖像中之檢查對象範圍（檢查區域）之區域條件、用以自檢 I08213.doc 1313748 查區域内之圖像擷取特定色彩圖案（像素區域）之色條件、 用以判斷該色彩圖案之μ之判斷條件等所構成。區域條 件係規定圖像中之檢查區域之位置、大小、範圍等之條 件例如「自零件之姿勢正確時之零件本體之邊緣位置， 往正=於邊緣之方向各±2〇像素，往沿著邊緣之方向8〇像 素之耗圍」。&條件係例b「像素之亮度為15G至250間， 且紅信號之強度為150至18〇間」，其規定注目之色特 (於此例為亮度及紅信號之強度)及該色特徵量之值之範圍 之條件。判斷條件係例#「檢測到之邊緣之角度為5度以 其規定注目之特徵量（於此例為邊緣之角度）及該特徵 里之值之乾圍（於此例為上限值）之條件。 =處理部34係執行以下處理之電路：自拍攝基板避 二擷取以區域條件所規定之檢查區 之區域之處理.I執^圖像（檢查圖像）操取符合色條件 使用之二=已擷取之區域，判斷條件所 ^。韻部％係執行接受在圖像處 °所异出之特徵量之值，依據該特徵量之值θ t 判斷條件而判斷零件之值疋否符合 1令仟之女敕狀悲、之良秀之處理之 輸入部4〇係由輪入操作資訊或關於基板20之資料等 之鍵盤或滑鼠等所構成。輸人之㈣制專^ =_係用以在檢查邏輯設定裝置2或其他== 之間’進行資料之傳送、接收。 P衣置寺 检制部（CPU)39係執行各種運算處理或控制處· 路。圮憶部32係由硬碟 之电 千及。己U體所構成之記憶裝置，儲存 108213.doc •22- 1313748 f在控制部39所執行之程式，此外還儲存有基板之CAD資 。扎、基板檢查處理之判斷結果等。 於圖表示基板檢查裝置i之功能構成。基板檢查裝置又 _ ’、日丁：貝°孔又理功此1 0、基板搬入功能11、c AD資訊讀 . Α功能12、台面操作功能13、拍攝功能14、檢查邏輯讀入 功能丨5'檢查功能16、判斷結果寫入功能17、基板搬出功 心8。此等功能係控制部39藉由按照儲存於記憶部^之程 • &控制上述硬體而實現°此外，於記憶部32之内部，設有 己隐CAD資讯之CAD資訊記憶部32a及記憶判斷結果之判 斷結果記憶部32b。 (基板檢查處理） 其·人，說明有關上述基板檢查裝置丨之基板檢查處理。 於本實施型態係說明著眼於零件本體之邊緣之位置或角 度’檢查1C類零件之偏差之手法。 圖3係表示檢查處理之流程之流程圖。 • 指示資訊受理功能10係處於等待狀態，直到輸入有指示 執行基板檢查之指示資訊為止（步驟sl〇〇 : N〇，步驟 S101)。若藉由輸入部4〇之操作或經由通信I/F43，自外部 機益輸入有指示資訊，指示資訊受理功能丨〇會將指示資訊 送至基板搬入功能11、CAD資訊讀入功能12及檢查邏輯讀 ' 入功能步驟Sl00 ; YES)。於此指示資訊包含檢查對象 之基板之資訊（型號等）。 此外’基板搬入功能Π係根據指示資訊，自印刷基板搬 入部將檢查對象之基板2〇搬入至輸送機27上（步驟S 102)， 108213.doc -23- 1313748 CAD資訊讀取功能12係自CAD資訊記憶部32a，讀入對應 於基板型號之CAD資訊（步驟S103)。於此CAD資訊包含基 板20之尺寸、形狀，以及安裝於基板2〇上之零件之種類、 數量、各個之安裝位置之資訊。 檢查邏輯讀入功能15係因應於自前述CAD資訊所取得之 零件之種類，自檢查邏輯記憶部35讀入1(：類零件之偏差檢 查用之檢查邏輯（步驟S104)。於檢查邏輯包含區域條件、 ^ 色條件及判斷條件。 其次’台面操作功能丨3係自讀入之cad資訊，獲得基板 20之尺寸、形狀、零件配置等資訊，並經由χγ台面控制 器37操作X台面22及Υ台面23(步驟S105)，以便使安裝於基 板20上之複數零件2丨依序定位於觀測位置（拍攝位置）。 另一方面，拍攝功能14係經由拍攝控制器3 1，使投光部 24之3個光源28、29、30發光，將紅色、綠色、藍色之光 同時照射於基板20上。此外，拍攝功能14係經由拍攝控制 • ㈣控制拍攝部25’同步於台面22、23之操作而拍攝基板 20上之零件21(步驟sl〇6)。拍攝之圖像係被取入至記憶體 38 ° 其-人，檢查功能16係藉由圖像處理部34，自拍攝圖像擷 取檢查圖像（步驟s i 〇7)。檢查圖像係由檢查邏輯之區域條 ' #所規定之區域。於本實施型態，如圖4所示，以包含檢 ㈣象零件之零件本體9G之邊緣之至少—部分之方式掏取 檢查圖像。亦即，由於零件本體90大致為矩形R，因此於 方八有邊緣，但至少丨邊之邊緣含於檢查圖像即可。此 108213.doc •24- 1313748 外，該邊緣之全體無須含於檢查圖像，若出現邊緣之 分即足夠。 接著’檢查功能16係藉由圖像處理部34,使用色條件將 檢查圖像二值化（步驟S1G8)。於此所使用之色條件係規定 出現於零件本體之顏色之範圍。換言之，色條件可 別（分離）出現於零件本體之顏色、與出現於鄰接在零件本 體之部分之顏色。出現於零件本體之顏色係取決於零件本 體之材質、表面形狀、顏色、表面粗度等。例如於零件本 體為樹脂封裝之情況，由於光會在零件本體之表面進行亂 反射，因此與照射白色光大致相同之顏色（零件本體本來 之顏色之帶紅之黑色)會出現於圖像，於零件本體之表面 產生鏡反射之情況，紅、綠、藍3色之任一色會出現於圖 像。當然，關於出現於鄰接在零件本體之部分之顏色亦同 理。故配合出現於零件本體部分或鄰接於零件本體之部分 :顏，傾向，選擇用於色條件之色特徵量之種類(色相、 骨度寻）。由於本實施型態之檢查對象零件為樹脂封裝， 因此於拍攝圖像中，在零件本體部分出現亮度低之：色 系，故本實施型態之色條件係卩紅信冑之強度之上限及下 限、以及亮度之上限及下限之4種值所構成。而且於此， 紅信號之強度及亮度雙方均取〇至255之256階段之值。於 一值化處理中，以色條件定義之色範圍内所含之像素（符 合色條件之像素）係轉換成白像素，其以外之像素則轉換 成黑像素。 圖5係表示良品（零件以正常姿勢安裝）及不良品（產生零 I082l3.doc -25， 1313748 件偏差)之檢查圖像及其等之二值化結果。可知藉由以色 條件進行二值化，檢查®像巾之料本㈣之料會作為 白像素區域而掏取。於此，擷取出之區域係稱為零件本體 區域9 1。

接著，檢查功能16係藉由圖像處理部34,特定出零件本 體區域之邊緣92(步驟S1G9)。於邊緣之特^，使用例如 半轉換等既有之圖像處理手法即可。於此，特定出 92可視作零件本體9〇之邊緣。 並且，k查功能1 6係算出邊緣92之位置及角度，以作為 邊緣92之特徵量（步驟sn())。於圖5之例中，作為邊緣似 位置係求出自檢查圖像之左端邊之中點，往垂直於該邊之 方向測量至邊緣92之距離d，作為邊緣92之角度係求出對 :檢查圖像之垂直方向之角度之絕對值丨θ|。此算出結果 又付給判斷部3 6。 判斷部36比較算出之邊緣92之位置及角度、與檢查邏輯 之判斷條步驟Sl11Wb判斷條件係、規定視為正常姿勢 (為產生零件之偏差之狀態）之範圍之條件，例如以邊緣之 4置或角度之偏差1之容許限度（上限值或下限值、或其 雙方）所構成。邊緣92之位置及角度為判斷條件之範圍内 之情況（步驟sm ; YES)，判斷該零件是以正常姿勢安裝 (良品）（步驟SH2)，於邊緣92之位置或角度偏離判斷條= 之範圍之情況（步驟sm ; NO)，判斷於該零件產生偏差 (不良品）（步驟S113)。 判斷結果寫入功能1 7係將上述判斷結果與位置〗D (用以 1082I3.doc -26· 1313748 ^ 零件之資訊)-同寫入判斷結果記憶部32b(步驟 ^已對基板20上之所有零件進行檢查，基板搬出功_ 係藉由印刷基板搬送部搬出基板2G，結束基板檢查處理 (步驟 SI15)。 "若根據以上所述之基板檢查處理，僅須自檢查圖像顆取 付合色條件之零件本體區域，將該區域之邊緣之位置 度與判斷條件比較即可’因此可簡單且高速、高精度地進 :C4令件之偏差檢查。而且無須處理零件全體之圖像， =處理其-部分之圖像（檢查圖像）即可，因此亦可抑制工 。己憶體或圖像記憶裝置之使用量。 而且於本實施型態係將邊緣之位置及角度雙方用於判斷 :理’但僅以任一方之特徵量進行判斷亦無妨。此外，於 ^貫施型態中’僅著眼於1個邊緣’但若對複數邊緣實施 ::同之判斷處理’亦可謀求提升判斷精度及檢查之可靠 然而’為了實現不遺漏不良σ 一 σ且使過度檢測為容許值 預請精度，必簡檢查邏輯之色條件及判斷條件 ϋ3取L值。特別於實現上述偏差 時，Μ可正確區分出現於零件本體之顏色、盘出現 於鄰接在零件本體之部分之顏 φ ** 色條件。於本實施型態 中’精由檢查邏輯設定跋置2，自動地產 導P以下詳細說明。 、铒（教 (檢查邏輯設定裝置之構成） 1082I3.doc -27- 1313748 如圖1所示，檢查邏輯設定裝置2係將CPU、記憶體、硬 碟1/〇控制部、通信I/F、顯示部、資訊輸入部（鍵盤或滑 鼠）等作為基本硬體而具備之泛用電腦（資訊處理裝置）所構 成。

於圖6表示關於第一實施型態之檢查邏輯設定裝置2之功 月b構成。檢查邏輯設定裝置2具有：指示資訊受理功能 50、教師圖像資訊讀入功能5丨；部分特定功能52、度數算 出功此5 3、色範圍探索功能54、二值化功能55、邊緣特定 力此56、直方圖產生功能57 '臨限值算出功能、檢查邏 輯產生功能59、檢查邏輯寫入功能6〇。此等功能係藉由儲 存於記憶體或硬碟之程式寫入於cpu並執行而實現。 此外，於硬碟内，設有記憶教導所用之教師圖像資訊之 教師圖像資訊DB61。孝文師圖像資訊包含：由基板檢查裝 2 1所拍攝之1C類零件之圖像、及表示該圖像為良品（以正 4文勢安裝）或不良品（產生偏差）之教師資訊（教導資料）。 為了提高教導之可靠性，關於良品及不良品宜分別準備數 十〜數千之教師圖像資訊。 (檢查邏輯設定處理） …、圚之k程圖，說明檢查邏輯設定處理之流程。 _扎示貝汛文理功能50係處於等待狀態，直到輸入有指示 檢查邏輯之自動產生之指示資訊為止（步驟S200 ; N0、步 I S20 1)。若自資訊輸入部輸入有指示資訊，指示資訊受 理功能50係對教師圖像資訊讀入功能51傳達指示資訊： 獅〇;YES)。於此⑸資訊巾包含：特定料檢查邏輯 108213.doc -28 - 1313748 產生之對象之教師圖像資訊之資訊；表示作為檢查對象之 :件之種類或型號之資訊；及應檢測之不良之種類之資訊 等。 。 教師圖像資訊讀入功能51係按照指示資訊，自教師圖像 貝訊DB6H賣入對應於應製作之檢查邏輯之教師圖像資訊 (步驟S202)。於教師圖像f訊包含複數良品圖像及複數^ 良品圖像。對此等圖像賦予教師資訊。 (1)色條件之設定處理 首先僅使用良品圖像設^色條件。部分料功能Μ 由圖像處理，自良品圖像特定出「零件本體之部分」（二 下稱為「對象區域」）及「鄰接於零件本體之部分」（ 稱為「除外區域」）（步驟咖）。具體而言，如圖8所示， :分特定功能52係具有由零件本體觀景t7Q、接端面觀旦 心、引線觀景窗72所構成之模版，—面放大/縮小模: 或偏離各觀景窗之相對位置，一面將各觀景窗對準圖像中 之=件本體、接端面、引線。於觀景窗之對準中，利 如模版匹配等手法即可。接著，部分特定功㈣係將^ :體覜景窗70之内側設定為對象區域(參考實線 零件本體觀景窗70之外側設定為除外區域（; 線影線部分)。於此僅使用良品圖像，因此可實現對象： 域、除外區域之高精度之特定。 如上述’於實際之偏差檢查中，使用色條件僅擷取零 本體之部分。製作此種對處理最佳之色條件係等於求 範圍之最佳解’其係儘可能多包含對象區域之像素之顏 I082l3.doc -29- 1313748 、且戍乎可完全排除除外區域之像素之顏色。 八；疋首先度數算出功能53求出對象區域及除外區域之 ^素之色特徵量之值之度數分佈（步驟S2〇4)。此時，對 「品戈之像素係作為「對象點」，除外區域之像素係作為 . 、風卜沾」以可互為區別之形式計算度數。以下，為了 、尤上地#明度數分佈而使用色直方圖。色直方圖係在以 $成色丄間之色特徵量為軸之多次元空間内之各點，記錄 • ^素之度數(個數)。藉由色直方圖，可掌握對象區域、除 :域刀別之像素之色分佈。而且在此所稱之像素為圖像 表i解像度。由於若以複數像素集中進行匹配處理，會 ^生他色，因此以各像素之處理為佳。 夕/又而S ’色空間係藉由3種以上之色特徵量所構成之 多次元空間。故為了正確地掌握像素之色分佈，宜對至少 2以上之色特徵量算出度數。但由於用在檢查之圓像所含 2構成要素及其顏色有限’因此若為決定用以分離零件本 籲！之顏色（對象點）與其周邊區域之顏色（除外點）之色條件 的關於色相，僅考慮有關1色或2色之色特徵量即足 夠。因此，於本實施型態選擇紅色，以作為傾向於零件本 體部分包含甚多，且於鄰接於零件本體之部分幾乎未包含 色相對冗度及紅色之強度之各組合計算度數。 圖9係表示2次元色直方圖之一例。圖9之橫轴為紅之強 度，縱轴為亮度之值，兩者均以〇至255之⑸階段之數值 表示1於紅之強度，越接近〇，紅信號之強度越弱，亦 即表不像素未含紅成分，越接近255，表示紅之強度越 I082l3.doc •30· 1313748 強。亮度係值越大，表示明亮度越強。圖中之 示對象區域之像素之度數為ux上之點，黑三角（▲#_)表 綱之像素之度數為1以上之點。而且除了 (紅之強：除 亮f):白圈及黑三角亦具有度數(具有該色之像素之：數) 之貝料。此外’關於後面揭示之圖1〇亦與圖9相同，白

及黑三角並非表示各個像素，而是保持(紅之強度，韋 度’度數）之3次元資料0 U

其次，色範圍探索功能54係根據對象點及除外點分別之 度數分佈，探索將對象點之色分佈及除外點之色分佈最佳 區分之色範圍(步驟S205)。於本實施型態，為了簡化運算 法，如圖10(a)所示，求出強度之下限（Rlnf)及上限 (RSup)、及亮度之下限（Unf)及上限（^叩）之4個值。於此 所應求出之最佳解係構成儘可能多包含對象點（〇），且幾 乎不包含除外點（▲)之色範圍之4個值之組合（Rinf，RSup， LInf，LSup)。 具體而言，色範圍探索功能54係_面改變RInf, RSup， LInf，LSup分別之值，一面對各色範圍求出度數合計值 E(參考數式1)，求出度數合計值£成為最大之色範圍。度 數合計值E係表示色範圍所含之對象點之數目（度數）與除 外點之數目（度數）之差之指標。圖1〇(b)表示度數合計值E 成為最大之色範圍。 [數1] RSup LS叩 r=RInf l=LInf 108213.doc 1313748 r: 紅之強度 1 :亮度 S(r，l):點（r，l)之對象點之度數 R0，l) ··點（r，l)之除外點之度數 :且’色範圍探索功能54係將度數合計值£成為最大之 色範圍，設定作為檢查用之色條件。如此，若㈣本實施 型態，可自動產生適當區分零件本體部分（對象點）與鄰接 於零件本體之部分（除外點）之色特徵量及其值之組合，並 設定作為色條件》 σ 而且於本實施型態中，以亮度之上限值及下限值、以及 :色之強度之上限值及下限值之4種色參數來構成色條 但參數亦可注目於其他色特徵量而進行。作為色特徵 罝，可使用例如藍、紅、綠、毅藍、洋紅、黃等顏色之強 度、亮度、彩度、色相；CIEXYZ中之刺激值χ，γ ζ、色 度X，y，z;CIELAB中之L*，a*，b* ;及cielux中之l* 咖，)，♦’）等。此外，構成色條件之色特徵量之數目不限 於2種，丄種亦可，組合3種以上亦無妨。亦即，於色條件 中所採用之色參數，可配合拍攝之圖像中之零件本體及其 周邊區域所具有之色彩圖案之傾向來適當選擇。此外，不 預先決定色參數，準備 +侑複數之由1或複數之色特徵量所構 成之色特徵量候補，關於各色特徵量候補，進行上述产數 分佈之算出處理及色條件算出處理，自其中採用最佳：色 =徵量作為色條件亦適宜。此時，關於各色特徵量候補之 度數分佈’求出對象點及除外點之分離度（於本實施型離 108213.doc -32· 1313748 ，最大之度數合計值E相當於分離度），藉由比較互相之 分離度來決定採用之色特徵量候補即可。例如選擇 最大之1個色特徵量候補，或以分離度大為順序4㈣ 數之色特徵候補均可。此外，作為探索色範圍之手法，除 J上述手法以外，亦可採用判斷分析，M(Sup二 Vector Machine ••支撐向量機）等習知之手法。 (2 )判斷條件之設定處理 自執行使用上述色條件及良品圖像、不良品圖像， 自動產生偏差檢查用之判斷條件之處理。 首先，二值化功能55係使用上述色條件， :良品圖像分別進行二值化，藉此榻取出符合色：像 素，域（步驟_)。接著，邊緣特定功能56_各圖像像 特疋出白像素區域之邊緣後（步驟S2〇7)，算出哕 徵量（位置d及角度θ)(步驟s 以、·之特 者相同。 ）㈣處理係與圖5所說明 接著，直方圖產生功能57係為了掌握良品圖像之邊緣之 特徵量之值之分佈頻向、邊緣之 佈傾向之差異，而求出邊之特徵量之值之分 m S2〇9) ，.之寺铽里之值之度數分佈（步 驟卿於本實施型態中，作為邊緣之 (步 置及角度，對各牯糌®b 篁係知用位 特欲置求出度數分佈。於此，為了視覺地 位置直方圖及__ 置之 位置直方圖之一例，圖u(b角度直方圖。圖11⑷表示 ，w、 （b)表不角度直方圖之一例。 11(a)之橫軸表示邊緣 " 置之偏差ϊΔί1，圖11(b)之橫軸 108213.doc -33- 1313748 =不邊緣之角度之絕對值|θ|。位置之偏差量^係如 Acl d-dO，其係在步驟S2〇8算出之邊緣之位置^、與邊緣應 次之位置（正$位置）d0之差分。此正常位置dO可從CAD ^出若銳察圖11 (a)及圖11 (b)，可知良品圖像之特 戍里刀佈（白色）與不良品圖像之特徵量分佈（黑色現明 確之差異。

、广臨限值算出功能5 8係根據直方圖之度數分佈，算 出將，品圖像之邊緣之特徵量之值、與不良品圖像之邊緣 =特碱量之值最良好地分離之臨限值（步驟S2i〇)。於本實 她型態中，算出邊緣之位置d之下限值及上限值、邊緣之 角，I Θ I之上限值之3個臨限值。將出現於直方圖之複數峰 、r佳地刀離之手法係有各種提案，在此可採用任何方 ^例如採用大津之判斷分析法，或根據經驗，將僅距離 、品圖像之峰值端3ϋ之點決定為臨限值，或於良品圖像之 峰值端點與不良品圖像之峰值端點之間設定臨限值均可。 關於邊緣之位置、角度’分別產生用以判斷良品及 不良品之判斷條件。 其後，檢查邏輯產生功能59係自上述色條件及判斷條件 產α查邏輯（步驟S211)。而且，檢查邏輯寫人功能的係 將4查邏輯寫人基板檢查裝置i之檢查邏輯記憶部^， 並結束檢查邏輯設定處理（步驟S2 1 2)。 若根據以上所述之本實施型態，由於可自動地產生用以 南速且以小記憶容量檢查IC類零件之偏差之檢查邏輯，因 此可大幅減少教導所需之時間及負載。 108213.doc *34- 1313748 而且藉由上述運算法’可算出最佳色條件及判斷條件， 因此可高精度地進行IC類零件之偏差檢查。 、”5 教師圖像資訊之數目越多，色條件及判斷條件 靠性越提升。 、 〇 <第二實施型態> 於上述第一實施型態中，著眼於零件本體部分之邊緣而 檢查1C類零件之偏差。然而，依零件種類，於零件本體部 分之色分佈會有偏差或不均，有難以特定出邊緣之情況。 ㈣如於零件本體之表面印敎字或記號等之情況、回焊 時之加熱造成零件本體之表面變形之情況等，亦可能產生 零件本體部分之色不均。因A，於本發明之第二實施型能 中’著眼於IC類零件中，多數弓丨線沿著邊緣直線地排列之 點’取代零件本體之邊緣而藉由調查連結複數引線之直線 (以下稱為「引線棑列線」）之位置或角度，來檢查零件之 偏差。 (基板檢查處理） 首先，參考圖12之流程圖，說明本實施型態之檢查處理 之流程。而且關於與第一實施型態之處理（參考圖3)相同之 處理’係附上同-步驟號碼’並省略詳細說明。 按照指示資訊，進行檢查對象之基板之搬入及CAD資訊 之讀入（步驟Si00〜si03)e因應於藉由此CAD資訊所取得 之零件㈣貞，讀人IC類零件之偏差檢查用《檢查邏輯（步 .㈣料）。於檢查邏輯包含區域條件、色條件及判斷條 件。而且根據CAD資訊’適當地將搬入基板定位並拍攝零 I082l3.doc -35· 1313748 件（步驟S105〜S106)。 其人查功此1 6係藉由圖像處理部3 4，自拍攝圖像擷 取檢查圖像（步驟S3〇〇)。檢查圖像係由檢查邏輯之區域條 件所規定之區域。如圖4所示，於本實施型態中，以包含 檢查對象零件之零件本體9〇之邊緣之至少一部分、及排列 於其邊緣之複數引線94之方式擷取檢查圖像。至少有2條 引線^的即可進行後述之直線檢測，但為了提高處理 φ 之可靠性，檢查圖像中宜包含3條以上之引線94。此外， 引線94之全體未必要包含於檢查圖像中，至少包含引線之 基端部分（肩部）94a即足夠。 接著，檢查功能16係藉由圖像處理部34，使用色條件將 h查圖像—值化（步驟S3()1)。在此所用之色條件係規定出 現^引線之基端部分之顏色之範圍。換言之，色條件可說 是區別（分離）出現於引線之基端部分之顏色、與出現於鄰 I線之基碥部分之部分之顏色。由於拍攝圖像中，在 • 弓I'線之基知部分出5見高亮度之紅色系'，目此本實施型態之 色條件係以紅信號之強度之下限及上限、以及亮度之下限 及上,限之4種值所構成。於二值化處理中’以色條件定義 :色把圍内所含之像素（符合色條件之像素）係轉換成白像 -、，其以外之像素則轉換成黑像素。 圖丨3係表不良品（零件以正常姿勢安裝）及不良品（產生零 件偏差）之拾杏固& —圖像’以及其等之二值化結果。可知藉 以色條杜治m ,、 仃—值化’檢查圖像中之引線之基端部分94a {丁、作為白傻去p ”區域而擷取。於此，擷取之區域稱為引線區 10S213.doc -36· 巧13748 域9 5。 接著’檢查功能16係藉由圖像處理部34，特定出連結複 數引線區域95之直線（引線排列線）96(步驟㈣2)。直線之 特定係採用例如半轉換等既有之圖像處理手法、或採用最 小平方法等直線檢測手法即可。 於此特定出之引線排料96，可視為平行於零件本體90 之邊緣之直線。因此與第一實施型態相同地算出引線排列 線96之位置d及角度θ(步驟S3〇3)，將其等與檢查邏輯之判 斷條件比較，藉此判斷零件之姿勢是否正常（步驟 sm〜川3)。安裂於基板上之各IC類零件之判斷結果，係 與位置m-同寫入於判斷結果記憶部32b(步驟SU4)，並 結束基板檢查處理（步驟S 11 5)。 人=以上所述之基板檢查處理，僅自檢查圖像榻取符 5色條件之複數引線區域，將連結其等區域之直線之位置 及角度與判斷條件比較即可’因此可簡單且高速、高精度 2進：^零件之偏差檢查。而且無須處理零件全體之圖 像’僅處理其一部分$ Ρ；)括士 圖像（私查圖像）即可，因此亦可抑 制工作記憶體或圖像記憶裝置之使用量 型態中，由於著眼於出現# 於本實她 、 在引線之基端部分之高亮度 2 ’因此即使為零件本體之顏色具有偏差交 件，仍可沒有問題地進行檢查。 Μ零 於本實允型悲中，將引線排列線之位 :用::斷處理:但僅…方之特徵量判斷亦 霄知型態中’僅著眼於】個邊緣之?丨線排列，但 1082i3.doc -37. 1313748 關於《邊緣之引線排列，若實施相同之判斷處理’即可 謀求提升判斷精度及檢查之可靠性。 (檢查邏輯設定處理） ^次，按照圖Μ之流程圖，說明本實施型態之檢查邏輯 设定處理之流程。關於與第一 、罘貫施型態之處理（參考圖乃相 同之f理，則附上同一步帮號碼，並省略詳細說明。而且 檢查邏輯設定裝置之功能槿+ — 冓成係與第一實施型態（圖6)大致 相同’但不同點在於取代邊 ^瓊緣特又功能％而具有「直線特 疋功能」。 才文H?、輸入之指示資即 & 土 夺曰丁貝汛自教師圖像資訊DB61讀入教師 圖像資訊（步驟S200〜S202)。於教師圖像資訊包含複數良 品圖像及複數不良品圖像。對此等圖像賦予教師資訊。 (1)色條件之設定處理 ==使用良品圖像設定色條件。部分特定功能52係藉 圖像處理，自良品圖像特定出「引線之基端部分」（以 :稱為「對象區域」）及「鄰接μ線之基端部分之部 刀」（以下稱為「除外區域」）（步驟S4〇〇)。具體而言，如 W 15所示’部分特定功能52係具有由零件本體觀景窗70、 接端面觀景窗71、引線觀景窗72所構成之模版，一面放大 /縮小模版或偏離各觀景窗 ^之相對位置，—面將各觀景窗 θ之零件本體、接端面、引線。於觀景窗之對準 中1用例如模版匹配等手法即可。接著，部分特定功能 52係將引線觀景窗72之特定範圍（例如從引線觀景窗72盘 零件本體觀景窗70之邊界之㈣ 丨()8213.doc •38-

1313748 (參考Η線影線部分）’將零件本體觀景窗7〇之内側設定為 除外區域（參考虛線影線部分）。於此僅使用良品圖像，因 此可實現對象區域、除外區域之高精度之特定。 於第一貫施型態之偏差檢查中，使用色條件僅擷取引線 之基知部分。製作此種對處理為最佳之色條件係等於求出 色範圍之最佳解，其係儘可能多包含對象區域之像素之顏 色，且幾乎可完全排除除外區域之像素之顏色。 / 因此’與第一實施型態相同，求出對象區域及除外區域 之全像素之色特徵量之值之度數分佈（步驟S204)，探索將 對象點之色分佈與除外點之色分佈最良好地區分之色範圍 (步驟S205卜藉此自動產生用以擷取引線之肩部之色條 件。 (2)判斷條件之設定處理 其-人，使用上述色條件及良α圖後 〇 W Ί卞汉民0口圖像、不良品圖像，執行 自動產生偏差檢查用之判斷條件之處理。 首先’二值化功能55係、使用上述色條件，將良品圖像、 不良品圖像分別進行二值化’藉此擷取出符合色條件之像 素區域（步驟S206)。接著，吉蠄拄卞从ν 嘗罝線特疋功能係對各圖像，特 疋出引線棑列線後（步驟S 4 0 1)，算出兮3丨L θ )异°哀弓I線排列線之特徵 里（位置及角度）（步驟S402)。此算處理役 此寺匙理係與圖13所說明者 相同。 接著’直方圖產生功能5 7係 列線之特徵量之值之分佈傾向 值之分佈傾向之差異，而求出 為了莩握良品圖像之引線排 、與不良品圖像之特徵量之 引線排列線之特徵量之值之 I082l3.doc -39- 1313748 度數分佈（步驟S4G3)。於本實施型態中，作為引線排列線 之特徵量係採用位置及角度，對各特徵量求出度數分佈。 於此，為了視覺地表示引線排列線之位置及角度之度數分 佈’使用關於引線排列線之位置之位置直方圖及關於引線 排列線之角度之角度直方圖。接著，與第一實施型態相 同’臨限值算出功能58係根據直方圖之度數分佈，算出用 以將良品圖像之引線排列線之特徵量之值、與不良品圖像 之引線排列線之特徵量之值最良好地分離之判斷條件 驟 S404：)。 乂 其後，檢查邏輯產生功能59係、自上述色條件及判斷條件 產生檢查邏輯（步驟S211)e而且檢查邏輯寫人功能係將 其檢查邏輯寫入於基板檢查裝置丨之檢查邏輯記憶部& 並結束檢查邏輯設定處理（步驟S212)。 一若根據以上所述之本實施型態，由於可自動地產生用以 高速且以小記憶容量檢查IC類零件之偏差之檢查邏輯，因 此可大幅減少教導所需之時間及負載。 而且藉由上述運算法，可算出最佳色條件及判斷條件， 因此可高精度地進行1C類零件之偏差檢杳。 — 叫·M取初所 -予之教師圖像資訊之數目越多’色條件及判斷條 靠性越提升。 <變形例> 上述實施型態僅例示本發明之一具體例。本發明之範圍 不限於上述實施型態’在其技術思想範圍内可進行各種變 108213.doc -40« 1313748 匕卜於上述實知型態之色條件，作為參數係使用2種 =特徵量’色範圍則以該色特徵量之最大值、最小值規 定於2人元平面上為表示矩形之範圍，但色範圍之決定 • 彳法不限於此’亦可為2次元平面上表示圓形、多角形、 ， 自由曲線圖形等之範圍。並且Μ吏用3個以上之參數之情 兄亦相同，求出關於各參數之最大值、最小值，將其組合 作為色範圍，或為關於2個以上之參數之組合之色範圍表 φ 現（例如於3次元空間内表示球形之範圍等）均可。此外，作 為探索色範圍之手法，除了上述實施型態所述之手法以 外，亦可採用判斷分析、SVM(Supp〇rt Vect〇r> Machine : 支撐向量機）等習知之手法。 此外’於本實施型態中’作為邊緣或引線排列線之特徵 i係使用位置及角度雙方，但僅任一方或使用位置、角度 以外之特徵量均無妨。 【圖式簡單說明】 • 圖1係表示關於本發明之實施型態之基板檢查系統之硬 體構成圖。 圖2係表示基板檢查裝置之功能構成圖。 圖3係表示第一實施型態之基板檢查處理之流程之流程 • 圖。 - 圖4係表示用於檢查之檢查圖像之範圍之圖。 圖5係表示第一實施型態之檢查圖像之二值化處理及邊 緣特定處理之圖。 圖6係表示第一實施型態之檢查邏輯設定裝置之功能構 108213.doc -41* 1313748 成圖。 圖7係表不第一實施型態之檢查邏輯設定處理之流程之 流程圖。 圖8係表示零件本體部分之特定處理之圖。 圖9係表示2次元色直方圖之一例之圖。 圖l〇(a)、（b)係表示色範圍之探索處理之圖。 Q 11 (a)、（b)係表示直方圖之一例之圖。 φ 圖12係表示第二實施型態之基板檢查處理之流程之流程 圖。 圖1 3係表不第二實施型態之檢查圖像之二值化處理及邊 緣特定處理之圖。 圖14係表示第二實施型態之檢查邏輯設定處理之流程之 流程圖。 圖1 5係表示引線之基端部分之特定處理之圖。 圖16係表示彩色高光方式之基板檢查裝置之構成圖。 # 圖1 7係表示出現於拍攝圖像之色彩圖案之一例之圖。 圖1 8係表示色條件之設定支援工具之圖。 圖1 9係表示ic類零件特有之問題之圖。 【主要元件符號說明】 1 基板檢查裝置 2 檢查邏輯設定裝置 10 指示資訊受理功能 11 基板搬入功能 12 CAD資訊讀入功能 I08213.doc -42- 1313748

13 台面操作功能 14 拍攝功能 15 檢查邏輯讀入功能 16 檢查功能 17 判斷結果寫入功能 18 基板搬出功能 20 基板 21 安裝零件 22 X台面 23 Y台面 24 投光部 25 拍攝部 26 控制處理部 27 輸送機 28 紅色光源 29 綠色光源 30 藍色光源 3 1 拍攝控制部 32 記憶部 32a CAD資訊記憶部 32b 判斷結果記憶部 33 A/D轉換部 34 圖像處理部 35 檢查邏輯記憶部 108213.doc -43 · 1313748

36 判斷部 37 X Y台面控制器 38 記憶體 39 控制部 40 輸入部 41 顯不部 42 列印機 50 指示資訊受理功能 5 1 教師圖像資訊t買入功能 52 部分特定功能 53 度數算出功能 54 色範圍探索功能 55 二值化功能 56 邊緣特定功能 57 直方圖產生功能 58 臨限值算出功能 59 檢查邏輯產生功能 60 檢查邏輯寫入功能 61 教師圖像資訊DB 70 零件本體觀景窗 71 接端面觀景窗 72 引線觀景窗 90 零件本體 91 零件本體區域 108213,doc • 44- 1313748

92 邊緣 93 焊錫 94 引線 95 引線區域 96 引線排列線 108213.doc

Claims (1)

13137484114號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(98年4月）/½) 十、申請專利範園： 1 ·—種基板檢查方法，1仫 〃係猎由基板檢查裝置檢查安裝於 基板上之1C類零件之偏差，·且 、 預先記憶檢查邏輯，其係包含：規定出現於檢 W牛之零件本體之顏色之色條件及判斷條件； 以不同入射角在檢查對象零件照射複數色之光； 拍攝其反射光，取得包含前述檢查對象零件之零件本 之_ ?毐絡夕石vl> _ AfT 查圖像； 體之邊緣之至少一部分 前述檢查圖像擷 採用前述色條件，藉由圖像處理 取符合前述色條件之零件本體區域； 藉由圖像處理特定出前述零件本體區域之邊緣； 2. :、=交前述邊緣之特徵量之值與前述判斷條件，判 斷剛述檢查對象零件是否為正常姿勢。 一種基板檢查裝置，其係檢杳 之偏差·’且包含: 裝於基板上之1C類零件 記憶機構，其係記憶檢杳 φ Ta ^^ ^ — 忒檢查邏輯包含規定 出現於檢查對象零件之零 條件； Μ <顔巴之色條件及判斷 投光機構’其係以不同射离 數色之光； ⑼入射角在檢查對象零件照射複 拍攝機構，其係拍攝該 .^^ ^取侍包含前述檢查對 零件本體之邊緣之至少—部分之檢查圖像丨 區域擷取機構，其#换用， 理，自叾係色條件，藉由圖像處 查圖像擷取符合前述色條件之零件本體區 108213-980416.doc 1313748 域； 邊緣特定機構， 體區域之邊緣；及 其係藉由圖像處理特定 出前述零件本 判斷機構，其係藉由比較前述邊緣之特徵量之值盥r 述判斷條件，判斷前述檢查對象零件是否為正常姿勢則 3,腦程式產品，其制錢基板檢线置執行檢杳 安裝於基板上之ic類零件之偏差之處理；且 預先記憶有檢查邏輯’其係包含：規定出現於檢查對 象零件之零件本體之顏色之色條件及判斷條件； 用以使基板檢查裝置執行以下處理： 以不同入射角在檢查對象零件照射複數色之光之户 理； < 拍攝其反射光，取得包含前述檢查對象零件之零件本 體之邊緣之至少一部分之檢查圖像之處理； 採用前述色條件’藉由圖像處理， 取符合前述色條件之零件本體區域之處理；-圖像操 藉由圖像處理特定出前述零件本體區域之邊緣之處 理；及 藉由比較前述邊緣之特徵量之值與前述判斷條件，判 斷前述檢查對象零件是否為正常姿勢之處理。 4. 一種記憶媒體，其係記憶請求項3之電腦程式產品❶ 5_ -種基板檢查裝4之檢查邏輯設定方法，其係產生在請 求項2之基板檢查震置之基板檢查中所使用之檢查邏輯 之方法；且 108213-980416.doc 1313748 資訊處理裝置係 自拍攝以正常姿勢安裝 由圖像處理特定出零件本 部分； 之ic類零件所獲得之圖像’藉 體之部分及鄰接於零件本體之 關於^或複數之色特徵量， 作為對象點，將鄰接於零件本體q分之 :點，求出前述複數對象點及除外點個別之色特徵量： 值之度數分佈； 〇竹城里之 根據前述1或複數之声拉外θ m务 之值之度數分佈，求出 將削述對象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量 之值最良好地分離之色特徵量之值之範圍； 設定前述1或複數之θ 前述色條件。^特^之種類及值之範圍作為 6.如請求項5之基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法，其中 前述色特徵量之種類係預先設定。 7·如請求項5之基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法，" 資訊處理裝置係 〃 包含複數之由1或複數之色特徵量所構成之色特徵量 之各個’求出將前述對 點之色特徵量之值最良 及分離度’藉由比較該 關於前述複數之色特徵量候補 象點之色特徵量之值及前述除外 好地分離之色特徵量之值之範圍 分離度向璉擇作為前述色條件採 ,1 '，，〇付傲會値：j由 設定構成前述選擇之色特徵量候補之二色柏 108213-980416.doc 1313748 >徵量之種類及值之範圍作為前述色條件。 求項5至7令任一項之基板檢查裝置之檢查邏輯設定 法，其中資訊處理裝置係 、自拍攝與複數良品®像產生偏差之1C類零件所獲得之 2數不良品圖像之各個擷取符合前述色條件之像素區 …而該複數良品圖像係拍攝以正常姿勢安裝之 件所獲得； 々 藉由圓像處理特定出各像素區域之邊緣； 求出前述邊緣之特徵量之值之度數分佈； 根據前述特徵量之值之度數分佈，求出將自前述良品 ，，所擷取之像素區域之邊緣之特徵量之值及自前述不 “口圖像所掏取之像素區域之邊緣之特徵量之值最良好 地分離之特徵量之值之範圍； 设定前述特徵量之種類及值之範圍作為前述判斷條 件。 、 士明求項8之基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法，1中 前述特徵量之種類為前述邊緣之位置或/及角度。〃 ι〇· 一種基板檢杳_罢+上人士 —裝置之檢查邏輯設定裝置，其係產生在請 ^ 2之基板檢查裝置之基板檢查中所使用之檢查邏輯 之裝置’且包含以下機構： 自拍攝UiE常姿勢安裝之職零件所獲得之圖像，藉 由圖像處理特定出零件本體之部分及鄰接 部分之機構； 之 關於1或福金+ + A 之色特徵量，將零件本體部分之各像素 108213-980416.doc 1313748 =對ί·::將鄰接於零件本體之部分之各像素作為除 值：數:述複數對象點及除外點個別之色特徵量之 值之度數分佈之機構； 根據則述1或複數之色特 特徵1之值之度數分佈，求出 將别述對象點之色特徵量 = 里之值及别述除外點之色特徵量 之值最良好地分離之色特徵量之值之範圍之機構；及 二設定前述1或複數之色特徵量之種類及值之範圍作為 韵述色條件之機構。 如請求項1G之基板檢查裝置之檢查邏輯設定裝置，其中 Θ述色特徵量之種類係預先設定。 12·如請求項1()之基板檢查裝置之檢查邏輯設定裝置，其中 包含之複數之由1或複數之色特徵量所構成之色特徵量 候補； 關於前述複數之色特徵量候補之各個，求出將前述對 象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量之值最良 好地分離之色特徵量之值之範圍及分離度，藉由比較該 分離度而選擇作為前述色條件採用之色特徵量候補； 設定構成前述選擇之色特徵量候補之丨或複數之色特 徵量之種類及值之範圍作為前述色條件。 13.如请求項10至12中任一項之基板檢查裝置之檢查邏輯設 定裝置，其中包含以下機構： 自拍攝與複數良品圖像產生偏差之IC類零件所獲得之 複數不良品圖像之各個擷取符合前述色條件之像素區域 之機構，而該複數良品圖像係拍攝以正常姿勢安裝之ic 108213-980416.doc 1313748 類零件所獲得； =像處理特定出各像素區域之邊緣之機構； 、、出：述邊緣之特徵量之值之度數分佈之機構； 述特徵量之值之度數分佈，求出將自前述良品 :口所_取之像素區域之邊緣之特徵量之值及自前述不 圖像所擷取之像素區域之邊緣之特徵量之值最良好 '刀離之特徵量之值之範圍之機構；及

設定前述特徵量之種類及值之範圍作為前述判斷條件 之機構。 ^明求項13之基板檢查裝置之檢查邏輯設定裝置，其中 月）述特徵量之種類為前述邊緣之位置或/及角度。 種電知程式產品，其係用以產生在請求項2之基板檢 查裝置之基板檢查中所使用之檢查邏輯之程式；且用以 使資訊處理裝置執行以下處理： 自拍攝以正常姿勢安袭之職零件所獲得之圖像，藉 由圖像處is特U零件本體之部分及鄰接於零件本體之 部分之處理； 關於1或複數之色特徵量，將零件本體部分之各像素 作為對象點，將鄰接於零件本體之部分之各像素作為除 外點’求出前述複數對象點及除外點個別之色特徵量： 值之度數分佈之處理； 根據前述1或複數之色特徵量之值之度數分佈’求出 將前述對象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量 之值最良好地分離之色特徵量之值之範圍之處理；及$ 1082I3-9804I6.doc -6 - 1313748 之種類及值之範圍作為 設定前述1或複數之色特徵量 前述色條件。 其中前述色特徵量之種類 16_如請求項15之電腦程式產品， 係預先設定。 17.

如請求項15之電腦程式產品，其中包含複數之由域複 數之色特徵量所構成之色特徵量候補； 用以使資訊處理裝置執行以下處理： 關於前述複數之色特徵量候補之各個，求出將前述對 象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量之值最良 好地分離之色特徵量之值之範圍及分離度，藉由比較該 分離度而選擇作為前述色條件採用之色特徵量候補之處 理；及 設定構成前述選擇之色特徵量候補之!或複數之色特 徵量之種類及值之範圍作為前述色條件之處理。

18·=凊求項15至17中任—項之電腦程式產品，其中用以使 資訊處理裝置執行以下處理： —自拍攝與複數良品圖像產生偏差之冗類零件所獲得之 、一不良。口圖像之各個擷取符合前豸色條件之像素區域 之處理而e亥複數良品圖像係拍攝以正常姿勢安裝之IC 類零件所獲得； 、 圖 藉由:像處理特定出各像素區域之邊緣之處理； 求出别述邊緣之特徵量之值之度數分佈之處理； 根據前述特徵量之值之度數分佈，求出將自前述良品 像所擷取之像素區域之邊緣之特徵量之值及自前述不 108213-980416.doc 1313748 -π〜π” Ί从里 < 但取氏野 地分離之特徵量之值之範圍之處理；及 設定前述特徵量之種類及值之範圍作為前述判斷條件 之處理。 a如請求㈣之電腦程式產品，其中前述特徵量之種類為 前述邊緣之位置或/及角度。 20. -種記憶媒體，其係記憶請求項任一項之電腦 程式產品。 21. -種基板檢查方法，其係藉由基板檢查裝置檢查安褒於 基板上之1C類零件之偏差；且 預先記憶檢查邏輯，其係包含色條件及判斷條件’而 该色條件係規以現於㈣在檢㈣象零件之零件本體 之邊緣之引線之基端部分之顏色； 以不同入射角在檢查對象零件照射複數色之光. 雜光，包含前述檢查對象二本 查圖:一部分及排列於該邊緣之複㈣線之檢 =述色條件’藉由圖像處理，自前述 取1合^色條件之複㈣線區域； Si圖=理特定出連結前述複數引線區域之直線； 比較則述直線之特徵量之值與前述 斷前述檢查對象零件是否為正常姿勢。 “牛’判 22· —種基板檢查褒晉，甘& α 之偏差；且包含：Μ安裝於基板上找類零件 108213-980416.doc 1313748 s己憶機構’其係記憶包含色條件及判斷條件之檢查邏 輯’而該色條件係規定出現於排列在檢查對象零件之零 件本體之邊緣之引線之基端部分之顏色； 投光機構’其係以不同入射角在檢查對象零件照射複 數色之光； 拍攝機構，其係拍攝該反射光，取得包含前述檢查對 象零件之零件本體之邊緣之至少一部分及排列於該邊緣 之複數引線之檢查圖像； 區域擷取機構，其係採用前述色條件，#由圖像處 理，自前述檢查圖像擷取符合前述色條件之複數引線區 域； 直線特定機構，其係藉由圖像處理特定出連結前述複 數引線區域之直線；及

判斷機構’其係藉由比較前述直線之特徵量之值與前 述判斷條件，判斷前述檢查對象零件是否為正常姿勢、。 23· -種電腦程式產品，其係用以使基板檢查裝置執行檢查 安裝於基板上之1C類零件之偏差之處理；且 — 色條件及判斷條件，而 查對象零件之零件本體 預先記憶檢查邏輯，其係包含 該色條件係規定出現於排列在檢 之邊緣之引線之基端部分之顏色 用 以 理； 以使基板檢查裝置執行以下處理·· 不同入射角在檢查對象零件照射複數色 之光之處 拍攝其反射光 108213-9804I6.doc 1313748 體之邊緣之至少—部分及排列於該邊緣之複數引線之檢 查圖像之處理； 採用础述色條件，藉由圖像處理，自前述檢查圖像擷 取苻合前述色條件之複數引線區域之處理； 藉由圖像處理特定出連結前述複數引線區域之直線之 處理；及 藉由比較前述直線之特徵量之值與前述判斷條件，判 斷前述檢查對象零件是否為正常姿勢之處理。 24. 一種記憶媒體，其係記憶請求項23之電腦程式產品。 25. -種基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法，其係產生在請 、、頁2之基板檢查裝置之基板檢查中所使用之檢查邏輯 之方法；且 資訊處理裝置係 自拍攝以正常姿勢安裝之IC類零件所獲得之圖像，藉 由圖像處理特定出引線之基端部分及鄰接於引線之基端 部分之部分； 關於1或複數之色特徵量，將引線之基端部分之各像 素作為對象點’將鄰接於引線之基端部分之部分之各像 素作為除外點，求出前述複數對象點及除外點個別之色 特徵量之值之度數分佈； 根據前述1或複數之色特徵量之值之度數分佈，求出 將前述對象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量 之值最良好地分離之色特徵量之值之範圍； a疋則述1或複數之色特徵量之種類及值之範圍作為 108213-980416. doc 1313748 前述色條件。 其中 其中 26. 如請求項25之基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法 前述色特徵量之種類係預先設定。 / 27. 如請求項25之基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法 資訊處理裝置係 ' 包含複數之由!或複數之色特徵量所構成之 候補； 、# 關於前述複數之色特徵量候補之各個，求出將前述對 象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量之值最良 好地分離之色特徵量之值之範圍及分離度，藉由比較該 分離度而選擇作為前述色條件採用之色特徵量候補； 設定構成前述選擇之色特徵量候補之丨或複數之色特 徵量之種類及值之範圍作為前述色條件。 28.如凊求項25至27中任一項之基板檢查裝置之檢查邏輯設 定方法，其中資訊處理裝置係 自拍攝與複數良品圖像產生偏差之1(：類零件所獲得之 複數不良品圖像之各個擷取符合前述色條件之複數像素 區域，而該複數良品圖像係拍攝以正常姿勢安裝之”類 零件所獲得； 藉由圖像處理特定出連結前述複數像素區域之直線； 求出前述直線之特徵量之值之度數分佈； 根據前述特徵量之值之度數分佈，求出將連結自前述 良品圖像所擷取之複數像素區域之直線之特徵量之值及 連結自前述不良品圖像所擷取之複數像素區域之直線之 108213-980416.doc 1313748 特徵ϊ之值最良好地分離之特徵量之值之範圍； 設定前述特徵量之種類及值之範圍作為前述判斷條 件。 ' 29.如請求項28之基板檢查裝置之檢查邏輯設定方法，其中 鈉述特徵量之種類為前述直線之位置或/及角度。 3〇.=種基板檢查襞置之檢查邏輯設定裝置，其係產生在請 求項22之基板檢查裝置之基板檢查中所使用之檢查邏輯 之裝置；且包含以下機構： 自拍攝以正常姿勢安裝之IC類零件所獲得之圖像，藉 由圖像處理特定出引線之基端部分及鄰接於引線之基 部分之部分之機構； …或複數之色特徵量，將引線之基端部分之各傳 素作為對象點，將鄰接於引線之基端部分之部分之各傳 素作為除外點，求出前述複數對象點及除外點個別之色 特徵量之值之度數分佈之機構；

根據前述1或複數之辛姑^ Μ β & 特徵夏之值之度數分佈，求出 將别述對象點之色特徵| 里之值及别述除外點之色特 之值最良好地分離之色# θ 巴特徵1之值之範圍之機構；及 設定前述1或複數之色特 寻徵里之種類及值之範圍作為 月’J述色條件之機構。 3 h如請求項30之基板檢查裳 二我置之檢查邏輯設定裝置，豆中 别述色特徵量之種類係預先設定。 、 3厶如請求項30之基板檢查 攻置之檢查邏輯設定裝置，苴中 匕έ複數之由丨或複數之 八 色特徵里所構成之色特徵量候 1082 丨 3_980416.doc -12- 1313748 補； 關於前述複數之色特徵量候補之各個，求出將前㈣ 象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量之值最戸 好地分離之色特徵量之值之範圍及分離度，藉由比較： 分離度而選擇作為前述色條件採用之色特徵量候補’· 設定構成前述選擇之色特徵量候補u或複數之色特 徵量之種類及值之範圍作為前述色條件。 ， 請求項30至32中任一項之基板檢查裝置之檢查邏輯設 疋裝置’其中包含以下機構： 、自拍攝與複數良品圖像產生偏差之1〇：類零件所獲得之 複數不良品圖像之各個擷取符合前述色條件之複：像素 區域之機構’而該複數良品圖像係拍攝以正常姿勢安裝 之ic類零件所獲得； 藉由圖像處理特定出連結前述複數像素區域之 機構； 求出前述直線之特徵量之值之度數分佈之機構； 根據前述特徵量之值之度數分佈，求出將連結自前述 良=圖像所擷取之複數像素區去或之直線之特徵量之值及 連二自别述不良品圖像所擷取之複數像素區域之直線之 特徵1之值最良好地分離之特徵量之值之範圍之機構；及 没定前述特徵量之種類及值之範圍作為前述判斷條件 之機構。 4.如1求項33之基板檢查裝置之檢查邏輯設定裝置，其中 月】述特徵I之種類為前述直線之位置或/及角度。 108213-9804l6.doc •13- 1313748 35. 一種電腦程式產品，其係用 查裝置之基板檢查中所使用 處理裝置執行以下處理： 以產生在請求項22之基板檢 之檢查邏輯；且用以使資訊 自拍攝以正*姿勢安裝之Ic類零件所獲得之圖像，藉 由圖像處理特定4 5丨線之基端部分及鄰接於弓丨線之基端 部分之部分之處理； 關於1或複數之色特徽詈 n傲里將引線之基端部分之各像

素作為對象點，將鄰接炉^丨@ a _接於引線之基端部分之部分之各像 素作為除外點，求出前诚滿齡机#机π a ®引iL複數對象點及除外點個別之色 特徵量之值之度數分佈之處理； 根據前述1或複數之$牲料旦 义 文默I巴符徵里之值之度數分佈，求出 將月）述對象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量 ”地分離之色特徵量之值之範圍之處理；及 、-又疋刖述1或複數之色特徵量之種類及值之範圍作為 前述色條件之處理。

36.如請求項乃之電腦程式產品’ 係預先設定。 其中前述色特徵量之種類 37.如請求項35之電腦程式產品，其中包含複數之由】或複 數之色特徵量所構成之色特徵量候補； 用以使資訊處理裝置執行以下處理： 關於前述複數之色特徵量候補之各個，求出將前述對 象點之色特徵量之值及前述除外點之色特徵量之值最良 好地分離之色特徵量之值之範圍及分離度，藉由比較該 刀離度而選擇作為前述色條件採用之色特徵量候補之處 108213-980416.doc -14- 1313748 理；及 設定構成前述選擇之色特徵量候補u或複數 徵量之種類及值之範圍作為前述色條件之處理D 38.如請求項35至37中任—項之雷 只爻電腦私式產品，其中用以 資訊處理裝置執行以下處理： （ 自拍攝與複數良品圖像產生◎之K：類零件所獲得之 複數不良品圖像之各個操取符合前述色條件之複數像素 區域之處理’而該複數良品圖像係拍攝以正常姿勢安 之1C類零件所獲得； 、 藉由圖像處理特定出連結前述複數像素區域之直線之 處理； 求出前述直線之特徵量之值之度數分佈之處理； 根據前述特徵量之值之度數分佈，求出將連結自前述 良品圖像所擷取之複數像素區域之直線之特徵量之值及 連結自則述不良品圖像所擷取之複數像素區域之直線之 特徵量之值最良好地分離之特徵量之值之範圍之處理；及 設定前述特徵量之種類及值之範圍作為前述判斷條件 之處理。 39. 如請求項38之電腦程式產品，其中前述特徵量之種類為 前述直線之位置或/及角度。 40. —種記憶媒體，其係記憶請求項35至39中任一項之電腦 程式產品。 108213-980416.doc •15·