TWI279773B - Sleeved ultrasonic transducer - Google Patents

Description

1279773 玖、發明說明： 【發明戶斤屬之技術領域】 相關申請案 本案請求下列各案之優先權，美國臨時申請案第 5 60/413,069號，申請日2002年9月23日，名稱「套接式超音 波轉換裔」；以及美國臨時申請案第6〇/5〇1，236號，申請曰 2003年9月8日，名稱「具有連結式超音波轉換器之石英 槽」’ 一案發明人皆為J· Michael Goodson。其各別揭示以引 用方式併入此處。 10 發明領域 概略言之本發明係有關超音波產生器、轉換器以及換 能裔，特別本發明係有關具有二件式頭塊或前傳動件之超 音波轉換器或換能器，此處一件提供良好螺接完整性，而 另一件提供良好傳聲及/或傳熱性質。 15 【先前技術】 發明背景 典型先前技術堆疊式超音波轉換器或換能器1〇及12顯 示於第1及2圖。轉換器1〇及12有複數個PZTs 14(壓電晶體或 轉換為），PZTs之形狀為環形，且係位於一尾塊或後傳動件 20 16與一頭塊或前傳動件18(第1圖）或20(第2圖）間。螺栓22栓 入頭塊18或20之内螺紋來將換能器固定在一起，且壓縮 PZTs 14介於頭塊與尾塊間。絕緣套筒23將PZTs 14與螺栓22 電絕緣，電接點25提供電連接至PZTs。螺紋延伸部24連接 換能器至增壓器或角狀物（圖中未顯示），該增壓器或角狀物 1279773 係用於超音波熔接等類似應用用途。pZTw^、於厚度模操作 表示PZTs可主要於轉換器之中軸26之方向膨脹以及收縮 。頭塊18或20為錐形，俾便擴大pZTs 14振動之振幅。 弟1圖中，頭塊18為早一材料如銘或欽。銘之優點為， 5鋁具有高熱容，可用作為傳熱遠離PZTs的散熱座。但鋁是 相對柔軟的金屬，因此固定螺栓22以及螺紋延伸部24需要 的螺絲螺紋也相對脆弱。比較鋁，鈦具有優異材料強度以 及螺紋強度，但鈦之熱容較低，故無法如同鋁一般有效吸 熱。 10 第2圖所示轉換器12於頭塊之螺接區使用鈦來替代鋁 。二件式頭塊20於PZTs 14旁的近端件28係由鋁製成，而於 遠端件30係由鈦製成，遠端件3〇含有内螺紋來匹配螺栓22 以及螺紋延伸部24。二件式頭塊設計之缺點為其效能不如 一件式頭塊（第1圖）良好，原因在於二件式頭塊設計有兩種 15 材料干擾錐形頭塊之振幅增益、以及干擾超音波振動能由 PZTs傳輸至增壓器或角狀物。 於其它應用用途中，超音波轉換器可附接至超音波振 動能欲傳輸的表面。例如該表面可為盛裝清潔溶液之槽外 表面，欲藉超音波清潔之物件係放置於該槽内。於此種用 20 途，超音波轉換器可黏著接合至槽表面。但若槽材料與頭 塊材料不同，則可能發生熱膨脹係數不匹配’結果造成黏 著接合的破損故障。槽可由石英製成’轉換器之頭塊可由 鋁製成，二者具有顯然不同的熱膨服係數。 【發明内容】 1279773 發明概要 摘要言之，本發明為一種套接式超音波轉換器，包含 :螺紋套筒作為頭塊之—部分、以及-具有不同材料之外 殼體作為頭社另一部分。因頭塊係由二部分組成，故頭 5塊可由不同材料製成，各別材料經選擇來讓不同性質或功 月b最么化。螺紋套筒較佳為金屬例如鈦鈦提供優異螺紋 強度，供匹配螺栓以及螺紋延伸部（若有）；外殼體較佳為鋁 或陶曼，其提供良好散熱座能力及/或振動能的傳輸。兩種 組件的組合可提供改良式超音波轉換器。 10 特別本發明之超音波轉換器包括-或多個圓盤形壓電 晶體，其中各個壓電晶體具有一軸孔；一尾塊，其係位於 該壓電晶體之-側，其中該尾塊包括一軸孔；一頭塊其係 位於n亥壓電晶體之與尾塊相對之該側，其中該頭塊具有内 1螺紋軸孔；以及-螺栓位於各個壓電晶體之軸孔以及尾塊 15及頭塊軸孔内部’該螺栓係螺接入頭塊之内螺纹轴孔，其 中該螺栓壓縮壓電晶體介於尾塊與頭塊間。該頭塊包括由 不同材料製成之二件’該頭塊包括_敎套筒其具有一内 螺紋軸孔且有縮小直徑區段，以及進一步包括一外殼體， 2 °亥外4體係位於±驗套筒之魏縮小區段之軸向外側。 20 触’朗紋套筒及外殼體具有匹配之制面於一垂 直轉換器軸之平面。也較佳，該螺紋套筒直徑縮小區段之 外徑貫質係等於該一或多個壓電晶體之内徑。 說明書所述特色及優點並非羅列盡淨，特別熟諸技藝 人士由附圖、說明書及申請專利範圍將顯然易知多種其它 1279773 特色及優點。此外須注意說明書使用的言詞主要係選擇用 於易讀以及指示目的，而非選用於劃定界限或限制本發明 之主題，本發明之主題係由申請專利範圍決定。舉例言之， 說明書使用轉換器、換能器以及產生器等詞互換使用來表 5不回應於電驅動信號而可產生超音波振動之裝置。壓電晶 體一詞係與壓電轉換器及PZT互換使用。頭塊與前傳動件互 換使用，用來表示超音波振動能傳送至感興趣物件所通過 之轉換器（或換能器或產生器）該部分。同理，尾塊與後傳動 件係互換使用，用來表示轉換器（或換能器或產生器）之與頭 10塊（或前傳動件)相對部分，尾塊係提供平衡壓電晶體振動的 質量塊。 圖式簡單說明 第1圖為先前技術超音波轉換器之側視剖面圖，其具有 一由單種金屬材料製成之頭塊。 15 第2圖為另一先前技術超音波轉換器之側視剖面圖，其 具有由兩種金屬材料製成之二件式頭塊。 第3圖為根據本發明之超音波轉換器之第一具體實施 例，頭塊之螺紋套筒之側視剖面圖。 第4圖為根據本發明之超音波轉換器之第一具體實施 2〇 例，頭塊之外殼體之側視剖面圖。 第5圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之側視剖 面圖，其係使用第3圖之鈦套筒以及第4圖之鋁殼體。 第6圖為第5圖之轉換器之套接式超音波轉換器之側視圖。 第7圖為一種轉換器之阻抗_頻率圖，其具有如第2圖所 1279773 示之二件式铭/欽前傳動件。 第8圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之第一具 體實施例之阻抗-頻率圖。 第9圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 5 體實施例之側視剖面圖，其係類似第3-6圖之超音波轉換器。 第10圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體實施例。 第11圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體實施例之側視剖面圖。 ίο 第12圖為第丨1圖之轉換器之側視圖。 第13圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體實施例之側視剖面圖。 C實施方式3 較佳實施例之詳細說明 15 附圖說明本發明之各個較佳具體實施例但僅供舉例說 明之用。熟諳技藝人士由後文討論方便了解其它此處所述 結構及方法之具體實施例也可採用而未悖離此處所述本發 明之原理。 如第3-6圖所示，根據本發明之套接式超音波轉換器4〇 v、有一件式碩塊42，其包含一種材料之内螺紋套筒、以 另種材料之埋頭孔式外殼體46。較佳螺紋套筒44係由 種材料士鈦或其它金屬製成，該材料具有足夠用於螺絲 螺紋之材料強度。也較佳，外殼體係由例如叙、其它金屬 或陶兗或其它非金屬材料等材料製成，該材料可提供優異 1279773 ’、、、及/或聲干&括$熱、熱膨脹及/或pm(壓電轉換 器或晶體m產生之振動能之有效傳導等性質。 螺紋套筒44具有内螺故48，該内螺紋係匹配螺检徽 螺紋延伸部24之外螺紋。外殼㈣具有平坦外表㈣其係 5接觸PZT堆㈣，錢具有—埋頭⑽其錢紐或匹配螺 紋套筒44之直徑縮小區段Μ。外殼體％具有平坦下表面％ ’該平坦下表面隸直轉絲軸，且接觸軌套筒44之肩 %。螺栓22將PZTsl4朝向外殼體46之上表面观縮，以及 將下表面56朝向螺紋套筒44之肩58壓縮。來自pzTsi4之轴 1〇向振動行進通過外殼體46,進人螺紋套筒44位於外殼體表 面56與螺紋套筒肩58間的接點。 外殼體46下表面56較佳係位於頭塊之筒形段6〇，而非 位於錐形段62。頭塊之振幅增益於錐形段62完全發展，故 於筒形段60之振動為軸向振動。頭塊之二件間的變遷，於 15表面56毗鄰牴靠肩58位置的變遷係位於筒形段，故軸向振 動由外殼體46有效移轉至螺紋套筒44。較佳螺紋套筒之直 徑縮小區段54之外徑實質係等於pzTs 14之内徑。 比較先前技術具有二件式頭塊20之超音波轉換器12( 第2圖），本發明之具有鋁外殼體46以及鈦螺紋套筒44之套 20 接式超音波轉換器40，具有較多鋁可獲得較佳散熱，也具 有較為有效的鋁件與鈦件間之有效振動傳輸。如第7圖所示 ，先前技術轉換器12具有最小阻抗11.24歐姆，第8圖顯示本 發明之套接式轉換器40具有改良之最小阻抗為4.18歐姆。 比較先前技術單件式超音波轉換器1〇(第1圖），本發明 1279773 之具有糾殼體46及鈦螺紋套筒44之套接式超音波轉換哭 4〇具有比純製顿更糾做強度全鈦製頭二 更佳的散減力。套接式轉換㈣之鈦做套筒Μ與銘外殘 體46之組合可達鱗於單金屬前傳動件相當的聲學效能/ 外殼體也可由銘以外之金屬或非金屬材料製成，該等 材料包括喊如碳化石夕、氧化銘或其它先進㈣。“此 10 處’「先進陶£」-詞表示具有數微米或數分之—微米之微 小粒輕之陶储料，該材料也具有極高密度，以微米測量 時具有近零⑽度。顆㈣構高度羽，料超音波信號 同時於每個方向移動。碳化石夕為先進陶竟之較佳形式，碳 化石夕係由石墨化學反應製成1用喊材料於外殼體可改 良聲學效能，原因在於陶瓷為比鋁及其它金屬更佳的超音 波振動能導體，因此理由故為較佳。 第9圖顯示本發明之第3_6圖具體實施例之另一種構造 15 。轉換器90具有頭塊92，頭塊92具有一外殼體94以及一螺 紋套筒96。螺紋套筒96之直徑縮小區段98向上延伸至外殼 體94頂端。外殼體94有一軸孔，該軸孔尺寸可容納螺紋套 筒96之直徑縮小區段98。較佳螺紋套筒96之直徑縮小區段 98之外徑實質等於PZTs 14之内徑。來自pZTs μ之振動能傳 20輸至外殼體94，然後向下傳輸至外殼體底面100、傳輸至螺 紋套筒96上表面102。就其它方面而言，轉換器9〇係與前述 轉換器40相同。 第10圖顯示本發明應用於高頻用途之另一具體實施例 。超音波轉換|§70具有二環形PZTs 72於一堆疊體中部，一 1279773 氧化鋁製成之環形圓盤μ於PZTs上方，一碳化矽製成之環 形圓盤76於PZTs下方，一鈦製成之頭塊78以及一鈦製成之 尾塊80。尾塊80具有螺紋套筒82，該螺紋套筒為内螺紋且 係由上方延伸進入轉換器堆疊體之環形區。頭塊78有一外 5螺紋件84，該外螺紋件係由下方延伸入轉換器堆疊體之環 形區。尾塊80之内螺紋套筒82匹配頭塊78之外螺紋件84， 俾牢固固定該轉換器堆疊體，且壓迫pzTs72以及圓盤74及 76介於頭塊與尾塊間。 本發明之另一方面係有關清潔系統使用之超音波轉換 ίο态之改良，顯示於第12_13圖。特別今日發現經由藉石英或 先進陶瓷材料形成槽或容器，以及經由將轉換器直接連結 至槽表面，可達成效能提升。 常用於清潔操作之超音波轉換器具有堆疊構造。典型 轉換器有一或多個壓電晶體成形為圓盤形狀且有一環孔。 15 I電晶體係定向為，回應於施加電能之脹縮方向係於軸向 方向。於壓電晶體之一側為尾塊，於壓電晶體之另一側為 '鬼。螺絲或螺检將壓電晶體壓縮於頭塊與尾塊間。頭塊 係安裝於槽上，頭塊將振動由壓電晶體傳輸至槽。尾塊係 平衡由壓電晶體之脹縮所造成的位移。於發明人先前之美 2〇國專利5,7沾，566及5,998,908，揭示堆疊式轉換器構造的改 良’该改良係增加陶瓷材料製成之共振器介於壓電晶體與 頭塊間。 連結轉換器至清潔槽時欲克服之問題為槽與轉換器使 用的材料不同造成材料性質不一致的問題。頭塊及尾塊同 12 1279773 有螺紋套筒152，螺紋套筒152向下延伸至外殼體128底端， 如此提供較大螺栓130接合的螺紋面積。此外，轉換器150 具有一絕緣套筒154位於PZTs 156之内徑内部。較佳螺紋套 筒152下凸部160之外徑158實質係等於PZTs 種構造可將PZTs之振動能更有效通過外殼體128而傳輸至 槽。另外，陶瓷共振器124具有與PZTs 156相同的内部直徑 ，絕緣套筒154係向下延伸至螺紋套筒152頂端。 10 15 20 轉換器110或150之構造之優點為頭塊外殼體128係由 金屬或灰化石夕4非金屬材料製成，該種材料之性質係類似 槽材料性質，槽材料可為石英或碳化矽或其它先進陶瓷。 碳化石夕為多晶材料。於碳化石夕陶竟有許多晶粒，晶粒大小 為數微米（直接燒結）。有不_紅石英，包括融合石英及 單晶石英。融合石英為非晶形材料(非結晶材料或玻璃材料 )。概略言之，單晶石英有—顆大晶粒。晶粒大小達數时（ 只有-個晶粒）。融合石英為非晶形，故不含钟晶粒。 玻璃及陶竟之熱膨脹係數為各向同性，表示兑非為方 向相依性。單晶石英之熱膨脹係數為各向異性（方向相依性 )，表不其隨晶體方向性而改變…般而言，石英單晶之敎 膨脹係數㈣合石英玻璃之熱膨脹係數高約15_2〇倍阳产潔、 槽用石英之較佳類型為融合 “、 ^熱恥脹係數（以微米/米_ C為早位表示）分別為石英04 以及肋-24。 &化石夕4.5,不錄鋼Π，鈦9 14 1279773 ’於溫度改變時可能誘生材料/邊界内部的應力。銘與融合 石英間之熱膨脹係數差異約為60倍，相較於碳化石夕與融合 石英間之熱膨脹係數差異為1〇倍。 轉換器削或15〇係使用環氧聚合物黏著劑舒普林 5 (Sup賴_Α0ΗΤ連結至槽表面（外表面或内表面）。此種環 乳樹脂含錢轉轴魏化_碌)。崎環氧樹脂為具 有兩切變強度以及高抗撕強度的熱硬化環氧樹脂。也且有 導熱性且對苛刻的熱循環有抗性。相同黏著劑用於連結碳 化矽外殼體128至鋁螺紋套筒126或152。 10 於頭塊使用碳化石夕，提供超音波轉換器方便連結至石 英或陶兗槽，輔助超音波振動由轉換器有效傳輸至^之各 部件或各項目。 3 由前文說明，顯然易知此處揭示發明提供新賴而優異 之套接式超音波轉換器。前文討論揭示及說明本發明之僅 供舉例S兒明之方法之具體實施例。熟諸技藝人士了解可未 .障離本發明之精趙或主要特性而以其它特定形式實施。如 此本發明之揭示意圖供舉例說明而非限制本發明之範圍， 本發明之範圍陳述於如下申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 20 第1圖為先前技術超音波轉換器之側視剖面圖，其具有 一由單種金屬材料製成之頭塊。 第2圖為另-先前技術超音波轉換器之側視剖面圖，其 具有由兩種金屬材料製成之二件式頭塊。 第3圖為根據本發明之超音波轉換器之第一具體實施 15 1279773 例，頭塊之螺紋套筒之側視剖面圖。 第4圖為根據本發明之超音波轉換器之第一具體實施 例，頭塊之外殼體之側視剖面圖。 第5圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之側視剖 5面圖，其係使用第3圖之鈦套筒以及第4圖之鋁殼體。° 第6圖為第5圖之轉換器之套接式超音波轉換器之側視圖。 第7圖為種轉換裔之阻抗頻率圖，其具有如第2圖所 示之二件式鋁/鈦前傳動件。 第8圖為根才康树明之套接式超音波轉換器之第一具 10 體實施例之阻抗-頻率圖。 第9圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體貫施例之侧視剖面圖，其係類似第3_6圖之超音波轉換器。 第10圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體實施例。 第11圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體實施例之側視剖面圖。 第12圖為第11圖之轉換器之側視圖。 第13圖為根據本發明之套接式超音波轉換器之另一具 體實施例之側視剖面圖。 20 【圖式之主要元件代表符號表】 22…螺栓 24···螺紋延伸部 25·.·電接點 26...中軸 10，12···堆疊式超音波轉換器 14...壓電晶體 16···尾塊或後傳動件 18，20·.·頭塊或前傳動件 16 1279773 28.. .近端件 30.. .遠端件 40.. .套接式超音波轉換器 42.. .二件式頭塊 44.. .内螺紋套筒 46.. .埋頭孔外殼體 48.. .内螺紋 50…平坦上表面 52.. .埋頭孔 54.. .直徑縮小部 56…平坦下表面 58…肩 60.. .筒形部 62.. .錐形部 70.. .超音波轉換器 72.. .環形壓電晶體 74，76…環形圓盤 78.. .鈦頭塊 80.. .鈦尾塊 82.. .螺紋套筒 84…外螺紋件 90··.轉換器 92.. .頭塊 94.. .外殼體 96…螺紋套筒 98.. .直徑縮小部 100…底面 102.. .上表面 110.. .轉換器 118.. .尾塊 120…電極 122.. .壓電晶體 124.. .陶瓷共振器 126…螺紋套筒 28.. .外殼體 130.. .螺栓 132，134···平坦面 136…凸部 138…軸孔 150.. .轉換器 152…螺紋套筒 154.. .絕緣套筒 156.. .壓電晶體 158.. .外徑 160.. .下凸部 162…内徑 17

Claims (1)

1. 修正曰期：95年1月 |念7©级了63)93號專利申請案申請專利範圍修正本 拾、申請專利範圍： 1· 一種超音波轉換器，包含： 一或多個圓盤形壓電晶體，其中各個壓電晶體具有 一轴孔； 一尾塊，其係位於該壓電晶體之一侧，其中該尾塊 包括一軸孔；

   一頭塊’其係位於該壓電晶體之與尾塊相對之一侧 ’其中該頭塊具有内螺紋軸孔；以及 一螺栓’其係位於各個壓電晶體之軸孔以及尾塊及 頭塊轴孔内，該螺栓係螺接入頭塊之内螺紋轴孔，其中 該螺栓將壓電晶體壓縮於尾塊與頭塊間； 其中該頭塊包括由不同材料製成之二件，該頭塊包 括一螺紋套筒，該螺紋套筒具有一内螺紋軸孔且具有一 縮小直徑區段，以及進一步包括一外殼體，該外殼體具 有一匹配該螺紋套筒之縮小直徑區段的軸孔。

   2·如申請專利範園第1項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒及外殼體皆具有匹配之接觸面，且該等匹配之接觸面 係位於一垂直轉換器軸之平面上。 3·如申請專利範圍第1項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒直徑縮小區段之外徑實質係等於該一或多個壓電晶 體之内徑。 4·如申請專利範圍第1項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒係由鈦製成。 5·如申請專利範圍第丨項之超音波轉換器，其中該螺紋套 18 1279773 筒係由鋁製成。 6.如中請專利範圍第i項之超音波轉換器，其中該外殼體 係由鋁製成。 7·如申請專利範圍第！項之超音波轉換器，其中該外殼體 5 係由碳化矽製成。 8· —種超音波轉換器，包含： —或多個圓盤形壓電晶體，其中各個壓電晶體具有 一軸孔； 一尾塊，其係位於該壓電晶體之一侧，其中該尾塊 10 包括一軸孔； 一頭塊，其係位於該壓電晶體之與尾塊相對之一側 ，其中該頭塊具有内螺紋軸孔；以及 一螺栓，其係位於各個壓電晶體之軸孔以及尾塊及 頭塊軸孔内部，該螺栓係螺接入頭塊之内螺紋軸孔，其 15 中該螺栓將壓電晶體壓縮於尾塊與頭塊間； 其中該頭塊包括一位於該壓電晶體近端之外殼體 以及一位於該壓電晶體遠端之螺紋套筒，其中該外殼體 具有一附有供螺栓用之餘隙的軸孔；其中該螺紋套筒包 括一内螺紋軸孔，其係匹配螺栓之螺紋，其中該外殼體 20 以及螺紋套筒係由不同材料製成，又，其中該外殼體具 有一埋頭孔，且該螺紋套筒具有一圓筒狀套筒部，該套 筒部係嵌合於該外殼體之埋頭孔内部。 9·如申請專利範圍第8項之超音波轉換器，其中該螺紋套 请及皆具有匹配之接觸面，該等匹配之接觸面係位於一 19 1279773 蠢直轉換器軸之平面上，且其中該螺紋套筒之套筒部及 該外殼體之埋頭孔係接近於該等匹配之接觸面。 10·如申請專利範圍第8項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒直徑縮小區段之外徑實質係等於該一或多個壓電晶 5 體之内徑。 11·如申請專利範圍第8項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒係由鈦製成。 12·如申請專利範圍第8項之超音波轉換器，其中該外殼體 係由鋁製成。 10 H如申睛專利範圍第8項之超音波轉換器，其中該外殼體 係由碳化矽製成。 14· 一種超音波轉換器，包含： 一或多個圓盤形壓電晶體，其中各個壓電晶體具有 一轴孔其具有一内徑； 15 一尾塊，其係位於該壓電晶體之一側，其中該尾塊 包括一螺紋部設置於該壓電晶體之内徑内部； 一頭塊，其係位於該壓電晶體之與尾塊相對之一側 ’其中該頭塊包括-設置於該壓電晶體之内㈣之螺紋 部，且其中該尾塊及頭塊之螺紋部接合並將壓電晶體壓 20 縮於尾塊與頭塊間。 15.如申請專利範圍第14項之超音波轉換器，其中該頭塊及 尾塊係由鈦製成。 .如申清專利範圍第14項之超音波轉換器，進—步包含一 碳化矽環狀圓盤位於該壓電晶體與頭塊間。 20 1279773 17·如申請專利範圍第14項之超音波轉換器，進一步包含一 氧化鋁環狀圓盤位於該壓電晶體與尾塊間。 18·—種超音波轉換器，包含： 一或多個圓盤形壓電晶體，其中各個壓電晶體具有 5 一軸孔； 一尾塊，其係位於該壓電晶體之一側，其中該尾塊 包括一軸孔； 一頭塊，其係位於該壓電晶體之與尾塊相對之一側 ’其中該頭塊具有内螺紋軸孔；以及 10 一螺栓，其係位於各個壓電晶體之軸孔以及尾塊及 頭塊軸孔内部，該螺栓係螺接入頭塊之内螺紋轴孔，其 中該螺栓將壓電晶體壓縮於尾塊與頭塊間； 其中該頭塊包括一位於該壓電晶體近端之外殼體 以及一位於該壓電晶體遠端之螺紋套筒，其中該螺紋套 15 同包括内螺紋轴孔，其係匹配螺检之螺紋，其中該螺紋 套筒及外殼體係由不同材料製成，其中該外殼體具有一 軸孔，以及該螺紋套筒具有一套筒部，該套筒部係裝配 於外殼體之軸孔内側。 19.如申請專利範圍第18項之超音波轉換器，其中該螺紋套 2〇 筒及外殼體具有匹配之接觸面於一垂直轉換器軸之平 面。 ^ 2〇.如申請專職圍第18項之超音波轉換器，其中該螺 筒及外殼體係使用一種具有陶究填充劑之環氧樹'1、 結在一起。 t脂連 21 1279773 21. 如申請專利範圍第20項之超音波轉換器，其中該陶瓷填 充劑為氧化鋁。 22. 如申請專利範圍第20項之超音波轉換器，其中該環氧樹 脂為聚合物黏著劑舒普林(Supreme) 1OAOHT。 5 23.如申請專利範圍第18項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒之套筒部之直徑縮小區段之外徑實質係等於該一或 多個壓電晶體之内徑。 24.如申請專利範圍第18項之超音波轉換器，其中該螺紋套 筒係由鈦製成。 10 25.如申請專利範圍第18項之超音波轉換器，其中該外殼體 係由銘製成。 26.如申請專利範圍第18項之超音波轉換器，其中該外殼體 係由碳化矽製成。 22