TWI279652B - Protective cover for a lamp, set including a lamp and a protective cover, method of installing a source in a lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby - Google Patents

Description

1279652 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於各種應用中例如，一微影裝置中 的一放電燈具之保護蓋。 【先前技術】 微影裝置係將所要的圖案施加於一基板之目標部分上的 機器。微影裝置可（例如）用於製造積體電路（IC)。在此情 況中，一圖案化元件，或者另外稱作光罩或主光罩，可用 • 於產生一對應於1c之個別層的電路圖案，且該圖案可成像 至一具有輻射敏感材料層（抗蝕劑）之基板（例如，矽晶圓） 上的目標部分（例如，包含一個或若干個晶粒之部分）上。 一般而言，一單基板含有連續曝光之相鄰目標部分之網 路。已知的微影裝置包含所謂的步進器，其中藉由將完整 圖案一次性曝光於目標部分上來照射每一目標部分；及所 謂的掃描儀，其中藉由投影光束以一特定方向（，，掃描，，方 向）掃描圖案，同時平行於或不平行於此方向同步掃描該 _ 基板來照射每一目標部分。 直到目前為止，在一此類微影裝置中，所使用之放電燈 具（例如，一汞放電燈具）並未經加壓至相當大的程度。此 意謂，在燈具之冷卻階段中，放電燈具内之壓力並非相當 地低於或高於大氣壓力（1〇5 Pa)。然而，自引入高功率放 電燈具以來，該等燈具之某些製造過程會增加放電燈具燈 泡内部的壓力以增加能量至光轉換的效率。較之於較低壓 力放電燈具，此等高壓燈具在相同電能耗散下具有更高的 101865.doc 1279652 強度且其在相同強度下產生更少的熱量。此等燈具係藉由 ^列如）〇sram及USHIO製造。當該等高壓放電燈具不使用 . 日守，其可具有高達約8 χ 1〇5 Pa的正内部壓力。此等高壓 \ 纟電燈具會突然爆炸，以致使排出石英及汞。同樣金屬碎 片亦會被排出。此致使產生人身傷害及/或損壞其它物件 之風險。因此，應相當謹慎地處理該等高壓放電燈具。不 僅在操作期間當該等高壓放電燈具之内部壓力可增大至高 達3〇-、75 x 1〇5以的壓力時，應相當謹慎地對其加以處理， 而且當將該放電燈具裝設於一燈源中（例如，於一微影裝 • 置中）時’同樣應相當謹慎地進行處理。尤其在一微影裝 • 置中此一汞放電燈具之斷裂係不期望的，原因在於該微 衫裝置需要在此之後被清理。此導致可用性降低。 為避免此，自先如技術可知可藉由使用一處於燈具周圍 的更貝保濩盍來裝設此汞放電燈具，該硬質保護蓋係由一 y經文爆炸燈具之碎片的材料製造而成。裝設此燈具之人 _ 貝無需接觸燈具本身，而是使用該處於燈具周圍的硬質保 護蓋而將該放電燈具置放於適當的位置。然而，在某些燈 源中，於裝設燈具之後，難以移除該硬質保護蓋。有時， 〃中待凌δ又一放電燈具之模組或插座無法提供足夠的空間 ，，卩移除該硬質保護蓋。若如此，則有必要完全重新設計此 模組，以使得上述情形成為可能。 【發明内容】 本ι明之一您樣係提供一種用於一放電燈具之保護蓋， 忒保護盍較之於自先前技術所已知的硬質保護蓋可用於更 101865.doc 放電燈具之保護蓋具可 而成，以使得當由該保 該放電燈具所產生之碎

1279652 夕的裝設中且在將該放電燈具裝設於更多現有配置中之 可被移除。 根據本發明之一態樣，一用於一 撓性且由具有抗張強度之材料製造 護蓋所覆蓋之放電燈具破裂時，自 片無法穿透該保護蓋。 —精由提供-並非硬f但具可撓性之保護蓋，可正如脫掉 紐襪般藉由簡早地將該保護蓋自一放電燈具滑落而將該保 護蓋自該放電燈具移除。此舉較之於最新技術之方法而言 所需的空間少得多且其可防止重新設計於其中不得不裝設 放電燈具之模組的必要性。該保護蓋需要如此經設計，以 使得於燈具爆炸後在周„繞㈣的放電燈具之玻璃燈泡 的碎片及可能的某些液態汞皆由該保護蓋加以阻止。可挽 性材料之強度可在2.5與6 Gpa之間的範圍内。在—實施例 t »亥保6蒦蓋係由纖維製造而成。彼等纖維可選自一組包 含芳族聚醯胺、聚乙婦、SPECTRA@、實伙趙⑧、 PBO、玻璃及/或其任何組合之材料。 此等纖維可經針織或編織。當編織時，該等纖維可經雙 轴編織n施例中，於__微影裝置中該等纖維可塗布 有-非化學活性塗層。此塗層之—實例為tefl麵（聚四 氟乙烯或PTFE)。 在另一實施例中，該保護 可撓性層可位於該保護蓋内 於燈具内部及外部同樣皆可 蓋自身塗布有一可撓性層。該 部或位於該保護蓋外部，儘管 具有一可撓性層。該可撓性層 101865.doc 1279652 可由選自包含PVC、PE及PTFE之組的合成材料製造而 成。 本發明亦係關於一種包含一放電燈具及一保護蓋之套 組，其中該保護蓋具可撓性及由具有抗張強度之材料製造 而成，以使得當由該保護蓋所覆蓋之放電燈具破裂時，自 該放電燈具所產生之碎片無法穿透該保護蓋。 另外，本發明係關於一種裝設一燈源於一微影裝置中之 方法，該方法包含提供一放電燈具；於該放電燈具上提供 一保護蓋，該保護蓋具可撓性且由具有抗張強度之材料製 造而成，以使得當由該保護蓋所覆蓋之放電燈具破裂時， 自該放電燈具所產生之碎片無法穿透該保護蓋；將該放電 燈具裝設於該微影裝置之一燈源中，同時該保護蓋仍處於 該放電燈具上；且在裝設該放電燈具之後將該保護蓋移 除。 另外，本發明係關於一種元件製造方法，該方法包含： 提供一放電燈具；於該放電燈具上提供一保護蓋，該保護 盍具可撓性且由具有抗張強度之材料製造而成，以使得當 由該保護蓋所t蓋之纟電燈具破料，自胃放電燈具所產 生之碎片無法穿透該保護蓋；將該放電燈具裝設於一燈源 中，同時㈣護蓋仍處於該放電燈具上；卩在裝設該放電 燈具之後將該保護蓋移除；且將—圖案純射光束投影至 一基板之目標部分上。 "•根據本發明之《蓋可與汞放電燈具_起用於所謂的 、線"微影裝置中。該i線對應於365 _之輻射波長。然 l〇]865.doc 1279652 而，本發明並不限於此。該保護蓋可用於保護於裝設期間 具有破裂或爆炸風險之任何類型的放電燈具（例如，體育 場之泛光燈中的放電燈具）。 儘管本文可具體參考微影裝置於ic製造中之使用，但應 理解，本文所描述之微影裝置亦可具有其它應用，諸如 製造整合光學系統、磁域記憶體之導引及偵測圖案、液 晶顯示器（LCD)、薄膜磁頭等。應瞭解，在此等替代性 應用之語境中’本文所使用之術語”晶圓"或，，晶粒，，可認 _ 為係为別與更通用術§吾’’基板，’或u目標部分，，同義。本文 所指代之基板可於曝光之前或之後，於一（例如）軌道（一 通常將一抗蝕劑層塗覆至一基板且使該經曝光之抗蝕劑 顯影之工具）或於一計量學或檢測工具中經處理。若可適 用，本文之揭示内容可應用於此等及其它基板處理工具 中。另外，該基板可經處理一次以上以（例如）創建一多 層1C，從而本文所用之術語基板亦可指代已含有多個經 處理層之基板。 籲本文所用之術語"輻射，，及，，光束”涵蓋各種類型之電磁韓 射，其中包含紫外（UV)輻射（例如，波長為365、248 nm、 193、157或126 nm)及遠紫外（EUV)輻射（例如，波長在5至 20 nm範圍内）及粒子束，諸如離子束或電子束。 本文所使用之術語”圖案化元件，，應廣泛地理解為指代可 用於賦予一光束之橫截面一圖案，從而於該基板之一目標 部分中創建一圖案之元件。應注意，賦予該投影光束之圖 案可並非精確地對應於該基板之目標部分中所要的圖案。 101865.doc 1279652 一般而言’賦予該投影光束之圖案將對應於該目標部分中 所創建之一凡件中的一特定功能層（諸如，積體電路）。圖 案化兀件可為透射性或反射性的。圖案化元件之實例包含 光罩、可程式化鏡面陣列及可程式化LCD面板。光罩係微 ρ項域中所热知的，且包含諸如二進位、交變相移型及衰 減相移型之光單類型及各種混合光罩類型。可程式化鏡面 陣列之一貫例採用小鏡面之矩陣排列，可個別地傾斜每一 小鏡面以反射不同方向上之入射輻射光束。以此方式，可 將該反射光束圖案化。 支撐結構支撐（例如，承載）該圖案化元件之重量。其以 視該圖案化元件之定向、冑影裝置之設収其它條件（例 如，該圖案化元件是否固持於一真空環境中）而定之方式 固持該圖案化it件。該支撐結構可使用機械夾鉗、真空或 其它夾鉗技術（例如，真空條件下之靜電夾鉗）。該支撐結 構可為框架或台，其（例如）可按照需要為固定的或可移動 的，且其可確保該圖案化元件處於（例如）相對於投影系統 之所要位置處。本文所使用之術語"主光罩"或，，光罩，，皆可 認為係與更通用術語”圖案化元件”同義。 本文所用之術語”投影系統，，可廣泛地理解為涵蓋各種類 型投影系、统，其中包含折射光學系統、反射光學系統及反 射折射混合光學系統，其適用於(例如)所使用之曝光輻射 或適用於諸如使用浸沒流體或使用真空之其它因素。本文 所使用之術透鏡皆可認為與更通用之術語"投影系統" 同義。 101865.doc -10- 1279652 照明系統亦涵蓋各種類型 甘由a人 土疋予組件，其中包含用於導 向、成形或控制輻射投影朵击 ， 仅〜九束之折射、反射及反射折射混 合之光學組件，且下女φ介 亦曰/、同地或單個地將該等组件 稱為”透鏡”。 微影裝置可為具有兩個（雙平臺）或兩個以上的基板台（及 /或兩個或兩個以上的光罩台)之類型。在此等"多平臺"機 器中可並行使用額外的台，或可在-或多個臺上執行預備 步驟，同時將一或多個其它台用於曝光。 該微影裝置亦可為-類型，其中基板係浸人—具有相對 高折射率之液體（例如水）中，以填充投影系統之最終元件 與基板之間的空間。浸沒液體亦可施加至微影裝置中之其 它空間’例如光罩與投影系統之第—元件之間的空間。浸 沒技術在此項技術中眾所周#地用於增加投影系統之數值 孔徑。 本發明的用於放電燈具之保護蓋係可用於將一放電燈具 裝設於一如上文所界定之微影裝置中。然而，該保護蓋亦 可用於將此放電燈具裝設於任何其它類型的配置中。 【實施方式】 圖1示意性地描緣根據本發明之一實施例的一微影裝 置，該微影裝置包含：一經組態以提供一輻射PB光束（例 如，包含可見光、UV輻射、深紫外（Duv)或遠紫外（EUV) 輻射）之照明系統（照明器）IL。在本發明之一實施例中，一 放電燈具係用於產生輻射。該輻射可具有一在UV範圍或 更高範圍内的波長。一所產生之波長可係波長為365 nm的 101865.doc 1279652 所謂1線輻射。一經組態以支撐一圖案化元件（例如，光 罩）MA之第一支撐結構（例如，光罩台）MT且其係連接至一 第一疋位几件PM以相對於一投影系統（”透鏡，，）pL而精確定 位该圖案化元件。_經組態以固持—基板（例％，經抗姓 劑塗布之晶圓）1之基板台（例如，晶圓臺）WT且其係連接 至一第二定位元件PW以相對於該投影系統pL而精確定位 泫基板。該投影系統（例如，一折射投影透鏡）pL藉由該圖 案化元件MA而使得-賦予光束PB之圖案得以成像至基板 W之目標部分C上（例如，其中包含一或多個晶粒）。 如此處所描繪，該裝置為透射型（例如採用透射光罩）。 或者，該裝置可為反射型（例如採用如上文所提及之類型 的可程式化鏡面陣列）。 該照明器IL接收自一輻射源s〇之輻射光束。（例如）當該 輻射源係一準分子雷射器時，該輻射源與該微影裝置可為 獨立的實體。在此等狀況下，該輻射源可不認為係形成為 微影裝置之一部A，且借助於一包含（例士〇)合適的導向鏡 及/或射束放大器之光束傳送系統BD，㈣㈣光束自輻 射源SO發送至照明器IL。在其它狀況下，該輕射源可為該 裝置之一一體式部分，例如當該輻射源為一汞放電燈具 時。該輻射源SO及該照明器ILm，可連同該光束傳 送系統BD—起稱作一輻射系統。 照明器IL可包含一經組態以調整光束的角亮度分佈之調 整元件AM。通常，至少可調整該照明器之曈孔平面中的 亮度分佈的外部及/或内部徑向範圍（通常分別稱為〇外徑及 101865.doc -12- 1279652 σ内徑）。此外，照明器IL通常包含各種其它組件，諸如積 光器IN及聚光器C0。照明器提供經調節之輕射光束pB， 在該輻射光束橫截面中具有所要的均勻度及亮度分佈。 光束PB係入射至固持於光罩台MT上的光罩μα上。於掃 穿過光罩ΜΑ之後，投影光束ΡΒ穿過將該光束聚焦至基板 W之目標部分C上之投影系統pL。借助於第二定位元件pw 及位置感應斋IF(例如，干涉儀元件）可精確移動基板△ WT，以在光束PB之路徑中定位不同目標部分c。類似 • 地，第一定位元件PM及另一位置感應器IF(例如，圖！中未 明確描繪之干涉量測元件）可用於（例如）在自光罩庫之機械 擷取後或在掃描斯間相對於光束PB之路徑而精確定位光罩 MA。一般而言，載物台Μτ及冒丁之移動可借助形成為定 位元件PM及PW之部分的長衝程模組（粗定位）及短衝程模 組（精定位）而實現。然而，在步進器之狀況下（與掃描器相 反），光罩台MT可僅連接至短衝程致動器，或可被固定。 光罩MA及基板W可通過使用光罩對準標記Ml、M2及基板 對準標記P1、P 2而加以對準。 所描繪之裝置可用於以下較佳模式中： 在步進模式中，光罩台MT及基板台WT基本保持固 疋，同時將一賦予投影光束之完整圖案一次性投影至一目 標部分C上（即單一靜態曝光）。隨後，於又及/或¥方向上移 動基板台WT以曝光不同目標部分c。在步進模式中，曝光 區之最大尺寸限制在單一靜態曝光中所成像之目標部分C 的尺寸。 101865.doc 13 1279652 + ·在知描杈式中，光罩台MT及基板台WT係經同步掃 ^ ’同時將賦予投影光束之圖案投影至目標部分c上（即， 單从動悲曝光）。基板台WT相對於光罩台mt之速度及方向 係藉由技衫系統PL之放大（縮小）率及影像反向特徵而加以 確定。在掃描模式中，曝光區之最大尺寸限制單一動態曝 光中之Μ示部分於非掃描方向上的寬度，而掃描運動之長 度確定了目標部分於掃描方向上之高度。 又 在另模式中，光罩台ΜΤ基本上保持固定以固持可程 式化圖案化元件，且基板台WT係經移動或掃描，同時將 武予技办光束之圖案投影至一目標部分匸上。於此模式 中，在每次移動基板台WT之後或在於掃描期間之連續輕 射脈衝之間通常視需要採用脈動輻射源且更新可程式化圖 案化^件。此操作模式可易於應用至利用可程式化圖案化 ΓΓ諸如，上文所指代類型的可程式化鏡面陣列）之無光 罩从影術中。 亦可採用上述使用模式之組合及/或變化或亦可採用完 全不同的使用模式。 八圖2展示一可用於圖1之裝置中的燈源SO。該燈源so包 3 一外殼16。該外殼16具有至少一允許由燈具以斤產生之 輪射14自燈源s〇傳播至環境中的開口表面18。 外威im態以支樓一插座6。該插座6係經配置以接 收燈具2之-配件8。該燈具配件8可為任何類型之配件， 諸如螺紋型或卡口連接型。 燈具2可為-高壓采放電燈具。燈具2僅示意性地展示於 101865.doc 14 1279652 圖2中。燈具2之細節係展示於圖3中。燈具2具有兩端子， 即充當一外部陰極端子之配件8及外部陽極端子12。該配 件於使用中係連接至一連接件10。該連接件10與端子12在 使用中連接至一適當的電源（未圖示）。 再次參看圖2，放電燈具2由一反射器4所圍繞。該反射 器4可具有一橢圓形之形狀。 再-人參看圖3 ’放電燈具2包含用於將放電燈具2裝設於 插座6之中的燈具配件8。燈具配件8係連接至一基底36。 該基底36由一絕緣材料製造而成。基底36固定於作為燈泡 32之一部分的陰極燈泡部分34處，該燈泡32在其另一側亦 具有一陽極燈泡部分24。該陰極燈泡部分34、該燈泡32及 忒陽極垃泡部分24皆由相同材料製造而成。當燈具2為一 汞放電燈具時，燈泡32可由石英製成。 在陽極燈泡部分24上提供冷卻翼片22以改良燈具2在使 用中之冷卻。陽極燈泡部分24連接至一基底2〇，該基底2〇 _ 亦連接至外部陽極端子12。在燈泡32之中提供一陽極28及 陰極3 0 熱反射層2 6係提供於陽極2 8之後在玻璃燈泡 32的内側之處。 燈具2可為自0SRAM可購得的用於微蝕刻之HB〇⑧汞短 弧光燈之一。然而，其他製造商（例如USHIO)亦生產類似 燈具。本發明可適用於產生所謂丨線（即，具有365 nm波長 之輻射）之放電燈具。此等放電燈具甚至在其冷卻狀態下 (17在至/jm'下）亦具有正内部壓力。如上文所論述，此等 燈具在裝設期間可能會爆炸，從而造成人身傷害或損壞燈 101865.doc -15- 1279652 源so之臨近組件的高風險。 為降低此等風險， :。該保護蓋38具有-開口底㈣及-開口頂側46;伴護 Γ係經製造為具有可挽性。在不使用時，其可為如圖:a 2所不之圓柱形的形狀。然而’該保護蓋係經製造以使得 中、可在燈具:上滑動，從而使其具有燈具2之外形，如圖4b 中所示。保護盍3 8可經咬外 燈具2周圍。了、、^相使其在使用中^地配合於 保護性燈具蓋38可由-具有抗張強度之材料製造而成， :使得在將由保護蓋3δ所覆蓋之燈具2裝設於插座6中期間 虽錢具斷裂或爆炸時’自燈具2所產生之碎片盈法穿透 該保護蓋。該材料可具有一在25與6咖之間的範圍内之 力。最大的拉伸張力可為2%或更大。 該材料可由纖维40組成。該等纖維可選自—組包含芳族 聚醯胺、聚乙烯、SPECTRA@、VECTRA_、pB〇、破璃 及其任何組合之材料。聚乙婦可形成為紡絲聚乙浠纖维且 可自dyNEEMA⑧商標下購得。芳族聚酿胺可自kevlar⑧ 或TWAR咖之商標下購得，且咖可自抓簡 下購得。 。 為提供該具有足夠可撓性之保護蓋，該保護蓋38可經針 織或編織。當然’該等纖維必須經針織或編織，以使得其 彼此足夠靠近以防止放電燈具爆炸後所產生之碎片（例 如’玻璃碎片）脫離該保護蓋。為此目的’相鄰纖維之間 的空間可不大於3腿。該等纖維可經雙軸編織。 101865.doc -16- 1279652 當保護蓋38用於將-燈具裝設於—微影裝置 止污染該微影裝置，可將一在微影裝置中 防 層塗布至該等纖，卜此塗層可為任^予，舌性塗 聰獅。 L塗層’例如 在燈具2斷裂之後，為防止汞或其它材料自燈具％ :如)一微影裝置，保護蓋38可由可撓性層44覆蓋 挽性層44加以排列。在圖仏中，可換 保護一上。然而，替代地，可挽性層 護蓋38外側上。此外，保護㈣之内側與外側上亦可2 有-可撓性層。可撓性層44可由一選自包^vc、pM PTFE之群的合成材料製造而成。 用其它聚合物。為替代亦可使 ▲:看圖4b’保護蓋38覆蓋燈具2且具有燈具2之外形。保 護蓋38應為足夠長以至少覆蓋燈具之之所有玻璃部例 如，燈泡32)，如圖4b中所示。 如圖4bt所示’保護蓋38並不覆蓋外料極料η。狹 而’保護蓋38可為足夠長以覆蓋外部陽極端子^在此^ 形中’保護蓋38之一侧(例如’如圖乜及圖扑中所示之： 側46)可為封閉的’而然後保護蓋％可僅具有—側為打 開的’以使仔燈具蓋38可經由開口側42而滑動至放電燈具 2上且自放電燈具2滑落。 根據本發明之保護蓋可以下述方式加以使用··將保護蓋 3“動至燈具2上；將燈具2裝設於燈源s〇中，同時保蠖芸 38仍處於燈具2上；在燈具2裝設完成之後，自燈真2移： 101865.doc -17- 1279652 該保護蓋3 8。 在以此方式將燈具2裝設於微影裝置中之後，該微影裝 置可用於藉由以下步驟產生一半導體元件：於該微影裝置 中提供一基板、使用由燈源SO及照明系統IL所產生之轄射 提供一光束、使用圖案化元件MA將一圖案賦予投影光束 之橫截面且將該圖案化輻射光束投影至該基板之一目標部 分上。 儘管上文已描述本發明之特定實施例，但應瞭解，本發 _ 明亦可以不同於上述方法之方法加以實施。此描述並非意 欲限制本發明。 【圖式簡單說明】 圖1為纟會根據本發明之一實施例的一微影裝置， 圖2描繪一用於圖1之微影裝置中的燈源； 圖3描繪一用於圖2之燈源中的汞放電燈具； 圖4a描繪根據本發明之一實施例的一保護性燈具蓋；及 圖4b描繪在使用中（即，當覆蓋〆放電燈具時）的圖4a之 保護性燈具蓋。 【主要元件符號說明】 2 燈具 4 反射器 6 插座 8 燈具配件 10 連接件 12 外部陽極端子 101865.doc -18- 1279652

14 輻射 16 外殼 18 開口表面 20 基底 22 冷卻翼片 24 陽極燈泡部分 26 熱反射層 28 陽極 30 陰極 32 燈泡 34 陰極燈泡部分 36 基底 38 保護盖 40 纖維 42 開口底側 44 可撓性層 46 開口頂側 AM 調整元件 BD 光束傳送系統 GO 聚光器 IF 位置感應 IL 照明器 IN 積光器 M1? M2 光罩對準標記 101865.doc -19- 1279652 ΜΑ 光罩 ΜΤ 光罩台 Ρ1，Ρ2 基板對準標記 ΡΒ 投影光束 PL 投影系統 ΡΜ 第一定位元件 PW 第二定位元件 SO 輻射源 W 基板 WT 基板台 101865.doc -20-

Claims (1)

1279652 十、申請專利範圍： 放電燈具之保護蓋，其中該保護蓋具可換性 保護蓋所！广張強度之材料製造而成’以使得當由該 生之边 電燈具破裂時，自該放電燈具所產 卒片無法穿透該保護蓋。 2·如請求項1之保護蓋 〇pa之間的一範圍内。 3·如請求項1之保護蓋 成0

其中該抗張強度在約2.5 與6 其中該保護蓋係由纖維製造而 4 ·如請求項3夕仅# — ^ 、” σ盍，，、中该等纖維可選自一組包含芳 方矢I酿胺、取7 χ 象乙烯、SPECTRA®、VECTRAN®、ΡΒΟ、 玻璃及其任何組合的材料。 t胃3之保濩蓋’其中該等纖維係經針織或編織。 6·如請求項3之彳笨 & ^ 1示瘦盍，其中該等纖維係經雙軸編織。 7· \求項3之保護蓋，其中纖維係塗布有-於-微影裝 置中為非化學活性之塗層。 月长員7之保護蓋，其中該塗層為ptfe。 9· 4明求項1之保護蓋，其中該保護蓋係由一可撓性層所 覆蓋。 10.如請求項9之仅雄μ ’、遵盖’其中該可撓性層係位於該保護蓋 之一内側及-外側中的至少-者處。 11 ·如請求項9之仅嗜〜 <保《盍，其中該可撓性層係由一聚合物製 造而成。 12 ·如請求項11 >位祕^ 之保蠖盍，其中該可撓性層係由一選自一包 I0l865.doc 1279652 含PE、PVC或PTFE之群的聚合物製造而成 13. 14. • 15.

16. 其中該保護蓋 造而成，以使 時，自該放電 一種包含一放電燈具及一保護蓋之套組， 具可撓性且由一具有一抗張強度之材料製 得當由該保護蓋所覆蓋之該放電燈具破裂 燈具所產生之碎片無法穿透該保護蓋。 如請求項13之套組’其中該放電燈具包含由玻璃製成之 部分且該保護蓋係足夠長以保護所有由麵製成之該等 部分。 一種裝设一燈源於一微影裝置中之方法，該方法包含： 提供一放電燈具； 提供一保護蓋於該放電燈具之上，該保護蓋具可撓性 且由一具有一抗張強度之材料製造而成，以使得當由該 保遵蓋所覆蓋之该放電燈具破裂時，自該放電燈具所產 生之碎片無法穿透該保護蓋； 裝設該放電燈具於該微影裝置之一燈源中，同時該保 護蓋仍處於該放電燈具上； 在裝没该放電燈具之後’移除該保護蓋。 如請求項15之方法，其中該微影裝置包含： 該燈源，其係經組態以產生輻射； 一照明系統，其係經組態以提供一基於該輻射之光 束； 一支擇結構，其係經組態以支撐一圖案化元件，該圖 案化元件係經組態以將一圖案賦予該投影光束之橫截 面； 10l865.doc 1279652 一基板台，其係經組態以固持一基板；及 -投影系統，其係經組態以將該圖案化光束投影至該 基板之一目標部分上。 17·—種元件製造方法，其包含： 提供一放電燈具； 提供一保護蓋於該放電燈i卜 兮仅嗜# 丹上，邊保遵盍具可撓性且 由一具有一抗張強度之材料掣批而#，I、， ^ 刊了叶I绝而成，以使得當由該保 赢 δ蒦蓋所覆蓋之該放電燈具破裂奪 • /、反表日等，自該放電燈具所產生 之碎片無法穿透該保護蓋； 裝設該放電燈具於-燈源中，同時該保護蓋仍處於該 放電燈具上； 在裳設該放電燈具之後，移除該保護蓋；及 將-圖案化輻射光束投影至_基板之—目標部分上。 I8·—種如請求項17之方法所製造而成之元件。

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